[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

WO2014050466A1 - 導電膜の製造方法および導電膜形成用組成物 - Google Patents

導電膜の製造方法および導電膜形成用組成物 Download PDF

Info

Publication number
WO2014050466A1
WO2014050466A1 PCT/JP2013/073772 JP2013073772W WO2014050466A1 WO 2014050466 A1 WO2014050466 A1 WO 2014050466A1 JP 2013073772 W JP2013073772 W JP 2013073772W WO 2014050466 A1 WO2014050466 A1 WO 2014050466A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
conductive film
composition
copper
mass
particles
Prior art date
Application number
PCT/JP2013/073772
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
俊博 仮屋
浩史 太田
Original Assignee
富士フイルム株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 富士フイルム株式会社 filed Critical 富士フイルム株式会社
Priority to KR1020157007399A priority Critical patent/KR20150048183A/ko
Publication of WO2014050466A1 publication Critical patent/WO2014050466A1/ja
Priority to US14/665,435 priority patent/US20150194235A1/en

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B1/00Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors
    • H01B1/20Conductive material dispersed in non-conductive organic material
    • H01B1/22Conductive material dispersed in non-conductive organic material the conductive material comprising metals or alloys
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing conductors or cables
    • H01B13/003Apparatus or processes specially adapted for manufacturing conductors or cables using irradiation
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/09Use of materials for the conductive, e.g. metallic pattern
    • H05K1/092Dispersed materials, e.g. conductive pastes or inks
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/11Treatments characterised by their effect, e.g. heating, cooling, roughening
    • H05K2203/1157Using means for chemical reduction
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H05K3/1283After-treatment of the printed patterns, e.g. sintering or curing methods

Definitions

  • the present invention relates to a method for producing a conductive film and a composition for forming a conductive film.
  • a method of forming a conductive film such as a wiring by applying a dispersion of metal particles or metal oxide particles to a substrate by a printing method and sintering by a heat treatment. Since the above method is simple, energy-saving, and resource-saving compared to the conventional high-heat / vacuum process (sputtering) and plating method for forming a conductive film, it is highly anticipated in the development of next-generation electronics. In particular, in recent years, from the viewpoint of cost reduction, a method of forming a conductive film by using a composition containing metal oxide particles and reducing and sintering the composition by heat treatment has attracted attention.
  • thermoplastic resin substrate such as polyethylene terephthalate (PET)
  • PET polyethylene terephthalate
  • Patent Document 1 discloses that by using pulsed light for sintering, the copper oxide ink on the base material is sintered without overheating the thermoplastic resin base material such as the PET base material.
  • a method of forming a metallic copper film is disclosed (paragraph 0013, Example 1, etc.).
  • Patent Document 1 the inventor applied a composition containing copper oxide particles on a thermoplastic resin substrate such as a PET substrate to form a coating film, and pulsed the formed coating film.
  • a thermoplastic resin substrate such as a PET substrate
  • the adhesion between the substrate and the conductive film was insufficient.
  • inadequate adhesion between the base material and the conductive film is a problem because defects such as disconnection and short circuit are likely to occur when wiring and the like are formed.
  • an object of the present invention is to provide a method for producing a conductive film, in which a conductive film having good adhesion to a thermoplastic resin substrate can be obtained by pulse light irradiation.
  • the present inventor uses a thermoplastic resin substrate and a conductive film by using a conductive film-forming composition containing a predetermined amount of copper particles with respect to the copper oxide particles.
  • the present invention has been completed. That is, the present inventors have found that the above problem can be solved by the following configuration.
  • thermoplastic resin base material On the thermoplastic resin base material, the copper oxide particles (A), the copper particles (B), and the organic polymer (C) are contained, and the copper particles (B) with respect to the content of the copper oxide particles (A).
  • Content ratio (B / A) of 10 to 50% by mass a coating film forming step of forming a coating film by applying a composition for forming a conductive film, A reduction process which performs pulse light irradiation processing to the above-mentioned coating film, reduces the above-mentioned copper oxide particles (A), and forms a conductive film containing copper, and a manufacturing method of an electrically conductive film.
  • thermoplastic resin constituting the thermoplastic resin substrate has a glass transition temperature of 160 ° C. or lower.
  • the manufacturing method of the electrically conductive film of this invention is demonstrated.
  • the feature point compared with the prior art of this invention is explained in full detail.
  • the characteristic of the manufacturing method of the electrically conductive film of this invention exists in the point which uses the composition for electrically conductive film formation containing a predetermined amount of copper particles with respect to a copper oxide particle.
  • the adhesion between the obtained conductive film and the substrate is insufficient.
  • the conductive film forming composition contains a predetermined amount of copper particles in addition to the copper oxide particles, when the coating film was irradiated with pulsed light, it was absorbed by the surface layer of the coating film. The energy becomes thermal energy, and is conducted to a region below the surface layer using copper particles having high thermal conductivity as a medium, and reduction sintering proceeds in the entire coating film to form a conductive film. Further, the thermal energy reaches the thermoplastic resin base material and softens the base material, so that the conductive film and the base material are fused. As a result, a conductive film having good adhesion to the substrate can be obtained.
  • the thermal conductivity of the coating film becomes insufficient, The reduction sintering of the entire coating does not proceed sufficiently. Further, since the heat energy reaching the substrate is small, the substrate is hardly softened. As a result, the adhesion between the obtained conductive film and the substrate is insufficient. Further, when the content of the copper particles is larger than the predetermined amount (when the ratio of the content of the copper particles to the content of the copper oxide particles is more than 50% by mass), the thermal conductivity of the coating film is higher than necessary. Therefore, an excessive amount of thermal energy reaches the thermoplastic resin base material, the base material melts, and the base material and the conductive film are distorted. As a result, the adhesion between the obtained conductive film and the substrate is insufficient.
  • the manufacturing method of the electrically conductive film of this invention comprises the following two processes. (1) On the thermoplastic resin base material, copper oxide particles (A), copper particles (B), and an organic polymer (C) are contained, and the copper particles (B) with respect to the content of the copper oxide particles (A) ) Content ratio (B / A) of 10 to 50% by mass is applied to form a coating film by applying a composition for forming a conductive film (2) Pulsed against the coating film The reduction process which performs a light irradiation process and reduces the said copper oxide particle (A), and forms the electrically conductive film containing copper Moreover, as mentioned later, the manufacturing method of the electrically conductive film of this invention is a base material and an electrically conductive film. It is preferable to further include a drying step of drying the coating film before the step (2) for the reason that the adhesion to the film becomes better and the conductivity of the conductive film becomes better.
  • each process is explained in full detail.
  • Step (1) contains copper oxide particles (A), copper particles (B), and an organic polymer (C) on a thermoplastic resin substrate, and the copper relative to the content of the copper oxide particles (A).
  • a coating film is formed by applying a conductive film-forming composition having a particle content (B) content ratio (B / A) of 10 to 50 mass%.
  • materials (thermoplastic resin base material, conductive film forming composition) used in this step will be described in detail, and the procedure of the subsequent steps will be described in detail.
  • thermoplastic resin substrate is used as the substrate.
  • the substrate is softened and fused with the conductive film in the step (2) described later, thereby improving the adhesion.
  • thermoplastic resin base material used by this invention is a base material comprised by a thermoplastic resin
  • thermoplastic resin substrate examples include polyolefin resins such as polyethylene, polypropylene, and polybutylene; methacrylic resins such as polymethyl methacrylate; polystyrene resins such as polystyrene, ABS, and AS; polyethylene terephthalate ( Polyester resins such as PET), polybutylene terephthalate (PBT), polytrimethylene terephthalate, polyethylene naphthalate (PEN), poly 1,4-cyclohexyldimethylene terephthalate (PCT); polycaproamide (nylon 6), polyhexa Methylene adipamide (nylon 66), polyhexamethylene sebamide (nylon 610), polyhexamethylene dodecamide (nylon 612), polydodecanamide (nylon 12), Rihexamethylene terephthalamide (nylon 6T
  • a polyester resin or a polycarbonate resin is preferable because the adhesion between the base material and the conductive film becomes better and the conductivity of the conductive film becomes better.
  • PET or PEN polyethylene naphthalate
  • PET is particularly preferable.
  • the glass transition temperature (Tg) of the thermoplastic resin constituting the thermoplastic resin substrate is not particularly limited, but the adhesion between the substrate and the conductive film becomes better, and the conductivity of the conductive film becomes better. For the reason, it is preferably 160 ° C. or lower, more preferably 130 ° C. or lower, and further preferably 100 ° C. or lower.
  • the lower limit of the glass transition temperature is not particularly limited, but is preferably 50 ° C. or higher.
  • the glass transition temperature refers to a glass transition temperature measured by DSC (differential scanning calorimetry).
  • the thickness of the thermoplastic resin substrate is preferably 1 to 500 ⁇ m and more preferably 10 to 150 ⁇ m from the viewpoint of easy handling.
  • composition for forming a conductive film used in the present invention contains copper oxide particles (A), copper particles (B), and an organic polymer (C).
  • the ratio (B / A) of the content of the copper particles (B) to the content of the copper oxide particles (A) is 10 to 50% by mass.
  • the composition for electrically conductive film formation of this invention contains a solvent (D) from a printable viewpoint.
  • each component (a copper oxide particle (A), a copper particle (B), an organic polymer (C), a solvent (D), etc.) of the composition for electrically conductive film formation is explained in full detail.
  • the copper oxide particle (A) contained in the composition for electrically conductive film formation is a particulate copper oxide, it will not specifically limit.
  • the particulate form refers to a small granular form, and specific examples thereof include a spherical shape and an ellipsoidal shape. It does not have to be a perfect sphere or ellipsoid, and a part may be distorted.
  • the “copper oxide” in the present invention is a compound substantially free of unoxidized copper. Although not containing copper substantially, it means that content of copper is 1 mass% or less with respect to copper oxide particles. The copper content relative to the copper oxide particles is measured by XRD.
  • the copper oxide particles (A) are preferably copper oxide (I) particles or copper oxide (II) particles, and can be obtained at a low cost. Also, because the conductive film obtained has good conductivity, More preferred are copper (II) oxide particles.
  • the average particle diameter of the copper oxide particles (A) is not particularly limited, but is preferably 200 nm or less, and more preferably 100 nm or less. Although a minimum is not specifically limited, 1 nm or more is preferable. When the average particle size is 1 nm or more, the activity on the particle surface does not become too high, does not dissolve in the composition, and is excellent in handleability. In addition, when the average particle size is 200 nm or less, it becomes easy to form a pattern such as wiring by a printing method using the composition as an ink-jet ink composition, and when the composition is made into a conductor, it becomes metal copper. This is preferable because the reduction of is sufficient and the conductivity of the resulting conductive film is improved.
  • the average particle diameter in this invention points out an average primary particle diameter.
  • the average particle diameter is obtained by measuring the particle diameter (diameter) of at least 50 or more copper oxide particles by observation with a transmission electron microscope (TEM) and arithmetically averaging them. In the observation diagram, when the shape of the copper oxide particles is not a perfect circle, the major axis is measured as the diameter.
  • the copper oxide particles for example, CuO nanoparticles manufactured by Kanto Chemical Co., Ltd., CuO nanoparticles manufactured by Sigma Aldrich Co., etc. can be preferably used.
  • the content of the copper oxide particles (A) with respect to the total amount of the composition for forming a conductive film is 20 to 20 because the adhesion between the substrate and the conductive film becomes better and the conductivity of the conductive film becomes better. It is preferably 80% by mass, more preferably 30 to 70% by mass, and further preferably 40 to 60% by mass.
  • Copper particles (B) If the copper particle (B) contained in the composition for electrically conductive film formation is particulate copper, it will not specifically limit.
  • the definition of the particulate form is the same as the copper oxide particles (A) described above.
  • the “copper” in the present invention is a compound that does not substantially contain copper oxide. Although it does not contain copper oxide substantially, it means that content of copper oxide is 1 mass% or less with respect to a copper particle. The content of copper oxide with respect to the copper particles is measured by XRD.
  • the average particle diameter of the copper particles (B) is not particularly limited, but is 30 to 3000 nm because the adhesion between the base material and the conductive film becomes better and the conductivity of the conductive film becomes better. It is preferably 50 to 500 nm, more preferably 50 to 250 nm, still more preferably 100 to 250 nm, and particularly preferably 100 to 200 nm.
  • the definition of an average particle diameter is the same as the copper oxide particle (A) mentioned above.
  • the copper particles (B) are polymer-coated copper particles (copper particles coated with a polymer) because the adhesion between the base material and the conductive film becomes better and the conductivity of the conductive film becomes better. It is preferable.
  • the polymer-coated copper particles may be those in which some of the copper particles are covered with a polymer, or the whole copper particles may be covered with a polymer, and the entire copper particles are preferably covered with a polymer.
  • the polymer is preferably polyvinyl pyrrolidone, polyvinyl alcohol, polyethylene glycol, gelatin, collagen or polyacrylic acid, and more preferably gelatin (particularly an enzyme decomposed).
  • the weight average molecular weight of gelatin is preferably 10,000 or less.
  • the weight average molecular weight is a polystyrene equivalent value obtained by the GPC method (solvent: N-methylpyrrolidone).
  • the content of the copper particles (B) with respect to the total amount of the composition for forming a conductive film is preferably 3 to 30% by mass and more preferably 7 to 23% by mass because the adhesion between the substrate and the conductive film becomes better. %, More preferably 10 to 20% by mass.
  • the ratio (B / A) of the content of the copper particles (B) to the content of the copper oxide particles (A) is 10 to 50% by mass.
  • the B / A is preferably 15 to 40% by mass, more preferably 20 to 30% by mass, because the adhesion between the base material and the conductive film becomes better and the conductivity of the conductive film becomes better. % Is more preferable.
  • Organic polymer (C) acts as a binder for the copper oxide particles (A) and the copper particles (B) and imparts toughness to the conductive film.
  • examples of the organic polymer (C) contained in the conductive film forming composition include acrylic polymers (for example, (meth) acrylic acid ester, (meth) acrylic acid, (meth) acrylamide, (meth) acrylonitrile, etc.). (Polymer or copolymer of acrylic monomer), polyvinyl pyrrolidone, polyvinyl alcohol, polyvinyl acetal, polyethylene glycol, polyester, polyamide, polyimide, polyurethane and the like.
  • polyvinyl pyrrolidone polyvinyl alcohol, or polyethylene glycol is preferable because the adhesion between the base material and the conductive film is improved and the toughness of the conductive film is further improved, and polyvinyl pyrrolidone is preferable. Is more preferable.
  • the weight average molecular weight of the organic polymer (C) is not particularly limited, but the adhesion between the base material and the conductive film becomes better, and the conductivity of the conductive film becomes better. It is preferably 1,000,000, more preferably 100,000 to 300,000.
  • the weight average molecular weight is a polystyrene equivalent value obtained by the GPC method (solvent: N-methylpyrrolidone).
  • the content of the organic polymer (C) with respect to the total amount of the composition for forming a conductive film is preferably 1 to 30% by mass because the adhesion between the substrate and the conductive film becomes better. % Is more preferable.
  • the ratio (C / A) of the content of the organic polymer (C) to the content of the copper oxide particles (A) is better in the adhesion between the substrate and the conductive film.
  • it is preferably 5 to 50% by mass, more preferably 10 to 30% by mass, because the conductivity of the conductive film is improved.
  • the composition for electrically conductive film formation of this invention contains a solvent (D) from a printable viewpoint.
  • the solvent (D) functions as a dispersion medium for the copper oxide particles (A) and the copper particles (B).
  • Organic solvents such as water, alcohols (especially water-soluble alcohol), ethers, esters, etc. can be used.
  • water or water-soluble alcohol as a main solvent.
  • the main solvent is a solvent having the highest content ratio among the solvents.
  • the water-soluble alcohol include 1 to 3 valent aliphatic alcohols (eg, glycerin).
  • the content of the solvent (D) is not particularly limited, but is preferably 5 to 50% by mass, and 8 to 40% by mass with respect to the total mass of the composition from the viewpoint of suppressing an increase in viscosity and being excellent in handleability. % Is more preferable.
  • the composition for forming a conductive film of the present invention may contain components other than the above components.
  • the conductive film forming composition of the present invention may contain a surfactant.
  • the type of the surfactant is not particularly limited, and examples thereof include an anionic surfactant, a cationic surfactant, a nonionic surfactant, a fluorine surfactant, and an amphoteric surfactant. These surfactants can be used alone or in combination of two or more.
  • the viscosity of the composition for forming a conductive film of the present invention is preferably adjusted to a viscosity suitable for printing applications such as inkjet and screen printing.
  • the pressure is preferably 1 to 50 cP, and more preferably 1 to 40 cP.
  • screen printing it is preferably 1000 to 100,000 cP, and more preferably 10,000 to 80,000 cP.
  • composition for electrically conductive film formation of this invention is not specifically limited, A well-known method is employable.
  • an ultrasonic method for example, treatment with an ultrasonic homogenizer
  • a mixer method A composition can be obtained by dispersing the components by a known means such as a three-roll method or a ball mill method.
  • Step (1) is a step of forming a coating film by applying the above-described composition for forming a conductive film on a thermoplastic resin substrate.
  • the method for applying the conductive film forming composition onto the thermoplastic resin substrate is not particularly limited, and a known method can be employed.
  • coating methods such as a screen printing method, a dip coating method, a spray coating method, a spin coating method, and an ink jet method can be used.
  • the screen printing method and the ink jet method are preferable because they are simple and easy to produce a large conductive film.
  • the shape of application is not particularly limited, and may be a surface covering the entire surface of the substrate or a pattern (for example, a wiring or a dot).
  • the coating amount of the composition for forming a conductive film on the substrate may be appropriately adjusted according to the desired film thickness of the conductive film.
  • the film thickness of the coating film is preferably 0.01 to 5000 ⁇ m, 0.1 to 1000 ⁇ m is more preferable.
  • the adhesion between the base material and the conductive film becomes better, and the conductivity of the conductive film becomes better. It is preferable to further include a drying step of drying the coating film formed in (1). By the drying step, the solvent remaining in the coating film is removed, and the generation of minute cracks and voids due to the vaporization and expansion of the solvent can be reduced in the reduction step described later.
  • a drying method a hot air dryer or the like can be used.
  • the drying temperature is preferably a temperature at which the reduction of the oxide particles (A) does not occur.
  • the drying temperature is preferably 40 to 200 ° C., more preferably 45 to 150 ° C., More preferably, it is 50 to 120 ° C.
  • the drying time is not particularly limited, but it is preferably 1 to 60 minutes because the adhesion between the substrate and the conductive film becomes better and the conductivity of the conductive film becomes better.
  • Step (2) Reduction step
  • the coating film formed in step (1) (or the coating film after drying when the drying step is provided) is subjected to pulsed light irradiation treatment to reduce the copper oxide particles (A), This is a step of forming a conductive film containing copper.
  • the pulsed light irradiation process is a process of irradiating the coating film with pulsed light for a short time, and since the base material is not heated too much, a thermoplastic resin base material can be used as the base material.
  • reduction sintering proceeds on the surface layer of the coating film, and energy absorbed by the surface layer is below the surface layer using the copper particles (B) in the coating film as a medium.
  • the reduction sintering proceeds in the entire coating film. More specifically, the copper particles produced by the reduction of the copper oxide particles (A) and the copper particles (B) are fused together to form grains, and the grains are bonded and fused together to form copper. A conductive film containing is formed.
  • the light source used in the pulsed light irradiation process is not particularly limited, and examples thereof include a mercury lamp, a metal halide lamp, a xenon (Xe) lamp, a chemical lamp, and a carbon arc lamp.
  • Examples of radiation include electron beams, X-rays, ion beams, and far infrared rays.
  • g-line, i-line, deep-UV light, and high-density energy beam (laser beam) are used.
  • the pulsed light irradiation process is preferably a pulsed light irradiation process using a flash lamp, and more preferably a pulsed light irradiation process using a Xe flash lamp.
  • Irradiation energy of the pulse light is preferably 1 ⁇ 100J / cm 2, more preferably 1 ⁇ 50J / cm 2, further preferably 1 ⁇ 30J / cm 2.
  • the pulse width of the pulsed light is preferably 1 ⁇ sec to 100 msec, and more preferably 10 ⁇ sec to 10 msec.
  • the irradiation time of the pulsed light is preferably 1 ⁇ sec to 1000 msec, more preferably 1 msec to 500 msec, and further preferably 1 msec to 200 msec.
  • the atmosphere for performing the pulsed light irradiation treatment is not particularly limited, and examples thereof include an air atmosphere, an inert atmosphere, and a reducing atmosphere.
  • the inert atmosphere is, for example, an atmosphere filled with an inert gas such as argon, helium, neon, or nitrogen.
  • the reducing atmosphere is a reduction of hydrogen, carbon monoxide, formic acid, alcohol, or the like. It refers to the atmosphere in which sex gas exists.
  • a conductive film containing copper is obtained.
  • the film thickness of the conductive film is not particularly limited, and an optimum film thickness is appropriately adjusted according to the intended use. Of these, 0.01 to 1000 ⁇ m is preferable and 0.1 to 100 ⁇ m is more preferable from the viewpoint of printed wiring board use.
  • the conductive film may be provided on the entire surface of the base material or in a pattern.
  • the patterned conductive film is useful as a conductor wiring (wiring) such as a printed wiring board.
  • the conductive film forming composition is applied to a substrate in a pattern and the pulsed light irradiation treatment is performed, or the conductive film provided on the entire surface of the substrate is patterned. And a method of etching into a shape.
  • the etching method is not particularly limited, and a known subtractive method, semi-additive method, or the like can be employed.
  • an insulating layer (insulating resin layer, interlayer insulating film, solder resist) is further laminated on the surface of the patterned conductive film, and further wiring (metal) is formed on the surface. Pattern) may be formed.
  • the material of the insulating film is not particularly limited.
  • epoxy resin epoxy resin, aramid resin, crystalline polyolefin resin, amorphous polyolefin resin, fluorine-containing resin (polytetrafluoroethylene, perfluorinated polyimide, perfluorinated amorphous resin, etc.) , Polyimide resin, polyether sulfone resin, polyphenylene sulfide resin, polyether ether ketone resin, liquid crystal resin and the like.
  • an epoxy resin a polyimide resin, or a liquid crystal resin, and more preferably an epoxy resin.
  • Specific examples include ABF GX-13 manufactured by Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd.
  • solder resist which is a kind of insulating layer material used for wiring protection, is described in detail in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-204150 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-222993. These materials can also be applied to the present invention if desired.
  • solder resist commercially available products may be used. Specific examples include PFR800 manufactured by Taiyo Ink Manufacturing Co., Ltd., PSR4000 (trade name), SR7200G manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., and the like.
  • the base material (base material with a conductive film) having the conductive film obtained above can be used for various applications.
  • a printed wiring board, TFT, FPC, RFID, etc. are mentioned.
  • composition 1 Copper oxide particles (CI Kasei Co., Ltd., NanoTek CuO, average particle size 50 nm) (50 parts by mass) and copper particles (Ishihara Sangyo Co., Ltd., MD-200, gelatin polymer-coated copper particles, average particle size 200 nm) (5 masses) Part), polyvinylpyrrolidone (weight average molecular weight 220,000) (10 parts by mass), water (20 parts by mass) and glycerin (15 parts by mass) as an organic polymer, and a revolving mixer (made by THINKY). , Awatori Netaro ARE-310) for 5 minutes to obtain a composition for forming a conductive film.
  • composition 1 Copper oxide particles (CI Kasei Co., Ltd., NanoTek CuO, average particle size 50 nm) (50 parts by mass) and copper particles (Ishihara Sangyo Co., Ltd., MD-200, gelatin polymer-coated copper particles, average particle size 200 nm) (5 masses) Part), polyvin
  • composition 2 Copper oxide particles (Cai Kasei Co., Ltd., NanoTek CuO, average particle size 50 nm) (50 parts by mass) and copper particles (Ishihara Sangyo Co., Ltd., MD-200, gelatin polymer-coated copper particles, average particle size 200 nm) (10 masses) Part), polyvinylpyrrolidone (weight average molecular weight 220,000) (10 parts by mass), water (15 parts by mass), and glycerin (15 parts by mass) as an organic polymer, and a revolving mixer (made by THINKY). , Awatori Netaro ARE-310) for 5 minutes to obtain a composition for forming a conductive film.
  • composition 2 Copper oxide particles (Cai Kasei Co., Ltd., NanoTek CuO, average particle size 50 nm) (50 parts by mass) and copper particles (Ishihara Sangyo Co., Ltd., MD-200, gelatin polymer-coated copper particles, average particle size 200 nm) (10 masses)
  • composition 3 (Preparation of composition 3) Instead of copper oxide particles (Ci Kasei Co., Ltd., NanoTek CuO, average particle size 50 nm) (50 parts by mass), copper oxide particles (CiA Kasei Co., Ltd., NanoTek CuO, average particle size 50 nm) (40 parts by mass) are mixed.
  • composition 3 In place of copper particles (Ishihara Sangyo Co., Ltd., MD-200, gelatin polymer-coated copper particles, average particle size 200 nm) (5 parts by mass), copper particles (Ishihara Sangyo Co., Ltd., MD-200, gelatin polymer-coated copper) Particles and an average particle diameter of 200 nm) (20 parts by mass) were mixed, and instead of water (20 parts by mass), water (15 parts by mass) was mixed, followed by the same procedure as for composition 1 for forming a conductive film A composition was obtained. The obtained composition for forming a conductive film is referred to as “composition 3”.
  • composition 4 (Preparation of composition 4) Instead of copper oxide particles (Ci Kasei Co., Ltd., NanoTek CuO, average particle size 50 nm) (50 parts by mass), copper oxide particles (CiA Kasei Co., Ltd., NanoTek CuO, average particle size 50 nm) (40 parts by mass) are mixed.
  • composition 4 In place of copper particles (Ishihara Sangyo Co., Ltd., MD-200, gelatin polymer-coated copper particles, average particle size 200 nm) (5 parts by mass), copper particles (Ishihara Sangyo Co., Ltd., MD-200, gelatin polymer-coated copper) Particles, average particle diameter 200 nm) (10 parts by mass), and instead of water (20 parts by mass), water (25 parts by mass) was mixed for the formation of a conductive film according to the same procedure as for composition 1. A composition was obtained. The obtained composition for forming a conductive film is referred to as “composition 4”.
  • composition 5 (Preparation of composition 5) Instead of copper particles (Ishihara Sangyo Co., Ltd., MD-200, gelatin polymer-coated copper particles, average particle size 200 nm) (10 parts by mass), copper particles (Mitsui Metals Co., Ltd., average particle size 370 nm) (10 parts by mass)
  • composition 5 The composition for electrically conductive film formation was obtained according to the procedure similar to the composition 2 except having mixed.
  • composition for forming a conductive film is referred to as “composition 5”.
  • composition 6 (Preparation of composition 6) Instead of copper particles (Ishihara Sangyo Co., Ltd., MD-200, gelatin polymer-coated copper particles, average particle size 200 nm) (10 parts by mass), copper particles (Ishihara Sangyo Co., Ltd., MD-50, gelatin polymer-coated copper particles, A composition for forming a conductive film was obtained according to the same procedure as that of the composition 2, except that the average particle size was 50 nm) (10 parts by mass). The obtained composition for forming a conductive film is referred to as “composition 6”.
  • composition 7 A conductive film according to the same procedure as that of Composition 2 except that polyvinylpyrrolidone (weight average molecular weight 40,000) (10 parts by mass) was mixed instead of polyvinylpyrrolidone (weight average molecular weight 220,000) (10 parts by mass). A forming composition was obtained. The obtained composition for forming a conductive film is referred to as “composition 7”.
  • composition 8 (Preparation of composition 8) Instead of copper oxide particles (CI Kasei Co., Ltd., NanoTek CuO, average particle size 50 nm) (50 parts by mass), copper oxide particles (Cii Kasei Co., Ltd., NanoTek CuO, average particle size 50 nm) (44 parts by mass) are mixed.
  • composition 8 instead of copper particles (Ishihara Sangyo Co., Ltd., MD-200, gelatin polymer-coated copper particles, average particle size 200 nm) (10 parts by mass) (10 parts by mass), copper particles (Ishihara Sangyo Co., Ltd., MD-200, gelatin polymer-coated copper) Particles and an average particle diameter of 200 nm) (22 parts by mass) were mixed, and instead of water (15 parts by mass), water (9 parts by mass) was mixed, followed by the same procedure as for composition 2 for forming a conductive film A composition was obtained.
  • composition 8 The obtained composition for forming a conductive film is referred to as “composition 8”.
  • composition 9 (Preparation of composition 9) Instead of polyvinylpyrrolidone (weight average molecular weight 220,000) (10 parts by mass), polyvinylpyrrolidone (weight average molecular weight 220,000) (4 parts by mass) is mixed, and water (15 parts by mass) is replaced with water (15 parts by mass).
  • the composition for electrically conductive film formation was obtained in the same procedure as the composition 2 except having mixed 21 mass parts).
  • composition 9 The obtained composition for forming a conductive film is referred to as “composition 9”.
  • composition 10 (Preparation of composition 10) Instead of polyvinylpyrrolidone (weight average molecular weight 220,000) (10 parts by mass), polyvinylpyrrolidone (weight average molecular weight 220,000) (17 parts by mass) is mixed, and water (15 parts by mass) is replaced with water (15 parts by mass). Except for mixing 8 parts by mass, a composition for forming a conductive film was obtained according to the same procedure as for composition 2. The obtained composition for forming a conductive film is referred to as “composition 10”.
  • composition 11 A conductive film according to the same procedure as that of Composition 2 except that polyvinylpyrrolidone (weight average molecular weight 360,000) (10 parts by mass) was mixed instead of polyvinylpyrrolidone (weight average molecular weight 220,000) (10 parts by mass). A forming composition was obtained. The obtained composition for forming a conductive film is referred to as “composition 11”.
  • composition 12 (Preparation of composition 12) Instead of copper particles (Ishihara Sangyo Co., Ltd., MD-200, gelatin polymer-coated copper particles, average particle size 200 nm) (10 parts by mass), copper particles (Fukuda Metal Foil Co., Ltd., Cu-HWQ, average particle size) 3000 nm) (10 parts by mass) was mixed according to the same procedure as the composition 2 to obtain a conductive film forming composition. The obtained composition for forming a conductive film is referred to as “composition 12”.
  • composition 13 instead of copper particles (Ishihara Sangyo Co., Ltd., MD-200, gelatin polymer-coated copper particles, average particle size 200 nm) (10 parts by mass), copper particles (Ishihara Sangyo Co., Ltd., MD-200, gelatin polymer-coated copper particles, A composition for forming a conductive film according to the same procedure as that of the composition 2 except that water (17 parts by mass) was mixed instead of water (15 parts by mass). Got. The obtained composition for forming a conductive film is referred to as “composition 13”.
  • Comparative Composition 1 The composition for electrically conductive film formation was obtained according to the procedure similar to the composition 2 except not mixing copper particle
  • Comparative Composition 2 (Preparation of Comparative Composition 2) Instead of copper particles (Ishihara Sangyo Co., Ltd., MD-200, gelatin polymer-coated copper particles, average particle size 200 nm) (10 parts by mass), copper particles (Ishihara Sangyo Co., Ltd., MD-200, gelatin polymer-coated copper particles, A composition for forming a conductive film according to the same procedure as that of the composition 2 except that water (24 parts by mass) was mixed instead of water (15 parts by mass). Got. The obtained composition for forming a conductive film is referred to as Comparative composition 2.
  • Comparative Composition 3 instead of copper oxide particles (Ci Kasei Co., Ltd., NanoTek CuO, average particle size 50 nm) (50 parts by mass), copper oxide particles (CiA Kasei Co., Ltd., NanoTek CuO, average particle size 50 nm) (40 parts by mass) are mixed.
  • composition 3 instead of copper particles (Ishihara Sangyo Co., Ltd., MD-200, gelatin polymer-coated copper particles, average particle size 200 nm) (10 parts by mass) (10 parts by mass), copper particles (Ishihara Sangyo Co., Ltd., MD-200, gelatin polymer-coated copper) Particles, average particle diameter 200 nm)) (25 parts by mass), and instead of water (15 parts by mass), water (10 parts by mass) was mixed, followed by the same procedure as for composition 2 to form a conductive film A composition was obtained. The obtained composition for forming a conductive film is referred to as “comparative composition 3”.
  • Comparative Composition 4 Preparation of Comparative Composition 4 Instead of copper oxide particles (Ci Kasei Co., Ltd., NanoTek CuO, average particle diameter 50 nm) (50 parts by mass), copper oxide particles (CiA Kasei Co., Ltd., NanoTek CuO, average particle diameter 50 nm) (10 parts by mass) are mixed.
  • composition 4 instead of copper particles (Ishihara Sangyo Co., Ltd., MD-200, gelatin polymer-coated copper particles, average particle size 200 nm) (10 parts by mass) (10 parts by mass), copper particles (Ishihara Sangyo Co., Ltd., MD-200, gelatin polymer-coated copper) A composition for forming a conductive film was obtained according to the same procedure as that of the composition 2 except that particles and an average particle diameter of 200 nm) (50 parts by mass) were mixed. The obtained composition for forming a conductive film is referred to as “comparative composition 4”.
  • Comparative Composition 5 (Preparation of Comparative Composition 5) Instead of copper particles (Ishihara Sangyo Co., Ltd., MD-200, gelatin polymer-coated copper particles, average particle size 200 nm) (10 parts by mass), copper particles (Ishihara Sangyo Co., Ltd., MD-200, gelatin polymer-coated copper particles, A conductive film was prepared according to the same procedure as that of Composition 2, except that the average particle size was 200 nm) (4.5 parts by mass) and water (20.5 parts by mass) was mixed instead of water (15 parts by mass). A forming composition was obtained. The obtained composition for forming a conductive film is referred to as Comparative Composition 5.
  • pulsed light irradiation treatment Xenon's photosintering apparatus Sinteron 2000, irradiation energy: 5 J / m 2 , pulse width: 2 msec
  • Example 2 A conductive film was obtained according to the same procedure as in Example 1 except that the composition 2 was used instead of the composition 1.
  • Example 3 A conductive film was obtained according to the same procedure as in Example 1 except that the composition 3 was used instead of the composition 1.
  • Example 4 A conductive film was obtained according to the same procedure as in Example 1 except that the composition 4 was used instead of the composition 1.
  • Example 5 A conductive film was obtained according to the same procedure as in Example 1 except that the composition 5 was used instead of the composition 1.
  • Example 6> A conductive film was obtained according to the same procedure as in Example 1 except that the composition 6 was used instead of the composition 1.
  • Example 7 A conductive film was obtained according to the same procedure as in Example 1 except that the composition 7 was used instead of the composition 1.
  • Example 8 Conducting in accordance with the same procedure as in Example 1 except that a polycarbonate (PC) substrate (manufactured by Teijin Chemicals Ltd., Panlite PC-2151, thickness: 125 ⁇ m, Tg: 150 ° C.) was used instead of the PET substrate. A membrane was obtained.
  • PC polycarbonate
  • Example 9 A conductive film was obtained according to the same procedure as in Example 1 except that a PEN substrate (manufactured by Teijin Ltd., Teonex Q51, thickness: 125 ⁇ m, Tg: 155 ° C.) was used instead of the PET substrate.
  • a PEN substrate manufactured by Teijin Ltd., Teonex Q51, thickness: 125 ⁇ m, Tg: 155 ° C.
  • Example 10 A conductive film was obtained according to the same procedure as in Example 1 except that a polyimide (PI) substrate (manufactured by Toray DuPont, Kapton 500H, thickness: 125 ⁇ m, Tg: over 300 ° C.) was used instead of the PET substrate. It was.
  • PI polyimide
  • Example 11 A conductive film was obtained according to the same procedure as in Example 1 except that the composition 8 was used instead of the composition 1.
  • Example 12 A conductive film was obtained according to the same procedure as in Example 1 except that the composition 9 was used instead of the composition 1.
  • Example 13> A conductive film was obtained according to the same procedure as in Example 1 except that the composition 10 was used instead of the composition 1.
  • Example 14 A conductive film was obtained according to the same procedure as in Example 1 except that the composition 11 was used instead of the composition 1.
  • Example 15 A conductive film was obtained according to the same procedure as in Example 1 except that the composition 12 was used instead of the composition 1.
  • Example 16> A conductive film was obtained according to the same procedure as in Example 1 except that the composition 13 was used instead of the composition 1.
  • Example 5 A conductive film was obtained according to the same procedure as in Example 1 except that a glass substrate (manufactured by Matsunami Glass Industrial Co., Ltd., slide glass S1214, thickness: 1300 ⁇ m) was used instead of the PET substrate.
  • a glass substrate manufactured by Matsunami Glass Industrial Co., Ltd., slide glass S1214, thickness: 1300 ⁇ m
  • a cellophane tape (width 24 mm) manufactured by Nichiban Co., Ltd. was adhered to the obtained conductive film and then peeled off. The appearance of the conductive film after peeling was visually observed to evaluate the adhesion.
  • the evaluation criteria are as follows. Practically, it is preferably A to C, more preferably A or B, and even more preferably A.
  • B Adhesion of the conductive film is slightly observed on the tape, but peeling at the interface between the conductive film and the substrate is not observed.
  • volume resistivity is less than 50 ⁇ ⁇ cm
  • B Volume resistivity is 50 ⁇ ⁇ cm or more and less than 100 ⁇ ⁇ cm
  • C Volume resistivity is 100 ⁇ ⁇ cm or more
  • content represents content (mass%) of each component with respect to the composition for electrically conductive film formation.
  • the conductive film obtained by the method of Comparative Example 1 containing no copper particles (B), and the ratio of the content of copper particles (B) to the content of copper oxide particles (A) The conductive films obtained by the methods of Comparative Examples 2 and 6 in which (B / A) was less than 10% by mass had insufficient adhesion to the substrate. Moreover, also about the electrically conductive film obtained by the method of the comparative example 3 in which B / A exceeds 50 mass%, adhesiveness with a base material was inadequate. In Comparative Example 4 in which the content of the copper particles (B) was significantly higher than the content of the copper oxide particles (A), the composition was scattered as described above, and no conductive film was obtained. Moreover, although B / A is in the predetermined range, the conductive film obtained by the method of Comparative Example 5 using a glass base material instead of a thermoplastic resin base material as a base material also has adhesion to the base material. Was insufficient.
  • the conductive film obtained by the method of the present Example using a thermoplastic resin base material as a base material and using the conductive film forming composition having a B / A within a predetermined range is The adhesion of was good.
  • the conductive film obtained by the method of Example 1 in which the content of copper particles is less than 7% by mass with respect to the total amount of the composition for forming a conductive film, and The content of copper particles relative to the total amount of the composition for forming a conductive film is 7 to more than that of the conductive film obtained by the method of Example 11 in which the content of copper particles relative to the total amount of the composition for forming a conductive film is more than 20% by mass.
  • the conductive films obtained by the methods of Examples 2 to 4 and 16 of 20% by mass had better adhesion to the substrate. Further, as can be seen from the comparison between Examples 1 to 4, 11 to 13, and 16, the ratio (C / A) of the content of the organic polymer (C) to the content of the copper oxide particles (A) is less than 10% by mass. The C / A is 10 to 30% by mass in comparison with the conductive film obtained by the method of Example 12 and the conductive film obtained by the method of Example 13 in which C / A is more than 30% by mass. The conductive films obtained by the methods of Examples 1 to 4, 13, and 16 had better conductivity.
  • the organic polymer (C) is more organic than the conductive film obtained by the method of Example 7 in which the weight average molecular weight of the organic polymer (C) is less than 100,000.
  • the conductive film obtained by the methods of Examples 2 and 14 having a weight average molecular weight of 100,000 or more had better adhesion to the substrate.
  • the copper particles (B) are more conductive than the conductive film obtained by the method of Example 15 in which the average particle diameter of the copper particles (B) is more than 500 nm.
  • the conductive films obtained by the methods of Examples 2, 5 and 6 having an average particle diameter of 500 nm or less had better adhesion to the substrate.
  • the conductive film obtained by the method had better conductivity.
  • Example 2 whose average particle diameter of a copper particle (B) is 100 nm or more rather than the electrically conductive film obtained by the method of Example 6 whose average particle diameter of a copper particle (B) is less than 100 nm.
  • the resulting conductive film had better adhesion to the substrate.

Landscapes

  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Conductive Materials (AREA)
  • Manufacturing Of Electric Cables (AREA)
  • Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Abstract

 本発明は、パルス光照射により熱可塑性樹脂基材との密着性が良好な導電膜が得られる、導電膜の製造方法を提供することを課題とする。本発明の導電膜の製造方法は、熱可塑性樹脂基材上に、酸化銅粒子(A)と銅粒子(B)と有機ポリマー(C)とを含有し、上記酸化銅粒子(A)の含有量に対する上記銅粒子(B)の含有量の割合(B/A)が10~50質量%である、導電膜形成用組成物を付与して、塗膜を形成する塗膜形成工程と、上記塗膜に対してパルス光照射処理を行い、上記酸化銅粒子(A)を還元して、銅を含有する導電膜を形成する還元工程とを備える。

Description

導電膜の製造方法および導電膜形成用組成物
 本発明は、導電膜の製造方法および導電膜形成用組成物に関する。
 金属粒子または金属酸化物粒子の分散体を印刷法により基材に塗布し、加熱処理により焼結させることによって配線等の導電膜を形成する方法が知られている。
 上記方法は、従来の高熱・真空プロセス(スパッタ)やめっき処理による導電膜形成方法に比べて、簡便・省エネ・省資源であることから次世代エレクトロニクス開発において大きな期待を集めている。なかでも、近年、低コスト化の観点から、金属酸化物粒子を含む組成物を用いて、これを加熱処理により還元させるとともに焼結させることで導電膜を形成する方法が注目されている。
 一方、上記のように加熱処理により焼結する場合、基材は高温に曝される。そのため、基材にポリエチレンテレフタレート(PET)などの熱可塑性樹脂基材を使用すると基材が溶融してしまい、均一な導電膜が得ることが難しいという問題がある。
 このようななか、特許文献1には、焼結にパルス光を使用することで、PET基材などの熱可塑性樹脂基材を加熱し過ぎることなく、基材上の酸化銅インクを焼結して金属銅フィルムを形成する方法が開示されている(0013段落、実施例1など)。
特表2010-528428号公報
 しかしながら、本発明者が、特許文献1を参考に、PET基材などの熱可塑性樹脂基材上に酸化銅粒子を含有する組成物を付与して塗膜を形成し、形成した塗膜にパルス光を照射して導電膜を形成したところ、基材と導電膜との間の密着性が不十分であることが明らかになった。このように基材と導電膜との間の密着性が不十分であると、配線等を形成したときに断線やショートなどの不具合が生じやすくなるため問題である。
 そこで、本発明は、パルス光照射により熱可塑性樹脂基材との密着性が良好な導電膜が得られる、導電膜の製造方法を提供することを課題とする。
 本発明者は、上記課題を解決するため鋭意検討した結果、酸化銅粒子に対して所定量の銅粒子を含有する導電膜形成用組成物を使用することで、熱可塑性樹脂基材と導電膜との密着性が向上することを見出し、本発明を完成させた。すなわち、本発明者らは、以下の構成により上記課題が解決できることを見出した。
(1) 熱可塑性樹脂基材上に、酸化銅粒子(A)と銅粒子(B)と有機ポリマー(C)とを含有し、上記酸化銅粒子(A)の含有量に対する上記銅粒子(B)の含有量の割合(B/A)が10~50質量%である、導電膜形成用組成物を付与して、塗膜を形成する塗膜形成工程と、
 上記塗膜に対してパルス光照射処理を行い、上記酸化銅粒子(A)を還元して、銅を含有する導電膜を形成する還元工程とを備える、導電膜の製造方法。
(2) 上記B/Aが、15~40質量%である、上記(1)に記載の導電膜の製造方法。
(3) 上記導電膜形成用組成物全量に対する銅粒子(B)の含有量が、10~20質量%である、上記(1)または(2)に記載の導電膜の製造方法。
(4) 上記導電膜形成用組成物全量に対する酸化銅粒子(A)の含有量が、40~60質量%である、上記(1)~(3)のいずれかに記載の導電膜の製造方法。
(5) 上記酸化銅粒子(A)の含有量に対する上記有機ポリマー(C)の含有量の割合(C/A)が、10~30質量%である、上記(1)~(4)のいずれかに記載の導電膜の製造方法。
(6) 上記銅粒子(B)の平均粒子径が50~500nmである、上記(1)~(5)のいずれかに記載の導電膜の製造方法。
(7) 上記有機ポリマー(C)の重量平均分子量が100,000以上である、上記(1)~(6)のいずれかに記載の導電膜の製造方法。
(8) 上記熱可塑性樹脂基材を構成する熱可塑性樹脂のガラス転移温度が160℃以下である、上記(1)~(7)のいずれかに記載の導電膜の製造方法。
(9) 上記有機ポリマー(C)が、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコールおよびポリエチレングリコールからなる群より選択される少なくとも1種のポリマーである、上記(1)~(8)のいずれかに記載の導電膜の製造方法。
(10) 上記酸化銅粒子(A)が酸化銅(II)粒子である、上記(1)~(9)のいずれかに記載の導電膜の製造方法。
(11) 導電膜形成用組成物が、さらに主溶媒として水または水溶性アルコールを含有する、上記(1)~(10)のいずれかに記載の導電膜の製造方法。
(12) 上記熱可塑性樹脂基材がPET基材である、上記(1)~(11)のいずれかに記載の導電膜の製造方法。
(13) 上記銅粒子(B)が、ポリマー被覆銅粒子である、上記(1)~(12)のいずれかに記載の導電膜の製造方法。
(14) 上記還元工程の前に、上記塗膜を乾燥する、乾燥工程をさらに備える、上記(1)~(13)のいずれかに記載の導電膜の製造方法。
(15) 酸化銅粒子(A)と銅粒子(B)と有機ポリマー(C)とを含有し、上記酸化銅粒子(A)の含有量に対する上記銅粒子(B)の含有量の割合(B/A)が10~50質量%である、導電膜形成用組成物。
(16) 上記割合(B/A)が15~40質量%である、上記(15)に記載の導電膜形成用組成物。
 以下に示すように、本発明によれば、パルス光照射により熱可塑性樹脂基材との密着性が良好な導電膜が得られる、導電膜の製造方法を提供することができる。
 以下に、本発明の導電膜の製造方法について説明する。
 まず、本発明の従来技術と比較した特徴点について詳述する。
 本発明の導電膜の製造方法の特徴は、酸化銅粒子に対して所定量の銅粒子を含有する導電膜形成用組成物を使用する点にある。
 特許文献1に記載される方法のように酸化銅インクの塗膜にパルス光を照射した場合、塗膜の表層ではエネルギーが吸収されて酸化銅の還元および焼結(以下、還元焼結ともいう)が生じるが、酸化銅は熱伝導率が低いため、吸収されたエネルギーの大部分は表層に留まり、表層よりも下の領域では還元焼結が十分に進まない。結果として、得られる導電膜と基材との密着性は不十分となる。
 これに対し、本発明では、導電膜形成用組成物中に酸化銅粒子に加えて所定量の銅粒子を含有するため、塗膜にパルス光を照射した場合、塗膜の表層で吸収されたエネルギーが熱エネルギーとなり、熱伝導性の高い銅粒子を媒体として表層よりも下の領域に伝導し、塗膜全体で還元焼結が進んで導電膜が形成される。また、熱エネルギーは熱可塑性樹脂基材に達し、基材を軟化させるため、導電膜と基材とが融着される。結果、基材との密着性が良好な導電膜が得られる。
 一方、銅粒子の含有量が所定量よりも少ない場合(酸化銅粒子の含有量に対する銅粒子の含有量の割合が10質量%未満である場合)、塗膜の熱伝導性が不十分となり、塗膜全体での還元焼結が十分に進まない。また、基材に達する熱エネルギーが少ないために基材がほとんど軟化しない。結果として、得られる導電膜と基材との密着性は不十分となる。
 また、銅粒子の含有量が所定量よりも多くなると(酸化銅粒子の含有量に対する銅粒子の含有量の割合が50質量%超であると)、塗膜の熱伝導率が必要以上に高くなるため、過剰量の熱エネルギーが熱可塑性樹脂基材まで達して基材は溶融し、基材および導電膜が歪む。結果として、得られる導電膜と基材との密着性は不十分となる。
 本発明の導電膜の製造方法は、以下の2つの工程を備える。
(1)熱可塑性樹脂基材上に、酸化銅粒子(A)と銅粒子(B)と有機ポリマー(C)とを含有し、上記酸化銅粒子(A)の含有量に対する上記銅粒子(B)の含有量の割合(B/A)が10~50質量%である、導電膜形成用組成物を付与して、塗膜を形成する塗膜形成工程
(2)上記塗膜に対してパルス光照射処理を行い、上記酸化銅粒子(A)を還元して、銅を含有する導電膜を形成する還元工程
 また、本発明の導電膜の製造方法は、後述するとおり、基材と導電膜との密着性がより良好になり、また、導電膜の導電性が良好になる理由から、工程(2)の前に、上記塗膜を乾燥する、乾燥工程をさらに備えるのが好ましい。
 以下、各工程について詳述する。
[工程(1):塗膜形成工程]
 工程(1)は、熱可塑性樹脂基材上に、酸化銅粒子(A)と銅粒子(B)と有機ポリマー(C)とを含有し、上記酸化銅粒子(A)の含有量に対する上記銅粒子(B)の含有量の割合(B/A)が10~50質量%である、導電膜形成用組成物を付与して、塗膜を形成する工程である。
 まず、本工程で使用される材料(熱可塑性樹脂基材、導電膜形成用組成物)について詳述し、その後工程の手順について詳述する。
<熱可塑性樹脂基材>
 本発明では基材として熱可塑性樹脂基材を使用する。
 上述のとおり、本発明では基材として熱可塑性樹脂基材を使用するため、後述する工程(2)において、基材が軟化し、導電膜と融着して、密着性が向上する。
 本発明で使用される熱可塑性樹脂基材は、熱可塑性樹脂により構成される基材であれば特に限定されない。
 熱可塑性樹脂基材を構成する熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブチレンなどのポリオレフィン系樹脂;ポリメチルメタクリレートなどのメタクリル系樹脂;ポリスチレン、ABS、ASなどのポリスチレン系樹脂;ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリブチレンテレフタレート(PBT)、ポリトリメチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリ1,4-シクロヘキシルジメチレンテレフタレート(PCT)などのポリエステル系樹脂;ポリカプロアミド(ナイロン6)、ポリヘキサメチレンアジパミド(ナイロン66)、ポリヘキサメチレンセバカミド(ナイロン610)、ポリヘキサメチレンドデカミド(ナイロン612)、ポリドデカンアミド(ナイロン12)、ポリヘキサメチレンテレフタラミド(ナイロン6T)、ポリヘキサンメチレンイソフタラミド(ナイロン6I)、ポリカプロアミド/ポリヘキサメチレンテレフタルアミドコポリマー(ナイロン6/6T)、ポリヘキサメチレンアジパミド/ポリヘキサメチレンテレフタルアミドコポリマー(ナイロン66/6T)、ポリヘキサメチレンアジパミド/ポリヘキサメチレンイソフタルアミドコポリマー(ナイロン66/6I)などのナイロン樹脂およびナイロン共重合体樹脂から選ばれるポリアミド樹脂;ポリ塩化ビニル樹脂;ポリオキシメチレン(POM);ポリカーボネート(PC)樹脂;ポリフェニレンサルファイド(PPS)樹脂;変性ポリフェニレンエーテル(PPE)樹脂;ポリエーテルイミド(PEI)樹脂;ポリスルホン(PSF)樹脂;ポリエーテルスルホン(PES)樹脂;ポリケトン樹脂;ポリエーテルニトリル(PEN)樹脂;ポリエーテルケトン(PEK)樹脂;ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)樹脂;ポリエーテルケトンケトン(PEKK)樹脂;ポリイミド(PI)樹脂;ポリアミドイミド(PAI)樹脂;フッ素樹脂;これらの樹脂を変性させた変性樹脂またはこれらの樹脂の混合物などが挙げられる。
 なかでも、基材と導電膜との密着性がより良好になり、また、導電膜の導電性が良好になる理由から、ポリエステル系樹脂またはポリカーボネート樹脂であることが好ましく、ポリエステル系樹脂であることがより好ましく、PETまたはPEN(ポリエチレンナフタレート)であることがさらに好ましく、PETであることが特に好ましい。
 熱可塑性樹脂基材を構成する熱可塑性樹脂のガラス転移温度(Tg)は特に限定されないが、基材と導電膜との密着性がより良好になり、また、導電膜の導電性が良好になる理由から、160℃以下であることが好ましく、130℃以下であることがより好ましく、100℃以下であることがさらに好ましい。また、ガラス転移温度の下限も特に限定されないが、50℃以上であることが好ましい。
 ここでガラス転移温度とは、DSC(示差走査熱量測定)で測定されるガラス転移温度を言う。
 熱可塑性樹脂基材の厚さは、取扱易さの観点から、1~500μmであることが好ましく、10~150μmであることがより好ましい。
<導電膜形成用組成物>
 本発明で使用される導電膜形成用組成物(以下、本発明の導電膜形成用組成物ともいう)は、酸化銅粒子(A)と銅粒子(B)と有機ポリマー(C)とを含有し、上記酸化銅粒子(A)の含有量に対する上記銅粒子(B)の含有量の割合(B/A)が、10~50質量%である。
 また、本発明の導電膜形成用組成物は、印刷性の観点から、溶媒(D)を含有するのが好ましい。
 以下、導電膜形成用組成物の各成分(酸化銅粒子(A)、銅粒子(B)、有機ポリマー(C)、溶媒(D)など)について詳述する。
(酸化銅粒子(A))
 導電膜形成用組成物に含有される酸化銅粒子(A)は粒子状の酸化銅であれば特に限定されない。
 粒子状とは小さい粒状を指し、その具体例としては、球状、楕円体状などが挙げられる。完全な球や楕円体である必要は無く、一部が歪んでいても良い。
 本発明における「酸化銅」とは、酸化されていない銅を実質的に含まない化合物である。銅を実質的に含まないとは、限定的ではないが、銅の含有量が酸化銅粒子に対して1質量%以下であることをいう。酸化銅粒子に対する銅の含有量はXRDにより測定したものである。
 酸化銅粒子(A)は、酸化銅(I)粒子または酸化銅(II)粒子であることが好ましく、安価に入手可能であり、また、得られる導電膜の導電性が良好である理由から、酸化銅(II)粒子であることがより好ましい。
 酸化銅粒子(A)の平均粒子径は特に限定されないが、200nm以下が好ましく、100nm以下がより好ましい。下限も特に限定されないが、1nm以上が好ましい。
 平均粒子径が1nm以上であると、粒子表面の活性が高くなりすぎず、組成物中で溶解することがなく、取扱い性に優れるため好ましい。また、平均粒子径が200nm以下であると、組成物をインクジェット用インク組成物として用い、印刷法により配線等のパターン形成を行うことが容易となり、組成物を導体化する際に、金属銅への還元が十分となり、得られる導電膜の導電性が良好となるため好ましい。
 なお、本発明における平均粒子径は、平均一次粒径のことを指す。平均粒子径は、透過型電子顕微鏡(TEM)観察により、少なくとも50個以上の酸化銅粒子の粒子径(直径)を測定し、それらを算術平均して求める。なお、観察図中、酸化銅粒子の形状が真円状でない場合、長径を直径として測定する。
 酸化銅粒子としては、例えば、関東化学社製のCuOナノ粒子、シグマアルドリッチ社製のCuOナノ粒子などを好ましく使用することができる。
 導電膜形成用組成物全量に対する酸化銅粒子(A)の含有量は、基材と導電膜との密着性がより良好になり、また、導電膜の導電性が良好になる理由から、20~80質量%であることが好ましく、30~70質量%であることがより好ましく、40~60質量%であることがさらに好ましい。
(銅粒子(B))
 導電膜形成用組成物に含有される銅粒子(B)は粒子状の銅であれば特に限定されない。
 粒子状の定義は上述した酸化銅粒子(A)と同じである。
 本発明における「銅」とは、酸化銅を実質的に含まない化合物である。酸化銅を実質的に含まないとは、限定的ではないが、酸化銅の含有量が銅粒子に対して1質量%以下であることをいう。銅粒子に対する酸化銅の含有量はXRDにより測定したものである。
 銅粒子(B)の平均粒子径は特に限定されないが、基材と導電膜との密着性がより良好になり、また、導電膜の導電性が良好になる理由から、30~3000nmであることが好ましく、50~500nmであることがより好ましく、50~250nmであることがさらに好ましく、100~250nmであることがよりさらに好ましく、100~200nmであることが特に好ましい。
 平均粒子径の定義は上述した酸化銅粒子(A)と同じである。
 銅粒子(B)は、基材と導電膜との密着性がより良好になり、また、導電膜の導電性が良好になる理由から、ポリマー被覆銅粒子(ポリマーで被覆した銅粒子)であることが好ましい。ここでポリマー被覆銅粒子は、銅粒子の一部がポリマーで覆われたものでも、銅粒子全体がポリマーで覆われたものでもよく、銅粒子全体がポリマーで覆われたものであることが好ましい。
 上記ポリマーは、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、ポリエチレングリコール、ゼラチン、コラーゲンまたはポリアクリル酸であることが好ましく、ゼラチン(特に酵素で分解処理したもの)であることがより好ましい。ゼラチンの重量平均分子量は10000以下であることが好ましい。なお、上記重量平均分子量は、GPC法(溶媒:N-メチルピロリドン)により得られたポリスチレン換算値である。
 導電膜形成用組成物全量に対する銅粒子(B)の含有量は、基材と導電膜との密着性がより良好になる理由から、3~30質量%であることが好ましく、7~23質量%であることがより好ましく、10~20質量%であることがさらに好ましい。
 本発明の導電膜形成用組成物において、酸化銅粒子(A)の含有量に対する銅粒子(B)の含有量の割合(B/A)は、10~50質量%である。
 上述のとおり、本発明では、酸化銅粒子(A)に対して銅粒子(B)を所定量含有する導電膜形成用組成物を使用するため、基材との密着性が良好な導電膜が得られる。
 上記B/Aは、基材と導電膜との密着性がより良好になり、また、導電膜の導電性が良好になる理由から、15~40質量%であることが好ましく、20~30質量%であることがより好ましい。
(有機ポリマー(C))
 有機ポリマー(C)は酸化銅粒子(A)および銅粒子(B)のバインダーとして働き、導電膜に靭性を付与する。
 導電膜形成用組成物に含有される有機ポリマー(C)としては、例えば、アクリル系ポリマー(例えば、(メタ)アクリル酸エステル、(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリルアミド、(メタ)アクリロニトリルなどのアクリル系モノマーの重合体または共重合体)、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、ポリビニルアセタール、ポリエチレングリコール、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリウレタンなどを挙げることができる。なかでも、基材と導電膜との密着性がより良好になり、また、導電膜の靭性がより向上する理由から、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコールまたはポリエチレングリコールであることが好ましく、ポリビニルピロリドンであることがより好ましい。
 有機ポリマー(C)の重量平均分子量は特に限定されないが、基材と導電膜との密着性がより良好になり、また、導電膜の導電性が良好になる理由から、1,000~1,000,000であることが好ましく、100,000~300,000であることがより好ましい。
 なお、上記重量平均分子量は、GPC法(溶媒:N-メチルピロリドン)により得られたポリスチレン換算値である。
 導電膜形成用組成物全量に対する有機ポリマー(C)の含有量は、基材と導電膜との密着性がより良好になる理由から、1~30質量%であることが好ましく、5~15質量%であることがより好ましい。
 本発明の導電膜形成用組成物において、酸化銅粒子(A)の含有量に対する有機ポリマー(C)の含有量の割合(C/A)は、基材と導電膜との密着性がより良好になり、また、導電膜の導電性が良好になる理由から、5~50質量%であることが好ましく、10~30質量%であることがより好ましい。
(溶媒(D))
 本発明の導電膜形成用組成物は、印刷性の観点から、溶媒(D)を含有するのが好ましい。溶媒(D)は、酸化銅粒子(A)および銅粒子(B)の分散媒として機能する。
 溶媒(D)としては特に限定されないが、水やアルコール類(特に水溶性アルコール)、エーテル類、エステル類などの有機溶媒などを使用することができる。なかでも、水または水溶性アルコールを主溶媒として使用することが好ましい。ここで、主溶媒とは、溶媒の中で含有率が最も高い溶媒である。水溶性アルコールとしては、例えば、1~3価の脂肪族アルコール(例えばグリセリン)などが挙げられる。
 溶媒(D)の含有量は特に限定されないが、粘度の上昇が抑制され、取扱い性に優れる観点から、組成物全質量に対して、5~50質量%であることが好ましく、8~40質量%であることがより好ましい。
(その他成分)
 本発明の導電膜形成用組成物には、上記各成分以外の成分が含まれていてもよい。
 例えば、本発明の導電膜形成用組成物には、界面活性剤が含まれていてもよい。界面活性剤の種類は特に限定されず、アニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、両性界面活性剤などが挙げられる。これら界面活性剤は、1種を単独、または2種以上を混合して用いることができる。
(導電膜形成用組成物の粘度)
 本発明の導電膜形成用組成物の粘度は、インクジェット、スクリーン印刷等の印刷用途に適するような粘度に調整させることが好ましい。インクジェット吐出を行う場合、1~50cPであることが好ましく、1~40cPであることがより好ましい。スクリーン印刷を行う場合は、1000~100000cPであることが好ましく、10000~80000cPであることがより好ましい。
(導電膜形成用組成物の調製方法)
 本発明の導電膜形成用組成物の調製方法は特に限定されず、公知の方法を採用できる。例えば、上記溶媒(D)中に上記酸化銅粒子(A)、上記銅粒子(B)および上記有機ポリマー(C)を添加した後、超音波法(例えば、超音波ホモジナイザーによる処理)、ミキサー法、3本ロール法、ボールミル法などの公知の手段により成分を分散させるによって、組成物を得ることができる。
<工程(1)の手順>
 工程(1)は、熱可塑性樹脂基材上に、上述した導電膜形成用組成物を付与し、塗膜を形成する工程である。
 導電膜形成用組成物を熱可塑性樹脂基材上に付与する方法は特に限定されず、公知の方法を採用できる。例えば、スクリーン印刷法、ディップコーティング法、スプレー塗布法、スピンコーティング法、インクジェット法などの塗布法が挙げられる。なかでも、簡便であり、また、サイズの大きい導電膜を製造することが容易であることから、スクリーン印刷法、インクジェット法であることが好ましい。
 塗布の形状は特に限定されず、基材全面を覆う面状であっても、パターン状(例えば、配線状、ドット状)であってもよい。
 基材上への導電膜形成用組成物の塗布量としては、所望する導電膜の膜厚に応じて適宜調整すればよいが、通常、塗膜の膜厚は0.01~5000μmが好ましく、0.1~1000μmがより好ましい。
[乾燥工程]
 本発明の導電膜の製造方法は、基材と導電膜との密着性がより良好になり、また、導電膜の導電性が良好になる理由から、工程(2)の前に、工程(1)で形成された塗膜を乾燥する、乾燥工程をさらに備えるのが好ましい。
 上記乾燥工程により、塗膜中に残存する溶媒が除去され、後述する還元工程において、溶媒の気化膨張に起因する微小なクラックや空隙の発生を低減することができる。
 乾燥方法としては、温風乾燥機などを用いることができる。
 乾燥温度は、酸化物粒子(A)の還元が生じないような温度であることが好ましく、具体的には、40~200℃であることが好ましく、45~150℃であることがより好ましく、50~120℃であることがさらに好ましい。
 乾燥時間は特に限定されないが、基材と導電膜との密着性がより良好になり、また、導電膜の導電性が良好になる理由から、1~60分であることが好ましい。
[工程(2):還元工程]
 工程(2)は、工程(1)で形成された塗膜(乾燥工程を備える場合は乾燥後の塗膜)に対してパルス光照射処理を行い、酸化銅粒子(A)を還元して、銅を含有する導電膜を形成する工程である。
 パルス光照射処理は、塗膜に対してパスル光を短時間照射する処理であり、基材を加熱し過ぎることがないため、基材として熱可塑性樹脂基材を使用することができる。
 上述のとおり、塗膜にパルス光照射処理を行った場合、塗膜の表層で還元焼結が進むとともに、表層で吸収されたエネルギーが塗膜中の銅粒子(B)を媒体として表層より下の領域に伝導し、塗膜全体で還元焼結が進む。より具体的には、酸化銅粒子(A)の還元により生成する銅粒子、および、上記銅粒子(B)が互いに融着してグレインが形成され、さらにグレイン同士が接着・融着して銅を含有する導電膜が形成される。
 パルス光照射処理で使用される光源は特に限定されず、例えば、水銀灯、メタルハライドランプ、キセノン(Xe)ランプ、ケミカルランプ、カーボンアーク灯等がある。放射線としては、電子線、X線、イオンビーム、遠赤外線などがある。また、g線、i線、Deep-UV光、高密度エネルギービーム(レーザービーム)も使用される。
 パルス光照射処理は、フラッシュランプによるパルス光照射処理であることが好ましく、Xeフラッシュランプによるパルス光照射処理であることがより好ましい。
 パルス光の照射エネルギーは、1~100J/cm2であることが好ましく、1~50J/cm2であることがより好ましく、1~30J/cm2であることがさらに好ましい。パルス光のパルス幅は、1μ秒~100m秒であることが好ましく、10μ秒~10m秒であることがより好ましい。パルス光の照射時間は、1μ秒~1000m秒であることが好ましく、1m秒~500m秒であることがより好ましく、1m秒~200m秒であることがさらに好ましい。
 上記パルス光照射処理を実施する雰囲気は特に限定されず、大気雰囲気下、不活性雰囲気下、または還元性雰囲気下などが挙げられる。なお、不活性雰囲気とは、例えば、アルゴン、ヘリウム、ネオン、窒素等の不活性ガスで満たされた雰囲気であり、また、還元性雰囲気とは、水素、一酸化炭素、ギ酸、アルコール等の還元性ガスが存在する雰囲気を指す。
(導電膜)
 上記工程を実施することにより、銅を含有する導電膜が得られる。
 導電膜の膜厚は特に限定されず、使用される用途に応じて適宜最適な膜厚が調整される。なかでも、プリント配線基板用途の点からは、0.01~1000μmが好ましく、0.1~100μmがより好ましい。
 導電膜は基材の全面、または、パターン状に設けられてもよい。パターン状の導電膜は、プリント配線基板などの導体配線(配線)として有用である。
 パターン状の導電膜を得る方法としては、上記導電膜形成用組成物をパターン状に基材に付与して、上記パルス光照射処理を行う方法や、基材全面に設けられた導電膜をパターン状にエッチングする方法などが挙げられる。
 エッチングの方法は特に限定されず、公知のサブトラクティブ法、セミアディティブ法などを採用できる。
 パターン状の導電膜を多層配線基板として構成する場合、パターン状の導電膜の表面に、さらに絶縁層(絶縁樹脂層、層間絶縁膜、ソルダーレジスト)を積層して、その表面にさらなる配線(金属パターン)を形成してもよい。
 絶縁膜の材料は特に限定されないが、例えば、エポキシ樹脂、アラミド樹脂、結晶性ポリオレフィン樹脂、非晶性ポリオレフィン樹脂、フッ素含有樹脂(ポリテトラフルオロエチレン、全フッ素化ポリイミド、全フッ素化アモルファス樹脂など)、ポリイミド樹脂、ポリエーテルスルフォン樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、液晶樹脂など挙げられる。
 これらの中でも、密着性、寸法安定性、耐熱性、電気絶縁性等の観点から、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、または液晶樹脂を含有するものであることが好ましく、より好ましくはエポキシ樹脂である。具体的には、味の素ファインテクノ(株)製、ABF GX-13などが挙げられる。
 また、配線保護のために用いられる絶縁層の材料の一種であるソルダーレジストについては、例えば、特開平10-204150号公報や、特開2003-222993号公報等に詳細に記載され、ここに記載の材料を所望により本発明にも適用することができる。ソルダーレジストは市販品を用いてもよく、具体的には、例えば、太陽インキ製造(株)製PFR800、PSR4000(商品名)、日立化成工業(株)製 SR7200G、などが挙げられる。
 上記で得られた導電膜を有する基材(導電膜付き基材)は、種々の用途に使用することができる。例えば、プリント配線基板、TFT、FPC、RFIDなどが挙げられる。
 以下、実施例により、本発明について更に詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
(組成物1の調製)
 酸化銅粒子(シーアイ化成社製、NanoTek CuO、平均粒子径50nm)(50質量部)と、銅粒子(石原産業社製、MD-200、ゼラチンポリマー被覆銅粒子、平均粒子径200nm)(5質量部)と、有機ポリマーとしてポリビニルピロリドン(重量平均分子量220,000)(10質量部)と、水(20質量部)と、グリセリン(15質量部)とを混合し、自転公転ミキサー(THINKY社製、あわとり練太郎ARE-310)で5分間処理することで導電膜形成用組成物を得た。得られた導電膜形成用組成物を組成物1とする。
(組成物2の調製)
 酸化銅粒子(シーアイ化成社製、NanoTek CuO、平均粒子径50nm)(50質量部)と、銅粒子(石原産業社製、MD-200、ゼラチンポリマー被覆銅粒子、平均粒子径200nm)(10質量部)と、有機ポリマーとしてポリビニルピロリドン(重量平均分子量220,000)(10質量部)と、水(15質量部)と、グリセリン(15質量部)とを混合し、自転公転ミキサー(THINKY社製、あわとり練太郎ARE-310)で5分間処理することで導電膜形成用組成物を得た。得られた導電膜形成用組成物を組成物2とする。
(組成物3の調製)
 酸化銅粒子(シーアイ化成社製、NanoTek CuO、平均粒子径50nm)(50質量部)の代わりに、酸化銅粒子(シーアイ化成社製、NanoTek CuO、平均粒子径50nm)(40質量部)を混合し、銅粒子(石原産業社製、MD-200、ゼラチンポリマー被覆銅粒子、平均粒子径200nm)(5質量部)の代わりに、銅粒子(石原産業社製、MD-200、ゼラチンポリマー被覆銅粒子、平均粒子径200nm)(20質量部)を混合し、水(20質量部)の代わりに、水(15質量部)を混合した以外は、組成物1と同様の手順に従って導電膜形成用組成物を得た。得られた導電膜形成用組成物を組成物3とする。
(組成物4の調製)
 酸化銅粒子(シーアイ化成社製、NanoTek CuO、平均粒子径50nm)(50質量部)の代わりに、酸化銅粒子(シーアイ化成社製、NanoTek CuO、平均粒子径50nm)(40質量部)を混合し、銅粒子(石原産業社製、MD-200、ゼラチンポリマー被覆銅粒子、平均粒子径200nm)(5質量部)の代わりに、銅粒子(石原産業社製、MD-200、ゼラチンポリマー被覆銅粒子、平均粒子径200nm)(10質量部)を混合し、水(20質量部)の代わりに、水(25質量部)を混合した以外は、組成物1と同様の手順に従って導電膜形成用組成物を得た。得られた導電膜形成用組成物を組成物4とする。
(組成物5の調製)
 銅粒子(石原産業社製、MD-200、ゼラチンポリマー被覆銅粒子、平均粒子径200nm)(10質量部)の代わりに、銅粒子(三井金属社製、平均粒子径370nm)(10質量部)を混合した以外は、組成物2と同様の手順に従って導電膜形成用組成物を得た。得られた導電膜形成用組成物を組成物5とする。
(組成物6の調製)
 銅粒子(石原産業社製、MD-200、ゼラチンポリマー被覆銅粒子、平均粒子径200nm)(10質量部)の代わりに、銅粒子(石原産業社製、MD-50、ゼラチンポリマー被覆銅粒子、平均粒子径50nm)(10質量部)を混合した以外は、組成物2と同様の手順に従って導電膜形成用組成物を得た。得られた導電膜形成用組成物を組成物6とする。
(組成物7の調製)
 ポリビニルピロリドン(重量平均分子量220,000)(10質量部)の代わりに、ポリビニルピロリドン(重量平均分子量40,000)(10質量部)を混合した以外は、組成物2と同様の手順に従って導電膜形成用組成物を得た。得られた導電膜形成用組成物を組成物7とする。
(組成物8の調製)
 酸化銅粒子(シーアイ化成社製、NanoTek CuO、平均粒子径50nm)(50質量部)の代わりに、酸化銅粒子(シーアイ化成社製、NanoTek CuO、平均粒子径50nm)(44質量部)を混合し、銅粒子(石原産業社製、MD-200、ゼラチンポリマー被覆銅粒子、平均粒子径200nm)(10質量部)の代わりに、銅粒子(石原産業社製、MD-200、ゼラチンポリマー被覆銅粒子、平均粒子径200nm)(22質量部)を混合し、水(15質量部)の代わりに、水(9質量部)を混合した以外は、組成物2と同様の手順に従って導電膜形成用組成物を得た。得られた導電膜形成用組成物を組成物8とする。
(組成物9の調製)
 ポリビニルピロリドン(重量平均分子量220,000)(10質量部)の代わりに、ポリビニルピロリドン(重量平均分子量220,000)(4質量部)を混合し、水(15質量部)の代わりに、水(21質量部)を混合した以外は、組成物2と同様の手順に従って導電膜形成用組成物を得た。得られた導電膜形成用組成物を組成物9とする。
(組成物10の調製)
 ポリビニルピロリドン(重量平均分子量220,000)(10質量部)の代わりに、ポリビニルピロリドン(重量平均分子量220,000)(17質量部)を混合し、水(15質量部)の代わりに、水(8質量部)を混合した以外は、組成物2と同様の手順に従って導電膜形成用組成物を得た。得られた導電膜形成用組成物を組成物10とする。
(組成物11の調製)
 ポリビニルピロリドン(重量平均分子量220,000)(10質量部)の代わりに、ポリビニルピロリドン(重量平均分子量360,000)(10質量部)を混合した以外は、組成物2と同様の手順に従って導電膜形成用組成物を得た。得られた導電膜形成用組成物を組成物11とする。
(組成物12の調製)
 銅粒子(石原産業社製、MD-200、ゼラチンポリマー被覆銅粒子、平均粒子径200nm)(10質量部)の代わりに、銅粒子(福田金属箔粉工業社製、Cu-HWQ、平均粒子径3000nm)(10質量部)を混合した以外は、組成物2と同様の手順に従って導電膜形成用組成物を得た。得られた導電膜形成用組成物を組成物12とする。
(組成物13の調製)
 銅粒子(石原産業社製、MD-200、ゼラチンポリマー被覆銅粒子、平均粒子径200nm)(10質量部)の代わりに、銅粒子(石原産業社製、MD-200、ゼラチンポリマー被覆銅粒子、平均粒子径200nm)(8質量部)を混合し、水(15質量部)の代わりに、水(17質量部)を混合した以外は、組成物2と同様の手順に従って導電膜形成用組成物を得た。得られた導電膜形成用組成物を組成物13とする。
(比較組成物1の調製)
 銅粒子を混合せず、水(15質量部)の代わりに、水(25質量部)を混合した以外は、組成物2と同様の手順に従って導電膜形成用組成物を得た。得られた導電膜形成用組成物を比較組成物1とする。
(比較組成物2の調製)
 銅粒子(石原産業社製、MD-200、ゼラチンポリマー被覆銅粒子、平均粒子径200nm)(10質量部)の代わりに、銅粒子(石原産業社製、MD-200、ゼラチンポリマー被覆銅粒子、平均粒子径200nm)(1質量部)を混合し、水(15質量部)の代わりに、水(24質量部)を混合した以外は、組成物2と同様の手順に従って導電膜形成用組成物を得た。得られた導電膜形成用組成物を比較組成物2とする。
(比較組成物3の調製)
 酸化銅粒子(シーアイ化成社製、NanoTek CuO、平均粒子径50nm)(50質量部)の代わりに、酸化銅粒子(シーアイ化成社製、NanoTek CuO、平均粒子径50nm)(40質量部)を混合し、銅粒子(石原産業社製、MD-200、ゼラチンポリマー被覆銅粒子、平均粒子径200nm)(10質量部)の代わりに、銅粒子(石原産業社製、MD-200、ゼラチンポリマー被覆銅粒子、平均粒子径200nm))(25質量部)を混合し、水(15質量部)の代わりに、水(10質量部)を混合した以外は、組成物2と同様の手順に従って導電膜形成用組成物を得た。得られた導電膜形成用組成物を比較組成物3とする。
(比較組成物4の調製)
 酸化銅粒子(シーアイ化成社製、NanoTek CuO、平均粒子径50nm)(50質量部)の代わりに、酸化銅粒子(シーアイ化成社製、NanoTek CuO、平均粒子径50nm)(10質量部)を混合し、銅粒子(石原産業社製、MD-200、ゼラチンポリマー被覆銅粒子、平均粒子径200nm)(10質量部)の代わりに、銅粒子(石原産業社製、MD-200、ゼラチンポリマー被覆銅粒子、平均粒子径200nm)(50質量部)を混合した以外は、組成物2と同様の手順に従って導電膜形成用組成物を得た。得られた導電膜形成用組成物を比較組成物4とする。
(比較組成物5の調製)
 銅粒子(石原産業社製、MD-200、ゼラチンポリマー被覆銅粒子、平均粒子径200nm)(10質量部)の代わりに、銅粒子(石原産業社製、MD-200、ゼラチンポリマー被覆銅粒子、平均粒子径200nm)(4.5質量部)を混合し、水(15質量部)の代わりに、水(20.5質量部)を混合した以外は、組成物2と同様の手順に従って導電膜形成用組成物を得た。得られた導電膜形成用組成物を比較組成物5とする。
<実施例1>
 PET基材(富士ゼロックス社製、PPC/レーザー用OHPフィルム GAAA5224、厚み:50μm、Tg:69℃)上に、スクリーン印刷機を用いて、組成物1をストライプ状(L/S=1mm/1mm)に塗布し、その後、100℃で10分間乾燥させることで塗膜を得た。得られた塗膜にパルス光照射処理(Xenon社製光焼結装置Sinteron2000、照射エネルギー:5J/m2、パルス幅:2m秒)を行うことで導電膜を得た。
<実施例2>
 組成物1の代わりに組成物2を使用した以外は、実施例1と同様の手順に従って導電膜を得た。
<実施例3>
 組成物1の代わりに組成物3を使用した以外は、実施例1と同様の手順に従って導電膜を得た。
<実施例4>
 組成物1の代わりに組成物4を使用した以外は、実施例1と同様の手順に従って導電膜を得た。
<実施例5>
 組成物1の代わりに組成物5を使用した以外は、実施例1と同様の手順に従って導電膜を得た。
<実施例6>
 組成物1の代わりに組成物6を使用した以外は、実施例1と同様の手順に従って導電膜を得た。
<実施例7>
 組成物1の代わりに組成物7を使用した以外は、実施例1と同様の手順に従って導電膜を得た。
<実施例8>
 PET基材の代わりに、ポリカーボネート(PC)基材(帝人化成株式会社製、パンライトPC-2151、厚み:125μm、Tg:150℃)を使用した以外は、実施例1と同様の手順に従って導電膜を得た。
<実施例9>
 PET基材の代わりに、PEN基材(帝人社製、テオネックスQ51、厚み:125μm、Tg:155℃)を使用した以外は、実施例1と同様の手順に従って導電膜を得た。
<実施例10>
 PET基材の代わりに、ポリイミド(PI)基材(東レデュポン社製、カプトン500H、厚み:125μm、Tg:300℃超)を使用した以外は、実施例1と同様の手順に従って導電膜を得た。
<実施例11>
 組成物1の代わりに組成物8を使用した以外は、実施例1と同様の手順に従って導電膜を得た。
<実施例12>
 組成物1の代わりに組成物9を使用した以外は、実施例1と同様の手順に従って導電膜を得た。
<実施例13>
 組成物1の代わりに組成物10を使用した以外は、実施例1と同様の手順に従って導電膜を得た。
<実施例14>
 組成物1の代わりに組成物11を使用した以外は、実施例1と同様の手順に従って導電膜を得た。
<実施例15>
 組成物1の代わりに組成物12を使用した以外は、実施例1と同様の手順に従って導電膜を得た。
<実施例16>
 組成物1の代わりに組成物13を使用した以外は、実施例1と同様の手順に従って導電膜を得た。
<比較例1>
 組成物1の代わりに比較組成物1を使用した以外は、実施例1と同様の手順に従って導電膜を得た。
<比較例2>
 組成物1の代わりに比較組成物2を使用した以外は、実施例1と同様の手順に従って導電膜を得た。
<比較例3>
 組成物1の代わりに比較組成物3を使用した以外は、実施例1と同様の手順に従って導電膜を得た。
<比較例4>
 組成物1の代わりに比較組成物4を使用した以外は、実施例1と同様の手順に従って導電膜を得ようとしたところ、組成物が飛散し、導電膜が得られず、後述する密着性および導電性を評価することができなかった。
<比較例5>
 PET基材の代わりに、ガラス基材(松浪硝子工業社製、スライドグラスS1214、厚み:1300μm)を使用した以外は、実施例1と同様の手順に従って導電膜を得た。
<比較例6>
 組成物1の代わりに比較組成物5を使用した以外は、実施例1と同様の手順に従って導電膜を得た。
<密着性>
 得られた導電膜にニチバン株式会社製セロハンテープ(幅24mm)を密着させてから剥がした。剥がした後の導電膜の外観を目視で観察して密着性を評価した。評価基準は以下のとおりである。なお、実用上、A~Cであることが好ましく、AまたはBであることがより好ましく、Aであることがさらに好ましい。
・A:テープに導電膜の付着が見られず、導電膜と基材との界面での剥離も見られない。
・B:テープに導電膜の付着がやや見られるが、導電膜と基材との界面での剥離は見られない。
・C:テープに導電膜の付着がはっきり見られ、導電膜と基材との界面での剥離がやや見られる。
・D:テープに導電膜の付着がはっきり見られ、導電膜と基材との界面での剥離がはっきり見られる。
<導電性>
 得られた導電膜について、四探針法抵抗率計を用いて体積抵抗率を測定し、導電性を評価した。評価基準は以下のとおりである。
・A:体積抵抗率が50μΩ・cm未満
・B:体積抵抗率が50μΩ・cm以上100μΩ・cm未満
・C:体積抵抗率が100Ω・cm以上
 なお、第1表中、含有量は、導電膜形成用組成物全量に対する各成分の含有量(質量%)を表す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-I000001
 第1表から分かるように、銅粒子(B)を含有しない比較例1の方法で得られた導電膜、並びに、酸化銅粒子(A)の含有量に対する銅粒子(B)の含有量の割合(B/A)が10質量%未満である比較例2および6の方法で得られた導電膜は、基材との密着性が不十分であった。また、B/Aが50質量%を超える比較例3の方法で得られた導電膜についても、基材との密着性が不十分であった。銅粒子(B)の含有量が酸化銅粒子(A)の含有量よりも大幅に多い比較例4では、上述のとおり、組成物が飛散し、導電膜が得られなかった。
 また、B/Aが所定の範囲内ではあるが、基材として熱可塑性樹脂基材ではなくガラス基材を使用した比較例5の方法で得られた導電膜についても、基材との密着性が不十分であった。
 一方、基材として熱可塑性樹脂基材を使用し、B/Aが所定の範囲内の導電膜形成用組成物を使用した本願実施例の方法で得られた導電膜はいずれも、基材との密着性が良好であった。
 実施例1~4、11および16の対比から分かるように、導電膜形成用組成物全量に対する銅粒子の含有量が7質量%未満である実施例1の方法で得られた導電膜、および、導電膜形成用組成物全量に対する銅粒子の含有量が20質量%超である実施例11の方法で得られた導電膜よりも、導電膜形成用組成物全量に対する銅粒子の含有量が7~20質量%である実施例2~4および16の方法で得られた導電膜の方が、基材との密着性がより良好であった。
 また、実施例1~4、11~13および16の対比から分かるように、酸化銅粒子(A)の含有量に対する有機ポリマー(C)の含有量の割合(C/A)が10質量%未満である実施例12の方法で得られた導電膜、および、C/Aが30質量%超である実施例13の方法で得られた導電膜よりも、C/Aが10~30質量%である実施例1~4、13および16の方法で得られた導電膜の方が、導電性が良好であった。
 また、実施例2、7および14の対比から分かるように、有機ポリマー(C)の重量平均分子量が100,000未満である実施例7の方法で得られた導電膜よりも、有機ポリマー(C)の重量平均分子量が100,000以上である実施例2および14の方法で得られた導電膜の方が、基材との密着性がより良好であった。なかでも、有機ポリマー(C)の重量平均分子量が300,000以下である実施例2の方法で得られた導電膜の方が、導電性が良好であった。
 また、実施例2、5、6および15の対比から分かるように、銅粒子(B)の平均粒子径が500nm超である実施例15の方法で得られる導電膜よりも、銅粒子(B)の平均粒子径が500nm以下である実施例2、5および6の方法で得られる導電膜の方が、基材との密着性がより良好であった。なかでも、銅粒子(B)の平均粒子径が250nm超である実施例5の方法で得られる導電膜よりも、銅粒子(B)の平均粒子径が250nm以下である実施例2および6の方法で得られる導電膜の方が、導電性が良好であった。なかでも、銅粒子(B)の平均粒子径が100nm未満である実施例6の方法で得られる導電膜よりも、銅粒子(B)の平均粒子径が100nm以上である実施例2の方法で得られる導電膜の方が、基材との密着性がさらに良好であった。

Claims (16)

  1.  熱可塑性樹脂基材上に、酸化銅粒子(A)と銅粒子(B)と有機ポリマー(C)とを含有し、前記酸化銅粒子(A)の含有量に対する前記銅粒子(B)の含有量の割合(B/A)が10~50質量%である、導電膜形成用組成物を付与して、塗膜を形成する塗膜形成工程と、
     前記塗膜に対してパルス光照射処理を行い、前記酸化銅粒子(A)を還元して、銅を含有する導電膜を形成する還元工程とを備える、導電膜の製造方法。
  2.  前記割合(B/A)が、15~40質量%である、請求項1に記載の導電膜の製造方法。
  3.  前記導電膜形成用組成物全量に対する前記銅粒子(B)の含有量が、10~20質量%である、請求項1または2に記載の導電膜の製造方法。
  4.  前記導電膜形成用組成物全量に対する前記酸化銅粒子(A)の含有量が、40~60質量%である、請求項1~3のいずれかに記載の導電膜の製造方法。
  5.  前記酸化銅粒子(A)の含有量に対する前記有機ポリマー(C)の含有量の割合(C/A)が、10~30質量%である、請求項1~4のいずれかに記載の導電膜の製造方法。
  6.  前記銅粒子(B)の平均粒子径が50~500nmである、請求項1~5のいずれかに記載の導電膜の製造方法。
  7.  前記有機ポリマー(C)の重量平均分子量が100,000以上である、請求項1~6のいずれかに記載の導電膜の製造方法。
  8.  前記熱可塑性樹脂基材を構成する熱可塑性樹脂のガラス転移温度が160℃以下である、請求項1~7のいずれかに記載の導電膜の製造方法。
  9.  前記有機ポリマー(C)が、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコールおよびポリエチレングリコールからなる群より選択される少なくとも1種のポリマーである、請求項1~8のいずれかに記載の導電膜の製造方法。
  10.  前記酸化銅粒子(A)が酸化銅(II)粒子である、請求項1~9のいずれかに記載の導電膜の製造方法。
  11.  前記導電膜形成用組成物が、さらに主溶媒として水または水溶性アルコールを含有する、請求項1~10のいずれかに記載の導電膜の製造方法。
  12.  前記熱可塑性樹脂基材がPET基材である、請求項1~11のいずれかに記載の導電膜の製造方法。
  13.  前記銅粒子(B)が、ポリマー被覆銅粒子である、請求項1~12のいずれかに記載の導電膜の製造方法。
  14.  前記還元工程の前に、前記塗膜を乾燥する、乾燥工程をさらに備える、請求項1~13のいずれかに記載の導電膜の製造方法。
  15.  酸化銅粒子(A)と銅粒子(B)と有機ポリマー(C)とを含有し、前記酸化銅粒子(A)の含有量に対する前記銅粒子(B)の含有量の割合(B/A)が10~50質量%である、導電膜形成用組成物。
  16.  前記割合(B/A)が15~40質量%である、請求項15に記載の導電膜形成用組成物。
PCT/JP2013/073772 2012-09-26 2013-09-04 導電膜の製造方法および導電膜形成用組成物 WO2014050466A1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020157007399A KR20150048183A (ko) 2012-09-26 2013-09-04 도전막의 제조 방법 및 도전막 형성용 조성물
US14/665,435 US20150194235A1 (en) 2012-09-26 2015-03-23 Method of manufacturing conductive film and composition for forming conductive film

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012212631A JP2014067617A (ja) 2012-09-26 2012-09-26 導電膜の製造方法および導電膜形成用組成物
JP2012-212631 2012-09-26

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US14/665,435 Continuation US20150194235A1 (en) 2012-09-26 2015-03-23 Method of manufacturing conductive film and composition for forming conductive film

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2014050466A1 true WO2014050466A1 (ja) 2014-04-03

Family

ID=50387875

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2013/073772 WO2014050466A1 (ja) 2012-09-26 2013-09-04 導電膜の製造方法および導電膜形成用組成物

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20150194235A1 (ja)
JP (1) JP2014067617A (ja)
KR (1) KR20150048183A (ja)
TW (1) TW201413750A (ja)
WO (1) WO2014050466A1 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015005178A1 (ja) * 2013-07-10 2015-01-15 富士フイルム株式会社 導電膜形成用組成物およびこれを用いる導電膜の製造方法
WO2015005046A1 (ja) * 2013-07-10 2015-01-15 富士フイルム株式会社 導電膜形成用組成物、導電膜の製造方法、および、導電膜
WO2015015918A1 (ja) * 2013-07-29 2015-02-05 富士フイルム株式会社 導電膜形成用組成物及び導電膜の製造方法
WO2016111133A1 (ja) * 2015-01-06 2016-07-14 株式会社フジクラ 導体層の製造方法及び配線基板

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2930722B1 (en) * 2012-12-07 2019-03-20 FUJIFILM Corporation Process for manufacturing conductive film and printed wiring board
WO2016031404A1 (ja) * 2014-08-28 2016-03-03 富士フイルム株式会社 導電膜形成用組成物およびこれを用いる導電膜の製造方法
WO2016031409A1 (ja) * 2014-08-29 2016-03-03 富士フイルム株式会社 導電膜形成用組成物および導電膜形成方法
JP6984131B2 (ja) * 2017-01-23 2021-12-17 株式会社リコー 銅粒子含有インク、銅粒子含有インクの製造方法、導電性印刷物の印刷方法、及び導電性配線の形成方法
TWI699279B (zh) 2018-10-22 2020-07-21 長興材料工業股份有限公司 電磁波屏蔽膜及其製備方法與用途
JP6869275B2 (ja) * 2019-01-11 2021-05-12 Jx金属株式会社 導電性塗布材料

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63257107A (ja) * 1987-04-13 1988-10-25 松下電器産業株式会社 メタライズ組成物
WO2003051562A1 (fr) * 2001-12-18 2003-06-26 Asahi Kasei Kabushiki Kaisha Dispersion d'oxyde metallique
JP2005071805A (ja) * 2003-08-25 2005-03-17 Fuji Photo Film Co Ltd 金属酸化物及び/又は金属水酸化物の粒子と金属の粒子を含む組成物、組成物を用いたプリント配線基板、その製造方法及びそれに用いるインク
JP2005211732A (ja) * 2004-01-28 2005-08-11 Asahi Kasei Corp 金属薄層の製造方法
JP2008522369A (ja) * 2004-11-24 2008-06-26 ノバセントリックス コーポレイション ナノ材料組成物の電気的使用、めっき的使用および触媒的使用
JP2010528428A (ja) * 2007-05-18 2010-08-19 アプライド・ナノテック・ホールディングス・インコーポレーテッド 金属インク
WO2013077448A1 (ja) * 2011-11-24 2013-05-30 昭和電工株式会社 導電パターン形成方法及び光照射またはマイクロ波加熱による導電パターン形成用組成物
JP2013196881A (ja) * 2012-03-19 2013-09-30 Osaka Univ 導電パターン形成方法及び光照射またはマイクロ波加熱による導電パターン形成用組成物

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4877555A (en) * 1987-04-13 1989-10-31 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Conductor composition and method of manufacturing a ceramic multilayer structure using the same
JPH01196192A (ja) * 1988-01-30 1989-08-07 Toshiba Corp 導体ペースト
JP4782397B2 (ja) * 2004-09-27 2011-09-28 京セラ株式会社 導体ペーストおよびそれを用いた配線基板の製造方法
KR100951320B1 (ko) * 2007-07-26 2010-04-05 주식회사 엘지화학 레이저 조사에 의한 전기전도성 구리 패턴층의 형성방법
CN101903959B (zh) * 2007-12-18 2013-01-23 日立化成工业株式会社 铜导体膜及其制造方法、导电性基板及其制造方法、铜导体布线及其制造方法、以及处理液
JP2010118449A (ja) * 2008-11-12 2010-05-27 Toray Ind Inc 導電膜の製造方法
JP5747821B2 (ja) * 2009-09-16 2015-07-15 日立化成株式会社 金属銅膜及びその製造方法、金属銅パターン及びそれを用いた導体配線、金属銅バンプ、熱伝導路、接合材、並びに液状組成物
TWI569700B (zh) * 2011-11-25 2017-02-01 昭和電工股份有限公司 導電性圖案生成方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63257107A (ja) * 1987-04-13 1988-10-25 松下電器産業株式会社 メタライズ組成物
WO2003051562A1 (fr) * 2001-12-18 2003-06-26 Asahi Kasei Kabushiki Kaisha Dispersion d'oxyde metallique
JP2005071805A (ja) * 2003-08-25 2005-03-17 Fuji Photo Film Co Ltd 金属酸化物及び/又は金属水酸化物の粒子と金属の粒子を含む組成物、組成物を用いたプリント配線基板、その製造方法及びそれに用いるインク
JP2005211732A (ja) * 2004-01-28 2005-08-11 Asahi Kasei Corp 金属薄層の製造方法
JP2008522369A (ja) * 2004-11-24 2008-06-26 ノバセントリックス コーポレイション ナノ材料組成物の電気的使用、めっき的使用および触媒的使用
JP2010528428A (ja) * 2007-05-18 2010-08-19 アプライド・ナノテック・ホールディングス・インコーポレーテッド 金属インク
WO2013077448A1 (ja) * 2011-11-24 2013-05-30 昭和電工株式会社 導電パターン形成方法及び光照射またはマイクロ波加熱による導電パターン形成用組成物
JP2013196881A (ja) * 2012-03-19 2013-09-30 Osaka Univ 導電パターン形成方法及び光照射またはマイクロ波加熱による導電パターン形成用組成物

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015005178A1 (ja) * 2013-07-10 2015-01-15 富士フイルム株式会社 導電膜形成用組成物およびこれを用いる導電膜の製造方法
WO2015005046A1 (ja) * 2013-07-10 2015-01-15 富士フイルム株式会社 導電膜形成用組成物、導電膜の製造方法、および、導電膜
WO2015015918A1 (ja) * 2013-07-29 2015-02-05 富士フイルム株式会社 導電膜形成用組成物及び導電膜の製造方法
JP2015026567A (ja) * 2013-07-29 2015-02-05 富士フイルム株式会社 導電膜形成用組成物及び導電膜の製造方法
WO2016111133A1 (ja) * 2015-01-06 2016-07-14 株式会社フジクラ 導体層の製造方法及び配線基板
JPWO2016111133A1 (ja) * 2015-01-06 2017-08-17 株式会社フジクラ 導体層の製造方法及び配線基板
CN107113974A (zh) * 2015-01-06 2017-08-29 株式会社藤仓 导体层的制造方法以及布线基板
US10015890B2 (en) 2015-01-06 2018-07-03 Fujikura Ltd. Method of manufacturing conductive layer and wiring board
CN107113974B (zh) * 2015-01-06 2019-09-06 株式会社藤仓 导体层的制造方法以及布线基板

Also Published As

Publication number Publication date
JP2014067617A (ja) 2014-04-17
TW201413750A (zh) 2014-04-01
US20150194235A1 (en) 2015-07-09
KR20150048183A (ko) 2015-05-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2014050466A1 (ja) 導電膜の製造方法および導電膜形成用組成物
JP5009907B2 (ja) 向上透明導電性被膜及びそれらを作製する方法
EP2952546B1 (en) Composition for forming electrically conductive film, and method for producing electrically conductive film
JP2009275227A (ja) 銀ナノ粒子含有印刷可能組成物、該組成物を用いた導電性被膜の製造方法、および該方法により製造された被膜
JP6016842B2 (ja) 導電膜の製造方法及び導電膜形成用組成物
JP2011142052A (ja) 銅導体インク及び導電性基板及びその製造方法
WO2014156594A1 (ja) 導電膜形成用組成物およびこれを用いる導電膜の製造方法
WO2015083307A1 (ja) 金属薄膜の製造方法及び導電構造
JP2013206722A (ja) 液状組成物、金属銅膜、及び導体配線、並びに金属銅膜の製造方法
JP6543921B2 (ja) 導電性基板
JP6562196B2 (ja) 銅微粒子焼結体と導電性基板の製造方法
JP5087384B2 (ja) 導電性部材の製造方法および導電性部材
JP5905845B2 (ja) 導電膜の製造方法および導電膜
JP2015018674A (ja) 導電膜形成用組成物、導電膜の製造方法、および、導電膜
JP2010161118A (ja) 多孔質膜、多孔質膜形成用塗工液、その製造方法、積層基板および配線材料
WO2020153101A1 (ja) 導電性ペースト、導電膜付き基材、および導電膜付き基材の製造方法
JP2009088122A (ja) 導電性基板
JP2014167872A (ja) 導電膜の製造方法、配線基板
JP6109130B2 (ja) 導電膜形成用組成物、導電膜の製造方法、および、導電膜
JP5354037B2 (ja) 導電性基板の製造方法
WO2014097817A1 (ja) 導電膜およびその前駆体膜ならびに導電膜の製造方法
TWI403239B (zh) 油墨及利用該油墨製作導電線路之方法
JP2015141752A (ja) 導電膜形成用組成物、導電膜の製造方法
JP2012174375A (ja) 導電性塗膜の製造方法及び導電性塗膜
JP2014044907A (ja) 導電膜形成用組成物および導電膜の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 13840345

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20157007399

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 13840345

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1