[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

WO2012053589A1 - 接着剤組成物、半導体装置の製造方法及び半導体装置 - Google Patents

接着剤組成物、半導体装置の製造方法及び半導体装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2012053589A1
WO2012053589A1 PCT/JP2011/074153 JP2011074153W WO2012053589A1 WO 2012053589 A1 WO2012053589 A1 WO 2012053589A1 JP 2011074153 W JP2011074153 W JP 2011074153W WO 2012053589 A1 WO2012053589 A1 WO 2012053589A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
adhesive composition
semiconductor device
semiconductor
connection
group
Prior art date
Application number
PCT/JP2011/074153
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
一尊 本田
永井　朗
榎本　哲也
Original Assignee
日立化成工業株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日立化成工業株式会社 filed Critical 日立化成工業株式会社
Priority to JP2012512164A priority Critical patent/JP5003855B2/ja
Priority to KR1020137012268A priority patent/KR101464454B1/ko
Priority to CN201180050254.9A priority patent/CN103189464B/zh
Publication of WO2012053589A1 publication Critical patent/WO2012053589A1/ja

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
    • H01L23/29—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the material, e.g. carbon
    • H01L23/293—Organic, e.g. plastic
    • H01L23/295—Organic, e.g. plastic containing a filler
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J163/00—Adhesives based on epoxy resins; Adhesives based on derivatives of epoxy resins
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K3/00—Use of inorganic substances as compounding ingredients
    • C08K3/01—Use of inorganic substances as compounding ingredients characterized by their specific function
    • C08K3/013—Fillers, pigments or reinforcing additives
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K9/00—Use of pretreated ingredients
    • C08K9/04—Ingredients treated with organic substances
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K9/00—Use of pretreated ingredients
    • C08K9/04—Ingredients treated with organic substances
    • C08K9/06—Ingredients treated with organic substances with silicon-containing compounds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J11/00—Features of adhesives not provided for in group C09J9/00, e.g. additives
    • C09J11/02—Non-macromolecular additives
    • C09J11/04—Non-macromolecular additives inorganic
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J11/00—Features of adhesives not provided for in group C09J9/00, e.g. additives
    • C09J11/02—Non-macromolecular additives
    • C09J11/06—Non-macromolecular additives organic
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J179/00—Adhesives based on macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing nitrogen, with or without oxygen, or carbon only, not provided for in groups C09J161/00 - C09J177/00
    • C09J179/04—Polycondensates having nitrogen-containing heterocyclic rings in the main chain; Polyhydrazides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
    • C09J179/08—Polyimides; Polyester-imides; Polyamide-imides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J201/00—Adhesives based on unspecified macromolecular compounds
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
    • H01L23/29—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the material, e.g. carbon
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
    • H01L23/31—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K5/00—Use of organic ingredients
    • C08K5/54—Silicon-containing compounds
    • C08K5/541—Silicon-containing compounds containing oxygen
    • C08K5/5425—Silicon-containing compounds containing oxygen containing at least one C=C bond
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732—Location after the connecting process
    • H01L2224/73201—Location after the connecting process on the same surface
    • H01L2224/73203—Bump and layer connectors
    • H01L2224/73204—Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector

Definitions

  • connection methods are stacked and multi-staged, such as a chip stack package, POP (Package On Package), TSV (Through-Silicon Via), etc.
  • POP Package On Package
  • TSV Through-Silicon Via
  • Such stacking / multi-stage technology arranges semiconductor chips and the like three-dimensionally, so that the package can be made smaller than the two-dimensional arrangement technique.
  • the TSV technology is effective for improving semiconductor performance, reducing noise, reducing the mounting area, and saving power, and is attracting attention as a next-generation semiconductor wiring technology.
  • the gap between the semiconductor chip and the substrate is becoming narrower with the recent progress of miniaturization of semiconductor devices, and the Capillary-Flow method requires a long time for implantation and decreases productivity.
  • the pre-applied method has become the mainstream as a method for manufacturing a package capable of high functionality, high integration, and high speed.
  • Q 1 , Q 2 and Q 3 each independently represents an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, and b represents an integer of 1 to 80.
  • Q 4 , Q 5 , Q 6 and Q 7 each independently represent an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, and c, d and e each independently represents an integer of 1 to 50.
  • the content of the aliphatic ether diamine represented by the general formula (III) or (IV) is preferably 1 to 50 mol% of the total diamine, and the aliphatic diamine represented by the general formula (V)
  • the content of is preferably 20 to 80 mol% of the total diamine, and the content of the siloxane diamine represented by the general formula (VI) is preferably 20 to 80 mol% of the total diamine.
  • the content is within the above range, the effect of imparting low temperature laminating properties and low water absorption tends to increase.
  • Examples of the aliphatic diamine represented by the general formula (V) include 1,2-diaminoethane, 1,3-diaminopropane, 1,4-diaminobutane, 1,5-diaminopentane, 1,6- Diaminohexane, 1,7-diaminoheptane, 1,8-diaminooctane, 1,9-diaminononane, 1,10-diaminodecane, 1,11-diaminoundecane, 1,12-diaminododecane and 1,2-diaminocyclohexane Is mentioned. Among these, 1,9-diaminononane, 1,10-diaminodecane, 1,11-diaminoundecane and 1,12-diaminododecane are preferable.
  • the substrate 20 is not particularly limited as long as it is a circuit board, and an unnecessary portion of a metal film is etched on the surface of an insulating substrate mainly composed of glass epoxy, polyimide, polyester, ceramic, epoxy, bismaleimide triazine, or the like.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)
  • Adhesive Tapes (AREA)

Abstract

　本発明は、半導体チップ及び配線回路基板のそれぞれの接続部が互いに電気的に接続された半導体装置、又は、複数の半導体チップのそれぞれの接続部が互いに電気的に接続された半導体装置において接続部を封止する接着剤組成物であって、エポキシ樹脂と、硬化剤と、ビニル系表面処理フィラーとを含有する接着剤組成物に関する。

Description

接着剤組成物、半導体装置の製造方法及び半導体装置
　本発明は、接着剤組成物、半導体装置の製造方法及び半導体装置に関する。
　近年、半導体チップを基板に実装し接続するには、金ワイヤ等の金属細線を用いるワイヤーボンディング方式が広く用いられている。一方、半導体装置に対する小型化、薄型化、高機能、高集積化、高速化等の要求に対応するため、半導体チップ及び基板間にバンプと呼ばれる導電性突起を形成して、半導体チップと基板と接続するフリップチップ接続方式（ＦＣ接続方式）が広まりつつある。
　例えば、半導体チップ及び基板間の接続に関して、ＢＧＡ（Ｂａｌｌ　Ｇｒｉｄ　Ａｒｒａｙ）、ＣＳＰ（Ｃｈｉｐ　Ｓｉｚｅ　Ｐａｃｋａｇｅ）等に盛んに用いられているＣＯＢ（Ｃｈｉｐ　Ｏｎ　Ｂｏａｒｄ）型の接続方式もＦＣ接続方式に該当する。また、ＦＣ接続方式は、半導体チップ上に接続部（バンプや配線）を形成して、半導体チップ間を接続するＣＯＣ（Ｃｈｉｐ　Ｏｎ　Ｃｈｉｐ）型の接続方式にも広く用いられている（例えば、特許文献１参照）。
　しかしながら、更なる小型化、薄型化、高機能化の要求に対応するため、上述した接続方式を積層・多段化したチップスタック型パッケージやＰＯＰ（Ｐａｃｋａｇｅ　Ｏｎ　Ｐａｃｋａｇｅ）、ＴＳＶ（Ｔｈｒｏｕｇｈ－Ｓｉｌｉｃｏｎ　Ｖｉａ）等も広く普及し始めている。このような積層・多段化技術は、半導体チップ等を三次元的に配置することから、二次元的に配置する手法と比較してパッケージを小さくできる。特に、ＴＳＶ技術は、半導体の性能向上、ノイズ低減、実装面積の削減、省電力化にも有効であり、次世代の半導体配線技術として注目されている。
　ところで、上記接続部（バンプや配線）に用いられる主な金属としては、ハンダ、スズ、金、銀、銅、ニッケル等があり、これらの複数種を含んだ導電材料も用いられている。接続部に用いられる金属は、表面が酸化して酸化膜が生成してしまうことや、表面に酸化物等の不純物が付着してしまうことにより、接続部の接続面に不純物が生じる場合がある。このような不純物が残存すると、半導体チップ及び基板間や２つの半導体チップ間における接続性・絶縁信頼性が低下し、上述した接続方式を採用するメリットが損なわれてしまうことが懸念される。
　これらの不純物の発生を抑制すると共に接続性を向上させる方法としては、接続前に基板や半導体チップの表面に前処理を施す方法が挙げられ、ＯＳＰ（Ｏｒｇａｎｉｃ　Ｓｏｌｄｅｒｂｉｌｉｔｙ　Ｐｒｅｓｅｒｖａｔｉｖｅｓ）処理に用いられるプリフラックスや防錆処理剤を施す方法が挙げられる。しかし、前処理後にプリフラックスや防錆処理剤が残存し劣化することで、接続性が低下する場合もある。
　一方、半導体チップ及び基板間等の接続部を半導体封止材料（半導体封止用接着剤）で封止する方法によれば、半導体チップ及び基板や半導体チップ同士の接続と同時に接続部を封止することが可能となる。そのため、接続部に用いられる金属の酸化や、接続部への不純物の付着を抑制し、接続部を外部環境から保護することができる。したがって、効果的に接続性・絶縁信頼性、作業性、生産性を向上させることができる。
　また、フリップチップ接続方式で製造された半導体装置では、半導体チップと基板との熱膨張係数差や半導体チップ同士の熱膨張係数差に由来する熱応力が接続部に集中して接続不良を起こさないようにするために、半導体チップ及び基板間等の空隙を半導体封止材料で封止する必要がある。特に、半導体チップと基板とでは熱膨張係数の異なる成分が用いられることが多く、半導体封止材料により封止して耐熱衝撃性を向上させることが求められる。
　上述した半導体封止材料による封止方式には大きく分けて、Ｃａｐｉｌｌａｒｙ－Ｆｌｏｗ方式とＰｒｅ－ａｐｐｌｉｅｄ方式とが挙げられる（例えば、特許文献２～６参照）。Ｃａｐｉｌｌａｒｙ－Ｆｌｏｗ方式とは、半導体チップ及び基板の接続後に、半導体チップ及び基板間の空隙に液状の半導体封止材料を毛細管現象によって注入する方式である。Ｐｒｅ－ａｐｐｌｉｅｄ方式とは、半導体チップ及び基板の接続前に、半導体チップ又は基板にペースト状やフィルム状の半導体封止材料を供給した後、半導体チップと基板とを接続する方式である。これらの封止方式について、近年の半導体装置の小型化の進展に伴って、半導体チップ及び基板間等の空隙が狭くなっており、Ｃａｐｉｌｌａｒｙ－Ｆｌｏｗ方式では注入に長時間必要で生産性が低下する場合や、注入できない場合、また、注入できても未充填部分が存在しボイドの原因となる場合がある。そのため、作業性・生産性・信頼性の観点からＰｒｅ－ａｐｐｌｉｅｄ方式が高機能・高集積・高速化可能なパッケージの作製方法として主流となっている。
特開２００８－２９４３８２号公報 特開２００１－２２３２２７号公報 特開２００２－２８３０９８号公報 特開２００５－２７２５４７号公報 特開２００６－１６９４０７号公報 特開２００６－１８８５７３号公報
　上述したＰｒｅ－ａｐｐｌｉｅｄ方式では、加熱加圧による接続と同時に、半導体チップ及び基板間の空隙が半導体封止材料により封止されるため、半導体封止材料の含有成分は接続条件を考慮して選択する必要がある。一般に接続部同士の接続には、接続性・絶縁信頼性を十分に確保する観点から、金属接合が用いられている。金属接合は高温（例えば２００℃以上）を用いた接続方式であるため、半導体封止材料中に残存する揮発成分や、半導体封止材料の含有成分の分解により新たに生じる揮発成分に起因して半導体封止材料が発泡してしまう場合がある。これにより、ボイドと呼ばれる気泡が発生し、半導体封止材料が半導体チップや基板から剥離してしまう。また、加熱加圧時・圧力開放時に、上記ボイドや半導体チップ等のスプリングバックが発生すると、接続部同士を接続する接続バンプの引きちぎれによる接続部の破壊等の接続不良が生じてしまう。これらに起因して、従来の半導体封止材料では、接続性・絶縁信頼性が低下することが懸念される。
　また、半導体封止材料が十分にフラックス活性（金属表面の酸化膜や不純物の除去効果）を有していない場合、金属表面の酸化膜や不純物を除去できず、良好な金属－金属接合が形成されず、導通が確保できない場合がある。更に、半導体封止材料の絶縁信頼性が低いと、接続部の狭ピッチ化に対応することが困難であり、絶縁不良が生じる。これらにも起因して、従来の半導体封止材料では、接続性・絶縁信頼性が低下することが懸念される。
　半導体封止材料を用いて製造される半導体装置は、高い接続信頼性を達成することが求められる。接続信頼性は、例えばＴＣＴ（Ｔｈｅｒｍａｌ　Ｃｙｃｌｅ　Ｔｅｓｔ）評価により評価することができる。
　本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、接続信頼性及び絶縁信頼性に優れる半導体装置の作製を可能とする接着剤組成物（半導体封止用接着剤）、その接着剤組成物を用いた半導体装置の製造方法及び半導体装置を提供することを目的とする。
　本発明は、半導体チップ及び配線回路基板のそれぞれの接続部が互いに電気的に接続された半導体装置、又は、複数の半導体チップのそれぞれの接続部が互いに電気的に接続された半導体装置において接続部を封止する接着剤組成物であって、エポキシ樹脂と、硬化剤と、下記一般式（１）で表される基を有する化合物で表面処理されたビニル系表面処理フィラーとを含有する接着剤組成物を提供する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000004
　式（１）中、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３はそれぞれ独立に水素原子、メチル基又はエチル基を示し、Ｒ４は炭素数１～３０のアルキレン基を示す。
　本発明はまた、半導体チップ及び配線回路基板のそれぞれの接続部が互いに電気的に接続された半導体装置、又は、複数の半導体チップのそれぞれの接続部が互いに電気的に接続された半導体装置において接続部を封止する接着剤組成物であって、エポキシ樹脂と、硬化剤と、下記一般式（１）で表される基を有するフィラーとを含有する接着剤組成物を提供する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000005
　式（１）中、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３はそれぞれ独立に水素原子、メチル基又はエチル基を示し、Ｒ４は炭素数１～３０のアルキレン基を示す。
　上記本発明の接着剤組成物は、エポキシ樹脂及び硬化剤を含有した上で、更にビニル系表面処理フィラー又は上記一般式（１）で表される基を有するフィラーを含有することにより、半導体封止用接着剤として適用した場合であっても、半導体装置の高い接続信頼性及び高い絶縁信頼性を実現することができる。
　ここで、シランカップリング剤等を表面処理をしていないフィラーと共に樹脂中に含有させると、フィラーの表面がシランカップリング処理されてシランカップリング剤の置換基によって様々な表面状態のフィラーを合成することができることが知られている。しかし、シランカップリング剤の揮発性は高く、高温接続を必要とする金属接合等の高温でのプロセスを有する半導体装置の製造工程ではボイドが発生する原因となる。同様に、従来から用いられているフィラーを表面処理する場合、メタノール等の揮発性の高い有機物が発生する場合があり、ボイドが発生する原因となる。
　また、ＴＣＴ評価では－５５～１２５℃の温度変化を半導体パッケージに加えるが、ハンダの濡れ性が不足していた場合や接続部の金属接合が不完全であった場合、半導体チップと基板間の熱膨張率の差による接続部へのストレスの蓄積等によって接続部が破壊される。ここで、半導体封止材料の熱膨張率が低ければ、接続部へのストレスを軽減できるため、半導体装置の接続信頼性（耐ＴＣＴ性）を向上させることができると考えられる。
　発明者らは、接着剤組成物に上記ビニル系表面処理フィラー又は上記一般式（１）で表される基を有するフィラーを含有させることにより、接着剤組成物を半導体封止用接着剤として適用した場合に、半導体装置の高い接続信頼性を実現できることを見出した。本発明の接着剤組成物では、予め表面処理されたビニル系表面処理フィラー又は上記一般式（１）で表される基を有するフィラーを用いることで、揮発性の高い物質の発生を抑制することができる。これに加えて、フィラー表面のビニル基が他の構成成分と反応して強固な硬化物を形成することにより、硬化物の熱膨張率を低減でき、高い接続信頼性を示すものと、本発明者らは推測している。また、ビニル系表面処理フィラー又は上記一般式（１）で表される基を有するフィラーは、接続部の絶縁信頼性を低下させ難いため、接続信頼性を向上することができるものと、本発明者らは推測している。
　上記一般式（１）で表される基を有する化合物は、下記一般式（２）で表される化合物であることが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000006
　式（２）中、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３はそれぞれ独立に水素原子、メチル基又はエチル基を示し、Ｒ４は炭素数１～３０のアルキレン基を示し、Ｒ５は炭素数１～３０のアルキル基を示す。
　本発明の接着剤組成物は、上記一般式（２）で表される化合物で表面処理されたフィラーを含有することにより、接続信頼性及び絶縁信頼性を更に向上させることができる。
　本発明の接着剤組成物には、接着剤組成物のフィルム形成性を向上する観点から、重量平均分子量が１００００以上の高分子成分を更に含有することができる。
　接着剤組成物の貼付性やフィルム形成性を更に向上する観点から、上記の高分子成分は、重量平均分子量が３００００以上であり、ガラス転移温度が１００℃以下であることが好ましい。
　本発明の接着剤組成物は、フラックス活性剤を更に含有することで、フラックス活性を高め、接続部の金属表面の酸化膜や不純物を除去して、良好な金属－金属接合を形成することができる。
　Ｐｒｅ－ａｐｐｌｉｅｄ方式で半導体チップと配線回路基板の空隙又は複数の半導体チップ間の空隙を封止する場合の作業性を向上させることができることから、本発明の接着剤組成物は、形状がフィルム状であることが好ましい。
　本発明はまた、半導体チップ及び配線回路基板のそれぞれの接続部が互いに電気的に接続された半導体装置、又は、複数の半導体チップのそれぞれの接続部が互いに電気的に接続された半導体装置の製造方法であって、接続部を上記の接着剤組成物を用いて封止する工程を備える、半導体装置の製造方法を提供する。
　本発明の半導体装置の製造方法によれば、上記接着剤組成物を用いることにより、半導体装置の接続信頼性及び絶縁信頼性を向上させることができる。
　上記接続部が、主成分として金、銀、銅、ニッケル、スズ及び鉛からなる群より選ばれる少なくとも一種の金属を含有すると、接続部の電気伝導性、熱伝導性、接続信頼性を更に向上することができる。
　本発明はまた、上記半導体装置の製造方法によって得られる半導体装置を提供する。
　本発明の半導体装置は、上記半導体装置の製造方法を用いて作製されるため、接続信頼性及び絶縁信頼性が十分に優れるものとなる。
　本発明によれば、接続信頼性及び絶縁信頼性に優れる半導体装置の作製を可能とする接着剤組成物、その接着剤組成物を用いた半導体装置の製造方法及び半導体装置を提供することができる。
本発明の半導体装置の一実施形態を示す模式断面図である。 本発明の半導体装置の他の一実施形態を示す模式断面図である。 本発明の半導体装置の他の一実施形態を示す模式断面図である。 本発明の半導体装置の製造方法の一実施形態を模式的に示す工程断面図である。 絶縁信頼性試験用のサンプルの外観を示す模式図である。
　以下、場合により図面を参照しつつ本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面中、同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明は省略する。また、上下左右等の位置関係は、特に断らない限り、図面に示す位置関係に基づくものとする。さらに、図面の寸法比率は図示の比率に限られるものではない。
＜接着剤組成物＞
　本実施形態の接着剤組成物（半導体封止用接着剤）は、半導体チップ及び配線回路基板（以下、場合により単に「基板」という。）のそれぞれの接続部が互いに電気的に接続された半導体装置、又は、複数の半導体チップのそれぞれの接続部が互いに電気的に接続された半導体装置において接続部を封止する接着剤組成物であって、エポキシ樹脂（以下、場合により「（ａ）成分」という。）と、硬化剤（以下、場合により「（ｂ）成分」という。）と、ビニル系表面処理フィラー又は上記一般式（１）で表される基を有するフィラー（以下、場合により「（ｃ）成分」という。）とを含有する。また、接着剤組成物は、必要に応じて、重量平均分子量１００００以上の高分子成分（以下、場合により「（ｄ）成分」という。）又はフラックス活性剤（以下、場合により「（ｅ）成分」という。）を含有する。以下、本実施形態の接着剤組成物を構成する各成分について説明する。
（ａ）成分：エポキシ樹脂
　エポキシ樹脂としては、分子内に２個以上のエポキシ基を有するものであれば特に制限なく用いることができる。（ａ）成分として、具体的には、ビスフェノールＡ型、ビスフェノールＦ型、ナフタレン型、フェノールノボラック型、クレゾールノボラック型、フェノールアラルキル型、ビフェニル型、トリフェニルメタン型、ジシクロペンタジエン型及び各種多官能エポキシ樹脂を使用することができる。これらは単独で又は２種以上の混合物として使用することができる。
　（ａ）成分は、高温での接続時に分解して揮発成分が発生することを抑制する観点から、接続時の温度が２５０℃の場合は、２５０℃における熱重量減少量率が５％以下のエポキシ樹脂を用いることが好ましく、３００℃の場合は、３００℃における熱重量減少量率が５％以下のエポキシ樹脂を用いることが好ましい。また、ビスフェノールＡ型やビスフェノールＦ型の液状エポキシ樹脂は、１％熱重量減少温度が２５０℃以下であるため、高温加熱時に分解して揮発成分が発生する恐れがある。このため、室温（１気圧、２５℃）で固形のエポキシ樹脂を用いることが好ましい。
（ｂ）成分：硬化剤
　（ｂ）成分としては、例えば、フェノール樹脂系硬化剤、酸無水物系硬化剤、アミン系硬化剤、イミダゾール系硬化剤及びホスフィン系硬化剤が挙げられる。（ｂ）成分がフェノール性水酸基、酸無水物、アミン類又はイミダゾール類を含むと、接続部に酸化膜が生じることを抑制するフラックス活性を示し、接続信頼性・絶縁信頼性を向上させることができる。以下、各硬化剤について説明する。
（ｉ）フェノール樹脂系硬化剤
　フェノール樹脂系硬化剤としては、分子内に２個以上のフェノール性水酸基を有するものであれば特に制限はなく、例えば、フェノールノボラック、クレゾールノボラック、フェノールアラルキル樹脂、クレゾールナフトールホルムアルデヒド重縮合物、トリフェニルメタン型多官能フェノール及び各種多官能フェノール樹脂を使用することができる。これらは単独で又は２種以上の混合物として使用することができる。
　上記（ａ）成分に対するフェノール樹脂系硬化剤の当量比（フェノール性水酸基／エポキシ基、モル比）は、良好な硬化性、接着性及び保存安定性の観点から、０．３～１．５が好ましく、０．４～１．０がより好ましく、０．５～１．０が更に好ましい。当量比が０．３以上であると、硬化性が向上し接着力が向上する傾向があり、１．５以下であると未反応のフェノール性水酸基が過剰に残存することがなく、吸水率が低く抑えられ、絶縁信頼性が向上する傾向がある。
（ｉｉ）酸無水物系硬化剤
　酸無水物系硬化剤としては、例えば、メチルシクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物及びエチレングリコールビスアンヒドロトリメリテートを使用することができる。これらは単独で又は２種以上の混合物として使用することができる。
　上記（ａ）成分に対する酸無水物系硬化剤の当量比（酸無水物基／エポキシ基、モル比）は、良好な硬化性、接着性及び保存安定性の観点から、０．３～１．５が好ましく、０．４～１．０がより好ましく、０．５～１．０が更に好ましい。当量比が０．３以上であると硬化性が向上し接着力が向上する傾向があり、１．５以下であると未反応の酸無水物が過剰に残存することがなく、吸水率が低く抑えられ、絶縁信頼性が向上する傾向がある。
　（ｉｉｉ）アミン系硬化剤
　アミン系硬化剤としては、例えばジシアンジアミドを使用することができる。
　上記（ａ）成分に対するアミン系硬化剤の当量比（アミン／エポキシ基、モル比）は、良好な硬化性、接着性、保存安定性等の観点から０．３～１．５が好ましく、０．４～１．０がより好ましく、０．５～１．０が更に好ましい。当量比が０．３以上であると硬化性が向上し接着力が向上する傾向があり、１．５以下であると未反応のアミンが過剰に残存することがなく、絶縁信頼性が向上する傾向がある。
（ｉｖ）イミダゾール系硬化剤
　イミダゾール系硬化剤としては、例えば、２－フェニルイミダゾール、２－フェニル－４－メチルイミダゾール、１－ベンジル－２－メチルイミダゾール、１－ベンジル－２－フェニルイミダゾール、１－シアノエチル－２－ウンデシルイミダゾール、１－シアノ－２－フェニルイミダゾール、１－シアノエチル－２－ウンデシルイミダゾールトリメリテイト、１－シアノエチル－２－フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、２，４－ジアミノ－６－［２’－メチルイミダゾリル－（１’）］－エチル－ｓ－トリアジン、２，４－ジアミノ－６－［２’－ウンデシルイミダゾリル－（１’）］－エチル－ｓ－トリアジン、２，４－ジアミノ－６－［２’－エチル－４’－メチルイミダゾリル－（１’）］－エチル－ｓ－トリアジン、２，４－ジアミノ－６－［２’－メチルイミダゾリル－（１’）］－エチル－ｓ－トリアジンイソシアヌル酸付加体、２－フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加体、２－フェニル－４，５－ジヒドロキシメチルイミダゾール、２－フェニル－４－メチル－５－ヒドロキシメチルイミダゾール及びエポキシ樹脂とイミダゾール類の付加体が挙げられる。これらの中でも、優れた硬化性、保存安定性及び接続信頼性の観点から、１－シアノエチル－２－ウンデシルイミダゾール、１－シアノ－２－フェニルイミダゾール、１－シアノエチル－２－ウンデシルイミダゾールトリメリテイト、１－シアノエチル－２－フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、２，４－ジアミノ－６－［２’－メチルイミダゾリル－（１’）］－エチル－ｓ－トリアジン、２，４－ジアミノ－６－［２’－エチル－４’－メチルイミダゾリル－（１’）］－エチル－ｓ－トリアジン、２，４－ジアミノ－６－［２’－メチルイミダゾリル－（１’）］－エチル－ｓ－トリアジンイソシアヌル酸付加体、２－フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加体、２－フェニル－４，５－ジヒドロキシメチルイミダゾール及び２－フェニル－４－メチル－５－ヒドロキシメチルイミダゾールが好ましい。これらは単独で又は２種以上を併用して用いることができる。また、これらをマイクロカプセル化した潜在性硬化剤としてもよい。
　イミダゾール系硬化剤の含有量は、（ａ）成分１００質量部に対して、０．１～２０質量部が好ましく、０．１～１０質量部がより好ましい。イミダゾール系硬化剤の含有量が０．１質量部以上であると硬化性が向上する傾向があり、２０質量部以下であると金属接合が形成される前に接着剤組成物が硬化することがなく、接続不良が発生しにくい傾向がある。
（ｖ）ホスフィン系硬化剤
　ホスフィン系硬化剤としては、例えば、トリフェニルホスフィン、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、テトラフェニルホスホニウムテトラ（４－メチルフェニル）ボレート及びテトラフェニルホスホニウム（４－フルオロフェニル）ボレートが挙げられる。
　ホスフィン系硬化剤の含有量は、（ａ）成分１００質量部に対して、０．１～１０質量部が好ましく、０．１～５質量部がより好ましい。ホスフィン系硬化剤の含有量が０．１質量部以上であると硬化性が向上する傾向があり、１０質量部以下であると金属接合が形成される前に接着剤組成物が硬化することがなく、接続不良が発生しにくい傾向がある。
　フェノール樹脂系硬化剤、酸無水物系硬化剤及びアミン系硬化剤は、それぞれ１種を単独で又は２種以上の混合物として使用することができる。イミダゾール系硬化剤及びホスフィン系硬化剤はそれぞれ単独で用いてもよいが、フェノール樹脂系硬化剤、酸無水物系硬化剤又はアミン系硬化剤と共に用いてもよい。
　接着剤組成物が（ｂ）成分として、フェノール樹脂系硬化剤、酸無水物系硬化剤又はアミン系硬化剤を含む場合、酸化膜を除去するフラックス活性を示し、接続信頼性をより向上することができる。
（ｃ）成分：ビニル系表面処理フィラー又は上記一般式（１）で表される基を有するフィラー
　（ｃ）成分としては、上記一般式（１）で表される基を有する化合物で表面処理されたフィラーであれば特に制限はなく、例えば、絶縁性無機フィラー、ウィスカー及び樹脂フィラーを表面処理したものを用いることができる。すなわち、（ｃ）成分としては、上記一般式（１）で表される基を有するフィラーを用いることができる。ここで、式（１）中、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３はそれぞれ独立に水素原子、メチル基又はエチル基を示し、比較的嵩高くない基である方が反応性が高いことから、水素原子又はメチル基であることが好ましく、Ｒ１及びＲ２が水素原子であり、Ｒ３が水素原子又はメチル基であることがより好ましい。Ｒ４は炭素数１～３０のアルキレン基を示し、揮発しにくいことから分子量が大きい方が好ましい。また、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は、表面処理の容易さにより適宜選定することができる。
　絶縁性無機フィラーとしては、例えば、ガラス、シリカ、アルミナ、酸化チタン、カーボンブラック、マイカ及び窒化ホウ素が挙げられ、シリカ、アルミナ、酸化チタン及び窒化ホウ素が好ましく、シリカ、アルミナ及び窒化ホウ素がより好ましい。ウィスカーとしては、例えば、ホウ酸アルミニウム、チタン酸アルミニウム、酸化亜鉛、珪酸カルシウム、硫酸マグネシウム及び窒化ホウ素が挙げられる。樹脂フィラーとしては、ポリウレタン、ポリイミドが挙げられる。これらのフィラー及びウィスカーは単独で又は２種以上の混合物として使用することができる。フィラーの形状、粒径及び配合量は、特に制限されない。これらのフィラーの中でも、表面処理の簡易さや樹脂成分との相溶性が比較的よいことからシリカフィラーが好ましい。
　ビニル系表面処理フィラーとしては、上記一般式（２）で表される化合物で表面処理されたフィラーを用いることが好ましい。式（２）中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は上記式（１）と同様の観点から選択することができる。また、Ｒ５は炭素数１～３０のアルキル基を示し、表面処理の容易さにより適宜選定することができ、メチル基又はエチル基であることが好ましい。
　（ｃ）成分の形状、粒径は、接着剤組成物の用途に応じて適宜設定すればよく、特に制限されない。
　（ｃ）成分の配合量は、接着剤組成物の固形分全体を基準として、５～６０質量％が好ましく、１０～５０質量％が更に好ましい。５質量％以上であると硬化後の接着剤組成物の熱膨張率の低減効果が十分に発揮され易い傾向があり、６０質量％以下であると粘度を調整しやすく、接着剤組成物の流動性の低下や接続部へのフィラーの噛み込み（トラッピング）が生じにくく、接続信頼性が向上する傾向がある。
　フリップチップ接続における高温接続等の高温プロセスでのボイドの発生原因は種々考えられるが、主なものとして、接着剤組成物の構成成分の揮発が考えられる。そのため、構成成分は液状より固形成分であることが好ましい。
　また、シランカップリング剤を予めフィラーと表面処理せず、接着剤組成物の構成成分として添加し、系中で表面処理を行うと、メタノール等が発生し、高温プロセス時に発泡の原因となる。
（ｄ）成分：重量平均分子量１００００以上の高分子成分
　（ｄ）成分としては、例えば、フェノキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリカルボジイミド樹脂、シアネートエステル樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ウレタン樹脂及びアクリルゴムが挙げられる。これらの中でも耐熱性及びフィルム形成性に優れる観点から、フェノキシ樹脂、ポリイミド樹脂、アクリルゴム、シアネートエステル樹脂及びポリカルボジイミド樹脂が好ましく、フェノキシ樹脂、ポリイミド樹脂及びアクリルゴムがより好ましい。これらの（ｄ）成分は単独で又は２種以上の混合物や共重合体として使用することもできる。但し、（ｄ）成分には、（ａ）成分であるエポキシ樹脂が含まれない。
　上述したフェノキシ樹脂、ポリイミド樹脂等の高分子成分は市販品を用いてもよいし、合成したものを用いてもよい。
　上記ポリイミド樹脂は、例えば、テトラカルボン酸二無水物とジアミンとを公知の方法で縮合反応させて得ることができる。より具体的には、有機溶媒中で、テトラカルボン酸二無水物とジアミンとを等モル又はほぼ等モル混合し（各成分の添加順序は任意）、反応温度を８０℃以下、好ましくは０～６０℃に設定して付加反応させるとよい。なお、接着剤組成物の諸特性の低下を抑えるため、上記のテトラカルボン酸二無水物は無水酢酸で再結晶精製処理されていることが好ましい。
　上記付加反応が進行するにつれ反応液の粘度が徐々に上昇し、ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸が生成する。ポリイミド樹脂は、上記ポリアミド酸を脱水閉環させて得ることができる。脱水閉環は、加熱処理する熱閉環法や、脱水剤を使用する化学閉環法で行うことができる。上記ポリアミド酸は、５０～８０℃で加熱して解重合させることによって、その分子量を調整することができる。
　ポリイミド樹脂の原料として用いられるテトラカルボン酸二無水物としては、特に制限はなく、例えば、ピロメリット酸二無水物、３，３’、４，４’－ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，２’、３，３’－ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，２－ビス（３，４－ジカルボキシフェニル）プロパン二無水物、２，２－ビス（２，３－ジカルボキシフェニル）プロパン二無水物、１，１－ビス（２，３－ジカルボキシフェニル）エタン二無水物、１，１－ビス（３，４－ジカルボキシフェニル）エタン二無水物、ビス（２，３－ジカルボキシフェニル）メタン二無水物、ビス（３，４－ジカルボキシフェニル）メタン二無水物、ビス（３，４－ジカルボキシフェニル）スルホン二無水物、３，４，９，１０－ペリレンテトラカルボン酸二無水物、ビス（３，４－ジカルボキシフェニル）エーテル二無水物、ベンゼン－１，２，３，４－テトラカルボン酸二無水物、３，４，３’，４’－ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、２，３，２’，３’－ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、３，３，３’，４’－ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、１，２，５，６－ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、１，４，５，８－ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、２，３，６，７－ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、１，２，４，５－ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、２，６－ジクロロナフタレン－１，４，５，８－テトラカルボン酸二無水物、２，７－ジクロロナフタレン－１，４，５，８－テトラカルボン酸二無水物、２，３，６，７－テトラクロロナフタレン－１，４，５，８－テトラカルボン酸二無水物、フェナンスレン－１，８，９，１０－テトラカルボン酸二無水物、ピラジン－２，３，５，６－テトラカルボン酸二無水物、チオフェン－２，３，５，６－テトラカルボン酸二無水物、２，３，３’，４’－ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、３，４，３’，４’－ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，３，２’，３’－ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビス（３，４－ジカルボキシフェニル）ジメチルシラン二無水物、ビス（３，４－ジカルボキシフェニル）メチルフェニルシラン二無水物、ビス（３，４－ジカルボキシフェニル）ジフェニルシラン二無水物、１，４－ビス（３，４－ジカルボキシフェニルジメチルシリル）ベンゼン二無水物、１，３－ビス（３，４－ジカルボキシフェニル）－１，１，３，３－テトラメチルジシクロヘキサン二無水物、ｐ－フェニレンビス（トリメリテート無水物）、エチレンテトラカルボン酸二無水物、１，２，３，４－ブタンテトラカルボン酸二無水物、デカヒドロナフタレン－１，４，５，８－テトラカルボン酸二無水物、４，８－ジメチル－１，２，３，５，６，７－ヘキサヒドロナフタレン－１，２，５，６－テトラカルボン酸二無水物、シクロペンタン－１，２，３，４－テトラカルボン酸二無水物、ピロリジン－２，３，４，５－テトラカルボン酸二無水物、１，２，３，４－シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、ビス（エキソ－ビシクロ〔２，２，１〕ヘプタン－２，３－ジカルボン酸二無水物、ビシクロ－〔２，２，２〕－オクト－７－エン－２，３，５，６－テトラカルボン酸二無水物、２，２－ビス（３，４－ジカルボキシフェニル）プロパン二無水物、２，２－ビス〔４－（３，４－ジカルボキシフェニル）フェニル〕プロパン二無水物、２，２－ビス（３，４－ジカルボキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン二無水物、２，２－ビス〔４－（３，４－ジカルボキシフェニル）フェニル〕ヘキサフルオロプロパン二無水物、４，４’－ビス（３，４－ジカルボキシフェノキシ）ジフェニルスルフィド二無水物、１，４－ビス（２－ヒドロキシヘキサフルオロイソプロピル）ベンゼンビス（トリメリット酸無水物）、１，３－ビス（２－ヒドロキシヘキサフルオロイソプロピル）ベンゼンビス（トリメリット酸無水物）、５－（２，５－ジオキソテトラヒドロフリル）－３－メチル－３－シクロヘキセン－１，２－ジカルボン酸二無水物、テトラヒドロフラン－２，３，４，５－テトラカルボン酸二無水物、下記一般式（Ｉ）で表されるテトラカルボン酸二無水物及び下記式（ＩＩ）で表されるテトラカルボン酸二無水物が挙げられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000007
　式（Ｉ）中、ａは２～２０の整数を示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000008
　上記一般式（Ｉ）で表されるテトラカルボン酸二無水物は、無水トリメリット酸モノクロライド及び対応するジオールから合成することができ、具体的には、１，２－（エチレン）ビス（トリメリテート無水物）、１，３－（トリメチレン）ビス（トリメリテート無水物）、１，４－（テトラメチレン）ビス（トリメリテート無水物）、１，５－（ペンタメチレン）ビス（トリメリテート無水物）、１，６－（ヘキサメチレン）ビス（トリメリテート無水物）、１，７－（ヘプタメチレン）ビス（トリメリテート無水物）、１，８－（オクタメチレン）ビス（トリメリテート無水物）、１，９－（ノナメチレン）ビス（トリメリテート無水物）、１，１０－（デカメチレン）ビス（トリメリテート無水物）、１，１２－（ドデカメチレン）ビス（トリメリテート無水物）、１，１６－（ヘキサデカメチレン）ビス（トリメリテート無水物）及び１，１８－（オクタデカメチレン）ビス（トリメリテート無水物）が挙げられる。
　テトラカルボン酸二無水物としては、優れた耐湿信頼性を付与できる点で、上記式（ＩＩ）で表されるテトラカルボン酸二無水物が好ましい。上記テトラカルボン酸二無水物は、単独で又は２種以上を組み合わせて使用することができる。
　上記式（ＩＩ）で表されるテトラカルボン酸二無水物の含有量は、全テトラカルボン酸二無水物に対して４０モル％以上が好ましく、５０モル％以上がより好ましく、７０モル％以上が更に好ましい。含有量が４０モル％以上であると、上記式（ＩＩ）で表されるテトラカルボン酸二無水物を使用したことによる耐湿信頼性の効果を充分に確保し易い傾向がある。
　上記ポリイミド樹脂の原料として用いられるジアミンとしては、特に制限はなく、例えば、ｏ－フェニレンジアミン、ｍ－フェニレンジアミン、ｐ－フェニレンジアミン、３，３’－ジアミノジフェニルエーテル、３，４’－ジアミノジフェニルエーテル、４，４’－ジアミノジフェニルエーテル、３，３’－ジアミノジフェニルメタン、３，４’－ジアミノジフェニルメタン、４，４’－ジアミノジフェニルエーテルメタン、ビス（４－アミノ－３，５－ジメチルフェニル）メタン、ビス（４－アミノ－３，５－ジイソプロピルフェニル）メタン、３，３’－ジアミノジフェニルジフルオロメタン、３，４’－ジアミノジフェニルジフルオロメタン、４，４’－ジアミノジフェニルジフルオロメタン、３，３’－ジアミノジフェニルスルホン、３，４’－ジアミノジフェニルスルホン、４，４’－ジアミノジフェニルスルホン、３，３’－ジアミノジフェニルスルフィド、３，４’－ジアミノジフェニルスルフィド、４，４’－ジアミノジフェニルスルフィド、３，３’－ジアミノジフェニルケトン、３，４’－ジアミノジフェニルケトン、４，４’－ジアミノジフェニルケトン、２，２－ビス（３－アミノフェニル）プロパン、２，２’－（３，４’－ジアミノジフェニル）プロパン、２，２－ビス（４－アミノフェニル）プロパン、２，２－ビス（３－アミノフェニル）ヘキサフルオロプロパン、２，２－（３，４’－ジアミノジフェニル）ヘキサフルオロプロパン、２，２－ビス（４－アミノフェニル）ヘキサフルオロプロパン、１，３－ビス（３－アミノフェノキシ）ベンゼン、１，４－ビス（３－アミノフェノキシ）ベンゼン、１，４－ビス（４－アミノフェノキシ）ベンゼン、３，３’－（１，４－フェニレンビス（１－メチルエチリデン））ビスアニリン、３，４’－（１，４－フェニレンビス（１－メチルエチリデン））ビスアニリン、４，４’－（１，４－フェニレンビス（１－メチルエチリデン））ビスアニリン、２，２－ビス（４－（３－アミノフェノキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（３－アミノフェノキシ）フェニル）ヘキサフルオロプロパン、２，２－ビス（４－（４－アミノフェノキシ）フェニル）ヘキサフルオロプロパン、ビス（４－（３－アミノエノキシ）フェニル）スルフィド、ビス（４－（４－アミノエノキシ）フェニル）スルフィド、ビス（４－（３－アミノエノキシ）フェニル）スルホン、ビス（４－（４－アミノエノキシ）フェニル）スルホン、３，５－ジアミノ安息香酸等の芳香族ジアミン、１，３－ビス（アミノメチル）シクロヘキサン、２，２－ビス（４－アミノフェノキシフェニル）プロパン、下記一般式（ＩＩＩ）又は（ＩＶ）で表される脂肪族エーテルジアミン、下記一般式（Ｖ）で表される脂肪族ジアミン及び下記一般式（ＶＩ）で表されるシロキサンジアミンが挙げられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000009
　式（ＩＩＩ）中、Ｑ１、Ｑ２及びＱ３はそれぞれ独立に炭素数１～１０のアルキレン基を示し、ｂは１～８０の整数を示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000010
　式（ＩＶ）中、Ｑ４、Ｑ５、Ｑ６及びＱ７はそれぞれ独立に炭素数１～１０のアルキレン基を示し、ｃ、ｄ及びｅはそれぞれ独立に１～５０の整数を示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000011
　式（Ｖ）中、ｆは５～２０の整数を示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000012
　式（ＶＩ）中、Ｑ８及びＱ１３はそれぞれ独立に炭素数１～５のアルキレン基又は置換基を有してもよいフェニレン基を示し、Ｑ９、Ｑ１０、Ｑ１１及びＱ１２はそれぞれ独立に炭素数１～５のアルキル基、フェニル基又はフェノキシ基を示し、ｇは１～５の整数を示す。
　これらの中でも、低応力性、低温ラミネート性及び低温接着性を付与できる点で、上記一般式（ＩＩＩ）、（ＩＶ）又は（Ｖ）で表されるジアミンが好ましく、低吸水性及び低吸湿性を付与できる点で、上記一般式（ＶＩ）で表されるジアミンが好ましい。これらのジアミンは単独で又は２種以上を組み合わせて使用することができる。
　上記一般式（ＩＩＩ）又は（ＩＶ）で表される脂肪族エーテルジアミンの含有量は、全ジアミンの１～５０モル％であることが好ましく、上記一般式（Ｖ）で表される脂肪族ジアミンの含有量は、全ジアミンの２０～８０モル％であることが好ましく、上記一般式（ＶＩ）で表されるシロキサンジアミンの含有量は、全ジアミンの２０～８０モル％であることが好ましい。上記含有量の範囲内であると、低温ラミネート性及び低吸水性の付与の効果が大きくなる傾向がある。
　また、上記一般式（ＩＩＩ）で表される脂肪族エーテルジアミンとしては、具体的には、下記式（ＩＩＩ－１）～（ＩＩＩ－５）の脂肪族エーテルジアミンが挙げられる。なお、一般式（ＩＩＩ－４）及び（ＩＩＩ－５）中、ｎは１以上の整数を表す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000013
　上記一般式（ＩＩＩ－４）で表される脂肪族エーテルジアミンの重量平均分子量は、例えば、３５０、７５０、１１００又は２１００であることが好ましい。また、上記一般式（ＩＩＩ－５）で表される脂肪族エーテルジアミンの重量平均分子量は、例えば２３０、４００又は２０００であることが好ましい。
　上記脂肪族エーテルジアミンのうち、低温ラミネート性と有機レジスト付き基板に対する良好な接着性とを確保できる点で、上記一般式（ＩＶ）、下記一般式（ＶＩＩ）、（ＶＩＩＩ）又は（ＩＸ）でそれぞれ表される脂肪族エーテルジアミンがより好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000014
　式（ＶＩＩ）中、ｈは２～８０の整数を示し、２～７０であることがより好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000015
　式（ＶＩＩＩ）中、ｃ、ｄ及びｅは１～５０の整数を示し、２～４０であることがより好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000016
　式（ＩＸ）中、ｊ及びｋはそれぞれ独立に１～７０の整数を示す。
　上記一般式（ＶＩＩ）で表される脂肪族エーテルジアミンとしては、具体的には、サンテクノケミカル（株）製のジェファーミンＤ－２３０，Ｄ－４００，Ｄ－２０００及びＤ－４０００、ＢＡＳＦ製のポリエーテルアミンＤ－２３０，Ｄ－４００及びＤ－２０００が挙げられ、上記一般式（ＶＩＩＩ）で表される脂肪族エーテルジアミンとしては、具体的には、サンテクノケミカル（株）製のジェファーミンＥＤ－６００，ＥＤ－９００，ＥＤ－２００１が挙げられ、上記式（ＩＸ）で表される脂肪族エーテルジアミンとしては、具体的には、サンテクノケミカル（株）製のジェファーミンＥＤＲ－１４８が挙げられる。
　上記一般式（Ｖ）で表される脂肪族ジアミンとしては、例えば、１，２－ジアミノエタン、１，３－ジアミノプロパン、１，４－ジアミノブタン、１，５－ジアミノペンタン、１，６－ジアミノヘキサン、１，７－ジアミノヘプタン、１，８－ジアミノオクタン、１，９－ジアミノノナン、１，１０－ジアミノデカン、１，１１－ジアミノウンデカン、１，１２－ジアミノドデカン及び１，２－ジアミノシクロヘキサンが挙げられる。これらの中でも、１，９－ジアミノノナン、１，１０－ジアミノデカン、１，１１－ジアミノウンデカン及び１，１２－ジアミノドデカンが好ましい。
　上記一般式（ＶＩ）で表されるシロキサンジアミンとしては、一般式（ＶＩ）中のｇが１の場合には、１，１，３，３－テトラメチル－１，３－ビス（４－アミノフェニル）ジシロキサン、１，１，３，３－テトラフェノキシ－１，３－ビス（４－アミノエチル）ジシロキサン、１，１，３，３－テトラフェニル－１，３－ビス（２－アミノエチル）ジシロキサン、１，１，３，３－テトラフェニル－１，３－ビス（３－アミノプロピル）ジシロキサン、１，１，３，３－テトラメチル－１，３－ビス（２－アミノエチル）ジシロキサン、１，１，３，３－テトラメチル－１，３－ビス（３－アミノプロピル）ジシロキサン、１，１，３，３－テトラメチル－１，３－ビス（３－アミノブチル）ジシロキサン及び１，３－ジメチル－１，３－ジメトキシ－１，３－ビス（４－アミノブチル）ジシロキサンが挙げられる。ｇが２の場合には、１，１，３，３，５，５－ヘキサメチル－１，５－ビス（４－アミノフェニル）トリシロキサン、１，１，５，５－テトラフェニル－３，３－ジメチル－１，５－ビス（３－アミノプロピル）トリシロキサン、１，１，５，５－テトラフェニル－３，３－ジメトキシ－１，５－ビス（４－アミノブチル）トリシロキサン、１，１，５，５－テトラフェニル－３，３－ジメトキシ－１，５－ビス（５－アミノペンチル）トリシロキサン、１，１，５，５－テトラメチル－３，３－ジメトキシ－１，５－ビス（２－アミノエチル）トリシロキサン、１，１，５，５－テトラメチル－３，３－ジメトキシ－１，５－ビス（４－アミノブチル）トリシロキサン、１，１，５，５－テトラメチル－３，３－ジメトキシ－１，５－ビス（５－アミノペンチル）トリシロキサン、１，１，３，３，５，５－ヘキサメチル－１，５－ビス（３－アミノプロピル）トリシロキサン、１，１，３，３，５，５－ヘキサエチル－１，５－ビス（３－アミノプロピル）トリシロキサン及び１，１，３，３，５，５－ヘキサプロピル－１，５－ビス（３－アミノプロピル）トリシロキサンが挙げられる。
　上記ポリイミド樹脂は、単独で又は２種以上の混合物として使用することができる。
　（ｄ）成分のガラス転移温度（Ｔｇ）は、接着剤組成物の基板やチップへの貼付性に優れる観点から、１００℃以下が好ましく、７５℃以下がより好ましい。Ｔｇが１００℃以下である場合には、半導体チップに形成されたバンプや、基板に形成された電極や配線パターン等の凹凸を接着剤組成物により埋め込み易くなり、気泡が残存することがなくボイドが発生しにくい傾向がある。なお、上記Ｔｇとは、ＤＳＣ（パーキンエルマー社製ＤＳＣ－７型）を用いて、サンプル量１０ｍｇ、昇温速度５℃／分、測定雰囲気：空気の条件で測定したときのＴｇである。
　（ｄ）成分の重量平均分子量は、ポリスチレン換算で１００００以上であるが、単独で良好なフィルム形成性を示すために、３００００以上が好ましく、４００００以上がより好ましく、５００００以上が更に好ましい。重量平均分子量が１００００以上である場合にはフィルム形成性が向上する傾向がある。なお、本明細書において、重量平均分子量とは、高速液体クロマトグラフィー（例えば、島津製作所製、製品名「Ｃ－Ｒ４Ａ」）を用いて、ポリスチレン換算で測定したときの重量平均分子量を意味する。
　（ｄ）成分の含有量は特に制限されないが、フィルム状を良好に保持するため、（ａ）成分１００質量部に対して、１～５００質量部であることが好ましく、５～３００質量部であることがより好ましく、１０～２００質量部が更に好ましい。（ｄ）成分の含有量が１質量部以上では、フィルム形成性の向上効果が得られ易い傾向があり、５００質量部以下であると、接着剤組成物の硬化性が向上し、接着力が向上する傾向がある。
（ｅ）成分：フラックス活性剤
　本発明の接着剤組成物には（ｅ）成分、すなわち、フラックス活性（酸化物や不純物を除去する活性）を示す化合物であるフラックス活性剤を含有することができる。フラックス活性剤としては、イミダゾール類やアミン類のように非共有電子対を有する含窒素化合物、カルボン酸類、フェノール類及びアルコール類が挙げられる。
　これらの中でも、カルボン酸類はフラックス活性が強く、（ａ）成分であるエポキシ樹脂と容易に反応し、接着剤組成物の硬化物中に遊離した状態で存在しないため、絶縁信頼性の低下を防ぐことができる。
　カルボン酸類としては、例えば、エタン酸、プロパン酸、ブタン酸、ペンタン酸、ヘキサン酸、ヘプタン酸、オクタン酸、ノナン酸、デカン酸、ドデカン酸、テトラデカン酸、ヘキサデカン酸、ヘプタデカン酸、オクタデカン酸等の脂式飽和カルボン酸；オレイン酸、リノール酸、リノレン酸、アラキドン酸、ドコサヘキサエン酸、エイコサペンタエン酸等の脂式不飽和カルボン酸；マレイン酸、フマル酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸等の脂式ジカルボン酸；安息香酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリット酸、トリメシン酸、ヘミメリット酸、ピロメリット酸、ベンゼンペンタカルボン酸、メリト酸等の芳香族カルボン酸が挙げられる。また、ヒドロキシル基を有するカルボン酸としては、例えば、乳酸、りんご酸、クエン酸及びサリチル酸が挙げられる。
　さらに、上記芳香族カルボン酸に電子吸引性又は電子供与性の置換基があり、置換基によって芳香族上のカルボン酸の酸性度を変化させた芳香族系カルボン酸を用いることもできる。カルボン酸の酸性度が高いほどフラックス活性が向上する傾向にあるが、酸性度が高すぎると絶縁信頼性が低下する場合がある。カルボン酸の酸性度を高くする電子吸引性置換基としては、ニトロ基、シアノ基、トリフルオロメチル基、ハロゲン基及びフェニル基が挙げられる。カルボン酸の酸性度を弱くする電子供与性の置換基としては、メチル基、エチル基、イソプロピル基、タ－シャルブチル基、ジメチルアミノ基及びトリメチルアミノ基が挙げられる。なお、上記置換基の数や位置は、フラックス活性や絶縁信頼性が低下しなければ特に制限されない。
　カルボン酸類は、高温加熱時に分解して揮発成分が発生しないよう室温で液状のものより、固形のものを用いることが好ましい。
（その他の成分）
　本実施形態の接着剤組成物には、粘度や硬化物の物性を制御するため、及び、半導体チップ及び基板を接続した際のボイドの発生や吸湿率の上昇を抑制するために、（ｃ）成分の他に更にフィラーを配合してもよい。
　フィラーとしては、絶縁性無機フィラー、ウィスカー又は樹脂フィラーを用いることができる。絶縁性無機フィラー、ウィスカー又は樹脂フィラーとしては、上記（ｃ）成分と同様の物質を使用することができる。これらのフィラー、ウィスカー及び樹脂フィラーは１種を単独で又は２種以上の混合物として使用することができる。フィラーの形状、平均粒径及び含有量は特に制限されない。
　さらに、本実施形態の接着剤組成物には、酸化防止剤、シランカップリング剤、チタンカップリング剤、レベリング剤、イオントラップ剤等の添加剤を配合してもよい。これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。これらの配合量については、各添加剤の効果が発現するように適宜調整すればよい。
　本実施形態の接着剤組成物は、フィルム状に形成することができる。本実施形態の接着剤組成物を用いたフィルム状接着剤の作製方法を以下に示す。まず、（ａ）成分、（ｂ）成分及び（ｃ）成分、並びに必要に応じて添加される（ｄ）成分又は（ｅ）成分等を有機溶媒中に加え、攪拌混合、混錬等により、溶解又は分散させて、樹脂ワニスを調製する。その後、離型処理を施した基材フィルム上に、樹脂ワニスをナイフコーター、ロールコーターやアプリケーターを用いて塗布した後、加熱により有機溶媒を除去することにより、基材フィルム上にフィルム状接着剤が得られる。なお、（ｄ）成分を配合する場合、（ｄ）成分を合成した後に単離することなく、合成後に得られるワニス中に各成分を加えて上記樹脂ワニスを調製してもよい。
　樹脂ワニスの調製に用いる有機溶媒としては、各成分を均一に溶解又は分散し得る特性を有するものが好ましく、例えば、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、Ｎ－メチル－２－ピロリドン、ジメチルスルホキシド、ジエチレングリコールジメチルエーテル、トルエン、ベンゼン、キシレン、メチルエチルケトン、テトラヒドロフラン、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブ、ジオキサン、シクロヘキサノン及び酢酸エチルが挙げられる。これらの有機溶媒は、単独で又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。樹脂ワニス調製の際の攪拌混合や混錬は、例えば、攪拌機、らいかい機、３本ロール、ボールミル、ビーズミル及びホモディスパーを用いて行うことができる。
　基材フィルムとしては、有機溶媒を揮発させる際の加熱条件に耐え得る耐熱性を有するものであれば特に制限はなく、ポリプロピレンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム等のポリオレフィンフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム等のポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム及びポリエーテルイミドフィルムを例示できる。基材フィルムは、これらのフィルムからなる単層のものに限られず、２種以上の材料からなる多層フィルムであってもよい。
　基材フィルムへ塗布した樹脂ワニスから有機溶媒を揮発させる際の乾燥条件は、有機溶媒が十分に揮発する条件とすることが好ましく、具体的には、５０～２００℃、０．１～９０分間の加熱を行うことが好ましい。
＜半導体装置＞
　本実施形態の半導体装置について、図１及び２を用いて以下説明する。図１は、本発明の半導体装置の一実施形態を示す模式断面図である。図１（ａ）に示すように、半導体装置１００は、互いに対向する半導体チップ１０及び基板（回路配線基板）２０と、半導体チップ１０及び基板２０の互いに対向する面にそれぞれ配置された配線１５と、半導体チップ１０及び基板２０の配線１５を互いに接続する接続バンプ３０と、半導体チップ１０及び基板２０間の空隙に隙間なく充填された接着剤組成物４０とを有している。半導体チップ１０及び基板２０は、配線１５及び接続バンプ３０によりフリップチップ接続されている。配線１５及び接続バンプ３０は、接着剤組成物４０により封止されており外部環境から遮断されている。
　図１（ｂ）に示すように、半導体装置２００は、互いに対向する半導体チップ１０及び基板２０と、半導体チップ１０及び基板２０の互いに対向する面にそれぞれ配置されたバンプ３２と、半導体チップ１０及び基板２０間の空隙に隙間なく充填された接着剤組成物４０とを有している。半導体チップ１０及び基板２０は、対向するバンプ３２が互いに接続されることによりフリップチップ接続されている。バンプ３２は、接着剤組成物４０により封止されており外部環境から遮断されている。
　図２は、本発明の半導体装置の他の一実施形態を示す模式断面図である。図２（ａ）に示すように、半導体装置３００は、２つの半導体チップ１０が配線１５及び接続バンプ３０によりフリップチップ接続されている点を除き、半導体装置１００と同様である。図２（ｂ）に示すように、半導体装置４００は、２つの半導体チップ１０がバンプ３２によりフリップチップ接続されている点を除き、半導体装置２００と同様である。
　半導体チップ１０としては、特に限定はなく、シリコン、ゲルマニウム等の同一種類の元素から構成される元素半導体、ガリウムヒ素、インジウムリン等の化合物半導体を用いることができる。
　基板２０としては、回路基板であれば特に制限はなく、ガラスエポキシ、ポリイミド、ポリエステル、セラミック、エポキシ、ビスマレイミドトリアジン等を主な成分とする絶縁基板の表面に、金属膜の不要な個所をエッチング除去して形成された配線（配線パターン）１５を有する回路基板、上記絶縁基板の表面に金属めっき等によって配線１５が形成された回路基板、上記絶縁基板の表面に導電性物質を印刷して配線１５が形成された回路基板を用いることができる。
　配線１５やバンプ３２等の接続部は、主成分として、金、銀、銅、ハンダ（主成分は、例えばスズ－銀、スズ－鉛、スズ－ビスマス、スズ－銅）、ニッケル、スズ、鉛等を含有しており、複数の金属を含有していてもよい。
　上記金属の中でも、接続部の電気伝導性・熱伝導性に優れたパッケージとする観点から、金、銀及び銅が好ましく、銀及び銅がより好ましく、銀が更に好ましい。コストが低減されたパッケージとする観点から、安価であることに基づき銀、銅及びハンダが好ましく、銅及びハンダがより好ましく、ハンダが更に好ましい。室温において金属の表面に酸化膜が形成すると生産性が低下する場合やコストが増加する場合があるため、酸化膜の形成を抑制する観点から、金、銀、銅及びハンダが好ましく、金、銀、ハンダがより好ましく、金、銀が更に好ましい。
　上記配線１５及びバンプ３２の表面には、金、銀、銅、ハンダ（主成分は、例えばスズ－銀、スズ－鉛、スズ－ビスマス、スズ－銅）、スズ、ニッケル等を主な成分とする金属層が、例えばメッキにより形成されていてもよい。この金属層は単一の成分のみで構成されていても、複数の成分から構成されていてもよい。また、上記金属層は、単層又は複数の金属層が積層された構造をしていてもよい。
　また、本実施形態の半導体装置は、半導体装置１００～４００に示すような構造（パッケージ）が複数積層されていてもよい。この場合、半導体装置１００～４００は、金、銀、銅、ハンダ（主成分は、例えばスズ－銀、スズ－鉛、スズ－ビスマス、スズ－銅）、スズ、ニッケル等を含むバンプや配線で互いに電気的に接続されていてもよい。
　半導体装置を複数積層する手法としては、図３に示すように、例えばＴＳＶ（Ｔｈｒｏｕｇｈ－Ｓｉｌｉｃｏｎ　Ｖｉａ）技術が挙げられる。図３は、本発明の半導体装置の他の一実施形態を示す模式断面図であり、ＴＳＶ技術を用いた半導体装置である。図３に示す半導体装置５００では、インターポーザ５０上に形成された配線１５が半導体チップ１０の配線１５と接続バンプ３０を介して接続されることにより、半導体チップ１０とインターポーザ５０とはフリップチップ接続されている。半導体チップ１０とインターポーザ５０との間の空隙には接着剤組成物４０が隙間なく充填されている。上記半導体チップ１０におけるインターポーザ５０と反対側の表面上には、配線１５、接続バンプ３０及び接着剤組成物４０を介して半導体チップ１０が繰り返し積層されている。半導体チップ１０の表裏におけるパターン面の配線１５は、半導体チップ１０の内部を貫通する孔内に充填された貫通電極３４により互いに接続されている。なお、貫通電極３４の材質としては、銅、アルミニウム等を用いることができる。
　このようなＴＳＶ技術により、通常は使用されない半導体チップの裏面からも信号を取得することが可能となる。さらには、半導体チップ１０内に貫通電極３４を垂直に通すため、対向する半導体チップ１０間や半導体チップ１０及びインターポーザ５０間の距離を短くし、柔軟な接続が可能である。本実施形態の接着剤組成物は、このようなＴＳＶ技術において、対向する半導体チップ１０間や、半導体チップ１０及びインターポーザ５０間の半導体封止用接着剤として適用することができる。
　また、エリヤバンプチップ技術等の自由度の高いバンプ形成方法では、インターポーザを介さないでそのまま半導体チップをマザーボードに直接実装できる。本実施形態の接着剤組成物は、このような半導体チップをマザーボードに直接実装する場合にも適用することができる。なお、本実施形態の接着剤組成物は、２つの配線回路基板を積層する場合に、基板間の空隙を封止する際にも適用することができる。
＜半導体装置の製造方法＞
　本実施形態の半導体装置の製造方法について、図４を用いて以下説明する。図４は、本発明の半導体装置の製造方法の一実施形態を模式的に示す工程断面図である。
　まず、図４（ａ）に示すように、配線（例えば、金バンプ）１５を有する基板２０上に、接続バンプ３０を形成する位置に開口を有するソルダーレジスト６０を形成する。このソルダーレジスト６０は必ずしも設ける必要はない。しかしながら、基板２０上にソルダーレジストを設けることにより、配線１５間のブリッジの発生を抑制し、接続信頼性・絶縁信頼性を向上させることができる。ソルダーレジスト６０は、例えば、市販のパッケージ用ソルダーレジスト用インキを用いて形成することができる。市販のパッケージ用ソルダーレジスト用インキとしては、具体的には、ＳＲシリーズ（日立化成工業株式会社製、商品名）及びＰＳＲ４０００－ＡＵＳシリーズ（太陽インキ製造（株）製、商品名）が挙げられる。
　次に、図４（ａ）に示すように、ソルダーレジスト６０の開口に接続バンプ（例えば、ハンダバンプ）３０を形成する。そして、図４（ｂ）に示すように、接続バンプ３０及びソルダーレジスト６０が形成された基板２０上に、フィルム状の接着剤組成物（以下、場合により「フィルム状接着剤」という。）４０を貼付する。フィルム状接着剤４０の貼付は、加熱プレス、ロールラミネート、真空ラミネート等によって行うことができる。フィルム状接着剤４０の供給面積や厚みは、半導体チップ１０及び基板２０のサイズや、接続バンプ３０の高さによって適宜設定される。
　上記のとおりフィルム状接着剤４０を基板２０に貼り付けた後、半導体チップ１０の配線１５と接続バンプ３０とをフリップチップボンダー等の接続装置を用いて、位置合わせする。続いて、半導体チップ１０と基板２０とを接続バンプ３０の融点以上の温度で加熱しながら圧着し、図４（ｃ）に示すように、半導体チップ１０と基板２０とを接続すると共に、フィルム状接着剤４０によって半導体チップ１０及び基板２０間の空隙を封止充填する。以上により、半導体装置６００が得られる。
　本実施形態の半導体装置の製造方法では、位置合わせをした後に仮固定し、リフロー炉で加熱処理することによって、接続バンプ３０を溶融させて半導体チップ１０と基板２０とを接続してもよい。仮固定の段階では、金属接合を形成することが必ずしも必要ではないため、上記の加熱しながら圧着する方法に比べて低荷重、短時間、低温度による圧着でよく、生産性が向上すると共に接続部の劣化を抑制することができる。
　また、半導体チップ１０と基板２０とを接続した後、オーブン等で加熱処理を行って、更に接続信頼性・絶縁信頼性を高めてもよい。加熱温度は、フィルム状接着剤の硬化が進行する温度が好ましく、完全に硬化する温度がより好ましい。加熱温度、加熱時間は適宜設定される。
　本実施形態の半導体装置の製造方法では、フィルム状接着剤４０を半導体チップ１０に貼付した後に基板２０を接続してもよい。また、半導体チップ１０及び基板２０を配線１５及び接続バンプ３０により接続した後、半導体チップ１０及び基板２０間の空隙にペースト状の接着剤組成物を充填してもよい。
　生産性が向上する観点から、複数の半導体チップ１０が連結した半導体ウェハに接着剤組成物を供給した後、ダイシングして個片化することによって、半導体チップ１０上に接着剤組成物が供給された構造体を得てもよい。また、接着剤組成物がペースト状の場合は、特に制限されるものではないが、スピンコート等の塗布方法により、半導体チップ１０上の配線やバンプを埋め込み、厚みを均一化させればよい。この場合、樹脂の供給量が一定となるため生産性が向上すると共に、埋め込み不足によるボイドの発生及びダイシング性の低下を抑制することができる。一方、接着剤組成物がフィルム状の場合は、特に制限されるものではないが、加熱プレス、ロールラミネート及び真空ラミネート等の貼付方式により半導体チップ１０上の配線やバンプを埋め込むようにフィルム状の樹脂組成物を供給すればよい。この場合、樹脂の供給量が一定となるため生産性が向上し、埋め込み不足によるボイドの発生及びダイシング性の低下を抑制することができる。
　接続荷重は、接続バンプ３０の数や高さのばらつき、加圧による接続バンプ３０、又は接続部のバンプを受ける配線の変形量を考慮して設定される。接続温度は、接続部の温度が接続バンプ３０の融点以上であることが好ましいが、それぞれの接続部（バンプや配線）の金属接合が形成される温度であればよい。接続バンプ３０がハンダバンプである場合は、約２４０℃以上であればよい。
　接続時の接続時間は、接続部の構成金属により異なるが、生産性が向上する観点から短時間であるほど好ましい。接続バンプ３０がハンダバンプである場合、接続時間は２０秒以下が好ましく、１０秒以下がより好ましく、５秒以下が更に好ましい。銅－銅又は銅－金の金属接続の場合は、接続時間は６０秒以下が好ましい。
　上述した様々なパッケージ構造のフリップチップ接続部においても、本発明の接着剤組成物は、優れた接続信頼性及び絶縁信頼性を示す。
　以下、実施例、比較例を用いて本発明を説明するが、本発明は以下の実施例によって制限されるものではない。
（ポリイミド合成）
　温度計、攪拌機及び塩化カルシウム管を備えた３００ｍＬフラスコに、１，１２－ジアミノドデカン２．１０ｇ（０．０３５モル）、ポリエーテルジアミン（ＢＡＳＦ製、商品名「ＥＤ２０００」、分子量：１９２３）１７．３１ｇ（０．０３モル）、１，３－ビス（３－アミノプロピル）テトラメチルジシロキサン（信越化学製、商品名「ＬＰ－７１００」）２．６１ｇ（０．０３５モル）及びＮ－メチル－２－ピロリドン（関東化学製、以下「ＮＭＰ」という）１５０ｇを仕込み攪拌した。上記ジアミンの溶解後、フラスコを氷浴中で冷却しながら、無水酢酸で再結晶精製した４，４’－（４，４’－イソプロピリデンジフェノキシ）ビス（フタル酸二無水物）（ＡＬＤＲＩＣＨ製、商品名「ＢＰＡＤＡ」）１５．６２ｇ（０．１０モル）を少量ずつ添加した。室温で８時間反応させたのち、キシレン１００ｇを加え、窒素ガスを吹き込みながら１８０℃で加熱し、水と共にキシレンを共沸除去し、ポリイミド樹脂を得た。得られたポリイミド樹脂から溶媒（ＮＭＰ）を除去し、トルエン及び酢酸エチルの混合溶媒（質量比１：１）に固形分５０質量％となるように溶解したものを「ポリイミドＡ」とした。ポリイミドＡのＴｇは３０℃、重量平均分子量は５００００、ＳＰ値（溶解度パラメーター）は１０．２であった。
　各実施例及び比較例で使用した化合物は以下の通りである。
（ａ）エポキシ樹脂
・トリフェノールメタン骨格含有多官能固形エポキシ（ジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名「ＥＰ１０３２Ｈ６０」、以下「ＥＰ１０３２」という。）
（ｂ）硬化剤
・２－フェニル－４，５－ジヒドロキシメチルイミダゾール（四国化成株式会社製、商品名「２ＰＨＺ－ＰＷ」、以下「２ＰＨＺ」という。）
（ｃ）ビニル系表面処理フィラー又は上記一般式（１）で表される基を有するフィラー
・ビニル表面処理シリカフィラー（株式会社アドマテックス製、商品名「ＳＥ２０５０－ＳＶＪ」、平均粒径０．５μｍ、以下「ＳＶシリカ」という。）
（ｃ’）その他のフィラー
・未処理のシリカフィラー（株式会社アドマテックス製、商品名「ＳＥ２０５０」、平均粒径０．５μｍ、以下、「未処理シリカ」という。）
・アミノシラン処理シリカフィラー（株式会社アドマテックス製、商品名「ＳＥ２０５０－ＳＸＪ」、平均粒径０．５μｍ、以下「ＳＸシリカ」という。）
・エポキシシラン処理シリカフィラー（株式会社アドマテックス製、商品名「ＳＥ２０５０－ＳＥＪ」、平均粒径０．５μｍ、以下「ＳＥシリカ」という。）
・フェニルシラン処理シリカフィラー（株式会社アドマテックス製、商品名「ＳＥ２０５０－ＳＰＪ」、平均粒径０．５μｍ、以下「ＳＰシリカ」という。）
・メタブレン型有機フィラー（三菱レイヨン製、商品名「Ｗ５５００」、以下「Ｗ５５００」という。）
（ｄ）分子量１００００以上の高分子成分
・上述の通り合成したポリイミドＡ
（ｅ）フラックス活性剤
・ジフェノール酸（東京化成株式会社製）
＜半導体封止用フィルム状接着剤の作製＞
（実施例１）
　エポキシ樹脂（ＥＰ１０３２）１００質量部、硬化剤（２ＰＨＺ）７．５質量部、フィラー（ＳＶシリカ）１７５質量部、フラックス活性剤（ジフェノール酸）２５質量部並びにトルエン及び酢酸エチルの混合溶媒（質量比１：１）を固形分が６０質量％になるように仕込み、直径０．８ｍｍのビーズ及び直径２．０ｍｍのビーズを固形分と同量加え、ビーズミル（フリッチュ・ジャパン株式会社、遊星型微粉砕機「Ｐ－７」）で３０分間撹拌した。次いで、ポリイミドＡを１００質量部（固形分換算）加え、再度ビーズミルで３０分間撹拌した後、撹拌に用いたビーズをろ過によって除去し、樹脂ワニスを得た。
　得られた樹脂ワニスを、基材フィルム（帝人デュポンフィルム株式会社製、商品名「ピューレックスＡ５３」）に、小型精密塗工装置（廉井精機製）で塗工し、クリーンオーブン（エスペック株式会社製）中、１１０℃で１０分間乾燥して、フィルム状接着剤を作製した。
（実施例２及び比較例１～５）
　使用した原材料の組成を下記の表１の通りに変更したことを除いては、実施例１と同様にして、実施例２及び比較例１～５のフィルム状接着剤を作製した。
　以下に、実施例及び比較例で得られたフィルム状接着剤の評価方法を示す。
＜初期接続性の評価＞
　作製したフィルム状接着剤を所定のサイズ（縦８ｍｍ×横８ｍｍ×厚さ０．０２５ｍｍ）に切り抜いて、ガラスエポキシ基板（ガラスエポキシ基材：４２０μｍ厚、銅配線：９μｍ厚）上に貼付し、ハンダバンプ付き半導体チップ（チップサイズ：縦７ｍｍ×横７ｍｍ×高さ０．１５ｍｍ、バンプ高さ：銅ピラー及びハンダの合計約４０μｍ、バンプ数３２８）をフリップチップ実装装置「ＦＣＢ３」（パナソニック製、商品名）で実装した（実装条件：フィルム状接着剤の到達温度１８０℃、１０秒間、０．５ＭＰａ。次いで、フィルム状接着剤の到達温度２４５℃、１０秒間、０．５ＭＰａ）。これにより、図４と同様に上記ガラスエポキシ基板と、ハンダバンプ付き半導体チップとがデイジーチェーン接続された半導体装置を得た。
　得られた半導体装置の接続抵抗値をマルチメータ（ＡＤＶＡＮＴＥＳＴ製、商品名「Ｒ６８７１Ｅ」）を用いて測定することにより、実装後の初期導通の可否を評価した。接続抵抗値が１１～１４Ωの場合を接続性良好「Ａ」とし、それ以外の接続抵抗値の場合又は接続不良（Ｏｐｅｎ）が生じて抵抗値が表示されなかった場合を「Ｂ」として評価した。
＜熱膨張率の測定＞
　フィルム状接着剤を所定のサイズ（縦３７ｍｍ×横４ｍｍ×厚さ０．０２５ｍｍに切り
抜き、クリーンオーブン（エスペック株式会社製）中、１８０℃で３時間保持して硬化した。硬化後、熱膨張率測定装置（セイコーインスツル株式会社製、熱分析システムＴＭＡＳＳ６０００）を用いて、温度範囲２０～２７０℃、昇温速度５℃／分、荷重０．５ＭＰａの条件下で熱膨張を測定した。熱膨張率は２５～１２５℃までの平均熱膨張率（ｐｐｍ／℃）とした。
＜接続信頼性の評価（耐ＴＣＴ評価）＞
　上述の半導体装置をクリーンオーブン（エスペック株式会社製）中でアフターキュアした（１８０℃／３時間）。その後、冷熱サイクル試験機（ＥＴＡＣ製、ＴＨＥＲＭＡＬ　ＳＨＯＣＫ　ＣＨＡＭＢＥＲ　ＮＴ１２００）内に放置し、１ｍＡの電流を流し、２５℃２分間／－５５℃１５分間／２５℃２分間／１２５℃で１５分間／２５℃２分間を１サイクルとして接続抵抗を測定した。初期の抵抗値波形と比べて３００サイクル後も大きな変化がなかった場合を「Ａ」、１Ω以上の差が１００サイクル以上３００サイクル未満で生じた場合を「Ｂ」、１Ω以上の差が１００サイクル未満で生じた場合を「Ｃ」とした。
＜絶縁信頼性の評価（耐ＨＡＳＴ評価）＞
　作製したフィルム状接着剤を所定のサイズ（縦１０ｍｍ×横５ｍｍ×厚さ２５μｍ）に切り抜き、ポリイミド基板上に配線銅配線を形成した、くし型電極基板（配線ピッチ：０．０５ｍｍ）に貼付け、図５に示すように、くし型電極９０が形成された基板２０上にフィルム状接着剤４０が積層されたサンプルを作製した。なお、図５では、便宜上フィルム状接着剤の図示を省略した。続いて、サンプルをクリーンオーブン（エスペック株式会社製）中、１８５℃で３時間保持して硬化した。硬化後、各サンプルを取り出し、加速寿命試験装置（ＨＩＲＡＹＡＭＡ社製、商品名「ＰＬ－４２２Ｒ８」、条件：１３０℃／相対湿度８５％／２００時間／５Ｖ印加）に設置し、絶縁抵抗を測定した。２００時間を通して、絶縁抵抗が１０８Ω以上である場合を「Ａ」、１０８Ω未満である場合を「Ｂ」として評価した。
　各実施例及び比較例の接着剤組成物の原材料の組成（単位：質量部）及び各試験の結果を表１に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000017
　ビニル系表面処理フィラーを用いた実施例１及び２は、熱膨張率が低く、接続信頼性（耐ＴＣＴ性）及び絶縁信頼性（耐ＨＡＳＴ性）のいずれの特性も優れていることが確認された。
　１０…半導体チップ、１５…配線（接続部）、２０…基板（配線回路基板）、３０…接続バンプ、３２…バンプ（接続部）、３４…貫通電極、４０…接着剤組成物（フィルム状接着剤）、５０…インターポーザ、６０…ソルダーレジスト、９０…くし型電極、１００，２００，３００，４００，５００，６００…半導体装置。

Claims (10)

  1. 　半導体チップ及び配線回路基板のそれぞれの接続部が互いに電気的に接続された半導体装置、又は、複数の半導体チップのそれぞれの接続部が互いに電気的に接続された半導体装置において前記接続部を封止する接着剤組成物であって、
    　エポキシ樹脂と、硬化剤と、下記一般式（１）で表される基を有する化合物で表面処理されたビニル系表面処理フィラーと、を含有する接着剤組成物。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
     ［式（１）中、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３はそれぞれ独立に水素原子、メチル基又はエチル基を示し、Ｒ４は炭素数１～３０のアルキレン基を示す。］
  2. 　前記化合物が、下記一般式（２）で表される化合物である、請求項１に記載の接着剤組成物。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000002
     ［式（２）中、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３はそれぞれ独立に水素原子、メチル基又はエチル基を示し、Ｒ４は炭素数１～３０のアルキレン基を示し、Ｒ５は炭素数１～３０のアルキル基を示す。］
  3. 　半導体チップ及び配線回路基板のそれぞれの接続部が互いに電気的に接続された半導体装置、又は、複数の半導体チップのそれぞれの接続部が互いに電気的に接続された半導体装置において前記接続部を封止する接着剤組成物であって、
    　エポキシ樹脂と、硬化剤と、下記一般式（１）で表される基を有するフィラーと、を含有する接着剤組成物。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000003
     ［式（１）中、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３はそれぞれ独立に水素原子、メチル基又はエチル基を示し、Ｒ４は炭素数１～３０のアルキレン基を示す。］
  4. 　重量平均分子量が１００００以上の高分子成分を更に含有する、請求項１～３のいずれか一項に記載の接着剤組成物。
  5. 　前記高分子成分は、重量平均分子量が３００００以上であり、ガラス転移温度が１００℃以下である、請求項４に記載の接着剤組成物。
  6. 　フラックス活性剤を更に含有する、請求項１～５のいずれか一項に記載の接着剤組成物。
  7. 　形状がフィルム状である、請求項１～６のいずれか一項に記載の接着剤組成物。
  8. 　半導体チップ及び配線回路基板のそれぞれの接続部が互いに電気的に接続された半導体装置、又は、複数の半導体チップのそれぞれの接続部が互いに電気的に接続された半導体装置の製造方法であって、
    　前記接続部を、請求項１～７のいずれか一項に記載の接着剤組成物を用いて封止する工程を備える、半導体装置の製造方法。
  9. 　前記接続部が主成分として金、銀、銅、ニッケル、スズ及び鉛からなる群より選ばれる少なくとも一種の金属を含有する、請求項８記載の製造方法。
  10. 　請求項８又は９に記載の製造方法によって得られる、半導体装置。
PCT/JP2011/074153 2010-10-22 2011-10-20 接着剤組成物、半導体装置の製造方法及び半導体装置 WO2012053589A1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012512164A JP5003855B2 (ja) 2010-10-22 2011-10-20 接着剤組成物、半導体装置の製造方法及び半導体装置
KR1020137012268A KR101464454B1 (ko) 2010-10-22 2011-10-20 접착제 조성물, 반도체 장치의 제조 방법 및 반도체 장치
CN201180050254.9A CN103189464B (zh) 2010-10-22 2011-10-20 粘接剂组合物、半导体装置的制造方法以及半导体装置

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010237542 2010-10-22
JP2010-237542 2010-10-22

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2012053589A1 true WO2012053589A1 (ja) 2012-04-26

Family

ID=45975299

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2011/074153 WO2012053589A1 (ja) 2010-10-22 2011-10-20 接着剤組成物、半導体装置の製造方法及び半導体装置

Country Status (5)

Country Link
JP (2) JP5003855B2 (ja)
KR (1) KR101464454B1 (ja)
CN (1) CN103189464B (ja)
TW (1) TWI457413B (ja)
WO (1) WO2012053589A1 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014046128A1 (ja) * 2012-09-24 2014-03-27 積水化学工業株式会社 電子部品用接着剤及び半導体チップ実装体の製造方法
WO2022059639A1 (ja) * 2020-09-16 2022-03-24 昭和電工マテリアルズ株式会社 半導体用接着剤、並びに、半導体装置及びその製造方法
WO2022059640A1 (ja) * 2020-09-16 2022-03-24 昭和電工マテリアルズ株式会社 半導体用接着剤、並びに、半導体装置及びその製造方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017038081A (ja) * 2016-10-27 2017-02-16 住友ベークライト株式会社 半導体装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11345517A (ja) * 1998-06-02 1999-12-14 Toshiba Chem Corp 異方性導電接着剤
JP2002060716A (ja) * 2000-08-24 2002-02-26 Hitachi Chem Co Ltd 低弾性接着剤、低弾性接着部材、低弾性接着部材を備えた半導体搭載用基板及びこれを用いた半導体装置
JP2006196850A (ja) * 2004-12-16 2006-07-27 Sumitomo Electric Ind Ltd 回路接続用接着剤
JP2009239138A (ja) * 2008-03-28 2009-10-15 Sumitomo Bakelite Co Ltd 半導体用フィルム、半導体装置の製造方法および半導体装置
JP2009256612A (ja) * 2008-03-26 2009-11-05 Hitachi Chem Co Ltd 半導体封止用接着剤、半導体封止用フィルム状接着剤、半導体装置及びその製造方法
JP2009262227A (ja) * 2008-04-02 2009-11-12 Hitachi Chem Co Ltd フラックス活性剤、接着剤樹脂組成物、接着ペースト、接着フィルム、半導体装置の製造方法、及び半導体装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0349855A3 (en) * 1988-06-27 1991-01-23 Hercules Incorporated Molded article of metathesis polymerized polymer containing fillers and process for its preparation
TWI314153B (en) * 2002-07-12 2009-09-01 Mitsui Chemicals Inc Process for production of oxyalkylene derivative
JP4267428B2 (ja) * 2003-11-14 2009-05-27 日東電工株式会社 半導体封止用熱硬化性樹脂組成物の製造方法
US8008767B2 (en) * 2006-09-13 2011-08-30 Sumitomo Bakelight Co., Ltd. Semiconductor device
CN101939825B (zh) * 2008-02-07 2013-04-03 住友电木株式会社 半导体用膜、半导体装置的制造方法以及半导体装置
JP5195454B2 (ja) * 2009-01-22 2013-05-08 味の素株式会社 樹脂組成物

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11345517A (ja) * 1998-06-02 1999-12-14 Toshiba Chem Corp 異方性導電接着剤
JP2002060716A (ja) * 2000-08-24 2002-02-26 Hitachi Chem Co Ltd 低弾性接着剤、低弾性接着部材、低弾性接着部材を備えた半導体搭載用基板及びこれを用いた半導体装置
JP2006196850A (ja) * 2004-12-16 2006-07-27 Sumitomo Electric Ind Ltd 回路接続用接着剤
JP2009256612A (ja) * 2008-03-26 2009-11-05 Hitachi Chem Co Ltd 半導体封止用接着剤、半導体封止用フィルム状接着剤、半導体装置及びその製造方法
JP2009239138A (ja) * 2008-03-28 2009-10-15 Sumitomo Bakelite Co Ltd 半導体用フィルム、半導体装置の製造方法および半導体装置
JP2009262227A (ja) * 2008-04-02 2009-11-12 Hitachi Chem Co Ltd フラックス活性剤、接着剤樹脂組成物、接着ペースト、接着フィルム、半導体装置の製造方法、及び半導体装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014046128A1 (ja) * 2012-09-24 2014-03-27 積水化学工業株式会社 電子部品用接着剤及び半導体チップ実装体の製造方法
JP2014077122A (ja) * 2012-09-24 2014-05-01 Sekisui Chem Co Ltd 電子部品用接着剤及び半導体チップ実装体の製造方法
WO2022059639A1 (ja) * 2020-09-16 2022-03-24 昭和電工マテリアルズ株式会社 半導体用接着剤、並びに、半導体装置及びその製造方法
WO2022059640A1 (ja) * 2020-09-16 2022-03-24 昭和電工マテリアルズ株式会社 半導体用接着剤、並びに、半導体装置及びその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2012182461A (ja) 2012-09-20
JPWO2012053589A1 (ja) 2014-02-24
KR20130129199A (ko) 2013-11-27
KR101464454B1 (ko) 2014-11-21
TWI457413B (zh) 2014-10-21
TW201231590A (en) 2012-08-01
CN103189464A (zh) 2013-07-03
CN103189464B (zh) 2015-11-25
JP5003855B2 (ja) 2012-08-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5373192B2 (ja) 接着剤組成物、半導体装置の製造方法及び半導体装置
JP5577640B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JP5569576B2 (ja) 半導体用フィルム状接着剤、半導体装置の製造方法及び半導体装置
JP5881931B2 (ja) 接着剤組成物及びそれを用いた半導体装置の製造方法、半導体装置
JP5659946B2 (ja) 半導体封止用接着剤及びその製造方法、並びに半導体装置
JP5484706B2 (ja) Ｃｏｆ半導体封止用フィルム状接着剤及びその接着剤を用いた半導体装置の製造方法並びに半導体装置
JP5003855B2 (ja) 接着剤組成物、半導体装置の製造方法及び半導体装置
JP5641067B2 (ja) 半導体封止用フィルム状接着剤
JP5857462B2 (ja) 半導体封止用接着剤、半導体装置の製造方法及び半導体装置
JP5263050B2 (ja) 接着剤組成物及びそれを用いた半導体装置の製造方法、半導体装置
JP5881927B2 (ja) 半導体封止用接着剤、半導体封止用フィルム状接着剤、半導体装置の製造方法、および半導体装置
JP5671778B2 (ja) 半導体封止用フィルム状接着剤、半導体装置及びその製造方法
JP5397526B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JP5710099B2 (ja) 半導体封止用フィルム状接着剤及びその接着剤を用いた半導体装置の製造方法並びに半導体装置

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2012512164

Country of ref document: JP

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 11834428

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20137012268

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 11834428

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1