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WO2011125298A1 - 平板搬送装置及び平板の搬送方法 - Google Patents

平板搬送装置及び平板の搬送方法 Download PDF

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Publication number
WO2011125298A1
WO2011125298A1 PCT/JP2011/001674 JP2011001674W WO2011125298A1 WO 2011125298 A1 WO2011125298 A1 WO 2011125298A1 JP 2011001674 W JP2011001674 W JP 2011001674W WO 2011125298 A1 WO2011125298 A1 WO 2011125298A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
flat plate
inclination
auxiliary roller
glass substrate
rotational speed
Prior art date
Application number
PCT/JP2011/001674
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
中村久和
神徳千幸
樫東清貴
秋山淳
Original Assignee
シャープ株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by シャープ株式会社 filed Critical シャープ株式会社
Publication of WO2011125298A1 publication Critical patent/WO2011125298A1/ja

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G13/00—Roller-ways
    • B65G13/02—Roller-ways having driven rollers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/22—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors
    • B65G47/24—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors orientating the articles
    • B65G47/244—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors orientating the articles by turning them about an axis substantially perpendicular to the conveying plane
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position

Definitions

  • the present invention relates to a flat plate conveying apparatus and a flat plate conveying method for conveying a flat plate such as a glass substrate used for a liquid crystal display, and particularly to improving straightness of the flat plate.
  • the flat plate conveyance device of Patent Document 1 includes a substrate conveyance roller in which a conveyance roller shaft fixing portion provided in a portion that does not contact the substrate is divided, and stable conveyance can be obtained without affecting the substrate. I am doing so.
  • the present invention has been made in view of the above points, and the object of the present invention is to maintain the straightness of the flat plate in the same production line without contacting the flat plate of different sizes as much as possible with the side surface or the surface of the flat plate. It is to be able to flow while.
  • the inclination of the flat plate is corrected by an auxiliary roller that rotates at a speed different from that of a normal conveying roller.
  • the flat plate conveying device is A plurality of rotating shafts arranged in the traveling direction of the flat plate; A plurality of transport rollers that are rotatably disposed on the respective rotation shafts, abut on the back side of the flat plate, and are driven at a first rotational speed to advance the flat plate in the transport direction; A plate inclination detecting means for detecting the inclination of the plate in front of each position; An auxiliary roller rotatable at a second rotational speed different from the first rotational speed; Control means for correcting the inclination of the flat plate by receiving the signal of the flat plate inclination detecting means and bringing the auxiliary roller into contact with the flat plate from the back side of the flat plate; It has.
  • a flat plate advances in a conveyance direction by rotating the some conveyance roller on the some rotating shaft arrange
  • the flat plate detecting means detects the inclination and sends it to the control means, and the control means calculates at what speed the auxiliary roller rotates to contact with the flat plate to correct the inclination.
  • the control means rotates the auxiliary roller at the second rotational speed and abuts the flat plate from the back side to forcibly delay or advance a part of the flat plate abutted by the auxiliary roller.
  • the inclination of the flat plate is corrected. For this reason, it is not necessary to always bring the guide roller into contact with the side surface of the flat plate, so that the substrate side surface is not damaged, and the auxiliary roller is contacted from the back side of the flat plate, so that even if the width of the flat plate changes. Inclination is easy to correct, and even flat plates of different sizes maintain straightness and are accurately loaded into each position.
  • the auxiliary roller is configured to rotate freely at normal times and to rotate at a second rotational speed to correct the inclination of the flat plate when receiving a signal from the control means.
  • the auxiliary roller rotates at a speed different from that of the conveying roller and delays the left or right side of the flat plate that is advanced too much, or advances the other side that is too late. The inclination of the flat plate is corrected.
  • the auxiliary roller is normally disposed below the flat plate, and is configured to rise and contact the flat plate when receiving a signal from the control means.
  • the auxiliary roller when the flat plate has no inclination, the auxiliary roller does not contact the flat plate, and when there is an inclination, the auxiliary roller rises and contacts the flat plate to correct the inclination. For this reason, the inclination of the flat plate can be corrected with a simple configuration.
  • auxiliary roller in any one of the first to third inventions, is supported so that the direction of the axis of rotation of the auxiliary roller in plan view can be changed according to the inclination of the flat plate.
  • the inclination of the flat plate is effectively corrected by changing the direction of the rotation axis of the auxiliary roller when viewed from above according to the inclination of the flat plate.
  • an air levitation device is provided that blows air from below the flat plate to float the flat plate.
  • the flat plate is levitated by the air levitation device and the frictional resistance is reduced around the auxiliary roller, the inclination of the flat plate can be easily corrected.
  • auxiliary roller in any one of the first to fifth inventions, is configured to be capable of changing its position in the width direction of the flat plate.
  • the inclination of the flat plate can be easily corrected by changing the contact position of the auxiliary roller according to the size of the flat plate or according to the displacement of the flat plate.
  • the flat plate inclination detecting means is composed of a position sensor arranged at a predetermined position of the production line,
  • the control means is configured to calculate the inclination of the flat plate from a signal obtained by the position sensor.
  • the progress of the flat plate is detected by the position sensor, and the inclination of the flat plate is easily calculated from the detection signal.
  • the position sensor is configured to be able to change the position according to the width of the flat plate.
  • the flat plate inclination detecting means comprises a CCD camera
  • the control means is configured to calculate the inclination of the flat plate by performing image processing on an image obtained by the CCD camera.
  • the inclination of the flat plate can be easily and reliably detected by image processing, so that the inclination correction work is easy.
  • a flat plate transport method for transporting a flat plate to each position on the production line is targeted.
  • the conveyance method of the said flat plate is Rotating a plurality of conveying rollers on a plurality of rotating shafts arranged in the traveling direction of the flat plate at a first rotational speed to contact the back side of the flat plate, and moving the flat plate in the conveying direction; Detect the inclination of the flat plate before each position, An auxiliary roller capable of rotating at a second rotational speed different from the first rotational speed is brought into contact with the flat plate from the back side of the flat plate to correct the inclination of the flat plate.
  • a flat plate advances in a conveyance direction by rotating the some conveyance roller on the some rotating shaft arrange
  • the left and right corners of the flat plate will advance and tilt.
  • the inclination of the flat plate is corrected by forcibly delaying or advancing a part of the flat plate in contact with the auxiliary roller by rotating the auxiliary roller at a second rotation speed that is slower or faster than the first rotation speed. Is done.
  • the auxiliary roller normally rotates freely and rotates at a second rotation speed when receiving a signal from the control means to correct the inclination of the flat plate.
  • the auxiliary roller rotates at a speed different from that of the conveying roller and delays the left or right side of the flat plate that is advanced too much, or advances the other side that is too late. The inclination of the flat plate is corrected.
  • the auxiliary roller is normally disposed below the flat plate, and is configured to rise and contact the flat plate when receiving a signal from the control means.
  • the auxiliary roller when the flat plate has no inclination, the auxiliary roller does not contact the flat plate, and when there is an inclination, the auxiliary roller rises and contacts the flat plate to correct the inclination. For this reason, the inclination of the flat plate can be corrected with a simple configuration.
  • the inclination of the flat plate is detected before each position, and the auxiliary roller that can rotate at the second rotational speed different from the first rotational speed of the conveying roller is brought into contact with the flat plate.
  • FIG. 3 is a sectional view taken along line III-III in FIG. 1. It is a flowchart which shows the conveyance method of a flat plate.
  • FIG. 6 is a view corresponding to FIG. 3 showing a modification of the embodiment.
  • FIG. 1 shows a flat plate conveyance device 1 according to an embodiment of the present invention.
  • the flat plate conveyance device 1 is disposed on a production line L of a liquid crystal display panel (not shown), for example, and each of the production lines L on the production line L is shown. It plays the role of transporting the glass substrate G as a flat plate to the position.
  • the flat plate transfer device 1 includes a plurality of transport rollers 7 that are rotatably disposed on each transport rotary shaft 5. The transport roller 7 is driven at the first rotational speed v1, and is configured to contact the back side of the glass substrate G and advance the glass substrate G in the transport direction.
  • the transport rotary shaft 5 is driven by a transport motor 6 (shown only in FIG. 2) at a predetermined location, and the other transport rotary shafts 5 are particularly powered. It is configured to rotate freely without any.
  • the outer diameter of the conveying roller 7 is the same on the same conveying rotary shaft 5, but is not constant throughout the production line L, and is, for example, an arbitrary size with a diameter of 50 mm to 300 mm. What is necessary is just to change the space
  • Conveying rollers 7 arranged on one conveying rotating shaft 5 have the same outer diameter and are arranged at substantially equal intervals, and the outer peripheral surface thereof abuts on the back side of the glass substrate G to manufacture the glass substrate G. It is configured to convey the line L forward. In order to prevent the glass substrate G from sliding on the transport roller 7, the transport speed of the glass substrate G is suppressed to, for example, 10 to 30 m / min.
  • the flat plate transport device 1 is controlled by a controller 10 as a control means.
  • a CCD camera 11 is provided as a flat plate tilt detecting means for detecting the tilt ⁇ of the glass substrate G.
  • the CCD camera 11 photographs the glass substrate G from directly above and transmits this image data to the controller 10, and an image showing how much the inclination ⁇ of the glass substrate G is with respect to the rotation shaft 5 for conveyance.
  • a position sensor 12 may be provided on the further downstream side of the production line L separately from the CCD camera 11. The position sensor 12 not only detects that the glass substrate G has come before the position 2, but the position sensor 12 arranged in the width direction serves as a flat plate tilt detection means from the time difference when the glass substrate G is detected.
  • the inclination ⁇ of G may be detected.
  • the flat plate transport device 1 further includes an auxiliary roller 9 that can rotate at a second rotational speed v2 different from the first rotational speed v1 of the transport roller 7.
  • the auxiliary roller 9 is normally disposed below the glass substrate G, and is configured to be raised by the auxiliary roller transfer device 13 and contact the glass substrate G when receiving a signal from the controller 10.
  • the auxiliary roller 9 is configured to be rotated by an auxiliary motor 15 (shown only in FIG. 2) different from the conveyance motor 6. Since the auxiliary roller transfer device 13 is rotatable about its axial direction, the auxiliary roller 9 rotates about the axis of the auxiliary roller transfer device 13 and the direction of the rotation axis of the auxiliary roller 9 in plan view Can be changed. Further, the auxiliary roller transfer device 13 is configured to be slidable in the axial direction of the transport rotary shaft 5, and thus the auxiliary roller 9 is configured to be able to change the position in the width direction of the glass substrate G.
  • the controller 10 corrects the inclination ⁇ of the glass substrate G by receiving the signal from the CCD camera 11 and bringing the auxiliary roller 9 into contact with the glass substrate G from the back side of the glass substrate G. It is configured as follows.
  • an air levitation device 14 that blasts the glass substrate G by blowing air from below the glass substrate G is provided around the auxiliary roller 9.
  • the air levitation device 14 is composed of a known device, and is supplied with high-pressure air from a compressor (not shown).
  • step S01 when the glass substrate G that has been cut into a fixed shape and processed is placed on the production line L, as shown in FIG. 4, in step S01, the transport roller 7 on the transport rotating shaft 5 is moved at the first rotational speed v1. It is driven and abuts on the back side of the glass substrate G, and the glass substrate G is conveyed forward. If the production line L is a long distance, the glass substrate G is shifted to the left and right with respect to the traveling direction during conveyance, and flows so that either the left or right corner protrudes first, and an inclination ⁇ is generated.
  • step S02 the pair of position sensors 12 provided in the width direction of the glass substrate G detects the arrival of the glass substrate G. At this time, a shift in detection timing between the left and right sides of the glass substrate G may be detected. Note that, by changing the position of the position sensor 12, the position of the glass substrate G can be appropriately detected even when glass substrates G of different sizes flow through the production line L.
  • step S03 the glass substrate G is photographed from above by the CCD camera 11.
  • step S04 the captured image is transmitted to the controller 10, and the controller 10 performs image processing. At this time, information on the position sensor 12 may also be transmitted.
  • step S05 the controller 10 detects whether the glass substrate G is tilted. If it is not inclined, the process is finished and the glass substrate G is accommodated in the cassette 3 as it is. If so, the process proceeds to step S06. This determination is made based on whether the inclination ⁇ is greater than or equal to a predetermined magnitude.
  • step S06 the controller 10 calculates the appropriate second rotation speed v2 of the auxiliary roller 9 and the contact position of the auxiliary roller 9 from the image of the CCD camera 11 and the data of the position sensor 12.
  • the auxiliary roller 9 is brought into contact with the corner opposite to the preceding corner of the glass substrate G at a second rotational speed v2 (v2> v1) faster than the first rotational speed v1.
  • the auxiliary roller 9 may be brought into contact with the preceding corner of the glass substrate G at a second rotational speed v2 (v2 ⁇ v1) that is slower than the first rotational speed v1.
  • step S07 the auxiliary roller 9 is moved to an appropriate position by the auxiliary roller transfer device 13. For example, the glass substrate G is moved below the corner on the delayed side.
  • step S08 the auxiliary motor 15 is driven to drive the auxiliary roller 9 at the second rotational speed v2, and the auxiliary roller 9 is raised by the auxiliary roller transfer device 13 and brought into contact with the back surface side of the glass substrate G.
  • the direction of the rotary shaft in the plan view of the auxiliary roller 9 is normally in the same direction as the rotary shaft 5 for conveyance, but is slightly rotated when viewed from above (for example, only ⁇ when viewed from above) according to the inclination ⁇ of the glass substrate G. Rotation), the inclination ⁇ can be further easily corrected.
  • the glass substrate G is levitated by the air levitation device 14 and the frictional resistance is reduced around the auxiliary roller 9, the inclination of the glass substrate G is easily corrected.
  • the auxiliary roller 9 is not raised, and only when there is an inclination ⁇ , the auxiliary roller 9 is raised and brought into contact with the glass substrate G to correct the inclination ⁇ .
  • the delayed corner of the glass substrate G is pushed by the auxiliary roller 9 and aligned with the other corner, so that the inclination ⁇ of the glass substrate G is corrected.
  • the side surface of the glass substrate G is not damaged, and the auxiliary roller 9 is contacted from the back side of the glass substrate G. Even if the width of the glass substrate G changes, it is easy to correct the inclination ⁇ , and even if the glass substrate G has a different size, the straightness is maintained, and the glass substrate G is accurately carried into the position 2.
  • the inclination ⁇ is detected by image processing, the inclination ⁇ of the glass substrate G can be detected easily and reliably even when the size of the glass substrate G changes, and the inclination correction work is easy.
  • the glass substrate can be changed by adjusting the size of the glass substrate G or shifting the contact position of the auxiliary roller 9 according to the displacement of the glass substrate G. G inclination correction becomes easy.
  • the inclination ⁇ of the glass substrate G is detected before the position 2 and can be rotated at the second rotation speed v2 different from the first rotation speed v1 of the conveyance roller 7.
  • the glass substrate G having a different size can be brought into contact with the side surface or the surface of the glass substrate G as much as possible on the same production line L.
  • the glass substrate G can be made to flow while maintaining straightness.
  • the present invention may be configured as follows with respect to the above embodiment.
  • the flat plate inclination detecting means is constituted by the CCD camera 11, but it may be constituted by only the position sensor 12 instead of the CCD camera 1. In this case, the inclination ⁇ of the glass substrate G is easily calculated from the time differences of detection by the plurality of position sensors 12.
  • the auxiliary roller 109 may be provided on the conveyance rotating shaft 5 so as to be freely rotatable.
  • the auxiliary roller 109 normally rotates freely, and when the inclination ⁇ of the glass substrate G is detected, the auxiliary roller 9 that has risen in response to a signal from the controller 10 comes into contact with the auxiliary roller 9.
  • the driven auxiliary roller 109 may rotate at the second rotation speed v2 to correct the inclination ⁇ of the glass substrate G.
  • the auxiliary roller 109 can be constituted by the freely rotating conveying roller 7, the auxiliary roller 9 may be moved and brought into contact with the arbitrary freely rotating conveying roller 7 from below to serve as the auxiliary roller 109.
  • the example of the glass substrate G of the display panel is shown as a flat plate.
  • the present invention is not limited to this, and any plate-shaped object may be used.
  • the material of the auxiliary roller 9 is not particularly limited, but may be a resin molded product or a metal molded product, and the contact surface with the glass substrate G may be covered with rubber or the like.
  • the present invention is useful for a flat plate conveying apparatus and a flat plate conveying method for conveying not only a glass substrate but also a flat plate-like body.

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Abstract

　同じ製造ラインで、異なるサイズの平板をできるだけ平板の側面や表面に接触することなく、平板の直進性を保ちながら流せるようにする。ガラス基板Ｇの進行方向に配置した複数の搬送用回転軸５上の複数の搬送用ローラ７を第１回転速度で回転させてガラス基板Ｇの裏面側に当接させ、ガラス基板Ｇを搬送方向に進ませ、ポジション２の手前でガラス基板Ｇの傾きθを検出し、第１回転速度と異なる第２回転速度で回転可能な補助ローラ９をガラス基板Ｇにガラス基板Ｇの裏面側から当接させ、ガラス基板Ｇの傾きθを修正する。

Description

平板搬送装置及び平板の搬送方法
　本発明は、液晶ディスプレイに使用するガラス基板などの平板を搬送する平板搬送装置及び平板の搬送方法に関し、特にその平板の直進性を改善するものである。
　従来より、製造ライン上でガラス基板などの平板を搬送する平板搬送装置は知られている。例えば、特許文献１の平板搬送装置は、基板に接触しない部位に設けられた搬送ローラシャフト固定部位が分割式である基板搬送用ローラを備え、基板に影響を及ぼすことなく安定した搬送が得られるようにしている。
特開２００６－８９１４８号公報
　しかしながら、上記特許文献１の平板搬送装置では、軸方向外側に配置されたローラの外周から延びるリブを、頻繁に基板の側面に当接させて基板の位置決め（センタリング）をしているので、製造ラインが長距離になればなるほど、基板側面が損傷しやすいという問題があった。
　また、１つの製造ラインには、通常複数のサイズの基板が流れる可能性があり、すべてのサイズの基板に対して直進性を確保するのは困難である。
　本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、同じ製造ラインで、異なるサイズの平板をできるだけ平板の側面や表面に接触することなく、平板の直進性を保ちながら流せるようにすることにある。
　上記の目的を達成するために、この発明では、通常の搬送用ローラと異なる速度で回転する補助ローラで平板の傾きを修正するようにした。
　具体的には、第１の発明では、製造ライン上の各ポジションに平板を搬送する平板搬送装置を前提とし、
　上記平板搬送装置は、
　上記平板の進行方向に配置された複数の回転軸と、
　上記各回転軸に回転自在に配置され、上記平板の裏面側に当接し、該平板を搬送方向に進ませるために第１回転速度で駆動される複数の搬送用ローラと、
　上記各ポジションの手前における上記平板の傾きを検出する平板傾き検出手段とを備え、
　上記第１回転速度と異なる第２回転速度で回転可能な補助ローラと、
　上記平板傾き検出手段の信号を受けて上記補助ローラを上記平板の裏面側から該平板に当接させることで、該平板の傾きを修正する制御手段と、
を備えている。
　上記の構成によると、平板の進行方向に配置した複数の回転軸上の複数の搬送用ローラを第１回転速度で回転させて平板の裏面側に当接させることで、平板が搬送方向に進むが、強制的に修正しない限り進んでいるうちに平板は左右いずれかの角部が先に進んで傾く。平板検出手段が、その傾きを検出して制御手段に送り、制御手段が補助ローラをどのような速度で回転させて平板のどの位置に当接させて傾きを修正できるかを計算する。その計算結果を基に制御手段が補助ローラを第２回転速度で回転させて平板に裏面側から当接させることで、補助ローラが当接した平板の一部を強制的に遅らせ、又は進めることにより、平板の傾きが修正される。このため、平板の側面に常にガイドローラを当接させる必要はないので、基板側面が損傷することはなく、また、平板の裏面側から補助ローラを当接させるので、平板の幅が変わっても傾きを修正しやすく、異なるサイズの平板であっても直進性が保たれ、各ポジションに正確に搬入される。
　第２の発明では、第１の発明において、
　上記補助ローラは、通常時は自由回転を行い、上記制御手段の信号を受けたときには第２回転速度で回転して上記平板の傾きを修正するように構成されている。
　上記の構成によると、制御手段の信号を受けたときに補助ローラが搬送用ローラと異なる速度で回転して平板の進みすぎた左右一方を遅らせ、又は遅れすぎた左右他方を進ませることで、平板の傾きが修正される。
　第３の発明では、第１の発明において、
　上記補助ローラは、通常時は上記平板の下方に配置され、上記制御手段の信号を受けたときに上昇して上記平板に当接するように構成されている。
　上記の構成によると、平板に傾きがないときには、補助ローラは平板に当接せず、傾きがあるときには、上昇して平板に当接して傾きを修正する。このため、簡単な構成で平板の傾きの修正が可能である。
　第４の発明では、第１乃至第３のいずれか１つの発明において、
　上記補助ローラは、平面視における該補助ローラの回転軸の方向を上記平板の傾きに合わせて変更可能に支持されている。
　上記の構成によると、上方から見たときの補助ローラの回転軸の方向を平板の傾きに合わせて変更することで、平板の傾き修正が効果的に行われる。
　第５の発明では、第１乃至第４のいずれか１つの発明において、
　上記補助ローラの周辺には、上記平板の下方からエアを吹き付けて該平板を浮上させるエア浮上装置が設けられている。
　上記の構成によると、補助ローラの周辺では、エア浮上装置によって平板が浮上されて摩擦抵抗が低減されているので、平板の傾き修正が容易に行われる。
　第６の発明では、第１乃至第５のいずれか１つの発明において、
　上記補助ローラは、上記平板の幅方向に位置変更可能に構成されている。
　上記の構成によると、平板のサイズに合わせたり、平板のずれに合わせて補助ローラの当接位置をずらすことで、平板の傾き修正が容易となる。
　第７の発明では、第１乃至第６のいずれか１つの発明において、
　上記平板傾き検出手段は、上記製造ラインの所定位置に配置された位置センサで構成され、
　上記制御手段は、上記位置センサで得られた信号から上記平板の傾きを計算するように構成されている。
　上記の構成によると、位置センサで平板の進み具合が検出され、その検出信号から平板の傾きが容易に計算される。
　第８の発明では、第７の発明において、
　上記位置センサは、上記平板の幅に合わせて位置を変更可能に構成されている。
　上記の構成によると、位置センサの位置を変更することで、異なるサイズの平板が製造ラインに流れる場合でも、適切に平板の傾きが検出される。
　第９の発明では、第１乃至第６のいずれか１つの発明において、
　上記平板傾き検出手段は、ＣＣＤカメラよりなり、
　上記制御手段は、上記ＣＣＤカメラで得られた画像を画像処理することにより、上記平板の傾きを計算するように構成されている。
　上記の構成によると、平板のサイズが変わった場合でも、画像処理により、平板の傾きが容易かつ確実に検出できるので、傾き修正作業が容易である。
　第１０の発明では、製造ライン上の各ポジションに平板を搬送する平板の搬送方法を対象とする。
　そして、上記平板の搬送方法は、
　上記平板の進行方向に配置した複数の回転軸上の複数の搬送用ローラを第１回転速度で回転させて上記平板の裏面側に当接させ、該平板を搬送方向に進ませ、
　上記各ポジションの手前で上記平板の傾きを検出し、
　上記第１回転速度と異なる第２回転速度で回転可能な補助ローラを上記平板に該平板の裏面側から当接させ、該平板の傾きを修正する構成とする。
　上記の構成によると、平板の進行方向に配置した複数の回転軸上の複数の搬送用ローラを第１回転速度で回転させて平板の裏面側に当接させることで、平板が搬送方向に進むが、強制的に修正しない限り進んでいるうちに平板は左右いずれかの角部が先に進んで傾く。しかし、補助ローラを第１回転速度よりも遅い又は速い第２回転速度で回転させることで、補助ローラが当接した平板の一部を強制的に遅らせ、又は進めることにより、平板の傾きが修正される。このため、平板の側面に常にガイドローラを当接させる必要はないので、基板側面が損傷することはなく、また、平板の裏面側から補助ローラを当接させるので、平板の幅が変わっても傾きを修正しやすく、異なるサイズの平板であっても直進性が保たれ、各ポジションに正確に搬入される。
　第１１の発明では、第１０の発明において、
　上記補助ローラは、通常時は自由回転を行い、上記制御手段の信号を受けたときには第２回転速度で回転して上記平板の傾きを修正する構成とする。
　上記の構成によると、制御手段の信号を受けたときに補助ローラが搬送用ローラと異なる速度で回転して平板の進みすぎた左右一方を遅らせ、又は遅れすぎた左右他方を進ませることで、平板の傾きが修正される。
　第１２の発明では、第１０の発明において、
　上記補助ローラは、通常時は上記平板の下方に配置され、上記制御手段の信号を受けたときに上昇して上記平板に当接する構成とする。
　上記の構成によると、平板に傾きがないときには、補助ローラは平板に当接せず、傾きがあるときには、上昇して平板に当接して傾きを修正する。このため、簡単な構成で平板の傾きの修正が可能である。
　以上説明したように、本発明によれば、各ポジションの手前で平板の傾きを検出して搬送用ローラの第１回転速度と異なる第２回転速度で回転可能な補助ローラを平板に当接させて平板の傾きを修正することにより、同じ製造ラインで、異なるサイズの平板をできるだけ平板の側面や表面に接触することなく、平板の直進性を保ちながら流すことができる。
本発明の実施形態にかかる平板搬送装置の一部を拡大して示す平面図である。 平板搬送装置のコントローラ周辺の概略構成を示すブロック図である。 図１のIII－III線断面図である。 平板の搬送方法を示すフローチャートである。 実施形態の変形例を示す図３相当図である。
　以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
　図１は、本発明の実施形態の平板搬送装置１を示し、この平板搬送装置１は、例えば、液晶表示パネル（図示せず）の製造ラインＬ上に配置され、この製造ラインＬ上の各ポジションに平板としてのガラス基板Ｇを搬送する役割を果たしている。
　図１に示すように、製造ラインＬ上のあるポジション２で複数のガラス基板Ｇをカセット３に積み込む場合を例にとって説明する。平板搬送装置１には、ガラス基板Ｇの進行方向に所定の間隔（その間隔は特に限定されず、場合によっては等間隔でなくてもよい）をあけて複数の搬送用回転軸５が配置されている。平板搬送装置１は、各搬送用回転軸５に回転自在に配置される複数の搬送用ローラ７を備えている。搬送用ローラ７は、第１回転速度ｖ１で駆動され、ガラス基板Ｇの裏面側に当接してガラス基板Ｇを搬送方向に進ませるように構成されている。例えば、複数の搬送用回転軸５のうち、所定の箇所で搬送用回転軸５が搬送用モータ６（図２にのみ示す）で駆動され、その他の搬送用回転軸５は、特に動力を加えないで自由に回転するように構成されている。搬送用ローラ７の外径は、同一の搬送用回転軸５上では同一であるが、製造ラインＬ全体で一定というわけではなく、例えば、直径５０ｍｍ～３００ｍｍの任意の大きさである。搬送用ローラ７の間隔もガラス基板Ｇの大きさや厚さに合わせて変更すればよい。１本の搬送用回転軸５に配置される搬送用ローラ７は、同じ外径のものが略等間隔に配置され、その外周面がガラス基板Ｇの裏面側に当接してガラス基板Ｇを製造ラインＬの前方へ搬送するように構成されている。ガラス基板Ｇが搬送用ローラ７上で滑ってしまわないように、ガラス基板Ｇの搬送スピードは、例えば１０～３０ｍ／分に抑えられている。
　そして、図２に概略構成を示すように、平板搬送装置１は、制御手段としてのコントローラ１０で制御されるようになっている。ポジション２の手前には、ガラス基板Ｇの傾きθを検出する平板傾き検出手段としてのＣＣＤカメラ１１が設けられている。このＣＣＤカメラ１１は、ガラス基板Ｇを真上から撮影し、この画像データをコントローラ１０に送信し、ガラス基板Ｇが搬送用回転軸５に対してどの程度の傾きθを有しているかを画像処理するように構成されている。ＣＣＤカメラ１１とは別に製造ラインＬのさらに下流側に位置センサ１２を設けてもよい。この位置センサ１２でガラス基板Ｇがポジション２の手前に来たのを検知するだけでなく、幅方向に並べた位置センサ１２が、平板傾き検出手段として、ガラス基板Ｇを検知する時間差からガラス基板Ｇの傾きθを検出するようにしてもよい。
　平板搬送装置１は、さらに搬送用ローラ７の第１回転速度ｖ１と異なる第２回転速度ｖ２で回転可能な補助ローラ９を備えている。補助ローラ９は、通常時はガラス基板Ｇの下方に配置され、コントローラ１０の信号を受けたときに補助ローラ移送機１３によって上昇してガラス基板Ｇに当接するように構成されている。補助ローラ９は、搬送用モータ６とは別の補助モータ１５（図２にのみ示す）で回転されるように構成されている。そして、補助ローラ移送機１３がその軸方向を中心に回転可能であることから、補助ローラ９は、補助ローラ移送機１３の軸を中心に回転し、平面視における補助ローラ９の回転軸の方向を変更可能となっている。また、補助ローラ移送機１３は、搬送用回転軸５の軸方向にスライド移動可能に構成され、このことで、補助ローラ９は、ガラス基板Ｇの幅方向に位置変更可能に構成されている。
　そして、詳細は後述するが、コントローラ１０は、ＣＣＤカメラ１１の信号を受けて補助ローラ９をガラス基板Ｇの裏面側からガラス基板Ｇに当接させることで、ガラス基板Ｇの傾きθを修正するように構成されている。
　また、補助ローラ９の周辺には、ガラス基板Ｇの下方からエアを吹き付けてガラス基板Ｇを浮上させるエア浮上装置１４が設けられている。例えば、エア浮上装置１４は、公知の装置で構成され、図示しないコンプレッサーから高圧の空気が供給されるようになっている。
　　－作用－
　次に、本実施形態にかかる平板搬送装置１の作用について説明する。
　まず、定型にカットされて加工されたガラス基板Ｇを製造ラインＬ上に載せると、図４に示すようにステップＳ０１では、搬送用回転軸５上の搬送用ローラ７が第１回転速度ｖ１で駆動され、ガラス基板Ｇの裏面側に当接し、ガラス基板Ｇが前方へ搬送される。製造ラインＬが長距離であると、搬送中にガラス基板Ｇが進行方向に対して左右にずれてきて、左右いずれかの角部が先に出っ張るように流れて傾きθを生じる。
　そして、ステップＳ０２において、ガラス基板Ｇの幅方向に設けた一対の位置センサ１２がガラス基板Ｇの到着を検出する。このとき、ガラス基板Ｇの左右の検出タイミングのずれも検出してもよい。なお、位置センサ１２の位置を変更することにより、異なるサイズのガラス基板Ｇが製造ラインＬに流れる場合でも、適切にガラス基板Ｇの位置を検出することができる。
　次いで、ステップＳ０３において、ＣＣＤカメラ１１でガラス基板Ｇを上方から撮影する。
　次いで、ステップＳ０４において、撮影した画像がコントローラ１０に送信され、このコントローラ１０で画像処理が行われる。このとき、位置センサ１２の情報も送信してもよい。
　次いで、ステップＳ０５において、コントローラ１０が、ガラス基板Ｇが傾いているかを検出する。傾いていなければ、終了してガラス基板Ｇが、そのままカセット３に収容される。傾いていれば、ステップＳ０６に進む。この判断は、傾きθが所定の大きさ以上かどうかで判定される。
　ステップＳ０６では、コントローラ１０がＣＣＤカメラ１１の画像や、位置センサ１２のデータから適切な補助ローラ９の第２回転速度ｖ２と、補助ローラ９の当接位置を計算する。例えば、ガラス基板Ｇの先行する角部とは反対側の角部に、第１回転速度ｖ１よりも速い第２回転速度ｖ２（ｖ２＞ｖ１）で補助ローラ９を当接させるようにする。なお、ガラス基板Ｇの先行する角部に、第１回転速度ｖ１よりも遅い第２回転速度ｖ２（ｖ２＜ｖ１）で補助ローラ９を当接させるようにしてもよい。
　次いで、ステップＳ０７において、補助ローラ移送機１３によって補助ローラ９を適切な位置に移動させる。例えば、ガラス基板Ｇの遅れている側の角部の下方に移動させる。
　次いで、ステップＳ０８において、補助モータ１５を駆動して補助ローラ９を第２回転速度ｖ２で駆動し、補助ローラ移送機１３によって補助ローラ９を上昇させてガラス基板Ｇの裏面側から当接させる。補助ローラ９の平面視における回転軸の方向は、通常は搬送用回転軸５と同じ方向にあるが、ガラス基板Ｇの傾きθに合わせ、上方から見て若干回転（例えば上方から見てθだけ回転）させると、さらに傾きθの修正が容易になる。しかも、補助ローラ９の周辺では、エア浮上装置１４によってガラス基板Ｇが浮上されて摩擦抵抗が低減されているので、ガラス基板Ｇの傾き修正が容易に行われる。
　このように、ガラス基板Ｇに傾きθがないときには、補助ローラ９を上昇させずに、傾きθがあるときだけ、上昇させてガラス基板Ｇに当接させて傾きθを修正する。これにより、ガラス基板Ｇの遅れている方の角部が補助ローラ９に押されて他方の角部と並び、ガラス基板Ｇの傾きθが修正される。
　このため、ガラス基板Ｇの側面に常にガイドローラを当接させる必要はないので、ガラス基板Ｇの側面が損傷することはなく、また、ガラス基板Ｇの裏面側から補助ローラ９を当接させるので、ガラス基板Ｇの幅が変わっても傾きθを修正しやすく、異なるサイズのガラス基板Ｇであっても直進性が保たれ、ポジション２に正確に搬入される。
　そして、画像処理により傾きθの検出を行っているので、ガラス基板Ｇのサイズが変わった場合でも、ガラス基板Ｇの傾きθを容易かつ確実に検出でき、傾き修正作業が容易である。
　また、補助ローラ９の当接位置を変更可能に構成しているので、ガラス基板Ｇのサイズに合わせたり、ガラス基板Ｇのずれに合わせて補助ローラ９の当接位置をずらすことで、ガラス基板Ｇの傾き修正が容易となる。
　したがって、本実施形態にかかる平板搬送装置１によると、ポジション２の手前でガラス基板Ｇの傾きθを検出して搬送用ローラ７の第１回転速度ｖ１と異なる第２回転速度ｖ２で回転可能な補助ローラ９をガラス基板Ｇに当接させてガラス基板Ｇの傾きθを修正することにより、同じ製造ラインＬで、異なるサイズのガラス基板Ｇをできるだけガラス基板Ｇの側面や表面に接触することなく、ガラス基板Ｇの直進性を保ちながら流すことができる。
　（その他の実施形態）
　本発明は、上記実施形態について、以下のような構成としてもよい。
　上記実施形態では、平板傾き検出手段をＣＣＤカメラ１１で構成しているが、このＣＣＤカメラ１ではなく、位置センサ１２のみで構成してもよい。この場合には、複数の位置センサ１２の検出の時間差からガラス基板Ｇの傾きθが容易に計算される。
　また、図５に示すように、補助ローラ１０９を搬送用回転軸５に自由回転可能に設けたものとしてもよい。この補助ローラ１０９は、通常時は、自由回転を行い、ガラス基板Ｇの傾きθが検出されたときに、コントローラ１０の信号を受けて上昇してきた補助ローラ９が当接し、この補助ローラ９に駆動された補助ローラ１０９が第２回転速度ｖ２で回転し、ガラス基板Ｇの傾きθを修正するように構成してもよい。また、補助ローラ１０９は、自由回転する搬送用ローラ７で構成できるので、補助ローラ９を移動させ、任意の自由回転する搬送用ローラ７に下方から当接させて補助ローラ１０９としてもよい。
　上記実施形態では、平板として表示パネルのガラス基板Ｇの例を示したが、これに限定されず、板状の被搬送物であれば何でもよい。
　上記実施形態では、補助ローラ９の材質は特に限定していないが、樹脂成形品や金属成形品でもよく、ガラス基板Ｇとの当接面がゴム等で覆われていてもよい。
　なお、以上の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物や用途の範囲を制限することを意図するものではない。
　以上説明したように、本発明は、ガラス基板だけでなく、平らな板状体を搬送する平板搬送装置及び平板の搬送方法について有用である。
　　Ｇ　　　ガラス基板（平板）
　　Ｌ　　　製造ライン
　　１　　　平板搬送装置
　　２　　　ポジション
　　３　　　カセット
　　５　　　搬送用回転軸
　　７　　　搬送用ローラ
　　９　　　補助ローラ
　１０　　　コントローラ（制御手段）
　１１　　　ＣＣＤカメラ（平板傾き検出手段）
　１２　　　位置センサ（平板傾き検出手段）
　１３　　　補助ローラ移送機
　１４　　　エア浮上装置
　１５　　　補助ローラ

Claims (12)

  1. 　製造ライン上の各ポジションに平板を搬送する平板搬送装置において、
    　上記平板の進行方向に配置された複数の回転軸と、
    　上記各回転軸に回転自在に配置され、上記平板の裏面側に当接し、該平板を搬送方向に進ませるために第１回転速度で駆動される複数の搬送用ローラと、
    　上記各ポジションの手前における上記平板の傾きを検出する平板傾き検出手段とを備え、
    　上記第１回転速度と異なる第２回転速度で回転可能な補助ローラと、
    　上記平板傾き検出手段の信号を受けて上記補助ローラを上記平板の裏面側から該平板に当接させることで、該平板の傾きを修正する制御手段と、
    を備えていることを特徴とする平板搬送装置。
  2. 　請求項１に記載の平板搬送装置において、
    　上記補助ローラは、通常時は自由回転を行い、上記制御手段の信号を受けたときには第２回転速度で回転して上記平板の傾きを修正するように構成されている
    ことを特徴とする平板搬送装置。
  3. 　請求項１に記載の平板搬送装置において、
    　上記補助ローラは、通常時は上記平板の下方に配置され、上記制御手段の信号を受けたときに上昇して上記平板に当接するように構成されている
    ことを特徴とする平板搬送装置。
  4. 　請求項１乃至３のいずれか１つに記載の平板搬送装置において、
    　上記補助ローラは、平面視における該補助ローラの回転軸の方向を上記平板の傾きに合わせて変更可能に支持されている
    ことを特徴とする平板搬送装置。
  5. 　請求項１乃至４のいずれか１つに記載の平板搬送装置において、
    　上記補助ローラの周辺には、上記平板の下方からエアを吹き付けて該平板を浮上させるエア浮上装置が設けられている
    ことを特徴とする平板搬送装置。
  6. 　請求項１乃至５のいずれか１つに記載の平板搬送装置において、
    　上記補助ローラは、上記平板の幅方向に位置変更可能に構成されている
    ことを特徴とする平板搬送装置。
  7. 　請求項１乃至６のいずれか１つに記載の平板搬送装置において、
    　上記平板傾き検出手段は、上記製造ラインの所定位置に配置された位置センサで構成され、
    　上記制御手段は、上記位置センサで得られた信号から上記平板の傾きを計算するように構成されている
    ことを特徴とする平板搬送装置。
  8. 　請求項７に記載の平板搬送装置において、
    　上記位置センサは、上記平板の幅に合わせて位置を変更可能に構成されている
    ことを特徴とする平板搬送装置。
  9. 　請求項１乃至６のいずれか１つに記載の平板搬送装置において、
    　上記平板傾き検出手段は、ＣＣＤカメラよりなり、
    　上記制御手段は、上記ＣＣＤカメラで得られた画像を画像処理することにより、上記平板の傾きを計算するように構成されている
    ことを特徴とする平板搬送装置。
  10. 　製造ライン上の各ポジションに平板を搬送する平板の搬送方法において、
    　上記平板の進行方向に配置した複数の回転軸上の複数の搬送用ローラを第１回転速度で回転させて上記平板の裏面側に当接させ、該平板を搬送方向に進ませ、
    　上記各ポジションの手前で上記平板の傾きを検出し、
    　上記第１回転速度と異なる第２回転速度で回転可能な補助ローラを上記平板に該平板の裏面側から当接させ、該平板の傾きを修正する
    ことを特徴とする平板の搬送方法。
  11. 　請求項１０に記載の平板の搬送方法において、
    　上記補助ローラは、通常時は自由回転を行い、上記制御手段の信号を受けたときには第２回転速度で回転して上記平板の傾きを修正する
    ことを特徴とする平板の搬送方法。
  12. 　請求項１０に記載の平板の搬送方法において、
    　上記補助ローラは、通常時は上記平板の下方に配置され、上記制御手段の信号を受けたときに上昇して上記平板に当接する
    ことを特徴とする平板の搬送方法。
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