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WO2010097900A1 - パッケージの製造方法、圧電振動子の製造方法、発振器、電子機器および電波時計 - Google Patents

パッケージの製造方法、圧電振動子の製造方法、発振器、電子機器および電波時計 Download PDF

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Publication number
WO2010097900A1
WO2010097900A1 PCT/JP2009/053329 JP2009053329W WO2010097900A1 WO 2010097900 A1 WO2010097900 A1 WO 2010097900A1 JP 2009053329 W JP2009053329 W JP 2009053329W WO 2010097900 A1 WO2010097900 A1 WO 2010097900A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
manufacturing
cavity
package
piezoelectric
substrate
Prior art date
Application number
PCT/JP2009/053329
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
純也 福田
理志 沼田
澄彦 栗田
Original Assignee
セイコーインスツル株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by セイコーインスツル株式会社 filed Critical セイコーインスツル株式会社
Priority to CN2009801576538A priority Critical patent/CN102334281A/zh
Priority to JP2011501382A priority patent/JPWO2010097900A1/ja
Priority to PCT/JP2009/053329 priority patent/WO2010097900A1/ja
Priority to TW098144501A priority patent/TW201041043A/zh
Publication of WO2010097900A1 publication Critical patent/WO2010097900A1/ja
Priority to US13/166,381 priority patent/US20110249534A1/en

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders; Supports
    • H03H9/10Mounting in enclosures
    • H03H9/1007Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
    • H03H9/1014Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device
    • H03H9/1021Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device the BAW device being of the cantilever type
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/15Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/21Crystal tuning forks
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/42Piezoelectric device making

Definitions

  • the present invention relates to a package manufacturing method, a piezoelectric vibrator manufacturing method, an oscillator, an electronic device, and a radio timepiece.
  • piezoelectric vibrators that use quartz as a time source, a timing source such as a control signal, and a reference signal source.
  • Various piezoelectric vibrators of this type are known, and one of them is a surface-mount type piezoelectric vibrator.
  • this type of piezoelectric vibrator a two-layer structure type in which a piezoelectric vibrating piece is generally mounted in a cavity formed in a package composed of a base substrate and a lid substrate is known (for example, , See Patent Document 1).
  • This packaged two-layer structure type piezoelectric vibrator is excellent in that it can be thinned and is preferably used.
  • Patent Document 1 a configuration is described in which a recess is formed in a lid of a glass thin plate and a piezoelectric vibrating piece is mounted therein, and this recess is formed by etching the surface of the glass thin plate or glass. It is described that it is formed by an integral molding method such as a material stamping process.
  • JP 2002-353766 A JP 2002-353766 A
  • a recess 203a is formed in a lid substrate 203 in a package 201 including a base substrate 202 and a lid substrate 203.
  • the cavity C is formed when the substrates 202 and 203 are joined so that the recess 203a faces the base substrate 202.
  • the concave portion 203a is formed by press molding, minute irregularities exist on the surface 203b of the concave portion 203a, and pinholes P1 whose depth is suddenly deepened are formed in some places.
  • the pinhole P1 In the state where the pinhole P1 is formed in this way, it may cause insufficient bending strength of the package and may affect the reliability of the product. Further, when the thickness of the substrate is adjusted by polishing the substrate after forming the cavity, the abrasive grains in the polishing liquid enter the pinhole P1 and remain in the pinhole P1 even after cleaning. May end up. Then, when both the substrates 202 and 203 are heated at the time of subsequent anodic bonding or the like, gas is generated from the abrasive grains, and there is a risk that the product characteristics deteriorate for a product in which the airtightness in the package is important. .
  • the present invention has been made in view of the above-described circumstances, and in a package for manufacturing a cavity by press molding on a substrate, a method for manufacturing a package capable of improving bending strength, and manufacturing of a piezoelectric vibrator It is an object to provide a method, an oscillator, an electronic device, and a radio timepiece.
  • a package manufacturing method in which a concave cavity is formed in at least one of a first substrate and a second substrate made of a glass material.
  • a cavity forming step in which the cavity is formed by press molding at least one of the substrates to be molded, and a heat treatment step in which the substrate to be molded in which the cavity is formed is heated. It is characterized by.
  • a minute pinhole formed on the surface of the cavity at the time of press molding is formed by heat-treating the substrate to be molded after press forming the cavity on the substrate to be molded. Can be eliminated. That is, when the surface of the cavity is softened, the unevenness formed on the surface becomes smooth and the pinhole disappears. Therefore, the strength of the substrate to be molded can be improved, and the bending strength of the package can also be improved.
  • the package manufacturing method according to the present invention is characterized in that a polishing step for polishing the surface on which the cavity is formed is performed after the heat treatment step.
  • polishing after the heat treatment step prevents the abrasive grains used in the polishing step from entering into the pinhole formed on the surface of the cavity. Can do. Therefore, it is possible to prevent the abrasive grains from remaining on the cavity surface when the polishing process is completed, and thus it is possible to prevent gas from being generated in the cavity in the subsequent process. That is, the airtightness in the package can be secured, and the product characteristics can be prevented from deteriorating.
  • the package manufacturing method according to the present invention is characterized in that the substrate to be molded is formed of soda glass, and the temperature of the heat treatment step is 600 ° C. or more and 700 ° C. or less.
  • the package manufacturing method according to the present invention when using a soda glass substrate, pinholes formed on the cavity surface can be eliminated by setting the temperature in the heat treatment step to an appropriate value. Therefore, the strength of the substrate to be molded can be improved, and the bending strength of the package can also be improved.
  • the package manufacturing method according to the present invention is characterized in that the temperature of the heat treatment step is 670 ° C. or higher and 680 ° C. or lower.
  • pinholes formed on the cavity surface are more reliably eliminated by setting the temperature in the heat treatment step to an appropriate value within a narrower range. be able to. Therefore, the strength of the substrate to be molded can be reliably improved, and the bending strength of the package can also be improved.
  • the piezoelectric vibrator manufacturing method includes a through-hole forming step of forming a through-hole communicating with the inside of the cavity in a package manufactured by any of the above-described manufacturing methods, and the through-hole.
  • the pinhole formed on the cavity surface disappears, and the piezoelectric vibrator is manufactured by forming the through electrode and the piezoelectric vibrating piece on the package whose substrate strength is improved. Therefore, it is possible to provide a high-quality piezoelectric vibrator in which bending strength is ensured and yield is improved.
  • the oscillator according to the present invention is characterized in that the piezoelectric vibrator manufactured by the above-described manufacturing method is electrically connected to an integrated circuit as an oscillator. Furthermore, the electronic device according to the present invention is characterized in that the piezoelectric vibrator manufactured by the above-described manufacturing method is electrically connected to the time measuring unit. The radio timepiece according to the present invention is characterized in that the piezoelectric vibrator manufactured by the above-described manufacturing method is electrically connected to the filter unit.
  • the oscillator, electronic device, and radio timepiece according to the present invention are equipped with high-quality piezoelectric vibrators that ensure bending strength and improve yield, and thus similarly improve the reliability of operation and improve the quality. be able to.
  • a minute pin formed on the surface of the cavity at the time of press molding is formed by heat-treating the substrate after forming the cavity by press molding on the substrate to be molded. Holes can be eliminated. That is, when the surface of the cavity is softened, the unevenness formed on the surface becomes smooth and the pinhole disappears. Therefore, the strength of the substrate to be molded can be improved, and the bending strength of the package can also be improved.
  • FIG. 1 is an external perspective view showing an embodiment of a piezoelectric vibrator according to the present invention.
  • FIG. 2 is an internal configuration diagram of the piezoelectric vibrator shown in FIG. 1, and is a view of a piezoelectric vibrating piece viewed from above with a lid substrate removed.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view (a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 2) of the piezoelectric vibrator in the embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an exploded perspective view of the piezoelectric vibrator shown in FIG. 1.
  • FIG. 2 is a top view of a piezoelectric vibrating piece constituting the piezoelectric vibrator shown in FIG. 1.
  • FIG. 6 is a bottom view of the piezoelectric vibrating piece shown in FIG. 5.
  • FIG. 5 is exploded perspective view of the piezoelectric vibrator shown in FIG. 5.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 5. It is a flowchart which shows the flow at the time of manufacturing the piezoelectric vibrator shown in FIG.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating a process for manufacturing a piezoelectric vibrator according to the flowchart illustrated in FIG. 8, and is a diagram illustrating a state in which a plurality of recesses are formed in a lid substrate wafer that is a base of a lid substrate.
  • FIG. 9 is a diagram showing a step in manufacturing the piezoelectric vibrator according to the flowchart shown in FIG. 8, and is a cross-sectional diagram showing the surface shape of the recess when the recess is formed in the lid substrate wafer by press working. is there.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating a process for manufacturing a piezoelectric vibrator according to the flowchart illustrated in FIG. 8, and is a diagram illustrating a state in which a plurality of recesses are formed in a lid
  • FIG. 9 is a diagram showing a step in manufacturing the piezoelectric vibrator according to the flowchart shown in FIG. 8, and is a cross-sectional diagram showing the surface shape of the recess after the heat treatment step is performed on the lid substrate wafer. . It is a figure which shows 1 process at the time of manufacturing a piezoelectric vibrator along the flowchart shown in FIG. 8, Comprising: It is a top view which shows the surface shape of the recessed part before a heat treatment process. It is a figure which shows 1 process at the time of manufacturing a piezoelectric vibrator along the flowchart shown in FIG. 8, Comprising: It is a top view which shows the surface shape of the recessed part after a heat treatment process.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating a process for manufacturing a piezoelectric vibrator according to the flowchart illustrated in FIG.
  • FIG. 8 is a perspective view illustrating a change in the height of the recess before and after the heat treatment process when the temperature of the heat treatment process is set to 700 ° C.
  • FIG. It is a figure which shows one process at the time of manufacturing a piezoelectric vibrator along the flowchart shown in FIG. 8, Comprising: It is a top view which shows the surface shape of the recessed part after the heat processing process at the time of setting the temperature of a heat processing process to 600 degreeC. is there.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating a process for manufacturing a piezoelectric vibrator according to the flowchart illustrated in FIG. 8, and illustrates a state in which a bonding film and a routing electrode are patterned on the upper surface of a base substrate wafer.
  • FIG. 19 is a partially enlarged perspective view of the base substrate wafer in the state shown in FIG. 18.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating a process for manufacturing a piezoelectric vibrator according to the flowchart illustrated in FIG. 8, in which the base substrate wafer and the lid substrate wafer are anodically bonded in a state where the piezoelectric vibrating piece is accommodated in the cavity.
  • FIG. It is a block diagram which shows one Embodiment of the oscillator which concerns on this invention. It is a block diagram which shows one Embodiment of the electronic device which concerns on this invention. It is a block diagram which shows one Embodiment of the radio timepiece which concerns on this invention. It is sectional drawing of the conventional package, Comprising: It is a figure explaining the recessed part surface shape at the time of forming a recessed part in a lid substrate by press molding.
  • Piezoelectric vibrator (package) 2 Base substrate 3 Lid substrate (molded substrate) 3a Recess for cavity 4 Piezoelectric vibrating piece 30 Through hole (through hole) 31 Through hole (through hole) 32 Penetration electrode 33 Penetration electrode 40 Wafer for base substrate 50 Wafer for lid substrate 100 Oscillator 101 Oscillator integrated circuit 110 Portable information device (electronic device) 113 Timekeeping part of electronic equipment 130 Radio wave clock 131 Filter part C of radio wave clock Cavity
  • the piezoelectric vibrator 1 of the present embodiment is formed in a box shape in which a base substrate 2 and a lid substrate 3 are laminated in two layers. This is a surface-mount type piezoelectric vibrator in which the resonator element 4 is housed.
  • FIG. 4 illustration of an excitation electrode 15, extraction electrodes 19 and 20, mount electrodes 16 and 17, and a weight metal film 21 of the piezoelectric vibrating reed 4 which will be described later is omitted for easy understanding of the drawing.
  • the piezoelectric vibrating piece 4 is a tuning fork type vibrating piece formed of a piezoelectric material such as quartz crystal, lithium tantalate or lithium niobate, and when a predetermined voltage is applied. It vibrates.
  • the piezoelectric vibrating reed 4 includes a pair of vibrating arm portions 10 and 11 arranged in parallel, a base portion 12 that integrally fixes a base end side of the pair of vibrating arm portions 10 and 11, and a pair of vibrating arm portions.
  • the piezoelectric vibrating reed 4 according to the present embodiment includes groove portions 18 formed on both main surfaces of the pair of vibrating arm portions 10 and 11 along the longitudinal direction of the vibrating arm portions 10 and 11, respectively. .
  • the groove portion 18 is formed from the base end side of the vibrating arm portions 10 and 11 to the vicinity of the middle.
  • the excitation electrode 15 composed of the first excitation electrode 13 and the second excitation electrode 14 is an electrode that vibrates the pair of vibrating arm portions 10 and 11 at a predetermined resonance frequency in a direction approaching or separating from each other. It is formed by patterning on the outer surface of the vibrating arms 10 and 11 while being electrically separated from each other.
  • the first excitation electrode 13 is mainly formed on the groove portion 18 of one vibration arm portion 10 and on both side surfaces of the other vibration arm portion 11, and the second excitation electrode 14 is formed on one side. Are formed mainly on both side surfaces of the vibrating arm portion 10 and on the groove portion 18 of the other vibrating arm portion 11.
  • first excitation electrode 13 and the second excitation electrode 14 are electrically connected to the mount electrodes 16 and 17 via the extraction electrodes 19 and 20, respectively, on both main surfaces of the base portion 12.
  • a voltage is applied to the piezoelectric vibrating reed 4 via the mount electrodes 16 and 17.
  • the excitation electrode 15, the mount electrodes 16 and 17, and the extraction electrodes 19 and 20 described above are made of a conductive film such as chromium (Cr), nickel (Ni), aluminum (Al), or titanium (Ti). It is formed.
  • a weight metal film 21 for adjusting (frequency adjustment) so as to vibrate its own vibration state within a predetermined frequency range is coated on the tips of the pair of vibrating arm portions 10 and 11.
  • the weight metal film 21 is divided into a coarse adjustment film 21a used when the frequency is roughly adjusted and a fine adjustment film 21b used when the frequency is finely adjusted.
  • the piezoelectric vibrating reed 4 configured in this manner is bump-bonded to the upper surface 2a of the base substrate 2 by using bumps B such as gold as shown in FIGS. More specifically, bump bonding is performed in a state where a pair of mount electrodes 16 and 17 are in contact with two bumps B formed on lead electrodes 36 and 37 (described later) patterned on the upper surface 2a of the base substrate 2. Has been. As a result, the piezoelectric vibrating reed 4 is supported in a state of floating from the upper surface 2a of the base substrate 2, and the mount electrodes 16 and 17 and the routing electrodes 36 and 37 are electrically connected to each other. .
  • the lid substrate 3 is a transparent insulating substrate made of a glass material, for example, soda glass, and is formed in a substantially plate shape as shown in FIGS.
  • a rectangular recess 3 a in which the piezoelectric vibrating reed 4 is accommodated is formed on the bonding surface side to which the base substrate 2 is bonded.
  • the recess 3 a is a cavity recess that becomes a cavity C that accommodates the piezoelectric vibrating reed 4 when the substrates 2 and 3 are overlapped.
  • the lid substrate 3 is anodically bonded to the base substrate 2 with the recess 3a facing the base substrate 2 side.
  • the base substrate 2 is a transparent insulating substrate made of a glass material, for example, soda glass, like the lid substrate 3, and has a size that can be superimposed on the lid substrate 3 as shown in FIGS. It is formed in a substantially plate shape.
  • the base substrate 2 is formed with a pair of through holes (through holes) 30 and 31 penetrating the base substrate 2. At this time, the pair of through holes 30 and 31 are formed so as to be accommodated in the cavity C. More specifically, in the through holes 30 and 31 of the present embodiment, one through hole 30 is formed at a position corresponding to the base 12 side of the mounted piezoelectric vibrating reed 4, and the distal ends of the vibrating arm portions 10 and 11 are formed.
  • the other through hole 31 is formed at a position corresponding to.
  • through holes 30 and 31 that pass through the base substrate 2 straight from the lower surface 2b of the base substrate 2 toward the upper surface 2a are formed.
  • the shape of the through holes 30 and 31 is not limited to this case, and may be a through hole having a tapered cross section with a gradually reduced diameter. In any case, it only needs to penetrate the base substrate 2.
  • a pair of through electrodes 32 and 33 formed so as to fill the through holes 30 and 31 are formed.
  • these through electrodes 32 and 33 are made of a conductive material such as silver paste fixed integrally to the through holes 30 and 31 by firing. Is completely closed to maintain the airtightness in the cavity C, and also plays a role of making the external electrodes 38 and 39, which will be described later, and the routing electrodes 36 and 37 conductive.
  • a bonding film 35 for anodic bonding for example, with a conductive material such as aluminum
  • a pair of routing electrodes 36 and 37 are patterned.
  • the bonding film 35 is formed along the periphery of the base substrate 2 so as to surround the periphery of the recess 3 a formed in the lid substrate 3.
  • the pair of lead-out electrodes 36 and 37 electrically connect one of the through electrodes 32 and 33 to the one mount electrode 16 of the piezoelectric vibrating reed 4 and the other through electrode. 33 and the other mount electrode 17 of the piezoelectric vibrating reed 4 are patterned so as to be electrically connected. More specifically, the one lead-out electrode 36 is formed directly above the one through electrode 32 so as to be positioned directly below the base 12 of the piezoelectric vibrating piece 4.
  • the other routing electrode 37 is routed from the position adjacent to the one routing electrode 36 along the vibrating arm portions 10 and 11 to the distal end side of the vibrating arm portions 10 and 11, and then the other through electrode 33. It is formed so that it may be located just above.
  • Bumps B are respectively formed on the pair of lead-out electrodes 36 and 37, and the piezoelectric vibrating reed 4 is mounted using the bumps B.
  • one mount electrode 16 of the piezoelectric vibrating reed 4 is electrically connected to one through electrode 32 through one routing electrode 36, and the other mount electrode 17 is passed through the other routing electrode 37 to the other penetration electrode.
  • the electrode 33 is electrically connected.
  • external electrodes 38 and 39 are formed on the lower surface 2b of the base substrate 2 so as to be electrically connected to the pair of through electrodes 32 and 33, respectively. Yes. That is, one external electrode 38 is electrically connected to the first excitation electrode 13 of the piezoelectric vibrating reed 4 via one through electrode 32 and one routing electrode 36. The other external electrode 39 is electrically connected to the second excitation electrode 14 of the piezoelectric vibrating reed 4 via the other through electrode 33 and the other routing electrode 37.
  • a predetermined drive voltage is applied to the external electrodes 38 and 39 formed on the base substrate 2.
  • a current can flow through the excitation electrode 15 including the first excitation electrode 13 and the second excitation electrode 14 of the piezoelectric vibrating reed 4, and the predetermined amount is set in a direction in which the pair of vibrating arm portions 10 and 11 are approached and separated.
  • Can be vibrated at a frequency of The vibration of the pair of vibrating arm portions 10 and 11 can be used as a time source, a control signal timing source, a reference signal source, and the like.
  • the piezoelectric vibrating reed manufacturing step is performed to manufacture the piezoelectric vibrating reed 4 shown in FIGS. 5 to 7 (S10). Specifically, a quartz Lambert rough is first sliced at a predetermined angle to obtain a wafer having a constant thickness. Subsequently, the wafer is lapped and roughly processed, and then the work-affected layer is removed by etching, and then mirror polishing such as polishing is performed to obtain a wafer having a predetermined thickness.
  • the wafer is patterned with the outer shape of the piezoelectric vibrating reed 4 by photolithography technique, and a metal film is formed and patterned to obtain the excitation electrode 15, Lead electrodes 19 and 20, mount electrodes 16 and 17, and weight metal film 21 are formed. Thereby, the some piezoelectric vibrating piece 4 is producible.
  • the resonance frequency is coarsely adjusted. This is done by irradiating the coarse adjustment film 21a of the weight metal film 21 with laser light to evaporate a part thereof and changing the weight. Note that fine adjustment for adjusting the resonance frequency with higher accuracy is performed after mounting. This will be described later.
  • a first wafer manufacturing process is performed in which a lid substrate wafer 50 to be the lid substrate 3 later is manufactured up to a state immediately before anodic bonding (S20).
  • a lid substrate wafer 50 made of soda glass is polished to a predetermined thickness and washed, as shown in FIG. 9, the disk-shaped lid substrate wafer from which the outermost work-affected layer is removed by etching or the like is shown. 50 is formed (S21).
  • a recess forming step is performed in which a plurality of cavity recesses 3a are formed in the matrix direction by pressing on the bonding surface of the lid substrate wafer 50 (S22).
  • a mold having a convex portion corresponding to the concave portion 3a is disposed so as to abut on the surface 50a of the lid substrate wafer 50, and is put into a heating furnace in that state. Then, by heating to about 1000 ° C., the lid substrate wafer 50 is softened and the mold is recessed into the surface 50 a of the lid substrate wafer 50. Thereafter, the lid substrate wafer 50 is taken out of the heating furnace and cooled to form the recess 3 a in the lid substrate wafer 50. The mold is removed from the lid substrate wafer 50 after cooling.
  • the lid substrate wafer 50 having the recesses 3a formed therein is put into an electric furnace to perform a heat treatment process (S23).
  • a heat treatment process for example, the inside of the furnace is heated to 670 ° C. to 680 ° C., and the lid substrate wafer 50 is placed in the furnace for about 30 minutes.
  • the cross-sectional shape 160 of the recess 3a after the heat treatment step is performed by performing heat treatment on the cross-sectional shape 150 (see FIG. 10) of the recess 3a before the heat treatment step. (See FIG. 11), the cross-sectional shape becomes gentle. Further, although the pinhole P1 having a step of about 10 ⁇ m is formed in the cross-sectional shape 150, it can be seen that the pinhole P1 is eliminated by the heat treatment. It can also be seen that in the cross-sectional shape 160 after the heat treatment step, the cross-sectional height difference is about 2 ⁇ m, and the height difference is small.
  • the pinhole P1 is formed to a depth of about 7% of the total thickness. This leads to a decrease in the bending strength of the lid substrate 3.
  • the pinhole P1 is eliminated by performing the heat treatment process, and a desired bending strength is ensured.
  • the surface shape of the recess 3a after the heat treatment step is smoother than the surface shape of the recess 3a before the heat treatment step (see FIG. 12). It can be seen that the number of depressions is reduced. That is, it can be seen that the surface is smoothed by heat treatment.
  • the temperature in the electric furnace in the heat treatment step is set to 700 ° C.
  • the surface of the recess 3 a is further smoothed, but the softening of the lid substrate wafer 50 is further promoted.
  • the height H1 (see FIG. 3) of the recess 3a is lowered.
  • the height H1 of the recess 3a before the heat treatment was 52.9 ⁇ m
  • the height H1 after the heat treatment was 37.7 ⁇ m
  • the height H1 of the recess 3a was lowered. .
  • the height H1 of the concave portion 3a is equal to or less than a predetermined value, there is a possibility that the piezoelectric vibrating piece 4 and the concave portion 3a come into contact with each other when the piezoelectric vibrating piece 4 is mounted thereafter.
  • the temperature is 700 ° C.
  • the minimum temperature in the heat treatment step is 600 ° C. Even if the lid substrate wafer 50 is put in an electric furnace and heat-treated, if the temperature is too low, the surface shape of the recess 3a does not change. When soda glass was used as the lid substrate wafer 50 as in this embodiment, it was confirmed that the pinhole P1 in the recess 3a disappeared when the temperature of the electric furnace was set to 600 ° C.
  • FIG. 17 shows the surface shape of the recess 3a when the temperature in the heat treatment step is set to 600.degree.
  • the surface on which the concave portion 3a is formed is polished in preparation for the subsequent joining step (S60) (S24).
  • the abrasive grains used for polishing do not enter the pinhole P1.
  • a second wafer manufacturing process is performed in which the base substrate wafer 40 to be the base substrate 2 is manufactured up to the state immediately before anodic bonding (S30).
  • a disc-shaped base substrate wafer 40 is formed by removing the outermost work-affected layer by etching or the like (S31).
  • a through electrode forming step for forming a plurality of pairs of through electrodes 32 and 33 on the base substrate wafer 40 is performed (S32).
  • the through electrodes 32 and 33 are formed by forming through holes 30 and 31 at predetermined positions of the base substrate wafer 40, filling the through holes 30 and 31 with, for example, silver paste, and then baking the paste material.
  • the base substrate wafer 40 is formed by polishing and finally polishing the surface of the base substrate wafer 40.
  • a conductive material is patterned on the upper surface 40a of the base substrate wafer 40, and as shown in FIGS. 18 and 19, a bonding film forming step for forming the bonding film 35 is performed (S33).
  • the dotted line M shown in FIG. 18, FIG. 19 has shown the cutting line cut
  • the through electrodes 32 and 33 are substantially flush with the upper surface 40a of the base substrate wafer 40 as described above.
  • the routing electrodes 36 and 37 patterned on the upper surface 40a of the base substrate wafer 40 are in close contact with the through electrodes 32 and 33 without generating a gap therebetween. As a result, it is possible to ensure the electrical conductivity between the one routing electrode 36 and the one through electrode 32 and the electrical conductivity between the other routing electrode 37 and the other through electrode 33. At this point, the second wafer manufacturing process is completed.
  • FIG. 8 it is set as the process order which performs the routing electrode formation process (S34) after the bonding film formation process (S33), but conversely, after the routing electrode formation process (S34), the bonding film formation is performed.
  • the step (S33) may be performed, or both steps may be performed simultaneously. Regardless of the order of steps, the same effects can be obtained. Therefore, the process order may be changed as necessary.
  • a mounting process is performed in which the produced plurality of piezoelectric vibrating reeds 4 are joined to the upper surface 40a of the base substrate wafer 40 via the routing electrodes 36 and 37, respectively (S40).
  • bumps B such as gold are formed on the pair of lead-out electrodes 36 and 37, respectively.
  • the piezoelectric vibrating piece 4 is pressed against the bump B while heating the bump B to a predetermined temperature.
  • the piezoelectric vibrating reed 4 is mechanically supported by the bumps B, and the mount electrodes 16 and 17 and the routing electrodes 36 and 37 are electrically connected.
  • the pair of excitation electrodes 15 of the piezoelectric vibrating reed 4 are in a state of being electrically connected to the pair of through electrodes 32 and 33, respectively.
  • the piezoelectric vibrating reed 4 is bump-bonded, it is supported in a state where it floats from the upper surface 40 a of the base substrate wafer 40.
  • an overlaying process for overlaying the lid substrate wafer 50 on the base substrate wafer 40 is performed (S50). Specifically, both wafers 40 and 50 are aligned at the correct position while using a reference mark (not shown) as an index. As a result, the mounted piezoelectric vibrating reed 4 is housed in a cavity C surrounded by the recess 3 a formed in the base substrate wafer 40 and the wafers 40 and 50.
  • the superposed two wafers 40 and 50 are put in an anodic bonding apparatus (not shown), and a predetermined voltage is applied in a predetermined vacuum atmosphere / temperature atmosphere to perform the anodic bonding (S60). Specifically, a predetermined voltage is applied between the bonding film 35 and the lid substrate wafer 50. As a result, an electrochemical reaction occurs at the interface between the bonding film 35 and the lid substrate wafer 50, and the two are firmly bonded and anodically bonded. Thereby, the piezoelectric vibrating reed 4 can be sealed in the cavity C, and the wafer body 60 shown in FIG. 20 in which the base substrate wafer 40 and the lid substrate wafer 50 are bonded can be obtained.
  • the pinhole P1 is not formed on the surface of the concave portion 3a of the lid substrate wafer 50, and the abrasive grains used in the polishing step enter the pinhole P1 and remain. Absent. Therefore, no gas is generated in the cavity C even if the wafer body 60 is heated during anodic bonding. That is, anodic bonding can be performed while the vacuum state in the cavity C is reliably maintained.
  • FIG. 20 in order to make the drawing easier to see, a state in which the wafer body 60 is disassembled is illustrated, and the bonding film 35 is not illustrated from the base substrate wafer 40. Further, a dotted line M shown in FIG. 20 illustrates a cutting line that is cut in a cutting process to be performed later.
  • the through holes 30 and 31 formed in the base substrate wafer 40 are completely closed by the through electrodes 32 and 33, so that the airtightness in the cavity C is reduced. Will not be damaged through.
  • a conductive material is patterned on the lower surface 40b (see FIG. 19) of the base substrate wafer 40, and a pair of electrodes electrically connected to the pair of through electrodes 32 and 33, respectively.
  • An external electrode forming step of forming a plurality of external electrodes 38 and 39 is performed (S70). Through this step, the piezoelectric vibrating reed 4 sealed in the cavity C can be operated using the external electrodes 38 and 39.
  • the through electrodes 32 and 33 are substantially flush with the lower surface 40b of the base substrate wafer 40 in the same manner as when the lead-out electrodes 36 and 37 are formed.
  • the external electrodes 38 and 39 are in close contact with the through electrodes 32 and 33 without generating a gap or the like therebetween. Thereby, the continuity between the external electrodes 38 and 39 and the through electrodes 32 and 33 can be ensured.
  • a fine adjustment step of finely adjusting the frequency of each piezoelectric vibrator 1 sealed in the cavity C to be within a predetermined range is performed (S80). More specifically, the piezoelectric vibrating reed 4 is vibrated by applying a voltage to the pair of external electrodes 38 and 39 formed on the lower surface 40 b of the base substrate wafer 40. Then, laser light is irradiated from the outside through the lid substrate wafer 50 while measuring the frequency, and the fine adjustment film 21b of the weight metal film 21 is evaporated. Thereby, since the weight of the tip side of a pair of vibration arm parts 10 and 11 changes, the frequency of the piezoelectric vibrating reed 4 can be finely adjusted to be within a predetermined range of the nominal frequency.
  • a cutting process is performed in which the bonded wafer body 60 is cut along the cutting line M shown in FIG. 20 into small pieces (S90).
  • the piezoelectric vibration piece 4 is sealed in the cavity C formed between the base substrate 2 and the lid substrate 3 that are anodically bonded to each other, and the two-layer structure surface mount type piezoelectric vibration shown in FIG. A plurality of children 1 can be manufactured at a time.
  • the order of processes in which the fine adjustment process (S80) is performed may be used.
  • fine adjustment step (S80) fine adjustment can be performed in the state of the wafer body 60, so that the plurality of piezoelectric vibrators 1 can be finely adjusted more efficiently. Therefore, it is preferable because throughput can be improved.
  • the lid substrate wafer 50 is heat-treated, thereby performing the press molding.
  • the minute pinhole P1 formed on the surface of the recess 3a can be eliminated. That is, when the surface of the recess 3a is softened, the unevenness formed on the surface becomes smooth and the pinhole P1 disappears. Therefore, the strength of the lid substrate 3 formed from the lid substrate wafer 50 is improved, and the bending strength of the piezoelectric vibrator 1 is also improved.
  • the polishing process for polishing the surface of the recess 3a is performed after the heat treatment process for the lid substrate wafer 50, the pinhole P1 in which the abrasive grains used in the polishing process are formed on the surface of the recess 3a. Intrusion can be prevented. Therefore, it is possible to prevent the abrasive grains from remaining on the surface of the recess 3a when the polishing process is completed, and thus it is possible to prevent gas from being generated in the cavity C in the subsequent process. That is, the airtightness in the piezoelectric vibrator 1 can be ensured, and the product characteristics can be prevented from deteriorating.
  • the lid substrate wafer 50 by using a wafer made of soda glass as the lid substrate wafer 50 and setting the temperature of the heat treatment process at 600 ° C. or more and 700 ° C. or less, the pinhole P 1 formed on the surface of the recess 3 can be eliminated. it can. Therefore, the strength of the lid substrate 3 is improved and the bending strength of the piezoelectric vibrator 1 is also improved.
  • the temperature of the heat treatment step is more preferably set to 670 ° C. or higher and 680 ° C. or lower. That is, by setting the temperature in the heat treatment step to an appropriate value within a narrower range, the pinhole P1 formed on the surface of the recess 3a can be more reliably eliminated. Therefore, the strength of the lid substrate 3 is reliably improved, and the bending strength of the piezoelectric vibrator 1 is also reliably improved.
  • the oscillator 100 is configured such that the piezoelectric vibrator 1 is an oscillator electrically connected to the integrated circuit 101.
  • the oscillator 100 includes a substrate 103 on which an electronic component 102 such as a capacitor is mounted. On the substrate 103, the integrated circuit 101 for the oscillator is mounted, and the piezoelectric vibrator 1 is mounted in the vicinity of the integrated circuit 101.
  • the electronic component 102, the integrated circuit 101, and the piezoelectric vibrator 1 are electrically connected by a wiring pattern (not shown). Each component is molded with a resin (not shown).
  • the piezoelectric vibrating piece 4 in the piezoelectric vibrator 1 vibrates. This vibration is converted into an electric signal by the piezoelectric characteristics of the piezoelectric vibrating piece 4 and input to the integrated circuit 101 as an electric signal.
  • the input electrical signal is subjected to various processes by the integrated circuit 101 and is output as a frequency signal.
  • the piezoelectric vibrator 1 functions as an oscillator.
  • an RTC real-time clock
  • a function for controlling the time, providing a time, a calendar, and the like can be added.
  • the bending strength is ensured, the airtightness in the cavity C is ensured, and the high-quality piezoelectric vibrator 1 with improved yield is provided.
  • the oscillating device 100 itself can be stably ensured in continuity, and the operation reliability can be improved and the quality can be improved. In addition to this, it is possible to obtain a highly accurate frequency signal that is stable over a long period of time.
  • the portable information device 110 having the above-described piezoelectric vibrator 1 will be described as an example of the electronic device.
  • the portable information device 110 according to the present embodiment is represented by, for example, a mobile phone, and is a development and improvement of a wrist watch in the related art. The appearance is similar to that of a wristwatch, and a liquid crystal display is arranged in a portion corresponding to a dial so that the current time and the like can be displayed on this screen.
  • the portable information device 110 includes the piezoelectric vibrator 1 and a power supply unit 111 for supplying power.
  • the power supply unit 111 is made of, for example, a lithium secondary battery.
  • the power supply unit 111 includes a control unit 112 that performs various controls, a clock unit 113 that counts time, a communication unit 114 that communicates with the outside, a display unit 115 that displays various types of information, A voltage detection unit 116 that detects the voltage of the functional unit is connected in parallel.
  • the power unit 111 supplies power to each functional unit.
  • the control unit 112 controls each function unit to control the operation of the entire system such as transmission and reception of voice data, measurement and display of the current time, and the like.
  • the control unit 112 includes a ROM in which a program is written in advance, a CPU that reads and executes the program written in the ROM, and a RAM that is used as a work area for the CPU.
  • the clock unit 113 includes an integrated circuit including an oscillation circuit, a register circuit, a counter circuit, an interface circuit, and the like, and the piezoelectric vibrator 1.
  • the piezoelectric vibrator 1 When a voltage is applied to the piezoelectric vibrator 1, the piezoelectric vibrating reed 4 vibrates, and the vibration is converted into an electric signal by the piezoelectric characteristics of the crystal and is input to the oscillation circuit as an electric signal.
  • the output of the oscillation circuit is binarized and counted by a register circuit and a counter circuit. Then, signals are transmitted to and received from the control unit 112 via the interface circuit, and the current time, current date, calendar information, and the like are displayed on the display unit 115.
  • the communication unit 114 has functions similar to those of a conventional mobile phone, and includes a radio unit 117, a voice processing unit 118, a switching unit 119, an amplification unit 120, a voice input / output unit 121, a telephone number input unit 122, and a ring tone generation unit. 123 and a call control memory unit 124.
  • the wireless unit 117 exchanges various data such as voice data with the base station via the antenna 125.
  • the audio processing unit 118 encodes and decodes the audio signal input from the radio unit 117 or the amplification unit 120.
  • the amplifying unit 120 amplifies the signal input from the audio processing unit 118 or the audio input / output unit 121 to a predetermined level.
  • the voice input / output unit 121 includes a speaker, a microphone, and the like, and amplifies a ringtone and a received voice or collects a voice.
  • the ring tone generator 123 generates a ring tone in response to a call from the base station.
  • the switching unit 119 switches the amplifying unit 120 connected to the voice processing unit 118 to the ringing tone generating unit 123 only when an incoming call is received, so that the ringing tone generated in the ringing tone generating unit 123 is transmitted via the amplifying unit 120.
  • the call control memory unit 124 stores a program related to incoming / outgoing call control of communication.
  • the telephone number input unit 122 includes, for example, number keys from 0 to 9 and other keys. By pressing these number keys, a telephone number of a call destination is input.
  • the voltage detection unit 116 detects the voltage drop and notifies the control unit 112 of the voltage drop.
  • the predetermined voltage value at this time is a value set in advance as a minimum voltage necessary for stably operating the communication unit 114, and is, for example, about 3V.
  • the control unit 112 prohibits the operations of the radio unit 117, the voice processing unit 118, the switching unit 119, and the ring tone generation unit 123. In particular, it is essential to stop the operation of the wireless unit 117 with high power consumption. Further, the display unit 115 displays that the communication unit 114 has become unusable due to insufficient battery power.
  • the operation of the communication unit 114 can be prohibited by the voltage detection unit 116 and the control unit 112, and that effect can be displayed on the display unit 115.
  • This display may be a text message, but as a more intuitive display, a x (X) mark may be attached to the telephone icon displayed at the top of the display surface of the display unit 115.
  • the function of the communication part 114 can be stopped more reliably by providing the power supply cutoff part 126 that can selectively cut off the power of the part related to the function of the communication part 114.
  • the portable information device 110 of this embodiment the bending strength is ensured, the airtightness in the cavity C is reliably ensured, and the high-quality piezoelectric vibrator 1 with improved yield is provided. Therefore, the portable information device itself is similarly stably secured and can improve the reliability of the operation and improve the quality. In addition to this, it is possible to display highly accurate clock information that is stable over a long period of time.
  • the radio-controlled timepiece 130 includes the piezoelectric vibrator 1 electrically connected to the filter unit 131.
  • the radio-controlled timepiece 130 receives a standard radio wave including timepiece information and is accurate. It is a clock with a function of automatically correcting and displaying the correct time.
  • transmitting stations transmitting stations that transmit standard radio waves in Fukushima Prefecture (40 kHz) and Saga Prefecture (60 kHz), each transmitting standard radio waves.
  • Long waves such as 40 kHz or 60 kHz have the property of propagating the surface of the earth and the property of propagating while reflecting the ionosphere and the surface of the earth, so the propagation range is wide, and the above two transmitting stations cover all of Japan. is doing.
  • the antenna 132 receives a long standard wave of 40 kHz or 60 kHz.
  • the long-wave standard radio wave is obtained by subjecting time information called a time code to AM modulation on a 40 kHz or 60 kHz carrier wave.
  • the received long standard wave is amplified by the amplifier 133 and filtered and tuned by the filter unit 131 having the plurality of piezoelectric vibrators 1.
  • the piezoelectric vibrator 1 according to this embodiment includes crystal vibrator portions 138 and 139 having resonance frequencies of 40 kHz and 60 kHz that are the same as the carrier frequency.
  • the filtered signal having a predetermined frequency is detected and demodulated by the detection and rectification circuit 134. Subsequently, the time code is taken out via the waveform shaping circuit 135 and counted by the CPU 136.
  • the CPU 136 reads information such as the current year, accumulated date, day of the week, and time. The read information is reflected in the RTC 137, and accurate time information is displayed. Since the carrier wave is 40 kHz or 60 kHz, the crystal vibrator units 138 and 139 are preferably vibrators having the tuning fork type structure described above.
  • the frequency of the long standard radio wave is different overseas.
  • a standard radio wave of 77.5 KHz is used. Accordingly, when the radio timepiece 130 that can be used overseas is incorporated in a portable device, the piezoelectric vibrator 1 having a frequency different from that in Japan is required.
  • the radio-controlled timepiece 130 of the present embodiment the high-quality piezoelectric vibrator 1 is provided in which bending strength is ensured, airtightness in the cavity C is reliably ensured, and yield is improved. For this reason, the radio-controlled timepiece itself can be stably secured in the same manner, and the operation reliability can be improved and the quality can be improved. In addition to this, it is possible to count time stably and with high accuracy over a long period of time.
  • the through holes 30 and 31 are formed in a cylindrical shape having a straight cross section, but may be formed in a conical shape having a tapered cross section.
  • the piezoelectric vibrating reed 4 with grooves in which the groove portions 18 are formed on both surfaces of the vibrating arm portions 10 and 11 has been described as an example of the piezoelectric vibrating reed 4.
  • the type without the groove 18 is described.
  • the piezoelectric vibrating piece may be used.
  • the tuning fork type piezoelectric vibrating piece 4 has been described as an example.
  • the tuning fork type is not limited to the tuning fork type.
  • it may be a thickness sliding vibration piece.
  • the base substrate 2 and the lid substrate 3 are anodically bonded via the bonding film 35.
  • the present invention is not limited to anodic bonding.
  • anodic bonding is preferable because both substrates 2 and 3 can be firmly bonded.
  • the piezoelectric vibrating reed 4 is bump-bonded, but is not limited to bump bonding.
  • the piezoelectric vibrating reed 4 may be joined with a conductive adhesive.
  • the piezoelectric vibrating reed 4 can be lifted from the upper surface of the base substrate 2, and a minimum vibration gap necessary for vibration can be secured naturally. Therefore, it is preferable to perform bump bonding.
  • the method for manufacturing a piezoelectric vibrator according to the present invention is a method for manufacturing a surface mount type (SMD) piezoelectric vibrator in which a piezoelectric vibrating piece is sealed in a cavity formed between two bonded substrates. Applicable.
  • SMD surface mount type

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Abstract

本発明のパッケージの製造方法は、ガラス材からなる第1基板および第2基板の少なくともいずれか一方に凹状のキャビティが形成されたパッケージの製造方法において、前記第1基板および前記第2基板の少なくともいずれか一方の被成形基板に対して、プレス成形することで前記キャビティを形成するキャビティ形成工程と、前記キャビティが形成された前記被成形基板を加熱する熱処理工程と、を有している。

Description

パッケージの製造方法、圧電振動子の製造方法、発振器、電子機器および電波時計
 本発明は、パッケージの製造方法、圧電振動子の製造方法、発振器、電子機器および電波時計に関するものである。
 近年、携帯電話や携帯情報端末には、時刻源や制御信号などのタイミング源、リファレンス信号源などとして水晶などを利用した圧電振動子が用いられている。この種の圧電振動子は、様々なものが知られているが、その一つとして、表面実装型の圧電振動子が知られている。この種の圧電振動子としては、一般的に圧電振動片をベース基板とリッド基板とで構成されるパッケージ内に形成されたキャビティ内に実装した2層構造タイプのものが知られている(例えば、特許文献1参照)。このパッケージ化された2層構造タイプの圧電振動子は、薄型化を図ることができるなどの点において優れており、好適に使用されている。
 ここで、上述した特許文献1ではガラス薄板の蓋に凹部を形成し、その中に圧電振動片を実装した構成が記載されており、この凹部はガラス薄板の表面をエッチングすることにより、またはガラス材料の押型成形加工などの一体成形法により形成される旨、記載されている。
特開2002-353766号公報
 ところで、特許文献1のようにベース基板またはリッド基板に対して、プレス成形でキャビティを形成する場合、キャビティ底部の表面が粗面となり、該表面に微小なピンホールが多数形成される。具体的には、図24に示すように、ベース基板202とリッド基板203とを備えたパッケージ201におけるリッド基板203に凹部203aを形成する。つまり、凹部203aをベース基板202に対向するようにして、両基板202,203を接合するとキャビティCが形成される。ここで、凹部203aをプレス成形にて形成すると、凹部203aの表面203bには微小な凹凸が存在し、その中で深さが急激に深くなるピンホールP1が所々に形成される。このようにピンホールP1が形成された状態では、パッケージの曲げ強度不足の原因となり、製品に信頼性に影響を及ぼす可能性がある。また、キャビティ形成後に基板に対して研磨などを施すことにより基板の厚みを調整する際に、研磨加工液中の砥粒がピンホールP1内に入り込み、その後洗浄してもピンホールP1内に留まってしまうことがある。すると、その後の陽極接合時などにおいて両基板202,203を加熱する際に、砥粒からガスが発生してしまい、パッケージ内の気密性が重要である製品にとって製品特性が低下するという虞がある。
 そこで、本発明は、上述の事情に鑑みてなされたものであり、基板に対してプレス成形でキャビティを製造するパッケージにおいて、曲げ強度を向上することができるパッケージの製造方法、圧電振動子の製造方法、発振器、電子機器および電波時計を提供することを目的とする。
 本発明は、前記課題を解決するために以下の手段を提供する。
本発明に係るパッケージの製造方法は、ガラス材からなる第1基板および第2基板の少なくともいずれか一方に凹状のキャビティが形成されたパッケージの製造方法において、前記第1基板および前記第2基板の少なくともいずれか一方の被成形基板に対して、プレス成形することで前記キャビティを形成するキャビティ形成工程と、前記キャビティが形成された前記被成形基板を加熱する熱処理工程と、を有していることを特徴としている。
本発明に係るパッケージの製造方法においては、被成形基板に対してプレス成形にてキャビティを形成した後に、被成形基板を熱処理することで、プレス成形時にキャビティの表面に形成された微小なピンホールを無くすことができる。つまり、キャビティの表面が軟化することにより、該表面に形成された凹凸が滑らかになり、ピンホールも消滅する。したがって、被成形基板の強度が向上し、パッケージの曲げ強度も向上することができる。
また、本発明に係るパッケージの製造方法は、前記熱処理工程の後に、前記キャビティが形成された面を研磨する研磨工程を行うことを特徴としている。
本発明に係るパッケージの製造方法においては、熱処理工程を行った後に研磨することにより、研磨工程の際に使用する砥粒がキャビティの表面に形成されていたピンホール内に入り込むのを防止することができる。したがって、研磨工程が完了したときに砥粒がキャビティ表面に残るのを防止できるため、その後の工程でキャビティ内にガスが発生するのを防止することができる。つまり、パッケージ内の気密性を確保することができ、製品特性が低下するのを防止することができる。
 また、本発明に係るパッケージの製造方法は、前記被成形基板がソーダガラスで形成されており、前記熱処理工程の温度が600℃以上700℃以下であることを特徴としている。
本発明に係るパッケージの製造方法においては、ソーダガラスの基板を用いる際に、熱処理工程での温度を適正値にすることにより、キャビティ表面に形成されたピンホールを無くすことができる。したがって、被成形基板の強度が向上し、パッケージの曲げ強度も向上することができる。
 また、本発明に係るパッケージの製造方法は、前記熱処理工程の温度が670℃以上680℃以下であることを特徴としている。
本発明に係るパッケージの製造方法においては、ソーダガラスの基板を用いる際に、熱処理工程での温度をさらに狭い範囲で適正値にすることにより、キャビティ表面に形成されたピンホールをより確実に無くすことができる。したがって、被成形基板の強度が確実に向上し、パッケージの曲げ強度も向上することができる。
 また、本発明に係る圧電振動子の製造方法は、上述のいずれかに記載の製造方法で製造されたパッケージに、前記キャビティ内へ連通する貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、該貫通孔に導電材料を配置して貫通電極を形成する貫通電極形成工程と、前記キャビティ内に圧電振動片を配し、該圧電振動片と前記貫通電極とを電気的に接続する圧電振動片実装工程と、を有していることを特徴としている。
本発明に係る圧電振動子の製造方法においては、キャビティ表面に形成されたピンホールが消滅し、基板の強度が向上したパッケージに貫通電極および圧電振動片を形成して圧電振動子を製造しているため、曲げ強度が確保され、歩留まりが向上した高品質な圧電振動子を提供することができる。
また、本発明に係る発振器は、上述した製造方法により製造された圧電振動子が、発振子として集積回路に電気的に接続されていることを特徴としている。
さらに、本発明に係る電子機器は、上述した製造方法により製造された圧電振動子が、計時部に電気的に接続されていることを特徴としている。
そして、本発明に係る電波時計は、上述した製造方法により製造された圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴としている。
本発明に係る発振器、電子機器および電波時計においては、曲げ強度が確保され、歩留まりが向上した高品質な圧電振動子を備えているため、同様に作動の信頼性を高めて高品質化を図ることができる。
本発明に係るパッケージの製造方法によれば、被成形基板に対してプレス成形にてキャビティを形成した後に、被成形基板を熱処理することで、プレス成形時にキャビティの表面に形成された微小なピンホールを無くすことができる。つまり、キャビティの表面が軟化することにより、該表面に形成された凹凸が滑らかになり、ピンホールも消滅する。したがって、被成形基板の強度が向上し、パッケージの曲げ強度も向上することができる。
本発明に係る圧電振動子の一実施形態を示す外観斜視図である。 図1に示す圧電振動子の内部構成図であって、リッド基板を取り外した状態で圧電振動片を上方から見た図である。 本発明の実施形態における圧電振動子の断面図(図2のA-A線に沿う断面図)である。 図1に示す圧電振動子の分解斜視図である。 図1に示す圧電振動子を構成する圧電振動片の上面図である。 図5に示す圧電振動片の下面図である。 図5のB-B線に沿う断面図である。 図1に示す圧電振動子を製造する際の流れを示すフローチャートである。 図8に示すフローチャートに沿って圧電振動子を製造する際の一工程を示す図であって、リッド基板の元となるリッド基板用ウエハに複数の凹部を形成した状態を示す図である。 図8に示すフローチャートに沿って圧電振動子を製造する際の一工程を示す図であって、プレス加工にてリッド基板用ウエハに凹部を形成したときの凹部の表面形状を示す断面線図である。 図8に示すフローチャートに沿って圧電振動子を製造する際の一工程を示す図であって、リッド基板用ウエハに対して熱処理工程を行った後の凹部の表面形状を示す断面線図である。 図8に示すフローチャートに沿って圧電振動子を製造する際の一工程を示す図であって、熱処理工程前の凹部の表面形状を示す平面図である。 図8に示すフローチャートに沿って圧電振動子を製造する際の一工程を示す図であって、熱処理工程後の凹部の表面形状を示す平面図である。 図8に示すフローチャートに沿って圧電振動子を製造する際の一工程を示す図であって、熱処理工程の温度を680℃に設定した際の熱処理工程後の凹部の表面形状を示す平面図である。 図8に示すフローチャートに沿って圧電振動子を製造する際の一工程を示す図であって、熱処理工程の温度を650℃に設定した際の熱処理工程後の凹部の表面形状を示す平面図である。 図8に示すフローチャートに沿って圧電振動子を製造する際の一工程を示す図であって、熱処理工程の温度を700℃に設定した際の熱処理工程前後における凹部の高さの変化を示す斜視図である。 図8に示すフローチャートに沿って圧電振動子を製造する際の一工程を示す図であって、熱処理工程の温度を600℃に設定した際の熱処理工程後の凹部の表面形状を示す平面図である。 図8に示すフローチャートに沿って圧電振動子を製造する際の一工程を示す図であって、ベース基板用ウエハの上面に接合膜および引き回し電極をパターニングした状態を示す図である。 図18に示す状態のベース基板用ウエハの部分拡大斜視図である。 図8に示すフローチャートに沿って圧電振動子を製造する際の一工程を示す図であって、圧電振動片をキャビティ内に収容した状態でベース基板用ウエハとリッド基板用ウエハとが陽極接合されたウエハ体の分解斜視図である。 本発明に係る発振器の一実施形態を示す構成図である。 本発明に係る電子機器の一実施形態を示す構成図である。 本発明に係る電波時計の一実施形態を示す構成図である。 従来のパッケージの断面図あって、リッド基板に凹部をプレス成形にて形成した際の凹部表面形状を説明する図である。
符号の説明
 1 圧電振動子(パッケージ)
 2 ベース基板
 3 リッド基板(被成形基板)
 3a キャビティ用の凹部
 4 圧電振動片
 30 スルーホール(貫通孔)
 31 スルーホール(貫通孔)
 32 貫通電極
 33 貫通電極
 40 ベース基板用ウエハ
 50 リッド基板用ウエハ
 100 発振器
 101 発振器の集積回路
 110 携帯情報機器(電子機器)
 113 電子機器の計時部
 130 電波時計
 131 電波時計のフィルタ部
C キャビティ
 次に、本発明に係る実施形態を、図1~図23を参照して説明する。
 図1~図4に示すように、本実施形態の圧電振動子1は、ベース基板2とリッド基板3とで2層に積層された箱状に形成されており、内部のキャビティC内に圧電振動片4が収納された表面実装型の圧電振動子である。なお、図4においては、図面を見易くするために後述する圧電振動片4の励振電極15、引き出し電極19,20、マウント電極16,17及び重り金属膜21の図示を省略している。
 図5~図7に示すように、圧電振動片4は、水晶、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウムなどの圧電材料から形成された音叉型の振動片であり、所定の電圧が印加されたときに振動するものである。
 この圧電振動片4は、平行に配置された一対の振動腕部10,11と、該一対の振動腕部10,11の基端側を一体的に固定する基部12と、一対の振動腕部10,11の外表面上に形成されて一対の振動腕部10,11を振動させる第1の励振電極13と第2の励振電極14とからなる励振電極15と、第1の励振電極13及び第2の励振電極14に電気的に接続されたマウント電極16,17とを有している。
 また、本実施形態の圧電振動片4は、一対の振動腕部10,11の両主面上に、該振動腕部10,11の長手方向に沿ってそれぞれ形成された溝部18を備えている。この溝部18は、振動腕部10,11の基端側から略中間付近まで形成されている。
 第1の励振電極13と第2の励振電極14とからなる励振電極15は、一対の振動腕部10,11を互いに接近又は離間する方向に所定の共振周波数で振動させる電極であり、一対の振動腕部10,11の外表面に、それぞれ電気的に切り離された状態でパターニングされて形成されている。具体的には、第1の励振電極13が、一方の振動腕部10の溝部18上と他方の振動腕部11の両側面上とに主に形成され、第2の励振電極14が、一方の振動腕部10の両側面上と他方の振動腕部11の溝部18上とに主に形成されている。
 また、第1の励振電極13及び第2の励振電極14は、基部12の両主面上において、それぞれ引き出し電極19,20を介してマウント電極16,17に電気的に接続されている。そして圧電振動片4は、このマウント電極16,17を介して電圧が印加されるようになっている。
 なお、上述した励振電極15、マウント電極16,17及び引き出し電極19,20は、例えば、クロム(Cr)、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)やチタン(Ti)などの導電性膜の被膜により形成されたものである。
 また、一対の振動腕部10,11の先端には、自身の振動状態を所定の周波数の範囲内で振動するように調整(周波数調整)を行うための重り金属膜21が被膜されている。なお、この重り金属膜21は、周波数を粗く調整する際に使用される粗調膜21aと、微小に調整する際に使用される微調膜21bとに分かれている。これら粗調膜21a及び微調膜21bを利用して周波数調整を行うことで、一対の振動腕部10,11の周波数をデバイスの公称周波数の範囲内に収めることができる。
 このように構成された圧電振動片4は、図3、図4に示すように、金などのバンプBを利用して、ベース基板2の上面2aにバンプ接合されている。より具体的には、ベース基板2の上面2aにパターニングされた後述する引き回し電極36,37上に形成された2つのバンプB上に、一対のマウント電極16,17がそれぞれ接触した状態でバンプ接合されている。これにより、圧電振動片4は、ベース基板2の上面2aから浮いた状態で支持されるとともに、マウント電極16,17と引き回し電極36,37とがそれぞれ電気的に接続された状態となっている。
 上記リッド基板3は、ガラス材料、例えばソーダガラスからなる透明の絶縁基板であり、図1、図3及び図4に示すように、略板状に形成されている。そして、ベース基板2が接合される接合面側には、圧電振動片4が収まる矩形状の凹部3aが形成されている。
 この凹部3aは、両基板2,3が重ね合わされたときに、圧電振動片4を収容するキャビティCとなるキャビティ用の凹部である。そして、リッド基板3は、この凹部3aをベース基板2側に対向させた状態で該ベース基板2に対して陽極接合されている。
 上記ベース基板2は、リッド基板3と同様にガラス材料、例えばソーダガラスからなる透明な絶縁基板であり、図1~図4に示すように、リッド基板3に対して重ね合わせ可能な大きさで略板状に形成されている。
 このベース基板2には、該ベース基板2を貫通する一対のスルーホール(貫通孔)30,31が形成されている。この際、一対のスルーホール30,31は、キャビティC内に収まるように形成されている。より詳しく説明すると、本実施形態のスルーホール30,31は、マウントされた圧電振動片4の基部12側に対応した位置に一方のスルーホール30が形成され、振動腕部10,11の先端側に対応した位置に他方のスルーホール31が形成されている。また、本実施形態では、ベース基板2の下面2bから上面2aに向かってベース基板2を真っ直ぐに貫通するスルーホール30,31が形成されている。なお、このスルーホール30,31の形状は、この場合に限られず、漸次径が縮径した断面テーパ状のスルーホールでも構わない。いずれにしても、ベース基板2を貫通していればよい。
 そして、これら一対のスルーホール30,31には、該スルーホール30,31を埋めるように形成された一対の貫通電極32,33が形成されている。これら貫通電極32,33は、図3に示すように、焼成によってスルーホール30,31に対して一体的に固定された銀ペーストなどの導電材料によって形成されたものであり、スルーホール30,31を完全に塞いでキャビティC内の気密を維持しているとともに、後述する外部電極38,39と引き回し電極36,37とを導通させる役割を担っている。
 ベース基板2の上面2a側(リッド基板3が接合される接合面側)には、図1~図4に示すように、例えばアルミニウムなどの導電性材料により、陽極接合用の接合膜35と、一対の引き回し電極36,37とがパターニングされている。このうち接合膜35は、リッド基板3に形成された凹部3aの周囲を囲むようにベース基板2の周縁に沿って形成されている。
 また、一対の引き回し電極36,37は、一対の貫通電極32,33のうち、一方の貫通電極32と圧電振動片4の一方のマウント電極16とを電気的に接続するとともに、他方の貫通電極33と圧電振動片4の他方のマウント電極17とを電気的に接続するようにパターニングされている。
 より詳しく説明すると、一方の引き回し電極36は、圧電振動片4の基部12の真下に位置するように一方の貫通電極32の真上に形成されている。また、他方の引き回し電極37は、一方の引き回し電極36に隣接した位置から、振動腕部10,11に沿って該振動腕部10,11の先端側に引き回しされた後、他方の貫通電極33の真上に位置するように形成されている。
 そして、これら一対の引き回し電極36,37上にそれぞれバンプBが形成されており、該バンプBを利用して圧電振動片4がマウントされている。これにより、圧電振動片4の一方のマウント電極16が、一方の引き回し電極36を介して一方の貫通電極32に導通し、他方のマウント電極17が、他方の引き回し電極37を介して他方の貫通電極33に導通するようになっている。
 また、ベース基板2の下面2bには、図1、図3及び図4に示すように、一対の貫通電極32,33に対してそれぞれ電気的に接続される外部電極38,39が形成されている。つまり、一方の外部電極38は、一方の貫通電極32及び一方の引き回し電極36を介して圧電振動片4の第1の励振電極13に電気的に接続されている。また、他方の外部電極39は、他方の貫通電極33及び他方の引き回し電極37を介して、圧電振動片4の第2の励振電極14に電気的に接続されている。
 このように構成された圧電振動子1を作動させる場合には、ベース基板2に形成された外部電極38,39に対して、所定の駆動電圧を印加する。これにより、圧電振動片4の第1の励振電極13及び第2の励振電極14からなる励振電極15に電流を流すことができ、一対の振動腕部10,11を接近・離間させる方向に所定の周波数で振動させることができる。そして、この一対の振動腕部10,11の振動を利用して、時刻源、制御信号のタイミング源やリファレンス信号源などとして利用することができる。
 次に、上述した圧電振動子1を、図8に示すフローチャートを参照しながら、ベース基板用ウエハ40とリッド基板用ウエハ50とを利用して一度に複数製造する製造方法について以下に説明する。
 初めに、圧電振動片作製工程を行って図5~図7に示す圧電振動片4を作製する(S10)。具体的には、まず水晶のランバート原石を所定の角度でスライスして一定の厚みのウエハとする。続いて、このウエハをラッピングして粗加工した後、加工変質層をエッチングで取り除き、その後ポリッシュなどの鏡面研磨加工を行って、所定の厚みのウエハとする。続いて、ウエハに洗浄などの適切な処理を施した後、該ウエハをフォトリソグラフィ技術によって圧電振動片4の外形形状でパターニングするとともに、金属膜の成膜及びパターニングを行って、励振電極15、引き出し電極19,20、マウント電極16,17、重り金属膜21を形成する。これにより、複数の圧電振動片4を作製することができる。
 また、圧電振動片4を作製した後、共振周波数の粗調を行っておく。これは、重り金属膜21の粗調膜21aにレーザ光を照射して一部を蒸発させ、重量を変化させることで行う。なお、共振周波数をより高精度に調整する微調に関しては、マウント後に行う。これについては、後に説明する。
 次に、後にリッド基板3となるリッド基板用ウエハ50を、陽極接合を行う直前の状態まで作製する第1のウエハ作製工程を行う(S20)。まず、ソーダガラスからなるリッド基板ウエハ50を所定の厚さまで研磨加工して洗浄した後に、図9に示すように、エッチングなどにより最表面の加工変質層を除去した円板状のリッド基板用ウエハ50を形成する(S21)。次いで、リッド基板用ウエハ50の接合面に、プレス加工により行列方向にキャビティ用の凹部3aを複数形成する凹部形成工程を行う(S22)。具体的には、凹部3aに対応した凸部が形成された金型をリッド基板用ウエハ50の表面50aに当接するように配置し、その状態で加熱炉に入れる。そして、約1000℃に加熱することにより、リッド基板用ウエハ50が軟化して金型がリッド基板用ウエハ50の表面50aにめり込む。その後、リッド基板用ウエハ50を加熱炉から取り出し、冷却することでリッド基板用ウエハ50に凹部3aが形成される。なお、冷却後に金型をリッド基板用ウエハ50から取り外す。
 続いて、凹部3aが形成されたリッド基板用ウエハ50を電気炉に入れて熱処理工程を行う(S23)。この熱処理工程では、例えば、670℃~680℃に炉内を加熱し、約30分間リッド基板用ウエハ50を炉内に載置する。このようにリッド基板用ウエハ50を熱処理することにより、凹部3aの表面に形成されていたピンホールを無くすことができる。
具体的には、図10、図11に示すように、熱処理工程前の凹部3aの断面形状150(図10参照)に対して、熱処理を行うことで、熱処理工程後の凹部3aの断面形状160(図11参照)は、断面形状がなだらかになる。また、断面形状150には段差が約10μmのピンホールP1が形成されているが、熱処理をすることによりピンホールP1が無くなっていることが分かる。また、熱処理工程後の断面形状160では、断面の高低差が約2μmであり、高低差が小さくなっていることも分かる。なお、本実施形態ではリッド基板用ウエハ50における凹部3aが形成されている領域の厚さは約150μmであるため、全体の厚さの約7%の深さまでピンホールP1が形成されており、リッド基板3の曲げ強度の低下に繋がる。しかしながら、熱処理工程を行うことによりピンホールP1が無くなり、所望の曲げ強度が確保される。
さらに、図12、図13に示すように、熱処理工程前の凹部3aの表面形状(図12参照)に対して、熱処理工程後の凹部3aの表面形状(図13参照)は、表面が滑らかになり、窪みの数が減少していることが分かる。つまり、熱処理をすることにより表面が平滑化することが分かる。
そして、図14、図15に示すように、熱処理工程での電気炉内の温度を680℃に設定(図14参照)することにより、電気炉内の温度を650℃として熱処理した場合(図15参照)と比較して、より確実にピンホールP1が無くなるとともに、表面がより平滑化していることが分かる。
 なお、図16に示すように、熱処理工程での電気炉内を700℃に設定すると、さらに凹部3aの表面が平滑化することが分かるが、リッド基板用ウエハ50の軟化がより促進されるため、凹部3aの高さH1(図3参照)が低くなってしまう。図16では、熱処理前の凹部3aの高さH1が52.9μmであったのに対して、熱処理後の高さH1は37.7μmとなり、凹部3aの高さH1が低くなってしまっている。凹部3aの高さH1が所定値以下になると、その後の圧電振動片4の実装の際に、圧電振動片4と凹部3aとが接触するなどの支障がでる虞があるため、熱処理工程における最大温度は700℃である。
 一方、熱処理工程における最小温度は600℃である。リッド基板用ウエハ50を電気炉に入れて熱処理しても温度が低すぎると凹部3aの表面形状に変化が生じない。本実施形態のようにリッド基板用ウエハ50としてソーダガラスを用いた場合には、電気炉の温度を600℃に設定すると凹部3aのピンホールP1が無くなることを確認した。なお、図17が熱処理工程での温度を600℃に設定したときの凹部3aの表面形状である。
 熱処理工程が終了したら、その後の接合工程(S60)に備えて凹部3aが形成された表面を研磨する(S24)。なお、この研磨工程において、先の熱処理工程においてピンホールP1が無くなっているため、研磨で使用する砥粒がピンホールP1に入り込むことがない。凹部3aの表面の研磨が完了した時点で、第1のウエハ作製工程が終了する。
 次に、上記工程と同時或いは前後のタイミングで、後にベース基板2となるベース基板用ウエハ40を、陽極接合を行う直前の状態まで作製する第2のウエハ作製工程を行う(S30)。まず、ソーダガラスを所定の厚さまで研磨加工して洗浄した後に、エッチングなどにより最表面の加工変質層を除去した円板状のベース基板用ウエハ40を形成する(S31)。次いで、ベース基板用ウエハ40に一対の貫通電極32,33を複数形成する貫通電極形成工程を行う(S32)。貫通電極32,33は、ベース基板用ウエハ40の所定の位置にスルーホール30,31を形成し、該スルーホール30,31内に例えば銀ペーストなどを充填した後、焼成することでペースト材を固着させ、最後にベース基板用ウエハ40の表面を研磨することで形成する。
 次に、ベース基板用ウエハ40の上面40aに導電性材料をパターニングして、図18、図19に示すように、接合膜35を形成する接合膜形成工程を行う(S33)とともに、各一対の貫通電極32,33にそれぞれ電気的に接続された引き回し電極36,37を複数形成する引き回し電極形成工程を行う(S34)。なお、図18、図19に示す点線Mは、後に行う切断工程で切断する切断線を図示している。
 特に、貫通電極32,33は、上述したようにベース基板用ウエハ40の上面40aに対して略面一な状態となっている。そのため、ベース基板用ウエハ40の上面40aにパターニングされた引き回し電極36,37は、間に隙間などを発生させることなく貫通電極32,33に対して密着した状態で接する。これにより、一方の引き回し電極36と一方の貫通電極32との導通性、並びに、他方の引き回し電極37と他方の貫通電極33との導通性を確実なものにすることができる。この時点で第2のウエハ作製工程が終了する。
 ところで、図8では、接合膜形成工程(S33)の後に、引き回し電極形成工程(S34)を行う工程順序としているが、これとは逆に、引き回し電極形成工程(S34)の後に、接合膜形成工程(S33)を行っても構わないし、両工程を同時に行っても構わない。いずれの工程順序であっても、同一の作用効果を奏することができる。よって、必要に応じて適宜、工程順序を変更して構わない。
 次に、作製した複数の圧電振動片4を、それぞれ引き回し電極36,37を介してベース基板用ウエハ40の上面40aに接合するマウント工程を行う(S40)。まず、一対の引き回し電極36,37上にそれぞれ金などのバンプBを形成する。そして、圧電振動片4の基部12をバンプB上に載置した後、バンプBを所定温度に加熱しながら圧電振動片4をバンプBに押し付ける。これにより、圧電振動片4は、バンプBに機械的に支持されるとともに、マウント電極16,17と引き回し電極36,37とが電気的に接続された状態となる。よって、この時点で圧電振動片4の一対の励振電極15は、一対の貫通電極32,33に対してそれぞれ導通した状態となる。
 特に、圧電振動片4は、バンプ接合されるため、ベース基板用ウエハ40の上面40aから浮いた状態で支持される。
 圧電振動片4のマウントが終了した後、ベース基板用ウエハ40に対してリッド基板用ウエハ50を重ね合わせる重ね合わせ工程を行う(S50)。具体的には、図示しない基準マークなどを指標としながら、両ウエハ40、50を正しい位置にアライメントする。これにより、マウントされた圧電振動片4が、ベース基板用ウエハ40に形成された凹部3aと両ウエハ40、50とで囲まれるキャビティC内に収容された状態となる。
 重ね合わせ工程後、重ね合わせた2枚のウエハ40、50を図示しない陽極接合装置に入れ、所定の真空雰囲気・温度雰囲気で所定の電圧を印加して陽極接合する接合工程を行う(S60)。具体的には、接合膜35とリッド基板用ウエハ50との間に所定の電圧を印加する。すると、接合膜35とリッド基板用ウエハ50との界面に電気化学的な反応が生じ、両者がそれぞれ強固に密着して陽極接合される。これにより、圧電振動片4をキャビティC内に封止することができ、ベース基板用ウエハ40とリッド基板用ウエハ50とが接合した図20に示すウエハ体60を得ることができる。
 ここで、本実施形態では、リッド基板用ウエハ50の凹部3aの表面にピンホールP1が形成されておらず、研磨工程の際に用いる砥粒がピンホールP1内に入り込んで残っていることがない。したがって、陽極接合時にウエハ体60を加熱してもキャビティC内にガスが発生することがない。つまり、キャビティC内の真空状態を確実に保持しつつ、陽極接合を行うことができる。なお、図20においては、図面を見易くするために、ウエハ体60を分解した状態を図示しており、ベース基板用ウエハ40から接合膜35の図示を省略している。また、図20に示す点線Mは、後に行う切断工程で切断する切断線を図示している。
 ところで、陽極接合を行う際、ベース基板用ウエハ40に形成されたスルーホール30,31は、貫通電極32,33によって完全に塞がれているため、キャビティC内の気密がスルーホール30,31を通じて損なわれることがない。
 そして、上述した陽極接合が終了した後、ベース基板用ウエハ40の下面40b(図19参照)に導電性材料をパターニングして、一対の貫通電極32,33にそれぞれ電気的に接続された一対の外部電極38,39を複数形成する外部電極形成工程を行う(S70)。この工程により、外部電極38,39を利用してキャビティC内に封止された圧電振動片4を作動させることができる。
 特に、この工程を行う場合も引き回し電極36,37の形成時と同様に、ベース基板用ウエハ40の下面40bに対して貫通電極32,33が略面一な状態となっているため、パターニングされた外部電極38,39は、間に隙間などを発生させることなく貫通電極32,33に対して密着した状態で接する。これにより、外部電極38,39と貫通電極32,33との導通性を確実なものにすることができる。
 次に、ウエハ体60の状態で、キャビティC内に封止された個々の圧電振動子1の周波数を微調整して所定の範囲内に収める微調工程を行う(S80)。具体的に説明すると、ベース基板用ウエハ40の下面40bに形成された一対の外部電極38,39に電圧を印加して圧電振動片4を振動させる。そして、周波数を計測しながらリッド基板用ウエハ50を通して外部からレーザ光を照射し、重り金属膜21の微調膜21bを蒸発させる。これにより、一対の振動腕部10,11の先端側の重量が変化するため、圧電振動片4の周波数を、公称周波数の所定範囲内に収まるように微調整することができる。
 周波数の微調が終了後、接合されたウエハ体60を図20に示す切断線Mに沿って切断して小片化する切断工程を行う(S90)。その結果、互いに陽極接合されたベース基板2とリッド基板3との間に形成されたキャビティC内に圧電振動片4が封止された、図1に示す2層構造式表面実装型の圧電振動子1を一度に複数製造することができる。
 なお、切断工程(S90)を行って個々の圧電振動子1に小片化した後に、微調工程(S80)を行う工程順序でも構わない。但し、上述したように、微調工程(S80)を先に行うことで、ウエハ体60の状態で微調を行うことができるため、複数の圧電振動子1をより効率良く微調することができる。よって、スループットの向上化を図ることができるため好ましい。
 その後、内部の電気特性検査を行う(S100)。即ち、圧電振動片4の共振周波数、共振抵抗値、ドライブレベル特性(共振周波数及び共振抵抗値の励振電力依存性)などを測定してチェックする。また、絶縁抵抗特性などを併せてチェックする。そして、最後に圧電振動子1の外観検査を行って、寸法や品質などを最終的にチェックする。これをもって圧電振動子1の製造が終了する。
 本実施形態によれば、ガラス材で構成されたリッド基板用ウエハ50に対してプレス成形にて凹部3a(キャビティC)を形成した後に、リッド基板用ウエハ50を熱処理することで、プレス成形時に凹部3aの表面に形成された微小なピンホールP1を無くすことができる。つまり、凹部3aの表面が軟化することにより、該表面に形成された凹凸が滑らかになり、ピンホールP1も消滅する。したがって、リッド基板用ウエハ50から形成されるリッド基板3の強度が向上し、圧電振動子1の曲げ強度も向上する。
また、リッド基板用ウエハ50の熱処理工程の後に、凹部3aの表面を研磨する研磨工程を行うようにしたため、研磨工程の際に使用する砥粒が凹部3aの表面に形成されていたピンホールP1内に入り込むのを防止することができる。したがって、研磨工程が完了したときに砥粒が凹部3aの表面に残るのを防止できるため、その後の工程でキャビティC内にガスが発生するのを防止することができる。つまり、圧電振動子1内の気密性を確保することができ、製品特性が低下するのを防止することができる。
 また、リッド基板用ウエハ50にソーダガラスで形成されたウエハを用い、熱処理工程の温度を600℃以上700℃以下で設定することにより、凹部3の表面に形成されたピンホールP1を無くすことができる。したがって、リッド基板
3の強度が向上し、圧電振動子1の曲げ強度も向上する。
 さらに、上記熱処理工程の温度は670℃以上680℃以下に設定するとより好ましい。つまり、熱処理工程での温度をさらに狭い範囲で適正値にすることにより、凹部3aの表面に形成されたピンホールP1をより確実に無くすことができる。したがって、リッド基板3の強度が確実に向上し、圧電振動子1の曲げ強度も確実に向上する。
(発振器)
 次に、本発明に係る発振器の一実施形態について、図21を参照しながら説明する。
 本実施形態の発振器100は、図21に示すように、圧電振動子1を、集積回路101に電気的に接続された発振子として構成したものである。この発振器100は、コンデンサ等の電子部品102が実装された基板103を備えている。基板103には、発振器用の上記集積回路101が実装されており、この集積回路101の近傍に、圧電振動子1が実装されている。これら電子部品102、集積回路101及び圧電振動子1は、図示しない配線パターンによってそれぞれ電気的に接続されている。なお、各構成部品は、図示しない樹脂によりモールドされている。
 このように構成された発振器100において、圧電振動子1に電圧を印加すると、該圧電振動子1内の圧電振動片4が振動する。この振動は、圧電振動片4が有する圧電特性により電気信号に変換されて、集積回路101に電気信号として入力される。入力された電気信号は、集積回路101によって各種処理がなされ、周波数信号として出力される。これにより、圧電振動子1が発振子として機能する。
 また、集積回路101の構成を、例えば、RTC(リアルタイムクロック)モジュール等を要求に応じて選択的に設定することで、時計用単機能発振器等の他、当該機器や外部機器の動作日や時刻を制御したり、時刻やカレンダー等を提供したりする機能を付加することができる。
 上述したように、本実施形態の発振器100によれば、曲げ強度が確保されるとともに、キャビティC内の気密が確実に確保され、歩留まりが向上した高品質な圧電振動子1を備えているため、発振器100自体も同様に導通性が安定して確保され、作動の信頼性を高めて高品質化を図ることができる。さらにこれに加え、長期にわたって安定した高精度な周波数信号を得ることができる。
(電子機器)
 次に、本発明に係る電子機器の一実施形態について、図22を参照して説明する。なお電子機器として、上述した圧電振動子1を有する携帯情報機器110を例にして説明する。
 始めに本実施形態の携帯情報機器110は、例えば、携帯電話に代表されるものであり、従来技術における腕時計を発展、改良したものである。外観は腕時計に類似し、文字盤に相当する部分に液晶ディスプレイを配し、この画面上に現在の時刻等を表示させることができるものである。また、通信機として利用する場合には、手首から外し、バンドの内側部分に内蔵されたスピーカ及びマイクロフォンによって、従来技術の携帯電話と同様の通信を行うことが可能である。しかしながら、従来の携帯電話と比較して、格段に小型化及び軽量化されている。
 次に、本実施形態の携帯情報機器110の構成について説明する。この携帯情報機器110は、図22に示すように、圧電振動子1と、電力を供給するための電源部111とを備えている。電源部111は、例えば、リチウム二次電池からなっている。この電源部111には、各種制御を行う制御部112と、時刻等のカウントを行う計時部113と、外部との通信を行う通信部114と、各種情報を表示する表示部115と、それぞれの機能部の電圧を検出する電圧検出部116とが並列に接続されている。そして、電源部111によって、各機能部に電力が供給されるようになっている。
 制御部112は、各機能部を制御して音声データの送信及び受信、現在時刻の計測や表示など、システム全体の動作制御を行う。また、制御部112は、予めプログラムが書き込まれたROMと、該ROMに書き込まれたプログラムを読み出して実行するCPUと、該CPUのワークエリアとして使用されるRAMなどとを備えている。
 計時部113は、発振回路、レジスタ回路、カウンタ回路及びインターフェース回路等を内蔵する集積回路と、圧電振動子1とを備えている。圧電振動子1に電圧を印加すると圧電振動片4が振動し、該振動が水晶の有する圧電特性により電気信号に変換されて、発振回路に電気信号として入力される。発振回路の出力は二値化され、レジスタ回路とカウンタ回路とにより計数される。そして、インターフェース回路を介して、制御部112と信号の送受信が行われ、表示部115に、現在時刻や現在日付或いはカレンダー情報などが表示される。
 通信部114は、従来の携帯電話と同様の機能を有し、無線部117、音声処理部118、切替部119、増幅部120、音声入出力部121、電話番号入力部122、着信音発生部123及び呼制御メモリ部124を備えている。
 無線部117は、音声データなどの各種データを、アンテナ125を介して基地局と送受信のやりとりを行う。音声処理部118は、無線部117又は増幅部120から入力された音声信号を符号化及び複号化する。増幅部120は、音声処理部118又は音声入出力部121から入力された信号を、所定のレベルまで増幅する。音声入出力部121は、スピーカやマイクロフォン等からなり、着信音や受話音声を拡声したり、音声を集音したりする。
 また、着信音発生部123は、基地局からの呼び出しに応じて着信音を生成する。切替部119は、着信時に限って、音声処理部118に接続されている増幅部120を着信音発生部123に切り替えることによって、着信音発生部123において生成された着信音が増幅部120を介して音声入出力部121に出力される。
 なお、呼制御メモリ部124は、通信の発着呼制御に係るプログラムを格納する。また、電話番号入力部122は、例えば、0から9の番号キー及びその他のキーを備えており、これら番号キーなどを押下することにより、通話先の電話番号などが入力される。
 電圧検出部116は、電源部111によって制御部112などの各機能部に対して加えられている電圧が、所定の値を下回った場合に、その電圧降下を検出して制御部112に通知する。このときの所定の電圧値は、通信部114を安定して動作させるために必要な最低限の電圧として予め設定されている値であり、例えば、3V程度となる。電圧検出部116から電圧降下の通知を受けた制御部112は、無線部117、音声処理部118、切替部119及び着信音発生部123の動作を禁止する。特に、消費電力の大きな無線部117の動作停止は、必須となる。更に、表示部115に、通信部114が電池残量の不足により使用不能になった旨が表示される。
 即ち、電圧検出部116と制御部112とによって、通信部114の動作を禁止し、その旨を表示部115に表示することができる。この表示は、文字メッセージであっても良いが、より直感的な表示として、表示部115の表示面の上部に表示された電話アイコンに、×(バツ)印を付けるようにしてもよい。
 なお、通信部114の機能に係る部分の電源を、選択的に遮断することができる電源遮断部126を備えることで、通信部114の機能をより確実に停止することができる。
 上述したように、本実施形態の携帯情報機器110によれば、曲げ強度が確保されるとともに、キャビティC内の気密が確実に確保され、歩留まりが向上した高品質な圧電振動子1を備えているため、携帯情報機器自体も同様に導通性が安定して確保され、作動の信頼性を高めて高品質化を図ることができる。さらにこれに加え、長期にわたって安定した高精度な時計情報を表示することができる。
(電波時計)
 次に、本発明に係る電波時計の一実施形態について、図23を参照して説明する。
 本実施形態の電波時計130は、図23に示すように、フィルタ部131に電気的に接続された圧電振動子1を備えたものであり、時計情報を含む標準の電波を受信して、正確な時刻に自動修正して表示する機能を備えた時計である。
 日本国内には、福島県(40kHz)と佐賀県(60kHz)とに、標準の電波を送信する送信所(送信局)があり、それぞれ標準電波を送信している。40kHz若しくは60kHzのような長波は、地表を伝播する性質と、電離層と地表とを反射しながら伝播する性質とを併せもつため、伝播範囲が広く、上述した2つの送信所で日本国内を全て網羅している。
 以下、電波時計130の機能的構成について詳細に説明する。
 アンテナ132は、40kHz若しくは60kHzの長波の標準電波を受信する。長波の標準電波は、タイムコードと呼ばれる時刻情報を、40kHz若しくは60kHzの搬送波にAM変調をかけたものである。受信された長波の標準電波は、アンプ133によって増幅され、複数の圧電振動子1を有するフィルタ部131によって濾波、同調される。
 本実施形態における圧電振動子1は、上記搬送周波数と同一の40kHz及び60kHzの共振周波数を有する水晶振動子部138、139をそれぞれ備えている。
 更に、濾波された所定周波数の信号は、検波、整流回路134により検波復調される。
続いて、波形整形回路135を介してタイムコードが取り出され、CPU136でカウントされる。CPU136では、現在の年、積算日、曜日、時刻等の情報を読み取る。読み取られた情報は、RTC137に反映され、正確な時刻情報が表示される。
搬送波は、40kHz若しくは60kHzであるから、水晶振動子部138、139は、上述した音叉型の構造を持つ振動子が好適である。
 なお、上述の説明は、日本国内の例で示したが、長波の標準電波の周波数は、海外では異なっている。例えば、ドイツでは77.5KHzの標準電波が用いられている。従って、海外でも対応可能な電波時計130を携帯機器に組み込む場合には、さらに日本の場合とは異なる周波数の圧電振動子1を必要とする。
 上述したように、本実施形態の電波時計130によれば、曲げ強度が確保されるとともに、キャビティC内の気密が確実に確保され、歩留まりが向上した高品質な圧電振動子1を備えているため、電波時計自体も同様に導通性が安定して確保され、作動の信頼性を高めて高品質化を図ることができる。さらにこれに加え、長期にわたって安定して高精度に時刻をカウントすることができる。
 なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
 例えば、上記実施形態では、スルーホール30,31の形状を断面ストレート形状の円筒形状に形成したが、断面テーパ状の円錐形状にしてもよい。
 また、上記実施形態では、圧電振動片4の一例として振動腕部10,11の両面に溝部18が形成された溝付きの圧電振動片4を例に挙げて説明したが、溝部18がないタイプの圧電振動片でも構わない。但し、溝部18を形成することで、一対の励振電極15に所定の電圧を印加させたときに、一対の励振電極15間における電界効率を上げることができるため、振動損失をより抑えて振動特性をさらに向上することができる。つまり、CI値(Crystal Impedance)をさらに低くすることができ、圧電振動片4のさらなる高性能化を図ることができる。この点において、溝部18を形成する方が好ましい。
 また、上記実施形態では、音叉型の圧電振動片4を例に挙げて説明したが、音叉型に限られるものではない。例えば、厚み滑り振動片としても構わない。
 また、上記実施形態では、ベース基板2とリッド基板3とを接合膜35を介して陽極接合したが、陽極接合に限定されるものではない。但し、陽極接合することで、両基板2、3を強固に接合できるため好ましい。
 また、上記実施形態では、圧電振動片4をバンプ接合したが、バンプ接合に限定されるものではない。例えば、導電性接着剤により圧電振動片4を接合しても構わない。但し、バンプ接合することで、圧電振動片4をベース基板2の上面から浮かすことができ、振動に必要な最低限の振動ギャップを自然と確保することができる。よって、バンプ接合することが好ましい。
本発明に係る圧電振動子の製造方法は、接合された2枚の基板の間に形成されたキャビティ内に圧電振動片が封止された表面実装型(SMD)の圧電振動子の製造方法に適用できる。
 

Claims (8)

  1.  ガラス材からなる第1基板および第2基板の少なくともいずれか一方に凹状のキャビティが形成されたパッケージの製造方法において、
     前記第1基板および前記第2基板の少なくともいずれか一方の被成形基板に対して、プレス成形することで前記キャビティを形成するキャビティ形成工程と、
     前記キャビティが形成された前記被成形基板を加熱する熱処理工程と、を有していることを特徴とするパッケージの製造方法。
  2.  請求項1に記載のパッケージの製造方法において、
     前記熱処理工程の後に、前記キャビティが形成された面を研磨する研磨工程を行うことを特徴とするパッケージの製造方法。
  3. 請求項1または2に記載のパッケージの製造方法において、
     前記被成形基板がソーダガラスで形成されており、
     前記熱処理工程の温度が600℃以上700℃以下であることを特徴とするパッケージの製造方法。
  4. 請求項3に記載のパッケージの製造方法において、
     前記熱処理工程の温度が670℃以上680℃以下であることを特徴とするパッケージの製造方法。
  5.  請求項1~4のいずれかに記載の製造方法で製造されたパッケージに、前記キャビティ内へ連通する貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、
     該貫通孔に導電材料を配置して貫通電極を形成する貫通電極形成工程と、
     前記キャビティ内に圧電振動片を配し、該圧電振動片と前記貫通電極とを電気的に接続する圧電振動片実装工程と、を有していることを特徴とする圧電振動子の製造方法。
  6.  請求項5に記載の製造方法で製造された圧電振動子が、発振子として集積回路に電気的に接続されていることを特徴とする発振器。
  7.  請求項5に記載の製造方法で製造された圧電振動子が、計時部に電気的に接続されていることを特徴とする電子機器。
  8.  請求項5に記載の製造方法で製造された圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とする電波時計。
     
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