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WO2010079608A1 - 液晶アレイ検査装置および液晶アレイ検査装置の信号処理方法 - Google Patents

液晶アレイ検査装置および液晶アレイ検査装置の信号処理方法 Download PDF

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Publication number
WO2010079608A1
WO2010079608A1 PCT/JP2009/050202 JP2009050202W WO2010079608A1 WO 2010079608 A1 WO2010079608 A1 WO 2010079608A1 JP 2009050202 W JP2009050202 W JP 2009050202W WO 2010079608 A1 WO2010079608 A1 WO 2010079608A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
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value
pixel
standard deviation
liquid crystal
reference value
Prior art date
Application number
PCT/JP2009/050202
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
正道 永井
Original Assignee
株式会社島津製作所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社島津製作所 filed Critical 株式会社島津製作所
Priority to JP2010545667A priority Critical patent/JP5093539B2/ja
Priority to CN200980154236.8A priority patent/CN102272587B/zh
Priority to PCT/JP2009/050202 priority patent/WO2010079608A1/ja
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/302—Contactless testing
    • G01R31/305—Contactless testing using electron beams
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/006—Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N2021/9513—Liquid crystal panels
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
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    • G09G3/34—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source
    • G09G3/36—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source using liquid crystals
    • G09G3/3611—Control of matrices with row and column drivers
    • G09G3/3648—Control of matrices with row and column drivers using an active matrix

Definitions

  • a picked-up image obtained by picking up an image on a liquid crystal substrate an optical pick-up image obtained by optical pick-up or a charged particle beam such as an electron beam or an ion beam is two-dimensionally displayed on the substrate.
  • a scanned image obtained by scanning can be used.
  • a picked-up image obtained by picking up an image on a liquid crystal substrate an optical pick-up image obtained by optical pick-up or a charged particle beam such as an electron beam or an ion beam is two-dimensionally displayed on the substrate.
  • a scanned image obtained by scanning can be used.
  • TFT array substrate inspection for example, an electron beam is used as a charged particle beam, and the TFT A scan image is acquired by scanning the array substrate, and an inspection is performed based on the scan image (Patent Documents 1 and 2).
  • an inspection signal is applied to an array of liquid crystal substrates to be inspected, a charged particle beam such as an electron beam or an ion beam is scanned two-dimensionally on the substrate, and substrate inspection is performed based on a scanning image obtained by beam scanning.
  • Array inspection devices that perform are known. In array inspection, secondary electrons emitted by electron beam irradiation are detected by converting them into analog signals using a photomultiplier or the like, and array defects are determined based on the signal intensity of the detection signals.
  • the detection intensity is normalized by expressing it with, for example, 256 gradations.
  • a signal intensity as a reference is required. Two values having different signal intensities are used as base values serving as signal intensity standards.
  • a low signal strength value and a high signal strength value are set as a reference value and a normal value
  • a reference value is set as 0
  • a normal value is set as 100
  • a tone signal Define the base value for the level.
  • the reference value for example, it is known to use the signal intensity obtained from the frame constituting the substrate as the detection intensity obtained from zero potential (see Patent Document 3).
  • an inspection signal having a different voltage is applied to the pixel on the substrate, and a reference value and a normal value obtained from the two signal intensities by applying the voltage are used as a base value.
  • the detection intensity of secondary electrons includes fluctuations (fluctuations) associated with scanning. For this reason, when the gradation is set using one base value for one panel, the gradation value cannot correspond to the variation included in the detection intensity, so the gradation value varies with the fluctuation of the detection intensity. Fluctuates, and there arises a problem that even if the pixel potential is the same, the gradation value becomes different.
  • the reference value is calculated using the standard deviation of the entire target panel.
  • FIG. 15 is a diagram for explaining a change in gradation according to a reference value using a standard deviation of the entire panel according to the related art.
  • FIG. 15A is a diagram for explaining the conventional calculation of the reference value.
  • the reference value is calculated based on the average value ⁇ p of the entire panel and the standard deviation ⁇ p of the entire panel. For example, the average value ⁇ p of the entire panel and the standard deviation ⁇ p of the entire panel are calculated using the detected intensity detected when the array is in the non-driven state, and the calculated standard deviation ⁇ p is calculated as the calculated average value ⁇ p.
  • a reference value is calculated by adding a value (k ⁇ ⁇ p) multiplied by a predetermined coefficient k. Here, it is calculated by ( ⁇ p ⁇ k ⁇ ⁇ p).
  • the standard deviations of the pixels a to e are ⁇ a to ⁇ e, respectively, and the reference value is determined corresponding to the standard deviation, as shown in FIG.
  • the Base2 inside varies depending on the standard deviation.
  • the average value ⁇ p is assumed to be constant.
  • the conventional reference value (Base1 in the figure) has an average value ⁇ p and standard deviation ⁇ p that are constant with respect to the panel, so even if the detection intensity of the panel pixels fluctuates, it corresponds to each pixel. I can't do it. Further, when a gradation is generated using this reference value (Base1), even if the detection intensities of the pixels a to e are at the same level, a difference in the gradation may occur due to a difference in standard deviation. .
  • the present invention solves the above-described conventional problems, and in the calculation of the reference value for determining the gradation, the reference value corresponding to the fluctuation due to the fluctuation included in the detection intensity is calculated, thereby improving the detection sensitivity of the defect detection.
  • the purpose is to improve.
  • the gradation expressed by standardizing the detection intensity is appropriately set.
  • the reference value of the detection intensity used for the setting of the gradation two are used.
  • a reference value corresponding to fluctuations in detection intensity of secondary electrons is calculated.
  • the reference value is, for example, a detection level of detection intensity detected from the pixel when a predetermined voltage corresponding to the non-driving state or the base state is applied.
  • the standard deviation for calculating the reference value is calculated for each pixel instead of the standard deviation of the entire panel, and the reference value of each pixel is calculated based on this standard deviation.
  • a standard deviation corresponding to the fluctuation of the detected intensity can be calculated, and a reference value corresponding to the fluctuation caused by the fluctuation included in the detected intensity can be calculated.
  • the present invention includes an aspect of a signal processing method for a liquid crystal array inspection apparatus and an aspect of a liquid crystal array inspection apparatus.
  • the aspect of the signal processing method of the liquid crystal array inspection apparatus of the present invention is to drive the array by applying an inspection signal of a predetermined voltage to the liquid crystal substrate, detect secondary electrons obtained by irradiating the liquid crystal substrate with an electron beam,
  • This is a signal processing method for a liquid crystal array inspection apparatus that inspects an array of liquid crystal substrates based on the detection intensity of secondary electrons.
  • the signal processing includes a gradation setting process, a gradation value calculation process, a defect determination process, and a reference value calculation process.
  • the detection intensity of the pixel in the normal driving state is set as a normal value
  • the detection intensity of the pixel in the non-driving state is set as a reference value
  • the gradation of the detection intensity of the pixel is based on the normal value and the reference value.
  • a gradation value corresponding to the detected intensity detected from each pixel is calculated according to the gradation set in the gradation setting step.
  • the defect determination step performs defect determination for each pixel by comparing the gradation value calculated in the gradation value calculation step with a threshold value.
  • the gradation setting step has a reference value calculation step for calculating a reference value.
  • this reference value calculating step based on the detection intensity of the target pixel and the detection intensity of the pixels in the vicinity of the target pixel, an average value and a standard deviation of the detection intensity are calculated for each target pixel, and a predetermined coefficient is set for the standard deviation. The multiplied value is added to the average value, and the added value is used as a reference value.
  • the calculation of the average value by the reference value calculation process is performed by the following processes.
  • a total value of detection intensities of pixels included in the first area is obtained, and in the second area set for each pixel in the area, the total is calculated.
  • the pixel detection intensity is added to the weighted value, and the added value obtained by the addition is divided by the number of pixels included in the first area to obtain a moving average value.
  • the obtained moving average value is used as the target pixel. Calculated as the average value of.
  • (m ⁇ 1) / n can be used as the weight assigned to the total value.
  • m is the number of pixels included in the second region
  • n is the number of pixels included in the first region.
  • the present invention can improve the processing speed by performing the above calculation process.
  • This high-speed calculation process calculates an average value in a wider range than the range in which the moving average process is performed in advance, and uses the average value in a wide range for calculating the reference value of each pixel. This reduces the number of calculations performed in the moving average process.
  • This calculation process uses the fact that the reference value of a pixel is almost the same level in the panel, and this reference value is approximately equal to the average value of the range including the pixel.
  • the calculation processing amount is reduced by using an average value calculated in advance for the pixels other than the target pixel.
  • an arbitrary area including the target pixel is set on the panel, and a total value of detection intensities of pixels included in this area is obtained in advance.
  • the total value obtained is weighted, and the value obtained by adding the detected intensity of the target pixel to this weighted value is calculated as the reference value for that pixel. .
  • the processing amount of the arithmetic processing is reduced by using the total value obtained in advance.
  • the standard deviation calculation by the reference value calculation process is performed by the following processes.
  • an average value and a standard deviation of detection intensities of pixels are obtained in the first area, and a second value set for each pixel in the first area is obtained.
  • the variance value obtained from the standard deviation is weighted, the difference between the pixel detection intensity and the average value is squared, the square value of the difference is added to the weighted variance value, and the addition value is obtained. Is divided by the number of pixels included in the first region to obtain a moving variance value, and the square root of the moving variance value is calculated as the standard deviation of the target pixel.
  • the weight can be (m ⁇ 1) / n.
  • m is the number of pixels included in the second region
  • n is the number of pixels included in the first region.
  • the present invention can improve the processing speed in the same manner as the calculation of the average value by performing the above calculation process.
  • This high-speed calculation process calculates in advance a standard deviation in a wider range than the range in which the standard deviation process is performed, and uses this wide standard deviation for calculating the reference value of each pixel. This reduces the number of calculations performed in the standard deviation process.
  • This calculation process uses the fact that the standard deviation of a pixel is almost the same level in the panel, and this standard deviation is almost equal to the standard deviation of the range that includes the pixel.
  • the standard deviation calculated in advance for pixels other than the target pixel is used to reduce the calculation processing amount.
  • the standard deviation process an arbitrary area including the target pixel is set on the panel, and the standard deviation of the detection intensity of the pixel included in this area is obtained in advance.
  • the dispersion value obtained from the standard deviation obtained is weighted, and the value obtained by adding the dispersion value of the target pixel to this weighted value is calculated. Calculate as the reference value.
  • the signal processing apparatus of the liquid crystal array inspection apparatus of the present invention detects secondary electrons obtained by applying an inspection signal of a predetermined voltage to the liquid crystal substrate to drive the array and irradiating the liquid crystal substrate with an electron beam.
  • the liquid crystal array inspection apparatus inspects the array of the liquid crystal substrate based on the detection intensity of the secondary electrons.
  • the liquid crystal array inspection apparatus of the present invention includes a signal processing unit that performs signal processing on the detected intensity.
  • the signal processing unit includes a gradation setting unit, a gradation value calculation unit, and a defect determination unit.
  • the gradation setting unit sets the gradation of the pixel detection intensity using the detection intensity of the pixel in a normal driving state as a normal value and the detection intensity of the non-driving pixel as a reference value.
  • the gradation value calculation unit calculates a gradation value corresponding to the detected intensity detected from each pixel based on the gradation set by the gradation setting unit.
  • the defect determination unit performs defect determination by comparing the gradation value of each pixel calculated by the gradation value calculation unit with a threshold value set in advance for defect determination.
  • the gradation setting unit included in the signal processing unit of the present invention includes a reference value calculation unit that calculates a reference value.
  • the reference value calculation unit includes an average value calculation unit that calculates an average value of the detection intensity of the target pixel based on the detection intensity of the target pixel and the detection intensity of the pixel in the vicinity of the target pixel, and the detection intensity of the target pixel and the target pixel
  • a standard deviation calculation unit that calculates the standard deviation of the detection intensity of the target pixel based on the detection intensity of the pixel in the vicinity of the pixel
  • a reference value calculation that calculates a reference value by adding the value obtained by multiplying the standard deviation by a coefficient to the average
  • a reference value is calculated for each target pixel.
  • the average value calculation unit of the reference value calculation unit includes a total calculation unit for obtaining a total value of detection intensities of pixels included in the first region in an arbitrary first region set on the panel; In the second region set for each pixel in the pixel, the pixel detection intensity is added to the value weighted to the total value, and the added value obtained by the addition is divided by the number of pixels included in the first region. And a moving average calculation unit for obtaining a moving average value. The moving average value obtained by the moving average calculator is calculated as the average value of the target pixels.
  • the weight assigned to the total value is (m ⁇ 1) / n, m is the number of pixels included in the second area, and n is included in the first area. This is the number of pixels to be saved.
  • the standard deviation calculation unit of the reference value calculation unit includes, in an arbitrary first region set on the panel, an area average value calculation unit that calculates an average value of pixel detection intensities in the first region; In the set arbitrary first area, an area standard deviation calculation unit that calculates a standard deviation of detection intensity of pixels in the first area, and an average value in the first area calculated by the area average value calculation unit A standard deviation calculating unit that calculates the standard deviation of each pixel using the standard deviation in the first region calculated by the region standard deviation calculating unit and the detected intensity of the target pixel.
  • the standard deviation calculation unit weights the dispersion value obtained from the standard deviation in the second region set for each pixel in the first region, and detects the detected intensity of the pixel and the average value of the second region. The difference is squared, the square value of the difference is added to the weighted variance value to obtain an addition value, and the obtained addition value is divided by the number of pixels included in the first region to obtain a movement variance value.
  • a standard deviation calculator for calculating the square root of the variance value is provided. The standard deviation calculation unit outputs the calculated value as the standard deviation of the target pixel.
  • the weight is (m ⁇ 1) / n, m is the number of pixels included in the second area, and n is the number of pixels included in the first area. It is a number.
  • an average value and a standard deviation in a predetermined area are obtained in advance, and an arithmetic processing amount is reduced by using a value obtained by weighting the average value and the standard deviation.
  • the processing speed can be improved.
  • FIG. 1 is a schematic block diagram for explaining a configuration example of a liquid crystal array inspection apparatus of the present invention.
  • FIG. 1 shows a configuration example in which an electron beam is irradiated on the liquid crystal substrate, secondary electrons emitted from the liquid crystal substrate are detected, and a captured image is acquired from the detected intensity.
  • a liquid crystal array inspection apparatus 1 includes a stage 2 on which a liquid crystal substrate 100 is placed and can be conveyed in the XY directions, an electron gun 3 and a liquid crystal substrate 100 that are disposed above the stage 2 and separated from the stage 2. And a detector 4 for detecting secondary electrons emitted from pixels (not shown) of the panel 101.
  • the drive of the stage 2 is controlled by the stage drive control unit 6, and the electron gun 3 is controlled by the electron beam scanning control unit 5 to irradiate the electron beam and scan on the liquid crystal substrate 100.
  • the detection signal of the secondary electrons detected by the detector 4 is processed by the signal processing unit 10, and the obtained gradation value is used by the defect determination unit 20 for pixel defect determination.
  • the driving operation of each of the electron beam scanning control unit 5, the stage drive control unit 6, the signal processing unit 10, and the defect determination unit 20 is controlled by the control unit 7.
  • the control unit 7 has a function of performing control including the entire operation of the liquid crystal array inspection apparatus 1, and can be configured by a CPU that performs these controls and a memory that stores a program that controls the CPU.
  • the stage 2 mounts the liquid crystal substrate 100 and is movable in the X-axis direction and the Y-axis direction by the stage drive control unit 6, and the electron beam irradiated from the electron gun 3 is an electron beam scanning control unit 5. Can be swung in the X-axis direction or the Y-axis direction.
  • the stage drive control unit 6 and the electron beam scanning control unit 5 can scan the electron beam on the liquid crystal substrate 100 alone or in cooperation with each other, and irradiate each pixel on the panel 101 of the liquid crystal substrate 100.
  • the panel of the liquid crystal substrate is provided with a plurality of pixels, and the detection intensity detected at each pixel is used to detect the presence / absence of a defect in the plurality of pixels.
  • the detection intensity to be detected changes depending on the measurement environment such as the intensity of the irradiated electron beam and the detection sensitivity of the detector in addition to the presence or absence of a pixel defect.
  • An accurate defect determination cannot be made by comparing raw data with a threshold value. Therefore, it is necessary to standardize the detected detection intensity and convert it into a value that does not depend on the measurement environment, and to perform defect determination using this value.
  • the detection intensity is converted into a gradation value, and this gradation value is determined in advance and compared with a threshold value to perform defect determination.
  • the reference detection intensity is obtained from the pixel, and the gradation is set based on this detection intensity.
  • a normal value and a reference value are used as reference detection intensities.
  • the detection intensity of a pixel in a normal driving state is a normal value
  • the detection intensity of a pixel in a non-driving state is a reference value.
  • the normal value for example, a detection intensity detected from a normal pixel that is array-driven by an inspection signal and applied with a predetermined voltage can be used
  • the reference value is, for example, a detection intensity obtained from a pixel that is not array-driven.
  • a low signal strength value and a high signal strength value are set as a reference value and a normal value
  • a reference value is set as 0
  • a normal value is set as 100
  • a tone signal Define the base value for the level.
  • the pixel detection intensity is obtained (S1), and a normal value (intensity 100) and a reference value (intensity 0) are calculated.
  • 3A shows a state in which the array is driven and a predetermined voltage is applied to the pixel
  • FIG. 3B shows a state in which the array is not driven or a predetermined reference voltage is applied
  • FIG. Indicates a state in which an inspection signal is applied and detection intensity is acquired from a normal pixel and a defective pixel.
  • the detected intensity acquired from the pixel to which the predetermined voltage is applied is set as a normal value.
  • an intensity of 100 is set as the normal value.
  • the intensity 100 is an example determined as an appropriate value for 256 gradations, and is not necessarily a value of the intensity 100, and another numerical value may be set.
  • the detected intensity acquired from the pixel of the reference voltage is set as the reference value.
  • 0 is set as the reference value.
  • the intensity 0 is an example determined as an appropriate value for 256 gradations, and is not necessarily a value of intensity 0, and another numerical value may be set (S2, S3).
  • the gradation is set based on the calculated normal value (intensity 100) and the reference value (intensity 0).
  • FIG. 3D shows the detection intensity
  • FIG. 3E shows the gradation.
  • the normal value (intensity 100) is associated with “100” of 256 gradations
  • the reference value (intensity 0) is associated with “0” of 256 gradations. Yes.
  • gradation is set (S4).
  • the gradation value of the detection intensity of each pixel is obtained for the obtained gradation.
  • the obtained pixel gradation value can evaluate the detection intensity based on the same standard even when the measurement environment such as the electron beam irradiation state or the detection level of the detector changes.
  • the detection intensity of the pixel i in FIG. 3C is the value of the detection intensity xi
  • “Xi” is obtained as the gradation value corresponding to the detection intensity xi (FIG. 3 (e)) (S5).
  • Defect determination is performed by comparing the obtained gradation value with a predetermined threshold value.
  • a gradation value obtained by adding a margin to the gradation value “100” is set as a threshold value (indicated by a broken line in FIG. 3E)
  • the gradation value “Xi” is compared with this threshold value.
  • the defect is determined (S6).
  • FIG. 4 is a diagram for explaining the calculation of the reference value according to the present invention.
  • the reference value is calculated based on the average value ⁇ i and standard deviation ⁇ i of each pixel i.
  • the average value ⁇ i and the standard deviation ⁇ i are calculated for each pixel i using the detected intensity detected at each pixel when the array is in the non-driven state, and the calculated standard deviation ⁇ i is calculated to the calculated average value ⁇ i.
  • a reference value is calculated by adding a value (k ⁇ ⁇ i) obtained by multiplying the value by a predetermined coefficient k.
  • it is calculated by ( ⁇ i ⁇ k ⁇ ⁇ i).
  • the standard deviations of the pixels a to e are ⁇ a to ⁇ e, respectively, if a reference value is determined corresponding to the standard deviation, as shown in FIG. ) Varies depending on the standard deviation.
  • the detection intensity of each pixel is assumed to be the same value. By setting the gradation based on this reference value, it is possible to make the gradation value the same for the same detection intensity even when the standard deviation of the panel pixels varies.
  • FIG. 4C shows an example of a normal value (intensity 100) and a reference value (intensity 0).
  • the reference value can be calculated corresponding to the standard deviation ⁇ i of each pixel i.
  • FIG. 5 is a diagram for explaining a configuration example of the signal processing unit of the present invention.
  • the signal processing unit 10 stores a detection intensity xi detected by the detector of secondary electrons from the pixel i, a detection value of a pixel in a normal driving state is set to a normal value, and a pixel in a non-driving state is detected.
  • the gradation setting unit 12 that sets the gradation of the detection intensity of the pixel using the intensity as a reference value
  • the pixel gradation value storage unit 16 that stores the gradation set by the gradation setting unit 12
  • a gradation value calculation unit 17 is provided that calculates a gradation value Xi corresponding to the detected intensity xi detected from each pixel based on the set gradation.
  • the gradation setting unit 12 includes a normal value calculation unit 13 that calculates a normal value for setting a gradation, a reference value calculation unit 14 that calculates a reference value, and a gradation based on the calculated normal value and the reference value.
  • a gradation calculation unit 15 for calculation is provided.
  • a calculation flow example and a configuration example of the reference value calculation unit 14 will be described with reference to a flowchart of FIG. 6 and a schematic configuration block diagram of FIG.
  • the target pixel i is selected from the panel (S11), and the detected intensity of the selected pixel i and neighboring pixels is read.
  • Neighboring pixels can be arbitrarily determined. For example, in a pixel array arranged in a grid, eight pixels surrounding the target pixel are set as neighboring pixels, or pixels arranged in a line in the x-direction or y-direction with the target pixel as the center are used as neighboring pixels. It is possible to set pixels that are arranged in a cross shape in both the x and y directions as neighboring pixels (S12).
  • the average value ⁇ i and the standard deviation ⁇ i are calculated by moving average processing using the detected detection intensity of the neighboring pixels and the detection intensity of the target pixel (S13).
  • a reference value is calculated using the calculated average value ⁇ i and standard deviation ⁇ i.
  • the reference value can be obtained by ( ⁇ i + k ⁇ ⁇ i). Note that k is an arbitrarily determined coefficient (S14).
  • FIG. 7 is a schematic block diagram for explaining a configuration example of the reference value calculation unit of the present invention.
  • the reference value calculation unit 14 of the present invention calculates an average value calculation unit 14a that calculates an average value ⁇ i of each pixel i, a standard deviation calculation unit 14b that calculates a standard deviation ⁇ i of each pixel i, and a calculation for each pixel i. Using the average value ⁇ i and the standard deviation ⁇ i, a reference value calculation unit 14c that calculates a reference value by calculating ( ⁇ i + k ⁇ ⁇ i) and a reference value storage unit 14d that stores the calculated reference value are provided.
  • FIG. 8A schematically shows the detection position of the pixel detection intensity.
  • the panel 101 includes a plurality of pixels 102 arranged in a grid, and the detection intensity is detected from each pixel 102.
  • FIG. 8A shows an example in which the detection intensity is acquired from one detection position for each pixel 102 for the sake of simplicity. However, a plurality of detection positions are set for each pixel 102 and a plurality of detection intensities are set. Detection intensity can also be acquired.
  • FIG. 8B shows the detected intensity value xi, average value ⁇ i, and standard deviation ⁇ i detected on one line
  • FIG. 8C shows the calculated reference value.
  • the detected intensity value xi is indicated by x
  • the average value ⁇ i is indicated by a triangle
  • the range of (k ⁇ ⁇ i) obtained by multiplying the standard deviation ⁇ i by a coefficient k is indicated by an arrow.
  • the reference value is represented by a value obtained by lowering the average value ⁇ i by (k ⁇ ⁇ i). Therefore, the reference value of each pixel i is a value corresponding to the variation of the standard deviation ⁇ i.
  • the gradation is set based on this reference value and a normal value (not shown).
  • the present invention improves the calculation speed by using the average value and the standard deviation obtained in the area set in the panel when calculating the average value ⁇ i and the standard deviation ⁇ i in the calculation for calculating the reference value of the pixel. Can be made.
  • FIG. 11B shows an example of the region R1 set on the panel.
  • the region R1 shows an example including n pixels.
  • FIG. 11A shows an example of a pixel region R2 on which moving average processing and moving standard deviation processing for calculating a reference value for the target pixel i are performed.
  • the region R2 shows an example including m pixels.
  • the moving average process is a process of calculating the average value ⁇ i while sequentially moving the target pixel i.
  • a region R2 is set for the target pixel i, and pixels in the region R2 are detected.
  • an average value ⁇ i is calculated by calculating ( ⁇ i m (xi)) / m.
  • xi is the detection intensity of the pixel i
  • m is the total number of pixels included in the region R2.
  • the moving standard deviation process is a process of calculating the standard deviation while sequentially moving the target pixel i.
  • a region R2 is set for the target pixel i, and the detection intensity of the pixels in the region R2 is detected.
  • xi is the detection intensity of the pixel i
  • n is the total number of pixels included in the region.
  • a value “N / n” obtained by dividing the total value N by the total number n of pixels corresponds to the average value of the detection intensities of the respective pixels (S22).
  • FIG. 11C shows a state in which the moving average value ⁇ i is calculated using the detection intensities of m pixels.
  • the target pixel i is selected from within the region R2 (S23), and the detected intensity xi of the selected pixel i is read from the storage unit (S24).
  • the sum N value calculated in the step S22 is weighted, and the detected intensity xi of the target pixel i read in the step S24 is added to the weighted sum, and this added value is calculated as a moving average value.
  • (m ⁇ 1) / n can be used as a weighting coefficient for weighting the total value N
  • the calculated moving average value ⁇ i ((m ⁇ 1) / n) ⁇ N + xi) / m
  • m is the number of pixels used when moving average processing is performed on the target pixel.
  • the moving average value ⁇ i obtained by the above formula is the detection intensity “N / n” obtained by dividing the detection intensity xi of the target pixel i and the total value N by n as m detection intensities used in the moving average process (m -1) It is calculated by using one.
  • “(m ⁇ 1) / n) ⁇ N” corresponds to a value obtained by adding (m ⁇ 1) detection intensities obtained from the total value N.
  • the calculated moving average value ⁇ i is set as a reference value for the target pixel i (S25).
  • the region R1 is set on the panel (S31), and the average value ⁇ R and the standard deviation ⁇ R are calculated using the detection intensities of all the pixels included in the region R1 (S32).
  • FIG. 11D shows a state in which the moving standard deviation ⁇ i is calculated using the detected intensity of m pixels.
  • the target pixel i is selected from within the region R2 (S33), and the detection intensity xi of the selected pixel i is read from the storage unit (S34).
  • the variance (xi ⁇ R) 2 calculated from the detected intensity xi of the target pixel i read out in step S34 is added to the weighted k ⁇ ⁇ R 2 weighted to the square value ⁇ R 2 of the standard deviation ⁇ R calculated in step S32. Then, the square value ⁇ i 2 of the moving standard deviation is calculated by dividing this added value by the number m of pixels included in the region R2.
  • ⁇ i 2 ((m ⁇ 1) / n) ⁇ ⁇ R 2 + (xi ⁇ R) 2 ) / m
  • m is the number of pixels included in the region R2 used when performing the moving standard deviation for the target pixel.
  • the moving standard deviation ⁇ i obtained by the above formula is a value (xi ⁇ R) 2 obtained from the detected intensity xi of the target pixel i and the average value ⁇ R, and the square value of the standard deviation, as m values used for the moving standard deviation. This is calculated by using (m ⁇ 1) “ ⁇ R 2 / n” obtained by dividing ⁇ R 2 by n. In the above equation, “((m ⁇ 1) / n) ⁇ ⁇ R 2 ” corresponds to the sum of (m ⁇ 1) ⁇ R 2 per pixel.
  • the standard deviation ⁇ R 2 can be commonly used for (m ⁇ 1) values “((m ⁇ 1) / n) ⁇ ⁇ R 2 ” out of m values.
  • the amount of calculation can be reduced, and the calculation processing speed can be improved.
  • the calculated moving standard deviation ⁇ i is used as a reference value for the target pixel i together with the moving average value ⁇ i (S35).
  • FIG. 12 shows a configuration example of the average value calculation unit 14a that calculates the average value.
  • the average value calculation unit 14a is a sum total calculation unit 14a1 that calculates a total value N of detection intensities of pixels included in an arbitrary region set on the panel, and a value obtained by weighting the total value N for each pixel in the region.
  • a moving average calculation unit 14a2 that calculates a value obtained by adding the detection intensities xi of the pixels i to calculate a moving average value ⁇ i of the detection intensities, and a region storage unit 14a3 that stores the regions R1 and R2 are provided.
  • FIG. 13 shows a configuration example of the standard deviation calculation unit 14b that calculates the standard deviation.
  • the standard deviation calculation unit 14b is included in the average value calculation unit 14b1 that calculates the region average value ⁇ R from the detection intensity of the pixels included in the arbitrary region R1 set on the panel, and the arbitrary region R1 set on the panel.
  • FIG. 14 shows the distribution of detection intensity of pixels in comparison between the gradation display according to the present invention and the conventional gradation display.
  • FIG. 14A shows a gradation display according to the present invention
  • FIG. 14B shows a conventional gradation display.
  • the pixel detection intensity is expressed in 256 gradations, it is expressed as a normal intensity 100 and a detection intensity of 150 or higher is expressed as a defect intensity.
  • the detection intensity displayed as the defect intensity or lower in FIG. 14B is corrected and displayed as the defect intensity of 150 or higher, and the detection sensitivity of defect detection is improved. It shows that.
  • the normal value calculation process used for gradation setting according to the present invention is not limited to the liquid crystal array inspection apparatus, but can be applied to the substrate inspection of semiconductor elements.

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Abstract

基準値を算出するための標準偏差として、パネル全体の標準偏差に代えてピクセル毎に標準偏差を算出し、この標準偏差に基づいて各ピクセルの基準値を算出するものである。これによって、検出強度のゆらぎに対応した標準偏差を算出し、検出強度に含まれるゆらぎによる変動に対応した基準値を算出する。基準値算出工程において、対象ピクセルの検出強度と対象ピクセルの近傍のピクセルの検出強度に基づいて、対象ピクセル毎に検出強度の平均値および標準偏差を算出し、標準偏差に所定係数を乗じた値を平均値に加算し、得られた値を基準値とする。これにより、階調を定める基準値の算出において、検出強度に含まれるゆらぎによる変動に対応した基準値を算出し、これによって欠陥検出の検出感度を向上させる。

Description

液晶アレイ検査装置および液晶アレイ検査装置の信号処理方法
　液晶アレイ検査装置において、液晶基板上を撮像して得られる撮像画像として、光学的に撮像して得られる光学撮像画像、あるいは、電子ビームやイオンビーム等の荷電粒子ビームを基板上で二次元的に走査して得られる走査画像を用いることができる。
　液晶アレイ検査装置において、液晶基板上を撮像して得られる撮像画像として、光学的に撮像して得られる光学撮像画像、あるいは、電子ビームやイオンビーム等の荷電粒子ビームを基板上で二次元的に走査して得られる走査画像を用いることができる。
　ＴＦＴディスプレイ装置に用いるＴＦＴアレイ基板の製造工程では、製造されたＴＦＴアレイ基板が正しく駆動するかの検査が行われるが、このＴＦＴアレイ基板検査では、荷電粒子ビームとして例えば電子ビームを用いて、ＴＦＴアレイ基板を走査することで走査画像を取得し、この走査画像に基づいて検査を行っている（特許文献１，２）。
　例えば、検査対象の液晶基板のアレイに検査信号を印加し、電子ビームやイオンビーム等の荷電粒子ビームを基板上で二次元的に走査し、ビーム走査で得られる走査画像に基づいて基板検査を行うアレイ検査装置が知られている。アレイ検査では、電子線の照射によって放出される二次電子をフォトマルチプライヤなどによってアナログ信号に変換して検出し、この検出信号の信号強度に基づいてアレイ欠陥を判定している。
　検出強度によるアレイ検査では、検出強度を例えば２５６段階の階調で表すことによってノーマライズしている。検出強度を階調表示するには、基準となる信号強度が必要となる。信号強度の基準となるベース値として、信号強度が異なる二つの値が用いられる。
　例えば、検査信号を印加した際の電圧に基づいて、信号強度の低い値と信号強度の高い値をそれぞれ基準値および正常値とし、基準値を強度０とし正常値を強度１００として階調の信号レベルのベース値を定める。
　基準値としては、例えば、基板を構成するフレームから得られる信号強度を零電位から得られる検出強度として用いることが知られている（特許文献３参照）。
　また、基板のピクセルに異なる電圧の検査信号を印加し、この電圧印加によって二つの信号強度を求めた基準値および正常値を求めてベース値とすることも行われている。
　一般に、二次電子の検出強度には走査に伴う変動分（ゆらぎ）が含まれている。そのため、一パネルについて一つのベース値を用いて階調を設定した場合には、階調値は検出強度に含まれる変動分に対応することができないため、検出強度のゆらぎに伴って階調値が変動し、ピクセルの電位が同じであっても異なる階調値となるという問題が生じる。
　そこで、従来、基準値について、対象となるパネル全体の標準偏差を用いて算出している。
特開２００４－２７１５１６号公報 特開２００４－３０９４８８号公報 特開２００５－３２１３０８号公報（段落００４５）
　従来、パネル全体の標準偏差を用いて基準値（強度０）の算出しているため、二次電子検出強度のゆらぎ等の変動に対応することができず、パネルの場所によって検出感度が異なる場合があり、欠陥の誤検出や欠陥の見逃しの要因となるという問題がある。
　図１５は従来のパネル全体の標準偏差を用いた基準値による階調の変動を説明するための図である。図１５（ａ）は、従来の基準値の算出を説明するための図であり、基準値はパネル全体の平均値μpとパネル全体の標準偏差σpに基づいて算出される。例えば、アレイが非駆動状態にあるときに検出される検出強度を用いて、パネル全体の平均値μpとパネル全体の標準偏差σpを算出し、算出した平均値μpに、算出した標準偏差σpに所定の係数ｋを乗じた値（ｋ・σp）を加算することによって基準値を算出する。ここでは、（μp－ｋ・σp）によって算出される。
　例えば、各ピクセルａ～ｅの標準偏差がそれぞれσa～σeである場合に、この標準偏差に対応して基準値を定めた場合には、図１５（ｂ）に示すように、基準値（図中のBase2）は標準偏差に応じて変動する。なお、ここでは平均値μpは一定であるとしている。
　一方、従来の基準値（図中のBase1）は、平均値μpおよび標準偏差σpがパネルに対して一定であるため、パネルのピクセルの検出強度が変動した場合であっても、各ピクセルについて対応することはできない。また、この基準値（Base1）を用いて階調を生成した場合には、ピクセルａ～ｅの検出強度が同一レベルであっても、標準偏差が異なることによって階調に差が生じる場合がある。
　そこで、本発明は前記した従来の問題点を解決し、階調を定める基準値の算出において、検出強度に含まれるゆらぎによる変動に対応した基準値を算出し、これによって欠陥検出の検出感度を向上させることを目的とする。
　本発明は、ピクセルの検出強度によるアレイの欠陥判定において、検出強度を標準化して表す階調を適正に設定するものであり、この階調の設定に用いる検出強度の基準値の算出において、二次電子の検出強度のゆらぎに対応した基準値を算出するものである。ここで、基準値は例えばアレイが非駆動状態、あるいは、ベース状態に相当する所定電圧の印加されたときにピクセルから検出される検出強度の検出レベルである。
　本発明は、基準値を算出するための標準偏差として、パネル全体の標準偏差に代えてピクセル毎に標準偏差を算出し、この標準偏差に基づいて各ピクセルの基準値を算出するものである。これによって、検出強度のゆらぎに対応した標準偏差を算出し、検出強度に含まれるゆらぎによる変動に対応した基準値を算出することができる。
　本発明は、液晶アレイ検査装置の信号処理方法の態様と液晶アレイ検査装置の態様を含む。
　本発明の液晶アレイ検査装置の信号処理方法の態様は、液晶基板に所定電圧の検査信号を印加してアレイを駆動し、液晶基板に電子線を照射して得られる二次電子を検出し、二次電子の検出強度に基づいて液晶基板のアレイを検査する液晶アレイ検査装置の信号処理方法である。
　信号処理は、階調設定工程、階調値算出工程、欠陥判定工程、基準値算出工程の各工程を含む。
　階調設定工程は、正常な駆動状態のピクセルの検出強度を正常値とし、非駆動状態のピクセルの検出強度を基準値として、これら正常値と基準値を基にしてピクセルの検出強度の階調を設定する。階調値算出工程は、階調設定工程で設定した階調に従って、各ピクセルから検出される検出強度に対応する階調値を算出する。欠陥判定工程は、階調値算出工程で算出した階調値と閾値とを比較することによって、各ピクセルの欠陥判定を行う。
　階調設定工程は基準値を算出する基準値算出工程を有する。この基準値算出工程では、対象ピクセルの検出強度と当該対象ピクセルの近傍のピクセルの検出強度に基づいて、当該対象ピクセル毎に検出強度の平均値および標準偏差を算出し、標準偏差に所定係数を乗じた値を平均値に加算し、加算値を基準値とする。
　基準値算出工程による平均値の算出は、以下の各工程によって行われる。
　はじめに、パネル上に設定した任意の第１の領域において、この第１の領域に含まれるピクセルの検出強度の総和値を求め、領域内の各ピクセルに対して設定した第２の領域において、総和値に重み付けした値にピクセルの検出強度を加算し、加算で得られた加算値を第１の領域に含まれるピクセルの個数で除算して移動平均値を求め、求めた移動平均値を対象ピクセルの平均値として算出する。
　移動平均値の算出において、総和値に付する重み付けは（ｍ－１）／ｎを用いることができる。ここで、ｍは第２の領域に含まれるピクセルの個数であり、ｎは第１の領域に含まれるピクセルの個数である。
　移動平均処理による基準値の算出において、本願発明は上記した算出処理を行うことで処理速度を向上させることができる。この高速化した算出処理は、移動平均処理を行う範囲よりも広い範囲の平均値を予め算出しておき、この広範囲の平均値を各ピクセルの基準値の算出に利用することによって、各ピクセルでの移動平均処理で行う演算回数を低減させるものである。この算出処理は、パネル内においてピクセルの基準値はほぼ同レベルの値であり、この基準値はそのピクセルが含まれる範囲の平均値にほぼ等しいことを利用するものであり、移動平均の演算において演算に用いるピクセルの検出強度の内で、対象ピクセル以外のピクセルについては予め算出しておいた平均値を用いることによって、演算処理量の低減を図るものである。
　そこで、移動平均処理に際して、パネル上で対象ピクセルを含む任意の領域を設定し、この領域に含まれるピクセルの検出強度の総和値を予め求めておく。設定した領域内の各ピクセルについて基準値を算出する際に、求めておいた総和値に重み付けを行い、この重み付けした値に対象ピクセルの検出強度を加算した値をそのピクセルの基準値として算出する。上記した移動平均処理を行うことによって、予め求めておいた総和値を利用することで、演算処理の処理量が低減する。
　基準値算出工程による標準偏差の算出は、以下の各工程によって行われる。
　はじめに、パネル上に設定した任意の第１の領域において、この第１の領域においてピクセルの検出強度の平均値と標準偏差を求め、第１の領域内の各ピクセルに対して設定した第２の領域において、標準偏差から得られる分散値に重み付けし、ピクセルの検出強度と平均値との差分を二乗し、重み付けした分散値に差分の二乗値を加算して加算値を求め、求めた加算値を第１の領域に含まれるピクセルの個数で除算して移動分散値を求め、移動分散値の平方根を対象ピクセルの標準偏差として算出する。
　標準偏差の算出において、重み付けは（ｍ－１）／ｎとすることができる。ここで、ｍは第２の領域に含まれるピクセルの個数であり、ｎは第１の領域に含まれるピクセルの個数である。
　標準偏差の算出においても、本願発明は上記の算出処理を行うことで、前記した平均値の算出と同様に処理速度を向上させることができる。この高速化した算出処理は、標準偏差処理を行う範囲よりも広い範囲の標準偏差を予め算出しておき、この広範囲の標準偏差を各ピクセルの基準値の算出に利用することによって、各ピクセルでの標準偏差処理で行う演算回数を低減させるものである。この算出処理は、パネル内においてピクセルの標準偏差はほぼ同レベルの値であり、この標準偏差はそのピクセルが含まれる範囲の標準偏差にほぼ等しいとことを利用するものであり、標準偏差の演算において演算に用いるピクセルの検出強度の内で、対象ピクセル以外のピクセルについては予め算出しておいた標準偏差を用いることによって、演算処理量の低減を図るものである。
　標準偏差処理に際して、パネル上で対象ピクセルを含む任意の領域を設定し、この領域に含まれるピクセルの検出強度の標準偏差を予め求めておく。設定した領域内の各ピクセルについて基準値を算出する際に、求めておいた標準偏差から求めた分散値に重み付けを行い、この重み付けした値に対象ピクセルの分散値を加算した値をそのピクセルの基準値として算出する。上記した標準偏差処理を行うことによって、予め求めておいた標準偏差を利用することで演算処理の処理量が低減する。
　また、本発明の液晶アレイ検査装置の信号処理装置の態様は、液晶基板に所定電圧の検査信号を印加してアレイを駆動し、液晶基板に電子線を照射して得られる二次電子を検出し、二次電子の検出強度に基づいて液晶基板のアレイを検査する液晶アレイ検査装置である。
　本発明の液晶アレイ検査装置は検出強度を信号処理する信号処理部を備える。この信号処理部は、階調設定部と階調値算出部と欠陥判定部を備える。階調設定部は、正常な駆動状態のピクセルの検出強度を正常値とし、非駆動状態のピクセルの検出強度を基準値として、ピクセルの検出強度の階調を設定する。階調値算出部は、階調設定部で設定した階調に基づいて各ピクセルから検出される検出強度に対応する階調値を算出する。欠陥判定部は、階調値算出部で算出した各ピクセルの階調値と予め欠陥判定用に定めておいた閾値とを比較することによって欠陥判定を行う。
　本発明の信号処理部が備える階調設定部は基準値を算出する基準値算出部を備える。基準値算出部は、対象ピクセルの検出強度とこの対象ピクセルの近傍のピクセルの検出強度に基づいて対象ピクセルの検出強度の平均値を算出する平均値演算部と、対象ピクセルの検出強度と対象ピクセルの近傍のピクセルの検出強度に基づいて対象ピクセルの検出強度の標準偏差を算出する標準偏差演算部と、標準偏差に係数を乗じた値を平均値に加算して基準値を算出する基準値演算部とを備え、対象ピクセル毎に基準値を算出する。
　基準値算出部の平均値演算部は、パネル上に設定した任意の第１の領域において、この第１の領域に含まれるピクセルの検出強度の総和値を求める総和算出部と、第１の領域内の各ピクセルに対して設定した第２の領域において、総和値に重み付けした値にピクセルの検出強度を加算し、加算で得られた加算値を第１の領域に含まれるピクセルの個数で除算して移動平均値を求める移動平均演算部とを備える。移動平均演算部で求めた移動平均値を対象ピクセルの平均値として算出する。
　移動平均演算部による移動平均演算において、総和値に付する重み付けは（ｍ－１）／ｎであり、ｍは第２の領域に含まれるピクセルの個数であり、ｎは第１の領域に含まれるピクセルの個数である。
　基準値算出部の標準偏差演算部は、パネル上に設定した任意の第１の領域において、この第１の領域におけるピクセルの検出強度の平均値を算出する領域平均値算出部と、パネル上に設定した任意の第１の領域において、この第１の領域におけるピクセルの検出強度の標準偏差を算出する領域標準偏差算出部と、領域平均値算出部で算出した第１の領域での平均値と領域標準偏差算出部で算出した第１の領域での標準偏差と対象ピクセルの検出強度とを用いて各ピクセルの標準偏差を算出する標準偏差算出部とを備える。
　標準偏差算出部は、第１の領域内の各ピクセルに対して設定した第２の領域において、標準偏差から得られる分散値に重み付けし、このピクセルの検出強度と第２の領域の平均値との差分を二乗し、重み付けした分散値に差分の二乗値を加算して加算値を求め、求めた加算値を第１の領域に含まれるピクセルの個数で除算して移動分散値を求め、移動分散値の平方根を算出する標準偏差算出部を備える。標準偏差算出部は、算出値を対象ピクセルの標準偏差として出力する。
　また、標準偏差算出部による標準偏差演算において、重み付けは（ｍ－１）／ｎであり、ｍは第２の領域に含まれるピクセルの個数であり、ｎは第１の領域に含まれるピクセルの個数である。
　本発明の態様によれば、基準値の算出において、予め所定領域内の平均値および標準偏差を求めておき、この平均値および標準偏差に重み付けを行った値を利用することによって演算処理量を低減し、処理速度を向上させることができる。
　本発明によれば、階調を定める基準値の算出において、検出強度に含まれるゆらぎによる変動を抑制することができる。
本発明の液晶アレイ検査装置の構成例を説明するための概略ブロック図である。 本発明の液晶アレイ検査装置によってピクセルの欠陥判定を行うための手順を説明するためのフローチャートである。 本発明の液晶アレイ検査装置によってピクセルの欠陥判定を行うための手順を説明するための説明図である。 本発明による基準値の算出を説明するための図である。 本発明の信号処理部の構成例を説明するための図である。 本発明の基準値算出部の算出フロー例を説明するためのフローチャートである。 本発明の基準値算出部の構成を説明するための概略構成ブロック図である。 本発明の基準値の演算処理を説明するための説明図である。 本発明のピクセルの平均値の高速演算処理例を説明するためのフローチャートである。 本発明のピクセルの標準偏差の高速演算処理例を説明するためのフローチャートである。 本発明のピクセルの平均値および標準偏差の高速演算処理例を説明するための説明図である。 本発明のピクセルの平均値演算部の構成例を説明するための構成図である。 本発明のピクセルの標準偏差演算部の構成例を説明するための構成図である。 ピクセルの検出強度の分布を示す図である。 従来のパネル全体の標準偏差を用いた基準値による階調の変動を説明するための図である。
符号の説明
　１ 液晶アレイ検査装置
　２ ステージ
　３ 電子銃
　４ 検出器
　５ 電子線走査制御部
　６ ステージ駆動制御部
　７ 制御部
　１０ 信号処理部
　１１ 記憶部
　１２ 階調設定部
　１３ 正常値算出部
　１４ 基準値算出部
　１４ａ 平均値演算部
　１４ａ１ 総和算出部
　１４ａ２ 移動平均演算部
　１４ａ３ 領域記憶部
　１４ｂ 標準偏差演算部
　１４ｂ１ 平均値算出部
　１４ｂ２ 領域標準偏差算出部
　１４ｂ３ 標準偏差算出部
　１４ｂ４ 領域記憶部
　１４ｃ 基準値演算部
　１４ｄ 基準値記憶部
　１５ 階調算出部
　１６ ピクセル階調値記憶部
　１７ 階調値算出部
　２０ 欠陥判定部
　１００ 液晶基板
　１０１ パネル
　１０２ ピクセル
　以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。
　図１は、本発明の液晶アレイ検査装置の構成例を説明するための概略ブロック図である。
　なお、図１に示す例では、液晶基板に電子線を照射し、液晶基板から放出される二次電子を検出し、検出強度から撮像画像を取得する構成例を示している。
　図１において、液晶アレイ検査装置１は、液晶基板１００を載置しＸＹ方向に搬送自在とするステージ２と、ステージ２の上方位置にステージ２から離して配置された電子銃３と液晶基板１００のパネル１０１のピクセル（図示していない）から放出される二次電子を検出する検出器４とを備える。
　ステージ２はステージ駆動制御部６によって駆動が制御され、電子銃３は電子線走査制御部５によって電子線の照射および液晶基板１００上の走査が制御される。検出器４で検出された二次電子の検出信号は信号処理部１０で処理され、得られた階調値は欠陥判定部２０においてピクセルの欠陥判定に用いられる。
　電子線走査制御部５，ステージ駆動制御部６，信号処理部１０、欠陥判定部２０の各部の駆動動作は制御部７によって制御される。また、制御部７は、液晶アレイ検査装置１の全体の動作を含む制御を行う機能を有し、これらの制御を行うＣＰＵおよびＣＰＵを制御するプログラム記憶するメモリ等によって構成することができる。
　ステージ２は、液晶基板１００を載置するとともに、ステージ駆動制御部６によってＸ軸方向およびＹ軸方向に移動自在であり、また、電子銃３から照射される電子線は電子線走査制御部５によってＸ軸方向あるいはＹ軸方向に振らせることができる。ステージ駆動制御部６および電子線走査制御部５は単独あるいは協働動作によって、電子線を液晶基板１００上で走査させ、液晶基板１００のパネル１０１に各ピクセルに照射させることができる。
　本発明の液晶アレイ検査装置１によってピクセルの欠陥判定を行うための手順の概略について、図２のフローチャートおよび図３の説明図を用いて説明する。
　液晶基板のパネルには複数のピクセルが設けられ、これら複数のピクセルについて欠陥の有無を検出するため、各ピクセルで検出した検出強度を用いる。この検出強度による欠陥判定において、検出される検出強度は、ピクセルの欠陥の有無の他に照射される電子線の強度や検出器の検出感度など測定環境に依存して変化するため、検出強度の生データを閾値と比較することでは正確な欠陥判定を行うことはできない。そこで、検出された検出強度を標準化して測定環境に依存しない値に変換し、この値を用いて欠陥判定を行う必要がある。この検出強度の標準化として検出強度を階調値に変換し、この階調値を予め定めて閾値と比較することによって欠陥判定を行う。
　階調値変換には、ピクセルから基準となる検出強度を求め、この検出強度を基にして階調を設定する。基準となる検出強度として正常値と基準値を用いる。正常な駆動状態のピクセルの検出強度を正常値とし、非駆動状態のピクセルの検出強度を基準値とする。正常値は、例えば検査信号によってアレイ駆動されて所定電圧が印加された正常なピクセルから検出される検出強度を用いることができ、基準値は、例えばアレイ駆動していないピクセルから得られる検出強度を用いる他に、アレイ駆動によって所定の基準電圧が印加された正常なピクセルから検出される検出強度を用いることもできる。
　例えば、検査信号を印加した際の電圧に基づいて、信号強度の低い値と信号強度の高い値をそれぞれ基準値および正常値とし、基準値を強度０とし正常値を強度１００として階調の信号レベルのベース値を定める。
　そこで、ピクセルの検出強度を求め（S1）、正常値（強度100）と基準値（強度0）とを算出する。図３（ａ）はアレイを駆動してピクセルに所定電圧を印加した状態を示し、図３（ｂ）はアレイを非駆動状態あるいは所定の基準電圧を印加した状態を示し、図３（ｃ）は検査信号を印加し、正常ピクセルおよび欠陥ピクセルから検出強度を取得する状態を示している。
　図３（ａ）に示すように、所定電圧が印加されたピクセルから取得した検出強度を正常値とする。正常値の値として例えば強度100を設定する。なお、強度100は256階調に適当な値として定める一例であって、必ずしも強度100の値である必要はなく別の数値を設定してもよい。
　図３（ｂ）に示すように、基準電圧のピクセルから取得した検出強度を基準値とする。基準値の値として例えば強度0を設定する。なお、強度0は256階調に適当な値として定める一例であって、必ずしも強度0の値である必要はなく別の数値を設定してもよい（S2,S3）。
　次に、算出した正常値（強度100）と基準値（強度0）に基づいて階調を設定する。図３（ｄ）は検出強度を示し図３（ｅ）は階調を示している。ここでは、一例として２５６階調を設定する場合において、正常値（強度100）を２５６階調の“１００”に対応付け、基準値（強度0）を２５６階調の“０”に対応付けている。これによって階調が設定される（S4）。
　次に、求めた階調に対して各ピクセルの検出強度の階調値を求める。求めたピクセルの階調値は、電子線の照射状態や検出器の検出レベル等の測定環境が変化した場合であっても同一基準で検出強度を評価することができる。図３（ｃ）のピクセルｉの検出強度が検出強度ｘiの値である場合には、検出強度ｘiに対応する階調値として“Ｘi”が求められる（図３（ｅ））（S5）。
　求めた階調値を予め定めておいた閾値と比較することによって欠陥判定を行う。階調値“１００”にマージン分を加えた階調値を閾値（図３（ｅ）では破線で示している）として設定した場合には、階調値“Ｘi”とこの閾値とを比較して欠陥判定を行う（S6）。
　図４は本発明による基準値の算出を説明するための図である。図４（ａ）において、基準値は各ピクセルｉの平均値μiと標準偏差σiに基づいて算出する。例えば、アレイが非駆動状態にあるときに各ピクセルで検出される検出強度を用いて、ピクセルｉ毎に平均値μiと標準偏差σiを算出し、算出した平均値μiに、算出した標準偏差σiに所定の係数ｋを乗じた値（ｋ・σi）を加算することによって基準値を算出する。ここでは、（μi－ｋ・σi）によって算出される。
　例えば、各ピクセルａ～ｅの標準偏差がそれぞれσa～σeである場合に、この標準偏差に対応して基準値を定めると、図４（ａ）に示すように、基準値（図中のBase）は標準偏差に応じて変動する。なお、ここでは各ピクセルの検出強度は同一の値であるとしている。この基準値に基づいて階調を設定することによって、パネルのピクセルの標準偏差が変動した場合であっても、同一の検出強度に対して階調値を同一とすることができる。
　図４（ｃ）は正常値（強度100）と基準値（強度0）の一例を示している。本発明によれば、基準値は各ピクセルｉの標準偏差σiに対応して算出することができる。
　図５は本発明の信号処理部の構成例を説明するための図である。信号処理部１０は、ピクセルｉからの二次電子を検出器で検出した検出強度ｘiを記憶する記憶部１１、正常な駆動状態のピクセルの検出強度を正常値とし、非駆動状態のピクセルの検出強度を基準値として、ピクセルの検出強度の階調を設定する階調設定部１２と、階調設定部１２で設定した階調を記憶するピクセル階調値記憶部１６、階調設定部１２で設定した階調に基づいて各ピクセルから検出される検出強度ｘiに対応する階調値Ｘiを算出する階調値算出部１７を備える。
　階調設定部１２は、階調を設定するための正常値を算出する正常値算出部１３と、基準値を算出する基準値算出部１４と、算出した正常値と基準値とから階調を算出する階調算出部１５を備える。
　基準値算出部１４の算出フロー例および構成例について、図６のフローチャートおよび図７の概略構成ブロック図を用いて説明する。
　図６のフローチャートにおいて、パネルから対象ピクセルｉを選出し（S11）、選出したピクセルｉと近傍ピクセルの検出強度を読み出す。近傍ピクセルは任意に定めることができる。例えば、格子状に配列されるピクセル配列において、対象ピクセルを囲む８個のピクセルを近傍ピクセルとして設定したり、対象ピクセルを中心としてｘ方向あるいはｙ方向のライン状に配列されるピクセルを近傍ピクセルとして設定したり、ｘおよびｙの両方向に十字状に配列されるピクセルを近傍ピクセルとして設定することができる(S12)。
　読み出した近傍ピクセルの検出強度と対象ピクセルの検出強度と用いて、移動平均処理によって平均値μiと標準偏差σiを算出する（S13）。
　各ピクセルについて、算出した平均値μiと標準偏差σiを用いて基準値を算出する。基準値は（μi＋ｋ・σi）によって求めることができる。なお、ｋは任意に定める係数である（S14）。
　S11～S14の工程をパネルの全ピクセルに対して繰り返して、全ピクセルについて基準値を算出する(S15)。
　図７は、本発明の基準値算出部の一構成例を説明するための概略ブロック図である。
　本発明の基準値算出部１４は、各ピクセルｉの平均値μiを算出する平均値演算部１４ａと、各ピクセルｉの標準偏差σiを算出する標準偏差演算部１４ｂと、各ピクセルｉについて、算出した平均値μiと標準偏差σiとを用いて（μi＋ｋ・σi）の演算を行って基準値を算出する基準値演算部１４ｃと、算出した基準値を記憶する基準値記憶部１４ｄを備える。
　図８（ａ）はピクセルの検出強度の検出位置を概略的に示している。パネル１０１は複数のピクセル１０２を格子状に配列して備え、各ピクセル１０２からは検出強度が検出される。図８（ａ）では、説明を簡略するために、各ピクセル１０２について１点の検出位置から検出強度を取得する例を示しているが、各ピクセル１０２に複数の検出位置を設定して複数の検出強度を取得することもできる。
　図８（ｂ）は一ライン上で検出される検出強度値ｘi、平均値μｉ、および標準偏差σiを示し、図８（ｃ）は算出して基準値を示している。図８（ｂ）では、検出強度値ｘiを×印で示し、平均値μｉを三角印で示し、標準偏差σiに係数ｋを乗じた（ｋ・σi）の範囲を矢印で示している。
　図８（ｂ）において、基準値は平均値μｉから（ｋ・σi）下げた値によって表される。したがって、各ピクセルｉの基準値は、標準偏差σiの変動に対応した値となる。階調はこの基準値および正常値（図示していない）に基づいて設定される。
　本発明は、ピクセルの基準値を算出する演算において、平均値μｉおよび標準偏差σiを算出する際に、パネル内で設定した領域で求めた平均値、標準偏差を利用することによって演算速度を向上させることができる。
　以下、ピクセルの基準値の高速演算処理例について、図９、図１０のフローチャート、図１１の説明図、図１２、図１３の構成図を用いて説明する。
　パネル上において、対象ピクセルを含む領域を設定する。図１１（ｂ）はパネルに設定した領域Ｒ１の一例を示している。ここでは、領域Ｒ１はｎ個のピクセルを含む例を示している。また、図１１（ａ）は、対象ピクセルｉについて基準値を算出する移動平均処理および移動標準偏差処理を行うピクセルの領域Ｒ２の例を示している。ここでは、領域Ｒ２はｍ個のピクセルを含む例を示している。
　ここで、移動平均処理は、対象ピクセルｉを順に移動させながら平均値μiを算出する処理であり、この例では対象ピクセルｉに対して領域Ｒ２を設定し、この領域Ｒ２内にあるピクセルの検出強度を用いて、（Σi m（ｘi））／ｍの演算によって平均値μiを算出する。ここで、“ｘｉ”はピクセルｉの検出強度であり、“ｍ”は領域Ｒ２に含まれるピクセルの総数である。
　また、移動標準偏差処理は、対象ピクセルｉを順に移動させながら標準偏差を算出する処理であり、この例では対象ピクセルｉに対して領域Ｒ２を設定し、この領域Ｒ２内にあるピクセルの検出強度を用いて、Σi m（μi－ｘi）2の演算によって分散σi2を算出し、この分散σi2の平方根によって標準偏差σiを算出する。
　はじめに、図９のフローチャートを用いて平均値μiを高速演算する処理について説明する。
　パネル上に領域Ｒ１を設定し（S21）、この領域Ｒ１に含まれる全ピクセルの検出強度の総和値Ｎ（＝Σi nｘi）を算出する。ここで、“ｘｉ”はピクセルｉの検出強度であり、“ｎ”は領域に含まれるピクセルの総数である。総和値Ｎをピクセルの総数ｎで除算した値“Ｎ／ｎ”は各ピクセルの検出強度の平均値に相当する(S22)。
　次に、S23～S26の工程によって対象ピクセルに対する移動平均値を算出する。図１１（ｃ）は、ｍ個のピクセルの検出強度を用いて移動平均値μiを算出する状態を示している。
　領域Ｒ２内から対象ピクセルｉを選択し（S23）、選択したピクセルｉの検出強度ｘiを記憶部から読み出す（S24）。S22の工程で算出した総和値Ｎに重み付けを行い、重み付けした総和値にS24の工程で読み出した対象ピクセルｉの検出強度ｘｉを加算し、この加算値を移動平均値として算出する。
　ここで、総和値Ｎの重み付けする重み付け係数は（ｍ－１）／ｎを用いることができ、算出される移動平均値μiは、
　　μｉ＝（（ｍ-1）／ｎ）・Ｎ＋ｘｉ）／ｍ
で表される。ここで、ｍは対象ピクセルに対する移動平均処理を行う際に用いるピクセルの個数である。
　上記式で求められる移動平均値μiは、移動平均処理に用いるｍ個の検出強度として、対象ピクセルｉの検出強度ｘｉと、総和値Ｎをｎで除算した検出強度“Ｎ／ｎ”を（ｍ－１）個用いることで算出するものである。上記式において、“（ｍ-1）／ｎ）・Ｎ”は総和値Ｎから得られる検出強度を（ｍ－１）個分加算したものに相当している。
　この移動平均処理では、ｍ個の検出強度の内で（ｍ－１）個の検出強度“（ｍ-1）／ｎ）・Ｎ”について総和値Ｎを共通に用いることができるため、演算量を低減させることができ、演算処理速度を向上させることができる。算出した移動平均値μiを対象ピクセルｉの基準値として設定する（S25）。
　S23～S25の工程を領域内の全ピクセルについて繰り返して、全ピクセルの基準値を算出する（S26）。
　さらに、パネル内において、残りのピクセルについては別の領域を設定してS21～S27の工程を繰り返す（S27）。
　次に、図１０のフローチャートを用いて標準偏差σiを高速演算する処理について説明する。
　パネル上に領域Ｒ１を設定し（S31）、この領域Ｒ１に含まれる全ピクセルの検出強度を用いて平均値μRと標準偏差σRを算出する(S32)。
　次に、S33～S36の工程によって対象ピクセルに対する移動標準偏差を算出する。図１１（ｄ）は、ｍ個のピクセルの検出強度を用いて移動標準偏差σiを算出する状態を示している。
　領域Ｒ２内から対象ピクセルｉを選択し（S33）、選択したピクセルｉの検出強度ｘiを記憶部から読み出す（S34）。S32の工程で算出した標準偏差σRの二乗値σR2に重み付けした値重み付けしたｋ・σR2にS34の工程で読み出した対象ピクセルｉの検出強度ｘｉから算出した分散（ｘi－μR）2を加算し、この加算値を領域Ｒ２に含まれるピクセルの個数ｍで除算して移動標準偏差の二乗値σi2を算出する。
　ここで、重み付けする重み付け係数は（ｍ－１）／ｎを用いることができ、算出される移動標準偏差σiは、
　　σｉ2＝（（ｍ-1）／ｎ）・σR2＋（ｘi－μR）2）／ｍ
で表される。ここで、ｍは対象ピクセルに対する移動標準偏差を行う際に用いる領域Ｒ２に含まれるピクセルの個数である。
　上記式で求められる移動標準偏差σiは、移動標準偏差に用いるｍ個の値として、対象ピクセルｉの検出強度ｘｉと平均値μRとから求める値（ｘi－μR）2と、標準偏差の二乗値σR2をｎで除算した“σR2／ｎ”を（ｍ－１）個用いることで算出するものである。上記式において、“（（ｍ-1）／ｎ）・σR2”は一ピクセル当たりのσR2を（ｍ－１）個分加算したものに相当している。
　この移動標準偏差処理では、ｍ個の値の内で（ｍ－１）個の値“（（ｍ-1）／ｎ）・σR2”について標準偏差σR2を共通に用いることができるため、演算量を低減させることができ、演算処理速度を向上させることができる。算出した移動標準偏差σiは移動平均値μiと共に対象ピクセルｉの基準値に算出に用いる（S35）。
　S33～S35の工程を領域Ｒ２内の全ピクセルについて繰り返して、全ピクセルの基準値を算出する（S36）。
　さらに、パネル内において、残りのピクセルについては別の領域を設定してS31～S36の工程を繰り返す（S37）。
　図１２は平均値を演算する平均値演算部１４ａの構成例を示している。
　平均値演算部１４ａは、パネル上に設定した任意の領域に含まれるピクセルの検出強度の総和値Ｎを算出する総和算出部１４ａ１と、領域内の各ピクセルについて、総和値Ｎに重み付けした値にピクセルｉの検出強度ｘｉを加算した値を算出して、検出強度の移動平均値μｉを算出する移動平均演算部１４ａ２と、領域Ｒ１、Ｒ２を記憶しておく領域記憶部１４ａ３を備える。
　図１３は標準偏差を演算する標準偏差演算部１４ｂの構成例を示している。
　標準偏差演算部１４ｂは、パネル上に設定した任意の領域Ｒ１に含まれるピクセルの検出強度から領域平均値μRを算出する平均値算出部１４ｂ１と、パネル上に設定した任意の領域Ｒ１に含まれるピクセルの検出強度から領域標準偏差σRを算出する領域標準偏差算出部１４ｂ２と、領域平均値μRと領域標準偏差σRと対象ピクセルｉの検出強度ｘiとを用いて標準偏差を算出する標準偏差算出部１４ｂ３と、領域Ｒ１、Ｒ２を記憶しておく領域記憶部１４ｂ４を備える。
　図１４は、ピクセルの検出強度の分布を、本発明による階調表示と従来の階調表示とで比較して示している。図１４（ａ）は本発明による階調表示を示し、図１４（ｂ）は従来の階調表示を示している。なお、図１４では、ピクセルの検出強度を２５６階調で表したとき、正常値の強度100で表し、強度150以上の検出強度を欠陥強度として表している。
　図１４（ａ）の強度分布によれば、図１４（ｂ）で欠陥強度以下として表示されていた検出強度が補正され、強度150以上の欠陥強度として表示され、欠陥検出の検出感度が向上されたことを示している。
　本発明の階調設定に用いる正常値の算出処理は、液晶アレイ検査装置に限らず、半導体素子の基板検査に適用することができる。

Claims (10)

  1. 　液晶基板に所定電圧の検査信号を印加してアレイを駆動し、前記液晶基板に電子線を照射して得られる二次電子を検出し、前記二次電子の検出強度に基づいて液晶基板のアレイを検査する液晶アレイ検査装置の信号処理方法であって、
    　正常な駆動状態のピクセルの検出強度を正常値とし、非駆動状態のピクセルの検出強度を基準値として、ピクセルの検出強度の階調を設定する階調設定工程と、
    　前記階調に従って各ピクセルから検出される検出強度に対応する階調値を算出する階調値算出工程と、
    　前記階調値と閾値とを比較することによって欠陥判定を行う欠陥判定工程とを備え、
    　前記階調設定工程は前記基準値を算出する基準値算出工程を有し、
    　前記基準値算出工程は、
    　対象ピクセルの検出強度と当該対象ピクセルの近傍のピクセルの検出強度に基づいて、当該対象ピクセル毎に検出強度の平均値および標準偏差を算出し、
    　前記標準偏差に所定係数を乗じた値を前記平均値に加算し、
    　得られた値を基準値とすることを特徴とする、液晶アレイ検査装置の信号処理方法。
  2. 　前記基準値算出工程による前記平均値の算出は、　
    　パネル上に設定した任意の第１の領域において、当該第１の領域に含まれるピクセルの検出強度の総和値を求め、
    　前記領域内の各ピクセルに対して設定した第２の領域において、
    　前記総和値に重み付けした値に当該ピクセルの検出強度を加算し、
    　前記加算で得られた加算値を前記第１の領域に含まれるピクセルの個数で除算して移動平均値を求め、
    　前記移動平均値を対象ピクセルの平均値として算出することを特徴とする、請求項１に記載の液晶アレイ検査装置の信号処理方法。
  3. 　前記移動平均値に算出において、前記総和値に付する重み付けは（ｍ－１）／ｎであり、ｍは第２の領域に含まれるピクセルの個数であり、ｎは第１の領域に含まれるピクセルの個数であることを特徴とする、請求項２に記載の液晶アレイ検査装置の信号処理方法。
  4. 　前記基準値算出工程による前記標準偏差の算出は、　
    　パネル上に設定した任意の第１の領域において、当該第１の領域においてピクセルの検出強度の平均値と標準偏差を求め、
    　前記第１の領域内の各ピクセルに対して設定した第２の領域において、
    　前記標準偏差から得られる分散値に重み付けし、
    　当該ピクセルの検出強度と前記平均値との差分を二乗し、
    　前記重み付けした分散値に前記差分の二乗値を加算して加算値を求め、
    　当該加算値を前記第１の領域に含まれるピクセルの個数で除算して移動分散値を求め、
    　前記移動分散値の平方根を対象ピクセルの標準偏差として算出することを特徴とする、請求項１に記載の液晶アレイ検査装置の信号処理方法。
  5. 　前記標準偏差の算出において、前記重み付けは（ｍ－１）／ｎであり、ｍは第２の領域に含まれるピクセルの個数であり、ｎは第１の領域に含まれるピクセルの個数であることを特徴とする、請求項４に記載の液晶アレイ検査装置の信号処理方法。
  6. 　液晶基板に所定電圧の検査信号を印加してアレイを駆動し、前記液晶基板に電子線を照射して得られる二次電子を検出し、前記二次電子の検出強度に基づいて液晶基板のアレイを検査する液晶アレイ検査装置であって、
    　前記検出強度を信号処理する信号処理部を備え、
    　前記信号処理部は、
    　正常な駆動状態のピクセルの検出強度を正常値とし、非駆動状態のピクセルの検出強度を基準値として、ピクセルの検出強度の階調を設定する階調設定部と、
    　前記階調設定部で設定した階調に基づいて各ピクセルから検出される検出強度に対応する階調値を算出する階調値算出部と、
    　前記階調値と閾値とを比較することによって欠陥判定を行う欠陥判定部とを備え、
    　前記階調設定部は前記基準値を算出する基準値算出部を有し、
    　前記基準値算出部は、
    　対象ピクセルの検出強度と当該対象ピクセルの近傍のピクセルの検出強度に基づいて当該対象ピクセルの検出強度の平均値を算出する平均値演算部と、
    　対象ピクセルの検出強度と当該対象ピクセルの近傍のピクセルの検出強度に基づいて当該対象ピクセルの検出強度の標準偏差を算出する標準偏差演算部と、
    　前記標準偏差に所定係数を乗じた値を前記平均値に加算して基準値を算出する基準値演算部とを備え、
    　対象ピクセル毎に基準値を算出することを特徴とする、液晶アレイ検査装置。
  7. 　前記基準値算出部の平均値演算部は、
    　パネル上に設定した任意の第１の領域において、当該第１の領域に含まれるピクセルの検出強度の総和値を求める総和算出部と、
    　前記領域内の各ピクセルに対して設定した第２の領域において、
    　前記総和値に重み付けした値に当該ピクセルの検出強度を加算し、加算で得られた加算値を前記第１の領域に含まれるピクセルの個数で除算して移動平均値を求める移動平均演算部とを備え、
    　前記移動平均値を対象ピクセルの平均値として算出することを特徴とする、請求項６に記載の液晶アレイ検査装置。
  8. 　移動平均演算部において、前記総和値に付する重み付けは（ｍ－１）／ｎであり、ｍは第２の領域に含まれるピクセルの個数であり、ｎは第１の領域に含まれるピクセルの個数であることを特徴とする、請求項７に記載の液晶アレイ検査装置。
  9. 　前記基準値算出部の標準偏差演算部は、
    　パネル上に設定した任意の第１の領域において、当該第１の領域におけるピクセルの検出強度の平均値を算出する領域平均値算出部と、
    　パネル上に設定した任意の第１の領域において、当該第１の領域におけるピクセルの検出強度の標準偏差を算出する領域標準偏差算出部と
    　前記領域内の各ピクセルに対して設定した第２の領域において、前記標準偏差から得られる分散値に重み付けし、当該ピクセルの検出強度と前記平均値との差分を二乗し、前記重み付けした分散値に前記差分の二乗値を加算して加算値を求め、当該加算値を前記第１の領域に含まれるピクセルの個数で除算して移動分散値を求め、前記移動分散値の平方根を算出する標準偏差算出部を備え、
    　前記算出値を対象ピクセルの標準偏差として出力することを特徴とする、請求項６に記載の液晶アレイ検査装置。
  10. 　標準偏差算出部において、前記重み付けは（ｍ－１）／ｎであり、ｍは第２の領域に含まれるピクセルの個数であり、ｎは第１の領域に含まれるピクセルの個数であることを特徴とする、請求項９に記載の液晶アレイ検査装置。
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