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WO2009127603A1 - Sensor mit kurzer ansprechzeit - Google Patents

Sensor mit kurzer ansprechzeit Download PDF

Info

Publication number
WO2009127603A1
WO2009127603A1 PCT/EP2009/054326 EP2009054326W WO2009127603A1 WO 2009127603 A1 WO2009127603 A1 WO 2009127603A1 EP 2009054326 W EP2009054326 W EP 2009054326W WO 2009127603 A1 WO2009127603 A1 WO 2009127603A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
sensor
outer shell
metal layer
insulating material
measuring element
Prior art date
Application number
PCT/EP2009/054326
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Heinz Gross
Anton Völker
Original Assignee
Wika Alexander Wiegand Gmbh & Co. Kg
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wika Alexander Wiegand Gmbh & Co. Kg filed Critical Wika Alexander Wiegand Gmbh & Co. Kg
Publication of WO2009127603A1 publication Critical patent/WO2009127603A1/de

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K1/00—Details of thermometers not specially adapted for particular types of thermometer
    • G01K1/08—Protective devices, e.g. casings
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K1/00—Details of thermometers not specially adapted for particular types of thermometer
    • G01K1/16—Special arrangements for conducting heat from the object to the sensitive element
    • G01K1/18—Special arrangements for conducting heat from the object to the sensitive element for reducing thermal inertia

Definitions

  • the invention relates to a sensor with a short response time, and more particularly to a protected against external influences by a metal sheath sensor.
  • thermocouples are housed in the connecting cables connected to a pair of thermocouples in a protective housing.
  • the thermocouples are shielded from the atmosphere to be measured by a protective cap attached to the protective housing. It is possible to provide the cap with a thread and screw it onto the protective housing or put the cap on the protective housing and to weld with this.
  • the thermocouples as well as the connecting cables are protected by insulation components kept separated within the protective housing, which are screwed into the protective housing.
  • the invention is therefore based on the object to provide a sensor with a short response time, which can be easily produced by a few manufacturing steps. This object is achieved by a sensor with the features of claim 1.
  • a sensor according to the invention comprises an insulating body which receives lines connected to at least one sensing element exposed on the outer surface of the insulating body.
  • the lines are electrically isolated from each other and from the outer shell, which are preferably arranged in the interior of the insulating material in such a way that they do not touch. It is also possible that the leads on the outside of the insulating body, i. are arranged on the outer circumference. You can also be partially embedded in the insulating material.
  • the aforementioned measuring element is a known temperature sensor, ie a known thermocouple or a known resistance element.
  • the measuring element is a PTIOO sensor, a NTC resistance element (thermistor element), a PTC resistance element (PTC thermistor element) or a specific semiconductor element whose resistances change in each case depending on the temperature.
  • Resistance change which causes a change in the voltage applied to the lines or the current flowing through the lines, can be measured and the resulting temperature can be determined.
  • the insulating body is preferably made of a ceramic material, e.g. a pressed ceramic powder, glass or porcelain, but can also consist of any other electrically insulating material.
  • the senor has an atomically deposited metal layer with a preferably homogeneous structure, which preferably surrounds the insulating body in a shape-accurate manner and at least in sections.
  • the layer is preferably deposited in a continuous deposition process.
  • the measuring element is completely covered by the outer shell formed in this way and can be in direct contact with it.
  • the measuring element can also be completely or partially embedded in this outer shell.
  • various methods are applicable, such as e.g. an electrochemical
  • Deposition processes eg electroplating, a chemical vapor deposition (CVD) or a physical vapor deposition (PVD) process. These methods all have in common that a metal layer with a very thin layer thickness can be formed on an object.
  • the layer thickness in the sensor according to the invention is preferably less than 500 ⁇ m, but may also be less than 100 ⁇ m.
  • the vibration resistance or shock resistance of the sensor can be significantly increased.
  • the sensor of the invention may preferably be a pure temperature sensor, wherein at least one temperature sensor as a measuring element and the associated lines are separated from the thin metal layer to the atmosphere. It is also possible that the outer shell surrounds the insulating material including the temperature sensor over the entire length of the insulating material.
  • the insulating body may also be partially or completely housed in a housing such as e.g. be arranged a tube which forms a part of the outer shell.
  • a housing such as e.g. be arranged a tube which forms a part of the outer shell.
  • the part of the insulating material which is possibly arranged outside the tube or the end of the tube at which the insulating material body is exposed to the outside is covered by the metal layer, which thus forms the remainder of the outer envelope.
  • the outer shell deposited on one of the previously described methods is preferably in direct contact with the measuring element.
  • the measuring element which is exposed to the outside before depositing is covered by the deposition of the metal layer and is in contact therewith in a manner which is, for example, heat and / or electricity. Since it is possible to form a small layer thickness based on the described deposition methods, it is possible in the case of the temperature sensor as a measuring element that a temperature can be measured by the temperature sensor almost immediately with negligible heat losses on the metal layer. This will increase the accuracy of the Measurement increases and the response time of the sensor considerably shortened.
  • Fig. 1 is a partial sectional view of a sensor according to a preferred embodiment of the present invention.
  • the illustrated in Fig. 1 sensor 1 has a protective tube with a protective tube jacket 41 with a large outer diameter and a projection 42 with a small outer diameter, wherein the protective tube jacket 41 has a larger outer diameter than the extension 42.
  • an insulating body 3 is arranged, which consists of an insulating material, such as ceramic, glass or the like.
  • the protective tube is filled to the outer or distal edge of the extension 42 with this insulating material.
  • Lines 23 are in the insulating body. 3 embedded and stand on the outer edge of the extension 42, so that the ends of the lines protrude from the Isolierstoff emotions 3.
  • the lines 23 are connected at their other end to an evaluation unit (not shown) or the like, which receives the change of the measuring current or the applied voltage and outputs a corresponding signal.
  • Connecting leads 21, which are connected to the measuring element 11, are in an electrically insulating solid 5, such.
  • Embedded cement or a polymer-cement mixture wherein the solid 5 is formed according to the shape of the protective tube into a cylindrical shape.
  • the measuring element 11 is exposed to the outside, i. it is not embedded in the solid 5.
  • An outer shell 43 made of a thin metal layer is applied in this embodiment by electroplating on the electrically insulating solid 5 and on the extension 42 so that the forming cylindrical outer diameter of the outer shell 43 coincides with the outer diameter of the protective tube shell 41.
  • the measuring element 11 of the sensor 1 is arranged so that it is connected directly to the forming outer shell 43 after electroplating.
  • the outer shell 43 is formed here in a single electroplating process.
  • the sensor 1 of the present embodiment is limited to a temperature sensor.
  • any other type of sensor such as a pressure sensor having a pressure sensing element, may be realized by the structure described above.
  • Insulating body 3 including the temperature sensor 11 is covered with a continuous thin, deposited metal layer.
  • the temperature sensor 11 may be arranged inter alia in a cavity and be positively covered by the metal layer, which is formed open in the insulating material 3 to the outside thereof.
  • the shape of the sensor 1 is not limited to the above-described cylindrical shape. Any other geometric shape is conceivable, for example a rod shape or a quadrangular shape, since the formed metal layer can be applied to any surface shape.
  • the sensor 1 may also be formed in a plate shape, so that the sensor 1 can be fixed using a further component at a measuring point.
  • the plate-like sensor 1 can be screwed by a union nut and using appropriate sealing body to a pipe whose internal temperature is to be measured.
  • the extension 42 of the protective tube and the electrically insulating solid 5 can be omitted in a further modification.
  • the connection lines 21 are shortened or the measuring element 11 is connected directly to the lines 23. As a result, it is possible for the metal layer to be able to cover the remaining protective tube jacket 41 and the surface of the insulating material body 3 that is exposed towards its outside in a dimensionally accurate or form-fitting manner.

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Abstract

Ein Sensor (1) weist einen Isolierstoff körper (3) zur Aufnahme von Leitungen (23) auf, die mit mindestens einem an der Außenfläche des Isolierstoff körpers (3) freiliegenden Messelement (11) verbunden sind. Der Isolierstoff körper (3) ist mindestens abschnittsweise mit einer Außenhülle (43) umgeben, die eine atomar abgeschiedene Metallschicht ist, welche das Messelement (11) bedeckt.

Description

TITEL DER ERFINDUNG
„Sensor mit kurzer Ansprechzeit"
TECHNISCHES GEBIET
Die Erfindung bezieht sich auf einen Sensor mit kurzer Ansprechzeit, und genauer gesagt auf einen gegen äußere Einflüsse durch einen Mantel aus Metall geschützten Sensor.
STAND DER TECHNIK
Aus der Offenlegungsschrift der DE 35 13 441 Al ist ein Temperaturmessfühler bekannt, bei dem mit einem Paar von Thermoelementen verbundene Anschlussleitungen in einem Schutzgehäuse untergebracht sind. Die Thermoelemente sind durch eine auf das Schutzgehäuse aufgesetzte Schutzkappe von der zu messenden Atmosphäre abgeschirmt. Dabei ist es möglich, die Schutzkappe mit einem Gewinde zu versehen und diese auf das Schutzgehäuse aufzuschrauben oder aber die Schutzkappe auf das Schutzgehäuse aufzusetzen und mit diesem zu verschweißen. Die Thermoelemente sowie die Anschlussleitungen werden durch Isolationsbauteile innerhalb des Schutzgehäuses voneinander getrennt gehalten, die in das Schutzgehäuse eingeschraubt sind.
Um die Ansprechzeit bei dem oben beschriebenen Aufbau des Temperaturmessfühlers zu verkürzen, müssen möglichst dünne, filigrane Bauteile eingesetzt werden. Diese verlangen ein umständliches und handarbeitsintensives Zusammensetzen der einzelnen Bauteile mit vielen Einzel- und
Zwischenschritten. Dadurch wird ein Herstellungsprozess des Temperaturmessfühlers teuer.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Sensor mit kurzer Ansprechzeit bereitzustellen, der durch wenige Herstellungsschritte einfach hergestellt werden kann. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen Sensor mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Ein Sensor gemäß der Erfindung weist einen Isolierstoffkörper auf, der Leitungen aufnimmt, die mit mindestens einem an der Außenfläche des Isolierstoffkörpers freiliegenden Messelement verbunden sind. Die Leitungen sind dabei gegeneinander und gegenüber der Außenhülle elektrisch isoliert, wobei diese vorzugsweise im Inneren des Isolierstoffkörpers auf eine Weise so angeordnet sind, dass sie sich nicht berühren. Es ist auch möglich, dass die Leitungen an der Außenseite des Isolierstoffkörpers, d.h. an dessen Außenumfang angeordnet sind. Sie können dabei auch teilweise in dem Isolierstoffkörper eingebettet sein.
Vorzugsweise ist das vorhergehend genannte Messelement ein bekannter Temperaturfühler, d.h. ein bekanntes Thermoelement oder ein bekanntes Widerstandselement . Beispielsweise ist das Messelement ein PTIOO-Sensor, ein NTC-Widerstandselement (Heißleiterelement) , ein PTC- Widerstandselement (Kaltleiterelement) oder ein spezifisches Halbleiterelement, deren Widerstände sich jeweils temperaturabhängig verändern. Diese
Widerstandsänderung, die eine Änderung der an den Leitungen anliegenden Spannung oder des durch die Leitungen fließenden Stroms bewirkt, kann gemessen und die sich daraus ergebende Temperatur ermittelt werden.
Der Isolierstoffkörper besteht vorzugsweise aus einem Keramikmaterial, wie z.B. einem gepressten Keramikpulver, Glas oder Porzellan, kann aber darüber hinaus aus jedem anderen elektrisch isolierenden Material bestehen.
Als Außenhülle weist der Sensor eine atomar abgeschiedene Metallschicht mit einem vorzugsweise homogenen Gefüge auf, die den Isolierstoffkörper vorzugsweise formgenau und mindestens abschnittsweise umgibt. Die Schicht wird dabei vorzugsweise in einem durchgehenden Abscheidungsvorgang abgeschieden. Das Messelement ist von der auf diese Weise ausgebildeten Außenhülle vollständig bedeckt und kann mit dieser in direktem Kontakt stehen. Das Messelement kann auch in diese Außenhülle vollständig oder teilweise eingebettet sein. Als Verfahren zum atomaren Abscheiden von Metall an Oberflächen sind verschiedene Verfahren anwendbar, wie z.B. ein elektrochemisches
Abscheidungsverfahren (z.B. Galvanisieren), ein chemisches Gasabscheidungsverfahren (CVD) oder ein physikalisches Gasabscheidungsverfahren (PVD) . Diese Verfahren haben alle gemeinsam, dass eine Metallschicht mit einer sehr dünnen Schichtdicke an einem Gegenstand ausgebildet werden kann. Die Schichtdicke bei dem erfindungsgemäßen Sensor ist vorzugsweise kleiner als 500μm, kann aber auch kleiner als lOOμm sein. Durch die Verwendung des Isolierstoffkörpers und der atomar abgeschiedenen Metallschicht können weitere physikalische Eigenschaften wie z. B. die Vibrationsfestigkeit oder die Schockfestigkeit des Sensors wesentlich gesteigert werden.
Der Sensor der Erfindung kann vorzugsweise ein reiner Temperatursensor sein, bei dem mindestens ein Temperaturfühler als Messelement sowie die damit verbundenen Leitungen von der dünnen Metallschicht gegen die Atmosphäre abgetrennt sind. Es ist darüber hinaus möglich, dass die Außenhülle den Isolierstoffkörper inklusive des Temperaturfühlers über die gesamte Länge des Isolierstoffkörpers umgibt.
Der Isolierstoffkörper kann auch teilweise oder vollständig in einem Gehäuse, wie z.B. einem Rohr angeordnet sein, das einen Teil der Außenhülle ausbildet. Der evtl. außerhalb des Rohrs angeordnete Teil des Isolierstoffkörpers bzw. das Ende des Rohrs, an dem der Isolierstoffkörper nach außen hin freiliegt, ist von der Metallschicht bedeckt, die damit den Rest der Außenhülle ausbildet.
Die auf eine der vorhergehend beschriebenen Verfahren abgeschiedene Außenhülle steht vorzugsweise mit dem Messelement in direktem Kontakt. Das bedeutet, dass das vor dem Abscheiden nach außen hin freiliegende Messelement durch das Abscheiden der Metallschicht von dieser bedeckt ist und mit dieser auf eine z.B. Wärme und/oder Elektrizität gut leitende Weise in Verbindung steht. Da es anhand der beschriebenen Abscheidungsverfahren möglich ist, eine geringe Schichtdicke auszubilden, ist es in dem Fall des Temperaturfühlers als Messelement möglich, dass eine Temperatur durch den Temperaturfühler beinahe unmittelbar mit vernachlässigbaren Wärmeverlusten an der Metallschicht gemessen werden kann. Dadurch wird die Genauigkeit der Messung erhöht sowie die Ansprechzeit des Sensors erheblich verkürzt .
Durch die elektrische Leitfähigkeit der Außenhülle ist es möglich, die in dem Isolierstoffkörper liegenden Leitungen auf nur noch eine innenliegende Leitung zu beschränken, die den Messstrom zu dem Messelement hin oder von diesem weg leitet. Die andere zur Messung benötigte Leitung ist in diesem Fall durch die elektrisch leitende Außenhülle gebildet .
Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispiels unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNG
Fig. 1 ist eine geschnittene Teilansicht eines Sensors gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DES BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELS
Der in Fig. 1 dargestellte Sensor 1 gemäß dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung hat ein Schutzrohr mit einem Schutzrohrmantel 41 mit großem Außendurchmesser und einem Fortsatz 42 mit kleinem Außendurchmesser, wobei der Schutzrohrmantel 41 einen größeren Außendurchmesser als der Fortsatz 42 aufweist. In dem Schutzrohrmantel 41 ist ein Isolierstoffkörper 3 angeordnet, der aus einem Isoliermaterial, wie z.B. Keramik, Glas oder dergleichen besteht. Das Schutzrohr ist bis zu dem äußeren bzw. distalen Rand des Fortsatzes 42 mit diesem Isoliermaterial gefüllt. Leitungen 23 sind in dem Isolierstoffkörper 3 eingebettet und stehen am äußeren Rand des Fortsatzes 42 über, so dass die Enden der Leitungen aus dem Isolierstoffkörper 3 hervorstehen.
Ein Messelement 11, in diesem Ausführungsbeispiel ein Temperaturmessfühler, steht über Anschlussleitungen 21 mit den Leitungen 23 in Verbindung, wobei die Anschlussleitungen 21 an Verbindungspunkten 22 mit den Enden der Leitungen 23 verbunden sind, beispielsweise durch Löten oder dergleichen. Die Leitungen 23 sind an ihrem anderen Ende mit einer Auswerteeinheit (nicht gezeigt) oder dergleichen verbunden, die die Änderung des Messstrom oder der angelegten Spannung aufnimmt und ein entsprechendes Signal ausgibt.
Die außerhalb des Fortsatzes 42 angeordneten
Anschlussleitungen 21, die mit dem Messelement 11 verbunden sind, sind in einen elektrisch isolierenden Feststoff 5, wie z.B. Zement oder einer Polymer-Zement-Mischung eingebettet, wobei der Feststoff 5 entsprechend der Form des Schutzrohrs zu einer zylindrischen Form geformt ist. Das Messelement 11 liegt dabei nach Außen hin frei, d.h. es ist nicht in den Feststoff 5 eingebettet. Eine Außenhülle 43 aus einer dünnen Metallschicht ist in diesem Ausführungsbeispiel durch Galvanisieren auf den elektrisch isolierenden Feststoff 5 sowie auf den Fortsatz 42 so aufgebracht, dass der sich ausbildende zylindrische Außendurchmesser der Außenhülle 43 mit dem Außendurchmesser des Schutzrohrmantels 41 übereinstimmt. Das Messelement 11 des Sensors 1 ist so angeordnet, dass es nach dem Galvanisieren direkt mit der sich ausbildenden Außenhülle 43 verbunden ist. Die Außenhülle 43 wird hier in einem einzigen Galvanisiervorgang ausgebildet.
ABWANDLUNGEN DES BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELS Der Sensor 1 des vorliegenden Ausführungsbeispiels ist auf einen Temperatursensor begrenzt. Es kann jedoch jede andere Art von Sensor, wie z.B. ein Drucksensor mit einem Druckmesselement durch den vorhergehend beschriebenen Aufbau verwirklicht werden. Außerdem ist es möglich, eine Kombination von verschiedenen Sensoren zu einem multifunktionellen Sensor zusammenzufassen, wobei die entsprechenden Sensorelemente durch eine Metallschicht wie in dem bevorzugten Ausführungsbeispiel geschützt sind.
Als Abwandlung des vorhergehend beschriebenen Ausführungsbeispiels ist es zudem möglich, dass auf ein Schutzrohr verzichtet wird und der gesamte
Isolierstoffkörper 3 inklusive des Temperaturmessfühlers 11 mit einer durchgehenden dünnen, abgeschiedenen Metallschicht bedeckt ist. Dabei kann der Temperaturmessfühler 11 unter anderem in einem Hohlraum angeordnet und von der Metallschicht formschlüssig bedeckt sein, der in dem Isolierstoffkörper 3 zu dessen Außenseite hin offen ausgebildet ist.
Die Form des Sensors 1 ist nicht auf die vorhergehend beschriebene zylindrische Form begrenzt. Jede andere geometrische Form ist denkbar, beispielsweise eine Stabform oder eine viereckige Form, da sich die ausgebildete Metallschicht an jede Oberflächenform anlegen kann.
Der Sensor 1 kann auch in einer Plattenform ausgebildet sein, so dass der Sensor 1 unter Verwendung eines weiteren Bauteils an einer Messstelle fixiert werden kann. Bspw. kann der plattenartige Sensor 1 durch eine Überwurfmutter und unter Verwendung entsprechender Dichtkörper an ein Rohr angeschraubt werden, dessen Innentemperatur gemessen werden soll . Des Weiteren können der Fortsatz 42 des Schutzrohrs sowie der elektrisch isolierende Feststoff 5 in einer weiteren Abwandlung weggelassen werden. Die Anschlussleitungen 21 sind dabei verkürzt bzw. das Messelement 11 ist direkt mit den Leitungen 23 verbunden. Dadurch ist es möglich, dass die Metallschicht den verbleibenden Schutzrohrmantel 41 und die zu dessen Außenseite hin freiliegende Oberfläche des Isolierstoffkörpers 3 formgenau bzw. formschlüssig abdecken kann .
Es ist darüber hinaus möglich, dass nur eine Leitung 23 im Inneren des Isolierstoffkörpers 3 zu dem Messelement 11 hin verläuft und mit diesem verbunden ist, während die Außenhülle 43, evtl. im Verbindung mit dem Schutzrohr, als der zusätzliche, zur Messung notwendige Leiter dient.
Die Erfindung ist nicht auf das vorstehende ausführliche Ausführungsbeispiel beschränkt. Sie kann in dem Umfang der nachfolgenden Ansprüche modifiziert werden.

Claims

Patentansprüche
1. Sensor (1) mit einem Isolierstoffkörper (3) zur Aufnahme von Leitungen (23) , die mit mindestens einem an der Außenfläche des Isolierstoffkörpers (3) freiliegenden Messelement (11) verbunden sind, wobei eine den Isolierstoffkörper (3) mindestens abschnittsweise umgebende Außenhülle (43) eine atomar abgeschiedene Metallschicht ist, die das Messelement (11) bedeckt.
2. Sensor (1) nach Anspruch 1, wobei die Außenhülle (43) den Isolierstoffkörper (3) über seine gesamte Länge umgibt.
3. Sensor (1) nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei zumindest ein Teil des Isolierstoffkörpers (3) von einem Rohr als Teil der Außenhülle (43) umgeben ist und die Außenhülle (43) das Rohr mindestens teilweise bedeckt.
4. Sensor (1) nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die Außenhülle (43) mit dem Messelement (11) in direktem Kontakt steht .
5. Sensor (1) nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die Leitungen (23) gegeneinander und gegenüber der Außenhülle (43) elektrisch isoliert sind.
6. Sensor (1) nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die Außenhülle (43) eine Wärme und/oder Elektrizität leitende Außenhülle ist.
7. Sensor (1) nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei der Isolierstoffkörper (3) aus einem Keramikmaterial besteht .
8. Sensor (1) nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die Außenhülle (43) die Oberfläche des Isolierstoffkörpers
(3) formgenau abdeckt.
9. Sensor (1) nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die Dicke der Metallschicht kleiner als 500μm ist.
10. Sensor (1) nach Anspruch 9, wobei die Dicke der Metallschicht kleiner als lOOμm ist.
11. Sensor (1) nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die Außenhülle (43) aus einem homogenen Gefüge besteht .
12. Sensor (1) nach einem der Ansprüche 3 bis 11, wobei ein offenes Ende des Rohrs durch die atomar abgeschiedene Metallschicht formgenau abgedeckt ist.
13. Sensor (1) nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei der Sensor (1) ein Temperatursensor mit einem Temperaturfühler als das Messelement (11) ist.
14. Sensor (1) nach Anspruch 13, wobei der Temperaturfühler (11) ein Thermoelement oder ein Widerstandsfühler ist.
15. Sensor (1) nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die atomar abgeschiedene Metallschicht durch ein elektrochemisches Abscheidungsverfahren, ein chemisches Gasabscheidungsverfahren (CVD) oder ein physikalisches Gasabscheidungsverfahren (PVD) abgeschieden ist.
PCT/EP2009/054326 2008-04-17 2009-04-09 Sensor mit kurzer ansprechzeit WO2009127603A1 (de)

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