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WO2008055473A8 - Vorrichtung und verfahren zum messen von schichtdicken - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zum messen von schichtdicken

Info

Publication number
WO2008055473A8
WO2008055473A8 PCT/DE2007/001945 DE2007001945W WO2008055473A8 WO 2008055473 A8 WO2008055473 A8 WO 2008055473A8 DE 2007001945 W DE2007001945 W DE 2007001945W WO 2008055473 A8 WO2008055473 A8 WO 2008055473A8
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WO
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measuring apparatus
distance
layer thicknesses
distance measuring
measure
Prior art date
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PCT/DE2007/001945
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French (fr)
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Inventor
Andreas Jakimov
Manuel Hertter
Stefan Schneiderbanger
Original Assignee
Mtu Aero Engines Gmbh
Andreas Jakimov
Manuel Hertter
Stefan Schneiderbanger
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Filing date
Publication date
Application filed by Mtu Aero Engines Gmbh, Andreas Jakimov, Manuel Hertter, Stefan Schneiderbanger filed Critical Mtu Aero Engines Gmbh
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Priority to EP07846280A priority patent/EP2100093A1/de
Priority to US12/513,584 priority patent/US8176777B2/en
Publication of WO2008055473A1 publication Critical patent/WO2008055473A1/de
Publication of WO2008055473A8 publication Critical patent/WO2008055473A8/de

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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
    • G01B21/08—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness for measuring thickness

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Messen von Schichtdicken, insbesondere zur Messung von Schichtdicken eines Bauteils (18) während oder nach einem Beschichtungsvorgang, mit mindestens einem ersten und einem zweiten Weglängenmessgerät (12, 14), wobei mittels des ersten Weglängenmessgerätes (12) eine erste Weglänge (a) zu einer Oberfläche (20) einer auf das Bauteil (18) aufzutragenden Schicht (22) und mittels des zweiten Weglängenmessgerätes (14) eine zweite Weglänge (b) zu einer unbeschichteten Oberfläche (24) des Bauteils (18) kontinuierlich oder zu vordefinierten Zeitpunkten gemessen wird. Erfindungsgemäß umfasst die Vorrichtung (10) zudem mindestens ein drittes Weglängenmessgerät (16) zur Messung und Überwachung der Position des ersten Weglängenmessgeräts (12) relativ zum Bauteil (18), wobei mittels des dritten Weglängenmessgerätes (16) eine dritte Weglänge (c) zur Bestimmung der Position des Bauteils (18) kontinuierlich oder zu vordefinierten Zeitpunkten gemessen wird. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zum Messen von Schichtdicken, insbesondere zur Messung von Schichtdicken eines Bauteils (18) während oder nach einem Beschichtungsvorgang.
PCT/DE2007/001945 2006-11-08 2007-10-30 Vorrichtung und verfahren zum messen von schichtdicken WO2008055473A1 (de)

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CA002669372A CA2669372A1 (en) 2006-11-08 2007-10-30 Device and method for measuring of layer thicknesses
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