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WO2006088059A1 - 透光性導電性膜、透光性電磁波シールド膜および光学フィルターならびにディスプレイ用フィルターの製造方法 - Google Patents

透光性導電性膜、透光性電磁波シールド膜および光学フィルターならびにディスプレイ用フィルターの製造方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2006088059A1
WO2006088059A1 PCT/JP2006/302654 JP2006302654W WO2006088059A1 WO 2006088059 A1 WO2006088059 A1 WO 2006088059A1 JP 2006302654 W JP2006302654 W JP 2006302654W WO 2006088059 A1 WO2006088059 A1 WO 2006088059A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
conductive
film
layer
translucent
conductive film
Prior art date
Application number
PCT/JP2006/302654
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Kentaro Okazaki
Akimitsu Morimoto
Tomoyuki Okamura
Toshihisa Kitagawa
Makoto Morohashi
Tomoaki Ito
Hiromi Minami
Original Assignee
Fujifilm Corporation
Mitsui Chemicals, Inc.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujifilm Corporation, Mitsui Chemicals, Inc. filed Critical Fujifilm Corporation
Priority to KR1020077018692A priority Critical patent/KR101290500B1/ko
Priority to JP2007503683A priority patent/JP4613201B2/ja
Priority to CN2006800050540A priority patent/CN101120626B/zh
Priority to US11/816,238 priority patent/US20090133922A1/en
Priority to EP06713795A priority patent/EP1850649A4/en
Publication of WO2006088059A1 publication Critical patent/WO2006088059A1/ja

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B5/00—Non-insulated conductors or conductive bodies characterised by their form
    • H01B5/14—Non-insulated conductors or conductive bodies characterised by their form comprising conductive layers or films on insulating-supports
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K9/00—Screening of apparatus or components against electric or magnetic fields
    • H05K9/0073—Shielding materials
    • H05K9/0094—Shielding materials being light-transmitting, e.g. transparent, translucent
    • H05K9/0096—Shielding materials being light-transmitting, e.g. transparent, translucent for television displays, e.g. plasma display panel
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
    • Y10T156/10—Methods of surface bonding and/or assembly therefor
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/496—Multiperforated metal article making
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24802—Discontinuous or differential coating, impregnation or bond [e.g., artwork, printing, retouched photograph, etc.]
    • Y10T428/24917—Discontinuous or differential coating, impregnation or bond [e.g., artwork, printing, retouched photograph, etc.] including metal layer

Definitions

  • Translucent conductive film Translucent conductive film, translucent electromagnetic shielding film and optical filter
  • the present invention relates to a translucent conductive film.
  • CRT cathode ray tube
  • PDP plasma display panel
  • liquid crystal liquid crystal
  • EL electrostatic mouth luminescence
  • FED field emission display
  • the present invention relates to an electromagnetic wave shielding material that shields electromagnetic waves generated from light and has translucency, and a method for producing the same.
  • the present invention also relates to a method for producing a filter for display field lay, a display filter to be obtained, and an electromagnetic wave shielding material to be used. More specifically, the present invention relates to a method for manufacturing a display filter including an electromagnetic wave shielding material that blocks electromagnetic waves generated from a plasma display panel cover, a display filter to be obtained, and an electromagnetic wave shielding material to be used.
  • the above-mentioned countermeasure against EMI requires the ability to shield electromagnetic waves.
  • a method of making the casing a metal body or a high conductor, a method of inserting a metal plate between the circuit board and the circuit board, and a method of covering the cable with a metal foil are employed.
  • CRT, PDP, etc. it is necessary for the operator to recognize characters displayed on the screen, so transparency on the display is required. For this reason, any of the above methods is inappropriate as an electromagnetic wave shielding method in which the front surface of the display often becomes opaque.
  • PDP generates a larger amount of electromagnetic waves than CRT, etc.
  • Wave shielding ability is required.
  • the electromagnetic wave shielding ability can be simply expressed by the surface resistance value.
  • the surface resistance value is required to be about 300 ⁇ / sq or less.
  • the required level of transparency is about 70% or more for CRT and 80% or more for PDP, and higher transparency is desired.
  • Patent Document 1 JP-A-5-327274 discloses an electromagnetic shielding material made of conductive fibers.
  • this shielding material has a drawback that when the display screen is shielded with a thick mesh line width, the screen becomes dark and the characters displayed on the display are difficult to see.
  • a method has been proposed in which an electroless plating catalyst is printed as a grid pattern by a printing method, and then electroless plating is performed in the following manner (for example, JP-A-11-170420 (Patent Document 2), JP-A-5-283889). No. (Patent Document 3) etc.).
  • the printed catalyst has a line width of about 60 m, which is inappropriate for displays that require a thick, relatively small line width and a dense pattern.
  • Patent Document 5 Japanese Patent Laid-Open No. 2003-46293
  • Patent Document 6 JP-A-5-16281
  • Patent Document 8 JP-A-10-338848
  • this method allows fine processing, it has the advantage that a mesh with a high aperture ratio (high transmittance) can be produced and that strong electromagnetic wave emission can be shielded.
  • the manufacturing process is complicated and complicated, and the production cost is high.
  • displays are widely used for televisions, personal computers, monitors, and the like, and their thickness and size are increasing.
  • Plasma display panels are attracting attention as large thin displays.
  • the plasma display panel generates strong leakage electromagnetic waves and near infrared rays due to its structure and operating principle. Electromagnetic waves are regulated by the Electrical Appliance and Material Control Law and must be kept within the standard values.
  • near-infrared light has a problem of causing malfunctions by acting on peripheral electronic devices such as infrared remote control devices, and cuts light in the wavelength range of 800 to lOOOnm, which is in the near-infrared region, to a level where there is no practical problem. There is a need to.
  • a highly conductive substance used to cover the surface that is, an electromagnetic shielding material, is transparent so as not to disturb display display significantly. It is necessary to have As one of the electromagnetic shielding materials that meet these requirements, a transparent multilayer thin film such as oxide or metal is sputtered on a transparent substrate. Force that uses an electromagnetic shielding film formed by methods such as tulling. Such an electromagnetic shielding film is not sufficiently conductive at the moment! Therefore, if the electromagnetic shielding ability required as an electromagnetic shielding material is low, the force I can not use it.
  • a conductive mesh film in which a mesh-like metal layer is formed using a polymer film as a base material is used.
  • a high light transmittance can be realized by forming a mesh pattern using a fine processing technique such as photolithography.
  • the mesh pattern is formed of metal, a higher electromagnetic wave shielding ability can be achieved than when a transparent multilayer thin film is used.
  • the electromagnetic wave is absorbed by the conductive material to generate a charge on the conductive material.
  • a mask of a size corresponding to the display portion of the display is used, and one piece of the display filter is provided. It was necessary to pattern the metal layer.
  • An example of a conductive mesh film that has been used in the past is shown in FIG.
  • a conductive mesh film as shown in Fig. 1 is attached to glass, it is necessary to align the mesh and non-mesh parts according to the display specifications. Loss increased, resulting in poor production efficiency and a major problem in terms of manufacturing costs.
  • the dimensions of the mesh part that is the display part and the non-mesh part that is the non-display part and is connected to the display body are fixed. Another problem was that it was difficult to use a conductive mesh film of one specification for many types of filters.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 5-327274
  • Patent Document 2 JP 11 170420 A
  • Patent Document 3 Japanese Patent Laid-Open No. 5-283889
  • Patent Document 4 JP-A-11-170421
  • Patent Document 5 Japanese Unexamined Patent Publication No. 2003-46293
  • Patent Document 6 Japanese Patent Laid-Open No. 2003-23290
  • Patent Document 7 JP-A-5-16281
  • Patent Document 8 Japanese Patent Laid-Open No. 10-338848
  • Patent Document 9 Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2004-207001
  • Patent Document 10 Japanese Patent Laid-Open No. 2002-323861
  • the shielding ability of the EMI shielding material is improved by grounding the conductive portion. If there is a broken part in the mesh, it will be easier to create an area where the ground cannot be removed, so it was necessary to ensure that there was no broken part in the area functioning as the EMI shielding material.
  • the conventional mesh formation method except for the above-described fiber method, was strong enough to create a mesh with only a certain area disconnected. This is because when the mesh pattern is formed, the pattern of the catalyst core in the electroless copper plating method is a printing method such as screen printing, so the mesh breaks in units of size such as a screen or intaglio. In lithography, the mesh was broken in units of exposure mask size.
  • Japanese Patent Laid-Open No. 2004-207001 discloses the use of an internal drum type image setter for exposure.
  • the mesh breaks at a length equal to or shorter than the inner circumference of the drum.
  • the present invention has been made in view of such circumstances, and a first object of the present invention is to have a high EML shield property and high transparency at the same time. It is an object of the present invention to provide a method capable of producing a film, forming a thin line pattern easily, and producing a large amount at low cost. Furthermore, another object of the present invention is to provide a translucent electromagnetic wave shielding film in which a continuous mesh pattern is formed in order to improve productivity with little loss of shielding material.
  • a second object of the present invention is to provide a method for manufacturing a low-cost display filter with high production efficiency in view of the above-described conventional technology.
  • the present inventors have achieved the above first object effectively by the following translucent conductive film. As a result, they have found that the present invention has been completed. Furthermore, as a result of intensive studies to solve the second object, the present inventors formed a mesh-shaped conductive layer continuously in the machine direction on one side of the polymer film. The same electromagnetic shielding material can be applied to filters of various specifications by cutting the mesh-shaped part using the prepared electromagnetic shielding material to produce a filter for display. The present inventors have found that production efficiency with little loss is increased.
  • the object of the present invention is achieved by the following configuration.
  • a translucent conductive film formed by patterning a conductive metal part and a visible light transmissive part on a transparent support the conductive metal part has a mesh-like fineness of 1 ⁇ m force and 40 m.
  • a developed silver portion and a visible light transmissive portion are patterned on a transparent support, and a conductive metal is supported on the developed silver portion to form a translucent conductive film on which the conductive metal portion is formed.
  • the translucent conductive film is characterized in that the conductive metal portion is in the form of a fine wire having a force of 1 ⁇ m and a force of 30 m and is continuous for the mesh pattern force of at least m.
  • the transparent support is a film having flexibility, having a width of 2 cm or more, a length of 3 m or more, and a thickness of 200 ⁇ m or less. Translucent conductive film.
  • an irradiation device for irradiating a light beam and a large number of pixel portions whose light modulation states change in response to control signals are arrayed two-dimensionally on the substrate, and are irradiated from the irradiation device.
  • Control means for controlling each of a spatial light modulation element that modulates a light beam and a plurality of pixel portions less than the total number of pixel portions arranged on the substrate by a control signal generated according to exposure information 5.
  • the translucent conductive film according to any one of 1 to 4, further comprising: an optical system that forms an image on the exposure surface of the light beam modulated in each pixel portion.
  • the above 5 to 10 characterized in that the wavelength of the light beam is 600 nm or more.
  • the translucent conductive film according to any one of the above.
  • a translucent electromagnetic wave shielding film comprising the translucent conductive film according to any one of 1 to 15 above.
  • 20 Has one or more functions selected from infrared shielding, hard coating, anti-reflection, anti-glare, anti-static, anti-fouling, UV-cutting, gas nore, and display panel damage prevention.
  • 20. The translucent electromagnetic wave shielding film as described in any one of 16 to 19 above, which has a functional transparent layer.
  • An optical filter comprising the translucent electromagnetic wave shielding film as described in any one of 16 to 21 above.
  • a method for producing a light-transmitting conductive film comprising forming a mesh pattern that is continuous for 3 m or more.
  • the conductive part of the pattern is formed continuously in the machining direction of the polymer film (A), and the conductive part of the geometric pattern has a mesh shape with a line width of 1 to 50 m and an interval of 30 to 500 m.
  • the sheet resistance value of the conductive layer (B) is 0.01 to 1 ⁇ and includes at least a step of cutting the conductive portion of the geometric pattern.
  • a display filter manufacturing method in which the ends of the two sides are conductive portions having a geometric pattern.
  • the electromagnetic shielding material (C) forms a geometric pattern with the conductive material (B1) on one surface of the polymer film ( ⁇ ), and adheres the conductive material ( ⁇ 2) onto the geometric pattern.
  • the electromagnetic shielding material (C) has a geometric pattern obtained by bonding the polymer film ( ⁇ ) and the metal foil ( ⁇ 4) through the adhesive layer ( ⁇ 3), and processing the metal foil ( ⁇ 4).
  • 43. A method for producing a display filter according to the above item 42, comprising a conductive layer ( ⁇ ) in which a conductive portion is formed.
  • 45. The method for producing a display filter as described in any one of 42 to 44 above, wherein at least one surface of the conductive layer (B) is black or black-brown.
  • the present invention relates to an electromagnetic wave shielding material used for manufacturing a display filter according to any one of 42 to 45 above, wherein the conductive layer (B) has a surface resistance value of 0.01 to 1 ⁇ . It is.
  • the present invention it is possible to obtain a method capable of easily forming a fine line pattern and producing a large amount at low cost.
  • This method provides a translucent electromagnetic wave shielding film with a continuous mesh pattern in order to improve productivity with low loss of shielding material with high moire shielding and high transparency at the same time. can do.
  • a display filter can be provided by a low-cost method with extremely high production efficiency.
  • FIG. 1 An example of a plan view of a conductive mesh film in the prior art
  • FIG. 2 is a plan view of an electromagnetic wave shielding material (C) formed by forming a conductive ( ⁇ ) mesh shape on the entire surface of the polymer film ( ⁇ ) according to the present invention as viewed from the conductive layer ( ⁇ ) side.
  • C electromagnetic wave shielding material
  • the mesh shape of the conductive layer ( ⁇ ) was continuously formed on the polymer film ( ⁇ ) except for the end parallel to the machining direction of the polymer film ( ⁇ ).
  • FIG. 4 is a cross-sectional view showing an example (Example 2-1) of a display filter manufactured according to the present invention.
  • [5] Cross-sectional view showing an example (Example 2-2) of a display filter produced according to the present invention
  • FIG. 6 is a cross-sectional view showing an example (Example 2-3) of an integrated filter type plasma display panel manufactured according to the present invention.
  • Examples of methods for forming a continuous mesh pattern include printing, ink jetting, and thermal transfer.
  • printing the gravure method and the flexo method and other Even in this method, a cylindrical printing plate with a seamless continuous pattern is necessary.Thin lines of several tens of meters are arranged at intervals of several hundreds / zm, and the same thin line is connected when the plate is rotated once.
  • a curved exposure stage having a uniform surface at a position opposite to the support in the part where the laser beam forms an image on the exposure surface (more specifically, We found that this can be solved particularly effectively by arranging the exposure roller in parallel with the main beam direction of the laser beam.
  • the material of the exposure roller is preferably a metal.
  • a material whose surface smoothness is maintained in the same level as a mirror surface is preferable when deformed by temperature.
  • the diameter of the exposure roller is preferably 5 cm or more and lm or less, more preferably 10 cm or more and 50 cm or less.
  • the light-transmitting conductive film of the present invention is obtained by exposing a photosensitive material having an emulsion layer containing a photosensitive silver halide salt on a support and applying a development treatment to each of an exposed area and an unexposed area. It can be produced by forming a silver part and a light-transmitting part, and further carrying out physical development and Z or plating treatment on the metallic silver part to carry a conductive metal on the metallic silver part.
  • the method for forming a translucent conductive film of the present invention includes the following three forms depending on the photosensitive material and the form of development processing.
  • Photosensitive silver halide black-and-white photosensitive material that does not contain physical development nuclei and physical development nuclei A mode in which a metal silver portion is formed on a non-photosensitive image-receiving sheet by superimposing image-receiving sheets having a non-photosensitive layer and performing diffusion transfer development.
  • the aspect (1) is an integrated black-and-white development type, and a light-transmitting conductive film such as a light-transmitting electromagnetic wave shielding film or a light-transmitting conductive film is formed on the photosensitive material.
  • the obtained developed silver is chemically developed silver or heat developed silver, and is highly active in the subsequent mesh or physical development process in that it is a filament with a high specific surface.
  • the halogen-molybdenum grains close to the physical development nucleus are dissolved and deposited on the development nucleus, whereby a light-transmitting electromagnetic wave shielding film or light-transmitting conductive film is formed on the photosensitive material.
  • a translucent conductive film such as a conductive film is formed.
  • the light-transmitting electromagnetic wave shielding film is formed on the image receiving sheet by dissolving and diffusing the halogenated silver particles in the unexposed area and depositing on the development nuclei on the image receiving sheet.
  • a light-transmitting conductive film such as a light-transmitting conductive film is formed. This is a mode that is a separate type, in which the image receiving sheet is peeled off from the photosensitive material.
  • the mode of deviation can also be selected as negative development between negative development processing and reversal development processing (in the case of the diffusion transfer method, negative development processing can be performed by using an auto positive photosensitive material as the photosensitive material. Possible).
  • a plastic film As a support for the photosensitive material used in the production method of the present invention, a plastic film is used. A plastic plate, a glass plate, or the like can be used.
  • polyesters such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate
  • polyolefins such as polyethylene (PE), polypropylene (PP), polystyrene and EVA
  • Bulu resin such as vinyl and poly vinylidene
  • PEEK polyether ether ketone
  • PSF polysulfone
  • PSS polyether sulfone
  • PC polycarbonate
  • polyamide polyimide
  • acrylic resin Fats triacetyl cellulose (TAC), etc.
  • the plastic film is preferably a polyethylene terephthalate film or triacetyl cellulose (TAC) from the viewpoints of transparency, heat resistance, ease of handling and cost!
  • TAC triacetyl cellulose
  • the electromagnetic shielding material for display requires transparency, it is desirable that the support has high transparency.
  • the total visible light transmittance of the plastic film or plastic plate is preferably 70 to 100%, more preferably 85 to 100%, and particularly preferably 90 to 100%.
  • the plastic film and the plastic plate that are colored to the extent that they do not interfere with the object of the present invention can also be used.
  • the plastic film and plastic plate in the present invention can be used as a single layer, but can also be used as a multilayer film in which two or more layers are combined.
  • the type thereof is not particularly limited.
  • tempered glass having a tempered layer on the surface.
  • tempered glass can prevent breakage compared to glass that has not been tempered.
  • the tempered glass obtained by the air cooling method is preferable from the viewpoint of safety because the broken piece is small and the end face is not sharp even if it is broken.
  • the photosensitive material used may be provided with a protective layer on the emulsion layer described later.
  • the term “protective layer” refers to a layer that is made up of gelatin and a high molecular weight polymer! This means that it is formed on a photosensitive emulsion layer in order to exhibit the effect of preventing scratches and improving mechanical properties. It is preferable that the protective layer is not provided in the case of the plating treatment, but it is preferable that the protective layer is thin. The thickness is preferably 0. or less.
  • the method for forming the protective layer coating method is not particularly limited, and a known coating method can be appropriately selected.
  • the light-sensitive material used in the production method of the present invention preferably has an emulsion layer (silver salt-containing layer) containing a silver salt as an optical sensor on a support.
  • the emulsion layer in the present invention may contain a dye, a binder, a solvent and the like, if necessary, in addition to the silver salt.
  • the light-sensitive material may contain a dye at least in the emulsion layer.
  • the dye is contained in the emulsion layer as a filter dye or for various purposes such as prevention of irradiation.
  • the dye may contain a solid disperse dye.
  • Examples of the dye preferably used in the present invention include dyes represented by general formula (FA), general formula (FA1), general formula (FA2), and general formula (FA3) described in JP-A-9-179243.
  • compounds F1 to F34 described in the publication are preferable.
  • (IV-2) to (IV-7) described in the publication are also preferably used.
  • dyes that can be used in the present invention as solid fine particle dispersed dyes to be decolored during development or fixing, cyanine dyes and pyrylium dyes described in JP-A-3-138640 are used. And amino dyes. Further, as dyes that do not decolorize at the time of processing, cyanine dyes having a carboxyl group described in JP-A-9-96891, cyanine dyes that do not contain an acidic group described in JP-A-8-245902, and JP-A-8-333519 Lake type cyanine dyes described in Japanese Laid-Open Patent Publication No. 1-266536, cyanopolar dyes described in Japanese Patent Laid-Open No.
  • the dye may contain a water-soluble dye.
  • water-soluble dyes include oxonol dyes, benzylidene dyes, merocyanine dyes, cyanine dyes and azo dyes. Of these, oxonol dyes, hemioxonol dyes and benzylidene dyes are useful in the present invention.
  • Specific examples of water-soluble dyes that can be used in the present invention include British Patent Nos. 584, 609, 1, 177, 429, Japanese Patent Publication Nos. 48-85130, 49-99620, 49-114420 gazette, 52-20822 gazette, 59-154439 gazette, 59-208548 gazette, U.S.
  • the content of the dye in the emulsion layer is preferably 0.01 to 10% by mass with respect to the total solid content, from the viewpoint of preventing irradiation and the like, and from the viewpoint of decreasing the sensitivity due to an increase in the amount of added calories. 1-5 mass% is further more preferable.
  • Examples of the silver salt used in the present invention include inorganic silver salts such as halogenated silver.
  • inorganic silver salts such as halogenated silver.
  • halogenated silver for functioning as an optical sensor. It is used in silver salt photographic film, photographic paper, printing plate making film, emulsion mask for photomask, etc. relating to halogenated silver.
  • the technique can also be used in the present invention.
  • the halogen elements contained in the silver halide are chlorine, bromine, iodine and fluorine. Any combination of these may be used.
  • halogen silver containing mainly AgCl, AgBr and Agl is preferably used, and halogen silver containing mainly AgBr and AgCl is preferably used.
  • Silver chlorobromide, silver iodochlorobromide and silver iodobromide are also preferably used.
  • Silver chlorobromide, silver bromide, silver iodochlorobromide and silver iodobromide are more preferable, and silver chlorobromide and iodochlorobromide containing 50 mol% or more of silver chloride are most preferable.
  • Silver is used.
  • halogenated silver mainly composed of AgBr refers to silver halide having a bromide ion mole fraction of 50% or more in the silver halide composition.
  • the silver halide silver grains mainly composed of AgBr may contain iodide ions and chloride ions in addition to bromide ions.
  • Silverogenated silver is in the form of solid grains, and from the viewpoint of image quality of the patterned metal silver layer formed after exposure and development processing, the average grain size of halogenated silver is 0 in sphere equivalent diameter. It is preferably 1 to 1000 ⁇ (1 / ⁇ ), more preferably 0.1 to 100 nm, and even more preferably 1 to 50 nm.
  • the spherical equivalent diameter of a halogenated silver particle is a diameter of a particle having a spherical shape and the same volume.
  • the shape of the silver halide grains is not particularly limited.
  • various shapes such as a spherical shape, a cubic shape, a flat plate shape (hexagonal flat plate shape, triangular flat plate shape, quadrangular flat plate shape, etc.), octahedral shape, tetrahedral shape, etc.
  • the cubic shape and the tetrahedron shape are preferable.
  • the silver halide grains can have a uniform internal and surface layer, or they can be different. Moreover, you may have the localized layer from which a halogen composition differs in a particle
  • Halogen silver emulsion used as an emulsion layer coating solution used in the present invention is P. Glalkides, Chimie etPhysique Photographique (Paul Montel, 1967), GF Dufin, Pho tographic Emulsion Chemistry (The Forcal Press, 1966), VLZelikman et al, Making and Coating Photographic Emulsion (The ForcalPress, 1964), and the like.
  • a method for preparing the silver halide emulsion either an acidic method or a neutral method may be used.
  • a method for reacting a soluble silver salt and a soluble halogen salt a one-side mixing method is used. Any of a simultaneous mixing method, a combination thereof, and the like may be used.
  • a method for forming silver particles a method of forming particles in the presence of excess silver ions (so-called back mixing method) can also be used.
  • a method of keeping pAg constant in a liquid phase in which halogenated silver is formed that is, a so-called controlled double jet method can be used.
  • halogenated silver solvent such as ammonia, thioether or tetrasubstituted thiourea. More preferred as such a method is a tetrasubstituted thiourea compound, which is described in JP-A-53-82408 and JP-A-55-77737.
  • Preferred thiourea compounds include tetramethylthiourea and 1,3-dimethyl-2-imidazolidinethione.
  • the amount of the halogenated silver solvent added varies depending on the type of compound used, the intended grain size, and the halogen composition.
  • the silver halide emulsion used for the formation of the emulsion layer in the present invention is preferably a monodisperse emulsion ⁇ (standard deviation of grain size) Z (average grain size) ⁇
  • the coefficient of variation represented by X100 is 20% or less, More preferably, it is 15% or less, and most preferably 10% or less.
  • the silver halide emulsion used in the present invention may be a mixture of a plurality of types of silver halide emulsions having different grain sizes.
  • the halogenated silver emulsion used in the present invention may contain a metal belonging to Group VIII or Group VIIB.
  • a metal belonging to Group VIII or Group VIIB in particular, in order to achieve high contrast and low capri, it is preferable to contain a rhodium compound, an iridium compound, a ruthenium compound, an iron compound, an osmium compound, or the like. Good.
  • These compounds are compounds having various ligands, such as cyanide ions, halogen ions, thiocyanate ions, nitrosyl ions, water, hydroxide ions, and such pseudohalogens,
  • organic molecules such as amines (such as methylamine and ethylenediamine), heterocyclic compounds (such as imidazole, thiazole, 5-methylthiazole, mercaptoimidazole), urea, and thiourea can be mentioned.
  • a hexacyanide metal complex such as K4 [Fe (CN) 6], K4 [Ru (CN) 6], or K3 [Cr (CN) 6] is advantageously performed.
  • rhodium compound a water-soluble rhodium compound can be used.
  • water-soluble rhodium compounds include rhodium halide (III) compounds, hexachlororhodium (III) complex salts, pentachloroacorhodium complex salts, tetrachlorodiacolodium complex salts, hexabromorhodium (III) complex salts, hexanes.
  • rhodium compounds are used by dissolving in water or a suitable solvent, but are generally used in order to stabilize the solution of the rhodium compound, that is, an aqueous hydrogen halide solution (for example, hydrochloric acid, odorous acid, A method of adding hydrofluoric acid or the like, or a halogenated alkali (for example, KCl, NaCl, KBr, NaBr, etc.) can be used.
  • an aqueous hydrogen halide solution for example, hydrochloric acid, odorous acid,
  • a halogenated alkali for example, KCl, NaCl, KBr, NaBr, etc.
  • water-soluble rhodium it is also possible to add other halogen silver particles doped with rhodium and dissolve it at the time of preparing the silver halide silver.
  • Examples of the iridium compound include hexaclonal iridium complex salts such as K2IrC16 and K3IrC16, hexabromoiridium complex salts, hexammine iridium complex salts, and pentachloronitrosinoiridium complex salts.
  • ruthenium compound examples include hexaclonal ruthenium, pentachloro-trosyl ruthenium, K4 [Ru (CN) 6] and the like.
  • iron compound examples include potassium hexanoate (succinate) and ferrous thiocyanate.
  • ruthenium and osminium are in the form of water-soluble complex salts described in JP-A-63-2042, JP-A-1-2855941, JP-A-2-20852, JP-A-2-20855, etc.
  • Particularly preferred are hexacoordination complexes represented by the following formula:
  • M represents Ru or Os, and n represents 0, 1, 2, 3 or 4.
  • the counter ion has no significance, and for example, ammonium or alkali metal ions are used.
  • Preferable ligands include a halide ligand, a cyanide ligand, a cyan oxide ligand, a nitrosyl ligand, a thionitrosyl ligand, and the like. Examples of specific complexes used in the present invention are shown below, but the present invention is not limited thereto.
  • the addition amount of these compounds is preferably 10-10 to 10-2 mol Z mol Ag per mol of silver halide. 10-9: L0-3 mol Z mol Ag Further preferred.
  • a silver halide containing Pd (II) ions and Z or Pd metal can also be preferably used.
  • Pd may be uniformly distributed in the halogen silver halide grains, but is preferably contained in the vicinity of the surface layer of the halogen silver halide grains.
  • Pd is “contained in the vicinity of the surface layer of the silver halide grain” when the surface force of the halogenated silver grain is within 50 nm in the depth direction, and the palladium content is higher than that of the other layers. Means to have a layer.
  • Such silver halide grains can be prepared by adding Pd during the formation of silver halide grains. After adding 50% or more of the total amount of silver ions and halogen ions, Pd Is preferably added. It is also preferable to add Pd (II) ions to the surface layer of halogenated silver by adding them at the post-ripening stage.
  • Pd-containing halogen silver halide grains increase the speed of physical development and electroless plating, increase the production efficiency of the desired electromagnetic shielding material, and contribute to the reduction of production costs.
  • Pd is a force well known and used as an electroless plating catalyst.
  • Pd can be unevenly distributed in the surface layer of halogenated silver particles, so it is possible to save extremely expensive Pd.
  • the content of Pd ions and / or Pd metal contained in halogenated silver is 10-4 to 0.5 mol Z mol Ag with respect to the number of moles of silver in the silver halide. It is preferably 0.01 to 0.3 mol Z mol Ag, and more preferably.
  • Pd compounds to be used examples include PdC14 and Na2PdC14.
  • chemical sensitization performed with a photographic emulsion can also be performed in order to further improve the sensitivity as an optical sensor.
  • the chemical sensitization method sulfur sensitization, selenium sensitization, chalcogen sensitization such as tellurium sensitization, noble metal sensitization such as gold sensitization, reduction sensitization and the like can be used. These are used alone or in combination.
  • sulfur sensitizing method and gold sensitizing method sulfur sensitizing method and selenium sensitizing method and gold sensitizing method
  • sulfur sensitizing method and tellurium sensitizing method sulfur sensitizing method and tellurium sensitizing method.
  • a combination of sensitivity and gold sensitization is preferred.
  • the sulfur sensitization is usually performed by adding a sulfur sensitizer and stirring the emulsion at a high temperature of 40 ° C or higher for a predetermined time.
  • a sulfur sensitizer known compounds can be used.
  • various sulfur compounds such as thiosulfate, thioureas, and thiazoles can be used. , Rhodons, etc. can be used.
  • Preferred sulfur compounds are thiosulfate and thiourea compounds.
  • the amount of sulfur sensitizer added varies depending on various conditions such as pH, temperature, and the size of the silver halide grains during chemical ripening, and 10-7 to 10-2 mol per mol of silver halide. Is more preferably 10-5 to 10-3 mol.
  • the selenium sensitizer used for the selenium sensitization known selenium compounds can be used. That is, the selenium sensitization is usually performed by adding unstable and Z or non-unstable selenium compounds and stirring the emulsion at a high temperature of 40 ° C. or higher for a certain period of time.
  • the unstable selenium compound the compounds described in JP-B-44-15748, JP-A-43-13489, JP-A-4-109240, JP-A-4-324855 and the like can be used. .
  • the tellurium sensitizer used in the tellurium sensitizer is a surface of the silver halide silver grain or the inner In part, it is a compound that produces silver telluride presumed to be a sensitization nucleus.
  • the formation rate of tellurite silver in the silver halide emulsion can be tested by the method described in JP-A-5-313284. Specifically, U.S. Pat.Nos. 1,623,499, 3,320,069, 3,772,031, British Patent 235,211, No. 1,121,496, No. 1,295,462, No. 1,396,696, Canadian Patent No.
  • the amount of selenium sensitizer and tellurium sensitizer that can be used in the present invention varies depending on the halogen-silver particles used, chemical ripening conditions, etc., but generally 10-8 per mol of silver halide silver. About 10-2 mol, preferably about 10-7 to 10-3 mol is used.
  • the conditions for chemical sensitization in the present invention are not particularly limited, but the pH is 5 to 8, pAg is 6 to 11, preferably 7 to 10, and the temperature is 40 to 95 ° C, preferably Is 45-85 ° C
  • Examples of the noble metal sensitizer include gold, platinum, noradium, iridium and the like, and gold sensitization is particularly preferable.
  • Specific examples of gold sensitizers used for gold sensitization include salt and gold acid, potassium chromate orate, potassium thiothiocyanate, gold sulfide, tiodarcos gold (1), tiomannose gold ( I) and the like, and about 10-7 to 10-2 mol per mol of silver halide can be used.
  • reduction sensitization can be used.
  • stannic salts, amines, formamidinesulfinic acid, silane compounds, and the like can be used.
  • a thiosulfonic acid compound may be added to the above-described halogenated silver emulsion by the method described in European Published Patent (EP) 293917.
  • the silver halide emulsion used in the preparation of the light-sensitive material used in the present invention may be only one type, or two or more types (for example, those having different average grain sizes, those having different halogen compositions, and different crystal habits). , Different chemical sensitization conditions, and different sensitivity). In particular, in order to obtain high contrast, it is preferable to apply an emulsion with higher sensitivity as it is closer to the support as described in JP-A-6-324426.
  • a binder can be used in the emulsion layer for the purpose of uniformly dispersing silver salt grains and assisting the adhesion between the emulsion layer and the support.
  • both the water-insoluble polymer and the water-soluble polymer can be used as the binder, but it is preferable to use a water-soluble polymer.
  • binder examples include polysaccharides such as gelatin, polybutyl alcohol (PVA), polyvinylpyrrolidone (PVP), starch, cellulose and derivatives thereof, polyethylene oxide, polysaccharides, polyvinylamine, chitosan, polylysine, Examples include polyacrylic acid, polyalginic acid, polyhyaluronic acid, carboxycellulose, and the like. These have neutral, anionic, and cationic properties depending on the ionicity of the functional group.
  • the content of the binder contained in the emulsion layer is not particularly limited, and can be appropriately determined within a range in which dispersibility and adhesion can be exhibited.
  • the solvent used for forming the emulsion layer is not particularly limited, and examples thereof include water, organic solvents (for example, alcohols such as methanol, ketones such as acetone, amides such as formamide, dimethyl sulfoxide, and the like. Sulphoxides, esters such as ethyl acetate, ethers, etc.), ionic liquids, and mixed solvents thereof.
  • organic solvents for example, alcohols such as methanol, ketones such as acetone, amides such as formamide, dimethyl sulfoxide, and the like.
  • Sulphoxides, esters such as ethyl acetate, ethers, etc. ionic liquids, and mixed solvents thereof.
  • the content of the solvent used in the emulsion layer of the present invention is such that the silver salt and the bilayer contained in the emulsion layer. It is preferably in the range of 30 to 90% by mass and preferably in the range of 50 to 80% by mass with respect to the total mass of the solder.
  • the photosensitive material coated with a silver salt-containing layer or a photopolymer for photolithography provided on a support is exposed.
  • the exposure can be performed using electromagnetic waves. Examples of electromagnetic waves include light such as visible light and ultraviolet light, and radiation such as X-rays. Further, a light source having a specific wavelength may be used for exposure, or a light source having a wavelength distribution may be used.
  • the light source various light emitters that emit light in the visible spectrum region are used as necessary.
  • a red light emitter, a green light emitter, and a blue light emitter are used in combination.
  • the spectral region is not limited to the above red, green, and blue, and a phosphor that emits light in the yellow, orange, purple, or infrared region is also used.
  • a cathode ray tube that emits white light by mixing these light emitters is often used.
  • mercury lamp g-line, mercury lamp i-line, etc. which are also preferred for ultraviolet lamps, are used.
  • the exposure in the present invention is a second harmonic light source (SHG) that combines a solid-state laser using a gas laser, a light emitting diode, a semiconductor laser, a semiconductor laser, or a semiconductor laser as an excitation light source and a nonlinear optical crystal.
  • SHG second harmonic light source
  • a scanning exposure method using monochromatic high-density light such as) can be preferably used, and a KrF excimer laser, an ArF excimer laser, an F2 laser, or the like can also be used.
  • exposure is more preferably performed using a semiconductor laser, a semiconductor laser, or a second harmonic generation light source (SHG) that combines a solid-state laser and a nonlinear optical crystal.
  • SHG second harmonic generation light source
  • exposure is most preferably performed using a semiconductor laser.
  • the exposure energy is preferably lmjZcm2 or less, more preferably 100 jZcm2 or less, and further preferably 50 jZcm2 or less.
  • a blue semiconductor laser having a wavelength of 430 to 460 nm Wavelength conversion of semiconductor laser (oscillation wavelength: about 1060nm) with SHG crystal of LiNb03 having a waveguide inversion domain structure at the 48th Applied Physics Related Conference in March 2001
  • a green laser with a wavelength of about 530 nm, a red semiconductor laser with a wavelength of about 685 nm (Hitachi type No. HL6738MG), and a red semiconductor laser with a wavelength of about 650 nm (Hitachi type No. HL6501MG) are preferably used.
  • the ultraviolet to blue laser a laser having a wavelength of 300 nm or more and 420 nm or less is more preferable. More specifically, a laser having a wavelength of about 365 nm or about 405 nm is more preferable.
  • the method of exposing the silver salt-containing layer in a pattern is preferably scanning exposure using a laser beam.
  • the capstan type laser scanning exposure apparatus described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-39677 is preferred.
  • DMD described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-1244 is used instead of beam scanning by rotating a polygon mirror. It is also preferable to use it for a light beam scanning system.
  • the development processing can be performed by a normal development processing technique used for silver salt photographic film, photographic paper, printing plate-making film, photomask emulsion mask and the like.
  • the developer is not particularly limited, but PQ developer, MQ developer, MAA developer, etc. can also be used, and commercially available products such as CN-16, CR-56, CP45X, manufactured by Fuji Film Co., Ltd. Developers such as C-41, E-6, RA-4, D-19, D-72 manufactured by KODAK, or developers included in the kit can be used.
  • a lith developer can also be used.
  • a metal silver portion preferably a patterned metal silver portion, is formed in the exposed portion by performing the above exposure and development treatment, and a light transmissive portion described later is formed in the unexposed portion.
  • a dihydroxybenzene developing agent can be used as the developer.
  • dihydroxybenzene-based developing agents include hydroquinone, black mouth hydroquinone, isopropyl hydroquinone, methyl hydroquinone, and hyde mouth quinone monosulfonate. Hydroquinone is particularly preferred.
  • dihydroxy Examples of auxiliary developing agents that exhibit superadditivity with benzene-based developing agents include 1-phenol, 1-virazolidone, and paminophenols.
  • a combination of a dihydroxybenzene developing agent and 1-phenolino bisazolidone; or a combination of a dihydroxybenzene developing agent and p-aminophenols is preferably used.
  • Examples of the developing agent used in combination with 1-phenol 3-virazolidone or a derivative thereof used as an auxiliary developing agent include 1-phenol-3-virazolidone, 1-phenyl-1,4-dimethyl. 1-pyrazolidone, 1-phenyl-4-methyl 4-hydroxymethyl-3-bisazolidone.
  • P-aminophenol auxiliary developing agents examples include N-methyl p-aminophenol, ⁇ -aminophenol, N— (j8-hydroxyethyl) p-aminophenol, and N— (4-hydroxyphenol) glycine. Of these, N-methyl-paminophenol is preferred.
  • the dihydroxybenzene-based developing agent is usually preferably used in an amount of 0.05 to 0.8 mol / liter, but in the present invention, it is particularly preferably used in an amount of 0.23 mol Z liter or more. More preferably, it is in the range of 0.23 to 0.6 mol Z liter.
  • the former is 0.23 to 0.6 mol / liter, more preferably 0.23 to 0.5 mol Z. Liters, the latter is less than 0.06 mol Z liters, more preferred ⁇ 0.03 Monore / Lit Nore ⁇ 0.03 Monore / Lit Nore for use in amounts!
  • both forces of the development starter and the development replenisher are set to 0.
  • the pH increase is 0.5 or less when 1 mol of sodium hydroxide is added.
  • a buffer is used as a method for imparting the above properties to the development initiator and the development replenisher. It is preferable to use the method described above.
  • the buffer include carbonates, boric acid described in JP-A-62-186259, saccharides (for example, saccharose), oximes (for example, acetooxime), phenols described in JP-A-60-93433. (For example, 5-sulfosalicylic acid), triphosphate (for example, sodium salt, potassium salt) and the like can be used, and carbonate and boric acid are preferably used.
  • the amount of the above-mentioned buffering agent (particularly carbonate) is preferably 0.25 monolet / litnore or more, 0.25 ⁇ : L5 monole / litnore power is particularly preferred! / ⁇ .
  • the pH of the development start solution is 9.0 to 11.0, particularly preferably 9.5 to 10.7.
  • the pH of the developer replenisher and the developer in the developer tank during continuous processing are also in this range.
  • the alkali agent used for setting the pH usual water-soluble inorganic alkali metal salts (for example, sodium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate) can be used.
  • the content of the developer replenisher in the developer is 323 ml or less, preferably 323 to 30 ml, particularly 225 to 50 ml.
  • the development replenisher may have the same composition as the development starter, and the components consumed in development may have a higher concentration than the starter.
  • additives usually used for the developer used for developing the photosensitive material in the present invention (hereinafter, both the development starter and the development replenisher may be simply referred to as "developer") (For example, a preservative and a chelating agent) can be contained.
  • the preservative include sulfites such as sodium sulfite, potassium sulfite, lithium sulfite, ammonium sulfite, sodium bisulfite, potassium metabisulfite, and sodium formaldehyde bisulfite.
  • the sulfite is preferably used in an amount of 0.20 mol Z liters or more, more preferably 0.3 mol Z liters or more.
  • ascorbic acid derivatives may be used in small amounts in combination with sulfites as preservatives for dihydroxybenzene developing agents.
  • the ascorbic acid derivative includes ascorbic acid, its stereoisomer, erythorbic acid and its alkali metal salts (sodium and potassium salts), and the like.
  • sodium erythorbate is preferably used in terms of material cost. Better ,.
  • the amount of the ascorbic acid derivative added is preferably in the range of 0.03 to 0.12, particularly preferably in the range of 0.05 to 0.10, with respect to the dihydroxybenzene-based developing agent. It is. When an ascorbic acid derivative is used as the preservative, it is preferable that the developer does not contain a boron compound.
  • additives that can be used in the developer include development inhibitors such as sodium bromide and potassium bromide; organic solvents such as ethylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, and dimethylformamide. ; Development accelerators such as alkanolamines such as diethanolamine and triethanolamine, imidazole or derivatives thereof, mercapto compounds, indazole compounds, benzotriazole compounds, and benzoimidazole compounds are used as anti-capricious agents. Alternatively, it may be included as a black pepper inhibitor.
  • development inhibitors such as sodium bromide and potassium bromide
  • organic solvents such as ethylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, and dimethylformamide.
  • Development accelerators such as alkanolamines such as diethanolamine and triethanolamine, imidazole or derivatives thereof, mercapto compounds, indazole compounds, benzotriazole compounds, and benzoimidazole compounds are used as anti-capricious agents.
  • it may be included as
  • benzoimidazole compound examples include 5--troindazole, 5-p-trobenzoylaminoindazole, 1-methyl-5-troindazole, 6-toluindazole, 3-methyl-5--.
  • the content of these benzoimidazole compounds is usually from 0.01 to LOmmol, more preferably from 0.1 to 2mmol per liter of developer.
  • organic / inorganic chelating agents can be used in combination in the developer.
  • Examples of the inorganic chelating agent that can be used include sodium tetrapolyphosphate and sodium hexametaphosphate.
  • organic chelating agent organic carboxylic acid, aminopolycarboxylic acid, organic phosphonic acid, aminophosphonic acid and organic phosphonocarboxylic acid can be mainly used.
  • organic carboxylic acids examples include acrylic acid, oxalic acid, malonic acid, succinic acid, dartaric acid, adipic acid, pimelic acid, succinic acid, ashellaic acid, sebacic acid, nonanedicarboxylic acid, decandi power norlevonic acid, undecandi power norlevonic acid.
  • Maleic acid, itaconic acid, malic acid, citrate, tartaric acid and the like are not limited thereto.
  • aminopolycarboxylic acid examples include iminoniacetic acid, ditrimethyl triacetic acid, ditrimethyl tripropionic acid, ethylenediamine monohydroxyethyl triacetic acid, ethylenediamintetraacetic acid, glycol ether tetraacetic acid, 1, 2-Diaminopropanetetraacetic acid, diethylenetriaminepentaacetic acid, triethylenetetraminehexaacetic acid, 1,3-diamino-2-propanoltetraacetic acid, glycol etherdiaminetetraacetic acid, and other JP-A-52-25632, 55-67747, 57-
  • JP-A-52-25632 Japanese Patent No. 102624 and Japanese Patent Publication No. 53-40900
  • organic phosphonic acid examples include hydroxyalkylidene-diphosphonic acid described in US Pat. Nos. 3214454 and 3794591, and West German Patent Publication 2227639. 181, Item 18170 ( May 1979), and the like.
  • aminophosphonic acid examples include aminotris (methylenephosphonic acid), ethylenediaminetetramethylenephosphonic acid, aminotrimethylenephosphonic acid and the like.
  • aminotris methylenephosphonic acid
  • ethylenediaminetetramethylenephosphonic acid examples include aminotrimethylenephosphonic acid and the like.
  • organic phosphonocanolevonic acids examples include JP-A 52-102726, 53-42730, 54-121127, 55-4024, 55-4025, 55-126241. Nos. 55-65 955, 55-65956, and the above-mentioned Research Disclosure 1 8170. These chelating agents may be used in the form of alkali metal salts or ammonium salts.
  • the amount of addition of these chelating agents is preferably 1 X 10-4 to 1 per liter of the developer.
  • X 10-1 mol more preferably 1 X 10-3 to 1 X 10-2 mol.
  • JP-A-56-24347, JP-B-56-46585, JP-B-62-2849, and JP-A-4-362942 as silver stain preventing agents in the developer. Can be used. Further, compounds described in JP-A-61-267759 can be used as dissolution aids. Further, the developer may contain a color toning agent, a surfactant, an antifoaming agent, a hardening agent, and the like as necessary.
  • Development temperature and time are interrelated, and total processing time and In general, the development temperature is preferably about 20 ° C to about 50 ° C, more preferably 25 to 45 ° C. The development time is preferably 5 seconds to 2 minutes, more preferably 7 seconds to 1 minute 30 seconds.
  • the development processing in the present invention can include a fixing processing performed for the purpose of removing and stabilizing the silver salt in the unexposed portion.
  • a fixing process technique used for silver salt photographic film, photographic paper, printing plate-making film, photomask emulsion mask and the like can be used.
  • Preferable components of the fixing solution used in the fixing step include the following.
  • the fixing agent for the fixing solution used in the present invention examples include sodium thiosulfate and ammonium thiosulfate, and ammonium thiosulfate is preferred from the viewpoint of fixing speed.
  • Viewpoint power Sodium thiosulfate may be used.
  • the amount of these known fixing agents used can be appropriately changed, and is generally about 0.1 to about 2 mol Z liter. Particularly preferred is 0.2 to 1.5 mol Z liter.
  • the fixer may contain a hardening agent (eg, a water-soluble aluminum compound), a preservative (eg, sulfite, bisulfite), a pH buffer (eg, acetic acid), a pH adjuster (eg, ammonia, sulfuric acid). ), Chelating agents, surfactants, wetting agents, fixing accelerators.
  • surfactant examples include anionic surfactants such as sulfates and sulfones, polyethylene surfactants, and amphoteric surfactants described in JP-A-57-6740. It is done. A known antifoaming agent may be added to the fixing solution.
  • Examples of the wetting agent include alkanolamine and alkylene glycol.
  • Examples of the fixing accelerator include Japanese Patent Publication No. 45-35754 and 58-1 Thiourea derivatives described in JP-A Nos. 22535 and 58-122536; alcohols having a triple bond in the molecule; thioether compounds described in US Pat. No. 4126459; JP-A-4-229860 And the compounds described in JP-A-2-44355 may be used.
  • Examples of the pH buffer include organic acids such as acetic acid, malic acid, succinic acid, tartaric acid, citrate, oxalic acid, maleic acid, glycolic acid and adipic acid, boric acid, phosphate and sulfite.
  • Inorganic buffers such as can be used.
  • the pH buffer acetic acid, tartaric acid, and sulfite are preferably used.
  • the pH buffer is used for the purpose of preventing the pH of the fixing agent from rising due to the introduction of the developer, and is preferably 0.01 to: L 0 mol Z liter, more preferably 0.02 to 0.6. Use about mol Z liters.
  • the pH of the fixing solution is preferably 4.0 to 6.5, and particularly preferably 4.5 to 6.0. Further, it is possible to use a compound described in JP-A-64-4739 as the dye elution accelerator.
  • Examples of the hardener in the fixing solution of the present invention include water-soluble aluminum salts and chromium salts.
  • a preferable compound as the hardener is a water-soluble aluminum salt, and examples thereof include aluminum chloride, aluminum sulfate, potash and vane.
  • the preferred amount of added calories of the above hardener is 0.01 monole to 0.2 monole / lit nore, more preferably 0.03 to 0.08 mol Z liter.
  • the fixing temperature in the fixing step is preferably about 20 ° C to about 50 ° C, more preferably 25 to 45 ° C.
  • the fixing time is preferably 5 seconds to 1 minute, more preferably 7 seconds to 50 seconds.
  • the replenishment amount of the fixing solution is preferably 600 mlZm2 or less, more preferably 500 mlZm2 or less, and particularly preferably 300 mlZm2 or less, relative to the processing amount of the photosensitive material.
  • the photosensitive material that has been subjected to development and fixing processing is preferably subjected to water washing processing and stabilization processing.
  • the water washing amount is usually 20 liters or less per lm2 of the light-sensitive material, and can be carried out with a replenishing amount of 3 liters or less (including 0, ie, water washing). For this reason, not only water-saving treatment can be performed, but also the piping for installing the self-supporting machine can be eliminated.
  • a multi-stage countercurrent system for example, two-stage, three-stage, etc. has been known for a long time.
  • the photosensitive material after fixing is gradually in a normal direction, that is, a fixing solution. Dirty! /, And after contact with the direction of the treatment liquid, it will be treated, so it will be washed more efficiently.
  • a squeeze roller and crossover roller washing tank as described in JP-A-63-18350 and JP-A-62-287252.
  • various oxidizer additions and filter filtration may be combined in order to reduce the pollution load that becomes a problem when washing with small amounts of water.
  • one of the overflows of the washing bath or the stable bathing power produced by replenishing the washing bath or the stable bath with the water subjected to the prevention means according to the treatment As described in JP-A-60-235133, a part or all of them can be used for a processing solution having fixing ability as a previous processing step.
  • water-soluble surfactants and antifoaming agents are added to prevent unevenness of water bubbles, which are likely to occur when washing with a small amount of water, and to prevent the processing agent component adhering to the Z or squeeze roller from being transferred to the processed film. Also good.
  • a dye adsorbent described in JP-A-63-163456 is added to a water washing tank in order to prevent contamination with dyes eluted from the photosensitive material. May be installed.
  • the compounds described in JP-A-2-201357, JP-A-2-132435, JP-A-1102553, and JP-A No. 46-44446 are disclosed. May be used as the final bath of the light-sensitive material.
  • metal compounds such as ammonia compounds, Bi, A1, fluorescent brighteners, various chelating agents, membrane pH regulators, hardeners, bactericides, fungicides, alkanolamines, A surfactant can also be added.
  • Water used in the water washing or stabilization process is sterilized with tap water, deionized water, halogen, UV germicidal lamps, various oxidizing agents (such as ozone, hydrogen peroxide, and chlorate). It is preferred to use fresh water. Further, washing water containing the compounds described in JP-A-4-39 652 and JP-A-5-241309 may be used.
  • the bath temperature and time in the water washing treatment or stable temperature are preferably 0 to 50 ° C. and 5 seconds to 2 minutes.
  • roller transport type processor 1 preferably has four process powers of development, fixing, washing and drying. In the present invention, other processes (for example, stop process) are not excluded, but these four processes are followed. Is most preferred. Further, instead of the water washing process, four processes by a stable process may be used.
  • the component obtained by removing water from the composition of the developer or the fixing solution may be supplied in a solid form and dissolved in a predetermined amount of water for use as a developer or a fixing solution.
  • a form of treating agent is called a solid treating agent.
  • powder, tablet, granule, powder, lump or paste is used as the solid processing agent.
  • a preferred form of the above-mentioned treatment agent is the form or tablet described in JP-A-61-259921.
  • the method for producing the tablets is generally described in, for example, the publications of JP-A-51-61837, JP-A-54-155038, JP-A-52-88025, and British Patent No. 1,213,808. Can be manufactured by simple methods.
  • the granule treating agent is a general method described in JP-A-2-109042, JP-A-2-109043, JP-A-3-3935 and JP-A-3-39739. Can be manufactured. Further, powder processing agents are generally described in, for example, JP-A-54-133332, British Patents 725,892 and 729,862 and German Patent 3,733,861. Can be manufactured in a conventional manner.
  • the bulk density of the solid processing agent is preferably 0.5 to 6.0 gZcm3, particularly preferably 1.0 to 5.0 g / cm3, from the viewpoint of solubility.
  • At least two kinds of mutually reactive particulate materials among the materials constituting the processing agent should be reduced by a material inert to the reactive material.
  • a method may be employed in which reactive substances are placed in layers so as to be separated by one intervening separation layer, a vacuum-packable bag is used as a packaging material, and the bag is evacuated and sealed.
  • inert means that the substances do not react under normal conditions in the package when they are in physical contact with each other, or even if there is any reaction.
  • An inert substance is inert to two mutually reactive substances Alternatively, the two reactive materials need only be inactive in the intended use.
  • an inert substance is a substance that is used simultaneously with two reactive substances.
  • hydroquinone and sodium hydroxide in a developer react when they come into direct contact with each other. Therefore, by using sodium sulfite or the like as a separation layer between hydroquinone and sodium hydroxide in vacuum packaging, Can be stored in a knockout.
  • the packaging material for these vacuum packaging materials is an inert plastic film, a bag made from a laminate of plastic material and metal foil.
  • the mass of the metallic silver contained in the exposed area after the development treatment is preferably 80% by mass or more with respect to the mass of silver contained in the exposed area before the exposure. It is even more preferable that it is at least%. If the mass of silver contained in the exposed part is 50% by mass or more with respect to the mass of V and silver contained in the exposed part before exposure, high conductivity can be obtained.
  • the gradation after development processing in the present invention is not particularly limited, but is preferably more than 4.0.
  • the conductivity of the conductive metal portion can be increased while keeping the transparency of the light transmissive portion high.
  • means for setting the gradation to 4.0 or more include the aforementioned doping of rhodium ions and iridium ions.
  • a metal silver part that has been subjected to physical development and Z or plating treatment is referred to as a “conductive metal part”.
  • “Physical development” in the present invention means that metal particles such as silver ions are reduced with a reducing agent on metal or metal compound nuclei to precipitate metal particles. This physical phenomenon is It is used for instant B & W film, instant slide film, printing plate production, etc., and the technology can be used in the present invention.
  • the physical development may be performed simultaneously with the development processing after exposure or may be performed separately after the development processing.
  • the plating treatment can be performed using electroless plating (chemical reduction plating or substitution plating), electrolytic plating, or both electroless plating and electrolytic plating.
  • electroless plating chemical reduction plating or substitution plating
  • electrolytic plating electrolytic plating
  • electroless plating in the present invention a known electroless plating technique can be used.
  • the electroless plating technique used in a printed wiring board can be used, and the electroless plating is an electroless copper plating. Is preferred to be.
  • Chemical species contained in the electroless copper plating solution include copper sulfate and copper chloride, as a reducing agent, formalin glyoxylic acid, as a copper ligand, EDTA, triethanolamine, etc.
  • additives for improving the smoothness of the coating film include polyethylene glycol, yellow blood salt, and biviridine.
  • Examples of the electrolytic copper plating bath include a copper sulfate bath and a copper pyrophosphate bath.
  • the plating speed at the time of the plating treatment in the present invention can be performed under moderate conditions, and further, high-speed plating of 5 mZhr or more is possible.
  • various additives such as a ligand such as EDTA can be used from the viewpoint of improving the stability of the plating solution.
  • the metallic silver portion after the development treatment and the conductive metal portion formed by physical development and Z or plating treatment it is preferable to subject the metallic silver portion after the development treatment and the conductive metal portion formed by physical development and Z or plating treatment to oxidation treatment.
  • oxidation treatment for example, when a metal is slightly deposited on the light transmitting portion, the metal can be removed, and the light transmitting portion can be made almost 100% transparent.
  • the oxidation treatment examples include known methods using various oxidizing agents such as Fe (III) ion treatment. As described above, the oxidation treatment can be performed after the emulsion layer exposure and development processing, or after the physical development or plating treatment, and further after the development processing and after the physical development or plating treatment. ⁇ .
  • the metallic silver portion after the exposure and development treatment is further treated with a solution containing Pd.
  • Pd can be divalent palladium ion or metallic palladium! /. This treatment can accelerate electroless plating or physical development speed.
  • a triangle such as an equilateral triangle, an isosceles triangle, a right triangle, a square, a rectangle, a rhombus, a parallelogram, a trapezoid, and the like
  • geometric shapes that combine (positive) n-gons such as (regular) hexagons and (positive) octagons, circles, ellipses, and star shapes. More preferred to be.
  • the triangular shape is the most effective, but if the line width of the visible light is the same (positive), the larger the n number of n-squares, the higher the aperture ratio increases and the visible light transmission Is advantageous. From the standpoint of preventing moiré, it is also preferable to arrange these geometric patterns randomly or change the line width without periodicity.
  • the shape of the said electroconductive metal part is not specifically limited, Arbitrary shapes can be suitably determined according to the objective.
  • the width of the fine line of the conductive metal portion made of developed silver is 30 ⁇ m or more, strip-like image unevenness is likely to occur when combined with the PDP module, and 1 ⁇ m Below m, the conductivity required to shield electromagnetic waves cannot be obtained. These required powers In the present invention, it is preferable that the width of the fine line of the conductive metal portion made of developed silver is 1 to 30 ⁇ m, more preferably 5 to 25 ⁇ m, and most preferably 10 to 20 ⁇ m. is there.
  • the line width of the conductive metal part must be 1 ⁇ m or more and 40 ⁇ m or less, preferably 5 ⁇ m or more and 30 ⁇ m or less, most preferably 10 ⁇ m. m or more and 25 ⁇ m or less.
  • the line spacing is preferably 50 ⁇ m or more and 500 ⁇ m or less, more preferably 200 ⁇ m or more and 400 ⁇ m or less, and most preferably 250 ⁇ m or more and 350 ⁇ m or less.
  • the conductive metal part may have a part with a line width wider than 20 ⁇ m for purposes such as ground connection.
  • the conductive metal portion in the present invention preferably has an aperture ratio of 85% or more, more preferably 90% or more, and even more preferably 95% or more. Is most preferred.
  • the aperture ratio is the percentage of the mesh without fine lines. For example, the aperture ratio of a square grid mesh with a line width of 15 ⁇ m and a pitch of 300 ⁇ m is 90%.
  • the “light transmitting part” in the present invention means a part having transparency other than the conductive metal part in the light transmitting electromagnetic wave shielding film.
  • the transmittance of the light transmissive portion is 90% or more, preferably the transmittance indicated by the minimum value of the transmittance in the wavelength region of 380 to 780 nm excluding the contribution of light absorption and reflection of the support. Is 95% or more, more preferably 97% or more, even more preferably 98% or more, and most preferably 99% or more.
  • the mesh pattern in the present invention needs to be continuous for 3 m or more.
  • the number of continuous rolls is large, the roll diameter will increase when the roll is formed, the roll will become heavy, the pressure at the center of the roll will become stronger, causing problems such as adhesion and deformation, and cheaper. It is preferable that it is 2000 m or less. Preferably it is 100m or more and 1000m or less. More preferably, it is 200m or more and 800m or less. Most preferably, it is 300m or more and 500m or less.
  • the thickness of the support is preferably 200 ⁇ m or less. More preferably, it is 20 ⁇ m or more and 180 ⁇ m or less. Most preferably, it is 50 ⁇ m or more and 120 ⁇ m or less.
  • One of the objects of the present invention is to provide an electromagnetic shielding material that improves the efficiency during continuous production, but the continuous production in the present invention means that a single roll of electromagnetic shielding material is used to form multiple sheets. It is to produce optical filters.
  • the optical filter can have various sizes corresponding to the size of the module to be combined.
  • the width is preferably 2 cm or more, more preferably 50 cm to 150 cm in order to correspond to a 37 inch to 110 inch PDP module. From the viewpoint of the efficiency of continuous production, the longer the length of the electromagnetic shielding material for one roll, the better.
  • the length per roll is preferably 3m to 2000m, preferably 100m. To 1000m is even better!
  • the intersecting pattern of straight thin lines in which the meshes are substantially parallel means a so-called lattice pattern, and adjacent straight lines constituting the lattice are parallel or parallel ⁇ 2 The case within °.
  • a scanning method of the light beam a method of exposing with a linear light source or a rotating polygon mirror arranged in a direction substantially perpendicular to the transport direction is preferable.
  • intensity modulation of two or more values including a state where the light beam is substantially zero, and the straight line is patterned as a series of dots. Since the dots are continuous, the edge of the fine line of one dot is stepped, but the thickness of the fine line means the narrowest length of the constricted part.
  • the light beam As another method of scanning the light beam, it is also preferable to scan a beam whose scanning direction is inclined with respect to the carrying direction in accordance with the inclination of the grating pattern. In this case, it is preferable to arrange the two scanning light beams so as to be orthogonal to each other.
  • the light beam has a substantially single intensity on the exposed surface.
  • the mesh pattern is preferably inclined at 30 ° to 60 ° with respect to the transport direction. More preferably, it is 40 ° to 50 °, and most preferably 43 ° to 47 °. This is because it is generally difficult to create a mask whose mesh pattern has an inclination of about 45 ° with respect to the frame. Since unevenness does not easily occur in the vicinity of 45 °, the effect of the present invention is more remarkable for patterning by screen printing using photolithography using a mask contact exposure method.
  • the thickness of the support in the translucent electromagnetic wave shielding film of the present invention is more preferably 30 to 150 m, preferably 5 to 200 m. If it is in the range of 5 to 200 m, the desired visible light transmittance can be obtained, and handling can be easily performed.
  • the thickness of the metallic silver portion provided on the support before physical development and Z or plating treatment is appropriately determined according to the coating thickness of the silver salt-containing layer coating applied on the support. I can do it.
  • the thickness of the metallic silver part is preferably 30 ⁇ m or less, more preferably 20 ⁇ m or less, and even more preferably 0.01 to 9 / ⁇ ⁇ . Most preferred is ⁇ 5 m.
  • a metal silver part is pattern shape.
  • the metallic silver part may be a single layer or a multilayer structure of two or more layers. When the metallic silver part is patterned and has a multilayer structure of two or more layers, it gives different color sensitivity so that it can be exposed to different wavelengths. be able to. As a result, different exposure patterns can be formed in each layer when the exposure wavelength is changed.
  • the translucent electromagnetic wave shielding film including the patterned metal silver portion having the multilayer structure formed as described above can be used as a high-density printed wiring board.
  • the thickness of the conductive metal portion the thinner the display, the wider the viewing angle of the display is.
  • the thickness of the layer having the conductive metal force carried on the conductive metal part is preferably less than 9 m, more preferably 0.1 ⁇ m or more and less than 5 ⁇ m. It is more preferably 0.1 m or more and less than 3 ⁇ m.
  • a metallic silver portion having a desired thickness is formed by controlling the coating thickness of the above-described silver salt-containing layer, and the thickness of the layer made of conductive metal particles can be freely controlled by physical development and Z or plating treatment. Therefore, even a translucent electromagnetic shielding film having a thickness of less than 5 ⁇ m, preferably less than 3 ⁇ m, can be easily formed.
  • the present invention supports a pattern containing a necessary amount of conductive metal. Since it can be provided on the body, it is sufficient to use only the minimum amount of metal, which is advantageous in terms of both reducing manufacturing costs and reducing the amount of metal waste.
  • the electromagnetic wave shielding film according to the present invention is an adhesive layer when incorporated in an optical filter, a liquid crystal display panel, a plasma display panel, another image display grat panel, or an imaging semiconductor integrated circuit represented by a CCD. It is joined via.
  • the refractive index of the adhesive in the adhesive layer is 1.40 ⁇ : It is preferable to use the one of L 70 V ,. This is the relationship between the transparent base material such as a plastic film used in the present invention and the refractive index of the adhesive, so that the difference is reduced to prevent the visible light transmittance from being lowered. 40-1.70 is good with little decrease in visible light transmittance.
  • the adhesive is preferably an adhesive that flows by heating or pressurization. It is preferable that the adhesive exhibits fluidity when heated at 200 ° C. or lower or pressurized at 1 KgfZcm 2 or higher.
  • the electromagnetic wave shielding film according to the present invention in which the conductive layer is embedded in the adhesive layer is allowed to flow and adhere to the display or the plastic plate as the adherend. can do. Since it can flow, it can be easily adhered to an adherend having a curved surface or a complicated shape by laminating or pressure forming, particularly pressure forming, an electromagnetic shielding film on the adherend.
  • the softening temperature of the adhesive is preferably 200 ° C. or lower.
  • the softening temperature of the adhesive layer is most preferably 80 to 120 ° C. because the working environment is usually less than 80 ° C., and the softness temperature of the adhesive layer is preferably 80 ° C. or more.
  • the softening temperature is the temperature at which the viscosity is 1012 boise or less. Usually, at that temperature, flow is observed within a time of 1 to LO seconds.
  • thermoplastic resins Typical examples of the adhesive that flows by heating or pressurization as described above are mainly the following thermoplastic resins.
  • polyisoprene 1.521
  • polybutene 1.513
  • epoxy acrylate ( ⁇ 1.
  • urethane acrylate, epoxy acrylate, and polyether acrylate are excellent in terms of adhesiveness.
  • epoxy acrylate include 1,6 hexanediol diglycidyl ether, neopentyl glycol diglycidyl ether, allylic alcohol.
  • the softening temperature of the polymer used as the adhesive is preferably 200 ° C. or less, and more preferably 150 ° C. or less from the viewpoint of handleability. Since the environment in which the electromagnetic shielding film is used is usually 80 ° C or lower, the softening temperature of the adhesive layer is most preferably 80 to 120 ° C in view of processability. On the other hand, it is preferable to use a polymer having a weight average molecular weight (measured using a standard polystyrene calibration curve obtained by gel permeation chromatography, the same applies hereinafter) having a molecular weight of 500 or more. When the molecular weight is 500 or less, the cohesive force of the adhesive composition is too low, and the adhesion to the adherend may be reduced.
  • the adhesive used in the present invention may contain additives such as a diluent, a plasticizer, an antioxidant, a filler, a colorant, an ultraviolet absorber and a tackifier as necessary.
  • the thickness of the adhesive layer is preferably 10 to 80 ⁇ m, more preferably 20 to 50 ⁇ m, more than the thickness of the conductive layer.
  • the adhesive that covers the geometric figure has a difference in refractive index of 0 from the transparent plastic substrate. 14 or less.
  • the difference in refractive index between the adhesive layer and the adhesive covering the geometric figure is 0.14 or less. This is because if the refractive index of the transparent plastic substrate and the adhesive or the refractive index of the adhesive and the adhesive layer are different, the visible light transmittance is lowered, and if the difference in refractive index is 0.14 or less, it is visible. The decrease in light transmittance is small and good.
  • polyisoprene 1.521
  • polybutene 1.5125
  • poly-2-heptile 1,3-butadiene
  • poly-1,3-butadiene (n l.
  • the transparent plastic substrate is an acrylic resin
  • epoxy acrylate, urea acrylate, polyether acrylate, polyester acrylate and the like can also be used as the copolymer resin of acrylic resin and non-acrylic resin.
  • Epoxy acrylate and polyether acrylate are particularly excellent in terms of adhesiveness.
  • Examples of epoxy acrylate include 1,6 hexanediol diglycidyl ether, neopentyl glycol diglycidyl ether, and aryl alcohol diglycidyl ether.
  • Epoxy acrylate is effective in improving adhesion because it has a hydroxyl group in the molecule, and these copolymerized resins can be used in combination of two or more as required.
  • the weight average molecular weight of the polymer that is the main component of the adhesive is 1,000 or more. When the molecular weight is 1,000 or less, the cohesive force of the composition is too low, and the adhesion to the adherend is reduced.
  • Adhesive curing agents include amines such as triethylenetetramine, xylenediamine, diaminodimethane, phthalic anhydride, maleic anhydride, dodecyl succinic anhydride, anhydrous pyromellitic acid, and benzophenone tetracarboxylic anhydride.
  • Acid anhydrides such as acids, diaminodiphenyl sulfone, tris (dimethylaminomethyl) phenol, polyamide resin, dicyandiamide, ethylmethylimidazole and the like can be used. These may be used alone or in combination of two or more.
  • the addition amount of these crosslinking agents is selected in the range of 0.1 to 50 parts by weight, preferably 1 to 30 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the polymer. If the amount added is less than 0.1 parts by weight, curing may be insufficient, and if it exceeds 50 parts by weight, excessive crosslinking may occur, which may adversely affect adhesion.
  • the adhesive resin composition used in the present invention may contain additives such as diluents, plasticizers, antioxidants, fillers and tackifiers, as necessary. Then, the resin composition of this adhesive is used to cover a part or the entire surface of the base material of the constituent material provided with a geometric figure drawn with a conductive material on the surface of the transparent plastic base material.
  • the adhesive film according to the present invention is formed after coating, solvent drying, and heat curing.
  • the adhesive film having electromagnetic shielding properties and transparency obtained as described above can be directly attached to a display such as CRT, PDP, liquid crystal, and EL with an adhesive of the adhesive film, or an acrylic plate, a glass plate, etc. Affixed to a plate or sheet for use as a display.
  • this adhesive film is used in the same manner as described above for windows and casings for looking inside measuring devices, measuring devices and manufacturing devices that generate electromagnetic waves.
  • it will be installed on the windows of buildings and automobile windows where there is a risk of electromagnetic interference from radio towers and high voltage lines. It is preferable to provide a ground wire on the geometrical figure drawn with the conductive material.
  • the portion of the transparent plastic substrate from which the conductive material has been removed is intentionally uneven to improve adhesion, or the surface of the transparent plastic substrate is used to transfer the back surface shape of the conductive material. Light is scattered on the surface and the transparency is impaired. However, if a resin with a refractive index close to that of the transparent plastic base material is smoothly applied to the uneven surface, irregular reflection is minimized and transparency appears. It's a little bit. Furthermore, geometric figures drawn with a conductive material on a transparent plastic substrate cannot be seen with the naked eye because the line width is very small. In addition, the pitch is sufficiently large so that it appears to be transparent. On the other hand, since the pitch of the geometric figure is sufficiently small compared to the wavelength of the electromagnetic wave to be shielded, it is considered that excellent shielding properties are exhibited.
  • a laminate of a transparent base film and a metal foil is used as a transparent base film as a highly heat-fusible ethylene vinyl acetate copolymer resin, or
  • a film of heat-fusible resin such as ionomer resin
  • Lamination is performed by a dry laminating method using an agent layer.
  • the adhesive layer examples include adhesives such as acrylic resin, polyester resin, polyurethane resin, polyvinyl alcohol resin, chlorinated butyl Z-acetate copolymer resin, or ethylene acetate butyl copolymer resin.
  • thermosetting resins can also be used such as ionizing radiation curable resins (such as ultraviolet curable resins and electron beam curable resins).
  • the surface of the display is made of glass, so the adhesive is used to attach the transparent plastic film and the glass plate, and bubbles may be formed or peeled off on the adhesive surface. Problems occur such as the image being distorted and the display color appearing different from the original display. In any case, the problem of bubbles and peeling occurs when the adhesive peels off from the plastic film or glass plate. This phenomenon may occur on both the plastic film side and the glass plate side, and peeling occurs on the side with weaker adhesion. Therefore, it is necessary that the adhesive force between the pressure-sensitive adhesive and the plastic film or glass plate is high. Specifically, the adhesive strength between the transparent plastic film or glass plate and the adhesive layer is preferably at least 1OgZcm at 80 ° C! /.
  • an adhesive that exceeds 2000 gZcm may not be preferable because it makes the bonding work difficult. However, it can be used without problems if no significant problems occur. Furthermore, it is also possible to install a paper (separator) so that the part does not unnecessarily come into contact with other parts when facing the transparent plastic film of the adhesive.
  • the adhesive is preferably transparent. Specifically, the total light transmittance is preferably 70% or more, more preferably 80% or more, and most preferably 85 to 92%. Furthermore, it is preferable that the temperature is low. Specifically, 0 to 3% is preferable, and 0 to 1.5% is more preferable.
  • the pressure-sensitive adhesive used in the present invention is preferably colorless so as not to change the original display color of the display. However, even if the resin itself is colored, it can be regarded as substantially colorless if the pressure-sensitive adhesive is thin. Similarly, this is not the case when intentionally coloring as described later.
  • Examples of the pressure-sensitive adhesive having the above-described properties include acrylic resin, a 1-year-old refin resin, vinyl acetate resin, acrylic copolymer resin, urethane resin, epoxy resin, Vinyl chloride-redene resin, salt vinyl resin, ethylene butyl acetate resin, poly Examples include amide-based and polyester-based resins. Of these, acrylic resin is preferred. Even when the same coagulant is used, the pressure-sensitive adhesive properties can be reduced by reducing the addition amount of the cross-linking agent, adding a tackifier, or changing the molecular end groups when the pressure-sensitive adhesive is synthesized by the polymerization method. It is also possible to improve.
  • the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer is preferably about 5 to 50 ⁇ m.
  • the thickness is preferably reduced within the above range. Specifically, it is about 1-20 / ⁇ ⁇ . However, if the display color of the display itself is not changed as described above and the transparency is within the above range, the thickness may exceed the above range.
  • the permeable electromagnetic shielding film according to the present invention can be provided with a peelable protective film.
  • the protective film does not necessarily have to be provided on both sides of the electromagnetic wave shielding sheet 1 (transparent electromagnetic wave shielding film), as shown in FIG. 2 (a) of JP-A-2003-188576.
  • the protective film 20 is only provided on the mesh-like metal foil 11 ′ of the body 10 and may not be provided on the transparent substrate film 14 side.
  • the protective film 30 is only provided on the transparent substrate film 14 side of the laminate 10 and may not be provided on the metal foil 11 ′.
  • the parts denoted by the same reference numerals indicate the same parts.
  • the transparent base film 14 in the electromagnetic wave shielding sheet 1 and the transparent electromagnetic wave shielding layer made of the mesh-like metal foil 11 'in which the apertures are closely arranged are laminated at least.
  • the layer structure of the laminate and the manufacturing process of the laminate will be described with reference to FIGS. 3 (a) to 3 (f) of the above publication.
  • the lamination of the protective film 20 or Z and the protective film 30 after the explanation of the manufacturing process of the laminate, explain.
  • a laminate is prepared in which a transparent base film 14 and a metal foil 11 are laminated via an adhesive layer 13.
  • the transparent substrate film 14 may be acrylic resin, polycarbonate resin, polypropylene resin, polyethylene resin, polystyrene resin, polyester resin, cellulosic resin, polysulfone resin, or polysalt resin.
  • a film such as rosin can be used.
  • a polyester resin film such as polyethylene terephthalate resin having excellent mechanical strength and high transparency is preferably used.
  • the thickness of the transparent substrate film 14 is not particularly limited, but is preferably about 50 ⁇ m to 200 ⁇ m from the viewpoint of mechanical strength and increasing resistance to bending, and the thickness is further increased.
  • the thickness is not necessarily larger than this range.
  • the transparent substrate film 14 may be subjected to a corona discharge treatment on one or both surfaces, or an easy adhesion layer may be provided.
  • the electromagnetic wave shielding sheet 1 is formed on the front and back of the laminate obtained by laminating the above laminate on one substrate via an infrared cut filter, etc. Since the sheets with the effects of reinforcing the outermost surface, imparting antireflection properties and imparting antifouling properties are used in layers, the above protective film must be peeled off during such further lamination. For this reason, it is desirable that the protective film is laminated on the metal foil side so that it can be peeled off.
  • the peel strength is preferably 5mNZ25mm width to 5NZ25mm width, more preferably 10mNZ25mm width to 100mNZ25mm width. If it is less than the lower limit, peeling is too easy and the protective film may be peeled off during handling or inadvertent contact. If the upper limit is exceeded, a large force is required for peeling.
  • the mesh-like metal foil may peel off from the transparent base film (or from the adhesive layer), which is also not preferable.
  • a laminate in which a mesh-like metal foil is laminated on the transparent substrate film 14 with the adhesive layer 13 interposed therebetween may be accompanied by a black glazed layer.
  • Lower surface side, that is, the protective film laminated on the transparent substrate film side has the lower surface of the transparent substrate film
  • this protective film also needs to be peeled off when the laminate is further laminated, so that the lamination of the protective film on the transparent substrate film side can also be peeled off.
  • the peel strength that is desired to be performed is preferably 5 mN / 25 mm width to 5 NZ25 mm width, more preferably 10 mNZ25 mm width to 10 OmNZ25 mm width, as with the protective film. If it is less than the lower limit, peeling is too easy and the protective film may be peeled off during handling or inadvertent contact, and if it exceeds the upper limit, a large force is required for peeling.
  • the protective film laminated on the transparent substrate film side can withstand the etching conditions, for example, it should not be eroded during immersion for several minutes by an etching solution of about 50 ° C, particularly its alkaline component. It is desirable or in the case of dry etching, it should be able to withstand a temperature condition of about 100 ° C.
  • the coating liquid adheres to the opposite surface of the laminated body, so that the photosensitive solution is etched during the etching process. It is preferable that the adhesive of the photosensitive resin is obtained so that the photosensitive resin does not peel off and drift in the etching solution.
  • the etching solution iron chloride, copper chloride, etc. It is preferable to have durability that resists contamination by the etching solution, or that resists erosion or contamination by a resist removal solution such as an alkaline solution.
  • polyethylene resin which is a polyolefin resin, polypropylene resin, polyester resin such as polyethylene terephthalate resin
  • a resin film such as polycarbonate resin or acrylic resin.
  • at least the surface of the protective film that is the outermost surface when applied to the laminate is corona. It is preferable to perform a discharge treatment or to laminate an easy adhesion layer.
  • the pressure-sensitive adhesive constituting the protective film acrylic acid ester-based, rubber-based, or silicone-based adhesives can be used.
  • the above-mentioned protective film film material and adhesive material can also be applied as they are to the protective film applied to the metal foil side. Therefore, different protective films may be used. Although it is good, the same thing can be used as both protective films.
  • the metal foil has an anti-bacterial effect because it has a black-colored layer (black-colored layer) on the transparent base film side.
  • the black soot layer can be formed by, for example, Co—Cu alloy plating, and can prevent reflection of the surface of the metal foil 11.
  • a chromate treatment may also be applied as an antifouling treatment, which is immersed in a solution containing chromic acid or dichromate as a main component and dried to form an antifouling coating. Depending on the strength, the force can be applied to one or both sides of the metal foil.
  • blackening may be performed.
  • the formation of the black glazing layer is carried out by forming a photosensitive resin layer, which will be described later, using a composition colored in black, and after etching is completed, the resist layer is not removed. It can also be formed by being left on the surface, or by a plating method which gives a black film.
  • the blackening layer constituting the blackening layer 3b and the like can be formed by appropriately selecting and using it based on the concept described below.
  • the method of forming the first blackened layer 3a, the second blackened layer 3b, the materials used, and the like are different by adopting any one of the methods described above. That is, in the present invention, in order to form the conductive pattern P on the first black layer 3a, the second black layer 3b, etc. by the metal plating method, metal plating is possible. A conductive black layer is required, and when black is formed in the final process by etching or electrodeposition, a non-conductive material is used. Thus, a non-conductive black layer can be formed. In general, the conductive black layer can be formed using a conductive metal compound, for example, a compound such as nickel (Ni), zinc (Zn), copper (Cu), etc.
  • a conductive metal compound for example, a compound such as nickel (Ni), zinc (Zn), copper (Cu), etc.
  • the blackish black layer is a paste-like black polymer material, for example, black ink, or a black chemical conversion material, for example, a black compound formed by chemical conversion of the metal plating surface. It can be formed using an electrodepositable ionic polymer material such as an electrodeposition coating material.
  • an appropriate method is selected according to the manufacturing process in the manufacturing method of the electromagnetic wave shielding plate, and the blackening layer is formed by adopting it. be able to.
  • the surface of the conductive pattern is preferably a surface opposite to the PDP module of the conductive metal portion, that is, a surface visible from the side where the PDP is observed as a television or the like.
  • the conductive non-turn surface is preferably black in order to improve the contrast at the time of observation, and the contrast is improved by making 20% or more of the conductive pattern surface area black.
  • 20% or more means a small area force such that the black portion cannot be visually recognized, and the total area of the small areas is 20% or more of the surface area of the conductive pattern.
  • 50% or more of the conductive pattern surface is black.
  • 80% or more is black.
  • FIG. 5 of Japanese Patent Laid-Open No. 11-266095 an insulating property that inhibits electrodeposition on a conductive substrate 11 such as a metal plate produced as described above.
  • An electrodeposition substrate 14 having a mesh-like resist pattern 12 composed of a film is first immersed in an electrolytic solution such as black copper, black nickel, etc., and is known by a known electrochemical plating method. As a result, a blackened copper layer or a black nickel layer is formed to form a second black layer 3b having a mesh shape.
  • black plating bath a black plating bath mainly composed of nickel sulfate can be used, and a commercially available black plating bath can also be used in the same manner.
  • black plating bath manufactured by Shimizu Corporation (trade name, Nobroy SNC, Sn—Ni alloy series)
  • black plating bath manufactured by Nihon Eigaku Sangyo Co., Ltd. (trade name, Nikka Black, Sn—Ni alloy) Black metal bath (trade name, Evo-Chromium 85 series, Cr series) manufactured by Metal Chemical Industry Co., Ltd.
  • Black metal bath trade name, Evo-Chromium 85 series, Cr series
  • the black message Various black plating baths such as Zn series, Cu series and others can be used as the bath.
  • the electrodeposition substrate 14 provided with the second blackening layer 3b is immersed in an electrolytic solution of a metal for shielding electromagnetic waves. Then, a conductive mesh pattern 4 having a desired thickness is laminated and electrodeposited at a position corresponding to the second black layer 3b of the electrodeposition substrate 14.
  • the metal as the above-mentioned good conductive substance can be used as the most advantageous material.
  • a general-purpose metal electrolyte can be used, so there are many types of inexpensive metal electrolytes, and selection suitable for the purpose can be made.
  • the mesh-like conductive pattern 4 need not be composed of only a single metal layer.
  • the mesh-like conductive pattern made of Cu in the above example is not necessary. Since P is relatively soft and easily damaged, it can be a two-layer metal electrodeposition layer using a general-purpose hard metal such as Ni or Cr as a protective layer.
  • the surface of the mesh-like conductive pattern 4 is formed.
  • the conductive pattern P has a copper (Cu) force
  • it is treated with a hydrogen sulfide (H2 S) solution
  • the surface of the copper is blackened as copper sulfide (CuS).
  • the surface of the metal electrodeposition layer constituting the mesh-like conductive pattern 4 is blackened to form the first blackened layer 3a, and the second blackened layer 3b described above is formed.
  • the conductive pattern layer P is formed by sequentially superposing the conductive pattern layer 4 and the first black layer 3a in this order.
  • the above-described blackening agent for the copper surface can be easily manufactured using a sulfur-based compound or a sulfur-based compound, and commercially available products can also be used in various types of treatments.
  • brand name ⁇ Copa Black CuO, CuS, selenium-based Copa Black No. 65 (made by Isolate Chemical Laboratory), trade name 'Ebonol C Special (Meltex Co., Ltd.) ) Etc.
  • the etching resist pattern 35 may be removed or may be left.
  • the etching resist pattern 35 After removing the etching resist pattern 35, the surface of the remaining conductive metal layer 33 can be blackened. Therefore, for the above blackening treatment, for example, a known blackening treatment method such as a plating method such as black copper (Cu) or black nickel (Ni) or a chemical blackening treatment method is used. It can be carried out.
  • the optical filter according to the present invention can have a functional film including a composite functional layer in addition to the above-described translucent electromagnetic wave shielding film.
  • the functional film (C) is anti-reflective (AR: anti-reflection) to suppress external light reflection or mirror image. It is necessary to have a function of anti-glare (AG: anti-glare) or anti-reflection / anti-glare (ARAG) having both characteristics to prevent the reflection of the image.
  • AR anti-reflective
  • AG anti-glare
  • AOG anti-reflection / anti-glare
  • the functional film (C) having antireflective properties has an antireflective coating, specifically, a fluorine having a refractive index of 1.5 or less, preferably 1.4 or less in the visible region.
  • There are two or more layers of thin films of inorganic compounds such as halides, nitrides and sulfates, or organic compounds such as silicon-based resins, acrylic resins, and fluorine-based resins. It's not a thing!
  • the visible light reflectance of the surface of the functional film (C) having antireflection properties is 2% or less, preferably 1.3% or less, and more preferably 0.8% or less.
  • the anti-glare functional film (C) has an anti-glare film that is transparent to visible light having a surface state of minute irregularities of about 0.1 m to: LO m. .
  • An ink prepared by dispersing particles of an inorganic compound or an organic compound such as a silicon compound, melamine, or talyl is applied onto a substrate and cured. The average particle size of the particles is 1-40 / ⁇ ⁇ .
  • thermosetting Antiglare properties can also be obtained by applying a mold or a photocurable resin to a substrate and pressing and curing a mold having a desired daros value or surface state, but the method is not necessarily limited to these methods. is not.
  • the haze of the anti-glare functional film (C) is 0.5% or more and 20% or less, preferably 1% or more and 10% or less. If the haze is too small, the antiglare property is insufficient, and if the haze is too large, the transmitted image definition tends to be low.
  • the functional film (C) has a hard coat property.
  • the hard coat film include thermosetting or photocurable resin such as acrylic resin, silicon resin, melamine resin, urethane resin, alkyd resin, and fluorine resin. The type and formation method are not particularly limited. The thickness of these films is about 1-50 / ⁇ ⁇ .
  • the pencil hardness according to JIS ( ⁇ -5400) is at least ⁇ , preferably 2 ⁇ , and more preferably 3 ⁇ or more.
  • the optical filter may need to be subjected to antistatic treatment because dust may adhere to it due to electrostatic charging, or may be discharged and receive an electric shock when the human body comes into contact with it. Therefore, the functional film (C) may have conductivity in order to impart antistatic ability. In this case, the required electrical conductivity is 1011 ⁇ or less in terms of surface resistance.
  • the method for imparting conductivity include a method for containing an antistatic agent in the film and a method for forming a conductive layer.
  • Specific examples of the antistatic agent include the trade name Pelestat (manufactured by Sanyo Kasei Co., Ltd.), the trade name Electroslipper (manufactured by Kao Corporation), and the like.
  • the conductive layer examples include known transparent conductive films such as soot and conductive films in which conductive ultrafine particles such as soot ultrafine particles and oxide tin ultrafine particles are dispersed. It is preferable that the hard coat film, the antireflection film, and the string protection film have a conductive film or conductive fine particles.
  • the functional film (C) has an antifouling property! /, Since it can be easily removed when it is smudged or smudged.
  • antifouling property it has non-wetting property against water and soot or oil and fat, for example, fluorine compound And silicon compounds.
  • fluorine-based antifouling agent include trade name OPTOOL (manufactured by Daikin) and the like, and examples of the key compound include trade name Takata Quantum (manufactured by Nippon Oil & Fats Co., Ltd.).
  • the functional film (C) preferably has an ultraviolet cut property for the purpose of preventing deterioration of a dye or a polymer film described later.
  • Examples of the functional film (C 2) having an ultraviolet cut property include a method of adding an ultraviolet absorbent to the polymer film described later and an ultraviolet absorbing film.
  • the functional film (C) has gas barrier properties because water may aggregate on the interface and become cloudy, or the tackifier in the adhesive may phase separate and precipitate due to the influence of moisture. It is preferable. In order to prevent such pigment deterioration and fogging, it is essential to prevent moisture from entering the pigment-containing layer and the adhesive layer, and the water vapor permeability of the functional film (C) is 10 gZm2 It is suitable that it is not more than day, preferably not more than 5 gZm2 ⁇ day.
  • the polymer film (A), the conductive mesh layer (B), the functional film (C) and, if necessary, the transparent molded product (E) described later are visible light rays. Bonded via any transparent and adhesive material (Dl) (D2). Adhesive or adhesive (Dl),
  • (D2) examples include acrylic adhesives, silicone adhesives, urethane adhesives, polyvinyl butyral adhesives (PVB), ethylene vinyl acetate adhesives (EVA), etc.
  • -Luether, saturated amorphous polyester, melamine rosin, etc. may be used, so long as they have practical adhesive strength, they can be in sheet form or liquid form!
  • a sheet-like pressure sensitive adhesive can be suitably used. Bonding is performed by laminating each member after application of the adhesive sheet or after application of the adhesive. Liquid is an adhesive that cures when left at room temperature or heated after application and bonding.
  • the coating method is selected in consideration of the type of adhesive, viscosity, coating amount, etc., which include the no coat method, reverse coat method, gravure coat method, die coat method and roll coat method. Layer thickness is special Although not limited to 0.5 to 50 ⁇ m, preferably 1 to 30 ⁇ m.
  • the surface on which the pressure-sensitive adhesive layer is formed and the surface to be bonded are previously improved in wettability by an easy adhesion treatment such as an easy adhesion coat or corona discharge treatment.
  • an easy adhesion treatment such as an easy adhesion coat or corona discharge treatment.
  • the above-mentioned adhesive or adhesive transparent to visible light is referred to as a translucent adhesive.
  • the light-transmitting pressure-sensitive adhesive layer (D1) is particularly used.
  • Specific examples of the translucent adhesive used for the translucent adhesive layer (D1) are the same as described above, but it is important that the thickness of the conductive mesh layer (B) can be sufficiently embedded. is there. If the thickness of the conductive mesh layer (B) is too thin, a gap will be formed due to insufficient embedding, and bubbles will be swallowed into the recesses, resulting in a turbid display filter with insufficient translucency. On the other hand, if it is too thick, problems such as an increase in the cost of producing an adhesive material and poor handling of the members occur.
  • the thickness of the translucent adhesive material (D1) is preferably (d ⁇ 2) to (d + 30) ⁇ m.
  • the visible light transmittance of the optical filter is preferably 30 to 85%. More preferably, it is 35 to 70%. If it is less than 30%, the luminance is too low and visibility is deteriorated. Also, if the visible light transmittance of the display filter is too high, the display contrast cannot be improved.
  • the visible light transmittance in the present invention is calculated according to JIS (R-3106) from the wavelength dependence of the transmittance in the visible light region.
  • the functional film (C) is bonded onto the conductive mesh layer (B) through the translucent adhesive layer (D1), air bubbles are swallowed into the recesses, making it cloudy and translucent.
  • a pressure treatment is performed, the gas that has entered between the members at the time of bonding is defoamed or dissolved in an adhesive material to eliminate turbidity and improve translucency. be able to.
  • the pressurizing treatment may be performed in the state of (C) / (Dl) / (B) / (A) or in the state of the display filter of the present invention.
  • Examples of the pressurizing method include a method in which a laminate is sandwiched between flat plates, a press method, a method in which a press roll is passed while pressurizing, and a method in which pressurization is performed in a pressurizing container, but is not particularly limited.
  • the method of pressurizing in a pressurized container applies uniform pressure to the entire laminate. There is no unevenness in pressurization, and more than one laminate can be processed at a time, which is preferable.
  • An autoclave device can be used as the pressurized container.
  • the pressure is about 0.2 MPa to 2 MPa, preferably 0.4 to 1.3 MPa.
  • the caloric pressure time varies depending on the caloric pressure condition and is not particularly limited. However, if it is too long, the processing time is increased and the cost is increased. Therefore, the holding time must be 6 hours or less under appropriate pressure conditions. Is preferred. In particular, in the case of a pressurized container, it is preferable to hold for about 10 minutes to 3 hours after reaching the set pressure.
  • the fluidity of the translucent adhesive is temporarily increased, making it easy to degas bubbles that have been squeezed, and the bubbles are more likely to dissolve in the adhesive.
  • the heating condition is about room temperature to about 80 ° C. depending on the heat resistance of each member constituting the optical filter, but is not particularly limited.
  • the pressurizing process or the pressurizing and heating process is preferable because it can improve the adhesion after bonding between the components constituting the optical filter.
  • the translucent adhesive layer (D2) is provided on the other main surface of the polymer film (A) where the conductive mesh layer (B) is not formed.
  • Specific examples of the translucent adhesive used for the translucent adhesive layer (D2) are as described above, and are not particularly limited.
  • the thickness is not particularly limited, but is 0.5 m to 50 ⁇ m, preferably 1 ⁇ m to 30 ⁇ m. It is preferable that the surface on which the light-transmitting pressure-sensitive adhesive layer (D2) is formed and the surface to be bonded are previously improved in wettability by an easy adhesion treatment such as an easy adhesion coating or a corona discharge treatment.
  • a release film may be formed on the translucent adhesive layer (D2). That is, at least a functional film (C) Z translucent adhesive layer (Dl) Z conductive mesh layer (B) Z polymer film (A) Z translucent adhesive layer (D2) Z release film It is.
  • the release film is obtained by coating silicone or the like on the main surface of a polymer film that is in contact with the adhesive layer.
  • the optical filter of the present invention is bonded to the main surface of the transparent molded product (E) described later, or when bonded to the display surface, for example, the front glass of a plasma display panel In this case, the release film is peeled off to expose the translucent adhesive layer (D2) and then bonded.
  • the optical filter of the present invention is mainly used for the purpose of blocking electromagnetic waves generated by various display forces.
  • a preferable example is a plasma display filter.
  • the optical filter 1 needs to cut not only electromagnetic waves but also near-infrared rays to a level with no practical problem.
  • the transmittance in the wavelength region 800 to 1000 nm needs to be 25% or less, preferably 15% or less, and more preferably 10% or less.
  • the optical filter used in the plasma display is required to have a transmitted color of-neutral gray or blue gray. This is because it is necessary to maintain or improve the light emission characteristics and contrast of the plasma display, or when white having a slightly higher color temperature than normal white is preferred.
  • the color plasma display is said to have insufficient color reproducibility, and it is preferable to selectively reduce unnecessary light emission of the phosphor or the discharge gas force that is the cause.
  • the emission spectrum of red display shows several emission peaks ranging from 580 nm to 700 ⁇ m, and the red emission is near orange due to the relatively strong short-wavelength emission peak. There is a problem that becomes.
  • These optical properties can be controlled by using a dye.
  • near-infrared absorbers can be used for near-infrared cuts, and dyes that selectively absorb unwanted luminescence can be used to reduce unwanted luminescence.
  • the color tone can be made suitable by using a dye having an appropriate absorption in the visible region.
  • a polymer film or a resin board in which at least one dye is mixed in a transparent resin (2) at least one dye in a transparent resin Or a polymer film or a resin board that is dispersed and dissolved in a resin concentrate in an organic solvent, and is prepared by a casting method.
  • At least one type of dye, an organic binder and an organic solvent In addition to the system solvent, one or more of a paint, a polymer film or a resin coated on a resin board, and (4) a transparent adhesive containing at least one pigment can be selected.
  • the term “containing” refers to a base material or Of course, it is contained in a layer such as a coating film or the inside of an adhesive material, and means a state where it is applied to the surface of a substrate or a layer.
  • the above-mentioned dye is a general dye or pigment having a desired absorption wavelength in the visible region, or a near-infrared absorber, and the kind thereof is not particularly limited.
  • organic dyes that are generally commercially available, such as minimum compounds.
  • the type'concentration is determined by the absorption wavelength of the dye, the absorption coefficient, the transmission characteristics required for the optical filter, the transmittance, and the type of the medium or coating film to be dispersed, and is not particularly limited. .
  • the dye Since the temperature of the optical filter rises especially when the temperature of the environment where the temperature of the panel surface is high is high in the plasma display panel, the dye has heat resistance that does not deteriorate significantly due to decomposition, for example, at 80 ° C. It is preferred that In addition, some dyes have poor light resistance in addition to heat resistance. If the plasma display emits light or the UV light from outside light 'deterioration due to visible light becomes a problem, it is possible to reduce the deterioration of the dye due to UV light by using a material that contains an UV absorber or a material that does not transmit UV light. It is important to use a dye that does not significantly deteriorate due to lines or visible light. The same applies to heat and light as well as humidity and their combined environment.
  • the transmission characteristics of the display filter will change, changing the color tone or reducing the near-infrared cutting ability.
  • solubility and dispersibility in an appropriate solvent are also important.
  • two or more kinds of dyes having different absorption wavelengths may be contained in one medium or a coating film, or two or more mediums and coating films containing a dye may be contained. .
  • the above methods (1) to (4) containing a pigment include a high molecular film (A) containing a pigment, a functional film (C) containing a pigment, and a pigment.
  • a dye is easily deteriorated by ultraviolet rays.
  • the ultraviolet light that the optical filter receives under normal use conditions is included in external light such as sunlight. Therefore, in order to prevent deterioration of the dye by ultraviolet rays, the dye-containing layer itself and at least one layer on the human side that receives external light from the layer have at least one layer having an ultraviolet cutting ability. It is suitable.
  • the polymer film (A) contains a pigment
  • the translucent adhesive layer (D1) and Z or the functional film (C) contain an ultraviolet absorber or have a function of cutting ultraviolet rays. If it has a film
  • the transmittance in the ultraviolet region shorter than the wavelength of 380 nm is 20% or less, preferably 10% or less, more preferably 5% or less.
  • the functional film having the ultraviolet power function may be a coating film containing an ultraviolet absorber or an inorganic film that reflects or absorbs ultraviolet light.
  • Conventionally known UV absorbers such as benzotriazoles and benzophenones can be used, and their type 'concentration is dispersibility or solubility in the medium to be dispersed or dissolved' solubility, absorption wavelength 'absorption coefficient, It is determined by the thickness and is not particularly limited.
  • the layer or film having the ability to cut off ultraviolet rays has little absorption in the visible light region and does not significantly reduce the visible light transmittance or exhibit a color such as yellow.
  • the functional film (C) containing a dye if a layer containing a dye is formed, a polymer that suffices if the film or functional film on the human side of the layer has an ultraviolet cutting ability. If the film contains a pigment, it is acceptable if it has a functional film or functional layer that has the ability to cut ultraviolet rays on the human side of the film.
  • the dye may be deteriorated by contact with a metal.
  • a metal When such a dye is used, it is more preferable to arrange the dye so that it does not contact the conductive mesh layer (B) as much as possible.
  • the dye-containing layer is a functional film (C), a polymer film (A), or a translucent adhesive layer (D2), particularly a translucent adhesive layer (D2). Is preferred.
  • the optical filter of the present invention includes a polymer film (A), a conductive mesh layer (B), a functional film (C), a translucent adhesive layer (D1), and a translucent adhesive layer.
  • (D2) is configured in the order of (C) / (D1) / (B) / (A) / (D2), preferably a conductive mesh layer (B) and a polymer film
  • the conductive mesh film composed of (A) and the functional film are bonded together with a translucent pressure-sensitive adhesive layer (D1), and the main film on the opposite side of the polymer film (A) from the conductive mesh layer (B).
  • the surface is provided with a translucent adhesive layer (D2).
  • the optical filter of the present invention is attached to a display
  • the functional film (C) is attached to the human side
  • the translucent adhesive layer (D2) is attached to the display side.
  • the method of using the optical filter of the present invention by providing it on the front surface of the display includes a method of using it as a front filter plate using a transparent molded product (E) described later as a support, and a translucent property on the display surface.
  • a transparent molded product (E) described later as a support
  • a translucent property on the display surface There is a method of bonding and using the adhesive material layer (D2).
  • D2 adhesive material layer
  • installation of the optical filter is relatively easy, and the mechanical strength is improved by the support, which is suitable for protecting the display.
  • Examples of the transparent molded product (E) include a glass plate and a translucent plastic plate. From the viewpoint of mechanical strength, lightness, and resistance to cracking, a plastic plate is preferable, but a small thermal stability such as deformation due to heat and a glass plate can also be used suitably.
  • Specific examples of the plastic plate include acrylic resin such as polymethyl methacrylate (PMMA), polycarbonate resin, and transparent ABS resin, but are not limited to these resins. In particular, PMMA can be suitably used because of its high transparency and high mechanical strength in a wide wavelength range.
  • the thickness of the plastic plate is not particularly limited as long as sufficient mechanical strength and rigidity to maintain flatness without bending are obtained, but usually lmn! ⁇ About 10mm.
  • the glass is preferably a semi-tempered glass plate or a tempered glass plate that has been subjected to chemical strengthening or air-cooling strengthening to add mechanical strength.
  • the thickness is preferably about 1 to 4 mm, but is not particularly limited.
  • the transparent molded product (E) can be subjected to various known pre-treatments necessary before the film is bonded, and a colored frame such as black may be printed on the peripheral edge of the optical filter.
  • the optical filter is composed of at least a functional film (C) Z light-transmitting adhesive layer (Dl) Z conductive mesh layer (B) Z polymer film ( A) Z transparent adhesive layer (D2) Z transparent molded product (E). Translucent adhesive of transparent molded product (E)
  • the functional film (C) may be provided on the main surface opposite to the surface to be bonded to the material layer (D2) via a translucent adhesive material layer. In this case, it is not necessary to have the same function as the functional film (C) provided on the human side.For example, when it has antireflection ability, the back reflection of the optical filter having the support is reduced. be able to.
  • a functional film (C2) such as an antireflection film may be formed on the main surface opposite to the surface to be bonded to the transparent adhesive material layer (D2) of the same transparent molded product (E).
  • the functional film (C2) can be placed on the display with the human side facing, but as described above, the layer having the ability to cut off ultraviolet rays is placed on the human side layer from the dye-containing layer and the dye-containing layer. It is preferable to have it.
  • the above-mentioned translucent adhesive layer (D1) and functional film (C) need to be formed on the conductive mesh layer (B) leaving a conductive portion that can be electrically connected from the outside. is there.
  • the shape of the conducting portion is not particularly limited, but it is important that there is no gap for electromagnetic wave leakage between the optical filter and the display body. Therefore, it is preferable that the conductive portion is provided continuously at the peripheral portion of the conductive mesh layer (B). In other words, it is preferable that the conductive portion is provided in a frame shape except for the central portion which is the display portion of the display.
  • the conductive portion may be a mesh pattern layer or a pattern layer that is not patterned, for example, a solid layer of metal foil. However, in order to improve electrical contact with the ground portion of the display main body. It is preferable that the conductive portion be patterned like a metal foil solid layer.
  • the conductive part is not patterned, for example, like a metal foil solid, and when the mechanical strength of Z or the conductive part is sufficiently strong, the conductive part itself can be used as an electrode. It is suitable.
  • an electrode on the conductive part it is preferable to form an electrode on the conductive part to protect the conductive part and to make good electrical contact with the ground part when Z or the conductive part is a mesh pattern layer.
  • the shape of the electrode is not particularly limited, but it is preferable that the electrode is formed so as to cover all the conductive portions.
  • the material used for the electrode is composed of a single substance or two or more of silver, copper, nickel, aluminum, chromium, iron, zinc, carbon, etc. in terms of conductivity, contact resistance and adhesion to the transparent conductive film.
  • An alloy, a synthetic resin and a single substance or a mixture of these alloys, or a paste that also has a mixture force between a borosilicate glass and these single substances or an alloy can be used. Conventionally known methods can be employed for printing and coating the paste.
  • Commercially available conductive tape can also be suitably used.
  • the conductive tape is conductive on both sides, and a single-sided adhesive type and a double-sided adhesive type using a carbon-dispersed conductive adhesive can be suitably used.
  • the thickness of the electrode is also not particularly limited, but is about several / zm to several mm.
  • an optical filter having excellent optical characteristics that can maintain or improve the image quality without significantly impairing the luminance of the plasma display.
  • it has excellent electromagnetic shielding ability to block electromagnetic waves that have been pointed out to be harmful to the health of the plasma display, and near infrared rays near 800 to 1000 nm are also emitted from the plasma display. Therefore, it is possible to obtain an optical filter that does not adversely affect the wavelengths used by the remote control of peripheral electronic devices, transmission optical communication, etc., and can prevent malfunctions thereof.
  • an optical filter having excellent weather resistance can be provided at a low cost.
  • the present invention relates to a method for producing a filter for a display, wherein a conductive layer having a mesh shape continuously formed on one side of the polymer film (A) in the machining direction of the polymer film (A).
  • the production process includes a step of cutting the mesh-shaped portion of the electromagnetic shielding material (C).
  • the polymer film (A) may be any film that transmits light in the visible light region. In the present invention, transmitting light in the visible light region is called transparent.
  • polymer film (A) examples include polyethylene terephthalate, polyethersulfone, polystyrene, polyethylene naphthalate, polyarylate, polyetheretherketone, polycarbonate, polyethylene, and polypropylene. It is not what is done. These polymer films may have a hard coat layer or the like.
  • the polymer film (A) can be subjected to various known pretreatments such as washing treatment and corona treatment.
  • the thickness of the polymer film (A) is preferably 10 to 250 ⁇ m, but not limited thereto.
  • a method of forming the conductive layer (B) on the polymer film (A) a conventionally known method can be used. For example, b) a method of forming a geometric pattern with a conductive material (B1) on one side of the polymer film (A) and then attaching the conductive material (B2) on the geometric pattern; And a method of bonding the polymer film (A) and the metal foil (B4) via the adhesive layer (B3) and processing the metal foil (B4) into a geometric pattern.
  • the method of forming a geometric pattern with the conductive material (B1) in (i) includes: an inkjet method, an intaglio printing method, a relief printing method, a lithographic printing method on one side of the polymer film (A), Patterns can be printed directly by printing the conductive material (B1) by stencil printing, etc., or by applying or laminating the photosensitive conductive material (B1) on the polymer film (A) and then exposing it by laser drawing or other methods. Examples thereof include a method of removing an exposed part or an unexposed part after the formation. Examples of the method for attaching the conductive material (B2) onto the geometric pattern formed of the conductive material (B1) include known methods such as electroless plating and electrolytic plating.
  • the conductive material (B2) may be used as an electromagnetic wave shielding material without adhering to it.
  • an emulsion containing silver halide silver is coated on the polymer film (A), subjected to scanning exposure so as to form a continuous mesh by a laser drawing method, and developed to a metallic silver portion. And a light-transmitting portion, and then forming a mesh-patterned conductive layer by electroless plating with copper sulfate.
  • an ink jet method, an intaglio printing method, a relief printing on a metal foil (B4) A resist pattern is printed by a printing method, lithographic printing method, stencil printing method, etc., a photosensitive resist is applied on a metal foil (B4), exposed by a method such as a laser drawing method, and then a resist pattern is formed by development.
  • a geometric pattern is formed, and a metal other than the pattern portion is eluted with an appropriate etching solution to form a desired conductive layer (B).
  • a copper foil is bonded to a polymer film via a urethane-based adhesive layer, and a mesh-like resist pattern is continuously formed on the copper foil by gravure printing.
  • An etching solution such as ferric iron, washing with water, and stripping the resist with an alkali can be given.
  • the method for forming the conductive layer (B) on the polymer film (A) is not limited to the above (i) and the force (i) method, but the adhesive layer (B3 This is preferable because there is no layer that reduces the transparency of the light transmitting portion of the conductive layer (B).
  • the conductive layer (B) can also be formed by c) obtaining a mesh-like conductive metal thin film and then applying the mesh-like conductive metal thin film to the polymer film (A). Transfer the conductive layer (B) to obtain a conductive layer (B), or 2) Form a transparent resin layer with excellent adhesion to metal on the polymer film (A), and then use a method such as electroless plating or dry coating.
  • a method of forming a resist pattern in the same manner as described in the above mouth) and removing the metal thin film layer in the non-resist pattern portion by etching to obtain a conductive layer (B) is also exemplified. be able to
  • the thickness and pattern of the conductive layer (B) are determined by the necessary electromagnetic wave shielding ability, light transmittance, and the method of forming the conductive layer (B).
  • the conductivity necessary for shielding the electromagnetic wave of the plasma display panel depends on the required electromagnetic wave standard and the electromagnetic wave radiation intensity from the plasma display panel, but is preferably 0.01-1 ⁇ / mouth, more preferably in terms of surface resistance. 0.0 1 to 0.5 ⁇ / mouth. In the present invention, the sheet resistance was measured with a low resistivity meter using a 4-terminal 4-probe method.
  • the thickness of the conductive layer ( ⁇ ) is preferably 0.5 to 20 ⁇ m, but is not limited thereto. If the thickness of the conductive layer (B) is too thin, the conductivity is insufficient, and if it is too thick, it leads to an increase in cost and weight, so 5 to 15 ⁇ m is preferable.
  • the pattern of the conductive layer (B) is not particularly limited, but the line width is narrower and the pitch (interval) is wider.
  • the aperture ratio increases, and the light transmittance of the display portion increases.
  • the interference fringes described later are less likely to occur.
  • the aperture ratio is too high, the conductivity of the conductive layer (B) will be insufficient, so that a line width of 1 to 50 ⁇ m and a pitch of 30 to 500 ⁇ m can be suitably used.
  • the grid-like mesh pattern has pixels lined up so as not to cause interference fringes (moire) that are visually recognized by optical interference with light emitted from display pixels arranged in rows and columns. It is important that the mesh pattern lines have a certain angle (bias angle) with respect to the lines. The bias angle is appropriately selected depending on the pixel pitch and the pitch of the mesh pattern 'line width.
  • a conductive layer (B) having a conductive portion having a geometric pattern continuously in the machining direction of the polymer film (A) was formed on one surface of the polymer film (A).
  • the electromagnetic shielding material (C) it is possible to cut an arbitrary part in the machining direction and attach it to glass, and it is possible to manufacture a display filter with extremely high production efficiency.
  • the mesh-shaped part is formed continuously, it can be applied to various types of display filters by cutting the electromagnetic shielding material (C) of one specification into an arbitrary width. .
  • the machine direction refers to the direction in which the material is processed and moved in or on the machine during the manufacturing process, for example, roll-to-roll force.
  • roll-to-roll force In the case of a polymer film roll, it means the direction in which the rolled film flows through the processing process.
  • Figs. 2 and 3 are plan views of the electromagnetic shielding material having a mesh shape used in the present invention as viewed from the conductive layer (B) side.
  • the mesh shape may be a lattice shape or a hermetic shape, and is not particularly limited.
  • the conductive layer (B) is continuously formed on the polymer film (A).
  • “continuous” means that the mesh shape is formed without interruption in the machining direction of the polymer film (A).
  • the continuous range, that is, the length (dx) in FIGS. 2 and 3 may be a length corresponding to at least two of the display filters. For example, when used for a 42-inch filter, it is 2 m or more. More preferably, the length should be equivalent to five display filters. Yes.
  • the thickness of the polymer film (A) used and the thickness of the conductive layer (B) when it is used for a 42-inch filter, it should be 5m or more. Moreover, there is no restriction
  • the thickness of the polymer film (A) when it is 100 ⁇ m, it is preferably 2000 m or less.
  • the produced electromagnetic shielding material (C) is cut into various sizes and shapes and used as a filter for a display.
  • the electromagnetic shielding material (C) is cut into various widths as required according to the filter size, for example, 500mm width, 400mm width, etc., and mesh shape is arbitrarily selected in the machining direction according to the filter size.
  • the mesh shape in the conductive layer (B) is not necessarily formed on the entire surface of the polymer film (A) as shown in FIG. 2.
  • the polymer film (A) As long as the mesh shape is continuously formed in the machining direction, the beginning and end of the film may not have the mesh shape.
  • the conductive layer (B) on the polymer film (A) side or its opposite side is black-brown or black.
  • the display filter if the surface on the human side is blackish brown or black when the display filter is installed on the display, the contrast and visibility of the display can be improved. If the metal color is white, such as copper nickel or nickel, the reflection of light on the display surface increases and the visible light reflectance of the display filter increases, reducing the contrast and visibility, Display filters are colored metallic. Even in brown or black brown, the ability to reduce reflection compared to metal color or white color is more preferable.
  • the display filter is installed on the display, if the surface on the display side is black-brown or black, it is preferable because the back reflection of the display filter is reduced.
  • the method of making the surface of the conductive layer (B) on the polymer film (A) side, or the surface on the opposite side of the polymer film (A) black or brown is as follows: (C) A method using a blackened metal foil, (C) A black metal thin film, metal oxide thin film, metal sulfide There is a method of laminating thin films.
  • the conductive ink (i) a conductive ink containing carbon or a black pigment can be used.
  • black foil treated metal foil is one having a roughened surface on one or both sides of the metal foil, black pigment or black dye, copper or chromium oxide or sulfur.
  • the surface of the metal foil may have an anti-bacterial treatment layer, or the anti-bacterial treatment layer may exhibit a black color.
  • the black-colored layer on the surface of the metal foil has as little as possible unevenness that can be visually recognized. If the conductive layer (B) is made using a metal foil with significant unevenness, when it is used as a display filter, unevenness is observed on the filter surface, which is not suitable.
  • the method of laminating the metal thin film in (c) includes the black metal thin film, the metal oxide thin film, the metal sulfate thin film made of chromium or the like on the outermost surface, the lowermost layer and the outermost surface, or a mixture thereof.
  • stacking a single layer or multiple layers of a thin film is mentioned. In either method, it is important that the electromagnetic wave shielding ability of the conductive layer (B) is at a level that is practically acceptable even when the surface is black.
  • the electromagnetic shielding material (C) having the conductive layer (B) formed on one side of the polymer film (A) is passed through the transparent support layer (F1) via the transparent adhesive (D1). ), Or without using the transparent support layer (F), it is preferable to form a display filter by directly bonding to the display panel via the transparent adhesive (D1).
  • polymethyl methacrylate (PMMA) was typified by a transparent plastic plate in the visible light region because of its mechanical strength, lightness, and resistance to cracking.
  • examples include acrylic resin, polycarbonate resin, and transparent ABS resin.
  • a glass plate can also be suitably used from the viewpoint of thermal stability that deformation due to heat is small.
  • frame printing such as black, in the part used as the peripheral part of the filter for displays.
  • Another functional film (E) may be bonded to the obtained display filter! /.
  • Functional film (E) By attaching other functional film (E), hard coat, anti-reflection, anti-glare, anti-static, anti-stain, UV-cut, near-infrared, etc.
  • the function of the functional film (E) can be imparted.
  • Functional film (E) can be attached to the conductive layer (B) side of the electromagnetic shielding material (C) via the transparent adhesive (D2)! /, And the polymer film (A) of the electromagnetic shielding material (C)
  • the transparent support layer (F) is bonded to the transparent support layer (D1) on the side of the transparent support layer (D1), and the transparent support layer (F3) is opposite to the electromagnetic shielding material (C). ).
  • the functional film (E) is any one selected from among the hard coat properties, antireflection properties, antiglare properties, antistatic properties, antifouling properties, UV cut properties, near infrared cut properties, etc. It is a transparent polymer film having two or more functions.
  • the layer having the above function may be a single layer or a plurality of layers, or may contain a substance having each function.
  • films having different functions may be used. For example, when the display filter is installed on a display, the functional film (E) used on the surface on the human side and the functional film (E) used on the surface on the display side may not be the same.
  • polymer film used for the functional film (E) examples include polyethylene terephthalate, polyethersulfone, polycarbonate, and the like.
  • Specific examples of the polymer film that can be transparent in the visible wavelength region include polyethylene terephthalate, polyethersulfone, and polycarbonate. It is not limited to.
  • the functional film (E) has anti-reflection (AR: anti-reflectivity) properties to suppress external light reflection, or An anti-glare (AG: anti-glare) property that prevents the reflection of a mirror image, or an anti-reflection anti-glare property (ARAG) property that has both of these characteristics, is preferably used. If the visible light reflectance of the display filter surface is low, the contrast can be improved as well as preventing reflection.
  • a functional film (E) having a hard coat property is preferably used in order to add scratch resistance to the display filter.
  • the display filter may be required to have antistatic properties because dust may adhere to it due to electrostatic charging, or may be discharged and receive an electric shock when it comes in contact with the human body. Therefore, static
  • the functional film (E) may have conductivity.
  • a hard coat film, antireflection film or antiglare film having a conductive film or a conductive fine particle is preferably used.
  • the surface of the functional film (E) should have antifouling properties so that it can be easily removed when it is smudged or smudged.
  • an anti-stain layer is used for the anti-reflection film, an anti-reflection film having an anti-stain property is obtained, which is preferable.
  • the functional film (E) and the display filter are bonded to each other via an arbitrary transparent adhesive or adhesive.
  • an adhesive or an adhesive that transmits visible light is called a transparent adhesive.
  • a transparent adhesive a sheet-like pressure sensitive adhesive can be suitably used.
  • a liquid material may be applied and used, or a material that cures at room temperature or by heating. It is preferable that the surface of the functional film (E) on which the pressure-sensitive adhesive layer is formed is previously improved in wettability by an easy adhesion treatment such as an easy adhesion coat or a corona discharge treatment.
  • the plasma display panel Since the plasma display panel generates intense near-infrared rays, it must be cut to a level where there is no practical problem.
  • the display filter used in the plasma display panel is required to have a transmitted color of-neutral gray or blue gray. This is because it is necessary to maintain or improve the light emission characteristics and contrast of the plasma display panel, and white color with a slightly higher color temperature than standard white color may be preferred.
  • the color plasma display panel has insufficient color reproducibility, and it is preferable to selectively reduce unnecessary light emission from the phosphor or discharge gas which is the cause of the color plasma display panel with a display filter.
  • These optical characteristics can be controlled by using a dye in the display filter. That is, a near-infrared absorber is used for near-infrared cut, and a desired optical characteristic can be obtained by using a dye that selectively absorbs unnecessary luminescence to reduce unnecessary luminescence. Also, the color tone of the display filter can be made suitable by using a dye having an appropriate absorption in the visible region.
  • a method for adding a dye to a display filter (i) a method in which a dye is mixed with a polymer film, (mouth) a dye in a resin, or a resin in an organic solvent In Dispersing and dissolving in a dissolved solution to prepare a polymer film or a resin board by the casting method. (C) Adding a dye to a resin binder and an organic solvent to form a paint, a polymer film or a resin board. Any one or more of a method of coating on top and (2) a method of containing a dye in an adhesive material can be selected, but the method is not limited thereto.
  • the inclusion in the present invention means not only that it is contained in a layer such as a substrate or a coating film or an adhesive material, but also a state where it is applied to the surface of the substrate or layer. A plurality of types of dyes may be contained.
  • two or more kinds of dyes having different absorption wavelengths may be contained in one medium or coating film, or two or more mediums and coating films containing dyes are provided. Also good. Dye may be included in the misalignment of the polymer film (A), adhesive layer, adhesive layer, functional film (E), and transparent support layer (F)! /.
  • equipment that needs to prevent the generated electromagnetic waves from leaking outside is shielded by providing a metal layer inside the equipment case or using a conductive material in the case.
  • a window-shaped electromagnetic shielding filter having a transparent conductive layer is installed like the display filter of the present invention.
  • the electromagnetic wave is absorbed by the conductive material and generates a charge on the conductive material.
  • the generated charge causes the electromagnetic wave to oscillate again using the conductive substance as an antenna. Therefore, if the generated charge is not quickly released to the outside by grounding, the electromagnetic wave may leak. Therefore, the display filter and the ground part of the display unit must be in electrical contact.
  • the conductive connection (B) that does not cover the entire conductive layer (B) with the other layer can be electrically connected to the outside. It is necessary to leave. For example, this is the case when the functional film (E) is bonded to the conductive layer (B) via the transparent adhesive material layer (D2) described above.
  • the shape of the conductive connecting portion is not particularly limited, but it is important that there is no gap for electromagnetic wave leakage between the display filter and the display body. Therefore, it is preferable that the conductive connection portion is provided continuously on the peripheral edge portion of the conductive layer (B).
  • the conducting portion is provided in a frame shape except for the central portion which is the display portion of the display.
  • the conductive connection portion may not be continuous.
  • the directional force of the filter for the two sides of the two sides is the conductive connection.
  • the conductive connection portion may be a conductive portion having a geometric pattern of the conductive layer (B). However, in order to improve electrical contact with the ground portion of the display body, the conductive connection portion becomes a conductive connection portion. It may be preferable to form an electrode on the conductive layer (B).
  • the shape of the electrode is not particularly limited, but it is preferable that the electrode is formed so as to cover all the conductive connection portions.
  • the material used for the electrode may be a simple substance such as silver, copper, nickel, aluminum, chromium, iron, zinc, carbon or the like from the viewpoint of conductivity, contact resistance and adhesion to the conductive layer (B). It is possible to use conductive paints and pastes consisting of alloys of more than one species, mixtures of these simple substances or alloys and synthetic resins, or mixtures of these simple substances or alloys and borosilicate glass.
  • a conventionally well-known method can be employ
  • the paint or paste used is preferably black. Since the formed electrode has a black color, it can be used as an alternative to black frame printing to distinguish between the display and non-display parts of the display, which is conventionally applied on the peripheral edge of the glass. Cost filters can be manufactured.
  • the paint and paste used can be a combination of the above-mentioned alloy and resin. Carbon or resin and paint with paste and carbon or highly conductive metal paint or paste such as silver or copper. Those that are black by adding fine particles can be particularly suitably used. Moreover, a commercially available conductive tape can also be used conveniently.
  • the conductive tape has conductivity on both sides, and a single-sided adhesive type and a double-sided adhesive type using a carbon-dispersed conductive adhesive can be suitably used.
  • the thickness of the electrode is not particularly limited, but is about several / zm to several mm.
  • the visible light transmittance of the display filter is preferably 30 to 85%. More preferably, it is 35 to 70%. If it is less than 30%, the brightness of the display screen will be too low and the visibility will deteriorate. Also, if the visible light transmittance of the display filter is too high, the display contrast cannot be improved.
  • the visible light transmittance in the present invention is calculated according to JIS (R-3106) from the wavelength dependence of the transmittance in the visible light region.
  • K3Rh2Br9 and K2IrC16 were added to a concentration of 10-7 (mol Z mol silver), and silver bromide grains were doped with Rh ions and Ir ions.
  • Na2PdC 14 After adding Na2PdC 14 to this emulsion and further sensitizing the gold and sulfur with salt oxalic acid and sodium thiosulfate, together with the gelatin hardener, polyethylene terephthalate so that the coating amount of silver is lgZm2. It was applied on (PET). At this time, the volume ratio of Ag / gelatin was 1/2.
  • the exposure heads using DMD digital 'Miraichi' device described in the embodiment of the invention in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-1244 are arranged so as to have a width of 25 cm.
  • the exposure head and exposure stage are curved so that the laser beam is imaged on the layer, and the photosensitive material feed mechanism and scoring mechanism are attached, and the tension control and scoring of the exposure surface, and fluctuations in the speed of the feed mechanism was performed in a continuous exposure apparatus provided with a stagnation having a buffer function so as not to affect the speed of the exposed portion.
  • the exposure wavelength was 400 nm
  • the beam shape was approximately 12 m
  • the output of the laser source was 100 ⁇ J.
  • the pattern of exposure was such that 12 ⁇ m pixels had a grid of 45 degrees, and the pitch was 300 ⁇ m apart with a width of 24 cm and a length of 10 m.
  • An exposure head is an exposure head that exposes an exposure surface with a plurality of light beams, and includes a plurality of illumination means that emit light beams, and a plurality of light modulation states that change in accordance with control signals.
  • the pixel part is two-dimensionally arranged on the substrate, and the illumination means power is also A spatial light modulation element that modulates the light beam incident on the optical system, an optical system that images each light beam modulated by the spatial light modulation element as a beam spot on the exposure surface, and an optical path of the optical system, Multiple apertures with different aperture areas and aperture shapes for shaping the beam spot are formed, and the beam spots that have passed through apertures with different aperture areas and aperture shapes are set to be multiple exposure or overlap exposure. And an aperture array, and the exposure amount ratio in each beam spot irradiated on the exposure surface through apertures having different aperture areas and aperture shapes is changed and adjusted.
  • the light beam emitted from the illumination unit is modulated by each pixel unit of the spatial light modulation element by the exposure head, and each light beam modulated in the exposure state by each pixel unit is apertured.
  • the exposure process is performed by shaping the beam spot shape and irradiating the exposure surface by shielding a part of the light beam
  • the exposure area ratio and the opening shape of each beam spot are set differently.
  • the aperture for each aperture the exposure amount ratio between the beam spots passed through each aperture having different aperture areas and aperture shapes is changed, and the exposure surface is irradiated in the state of multiple exposure or overlap exposure.
  • the aperture area and the aperture shape of the aperture are changed. Possible to achieve the results.
  • Exposure processing exposure recording
  • the exposure head can appropriately expose and form an exposure pattern shape, diagram, and the like.
  • the photosensitive material exposed using the above processing agent is processed using Fuji Film's automatic processor FG-710 PTS. Processing conditions: Development 35 ° C 30 seconds, Fixing 34 ° C 23 seconds, Washing water (5L / min) for 20 seconds.
  • the processing amount of the photosensitive material was 100 m2 / day
  • the developer replenishment was 500 ml / m2
  • the fixing solution was 640 ml / m2 for 3 days.
  • the copper pattern after the plating process has a 12 ⁇ m line width and a 300 micron pitch.
  • the surface resistance of sample A and sample B can be set to any 200 with a Lloystar GP (Model No. MCP-T610) in series 4 probe probe (AS P). The location was measured.
  • sample A of the present invention has a uniform surface resistance
  • sample B has seven places where the surface resistance is not measurable, indicating that the uniformity is low.
  • Example 11 In Sample A of 1, a rotating polygon mirror arranged so that continuous pattern formation was scanned at 45 ° and 45 ° obliquely with respect to the silver halide photosensitive material transport direction. Sample C, which differs only in exposure with a single-scanning laser exposure system, was prepared and compared with sample B. As a result, the same results as in Example 1-1 were obtained.
  • the electromagnetic wave shielding film prepared in the above example was prepared on a biaxially stretched polyethylene terephthalate (hereinafter referred to as PET) film (thickness: 100 ⁇ m).
  • PET biaxially stretched polyethylene terephthalate
  • the copper surface was blackened by treatment with a copper blackening solution.
  • a commercially available copper black (manufactured by Isolate Co., Ltd.) was used as the black koji treatment solution used.
  • a protective film manufactured by Panac Industry Co., Ltd., product number: HT-25) having a total thickness of 28 m was bonded to the PET surface side using a laminator roller.
  • a protective film with a total thickness of 65 ⁇ m in which an acrylic adhesive layer is laminated on a polyethylene film on the electromagnetic shielding film (metal mesh) side (manufactured by Sanei Kaken Co., Ltd., product name; Sactect Y-26F) ) was laminated using a laminator roller.
  • the PET surface was used as the bonding surface, and a glass plate having a thickness of 2.5 mm and external dimensions of 950 mm X 550 mm was bonded through a transparent acrylic adhesive.
  • anti-reflective film was passed through a 25 ⁇ m-thick talyl-based translucent adhesive.
  • An anti-reflective function near infrared absorbing film (trade name Talialas ARZNIR manufactured by Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd.) composed of a layer and a near infrared absorbing agent-containing layer was bonded.
  • the acrylic light-transmitting pressure-sensitive adhesive layer contained a toning dye (PS-Red-G, PS-Violet-RC, manufactured by Mitsui Chemicals) that adjusts the transmission characteristics of the display filter.
  • an anti-reflection film (trade name Realic 8201, manufactured by NOF Corporation) was bonded to the opposite main surface of the glass plate via an adhesive material to produce a display filter.
  • the obtained display filter was prepared using an electromagnetic wave shielding film having a protective film, it had very few scratches and defects on the metal mesh.
  • the metal mesh is black and the display image does not have a metallic color.
  • it has electromagnetic wave shielding ability and near-infrared ray cutting ability (transmittance of 300 to 800 nm is 15% or less) that is not a problem in practice. It was excellent in visibility due to the antireflection layer.
  • a toning function can be provided, and a display such as a plasma display is provided. It can be suitably used as a ray filter.
  • Example 1-1 As a result of the same evaluation as in Example 1-1 using an evaluation sample having a width of 25 cm and a length of 10 m, the mesh pattern thus obtained was found to have surface resistance when the continuous pattern of the present invention was formed. Became uniform and the effectiveness of the present invention became clear.
  • PET film (thickness: 100 m) with a width of 600 mm and a length of 200 m
  • Toyobo A4300 mainly contains a silver halide and gelatin emulsion.
  • the developer CN-16 manufactured by Fuji Photo Film
  • Development was performed using the solution (Fuji Photo Film Super Physics), non-exposed portions were removed, and pure water was washed.
  • an electroless copper plating process using a plating solution containing copper sulfate and triethanolamine is performed to provide a conductive layer with a thickness of 10 ⁇ m, a line width of 10 ⁇ m, a pitch of 300 ⁇ m, and a bias angle of 45 °.
  • a film (hereinafter referred to as a mesh film) having a conductive layer in which a lattice pattern was formed was obtained.
  • the conductive layer of the mesh film was electroplated with a solution containing nickel sulfate to produce a mesh film in which the surface of the conductive layer was blackened.
  • the surface resistance of the conductive layer was measured by a four-terminal method low resistivity meter (Mitsubishi Chemical, Loresta EP), it was 0.3 ⁇ / port.
  • an acrylic transparent adhesive containing a toning dye (Mitsui Chemicals PS-Red-G, PS-Violet-RC) that adjusts the transmission characteristics of the display filter is separated from the PET film and the silicone. It was continuously coated on the release layer of the release film consisting of layers to obtain a dye-containing adhesive. The dye-containing adhesive on the obtained release film was bonded to the surface of the mesh film where the conductive layer was not formed. Furthermore, both ends of the width direction of the film are cut and the width of 580mm A mesh film with a dye-containing adhesive was prepared.
  • a toning dye Mitsubishi Chemicals PS-Red-G, PS-Violet-RC
  • the film consists of 100 mPET film (Teijin DuPont Films Co., Ltd. Tijintetron film HB type) on one side with two layers: acrylic hard coat layer, fluorine resin layer and indium oxide-containing resin layer
  • Anti-fouling 'Anti-reflective layer with anti-static ability is sequentially formed by wet coating, and near-infrared absorption consisting of dimonium-based and phthalocyanine-based near-infrared absorbers and acrylic binder resin.
  • An agent layer was formed, and a near-infrared absorbing film with an antireflection layer (hereinafter referred to as AR, NIRA film) having UV cut property, antifouling property, antistatic property and hard coat property was produced.
  • AR, NIRA film an antireflection layer having UV cut property, antifouling property, antistatic property and hard coat property
  • Acrylic transparent adhesive is continuously applied onto the release layer of the release film, and then continuously laminated onto the near-infrared absorbing layer of the AR ZNIRA film, and then both ends in the width direction of the film are cut.
  • an ARZNIRA film with an adhesive material having a width of 570 mm was produced.
  • Thickness increased by air-cooling tempering treatment 2.5 mm, outer dimensions length 984 mm X width 58 4 mm glass mesh with a pigmented adhesive while peeling the release film, The glass and the mesh film were bonded so that the centers in the width direction coincided. The mesh-shaped portion of the mesh film was cut according to the size of the glass.
  • silver paste (MSP-600F manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.) was screen-printed on the 7 mm-width peripheral portion where the ARZNIRA film was not attached, that is, the exposed portion of the mesh film and glass.
  • a silver paste diluted with butyl acetate sorb acetate and adjusted to a viscosity of about 200 Poise (about 200 (Pa's)) was used. After printing, it was dried at room temperature to form an electrode having a thickness of 10 ⁇ m.
  • the obtained laminate is put into an autoclave container and subjected to a pressure treatment under the conditions of a temperature setting of 40 ° C, a pressure setting of 0.8 MPa, a pressurization time of 30 minutes, and a holding time of 30 minutes.
  • a filter was made.
  • Fig. 4 shows a cross-sectional view of the structure of the display filter.
  • a display filter was produced in the same manner as in Example 2-1, except for the following points.
  • the ARZNIRA film with adhesive is 580 mm wide, not pasted on the mesh film, but pasted on the glass surface where the mesh film is not pasted, and cut according to the size of the glass.
  • the electrode was printed on the mesh film and the exposed part of the glass on the glass surface where the mesh film was bonded, so that all sides were 12mm wide from the edge.
  • Fig. 5 shows a cross-sectional view showing the structure of the display filter.
  • An ARZNIRA film with an adhesive having a width of 570 mm described in Example 2-1 was cut out to have a length of 970 mm.
  • the mesh-shaped portion of the 580 mm wide mesh film with a dye adhesive material produced in Example 2-1 was cut to a length of 980 mm.
  • the release film of the ARZNIRA film with adhesive was peeled off to the conductive layer side of the mesh film, and the ARZNIRA film was bonded so that the conductive layer part of the mesh film where the ARZNIRA film was not bonded was formed with a width of 5 mm at the periphery. .
  • the periphery of the mesh film was covered with ARZNIRA film! /, NA!
  • Example 2 Pressure treatment was performed under the same conditions as for —1.
  • the obtained laminate was peeled off and bonded to a plasma display panel with a pigmented adhesive-attached mesh film release film to obtain a filter-type plasma display panel.
  • Fig. 6 shows a cross-sectional view showing the structure of the filter type plasma display panel.
  • Casein was applied as a photosensitive resist to the copper foil side of the laminated film roll continuously in a pattern by gravure mouth printing, dried, and then cured with a UV lamp. After hardening the resist and baking at 100 ° C, the non-resist part is etched with a salt-ferric iron solution, followed by washing with water and stripping the resist with an alkaline solution to obtain a line width of 10 ⁇ m.
  • a film (hereinafter referred to as a mesh film) having a conductive layer on which a conductive lattice pattern of m, a pitch of 300 ⁇ m, a thickness of 10 ⁇ m, and a bias angle of 45 ° was formed was obtained.
  • the electroconductive layer in the mesh film was electroplated with a solution containing nickel sulfate to produce a mesh film in which the surface of the electroconductive layer was blackened.
  • the surface resistance of the conductive layer was measured with a 4-terminal low resistivity meter (Mitsubishi Chemical, Loresta EP).
  • Example 2-1 In place of the mesh film used in Example 2-1, a filter for display was produced in the same manner as in Example 2-1, using the mesh film.
  • Fig. 7 shows a cross-sectional view showing the structure of the display filter.
  • the display filters obtained in Examples 2-1 and 2-2, 2-3, and 2-4 have the electromagnetic shielding ability and near-infrared cutting ability that are practically acceptable.
  • the present invention is used as a translucent conductive film.
  • CRT cathode ray tube
  • PDP plasma display panel
  • liquid crystal liquid crystal
  • EL electroactive polymer
  • FED field emission
  • It is used as an electromagnetic wave shielding material that shields electromagnetic waves generated from the front surface of a display (such as a shadow display), a microwave oven, an electronic device, a printed wiring board, etc., and has translucency.

Landscapes

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Abstract

透明支持体上に導電性金属部と可視光透過性部をパターニングして形成される透光性導電性膜において、該導電性金属部が1μｍから40μｍのメッシュ状の細線から形成され、該メッシュパターンが3ｍ以上連続していることを特徴とする透光性導電性膜。高分子フィルム（Ａ）上に、高分子フィルム（Ａ）の機械加工方向に連続的に、幾何学的パターンのメッシュ形状である導電部を有する導電層（Ｂ）を形成した電磁波シールド材（Ｃ）を用いて、そのメッシュ形状部分を切断することにより、少なくとも相対する２辺の端部がメッシュ形状であるディスプレイ用フィルターの製造方法。

Description

透光性導電性膜、透光性電磁波シールド膜および光学フィルターならび
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技術分野
[0001] 本発明は、透光性導電性膜に関する。特に、 CRT (陰極線管）、 PDP (プラズマデ イスプレイパネル）、液晶、 EL (エレクト口ルミネッセンス）、 FED (フィールドエミッショ ンディスプレイ)などのディスプレイ前面、電子レンジ、電子機器、プリント配線板など 明
から発生する電磁波を遮蔽し、かつ、透光性を有する電磁波遮蔽材料及びその製造 方法に関する。また本発明は、ディスプ田レイ用フィルターの製造方法および得られる ディスプレイ用フィルター、および使用される電磁波シールド材に関する。さらに詳し くは、プラズマディスプレイパネルカゝら発生する電磁波を遮断する電磁波シールド材 を含むディスプレイ用フィルターの製造方法および得られるディスプレイ用フィルター 、および使用される電磁波シールド材に関する。
背景技術
[0002] 近年、各種の電気設備や電子応用設備の利用の増加に伴!、、電磁波障害 (Electr 0- Magnetic Interference： EMI)が急増している。 EMIは、電子、電気機器の誤動作、 障害の原因になるほか、これらの装置のオペレーターにも健康障害を与えることが指 摘されている。このため、電子電気機器では、電磁波放出の強さを規格又は規制内 に抑えることが要求されて 、る。
[0003] 上記 EMIの対策には電磁波をシールドする必要がある力 それには金属の電磁波 を貫通させない性質を利用すればよいことは自明である。例えば、筐体を金属体又 は高導電体にする方法や、回路基板と回路基板との間に金属板を挿入する方法、ケ 一ブルを金属箔で覆う方法などが採用されている。しかし、 CRT, PDPなどではオペ レーターが画面に表示される文字等を認識する必要があるため、ディスプレイにおけ る透明性が要求される。このため、前記の方法では、いずれもディスプレイ前面が不 透明になることが多ぐ電磁波のシールド法としては不適切なものであった。
[0004] 特に、 PDPは、 CRT等と比較すると多量の電磁波を発生するため、より強い電磁 波シールド能が求められている。電磁波シールド能は、簡便には表面抵抗値で表す ことができ、 CRT用の透光性電磁波シールド材料では、表面抵抗値は凡そ 300 Ω / sq以下であることが要求されるのに対し、 PDP用の透光性電磁波シールド材料では 、 2. 5 Q Zsq以下が要求され、 PDPを用いた民生用プラズマテレビにおいては、 1. 5 Ω /sq以下とする必要性が高ぐより望ましくは 0. l Q Zsq以下という極めて高い 導電性が要求されている。
また、透明性に関する要求レベルは、 CRT用として凡そ 70%以上、 PDP用として 8 0%以上が要求されており、更により高い透明性が望まれている。
[0005] 上記の問題を解決するために、以下に示されるように、開口部を有する金属メッシ ュを利用して電磁波シールド性と透明性とを両立させる種々の材料'方法がこれまで 提案されている。
[0006] (1)導電性繊維
例えば、特開平 5— 327274号公報 (特許文献 1)には、導電性繊維からなる電磁 波シールド材が開示されている。しかし、このシールド材はメッシュ線幅が太くディス プレイ画面をシールドすると、画面が暗くなり、ディスプレイに表示された文字が見え にくいという欠点があった。
[0007] (2)無電解メツキ加工メッシュ
無電解メツキ触媒を印刷法で格子状パターンとして印刷し、次 、で無電解メツキを 行う方法が提案されている (例えば、特開平 11— 170420号公報 (特許文献 2)、特 開平 5— 283889号公報 (特許文献 3)など)。しかし、印刷される触媒の線幅は 60 m程度と太ぐ比較的小さな線幅、緻密なパターンが要求されるディスプレイの用途と しては不適切であった。
さらに、無電解メツキ触媒を含有するフォトレジストを塗布して露光と現像を行うこと により無電解メツキ触媒のパターンを形成した後、無電解メツキする方法が提案され ている（例えば、特開平 11— 170421号公報 (特許文献 4) )。しかし、導電膜の可視 光透過率は 72%であり、透明性が不十分であった。更には、露光後に大部分を除去 する無電解メツキ触媒として極めて高価なパラジウムを用いる必要があるため、製造 コストの面でも問題があった。 [0008] (3)フォトリソグラフィ一法を利用したエッチングカ卩工メッシュ
フォトリソグラフィ一法を利用したエッチング加工により、透明基体上に金属薄膜のメ ッシュを形成する方法が提案されている（例えば、特開 2003— 46293号公報 (特許 文献 5)、特開 2003— 23290号公報 (特許文献 6)、特開平 5— 16281号公報 (特許 文献 7)、特開平 10— 338848号公報 (特許文献 8)など)。この方法では、微細加工 が可能であるため、高開口率 (高透過率)のメッシュを作成することができ、強力な電 磁波放出も遮蔽できるという利点を有する。しかし、その製造工程は煩雑かつ複雑で 、生産コストが高価になるという問題点があった。また、エッチング工法によるところか ら、格子模様の交点部が直線部分の線幅より太い問題があることが知られている。ま た、モアレの問題も指摘され、改善が要望されていた。
[0009] (4)ハロゲンィ匕銀を用いた導電性金属銀および現像銀への銅めつきを用いたメッシ ハロゲン化銀を現像して得られる導電性金属銀で導電性メッシュを形成する方法、 あるいはハロゲンィ匕銀を現像して得られるメッシュ状の現像銀に金属銅をめつきして 導電性メッシュを形成する方法が提案されて!、る。（例えば特開 2004-221564号公報 (特許文献 9) )
[0010] 特にディスプレイはテレビジョン用、パーソナルコンピューター用、モニター用等とし て広く普及し、また、その薄型化、大型化が進んでいる。大型の薄型ディスプレイとし ては、プラズマディスプレイパネルが注目されている。しかしプラズマディスプレイパ ネルは、その構造や動作原理上、強度の漏洩電磁波、近赤外線を発生する。電磁 波に関しては電気製品取締法等により規制が設けられており、規格値内に抑えること が必要となっている。また、近赤外線光は、赤外線リモコン機器等の周辺電子機器に 作用して誤動作を引き起こす問題が生じており、近赤外領域である 800〜 lOOOnmの 波長領域の光を実用上問題ないレベルまでカットする必要がある。
[0011] 電磁波を遮蔽するには、ディスプレイ表面を導電性の高い物質で覆う必要がある力 覆うために用いる導電性の高い物質、つまり電磁波シールド材は、ディスプレイ表示 を著しく妨げな 、ように透明性を有して 、る必要がある。このような要求を見たす電磁 波シールド材の一つとして、透明基材上に酸化物、金属等の透明多層薄膜をスパッ タリングなどの方法で形成した、電磁波遮蔽フィルムが使用されている力 このような 電磁波遮蔽フィルムは現時点では導電性が十分でな!、為、電磁波シールド材として 必要な電磁波遮蔽能力が低い場合にし力使用できない。一方、別の電磁波シールド 材として、高分子フィルムを基材にしてメッシュ状の金属層を形成した導電性メッシュ フィルムが用いられて 、る。この方法にぉ ヽてはメッシュパターンをフォトリソグラフィ 一などの微細加工技術を用いて作製することで高 、光線透過率を実現できる。また 、金属でメッシュパターンを形成している為、透明多層薄膜を用いたときよりも高い電 磁波遮蔽能力が達成できる。
[0012] 電磁波は導電性物質に吸収されることにより該導電性物質上に電荷を発生させる。
発生した電荷は該導電性物質をアンテナとして再び電磁波を発振させるため、ァー スをとることによって、発生した電荷を速やかに外部へ逃がさなければ電磁波が外部 へ漏洩してしまう恐れがある。したがってディスプレイ用フィルターの導電層はデイス プレイ本体内部と電気的に接続して 、る必要がある。上記の様な機能を有するデイス プレイ用フィルタ一としては特開 2002-323861号公報 (特許文献 10)、等に報告が ある。
[0013] 上記のようなディスプレイ用フィルターに用いられる導電性メッシュフィルムにおいて は、メッシュ部分を形成するために、ディスプレイの表示部分に対応したサイズのマス クを用いてディスプレイ用フィルターの 1枚分ずつ金属層をパターユングする必要が あった。従来用いられてきた導電性メッシュフィルムの一例を第 1図に示す。第 1図に 示すような導電性メッシュフィルムをガラスに貼り合わせる場合、ディスプレイの仕様 に合わせてメッシュ部分と非メッシュ部分の位置合わせを行う必要があるため、貼り合 わせに要する時間と位置ズレによるロスが増加し、結果として生産効率が悪くなり、製 造コストの面で大きな問題を有していた。上記に加え、第 1図に示すような導電性メッ シュフィルムでは表示部分となるメッシュ部分と、非表示部分でありディスプレイ本体 と接続するための非メッシュ部分の寸法が固定されてしまう為に、一つの仕様の導電 性メッシュフィルムを多種類のフィルターへ汎用することは困難であるという別の問題 も抱えていた。
特許文献 1：特開平 5— 327274号公報 特許文献 2：特開平 11 170420号公報
特許文献 3：特開平 5 - 283889号公報
特許文献 4：特開平 11— 170421号公報
特許文献 5 :特開 2003— 46293号公報
特許文献 6：特開 2003 - 23290号公報
特許文献 7 :特開平 5— 16281号公報
特許文献 8：特開平 10— 338848号公報
特許文献 9：特開 2004— 207001号公報
特許文献 10：特開 2002- 323861号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0014] EMIシールド材料のシールド能は導電性部分のアースを取ることによって向上する ことが知られている。メッシュに断線部分があると、アースが取れない領域ができ易く なるため、 EMIシールド材料として機能させる領域に断線部分が無いようにする必要 があった。一方、従来のメッシュの形成方法は上述した繊維方式を除き、ある一定の 面積しか断線のな 、メッシュを作成することができな力つた。これはメッシュのパター ンを形成する場合に無電解銅めつき方式ではめつきの触媒核のパターユングがスク リーン印刷の如き印刷方式であるためスクリーンまたは凹版などのサイズ単位でメッ シュが途切れ、フォトリソグラフィーでは露光マスクサイズ単位にメッシュが途切れてし まっていた。
また、特開 2004-207001号公報には露光にインターナルドラム形式のイメージセッタ 一を使用することが開示されている力 インターナルドラム形式ではドラムの内周以下 の長さでメッシュが途切れてしまって 、た。
[0015] このため、例えば、 PDP用途の場合では、作成したシールド材料のメッシュの途切 れがな!/、部分に PDPのモジュールな 、しは前面板あるいは窓材と呼ばれるガラス等 を基体とした光学フィルター材料にシールド材料を位置あわせする製造方法がとられ てきた。この方法ではシールド材料にロスが出るうえ、生産性を向上するために、シー ルド材料が連結されたロール状のシールド材料を使おうとしても、位置合せに時間が 力かり、生産速度を十分に上げることができな力つた。
[0016] 本発明は、かかる事情に鑑みなされたものであり、本発明の第一の目的は、高い E Mlシールド性と高 、透明性とを同時に有する、モアレのな 、透光性導電性膜を製造 することができ、細線状パターンの形成が容易であり、し力も安価に大量に製造でき る方法を提供することにある。さらに本発明の別目的は、シールド材料のロスが少なく 生産性を向上するために連続メッシュパターンを形成した透光性電磁波シールド膜 を提供することにある。
[0017] さらに本発明の第二の目的は、上記の従来技術を鑑み、生産効率が高ぐ低コストな ディスプレイ用フィルターを製造する方法を提供することにある。
課題を解決するための手段
[0018] 本発明者らは、高い EMIシールド性と高い透光性とを同時に得る観点から、鋭意 検討した結果、上記第一の目的は、以下の透光性導電性膜により効果的に達成でき ることを見出し、本発明を完成するに至った。さらに本発明者らは、上記第二の目的 を解決するために鋭意検討を重ねた結果、高分子フィルムの片面に、機械加工方向 (Machine Direction)に連続的に、メッシュ形状の導電層を形成した電磁波シールド材 を用いて、そのメッシュ形状部分を切断してディスプレイ用フィルターを作製すること で、同じ電磁波シールド材を多種の仕様のフィルターに適用でき、また、表示部分の 位置合わせによる工程増加およびロスの少なぐ生産効率が高くなることを見出し、 本発明に到った。
[0019] すなわち、本発明の目的は、以下の構成により達成される。
1. 透明支持体上に導電性金属部と可視光透過性部をパターユングして形成され る透光性導電性膜において、該導電性金属部が 1 μ m力 40 mのメッシュ状の細 線から形成され、該メッシュパターン力 ¾m以上連続して 、ることを特徴とする透光性 導電性膜。
2. 透明支持体上に現像銀部と可視光透過性部とをパターユングし、該現像銀部 に導電性金属を担持させ、導電性金属部が形成される透光性導電性膜にお！ヽて、 該導電性金属部が 1 μ m力 30 mの細線のメッシュ状であり、該メッシュパターン 力^ m以上連続していることを特徴とする透光性導電性膜。 3. 前記透明支持体が、可撓性を有し、幅が 2cm以上かつ長さが 3m以上および厚 さが 200 μ m以下であるフィルムであることを特徴とする上記 1又は 2に記載の透光性 導電性膜。
4. 前記メッシュパターン力 実質的に平行である直線状細線の交差するパターン であることを特徴とする上記 1から 3のいずれかに記載の透光性導電性膜。
5. 該パターンユングが、湾曲した露光ステージ上に於いて前記透明支持体を搬送 しながらレーザー光ビームで走査露光することによって行うことを特徴とする上記 1か ら 4に記載の透光性導電性膜。
6. 前記光ビームの主走査の方向が、支持体搬送方向に垂直であることを特徴とす る上記 5に記載の透光性導電性膜。
7. 前記光ビームの光強度が、実質的に 0である状態を含めて 2値以上とることを特 徴とする上記 5又は 6に記載の透光性導電性膜。
8. 該パターニングを支持体搬送方向に対して交差する露光ヘッドを用いて露光す ることにより行い、
前記露光ヘッドは、光ビームを照射する照射装置と、各々制御信号に応じて光変 調状態が変化する多数の画素部が基板上に 2次元状に配列され、前記照射装置か ら照射された光ビームを変調する空間光変調素子と、前記基板上に配列された画素 部の全個数より少ない個数の複数の画素部の各々を、露光情報に応じて生成した制 御信号によって制御する制御手段と、各画素部で変調された光ビームを露光面上に 結像させる光学系とを備えていることを特徴とする上記 1から 4のいずれかに記載の 透光性導電性膜。
9. 前記光ビームを搬送方向に対して 30° から 60° 傾けて走査することを特徴とす る上記 5〜8の 、ずれかに記載の透光性導電性膜。
10. 前記光ビームの光強度が該パターユング中に 1値しか取らないことを特徴とす る上記 9の透光性導電性膜。
11. 前記光ビームの波長が、 420nm以下であることを特徴とする上記 5から 10のい ずれかに記載の透光性導電性膜。
12. 前記光ビームの波長が、 600nm以上であることを特徴とする上記 5から 10のい ずれかに記載の透光性導電性膜。
13. 前記光ビームのエネルギーが lmjZcm2以下であることを特徴とする上記 5か ら 11の 、ずれかに記載の透光性導電性膜。
14. 前記現像銀部は、ハロゲン化銀を現像して形成されることを特徴とする上記 2 〜 13のいずれかに記載の透光性導電性膜。
15. 前記導電性金属部は、銅箔のエッチングにより形成されることを特徴とする上 記 1、 3〜 13のいずれかに記載の透光性導電性膜。
16. 上記 1〜 15のいずれかに記載の透光性導電性膜からなる透光性電磁波シー ルド膜。
17. 接着剤層を有する上記 16に記載の透光性電磁波シールド膜。
18. 剥離可能な保護フィルムを有する上記 16又は 17の 、ずれかに記載の透光性 電磁波シールド膜。
19. 導電性パターン表面の表面積で 20%以上が黒色であることを特徴とする上記 16〜18のいずれかに記載の透光性電磁波シールド膜。
20. 赤外線遮蔽性、ハードコート性、反射防止性、妨眩性、静電気防止性、防汚性 、紫外線カット性、ガスノリア性、表示パネル破損防止性、からいずれか 1つ以上選 ばれる機能を有している機能性透明層を有する、上記 16〜 19のいずれかに記載の 透光性電磁波シールド膜。
21. 赤外線遮蔽性を有する上記 16〜20のいずれかに記載の透光性電磁波シー ルド膜。
22. 上記 16〜21のいずれかに記載の透光性電磁波シールド膜を備えた光学フィ ルター。
23. 上記 1〜 15の ヽずれかに記載の透光性導電性膜を用 V、たディスプレイ用フィ ルター。
24. 少なくとも相対する 2辺の端部が幾何学的パターンの導電部であることを特徴 とする上記 23に記載のディスプレイ用フィルター。
25. 黒色導電性塗料により電極が形成されていることを特徴とする上記 24に記載 のディスプレイ用フィルター。 26. 上記 1〜 15の ヽずれかに記載の透光性導電性膜を用 V、たディスプレイ用フィ ルターの製造方法であって、該透光性導電性膜よりも幅の狭 、粘着材層を有するフ イルムと貼り合わせる工程を有するディスプレイ用フィルターの製造方法。
27. 上記 26のディスプレイ用フィルターの製造方法であって、該粘着材層を有する フィルムと貼り合わせた透光性導電性膜を、これよりも幅の広 ヽ基板に貼り合わせる 工程を有するディスプレイ用フィルターの製造方法。
28. 上記 26又は 27のディスプレイ用フィルターの製造方法であって、該粘着材層 を有するフィルムと貼り合わせた透光性導電性膜を、基板に貼り合わせる工程を有し 、該透光性導電性膜の幅方向の中心と基板の幅方向の中心を一致させるように貼り 合わせることを特徴とするディスプレイ用フィルターの製造方法。
29. 上記 27または 28のディスプレイ用フィルターの製造方法であって、該基板の 透光性導電性膜と反対側に機能性膜 (反射防止、近赤外カットなど)を貼り合わせる ことを特徴とするディスプレイ用フィルターの製造方法。
30. 上記 29のディスプレイ用フィルターの製造方法であって、該機能性膜が透光 性導電性膜よりも幅が狭いことを特徴とするディスプレイ用フィルターの製造方法。
31. 湾曲した露光ステージ上において、透明支持体を搬送しながらレーザー光ビ ームで露光し、 1 μ m力 40 mのメッシュ状細線力 なる導電性金属部と可視光透 過性部とで構成される 3m以上連続しているメッシュパターンを形成することを特徴と する、透光性導電性膜の製造方法。
32. 前記導電性金属部が現像銀部であることを特徴とする、上記 31に記載の透光 性導電性膜の製造方法。
33. 前記導電性金属部が現像銀部に導電性金属を担持させてなるものであること を特徴とする、上記 32に記載の透光性導電性膜の製造方法。
34. 前記現像銀部が、ハロゲン化銀を現像して形成されることを特徴とする、上記 3 2又は 33に記載の透光性導電性膜の製造方法。
35. 前記導電性金属部が、銅箔のエッチングにより形成されることを特徴とする、上 記 31〜34のいずれかに記載の透光性導電性膜の製造方法。
36. 前記光ビームの主走査の方向が、支持体搬送方向に対して交差する露光へッ ドを用いて露光することを特徴とする、上記 31〜35のいずれかに記載の透光性導電 性膜の製造方法。
37. 前記光ビームを搬送方向に対して 30° から 60° 傾けて走査することを特徴と する、上記 31〜36のいずれかに記載の透光性導電性膜の製造方法。
38. 前記光ビームの光強度が該パターユング中に 1値しか取らないことを特徴とす る、上記 31〜37のいずれかに記載の透光性導電性膜の製造方法。
39. 前記光ビームの波長が、 420nm以下であることを特徴とする、上記 31〜38の
V、ずれかに記載の透光性導電性膜の製造方法。
40. 前記光ビームの波長が、 600nm以上であることを特徴とする、上記 31〜39の
V、ずれかに記載の透光性導電性膜の製造方法。
41. 前記光ビームのエネルギーが lmjZcm2以下であることを特徴とする、上記 3 1〜40のいずれかに記載の透光性導電性膜の製造方法。
42. 高分子フィルム (A)の片面に幾何学的パターンの導電部を有する導電層 (B) が形成された電磁波シールド材 (C)を用いるディスプレイ用フィルターの製造方法で あって、幾何学的パターンの導電部は高分子フィルム (A)の機械加工方向に連続的 に形成されており、該幾何学的パターンの導電部の線幅が 1〜50 m、間隔が 30〜 500 mのメッシュ形状であり、該導電層（B)の面抵抗値が 0. 01〜1 ΩΖ口であり、 少なくとも幾何学的パターンの導電部を切断する工程を含むことを特徴とする、フィ ルターの少なくとも相対する 2辺の端部が幾何学的パターンの導電部であるディスプ レイ用フィルターの製造方法。
43. 前記電磁波シールド材 (C)が、高分子フィルム (Α)の片面に導電性物質 (B1) で幾何学的パターンを形成し、該幾何学的パターン上に導電性物質 (Β2)を付着す ることにより導電部を形成した導電層 (Β)を含むことを特徴とする上記 42に記載のデ イスプレイ用フィルターの製造方法。
44. 前記電磁波シールド材 (C)が、高分子フィルム (Α)と金属箔 (Β4)を接着剤層 (Β3)を介して貼り合わせ、該金属箔 (Β4)を加工して幾何学的パターンの導電部を 形成した導電層 (Β)を含むことを特徴とする上記 42に記載のディスプレイ用フィルタ 一の製造方法。 45. 前記導電層 (B)の少なくとも一方の面が黒色または黒茶色であることを特徴と する上記 42〜44のいずれかに記載のディスプレイ用フィルターの製造方法。
46. 上記 42〜45に記載の製造方法により得られるディスプレイ用フィルター。
47. プラズマディスプレイパネルに用いられる上記 46に記載のディスプレイ用フィ ルター。
48. 高分子フィルム (A)の片面に幾何学的パターンの導電部を有する導電層 (B) が形成された電磁波シールド材 (C)であって、幾何学的パターンの導電部は高分子 フィルム (A)の機械加工方向に連続的に繰り返し形成されており、該幾何学的バタ ーンの導電部の線幅が 1〜50 μ m、間隔が 30〜500 μ mのメッシュ形状であり、該 導電層（B)の面抵抗値が 0. 01〜1 ΩΖ口であることを特徴とする、上記 42〜45の いずれかに記載のディスプレイ用フィルターの製造に使用する電磁波シールド材に 関するものである。
発明の効果
[0020] 本発明によれば、細線状パターンの形成が容易であり、し力も安価に大量に製造 できる方法が得られる。この方法により、高い ΕΜΙシールド性と高い透明性とを同時 に有し、モアレがなぐシールド材料のロスが少なく生産性を向上するために連続メッ シュパターンを形成した透光性電磁波シールド膜を提供することができる。
[0021] さらに本発明によれば、ディスプレイ用フィルターを非常に生産効率が高ぐ低コスト の方法で提供する事が出来る。
図面の簡単な説明
[0022] [図 1]従来技術における導電性メッシュフィルムの平面図の一例
[図 2]本発明における高分子フィルム (Α)の全面に導電性 (Β)のメッシュ形状を形成 してなる電磁波シールド材 (C)を、導電層 (Β)側から見た平面図
[図 3]本発明における、高分子フィルム (Α)に導電層（Β)のメッシュ形状を、高分子フ イルム (Α)の機械加工方向に対して平行な端部以外に連続して形成した電磁波シ 一ルド材 (C)を、導電層 (Β)側から見た平面図
[図 4]本発明により作製されたディスプレイ用フィルターの一例（実施例 2— 1)を示す 断面図 圆 5]本発明により作製されたディスプレイ用フィルターの一例（実施例 2— 2)を示す 断面図
[図 6]本発明により作製されたフィルタ一一体型プラズマディスプレイパネルの一例（ 実施例 2— 3)を示す断面図
圆 7]本発明により作製されたディスプレイ用フィルターの一例（実施例 2— 4)を示す 断面図
符号の説明
[0023] 10 電磁波シールド材 (C)
11 導電層 (B)のメッシュ形状部分
12 導電層 (B)のメッシュ形状が形成されて!ヽな!ヽ部分
13 高分子フィルム (A)
14 接着材層 (B3)
20 透明粘着材 (D1)
30 透明支持層 (F)
40 透明粘着材 (D2)
50 機能性フィルム (E)
51 近赤外線吸収剤含有層
52 ハードコート層、及び、静電防止性及び防汚性を有する反射防止層
53 UVカット能を有する高分子フィルム
60 銀ペースト電極
70 プラズマディスプレイパネル
発明を実施するための最良の形態
[0024] 以下に、本発明の上記第一の目的を解決する透光性電磁波シールド膜及びその 製造方法について詳細に説明する。
なお、本明細書において「〜」は、その前後に記載される数値を下限値および上限 値として含む意味として使用される。
[0025] 連続メッシュパターンを形成する方式には印刷、インクジェット、熱転写等が挙げら れる。しかしながら、印刷においてはグラビア方式にしてもフレキソ方式及びその他の 方式においても、継ぎ目のない連続パターンを形成した円筒状の印刷版が必要で、 数力 十数 mの細線を数百/ z m間隔に配置し、版を一周したときに同じ細線につな がる必要があるが、力かる印刷版の製作は極めて困難な上、このような細線版では耐 刷性も不十分であった。
一方、インクジェットや熱転写は、解像度が不十分で数 mの連続した細線を描画 することは困難であった。本発明者らが鋭意検討した結果、連続メッシュパターンを 形成するにはレーザービームによる細線描画が最も適していることがわ力つた。しか しながら、数百 m力 数千 mに及ぶ長さ、数 mの幅に亘つて、精緻な細線を繰返し描 画すると搬送時の振動や、搬送速度の僅かな変動で、細線の幅やピッチがずれると いう問題が生じた。これらの問題について更に本発明者らが検討した結果、レーザー ビームが露光面に結像する部分の支持体を挟んで反対側の位置に均一な表面をも つ湾曲した露光ステージ (より具体的には露光用ローラー）をレーザービームの主走 查方向に並行して配置することで、特に効果的に解決できることを見出した。
露光用ローラーの材質は金属が好ましい。温度変形しに《表面の平滑性が鏡面 並に保持される材質が好ましい。さらに露光ローラーの直径は 5cm以上 lm以下が好 ましぐ更に好ましくは 10cm以上 50cm以下である。
本発明の透光性導電性膜は、支持体上に感光性ハロゲン化銀塩を含有する乳剤 層を有する感光材料を露光し、現像処理を施すことによって露光部および未露光部 に、それぞれ金属銀部および光透過性部を形成し、さらに前記金属銀部に物理現像 および Zまたはメツキ処理を施すことによって前記金属銀部に導電性金属を担持さ せることで製造することができる。
本発明の透光性導電性膜の形成方法は、感光材料と現像処理の形態によって、 次の 3通りの形態が含まれる。
( 1) 物理現像核を含まない感光性ハロゲン化銀黒白感光材料を化学現像又は熱 現像して金属銀部を該感光材料上に形成させる態様。
(2) 物理現像核をハロゲン化銀乳剤層中に含む感光性ハロゲンィ匕銀黒白感光材 料を溶解物理現像して金属銀部を該感光材料上に形成させる態様。
(3) 物理現像核を含まない感光性ハロゲン化銀黒白感光材料と、物理現像核を含 む非感光性層を有する受像シートを重ね合わせて拡散転写現像して金属銀部を非 感光性受像シート上に形成させる態様。
上記（1)の態様は、一体型黒白現像タイプであり、感光材料上に透光性電磁波シ 一ルド膜や光透過性導電膜などの透光性導電性膜が形成される。得られる現像銀 は化学現像銀又は熱現像銀であり、高比表面のフィラメントである点で後続するメッ キ又は物理現像過程で活性が高 ヽ。
上記（2)の態様は、露光部では、物理現像核近縁のハロゲンィ匕銀粒子が溶解され て現像核上に沈積することによって感光材料上に透光性電磁波シールド膜や光透 過性導電性膜などの透光性導電性膜が形成される。これも一体型黒白現像タイプで ある。現像作用が、物理現像核上への析出であるので高活性であるが、現像銀は比 表面は小さい球形である。
上記（3)の態様は、未露光部にぉ 、てハロゲンィ匕銀粒子が溶解されて拡散して受 像シート上の現像核上に沈積することによって受像シート上に透光性電磁波シール ド膜ゃ光透過性導電性膜などの透光性導電性膜が形成される。 ヽゎゆるセパレート タイプであって、受像シートを感光材料力 剥離して用いる態様である。
V、ずれの態様もネガ型現像処理および反転現像処理の ヽずれの現像を選択する こともできる (拡散転写方式の場合は、感光材料としてオートポジ型感光材料を用い ることによってネガ型現像処理が可能となる)。
ここでいう化学現像、熱現像、溶解物理現像、拡散転写現像は、当業界で通常用 いられている用語どおりの意味であり、写真化学の一般教科書、例えば菊地真一著「 写真化学」（共立出版社、 1955年刊行）、 C. E. K. Mees編「The Theory of Photog raphic Processes, 4th ed.J (Mcmillan社、 1977年刊行）に解説されている。本件は液 処理であるが、その他の出願については現像方式として、熱現像方式も適用される。 例えば、特開 2004— 184693号、同 2004— 334077号、同 2005— 010752号、 特願 2004— 244080号、同 2004— 085655力適用できる。
〈感光材料〉
[支持体]
本発明の製造方法に用いられる感光材料の支持体としては、プラスチックフィルム 、プラスチック板、およびガラス板などを用いることができる。
上記プラスチックフィルムおよびプラスチック板の原料としては、例えば、ポリエチレ ンテレフタレート（PET)、およびポリエチレンナフタレートなどのポリエステル類；ポリ エチレン（PE)、ポリプロピレン（PP)、ポリスチレン、 EVAなどのポリオレフイン類；ポリ 塩化ビニル、ポリ塩ィ匕ビユリデンなどのビュル系榭脂；その他、ポリエーテルエーテル ケトン（PEEK)、ポリサルホン（PSF)、ポリエーテルサルホン（PES)、ポリカーボネー ト（PC)、ポリアミド、ポリイミド、アクリル榭脂、トリァセチルセルロース (TAC)などを用 いることがでさる。
本発明においては、透明性、耐熱性、取り扱いやすさおよび価格の点から、上記プ ラスチックフィルムはポリエチレンテレフタレートフィルム又はトリァセチルセルロース（ TAC)であることが好まし!/ヽ。
[0027] ディスプレイ用の電磁波シールド材では透明性が要求されるため、支持体の透明 性は高 、ことが望ま 、。この場合におけるプラスチックフィルムまたはプラスチック板 の全可視光透過率は 70〜100%が好ましぐさらに好ましくは 85〜100%であり、特 に好ましくは 90〜 100%である。また、本発明では、前記プラスチックフィルムおよび プラスチック板として本発明の目的を妨げない程度に着色したものを用いることもでき る。
本発明におけるプラスチックフィルムおよびプラスチック板は、単層で用いることもで きるが、 2層以上を組み合わせた多層フィルムとして用いることも可能である。
[0028] 本発明における支持体としてガラス板を用いる場合、その種類は特に限定されない 力 ディスプレイ用電磁波シールド膜の用途として用いる場合、表面に強化層を設け た強化ガラスを用いることが好ましい。強化ガラスは、強化処理していないガラスに比 ベて破損を防止できる可能性が高い。さらに、風冷法により得られる強化ガラスは、 万一破損してもその破 ¾片が小さぐかつ端面も鋭利になることはないため、安全 上好ましい。
[0029] [保護層]
用いられる感光材料は、後述する乳剤層上に保護層を設けていてもよい。本発明 にお 、て「保護層」とは、ゼラチンや高分子ポリマーと!/、つたノインダ一力もなる層を 意味し、擦り傷防止や力学特性を改良する効果を発現するために感光性を有する乳 剤層に形成される。上記保護層はメツキ処理する上では設けない方が好ましぐ設け るとしても薄い方が好ましい。その厚みは 0. 以下が好ましい。上記保護層の塗 布方法の形成方法は特に限定されず、公知の塗布方法を適宜選択することができる
[0030] し剤層]
本発明の製造方法に用いられる感光材料は、支持体上に、光センサーとして銀塩 を含む乳剤層（銀塩含有層）を有することが好ま ヽ。本発明における乳剤層には、 銀塩のほか、必要に応じて、染料、バインダー、溶媒等を含有することができる。
<染料 >
感光材料には、少なくとも乳剤層に染料が含まれていてもよい。該染料は、フィルタ 一染料として若しくはィラジェーシヨン防止その他種々の目的で乳剤層に含まれる。 上記染料としては、固体分散染料を含有してよい。本発明に好ましく用いられる染料 としては、特開平 9— 179243号公報記載の一般式 (FA)、一般式 (FA1)、一般式（ FA2)、一般式 (FA3)で表される染料が挙げられ、具体的には同公報記載の化合 物 F1〜F34が好ましい。また、特開平 7— 152112号公報記載の（Π— 2)〜（Π— 24 )、特開平 7— 152112号公報記載の（III— 5)〜（III— 18)、特開平 7— 152112号 公報記載の（IV— 2)〜 (IV— 7)等も好ましく用いられる。
[0031] このほか、本発明に使用することができる染料としては、現像または定着の処理時 に脱色させる固体微粒子分散状の染料としては、特開平 3— 138640号公報記載の シァニン染料、ピリリウム染料およびアミ-ゥム染料が挙げられる。また、処理時に脱 色しない染料として、特開平 9— 96891号公報記載のカルボキシル基を有するシァ ニン染料、特開平 8 - 245902号公報記載の酸性基を含まな 、シァニン染料および 同 8— 333519号公報記載のレーキ型シァニン染料、特開平 1— 266536号公報記 載のシァニン染料、特開平 3— 136038号公報記載のホロポーラ型シァニン染料、 特開昭 62— 299959号公報記載のピリリウム染料、特開平 7— 253639号公報記載 のポリマー型シァニン染料、特開平 2— 282244号公報記載のォキソノール染料の 固体微粒子分散物、特開昭 63— 131135号公報記載の光散乱粒子、特開平 9 5 913号公報記載の Yb3 +化合物および特開平 7— 113072号公報記載の ITO粉末 等が挙げられる。また、特開平 9— 179243号公報記載の一般式 (F1)、一般式 (F2 )で表される染料で、具体的には同公報記載の化合物 F35〜F112も用いることがで きる。
[0032] また、上記染料としては、水溶性染料を含有することができる。このような水溶性染 料としては、ォキソノール染料、ベンジリデン染料、メロシアニン染料、シァニン染料 およびァゾ染料が挙げられる。中でも本発明においては、ォキソノール染料、へミオ キソノール染料およびべンジリデン染料が有用である。本発明に用い得る水溶性染 料の具体例としては、英国特許 584, 609号明細書、同 1, 177, 429号明細書、特 開昭 48— 85130号公報、同 49— 99620号公報、同 49— 114420号公報、同 52— 20822号公報、同 59— 154439号公報、同 59— 208548号公報、米国特許 2, 27 4, 782号明細書、同 2, 533, 472号明細書、同 2, 956, 879号明細書、同 3, 148 , 187号明細書、同 3, 177, 078号明細書、同 3, 247, 127号明細書、同 3, 540, 887号明細書、同 3, 575, 704号明細書、同 3, 653, 905号明細書、同 3, 718, 4 27号明細書に記載されたものが挙げられる。
[0033] 上記乳剤層中における染料の含有量は、ィラジェーシヨン防止などの効果と、添カロ 量増加による感度低下の観点から、全固形分に対して 0. 01〜10質量％が好ましく 、0. 1〜5質量％がさらに好ましい。
[0034] く銀塩〉
本発明で用いられる銀塩としては、ハロゲンィ匕銀などの無機銀塩が挙げられる。本 発明にお 、ては、光センサーとしての特性に優れるハロゲンィ匕銀を用いることが好ま しい。
[0035] 本発明で好ましく用いられるハロゲンィ匕銀について説明する。
本発明では、光センサーとして機能させるためにハロゲンィ匕銀を使用することが好 ましぐハロゲンィ匕銀に関する銀塩写真フィルムや印画紙、印刷製版用フィルム、フォ トマスク用ェマルジヨンマスク等で用いられる技術は、本発明にお 、ても用いることが できる。
[0036] 上記ハロゲン化銀に含有されるハロゲン元素は、塩素、臭素、ヨウ素およびフッ素 のいずれであってもよぐこれらを組み合わせでもよい。例えば、 AgCl、 AgBr、 Agl を主体としたハロゲンィ匕銀が好ましく用いられ、さらに AgBrや AgClを主体としたハロ ゲンィ匕銀が好ましく用いられる。塩臭化銀、沃塩臭化銀、沃臭化銀もまた好ましく用 いられる。より好ましくは、塩臭化銀、臭化銀、沃塩臭化銀、沃臭化銀であり、最も好 ましくは、塩化銀 50モル％以上を含有する塩臭化銀、沃塩臭化銀が用いられる。
[0037] 尚、ここで、「AgBr (臭化銀)を主体としたハロゲンィ匕銀」とは、ハロゲン化銀組成中 に占める臭化物イオンのモル分率が 50%以上のハロゲン化銀を 、う。この AgBrを 主体としたハロゲンィ匕銀粒子は、臭化物イオンのほかに沃化物イオン、塩化物イオン を含有していてもよい。
[0038] ノヽロゲン化銀は固体粒子状であり、露光、現像処理後に形成されるパターン状金 属銀層の画像品質の観点からは、ハロゲンィ匕銀の平均粒子サイズは、球相当径で 0 . 1〜1000ηπι(1 /ζ πι)であることが好ましぐ 0. l〜100nmであることがより好ましく 、 l〜50nmであることがさらに好ましい。
尚、ハロゲンィ匕銀粒子の球相当径とは、粒子形状が球形の同じ体積を有する粒子 の直径である。
[0039] ハロゲン化銀粒子の形状は特に限定されず、例えば、球状、立方体状、平板状 (6 角平板状、三角形平板状、 4角形平板状など)、八面体状、 14面体状など様々な形 状であることができ、立方体、 14面体が好ましい。
ハロゲン化銀粒子は内部と表層が均一な相力 なって 、ても異なって 、てもよ 、。 また粒子内部或いは表面にハロゲン組成の異なる局在層を有していてもよい。
[0040] 本発明に用いられる乳剤層用塗布液であるハロゲンィ匕銀乳剤は、 P. Glalkides著 Chimie etPhysique Photographique (Paul Montel社刊、 1967年)、 G. F. Dufin著 Pho tographic Emulsion Chemistry (The Forcal Press刊、 1966年)、 V. L.Zelikman et al著 Making and Coating Photographic Emulsion (The ForcalPress干、 1964年)など【こ g己 載された方法を用いて調製することができる。
[0041] すなわち、上記ハロゲン化銀乳剤の調製方法としては、酸性法、中性法等のいず れでもよぐ又、可溶性銀塩と可溶性ハロゲン塩とを反応させる方法としては、片側混 合法、同時混合法、それらの組み合わせなどのいずれを用いてもよい。 また、銀粒子の形成方法としては、粒子を銀イオン過剰の下において形成させる方 法 (いわゆる逆混合法)を用いることもできる。さらに、同時混合法の一つの形式とし てハロゲンィ匕銀の生成される液相中の pAgを一定に保つ方法、すなわち、いわゆる コントロールド.ダブルジェット法を用いることもできる。
またアンモニア、チォエーテル、四置換チォ尿素等のいわゆるハロゲンィ匕銀溶剤を 使用して粒子形成させることも好ましい。係る方法としてより好ましくは四置換チォ尿 素化合物であり、特開昭 53— 82408号、同 55— 77737号各公報に記載されている 。好ましいチォ尿素化合物はテトラメチルチオ尿素、 1, 3—ジメチルー 2—イミダゾリ ジンチオンが挙げられる。ハロゲンィ匕銀溶剤の添加量は用いる化合物の種類および 目的とする粒子サイズ、ハロゲン組成により異なる力 ハロゲンィ匕銀 1モルあたり 10-5 〜： L 0-2モルが好ましい。
[0042] 上記コントロールド ·ダブルジェット法およびハロゲンィ匕銀溶剤を使用した粒子形成 方法では、結晶型が規則的で粒子サイズ分布の狭 ヽハロゲンィ匕銀乳剤を作るのが 容易であり、本発明に好ましく用いることができる。
また、粒子サイズを均一にするためには、英国特許第 1, 535, 016号明細書、特 公昭 48— 36890号広報、同 52— 16364号公報に記載されているように、硝酸銀や ハロゲンィ匕アルカリの添加速度を粒子成長速度に応じて変化させる方法や、英国特 許第 4, 242, 445号明細書、特開昭 55— 158124号公報に記載されているように 水溶液の濃度を変化させる方法を用いて、臨界飽和度を越えな 、範囲にぉ 、て早く 銀を成長させることが好ましい。本発明における乳剤層の形成に用いられるハロゲン 化銀乳剤は単分散乳剤が好ましぐ { (粒子サイズの標準偏差) Z (平均粒子サイズ） } X 100で表される変動係数が 20%以下、より好ましくは 15%以下、最も好ましくは 1 0%以下であることが好まし 、。
[0043] 本発明に用いられるハロゲンィ匕銀乳剤は、粒子サイズの異なる複数種類のハロゲ ン化銀乳剤を混合してもよ 、。
[0044] 本発明に用いられるハロゲンィ匕銀乳剤は、 VIII族、 VIIB族に属する金属を含有して もよい。特に、高コントラストおよび低カプリを達成するために、ロジウム化合物、イリジ ゥム化合物、ルテニウム化合物、鉄化合物、オスミウム化合物などを含有することが好 ましい。これら化合物は、各種の配位子を有する化合物であってよぐ配位子として 例えば、シアン化物イオンやハロゲンイオン、チオシアナ一トイオン、ニトロシルイオン 、水、水酸化物イオンなどや、こうした擬ハロゲン、アンモニアのほか、アミン類 (メチ ルァミン、エチレンジァミン等）、ヘテロ環化合物（イミダゾール、チアゾール、 5—メチ ルチアゾール、メルカプトイミダゾールなど）、尿素、チォ尿素等の、有機分子を挙げ ることがでさる。
また、高感度化のためには K4〔Fe (CN) 6〕や K4 [Ru (CN) 6〕、 K3〔Cr (CN) 6〕の ごとき六シァノ化金属錯体のドープが有利に行われる。
[0045] 上記ロジウム化合物としては、水溶性ロジウム化合物を用いることができる。水溶性 ロジウム化合物としては、例えば、ハロゲン化ロジウム（III)化合物、へキサクロロロジ ゥム（III)錯塩、ペンタクロロアコロジウム錯塩、テトラクロロジアコロジウム錯塩、へキサ ブロモロジウム（III)錯塩、へキサァミンロジウム（III)錯塩、トリザラトロジウム（III)錯塩 、 K3Rh2Br9等が挙げられる。
これらのロジウム化合物は、水或いは適当な溶媒に溶解して用いられるが、ロジゥ ム化合物の溶液を安定ィ匕させるために一般によく行われる方法、すなわち、ハロゲン 化水素水溶液 (例えば塩酸、臭酸、フッ酸等）、或いはハロゲンィ匕アルカリ（例えば K Cl、 NaCl、 KBr、 NaBr等）を添加する方法を用いることができる。水溶性ロジウムを 用いる代わりにハロゲンィ匕銀調製時に、あら力じめロジウムをドープしてある別のハロ ゲンィ匕銀粒子を添加して溶解させることも可能である。
[0046] 上記イリジウム化合物としては、 K2IrC16、 K3IrC16等のへキサクロ口イリジウム錯塩 、へキサブロモイリジウム錯塩、へキサアンミンイリジウム錯塩、ペンタクロロニトロシノレ イリジウム錯塩等が挙げられる。
上記ルテニウム化合物としては、へキサクロ口ルテニウム、ペンタクロロ-トロシルル テ-ゥム、 K4 [Ru (CN) 6〕等が挙げられる。
上記鉄化合物としては、へキサシァノ鉄 (Π)酸カリウム、チォシアン酸第一鉄が挙 げられる。
[0047] 上記ルテニウム、ォスミニゥムは特開昭 63— 2042号公報、特開平 1 285941号 公報、同 2— 20852号公報、同 2— 20855号公報等に記載された水溶性錯塩の形 で添加され、特に好ましいものとして、以下の式で示される六配位錯体が挙げられる
[ML6] - n
(ここで、 Mは Ru、または Osを表し、 nは 0、 1、 2、 3または 4を表す。 )
この場合、対イオンは重要性を持たず、例えば、アンモ-ゥム若しくはアルカリ金属 イオンが用いられる。また好ましい配位子としてはハロゲン化物配位子、シアン化物 配位子、シアン酸化物配位子、ニトロシル配位子、チォニトロシル配位子等が挙げら れる。以下に本発明に用いられる具体的錯体の例を示すが、本発明はこれに限定さ れるものではない。
[0048] 〔RuC16〕— 3、〔RuC14 (H20) 2〕— 1、 [RuC15 (NO) ] -2,〔RuBr5 (NS)〕— 2、 [Ru (C 0) 3C13〕- 2、〔Ru (CO) C15〕- 2、〔Ru (CO) Br5〕- 2、〔OsC16〕- 3、 [OsC15 (NO) ] -2 、 [Os (NO) (CN) 5〕- 2、〔Os (NS) Br5〕- 2、〔Os (CN) 6〕- 4、〔Os (0) 2 (CN) 5〕- 4。
[0049] これらの化合物の添加量はハロゲン化銀 1モル当り 10- 10〜 10-2モル Zモル Agで あることが好ましぐ 10-9〜： L0-3モル Zモル Agであることがさらに好ましい。
[0050] その他、本発明では、 Pd (II)イオンおよび Zまたは Pd金属を含有するハロゲン化 銀も好ましく用いることができる。 Pdはハロゲンィ匕銀粒子内に均一に分布していても よいが、ハロゲンィ匕銀粒子の表層近傍に含有させることが好ましい。ここで、 Pdが「ノヽ ロゲン化銀粒子の表層近傍に含有する」とは、ハロゲンィ匕銀粒子の表面力も深さ方 向に 50nm以内にぉ 、て、他層よりもパラジウムの含有率が高 、層を有することを意 味する。
このようなハロゲンィ匕銀粒子は、ハロゲン化銀粒子を形成する途中で Pdを添加する ことにより作製することができ、銀イオンとハロゲンイオンとをそれぞれ総添加量の 50 %以上添加した後に、 Pdを添加することが好ましい。また Pd (II)イオンを後熟時に添 加するなどの方法でハロゲンィ匕銀表層に存在させることも好ま U、。
この Pd含有ハロゲンィ匕銀粒子は、物理現像や無電解メツキの速度を速め、所望の 電磁波シールド材の生産効率を上げ、生産コストの低減に寄与する。 Pdは、無電解 メツキ触媒としてよく知られて用いられている力 本発明では、ハロゲンィ匕銀粒子の表 層に Pdを偏在させることが可能なため、極めて高価な Pdを節約することが可能であ る。
[0051] 本発明において、ハロゲンィ匕銀に含まれる Pdイオンおよび/または Pd金属の含有 率は、ハロゲン化銀の、銀のモル数に対して 10-4〜0. 5モル Zモル Agであることが 好ましく、 0. 01〜0. 3モル Zモル Agであることがさらに好ましい。
使用する Pd化合物の例としては、 PdC14や、 Na2PdC14等が挙げられる。
[0052] 本発明では、さらに光センサーとしての感度を向上させるため、写真乳剤で行われ る化学増感を施すこともできる。化学増感の方法としては、硫黄増感、セレン増感、テ ルル増感等カルコゲン増感、金増感などの貴金属増感、還元増感等を用いることが できる。これらは、単独または組み合わせて用いられる。上記化学増感の方法を組み 合わせて使用する場合には、例えば、硫黄増感法と金増感法、硫黄増感法とセレン 増感法と金増感法、硫黄増感法とテルル増感法と金増感法などの組み合わせが好 ましい。
[0053] 上記硫黄増感は、通常、硫黄増感剤を添加して、 40°C以上の高温で乳剤を一定 時間攪拌することにより行われる。上記硫黄増感剤としては公知の化合物を使用す ることができ、例えば、ゼラチン中に含まれる硫黄ィ匕合物のほか、種々の硫黄化合物 、例えば、チォ硫酸塩、チォ尿素類、チアゾール類、ローダ-ン類等を用いることが できる。好ましい硫黄化合物は、チォ硫酸塩、チォ尿素化合物である。硫黄増感剤 の添加量は、化学熟成時の pH、温度、ハロゲンィ匕銀粒子の大きさなどの種々の条 件の下で変化し、ハロゲン化銀 1モル当り 10-7〜10-2モルが好ましぐより好ましく は 10-5〜 10-3モルである。
[0054] 上記セレン増感に用いられるセレン増感剤としては、公知のセレン化合物を用いる ことができる。すなわち、上記セレン増感は、通常、不安定型および Zまたは非不安 定型セレンィ匕合物を添加して 40°C以上の高温で乳剤を一定時間攪拌することにより 行われる。上記不安定型セレンィ匕合物としては特公昭 44— 15748号公報、同 43— 13489号公報、特開平 4— 109240号公報、同 4— 324855号公報等に記載の化 合物を用いることができる。特に特開平 4— 324855号公報中の一般式 (VIII)および (IX)で示される化合物を用いることが好ま 、。
[0055] 上記テルル増感剤に用いられるテルル増感剤は、ハロゲンィ匕銀粒子表面または内 部に、増感核になると推定されるテルル化銀を生成せしめる化合物である。ハロゲン 化銀乳剤中のテルルイ匕銀生成速度については特開平 5— 313284号公報に記載の 方法で試験することができる。具体的には、米国特許 US第 1, 623, 499号明細書、 同第 3, 320, 069号明細書、同第 3, 772, 031号明細書、英国特許第 235, 211 号明細書、同第 1, 121, 496号明細書、同第 1, 295, 462号明細書、同第 1, 396 , 696号明細書、カナダ特許第 800, 958号明細書、特開平 4 204640号公報、 同 4— 271341号公報、同 4— 333043号公報、同 5— 303157号公報、ジャーナル •ォブ ·ケミカル ·ソサイァティ^ ~ ·ケミカル 'コミュニケーション（J.Chem.So Chem.Com mun.) 635 (1980)、 ibid 1102 (1979)、 ibid 645 (1979)、ジャーナル'ォブ'ケミカ ル.ソサイァティ一.パーキン.トランザクション（J.Chem.Soc.Perkin.Trans.) 1, 2191 ( 1980)、 S.パタイ（S. Patai)編、ザ'ケミストリ一'ォブ 'オーガニック'セレニウム'ァ ント ·7"ノレリウム'カンノヽゥンス、The し hemistry of Organic selenium and Telluniumし o mpounds)、 Vol 1 (1986)、同 Vol 2 (1987)に記載の化合物を用いることができる。 特に特開平 5— 313284号公報中の一般式 (IIKIIIXIV)で示される化合物が好ましい
[0056] 本発明で用いることのできるセレン増感剤およびテルル増感剤の使用量は、使用 するハロゲンィ匕銀粒子、化学熟成条件等によって変わるが、一般にハロゲンィ匕銀 1モ ル当たり 10-8〜10-2モル、好ましくは 10-7〜10-3モル程度を用いる。本発明にお ける化学増感の条件としては特に制限はないが、 pHとしては 5〜8、 pAgとしては 6 〜11、好ましくは 7〜 10であり、温度としては 40〜95°C、好ましくは 45〜85°Cである
[0057] また、上記貴金属増感剤としては、金、白金、ノラジウム、イリジウム等が挙げられ、 特に金増感が好ましい。金増感に用いられる金増感剤としては、具体的には、塩ィ匕 金酸、カリウムクロ口オーレート、カリウムォーリチオシァネート、硫化金、チォダルコ一 ス金（1)、チォマンノース金（I)などが挙げられ、ハロゲン化銀 1モル当たり 10-7〜10 -2モル程度を用いることができる。本発明に用いるハロゲンィ匕銀乳剤にはハロゲンィ匕 銀粒子の形成または物理熟成の過程においてカドミウム塩、亜硫酸塩、鉛塩、タリウ ム塩などを共存させてもょ 、。 [0058] また、本発明においては、還元増感を用いることができる。還元増感剤としては第 ースズ塩、アミン類、ホルムアミジンスルフィン酸、シラン化合物などを用いることがで きる。上記ハロゲンィ匕銀乳剤は、欧州公開特許 (EP) 293917に示される方法により 、チォスルホン酸ィ匕合物を添加してもよい。本発明に用いられる感光材料の作製に 用いられるハロゲンィ匕銀乳剤は、 1種だけでもよいし、 2種以上 (例えば、平均粒子サ ィズの異なるもの、ハロゲン組成の異なるもの、晶癖の異なるもの、化学増感の条件 の異なるもの、感度の異なるもの）の併用であってもよい。中でも高コントラストを得る ためには、特開平 6— 324426号公報に記載されているように、支持体に近いほど高 感度な乳剤を塗布することが好ま U、。
[0059] <バインダー >
乳剤層には、銀塩粒子を均一に分散させ、かつ乳剤層と支持体との密着を補助す る目的でバインダーを用いることができる。本発明において上記バインダーとしては、 非水溶性ポリマーおよび水溶性ポリマーのいずれもバインダーとして用いることがで きるが、水溶性ポリマーを用いることが好ましい。
上記バインダーとしては、例えば、ゼラチン、ポリビュルアルコール（PVA)、ポリビ -ルピロリドン (PVP)、澱粉等の多糖類、セルロースおよびその誘導体、ポリエチレ ンオキサイド、ポリサッカライド、ポリビニルァミン、キトサン、ポリリジン、ポリアクリル酸 、ポリアルギン酸、ポリヒアルロン酸、カルボキシセルロース等が挙げられる。これらは 、官能基のイオン性によって中性、陰イオン性、陽イオン性の性質を有する。
[0060] 乳剤層中に含有されるバインダーの含有量は、特に限定されず、分散性と密着性 を発揮し得る範囲で適宜決定することができる。
[0061] <溶媒 >
上記乳剤層の形成に用いられる溶媒は、特に限定されるものではないが、例えば、 水、有機溶媒 (例えば、メタノール等アルコール類、アセトンなどケトン類、ホルムアミ ドなどのアミド類、ジメチルスルホキシドなどのスルホキシド類、酢酸ェチルなどのエス テル類、エーテル類等）、イオン性液体、およびこれらの混合溶媒を挙げることができ る。
本発明の乳剤層に用いられる溶媒の含有量は、前記乳剤層に含まれる銀塩、バイ ンダ一等の合計の質量に対して 30〜90質量％の範囲であり、 50〜80質量％の範 囲であることが好ましい。
[0062] 〈各工程〉
[露光]
本発明では、支持体上に設けられた銀塩含有層またはフォトリソグラフィー用フォト ポリマーを塗工した感光材料への露光を行う。露光は、電磁波を用いて行うことがで きる。電磁波としては、例えば、可視光線、紫外線などの光、 X線などの放射線等が 挙げられる。さらに露光には波長分布を有する光源を利用してもよぐ特定の波長の 光源を用いてもよい。
[0063] 上記光源としては、必要に応じて可視スペクトル領域に発光を示す各種発光体が 用いられる。例えば、赤色発光体、緑色発光体、青色発光体のいずれか 1種又は 2 種以上が混合されて用いられる。スペクトル領域は、上記の赤色、緑色及び青色に 限定されず、黄色、橙色、紫色或いは赤外領域に発光する蛍光体も用いられる。特 に、これらの発光体を混合して白色に発光する陰極線管がしばしば用いられる。また 、紫外線ランプも好ましぐ水銀ランプの g線、水銀ランプの i線等も利用される。
[0064] また本発明では、露光は種々のレーザービームを用いて行うことが好まし 、。例え ば、本発明における露光は、ガスレーザー、発光ダイオード、半導体レーザー、半導 体レーザー又は半導体レーザーを励起光源に用いた固体レーザーと非線形光学結 晶を組合わせた第二高調波発光光源 (SHG)等の単色高密度光を用いた走査露光 方式を好ましく用いることができ、さらに KrFエキシマレーザー、 ArFエキシマレーザ 一、 F2レーザー等も用いることができる。システムをコンパクトで、安価なものにする ために、露光は、半導体レーザー、半導体レーザーあるいは固体レーザーと非線形 光学結晶を組合わせた第二高調波発生光源 (SHG)を用いて行うことがより好ましい 。特にコンパクトで、安価、さらに寿命が長ぐ安定性が高い装置を設計するためには 、露光は半導体レーザーを用いて行うことが最も好まし 、。
露光のエネルギーとしては、ハロゲンィ匕銀を用いる場合には、 lmjZcm2以下が好 ましぐ 100 jZcm2以下がより好ましぐ 50 jZcm2以下がさらに好ましい。
[0065] レーザー光源としては、具体的には、波長 430〜460nmの青色半導体レーザー（ 2001年 3月の第 48回応用物理学関係連合講演会で日亜化学発表)、半導体レー ザ一 (発振波長約 1060nm)を導波路状の反転ドメイン構造を有する LiNb03の SH G結晶により波長変換して取り出した約 530nmの緑色レーザー、波長約 685nmの 赤色半導体レーザー（日立タイプ No. HL6738MG)、波長約 650nmの赤色半導 体レーザー（日立タイプ No. HL6501MG)などが好ましく用いられる。紫外〜青色 レーザーとしては、 300nm以上 420nm以下の波長のものがより好ましぐ更に具体 的には約 365nm或いは約 405nmの波長のレーザーがより好ましい。
[0066] 銀塩含有層をパターン状に露光する方法は、レーザービームによる走査露光が好 ま 、。特に特開 2000-39677号公報記載のキヤプスタン方式のレーザー走査露光装 置が好ましぐさらには該キヤブスタン方式においてポリゴンミラーの回転によるビー ム走査の代わりに特開 2004-1244号公報記載の DMDを光ビーム走査系に用いること も好ましい。
[0067] [現像処理]
本発明では、乳剤層を露光した後、さらに現像処理が行われる。現像処理は、銀塩 写真フィルムや印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用ェマルジヨンマスク等に 用いられる通常の現像処理の技術を用いることができる。現像液については特に限 定はしないが、 PQ現像液、 MQ現像液、 MAA現像液等を用いることもでき、市販品 では、例えば、富士フィルム社製の CN— 16、 CR— 56、 CP45X、 FD— 3、パピトー ル、 KODAK社製の C— 41、 E— 6、 RA— 4、 D— 19、 D— 72などの現像液、また はそのキットに含まれる現像液を用いることができる。また、リス現像液を用いることも できる。
リス現像液としては、 KODAK社製の D85などを用いることができる。本発明では、 上記の露光および現像処理を行うことにより露光部に金属銀部、好ましくはパターン 状金属銀部が形成されると共に、未露光部に後述する光透過性部が形成される。
[0068] 本発明の製造方法においては、上記現像液としてジヒドロキシベンゼン系現像主薬 を用いることができる。ジヒドロキシベンゼン系現像主薬としてはハイドロキノン、クロ口 ハイドロキノン、イソプロピルハイドロキノン、メチルハイドロキノン、ハイド口キノンモノス ルホン酸塩などが挙げられる力 特にハイドロキノンが好ましい。上記ジヒドロキシべ ンゼン系現像主薬と超加成性を示す補助現像主薬としては、 1—フエ-ル一 3—ビラ ゾリドン類や P ァミノフエノール類が挙げられる。本発明の製造方法において用いる 現像液としては、ジヒドロキシベンゼン系現像主薬と 1 フエ二ノレ 3 ビラゾリドン類 との組合せ；またはジヒドロキシベンゼン系現像主薬と p ァミノフエノール類との組合 せが好ましく用いられる。
[0069] 補助現像主薬として用いられる 1—フエ-ルー 3—ビラゾリドンまたはその誘導体と 組み合わせられる現像主薬としては、具体的に、 1—フエ-ル— 3—ビラゾリドン、 1— フエニル一 4, 4 ジメチル一 3 ピラゾリドン、 1—フエニル一 4—メチル 4 ヒドロキ シメチル一 3—ビラゾリドンなどがある。
上記 P -ァミノフエノール系補助現像主薬としては、 N メチル p ァミノフエノー ル、 ρ ァミノフエノール、 N— ( j8—ヒドロキシェチル） p ァミノフエノール、 N— (4 ーヒドロキシフエ-ル）グリシン等がある力 なかでも N—メチルー p ァミノフエノール が好ましい。ジヒドロキシベンゼン系現像主薬は、通常 0. 05〜0. 8モル/リットルの 量で用いられるのが好ましいが、本発明においては、 0. 23モル Zリットル以上で使 用するのが特に好ましい。さらに好ましくは、 0. 23〜0. 6モル Zリットルの範囲であ る。またジヒドロキシベンゼン類と 1―フエニル 3 ビラゾリドン類若しくは -アミノフ ェノール類との組合せを用いる場合には、前者を 0. 23-0. 6モル/リットル、さらに 好ましくは 0. 23〜0. 5モル Zリットル、後者を 0. 06モル Zリットル以下、さらに好ま しく ίま 0. 03モノレ/リットノレ〜 0. 003モノレ/リットノレの量で用! /、るの力好まし!/ヽ。
[0070] 本発明においては、現像開始液および現像補充液の双方力 「該液 1リットルに 0.
1モルの水酸ィ匕ナトリウムをカ卩えたときの pH上昇が 0. 5以下」である性質を有すること が好まし ヽ。使用する現像開始液な ヽし現像補充液がこの性質を有することを確か める方法としては、試験対象の現像開始液ないし現像補充液の pHを 10. 5に合わ せ、ついでこの液 1リットルに水酸化ナトリウムを 0. 1モル添カ卩し、この際の液の pH値 を測定し、 pH値の上昇が 0. 5以下であれば上記に規定した性質を有すると判定す る。本発明の製造方法では、特に、上記試験を行った時の pH値の上昇が 0. 4以下 である現像開始液および現像補充液を用いることが好まし 、。
[0071] 現像開始液および現像補充液に上記の性質を与える方法としては、緩衝剤を使用 した方法によることが好ましい。上記緩衝剤としては、炭酸塩、特開昭 62— 186259 号公報に記載のホウ酸、特開昭 60— 93433号公報に記載の糖類 (例えばサッカロ 一ス）、ォキシム類（例えばァセトォキシム）、フエノール類（例えば 5—スルホサリチル 酸)、第 3リン酸塩 (例えばナトリウム塩、カリウム塩)などを用いることができ、好ましく は炭酸塩、ホウ酸が用いられる。上記緩衝剤（特に炭酸塩)の使用量は、好ましくは、 0. 25モノレ/リットノレ以上であり、 0. 25〜： L 5モノレ/リットノレ力特に好まし!/ヽ。
[0072] 本発明においては、上記現像開始液の pHが 9. 0〜11. 0であることが好ましぐ 9 . 5〜10. 7の範囲であることが特に好ましい。上記現像補充液の pHおよび連続処 理時の現像タンク内の現像液の pHもこの範囲である。 pH設定のために用いるアル カリ剤には通常の水溶性無機アルカリ金属塩 (例えば水酸ィ匕ナトリウム、水酸化力リウ ム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム)を用いることができる。
[0073] 本発明の製造方法において、感光材料 1平方メートルを処理する際に、現像液中 の現像補充液の含有量は 323ミリリットル以下、好ましくは 323〜30ミリリットル、特に 225〜50ミリリットルである。現像補充液は、現像開始液と同一の組成を有していても ょ 、し、現像で消費される成分にっ 、て開始液よりも高 、濃度を有して 、てもよ 、。
[0074] 本発明で感光材料を現像処理する際の現像液 (以下、現像開始液および現像補 充液の双方をまとめて単に「現像液」という場合がある）には、通常用いられる添加剤 (例えば、保恒剤、キレート剤）を含有することができる。上記保恒剤としては亜硫酸 ナトリウム、亜硫酸カリウム、亜硫酸リチウム、亜硫酸アンモ-ゥム、重亜硫酸ナトリウ ム、メタ重亜硫酸カリウム、ホルムアルデヒド重亜硫酸ナトリウムなどの亜硫酸塩が挙 げられる。該亜硫酸塩は、 0. 20モル Zリットル以上用いられることが好ましぐさらに 好ましくは 0. 3モル Zリットル以上用いられる力 余りに多量添加すると現像液中の 銀汚れの原因になるので、上限は 1. 2モル Zリットルとするのが望ましい。特に好ま しくは、 0. 35〜0. 7モル/リットルである。また、ジヒドロキシベンゼン系現像主薬の 保恒剤として、亜硫酸塩と併用してァスコルビン酸誘導体を少量使用してもよい。ここ でァスコルビン酸誘導体とは、ァスコルビン酸、および、その立体異性体であるエリソ ルビン酸やそのアルカリ金属塩 (ナトリウム、カリウム塩)などを包含する。上記ァスコ ルビン酸誘導体としては、エリソルビン酸ナトリウムを用いることが素材コストの点で好 まし 、。上記ァスコルビン酸誘導体の添カ卩量はジヒドロキシベンゼン系現像主薬に対 して、モノ kb匕で 0. 03〜0. 12の範囲力好ましく、特に好ましく ίま 0. 05〜0. 10の範 囲である。上記保恒剤としてァスコルビン酸誘導体を使用する場合には現像液中に ホウ素化合物を含まな 、ことが好まし 、。
[0075] 上記以外に現像材に用いることのできる添加剤としては、臭化ナトリウム、臭化カリ ゥムの如き現像抑制剤；エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコ ール、ジメチルホルムアミドの如き有機溶剤；ジエタノールァミン、トリエタノールァミン 等のアルカノールァミン、イミダゾールまたはその誘導体等の現像促進剤や、メルカ プト系化合物、インダゾール系化合物、ベンゾトリアゾール系化合物、ベンゾイミダゾ ール系化合物をカプリ防止剤または黒ポッ (black pepper)防止剤として含んでもよい 。上記べンゾイミダゾール系化合物としては、具体的に、 5— -トロインダゾール、 5— p -トロベンゾィルァミノインダゾール、 1ーメチルー 5 -トロインダゾール、 6 -ト ロインダゾール、 3—メチルー 5— -トロインダゾール、 5— -トロべンズイミダゾール、 2—イソプロピル— 5 -トロべンズイミダゾール、 5 -トロべンズトリァゾール、 4—〔 (2 メルカプト 1, 3, 4ーチアジアゾールー 2 ィル）チォ〕ブタンスルホン酸ナトリ ゥム、 5 アミノー 1, 3, 4 チアジアゾールー 2 チオール、メチルベンゾトリァゾー ル、 5 メチルベンゾトリァゾール、 2 メルカプトべンゾトリアゾールなどを挙げること ができる。これらべンゾイミダゾール系化合物の含有量は、通常、現像液 1リットル当り 0. 01〜： LOmmolであり、より好ましくは、 0. l〜2mmolである。
[0076] さらに上記現像液中には、各種の有機 ·無機のキレート剤を併用することができる。
上記無機キレート剤としては、テトラポリリン酸ナトリウム、へキサメタリン酸ナトリウム等 を用いることができる。一方、上記有機キレート剤としては、主に有機カルボン酸、アミ ノポリカルボン酸、有機ホスホン酸、ァミノホスホン酸および有機ホスホノカルボン酸を 用!/、ることができる。
上記有機カルボン酸としては、アクリル酸、シユウ酸、マロン酸、コハク酸、ダルタル 酸、アジピン酸、ピメリン酸、コハク酸、ァシエライン酸、セバチン酸、ノナンジカルボン 酸、デカンジ力ノレボン酸、ゥンデカンジ力ノレボン酸、マレイン酸、ィタコン酸、リンゴ酸 、クェン酸、酒石酸等を挙げることができるがこれらに限定されるものではない。 [0077] 上記アミノポリカルボン酸としては、イミノニ酢酸、二トリ口三酢酸、二トリ口三プロピオ ン酸、エチレンジァミンモノヒドロキシェチル三酢酸、エチレンジァミン四酢酸、グリコ ールエーテル四酢酸、 1, 2—ジァミノプロパン四酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸、 トリエチレンテトラミン六酢酸、 1, 3—ジアミノー 2—プロパノール四酢酸、グリコール エーテルジァミン四酢酸、その他特開昭 52— 25632号、同 55— 67747号、同 57— 102624号の各公報、および特公昭 53— 40900号公報等に記載の化合物を挙げ ることがでさる。
[0078] 有機ホスホン酸としては、米国特許 US第 3214454号、同 3794591号の各明細 書、および西独特許公開 2227639号公報等に記載のヒドロキシアルキリデン—ジホ スホン酸やリサーチ 'ディスクロージャー（Research Disclosure)第 181卷、 Item 18170 (1979年 5月号)等に記載の化合物が挙げられる。
上記アミノホスホン酸としては、アミノトリス (メチレンホスホン酸）、エチレンジアミンテ トラメチレンホスホン酸、アミノトリメチレンホスホン酸等が挙げられる力 その他上記リ サーチ ·ディスクロージャー 18170号、特開昭 57— 208554号、同 54— 61125号、 同 55— 29883号の各公報および同 56 - 97347号公報等に記載の化合物を挙げる ことができる。
[0079] 有機ホスホノカノレボン酸としては、特開日召 52— 102726号、同 53— 42730号、同 5 4— 121127号、同 55— 4024号、同 55— 4025号、同 55— 126241号、同 55— 65 955号、同 55— 65956号等の各公報、および前述のリサーチ 'ディスクロージャー 1 8170号等に記載の化合物を挙げることができる。これらのキレート剤はアルカリ金属 塩やアンモニゥム塩の形で使用してもよ 、。
[0080] これらキレート剤の添カ卩量としては、現像液 1リットル当り好ましくは、 1 X 10-4〜1
X 10- 1モル、より好ましくは 1 X 10- 3〜1 X 10- 2モルである。
[0081] さらに、現像液中に銀汚れ防止剤として、特開昭 56— 24347号、特公昭 56— 465 85号、特公昭 62— 2849号、特開平 4— 362942号の各公報記載の化合物を用い ることができる。また、溶解助剤として特開昭 61— 267759号公報記載の化合物を用 いることができる。さらに現像液には、必要に応じて色調剤、界面活性剤、消泡剤、 硬膜剤等を含んでもよい。現像処理温度および時間は相互に関係し、全処理時間と の関係において決定される力 一般に現像温度は約 20°C〜約 50°Cが好ましぐ 25 〜45°Cがさらに好ましい。また、現像時間は 5秒〜 2分が好ましぐ 7秒〜 1分 30秒が さらに好ましい。
[0082] 現像液の搬送コスト、包装材料コスト、省スペース等の目的から、現像液を濃縮化し 、使用時に希釈して用いるようにする態様も好ましい。現像液の濃縮化のためには、 現像液に含まれる塩成分をカリウム塩ィ匕することが有効である。
[0083] 本発明における現像処理は、未露光部分の銀塩を除去して安定化させる目的で行 われる定着処理を含むことができる。本発明における定着処理は、銀塩写真フィルム や印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用ェマルジヨンマスク等に用いられる定 着処理の技術を用いることができる。
[0084] 上記定着工程で使用する定着液の好ましい成分としては、以下が挙げられる。
すなわち、チォ硫酸ナトリウム、チォ硫酸アンモニゥム、必要により酒石酸、クェン酸 、ダルコン酸、ホウ酸、イミノジ酢酸、 5—スルホサリチル酸、ダルコヘプタン酸、タイ口 ン、エチレンジァミン四酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸、二トリ口三酢酸これらの塩 等を含むことが好ましい。近年の環境保護の観点からは、ホウ酸は含まれない方が 好ましい。本発明に用いられる定着液の定着剤としてはチォ硫酸ナトリウム、チォ硫 酸アンモ-ゥムなどが挙げられ、定着速度の点からはチォ硫酸アンモ-ゥムが好まし いが、近年の環境保護の観点力 チォ硫酸ナトリウムが使われてもよい。これら既知 の定着剤の使用量は適宜変えることができ、一般には約 0. 1〜約 2モル Zリットルで ある。特に好ましくは、 0. 2〜1. 5モル Zリットルである。定着液には所望により、硬 膜剤 (例えば水溶性アルミニウム化合物）、保恒剤 (例えば、亜硫酸塩、重亜硫酸塩） 、 pH緩衝剤（例えば、酢酸）、 pH調整剤（例えば、アンモニア、硫酸）、キレート剤、 界面活性剤、湿潤剤、定着促進剤を含むことができる。
[0085] 上記界面活性剤としては、例えば硫酸ィ匕物、スルホンィ匕物などのァニオン界面活 性剤、ポリエチレン系界面活性剤、特開昭 57— 6740号公報記載の両性界面活性 剤などが挙げられる。また、上記定着液には、公知の消泡剤を添加してもよい。
上記湿潤剤としては、例えば、アルカノールァミン、アルキレングリコールなどが挙 げられる。また、上記定着促進剤としては、例えば特公昭 45— 35754号、同 58— 1 22535号、同 58— 122536号の各公報に記載のチォ尿素誘導体；分子内に 3重結 合を持つアルコール；米国特許 US第 4126459号明細書記載のチォエーテル化合 物；特開平 4— 229860号公報記載のメソイオンィ匕合物などが挙げられ、特開平 2— 44355号公報記載の化合物を用いてもよい。また、上記 pH緩衝剤としては、例えば 酢酸、リンゴ酸、こはく酸、酒石酸、クェン酸、シユウ酸、マレイン酸、グリコール酸、ァ ジピン酸などの有機酸や、ホウ酸、リン酸塩、亜硫酸塩などの無機緩衝剤が使用でき る。上記 pH緩衝剤として好ましくは、酢酸、酒石酸、亜硫酸塩が用いられる。ここで p H緩衝剤は、現像液の持ち込みによる定着剤の pH上昇を防ぐ目的で使用され、好 ましくは 0. 01〜： L 0モル Zリットル、より好ましくは 0. 02〜0. 6モル Zリットル程度 用いる。定着液の pHは 4. 0〜6. 5力好ましく、特に好ましくは 4. 5〜6. 0の範囲で ある。また、上記色素溶出促進剤として、特開昭 64— 4739号公報記載の化合物を 用いることちでさる。
[0086] 本発明の定着液中の硬膜剤としては、水溶性アルミニウム塩、クロム塩が挙げられ る。上記硬膜剤として好ましい化合物は、水溶性アルミニウム塩であり、例えば塩ィ匕 アルミニウム、硫酸アルミニウム、カリ明バンなどが挙げられる。上記硬膜剤の好まし い添カロ量は 0. 01モノレ〜 0. 2モノレ/リットノレであり、さらに好ましくは 0. 03〜0. 08モ ル Zリットルである。
[0087] 上記定着工程における定着温度は、約 20°C〜約 50°Cが好ましぐさらに好ましく は 25〜45°Cである。また、定着時間は 5秒〜 1分が好ましぐさらに好ましくは 7秒〜 50秒である。定着液の補充量は、感光材料の処理量に対して 600mlZm2以下が 好ましぐ 500mlZm2以下がさらに好ましぐ 300mlZm2以下が特に好ましい。
[0088] 現像、定着処理を施した感光材料は、水洗処理や安定化処理を施されるのが好ま しい。上記水洗処理または安定化処理においては、水洗水量は通常感光材料 lm2 当り、 20リットル以下で行われ、 3リットル以下の補充量 (0も含む、すなわちため水水 洗)で行うこともできる。このため、節水処理が可能となるのみならず、自現機設置の 配管を不要とすることができる。水洗水の補充量を少なくする方法としては、古くから 多段向流方式 (例えば 2段、 3段など）が知られている。この多段向流方式を本発明 の製造方法に適用した場合、定着後の感光材料は徐々に正常な方向、即ち定着液 で汚れて!/、な ヽ処理液の方向に順次接触して処理されて!ヽくので、さらに効率のよ い水洗がなされる。また、水洗を少量の水で行う場合は、特開昭 63— 18350号、同 62— 287252号各公報などに記載のスクイズローラー、クロスオーバーローラーの洗 浄槽を設けることがより好ましい。また、少量水洗時に問題となる公害負荷低減のた めには、種々の酸化剤添加やフィルター濾過を組み合わせてもよい。さら〖こ、上記方 法においては、水洗浴または安定ィ匕浴に防黴手段を施した水を、処理に応じて補充 することによって生じた水洗浴または安定ィ匕浴力 のオーバーフロー液の一部また は全部を、特開昭 60 - 235133号公報に記載されて 、るようにその前の処理工程で ある定着能を有する処理液に利用することもできる。また、少量水洗時に発生し易い 水泡ムラ防止および Zまたはスクイズローラーに付着する処理剤成分が処理された フィルムに転写することを防止するために、水溶性界面活性剤や消泡剤を添加しても よい。
[0089] また、上記水洗処理または安定ィ匕処理にお!、ては、感光材料から溶出した染料に よる汚染防止に、特開昭 63— 163456号公報に記載の色素吸着剤を水洗槽に設置 してもよい。また、水洗処理に続いて安定ィ匕処理においては、特開平 2— 201357号 、同 2— 132435号、同 1 102553号、特開日召 46— 44446号の各公報に記載のィ匕 合物を含有した浴を、感光材料の最終浴として使用してもよい。この際、必要に応じ てアンモ-ゥム化合物、 Bi、 A1などの金属化合物、蛍光増白剤、各種キレート剤、膜 pH調節剤、硬膜剤、殺菌剤、防かび剤、アルカノールァミンや界面活性剤を加える こともできる。水洗工程または安定ィ匕工程に用いられる水としては水道水のほか脱ィ オン処理した水やハロゲン、紫外線殺菌灯や各種酸化剤 (オゾン、過酸化水素、塩 素酸塩など)等によって殺菌された水を使用することが好ましい。また、特開平 4— 39 652号、特開平 5— 241309号公報記載の化合物を含む水洗水を使用してもよい。 水洗処理または安定ィ匕温度における浴温度および時間は 0〜50°C、 5秒〜 2分であ ることが好ましい。
[0090] 本発明に用いられる現像液や定着液等の処理液の保存には、特開昭 61— 73147 号公報に記載された酸素透過性の低い包材で保管することが好ましい。また、補充 量を低減する場合には処理槽の空気との接触面積を小さくすることによって液の蒸 発、空気酸ィ匕を防止することが好ましい。ローラー搬送型の自動現像機については 米国特許 US第 3025779号明細書、同第 3545971号明細書などに記載されており 、本明細書においては単にローラー搬送型プロセッサ一として言及する。また、ロー ラー搬送型プロセッサ一は現像、定着、水洗および乾燥の四工程力 ことが好ましく 、本発明においても、他の工程 (例えば、停止工程)を除外しないが、この四工程を 踏襲するのが最も好ましい。また、水洗工程の代わりに安定工程による四工程でも構 わない。
[0091] 上記各工程においては、現像液や定着液の組成から水を除いた成分を固形にして 供給し、使用に当たって所定量の水で溶解して現像液や定着液として使用してもよ い。このような形態の処理剤は固形処理剤と呼ばれる。固形処理剤は、粉末、錠剤、 顆粒、粉末、塊状またはペースト状のものが用いられる。上記処理剤の、好ましい形 態は、特開昭 61— 259921号公報記載の形態或いは錠剤である。該錠剤の製造方 法は、例えば特開昭 51— 61837号、同 54— 155038号、同 52— 88025号の各公 報、英国特許 1, 213, 808号明細書等に記載される一般的な方法で製造できる。さ らに顆粒の処理剤は、 f列えば特開平 2— 109042号、同 2— 109043号、同 3— 397 35号各公報および同 3— 39739号公報等に記載される一般的な方法で製造できる 。また、粉末の処理剤は、例えば特開昭 54— 133332号公報、英国特許 725, 892 号、同 729, 862号各明細書およびドイツ特許 3, 733, 861号明細書等に記載され る一般的な方法で製造できる。
[0092] 上記固形処理剤の嵩密度は、その溶解性の観点と、 0. 5〜6. 0gZcm3のものが 好ましく、特に 1. 0〜5. 0g/cm3のもの力好まし!/ヽ。
[0093] 上記固形処理剤を調製するに当たっては、処理剤を構成する物質の中の、少なく とも 2種の相互に反応性の粒状物質を、反応性物質に対して不活性な物質による少 なくとも一つの介在分離層によって分離された層になるように層状に反応性物質を置 き、真空包装可能な袋を包材とし、袋内から排気しシールする方法を採用してもよい 。ここにおいて、「不活性」とは、物質が互いに物理的に接触されたときにパッケージ 内の通常の状態下で反応しな 、こと若しくは何らかの反応があっても著しくな 、ことを 意味する。不活性物質は、二つの相互に反応性の物質に対して不活性であることは 別にして、二つの反応性の物質が意図される使用において不活発であればよい。さ らに不活性物質は二つの反応性物質と同時に用いられる物質である。例えば、現像 液においてハイドロキノンと水酸ィ匕ナトリウムは直接接触すると反応してしまうので、真 空包装においてハイドロキノンと水酸ィ匕ナトリウムの間に分別層として亜硫酸ナトリウ ム等を使うことで、長期間ノ ッケージ中に保存できる。また、ハイド口キノン等をブリケ ットイ匕して水酸ィ匕ナトリウムとの接触面積を減らす事により保存性が向上し混合して用 V、ることもできる。これらの真空包装材料の包材として用いられるのは不活性なプラス チックフィルム、プラスチック物質と金属箔のラミネートから作られたバッグである。
[0094] 現像処理後の露光部に含まれる金属銀の質量は、露光前の露光部に含まれてい た銀の質量に対して 50質量％以上の含有率であることが好ましぐ 80質量％以上で あることがさらに好ま 、。露光部に含まれる銀の質量が露光前の露光部に含まれて V、た銀の質量に対して 50質量％以上であれば、高 、導電性を得ることができるため 好ましい。
[0095] 本発明における現像処理後の階調は、特に限定されるものではないが、 4. 0を超 えることが好ましい。現像処理後の階調が 4. 0を超えると、光透過性部の透明性を高 く保ったまま、導電性金属部の導電性を高めることができる。階調を 4. 0以上にする 手段としては、例えば、前述のロジウムイオン、イリジウムイオンのドープが挙げられる
[0096] [物理現像およびメツキ処理]
本発明では、前記露光および現像処理により形成された金属銀部に導電性を付与 する目的で、前記金属銀部に導電性金属粒子を担持させるための物理現像および
Zまたはメツキ処理を行う。本発明では物理現像またはメツキ処理の 、ずれか一方の みで導電性金属粒子を金属性銀部に担持させることが可能である力 さらに物理現 像とメツキ処理とを組み合わせて導電性金属粒子を金属銀部に担持させることもでき る。尚、金属銀部に物理現像および Zまたはメツキ処理を施したものを「導電性金属 部」と称する。
本発明における「物理現像」とは、金属や金属化合物の核上に、銀イオンなどの金 属イオンを還元剤で還元して金属粒子を析出させることをいう。この物理現象は、ィ ンスタント B&Wフィルム、インスタントスライドフィルムや、印刷版製造等に利用され ており、本発明ではその技術を用いることができる。
また、物理現像は、露光後の現像処理と同時に行っても、現像処理後に別途行つ てもよい。
[0097] 本発明にお 、て、メツキ処理は、無電解メツキ (化学還元メツキや置換メツキ）、電解 メツキ、または無電解メツキと電解メツキの両方を用いることができる。本発明における 無電解メツキは、公知の無電解メツキ技術を用いることができ、例えば、プリント配線 板などで用いられて 、る無電解メツキ技術を用いることができ、無電解メツキは無電 解銅メツキであることが好まし 、。
無電解銅メツキ液に含まれる化学種としては、硫酸銅や塩化銅、還元剤として、ホ ルマリンゃグリオキシル酸、銅の配位子として、 EDTA,トリエタノールアミン等、その 他、浴の安定ィ匕ゃメツキ皮膜の平滑性向上の為の添加剤としてポリエチレングリコー ル、黄血塩、ビビリジン等が挙げられる。
電解銅メツキ浴としては、硫酸銅浴やピロリン酸銅浴が挙げられる。
[0098] 本発明におけるメツキ処理時のメツキ速度は、緩やかな条件で行うことができ、さら に 5 mZhr以上の高速メツキも可能である。メツキ処理において、メツキ液の安定性 を高める観点からは、例えば、 EDTAなどの配位子など種々の添加剤を用いることが できる。
[0099] [酸化処理]
本発明では、現像処理後の金属銀部、並びに、物理現像および Zまたはメツキ処 理によって形成された導電性金属部には、酸化処理を施すことが好ましい。酸化処 理を行うことにより、例えば、光透過性部に金属が僅かに沈着していた場合に、該金 属を除去し、光透過性部の透過性をほぼ 100%にすることができる。
酸化処理としては、例えば、 Fe (III)イオン処理など、種々の酸化剤を用いた公知 の方法が挙げられる。上述の通り、酸化処理は、乳剤層の露光および現像処理後、 或!ヽは物理現像またはメツキ処理後に行うことができ、さらに現像処理後と物理現像 またはメツキ処理後のそれぞれで行ってもょ ヽ。
[0100] 本発明では、さらに露光および現像処理後の金属銀部を、 Pdを含有する溶液で処 理することもできる。 Pdは、 2価のパラジウムイオンであっても金属パラジウムであって もよ!/、。この処理により無電解メツキまたは物理現像速度を促進させることができる。
[0101] [導電性金属部]
本発明の導電性金属部は、透光性電磁波シールド材料としての用途である場合、 正三角形、二等辺三角形、直角三角形などの三角形、正方形、長方形、菱形、平行 四辺形、台形などの四角形、（正)六角形、（正)八角形などの (正) n角形、円、楕円 、星形などを組み合わせた幾何学図形であることが好ましぐこれらの幾何学図形か らなるメッシュ状であることがさらに好まし 、。 EMIシールド性の観点からは三角形の 形状が最も有効であるが、可視光透過性の観点力もは同一のライン幅なら (正) n角 形の n数が大きいほど開口率が上がり可視光透過性が大きくなるので有利である。モ ァレを生じにくくする観点ではこれらの幾何学模様をランダムに配置したり、ライン幅 を周期性なしに変化させることも好まし 、。
なお、導電性配線材料の用途である場合、前記導電性金属部の形状は特に限定 されず、目的に応じて任意の形状を適宜決定することができる。
[0102] 本発明にお 、て、現像銀よりなる導電性金属部の細線の幅が 30 μ m以上となる場 合は PDPモジュールと組み合わせた際に帯状の画像ムラが生じやすくなり、 1 μ m以 下では電磁波をシールドするのに必要な電導度が得られな 、。これらの要件力 本 発明における現像銀よりなる導電性金属部の細線の幅は 1〜30 μ mである態様が好 ましぐさらに好ましくは 5〜25 μ m、最も好ましくは 10〜20 μ mである。
透光性電磁波シールド材料の用途において、上記導電性金属部の線幅は 1 μ m以 上 40 μ m以下にする必要があり、好ましくは 5 μ m以上 30 μ m以下、最も好ましくは 10 μ m以上 25 μ m以下である。線間隔は 50 μ m以上 500 μ m以下であることが好ましぐ 更に好ましくは 200 μ m以上 400 μ m以下、最も好ましくは 250 μ m以上 350 μ m以下で ある。また、導電性金属部は、アース接続などの目的においては、線幅は 20 μ mより 広 、部分を有して 、てもよ 、。
[0103] 本発明における導電性金属部は、可視光透過率の点から開口率は 85%以上であ ることが好ましぐ 90%以上であることがさらに好ましぐ 95%以上であることが最も好 ましい。開口率とは、メッシュをなす細線のない部分が全体に占める割合であり、例え ば、線幅 15 μ m、ピッチ 300 μ mの正方形の格子状メッシュの開口率は、 90%である
[0104] [光透過性部]
本発明における「光透過性部」とは、透光性電磁波シールド膜のうち導電性金属部 以外の透明性を有する部分を意味する。光透過性部における透過率は、前述のとお り、支持体の光吸収及び反射の寄与を除いた 380〜780nmの波長領域における透 過率の最小値で示される透過率が 90%以上、好ましくは 95%以上、さらに好ましく は 97%以上であり、さらにより好ましくは 98%以上であり、最も好ましくは 99%以上 である。
[0105] 本発明におけるメッシュパターンは 3m以上連続している必要がある力 メッシュパ ターンの連続数が多 、ほど、前記光学フィルター材料を生産する場合のロスが低減 できるためより好ましい態様であるといえる。一方、連続数が多いとロール状にした場 合にロール径が大きくなる、ロールの重量が重くなる、ロールの中心部の圧力が強く なり接着や変形などの問題を生じ安くなる等の理由で 2000m以下であることが好まし い。好ましくは 100m以上 1000m以下。更に好ましくは 200m以上 800m以下。最も好ま しくは 300m以上 500m以下である。
同様の理由により支持体の厚みは 200 μ m以下が好ましく。更に好ましくは 20 μ m以 上 180 μ m以下。最も好ましくは 50 μ m以上 120 μ m以下である。
本発明の目的の一つは、連続生産時の効率を向上させる電磁波シールド材料を 提供することであるが、本発明における連続生産とは 1巻のロール状電磁波シールド 材料を用いて複数枚葉の光学フィルターを生産することである。光学フィルタ一は組 み合わされるモジュールの大きさに対応して種々のサイズが考えられる。本発明では 幅は 2cm以上が好ましぐ 37インチから 110インチの PDPモジュールに対応するために 50cmから 150cmが更に好ましい。連続生産の効率の観点からは 1巻の電磁波シール ド材料の長さは長いほど好ましいが、ロールの重量、ロールの直径等の制限を考慮 すると 1卷当りの長さは 3mから 2000mが好ましく 100mから 1000mが更に好まし!/、。
[0106] 本発明においてメッシュが実質的に平行である直線状細線の交差するパターンと は、いわゆる格子模様を意味し、格子を構成する隣り合う直線が平行または平行 ±2 ° 以内の場合をいう。
[0107] 該光ビームの走査方法としては、搬送方向に対して実質的に垂直な方向に配列し たライン状の光源または回転ポリゴンミラーによって露光する方法が好ましい。この場 合、光ビームは実質的に 0である状態を含めて 2値以上の強度変調を行う必要があり 、直線はドットの連続としてパターユングされる。ドットの連続であるため一ドットの細 線の縁は階段状になるが、細線の太さはくびれた部分の一番狭い長さを意味する。
[0108] 該光ビームの走査方法のもう一つの方式として、格子パターンの傾きに合わせて搬 送方向に対して走査方向を傾力せたビームを走査することも好ましい。この場合、 2 つの走査光ビームを直交するように配列することが好ましく。光ビームは露光面状で は実質的に 1値の強度をとる。
[0109] 本発明においてメッシュパターンは搬送方向に対して 30° から 60° 傾かせることが 好ましい。より好ましくは 40° から 50° であり、最も好ましくは 43° から 47° である。こ れはメッシュパターンが枠に対して 45° 程度の傾きとなるマスクの作成が一般的に難 しぐムラが出やすい或いは価格が高いなどの問題を生じやすいのに対して、本方式 はむしろ 45° 付近にてムラが出にくいため、本発明の効果がマスク密着露光方式の フォトリソグラフィーゃスクリーン印刷によるパターユング対してより顕著な効果がある
[0110] [透光性電磁波シールド膜]
本発明の透光性電磁波シールド膜における支持体の厚さは、 5〜200 mであるこ とが好ましぐ 30〜 150 mであることがさらに好ましい。 5〜200 mの範囲であれ ば所望の可視光の透過率が得られ、かつ取り扱!/、も容易である。
[0111] 物理現像及び Z又はメツキ処理前の支持体上に設けられる金属銀部の厚さは、支 持体上に塗布される銀塩含有層用塗料の塗布厚みに応じて適宜決定することがで きる。金属銀部の厚さは、 30 μ m以下であることが好ましぐ 20 μ m以下であることが より好ましぐ 0. 01〜9 /ζ πιであることがさらに好ましぐ 0. 05〜5 mであることが最 も好ましい。また、金属銀部はパターン状であることが好ましい。金属銀部は 1層でも よぐ 2層以上の重層構成であってもよい。金属銀部がパターン状であり、かつ 2層以 上の重層構成である場合、異なる波長に感光できるように、異なる感色性を付与する ことができる。これにより、露光波長を変えて露光すると、各層において異なるパター ンを形成することができる。このようにして形成された多層構造のパターン状金属銀 部を含む透光性電磁波シールド膜は、高密度なプリント配線板として利用することが できる。
[0112] 導電性金属部の厚さは、ディスプレイの電磁波シールド材の用途としては、薄いほ どディスプレイの視野角が広がるため好ましい。さらに、導電性配線材料の用途とし ては、高密度化の要請力 薄膜ィ匕が要求される。このような観点から、導電性金属部 に担持された導電性金属力もなる層の厚さは、 9 m未満であることが好ましぐ 0. 1 μ m以上 5 μ m未満であることがより好ましぐ 0. 1 m以上 3 μ m未満であることがさ らに好ましい。
本発明では、上述した銀塩含有層の塗布厚みをコントロールすることにより所望の 厚さの金属銀部を形成し、さらに物理現像及び Z又はメツキ処理により導電性金属 粒子からなる層の厚みを自在にコントロールできるため、 5 μ m未満、好ましくは 3 μ m未満の厚みを有する透光性電磁波シールド膜であっても容易に形成することがで きる。
[0113] なお、従来のエッチングを用いた方法では、金属薄膜の大部分をエッチングで除 去、廃棄する必要があつたが、本発明では必要な量だけの導電性金属を含むパター ンを支持体上に設けることができるため、必要最低限の金属量だけを用いればよぐ 製造コストの削減及び金属廃棄物の量の削減という両面から利点がある。
[0114] く接着剤層 >
本発明に係る電磁波シールド膜は、光学フィルターや、液晶表示板、プラズマディ スプレーパネル、その他の画像表示グラットパネル、あるいは CCDに代表される撮像 用半導体集積回路などに組み込まれる際には、接着層を介して接合される。
接着剤層における接着剤の屈折率は 1. 40〜： L 70のものを使用することが好まし V、。これは本発明で使用するプラスチックフィルム等の透明基材と接着剤の屈折率と の関係で、その差を小さくして、可視光透過率が低下するのを防ぐためであり、屈折 率が 1. 40-1. 70であると可視光透過率の低下が少なく良好である。
[0115] また、接着剤は、加熱または加圧により流動する接着剤であることが好ましぐ特に 、 200°C以下の加熱または lKgfZcm2以上の加圧により流動性を示す接着剤であ ることが好ましい。このような接着剤を用いることにより、この接着剤層に導電層が埋 設されている本発明おける電磁波シールド膜を被着体であるディスプレイやプラスチ ック板に接着剤層を流動させて接着することができる。流動できるので電磁波シール ド膜を被着体にラミネートや加圧成形、特に加圧成形により、また曲面、複雑形状を 有する被着体にも容易に接着することができる。このためには、接着剤の軟化温度が 200°C以下であると好ましい。電磁波シールド膜の用途から、使用される環境が通常 80°C未満であるので接着剤層の軟ィ匕温度は、 80°C以上が好ましぐ加工性から 80 〜120°Cが最も好ましい。軟化温度は、粘度が 1012ボイズ以下になる温度のことで、 通常その温度では 1〜： LO秒程度の時間のうちに流動が認められる。
上記のような加熱または加圧により流動する接着剤としては、主に以下に示す熱可 塑性榭脂が代表的なものとしてあげられる。たとえば天然ゴム (屈折率 n=1.52)、ポリイ ソプレン (n=1.521)、ポリ 1, 2 ブタジエン (n=l.50)、ポリイソブテン (n=1.505〜1.51) 、ポリブテン (n=1.513)、ポリ 2 へプチルー 1, 3 ブタジエン (n=l.50)、ポリ 2 t ーブチルー 1, 3 ブタジエン (n=l.506)、ポリ 1, 3 ブタジエン (n=1.515)などの（ジ )ェン類、ポリオキシエチレン (n=l.456)、ポリオキシプロピレン (n=l.450)、ポリビュルェ チルエーテル (n=l .454)、ポリビュルへキシルエーテル (n=l .459)、ポリビュルブチルェ 一テル (n=l.456)などのポリエーテル類、ポリビュルアセテート (n=l.467)、ポリビュルプ 口ピオネート (n=l.467)などのポリエステル類、ポリウレタン (n=1.5〜1.6)、ェチルセル口 ース (n=1.479)、ポリ塩化ビュル (n=1.54〜1.55)、ポリアクリロニトリル (n=1.52)、ポリメタ タリロニトリル (n=l.52)、ポリスルホン (n=l.633)、ポリスルフイド (n=1.6)、フエノキシ榭脂（ n=1.5〜1.6)、ポリェチルアタリレート (n=1.469)、ポリブチルアタリレート (n=1.466)、ポリ 2 ェチルへキシルアタリレート (n=l .463)、ポリ t ブチルアタリレート (n=l .464)、 ポリ 3 エトキシプロピルアタリレート (n=l.465)、ポリオキシカノレポ-ノレテトラメチレン (n=1.465)、ホ。リメチルアタリレート (n=1.472〜1.480)、ポリイソプロピルメタタリレート (n= 1.473)、ポリドデシルメタタリレート (n=1.474)、ポリテトラデシルメタタリレート (n=l.475)、 ポリ一 n—プロピルメタクリレー Kn=1.484)、ポリ一 3, 3, 5 トリメチルシクロへキシルメ タクリレート (η=1.484)、ポリェチルメタタリレート (η=1.485)、ポリ 2 二トロー 2—メチ ルプロピルメタタリレート (n=l.487)、ポリ 1, 1ージェチルプロピルメタタリレート (n=l. 489)、ポリメチルメタクリレー Kn=l.489)などのポリ（メタ）アクリル酸エステルが使用可 能である。これらのアクリルポリマーは必要に応じて、 2種以上共重合してもよいし、 2 種類以上をブレンドして使用することも可能である。
[0117] さらにアクリル榭脂とアクリル以外との共重合榭脂としてはエポキシアタリレート (η=1.
48〜1.60)、ウレタンアタリレート (η=1.5〜1.6)、ポリエーテルアタリレート (η=1.48〜1.49) 、ポリエステルアタリレート (η=1.48〜1.54)なども使うこともできる。特に接着性の点から 、ウレタンアタリレート、エポキシアタリレート、ポリエーテルアタリレートが優れており、 エポキシアタリレートとしては、 1、 6 へキサンジオールジグリシジルエーテル、ネオ ペンチルグリコールジグリシジルエーテル、ァリルアルコールジグリシジルエーテル、 レゾルシノールジグリシジルエーテル、アジピン酸ジグリシジルエステル、フタル酸ジ グリシジルエステル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、トリメチロールプ 口パントリグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトール テトラグリシジルエーテル、ソルビトールテトラグリシジルエーテル等の（メタ）アクリル 酸付加物が挙げられる。エポキシアタリレートなどのように分子内に水酸基を有する ポリマーは接着性向上に有効である。これらの共重合榭脂は必要に応じて、 2種以 上併用することができる。これらの接着剤となるポリマーの軟ィ匕温度は、取扱い性から 200°C以下が好適で、 150°C以下がさらに好ましい。電磁波シールド膜の用途から、 使用される環境が通常 80°C以下であるので接着剤層の軟ィ匕温度は、加工性から 80 〜120°Cが最も好ましい。一方、ポリマーの重量平均分子量（ゲルパーミエーシヨンク 口マトグラフィ一による標準ポリスチレンの検量線を用いて測定したもの、以下同様） は、 500以上のものを使用することが好ましい。分子量が 500以下では接着剤組成 物の凝集力が低すぎるために被着体への密着性が低下するおそれがある。本発明 で使用する接着剤には必要に応じて、希釈剤、可塑剤、酸化防止剤、充填剤、着色 剤、紫外線吸収剤や粘着付与剤などの添加剤を配合してもよい。接着剤の層の厚さ は、 10〜80 μ mであることが好ましぐ導電層の厚さ以上で 20〜50 μ mとすること が特に好ましい。
[0118] また、幾何学図形を被覆する接着剤は、透明プラスチック基材との屈折率の差が 0 . 14以下とされる。また透明プラスチック基材が接着層を介して導電性材料と積層さ れている場合においては、接着層と幾何学図形を被覆する接着剤との屈折率の差 が 0. 14以下とされる。これは、透明プラスチック基材と接着剤の屈折率、または接着 剤と接着層の屈折率が異なると可視光透過率が低下するためであり、屈折率の差が 0. 14以下であると可視光透過率の低下が少なく良好となる。そのような要件を満た す接着剤の材料としては、透明プラスチック基材がポリエチレンテレフタレート (n=1.5 75；屈折率）の場合、ビスフエノール A型エポキシ榭脂ゃビスフエノール F型エポキシ 榭脂、テトラヒドロキシフエニルメタン型エポキシ榭脂、ノボラック型エポキシ榭脂、レゾ ルシン型エポキシ榭脂、ポリアルコール 'ポリダリコール型エポキシ榭脂、ポリオレフィ ン型エポキシ榭脂、脂環式やハロゲンィ匕ビスフエノールなどのエポキシ榭脂（いずれ も屈折率が 1.55〜 1.60)を使うことができる。エポキシ榭脂以外では天然ゴム (n=l .52 )、ポリイソプレン（n=1.521)、ポリ 1, 2 ブタジエン（n=l.50)、ポリイソブテン（n=l.50 5〜1.51)、ポリブテン（n=1.5125)、ポリ 2 へプチルー 1, 3 ブタジエン（n=l.50) 、ポリ 2—t—ブチルー 1, 3 ブタジエン（n=l.506)、ポリ 1, 3 ブタジエン（n=l. 515)などの（ジ）ェン類、ポリオキシエチレン（n=l.4563)、ポリオキシプロピレン（n=l.4 495)、ポリビュルェチルエーテル（n=l.454)、ポリビュルへキシルエーテル（n=l.459 1)、ポリビュルブチルエーテル（n=l.4563)などのポリエーテル類、ポリビニルァセテ ート（n=l.4665)、ポリビュルプロピオネート（n=l.4665)などのポリエステル類、ポリウ レタン（n=1.5〜1.6)、ェチルセルロース（n=1.479)、ポリ塩化ビュル（n=1.54〜1.55) 、ポリアクリロニトリル（n=1.52)、ポリメタタリ口-トリル（n=1.52)、ポリスルホン（n=1.633 )、ポリスルフイド (n=1.6)、フエノキシ榭脂（n=1.5〜1.6)などを挙げることができる。こ れらは、好適な可視光透過率を発現する。
一方、透明プラスチック基材がアクリル榭脂の場合、上記の榭脂以外に、ポリェチ ルアタリレート（n=1.4685)、ポリブチルアタリレート（n=1.466)、ポリ 2 ェチルへキ シルアタリレート（n=1.463)、ポリ t-ブチルアタリレート（n=1.4638)、ポリ 3 ェトキ シプロピルアタリレート（n=1.465)、ポリオキシカルボニルテトラメタタリレート（n=1.465 )、ポリメチルアタリレート（n=1.472〜1.480)、ポリイソプロピルメタタリレート（n=1.4728 )、ポリドデシルメタクリレー Hn=1.474)、ポリテトラデシルメタタリレート（n=1.4746)、 ポリ一 n—プロピルメタタリレート（n=1.484)、ポリ一 3, 3, 5 トリメチルシクロへキシル メタタリレート（n=l.484)、ポリェチルメタタリレート（n=l.485)、ポリ 2 -トロー 2—メ チルプロピルメタタリレート（n=1.4868)、ポリテトラ力ルバ-ルメタタリレート（n=1.4889 )、ポリ 1, 1ージェチルプロピルメタタリレート（n=1.4889)、ポリメチルメタクリレート（ n=l.4893)などのポリ（メタ）アクリル酸エステルが使用可能である。これらのアクリルポ リマーは必要に応じて、 2種以上共重合してもよいし、 2種類以上をブレンドして使うこ とちでさる。
[0120] さらにアクリル榭脂とアクリル以外との共重合榭脂としてはエポキシアタリレート、ウレ タンアタリレート、ポリエーテルアタリレート、ポリエステルアタリレートなども使うこともで きる。特に接着性の点から、エポキシアタリレート、ポリエーテルアタリレートが優れて おり、エポキシアタリレートとしては、 1, 6 へキサンジオールジグリシジルエーテル、 ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、ァリルアルコールジグリシジルエーテ ル、レゾルシノールジグリシジルエーテル、アジピン酸ジグリシジルエステル、フタル 酸ジグリシジルエステル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、トリメチロー ルプロパントリグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、ペンタエリスリト 一ルテトラグリシジルエーテル、ソルビトールテトラグリシジルエーテル等の（メタ）ァク リル酸付加物が挙げられる。エポキシアタリレートは分子内に水酸基を有するため接 着性向上に有効であり、これらの共重合榭脂は必要に応じて、 2種以上併用すること ができる。接着剤の主成分となるポリマーの重量平均分子量は、 1, 000以上のもの が使われる。分子量が 1, 000以下だと組成物の凝集力が低すぎるために被着体へ の密着性が低下する。
[0121] 接着剤の硬化剤としてはトリエチレンテトラミン、キシレンジァミン、ジアミノジフエ- ルメタンなどのアミン類、無水フタル酸、無水マレイン酸、無水ドデシルコハク酸、無 水ピロメリット酸、無水ベンゾフヱノンテトラカルボン酸などの酸無水物、ジアミノジフエ ニルスルホン、トリス（ジメチルアミノメチル）フエノール、ポリアミド榭脂、ジシアンジアミ ド、ェチルメチルイミダゾールなどを使うことができる。 これらは単独で用いてもよいし 、 2種以上混合して用いてもよい。これらの架橋剤の添加量は上記ポリマー 100重量 部に対して 0. 1〜50重量部、好ましくは 1〜30重量部の範囲で選択するのがよい。 この添加量が、 0. 1重量部未満であると硬化が不十分となり、 50重量部を越えると過 剰架橋となり、接着性に悪影響を与える場合がある。本発明で使用する接着剤の榭 脂組成物には必要に応じて、希釈剤、可塑剤、酸化防止剤、充填剤や粘着付与剤 などの添加剤を配合してもよい。そして、この接着剤の榭脂組成物は、透明プラスチ ック基材の表面に導電性材料で描かれた幾何学図形を設けた構成材料の基材のー 部または全面を被覆するために、塗布され、溶媒乾燥、加熱硬化工程をへたのち、 本発明に係る接着フィルムにする。上記で得られた電磁波シールド性と透明性を有 する接着フィルムは、該接着フィルムの接着剤により CRT、 PDP、液晶、 ELなどのデ イスプレイに直接貼り付け使用したり、アクリル板、ガラス板等の板やシートに貼り付け てディスプレイに使用する。また、この接着フィルムは、電磁波を発生する測定装置、 測定機器や製造装置の内部をのぞくための窓や筐体に上記と同様にして使用する。 さらに、電波塔や高圧線等により電磁波障害を受ける恐れのある建造物の窓や自動 車の窓等に設ける。そして、導電性材料で描かれた幾何学図形にはアース線を設け ることが好ましい。
[0122] 透明プラスチック基材上の導電性材料が除去された部分は密着性向上のために意 図的に凹凸を有していたり、導電性材料の背面形状を転写したりするためにその表 面で光が散乱され、透明性が損なわれるが、その凹凸面に透明プラスチック基材と 屈折率が近い樹脂が平滑に塗布されると乱反射が最小限に押さえられ、透明性が発 現するよう〖こなる。さらに透明プラスチック基材上の導電性材料で描写された幾何学 図形は、ライン幅が非常に小さいため肉眼で視認されない。またピッチも十分に大き いため見掛け上透明性を発現すると考えられる。一方、遮蔽すべき電磁波の波長に 比べて、幾何学図形のピッチは十分に小さいため、優れたシールド性を発現すると 考えられる。
[0123] 特開 2003— 188576号公報に示すように、透明基材フィルムと金属箔との積層は 、透明基材フィルムとして、熱融着性の高いエチレン 酢酸ビニル共重合榭脂、もし くはアイオノマー榭脂等の熱融着性榭脂のフィルムを単独、または他の榭脂フィルム と積層して使用するときは、接着剤層を設けずに行なうことも可能であるが、通常は、 接着剤層を用いたドライラミネート法等によって積層を行なう。接着剤層を構成する 接着剤としては、アクリル榭脂、ポリエステル榭脂、ポリウレタン榭脂、ポリビニルアル コール榭脂、塩化ビュル Z酢酸ビュル共重合榭脂、もしくはエチレン 酢酸ビュル 共重合榭脂等の接着剤を挙げることができ、これらの他、熱硬化性榭脂ゃ電離放射 線硬化性榭脂 (紫外線硬化性榭脂、電子線硬化性榭脂等)を用いることもできる。
[0124] 一般的には、ディスプレイの表面はガラス製であるので、粘着剤を用いて貼り合わ せるのは透明プラスチックフィルムとガラス板となり、その接着面に気泡が生じたり剥 離が生じたりすると画像が歪む、表示色がディスプレイ本来のものと異なって見える 等の問題が発生する。また、気泡および剥離の問題はいずれの場合でも粘着剤がプ ラスチックフィルムまたはガラス板より剥離することにより発生する。この現象は、プラス チックフィルム側、ガラス板側ともに発生する可能性が有り、より密着力の弱い側で剥 離が発生する。従って、高温での粘着剤とプラスチックフィルム、ガラス板との密着力 が高いことが必要となる。具体的には、透明プラスチックフィルム及びガラス板と粘着 剤層との密着力は 80°Cにお 、て lOgZcm以上であることが好まし!/、。 30gZcm以 上であることが更に好ましい。ただし、 2000gZcmを超えるような粘着剤は貼り合わ せ作業が困難と成るために好ましくない場合がある。ただし、力かる問題点が発生し ない場合は問題なく使用できる。さらに、この粘着剤の透明プラスチックフィルムと面 して 、な 、部分に不必要に他の部分に接触しな 、ように合 、紙 (セパレーター）を設 けることも可會である。
[0125] 粘着剤は透明であるものが好ましい。具体的には全光線透過率が 70%以上が好 ましぐ 80%以上が更に好ましぐ 85〜92%が最も好ましい。さらに、霞度が低いこと が好ましい。具体的には、 0〜 3%が好ましぐ 0〜1. 5%が更に好ましい。本発明で 用いる粘着剤は、ディスプレイ本来の表示色を変化させないために無色であることが 好ましい。ただし、榭脂自体が有色であっても粘着剤の厚みが薄い場合には実質的 には無色とみなすことが可能である。また、後述のように意図的に着色を行なう場合 も同様にこの範囲ではない。
[0126] 上記の特性を有する粘着剤としては例えば、アクリル系榭脂、 a一才レフイン榭脂、 酢酸ビニル系榭脂、アクリル共重合物系榭脂、ウレタン系榭脂、エポキシ系榭脂、塩 化ビ -リデン系榭脂、塩ィ匕ビ二ル系榭脂、エチレン ビュルアセテート系榭脂、ポリ アミド系榭脂、ポリエステル系榭脂等が挙げられる。これらの内、アクリル系榭脂が好 ましい。同じ榭脂を用いる場合でも、粘着剤を重合法により合成する際に架橋剤の添 加量を下げる、粘着性付与材を加える、分子の末端基を変化させるなどの方法によ つて、粘着性を向上させることも可能である。また、同じ粘着剤を用いても、粘着剤を 貼り合わせる面、すなわち、透明プラスチックフィルムまたはガラス板の表面改質を行 なうことにより密着性を向上させることも可能である。このような表面の改質方法として は、コロナ放電処理、プラズマグロ一処理等の物理的手法、密着性を向上させるため の下地層を形成するなどの方法が挙げられる。
[0127] 透明性、無色性、ハンドリング性の観点から、粘着剤層の厚みは、 5〜50 μ m程度 であることが好ましい。粘着剤層を接着剤で形成する場合は、その厚みは上記範囲 内で薄くするとよい。具体的には 1〜20 /ζ πι程度である。ただし、上記のようにデイス プレイ自体の表示色を変化させず、透明性も上記の範囲に入っている場合には、厚 みが上記範囲を超えてもょ 、。
[0128] <剥離可能な保護フィルム >
本発明に係る透過性電磁波シールド膜には、剥離可能な保護フィルムを設けること ができる。
保護フィルムは、必ずしも、電磁波遮蔽用シート 1 (透過性電磁波シールド膜)の両 面に有していなくてもよぐ特開 2003— 188576号公報の図 2 (a)に示すように、積 層体 10のメッシュ状の金属箔 11'上に保護フィルム 20を有するのみで、透明基材フ イルム 14側に有していなくてもよい。また、上記公報の図 2 (b)に示すように、積層体 10の透明基材フィルム 14側に保護フィルム 30を有するのみで、金属箔 11 '上に有し ていなくてもよい。なお、上記公報の図 2および図 1において共通な符号を付した部 分は同じものを示すものである。
[0129] 電磁波遮蔽用シート 1における透明基材フィルム 14、および開孔部が密に配列し たメッシュ状の金属箔 11'からなる透明性を有する電磁波遮蔽層とが少なくとも積層 されて構成された積層体の層構成、および積層体の製造プロセスについて、次に上 記公報の図 3 (a)〜(f)を引用しながら説明する。なお、保護フィルム 20または Zおよ び保護フィルム 30の積層については、積層体の製造プロセスの説明の後に、改めて 説明する。
[0130] まず、上記公報の図 3 (a)に示すように、透明基材フィルム 14および金属箔 11が接 着剤層 13を介して積層された積層体を準備する。透明基材フィルム 14としては、ァ クリル樹脂、ポリカーボネート榭脂、ポリプロピレン榭脂、ポリエチレン榭脂、ポリスチレ ン榭脂、ポリエステル榭脂、セルロース系榭脂、ポリサルホン榭脂、もしくはポリ塩ィ匕ビ -ル榭脂等のフィルムを用いることができる。通常は、機械的強度が優れ、透明性が 高いポリエチレンテレフタレート榭脂等のポリエステル榭脂のフィルムを好ましく用い る。透明基材フィルム 14の厚みは、特に限定されないが、機械的強度があり、折り曲 げに対する抵抗性を大きくする点から、 50 μ m〜200 μ m程度であることが好ましく 、さらに厚みが増してもよいが、電磁波遮蔽用シート 1を他の透明基板に積層して使 用する場合には、必ずしも、この範囲以上の厚みでなくてもよい。必要に応じ、透明 基材フィルム 14の片面もしくは両面にコロナ放電処理を施したり、あるいは易接着層 を設けるとよい。
[0131] 電磁波遮蔽用シート 1は、後に上記公報の図 4を引用して説明するように、上記の 積層体を赤外線カットフィルタ一層を介する等して基板上に積層したものの表裏に、 さらに、最表面の強化、反射防止性の付与、防汚性の付与等の効果を有するシート を積層して使うものであるので、上記の保護フィルムは、このようなさらなる積層の際 には剥離する必要があり、このため、保護フィルムの金属箔側への積層は、いわゆる 剥離可能に行なうことが望ましい。
[0132] 保護フィルムは金属箔上に積層した際の剥離強度は 5mNZ25mm幅〜 5NZ25 mm幅であることが好ましぐより好ましくは 10mNZ25mm幅〜 100mNZ25mm幅 である。下限未満では、剥離が容易過ぎ、取扱い中や不用意な接触により保護フィ ルムが剥離する恐れがあり、好ましくなぐまた上限を超えると、剥離のために大きな 力を要する上、剥離の際に、メッシュ状の金属箔が透明基材フィルム (もしくは接着剤 層から)剥離する恐れがあり、やはり好ましくない。
[0133] 本発明の電磁波遮蔽用シート 1において、透明基材フィルム 14上に接着剤層 13を 介してメッシュ状の金属箔が積層された積層体 (黒ィ匕層を伴なつてもよい。）の下面側 、即ち、透明基材フィルム側に積層する保護フィルムは、透明基材フィルムの下面が 、取扱い中や不用意な接触により損傷しないよう、また、金属箔上にレジスト層を設け てエッチングする各工程において、特にエッチングの際に透明基材フィルムの露出 面が汚染もしくは侵食を受けないよう、保護するためのものである。
[0134] 前述した保護フィルムの場合と同様、この保護フィルムも、積層体のさらなる積層の 際には剥離する必要があるので、保護フィルムの透明基材フィルム側への積層も、剥 離可能に行なうことが望ましぐ剥離強度としては、保護フィルムと同様、 5mN/25 mm幅〜 5NZ25mm幅であることが好ましぐより好ましくは 10mNZ25mm幅〜 10 OmNZ25mm幅である。下限未満では、剥離が容易過ぎ、取扱い中や不用意な接 触により保護フィルムが剥離する恐れがあり、好ましくなぐまた上限を超えると、剥離 のために大きな力を要するからである。
[0135] 透明基材フィルム側に積層する保護フィルムは、エッチング条件に耐える、例えば 、 50°C程度のエッチング液、特にそのアルカリ成分によって数分間の浸漬中、侵食さ れないものであることが好ましぐあるいは、ドライエッチングの場合には 100°C程度 の温度条件に耐えるものであることが望ましい。また、感光性榭脂層を積層する際に 、積層体をディップコーティング (浸漬コーティング)するときは、コーティング液が積 層体の反対面にも付着するので、エッチング等の工程の際に、感光性榭脂が剥離し てエッチング液の中を漂うことがないよう、感光性榭脂の密着力が得られるものである ことが好ましいし、エッチング液を用いるときは、塩化鉄や塩化銅等を含むエッチング 液による汚染に耐える耐久性、もしくは、アルカリ液等のレジスト除去液による侵食も しくは汚染等に耐える耐久性を有するものであることが好ま 、。
[0136] 上記の各点を満足させるために、保護フィルムを構成するフィルムとしては、ポリオ レフイン系榭脂であるポリエチレン榭脂ゃポリプロピレン榭脂、ポリエチレンテレフタレ 一ト榭脂等のポリエステル榭脂、ポリカーボネート榭脂、もしくはアクリル榭脂等の榭 脂フィルムを用いることが好ましぐまた、上記した観点により、少なくとも、保護フィル ムの、積層体に適用した際に最表面となる側の面にコロナ放電処理を施しておくか、 易接着層を積層しておくことが好ましい。
[0137] また、保護フィルムを構成する粘着剤としては、アクリル酸エステル系、ゴム系、もし くはシリコーン系のものを使用することができる。 [0138] 上記した保護フィルム用のフィルムの素材、および粘着剤の素材は、金属箔側に適 用する保護フィルムについても、そのまま適用できるので、両保護フィルムとしては、 異なるものを使用してもよいが、同じ物を、両保護フィルムとすることができる。
[0139] <黒化処理 >
特開 2003— 188576に示す構成図を例にして述べると、金属箔は、透明基材フィ ルム側に、黒ィ匕処理による黒ィ匕層（を有したものであってよぐ防鲭効果に加え、反射 防止性を付与することができる。黒ィ匕層は、例えば、 Co— Cu合金メッキによって形成 され得るものであり、金属箔 11の表面の反射を防止することができる。さらにその上 に防鲭処理としてクロメート処理をしてもよい。クロメート処理は、クロム酸もしくは重ク ロム酸塩を主成分とする溶液中に浸漬し、乾燥させて防鲭被膜を形成するもので、 必要に応じ、金属箔の片面もしくは両面に行なうことができる力 市販のクロメート処 理された銅箔等を利用してもよい。なお、予め黒ィ匕処理された金属箔を用いないとき は、後の適宜な工程において、黒ィ匕処理してもよい。なお、黒ィ匕層の形成は、後述す る、レジスト層となり得る感光性榭脂層を、黒色に着色した組成物を用いて形成し、ェ ツチングが終了した後に、レジスト層を除去せずに残留させることによつても形成でき るし、黒色系の被膜を与えるメツキ法によってもよい。
[0140] また、黒ィ匕層を含む構成の例としては、特開平 11— 266095号公報に示した構成 であってもよい。上記の電磁波遮蔽板において、例えば、横方向のライン Xと縦方向 のライン yとが交叉して構成するメッシュ状の導電性パターン Pを形成する第 1の黒ィ匕 層 3a、第 2の黒化層 3b等を構成する黒化層としては、次に述べる考え方に基づいて 適宜に選択して利用することにより形成することができる。本発明においては、主目 的であるメッシュ状の導電性バタ ン Pを形成する方法として二つの方法があり、その 一つの方法は、金属メツキ法であり、他の方法は、エッチング法である。本発明にお いては、上記のいずれかの方法を採用することにより、第 1の黒化層 3a、第 2の黒ィ匕 層 3b等の形成法、使用する材料等が異なる。すなわち、本発明において、第 1の黒 化層 3a、第 2の黒ィ匕層 3b等の上に、導電性バタ—ン Pを金属メツキ法等で形成する ためには、金属メツキが可能な導電性黒ィ匕層が必要であり、また、エッチング法また は電着法等により最終工程において黒ィ匕する場合には、非導電性材料等を使用し て非導電性黒ィ匕層を形成することができる。上記の導電性黒ィ匕層は、一般に、導電 性金属化合物、例えば、ニッケル (Ni)、亜鉛 (Zn)、銅 (Cu)等の化合物を使用して 形成することができ、また、非導電性黒ィ匕層は、ぺ—スト状黒色高分子材料、例えば 、黒色インキ等、あるいは、黒化化成材料、例えば、金属メツキ表面を化成処理して なる黒色化合物を形成したもの、更には、電着性イオン性高分子材料、例えば、電 着塗装材料等を使用して形成することができる。本発明においては、上記のような黒 化層形成方法を利用し、電磁波遮蔽板の製造法における製造工程等に応じた適宜 の方法を選択し、それを採用して黒ィ匕層を形成することができる。
本発明にお 、て導電性パターン表面としては導電性金属部の PDPモジュールと反 対側の面、つまり、 PDPをテレビ等として観察する側から見える面が好ましい。導電性 ノターン表面は観察の際のコントラストを向上させるために黒色であることが好ましく 、導電性パターン表面面積の 20%以上を黒色とすることでコントラストが向上する。こ の場合 20%以上とは、黒色部分が視認できない程度の小領域力 なり、この小領域 の面積の合計が導電性パターン表面面積の 20%以上となることを意味する。導電性 パターン表面の 50%以上が黒色であることが好ましぐ 80%以上が黒色であることがさ らに好ましい。テレビ等として観察する側とは反対側表面も黒色層を設けることが好ま しい。
次に、黒ィ匕層を設ける方法としては、特開平 11— 266095号公報の図 5に示すよう に、上記で作製した金属板等の導電性基板 11の上に電着を阻害する絶縁性膜で構 成するメッシュ状のレジストパターン 12を有する電着基板 14を、まず、例えば、黒ィ匕 銅、黒ィ匕ニッケル等の電解液中に浸漬し、電気化学的な公知のメツキ法でメツキして 、黒化銅層、あるいは、黒ィ匕ニッケル層等力もなるメッシュ状の第 2の黒ィ匕層 3bを形 成する。なお、本発明において、上記の黒色メツキ浴は、硫酸ニッケル塩を主成分と する黒色メツキ浴を使用することができ、更に、市販の黒色メツキ浴も同様に使用する ことができ、具体的には、例えば、株式会社シミズ製の黒色メツキ浴 (商品名、ノーブ ロイ SNC、 Sn— Ni合金系）、日本ィ匕学産業株式会社製の黒色メツキ浴 (商品名、二 ッカブラック、 Sn—Ni合金系）、株式会社金属化学工業製の黒色メツキ浴 (商品名、 ェボ-—クロム 85シリ—ズ、 Cr系）等を使用することができる。また、上記の黒色メッ キ浴としては、 Zn系、 Cu系、その他等の種々の黒色メツキ浴を使用することができる 。次に、本発明においては、同じぐ上記公報図 5に示すように、上記で第 2の黒化層 3bを設けた電着基板 14を、電磁波遮蔽用の金属の電解液中に浸漬して、該電着基 板 14の第 2の黒ィ匕層 3bに相当する箇所に、所望の厚さにメッシュ状の導電性パタ- ン 4を積層、電着する。上記において、メッシュ状の導電性バタ—ン 4を構成する材料 としては、前述の良導電性物質としての金属が最も有利な材料として使用することが でる。而して、上記の金属電着層を形成する場合には、汎用金属の電解液を使用す ることができるので、多種類の、安価な金属電解液が存在し、 目的に適った選択を自 由に行うことができるという利点がある。一般に、安価な良導電性金属としては、 Cuが 多用されており、本発明においても、 Cuを使用することが、その目的にも合致して有 用なものであり、勿論、その他の金属も同様に用いることができるものである。次にま た、本発明において、メッシュ状の導電性パターン 4は、単一金属層のみで構成する 必要はなぐ例えば、図示しないが、上記の例の Cuからなるメッシュ状の導電性パタ ーン Pは、比較的に柔ら力べ傷がつき易いので、その保護層として、 Niや Cr等の汎用 の硬質金属を用いて 2層からなる金属電着層とすることもできる。次に、本発明にお いては、同じぐ図 5に示すように、上記でメッシュ状の導電性パターン 4を形成した後 、例えば、該メッシュ状の導電性パターン 4の表面をィ匕成処理して、具体的には、例 えば、導電性パターン Pが銅 (Cu)力 なるものであれば、硫化水素 (H2 S)液処理し て、銅の表面を硫化銅 (CuS)として黒ィ匕して、該メッシュ状の導電性バタ—ン 4を構 成する金属電着層の表面を黒化処理して第 1の黒化層 3aを形成し、上記の第 2の黒 化層 3b、導電性バタ—ン層 4、および、第 1の黒ィ匕層 3aの順で順次に重層して構成 したメッシュ状の導電性パターン Pを形成するものである。なお、本発明において、上 記の銅表面の黒化処理剤としては、硫ィ匕物系や硫ィ匕物系化合物を用いて容易に製 造でき、更にまた、市販品も多種類の処理剤があり、例えば、商品名 ·コパ—ブラック CuO、同 CuS、セレン系のコパ一ブラック No. 65等（アイソレート化学研究所製）、商 品名'ェボノ—ル Cスペシャル (メルテックス株式会社製)等を使用することができる。 上記の電磁波遮蔽板において、エッチングレジストパターン 35は、除去してもよぐ また、残留させてもよぐ更に、エッチングレジストパタ—ン 35を除去する場合には、 エッチングレジストパタ—ン 35を除去後、残留する導電性金属層 33の表面を黒ィ匕処 理することができる。而して、上記の黒化処理には、例えば、ブラック銅 (Cu)、ブラッ クニッケル (Ni)等のメツキ法や化学的な黒化処理法等の公知の黒化処理方法を利 用して行うことができる。
[0143] [光学フィルター]
本発明に係る光学フィルタ一は、上記の透光性電磁波シールド膜の他に、複合機 能層を備えた機能性フィルムを有することができる。
<複合機能層 >
ディスプレイは、照明器具等の映り込みによって表示画面が見づらくなつてしまうの で、機能性フィルム (C)は、外光反射を抑制するための反射防止 (AR:アンチリフレ クシヨン)性、または、鏡像の映り込みを防止する防眩 (AG :アンチグレア)性、または その両特性を備えた反射防止防眩 (ARAG)性の 、ずれかの機能を有して 、ること が必要である。光学フィルター表面の可視光線反射率が低いと、映り込み防止だけ ではなぐコントラスト等を向上させることができる。
[0144] 反射防止性を有する機能性フィルム (C)は、反射防止膜を有し、具体的には、可視 域において屈折率が 1. 5以下、好適には 1. 4以下と低い、フッ素系透明高分子榭 脂やフッ化マグネシウム、シリコン系榭脂ゃ酸ィ匕珪素の薄膜等を例えば 1Z4波長の 光学膜厚で単層形成したもの、屈折率の異なる、金属酸化物、フッ化物、ケィ化物、 窒化物、硫ィ匕物等の無機化合物またはシリコン系榭脂ゃアクリル榭脂、フッ素系榭脂 等の有機化合物の薄膜を 2層以上多層積層したものがあるが、これらに限定されるも のではな!/、。反射防止性を有する機能性フィルム（C)の表面の可視光線反射率は 2 %以下、好ましくは 1. 3%以下、さらに好ましくは 0. 8%以下である。
[0145] 防眩性を有する機能性フィルム (C)は、 0. 1 m〜： LO m程度の微少な凹凸の表 面状態を有する可視光線に対して透明な防眩膜を有している。具体的には、アクリル 系榭脂、シリコン系榭脂、メラミン系榭脂、ウレタン系榭脂、アルキド系榭脂、フッ素系 榭脂等の熱硬化型または光硬化型榭脂に、シリカ、有機珪素化合物、メラミン、アタリ ル等の無機化合物または有機化合物の粒子を分散させインキ化したものを、基体上 に塗布、硬化させる。粒子の平均粒径は、 1〜40 /ζ πιである。または、上記の熱硬化 型または光硬化型榭脂を基体に塗布し、所望のダロス値または表面状態を有する型 を押しつけ硬化することによつても防眩性を得ることができるが、必ずしもこれら方法 に限定されるものではない。防眩性を有する機能性フィルム (C)のヘイズは 0. 5%以 上 20%以下であり、好ましくは 1%以上 10%以下である。ヘイズが小さすぎると防眩 性が不十分であり、ヘイズが大きすぎると透過像鮮明度が低くなる傾向がある。
[0146] 光学フィルターに耐擦傷性を付加させるために、機能性フィルム (C)がハードコート 性を有していることも好適である。ハードコート膜としてはアクリル系榭脂、シリコン系 榭脂、メラミン系榭脂、ウレタン系榭脂、アルキド系榭脂、フッ素系榭脂等の熱硬化型 または光硬化型榭脂等が挙げられるが、その種類も形成方法も特に限定されな ヽ。 これら膜の厚さは、 1〜50 /ζ πι程度である。ハードコート性を有する機能性フィルム（ C)の表面硬度は、 JIS (Κ— 5400)に従った鉛筆硬度が少なくとも Η、好ましくは 2Η 、さらに好ましくは 3Η以上である。ハードコート膜上に反射防止膜および Ζまたは防 眩膜を形成すると、耐擦傷性 ·反射防止性および Ζまたは防眩性を有する機能性フ イルム（C)が得られ好適である。
[0147] 光学フィルターには、静電気帯電によりホコリが付着しやすぐまた、人体が接触し たときに放電して電気ショックを受けることがあるため、帯電防止処理が必要とされる 場合がある。従って、静電気防止能を付与するために、機能性フィルム (C)が導電性 を有していても良い。この場合に必要とされる導電性は面抵抗で 1011 ΩΖ口程度 以下であれば良!ヽ。導電性を付与する方法としてはフィルムに帯電防止剤を含有さ せる方法や導電層を形成する方法が挙げられる。帯電防止剤として具体的には、商 品名ペレスタツト (三洋化成社製)、商品名エレクトロスリッパー (花王社製)等が挙げ られる。導電層としては ΙΤΟをはじめとする公知の透明導電膜や ΙΤΟ超微粒子や酸 ィ匕スズ超微粒子をはじめとする導電性超微粒子を分散させた導電膜が挙げられる。 ハードコート膜や反射防止膜、防弦膜が、導電膜を有していたり導電性微粒子を含 有していると好適である。
[0148] 機能性フィルム (C)表面が防汚性を有して!/、ると、指紋等の汚れ防止や汚れが付 いたときに簡単に取り除くことができるので好適である。防汚性を有するものとしては 、水および Ζまたは油脂に対して非濡性を有するものであって、例えばフッ素化合物 やケィ素化合物が挙げられる。フッ素系防汚剤として具体的には商品名ォプツール（ ダイキン社製)等が挙げられ、ケィ素化合物としては、商品名タカタクオンタム（日本 油脂社製)等が挙げられる。反射防止膜に、これら防汚性のある層を用いると、防汚 性を有する反射防止膜が得られて好適である。
[0149] 機能性フィルム (C)は、後述する色素や高分子フィルムの劣化等を防ぐ目的で紫 外線カット性を有して 、ることが好ま 、。紫外線カット性を有する機能性フィルム (C )は、後述する上記の高分子フィルムに紫外線吸収剤を含有させることや紫外線吸 収膜を付与する方法が挙げられる。
[0150] 光学フィルタ一は、常温常湿よりも高い温度 ·湿度環境ィ匕で使用されると、フィルム を透過した水分により後述する色素が劣化したり、貼り合せに用いる粘着材中ゃ貼り 合せ界面に水分が凝集して曇ったり、水分による影響で粘着材中の粘着付与剤等 が相分離して析出して曇ったりすることがあるので、機能性フィルム (C)がガスバリア 性を有していると好ましい。このような色素劣化や曇りを防ぐ為には、色素を含有する 層や粘着材層への水分の侵入を防ぐことが肝要であり、機能性フィルム (C)の水蒸 気透過度が 10gZm2 · day以下、好ましくは 5gZm2 · day以下であることが好適で ある。
[0151] 本発明にお 、て、高分子フィルム (A)、導電メッシュ層（B)、機能性フィルム (C)お よび必要に応じて後述する透明成型物 (E)は、可視光線に対して透明な任意の粘 着材または接着剤 (Dl) (D2)を介して貼り合わされる。粘着材または接着剤 (Dl)、
(D2)として具体的にはアクリル系接着剤、シリコン系接着剤、ウレタン系接着剤、ポリ ビニルブチラール接着剤（PVB)、エチレン 酢酸ビニル系接着剤（EVA)等、ポリビ
-ルエーテル、飽和無定形ポリエステル、メラミン榭脂等が挙げられ、実用上の接着 強度があればシート状のものでも液状のものでもよ!ヽ。粘着材は感圧型接着剤でシ ート状のものが好適に使用できる。シート状粘着材貼り付け後または接着材塗布後 に各部材をラミネートすることによって貼り合わせを行う。液状のものは塗布、貼り合 わせ後に室温放置または加熱により硬化する接着剤である。塗布方法としては、ノ 一コート法、リバースコート法、グラビアコート法、ダイコート法、ロールコート法等が挙 げられる力 接着剤の種類、粘度、塗布量等から考慮、選定される。層の厚みは、特 に限定されるものではないが、 0. 5 m〜50 μ m、好ましくは 1 μ m〜30 μ mである 。粘着材層を形成される面、貼り合わせられる面は、予め易接着コートまたはコロナ 放電処理などの易接着処理により濡れ性を向上させておくことが好適である。本発明 にお!/ヽては、前述の可視光線に対して透明な粘着材または接着剤を透光性粘着材 と呼ぶ。
[0152] 本発明にお 、ては、導電性メッシュ層（B)上に機能性フィルム (C)を貼り合わせる 際、特に透光性粘着材層 (D1)を用いる。透光性粘着材層 (D1)に用いる透光性粘 着材の具体例としては前記と同じだが、その厚さが導電性メッシュ層（B)の凹部を十 分埋め込むことができることが肝要である。導電性メッシュ層（B)の厚さより薄すぎると 、埋め込み不十分で間隙が出来て凹部に気泡を嚙み込み、濁りのある、透光性の不 足したディスプレイ用フィルタとなってしまう。又、厚すぎると粘着材を作製するコスト がアップしたり部材のハンドリングが悪くなる等の問題が生じる。導電性メッシュ層（B) の厚さが d μ mの時、透光性粘着材（D1)の厚さは（d— 2)〜（d+ 30) μ mであること が好ましい。
[0153] 光学フィルターの可視光線透過率は、 30〜85%が好ましい。更に好ましくは 35〜 70%である。 30%未満であると輝度が下がりすぎ視認性が悪くなる。また、ディスプ レイ用フィルタの可視光線透過率が高すぎると、ディスプレイのコントラストを改善でき ない。尚、本発明における可視光線透過率は、可視光線領域における透過率の波 長依存性から JIS (R— 3106)に従って計算されるものである。
[0154] また、機能性フィルム (C)を透光性粘着材層 (D1)を介して導電性メッシュ層（B)上 に貼り合せると、凹部に気泡を嚙み込み、濁って透光性が不十分になることがあるが 、この場合、例えば加圧処理すると、貼り合わせ時に部材間に入り込んだ気体を脱 泡または、粘着材に固溶させ、濁りを無くして透光性を向上させることができる。加圧 処理は、 (C) / (Dl) / (B) / (A)の構成の状態で行っても、本発明のディスプレイ 用フィルタの状態で行っても良 、。
[0155] 加圧方法としては、平板間に積層体を挟み込みプレスする方法、 -ップロール間を 加圧しながら通す方法、加圧容器内に入れて加圧する方法が挙げられるが、特に限 定はされない。加圧容器内で加圧する方法は、積層体全体に一様に圧力がかかり 加圧のムラが無ぐまた、一度に複数枚の積層体を処理できるので好適である。加圧 容器としてはオートクレープ装置を用いることが出来る。
[0156] 加圧条件としては、圧力が高い程、嚙み込んだ気泡を無くすことが出来、且つ、処 理時間を短くすることが出来るが、積層体の耐圧性、加圧方法の装置上の制限から 、 0. 2MPa〜2MPa程度、好ましくは 0. 4〜1. 3MPaである。また、カロ圧時間は、カロ 圧条件によって変わり特に限定されないが、長くなりすぎると処理時間が力かりコスト アップとなるので、適当な加圧条件にぉ 、て保持時間が 6時間以下であることが好ま しい。特に加圧容器の場合は、設定圧力に到達後、 10分〜 3時間程度保持すること が好適である。
[0157] また、加圧時に同時に加温すると好ましい場合がある。加温することによって、透光 性粘着材の流動性が一時的に上がり嚙み込んだ気泡を脱泡しやすくなつたり、気泡 が粘着材中に固溶しやすくなる。加温条件としては光学フィルターを構成する各部材 の耐熱性により、室温以上 80°C以下程度であるが、特に限定を受けない。
[0158] さらにまた、加圧処理、または、加圧加温処理は、光学フィルターを構成する各部 材間の貼り合わせ後の密着力を向上させることが出来、好適である。
[0159] 本発明の光学フィルタ一は、高分子フィルム (A)の導電性メッシュ層（B)が形成さ れていない他方の主面に透光性粘着材層 (D2)を設ける。透光性粘着材層 (D2)に 用いる透光性粘着材の具体例は前述の通りであり、特に限定はされない。厚みも、 特に限定されるものではないが、 0. 5 m〜50 μ m、好ましくは 1 μ m〜30 μ mであ る。透光性粘着材層（D2)を形成される面、貼り合わせられる面は、予め易接着コー トまたはコロナ放電処理などの易接着処理により濡れ性を向上させておくことが好適 である。
[0160] 透光性粘着材層 (D2)上に離型フィルムが形成されて ヽても良 ヽ。すなわち、少な くとも機能性フィルム (C) Z透光性粘着材層 (Dl) Z導電性メッシュ層 (B) Z高分子 フィルム (A)Z透光性粘着材層（D2)Z離型フィルムである。離型フィルムは、粘着 材層と接する高分子フィルムの主面上にシリコーン等をコーティングしたものである。 本発明の光学フィルターを後述の透明成形物 (E)の主面に貼り合せる際、または、 ディスプレイ表面、例えばプラズマディスプレイパネルの前面ガラス上に貼り合せる際 には、離型フィルムを剥離して透光性粘着材層 (D2)を露出せしめた後に貼り合わせ る。
[0161] 本発明の光学フィルタ一は、主として各種ディスプレイ力 発生する電磁波を遮断 する目的で用いられる。好ましい例として、プラズマディスプレイ用フィルターが挙げ られる。
[0162] 前述した様にプラズマディスプレイは強度の近赤外線を発生する為、光学フィルタ 一は、実用上問題無 、レベルまで電磁波だけでなく近赤外線もカットする必要がある 。波長領域 800〜1000nmにおける透過率を 25%以下、好ましくは 15%以下、更 に好ましくは 10%以下とすることが必要である。また、プラズマディスプレイに用いる 光学フィルタ一はその透過色が-ユートラルグレーまたはブルーグレーであることが 要求される。これは、プラズマディスプレイの発光特性およびコントラストを維持または 向上させる必要があったり、標準白色より若干高めの色温度の白色が好まれる場合 力 Sあるカゝらである。さらにまた、カラープラズマディスプレイはその色再現性が不十分 と言われており、その原因である蛍光体または放電ガス力 の不要発光を選択的に 低減することが好ましい。特に赤色表示の発光スペクトルは、波長 580nmから 700η m程度までにわたる数本の発光ピークを示しており、比較的強い短波長側の発光ピ ークにより赤色発光がオレンジに近い色純度の良くないものとなってしまう問題がある 。これら光学特性は、色素を用いることによって制御できる。つまり、近赤外線カットに は近赤外線吸収剤を用い、また、不要発光の低減には不要発光を選択的に吸収す る色素を用いて、所望の光学特性とすることが出来、また、光学フィルターの色調も 可視領域に適当な吸収のある色素を用いて好適なものとすることができる。
[0163] 色素を含有させる方法としては、（1)色素を少なくとも 1種類以上、透明な榭脂に混 鍊させた高分子フィルムまたは榭脂板、（2)色素を少なくとも 1種類以上、榭脂または 榭脂モノマー Z有機系溶媒の榭脂濃厚液に分散'溶解させ、キャスティング法により 作製した高分子フィルムまたは榭脂板、（3)色素を少なくとも 1種類以上を、榭脂バイ ンダ一と有機系溶媒に加え、塗料とし、高分子フィルムまたは榭脂板上にコーティン グしたもの、 （4)色素を少なくとも 1種類以上を含有する透明な粘着材、のいずれか 一つ以上選択できるが、これらに限定されない。本発明でいう含有とは、基材または 塗膜等の層または粘着材の内部に含有されることは勿論、基材または層の表面に塗 布した状態を意味する。
[0164] 上記の色素は可視領域に所望の吸収波長を有する一般の染料または顔料、また は、近赤外線吸収剤であって、その種類は特に限定されるものではないが、例えば アントラキノン系、フタロシアニン系、メチン系、ァゾメチン系、ォキサジン系、ィモニゥ ム系、ァゾ系、スチリル系、クマリン系、ポルフィリン系、ジベンゾフラノン系、ジケトピロ ロピロール系、ローダミン系、キサンテン系、ピロメテン系、ジチオール系化合物、ジィ ミニゥム系化合物等の一般に市販もされている有機色素があげられる。その種類'濃 度は、色素の吸収波長 ·吸収係数、光学フィルターに要求される透過特性 ·透過率、 そして分散させる媒体または塗膜の種類'厚さから決まり、特に限定されるものではな い。
[0165] プラズマディスプレイパネルはパネル表面の温度が高ぐ環境の温度が高いときは 特に光学フィルターの温度も上がるため、色素は、例えば 80°Cで分解等によって顕 著に劣化しない耐熱性を有していることが好適である。また、耐熱性にカ卩えて色素に よっては耐光性に乏しいものもある。プラズマディスプレイの発光や外光の紫外線' 可視光線による劣化が問題になる場合は、紫外線吸収剤を含む部材ゃ紫外線を透 過しない部材を用いることによって、色素の紫外線による劣化を低減すること、紫外 線や可視光線による顕著な劣化がない色素を用いることが肝要である。熱、光にカロ えて、湿度や、これらの複合した環境においても同様である。劣化するとディスプレイ 用フィルタの透過特性が変わってしまい、色調が変化したり近赤外線カット能が低下 してしまう。さらには、媒体または塗膜中に分散させるために、適宜の溶媒への溶解 性や分散性も重要である。また、本発明においては異なる吸収波長を有する色素 2 種類以上を一つの媒体または塗膜に含有させても良いし、色素を含有する媒体、塗 膜を 2つ以上有して 、ても良 、。
[0166] 上記の色素を含有する方法（1)〜 (4)は、本発明においては、色素を含有する高 分子フィルム (A)、色素を含有する機能性フィルム (C)、色素を含有する透光性粘着 材 (Dl)、 （D2)、その他貼り合わせに用いられる色素を含有する透光性の粘着材ま たは接着剤のいずれ力 1つ以上の形態をもって、本発明の光学フィルターに使用で きる。
[0167] 一般に色素は紫外線で劣化しやすい。光学フィルターが通常使用条件下で受ける 紫外線は、太陽光等の外光に含まれるものである。従って、色素の紫外線による劣 化を防止する為には、色素を含有する層自身および該層より外光を受ける人側の層 力も選ばれる少なくとも 1層に、紫外線カット能を有する層を有していることが好適で ある。例えば、高分子フィルム (A)が色素を含有する場合、透光性粘着材層（D1)お よび Zまたは機能性フィルム (C)が、紫外線吸収剤を含有したり、紫外線カット能を 有する機能膜を有していれば、外光が含む紫外線から、色素を保護できる。色素を 保護するのに必要な紫外線カット能としては、波長 380nmより短い紫外線領域の透 過率が、 20%以下、好ましくは 10%以下、更に好ましくは 5%以下である。紫外線力 ット能を有する機能膜は、紫外線吸収剤を含有する塗膜であっても、紫外線を反射ま たは吸収する無機膜であっても良い。紫外線吸収剤は、ベンゾトリアゾール系やベン ゾフエノン系等、従来公知のものを使用でき、その種類'濃度は、分散または溶解さ せる媒体への分散性'溶解性、吸収波長'吸収係数、媒体の厚さ等から決まり、特に 限定されるものではない。尚、紫外線カット能を有する層またはフィルムは、可視光線 領域の吸収が少なぐ著しく可視光線透過率が低下したり黄色等の色を呈することが ないことが好ましい。色素を含有する機能性フィルム（C)においては、色素を含有す る層が形成されている場合はその層よりも人側のフィルムまたは機能膜が紫外線カツ ト能を有すれば良ぐ高分子フィルムが色素を含有する場合はフィルムより人側に紫 外線カット能を有する機能膜や機能層を有して ヽれば良 ヽ。
[0168] 色素は、金属との接触によっても劣化する場合がある。このような色素を用いる場合 、色素は導電メッシュ層（B)と出来るだけ接触しない様に配置することが更に好まし い。具体的には色素含有層が機能性フィルム (C)、高分子フィルム (A)、透光性粘 着材層（D2)であることが好ましぐ特には透光性粘着材層（D2)であることが好まし い。
[0169] 本発明の光学フィルタ一は、高分子フィルム (A)、導電性メッシュ層（B)、機能性フ イルム (C)、透光性粘着材層 (D1)および透光性粘着材層 (D2)が、 (C) / (D1) / ( B) / (A) / (D2)の順に構成され、好ましくは導電性メッシュ層（B)と高分子フィルム (A)とからなる導電性メッシュフィルムと機能性フィルムとが透光性粘着剤層（D1)で 貼合され、高分子フィルム (A)の導電性メッシュ層（B)とは反対側の主面に透光性粘 着剤層 (D2)が付されている。
[0170] 本発明の光学フィルターをディスプレイに装着する際には機能性フィルム (C)を人 側に、透光性粘着剤層（D2)がディスプレイ側となるように装着する。
[0171] 本発明の光学フィルターを、ディスプレイの前面に設けて使用する方法としては、 後述の透明成形物 (E)を支持体とした前面フィルター板として使用する方法、デイス プレイ表面に透光性粘着材層 (D2)を介して貼り合せて使用する方法がある。前者 の場合、光学フィルターの設置が比較的容易であり、支持体により機械的強度が向 上し、ディスプレイの保護に適している。後者の場合は、支持体が無くなることにより 軽量化'薄化が可能であり、また、ディスプレイ表面の反射を防止することが出来、好 適である。
[0172] 透明成形物 (E)としては、ガラス板、透光性のプラスチック板があげられる。機械的 強度や、軽さ、割れにくさからは、プラスチック板が好ましいが、熱による変形等の少 な ヽ熱的安定性力もガラス板も好適に使用できる。プラスチック板の具体例を挙げる と、ポリメタクリル酸メチル (PMMA)をはじめとするアクリル榭脂、ポリカーボネート榭 脂、透明 ABS榭脂等が使用できるが、これらの榭脂に限定されるものではない。特 に PMMAはその広い波長領域での高透明性と機械的強度の高さから好適に使用 できる。プラスチック板の厚みは十分な機械的強度と、たわまずに平面性を維持する 剛性が得られればよぐ特に限定されるものではないが、通常 lmn！〜 10mm程度で ある。ガラスは、機械的強度を付加するために化学強化加工または風冷強化加工を 行った半強化ガラス板または強化ガラス板が好ましい。重量を考慮すると、その厚み は l〜4mm程度である事が好ましいが、特に限定されない。透明成形物 (E)はフィ ルムを貼り合せる前に必要な各種公知の前処理を行うことが出来るし、光学フィルタ 一周縁部となる部分に黒色等の有色の額縁印刷を施しても良い。
[0173] 透明成形物 (E)を用いる場合の光学フィルターの構成は、少なくとも機能性フィル ム (C) Z透光性粘着材層 (Dl) Z導電性メッシュ層 (B) Z高分子フィルム (A) Z透 光性粘着材層 (D2) Z透明成形物 (E)である。また、透明成形物 (E)の透光性粘着 材層 (D2)と貼り合せられる面とは反対の主面に、機能性フィルム (C)が透光性粘着 材層を介して設けられても良い。この場合、人側に設けられる機能性フィルム (C)と 同じ機能'構成を有する必要は無ぐ例えば、反射防止能を有している場合は、支持 体を有する光学フィルターの裏面反射を低減することができる。同じぐ透明成形物（ E)の透光性粘着材層 (D2)と貼り合せられる面とは反対の主面に、反射防止膜等の 機能膜 (C2)を形成しても良い。この場合は、機能性膜 (C2)を人側にしてディスプレ ィに設置することもできるが、前述の通り、紫外線カット能を有する層を色素含有層お よび色素含有層より人側の層に設けることが好ま 、。
[0174] 電磁波シールドを必要とする機器には、機器のケース内部に金属層を設けたり、ケ ースに導電性材料を使用して電磁波を遮断する必要がある力 ディスプレイの如く表 示部に透明性が必要である場合には、本発明の光学フィルターの如く透光性の導電 層を有した窓状の電磁波シールドフィルタを設置する。ここで、電磁波は導電層にお いて吸収されたのち電荷を誘起するため、アースをとることによって電荷を逃がさない と、再び光学フィルターがアンテナとなって電磁波を発振し電磁波シールド能が低下 する。従って、光学フィルターとディスプレイ本体のアース部が電気的に接触している 必要がある。そのため、前述の透光性粘着材層（D1)および機能性フィルム (C)は、 外部から導通を取ることが出来る導通部を残して導電性メッシュ層（B)上に形成され ている必要がある。導通部の形状は特に限定しないが、光学フィルターとディスプレ ィ本体の間に、電磁波の漏洩する隙間が存在しないことが肝要である。従って、導通 部は、導電性メッシュ層（B)の周縁部且つ連続的に設けられている事が好適である。 すなわち、ディスプレイの表示部である中心部分を除いて、枠状に、導通部が設けら れている事が好ましい。
[0175] 導通部はメッシュパターン層であっても、パターユングされていない、例えば金属箔 ベタの層であっても良いが、ディスプレイ本体のアース部との電気的接触を良好とす る為には、金属箔ベタ層のようにパターユングされて ヽな 、導通部であることが好まし い。
[0176] 導通部が、例えば金属箔ベタのようにパターユングされていない場合、および Zま たは、導通部の機械的強度が十分強い場合は、導通部そのままを電極として使用で きて好適である。
[0177] 導通部の保護のため、および Zまたは、導通部がメッシュパターン層である場合に アース部との電気的接触を良好とするために、導通部に電極を形成することが好まし い場合がある。電極形状は特に限定しないが、導通部をすベて覆うように形成されて いる事が好適である。
電極に用いる材料は、導電性、耐触性および透明導電膜との密着性等の点から、 銀、銅、ニッケル、アルミニウム、クロム、鉄、亜鉛、カーボン等の単体もしくは 2種以 上からなる合金や、合成樹脂とこれら単体または合金の混合物、もしくは、ホウケィ酸 ガラスとこれら単体または合金の混合物力もなるペーストを使用できる。ペーストの印 刷、塗工には従来公知の方法を採用できる。また市販の導電性テープも好適に使用 できる。導電性テープは両面ともに導電性を有するものであって、カーボン分散の導 電性接着剤を用いた片面接着タイプ、両面接着タイプが好適に使用できる。電極の 厚さは、これもまた特に限定されるものではないが、数/ z m〜数 mm程度である。
[0178] 本発明によれば、プラズマディスプレイの輝度を著しく損なわずに、その画質を維 持または向上させることができる、光学特性に優れた光学フィルターを得ることが出 来る。また、プラズマディスプレイ力も発生する健康に害をなす可能性があることを指 摘されている電磁波を遮断する電磁波シールド能に優れ、さらに、プラズマディスプ レイカも放射される 800〜1000nm付近の近赤外線線を効率よくカットするため、周 辺電子機器のリモコン、伝送系光通信等が使用する波長に悪影響を与えず、それら の誤動作を防ぐことができる光学フィルターを得ることができる。さらにまた、耐候性に も優れた光学フィルターを低コストで提供することが出来る。
[0179] 次に本発明の上記第二の目的を解決するディスプレイ用フィルターの製造方法につ いて詳細に説明する。
[0180] 本発明は、ディスプレイ用フィルターの製造方法において、高分子フィルム (A)の片 面に、高分子フィルム (A)の機械加工方向に連続的に形成されたメッシュ形状を有 する導電層（B)が形成された電磁波シールド材 (C)を使用し、製造工程中に、電磁 波シールド材 (C)のメッシュ形状部分を切断する工程を含むことを特徴とするもので ある。 [0181] 高分子フィルム (A)としては、可視光領域において光を透過するものであればよい。 本発明において、可視光領域の光を透過することを透明と呼ぶ。高分子フィルム (A) の種類を具体的にあげれば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルサルフォン、 ポリスチレン、ポリエチレンナフタレート、ポリアリレート、ポリエーテルエーテルケトン、 ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン等が挙げられる力 これらに限定され るものではない。これら高分子フィルムは、ハードコート層等を有していても良い。導 電性メッシュ層（B)を形成する前に、高分子フィルム (A)に対して、洗浄処理やコロナ 処理等の必要な各種公知の前処理を行うことも出来る。高分子フィルム (A)の厚さと しては、 10〜250 μ mが好適であるがこの限りではない。
[0182] 導電層 (B)を高分子フィルム (A)上に形成する方法は、従来公知の方法を用いるこ とが出来る。例えば、ィ)高分子フィルム (A)の片面に導電性物質 (B1)で幾何学的 パターンを形成し、その後該幾何学的パターン上に導電性物質 (B2)を付着する方 法や、口)高分子フィルム (A)と金属箔 (B4)を接着剤層 (B3)を介して貼り合わせ、 該金属箔 (B4)を幾何学的パターンに加工する方法などが挙げられる。
[0183] ィ）における導電性物質 (B1)で幾何学的パターンを形成する方法としては、高分子 フィルム (A)の片面上に、インクジェット法、凹版印刷法、凸版印刷法、平版印刷法、 孔版印刷法等により導電性物質 (B1)を直接印刷する方法や、高分子フィルム (A) 上に感光性の導電性物質 (B1)を塗布またはラミネートし、レーザー描画法などの露 光によりパターン形成後、露光部分または非露光部分を除去する方法などが挙げら れる。導電性物質 (B1)で形成した幾何学的パターン上に導電性物質 (B2)を付着 する方法としては、無電解メツキ、または電解メツキ等の公知の方法を例示することが できる。尚、導電性物質 (B1)により形成した幾何学的パターンが十分な導電性を有 して 、れば、その上に導電性物質 (B2)を付着せずに電磁波シールド材として用い てもよ 、。具体的な例としてはハロゲンィ匕銀を含む乳剤を高分子フィルム (A)上に塗 布し、レーザー描画法により連続的なメッシュ状となるように走査露光を行い、現像処 理により金属銀部と光透過部分を形成し、その後、硫酸銅による無電解メツキによりメ ッシュ状にパター-ングされた導電層を形成する方法をあげることができる。
[0184] 一方、口）の方法においては金属箔 (B4)上にインクジェット法、凹版印刷法、凸版印 刷法、平版印刷法、孔版印刷法等によりレジストパターンを印刷する方法や、金属箔 (B4)上に感光性レジストを塗布後、レーザー描画法などの方法により露光後、現像 によりレジストパターンを形成する方法によって幾何学的パターンを形成し、適当な エッチング液でパターン部以外の金属を溶出させて所望の導電層 (B)を形成する方 法が挙げられる。具体的な例としては、高分子フィルムにウレタン系の接着層を介し て銅箔を貼り合わせ、銅箔上にグラビア印刷によりメッシュ状のレジストパターンを連 続的に形成し、乾燥後、塩ィ匕第二鉄等のエッチング液により非レジスト部の銅箔を除 去し、水洗後、アルカリによるレジスト剥離を行う方法をあげることができる。
[0185] 高分子フィルム (A)の上に導電層（B)を形成する方法は上記ィ）、口)に限定されない 力 ィ）の方法を用いる場合、口）の方法における接着剤層（B3)のような、導電層 (B) の光透過部分の透明性を低下させる層が存在しない為、好適である。また、ィ）、口） 以外にも導電層 (B)を形成する方法として、ハ)メッシュ状の導電性金属薄膜を得た 後、高分子フィルム (A)にメッシュ状の導電性金属薄膜を転写して導電層 (B)を得る 方法や、二)高分子フィルム (A)上に金属との接着性に優れた透明榭脂層を形成し 、さらに無電解メツキやドライコーティングなどの方法により金属薄膜層を形成した後 に上記口）で示した方法と同様にレジストパターンを形成し、エッチングにより非レジス トパターン部の金属薄膜層を除去して導電層 (B)を得る方法も例示することができる
[0186] 導電層 (B)の厚さ、パターンは、必要な電磁波シールド能と、光線透過率、および導 電層（B)の形成方法によって決定される。プラズマディスプレイパネルの電磁波遮蔽 に必要な導電性は、要求される電磁波規格やプラズマディスプレイパネルからの電 磁波放射強度にもよるが、面抵抗で好ましくは 0. 01〜1 Ω /口、さらに好ましくは 0. 0 1〜0. 5 Ω /口である。面抵抗は、本発明では 4端子 4探針法の低抵抗率計で測定し た。
[0187] 導電層（Β)の厚さとしては、 0. 5〜20 μ mが好ましいが、これに限定されるものでは ない。導電層（B)の厚さが薄すぎると導電性が不足し、厚すぎるとコストアップや重量 増につながる為、好適には 5〜15 μ mである。
[0188] 導電層（B)のパターンは、特に限定されないが、線幅は細ぐピッチ（間隔）が広いほ ど、開口率が大きくなり、表示部分の光線透過率が高くなる。また、後述の干渉縞 (モ ァレ）が起こりにくくなり好適である。し力しながら、開口率を高くしすぎると導電層 (B) の持つ導電性が不足する為、線幅は 1〜50 μ m、ピッチは 30〜500 μ mが好適に 採用できる。
[0189] 格子状のメッシュパターンは、縦横に並んで配置されたディスプレイ画素からの発光 と光学的に干渉することによって視認される、干渉縞（モアレ）を起こさないように、画 素が並んだ線に対してメッシュパターンの線がある程度の角度 (バイアス角）を有して いることが肝要である。バイアス角は画素ピッチや、メッシュパターンのピッチ'線幅に より適宜選択する。
[0190] 本発明において、高分子フィルム (A)の片面に、該高分子フィルム (A)の機械加工 方向において連続的に幾何学的パターンの導電部を有する導電層 (B)が形成され た電磁波シールド材 (C)を用いることで、機械加工方向における任意の部分を裁断 してガラスに貼り合わせることができ、ディスプレイ用フィルターを非常に生産効率高 く製造することができる。また、メッシュ形状部分が連続的に形成されている為に、一 つの仕様の電磁波シールド材 (C)を、任意の幅に裁断することで、多種類のディスプ レイ用フィルターに適用することができる。
[0191] 本発明において機械カ卩ェ方向（machine direction)とは製造工程の間に機械の中ま たは上で材料が加工されかつ移動する方向を指し、例えばロール toロールで力卩ェさ れる高分子フィルムロールの場合、ロール力 巻きだされたフィルムが加工工程を流 れていく方向を意味する。
[0192] 第 2図、第 3図に本発明で用いられるメッシュ形状を有する電磁波シールド材の導電 層（B)側から見た平面図を示す。メッシュ形状としては格子状、ハ-カム状でも良ぐ 特に限定はされない。導電層 (B)は高分子フィルム (A)上に連続的に形成されてい る。ここで連続的とは高分子フィルム (A)の機械加工方向に対してそのメッシュ形状 が途切れることなく形成されていることを意味する。連続である範囲、すなわち第 2図 、第 3図における長さ（dx)は、ディスプレイ用フィルターの少なくとも 2枚分に相当す る長さであればよい。例を挙げると 42インチフィルターに用いる場合、 2m以上である 。さらに好ましくはディスプレイ用フィルター 5枚分に相当する長さであることが望まし い。例を挙げると、 42インチフィルターに用いる場合、 5m以上であることが望ましい。 また、連続である範囲の上限値については特に制限はない。使用する高分子フィル ム (A)の厚さおよび導電層 (B)の厚さによるが、高分子フィルム (A)の厚さが 100 μ mの場合、 2000m以下であることが好ましい。
[0193] 作製された電磁波シールド材 (C)は様々なサイズ、形状に切りとられ、ディスプレイ用 フィルターに使用される。電磁波シールド材（C)を、フィルターサイズにあわせて必要 に応じて様々な幅、例えば 500mm幅、 400mm幅などに裁断し、さらにフィルターサ ィズに合わせて、機械加工方向でメッシュ形状部分を任意の長さに切断してディスプ レイ用フィルターを製造することで、 1種類の仕様の電磁波シールド材 (C)を任意の 大きさのディスプレイ用フィルターに使用できる。ここで、導電層 (B)におけるメッシュ 形状は必ずしも第 2図のように高分子フィルム (A)の全面に形成されている必要はな ぐ例えば第 3図に示すように高分子フィルム (A)の機械加工方向においてメッシュ 形状が連続的に形成されていれば、フィルムの始部ゃ終部、縁部がメッシュ形状を 有していなくても構わない。
[0194] また導電層 (B)は、高分子フィルム (A)側またはその逆側の、少なくとも 、ずれかの 面が黒茶色又は黒色を呈して 、ることが肝要である。ディスプレイ用フィルタ一とした 際に、ディスプレイ用フィルターをディスプレイに設置したときに人側となる面が黒茶 色又は黒色を呈していると、ディスプレイのコントラストや視認性を向上できる。銅ゃァ ルミ二ゥム、ニッケル等の金属色や白色であると、ディスプレイ表面での光の反射が 増えてディスプレイ用フィルターの可視光線反射率が上昇し、コントラストや視認性を 低下させたり、ディスプレイ用フィルターが金属色に色付いたりしてしまう。茶色や黒 茶色でも、金属色や白色に比べて反射を低減できる力 黒色がより好ましい。デイス プレイ用フィルターをディスプレイに設置したときにディスプレイ側になる面が黒茶色 又は黒色を呈していると、ディスプレイ用フィルターの裏面反射が低減されるので好 適である。
[0195] 導電性層 (B)の高分子フィルム (A)側の面、高分子フィルム (A)とは逆側の面を黒 色または黒茶色とする方法としては、（ィ)導電性インキを用いる方法、（口)黒化処理 された金属箔を用いる方法、（ハ)黒色の金属薄膜や金属酸化物薄膜、金属硫化物 薄膜を積層する方法がある。（ィ)の導電性インキとしては、カーボンや黒色顔料を含 む導電性インキが使用できる。（口)の黒ィ匕処理された金属箔とは、金属箔の片面又 は両面が粗面化された表面を有するもの、黒色顔料又は黒色染料や、銅やクロムの 酸ィ匕物や硫ィ匕物等力もなる黒色層を有するものであり、三酸化クロム、硫酸ニッケル 等を例示することができるがこれらに限定されない。金属箔の表面は防鲭処理層を 有していも良いし、防鲭処理層が黒色を呈していても良い。また、金属箔表面の黒色 を呈する層は、外観上視認できるムラが極力少ないことが好ましい。ムラが著しい金 属箔を使って導電層（B)を作製すると、ディスプレイ用フィルタ一としたときに、フィル ター表面での反射にムラが見られ、不適である。（ハ）の金属薄膜を積層する方法とし ては、最表面、又は最下層及び最表面にクロム等からなる黒色の金属薄膜、金属酸 化物薄膜、金属硫ィ匕物薄膜およびこれらの混合物力 なる薄膜を単層または複数層 積層する方法が挙げられる。いずれの方法においても、表面を黒色としても導電層（ B)の電磁波遮蔽能が、実用上問題無いレベルであることが肝要である。
[0196] 本発明においては、高分子フィルム (A)の片面に導電層（B)が形成された電磁波シ 一ルド材 (C)を、透明粘着材 (D1)を介して透明支持層 (F)に貼り合わせるか、また は透明支持層 (F)を用いずに、透明粘着材 (D1)を介して直接ディスプレイパネルに 貼り合わせる形でディスプレイ用フィルターとすることが好ましい。
[0197] 透明支持層 (F)としては機械的強度や、軽さ、割れにくさから、可視光領域において 透明なプラスチック板が望ましぐ例としてポリメタクリル酸メチル (PMMA)を代表とし た、アクリル榭脂、ポリカーボネート榭脂、透明 ABS榭脂等を挙げることができる。一 方、熱による変形等が少ないという熱的安定性の観点から、ガラス板も好適に使用で きる。ガラス板を用いる場合には機械的強度を付加する為に化学強化加工または風 冷強化加工を行った強化ガラスまたは熱処理ガラス板を用いることが望ま 、。また、 ディスプレイ用フィルターの周縁部となる部分に黒色等の額縁印刷を施してもよい。
[0198] 得られたディスプレイ用フィルターに他の機能性フィルム (E)を貼り合わせてもよ!/、。
他の機能性フィルム (E)を貼り合わせることで、ディスプレイ用フィルターにハードコ ート性、反射防止性、防眩性、静電気防止性、防汚性、紫外線カット性、近赤外線力 ット性等の機能性フィルム (E)が有する機能を付与することができる。機能性フィルム (E)は、電磁波シールド材 (C)の導電層（B)側に、透明粘着材 (D2)を介して貼って もよ!/、し、電磁波シールド材 (C)の高分子フィルム (A)側に透光性粘着材 (D1)を介 して透明支持層 (F)を貼り合わせ、透明支持層 (F)の電磁波シールド材 (C)とは反 対の面に透明粘着材 (D3)を介して貼り合わせてもよい。例えば、本発明におけるデ イスプレイ用フィルターの構成例として （E) / (D2) / (B) / (A) / (Dl) Z (F)、ま
Dl) Z (F) / (D3) / (E)などを挙げることができる。
[0199] 機能性フィルム (E)は、ハードコート性、反射防止性、防眩性、静電気防止性、防汚 性、紫外線カット性、近赤外線カット性等の中カゝら選ばれるいずれか一つ以上の機 能を有する透明な高分子フィルムである。前記機能を有する層を単数又は複数層形 成したものでも、各機能を有する物質を含有するものでも良い。また、一枚のディスプ レイに複数の機能性フィルム (E)を使用する場合、各々異なった機能を有するフィル ムを使用してもよい。例えば、ディスプレイ用フィルターの、ディスプレイに設置した際 、人側となる面に使用する機能性フィルム (E)とディスプレイ側となる面に使用する機 能性フィルム (E)が同一でなくともよい。機能性フィルム (E)に用いる高分子フィルム としては、可視波長領域において透明であればよぐその種類を具体的にあげれば、 ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルサルフォン、ポリカーボネート等が挙げられ るが、これらに限定されるものではない。
[0200] ディスプレイは、照明器具等の映り込みによって表示画面が見づらくなつてしまうので 、機能性フィルム (E)は、外光反射を抑制するための反射防止 (AR:アンチリフレタ シヨン)性、または、鏡像の映り込みを防止する防眩 (AG :アンチグレア)性、またはそ の両特性を備えた反射防止防眩 (ARAG)性の 、ずれかの機能を有するものが好ま しく使用される。ディスプレイ用フィルター表面の可視光線反射率が低いと、映り込み を防止できるだけではなぐコントラストを向上させることができる。
[0201] また、ディスプレイ用フィルターに耐擦傷性を付加させるために、ハードコート性を有 している機能性フィルム (E)も好適に使用される。さらに、ディスプレイ用フィルタ一は 、静電気帯電によりホコリが付着しやすぐまた、人体が接触したときに放電して電気 ショックを受けることがあるため、帯電防止性が必要とされる場合がある。従って、静 電気防止性を付与するために、機能性フィルム (E)が導電性を有していても良い。ハ ードコート膜や反射防止膜、防眩膜が、導電膜を有しているもの、導電性微粒子を含 有しているものが好適に使用される。
[0202] さらに、指紋等の汚れ防止や汚れが付いたときに簡単に取り除くことができるよう、機 能性フィルム (E)表面が防汚性を有していると良い。反射防止膜に、防汚性のある層 を用いると、防汚性を有する反射防止膜が得られて好ま Uヽ。
[0203] 機能性フィルム (E)とディスプレイ用フィルターとの貼り合わせは、透明な任意の粘着 材又は接着剤を介して行う。本発明において、可視光線を透過する粘着材または接 着剤のことを、透明粘着材と呼ぶ。透明粘着材は感圧型接着剤でシート状のものが 好適に使用できる。液状のものを塗布して使用してもよぐ室温または加熱により硬化 するものを使用してもよい。機能性フィルム (E)の、粘着材層を形成する面は、予め 易接着コートまたはコロナ放電処理などの易接着処理により濡れ性を向上させておく ことが好適である。
[0204] プラズマディスプレイパネルは強度の近赤外線を発生する為、実用上問題無いレべ ルまでカットする必要がある。また、プラズマディスプレイパネルに用いるディスプレイ 用フィルタ一はその透過色が-ユートラルグレーまたはブルーグレーであることが要 求される。これは、プラズマディスプレイパネルの発光特性及びコントラストを維持ま たは向上させる必要があり、さらに標準白色より若干高めの色温度の白色が好まれる 場合があるカゝらである。さらにまた、カラープラズマディスプレイパネルはその色再現 性が不十分と言われており、その原因である蛍光体又は放電ガスからの不要発光を ディスプレイ用フィルターで選択的に低減することが好ましい。
[0205] これら、光学特性は、ディスプレイ用フィルターに色素を用いることによって制御でき る。つまり、近赤外線カットには近赤外線吸収剤を用い、また、不要発光の低減には 不要発光を選択的に吸収する色素を用いて、所望の光学特性とすることが出来る。 また、ディスプレイ用フィルターの色調も可視領域に適当な吸収のある色素を用いて 好適なものとすることができる。
[0206] 色素をディスプレイ用フィルターに含有させる方法としては、（ィ)色素を高分子フィル ムゃ榭脂板に混鍊する方法、（口)色素を榭脂、または榭脂モノマーを有機系溶媒に 溶解した液に分散 ·溶解させ、キャスティング法により高分子フィルムや榭脂板を作製 する方法、（ハ)色素を榭脂バインダーと有機系溶媒に加え、塗料とし、高分子フィル ムまたは榭脂板上にコーティングする方法、（二)色素を粘着材に含有させる方法、 のいずれか一つ以上選択できるが、これらに限定されない。本発明でいう含有とは、 基材または塗膜等の層または粘着材の内部に含有されることは勿論、基材または層 の表面に塗布した状態をも意味する。含有する色素は複数の種類でも構わない。
[0207] また、本発明においては異なる吸収波長を有する色素 2種類以上を一つの媒体また は塗膜に含有させても良いし、色素を含有する媒体、塗膜を 2つ以上有していても良 い。色素は高分子フィルム (A)、接着剤層、粘着材層、機能性フィルム (E)、透明支 持層 (F)の 、ずれに含まれてもよ!/、。
[0208] 一般に、発生した電磁波が外部に漏れないようにする必要がある機器は、機器のケ ースの内部に金属層を設けたり、ケースに導電性材料を使用することで電磁波を遮 断している力 ディスプレイの如く表示部に透明性が必要である場合には、本発明の ディスプレイ用フィルターの如く透明な導電層を有した窓状の電磁波シールドフィル ターを設置する。電磁波は導電性物質に吸収されることにより該導電性物質上に電 荷を発生させる。発生した電荷は該導電性物質をアンテナとして再び電磁波を発振 させるため、アースをとることによって、発生した電荷を速やかに外部へ逃がさなけれ ば電磁波が漏洩する恐れがある。従って、ディスプレイ用フィルターとディスプレイ本 体のアース部が電気的に接触している必要がある。そのため、電磁波シールド材の 導電層 (B)上に他の層を形成する場合、他の層で導電層 (B)を全て覆わず、外部と 電気的な接地を取ることが出来る導電接続部を残す必要がある。例えば、前述の透 明粘着材層 (D2)を介して機能性フィルム (E)を導電層 (B)に貼り合わせる場合がこ れに該当する。導電接続部の形状は特に限定しないが、ディスプレイ用フィルターと ディスプレイ本体の間に、電磁波の漏洩する隙間が存在しないことが肝要である。従 つて、導電接続部は、導電性層（B)の周縁部に、且つ連続的に設けられている事が 好適である。すなわち、ディスプレイの表示部である中心部分を除いて、枠状に、導 通部が設けられている事が好ましい。し力しこれに限定されるわけではなぐ電磁波 が外部へ漏洩しなければ、導電接続部が連続的でなくてもよぐ例えば、ディスプレ ィ用フィルターの向力 、合った 2辺の端部を導電接続部としてもょ 、。
[0209] 導電接続部は導電層 (B)の幾何学的パターンの導電部であってもよ 、が、ディスプ レイ本体のアース部との電気的接触を良くする為に、導電接続部となる導電層（B)上 に電極を形成することが好ましい場合がある。電極形状は特に限定しないが、導電 接続部をすベて覆うように形成されて ヽる事が好適である。
[0210] 電極に用いる材料は、導電性、耐触性および導電層 (B)との密着性等の点から、銀 、銅、ニッケル、アルミニウム、クロム、鉄、亜鉛、カーボン等の単体もしくは 2種以上か らなる合金や、これら単体または合金と合成樹脂との混合物、もしくは、これら単体ま たは合金とホウケィ酸ガラスとの混合物カゝらなる導電性の塗料、ペーストを使用できる
。導電性の塗料やペーストの印刷、塗工には従来公知の方法を採用できる。使用す る塗料やペーストは黒色である事が好まし ヽ。形成された電極が黒色を有して ヽる事 で従来ガラス周縁部上に施される、ディスプレイの表示部分と非表示部分を区別する 為の黒色額縁印刷の代替とする事ができ、より低コストのフィルターが製造できる。 この場合使用する塗料やペーストは上記に述べた合金及び榭脂の組み合わせを 用いる事ができる力 カーボン単体と榭脂による塗料やペースト、もしくは銀や銅等の 導電性の高い金属塗料やペーストにカーボン微粒子を添加して黒色としたものを特 に好適に用いることができる。また市販の導電性テープも好適に使用できる。導電性 テープは両面ともに導電性を有するものであって、カーボン分散の導電性接着剤を 用いた片面接着タイプ、両面接着タイプが好適に使用できる。電極の厚さは、これも また特に限定されるものではないが、数/ z m〜数 mm程度である。
[0211] ディスプレイ用フィルターの可視光線透過率は、 30〜85%が好ましい。更に好ましく は 35〜70%である。 30%未満であるとディスプレイ画面の輝度が下がりすぎ視認性 が悪くなる。また、ディスプレイ用フィルターの可視光線透過率が高すぎると、デイス プレイのコントラストを改善できない。尚、本発明における可視光線透過率は、可視 光線領域における透過率の波長依存性から JIS (R-3106)に従って計算されるもの である。
実施例
[0212] 以下に本発明の実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。なお、以下の 実施例に示される材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を 逸脱しない限り適宜変更することができる。したがって、本発明の範囲は以下に示す 具体例により限定的に解釈されるべきものではない。
(実施例 1 1)
(ハロゲン化銀感光材料）
水媒体中の Ag60gに対してゼラチン lO.Ogを含む、球相当径平均 0. l /z mの沃臭 塩化銀粒子 (1 = 0.2モル％、 Br=40モル％)を含有する乳剤を調製した。
また、この乳剤中には K3Rh2Br9及び K2IrC16を濃度が 10-7 (モル Zモル銀）にな るように添カ卩し、臭化銀粒子に Rhイオンと Irイオンをドープした。この乳剤に Na2PdC 14を添加し、更に塩ィ匕金酸とチォ硫酸ナトリウムを用いて金硫黄増感を行った後、ゼ ラチン硬膜剤と共に、銀の塗布量が lgZm2となるようにポリエチレンテレフタレート（ PET)上に塗布した。この際、 Ag/ゼラチン体積比は 1/2とした。
幅 30cmの PET支持体に 25cmの幅で 20m分塗布を行な!/ヽ、塗布の中央部 24cmを残 すように両端を 3cmずつ切り落としてロール状のハロゲンィ匕銀感光材料を得た。 (露光）
ハロゲン化銀感光材料の露光は特開 2004-1244号公報の発明の実施の形態記載 の DMD (デジタル 'ミラ一'デバイス）を用いた露光ヘッドを 25cm幅になるように並べ、 感光材料の感光層上にレーザー光が結像するように露光ヘッドおよび露光ステージ を湾曲させて配置し、感材送り出し機構および卷取り機構を取り付けた上、露光面の テンション制御および卷取り、送り出し機構の速度変動が露光部分の速度に影響し ないようにバッファー作用を有する橈みを設けた連続露光装置にて行った。露光の 波長は 400nmで、ビーム形は 12 mの略正方形、およびレーザー光源の出力は 100 μ Jであった。
露光のパターンは 12 μ m画素が 45度の格子状にピッチが 300 μ m間隔で幅 24cm長 さ 10m連続するように行った。
本発明に記載の露光ヘッドは、露光面を複数の光ビームにより露光する露光ヘッド であって、光ビームを出射する照明手段と、制御信号に応じて光変調状態がそれぞ れ変化する複数個の画素部が基板上に 2次元的に配列され、照明手段力も画素部 へ入射した光ビームを変調する空間光変調素子と、空間光変調素子で変調された 各光ビームを露光面上にそれぞれビームスポットとして結像する光学系と、光学系の 光路上に配置され、ビームスポットを整形するための異なる開口面積及び開口形状 をもつ複数のアパーチャが形成され、異なる開口面積及び開口形状をもつァパーチ ャを通過したビームスポットが多重露光又はオーバラップ露光となるように設定された アパーチャアレイとを有し、開口面積及び開口形状が異なるアパーチャを通過して露 光面上に照射される各ビームスポットにおける露光量比を変更調整することを特徴と する。
上述のように構成することにより、露光ヘッドにより、照明手段から出射された光ビー ムを空間光変調素子の各画素部で変調し、各画素部で露光状態に変調された各光 ビームがアパーチャを通され光ビームの一部が遮蔽されることによりビームスポットの 形状を整形して露光面に照射して露光処理をする際に、各ビームスポットにおける露 光量比を異なる開口面積及び開口形状をもつアパーチャ毎に変更することによって 、異なる開口面積及び開口形状をもつ各アパーチャを通されたビームスポット間での 露光量比を変更し、多重露光又はオーバラップ露光の状態で露光面上に照射され たときの異なる面積及び形状とされた各ビームスポットによる露光量を変更して、アバ 一チヤの開口面積及び開口形状を変更したのと同様の作用及び効果を奏するように できる。これにより、露光パターンの形状や線図、感光材料の特性等の各種条件によ り異なる適切な露光面上のビームスポットのスポット径（ビームスポットの面積）及びス ポット形状に近似的に対応させて露光処理 (露光の記録)を行うことができる。よって 、露光ヘッドにより、露光パターンの形状や線図等を適切に露光形成することができ る。さらに、アパーチャアレイを交換することなくアパーチャ開口面積及び開口形状を 変更したようにでき、し力もアパーチャアレイ等を移動操作する必要もないので、構成 を簡素化できると共に、ビームスポットの形状を露光パターンの形状や線図、感光材 料の特性等の各種条件により異なる適切なビームスポットの形状に対応するよう即座 に変更できる。よって、アパーチャアレイを取り外して別のものと付け替えるための精 密で手間の掛カる作業を省略して作業効率を向上できる。
(現像処理） •現像液 1L処方
ハイドロキノン 20 g
亜硫酸ナトリウム 50 g
炭酸カリウム 40 g
エチレンジァミン'四酢酸 2
臭化カリウム 3 g
ポジエチレングリコーノレ 2000 1
水酸化カリウム 4 g
pH 10. 3に調整
，定着液 1L処方
チォ硫酸アンモニゥム液（75%) 300
亜硫酸アンモ-ゥム · 1水塩 25
1, 3-ジァミノプロパン '四酢酸 8
酢酸 5 g
アンモニア水（27%) 1 g
pH 6. 2に調整
[0216] 上記処理剤を用いて露光済み感材を、富士フィルム社製自動現像機 FG- 710 PTSを用いて処理条件：現像 35°C 30秒、定着 34°C 23秒、水洗 流水（5L/min) の 20秒処理で行った。
[0217] ランニング条件として、感材の処理量を 100m2/日で現像液の補充を 500ml/m2、 定着液を 640ml/m2で 3日間行った。
このときメツキ処理後の銅のパターンが 12 μ m線幅 300ミクロンピッチであることが確 f*i¾ れ 。
[0218] さらに、メツキ液（硫酸銅 0. 06モル ZL,ホルマリン 0. 22モル ZL, トリエタノールァ ミン 0. 12モノレ/： L,ポジエチレングジ 一ノレ lOOppm、黄血塩 50ppm、 α、 α '—ビピ リジン 20ppmを含有する、 pH= 12. 5の無電解 Cuメツキ液）を用い、 45°Cにて無電 解銅メツキ処理を行った後、 lOppmの Fe (III)イオンを含有する水溶液で酸化処理を 行ない、本発明のサンプル Aを得た。 [0219] (比較例 1 1)
比較のためにゥシォライティング社製フレネルプリンター（型番 FL-S)で幅 24cm、長 さ lmのマスクを用いて lmずつずらし、 10回露光を行った。このとき 10回の露光はハ ロゲン化銀感光材料に lm間隔で正確にマーキングした位置合わせ印を合わせて行 つた。この露光済み感光材料をサンプル Aと同様に現像処理およびメツキ処理を行 つて比較用サンプル Bを得た。このときメツキ処理後の銅のパターンが 12 μ m線幅 300 ミクロンピッチであることが確認された。
[0220] 〔評価〕
(表面抵抗測定）
表面抵抗の均一性を評価するために、サンプル Aおよびサンプル Bの表面抵抗を ダイァインスツルメンッ社製ロレスター GP (型番 MCP- T610)直列 4探針プローブ（AS P)にて任意の 200箇所測定した。
[0221] (評価結果）
表 1に示すように本発明のサンプル Aでは表面抵抗が均一であるのに対して、サン プル Bは表面抵抗が測定不能となる個所が 7箇所あり均一性が低いことが判る。
[0222] [表 1]
Figure imgf000078_0001
[0223] (実施例 1 2)
従来技術欄の「（3)フォトグラフィー法を利用したエッチング加工メッシュ」の代表と して、特開 2003— 46293号公報記載の金属メッシュの作成を行った。
実施例 1— 1と同様の比較を行った結果、本発明の連続パターンを形成した場合に 表面抵抗が均一となり、本発明の有効性が明らかとなった。
[0224] (実施例 1 3)
実施例 1 1のサンプル Aにお 、て連続パターン形成を、ハロゲン化銀感光材料搬 送方向に対して斜め 45° および 45° に走査するように配置した回転ポリゴンミラ 一走査型レーザー露光装置で露光したことのみ異なるサンプル Cを作成し、サンプ ル Bと比較した。その結果、実施例 1—1と同様の結果となった。
[0225] (実施例 1 4)
前記の実施例にて作成した電磁波シールド膜を、 2軸延伸ポリエチレンテレフタレ ート（以下 PET)フィルム（厚さ： 100 μ m)上に作成した。次 、で、銅黒化処理液で処 理して銅表面を黒ィ匕した。使用した黒ィ匕処理液は市販のコパーブラック (株式会社ァ イソレートイ匕学研究所製)を用いた。 PET面側に、総厚みが 28 mの保護フィルム（ パナック工業 (株)製、品番； HT— 25)をラミネーターローラーを用いて貼り合わせを 行った。
また、電磁波シールド膜 (金属メッシュ)側に、ポリエチレンフィルムにアクリル系粘 着剤層が積層された総厚みが 65 μ mの保護フィルム（ (株)サンエー化研製、品名； サ-テクト Y-26F)をラミネーターローラーを用いて貼り合わせを行った。
[0226] 次!、で、 PET面を貼り合わせ面にして厚さ 2. 5mm、外形寸法 950mm X 550mm のガラス板に透明なアクリル系粘着材を介して貼り合わせた。
[0227] 次に、外縁部 20mmを除いた内側の該導電性メッシュ層上に、厚さ 25 μ mのアタリ ル系透光性粘着材を介して、厚さ 100 /z mPETフィルム、反射防止層、近赤外線吸 収剤含有層からなる反射防止機能付近赤外線吸収フィルム (住友大阪セメント (株)製 商品名タリアラス ARZNIR)を貼り合わせた。該アクリル系透光性粘着材層中には ディスプレイ用フィルタの透過特性を調整する調色色素（三井化学製 PS-Red-G 、 PS— Violet— RC)を含有させた。さらに、該ガラス板の反対の主面には、粘着材 を介して反射防止フィルム（日本油脂 (株)製商品名リアルック 8201)を貼り合わせ、 ディスプレイ用フィルタを作製した。
[0228] 得られたディスプレイ用フィルタは、保護フィルムを有した電磁波シールドフィルムを 用いて作成されたため、傷や金属メッシュの欠陥な極めて少ないものであった。また 金属メッシュが黒色であってディスプレイ画像が金属色を帯びることがなぐまた、実 用上問題ない電磁波遮蔽能及び近赤外線カット能（300〜800nmの透過率が 15% 以下)を有し、両面に有する反射防止層により視認性に優れていた。また、色素を含 有させること〖こよって、調色機能を付与できており、プラズマディスプレイ等のディスプ レイ用フィルタとして好適に使用できる。
(実施例 1 5)
従来技術欄の「（3)フォトグラフィー法を利用したエッチング加工メッシュ」の別の代 表として特開 2001-53488号公報の実施例に記載の電磁波シールド材料作成例 1〖こ 従って、金属メッシュの作成を行った。このとき、額縁部の形成行わず、電磁波シー ルド材料の長辺に対して 45°傾 、た細線格子パターンを額縁部となる部分まで描画 した点が異なる。
この様にして得られたメッシュパターンが幅 25cm、長さ 10mの評価用サンプルを 用いて、実施例 1—1と同様の評価を行った結果、本発明の連続パターンを形成した 場合に表面抵抗が均一となり、本発明の有効性が明らかとなった。
(実施例 2 - 1)
[0229] 幅 600mm、長さ 200mの 2軸延伸ポリエチレンテレフタレート（以下 PET)フィルム（ 厚さ： 100 m)〔東洋紡績製、 A4300]に、主にハロゲンィ匕銀とゼラチンカゝらなる乳 剤を銀の塗布量が lgZm2となるように塗布し、半導体レーザーを走査することでメッ シュ形状をロール toロール方式で連続的にパターユング後、現像液（富士写真フィ ルム製 CN-16)、および定着液（富士写真フィルム製 スーパーフィジックス）を用 いて現像処理を行い、非露光部分を除去し、純水洗浄を行った。その後、硫酸銅を 含むメツキ液とトリエタノールアミンを用いた無電解銅メツキ処理を施すことで、厚さ 10 μ m、線幅 10 μ m、ピッチ 300 μ m、バイアス角 45° の導電性の格子パターンが形 成された導電層を有するフィルム（以下メッシュフィルム）を得た。その後メッシ ュフィルムにおける導電層上を、硫酸ニッケルを含む溶液により電気メツキを行い、導 電層の表面が黒化されたメッシュフィルムを作製した。導電性層の面抵抗を 4端子法 低抵抗率計 (三菱化学製、 Loresta EP)により測定したところ、 0. 3 Ω /口であった。
[0230] 次にディスプレイ用フィルターの透過特性を調整する調色色素（三井化学 PS-Red - G、 PS-Violet-RC)を含有させたアクリル系透明粘着材を、 PETフィルムとシリコー ン離型層からなる離型フィルムの離型層上に連続的に塗工し、色素入り粘着材を得 た。得られた離型フィルム上の色素入り粘着材をメッシュフィルムの導電層を形成し ていない面に貼り合わせた。更にフィルムの幅方向の両端を裁断して幅 580mmの 色素入り粘着材付きメッシュフィルムを作製した。
[0231] また、 100 mPETフィルム（帝人デュポンフィルム (株)製 ティジンテトロンフィルム HBタイプ）に一方の面にアクリル系ハードコート層、フッ素榭脂層及び酸化インジゥ ム含有樹脂層の 2層からなる防汚性'静電防止能付き反射防止層を順次、湿式塗工 により形成し、他方の面にジィモ二ゥム系及びフタロシアニン系の近赤外線吸収剤と アクリル系バインダー榭脂からなる近赤外線吸収剤層を形成し、 UVカット性、防汚性 、静電防止性、ハードコート性を有する反射防止層付き近赤外線吸収フィルム（以下 AR,NIRAフィルム）を作製した。
[0232] アクリル系透明粘着材を離型フィルムの離型層上に連続的に塗工し、連続的に AR ZNIRAフィルムの近赤外線吸収層上に貼り合わせ、更にフィルムの幅方向の両端 を裁断して幅 570mmの粘着材付き ARZNIRAフィルムを作製した。
[0233] 風冷強化処理により強度を向上させた厚さ 2. 5mm、外形寸法長さ 984mm X幅 58 4mmのガラスに、離型フィルムを剥がしながら色素入り粘着材を介してメッシュフィル ムを、ガラスとメッシュフィルムの幅方向における中心が一致するように貼り合わせた。 ガラスの大きさに合わせてメッシュフィルムのメッシュ形状部分を切断した。
[0234] 次に、メッシュフィルムを貼り合せた側のガラス面上に、幅 570mmの粘着材付き AR ZNIRAフィルムを、ガラス端部の内側 7mmの所から、離型フィルムを剥離しながら 粘着材を介して貼り合わせた後、 ARZNIRAフィルムを切断した。 ARZNIRAフィ ルムの貼り合わせは、 ARZNIRAフィルムが貼られて!/、な!/、部分がガラスの周縁部 に 7mmの幅で生ずるようにした。
[0235] 更に、上記の ARZNIRAフィルムが貼られていない周縁部 7mm幅部分、つまりメッ シュフィルムとガラスが露出した部分に銀ペースト（三井化学 (株)製 MSP-600F)を スクリーン印刷した。この際、プチルセ口ソルブアセテートで希釈し、粘度を約 200Po ise (約 200 (Pa' s) )に調整した銀ペーストを用いた。印刷後に常温乾燥させ、厚さ 1 0 μ mの電極を形成した。
[0236] 得られた積層体をオートクレープ容器に入れ、温度設定 40°C、圧力設定 0. 8MPa、 昇圧時間 30分、保持時間 30分の条件で、加圧処理し、本発明のディスプレイ用フィ ルターを作製した。該ディスプレイ用フィルターの構成を示す断面図を第 4図に掲げ る。
(実施例 2— 2)
[0237] 次の点以外は実施例 2— 1と同様の工程によりディスプレイ用フィルターを作製した。
•粘着材付き ARZNIRAフィルムを 580mm幅とし、メッシュフィルム上には貼り合わ せず、メッシュフィルムが貼り合わされていない方のガラス面に貼り合わせ、ガラスの 大きさに合わせて切断したこと。
'電極を、メッシュフィルムの貼り合わされた側のガラス面に、 4辺とも端部から 12mm 幅となるようにメッシュフィルム上とガラスの露出した部分上に印刷したこと。
[0238] 該ディスプレイ用フィルターの構成を示す断面図を第 5図に掲げる。
(実施例 2— 3)
[0239] 実施例 2— 1で記載の幅 570mmの粘着材付き ARZNIRAフィルムを長さ 970mm となるように切り出した。実施例 2— 1で作製した幅 580mmの色素粘着材付きメッシ ュフィルムを長さ 980mmとなるようにメッシュ形状部分を切断した。メッシュフィルムの 導電層側に、粘着材付き ARZNIRAフィルムの離型フィルムを剥がし、 ARZNIRA フィルムが貼り合わされていないメッシュフィルムの導電層部分が周縁部に 5mmの 幅で生ずるように ARZNIRAフィルムを貼りあわせた。実施例 2— 1と同様の方法で メッシュフィルム周縁部の、 ARZNIRAフィルムで覆われて!/、な!/、導電層部分に銀 ペーストをスクリーン印刷した後、オートクレープ容器に入れ、実施例 2—1と同じ条 件で加圧処理した。得られた積層体をプラズマディスプレイパネルに色素粘着材付 きメッシュフィルムの離型フィルムを剥がして貼り合わせ、フィルタ——体型のプラズ マディスプレイパネルを得た。該フィルタ 体型のプラズマディスプレイパネルの構 成を示す断面図を第 6図に掲げる。
(実施例 2— 4)
[0240] 幅 600mm、長さ 200mの 2軸延伸 PETフィルム（厚さ 100 μ m)〔東洋紡績製、 A430 0〕と片面が黒ィ匕処理された厚さ 10 mの銅箔を 2液硬化型のポリウレタン系透明接 着剤 (武田薬品製、タケラック A310 (主剤) Zタケネート A10 (硬化剤) Z酢酸ェチル = 12ZlZ21の質量比で混合)を用いたドライラミネート方式により、黒ィ匕処理した 面が接着面になるよう連続的に貼り合わせ、合計厚みが 115 mの積層フィルム口 ールを得た。
[0241] 上記積層フィルムロールの銅箔側に対し、カゼインを感光性レジストとしてグラビア口 ール印刷によりパターン状に連続的に塗布し、乾燥後、 UVランプにより硬化を行つ た。レジストの硬膜処理、および 100°Cのべ一キングの後、塩ィ匕第二鉄溶液による非 レジスト部分のエッチングを行い、次いで水洗、アルカリ溶液によるレジスト剥離を行 うことで線幅 10 μ m、ピッチ 300 μ m、厚さ 10 μ m、バイアス角 45° の導電性の格子 パターンが形成された導電層を有するフィルム（以下メッシュフィルム）を得た。その 後メッシュフィルムにおける導電層上を、硫酸ニッケルを含む溶液により電気メツキを 行い、導電層の表面が黒化されたメッシュフィルムを作製した。導電性層の面抵抗を 4端子法低抵抗率計 (三菱化学製、 Loresta EP)により測定したところ、 0. 1 Ω /口で めつに。
[0242] 実施例 2— 1で使用したメッシュフィルムの代わりに、上記メッシュフィルムを使用して 実施例 2— 1と同様の工程によりディスプレイ用フィルターを作製した。該ディスプレイ 用フィルターの構成を示す断面図を第 7図に掲げる。
[0243] 上記実施例 2— 1、実施例 2— 2、実施例 2— 3、実施例 2— 4で得られたディスプレ ィ用フィルタ一は、実用上問題ない電磁波遮蔽能及び近赤外線カット能を有し、表 面に有する防汚性 ·静電防止能付き反射防止層とハードコート層により、静電気によ るホコリの付着が少なぐ防汚性、耐擦傷性、視認性にも優れていた。また、紫外線力 ット層により太陽光による色素の劣化が無ぐ耐候性にも優れていた。
本発明を詳細にまた特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲 を逸脱することなく様々な変更や修正を加えることができることは当業者にとって明ら かである。
本出願は、 2005年 2月 15日出願の日本特許出願 (特願 2005— 038194)、 2005年 2月 22日出願の日本特許出願（特願 2005— 046247)に基づくものであり、その 内容はここに参照として取り込まれる。
産業上の利用可能性
[0244] 本発明は、透光性導電性膜として利用される。特に、 CRT (陰極線管）、 PDP (ブラ ズマディスプレイパネル）、液晶、 EL (エレクト口ルミネッセンス）、 FED (フィールドエミ ッシヨンディスプレイ)などのディスプレイ前面、電子レンジ、電子機器、プリント配線 板などから発生する電磁波を遮蔽し、かつ、透光性を有する電磁波遮蔽材料として 利用される。

Claims

請求の範囲
[1] 透明支持体上に導電性金属部と可視光透過性部をパターニングして形成される透 光性導電性膜において、該導電性金属部が 1 μ m力 40 mのメッシュ状の細線か ら形成され、該メッシュパターン力 S3m以上連続して 、ることを特徴とする透光性導電 性膜。
[2] 透明支持体上に現像銀部と可視光透過性部とをパターユングし、該現像銀部に導 電性金属を担持させ、導電性金属部が形成される透光性導電性膜にお!ヽて、 該導電性金属部が 1 μ m力 30 mの細線のメッシュ状であり、該メッシュパターン 力^ m以上連続していることを特徴とする透光性導電性膜。
[3] 前記透明支持体が、可撓性を有し、幅が 2cm以上かつ長さ力 ¾m以上および厚さが
200 μ m以下であるフィルムであることを特徴とする請求項 1に記載の透光性導電性 膜。
[4] 前記メッシュパターン力 実質的に平行である直線状細線の交差するパターンであ ることを特徴とする請求項 1に記載の透光性導電性膜。
[5] 該パターンユングが、湾曲した露光ステージ上に於いて前記透明支持体を搬送し ながらレーザー光ビームで走査露光することによって行うことを特徴とする請求項 1に 記載の透光性導電性膜。
[6] 前記光ビームの主走査の方向が、支持体搬送方向に垂直であることを特徴とする 請求項 5に記載の透光性導電性膜。
[7] 前記光ビームの光強度が、実質的に 0である状態を含めて 2値以上とることを特徴 とする請求項 5に記載の透光性導電性膜。
[8] 該パターニングを支持体搬送方向に対して交差する露光ヘッドを用いて露光する ことにより行い、
前記露光ヘッドは、光ビームを照射する照射装置と、各々制御信号に応じて光変 調状態が変化する多数の画素部が基板上に 2次元状に配列され、前記照射装置か ら照射された光ビームを変調する空間光変調素子と、前記基板上に配列された画素 部の全個数より少ない個数の複数の画素部の各々を、露光情報に応じて生成した制 御信号によって制御する制御手段と、各画素部で変調された光ビームを露光面上に 結像させる光学系とを備えて 、ることを特徴とする請求項 1に記載の透光性導電性 膜。
[9] 前記光ビームを搬送方向に対して 30° から 60° 傾けて走査することを特徴とする 請求項 5に記載の透光性導電性膜。
[10] 前記光ビームの光強度が該パターユング中に 1値しか取らないことを特徴とする請 求項 9の透光性導電性膜。
[11] 前記光ビームの波長が、 420nm以下であることを特徴とする請求項 5に記載の透光 性導電性膜。
[12] 前記光ビームの波長が、 600nm以上であることを特徴とする請求項 5に記載の透光 性導電性膜。
[13] 前記光ビームのエネルギーが lmiZcm2以下であることを特徴とする請求項 5に記 載の透光性導電性膜。
[14] 前記現像銀部は、ハロゲン化銀を現像して形成されることを特徴とする請求項 2〖こ 記載の透光性導電性膜。
[15] 前記導電性金属部は、銅箔のエッチングにより形成されることを特徴とする請求項 1 に記載の透光性導電性膜。
[16] 請求項 1に記載の透光性導電性膜からなる透光性電磁波シールド膜。
[17] 接着剤層を有する請求項 16に記載の透光性電磁波シールド膜。
[18] 剥離可能な保護フィルムを有する請求項 16に記載の透光性電磁波シールド膜。
[19] 導電性パターン表面の表面積で 20%以上が黒色であることを特徴とする請求項 1
6に記載の透光性電磁波シールド膜。
[20] 赤外線遮蔽性、ハードコート性、反射防止性、妨眩性、静電気防止性、防汚性、紫 外線カット性、ガスバリア性、表示パネル破損防止性、からいずれか 1つ以上選ばれ る機能を有して 、る機能性透明層を有する、請求項 16に記載の透光性電磁波シー ルド膜。
[21] 赤外線遮蔽性を有する請求項 16に記載の透光性電磁波シールド膜。
[22] 請求項 16に記載の透光性電磁波シールド膜を備えた光学フィルター。
[23] 請求項 1に記載の透光性導電性膜を用いたディスプレイ用フィルター。
[24] 少なくとも相対する 2辺の端部が幾何学的パターンの導電部であることを特徴とす る請求項 23に記載のディスプレイ用フィルター。
[25] 黒色導電性塗料により電極が形成されて！ヽることを特徴とする請求項 24に記載の ディスプレイ用フィルター。
[26] 請求項 1に記載の透光性導電性膜を用いたディスプレイ用フィルターの製造方法 であって、該透光性導電性膜よりも幅の狭 ヽ粘着材層を有するフィルムと貼り合わせ る工程を有するディスプレイ用フィルターの製造方法。
[27] 請求項 26のディスプレイ用フィルターの製造方法であって、該粘着材層を有するフ イルムと貼り合わせた透光性導電性膜を、これよりも幅の広 ヽ基板に貼り合わせるェ 程を有するディスプレイ用フィルターの製造方法。
[28] 請求項 26のディスプレイ用フィルターの製造方法であって、該粘着材層を有するフ イルムと貼り合わせた透光性導電性膜を、基板に貼り合わせる工程を有し、該透光性 導電性膜の幅方向の中心と基板の幅方向の中心を一致させるように貼り合わせるこ とを特徴とするディスプレイ用フィルターの製造方法。
[29] 請求項 27または 28のディスプレイ用フィルターの製造方法であって、該基板の透 光性導電性膜と反対側に機能性膜を貼り合わせることを特徴とするディスプレイ用フ ィルターの製造方法。
[30] 請求項 29のディスプレイ用フィルターの製造方法であって、該機能性膜が透光性 導電性膜よりも幅が狭いことを特徴とするディスプレイ用フィルターの製造方法。
[31] 湾曲した露光ステージ上において、透明支持体を搬送しながらレーザー光ビーム で露光し、 1 IX m力 40 μ mのメッシュ状細線力 なる導電性金属部と可視光透過性 部とで構成される 3m以上連続しているメッシュパターンを形成することを特徴とする、 透光性導電性膜の製造方法。
[32] 前記導電性金属部が現像銀部であることを特徴とする、請求項 31に記載の透光性 導電性膜の製造方法。
[33] 前記導電性金属部が現像銀部に導電性金属を担持させてなるものであることを特 徴とする、請求項 32に記載の透光性導電性膜の製造方法。
[34] 前記現像銀部が、ハロゲン化銀を現像して形成されることを特徴とする、請求項 32 に記載の透光性導電性膜の製造方法。
[35] 前記導電性金属部が、銅箔のエッチングにより形成されることを特徴とする、請求 項 31に記載の透光性導電性膜の製造方法。
[36] 前記光ビームの主走査の方向が、支持体搬送方向に対して交差する露光ヘッドを 用いて露光することを特徴とする、請求項 31に記載の透光性導電性膜の製造方法。
[37] 前記光ビームを搬送方向に対して 30° から 60° 傾けて走査することを特徴とする、 請求項 31に記載の透光性導電性膜の製造方法。
[38] 前記光ビームの光強度が該パターユング中に 1値しか取らないことを特徴とする、請 求項 31に記載の透光性導電性膜の製造方法。
[39] 前記光ビームの波長が、 420nm以下であることを特徴とする、請求項 31に記載の 透光性導電性膜の製造方法。
[40] 前記光ビームの波長が、 600nm以上であることを特徴とする、請求項 31に記載の 透光性導電性膜の製造方法。
[41] 前記光ビームのエネルギーが lmiZcm2以下であることを特徴とする、請求項 31 に記載の透光性導電性膜の製造方法。
[42] 高分子フィルム (A)の片面に幾何学的パターンの導電部を有する導電層 (B)が形成 された電磁波シールド材 (C)を用いるディスプレイ用フィルターの製造方法であって 、幾何学的パターンの導電部は高分子フィルム (A)の機械加工方向に連続的に形 成されており、該幾何学的パターンの導電部の線幅が 1〜50 m、間隔が 30〜500 μ mのメッシュ形状であり、該導電層 (B)の面抵抗値が 0. 01〜1 Ω Z口であり、少な くとも幾何学的パターンの導電部を切断する工程を含むことを特徴とする、フィルター の少なくとも相対する 2辺の端部が幾何学的パターンの導電部であるディスプレイ用 フィルターの製造方法。
[43] 前記電磁波シールド材 (C)が、高分子フィルム (A)の片面に導電性物質 (B1)で幾 何学的パターンを形成し、該幾何学的パターン上に導電性物質 (B2)を付着すること により導電部を形成した導電層 (B)を含むことを特徴とする請求項 42に記載のデイス プレイ用フィルターの製造方法。
[44] 前記電磁波シールド材 (C)が、高分子フィルム (A)と金属箔 (B4)を接着剤層（B3) を介して貼り合わせ、該金属箔 (B4)を加工して幾何学的パターンの導電部を形成し た導電層 (B)を含むことを特徴とする請求項 42に記載のディスプレイ用フィルターの 製造方法。
[45] 前記導電層 (B)の少なくとも一方の面が黒色または黒茶色であることを特徴とする請 求項 42に記載のディスプレイ用フィルターの製造方法。
[46] 請求項 42に記載の製造方法により得られるディスプレイ用フィルター。
[47] プラズマディスプレイパネルに用いられる請求項 46に記載のディスプレイ用フィルタ
[48] 高分子フィルム (A)の片面に幾何学的パターンの導電部を有する導電層 (B)が形成 された電磁波シールド材 (C)であって、幾何学的パターンの導電部は高分子フィル ム (A)の機械加工方向に連続的に繰り返し形成されており、該幾何学的パターンの 導電部の線幅が 1〜50 μ m、間隔が 30〜500 μ mのメッシュ形状であり、該導電層 ( B)の面抵抗値が 0. 01〜1 Ω Ζ口であることを特徴とする、請求項 42に記載のディ スプレイ用フィルターの製造に使用する電磁波シールド材。
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