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WO2003087875A1 - Device for generating a three-dimensional ambient image - Google Patents

Device for generating a three-dimensional ambient image Download PDF

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Publication number
WO2003087875A1
WO2003087875A1 PCT/DE2003/001147 DE0301147W WO03087875A1 WO 2003087875 A1 WO2003087875 A1 WO 2003087875A1 DE 0301147 W DE0301147 W DE 0301147W WO 03087875 A1 WO03087875 A1 WO 03087875A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
scanning beam
unit
carrier
mirror
rotating mirror
Prior art date
Application number
PCT/DE2003/001147
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Reinhard Becker
Heinrich HÖFLER
Andreas Sutorius
Harald WÖLFELSCHNEIDER
Original Assignee
Iqsun Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Iqsun Gmbh filed Critical Iqsun Gmbh
Publication of WO2003087875A1 publication Critical patent/WO2003087875A1/en

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    • GPHYSICS
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    • G01S7/497Means for monitoring or calibrating

Definitions

  • the invention relates to a device for generating a three-dimensional environmental image according to the preamble of patent claim 1.
  • Such a generic device is known from DE 198 12 431 A1.
  • the surroundings are scanned using a tripod by swiveling a scanning beam in the horizontal direction by 360 degrees and in a direction essentially perpendicular thereto by 180 degrees.
  • a disadvantage of this device is a relatively large inaccuracy both in determining the distance and in the adjustment.
  • the invention has for its object to provide a generic device, which is characterized by a relatively simple adjustment and a very high accuracy in determining the distance.
  • a cover which surrounds the rotating mirror and which is transparent to the scanning beam and the reflected electromagnetic radiation at least in the region of the beam path, and a beam case which is designed and arranged such that reflections caused by the cover when it passes through the cover can be absorbed are. This prevents radiation components belonging to such reflections from affecting the detector unit and impairing the accuracy of the distance measurement.
  • FIG. 1 is a schematic representation of the structure of an embodiment of a device according to the invention.
  • FIG. 2 shows a schematic representation of the structure of a further exemplary embodiment of a device according to the invention
  • Fig. 3 in a detailed schematic representation of the structure of a cover and a beam trap in one another embodiment of a device according to the invention
  • FIG. 4 shows a detailed schematic illustration of the structure of a cover and a beam trap in a further exemplary embodiment of a device according to the invention
  • FIG. 5 shows a detailed schematic representation of the exemplary structure of a reference unit in one
  • FIG. 6 shows a view of an embodiment of a surface of the reference unit according to FIG. 5,
  • FIGS. 5 and 6 shows a view of a further embodiment of a surface of the reference unit according to FIGS. 5 and
  • FIG. 8 is a block diagram showing the execution of a central unit according to an apparatus according to the invention.
  • Fig. 1 shows a schematic view of the structure of an embodiment of a device according to the invention.
  • the exemplary embodiment according to FIG. 1 has a laser unit 1 as the radiation source, which has a laser 2 and collimation optics 3.
  • the laser unit 1 is connected to a laser control unit 4, with which a scanning beam 5 which can be emitted by the laser 2 can be intensity-modulated, preferably in pulse-like or high-frequency sine-like manner.
  • the device according to FIG. 1 is equipped with a beam deflection unit 6, which has a rotating mirror 7 aligned at an angle of 45 degrees to the scanning beam 5.
  • the rotating mirror 7 is attached to a mirror shaft 8 brings, which can be rotated 360 degrees via a motorized mirror drive 9.
  • the scanning beam 5 can be deflected by the rotating mirror 7 by 90 degrees and pivoted by 360 degrees in a scanning plane perpendicular to the drawing plane of FIG. 1.
  • an encoder 10 is connected to the mirror drive 9.
  • a cover 11 which surrounds the rotating mirror 7 and is permeable to the scanning beam 5 and which has an inner cone surface 12 and an outer cone surface 13.
  • the surfaces of the cone surfaces 12, 13 aligned to avoid interference with different angles of attack against the scanning beam 5 are inclined in the direction of the laser unit 1, so that reflections caused on the cone surfaces 12, 13 when the scanning beam 5 passes are reflected in the direction of the beam deflection unit 6 ,
  • the dimensions of the cover 11 and the beam deflection unit 6 are set up in such a way that the reflections past the rotating mirror 7 fall into a cylindrical beam trap 14 which is connected to the mirror shaft 8 and has an opening in the direction of the impact area of the scanning beam 5 on the cone surfaces 12, 13 and are absorbed in the beam trap 14.
  • the scanning beam 5 emerging from the cover 11 acts on a surface 15 of an object in a scanning area.
  • Radiation 16 which is reflected back from the surface 15 in the direction of the rotating mirror 7 can be deflected by the rotating mirror 7 onto a receiving optics 17 with which the reflected radiation 16 of a detector unit 18 can be fed.
  • the laser unit 1 is arranged on the optical axis of the receiving optics 17 and on the side pointing in the direction of the rotating mirror 7. brought so that the scanning beam 5 spreads on the optical axis of the receiving optics 17. Furthermore, the mirror shaft 8 is arranged such that its axis of rotation coincides with the optical axis of the receiving optics 17 and the direction of incidence of the scanning beam 5 on the rotating mirror 7.
  • the "mirror drive 9 of the beam deflection unit 6 and the detector unit 18 are mounted on a mechanically stable substrate 19th Further, on the support 19, a reference unit 20 that will be acted upon at a corresponding position of the rotary mirror 7 of the scanning beam. 5
  • the exemplary embodiment according to FIG. 1 is further equipped with a central unit 21, which is explained in more detail below, to which the laser control unit 4, the encoder 10, the detector unit 18 and the reference unit 20 are connected.
  • FIG. 2 shows a schematic illustration of a further exemplary embodiment of a device according to the invention, in which corresponding elements in FIG. 1 and FIG. 2 are provided with the same reference symbols and are not explained in more detail below.
  • the laser unit 1 of the radiation source is coupled to an optical fiber 22.
  • the cover 11 formed with two cone surfaces 12, 13 inclined towards one another is opened in the direction of the receiving optics 17 or the detector unit 18, so that reflections reflected by the cone surfaces 12, 13 are deflected in this direction.
  • the dimensions of the cover 11 are at 2 set up such that the reflections fall into an annular beam trap 24 arranged around the optical axis of the receiving optics 17 and are absorbed therein between two ring disks and an outer ring.
  • the carrier drive 25 is designed with a carrier drive 25 which is mechanically connected to the carrier 19 via a carrier shaft 26.
  • the axis of rotation of the carrier shaft 26 is oriented at right angles to the axis of rotation of the mirror shaft 8 and runs through the area of incidence of the scanning beam 5 on the rotating mirror 7.
  • the reference unit 20 is also on the axis of rotation of the carrier shaft 26.
  • the carrier drive 25 is also connected to the central unit 21 - closed.
  • the carrier 19 of the device according to the invention according to FIG. 2 can thus be pivoted about the axis of rotation of the carrier shaft 26, it being noted that for a complete recording of a spatial image of the surroundings when the rotating mirror 7 is rotated through 360 degrees, a pivoting through 180 degrees is sufficient.
  • FIG. 3 shows a detailed schematic illustration of the structure of a cover 11 formed with conical surfaces 12, 13 inclined towards one another and a cylindrical beam trap 14 in a further exemplary embodiment of a device according to the invention.
  • the cylindrical beam trap 14 is attached to the rotating mirror 7 in such a way that it encloses the scanning beam 5 entering via a lateral recess between the rotating mirror 7 and the cover 11 and reaches relatively close to the inner conical surface 12. Reflections reflected in the cylindrical beam trap 14 are thus absorbed by the conical surfaces 12, 13 inclined against the scanning beam 5.
  • 4 shows a detailed schematic illustration of the structure of a cover 11 and an annular beam trap 24 in a further exemplary embodiment of a device according to the invention.
  • FIG. 1 shows a detailed schematic illustration of the structure of a cover 11 formed with conical surfaces 12, 13 inclined towards one another and a cylindrical beam trap 14 in a further exemplary embodiment of a device according to the invention.
  • the cover 11 is composed of a cylindrical first cylinder segment 27 facing the receiving optics 17 (not shown in FIG. 4), a cylindrical cylinder facing the mirror drive 9 and a second cylinder segment 28 which is larger than the diameter of the first cylinder segment 27 and a cone segment 29 arranged between the first cylinder segment 27 and the second cylinder segment 28.
  • the transparent cover 11 is arranged such that the scanning beam 5 passes through the cone segment 29.
  • the annular beam trap 24, which is constructed from two ring disks, is arranged in the exemplary embodiment according to FIG. 4 such that the scanning beam 5 runs within the annular beam trap 24 in a section adjoining the cover 11. As a result, reflections generated on the surface of the cone segment 29, which is inclined against the scanning beam 5, are absorbed on the annular disks.
  • FIG. 5 shows a detailed schematic illustration in a side view of the exemplary structure of a reference unit 20 in an exemplary embodiment of a device according to the invention.
  • the reference unit 20 according to FIG. 5 has a beam offset module 30, a reflecting first surface 31 and a second surface 32 with an at least partially scattering surface structure which lies opposite the first surface 31.
  • the first surface 31 is arranged in the corresponding and shown in FIG. 5 position of the rotating mirror 7 in the direction of the deflected scanning beam 5 and inclined thereto and directs the scanning beam 5 onto the second surface 32.
  • the radiation 16 reflected by the second surface 32 falls again on the rotary mirror 7 and acts on the receiving optics 17 (not shown in FIG. 5).
  • the laser unit 1 according to the exemplary embodiment is exactly known due to the measuring accuracy of the device according to the invention and is fastened 1 or the decoupling optics 23, not shown in FIG. 5, of the optical fiber 22 according to the exemplary embodiment according to FIG. 2, the beam deflection unit 6 and that of the receiving optics 17 and detector unit 18 not shown in FIG A distance calibration of the scanning beam 5 can be carried out, in particular to compensate for temperature-related drifts in the characteristics of the laser unit 1 and the detector unit 18.
  • the reference unit 20 is equipped with at least one, but preferably with a plurality of differential photodiodes 33, which are arranged in recesses made in the rear of the second surface 32 in the beam displacement module 30 and also through the second surface 32.
  • FIG. 6 shows a front view of an embodiment of the second surface 32 of a reference unit 20 according to FIG. 5 formed with a differential photodiode 33.
  • the second surface 32 is oriented transversely to the direction of incidence of the scanning beam 5 Scanning direction is formed with a number of absorption segments 34 to 38, each with a different degree of blackening, preferably increasing or decreasing in one direction.
  • the differential photodiode 33 is arranged in the region of the middle absorption segment 36.
  • FIG. 7 shows a front view of a further embodiment of the second surface 32 with three differential photodiodes 33 5.
  • the second surface 32 is formed in a scanning direction oriented transversely to the direction of incidence of the scanning beam 5 with a degree of blackening which increases or decreases continuously in one direction.
  • Two differential photodiodes 33 are arranged in edge areas and the third differential photodiode 33 in the center area of the second surface 32.
  • an intensity calibration can be carried out.
  • Each of the differential photodiodes 33 is formed with two adjoining detection segments, each of which has essentially the same area and the same sensitivity, and which are connected in a complementary manner to one another in terms of voltage.
  • a scanning beam 5 passes through the second surface 32, this results in a high spatial resolution due to the zero crossing of the voltage ku ⁇ / e of each differential photodiode 33, and when several differential photodiodes 33 are provided, there is also a high speed resolution for the movement of the scanning beam 5.
  • the central unit 21 has a distance measuring device 39 which has a transmission module 40 and a reception module 41.
  • the transmitter module 40 is equipped with a modulator 42 and with a laser driver 43 which is connected to the modulator 42 and which applies control signals for intensity modulation to the laser control unit 4.
  • the reception module 41 comprises one connected to the detector unit 18 Detector signal pickup 44, a detector signal amplifier 45 arranged downstream of the detector signal pickup 44, a distance determining element 46 connected to the modulator 42 and the detector signal amplifier 45, and an intensity calibration element 47 connected to the detector signal amplifier 45 Scanning beam 5 and the reflected radiation 16, a distance signal can be generated. Under certain circumstances, the intensity calibration element 47 can be used to correct nonlinear dynamic characteristic curves leading to incorrect distance measurements.
  • the central unit 21 has a drive module 48 which has a motor control 49 for the mirror drive 9 and for the carrier drive 25.
  • the drive module 48 is further equipped with an angle sensor 50, a reference sensor 51 which detects the reference path and scanning speed determined by the reference unit 20 and an incline sensor 52 which determines the inclination of the support 19.
  • the central unit 21 also has a control module 53 with a speed sensor 54 connected to the laser driver 43 to reduce the intensity of the scanning beam 5 when the speed falls below a predetermined speed, and a drive control element 55.
  • a processing device 56 of the central unit 21 has a data acquisition module 57 and a computing module 58.
  • the data acquisition module 57 has a data buffer 59 which is connected to the distance determination element 46 and the intensity calibration element 57 and works according to the FIFO (first-in, first-out) principle, and has a Encoder 50 connected angle data generator 60 and via a position encoder 61 connected to the inclination sensor 52.
  • FIFO first-in, first-out
  • the computing module 58 is equipped with a reference value generator 62 which is connected to the reference path encoder 51, the data buffer 59 and the angle data generator 60 and with which, taking into account the reference path and the angle data recorded in the process, correction data can be generated, which is also provided by the data buffer 59 connected image data memories 63 can be supplied for correcting the distance data and angle data.
  • a reference value generator 62 which is connected to the reference path encoder 51, the data buffer 59 and the angle data generator 60 and with which, taking into account the reference path and the angle data recorded in the process, correction data can be generated, which is also provided by the data buffer 59 connected image data memories 63 can be supplied for correcting the distance data and angle data.
  • Coordinate data can be determined from the angle data and the distance data in spherical coordinates in a bidsynthesis element 64 arranged downstream of the image data memory 63 and connected to the angle data generator 60.
  • the coordinate data from the image synthesis element 64 can be fed to a coordinate transformer 65, by means of which the coordinate data can preferably be converted into a Cartesian coordinate system and can be displayed in a downstream display element 66 together with the distance data forming the image data, or can be stored in a surrounding image memory (not shown in FIG. 8).
  • Sets of operating parameters characteristic of different operating modes can be stored in a parameter memory 67 of the computing module 58 connected to the drive control element 55, and the drive control element 55 can be fed in.

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Abstract

Disclosed is a device for generating a three-dimensional ambient image, comprising a radiation source (1, 4, 22, 23), a beam-deflecting unit (6) that is provided with a rotating mirror (7), a receiving optical system (17), a detector unit (18), and a reference unit (20), which are mounted on a mechanically stable support (19) along axes that coincide or are perpendicular to each other, whereby adjustments are relatively easy to make and a reference path is formed for correcting distance-related data, said reference path not being modifiable in the framework of accuracy of measurement. For functional purposes, the inventive device is provided with a cover (11) and a beam trap (24) absorbing disturbing reflective radiation components.

Description

Vorrichtung zum Erzeugen eines dreidimensionalen Umqebunqsbildes Device for generating a three-dimensional environment image
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Erzeugen eines dreidimensionalen Umgebungsbildes gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruches 1.The invention relates to a device for generating a three-dimensional environmental image according to the preamble of patent claim 1.
Eine derartige gattungsgemäße Vorrichtung ist aus der DE 198 12 431 A1 bekannt. Bei der vorbekannten Vorrichtung erfolgt ein Abtasten der Umgebung unter Benutzung eines Stativs über ein Schwenken eines Abtaststrahls in horizontaler Richtung um 360 Grad und in einer hierzu im wesentlichen rechtwinkligen Richtung um 180 Grad. Nachteilig bei dieser Vorrichtung ist jedoch eine verhältnismäßig große Ungenauigkeit sowohl in der Bestimmung der Entfernung als auch bei der Justage.Such a generic device is known from DE 198 12 431 A1. In the known device, the surroundings are scanned using a tripod by swiveling a scanning beam in the horizontal direction by 360 degrees and in a direction essentially perpendicular thereto by 180 degrees. A disadvantage of this device, however, is a relatively large inaccuracy both in determining the distance and in the adjustment.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine gattungsgemäße Vorrichtung anzugeben, die sich durch eine verhältnismäßig einfache Justage und eine sehr hohe Genauigkeit bei der Entfernungsbestimmung auszeichnet.The invention has for its object to provide a generic device, which is characterized by a relatively simple adjustment and a very high accuracy in determining the distance.
Diese Aufgabe wird bei einer gattungsgemäßen Vorrichtung mit den kennzeichnenden Merkmalen des Patentanspruches 1 gelöst.This object is achieved in a generic device with the characterizing features of claim 1.
Dadurch, dass die Ausbreitungsrichtung des Abtaststrahls, die optische Achse der Empfangsoptik und die Drehachse der Spiegelwelle kollinear zueinander ausgerichtet sind, dass die die Laufzeit des Abtaststrahls sowie rückgeworfener Strahlung innerhalb der Vorrichtung bestimmenden Elemente über den Träger miteinander verbunden sind und durch das Vorsehen einer ebenfalls mit dem Träger verbundenen Referenzeinheit ist zum einen die Justage sehr vereinfacht und durch einen im Rahmen der Meßgenauigkeit der Vorrichtung unveränderlichen Referenzweg eine Korrekturmöglichkeit für beispielsweise aufgrund Temperaturdrifts verhältnismäßig ungenaue Entfernungsdaten geschaffen.Characterized in that the direction of propagation of the scanning beam, the optical axis of the receiving optics and the axis of rotation of the mirror wave are aligned collinearly to one another, that the elements determining the propagation time of the scanning beam and reflected radiation within the device are connected to one another via the carrier and also by the provision of a the reference unit connected to the carrier is on the one hand the adjustment very simplified and unchangeable within the scope of the measuring accuracy of the device Reference way created a correction option for, for example, relatively inaccurate distance data due to temperature drifts.
Besonders zweckmäßig ist es, eine den Drehspiegel umgebende, für den Abtaststrahl und die rückgeworfene elektromagnetische Strahlung wenigstens im Bereich des Strahlenganges transparente Abdeckung sowie eine Strahlfalie vorzusehen, die so ausgebildet und angeordnet ist, dass bei Durchtritt des Ab- taststrahls durch die Abdeckung hervorgerufene Reflexe absorbierbar sind. Dadurch wird vermieden, dass zu derartigen Reflexen gehörige Strahlungsanteile die Detektoreinheit beaufschlagen und die Genauigkeit der Entfernungsmessung beeinträchtigen.It is particularly expedient to provide a cover which surrounds the rotating mirror and which is transparent to the scanning beam and the reflected electromagnetic radiation at least in the region of the beam path, and a beam case which is designed and arranged such that reflections caused by the cover when it passes through the cover can be absorbed are. This prevents radiation components belonging to such reflections from affecting the detector unit and impairing the accuracy of the distance measurement.
Weitere zweckmäßige Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Vorrichtung sind Gegenstand der Unteransprüche.Further expedient refinements of the device according to the invention are the subject of the dependent claims.
Weitere zweckmäßige Ausgestaltungen und Vorteile der Erfin- düng sind Gegenstand der nachfolgenden Beschreibung vonFurther expedient refinements and advantages of the invention are the subject of the following description of
Ausführungsbeispielen unter Bezug auf die beigefügten Figuren.Embodiments with reference to the accompanying figures.
Es zeigen:Show it:
Fig. 1 in einer schematischen Darstellung den Aufbau eines Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Vorrichtung,1 is a schematic representation of the structure of an embodiment of a device according to the invention,
Fig. 2 in einer schematischen Darstellung den Aufbau eines weiteren Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Vorrichtung,2 shows a schematic representation of the structure of a further exemplary embodiment of a device according to the invention,
Fig. 3 in einer detaillierten schematischen Darstellung den Aufbau einer Abdeckung und einer Strahlfalle in einem weiteren Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung,Fig. 3 in a detailed schematic representation of the structure of a cover and a beam trap in one another embodiment of a device according to the invention,
Fig. 4 in einer detaillierten schematischen Darstellung den Aufbau einer Abdeckung und einer Strahlfalle in einem weiteren Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung,4 shows a detailed schematic illustration of the structure of a cover and a beam trap in a further exemplary embodiment of a device according to the invention,
Fig. 5 in einer detaillierten schematischen Darstellung den beispielhaften Aufbau einer Referenzeinheit in einem5 shows a detailed schematic representation of the exemplary structure of a reference unit in one
Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung,Embodiment of a device according to the invention,
Fig. 6 in einer Ansicht eine Ausführung einer Fläche der Referenzeinheit gemäß Fig. 5,6 shows a view of an embodiment of a surface of the reference unit according to FIG. 5,
Fig. 7 in einer Ansicht eine weitere Ausführung einer Fläche der Referenzeinheit gemäß Fig. 5 und7 shows a view of a further embodiment of a surface of the reference unit according to FIGS. 5 and
Fig. 8 in einem Blockschaubild die Ausführung einer Zentraleinheit gemäß einer erfindungsgemäßen Vorrichtung.8 is a block diagram showing the execution of a central unit according to an apparatus according to the invention.
Fig. 1 zeigt in einer schematischen Ansicht den Aufbau eines Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Vorrichtung. Das Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1 verfügt als Strahlungsquelle über eine Lasereinheit 1 , die einen Laser 2 und eine Kollimationsoptik 3 aufweist. Die Lasereinheit 1 ist an eine Lasersteuereinheit 4 angeschlossen, mit der ein von dem Laser 2 aussendbarer Abtaststrahl 5 vorzugsweise impulsartig oder hochfrequent sinusartig intensitätsmodulierbar ist.Fig. 1 shows a schematic view of the structure of an embodiment of a device according to the invention. The exemplary embodiment according to FIG. 1 has a laser unit 1 as the radiation source, which has a laser 2 and collimation optics 3. The laser unit 1 is connected to a laser control unit 4, with which a scanning beam 5 which can be emitted by the laser 2 can be intensity-modulated, preferably in pulse-like or high-frequency sine-like manner.
Weiterhin ist die Vorrichtung gemäß Fig. 1 mit einer Strahlablenkeinheit 6 ausgestattet, die über einen unter einem Winkel von 45 Grad zu dem Abtaststrahl 5 ausgerichteten Drehspiegel 7 verfügt. Der Drehspiegel 7 ist an einer Spiegelwelle 8 ange- bracht, die über einen motorischen Spiegelantrieb 9 um 360 Grad drehbar ist. Somit ist der Abtaststrahl 5 mit dem Drehspiegel 7 um 90 Grad umlenkbar und um 360 Grad in einer zu der Zeichenebene der Fig. 1 rechtwinkligen Abtastebene schwenkbar. Zur Erfassung der Stellung der Spiegelwelle 8 ist an den Spiegelantrieb 9 ein Encoder 10 angeschlossen.Furthermore, the device according to FIG. 1 is equipped with a beam deflection unit 6, which has a rotating mirror 7 aligned at an angle of 45 degrees to the scanning beam 5. The rotating mirror 7 is attached to a mirror shaft 8 brings, which can be rotated 360 degrees via a motorized mirror drive 9. Thus, the scanning beam 5 can be deflected by the rotating mirror 7 by 90 degrees and pivoted by 360 degrees in a scanning plane perpendicular to the drawing plane of FIG. 1. To detect the position of the mirror shaft 8, an encoder 10 is connected to the mirror drive 9.
Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1 ist eine den Drehspiegel 7 umgebende, für den Abtaststrahl 5 durchlässige Ab~ deckung 11 vorhanden, die eine innere Konusfläche 12 und eine äußere Konusfläche 13 aufweist. Die zum Vermeiden von Interferenzen mit verschiedenen Anstellwinkeln gegen den Abtaststrahl 5 ausgerichteten Oberflächen der Konusflächen 12, 13 sind in Richtung der Lasereinheit 1 zulaufend geneigt, so dass an den Konusflächen 12, 13 bei Durchtritt des Abtaststrahls 5 hervorgerufene Reflexe in Richtung der Strahlablenkeinheit 6 rückgeworfen werden. Die Abmessungen der Abdeckung 11 und der Strahlablenkeinheit 6 sind so eingerichtet, dass die Reflexe an dem Drehspiegel 7 vorbei in eine mit der Spiegelwelle 8 verbundene zylindrische, mit einer Öffnung in Richtung des Auftreffbereichs des Abtaststrahls 5 auf den Konusflächen 12, 13 weisende Strahlfalle 14 fallen und in der Strahlfalle 14 absorbiert werden.In the exemplary embodiment according to FIG. 1, there is a cover 11 which surrounds the rotating mirror 7 and is permeable to the scanning beam 5 and which has an inner cone surface 12 and an outer cone surface 13. The surfaces of the cone surfaces 12, 13 aligned to avoid interference with different angles of attack against the scanning beam 5 are inclined in the direction of the laser unit 1, so that reflections caused on the cone surfaces 12, 13 when the scanning beam 5 passes are reflected in the direction of the beam deflection unit 6 , The dimensions of the cover 11 and the beam deflection unit 6 are set up in such a way that the reflections past the rotating mirror 7 fall into a cylindrical beam trap 14 which is connected to the mirror shaft 8 and has an opening in the direction of the impact area of the scanning beam 5 on the cone surfaces 12, 13 and are absorbed in the beam trap 14.
Der aus der Abdeckung 11 austretende Abtaststrahl 5 beaufschlagt in der Darstellung gemäß Fig. 1 in einem Abtastbereich eine Oberfläche 15 eines Objektes. Von der Oberfläche 15 in Richtung des Drehspiegel 7 rückgeworfene Strahlung 16 ist mit dem Drehspiegel 7 auf eine Empfangsoptik 17 umlenkbar, mit der die rückgeworfene Strahlung 16 einer Detektoreinheit 18 einspeisbar ist.In the illustration according to FIG. 1, the scanning beam 5 emerging from the cover 11 acts on a surface 15 of an object in a scanning area. Radiation 16 which is reflected back from the surface 15 in the direction of the rotating mirror 7 can be deflected by the rotating mirror 7 onto a receiving optics 17 with which the reflected radiation 16 of a detector unit 18 can be fed.
Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1 ist die Lasereinheit 1 auf der optischen Achse der Empfangsoptik 17 angeordnet und an der in Richtung des Drehspiegels 7 weisenden Seite an- gebracht, so dass sich der Abtaststrahl 5 auf der optischen Achse der Empfangsoptik 17 ausbreitet. Weiterhin ist die Spiegelwelle 8 so angeordnet, dass ihre Drehachse mit der optischen Achse der Empfangsoptik 17 und der Einfallsrichtung des Ab- taststrahls 5 auf den Drehspiegel 7 zusammenfällt.1, the laser unit 1 is arranged on the optical axis of the receiving optics 17 and on the side pointing in the direction of the rotating mirror 7. brought so that the scanning beam 5 spreads on the optical axis of the receiving optics 17. Furthermore, the mirror shaft 8 is arranged such that its axis of rotation coincides with the optical axis of the receiving optics 17 and the direction of incidence of the scanning beam 5 on the rotating mirror 7.
Der Spiegelantrieb" 9 der Strahlablenkeinheit 6 und die Detektoreinheit 18 sind an einem mechanisch stabilen Träger 19 angebracht. Weiterhin ist an dem Träger 19 eine Referenz- einheit 20 vorhanden, die bei entsprechender Stellung des Drehspiegels 7 von dem Abtaststrahl 5 beaufschlagt wird.The "mirror drive 9 of the beam deflection unit 6 and the detector unit 18 are mounted on a mechanically stable substrate 19th Further, on the support 19, a reference unit 20 that will be acted upon at a corresponding position of the rotary mirror 7 of the scanning beam. 5
Das Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1 ist weiterhin mit einer weiter unten näher erläuterten Zentraleinheit 21 ausgestattet, an der die Lasersteuereinheit 4, der Encoder 10, die Detektoreinheit 18 und die Referenzeinheit 20 angeschlossen sind.The exemplary embodiment according to FIG. 1 is further equipped with a central unit 21, which is explained in more detail below, to which the laser control unit 4, the encoder 10, the detector unit 18 and the reference unit 20 are connected.
Fig. 2 zeigt in einer schematischen Darstellung ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, wobei sich in Fig. 1 und Fig. 2 entsprechende Elemente mit den gleichen Bezugszeichen versehen und im weiteren nicht näher erläutert sind. Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 2 ist die Lasereinheit 1 der Strahlungsquelle an eine Lichtleitfaser 22 angekoppelt. Eine an dem von der Lasereinheit 1 abgewandten Ende der Lichtleitfaser 22 angeordnete Auskoppeloptik 23 ist mittig an der Empfangsoptik 17 angebracht, so dass der Abtaststrahl 5 mit der optischen Achse der Empfangsoptik 17 zusammenfällt.FIG. 2 shows a schematic illustration of a further exemplary embodiment of a device according to the invention, in which corresponding elements in FIG. 1 and FIG. 2 are provided with the same reference symbols and are not explained in more detail below. In the exemplary embodiment according to FIG. 2, the laser unit 1 of the radiation source is coupled to an optical fiber 22. A coupling-out optical system 23, which is arranged on the end of the optical fiber 22 facing away from the laser unit 1, is attached centrally to the receiving optical system 17, so that the scanning beam 5 coincides with the optical axis of the receiving optical system 17.
Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 2 ist die mit zwei gegeneinander geneigten Konusflächen 12, 13 ausgebildete Abdeckung 11 in Richtung der Empfangsoptik 17 beziehungsweise der Detektoreinheit 18 geöffnet, so dass von den Konusflächen 12, 13 rückgeworfene Reflexe in diese Richtung abge- lenkt werden. Die Abmessungen der Abdeckung 11 sind bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 2 so eingerichtet, dass die Reflexe in eine um die optische Achse der Empfangsoptik 17 angeordnete ringförmige Strahlfalle 24 fallen und in dieser zwischen zwei Ringscheiben sowie einem Außenring absorbiert werden.In the exemplary embodiment according to FIG. 2, the cover 11 formed with two cone surfaces 12, 13 inclined towards one another is opened in the direction of the receiving optics 17 or the detector unit 18, so that reflections reflected by the cone surfaces 12, 13 are deflected in this direction. The dimensions of the cover 11 are at 2 set up such that the reflections fall into an annular beam trap 24 arranged around the optical axis of the receiving optics 17 and are absorbed therein between two ring disks and an outer ring.
Weiterhin ist das Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 2 mit einem Trägerantrieb 25 ausgebildet, der mechanisch über eine Trägerwelle 26 mit dem Träger 19 verbunden ist. Die Drehachse der Trägerwelle 26 ist dabei rechtwinklig zu der Drehachse der Spiegelwelle 8 ausgerichtet und läuft durch den Auftreffbereich des Abtaststrahls 5 auf dem Drehspiegel 7. Die Referenzeinheit 20 liegt ebenfalls auf der Drehachse der Trägerwelle 26. Der Trägerantrieb 25 ist ebenfalls an die Zentraleinheit 21 ange- schlössen.2 is designed with a carrier drive 25 which is mechanically connected to the carrier 19 via a carrier shaft 26. The axis of rotation of the carrier shaft 26 is oriented at right angles to the axis of rotation of the mirror shaft 8 and runs through the area of incidence of the scanning beam 5 on the rotating mirror 7. The reference unit 20 is also on the axis of rotation of the carrier shaft 26. The carrier drive 25 is also connected to the central unit 21 - closed.
Der Träger 19 der erfindungsgemäßen Vorrichtung gemäß Fig. 2 ist somit um die Drehachse der Trägerwelle 26 schwenkbar, wobei anzumerken ist, dass zum vollständigen Erfassen eines räumlichen Umgebungsbildes bei einer Drehung des Drehspiegels 7 um 360 Grad ein Schwenken um 180 Grad ausreichend ist.The carrier 19 of the device according to the invention according to FIG. 2 can thus be pivoted about the axis of rotation of the carrier shaft 26, it being noted that for a complete recording of a spatial image of the surroundings when the rotating mirror 7 is rotated through 360 degrees, a pivoting through 180 degrees is sufficient.
Fig. 3 zeigt in einer detaillierten schematischen Darstellung den Aufbau einer mit gegeneinander geneigten Konusflächen 12, 13 ausgebildeten Abdeckung 11 und einer zylindrischen Strahlfalle 14 in einem weiteren Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung. Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 3 ist die zylindrische Strahlfalle 14 an dem Drehspiegel 7 so angebracht, dass sie den über eine seitliche Ausnehmung eintretenden Abtaststrahl 5 zwischen dem Drehspiegel 7 und der Abdeckung 11 umschließt und verhältnismäßig dicht bis an die innere Konusfläche 12 heranreicht. Somit werden von den gegen den Abtaststrahl 5 geneigten Konusflächen 12, 13 rück- geworfene Reflexe in der zylindrischen Strahlfalle 14 absorbiert. Fig. 4 zeigt in einer detaillierten schematischen Darstellung den Aufbau einer Abdeckung 11 und einer ringförmigen Strahlfalle 24 in einem weiteren Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung. Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 4 ist die Abdeckung 11 aus einem der in Fig. 4 nicht dargestellten Empfangsoptik 17 zugewandten zylindrischen ersten Zylindersegment 27, einem dem Spiegelantrieb 9 zugewandten zylindrischen, mit einem gegenüber dem Durchmesser des ersten Zylindersegmentes 27 größeren Durchmesser ausgebildeten zweiten Zylindersegment 28 und einem zwischen dem ersten Zylindersegment 27 und dem zweiten Zylindersegment 28 angeordneten Kegelsegment 29 ausgebildet. Die transparente Abdeckung 11 ist so angeordnet, dass der Abtaststrahl 5 durch das Kegelsegment 29 durchtritt. Die aus zwei Ringscheiben aufgebaute ringförmige Strahlfalle 24 ist bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 4 so angeordnet, dass der Abtaststrahl 5 in einem an die Abdeckung 11 grenzenden Abschnitt innerhalb der ringförmigen Strahlfalle 24 verläuft. Dadurch werden an der gegen den Abtaststrahl 5 geneigten Oberfläche des Kegelseg- mentes 29 erzeugte Reflexe an den Ringscheiben absorbiert.3 shows a detailed schematic illustration of the structure of a cover 11 formed with conical surfaces 12, 13 inclined towards one another and a cylindrical beam trap 14 in a further exemplary embodiment of a device according to the invention. In the exemplary embodiment according to FIG. 3, the cylindrical beam trap 14 is attached to the rotating mirror 7 in such a way that it encloses the scanning beam 5 entering via a lateral recess between the rotating mirror 7 and the cover 11 and reaches relatively close to the inner conical surface 12. Reflections reflected in the cylindrical beam trap 14 are thus absorbed by the conical surfaces 12, 13 inclined against the scanning beam 5. 4 shows a detailed schematic illustration of the structure of a cover 11 and an annular beam trap 24 in a further exemplary embodiment of a device according to the invention. In the exemplary embodiment according to FIG. 4, the cover 11 is composed of a cylindrical first cylinder segment 27 facing the receiving optics 17 (not shown in FIG. 4), a cylindrical cylinder facing the mirror drive 9 and a second cylinder segment 28 which is larger than the diameter of the first cylinder segment 27 and a cone segment 29 arranged between the first cylinder segment 27 and the second cylinder segment 28. The transparent cover 11 is arranged such that the scanning beam 5 passes through the cone segment 29. The annular beam trap 24, which is constructed from two ring disks, is arranged in the exemplary embodiment according to FIG. 4 such that the scanning beam 5 runs within the annular beam trap 24 in a section adjoining the cover 11. As a result, reflections generated on the surface of the cone segment 29, which is inclined against the scanning beam 5, are absorbed on the annular disks.
Fig. 5 zeigt in einer detaillierten schematischen Darstellung in einer Seitenansicht den beispielhaften Aufbau einer Referenzeinheit 20 in einem Ausführungsbeispiel einer erfindungs- gemäßen Vorrichtung. Die Referenzeinheit 20 gemäß Fig. 5 weist ein Strahiversatzmodul 30, eine reflektierende erste Fläche 31 und eine zweite Fläche 32 mit einer wenigstens teilweise streuenden Oberflächenstruktur auf, die der ersten Fläche 31 gegenüberliegt. Die erste Fläche 31 ist dabei bei entsprechender und in Fig. 5 dargestellter Stellung des Drehspiegels 7 in Richtung des umgelenkten Abtaststrahls 5 sowie zu diesem geneigt angeordnet und lenkt den Abtaststrahl 5 auf die zweite Fläche 32. Die von der zweiten Fläche 32 rückgeworfene Strahlung 16 fällt wieder auf den Drehspiegei 7 und beaufschlagt die in Fig. 5 nicht dargestellte Empfangsoptik 17. Somit ist durch den im Rahmen der Meßgenauigkeit der erfindungsgemäßen Vorrichtung exakt bekannten und durch die Befestigung der Lasereinheit 1 gemäß dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 beziehungsweise der in Fig. 5 nicht dargestellten Auskoppeloptik 23 der Lichtleitfaser 22 gemäß dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 2, der Strahlablenkeinheit 6 sowie der der in Fig. 5 nicht dargestellten Empfangs- optik 17 und Detektoreinheit 18 an dem Träger 19 unveränderlichen Referenzweg des Abtaststrahls 5 eine Entfernungskalibrierung durchführbar, um insbesondere temperaturbedingte Drifts in den Kennlinien der Lasereinheit 1 und der Detektoreinheit 18 zu kompensieren.5 shows a detailed schematic illustration in a side view of the exemplary structure of a reference unit 20 in an exemplary embodiment of a device according to the invention. The reference unit 20 according to FIG. 5 has a beam offset module 30, a reflecting first surface 31 and a second surface 32 with an at least partially scattering surface structure which lies opposite the first surface 31. The first surface 31 is arranged in the corresponding and shown in FIG. 5 position of the rotating mirror 7 in the direction of the deflected scanning beam 5 and inclined thereto and directs the scanning beam 5 onto the second surface 32. The radiation 16 reflected by the second surface 32 falls again on the rotary mirror 7 and acts on the receiving optics 17 (not shown in FIG. 5). Thus, the laser unit 1 according to the exemplary embodiment is exactly known due to the measuring accuracy of the device according to the invention and is fastened 1 or the decoupling optics 23, not shown in FIG. 5, of the optical fiber 22 according to the exemplary embodiment according to FIG. 2, the beam deflection unit 6 and that of the receiving optics 17 and detector unit 18 not shown in FIG A distance calibration of the scanning beam 5 can be carried out, in particular to compensate for temperature-related drifts in the characteristics of the laser unit 1 and the detector unit 18.
Weiterhin ist die Referenzeinheit 20 mit wenigstens einer, vorzugsweise jedoch mit mehreren Differentialphotodioden 33 ausgestattet, die in auf der Rückseite der zweiten Fläche 32 in das Strahlversatzmodul 30 eingebrachten und auch durch die zweite Fläche 32 durchgehenden Ausnehmungen angeordnet sind.Furthermore, the reference unit 20 is equipped with at least one, but preferably with a plurality of differential photodiodes 33, which are arranged in recesses made in the rear of the second surface 32 in the beam displacement module 30 and also through the second surface 32.
Fig. 6 zeigt in einer Stirnansicht eine Ausführung der zweiten Fläche 32 einer mit einer Differentialphotodiode 33 ausgebilde- ten Referenzeinheit 20 gemäß Fig. 5. Bei der Ausführung gemäß Fig. 6 ist die zweite Fläche 32 in einer zu der Einfallsrichtung des Abtaststrahls 5 quer ausgerichteten Abtastrichtung mit einer Anzahl von Absorptionssegmenten 34 bis 38 mit jeweils unterschiedlichem, vorzugsweise in einer Richtung zunehmen- den oder abnehmenden Schwärzungsgrad ausgebildet. Die Differentialphotodiode 33 ist dabei im Bereich des mittleren Absorptionssegmentes 36 angeordnet.6 shows a front view of an embodiment of the second surface 32 of a reference unit 20 according to FIG. 5 formed with a differential photodiode 33. In the embodiment according to FIG. 6, the second surface 32 is oriented transversely to the direction of incidence of the scanning beam 5 Scanning direction is formed with a number of absorption segments 34 to 38, each with a different degree of blackening, preferably increasing or decreasing in one direction. The differential photodiode 33 is arranged in the region of the middle absorption segment 36.
Fig. 7 zeigt in einer Stirnansicht eine weitere Ausführung der zweiten Fläche 32 einer mit drei Differentialphotodioden 33 ausgebildeten Referenzeinheit 20 gemäß Fig. 5. Bei der Ausführung gemäß Fig. 7 ist die zweite Fläche 32 in einer zu der Einfallsrichtung des Abtaststrahls 5 quer ausgerichteten Abtastrichtung mit in einer Richtung kontinuierlich zunehmenden oder kontinuierlich abnehmenden Schwärzungsgrad ausgebildet. Zwei Differentialphotodioden 33 sind dabei in Randbereichen und die dritte Differentialphotodiode 33 im Mittenbereich der zweiten Fläche 32 angeordnet.FIG. 7 shows a front view of a further embodiment of the second surface 32 with three differential photodiodes 33 5. In the embodiment according to FIG. 7, the second surface 32 is formed in a scanning direction oriented transversely to the direction of incidence of the scanning beam 5 with a degree of blackening which increases or decreases continuously in one direction. Two differential photodiodes 33 are arranged in edge areas and the third differential photodiode 33 in the center area of the second surface 32.
Durch die sich somit ändernde Intensität der rückgeworfenen Strahlung 16 bei Durchlauf des Abtaststrahls 5 über die zweite Fläche 32 gemäß Fig. 6 beziehungsweise Fig. 7 ist eine Intensitätskalibrierung durchführbar.Due to the thus changing intensity of the reflected radiation 16 when the scanning beam 5 passes through the second surface 32 according to FIG. 6 or FIG. 7, an intensity calibration can be carried out.
Jede der Differentialphotodioden 33 ist dabei mit zwei aneinandergrenzenden, jeweils im wesentlichen gleich große Flächen und gleiche Empfindlichkeiten aufweisenden Detek- tionsegmenten ausgebildet, die spannungsmäßig komplementär zueinander verschaltet sind. Bei Durchgang eines Abtaststrahls 5 über die zweite Fläche 32 ergibt sich daher aufgrund des sehr genau zu erfassenden Nulldurchganges der Spannungskuπ/e jeder Differentialphotodiode 33 eine hohe Ortauflösung und bei Vorsehen von mehreren Differentialphotodioden 33 auch eine hohe Geschwindigkeitsauflösung für die Bewegung des Abtast- Strahls 5.Each of the differential photodiodes 33 is formed with two adjoining detection segments, each of which has essentially the same area and the same sensitivity, and which are connected in a complementary manner to one another in terms of voltage. When a scanning beam 5 passes through the second surface 32, this results in a high spatial resolution due to the zero crossing of the voltage kuπ / e of each differential photodiode 33, and when several differential photodiodes 33 are provided, there is also a high speed resolution for the movement of the scanning beam 5.
Fig. 8 zeigt in einem Blockschaubild die Ausführung einer Zentraleinheit 21 gemäß einer erfindungsgemäßen Vorrichtung. Die Zentraleinheit 21 verfügt über eine Abstandsmeßeinrichtung 39, die ein Sendemodul 40 und ein Empfangsmodul 41 aufweist. Das Sendemodul 40 ist mit einem Modulator 42 und mit einem mit dem Modulator 42 verbundenen Lasertreiber 43 ausgestattet, der die Lasersteuereinheit 4 mit Steuersignalen zur Intensitätsmodulation beaufschlagt. Das Empfangsmodul 41 umfasst einen an die Detektoreinheit 18 angeschlossenen Detektorsignalaufnehmer 44, einen dem Detektorsignalaufnehmer 44 nachgeordneten Detektorsignalverstärker 45, ein mit dem Modulator 42 und dem Detektorsignalverstärker 45 verbundenes Entfernungsbestimmungselement 46 sowie ein an den Detektorsignalverstärker 45 angeschlossenes Intensitätskalibrierelement 47. Mit dem Entfernungsbestimmungselement 46 ist auf der Grundlage einer an sich bekannten Laufzeitbestimmung aus der Laufzeit des Abtaststrahls 5 und der rückgeworfenen Strahlung 16 ein Entfernungssignal generierbar. Mit dem Intensitätskalibrierelement 47 sind unter Umständen zu fehlerhaften Entfernungsmessungen führenden nichtlinearen Dynamikkennlinien korrigierbar.8 shows in a block diagram the execution of a central unit 21 according to a device according to the invention. The central unit 21 has a distance measuring device 39 which has a transmission module 40 and a reception module 41. The transmitter module 40 is equipped with a modulator 42 and with a laser driver 43 which is connected to the modulator 42 and which applies control signals for intensity modulation to the laser control unit 4. The reception module 41 comprises one connected to the detector unit 18 Detector signal pickup 44, a detector signal amplifier 45 arranged downstream of the detector signal pickup 44, a distance determining element 46 connected to the modulator 42 and the detector signal amplifier 45, and an intensity calibration element 47 connected to the detector signal amplifier 45 Scanning beam 5 and the reflected radiation 16, a distance signal can be generated. Under certain circumstances, the intensity calibration element 47 can be used to correct nonlinear dynamic characteristic curves leading to incorrect distance measurements.
Weiterhin weist die Zentraleinheit 21 ein Antriebsmodul 48 auf, welches über eine Motorsteuerung 49 für den Spiegelantrieb 9 und für den Trägerantrieb 25 verfügt. Das Antriebsmodul 48 ist weiterhin mit einem Winkelgeber 50, einem den mittels der Referenzeinheit 20 ermittelten Referenzweg und Abtastgeschwindigkeit erfassenden Referenzweggeber 51 und einem die Neigung des Trägers 19 bestimmenden Neigungsgeber 52 ausgestattet.Furthermore, the central unit 21 has a drive module 48 which has a motor control 49 for the mirror drive 9 and for the carrier drive 25. The drive module 48 is further equipped with an angle sensor 50, a reference sensor 51 which detects the reference path and scanning speed determined by the reference unit 20 and an incline sensor 52 which determines the inclination of the support 19.
Die Zentraleinheit 21 verfügt weiterhin über ein Steuermodul 53 mit einem zum Reduzieren der Intensität des Abtaststrahls 5 bei Unterschreiten einer vorbestimmten Geschwindigkeit mit dem Lasertreiber 43 verbundenen Geschwindigkeitsgeber 54 und einem Antriebssteuerelement 55.The central unit 21 also has a control module 53 with a speed sensor 54 connected to the laser driver 43 to reduce the intensity of the scanning beam 5 when the speed falls below a predetermined speed, and a drive control element 55.
Eine Verarbeitungseinrichtung 56 der Zentraleinheit 21 weist einen Datenaufnahmemodul 57 und eine Rechenmodul 58 auf.A processing device 56 of the central unit 21 has a data acquisition module 57 and a computing module 58.
Das Datenaufnahmemodul 57 verfügt über einen mit dem Entfernungsbestimmungselement 46 und dem Intensitätskalibrierelement 57 verbundenen, nach dem FIFO- (first-in-first-out-) Prinzip arbeitenden Datenpuffer 59, über einen mit dem Winkel- geber 50 verbundenen Winkeldatengenerator 60 und über einen mit dem Neigungsgeber 52 verbundenen Lagegeber 61.The data acquisition module 57 has a data buffer 59 which is connected to the distance determination element 46 and the intensity calibration element 57 and works according to the FIFO (first-in, first-out) principle, and has a Encoder 50 connected angle data generator 60 and via a position encoder 61 connected to the inclination sensor 52.
Das Rechenmodul 58 schließlich ist mit einem mit dem Refe- renzweggeber 51 , dem Datenpuffer 59 und dem Winkeldatengenerator 60 verbundenen Referenzwertgenerator 62 ausgestattet, mit dem unter Berücksichtigung des Referenzwegs und der dabei aufgenommenen Winkeldaten Korrekturdaten gene- rierbar sind, die einem ebenfalls mit dem Datenpuffer 59 verbun- denen Bilddatenspeicher 63 zur Korrektur der Entfernungsdaten und Winkeldaten zuführbar sind.Finally, the computing module 58 is equipped with a reference value generator 62 which is connected to the reference path encoder 51, the data buffer 59 and the angle data generator 60 and with which, taking into account the reference path and the angle data recorded in the process, correction data can be generated, which is also provided by the data buffer 59 connected image data memories 63 can be supplied for correcting the distance data and angle data.
In einem dem Bilddatenspeicher 63 nachgeordneten und mit dem Winkeldatengenerator 60 verbundenen Biidsynthese- element 64 sind aus den Winkeldaten und den Entfernungsdaten in Kugelkoordinaten Koordinatendaten bestimmbar. Die Koordinatendaten aus dem Bildsyntheseelement 64 sind einem Koordinatentransformator 65 einspeisbar, mit dem die Koordinatendaten vorzugsweise in ein kartesisches Koordinatensystem umrechenbar und in einem nachgeordneten Anzeigeelement 66 zusammen mit den Bilddaten bildenden Entfernungsdaten als Umgebungsbild anzeigbar oder in einem in Fig. 8 nicht dargestellten Umgebungsbildspeicher abspeicherbar sind.Coordinate data can be determined from the angle data and the distance data in spherical coordinates in a bidsynthesis element 64 arranged downstream of the image data memory 63 and connected to the angle data generator 60. The coordinate data from the image synthesis element 64 can be fed to a coordinate transformer 65, by means of which the coordinate data can preferably be converted into a Cartesian coordinate system and can be displayed in a downstream display element 66 together with the distance data forming the image data, or can be stored in a surrounding image memory (not shown in FIG. 8).
In einem mit dem Antriebssteuerelement 55 verbundenen Parameterspeicher 67 des Rechenmoduls 58 sind für verschiedene Betriebsmodi charakteristische Sätze von Betriebsparametern abspeicherbar und dem Antriebssteuerelement 55 einspeisbar. Sets of operating parameters characteristic of different operating modes can be stored in a parameter memory 67 of the computing module 58 connected to the drive control element 55, and the drive control element 55 can be fed in.

Claims

PATENTANSPRÜCHE
1. Vorrichtung zum Erzeugen eines dreidimensionalen Umgebungsbildes mit einer elektromagnetischen Strahlungsquelle, mit der ein intensitätsmodulierter Abtaststrahl erzeugbar ist, mit einer von dem Abtaststrahl beaufschlagbaren Strahlablenkeinheit, mit einer Empfangsoptik, mit der von einer Oberfläche rückgeworfene elek- tromagnetische Strahlung auf eine Detektoreinheit lenkbar ist, und mit einer Zentraleinheit, mit der aus für die Richtung des Abtaststrahls signifikanten Winkeldaten und für Abstände zwischen der Vorrichtung und der Oberfläche signifikante, aus der Laufzeit des Abtast- Strahls und der rückgeworfenen Strahlung generierbare1. Device for generating a three-dimensional environmental image with an electromagnetic radiation source, with which an intensity-modulated scanning beam can be generated, with a beam deflection unit that can be acted upon by the scanning beam, with a receiving optic with which electromagnetic radiation reflected from a surface can be directed onto a detector unit, and with a central unit with which it is possible to generate from the runtime of the scanning beam and the reflected radiation significant angle data for the direction of the scanning beam and for distances between the device and the surface
Entfernungsdaten dreidimensionale Bilddaten zur räumlichen Darstellung der Umgebung der Vorrichtung generierbar sind, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlablenkeinheit (6) einen Drehspiegel (7) aufweist, der an einer drehbaren Spiegelwelle (8) eines SpiegelantriebsDistance data three-dimensional image data for spatial representation of the surroundings of the device can be generated, characterized in that the beam deflection unit (6) has a rotating mirror (7) which is attached to a rotatable mirror shaft (8) of a mirror drive
(9) angebracht ist, dass die Drehachse des Drehspiegels (7), die Ausbreitungsrichtung des Abtaststrahls (5) und die optische Achse der Empfangsoptik (17) koaxial ausgerichtet sind, dass ein wenigstens eine den Abtaststrahl (5) formende Optik (3, 23) der Strahlungsquelle (1 ), die(9) that the axis of rotation of the rotating mirror (7), the direction of propagation of the scanning beam (5) and the optical axis of the receiving optics (17) are aligned coaxially, that at least one optical system (3, 23 ) the radiation source (1), the
Strahlablenkeinheit (6), die Empfangsoptik (17) und die Detektoreinheit (18) verbindender Träger (19) vorhanden ist, und dass eine an dem Träger (19) angebrachte und mit dem Abtaststrahl (5) beaufschlagbare Referenzein- heit (20) vorgesehen ist, mit der bei Beaufschlagen mit dem Abtaststrahl (5) ein der Zentraleinheit (21 ) einspeisbares, für einen im Rahmen der Meßgenauigkeit unveränderlichen Referenzweg signifikantes Referenzsignal erzeugbar ist. Beam deflection unit (6), the receiving optics (17) and the detector unit (18) connecting carrier (19) is present, and that a reference unit (20) is provided on the carrier (19) and can be acted upon by the scanning beam (5) , with which a reference signal which can be fed into the central unit (21) and is significant for an unchangeable reference path within the scope of the measuring accuracy can be generated when the scanning beam (5) is applied.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass ein über eine Trägerwelle (26) mit dem Träger (19) verbundener Trägerantrieb (25) vorhanden ist, mit dem der Träger (19) drehbar ist, wobei die Drehachse der Trägerwelle (26) rechtwinklig zu der Drehachse der Spiegelwelle (8) ausgerichtet ist und durch den Auftreffbereich des Abtaststrahls (5) auf den Drehspiegel (7) verläuft.2. Device according to claim 1, characterized in that there is a carrier drive (25) connected to the carrier (19) via a carrier shaft (26), with which the carrier (19) is rotatable, the axis of rotation of the carrier shaft (26) is aligned at right angles to the axis of rotation of the mirror shaft (8) and runs through the area of incidence of the scanning beam (5) on the rotating mirror (7).
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass eine den Drehspiegel (7) umgebende Abdeckung (11 ) mit einer im Auftreffbereich des Abtaststrahls (5) gegen den Abtaststrahl (5) geneigten Oberfläche (12, 13, 29) vorhanden ist.3. Device according to claim 1 or claim 2, characterized in that a cover (11) surrounding the rotating mirror (7) is provided with a surface (12, 13, 29) inclined in the area of incidence of the scanning beam (5) against the scanning beam (5) is.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass eine Strahlfalle (14, 24) vorhanden ist, mit der von der Abdeckung (11 ) rückgeworfene Strahlung absorbierbar ist.4. The device according to claim 3, characterized in that a beam trap (14, 24) is present, with which radiation reflected from the cover (11) can be absorbed.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlungsquelle eine auf der optischen Achse der Empfangsoptik (17) angeordnete Lasereinheit (1 ) mit einem Laser (2) und einer Kollima- tionsoptik (3) umfaßt.5. Device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the radiation source comprises a laser unit (1) arranged on the optical axis of the receiving optics (17) with a laser (2) and a collimation optics (3).
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlungsquelle eine Lichtleitfaser (22) umfaßt, die mit einem Ende an eine Laser- einheit (1 ) gekoppelt und mit dem anderen Ende zusammen mit einer Auskoppeloptik (23) mit der Empfangsoptik (17) verbunden ist. 6. Device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the radiation source comprises an optical fiber (22) which is coupled at one end to a laser unit (1) and at the other end together with a coupling optics (23) the receiving optics (17) is connected.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Referenzeinheit (20) wenigstens eine Differentialphotodiode (33) aufweist.7. Device according to one of claims 1 to 6, characterized in that the reference unit (20) has at least one differential photodiode (33).
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Referenzeinheit (20) eine dem Abtaststrahl (5) zugewandte geneigte erste Fläche (31 ) und eine der ersten Fläche (31 ) gegenüberliegende zweite Fläche (32) aufweist, wobei die zweite Fläche (32) so ausgerichtet ist, dass Strahlung (16) auf den Drehspiegel (7) rückwerfbar ist.8. Device according to one of claims 1 to 7, characterized in that the reference unit (20) has an inclined first surface (31) facing the scanning beam (5) and a second surface (32) opposite the first surface (31), wherein the second surface (32) is oriented so that radiation (16) can be reflected back onto the rotating mirror (7).
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Fläche (31 ) reflektiv und die zweite Fläche (32) mit einer wenigstens teilweise streuenden Oberflächenstruktur ausgebildet ist.9. The device according to claim 8, characterized in that the first surface (31) is reflective and the second surface (32) is formed with an at least partially scattering surface structure.
10. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass eine Fläche (31 , 32) in einer quer zu der Einfallsrichtung des Abtaststrahls (5) ausgerichteten Abtastrichtung eine sich verändernde Absorption aufweist.10. The device according to claim 8 or claim 9, characterized in that a surface (31, 32) in a scanning direction oriented transversely to the direction of incidence of the scanning beam (5) has a changing absorption.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Zentraleinheit (21 ) einen Winkeldatengenerator (60) zum Erzeugen von für die Ausrichtung des Abtaststrahls (5) signifikanten Winkeldaten und ein Entfernungsbestimmungselement (46) zum Erzeugen von für die Laufzeit des Abtaststrahls (5) und rückgeworfener Strahlung (16) signifikante Entfernungsdaten und einen an die Referenzeinheit (20) angeschlossenen Referenzweggeber (51 ) aufweist, mit dem ein Entfernungskorrektursignal und ein Winkelkorrektursignal zum Korrigieren der Entfernungsdaten beziehungsweise der Winkeldaten erzeugbar ist. 11. The device according to one of claims 1 to 10, characterized in that the central unit (21) an angle data generator (60) for generating angle data significant for the alignment of the scanning beam (5) and a distance determining element (46) for generating the runtime of the scanning beam (5) and reflected radiation (16) has significant distance data and a reference path transmitter (51) connected to the reference unit (20), with which a distance correction signal and an angle correction signal for correcting the distance data or the angle data can be generated.
2. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 11 , dass die Zentraleinheit (21 ) ein Bildsyntheseelement (64) aufweist, mit dem bei einer der Hälfte des zu erfassenden Raumbereichs entsprechenden Teildrehung des Trägers (19) Entfernungsdaten und Winkeldaten aus den zwei Teilbereichen zu einem vollständigen Umgebungsbild zusammenfügbar sind. 2. Device according to one of claims 2 to 11, that the central processing unit (21) has an image synthesis element (64) with which, in the case of a partial rotation of the carrier (19) corresponding to half of the spatial area to be detected, distance data and angle data from the two partial areas to one complete environment image can be put together.
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