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WO1997019782A1 - Laser machining apparatus - Google Patents

Laser machining apparatus Download PDF

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Publication number
WO1997019782A1
WO1997019782A1 PCT/JP1996/003404 JP9603404W WO9719782A1 WO 1997019782 A1 WO1997019782 A1 WO 1997019782A1 JP 9603404 W JP9603404 W JP 9603404W WO 9719782 A1 WO9719782 A1 WO 9719782A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
moving speed
output condition
output
speed
processing
Prior art date
Application number
PCT/JP1996/003404
Other languages
French (fr)
Japanese (ja)
Inventor
Yoshinori Nakata
Kazuhiro Suzuki
Motohiko Sato
Hitoshi Matsuura
Original Assignee
Fanuc Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fanuc Ltd filed Critical Fanuc Ltd
Publication of WO1997019782A1 publication Critical patent/WO1997019782A1/en

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/18Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/41Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by interpolation, e.g. the computation of intermediate points between programmed end points to define the path to be followed and the rate of travel along that path
    • G05B19/4103Digital interpolation
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/43Speed, acceleration, deceleration control ADC
    • G05B2219/43147Control power of tool as function of speed, velocity of movement
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/45Nc applications
    • G05B2219/45165Laser machining

Definitions

  • the present invention relates to a type of laser processing apparatus that controls a beam output condition at the time of laser processing according to a moving speed of a processing head with respect to a workpiece.
  • the laser beam is irradiated for a long time in the decelerated area (low-speed section). At this time, if the output of the laser beam is maintained at the same power, the width of the processing is increased only in the low-speed part. In particular, excessive heat input occurs at the top of the corners, resulting in poor machining quality, such as the inability to sharpen the corners.
  • the laser beam output conditions for laser processing include pulse duty and pulse frequency in addition to output power.
  • beam output conditions such as pulse duty correspond to speed changes It was also used to change it.
  • a laser processing apparatus is configured such that a movement command value is input to a laser beam on a processing path of a processing head.
  • a moving speed calculating means for calculating and outputting the moving speed of the beam, and inputting the moving speed output from the moving speed calculating means, and values of two or more types of beam output conditions corresponding to the moving speed.
  • a beam output control means for controlling the laser oscillator based on the value of the beam output condition output by the output condition determining means.
  • the output condition determining means determines the beam output condition based on a relational expression between the moving speed and the value of the output condition. Is provided.
  • the output condition determining means has a data table in which the correspondence between the moving speed and at least one type of beam output condition is defined, and the moving speed is input. Then, referring to the data table and outputting the value of the output condition corresponding to the moving speed.
  • the present invention has the above-described configuration, it is possible to control a plurality of elements of the beam output condition in any combination in response to a change in the feed rate during laser processing.
  • the machining part is uniform and good and optimal machining results can be obtained.
  • FIG. 1 is a block diagram showing each element constituting the laser processing apparatus according to the present invention.
  • FIG. 2 is a schematic diagram showing one embodiment of a laser processing apparatus according to the present invention. Is a schematic diagram,
  • FIG. 3 is a diagram showing an example of a processing path when processing is performed by a laser processing apparatus.
  • Fig. 4 is a diagram showing the moving speed of the machining head when it moves on the machining path shown in Fig. 3,
  • Figure 5 shows the relationship between the moving speed of the processing head and the pulse frequency of the laser beam.
  • Fig. 6 shows the output power of the laser beam on the machining path shown in Fig. 3.
  • Fig. 7 is a diagram showing the pulse frequency of the laser beam on the machining path shown in Fig. 3.
  • FIG. 8 is a diagram showing an example of a data table in which the relationship between the moving speed of the processing head and the output power of the laser beam is determined.
  • FIG. 9 is a diagram showing the contents of the data table of FIG. 8 in a graph.
  • Fig. 10 shows the relationship between the position on the machining path and the moving speed in Fig. 4 replaced by the relationship between the position on the machining path and the output power of the laser beam using the data table shown in Fig. 8.
  • FIG. 10 shows the relationship between the position on the machining path and the moving speed in Fig. 4 replaced by the relationship between the position on the machining path and the output power of the laser beam using the data table shown in Fig. 8.
  • Preprocessing calculation means 2 decodes processing program 1 and moves Output command.
  • the interpolation means 3 performs an interpolation process on the movement command and outputs an interpolation pulse for each axis. Further, the interpolation means 3 calculates the relative moving speed F of the machining head 35 with respect to the workpiece from the interpolation pulse for each axis.
  • the servo amplifier 18 controls the rotation of the servomotor 32 of the laser beam machine 30 according to the interpolation pulse. There are as many servo amplifiers 18 and servo motors 32 as the number of axes. In the output condition determining means 4, a plurality of beam output condition values for the moving speed F are defined in advance.
  • the output power, the pulse frequency, and the value of the pulse duty are defined by the output power definition unit 4a, the pulse frequency definition unit 4b, and the pulse duty definition unit 4c, respectively.
  • the output condition determining means 4 determines the values of the output power M, the pulse duty Q, and the pulse frequency N according to the definition of each beam output condition based on the moving speed F calculated by the interpolation means 3.
  • To define each beam output condition use a beam output condition calculation formula that uses the moving speed as a variable, or use a data table that registers the correspondence between the moving speed and the set value of each beam output condition. And can be.
  • the output power is determined to be M (F)
  • the pulse duty is determined to be Q (F)
  • the pulse frequency is determined to be N (F).
  • the pulse duty is determined to be Q i, and the pulse frequency is determined to be N i.
  • the laser output control means 5 controls the beam output of the laser oscillator 20 according to the beam output conditions calculated by the output condition determining means 4.
  • the laser beam output from the laser oscillator 20 is applied to the work via the processing head 35.
  • a plurality of beam output conditions can be simultaneously controlled according to the moving speed during laser processing. Therefore, it is possible to obtain better processing quality in various situations than when one type of beam output condition is controlled.
  • the laser processing device includes a numerical controller (CNC) 10, a laser oscillator 20, and a laser processing machine 30.
  • CNC numerical controller
  • the laser processing device includes a numerical controller (CNC) 10, a laser oscillator 20, and a laser processing machine 30.
  • the CNC 10 is connected to the processor (CPU) 11 via the NOS 50 via the R ⁇ M 12, the nonvolatile memory 13, the RAM 14, and the I / O unit 15.
  • a manual input device with display screen (CRT MDI) 16 and servo amplifiers 17, 18, and 19 are connected to each other.
  • EPROM or EEPROM is used for R0M12, and the system program is stored.
  • the non-volatile memory 13 uses the CM0S that has been knocked down and stores machining programs and various parameters to be retained even after the power is turned off. Therefore, the processor 11 reads the machining program stored in the non-volatile memory 13 based on the system program stored in the ROM 12. To control the operation of the entire system.
  • the IZ ⁇ unit 15 converts the output control signal from the processor 11 and sends it to the laser oscillator 20.
  • the laser oscillator 20 emits a continuous or pulsed laser beam 21 in accordance with the output control signal.
  • the laser beam 21 is reflected by the bending mirror 22 and sent to the laser beam machine 30.
  • the CRT / MDI16 is used to interactively input various program data to the CNC10.
  • the laser processing machine 30 includes a processing machine body 34, a processing head 35 for irradiating the work 38 with the laser beam 21, and a table 37 to which the workpiece 38 is fixed.
  • the laser beam 21 introduced into the processing head 35 and condensed is applied to the work 38 from the nozzle 36.
  • the servo amplifiers 17, 18, and 19 are connected to the X-axis support motor 31 of the laser beam machine 30, the Y-axis servo motor 32, and the Z-axis servo motor 33, and are connected to the processor.
  • the axis control signal from the satellite 11 is transmitted to these satellites 31, 32, 33.
  • the laser machine body 34 is provided with an X-axis servomotor 31 for controlling the movement of the table 37 in the X-axis direction and a Y-axis servomotor 32 for controlling the movement of the table 37 in the Y-axis direction. .
  • a Z-axis servo motor 33 is provided for controlling the movement of the machining head 35 in the Z-axis direction. These servo motors 33, 32 and 33 are provided.
  • the CNC 1 It is connected to the servo amplifiers 17, 18 and 19 on the 0 side, respectively, and its rotation is controlled according to the axis control signal from the processor 11.
  • the table 37 and the processing head 35 move in accordance with the rotation of the sub-bodies 31, 32, and 33.
  • the laser beam 21 emitted from the nozzle 36 draws a trajectory on the work 38 in accordance with the movement of the table 37, and cuts the work 38 into a predetermined shape or welds along a predetermined path. Processing such as doing.
  • Fig. 3 shows an example of the processing path when processing with a laser processing device.
  • the spots 41 to 43 of the laser beam moving on the path 40 have their center positions moved in the order of point A-point B-point C.
  • the movement from point A to point B is linear. It makes a right angle turn at point B and moves straight from point B to point C. Therefore, it is necessary to reduce the speed at point B as compared with the movement before and after that point.
  • the speed of the irradiation spot (processing head 35) moving on the processing path 40 in FIG. 3 is represented in a graph as shown in FIG.
  • the horizontal axis indicates the center position of the spot on the machining path 40
  • the vertical axis indicates the moving speed when passing through that position. Shortly after passing point A, deceleration starts. At point B, the speed is lowest. Acceleration starts after passing point B, before point C But return to and speed. After that, pass point C while maintaining the speed.
  • the pulse frequency N (F) for the speed F is determined by the following formula.
  • N (F) / 3 F + N 0 (2)
  • the proportional constant / 3 is calculated by the following formula.
  • Q (F) r F + Q 0... ⁇ (3)
  • the proportionality constant r is calculated by the following equation.
  • FIG. 6 shows the relationship between the position on the machining path and the moving speed F in FIG. 4 replaced with the relationship between the position on the machining path and the output power using the above equation (1).
  • the horizontal axis is the position on the movement route
  • the vertical axis is the output power Q.
  • FIG. 7 shows the relationship between the position on the machining path and the moving speed F in FIG. 4 replaced with the relationship between the position on the machining path and the pulse frequency using the above equation (2).
  • the horizontal axis is the position on the movement path, and the vertical axis is the pulse frequency N.
  • the pulse frequency decreases at the same time.
  • the pulse frequency becomes minimum and then increases.
  • the pulse frequency returns to the original value.
  • the pulse duty changes similarly to the pulse frequency.
  • a data table can be prepared in advance, and the value of each condition can be obtained from the data table.
  • FIG. 8 is a diagram showing an example of a data table.
  • the data table has two items: “speed” and “element data”.
  • speed threshold values (F 0, F 1, F 2,..., F 5) of the speed at which the output condition should be changed are set.
  • the “element data” includes the output power (M 0, M l, M 2,%) Until the corresponding “speed” threshold is reached.
  • This data table is set individually for each element of the beam output condition.
  • FIG. 9 is a diagram showing the relationship between the speed F and the output power M when a data table as shown in FIG. 8 is used.
  • output power M l when the speed is F 0 ⁇ F ⁇ F 1
  • output power M 4 when the speed is F 4 ⁇ F ⁇ F 5 The output power is M5.
  • FIG. 10 shows the relationship between the position and the output power when the beam output condition control for the movement shown in FIG. 3 is performed using such a data table. That is, the relationship between the position and the output power M in FIG. 4 is replaced by the relationship between the position and the output power M based on the relationship between the speed F and the output power M in FIG. It is.
  • the horizontal axis is the position of the processing head, and the vertical axis is the output power M.
  • the output power gradually decreases and becomes the lowest at the point B. And, after passing point B, it gradually becomes stronger.
  • each value changes according to the moving speed.
  • the beam output condition can be obtained by simple comparison of data, so that the load on the processor of the numerical controller is reduced.

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Abstract

An interpolater (3) outputs an interpolation pulse for each axis in response to a movement command. The speed F of a machining head (35) moving along a machining path is calculated from the interpolation pulse (speed) for each axis and is sent to an output condition determination device (4). Based on the speed F, the output condition determination device (4) calculates the corresponding output power M(F), pulse frequency N(F) and pulse duty Q(F) and outputs them. As a result, the beam from a laser oscillator (20) is controlled by the output conditions of M(F), N(F) and Q(F).

Description

明 細 書  Specification
レーザ加工装置  Laser processing equipment
技 術 分 野  Technical field
本発明は、 レーザ加工時のビーム出力条件を加工へ ッ ドのワーク に対する移動速度に応 じて制御する タ イ プの レーザ加工装置に関する。  The present invention relates to a type of laser processing apparatus that controls a beam output condition at the time of laser processing according to a moving speed of a processing head with respect to a workpiece.
背 景 技 術  Background technology
レーザ加工を行う と き、 加工経路の形状によ っては寸 法精度を確保するために屈曲部またはコーナ部等で減速 しなければならない場合がある。 する と、 その減速され る領域 (低速部) ではレーザビームが長い時間照射され る こ と になる。 も し この と き、 レーザビームの出力が同 じパワーに維持されたま までいる と、 低速部だけ加工の 幅が広 く なつ て し ま う。 特にコーナ部の頂点では過入熱 状態と な り、 コーナがシ ャ ープに加工できない等の加工 品質の悪化を招いて し ま う。  When performing laser processing, it may be necessary to decelerate at a bent portion or a corner to secure dimensional accuracy, depending on the shape of the processing path. Then, the laser beam is irradiated for a long time in the decelerated area (low-speed section). At this time, if the output of the laser beam is maintained at the same power, the width of the processing is increased only in the low-speed part. In particular, excessive heat input occurs at the top of the corners, resulting in poor machining quality, such as the inability to sharpen the corners.
そこで、 従来は速度変化に応じ て レーザビームの出力 パワーを制御するこ と によ り、 加工速度が低速になる部 分では レーザビームの出力パワーを低下させていた。 こ れによ り、 低速部での加工品質の悪化を抑制するこ とが できる。  In the past, by controlling the output power of the laser beam according to the speed change, the output power of the laser beam was reduced at the part where the processing speed was low. As a result, it is possible to suppress the deterioration of the processing quality in the low-speed part.
なお、 レーザ加工を行う際のレーザビームのビーム出 力条件は、 出力パワー以外に、 パルスデューテ ィ やパル ス周波数がある。 出力パワーを制御する場合と同様に、 パルスデューテ ィ 等のビーム出力条件を速度変化に対応 して変化させるこ と も行われていた。 The laser beam output conditions for laser processing include pulse duty and pulse frequency in addition to output power. As in the case of controlling output power, beam output conditions such as pulse duty correspond to speed changes It was also used to change it.
しか し、 従来はビーム出力条件の中の 1 つの要素 しか 加工速度に対応して変化させる こ とができなかっ た。 そ のため、 特定の加工でしか良好な加工結果を得る こ とが できない。 例えば、 パルスデューテ ィ のみを変化させた 場合には、 木材加工で しか良好な結果が得られない。  In the past, however, only one of the beam power conditions could be changed in response to the processing speed. Therefore, good machining results can only be obtained with specific machining. For example, if only the pulse duty is changed, good results can only be obtained with wood processing.
また、 切断加工において加工速度の減速に応じてビー ムの出力パワーのみを低下させた場合、 加工部分での ド ロス等の影響によ り ワークを切断できないこ とがある。 そのため、 出力パワーをあま り低下させるこ とはできず、 結局は低速部での加工品質の悪化を防ぐこ とができ な く な っ て し ま う。  In addition, when only the output power of the beam is reduced in accordance with the reduction in the processing speed in the cutting processing, the work may not be cut due to the influence of the dross in the processed part. As a result, the output power cannot be reduced so much, and eventually the deterioration of the processing quality in the low-speed section cannot be prevented.
さ ら に、 パルスデューテ ィ のみを変化させる制御方式 の場合、 コーナ部手前等で減速したと き、 レーザのパル ス によ り でき る加工面の縞模様が一定でな く なり、 加工 品質が悪化する。  In addition, in the case of the control method in which only the pulse duty is changed, when the vehicle is decelerated before the corner, etc., the stripe pattern on the processing surface formed by the laser pulse becomes inconsistent, and the processing quality is reduced. Getting worse.
以上のよ う に、 従来はいずれか 1 つのビーム出力条件 しか加工速度に対応して制御する こ とができなかっ たた め、 加工品質の悪化を防ぐこ とができなかっ た。  As described above, conventionally, only one of the beam output conditions could be controlled in accordance with the processing speed, so that deterioration of the processing quality could not be prevented.
発 明 の 開 示  Disclosure of the invention
本発明の 目 的は、 移動速度の変化に応じて複数のビー ム出力条件を制御する こ とのでき る レーザ加工装置を提 供する こ と にある。  It is an object of the present invention to provide a laser processing apparatus capable of controlling a plurality of beam output conditions in accordance with a change in a moving speed.
上記目的を達成するため、 本発明によ る レーザ加工装 置は、 移動指令値を入力 して、 加工ヘ ッ ドの加工経路上 の移動速度を算出 して出力する移動速度算出手段と、 上 記移動速度算出手段からの移動速度出力を入力 して、 そ の移動速度に対応する 2 またはそれ以上の種類のビーム 出力条件の値をそれぞれ求めて出力する出力条件決定手 段と、 上記出力条件決定手段が出力したビーム出力条件 の値でも って レーザ発振器を制御するビーム出力制御手 段と を備える。 In order to achieve the above object, a laser processing apparatus according to the present invention is configured such that a movement command value is input to a laser beam on a processing path of a processing head. A moving speed calculating means for calculating and outputting the moving speed of the beam, and inputting the moving speed output from the moving speed calculating means, and values of two or more types of beam output conditions corresponding to the moving speed. And a beam output control means for controlling the laser oscillator based on the value of the beam output condition output by the output condition determining means.
望ま し く は、 出力条件決定手段は、 少な く と も 1 つの 種類のビーム出力条件については、 移動速度と当該出力 条件の値との関係式に基づいて、 入力 した移動速度から 当該ビーム出力条件の値を演算する手段を備えている。  Preferably, for at least one type of beam output condition, the output condition determining means determines the beam output condition based on a relational expression between the moving speed and the value of the output condition. Is provided.
また望ま し く は、 出力条件决定手段は、 移動速度と少 な く と も 1 つの種類のビーム出力条件と の対応関係を定 めてあるデータテーブルを保有してあり、 移動速度を入 力する とそのデータテーブルを参照してその移動速度に 対応 した当該出力条件の値を出力する。  Preferably, the output condition determining means has a data table in which the correspondence between the moving speed and at least one type of beam output condition is defined, and the moving speed is input. Then, referring to the data table and outputting the value of the output condition corresponding to the moving speed.
本発明は以上の構成を有するため、 レーザ加工中、 加 ェ送り 速度の変動に対応してビーム出力条件の複数の要 素を任意に組み合わせて制御する こ とが可能となるため、 さ ま ざま な条件の加工において、 加工部分が均一で良好 な最適な加工結果を得るこ とができる。  Since the present invention has the above-described configuration, it is possible to control a plurality of elements of the beam output condition in any combination in response to a change in the feed rate during laser processing. In machining under various conditions, the machining part is uniform and good and optimal machining results can be obtained.
図 面 の 簡 単 な 説 明  Brief explanation of drawings
図 1 は本発明によ る レーザ加工装置を構成する各要素 をブロ ッ ク図で示 し たものであり、  FIG. 1 is a block diagram showing each element constituting the laser processing apparatus according to the present invention.
図 2 は本発明によ る レーザ加工装置の一態様を示す概 略図であり、 FIG. 2 is a schematic diagram showing one embodiment of a laser processing apparatus according to the present invention. Is a schematic diagram,
図 3 はレーザ加工装置によ り 加工される場合の加工経 路の一例を示す図であり、  FIG. 3 is a diagram showing an example of a processing path when processing is performed by a laser processing apparatus.
図 4 は図 3 に示す加工経路上を加工へ ッ ドが移動する と きのその移動速度を示す図であ り、  Fig. 4 is a diagram showing the moving speed of the machining head when it moves on the machining path shown in Fig. 3,
図 5 は加工へッ ドの移動速度と レーザビームのパルス 周波数との関係を示す図であり、  Figure 5 shows the relationship between the moving speed of the processing head and the pulse frequency of the laser beam.
図 6 は図 3 に示す加工経路上でのレーザビームの出力 パワー示す図であり、  Fig. 6 shows the output power of the laser beam on the machining path shown in Fig. 3.
図 7 は図 3 に示す加工経路上での レーザビームのパル ス周波数を示す図であり、  Fig. 7 is a diagram showing the pulse frequency of the laser beam on the machining path shown in Fig. 3.
図 8 は加工へッ ドの移動速度と レーザビームの出力パ ヮ一 と の関係を定めてあるデータテーブルの一例を示す 図であ り、  FIG. 8 is a diagram showing an example of a data table in which the relationship between the moving speed of the processing head and the output power of the laser beam is determined.
図 9 は図 8 のデー タテーブルの内容を グラ フに表 した と きの図であ り、 そ して、  FIG. 9 is a diagram showing the contents of the data table of FIG. 8 in a graph, and
図 1 0は図 4 の加工経路上の位置と移動速度との関係 を、 図 8のデ一夕テーブルを用いて、 加工絰路上の位置 と レーザビームの出力パワーとの関係に置き換えて と き の図である。  Fig. 10 shows the relationship between the position on the machining path and the moving speed in Fig. 4 replaced by the relationship between the position on the machining path and the output power of the laser beam using the data table shown in Fig. 8. FIG.
発 明 を 実施す る た め の最 良 の 形態 まず、 本発明によ る レーザ加工装置がどのよ う な機能 を有する要素から構成されているかを図 1 のプロ ッ ク図 によ っ て説明する。  BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION First, the function of the laser processing apparatus according to the present invention, which is constituted by the elements having the functions, will be described with reference to the block diagram of FIG. I do.
前処理演算手段 2 は加工プロ グラム 1 を解読して移動 指令を出力する。 補間手段 3は、 移動指令に対して補間 処理を行い、 各軸に対する補間パルスを出力する。 さ ら に、 この補間手段 3は各軸に対する補間パルスから加工 へ ッ ド 3 5のワーク に対する相対移動速度 Fを算出する。 サ一ボアンプ 1 8は補間パルスに従って レーザ加工機 3 0のサーボモー夕 3 2の回転を制御する。 サーボア ンプ 1 8及びサーボモータ 3 2はそれぞれ軸の数だけ有る。 出力条件決定手段 4には、 移動速度 Fに対する複数の ビーム出力条件の値が予め定義されている。 この例では、 出力パワー、 パルス周波数、 及びパルスデュ ーテ ィ の値 力 それぞれ出力パワー定義部 4 a、 パルス周波数定義 部 4 b、 パルスデュ ーテ ィ 定義部 4 cで定義されている。 出力条件決定手段 4は、 補間手段 3が算出した移動速度 Fに基づき、 各ビーム出力条件の定義に従っ た出力パヮ 一 M、 パルスデューテ ィ Q、 パルス周波数 Nの値を決定 する。 なお、 各ビーム出力条件の定義には、 移動速度を 変数とするビーム出力条件算出式を用いるか、 あるいは 移動速度と個々のビーム出力条件の設定値との対応関係 を登録 したデータテーブルを用いるこ と ができ る。 前者 の場合は、 移動速度 Fに対 して、 出力パワーは M(F) 、 パルスデューテ ィ は Q (F) 、 そ し てパルス周波数は N (F) にそれぞれ決定される。 また、 後者の場合は、 移動速度 F i-1 〜F i ( i = l、 2、 3 ····) に対して、 出カノ、。 ヮ一は M i、 ノ、。ルスデューテ ィ は Q i、 そ してパルス周 波数は N i にそれぞれ决定される。 レーザ出力制御手段 5は、 出力条件決定手段 4によ り 算出さ れたビーム出力条件に従い レーザ発振器 2 0のビ ーム出力を制御する。 レーザ発振器 2 0の出力した レー ザビームは加工へ ッ ド 3 5を介してワー クに照射される。 Preprocessing calculation means 2 decodes processing program 1 and moves Output command. The interpolation means 3 performs an interpolation process on the movement command and outputs an interpolation pulse for each axis. Further, the interpolation means 3 calculates the relative moving speed F of the machining head 35 with respect to the workpiece from the interpolation pulse for each axis. The servo amplifier 18 controls the rotation of the servomotor 32 of the laser beam machine 30 according to the interpolation pulse. There are as many servo amplifiers 18 and servo motors 32 as the number of axes. In the output condition determining means 4, a plurality of beam output condition values for the moving speed F are defined in advance. In this example, the output power, the pulse frequency, and the value of the pulse duty are defined by the output power definition unit 4a, the pulse frequency definition unit 4b, and the pulse duty definition unit 4c, respectively. The output condition determining means 4 determines the values of the output power M, the pulse duty Q, and the pulse frequency N according to the definition of each beam output condition based on the moving speed F calculated by the interpolation means 3. To define each beam output condition, use a beam output condition calculation formula that uses the moving speed as a variable, or use a data table that registers the correspondence between the moving speed and the set value of each beam output condition. And can be. In the former case, the output power is determined to be M (F), the pulse duty is determined to be Q (F), and the pulse frequency is determined to be N (F). In the latter case, the travel speed F i-1 to F i (i = l, 2, 3, ...)ヮ 一 is M i, no ,. The pulse duty is determined to be Q i, and the pulse frequency is determined to be N i. The laser output control means 5 controls the beam output of the laser oscillator 20 according to the beam output conditions calculated by the output condition determining means 4. The laser beam output from the laser oscillator 20 is applied to the work via the processing head 35.
これによ り、 レーザ加工の際の移動速度に応じて、 複 数のビーム出力条件を同時に制御する こ とができる。 そ のため、 1種類のビーム出力条件を制御 した場合に比べ、 様々 な場面で良好な加工品質を得る こ とが可能と なる。  Thus, a plurality of beam output conditions can be simultaneously controlled according to the moving speed during laser processing. Therefore, it is possible to obtain better processing quality in various situations than when one type of beam output condition is controlled.
次に本発明による レーザ加工装置の一態様を図 2の概 略図を用いて説明する。  Next, an embodiment of the laser processing apparatus according to the present invention will be described with reference to the schematic diagram of FIG.
図 2 において、 レーザ加工装置は、 数値制御装置 ( C N C ) 1 0、 レーザ発振器 2 0及びレーザ加工機 3 0か ら構成される。  In FIG. 2, the laser processing device includes a numerical controller (CNC) 10, a laser oscillator 20, and a laser processing machine 30.
C N C 1 0は、 プロセ ッ サ ( C P U ) 1 1 に、 ノ ス 5 0を介 して、 R〇M 1 2、 不揮発性メモ リ 1 3、 R AM 1 4、 I / Oユニ ッ ト 1 5、 表示画面付手動入力装置 ( C R Tノ M D I ) 1 6、 並びにサ一ボアンプ 1 7、 1 8及び 1 9がそれぞれ接続された構成と なっている。  The CNC 10 is connected to the processor (CPU) 11 via the NOS 50 via the R〇M 12, the nonvolatile memory 13, the RAM 14, and the I / O unit 15. A manual input device with display screen (CRT MDI) 16 and servo amplifiers 17, 18, and 19 are connected to each other.
R 0 M 1 2 には E P R OMあるいは E E P R OMが使 用 され、 システムプログラムが格納される。 不揮発性メ モ リ 1 3にはノ、' ッ テ リ ノ ッ クア ッ プされた C M 0 Sが使 用 され、 電源切断後も保持すべき加工プログラムや各種 パラ メータ等が格納される。 そこで、 プロセ ッ サ 1 1 は R OM 1 2に格納さ れたシステムプログラムに基づいて, 不揮発性メ モ リ 1 3 に格納された加工プログラムを読み 出 して、 装置全体の動作を制御する。 EPROM or EEPROM is used for R0M12, and the system program is stored. The non-volatile memory 13 uses the CM0S that has been knocked down and stores machining programs and various parameters to be retained even after the power is turned off. Therefore, the processor 11 reads the machining program stored in the non-volatile memory 13 based on the system program stored in the ROM 12. To control the operation of the entire system.
I Z〇ユニ ッ ト 1 5は、 プロセ ッ サ 1 1 からの出力制 御信号を変換 して レーザ発振器 2 0に送る。 レーザ発振 器 2 0は、 出力制御信号に従って連続の又はパルス状の レーザビーム 2 1 を出射する。 このレーザビーム 2 1 は、 ベ ンデ ィ ングミ ラ一 2 2で反射して レーザ加工機 3 0に 送られる。  The IZ〇 unit 15 converts the output control signal from the processor 11 and sends it to the laser oscillator 20. The laser oscillator 20 emits a continuous or pulsed laser beam 21 in accordance with the output control signal. The laser beam 21 is reflected by the bending mirror 22 and sent to the laser beam machine 30.
C R T/MD I 1 6は、 各種のプログラムゃデ一 夕を 対話形式で C N C 1 0に入力するために使用 される。  The CRT / MDI16 is used to interactively input various program data to the CNC10.
レーザ加工機 3 0は、 加工機本体 34、 ワーク 3 8に レーザビーム 2 1 を照射する加工へ ッ ド 3 5、 及びヮー ク 3 8が固定されるテーブル 3 7を備えている。 加工へ ッ ド 3 5に導入されて集光された レーザビーム 2 1 は、 ノ ズル 3 6からワー ク 3 8に照射される。  The laser processing machine 30 includes a processing machine body 34, a processing head 35 for irradiating the work 38 with the laser beam 21, and a table 37 to which the workpiece 38 is fixed. The laser beam 21 introduced into the processing head 35 and condensed is applied to the work 38 from the nozzle 36.
サ一ボア ンプ 1 7、 1 8及び 1 9はレーザ加工機 3 0 の X軸サ一ポモータ 3 1、 Y軸サーボモ一夕 3 2及び Z 軸サ一ボモー夕 3 3 に接続 して、 プロセ ッ サ 1 1 からの 軸制御信号を これらサ一ボモ一夕 3 1、 3 2、 3 3に伝 える。  The servo amplifiers 17, 18, and 19 are connected to the X-axis support motor 31 of the laser beam machine 30, the Y-axis servo motor 32, and the Z-axis servo motor 33, and are connected to the processor. The axis control signal from the satellite 11 is transmitted to these satellites 31, 32, 33.
レーザ加工機本体 34 には、 テーブル 3 7を X軸方向 に移動制御するための X軸サーボモータ 3 1 及び Y軸方 向に移動制御するための Y軸サーボモー タ 3 2が設けら れている。 さ らに、 加工ヘ ッ ド 3 5を Z軸方向に移動制 御するためのサ Z軸サ一ボモー夕 3 3が設けられている, これ等のサ一ボモー タ 3 し 3 2及び 3 3は、 C N C 1 0側のサーボア ンプ 1 7、 1 8及び 1 9 にそれぞれ接続 さ れてお り、 プロセ ッサ 1 1 からの軸制御信号に従って その回転が制御される。 テーブル 3 7 及び加工へ ッ ド 3 5 は、 サ一ボモ一夕 3 1、 3 2、 3 3 の回転に したがつ て移動する。 ノ ズル 3 6から照射された レーザビーム 2 1 は、 テーブル 3 7 の移動に応じ てワーク 3 8上に軌跡 を描き、 ワー ク 3 8 を所定形状に切断した り 所定の経路 にそ っ て溶接するなどの加工をする。 The laser machine body 34 is provided with an X-axis servomotor 31 for controlling the movement of the table 37 in the X-axis direction and a Y-axis servomotor 32 for controlling the movement of the table 37 in the Y-axis direction. . In addition, a Z-axis servo motor 33 is provided for controlling the movement of the machining head 35 in the Z-axis direction. These servo motors 33, 32 and 33 are provided. The CNC 1 It is connected to the servo amplifiers 17, 18 and 19 on the 0 side, respectively, and its rotation is controlled according to the axis control signal from the processor 11. The table 37 and the processing head 35 move in accordance with the rotation of the sub-bodies 31, 32, and 33. The laser beam 21 emitted from the nozzle 36 draws a trajectory on the work 38 in accordance with the movement of the table 37, and cuts the work 38 into a predetermined shape or welds along a predetermined path. Processing such as doing.
以上のよ う なレーザ加工装置によ り、 移動速度に応じ て複数のビーム出力条件を制御する場合について、 以下 に具体的に説明する。  A case where a plurality of beam output conditions are controlled in accordance with the moving speed by the laser processing apparatus as described above will be specifically described below.
レーザ加工装置で加工する と きの加工経路の一例を図 3 に示す。 この加工経路 4 0では、 経路 4 0上を移動す る レ一ザビームのスポ ッ ト 4 1 〜 4 3 は、 その中心位置 が点 A—点 B—点 C の順で移動する。 この場合、 点 Aか ら点 B までは直線移動である。 点 Bで直角に曲がり、 点 B から点 C間では直線移動である。 そのため、 点 Bでは, その前後の移動よ り も速度を低下させる必要がある。  Fig. 3 shows an example of the processing path when processing with a laser processing device. In the machining path 40, the spots 41 to 43 of the laser beam moving on the path 40 have their center positions moved in the order of point A-point B-point C. In this case, the movement from point A to point B is linear. It makes a right angle turn at point B and moves straight from point B to point C. Therefore, it is necessary to reduce the speed at point B as compared with the movement before and after that point.
そこで、 図 3 の加工経路 4 0上を移動する照射スポ ッ ト (加工ヘ ッ ド 3 5 ) の速度をグラフに表すと図 4 のよ う になる。 図 4 において、 横軸は加工経路 4 0上のスポ ッ ト の中心位置を示 してお り、 縱軸はその位置を通過す る と きの移動速度を示 している。 点 Aを通過 して しばら く する と減速が開始される。 点 B において最も速度が低 く なる。 点 B を通過する と加速が開始され、 点 Cの手前 でも と の速度に戻る。 以後、 その速度を保ったま ま点 C を通過する。 Therefore, the speed of the irradiation spot (processing head 35) moving on the processing path 40 in FIG. 3 is represented in a graph as shown in FIG. In FIG. 4, the horizontal axis indicates the center position of the spot on the machining path 40, and the vertical axis indicates the moving speed when passing through that position. Shortly after passing point A, deceleration starts. At point B, the speed is lowest. Acceleration starts after passing point B, before point C But return to and speed. After that, pass point C while maintaining the speed.
加工へ ッ ド 3 5が図 4 に示す態様で移動を行う場合、 その速度 F に応じた出力パワー M、 パルス周波数 N、 パ ルスデューテ ィ Qを指令する。  When the processing head 35 moves in the mode shown in Fig. 4, the output power M, pulse frequency N, and pulse duty Q corresponding to the speed F are commanded.
例えば、  For example,
(a) 速度 F に対する出力パワー M (F) は以下の式で定め る。  (a) The output power M (F) for the speed F is determined by the following equation.
M (F) = a F 2 ( 1 ) こ こで、 α は比例定数である。 M (F) = a F 2 (1) where α is a proportionality constant.
(b)速度 F に対するパルス周波数 N (F) は以下の式で定め る。  (b) The pulse frequency N (F) for the speed F is determined by the following formula.
N (F) = /3 F + N 0 ( 2 ) こ こで、 N O は F = 0 のと きの設定パルス周波数である。 また、 比例定数 /3 は以下の式で求める。  N (F) = / 3 F + N 0 (2) where N O is the set pulse frequency when F = 0. The proportional constant / 3 is calculated by the following formula.
β = ( N c- Ν 0) Z F c 、 こ こで、 N c は速度 Fが F c のと きの最適パルス周波数である。 なお、 上記 ( 2 ) 式を横軸を速度 F、 縦軸をパルス周波数 N (F) のグラフ で表すと、 図 5 のよ う になる。  β = (Nc-Ν0) ZFc, where Nc is the optimum pulse frequency when the speed F is Fc. When the above equation (2) is represented by a graph with the horizontal axis representing the speed F and the vertical axis representing the pulse frequency N (F), the result is as shown in FIG.
(c) 速度 Fに対するパルスデューテ ィ Q (F) は以下の式 で定める。 (c) The pulse duty Q (F) for the speed F is determined by the following equation.
Q (F) = r F + Q 0 … · ( 3 ) こ こで、 Q 0 は F = 0の と きの設定パルスデューテ ィ で ある。 また、 比例定数 r は以下の式で求める。  Q (F) = r F + Q 0… · (3) Here, Q 0 is the set pulse duty when F = 0. The proportionality constant r is calculated by the following equation.
r = ( Q c - Q 0) / F c 、 こ こで、 Q c は速度 Fが F c の と きの最適パルスデュ 一テ ィ である。 なお、 上記 ( 3 ) 式を横軸を速度 F、 縦軸をパルスデュ ーテ ィ Q (F) のグラフで表すと (実際には図示しないが) 、 図 5 に似 た形になる。 r = (Qc-Q0) / Fc, where Qc is the speed F This is the optimum pulse duty for c. When the above equation (3) is represented by a graph of the speed F on the horizontal axis and the pulse duty Q (F) on the vertical axis (not actually shown), the shape is similar to FIG.
以上、 上記 ( 1 ) 、 ( 2 ) 、 ( 3 ) の算出式は、 出力 条件演算手段 4 (図 1 に示す) に設定さ れる。  As described above, the calculation expressions of the above (1), (2), and (3) are set in the output condition calculating means 4 (shown in FIG. 1).
したがって、 図 3 に示した加工経路 4 0を図 4 に示 し た速度 Fで移動しながら レーザ加工する と きは、 ビーム の出力制御 (出力パワー M (F) 、 パルス周波数 N (F) 、 パルスデューテ ィ Q (F) の決定) は式 ( 1 ) 、 ( 2 ) 及 び ( 3 ) に したがっ て行われる。 すなわち、 加工ヘ ッ ド 3 5の移動の速度変化に応じて各ビーム出力条件の値が 変化する。  Therefore, when laser machining is performed while moving the machining path 40 shown in FIG. 3 at the speed F shown in FIG. 4, beam output control (output power M (F), pulse frequency N (F), The determination of the pulse duty Q (F) is made according to equations (1), (2) and (3). That is, the value of each beam output condition changes according to a change in the moving speed of the processing head 35.
図 4の加工経路上の位置と移動速度 F との関係を、 上 記 ( 1 ) 式を用いて、 加工経路上の位置と出力パワーと の関係に置き換えた ものが図 6である。 図 6 において、 横軸が移動経路上の位置であ り、 縦軸が出力パワー Qで ある。 減速が開始さ れると 同時に出力パワーが弱め られ る。 位置が点 Bに達すると その位置で出力パワーが最小 と なる。 点 B をすぎる と出力パワーは徐々 に増加する。 そ して、 移動速度 Fがもとの一定速度に戻っ た と き に出 力パワーも も との一定出力に戻る。  FIG. 6 shows the relationship between the position on the machining path and the moving speed F in FIG. 4 replaced with the relationship between the position on the machining path and the output power using the above equation (1). In FIG. 6, the horizontal axis is the position on the movement route, and the vertical axis is the output power Q. As the deceleration starts, the output power is reduced at the same time. When the position reaches point B, the output power becomes minimum at that position. After point B, the output power gradually increases. When the moving speed F returns to the original constant speed, the output power returns to the original constant output.
図 4 の加工経路上の位置と移動速度 F との関係を、 上 記 ( 2 ) 式を用いて、 加工経路上の位置とパルス周波数 と の関係に置き換えたものが図 7である。 図 7 において、 横軸が移動経路上の位置であり、 縦軸がパルス周波数 N である。 減速が開始される と同時にパルス周波数が小さ く なる。 位置が点 B に達する時点でパルス周波数が最小 と な り、 以後増加する。 そ して、 移動速度がも との速度 に戻っ たと き にパルス周波数もも との値に戻る。 パルス デュ ーテ ィ もパルス周波数と同様の変化をする。 FIG. 7 shows the relationship between the position on the machining path and the moving speed F in FIG. 4 replaced with the relationship between the position on the machining path and the pulse frequency using the above equation (2). In Figure 7, The horizontal axis is the position on the movement path, and the vertical axis is the pulse frequency N. As the deceleration starts, the pulse frequency decreases at the same time. When the position reaches point B, the pulse frequency becomes minimum and then increases. When the moving speed returns to the original speed, the pulse frequency returns to the original value. The pulse duty changes similarly to the pulse frequency.
このよ う に して、 予め算出式を設定してお く こ と によ り、 加工送り 速度の変動に対応して、 ビーム出力条件の 全ての要素を任意に組み合わせて制御するこ とができる そのため、 加工速度の変動によ っ て加工条件が変化 して も、 常にその加工条件に適したビーム出力条件で加工を 行う こ とができる。  In this way, by setting the calculation formula in advance, it is possible to control by arbitrarily combining all the elements of the beam output condition in response to the fluctuation of the machining feed speed. Therefore, even if the processing conditions change due to the fluctuation of the processing speed, it is possible to always perform the processing under the beam output conditions suitable for the processing conditions.
上記の例では算出式によ り 各条件の値を導き出 してい る力 予めデ一夕テーブルを用意 しておき、 そのデータ テーブルから各条件の値を得るこ と もできる。  In the above example, the force for deriving the value of each condition using the calculation formula. A data table can be prepared in advance, and the value of each condition can be obtained from the data table.
図 8 はデータテーブルの例を示す図である。 デー タテ —ブルには、 「速度」 と 「要素デ一夕」 との 2 つの項目 がある。 「速度」 には、 出力条件を変化させるべき速度 の し きい値 ( F 0、 F l、 F 2、 · · · ·、 F 5 ) が設定さ れて いる。 「要素データ」 には、 対応する 「速度」 の し きい 値に達するまでの出力パワー (M 0、 M l、 M 2、 、 FIG. 8 is a diagram showing an example of a data table. The data table has two items: "speed" and "element data". In “speed”, threshold values (F 0, F 1, F 2,..., F 5) of the speed at which the output condition should be changed are set. The “element data” includes the output power (M 0, M l, M 2,...) Until the corresponding “speed” threshold is reached.
M 5 ) が設定されている。 このデータテーブルは、 ビー ム出力条件の要素ご と に個別に設けられる。 M 5) is set. This data table is provided individually for each element of the beam output condition.
図 9 は図 8 に示すよ う なデータテーブルを用いた場合 の速度 F と出力パワー Mとの関係を示す図である。 速度 が F = F 0 の と きは出力パワー M 0 、 速度が F 0 < F≤ F 1 のと きは出力パワー M l 、 速度が F l < F≤ F 2 の と きは出力パワー M 2 、 速度が F 2 < F≤ F 3 のと きは 出力パワー M 3 、 速度が F 3 < F≤ F 4 のと きは出力パ ヮー M 4 、 速度が F 4 < F≤ F 5 のと きは出力パワー M 5 である。 FIG. 9 is a diagram showing the relationship between the speed F and the output power M when a data table as shown in FIG. 8 is used. speed Output power M 0 when F = F 0, output power M l when the speed is F 0 <F ≤ F 1, output power M 2 when the speed is F l <F ≤ F 2, Output power M 3 when the speed is F 2 <F ≤ F 3, output power M 4 when the speed is F 3 <F ≤ F 4, and output power M 4 when the speed is F 4 <F ≤ F 5 The output power is M5.
このよ う なデ一夕テーブルを用いて、 図 3 に示す移動 に置けるビーム出力条件制御を行う場合の位置と出力パ ヮ一と の関係を表したものが図 1 0である。 すなわち、 図 4 における位置と速度 F との関係を、 図 9 の速度 F と 出力パワー Mとの関係にも とづいて、 位置と出力パワー Mとの関係に置き換えたものが図 1 0 のグラ フである。 図 1 0 において、 横軸が加工ヘッ ドの位置であり、 縦軸 が出力パワー Mである。 図 1 0 に示すよ う に、 出力パヮ —は段階的に弱ま り、 点 Bで最低と なる。 そ して、 点 B をすぎる と段階的に強く なる。  FIG. 10 shows the relationship between the position and the output power when the beam output condition control for the movement shown in FIG. 3 is performed using such a data table. That is, the relationship between the position and the output power M in FIG. 4 is replaced by the relationship between the position and the output power M based on the relationship between the speed F and the output power M in FIG. It is. In FIG. 10, the horizontal axis is the position of the processing head, and the vertical axis is the output power M. As shown in FIG. 10, the output power gradually decreases and becomes the lowest at the point B. And, after passing point B, it gradually becomes stronger.
このよ う な、 データテーブルが各ビーム出力条件ごと に設定される こ と によ り、 それぞれの値が移動速度に応 じて変化する。 データテーブルを用いる こ と によ り、 簡 単なデータの対比によ り ビーム出力条件を得る こ とがで き るため、 数値制御装置のプロセ ッ サにかかる負荷が低 減される。  By setting such a data table for each beam output condition, each value changes according to the moving speed. By using the data table, the beam output condition can be obtained by simple comparison of data, so that the load on the processor of the numerical controller is reduced.

Claims

請 求 の 範 囲  The scope of the claims
移動指令値を入力 して、 加工ヘッ ドの加工経路上の 移動速度を算出 し て出力する移動速度算出手段と、  A moving speed calculating means for inputting a moving command value, calculating and outputting a moving speed of the machining head on the machining path,
上記移動速度算出手段からの移動速度出力を入力 し て、 その移動速度に対応する 2 またはそれ以上の種類 のビーム出力条件の値をそれぞれ求めて出力する、 出 力条件決定手段と、  An output condition determining means for inputting the moving speed output from the moving speed calculating means, obtaining and outputting two or more types of beam output condition values corresponding to the moving speed,
上記出力条件決定手段が出力 したビーム出力条件の 値でも っ て レーザ発振器を制御するビーム出力制御手 段と、  Beam output control means for controlling the laser oscillator based on the value of the beam output condition output by the output condition determining means,
を備えたレーザ加工装置。Laser processing device equipped with.
. 上記出力条件決定手段は、 少な く と も 1 つの種類の ビーム出力条件については、 移動速度と 当該出力条件 の値との間の関係式を用いて、 入力 した移動速度から 当該ビーム出力条件の値を演算する手段を備えている、 請求の範囲第 1 項記載のレーザ加工装置。For at least one type of beam output condition, the output condition determining means uses the relational expression between the moving speed and the value of the output condition to calculate the beam output condition from the input moving speed. The laser processing apparatus according to claim 1, further comprising means for calculating a value.
. 上記出力条件決定手段は、 移動速度と 少な く と も 1 つの種類のビーム出力条件との対応関係を定めてある データテーブルを保有してあ り、 移動速度を入力する とそのデータテーブルを参照してその移動速度に対応 した当該出力条件の値を出力する、 請求の範囲第 1 項 記載のレーザ加工装置。The output condition determining means has a data table that defines the correspondence between the moving speed and at least one type of beam output condition. When the moving speed is input, the data table is referred to. The laser processing apparatus according to claim 1, wherein the value of the output condition corresponding to the moving speed is output.
. 上記出力条件決定手段が移動速度に対応して求める ビーム出力条件の種類は、 出力パワー、 パルス周波数 及びパルスデュ ーテ ィ のう ちの少な く と も任意の 2 つ である、 請求の範囲第 1 項記載の レーザ加工装置, The types of beam output conditions determined by the output condition determining means in accordance with the moving speed are at least any two of output power, pulse frequency, and pulse duty. The laser processing apparatus according to claim 1, wherein
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