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TWI559079B - Photosensitive resin composition and display device - Google Patents

Photosensitive resin composition and display device Download PDF

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TWI559079B
TWI559079B TW104121678A TW104121678A TWI559079B TW I559079 B TWI559079 B TW I559079B TW 104121678 A TW104121678 A TW 104121678A TW 104121678 A TW104121678 A TW 104121678A TW I559079 B TWI559079 B TW I559079B
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methyl
ether
solvent
acrylate
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TW104121678A
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TW201539131A (zh
Inventor
Masakazu Shirakawa
Original Assignee
Sumitomo Chemical Co
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Publication date
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    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
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    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
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Description

感光性樹脂組成物及顯示裝置
本發明係關於感光性樹脂組成物及顯示裝置。
近年來對於液晶顯示面板等，基板尺寸的大型化正進展著，一般於基板面因形成塗佈層等透明膜或圖型，感光性樹脂組成物藉由旋轉塗佈法、狹縫旋轉法等進行塗佈形成。
另一方面，由生產性提高、對大型畫面之對應等觀點來看，一邊省液化感光性樹脂組成物溶液，一邊形成高品質之均勻的塗膜之方法被檢討。
由如此背景來看，欲形成優良品質的塗膜，檢討溶劑種類的選擇。例如作為溶劑，將使用丙二醇單甲基醚乙酸酯、3-乙氧基乙基丙酸酯、3-甲氧基1-丁醇及3-甲氧基丁基乙酸酯之混合溶劑的感光性樹脂組成物利用於塗膜之形成上已被揭示(例如，專利文獻1)。
〔專利文獻1〕特開2008-181087號公報 段落91
然而，將使用上述溶劑的感光性樹脂組成物藉由代表性塗佈方法之旋轉塗佈法，塗佈於凹凸基板上時，沿著凹凸圖型，於塗佈面上會有產生放射線狀之筋(以下稱為「條紋(STRIATION)」)之情況。
換言之，即使使用自過去被提案之溶劑，於旋轉塗佈法、狹縫旋轉法、擠壓式塗佈法等適用，對於所有方法非必可得到高品質之塗膜為現狀。
本發明係以提供可形成其條紋之產生被抑制，塗膜全體為均勻，且高品質之塗膜的感光性樹脂組成物作為目的。
即，本發明為提供以下〔1〕~〔11〕者。
〔1〕一種感光性樹脂組成物，其特徵為含有樹脂(A)、聚合性化合物(B)、聚合啟始劑(C)及溶劑(D)，溶劑(D)為含有式(I)所示溶劑。
R1-O-(A-O)n-R2 (I)
(式(I)中，R1及R2各獨立表示直鏈狀或分支狀的碳數1~4的烷基，A表示直鏈狀或分支狀的碳數為1~3之伸烷基，n表示2或3之整數，複數的A可為相同或相異。)
〔2〕如〔1〕記載之感光性樹脂組成物，其中溶劑(D)含有彼此相異的2種類以上之式(I)所示溶劑。
〔3〕如〔1〕或〔2〕記載之感光性樹脂組成物，其中溶劑(D)含有二乙二醇乙基甲基醚。
〔4〕如〔3〕記載之感光性樹脂組成物，其中溶劑 (D)含有對於溶劑全量而言，10~90質量%的二乙二醇乙基甲基醚。
〔5〕如〔1〕~〔4〕中任一所記載之感光性樹脂組成物，其中溶劑(D)含有選自二乙二醇丁基甲基醚及三乙二醇二甲基醚所成群之1種溶劑。
〔6〕如〔5〕記載之感光性樹脂組成物，其中溶劑(D)含有對於溶劑全量而言，10~50質量%之選自二乙二醇丁基甲基醚及三乙二醇二甲基醚所成群之至少1種溶劑。
〔7〕如〔1〕~〔6〕中任一項所記載之感光性樹脂組成物，其中溶劑(D)含有選自二乙二醇乙基甲基醚、以及二乙二醇丁基甲基醚及三乙二醇二甲基醚所成群之至少1種溶劑。
〔8〕如〔7〕記載之感光性樹脂組成物，其中溶劑(D)對於溶劑全量而言為總量為60質量%以上100質量%以下的選自二乙二醇乙基甲基醚、以及二乙二醇丁基甲基醚及三乙二醇二甲基醚所成群之至少1種溶劑。
〔9〕一種塗膜，其特徵為使用〔1〕~〔8〕中任一項所記載之感光性樹脂組成物而形成者。
〔10〕一種圖型，其特徵為使用〔1〕~〔8〕中任一項所記載之感光性樹脂組成物而形成者。
〔11〕一種顯示裝置，其特徵為含有選自如〔9〕所記載之塗膜及如〔10〕所記載之圖型所成群的至少1種。
本發明為可形成其條紋之產生被抑制，全體為均勻， 且高品質之塗膜。
又，藉由使用本發明之感光性樹脂組成物，可得到高品質之顯示裝置等。
本發明的感光性樹脂組成物為含有樹脂(A)、聚合性化合物(B)、聚合啟始劑(C)及溶劑(D)。且，本說明書中，作為各成分所例示的化合物，若無特別限定，可單獨或組合後使用。
作為本發明所使用的樹脂(A)，可舉出具有鹼溶解性之樹脂(A1)、具有可藉由鹼溶解性以及光及熱之至少一方的作用的反應性之樹脂(A2)等。
作為具有鹼溶解性之樹脂(A1)，可舉出選自不飽和羧酸及不飽和羧酸酐所成群之至少1種(a)(以下有時稱為「(a)」)、與可與(a)共聚合之單體(c)(以下有時稱為「(c)」)之共聚合物等。
作為(a)，具體的可舉出例如丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、o-、m-、p-乙烯基安息香酸等不飽和單羧酸類；1、4-環己烯二羧酸、甲基-5-原菠烯-2,3-二羧酸等不飽和二羧酸類；馬來酸、富馬酸、檸康酸、中康酸、衣康酸、3-乙烯基苯二酸、4-乙烯基苯二酸、3,4,5,6-四氫苯二酸、1,2,3,6-四氫苯二酸、二甲基四氫苯二酸等不飽和二羧酸類；這些不飽和二羧酸類之無水物； 琥珀酸單〔2-(甲基)丙烯醯氧乙基〕、苯二酸單〔2-(甲基)丙烯醯氧乙基〕等2價以上之多元羧酸的不飽和單〔(甲基)丙烯醯氧烷基〕酯類；如α-(羥基甲基)丙烯酸之同一分子中含有羥基及羰基之不飽和丙烯酸酯類等。
彼等中，丙烯酸、甲基丙烯酸、馬來酸酐等由共聚合反應性或鹼溶解性之觀點來看為佳。
作為(c)，可舉出甲基(甲基)丙烯酸酯、乙基(甲基)丙烯酸酯、n-丁基(甲基)丙烯酸酯、sec-丁基(甲基)丙烯酸酯、tert-丁基(甲基)丙烯酸酯等(甲基)丙烯酸烷基酯類；環己基(甲基)丙烯酸酯、2-甲基環己基(甲基)丙烯酸酯、三環〔5.2.1.02,6〕癸烷-8-基(甲基)丙烯酸酯(該技術領域中，作為慣用名稱，稱為二環戊烯基(甲基)丙烯酸酯。)、二環戊烯氧乙基(甲基)丙烯酸酯、異莰基(甲基)丙烯酸酯等(甲基)丙烯酸環狀烷基酯類；環己基丙烯酸酯、2-甲基環己基丙烯酸酯、三環〔5.2.1.02,6〕癸烷-8-基丙烯酸酯(該技術領域中作為慣用名稱，稱為二環戊烯基丙烯酸酯。)、二環戊氧基乙基丙烯酸酯、異莰基丙烯酸酯等丙烯酸環狀烷基酯類；苯基(甲基)丙烯酸酯、苯甲基(甲基)丙烯酸酯等(甲基)丙烯酸芳基酯類；苯基丙烯酸酯、苯甲基丙烯酸酯等丙烯酸芳基酯類； 馬來酸二乙基、富馬酸二乙基、衣康酸二乙基等二羧酸二酯；2-羥基乙基(甲基)丙烯酸酯、2-羥基丙基(甲基)丙烯酸酯等羥基烷基酯類；雙環〔2.2.1〕庚-2-烯、5-甲基雙環〔2.2.1〕庚-2-烯、5-乙基雙環〔2.2.1〕庚-2-烯、5-羥基雙環〔2.2.1〕庚-2-烯、5-羰基雙環〔2.2.1〕庚-2-烯、5-羥基甲基雙環〔2.2.1〕庚-2-烯、5-(2’-羥基乙基)雙環〔2.2.1〕庚-2-烯、5-甲氧基雙環〔2.2.1〕庚-2-烯、5-乙氧基雙環〔2.2.1〕庚-2-烯、5,6-二羥基雙環〔2.2.1〕庚-2-烯、5,6-二羰基雙環〔2.2.1〕庚-2-烯、5,6-二(羥基甲基)雙環〔2.2.1〕庚-2-烯、5,6-二(2’-羥基乙基)雙環〔2.2.1〕庚-2-烯、5,6-二甲氧基雙環〔2.2.1〕庚-2-烯、5,6-二乙氧基雙環〔2.2.1〕庚-2-烯、5-羥基-5-甲基雙環〔2.2.1〕庚-2-烯、5-羥基-5-乙基雙環〔2.2.1〕庚-2-烯、5-羰基-5-甲基雙環〔2.2.1〕庚-2-烯、5-羰基-5-乙基雙環〔2.2.1〕庚-2-烯、5-羥基甲基-5-甲基雙環〔2.2.1〕庚-2-烯、5-羰基-6-甲基雙環〔2.2.1〕庚-2-烯、5-羰基-6-乙基雙環〔2.2.1〕庚-2-烯、5,6-二羰基雙環〔2.2.1〕庚-2-烯無水物(腐植酸酐)、5-tert-丁氧羰基雙環〔2.2.1〕庚-2-烯、5-環己基氧羰基雙環〔2.2.1〕庚-2-烯、5-苯氧基羰基雙環〔2.2.1〕庚-2-烯、5,6-二(tert-丁氧羰基)雙環〔2.2.1〕庚-2-烯、5,6-二(環己基氧羰基)雙環〔2.2.1〕庚-2-烯等雙環不飽和化合物類； N-苯基馬來醯亞胺、N-環己基馬來醯亞胺、N-苯甲基馬來醯亞胺、N-琥珀醯亞胺基-3-馬來醯亞胺苯甲酸酯、N-琥珀醯亞胺基-4-馬來醯亞胺丁酸酯、N-琥珀醯亞胺基-6-馬來醯亞胺己酸酯、N-琥珀醯亞胺基-3-馬來醯亞胺丙酸酯、N-(9-吖啶基)馬來醯亞胺等二羰基亞胺基衍生物類；苯乙烯、α-甲基苯乙烯、m-甲基苯乙烯、p-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、p-甲氧基苯乙烯、丙烯腈、甲基丙烯腈、氯化乙烯基、氯化亞乙烯、丙烯醯胺、甲基丙烯醯胺、乙酸乙烯酯、1,3-丁二烯、異戊二烯、2,3-二甲基-1,3-丁二烯等。
彼等中，苯乙烯、N-苯基馬來醯亞胺、N-環己基馬來醯亞胺、N-苯甲基馬來醯亞胺、雙環〔2.2.1〕庚-2-烯等由共聚合反應性及鹼溶解性之觀點來看為佳。
(a)及(c)可單獨或組合後使用。
且本說明書中，所謂(甲基)丙烯酸酯表示丙烯酸酯及/或甲基丙烯酸酯。
對於將(a)及(c)經共聚合所得之共聚合物，由各所衍生的構成成分的比率，構成前述共聚合物之構成成分的合計莫耳數為100mol%時的莫耳分率於以下範圍者為佳。
由(a)所衍生的構成單位；2~40mol%
由(c)所衍生的構成單位；60~98mol%
又，前述構成成分之比率為以下範圍時為較佳。
由(a)所衍生的構成單位；5~35mol%
由(c)所衍生的構成單位；65~95mol%
前述構成比率為上述範圍時，保存安定性、顯像性、耐溶劑性有成為良好之傾向。
具有前述鹼溶解性之樹脂(A1)，例如可參考文獻「高分子合成之實驗法」(大津隆行著 發行所(股)化學同人 第1版第1刷1972年3月1日發行)所記載之方法及該文獻所記載之引用文獻而製造。
具體而言，將構成共聚合物之單位(a)及(c)的所定量、聚合啟始劑及溶劑等裝入於反應容器中，藉由氮取代氧，於氧不存在下，可進行攪拌、加熱、保溫之方法可舉出。且，其中所使用的聚合啟始劑及溶劑等並無特別限定，可使用該領域一般使用之任一者。例如可使用後述聚合啟始劑及溶劑等。
且，所得之共聚合物可直接使用反應後之溶液、亦可使用濃縮或經稀釋的溶液、亦可使用以再沈澱等方法作為固體(粉體)而取出者。特別作為該聚合時的溶劑，可藉由使用後述溶劑(D)，可直接使用反應後之溶液，可簡略化製造步驟(以下於樹脂(A2)亦相同)。
前述具有鹼溶解性之樹脂(A1)的聚苯乙烯換算之重量平均分子量較佳為3,000~100,000，更佳為5,000~50,000。具有鹼溶解性之樹脂(A1)的重量平均分子量為前述範圍時，塗佈性良好，又顯像時不易產生膜減少，且於顯像時非畫素部分的脫落性為良好故較佳。
具有鹼溶解性之樹脂(A1)的分子量分佈〔重量平均分子量(Mw)/數平均分子量(Mn)〕較佳為1.1~6.0，更佳為1.2~4.0。分子量分佈為前述範圍時，顯像性優良故較佳。
可使用於本發明的感光性樹脂組成物之具有鹼溶解性的樹脂(A1)之含有量，對於感光性樹脂組成物中之固體成分以質量分率表示時，較佳為5~90質量%，更佳為10~70質量%。具有鹼溶解性之樹脂(A1)的含有量為前述範圍時，對顯像液之溶解性充分，非畫素部分之基板上難產生顯像殘渣，又難產生顯像時曝光部的畫素部分之膜減少，非曝光部分之脫落性良好故較佳。
作為具有鹼溶解性與藉由光及熱的至少一方的作用之反應性的樹脂(A2)，可舉出樹脂(A2-1)：(a)、(c)、與具有碳數2~4之環狀醚結構的化合物(b)(以下有時稱為「(b)」)之共聚合物、樹脂(A2-2)：(a)、與(c)之共聚合物與(b)進行反應所得之共聚合物、樹脂(A2-3)：(a)與(b)之共聚合物等。
(b)為具有碳數2~4的環狀醚結構之化合物，其為具有選自環氧基、氧環丁烷基及四氫呋喃基所成群之至少1種結構的聚合性化合物。(b)為具有碳數2~4之環狀醚結構，且具有乙烯性碳-碳不飽和鍵之化合物為佳，具有碳數2~4之環狀醚結構，且具有丙烯醯基或甲基丙烯 醯基之化合物為更佳。
作為(b)，例如可舉出具有環氧基之單體(b1)(以下有時稱為「(b1)」)、具有氧環丁烷基之單體(b2)(以下有時稱為「(b2)」)、具有四氫呋喃基之單體等。
所謂(b1)，例如為具有選自脂肪族環氧結構及脂環式環氧結構所成群的至少1種結構之聚合性化合物。具有該環氧基之單體為具有選自脂肪族環氧結構及脂環式環氧結構所成群的至少1種結構，且具有乙烯性碳-碳不飽和鍵之化合物為佳，具有選自脂肪族環氧基及脂環式環氧基所成群之至少1種結構，且具有丙烯醯基或甲基丙烯醯基之化合物者為佳。
所謂脂肪族環氧結構為，將鏈式烯烴經環氧化之結構。
(b1)中，作為具有脂肪族環氧結構，且具有乙烯性碳-碳不飽和鍵之化合物，具體可舉出環氧丙基(甲基)丙烯酸酯、β-甲基環氧丙基(甲基)丙烯酸酯、β-乙基環氧丙基(甲基)丙烯酸酯、環氧丙基乙烯基醚、特開平7-248625號公報所記載之下述式所示化合物等。
(式中，R11~R13各獨立為氫原子或碳原子數1~10的烷基，m為1~5之整數)。
作為前述式所示化合物，例如可舉出o-乙烯基苯甲基環氧丙基醚、m-乙烯基苯甲基環氧丙基醚、p-乙烯基苯甲基環氧丙基醚、α-甲基-o-乙烯基苯甲基環氧丙基醚、α-甲基-m-乙烯基苯甲基環氧丙基醚、α-甲基-p-乙烯基苯甲基環氧丙基醚、2,3-二環氧丙氧甲基苯乙烯、2,4-二環氧丙氧甲基苯乙烯、2,5-二環氧丙氧甲基苯乙烯、2,6-二環氧丙氧甲基苯乙烯、2,3,4-三環氧丙氧甲基苯乙烯、2,3,5-三環氧丙氧甲基苯乙烯、2,3,6-三環氧丙氧甲基苯乙烯、3,4,5-三環氧丙氧甲基苯乙烯、2,4,6-三環氧丙氧甲基苯乙烯等。
所謂脂環式環氧結構為將環式烯烴經環氧化之結構。
(A2)之(b1)中，作為具有脂環式環氧結構，且具有乙烯性碳-碳不飽和鍵之化合物，可舉出選自乙烯基環己烯單氧化物1,2-環氧基-4-乙烯基環己烷(例如Celloxide2000；Daicel化學工業(股)製)、3,4-環氧環己基甲基丙烯酸酯(例如CyclomerA400；Daicel化學工業(股)製)、3,4-環氧環己基甲基甲基丙烯酸酯(例如CyclomerM100；Daicel化學工業(股)製)或、式(I)所示化合物及式(II)所示化合物所成群之至少1種的化合物。
〔式(I)及式(II)中，R及R’各獨立表示氫原子或可由羥基取代之碳數1~4的烷基。
X及X’各獨立表示單鍵、C1~6伸烷基、氧基-C1~6伸烷基、硫-C1~6伸烷基、亞胺-C1~6伸烷基、C1~6伸烷基-氧基、C1~6伸烷基-硫、或C1~6伸烷基-亞胺基。〕
作為烷基，具體可舉出甲基、乙基、n-丙基、異丙基、n-丁基、sec-丁基、tert-丁基等。
作為羥基烷基，可舉出羥基甲基、1-羥基乙基、2-羥基乙基、1-羥基-n-丙基、2-羥基-n-丙基、3-羥基-n-丙基、1-羥基-異丙基、2-羥基-異丙基、1-羥基-n-丁基、2-羥基-n-丁基、3-羥基-n-丁基、4-羥基-n-丁基等。
作為取代基R及R’，較佳可舉出氫原子、甲基、羥基甲基、1-羥基乙基、2-羥基乙基，更佳可舉出氫原子、甲基。
作為伸烷基可舉出伸甲基、伸乙基、伸丙基等。
作為氧烯基，可舉出氧甲烯基、氧乙烯基、氧丙烯基等。
作為伸烷氧基，可舉出伸甲氧基、伸乙氧基、伸丙氧基等。
作為硫伸烷基，可舉出硫伸甲基、硫伸乙基、硫伸丙基等。
作為伸烷基硫基，可舉出伸甲硫基、伸乙硫基、伸丙硫基等。
作為亞胺伸烷基，可舉出亞胺伸甲基、亞胺伸乙基、亞胺伸丙基等。
作為伸烷基亞胺基，可舉出伸甲基亞胺基、伸乙基亞胺基、伸丙基亞胺基等。
作為取代基X及X’，較佳可舉出單鍵、伸甲基、伸乙基、氧甲烯基、氧乙烯基，更佳可舉出單鍵、氧乙烯基。
作為式(I)所示化合物，可舉出式(I-1)~式(I-15)所示化合物等。較佳可舉出式(I-1)、式(I-3)、式(I-5)、式(I-7)、式(I-9)、式(I-11)~式(I-15)。更佳可舉出式(I-1)、式(I-7)、式(I-9)、式(I-15)。
作為式(II)所示化合物，可舉出式(II-1)~式(II-15)所示化合物等。較佳可舉出式(II-1)、式(II-3)、式(II-5)、式(II-7)、式(II-9)、式(II-11)~式(II-15)。更佳可舉出式(II-1)、式(II-7)、式(II-9)、式(II-15)。
選自式(I)所示化合物及式(II)所示化合物所成群之至少1種化合物可各單獨下使用。又，這些可以任意比率下混合。混合時，該混合比率以莫耳比表示，較佳為式(I)：式(II)為5：95~95：5，更佳為10：90~90：10，特佳為20：80~80：20。
作為共聚合物(A2-1)及(A2-2)中之(b2)的具有氧環丁烷基，且具有不飽和鍵之化合物，例如可舉出3-甲基-3-甲基丙烯氧甲基氧雜環丁烷、3-甲基-3-丙烯氧基甲基氧雜環丁烷、3-乙基-3-甲基丙烯氧基甲基氧雜環丁烷、3-乙基-3-丙烯氧基甲基氧雜環丁烷、3-甲基-3-甲基丙烯 氧基乙基氧雜環丁烷、3-甲基-3-丙烯氧基乙基氧雜環丁烷、3-乙基-3-甲基丙烯氧基乙基氧雜環丁烷、3-乙基-3-丙烯氧基乙基氧雜環丁烷等。
共聚合物(A2-1)中，各所衍生的構成成分之比率，對於構成共聚合物(A2-1)之構成成分的合計莫耳數之莫耳分率而言，以下述範圍為佳。
由(a)所衍生的構成單位；2~40mol%
由(c)所衍生的構成單位；1~65mol%
由(b1)或(b2)所衍生的構成單位；2~95mol96
又，前述構成成分之比率以下述範圍時為佳。
由(a)所衍生的構成單位；5~35mol%
由(c)所衍生的構成單位；1~60mol%
由(b1)或(b2)所衍生之構成單位；5~80mol%
前述構成比率為上述範圍時，保存安定性、顯像性、耐溶劑性、耐熱性及機械強度為良好。
前述具有鹼溶解性之樹脂(A2-1)，例如可參考文獻「高分子合成之實驗法」(大津隆行著 發行所(股)化學同人 第1版第1刷1972年3月1日發行)所記載之方法及該文獻所記載之引用文獻等而製造。
具體而言，可舉出將衍生出構成共聚合物之單位(a)、(c)及(b1)或(b2)之化合物的所定量、聚合啟始劑及溶劑裝入於反應容器中，藉由氮取代氧，於氧不存在下進行攪拌、加熱、保溫之方法。
樹脂(A2-2)例如可經由二段階之步驟而製造。此 時，可參考上述文獻「高分子合成之實驗法」(大津隆行著 發行所(股)化學同人 第1版第1刷1972年3月1日發行)所記載之方法、特開2001-89533號公報所記載之方法等而製造。
首先，作為第一段階，與上述具有鹼溶解性之樹脂(A1)的製造方法同樣地，得到共聚合物(即，具有鹼可溶性之樹脂)。
此時，與上述同樣地，以種種形態可繼續使用。又，與上述同樣之聚苯乙烯換算之重量平均分子量及分子量分佈〔重量平均分子量(Mw)/數平均分子量(Mn)〕為佳。
但，由(a)及(c)各衍生的構成成分之比率對於構成前述共聚合物之構成成分的合計莫耳數之莫耳分率而言，以下述範圍為佳。
由(a)所衍生的構成單位；5~50mol%
由(c)所衍生的構成單位；50~95mol%
又，前述構成成分之比率為以下範圍為較佳。
由(a)所衍生的構成單位；10~45mol%
由(c)所衍生的構成單位；55~90mol%
其此作為第二段階，將來自所得之共聚合物的(a)之羧酸及羧酸酐一部分，與來自前述(b1)或(b2)之環氧基或氧環丁烷基進行反應。
具體而言，繼續上述，將燒瓶內環境由氮取代為空氣，對於構成成分(a)之莫耳數而言為5~80mol%之構 成成分(b1)或(b2)，作為羰基與環氧基或氧環丁烷基之反應觸媒，例如將參二甲基胺基甲基酚對於單體(a)~(c)之合計量，質量基準為0.001~5%、及作為聚合禁止劑，例如將氫醌對於單體(a)~(c)之合計量，以質量基準下0.001~5%放入燒瓶內，60~130℃下繼續反應1~10小時。藉此，可得到樹脂(A2-2)。且，與聚合條件同樣下，考慮到藉由製造設備或聚合之發熱量等，可適宜調整裝入方法或反應溫度。
又，此時(b1)或(b2)之莫耳數對於(a)之莫耳數而言，以10~75mol%為佳，較佳為15~70mol%。藉由成為該範圍，可使保存安定性、顯像性、耐溶劑性、耐熱性、機械強度及感度之平衡良好。
對於樹脂(A2-3)，由各衍生的構成成分之比率對於構成鹼可溶性樹脂(A2-3)之構成成分的合計莫耳數之莫耳分率，以下述範圍為佳。
由(a)所衍生的構成單位；5~95mol%
由(b1)或(b2)所衍生的構成單位；5~95mol%
又，前述構成成分的比率為以下範圍時為較佳。
由(a)所衍生的構成單位；10~90mol%
由(b1)或(b2)所衍生的構成單位；10~90mol%
前述構成比率為上述範圍時，可使保存安定性、顯像性、耐溶劑性、耐熱性及機械強度良好。
樹脂(A2-3)，例如可參考文獻「高分子合成之實驗法」(大津隆行著 發行所(股)化學同人 第1版第1 刷1972年3月1日發行)所記載之方法及該文獻所記載之引用文獻等而製造。
具體而言，將衍生為構成共聚合物之單位(a)及(b1)或(b2)的化合物之所定量、聚合啟始劑及溶劑裝入於反應容器中，藉由由氮取代氧時，氧不存在下可藉由攪拌、加熱、保溫得到聚合物。且，所得之共聚合物為，可使用反應後之溶液可直接使用、亦可使用濃縮或經稀釋的溶液、或亦可使用藉由再沈澱等方法作為固體(粉體)取出者。
於本發明的感光性脂組成物所含之聚合性化合物(B)，僅具有聚合性即可並無特別限定，例如可舉出單官能單體、2官能單體、3官能以上之多官能單體等。
作為單官能單體，可舉出壬基苯基卡必醇(甲基)丙烯酸酯、2-羥基-3-苯氧基丙基(甲基)丙烯酸酯、2-乙基己基卡必醇(甲基)丙烯酸酯、2-(2-乙氧基乙氧基)乙基(甲基)丙烯酸酯、己內酯(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化壬基酚(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化壬基酚(甲基)丙烯酸酯等(甲基)丙烯酸酯；苯乙烯、α-,o-,m-,p-甲基苯乙烯、p-甲氧基苯乙烯、p-tert丁氧苯乙烯、氯甲基苯乙烯等苯乙烯類；丁二烯、2,3-二甲基丁二烯、異戊二烯等二烯類；(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸n-丙酯、(甲基)丙烯酸i-丙酯、(甲基)丙烯酸n-丁酯、(甲基)丙烯酸sec-丁酯、(甲基)丙烯酸 tert-丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸十二烷酯、(甲基)丙烯酸硬脂醯酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯酯、(甲基)丙烯酸異莰酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸2-甲基環己酯、(甲基)丙烯酸二環己酯、(甲基)丙烯酸金剛烷酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸亞丙基酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸萘酯、(甲基)丙烯酸蒽酯、(甲基)丙烯酸環戊酯、(甲基)丙烯酸呋喃酯、(甲基)丙烯酸四氫呋喃酯、(甲基)丙烯酸吡喃酯、(甲基)丙烯酸苯甲酯、(甲基)丙烯酸苯乙酯、(甲基)丙烯酸甲苯酯、(甲基)丙烯酸1,1,1-三氟乙酯、(甲基)丙烯酸全氟乙酯、(甲基)丙烯酸全氟-n-丙酯、(甲基)丙烯酸全氟-i-丙酯、(甲基)丙烯酸三苯基甲酯、(甲基)丙烯酸枯烯基等(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸環烷酯或(甲基)丙烯酸芳基酯；(甲基)丙烯酸2-羥基乙基、(甲基)丙烯酸2-羥基丙基等(甲基)丙烯酸羥基烷基酯；(甲基)丙烯酸醯胺、(甲基)丙烯酸醯替苯胺、(甲基)丙烯腈、丙烯醛、氯化乙烯基、氯化亞乙烯、N-乙烯基吡咯烷酮、乙酸乙烯酯等乙烯基化合物；馬來酸二乙酯、富馬酸二乙酯、衣康酸二乙基等不飽和二羧酸二酯；環氧丙基(甲基)丙烯酸酯、α-乙基環氧丙基(甲基)丙烯酸酯、α-n-丙基環氧丙基(甲基)丙烯酸酯、α- n-丁基環氧丙基(甲基)丙烯酸酯、3,4-環氧丁基(甲基)丙烯酸酯、3,4-環氧庚基(甲基)丙烯酸酯、α-乙基-6,7-環氧庚基(甲基)丙烯酸酯、烯丙基環氧丙基醚、乙烯基環氧丙基醚等環氧丙基化合物等。
作為2官能單體之具體例，可舉出1,3-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,3-丁二醇(甲基)丙烯酸酯、1,6-己烷二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、雙酚A之雙(丙烯醯氧基乙基)醚、乙氧基化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、3-甲基戊烷二醇二(甲基)丙烯酸酯等。
作為3官能以上之多官能單體，可舉出三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、參(2-羥基乙基)三聚異氰酸酯三(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯與酸酐之反 應物、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯與酸酐之反應物、三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯與酸酐己內酯變性三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、己內酯變性季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、己內酯變性參(2-羥基乙基)三聚異氰酸酯三(甲基)丙烯酸酯、己內酯變性季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己內酯變性二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己內酯變性二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己內酯變性三季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己內酯變性三季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己內酯變性三季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己內酯變性三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、己內酯變性三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、己內酯變性季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯與酸酐之反應物、己內酯變性二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯與酸酐之反應物、己內酯變性三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯與酸酐等。其中，使用2官能以上之單體為佳。
聚合性化合物(B)之含有量對於樹脂(A)及聚合性化合物(B)之合計量的質量分率，較佳為1~70質量%，更佳為5~60質量%。聚合性化合物(B)之含有量為前述範圍時，使感度、或塗膜及圖型之強度或平滑性、信賴性、機械強度為良好，故較佳。
作為於本發明之感光性樹脂組成物所含的聚合啟始劑(C)，僅為藉由光或熱之作用開始聚合之化合物即可，並無特別限定，可使用公知之聚合啟始劑。
作為聚合啟始劑(C)，例如以雙咪唑系化合物、苯 乙酮系化合物、三嗪系化合物、醯基膦氧化物系化合物、肟系化合物為佳。又，可使用於特開2008-181087號公報所記載之光及/或熱陽離子聚合啟始劑(例如由鎓陽離子與來自路易氏酸之陰離子所構成者)。其中雙咪唑系化合物為感度優良，故較佳。
作為前述雙咪唑化合物，可舉出2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基雙咪唑、2,2’-雙(2,3-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基雙咪唑(例如參照特開平6-75372號公報、特開平6-75373號公報等。)、2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基雙咪唑、2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(烷氧基苯基)雙咪唑、2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(二烷氧基苯基)雙咪唑、2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(三烷氧基苯基)雙咪唑(例如，參照特公昭48-38403號公報、特開昭62-174204號公報等。)、4,4’5,5’-位之苯基由烷氧基碳醯所取代之咪唑化合物(例如參照特開平7-10913號公報等。)等。較佳可舉出2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基雙咪唑、2,2’-雙(2、3-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基雙咪唑、2,2’-雙(2、4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基雙咪唑。
作為前述苯乙酮系化合物，可舉出二乙氧基苯乙酮、2-羥基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、苯甲基二甲基酮縮醇、2-羥基-1-〔4-(2-羥基乙氧基)苯基〕-2-甲基丙烷-1-酮、2-羥基-1-{4-〔4-(2-羥基-2-甲基-丙醯基)-苯甲基〕-苯基}-2-甲基-丙烷-1-酮、1-羥基環己基苯基酮、2- 甲基-1-(4-甲硫苯基)-2-嗎啉代丙烷-1-酮、2-苯甲基-2-二甲基胺基-1-(4-嗎啉代苯基)丁烷-1-酮、2-(2-甲基苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮、2-(3-甲基苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮、2-(4-甲基苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮、2-(2-乙基苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮、2-(2-丙基苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮、2-(2-丁基苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮、2-(2,3-二甲基苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮、2-(2、4-二甲基苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮、2-(2-氯苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮、2-(2-溴苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮、2-(3-氯苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮、2-(4-氯苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮、2-(3-溴苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮、2-(4-溴苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮、2-(2-甲氧基苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮、2-(3-甲氧基苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮、2-(4-甲氧基苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮、2-(2-甲基-4-甲氧基苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮、2-(2-甲基-4-溴苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮、2-(2-溴-4-甲氧基苯甲基)- 2-二甲基胺基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮、2-羥基-2-甲基-1-〔4-(1-甲基乙烯基)苯基〕丙烷-1-酮之寡聚物等。
作為前述三嗪系化合物，可舉出2,4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯基)-1,3,5-三嗪、2,4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧基萘基)-1,3,5-三嗪、2,4-雙(三氯甲基)-6-胡椒基-1,3,5-三嗪、2,4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯乙烯基)-1,3,5-三嗪、2,4-雙(三氯甲基)-6-〔2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基〕-1,3,5-三嗪、2,4-雙(三氯甲基)-6-〔2-(呋喃-2-基)乙烯基〕-1,3,5-三嗪、2,4-雙(三氯甲基)-6-〔2-(4-二乙基胺基-2-甲基苯基)乙烯基〕-1,3,5-三嗪、2,4-雙(三氯甲基)-6-〔2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基〕-1,3,5-三嗪等。
作為前述醯基膦氧化物系啟始劑，可舉出2,4,6-三甲基苯醯基二苯基膦氧化物等。
作為前述肟化合物，可舉出O-乙氧基羰基-α-氧基亞胺-1-苯基丙烷-1-酮、式(III)所示化合物、式(IV)所示化合物等。
且，同時使用上述聚合啟始劑(C)、與聚合啟始助劑(C-1)為佳。作為聚合啟始助劑(C-1)，可舉出式 (V)所示化合物。
〔式(V)中，X所示點線表示可由鹵素原子所取代之碳數6~12的芳香環。
Y表示氧原子、硫原子。
R1表示碳數1~6的烷基。
R2表示可由鹵素原子所取代之碳數1~12的烷基或可由鹵素原子所取代之芳基。〕
作為鹵素原子，可舉出氟原子、氯原子、溴原子等。
作為碳數6~12之芳香環，可舉出苯環、萘環等。
作為可由鹵素原子所取代之碳數6~12的芳香環，可舉出苯環、甲基苯環、二甲基苯環、乙基苯環、丙基苯環、丁基苯環、戊基苯環、己基苯環、環己基苯環、氯苯環、二氯苯環、溴苯環、二溴苯環、苯基苯環、氯苯基苯環、溴苯基苯環、萘環、氯萘環、溴萘環等。
作為碳數1~6的烷基，可舉出甲基、乙基、n-丙基、異丙基、n-丁基、1-甲基-n-丙基、2-甲基-n-丙基、tert-丁基、n-戊基、1-甲基-n-丁基、2-甲基-n-丁基、3-甲基-n-丁基、1,1-二甲基-n-丙基、1,2-二甲基-n-丙基、2,2-二甲基-n-丙基、n-己基、環己基等。
作為可由鹵素原子所取代之碳數1~12的烷基，可舉 出甲基、乙基、n-丙基、異丙基、n-丁基、1-甲基-n-丙基、2-甲基-n-丙基、tert-丁基、n-戊基、1-甲基-n-丁基、2-甲基-n-丁基、3-甲基-n-丁基、1,1-二甲基-n-丙基、1,2-二甲基-n-丙基、2,2-二甲基-n-丙基、n-己基、環己基、1-氯-n-丁基、2-氯-n-丁基、3-氯-n-丁基等。
作為可由鹵素原子所取代之芳基，可舉出苯基、氯苯基、二氯苯基、溴苯基、二溴苯基、氯溴苯基、聯苯基、氯聯苯基、二氯聯苯基、溴苯基、二溴苯基、萘基、氯萘基、二氯萘基、溴萘基、二溴萘基等。
且，本說明書中對於所有化學結構式，依碳數而相異，但無特別限定下，各取代基可適用上述例示。又，可為直鏈或分支之雙方者皆含於此。
作為式(V)所示化合物，具體可舉出2-苯醯基伸甲基-3-甲基-萘並〔2,1-d〕噻唑啉、2-苯醯基伸甲基-3-甲基-萘並〔1,2-d〕噻唑啉、2-苯醯基伸甲基-3-甲基-萘並〔2,3-d〕噻唑啉、2-(2-萘醯伸甲基)-3-甲基苯並噻唑啉、2-(1-萘醯伸甲基)-3-甲基苯並噻唑啉、2-(2-萘醯伸甲基)-3-甲基-5-苯基苯並噻唑啉、2-(1-萘醯伸甲基)-3-甲基-5-苯基苯並噻唑啉、2-(2-萘醯伸甲基)-3-甲基-5-氟苯並噻唑啉、2-(1-萘醯伸甲基)-3-甲基-5-氟苯並噻唑啉、2-(2-萘醯伸甲基)-3-甲基-5-氯苯並噻唑啉、2-(1-萘醯伸甲基)-3-甲基-5-氯苯並噻唑啉、 2-(2-萘醯伸甲基)-3-甲基-5-溴苯並噻唑啉、2-(1-萘醯伸甲基)-3-甲基-5-溴苯並噻唑啉、2-(4-聯苯基伸甲基)-3-甲基苯並噻唑啉、2-(4-聯苯基伸甲基)-3-甲基-5-苯基苯並噻唑啉、2-(2-萘醯伸甲基)-3-甲基-萘並〔2,1-d〕噻唑啉、2-(2-萘醯伸甲基)-3-甲基-萘並〔1,2-d〕噻唑啉、2-(4-聯苯基伸甲基)-3-甲基-萘並〔2,1-d〕噻唑啉、2-(4-聯苯基伸甲基)-3-甲基-萘並〔1,2-d〕噻唑啉、2-(p-氟苯醯基伸甲基)-3-甲基-萘並〔2,1-d〕噻唑啉、2-(p-氟苯醯基伸甲基)-3-甲基-萘並〔1,2-d〕噻唑啉、2-苯醯基伸甲基-3-甲基-萘並〔2,1-d〕噁唑啉、2-苯醯基伸甲基-3-甲基-萘並〔1,2-d〕噁唑啉、2-苯醯基伸甲基-3-甲基-萘並〔2,3-d〕噁唑啉、2-(2-萘醯伸甲基)-3-甲基苯並噁唑啉、2-(1-萘醯伸甲基)-3-甲基苯並噁唑啉、2-(2-萘醯伸甲基)-3-甲基-5-苯基苯並噁唑啉、2-(1-萘醯伸甲基)-3-甲基-5-苯基苯並噁唑啉、2-(2-萘醯伸甲基)-3-甲基-5-氟苯並噁唑啉、2-(1-萘醯伸甲基)-3-甲基-5-氟苯並噁唑啉、2-(2-萘醯伸甲基)-3-甲基-5-氯苯並噁唑啉、 2-(1-萘醯伸甲基)-3-甲基-5-氯苯並噁唑啉、2-(2-萘醯伸甲基)-3-甲基-5-溴苯並噁唑啉、2-(1-萘醯伸甲基)-3-甲基-5-溴苯並噁唑啉、2-(4-聯苯基伸甲基)-3-甲基苯並噁唑啉、2-(4-聯苯基伸甲基)-3-甲基-5-苯基苯並噁唑啉、2-(2-萘醯伸甲基)-3-甲基-萘並〔2,1-d〕噁唑啉、2-(2-萘醯伸甲基)-3-甲基-萘並〔1,2-d〕噁唑啉、2-(4-聯苯基伸甲基)-3-甲基-萘並〔2,1-d〕噁唑啉、2-(4-聯苯基伸甲基)-3-甲基-萘並〔1,2-d〕噁唑啉、2-(p-氟苯醯基伸甲基)-3-甲基-萘並〔2,1-d〕噁唑啉、2-(p-氟苯醯基伸甲基)-3-甲基-萘並〔1,2-d〕噁唑啉等。
其中較佳可舉出式(V-1)所示之2-(2-萘醯伸甲基)-3-甲基苯並噻唑啉、式(V-2)所示之2-苯醯基伸甲基-3-甲基-萘並〔1,2-d〕噻唑啉及式(V-3)所示之2-(4-聯苯基伸甲基)-3-甲基-萘並〔1,2-d〕噻唑啉。
使用這些化合物時，所得之感光性樹脂組成物為高感度，故使用此形成塗膜或圖型時，可提高塗膜或圖型之生產性，故較佳。式(V)所示之化合物不會藉由塗膜之後烘焙時的熱而昇華，藉由光及熱之至少任一方之作用而退色並提高透明性，故較佳。
又，作為聚合啟始助劑(C-1)，可使用選自式(VI)及式(VII)所成群之至少1種所示之化合物。
又，作為聚合啟始助劑(C-1)，可使用選自式(VI)及式(VII)所成群之至少1種所示之化合物。
〔式(VI)及式(VII)中，環X1及環X2各獨立表示可由鹵素原子所取代之碳數6~12的芳香環或雜環。Y1及Y2表示氧原子或硫原子。R1及R2表示碳數1~12的烷基或碳數6~12的芳基。這些烷基及芳基可由鹵素原子、羥基或碳數1~6的烷氧基所取代。
作為可由鹵素原子所取代之芳香環或雜環，可舉出苯環、甲基苯環、二甲基苯環、乙基苯環、丙基苯環、丁基苯環、戊基苯環、己基苯環、環己基苯環、氯苯環、二氯苯環、溴苯環、二溴苯環、苯基苯環、氯苯基苯環、溴苯基苯環、萘環、氯萘環、溴萘環、菲環、屈環、熒蒽環、苯並〔a〕芘環、苯並〔e〕芘環、苝環及彼等衍生物等。
作為羥基取代烷基，可舉出羥基甲基、羥基乙基、羥基丙基、羥基丁基等。
作為羥基取代芳基，可舉出羥基苯基、羥基萘基等。
作為烷氧基取代烷基，可舉出甲氧基甲基、甲氧基乙基、甲氧基丙基、甲氧基丁基、丁氧甲基、乙氧基乙基、乙氧基丙基、丙氧基丁基等。
作為烷氧基取代芳基，可舉出甲氧基苯基、乙氧基萘基等。
式(VI)及式(VII)所示之化合物，具體可舉出二甲氧基萘、二乙氧基萘、二丙氧基萘、二異丙氧基萘、二丁氧萘等二烷氧基萘類；二甲氧基蒽、二乙氧基蒽、二丙氧基蒽、二異丙氧基蒽、二丁氧蒽、二戊羥蒽、二六羥蒽、甲氧基乙氧基蒽、甲氧基丙氧基蒽、甲氧基異丙氧基 蒽、甲氧基丁氧蒽、乙氧基丙氧基蒽、乙氧基異丙氧基蒽、乙氧基丁氧蒽、丙氧基異丙氧基蒽、丙氧基丁氧蒽、異丙氧基丁氧蒽等二烷氧基蒽類；二甲氧基丁省、二乙氧基丁省、二丙氧基丁省、二異丙氧基丁省、二丁氧丁省等二烷氧基丁省類；等。
又，作為上述聚合啟始劑(C)，可使用光聚合啟始劑。
作為光聚合啟始劑，例如可舉出苯偶因系化合物、二苯甲酮系化合物、噻噸酮系化合物、蒽系化合物等。
作為苯偶因系化合物，例如可舉出苯偶因、苯偶因甲基醚、苯偶因乙基醚、苯偶因異丙基醚、苯偶因異丁基醚等。
作為前述二苯甲酮系化合物，例如可舉出二苯甲酮、o-苯醯基安息香酸甲酯、4-苯基二苯甲酮、4-苯醯基-4’-甲基二苯基硫化物、3,3’,4,4’-四(tert-丁基過氧羰基)二苯甲酮、2,4,6-三甲基二苯甲酮等。
作為前述噻噸酮系化合物，例如可舉出2-異丙基噻噸酮、4-異丙基噻噸酮、2,4-二乙基噻噸酮、2,4-二氯噻噸酮、1-氯-4-丙氧基噻噸酮等。
作為前述蒽系化合物，例如可舉出9,10-二甲氧基蒽、2-乙基-9,10-二甲氧基蒽、9,10-二乙氧基蒽、2-乙基-9,10-二乙氧基蒽等。
且，可將10-丁基-2-氯吖啶酮、2-乙基蒽醌、苯甲基、9,10-菲醌、樟腦醌、苯基乙醛酸甲酯、二茂鈦化合物 等作為光聚合啟始劑使用。
又，作為具有引起連鎖移動之基的光聚合啟始劑，可使用特表2002-544205號公報所記載之光聚合啟始劑。
作為具有引起前述連鎖移動之基的光聚合啟始劑，例如可舉出下述式(1)~(6)之光聚合啟始劑。
前述具有引起連鎖移動的基之光聚合啟始劑，亦可作為構成樹脂(A)之成分使用。
且，可同時使用上述聚合啟始劑、與聚合啟始助劑(C-2)為佳。
作為聚合啟始助劑(C-2)，可舉出胺化合物及羧酸化合物等。
作為胺化合物，可舉出三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三異丙醇胺等脂肪族胺化合物、如4-二甲基胺基安息香酸甲酯、4-二甲基胺基安息香酸乙酯、4-二甲基胺基安息香酸異戊基、4-二甲基胺基安息香酸2-乙基己基、安息香酸2-二甲基胺基乙基、N,N-二甲基對甲苯胺、4,4’-雙(二甲基胺基)二苯甲酮(通稱；米蚩酮)、4,4’-雙(二乙基胺基)二苯甲酮之芳香族胺化合物。
作為羧酸化合物，可舉出苯硫乙酸、甲基苯硫乙酸、乙基苯硫乙酸、甲基乙基苯硫乙酸、二甲基苯硫乙酸、甲氧基苯硫乙酸、二甲氧基苯硫乙酸、氯苯硫乙酸、二氯苯硫乙酸、N-苯基甘胺酸、苯氧基乙酸、萘基硫乙酸、N-萘基甘胺酸、萘氧基乙酸等芳香族雜乙酸類。
聚合啟始劑(C)之含有量對於樹脂(A)及聚合性化合物(B)之合計量而言，以質量分率表示較佳為0.1~40質量%，更佳為1~30質量%。
聚合啟始劑(C)之合計量為該範圍時，感光性樹脂組成物可高感度，使用該感光性樹脂組成物所形成之塗膜或圖型之強度、或於塗膜或圖型之表面的平滑性會良好，故較佳。
聚合啟始助劑(C-1)及/或(C-2)之使用量對於樹 脂(A)及聚合性化合物(B)之合計量而言，以質量分率表示，較佳為0.01~50質量%，更佳為0.1~40質量%。
聚合啟始助劑(C-1)及/或(C-2)之量為該範圍時，所得之感光性樹脂組成物之感度可進一步提高，使用該感光性樹脂組成物所形成之圖型基板的生產性提高，故較佳。
特別為使用式(V)所示之化合物時，該含有量對於聚合啟始助劑(C-1)之含有量，較佳為50質量%~100質量%，更佳為60質量%~100質量%，特佳為65質量%~100質量%。式(V)所示之化合物之含有量為該範圍時，使用含此的感光性樹脂組成物形成塗膜時，塗膜之透明性為良好，故較佳。
又，本發明的感光性樹脂組成物可進一步含有多官能硫醇化合物(T)。該多官能硫醇化合物(T)為分子內具有2個以上之磺醯基的化合物。其中，使用具有2個以上的與2個以上之脂肪族烴基的碳原子結合的磺醯基之化合物時，本發明的感光性樹脂組成物之感度可提高，故較佳。
作為多官能硫醇化合物(T)，具體可舉出己烷二硫醇、癸烷二硫醇、1,4-二甲基氫硫基苯、丁二醇雙硫丙酸酯、丁二醇雙硫乙醇酸酯、乙二醇雙硫乙醇酸酯、三羥甲基丙烷參硫乙醇酸酯、丁二醇雙硫丙酸酯、三羥甲基丙烷參硫丙酸酯、三羥甲基丙烷參硫乙醇酸酯、季戊四醇肆硫 丙酸酯、季戊四醇肆硫乙醇酸酯、參羥基乙基參硫丙酸酯、季戊四醇肆(3-氫硫基丁酸酯)、1,4-雙(3-氫硫基丁醯氧)丁烷等。
多官能硫醇化合物(T)之含有量對於聚合啟始劑(C)之質量分率而言，較佳為0.5~100質量%，更佳為1~90質量%。又，多官能硫醇化合物之含有量對於膠黏劑樹脂(A)及光聚合性化合物(C)之合計量而言，以質量分率表示時，較佳為0.1~20質量%，更佳為1~10質量%。多官能硫醇化合物(T)的含有量於該範圍時，感度會提高，又顯像性會良好，故較佳。
使用於本發明的感光性樹脂組成物之溶劑(D)為，可均勻地溶解樹脂(A)、聚合性化合物(B)及聚合啟始劑(C)等構成成分，且不與各成分進行反應者為佳。
又，溶劑(D)為至少含有式(I)
R1-O-(A-O)n-R2 (I)
(式(I)中，R1及R2各獨立表示直鏈狀或分支狀的碳數1~4的烷基。A表示直鏈狀或分支狀的碳數為1~3之伸烷基。n表示2或3之整數。複數的A可為相同或相異。)
所示之溶劑。
作為烷基，可舉出甲基、乙基、n-丙基、異丙基、n-丁基、1-甲基-n-丙基、2-甲基-n-丙基、tert-丁基等，作為伸烷基，可舉出伸甲基、伸乙基、伸丙基、甲基伸乙基等。
作為式(I)之化合物，具體可舉出二甲二醇二甲基醚、三甲二醇二甲基醚、二乙二醇二甲基醚、三乙二醇二甲基醚、二丙二醇二甲基醚、三丙二醇二甲基醚、二甲二醇甲基乙基醚、三甲二醇甲基乙基醚、二乙二醇甲基乙基醚、三乙二醇甲基乙基醚、二丙二醇甲基乙基醚、三丙二醇甲基乙基醚、二甲二醇甲基丙基醚、三甲二醇甲基丙基醚、二乙二醇甲基丙基醚、三乙二醇甲基丙基醚、二丙二醇甲基丙基醚、三丙二醇甲基丙基醚、二甲二醇甲基丁基醚、三甲二醇甲基丁基醚、二乙二醇甲基丁基醚、三乙二醇甲基丁基醚、二丙二醇甲基丁基醚、三丙二醇甲基丁基醚、二甲二醇二乙基醚、三甲二醇二乙基醚、二乙二醇二乙基醚、三乙二醇二乙基醚、二丙二醇二乙基醚、三丙二醇二乙基醚、二甲二醇乙基丙基醚、三甲二醇乙基丙基醚、二乙二醇乙基丙基醚、三乙二醇乙基丙基醚、二丙二醇乙基丙基醚、三丙二醇乙基丙基醚、二甲二醇乙基丁基醚、三甲二醇乙基丁基醚、二乙二醇乙基丁基醚、三乙二醇乙基丁基醚、二丙二醇乙基丁基醚、三丙二醇乙基丁基醚、二甲二醇二丙基醚、三甲二醇二丙基醚、二乙二醇二丙基醚、三乙二醇二丙基醚、 二丙二醇二丙基醚、三丙二醇二丙基醚、二甲二醇丙基丁基醚、三甲二醇丙基丁基醚、二乙二醇丙基丁基醚、三乙二醇丙基丁基醚、二丙二醇丙基丁基醚、三丙二醇丙基丁基醚、二甲二醇二丁基醚、三甲二醇二丁基醚、二乙二醇二丁基醚、三乙二醇二丁基醚、二丙二醇二丁基醚、三丙二醇二丁基醚等。
其中亦以二乙二醇甲基乙基醚、二乙二醇甲基丁基醚、三乙二醇二甲基醚為佳。
且，將式(I)之溶劑以2種以上組合使用為佳。藉由組合彼等溶劑而使用時，可確保與感光性樹脂組成物之各成分的相溶性，藉由種種塗佈法，特別旋轉塗佈法，於凹凸基板上塗佈時，亦可有效地防止條紋產生。
式(I)之溶劑對於溶劑全量而言，含有50~100質量%為佳，含有70~100質量%為較佳，含有90~100質量%為更佳。式(I)的溶劑之含有量於該範圍時，可於旋轉塗佈、狹縫旋轉塗佈、狹縫式塗佈(亦稱為塑模塗佈、簾幕吹塑塗佈)、注射式塗佈、輥塗佈、浸漬塗佈等種種塗佈裝置，得到良好塗佈性。
特別為，溶劑(D)含有二乙二醇乙基甲基醚時，對於溶劑全量而言，含有二乙二醇乙基甲基醚10~100質量%為佳，含有10~90質量%為較佳，含有30~90質量%為更佳。
又，溶劑(D)含有二乙二醇丁基甲基醚及/或三乙 二醇二甲基醚時，對於溶劑全量而言，含有二乙二醇丁基甲基醚及/或三乙二醇二甲基醚0~50質量%為佳，含有10~50質量%為較佳。
藉由成為該範圍，特別為旋轉塗佈法時，可有效地防止條紋之產生。
溶劑(D)可僅由上述以外之溶劑所構成者為佳，亦可含有其他溶劑。
作為其他溶劑，例如可舉出單醇、多元醇等醇類、以下所例示之醚類、芳香族烴類、酮類、酯類等。
作為如此醇類，可舉出甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、戊醇、己醇、環己醇、丙二醇甲基醚、丙二醇乙基醚、丙二醇丙基醚、乙二醇、乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚、乙二醇單丙基醚、乙二醇單丁基醚、乳酸甲酯、乳酸乙酯、2-甲基乳酸甲酯、二丙酮醇、3-甲氧基丁醇、甘油等。其中亦以3-甲氧基丁醇為佳。
醇類對於溶劑(D)全量而言，其含有量較佳為0~50質量%，更佳為10~50質量%，特佳為10~45質量%，最佳為10~40質量%。
藉由使醇為該範圍時，可充分得到樹脂等溶解性之同時，可調整成適當黏度，達到所得之塗膜的均勻性。又，使用擠壓式塗佈機進行感光性樹脂組成物的塗佈時，亦可防止噴嘴先端之乾燥，可藉由乾燥物抑制異物析出，可確保防止因異物所引起的縱條紋。
又，作為他溶劑，可舉出如乙二醇單甲基醚、乙二醇 單乙基醚、乙二醇單丙基醚及乙二醇單丁基醚之乙二醇單烷基醚類；甲基溶纖劑乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯、乙二醇單丁基醚乙酸酯、乙二醇單乙基醚乙酸酯等乙二醇烷基醚乙酸酯類；丙二醇單甲基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙酸酯、丙二醇單丙基醚乙酸酯、甲氧基丁基乙酸酯、甲氧基戊基乙酸酯等烷二醇烷基醚乙酸酯類；丙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚、丙二醇單丙基醚、丙二醇單丁基醚等丙二醇單烷基醚類；丙二醇二甲基醚、丙二醇二乙基醚、丙二醇乙基甲基醚、丙二醇二丙基醚丙二醇丙基甲基醚、丙二醇乙基丙基醚等丙二醇二烷基醚類丙二醇甲基醚丙酸酯、丙二醇乙基醚丙酸酯、丙二醇丙基醚丙酸酯、丙二醇丁基醚丙酸酯等丙二醇烷基醚丙酸酯類；甲氧基丁基醇、乙氧基丁基醇、丙氧基丁基醇、丁氧丁基醇等丁基二醇單烷基醚類；甲氧基丁基乙酸酯、乙氧基丁基乙酸酯、丙氧基丁基乙酸酯、丁氧丁基乙酸酯等丁二醇單烷基醚乙酸酯類；甲氧基丁基丙酸酯、乙氧基丁基丙酸酯、丙氧基丁基丙酸酯、丁氧丁基丙酸酯等丁二醇單烷基醚丙酸酯類；苯、甲苯、二甲苯、均三甲苯等芳香族烴類；甲基乙基酮、丙酮、甲基戊酮、甲基異丁基酮、環己 酮等酮類；乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、2-羥基丙酸乙酯、2-羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、羥基乙酸甲酯、羥基乙酸乙酯、羥基乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3-羥基丙酸甲酯、3-羥基丙酸乙酯、3-羥基丙酸丙酯、3-羥基丙酸丁酯、2-羥基-3-甲基丁烷酸甲酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸丙酯、乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸甲酯、丙氧基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、丙氧基乙酸丁酯、丁氧乙酸甲酯、丁氧乙酸乙酯、丁氧乙酸丙酯、丁氧乙酸丁酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸丁酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸丁酯、2-丁氧丙酸甲酯、2-丁氧丙酸乙酯、2-丁氧丙酸丙酯、2-丁氧丙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸丙酯、3-甲氧基丙酸丁酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸丙酯、3-乙氧基丙酸丁酯、3-丙氧基丙酸甲酯、3-丙氧基丙酸乙酯、3-丙氧基丙酸丙酯、3-丙氧基丙酸丁酯、3-丁氧丙酸甲酯、3-丁氧丙酸乙酯、3-丁氧丙酸丙酯、3-丁氧丙酸丁基等酯類；四氫呋喃、吡喃等環狀醚類；γ-丁內酯等環狀酯類等。
上述溶劑中，由塗佈性、乾燥性之觀點來看，沸點為100℃~200℃之有機溶劑為佳。其中亦可舉出烷二醇烷基醚乙酸酯類、酮類、丁二醇烷基醚乙酸酯類、丁二醇單烷基醚類、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲基等酯類，以丙二醇單甲基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙酸酯、環己酮、甲氧基丁基乙酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲基為佳。
本發明的感光性樹脂組成物於實質上未含有顏料及染料等著色劑。即，本發明之感光性樹脂組成物中，對於組成物全體之著色劑的含量以質量分率表示時，較佳為未達1質量%，較佳為未達0.5質量%。
本發明的感光性樹脂組成物為實質上未含有該領域所使用之以下著色劑。
The Society of Dyers and Colourists出版中分類為Pigment之化合物、具體可舉出C.I.Pigment黃1、3、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、128、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173、194、214等黃色顏料；C.I.Pigment橘13、31、36、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65、71、73等橘色之顏料；C.I.Pigment紅9、97、105、122、123、144、149、166、168、176、177、180、192、209、215、216、224、242、254、255、264、265等紅色顏料； C.I.Pigment藍15、15：3、15：4、15：6、60等藍色顏料；C.I.Pigment紫1、19、23、29、32、36、38等紫色顏料；C.I.Pigment綠7、36等綠色顏料；C.I.Pigment棕色23、25等棕色色顏料；C.I.Pigment黑1、7等黑色顏料。
本發明的感光性樹脂組成物中，視必要可併用填充劑、其他高分子化合物、界面活性劑、密著促進劑、抗氧化劑、紫外線吸收劑、光安定劑、連鎖移動劑等種種添加劑。
作為填充劑，例如可舉出玻璃、二氧化矽、氧化鋁等。
作為其他高分子化合物，例如可舉出環氧樹脂、馬來醯亞胺樹脂等硬化性樹脂聚乙烯基醇、聚丙烯酸、聚乙二醇單烷基醚、聚氟烷基丙烯酸酯、聚酯、聚尿烷等熱可塑性樹脂等。
作為界面活性劑，可微聚矽氧系、氟系、酯系、陽離子系、陰離子系、非離子系、兩性等界面活性劑等任一種。具體可舉出聚環氧乙烯烷基醚類、聚環氧乙烯烷基苯基醚類、聚乙二醇二酯類、山梨醇酐脂肪酸酯類、脂肪酸變性聚酯類、3級胺變性聚尿烷類、聚乙烯亞胺類等以外，亦可使用販賣的界面活性劑。例如可舉出商品名之KP(信越化學工業(股)製)、Polyflow(共榮公司化學 (股)製)、Eftop(三菱Material電子化成(股))、Megafac(DIC(股)製)、Fluorad(住友3M(股)製)、Surflon(AGCSeimichemical(股)製)、Solsperse(Zeneca(股)製)、EFKA(CIBA公司製)、AJISPERPB821(味之素(股)製)等。
作為密著促進劑，例如可舉出乙烯基三甲氧基矽烷、乙烯基三乙氧基矽烷、乙烯基參(2-甲氧基乙氧基)矽烷、N-(2-胺基乙基)-3-胺基丙基甲基二甲氧基矽烷、N-(2-胺基乙基)-3-胺基丙基三甲氧基矽烷、3-胺基丙基三乙氧基矽烷、3-環氧丙氧基丙基三甲氧基矽烷、3-環氧丙氧基丙基甲基二甲氧基矽烷、2-(3,4-環氧環己基)乙基三甲氧基矽烷、3-氯丙基甲基二甲氧基矽烷、3-氯丙基三甲氧基矽烷、3-甲基丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷、3-氫硫基丙基三甲氧基矽烷等。
作為抗氧化劑，例如可舉出2-tert-丁基-6-(3-tert-丁基-2-羥基-5-甲基苯甲基)-4-甲基苯基丙烯酸酯、2-〔1-(2-羥基-3,5-二-tert-戊基苯基)乙基〕-4,6-二-tert-戊基苯基丙烯酸酯、6-〔3-(3-tert-丁基-4-羥基-5-甲基苯基)丙氧基〕-2,4,8,10-四-tert-丁基二苯並d、f〕〔1,3,2〕二噁磷環庚烷、3,9-雙〔2-{3-(3-tert-丁基-4-羥基-5-甲基苯基)丙醯氧基}-1,1-二甲基乙基〕-2,4,8,10-四噁螺〔5.5〕十一烷、2,2’-伸甲基雙(6-tert-丁基-4-甲基酚)、4,4’-亞丁基雙(6-tert-丁基-3-甲基酚)、4,4’-硫雙(2-tert-丁基-5-甲基酚)、2,2’-硫雙(6-tert-丁基-4-甲基酚)、二月桂 基3,3’-硫二丙酸酯、肉豆蔻基3,3’-硫二丙酸酯、二硬脂醯基3,3’-硫二丙酸酯、季戊四醇肆(3-月桂基硫丙酸酯)、1,3,5-參(3,5-二-tert-丁基-4-羥基苯甲基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、3,3’,3”,5,5’,5”-六-tert-丁基-a,a’,a”-(均三甲苯-2,4,6-三基)三-p-甲酚、季戊四醇肆〔3-(3,5-二-tert-丁基-4-羥基苯基)丙酸酯〕、2,6-二-tert-丁基-4-甲基酚等。
作為紫外線吸收劑，例如可舉出2-(2-羥基-5-tert-丁基苯基)-2H-苯並三唑、辛基-3-〔3-tert-丁基-4-羥基-5-(5-氯-2H-苯並三唑-2-基)苯基〕丙酸酯、2-〔4-〔(2-羥基-3-十二烷氧丙基)氧基〕-2-羥基苯基〕-4,6-雙(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪、2-〔4-〔(2-羥基-3-(2’-乙基)己基)氧基〕-2-羥基苯基〕-4,6-雙(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪、2,4-雙(2-羥基-4-丁氧苯基)-6-(2,4-雙-丁氧苯基)-1,3,5-三嗪、2-(2-羥基-4-〔1-辛基氧羰基乙氧基〕苯基)-4,6-雙(4-苯基苯基)-1,3,5-三嗪、2-(2H-苯並三唑-2-基)-4,6-雙(1-甲基-1-苯基乙基)酚、2-(2H-苯並三唑-2-基)-6-(1-甲基-1-苯基乙基)-4-(1,1,3,3-四甲基丁基)酚、2-(3-tert-丁基-2-羥基-5-甲基苯基)-5-氯苯並三唑、烷氧基二苯甲酮等。
作為光安定劑，例如可舉出由琥珀酸與(4-羥基-2,2,6,6-四甲基哌啶-1-基)乙醇所成之高分子、N,N',N",N'''-肆(4,6-雙(丁基-(N-甲基-2,2,6,6-四甲基哌啶-4-基)胺基)三嗪-2-基)-4,7-二氮雜癸烷-1,10-二 胺、癸二酸、雙(2,2,6,6-四甲基-1-(辛氧)-4-哌啶基)酯、與1,1-二甲基乙基氫過氧化物之反應物、雙(1,2,2,6,6-五甲基-4-哌啶基)-〔〔3,5-雙(1,1-二甲基乙基)-4-羥基苯基〕甲基〕丁基丙二酸酯、2,4-雙〔N-丁基-N-(1-環己氧-2,2,6,6-四甲基哌啶-4-基)胺基〕-6-(2-羥基乙基胺)-1,3,5-三嗪、雙(1,2,2,6,6-五甲基-4-哌啶基)癸二酸酯、甲基(1,2,2,6,6-五甲基-4-哌啶基)癸二酸酯等。
作為連鎖移動劑，例如可舉出十二烷基硫醇、2,4-二苯基-4-甲基-1-戊烯等。
本發明的感光性樹脂組成物，例如如後述，藉由塗佈於形成基材、例如玻璃、金屬、塑質等基板、彩色過濾器、各種絕緣膜或導電膜、驅動電路等之這些基板上，可作為塗膜而形成。塗膜係以經乾燥及硬化者為佳。又，將所得之塗膜以所望形狀形成圖型，而可作為圖型使用。且，將這些塗膜及/或圖型作為顯示裝置等構成零件一部分形成後使用。
又，本發明的硬化性樹脂組成物為，填充於光路長為1cm之石英容器中，使用分光光度計，於測定波長400~700nm之條件下測定透過率時，平均透過率較佳為70%以上，更佳為75%以上。藉此，於可見光領域中，可形成透明之圖型或塗膜。
首先，將本發明的感光性樹脂組成物於基材上進行塗佈。
塗佈如上述，可使用旋轉塗佈、狹縫旋轉塗佈、狹縫式塗佈、注射式塗佈、輥塗佈、浸漬塗佈等種種塗佈裝置而進行。其中由溶解性、乾燥防止、異物之產生防止等來看，藉由旋轉塗佈法之塗佈，換言之利用狹縫旋轉塗佈及旋轉塗佈等進行塗佈為佳。
其次，經乾燥及/或預烘焙，將溶劑等揮發成分除去為佳。藉此，可得到平滑未硬化塗膜。
此時的塗膜之膜厚並無特別限定，依所使用的材料、用途等可作適宜調整，例如可舉出1~6μm程度。
且，於所得之未硬化塗膜上，欲形成目的之圖型時，介著光罩，經由光，例如水銀燈、發光二極管所產生的紫外線等進行照射。此時的光罩的形狀並無特別限定，可舉出種種形狀。又，線幅度等亦依據光罩尺寸等可適宜調整。
近年來的曝光機中，可將未達350nm之光，使用阻斷該波長域之過濾器使其阻斷、或將436nm附近、408nm附近、365nm附近的光，使用取出這些波長域的帶通濾波器而選擇性地取出，於曝光面全體均勻地照射平行光線。此時欲配合光罩與基材之正確位置進行，可使用光罩對準機、步進(stepper)等裝置。
其後，將塗膜與鹼水溶液接觸的所定部分，例如溶解非曝光部，藉由顯像可得到目的之圖型形狀。
顯像方法可使用溢出法、含浸法、噴霧法等任一種。且顯像時可將基材傾斜於任意角度。
顯像所使用之顯像液，一般為含有鹼性化合物與界面活性劑之水溶液。
鹼性化合物可微無機及有機之鹼性化合物的任一種。
作為無機鹼性化合物之具體例，可舉出氫氧化鈉、氫氧化鉀、磷酸氫二鈉、磷酸二氫鈉、磷酸氫二銨、磷酸二氫銨、磷酸二氫鉀、矽酸鈉、矽酸鉀、碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸氫鈉、碳酸氫鉀、硼酸鈉、硼酸鉀、氨等。
又，作為有機鹼性化合物，例如可舉出四甲基銨氫氧化物、2-羥基乙基三甲基銨氫氧化物、單甲基胺、二甲基胺、三甲基胺、單乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、單異丙基胺、二異丙基胺、乙醇胺等。
這些無機及有機鹼性化合物之鹼顯像液中的濃度較佳為0.01~10質量%，更佳為0.03~5質量%。
界面活性劑可為非離子系界面活性劑、陰離子系界面活性劑或陽離子系界面活性劑之任一種。
作為非離子系界面活性劑，例如可舉出聚環氧乙烯烷基醚、聚環氧乙烯芳基醚、聚環氧乙烯烷基芳基醚、其他聚環氧乙烯衍生物、氧乙烯/氧丙烯嵌段共聚物、山梨醇酐脂肪酸酯、聚環氧乙烯山梨醇酐脂肪酸酯、聚環氧乙烯山梨糖醇脂肪酸酯、甘油脂肪酸酯、聚環氧乙烯脂肪酸酯、聚環氧乙烯烷基胺等。
作為陰離子系界面活性劑，例如可舉出如月桂基醇硫酸酯鈉或油醇硫酸酯鈉之高級醇硫酸酯鹽類、如月桂基硫酸鈉或月桂基硫酸銨之烷基硫酸鹽類、如十二烷基苯磺酸 鈉或十二烷基萘磺酸鈉之烷基芳基磺酸鹽類等。
作為陽離子系界面活性劑，例如可舉出如硬脂醯基胺鹽酸鹽或月桂基三甲基銨氯化物之胺鹽或第四級銨鹽等。
鹼顯像液中之界面活性劑的濃度較佳為0.01~10質量%之範圍，更佳為0.05~8質量%，特佳為0.1~5質量%。
顯像後經水洗，進一步視必要可進行後烘焙。後烘焙為例如於150~230℃之溫度範圍下進行10~180分鐘為佳。
本發明的硬化性樹脂組成物為對於加熱硬化(例如，150~250℃，0.1~3小時)後的3μm厚度的塗膜，使用分光光度計，於測定波長400~700nm之條件下測定透過率時，透過率較佳為90%以上，更佳為95%以上。藉此，可見光區域中可形成透明圖型或塗膜。
如此所得之塗膜或圖型，例如可作為使用於液晶顯示裝置之光間隔物、可形成圖型之保護膜(overcoat)使用。又，對於未硬化塗膜之形成圖型曝光時，藉由使用孔形成用光罩，作為層間絕緣膜為有用。且，對於未硬化塗膜之曝光時，未使用光罩，僅進行全面曝光及加熱硬化或加熱硬化，可形成透明膜。該透明膜可作為保護膜(overcoat)使用。又，亦可使用於觸控面板等顯示裝置上。藉此，可高產率下製造出具備高品質塗膜或圖型之顯示裝置。
本發明的感光性樹脂組成物為形成種種膜及圖型時的 材料，例如適用於形成透明膜、特別為構成彩色過濾器之一部分的透明膜、圖型、光間隔物、保護膜(overcoat)、絕緣膜、液晶配向控制用突起、微透鏡、組合相異膜厚的著色圖型、塗佈層等時。又，將這些塗膜或圖型可作為該構成零件的一部分具備的彩色過濾器、陣列基板等，進一步具備彼等彩色過濾器及/或陣列基板等之顯示裝置，例如液晶顯示裝置、有機EL裝置等而利用。
實施例
以下藉由實施例對本發明之感光性樹脂組成物作詳細說明，本發明並未藉由這些實施例而限定者。又，對於以下實施例及比較例，表示含有量或使用量之%及份，若無特別限定下係以質量為基準。
合成例1
於具備迴流冷卻器、滴下漏斗及攪拌機之1L燒瓶內流入氮0.02L/分使其成為氮氣環境，放入二乙二醇乙基甲基醚140份，一邊攪拌，一邊加熱至70℃。其次調製溶解於甲基丙烯酸40份、3,4-環氧三環〔5.2.1.02.6〕癸基丙烯酸酯(式(I-1)所示之化合物及式(II-1)所示之化合物以莫耳比表示為50：50之混合物。)360份以及二乙二醇乙基甲基醚190份之溶液，將該溶解液使用滴下幫浦， 費時4小時，於保溫於70℃之燒瓶內滴下。
另一方面，將聚合啟始劑2,2’-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)30份溶解於二乙二醇乙基甲基醚240份之溶液，使用另一滴下幫浦，費時5小時滴入燒瓶內。聚合啟始劑溶液之滴下終了後，於70℃下保持4小時，其後冷卻至室溫，得到固體成分42.6%，酸價60mg-KOH/g之共聚合物(樹脂Aa)的溶液。所得之樹脂Aa的重量平均分子量(Mw)為8000，分散度為1.91。
合成例2
於具備迴流冷卻器、滴下漏斗及攪拌機之1L燒瓶內流入氮0.02L/分使其成為氮氣環境，放入二乙二醇乙基甲基醚305份，一邊攪拌一邊加熱至70℃。其次，將甲基丙烯酸60份、3,4-環氧三環〔5.2.1.02.6〕癸基丙烯酸酯(式(I-1)所示之化合物及式(II-1)所示之化合物之莫耳比、50：50之混合物。)240份溶解於二乙二醇乙基甲基醚140份調製出溶液，將該溶解液使用滴下漏斗，費時4小時，於保溫於70℃之燒瓶內滴下。
另一方面，將聚合啟始劑2,2’-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)30份溶解於二乙二醇乙基甲基醚225份之溶液，使用其他滴下漏斗，費時4小時下滴入於燒瓶內。聚合啟始 劑的溶液之滴下終了後，於70℃下保持4小時，其後冷卻至室溫，得到固體成分32.6%，酸價110mg-KOH/g(固體成分換算)之共聚合物(樹脂Ab)的溶液。所得之樹脂Ab的重量平均分子量Mw為13,600，分散度為2.49。
合成例3
於具備迴流冷卻器、滴下漏斗及攪拌機之1L燒瓶內流入氮0.02L/分，作為氮氣環境，放入3-甲氧基-1-丁醇200份及3-甲氧基丁基乙酸酯105份，一邊攪拌一邊加熱至70℃。其次將甲基丙烯酸60份、3,4-環氧三環〔5.2.1.02.6〕癸基丙烯酸酯(式(I-1)所示之化合物及式(II-1)所示之化合物之莫耳比為50：50的混合物。)240份溶解於3-甲氧基丁基乙酸酯140份而調製出溶液，將該溶解液使用滴下漏斗，費時4小時，滴入於保溫70℃之燒瓶內。
另一方面，將聚合啟始劑2,2’-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)30份溶解於3-甲氧基丁基乙酸酯225份之溶液，使用其他滴下漏斗，費時4小時滴入於燒瓶內。聚合啟始劑溶液的滴下終了後，於70℃下保持4小時，其後冷卻至室溫，得到固體成分32.6%，酸價110mg-KOH/g(固體成分換算)之共聚合物(樹脂Ac)的溶液。所得之樹脂Ac的重量平均分子量Mw為13,400，分散度為2.50。
所得之樹脂Aa~Ac的重量平均分子量(Mw)及數平均分子量(Mn)之測定使用GPC法以以下條件進行。
裝置；K2479((股)島津製作所製)
管柱；SHIMADZU Shim-pack GPC-80M
管柱溫度；40℃
溶劑；THF(四氫呋喃)
流速；1.0mL/min
檢測器；RI
將上述所得之聚苯乙烯換算的重量平均分子量及數平均分子量之比作為分散度(Mw/Mn)。
實施例1~10、比較例1
混合表1之組成物，得到感光性樹脂組成物1~11。
表1中各成分如下所示。
聚合性化合物(B)；二季戊四醇六丙烯酸酯(KAYARAD DPHA；日本化藥(股)製)
聚合啟始劑Ca；2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-雙咪唑(B-CIM；保土谷化學(股)製)
啟始助劑C2a；9,10-二丁氧蒽(DBA；川崎化成(股)製)
啟始助劑C2b；季戊四醇肆(3-磺醯基丙酸酯)(PEMP；SC有機化學(股)製)
啟始助劑C2c；2-(2-萘醯伸甲基)-3-甲基苯並噻唑啉
溶劑Da；二乙二醇乙基甲基醚
溶劑Db；二乙二醇丁基甲基醚
溶劑Dc；三乙二醇二甲基醚
溶劑Dd；丙二醇單甲基醚乙酸酯
溶劑De；3-乙氧基乙基丙酸酯
溶劑Df；3-甲氧基1-丁醇
溶劑Dg；3-甲氧基丁基乙酸酯
溶劑Dh；二丙二醇二甲基醚
添加劑1；聚醚變性聚矽氧油(Toray Dow Corning(股)製SH8400)
添加劑2；IRGANOX3114(Ciba Japan公司製)
<條紋評估>
將表2所示各成分以表2所示比率進行混合，得到著色感光性樹脂組成物1。
將4英吋之矽基板以中性洗劑、水及醇的順次洗淨後乾燥。於該矽基板上，將著色感光性樹脂組成物1以100mJ/cm2的曝光量(365nm)進行曝光、顯像、水洗、後烘焙後之膜厚成為3.0μm下進行轉動塗佈。其次，無塵烤箱中，於90℃進行3分鐘預烘焙。冷卻後，將該著色感光性樹脂組成物1進行塗佈之基板與石英玻璃製光罩之間隔設定為100μm，使用曝光機(TME-150RSK；Topcon(股)製之光源；超高壓水銀燈)，於大氣環境下，以100mJ/cm2之曝光量(365nm基準)進行光照射。且，此時對於著色感光性樹脂組成物之照射為，將由超高壓水銀燈之放射光通過光學過濾器(UV-35；旭TECHNO GLASS (股)製)而使用。又，作為光罩，使用圖型(具有1邊為10mm之正方形的透光部，該正方形之間隔為100mm)形成於同一平面上之光罩。
光照射後，於含有非離子系界面活性劑0.12%與氫氧化鉀0.04%之水系顯像液以23℃下將上述塗膜浸漬80秒並顯像，水洗後烤箱中，進行220℃之20分鐘後烘焙，做成具有邊長10mm之著色圖型的矽基板。
於該具有邊長10mm之著色圖型的矽基板上，將實施例1~6、及比較例1的感光性樹脂組成物，使用旋轉塗佈使其硬化後之膜厚成為2.0μm之條件下進行塗佈。其後，以減壓乾燥機(VCDMicrotek(股)製)將減壓度減壓乾燥至1.0torr。繼續載持於設定為95℃之熱板上，其上進行2分鐘預烘焙並形成塗膜。冷卻後將膜表面以Na燈照射，以目視確認塗膜表面。
其結果，對於實施例1~6，沿著著色圖型幾乎未確認出條紋。結果如表3所示。
其中，所謂條紋為來自著色圖型之段差的放射線狀之斑點。
<感光性樹脂組成物之平均透過率>
對於感光性樹脂組成物1，使用紫外可見分光光度計(V-650DS；日本分光(股)製)(石英容器，光路長；1cm)，測定出400~700nm中之平均透過率(%)。結果如表3所示。
<塗膜之平均透過率>
於光照射時，不使用光罩以外，進行與前述同樣之操作，使後烘焙後之膜厚成為2.0μm而製作塗膜。將所製作的塗膜之波長400~700nm中的平均透過率(%)使用顕微分光測光裝置(OSP-SP200；OLYMPUS公司製)進行測定。結果如表3所示。
如此，使用本發明的感光性樹脂組成物形成塗膜時，即使於比較厚之膜上進行塗佈形成時，可形成不會產生條紋，塗膜全體為均勻且平滑之高品質塗膜。
又，可縮短塗佈乾燥時間，達到生產性之提高，另一方面，可抑制隙縫噴嘴之先端乾燥，可防止乾燥所引起的異物產生、對塗佈膜之混入及縱條紋。
又，樹脂及各種成分之溶解性為良好，可提高保存安定性。
使用如此感光性樹脂組成物而形成塗膜或圖型，藉由利用彼等製造顯示裝置時，可提高產率。
產業上可利用性
本發明為可形成抑制條紋之產生，塗膜全體為均勻且高品質之塗膜。
又，藉由利用本發明之感光性樹脂組成物，可得到高品質之顯示裝置等。

Claims (9)

  1. 一種感光性樹脂組成物，其特徵為含有樹脂(A)、聚合性化合物(B)、聚合啟始劑(C)及溶劑(D)，作為樹脂(A)為含有聚苯乙烯換算之重量平均分子量為5,000~50,000之樹脂，溶劑(D)為含有彼此相異的2種類以上的式(I)所示之溶劑，且含有選自二乙二醇丁基甲基醚及三乙二醇二甲基醚所成群之至少1種溶劑；R1-O-(A-O)n-R2 (I)(式(I)中，R1及R2各獨立表示直鏈狀或分支狀的碳數1~4的烷基，A表示直鏈狀或分支狀的碳數為1~3之伸烷基，n表示2或3之整數，複數的A可為相同或相異)。
  2. 如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物，其中溶劑(D)為含有二乙二醇乙基甲基醚。
  3. 如申請專利範圍第2項之感光性樹脂組成物，其中溶劑(D)為對於溶劑全量而言，含有10~90質量%之二乙二醇乙基甲基醚。
  4. 如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物，其中溶劑(D)為對於溶劑全量而言，含有10~50質量%之選自二乙二醇丁基甲基醚及三乙二醇二甲基醚所成群之至少1種溶劑。
  5. 如申請專利範圍第1項或第2項之感光性樹脂組成物，其中溶劑(D)為含有選自二乙二醇乙基甲基醚、 以及二乙二醇丁基甲基醚及三乙二醇二甲基醚所成群之至少1種溶劑。
  6. 如申請專利範圍第5項之感光性樹脂組成物，其中溶劑(D)為對於溶劑全量而言，含有合計量為60質量%以上100質量%以下之選自二乙二醇乙基甲基醚、以及二乙二醇丁基甲基醚及三乙二醇二甲基醚所成群之至少1種溶劑。
  7. 一種塗膜，其特徵為使用如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物所形成者。
  8. 一種圖型，其特徵為使用如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物所形成者。
  9. 一種顯示裝置，其特徵為含有選自如申請專利範圍第7項之塗膜及申請專利範圍第8項之圖型所成群之至少1種。
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