TW202308707A - 室內除污設備 - Google Patents

Abstract

(課題) 供給適當數量的除污用薄霧至除污目標房間的各個角落，獲得除污效果的完全的同時，縮短通氣等的工作時間，得以將除污工作效率化，提供能夠達此的室內除污設備。 (解決方法) 使用除污效率優良的細微的除污用薄霧，具有除污設備本體和薄霧排放散佈設備。除污設備本體，配備驅動裝置、和除污藥液的供液裝置；薄霧排放散佈設備，配備薄霧排放裝備和薄霧散佈裝置；薄霧排放裝置，將除污藥液轉變成除污用薄霧，供給至工作室的內部；薄霧散佈裝置，使振動盤作超音波振動而產生聲流，聲音輻射壓力形成的擠壓力作用於供給至工作室內的除污用薄霧，使除污用薄霧散佈在工作室內。

Description

室內除污設備

本發明係有關於排放除污用薄霧（mist）至無菌室（aseptic room）、無塵室（clean room）、病房等的室內，將室內的壁面及室內的裝備除污的室內除污設備，特別是有關於具備薄霧排放散佈設備、根據需要可以移動的室內除污設備。 【技術背景】

傳統上，設置在無菌室、無塵室（clean room）、病房等的室內，排放除污氣體、將除污目標房間內的壁面和室內的裝備除污的室內除污設備，一直為人所熟知。傳統的室內除污設備，本體內具備了除污氣體產生設備，此除污氣體產生設備所產生的除污氣體，從本體的除污氣體排放口直接排放至室內，將除污目標房間的內部加以除污。

順便一提，在利用室內除污設備將除污目標房間的內部加以除污之際，必須將除污氣體從房間的適當位置排放，使除污氣體能夠順利擴散到除污目標房間的每個角落。但是，傳統的室內除污設備，其內設置除污氣體產生設備的本體係大型的，在除污目標房間內可安裝的位置可能受到限制，因此，無法將除污氣體從適當位置排放，使室內的除污變得不夠充分，還有除污要花費許多時間的問題。

又，在將複雜的形狀或室內有障礙物的除污目標房間加以除污的情形時，僅從單一個處所排放除污氣體，將其擴散到每個角落是有困難的，因此，也有必須在除污目標房間配置複數的室內除污設備的問題。因此，本申請人，早先曾提出過下述專利文獻1相關之室內除污設備。

此室內除污設備，係由設置在除污目標房間的主機（main unit）以及與其相連結的複數從機（extension unit）所構成；主機和從機，以除污氣體供給用輸送管（pipe）為媒介連結起來；又，主機和緊湊的從機，由於任何一者都具備除污氣體排放口，可以從除污目標房間的複數的處所排放除污氣體。

另一方面，近年在除污方面已廣泛使用過氧化氫。此過氧化氫，具有強大的滅菌效果，價格便宜而容易取得，並且，最後分解為氧和水，作為對環境友善的除污氣體是有效的。

此過氧化氫產生的除污效果，係藉由冷凝在除污目標部位的表面的過氧化氫水的冷凝膜生成的效果，已記載於下述專利文獻2。因此，預期除污目標房間的除污效果的完全，過氧化氫的供給量要多量，產生的過氧化氫水的冷凝膜能變厚或高濃度的話，是較好的。

【專利文獻】

【專利文獻1】特開2009-273645號公報 【專利文獻2】特公昭61-004543號公報

[發明所要解決的問題]

順帶一提，將過剩數量的過氧化氫供給至除污目標房間的話，則產生過度的冷凝，設置在除污目標房間的壁面和內部的各種機械等，由於已生成的高濃度過氧化氫水的冷凝膜導致腐蝕而出現問題。又，以過氧化氫除污之後，進行用清潔空氣殘留在除污目標房間內部的過氧化氫或冷凝膜的通氣（aeration）；但是，供給過剩數量的過氧化氫的情形時，就會有除去在除污目標房間的壁面等產生的高濃度過氧化氫水的冷凝膜的通氣需要更多的時間的問題。

因此，本發明處理前述的各種問題，使用除污效率優良的細微的除污用薄霧，供給適當數量的除污用薄霧至除污目標房間的每個角落以求得除污效果完全的同時，也能夠縮短通氣等的工作時間而得到除污工作的效率化，以提供這樣的室內除污設備為目標。

要解決前述課題，本發明之團隊專心研究的結果，認為：在室內除污設備中使用利用超音波振動的薄霧排放散佈設備的同時，做成配合需要也可以移動的室內除污設備，藉此可以達到前述目標，本發明至此完成。

亦即，本發明相關之室內除污設備，依據申請專利範圍第1項， 係配置在工作室(CR)的內部，將室內全部除污的室內除污設備(100、200)， 具有除污設備本體(10、40)、和直接或以連接設備(20、50)為媒介而連接該除污設備本體的薄霧排放散佈設備(30、60)； 前述除污設備本體，配備驅動裝置、和供給除污藥液至前述薄霧排放散佈設備的供液裝置； 前述薄霧排放散佈設備，配備薄霧排放裝置(32、62)和薄霧散佈裝置(33、63)； 前述薄霧排放裝置，將前述除污藥液轉變成除污用薄霧，將其供給至前述工作室的內部； 前述薄霧散佈裝置，具備配置了複數的發送器(33a、63a)的基板(34、64)，使該複數的發送器做超音波振動，從上述基板的板面向垂直方向藉由超音波產生聲流（acoustic flow），藉由使該聲流的聲音輻射壓力（acoustic radiation pressure）形成的擠壓力作用於供給至前述工作室內的前述除污用薄霧，使該除污用薄霧散佈在前述工作室內，以此作為特徵。

又，本發明，依據申請專利範圍第2項，係申請專利範圍第1項所記載之室內除污設備， 前述複數的發送器，藉由在前述基板的板面上統一聲波發送方向配置的同時，使其在相同相位運作， 前述複數的發送器的正面方向的超音波相互加強的同時，該複數的發送器的側向的超音波做成互相抵消，由前述基板的板面朝向垂直方向藉由指向性強的超音波產生聲流，以此作為特徵。

又，本發明，依據申請專利範圍第3項，係申請專利範圍第1項或第2項所記載之室內除污設備， 前述薄霧排放散佈裝置，具備連接了前述薄霧排放裝置和前述薄霧散佈裝置的整合單元（integrated unit）(31、61)； 前述整合單元，個別地在前述基板的板面上配置前述薄霧排放裝置的排放口(32a、62a)和前述複數的發送器，以此作為特徵。

又，本發明，依據申請專利範圍第4項，係申請專利範圍第3項所記載之室內除污設備， 前述薄霧排放散佈裝置，具備複數整合單元， 藉由將各整合單元作成的前述除污用薄霧的排放散佈方向分別朝向不同方向，使前述除污用薄霧排放散佈至前述工作室內的各個方向，以此作為特徵。

又，本發明，依據申請專利範圍第5項，係申請專利範圍第1〜4項之任一項所記載之室內除污設備， 前述連接設備，具備藉由前述驅動裝置而伸縮的伸縮機關； 前述薄霧排放散佈裝置，用前述連接設備為媒介，連接至前述除污設備本體的上部分，藉由前述連接設備的伸縮，向上下方向移動，以此為特徵。

又，本發明，依據申請專利範圍第6項，係申請專利範圍第1〜4項之任一項所記載之室內除污設備， 前述連接設備，具備藉由前述驅動裝置而旋轉的旋轉機關； 前述薄霧排放散佈裝置，用前述連接設備為媒介，連接至前述除污設備本體的上部分，藉由前述連接設備的旋轉，向左右方向旋轉，以此為特徵。

又，本發明，依據申請專利範圍第7項，係申請專利範圍第1〜4項之任一項所記載之室內除污設備， 前述連接設備，具備藉由前述驅動裝置而傾斜的傾斜機關； 前述薄霧排放散佈裝置，用前述連接設備為媒介，連接至前述除污設備本體的上部分，藉由前述連接設備的傾斜，向仰角方向或俯角方向傾斜，以此為特徵。

又，本發明，依據申請專利範圍第8項，係申請專利範圍第1〜7項之任一項所記載之室內除污設備， 具有溫度感測器（temperature sensor） (12、42)、濕度感測器（humidity sensor）(12、42)、氣體濃度感測器（gas concentration sensor）(13、43)、冷凝度感測器（condensation degree sensor）(14、44)中的至少一個感測器，以及控制裝置； 用前述感測器的偵檢結果為基礎，控制除污作業，以此為特徵。

又，本發明，依據申請專利範圍第9項，係申請專利範圍第1〜8項之任一項所記載之室內除污設備， 前述室內除污設備，具備分解前述除污藥液的薄霧和氣體的分解單元(16)； 前述分解單元，在除污作業後的通氣之際，回收前述工作室內的前述薄霧和氣體，做分解作業，以此為特徵。

又，本發明，依據申請專利範圍第10項，係申請專利範圍第1〜9項之任一項所記載之室內除污設備， 具備藉由前述驅動裝置在地板表面行進移動的地板表面移動裝置(11)； 藉由人工操縱或自動行進，在前述工作室內行進移動，以此為特徵。

又，本發明，依據申請專利範圍第11項，係申請專利範圍第1〜9項之任一項所記載之室內除污設備， 具備藉由前述驅動裝置而飄浮，在空間移動的空間移動裝置(47)； 藉由人工操縱或自動飛行，在前述工作室內做空間移動，以此為特徵。

又，本發明，依據申請專利範圍第12項，係申請專利範圍第10項或第11項所記載之室內除污設備， 前述地板表面移動裝置或空間移動裝置，具備三維測距感測器（three‐dimensional distance measurement sensor）； 做自動行進或自動飛行時，一面避開前述工作室內的障礙物，以此為特徵。

再者，前述各裝置的括弧內的號碼，係表示與後述的各實施態樣所記載的具體裝置的對應關係。 【發明的成果】

依據前述構造組成，本發明相關之室內除污設備，具有除污設備本體、以及直接連接或靠連接設備為媒介而連接於該除污設備本體的薄霧排放散佈設備。除污設備本體，具備驅動裝置和供給除污藥液至薄霧排放散佈設備的供液裝置；薄霧排放散佈設備，具備薄霧排放裝置和薄霧散佈裝置。

薄霧排放裝置，將除污藥液轉變為除污用薄霧，再將其供給至工作室的內部。薄霧散佈裝置，具備配置了複數的發送器的基板，使該複數的發送器做超音波振動，從基板的板面朝向垂直方向產生超音波的聲流，因此，藉由使聲音輻射壓力（acoustic radiation pressure）形成的擠壓力作用於供給至工作室內的除污用薄霧，使該除污用薄霧散佈在工作室內。

因此，使用除污效率優良的細微的除污用薄霧，供給適當數量的除污用薄霧至除污目標房間的各個角落，以獲得除污效果的完全；同時，縮短通氣等的工作時間，得以將除污工作效率化，可以提供能夠達此的室內除污設備。

又，依據前述構造組成，複數的發送器，在基板的板面上統一聲波發送方向配置的同時，以相同相位運作。如此一來，複數的發送器的正面方向的超音波相互加強的同時，該複數的發送器的側向的超音波做成互相抵消，由基板的板面朝向垂直方向藉著指向性強的超音波產生聲流；因此，可以更具體地顯現前述的作用效果。

又，依據前述構造組成，薄霧排放散佈設備，也可以具備連接了薄霧排放裝置和薄霧散佈裝置的整合單元（integrated unit）；整合單元，個別地在基板的板面上配置薄霧排放裝置的排放口和複數的發送器；因此，可以更具體地顯現前述的作用效果。

又，依據前述構造組成，薄霧排放散佈設備，也可以具備複數的整合單元。再者，藉由各整合單元產生的除污用薄霧的排放方向各別朝向不同方向，可以使除污用薄霧排放散佈至工作室內的各個方向；因此，可以更具體且有效地顯現前述的作用效果。

又，依據前述構造組成，連接設備，也可以具備藉由驅動裝置而伸縮的伸縮機關。薄霧排放散佈設備，以連接設備為媒介，連結至除污設備本體的上部分，藉由連接設備的伸縮，向上下方向移動；薄霧排放散佈設備，由於向上下方向移動，可以從工作室的上方到下方使除污用薄霧排放散佈；因此，可以更具體且有效地顯現前述的作用效果。

又，依據前述構造組成，連接設備，也可以具備藉由驅動裝置而旋轉的旋轉機關。薄霧排放散佈裝置，以連接設備為媒介，連結至除污設備本體的上部分，藉由連接設備的旋轉，向左右方向旋轉；薄霧排放散佈設備，由於向左右方向旋轉，可以使除污用薄霧排放散佈至工作室內的各個方向；因此，可以更具體且有效地顯現前述的作用效果。

又，依據前述構造組成，連接設備，也可以具備藉由驅動裝置而傾斜的傾斜機關。薄霧排放散佈設備，以連接設備為媒介，連結至除污設備本體的上部分，藉由連接設備的傾斜，向仰角方向或俯角方向傾斜；薄霧排放散佈設備，藉著向仰角方向或俯角方向傾斜，可以從工作室的上方到下方使除污用薄霧排放散佈；因此，可以更具體且有效地顯現前述的作用效果。

又，依據前述構造組成，室內除污設備，也可以具有溫度感測器（temperature sensor）、濕度感測器（humidity sensor）、氣體濃度感測器（gas concentration sensor）、冷凝度感測器（condensation degree sensor）中的至少一個感測器，以及控制裝置；因此，以各感測器的偵檢結果為基礎，可以控制除污作業；因此，可以更具體且有效地顯現前述的作用效果。

又，依據前述構造組成，室內除污設備，也可以具備分解除污藥液的薄霧和氣體的分解單元。此分解單元，在除污作業後的通氣之際，回收工作室內的除污用薄霧和氣體，做分解作業。

又，依據前述構造組成，室內除污設備，具備藉由驅動裝置在地板表面行進移動的地板表面移動裝置，也可以藉由人工操縱或自動行進，在工作室內行進移動。室內除污設備，藉由行進移動，可以使除污用薄霧排放散佈至除污目標房間的各個角落；因此，可以更具體且有效地顯現前述的作用效果。

又，依據前述構造組成，室內除污設備，具備藉由驅動裝置而飄浮，在空間移動的空間移動裝置，也可以藉由人工操縱或自動飛行，在工作室內做空間移動。靠著在空間移動，可以使除污用薄霧排放散佈至除污目標房間的各個角落；因此，可以更具體且有效地顯現前述的作用效果。

又，依據前述構造組成，地板表面移動裝置或空間移動裝置，具備三維測距感測器（three‐dimensional distance measurement sensor），也可以做自動行進或自動飛行時，一面避開前述工作室內的障礙物；因此，可以更具體且有效地顯現前述的作用效果。

本發明中，所謂『薄霧（mist）』，係廣義地解釋，細微化於空氣中飄浮的除污劑的微滴（droplet）的態樣、除污劑的氣體和微滴摻混一起的態樣、除污劑在氣體和微滴之間反覆呈現冷凝和蒸發的相位變化（phase change）的狀態樣等，都包括在內。又，關於粒子直徑，隨著不同情形，再細分為包括被稱為薄霧或者霧（fog）、或是微滴（droplet）等廣義地解釋。

因此，本發明相關的薄霧，根據不同情形，係作成稱為薄霧（mist）《也有定義為10微米（μm）以下的情形》或霧（fog）《也有定義為5微米（μm）以下的情形》之物，以及包含具有這些以上的粒子直徑之物。再者，本發明中，藉由超音波振動的作用，被認為即使是薄霧、霧、液滴等的3微米〜10微米或者這些以上的液滴，也被均質化成3微米以下的超細微粒子而表現出高度的除污效果。

以下，依照各實施態樣，詳細說明本發明相關之室內除污設備。再者，本發明，並未侷限於下述各實施態樣。

≪第1實施態樣≫ 於本第1實施態樣中，以作為除污目標的無塵室（clean room）為例子，說明關於在室內可自動行進的室內除污設備。圖1係顯示第1實施態樣相關之自動行進的室內除污設備配置在無塵室內的狀態的示意圖。於圖1中，室內除污設備100，配置在無塵室CR的室內的地板表面；圖2係顯示自動行進的室內除污設備100的斜視圖；圖3係顯示自動行進的室內除污設備100的(A)正面圖、(B)側面圖。

於圖2和圖3中，室內除污設備100，以支柱20為媒介，將薄霧排放散佈設備30連接至除污設備本體10。除污設備本體10，在內部具備驅動設備和控制設備和收存了除污藥液的供液槽和供液泵《任何一者均未顯示於圖》，供液槽內的除污藥液，以配置在支柱20內部的供液配管《未顯示於圖》為媒介，供給至薄霧排放散佈設備30。再者，於本第1實施態樣中，使用過氧化氫水《35%重量體積比（weight-in-volume {=w/v}）》作為除污藥液。

又，在除污設備本體10的底部，配置藉由驅動設備和控制設備而驅動的可辨方向驅動輪11，受控制在無塵室內部自動行進。再者，關於驅動輪11的驅動機關和自動行進的控制方法，並沒有特別的限制，也可以仿效傳統的自動行進式設備，按照預存在控制設備中的程式（programme）行進。又，驅動設備的動力來源，可以是來自外部電源，也可以是電池等的內部電源。

又，關於自動行進，可以藉由收存在除污設備本體10的內部的飛時測距感測器（time of flight sensor）《飛時測距（Time of Flight）；從光的飛行時間獲得到達目標物體的距離或目標物體的形狀的影像感測器（image sensor）》等的三維測距感測器（three‐dimensional distance measurement sensor），一方面偵檢無塵室內部的障礙物，一方面避開障礙物而均勻的連其陰影部分也除污。

在除污設備本體10的正面壁面，配置溫溼度感測器12、氣體濃度感測器13及冷凝度感測器14，偵檢無塵室內部的除污環境。這些感測器的控制藉由控制設備來進行，控制設備，以各感測器的偵檢結果為基礎，控制除污作業。此處，所謂冷凝度感測器，係本發明團隊先前提出的感測器，能夠偵檢作為除污劑的過氧化氫水的冷凝狀態。在本說明書，省略冷凝度感測器的詳細內容《參照特開第3809176號公報》。

又，在除污設備本體10的上面壁面，裝設了控制面板（control panel）15，工作人員可以在除污作業前設定除污條件。再者，除污條件的設定，也可以將預先創建的程式併入控制設備中。又，工作人員也可以從無塵室CR的外部無線操縱。

又，在除污設備本體10的另一邊的側面壁面，裝設了分解過氧化氫的分解單元16。分解單元16，具備在單元內部的吸氣、排氣設備和分解用催化劑設備《圖中未顯示》、以及在單元正面的吸氣口16a和在單元背面的排氣口《圖中未顯示》。此分解單元16，在除污作業後的通氣之際，將排放、散佈在無塵室CR內部的過氧化氫水薄霧及過氧化氫水薄霧氣化後的過氧化氫水氣體分解。

支柱20，係連接除污設備本體10和薄霧排放散佈設備30的連接設備，於本第1實施態樣中，由具備伸縮機關《圖中未顯示》的套管所做成。支柱20的伸縮機關，使装設在支柱20的前端的薄霧排放散佈設備30的薄霧排放散佈位置上下移動；伸縮機關所形成的支柱20的伸縮，藉由配置在除污設備本體10的內部的驅動設備和控制設備來進行。

在無塵室內部自動行進的室內除污設備100的支柱20，藉由伸縮，使裝設在支柱20前端的薄霧排放散佈設備30的位置上下變化；因此，可以均勻地排放散佈過氧化氫水薄霧到無塵室內部的各個角落《從上方到下方》。再者，關於支柱20的伸縮機關和控制方法，並沒有特別的限制，也可以仿效傳統的伸縮設備，按照預存在控制設備中的程式（programme）而伸縮。

再者，支柱20，也可以在伸縮機關之外或是替代伸縮機關，具備旋轉機關或傾斜機關。支柱20的旋轉機關，使裝設在支柱20前端的薄霧排放散佈設備30的薄霧排放散佈方向旋轉；旋轉機關所形成的支柱20的旋轉，藉由配置在除污設備本體10的內部的驅動設備和控制設備來進行。

由於在無塵室內部自動行進的室內除污設備100的薄霧排放散佈設備30旋轉，薄霧排放方向有變化，可以均勻地排放散佈過氧化氫水薄霧到無塵室內部的各個角落《在所有的方向》。再者，關於支柱20的旋轉機關和控制方法，並沒有特別的限制，也可以仿效傳統的旋轉設備，按照預存在控制設備中的程式（programme）而旋轉。

支柱20的傾斜機關，使裝設在支柱20前端的薄霧排放散佈設備30的薄霧排放散佈方向朝向仰角方向或俯角方向傾斜。傾斜機關所形成的薄霧排放散佈設備30的傾斜，藉由配置在除污設備本體10的內部的驅動設備和控制設備來進行。

由於在無塵室內部自動行進的室內除污設備100的薄霧排放散佈設備30朝向仰角方向或俯角方向傾斜，薄霧排放方向有變化，可以均勻地排放散佈過氧化氫水薄霧到無塵室內部的各個角落《從上方到下方》。再者，關於支柱20的傾斜機關和控制方法，並沒有特別的限制，也可以仿效傳統的傾斜設備，按照預存在控制設備中的程式（programme）而傾斜。

薄霧排放散佈設備30，具備1台或2台以上連接了薄霧排放設備32和薄霧散佈設備33的整合單元（integrated unit）31。整合單元，個別地在基板34的板面上配置薄霧排放設備32的排放口32a、和薄霧散佈設備33的複數的發送器33a。

再者，於本第1實施態樣中，薄霧排放散佈設備30，2台整合單元31相互以背面接觸，安裝在支柱20的前端。各整合單元31的薄霧排放設備32，將從配置在除污設備本體10的內部的供液槽供給的過氧化氫水轉變為過氧化氫薄霧，供給至無塵室內部。再者，於本第1實施態樣中，使用超音波噴霧器（ultrasonic nebulizer）作為薄霧排放設備32。

再者，於本發明中，關於過氧化氫水轉變成過氧化氫水薄霧的方法，並不侷限於超音波噴霧器，對於薄霧產生機制及輸出等，並沒有特別的限制。舉例來說，也可以使用雙流體噴嘴（two fluid spray nozzle）等，在使用雙流體噴嘴的情形時，藉由來自配置在除污設備本體10內部的小型壓縮機的壓縮空氣薄霧化過氧化氫水，作為過氧化氫水薄霧，排放到無塵室內部。

各整合單元31的薄霧散佈設備33，使配置在基板34的板面上的複數發送器33a《在圖3中為24台》做超音波振動，從基板34的板面朝向垂直方向產生超音波的聲流；此聲流，使聲音輻射壓力生成的擠壓力作用在從配置在相同基板34的板面的薄霧排放設備32的排放口32a朝向垂直方向排放的過氧化氫水薄霧，將過氧化氫水薄霧更細微化的同時，也將其散佈在無塵室的內部。

配置在基板34的板面上的複數發送器33a，統一聲波發送方向來配置，在相同位相運作。因此，各發送器33a的正面方向的超音波，彼此相互加強的同時，橫向方向得超音波則彼此互相抵消做超音振動，其結果，薄霧散佈設備33，從基板34的板面朝向垂直方向可以產生指向性強的超音波的聲流。

再者，如同前述的本第1實施態樣中，薄霧排放散佈設備30，係2台整合單元31相互以背面接觸，安裝在支柱20的前端；因此，2台整合單元31，可以將過氧化氫水薄霧相互地以180度不同方向排放散佈；再者，整合單元並未限制於2台，也可以3台以上朝向不同方向配置。又，即使是只配置1台整合單元的情形時，藉由伸縮機關、旋轉機關、傾斜機關、或這些機關的組合，也可以將過氧化氫水薄霧均勻地排放散佈至無塵室內部的各個角落。

此處，有關於複數發送器33a，加以說明。於第1實施態樣中，使用超音波揚聲器（ultrasonic speaker）作為發送器33a；24台超音波揚聲器，統一它們的振動面的聲波發送方向，配置在基板34的板面上:再者，超音波揚聲器的數量，並沒有特別的限制。

於本第1實施態樣中，使用超指向性超音波揚聲器（super-directional ultrasonic speaker）作為發送器33a；具體來說，使用發送聲波頻率40千赫（kilohertz；kHz）附近的超音波的調頻（frequency modulation）式超音波揚聲器《直流電12伏特（DC12V）、50毫安培（50mA）》。再者，關於超音波揚聲器的種類、大小和構造、輸出等，並沒有特別的限制。

於本第1實施態樣中，藉由在統一24台超音波揚聲器的振動面的聲波發送方向的同時，使這些發送器在相同相位運作，各超音波揚聲器的正面方向的超音波相互加強的同時，各超音波揚聲器的橫向方向的超音波則變成相互抵消；其結果，配置在基板34的板面上的超音波揚聲器一旦做超音波振動，則從各振動面朝向垂直方向產生空氣中前進的指向性強的聲流。再者，靠著控制設備《未顯示在圖中》控制超音波揚聲器的頻率和輸出，變成有效率地除污作業。

複數的超音波揚聲器做超音波振動的話，則從振動面朝向垂直方向前進的指向性強的聲流，吸入被超音波噴霧器（ultrasonic nebulizer）排放的過氧化氫水薄霧，受聲音輻射壓力的擠壓立作用，向聲流的前進方向移動；此際，過氧化氫水薄霧，藉由聲流產生的超音波振動的作用，變成細微化的細微薄霧，散佈在無塵室的內部。

此時，變成細微薄霧的過氧化氫水薄霧，由於超音波振動的作用，被細微化的粒子直徑變小而表面積變大，被認為薄霧的蒸發效率變高，一直反覆蒸發和冷凝。又，細微薄霧，是高度細微化的薄霧，在無塵室的內壁表面和設置於內部的各種機器等的表面形成均勻且薄的冷凝膜，因此，與傳統除污作業比較，在無塵室的內壁表面等，不會產生局部的不均勻和厚的冷凝膜。

又，在無塵室的內壁表面等形成的均勻且薄的冷凝膜，藉著反覆再蒸發和冷凝，可以提高除污薄霧中的過氧化氫濃度，用少量的過氧化氫就可以做到效率良好的除污。又，由於以少量的過氧化氫能夠效率良好地除污，因此除污後的通氣的效率也提高，除污作業的縮短時間也成為可能。更進一步，由於可以減少使用於無塵室內部的除污的過氧化氫水的數量，所以可以使室內除污設備100做成小巧緊湊，能夠使自動行進變成容易。

因此，依據本第1實施態樣，使用除污效率良好的細微除污薄霧，供給上當數量的除污薄霧至除污目標房間的各個角落，達到除污效果的完全的同時，也縮短通氣等的工作時間，可以提供能夠達到除污工作效率的室內除污設備。

≪第2實施態樣≫ 相對於前述第1實施態樣係自動行進於無塵室室內的室內除污設備，本第2實施態樣中，說明關於自動空間移動於大的無塵室室內的室內除污設備。圖4係第2實施態樣相關之自動空間移動的室內除污設備的(A)正面圖；圖5係第2實施態樣相關之自動空間移動的室內除污設備的(B)側面圖。

在圖4和圖5中，室內除污設備200，以支柱50為媒介，將薄霧排放散佈設備60連接於除污設備本體40。關於除污設備本體40、支柱50和薄霧排放散佈設備60的構造與功能，係與前述第1實施態樣相同，此處就省略說明。再者，於本第2實施態樣中，與前述第1實施態樣相同，使用過氧化氫水《35%重量體積比（weight-in-volume；w/v）》作為除污藥液。

在除污設備本體40的底面，設置了室內除污設備200起飛和降落時在地板表面支撐的支腳部分41；又，在除污設備本體40的正壁面，配置溫溼度感測器42、氣體濃度感測器43及冷凝度感測器44，偵檢無塵室內部的除污環境。

又，在除污設備本體40的4個側壁面，裝設了各別地朝向外側的水平支軸45、和從水平支軸45的前端部分朝向上方的垂直支軸46，在垂直支軸46的上部分前端裝設了室內除污設備200得到氣動升力（aerodynamic lift）的螺旋槳（propeller）47。於本第2實施態樣中，藉由裝設在除污設備本體40的4個側壁面的4台螺旋槳47，室內除污設備200升起飄移。

再者，關於螺旋槳47的驅動機關和自動空間移動的控制方法，並沒有特別的限定，也可以仿效傳統的自動飛行設備，按照預存在控制設備中的程式（programme）空間移動。又，驅動設備的動力來源，可以是來自外部電源，也可以是電池等的內部電源。

又，關於自動空間移動，也可以是藉由收存在除污設備本體40的內部的飛時測距感測器（time of flight sensor；TOF sensor）等的三維測距感測器（three‐dimensional distance measurement sensor），一方面偵檢無塵室內部的障礙物，一方面避開障礙物且均勻地除污至其陰影部分的空間移動。

薄霧排放散佈設備60，具備2台連接了薄霧排放設備62和薄霧散佈設備63的整合單元（integrated unit）61。整合單元61，與前述第1實施態樣相同，在基板64的板面上配置薄霧排放設備62的排放口62a、和薄霧散佈設備63的複數的發送器63a。

又，在本發明中，過氧化氫水轉變為過氧化氫水薄霧的方法，與前述第1實施態樣相同，使用超音波噴霧器。又，配置在整合單元61的基板64的板面上的複數發送器63a《於圖4中係24台》，與前述第1實施態樣相同，使用超指向性超音波揚聲器《發送頻率40千赫（kilohertz；kHz）附近的超音波的聲波的直流電12伏特（DC12V）、50毫安培（50mA）》。

在這樣的結構組成中，室內除污設備200在無塵室的室內做自動空間移動；因此，室內除污設備200，可以將除污用薄霧排放散佈到工作室內的各個角落。又，由於藉由因超音波振動產生的過氧化氫水薄霧的細微化，可以減少過氧化氫水的使用量，可以將室內除污設備200小型化並且精巧化，能夠輕易地做自動空間移動。

因此，依據本第2實施態樣，使用除污效率良好的細微的除污用薄霧，供給適當數量的除污用薄霧至除污目標房間的每個角落，達到除污效果的完全的同時，也縮短通氣等的工作時間，可以提供能夠達到除污工作效率的室內除污設備。

再者，實施本發明，並非侷限於前述各實施態樣，列舉各種變更實例如下。 (1) 於前述各實施態樣中，係使室內除污設備自動行進或自動空間移動；但是，並非侷限於此；在比較小的無塵室中，不能使用行進移動功能的設備，也可以使用固定設置在室內中央做為不具有行進移動功能的設備。 (2) 於前述各實施態樣中，係使室內除污設備自動行進或自動空間移動；但是，並非侷限於此；也可以從無塵室的外部由工作人員做人工操縱。 (3) 於前述各實施態樣中，係以作為連接設備的支柱為媒介連接除污設備本體和薄霧排放散佈設備；但是，並非侷限於此；也可以將除污設備本體和薄霧排放散佈設備直接連結。 (4) 於前述各實施態樣中，係使用2台整合單元作為薄霧排放散佈設備；但是，並非侷限於此；也可以使用1台或3台以上的整合單元。 (5) 於前述各實施態樣中，係連結了薄霧排放裝置和薄霧散佈裝置的整合單元作為薄霧排放散佈設備；但是，並非侷限於此；也可以各別地配置薄霧排放裝置和薄霧散佈裝置。 (6) 於前述各實施態樣中，係使用超音波噴霧器（ultrasonic nebulizer）作為薄霧排放設備；但是，並非侷限於此；也可以使用雙流體噴嘴（two fluid spray nozzle）或其他薄霧排放裝置。 (7) 前述第1實施態樣相關之室內除污設備，具有分解單元，在除污作業後的通氣之際，分解排放至無塵室內部的過氧化氫水薄霧和氣化的過氧化氫水氣體；但是，並非侷限於此；也可以將分解單元設置在無塵室內部的其他場所。

100、200:室內除污設備 10、40:除污設備本體、 20、50:連接設備《支柱》 30、60:薄霧排放散佈設備、 11:驅動軸 41:支腳部分 12、42:溫溼度感測器 13、43:氣體濃度感測器 14、44:冷凝度感測器 15:控制面板 16:分解單元 16a:吸氣口 31、61:整合單元 32、62:薄霧排放設備 32a、62a:排放口 33、63:薄霧散佈設備 33a、63a:發送器 34、64:基板 45:水平支軸 46:垂直支軸 47:螺旋槳 CR:無塵室

【圖1】係顯示第1實施態樣相關之自動行進的室內除污設備配置在無塵室內的狀態的示意圖。 【圖2】係顯示第1實施態樣相關之自動行進的室內除污設備的斜視圖。 【圖3】係顯示第1實施態樣相關之自動行進的室內除污設備的(A)正面圖、(B)側面圖。 【圖4】係顯示第2實施態樣相關之自動空間移動的室內除污設備的(A)正面圖。 【圖5】係顯示第2實施態樣相關之自動空間移動的室內除污設備的(B)側面圖。

100:室內除污設備

10:除污設備本體

20:連接設備《支柱》

30:薄霧排放散佈設備

11:驅動軸

12:溫溼度感測器

13:氣體濃度感測器

14:冷凝度感測器

15:控制面板

16:分解單元

16a:吸氣口

31:整合單元

32:薄霧排放設備

32a:排放口

33:薄霧散佈設備

33a:發送器

34:基板

Claims (12)

1. 係配置在工作室的内部，將室內全部除污的室內除污設備； 具有除污設備本體、以及直接或以連接設備為媒介而連接該除污設備本體的薄霧排放散佈設備； 前述除污設備本體，配備驅動裝置、和供給除污藥液至前述薄霧排放散佈設備的供液裝置； 前述薄霧排放散佈設備，配置薄霧排放裝置和薄霧散佈裝置； 前述薄霧排放裝置，將前述除污藥液轉變成除污用薄霧，將其供給至前述工作室的內部； 前述薄霧散佈裝置，具備配置了複數的發送器的基板，使該複數的發送器做超音波振動，從上述基板的板面向垂直方向藉由超音波產生聲流（acoustic flow），藉由使該聲流的聲音輻射壓力（acoustic radiation pressure）形成的擠壓力作用於供給至前述工作室內的前述除污用薄霧，使該除污用薄霧散佈在前述工作室內，以此作為特徵的室內除污設備。
2. 申請專利範圍第1項所述之室內除污設備，其中前述複數的發送器，藉由在前述基板的板面上統一聲波發送方向配置的同時，使其在相同相位運作， 前述複數的發送器的正面方向的超音波相互加強的同時，該複數的發送器的側向的超音波做成互相抵消，由前述基板的板面朝向垂直方向藉由指向性強的超音波產生聲流，以此作為特徵的室內除污設備。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之室內除污設備，其中前述薄霧排放散佈裝置，具備連接了前述薄霧排放裝置和前述薄霧散佈裝置的整合單元（integrated unit）； 前述整合單元，個別地在前述基板的板面上配置前述薄霧排放裝置的排放口和前述複數的發送器，以此作為特徵的室內除污設備。
4. 如申請專利範圍第3項所述之室內除污設備，其中前述薄霧排放散佈裝置，具備複數整合單元， 藉由將各整合單元作成的前述除污用薄霧的排放散佈方向分別朝向不同方向，使前述除污用薄霧排放散佈至前述工作室內的各個方向，以此作為特徵的室內除污設備。
5. 如申請專利範圍第1〜4項之任一項所述之室內除污設備，其中前述連接設備，具備藉由前述驅動裝置而伸縮的伸縮機關； 前述薄霧排放散佈裝置，用前述連接設備為媒介，連接至前述除污設備本體的上部分，藉由前述連接設備的伸縮，向上下方向移動，以此為特徵的室內除污設備。
6. 如申請專利範圍第1〜4項之任一項所述之室內除污設備，其中前述連接設備，具備藉由前述驅動裝置而旋轉的旋轉機關； 前述薄霧排放散佈裝置，用前述連接設備為媒介，連接至前述除污設備本體的上部分，藉由前述連接設備的旋轉，向左右方向旋轉，以此為特徵的室內除污設備。
7. 如申請專利範圍第1〜4項之任一項所述之室內除污設備，其中前述連接設備，具備藉由前述驅動裝置而傾斜的傾斜機關； 前述薄霧排放散佈裝置，用前述連接設備為媒介，連接至前述除污設備本體的上部分，藉由前述連接設備的傾斜，向仰角方向或俯角方向傾斜，以此為特徵的室內除污設備。
8. 如申請專利範圍第1〜7項之任一項所述之室內除污設備，具有溫度感測器（temperature sensor）、濕度感測器（humidity sensor）、氣體濃度感測器（gas concentration sensor）、冷凝度感測器（condensation degree sensor）中的至少一個感測器，以及控制裝置； 用前述感測器的偵檢結果為基礎，控制除污作業，以此為特徵的室內除污設備。
9. 如申請專利範圍第1〜8項之任一項所述之室內除污設備，前述室內除污設備，具備分解前述除污藥液的薄霧和氣體的分解單元； 前述分解單元，在除污作業後的通氣之際，回收前述工作室內的前述薄霧和氣體，做分解作業，以此為特徵的室內除污設備。
10. 如申請專利範圍第1〜9項之任一項所述之室內除污設備，具備藉由前述驅動裝置在地板表面行進移動的地板表面移動裝置； 藉由人工操縱或自動行進，在前述工作室內行進移動，以此為特徵的室內除污設備。
11. 如申請專利範圍第1〜9項之任一項所述之室內除污設備，具備藉由前述驅動裝置而飄浮，在空間移動的空間移動裝置； 藉由人工操縱或自動飛行，在前述工作室的內部做空間移動，以此為特徵的室內除污設備。
12. 如申請專利範圍第10項或第11項所述之室內除污設備，其中前述地板表面移動裝置或空間移動裝置，具備三維測距感測器（three‐dimensional distance measurement sensor）； 做自動行進或自動飛行時，一面避開前述工作室內的障礙物，以此為特徵的室內除污設備。

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