TW201838727A - 板邊清洗設備 - Google Patents

Abstract

本發明係關於一種板邊清洗設備，其包括一通道及一板邊擦拭機構。該通道係供一基板通過，使得該基板的邊緣可被該板邊擦拭機構擦拭。其中，該板邊擦拭機構被安排能夠帶動一擦拭布條前進，以使該擦拭布條的正面擦拭至少一基板邊緣的頂面，且能翻轉該擦拭布條使其繞經該基板邊緣的底面，以使該擦拭布條的背面擦拭該基板邊緣的底面。如此，該擦拭布條的兩面皆能夠得到充分地善用。

Description

板邊清洗設備

本發明係關於一種板材之自動清洗技術，尤指一種用來清洗液晶面板之側邊的板邊清洗設備。

一般應用於電子方面之板材，其材質是如聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)及EVA等聚合物，此種聚合物的表面潤濕性不佳，故而這些板材在印刷、塗佈或接著等程序之前如未作適當的清洗，通常會產生印刷不良等效果。

台灣專利第I286952號揭露一種用來清洗液晶面板的自動清洗機，重新繪製如第六圖所示。如圖所示，該自動清洗機具有一丙酮清洗裝置9，其作用是以丙酮沾濕擦拭布條95、96來擦拭一基板2（即液晶面板）的邊緣之上、下面。具體而言，該丙酮擦拭裝置9於該基板2的上方設有一送料輪91、一收料輪93及繞設於該送料輪91及該收料輪93之間的一第一擦拭布條95，用來擦拭該液晶面板2之邊緣的頂面。當該第一擦拭布條95因擦拭板邊而髒污時，該收料輪93會對應捲收該第一擦拭布條95，使該第一擦拭布條95的下一段乾淨的部位被移至擦拭位置，繼續擦拭板邊。無論如何，該第一擦拭布條95僅用到其中一面（正面或背面）來擦拭板邊。

依同樣的手法，該丙酮擦拭裝置9於該基板2的下方也設有一送料輪92、一收料輪94及繞設於該送料輪92及該收料輪94之間的一第二擦拭布條96，來擦拭該基板2之邊緣的底面。如上所述，該丙酮擦拭裝置9共用了四個料輪91～94及兩捆擦拭布條95、96，來完成板邊清洗的作業。

本發明提供一改良之板邊清洗設備，其僅需要一個料輪及一捲擦拭布條，便能夠有效地清洗板材邊緣之頂面及底面。

本發明之板邊清洗設備係被安排能夠帶動一擦拭布條前進，以使該擦拭布條的正面擦拭一基板的邊緣之頂面，並翻轉該擦拭布條使其繞經該基板邊緣的底面，以使該擦拭布條的背面擦拭該基板邊緣的底面。

具體而言，本發明之板邊清洗設備包括一通道及一板邊擦拭機構，該通道係供一基板通過，使得該基板的邊緣可被該板邊擦拭機構擦拭，其中該板邊擦拭機構被安排能夠帶動一擦拭布條前進，以使該擦拭布條的正面擦拭該基板邊緣的頂面，且能翻轉該擦拭布條使其繞經該基板邊緣的底面，以使該擦拭布條的背面擦拭該基板邊緣的底面。

較佳地，該板邊擦拭機構係被配置在翻轉該擦拭布條的過程中使該擦拭布條避開該通道，而不致影響該基板通過該通道。

具體而言，該板邊擦拭機構更包括一機架、一送料模組、一第一夾輪組、一送料偵測暨緩衝模組、一布條翻轉機構、一收料偵測暨緩衝模組及一布條驅動裝置。其中，該送料模組係設於該機架，且包括一送料輪及一送料驅動裝置。該送料輪係供裝載綑成一捲的該擦拭布條，而該送料驅動裝置係用以驅動該送料輪送出該擦拭布條。該第一夾輪組，具有相對的一上夾輪及一下夾輪，該上、下夾輪係可昇降地設於該機架。該送料偵測暨緩衝模組設於該機架，且包括一布條轉向機構，該布條轉向機構係用以引導該擦拭布條以其背面朝上的方式繞經該第一夾輪的下側並朝一正X軸方向前進，使得該第一夾輪在下降後，該擦拭布條之正面可接觸到該基板邊緣的一頂面。該布條翻轉機構設於該機架，供從該送料偵測暨緩衝模組而來的該擦拭布條繞設，以對該擦拭布條翻轉，使得該擦拭布條在被翻轉後能仍以背面朝上的姿態沿著該基板的下方朝一負X軸方向前進。該收料偵測暨緩衝模組設於該機架，且包括一布條轉向機構，該布條轉向機構係供引導從該布條翻轉機構而來且背面朝上的該擦拭布條繞經該第二夾輪的上側，使得該第二夾輪在上升後，該擦拭布條之背面可接觸到該基板邊緣的一底面。此外，該布條驅動裝置係用以牽動該擦拭布條前進，使其行經該送料偵測暨緩衝模組、布條翻轉機構及該收料偵測暨緩衝模組。

較佳地，該送料偵測暨緩衝模組更包括一布條調節機構，該布條調節機構係用以偵測該送料輪與該上夾輪之間的擦拭布條之長度變化，並在該擦拭布條變長到達一預設的上限時，令該送料模組停止輸送該擦拭布條，及在該擦拭布條變短到到達一預設的下限時，令該送料模組恢復輸送該擦拭布條；而該收料偵測暨緩衝模組亦包括一布條調節機構，該布條調節機構係用以偵測該下夾輪與該布料驅動裝置之間的擦拭布條之長度變化，並在該擦拭布條變長到達一預設的上限時，令該送料模組停止輸送該擦拭布條，及在該擦拭布條變短到到達一預設的下限時，令該送料模組恢復輸送該擦拭布條。

較佳地，該送料偵測暨緩衝模組之布條調節機構包括一滑軌、一滑座、一惰輪、一下偵測器及一上偵測器。該滑座係滑套於該滑軌。該惰輪係樞設於該滑座且藉本身重量而抵貼在位於該送料輪與該上夾輪之間的擦拭布條上。該下偵測器係用於偵測該滑座是否已到達該滑軌的底部，而該上偵測器係用於偵測該滑座是否已到達該滑軌的頂部。

較佳地，該板邊擦拭機構更包括一第一夾止裝置及一第二夾止裝置。其中，該第一夾止裝置設於該擦拭布條於該第一夾輪組之上夾輪及該布條翻轉機構之間的移動路徑上，而該第二夾止裝置設於該擦拭布條於該第一夾輪組之下夾輪及該布條驅動裝置之間的移動路徑上。該第一及第二夾止裝置皆用以在該第一夾輪組之上、下夾輪進行夾壓動作前，先夾住該擦拭布條。

較佳地，該布條翻轉機構包括一第一Y向導輪、至少一X向導輪及一第二Y向導輪。其中，該第一Y向導輪之輪軸方向朝著Y方向。該至少一X向導輪之輪軸方向朝著X方向，且位於該第一Y向導輪的下方。該第二Y向導輪之輪軸方向朝著Y方向，且位於該X向導輪的下方。

較佳地，前述之至少一X向導輪包括平行的第一、第二及第三X向導輪，其中該第一X向導輪位於該第一Y向導輪的正下方，該第三X向導輪位於該第一X向導輪之正下方，而該第二X向導輪與該第一及第三X向導輪錯位，藉此該第一、第二及第三X向導輪共同界定一側向空間，以避開該通道。

較佳地，該布條翻轉機構更包括一第一斜向導輪及一第二斜向導輪。其中，該第一斜向導輪係位於該第一Y向導輪與該第一X向導輪之間，且其輪軸方向與X方向之間具有約30～60度的一夾角。該第二斜向導輪係位於該第三X向導輪與該第二Y導輪之間，且其輪軸方向與該第一斜向導輪之輪軸方向垂直。

較佳地，該布條驅動裝置包括一馬達、一傳動輪、一快拆桿、一連動座及一壓輪。其中，該傳動輪設於該馬達之一輸出軸。該快拆桿鄰設於該馬達。該連動座係連接該快拆桿，並受該快拆桿之連動而前進或後退。該壓輪係設於該連動座的一端，用以隨著該連動座之前進或後退，而壓抵或鬆開穿經該壓輪與該傳動輪之間的該擦拭布條。

如上所述，本發明板之邊清洗設備確實能夠帶動一擦拭布條1前進，使其正面擦拭基板邊緣的頂面，再利用其背面再去擦拭該基板邊緣的底面，藉以有效率達成板邊清洗的作業。再者，本發明板邊清洗設備僅需要一送料輪，便能使擦拭布料之兩面皆充分利用到，無須再捲收廢料，故更可省捲收之麻煩。

第一至六圖係顯示本發明之板邊清洗設備100的一個較佳實施例，其包括一通道101、一超音波清洗機（圖未顯示）、一板邊擦拭機構102及一電漿清洗機（圖未顯示）。該通道101係供一基板2通過，使得該基板2的邊緣可依序進行超音波清洗、被擦拭及烘乾，以及最後進行電漿清洗，完成整套之板邊清洗作業。其中，該板邊擦拭機構102係由一控制系統（例如PLC控制系統）控制其運作，使得該板邊擦拭機構102能夠帶動一擦拭布條1（例如：不織布條）前進，以使該擦拭布條1的正面擦拭該基板2（例如：液晶面板）之邊緣的頂面，且翻轉該擦拭布條1使其繞經該基板2邊緣的底面，以使該擦拭布條1的背面擦拭該基板2邊緣的底面。

參閱第一至三圖，該基板2係由圖中右側之通道入口101a進入該板邊擦拭機構102，續經該板邊擦拭機構102的擦拭後，再由圖中左側之通道出口101b離開。該基板2的移動行程主要係搭配該板邊擦拭機構102之運作而預先設定好的。更特別的是，該板邊擦拭機構102係刻意地被配置在翻轉該擦拭布條1的過程中，使該擦拭布條1避開該通道101，而不致影響該基板2通過該通道101，如第五圖所示。

具體而言，參閱第一圖，該板邊擦拭機構102包括一機架3及設於該機架3上之一送料模組4、一第一夾輪組51及一第二夾輪組52、一送料偵測暨緩衝模組61、一收料偵測暨緩衝模組62、一布條翻轉機構7以及一布條驅動裝置8。

該送料模組4包括一送料輪41及一送料驅動裝置42（例如：馬達），其中該送料輪41係供裝載綑成一捲的該擦拭布條1，而該送料驅動裝置42係用以驅動該送料輪41送出該擦拭布條1，並送往該送料偵測暨緩衝模組61。

大體而言，該擦拭布條1從該送料輪41送出之後，即依序繞經該送料偵測暨緩衝模組61、該第二夾輪組52、該第一夾輪組51、該布條翻轉機構7、及該收料偵測暨緩衝模組62，最後穿過該布條驅動裝置8，由該布條驅動裝置8牽動而離開該板邊擦拭機構102。另一方面，該基板2在經過CCD影像對位後，由圖中右側的通道入口101a進入，再依序穿過該布條翻轉機構7、該第一夾輪組51及該第二夾輪組52、最後由左側之該通道出口101b離開。

詳言之，該第一夾輪組51具有相對的一上夾輪511及一下夾輪512。其中，該上夾輪511受其上方的一汽壓缸513之驅動而可在一原始位置（第一圖）及一夾壓位置（第二圖）之間昇降位移。該下夾輪512受其下方的一汽壓缸514之驅動而可在一原始位置（第一圖）及一夾壓位置（第二圖）之間昇降位移。該上、下夾輪511、512所使用的滾輪均為惰輪，且該氣壓缸513（514）可藉由一氣壓比例閥來控制該上、下夾輪511、512（521、522）的夾壓力道。

同樣地，該第二夾輪組52具有相對的一上夾輪521及一下夾輪522。其中，該上夾輪521受其上方的一汽壓缸523之驅動而可在一原始位置（第一圖）及一夾壓位置（第三圖）之間昇降位移。該下夾輪522受其下方的一汽壓缸524之驅動而可在一原始位置（第一圖）及一夾壓位置（第三圖）之間昇降位移。該上、下夾輪521、522所使用的滾輪均為惰輪。

另一方面，該基板2受一移載裝置（圖未顯示）之運送而前進至該第一夾輪組51及該第二夾輪組52之間的一擦拭區域，以接受該擦拭布條1之擦拭。如第二圖所示，該基板2之前緣正位於該第一夾輪組51的上、下夾輪511、512之間的夾壓位置。此時，行經該上、下夾輪511、512之該擦拭布條1的一在前片段（圖未標號，此指貼靠該上夾輪511的一小片段）及一在後片段（圖未標號，此指貼靠該下夾輪512的一小片段）正好分別受該上、下夾輪511、512的壓制而分別抵靠到該基板2之邊緣的頂面及底面。換言之，該基板2於前進的過程中恰可同時地被該擦拭布條1的兩片段擦拭到。不僅如此，該在前片段是以其正面來擦拭該基板邊緣的頂面，而該在後片段由於經歷過該布條翻轉機構7之翻轉故而是以其背面來擦拭該基板邊緣的底面。因此，該擦拭布條1之正、背兩面皆先後被使用以擦拭該基板2。

參閱第二圖，該送料偵測暨緩衝模組61位於該機架3的上半部且包括一布條轉向機構611及一布條調節機構612。該布條轉向機構611是由多個惰輪或轉向輪（圖未標號）所組成，用以引導該擦拭布條1a在從該送料輪41離開後，以其「背面朝上」的方式繞經該兩上夾輪511、521的下側，並朝一正X軸方向前進，也就是移往位於該機架3一側的該布條翻轉機構7。如此，該兩上夾輪511、521在下降後，該擦拭布條1a之正面便可接觸到該基板2之邊緣的頂面。該布條調節機構612係安插於該布條轉向機構611之中，藉以使該擦拭布條1a在受到該兩上夾輪511、521之上、下推動時維持適當張力。更確切地說，該布條調節機構612係用以偵測該送料輪4與該兩上夾輪511、521之間的擦拭布條1a之長度變化，並在該擦拭布條1a變長到達一預設的上限時，令該送料模組4停止輸送該擦拭布條1a，及在該擦拭布條1a變短到到達一預設的下限時，令該送料模組4恢復輸送該擦拭布條1a。

該擦拭布條1b在離開該些上夾輪511、521後緊接前往該布條翻轉機構7，進行翻轉過程。如第三圖所示，該擦拭布條1b在繞經該布條翻轉機構7後會被翻轉，使得翻轉後之該擦拭布條1c能仍以「背面朝上」的姿態沿著該基板2的下方朝一負X軸方向前進，猶如在X-Z平面上進行迴轉（詳如後述），接著前進到該收料偵測暨緩衝模組62。

參閱第二圖，該收料偵測暨緩衝模組62位於該機架3的下半部且包括一布條轉向機構621及一布條調節機構622。該布條轉向機構621是由多個惰輪或轉向輪（圖未標號）所組成，用以引導該擦拭布條1c繞經該兩下夾輪512、522的上側並朝該負X軸方向前進，並接著轉向前往下方之該布條驅動裝置8。如此，該兩下夾輪512、522在上昇後，該擦拭布條1c之背面便可接觸到該基板2之邊緣的底面。該布條調節機構622係安插於該布條轉向機構621之中，藉以使該擦拭布條1c在受到該兩下夾輪512、522之上、下推動時維持適當張力。更確切地說，該布條調節機構622係用以偵測該兩下夾輪512、522與該布料驅動裝置8之間的擦拭布條1d之長度變化，並在該擦拭布條1d變長到達一預設的上限時，令該送料模組4停止輸送該擦拭布條1a，及在該擦拭布條1d變短到到達一預設的下限時，令該送料模組4恢復輸送該擦拭布條1a。由此可知，該送料模組4之送料與否受制於該送料偵測暨緩衝模組61之布條調節機構612以及該收料偵測暨緩衝模組62之布條調節機構622。

在本實施例中，該送料偵測暨緩衝模組61之布條調節機構612以及該收料偵測暨緩衝模組62之布條調節機構622之機構及作動原理相同，今僅簡述其一。請參閱第五圖並配合第二圖所示，以該送料偵測暨緩衝模組61之布條調節機構612為例，該布條調節機構612為了確保該擦拭布條1a被順暢地輸送，其包括一滑軌613、一滑座614、一惰輪615、一下偵測器616及一上偵測器617。如圖所示，該滑座614係滑套於該滑軌613上，該惰輪615係樞設於該滑座614且藉本身重量而抵貼於在位於該送料輪4與該上夾輪521之間的擦拭布條1a上，該下偵測器616係用於偵測該滑座614是否已到達該滑軌613的底部，而該上偵測器617係用於偵測該滑座614是否已到達該滑軌613的頂部。在本實施例中，該下偵測器616與該上偵測器617均選用光遮斷器，故該滑座614具有一凸片618用於切斷光遮斷器內的偵測光束，詳細內容可參考台灣專利申請案公開號第201522181號，題為「捲帶輸送機構」。然而，前述構造僅是該布條調節機構612的一個例子，不以此為限，例如也可以使用光學尺來取代。

此外，該板邊擦拭機構102更包括一第一夾止裝置53及一第二夾止裝置54。該第一夾止裝置53係設於該擦拭布條1b於該第一夾輪組51之上夾輪511及該布條翻轉機構7之間的移動路徑上；而該第二夾止裝置54係設於該擦拭布條1d於該第二夾輪組52之下夾輪522及該布條驅動裝置8之間的移動路徑上。其中，該第一及第二夾止裝置53、54皆用以在該第一夾輪組51之上、下夾輪511、512進行夾壓動作前，先夾住該擦拭布條1。

請參閱第五圖，該布條翻轉機構7由上而下依序包括一第一Y向導輪71、一第一斜向導輪72、三個X向導輪73~75、一第二斜向導輪76及一第二Y向導輪77，藉以順暢地翻轉前述背面朝上的擦拭布條1b，使翻轉後之擦拭布條1c仍以背面朝上的姿態由下方迴轉。顧名思義，該第一及第二Y向導輪71、77之輪軸方向皆係朝著Y方向，而該些X向導輪73~75之輪軸方向皆朝著X方向。較特別的是，該第一斜向導輪72之輪軸方向與X方向之間具有約30～60度的一夾角，且與該第二斜向導輪76之輪軸方向垂直。

事實上，擦拭過該基板2後之該擦拭布條1b經過該第一Y向導輪71及該第一X向導輪73後便能夠被旋轉90度，故而位於該第一Y向導輪71與該第一X向導輪73之間的該第一斜向導輪72主要是輔助該擦拭布條1b之順暢旋轉。較佳地，該第一斜向導輪72之輪軸方向與X方向之間的夾角為45度。同樣地，該擦拭布條1b從該第三X向導輪75至該第二Y向導輪77後便能夠再被旋轉90度，故而位於該第三X向導輪75與該第二Y向導輪77之間的該第二斜向導輪74主要是輔助該擦拭布條1b之順暢旋轉。較佳地，該第二斜向導輪76之輪軸方向與X方向之間的夾角為45度。總而言之，該擦拭布條1b從該第一Y向導輪71至該第二Y向導輪77共被旋轉180度。值得注意的是，該些X向導輪73~75中的該第一X向導輪73位於該第一Y向導輪72的正下方，該第三X向導輪75位於該第一X向導輪73之正下方，而該第二X向導輪74係與該第一及第三X向導輪73、75錯位，藉此該些X向導輪73~75共同界定一側向空間，以避開該基板2行經的該通道101。

參閱第六及七圖，該布條驅動裝置8主要包括一馬達81、設於該馬達81之輸出軸（圖未顯示）上的一傳動輪82、鄰設於該馬達81的一快拆桿83、連接該快拆桿83的一連動座84以及設於該連動座84一端的一壓輪85。其中，該連動座84受該快拆桿83之連動而前進或後退，進而能帶動該壓輪85壓抵或鬆開穿經該壓輪85與該傳動輪82之間的該擦拭布條1d。如此，使用者可快速地藉由切換該快拆桿83之位置而使該擦拭布條1d被該壓輪85與該傳動輪82夾緊或鬆開。當該擦拭布條1d被夾緊時，該馬達82可不斷地帶動該擦拭布條1d前進，使該擦拭布條1d離開該板邊擦拭機構102，反之則否。此外，該布條驅動裝置8更包括一太陽輪86，用以計算該擦拭布條1d的前進距離。

底下將敘述該基板2行經本發明板邊清洗設備之通道101時，該板邊擦拭機構102對該基板進行擦拭之運作過程：

起初，如第一圖所示，該板邊擦拭機構102之第一夾止裝置53及第二夾止裝置54皆係呈鬆開狀態，亦即尚未夾住該擦拭布條1b、1d，而在另一方面，該基板2經過CCD影像對位後已進入該通道101內。

接著，如第二圖所示，該基板2之前緣已經抵達該第一夾輪組51的上、下夾輪511、512之間，該第一及第二夾止裝置53、54隨即分別夾住該擦拭布條1b、1d，使其無法前進或後退。在該擦拭布條1b、1d被夾定後，該第一夾輪組51的上、下夾輪511、512隨即開始相對移動到夾壓該基板2之位置。該第一及第二夾止裝置53、54之夾定動作可避免該擦拭布條1b、1d在後來之夾壓過程中被回拉，確保該擦拭布條1b、1d之預定部位確實能分別抵貼至該基板2邊緣之頂面及底面。值得關注的是，在該上、下夾輪511、512夾壓的過程中，該送料偵測暨緩衝模組61之布條調節機構612的惰輪615也逐漸因釋放該擦拭布條1b而略微上升，但尚未達到該布條調節機構612之頂部。同理，該收料偵測暨緩衝模組62之布條調節機構622的惰輪625在該上、下夾輪511、512夾壓的過程中，也逐漸因釋放該擦拭布條1d而略微上升，但同樣尚未達到該布條調節機構622之頂部。

待被該第一夾輪組51之上、下夾輪511、512夾壓之後，該基板2續沿著該通道101前進，且在前進的過程中，該上、下夾輪511、512之該擦拭布條1b、1c並不移動，藉此其上沾滿之丙酮或酒精來用來對該基板2之邊緣進行清潔。

如第三圖所示，當該基板2之前緣前進到該第二夾輪組52之上、下夾輪521、522之間時，該上、下夾輪521、522開始相對移動到夾壓該基板2之位置。此時，該送料偵測暨緩衝模組61之布條調節機構612的惰輪615也會再上升一些，但尚未達到該布條調節機構612之頂部，且該收料偵測暨緩衝模組62之布條調節機構622的惰輪625亦同。隨後，該基板2在受到該上、下夾輪521、522之夾壓後繼續朝著該通道出口101b前進，且在前進的過程中，該基板2之邊緣會受到該上、下夾輪521、522上之該擦拭布條1a、1d擦拭。

直到該基板2之行程終了，也就是脫離該上、下夾輪521、522後，該第一及第二夾輪組51、52之上夾輪511、521及下夾輪512、522便都相繼退回原位，如第一圖所示。隨後該第一及第二夾止裝置53、54也跟著鬆開，釋放該擦拭布條1b、1d，以允許該布條驅動裝置8隨後將該擦拭布條1d往前拉動一小段的預定距離（例如：5~6mm），使該擦拭布條1整個前進該預定距離，而該布條驅動裝置8之太陽輪86便是用以計算該預定距離。藉此，該擦拭布條1的擦拭部位可以被更新，供下一基板擦拭。

隨著該擦拭布條1逐步地被使用後，該送料偵測暨緩衝模組61之布條調節機構612的惰輪615也將逐步上升到該布條調節機構612之頂部。此時，該送料偵測暨緩衝模組61便會立即通知該送料模組4補料，且補料過程將持續直到該惰輪615下降到該布條調節機構612的底部為止，才會要求該送料模組4暫停補料。同樣地，若是下方之惰輪625上升到該布條調節機構622之頂部時，該收料偵測暨緩衝模組62也會通知該送料模組4補料，直到該惰輪625下降到該布條調節機構622的底部為止，才會要求該送料模組4暫停補料。值得注意的是，欲進行補料時，該些夾輪511、521、512、522皆須先退回原位，且該些夾止裝置53、54也須呈鬆開狀態。

藉由上述設置，本發明板邊清洗設備之板邊擦拭機構確實能夠帶動一擦拭布條前進，使其正面擦拭基板邊緣的頂面，再利用其背面再去擦拭該基板邊緣的底面，藉以有效率達成板邊清洗的作業。再者，本發明板邊清洗設備之板邊擦拭機構僅需要一送料輪，便能使擦拭布料之兩面皆充分利用到，無須再捲收廢料，故更可省捲收之麻煩。

無論如何，任何人都可以從上述例子的說明獲得足夠教導，並據而了解本發明內容確實不同於先前技術，且具有產業上之利用性，及足具進步性。是本發明確已符合專利要件，爰依法提出申請。

本發明：

100‧‧‧板邊清洗設備

101‧‧‧通道

101a‧‧‧通道入口

101b‧‧‧通道出口

102‧‧‧板邊擦拭機構

1（1a~1d）‧‧‧擦拭布條

2‧‧‧基板

3‧‧‧機架

4‧‧‧送料模組

41‧‧‧送料輪

42‧‧‧送料驅動裝置

51、52‧‧‧夾輪組

511、512、521、522‧‧‧夾輪

513、514、523、524‧‧‧汽壓缸

53、54‧‧‧夾止裝置

61‧‧‧送料偵測暨緩衝模組

611‧‧‧布條轉向機構

612‧‧‧布條調節機構

613‧‧‧滑軌

614‧‧‧滑座

615‧‧‧惰輪

616‧‧‧下偵測器

617‧‧‧上偵測器

618‧‧‧凸片

62‧‧‧送料偵測暨緩衝模組

621‧‧‧布條轉向機構

622‧‧‧布條調節機構

625‧‧‧惰輪

7‧‧‧布條翻轉機構

71、77‧‧‧Y向導輪

72、76‧‧‧斜向導輪

73~75‧‧‧X向導輪

8‧‧‧布條驅動裝置

81‧‧‧馬達

82‧‧‧傳動輪

83‧‧‧快拆桿

84‧‧‧連動座

85‧‧‧壓輪

86‧‧‧太陽輪

習知：

2‧‧‧基板

9‧‧‧丙酮清洗裝置

91、92‧‧‧送料輪

93、94‧‧‧收料輪

95、96‧‧‧擦拭布條

第一圖係本發明板邊清洗設備的前視示意圖。 第二及三圖係第一圖之板邊清洗設備的運作情形。 第四圖係第一圖之板邊清洗設備的布條調節機構之立體結構示意圖。 第五圖係第一圖之板邊清洗設備的布條翻轉機構之立體結構示意圖。 第六圖係第一圖之板邊清洗設備的布條驅動裝置之立體結構示意圖。 第七圖係第六圖之布條驅動裝置另一角度之立體結構示意圖。 第八圖係習知的板邊清洗設備。

Claims (10)

1. 一種板邊清洗設備，包括一通道及一板邊擦拭機構，該通道係供一基板通過，使得該基板的邊緣可被該板邊擦拭機構擦拭，其中該板邊擦拭機構被安排能夠帶動一擦拭布條前進，以使該擦拭布條的正面擦拭該基板邊緣的頂面，且能翻轉該擦拭布條使其繞經該基板邊緣的底面，以使該擦拭布條的背面擦拭該基板邊緣的底面。
2. 如申請專利範圍第1項所述之板邊清洗設備，其中該板邊擦拭機構係被配置在翻轉該擦拭布條的過程中使該擦拭布條避開該通道，而不致影響該基板通過該通道。
3. 如申請專利範圍第1項所述之板邊清洗設備，其中該板邊擦拭機構更包括： 一機架； 一送料模組，設於該機架，且包括一送料輪及一送料驅動裝置，其中該送料輪係供裝載綑成一捲的該擦拭布條，而該送料驅動裝置係用以驅動該送料輪送出該擦拭布條； 一第一夾輪組，具有相對的一上夾輪及一下夾輪，該上、下夾輪係可昇降地設於該機架； 一送料偵測暨緩衝模組，設於該機架，且包括一布條轉向機構，該布條轉向機構係用以引導該擦拭布條以其背面朝上的方式繞經該第一夾輪的下側並朝一正X軸方向前進，使得該第一夾輪在下降後，該擦拭布條之正面可接觸到該基板邊緣的一頂面； 一布條翻轉機構，設於該機架，供從該送料偵測暨緩衝模組而來的該擦拭布條繞設，以對該擦拭布條翻轉，使得該擦拭布條在被翻轉後能仍以背面朝上的姿態沿著該基板的下方朝一負X軸方向前進； 一收料偵測暨緩衝模組，設於該機架，且包括一布條轉向機構，該布條轉向機構係供引導從該布條翻轉機構而來且背面朝上的該擦拭布條繞經該第二夾輪的上側，使得該第二夾輪在上升後，該擦拭布條之背面可接觸到該基板邊緣的一底面；以及 一布條驅動裝置，用以牽動該擦拭布條前進，使其行經該送料偵測暨緩衝模組、布條翻轉機構及該收料偵測暨緩衝模組。
4. 如申請專利範圍第3項所述之板邊清洗設備，其中該送料偵測暨緩衝模組更包括一布條調節機構，該布條調節機構係用以偵測該送料輪與該上夾輪之間的擦拭布條之長度變化，並在該擦拭布條變長到達一預設的上限時，令該送料模組停止輸送該擦拭布條，及在該擦拭布條變短到到達一預設的下限時，令該送料模組恢復輸送該擦拭布條；而該收料偵測暨緩衝模組亦包括一布條調節機構，該布條調節機構係用以偵測該下夾輪與該布料驅動裝置之間的擦拭布條之長度變化，並在該擦拭布條變長到達一預設的上限時，令該送料模組停止輸送該擦拭布條，及在該擦拭布條變短到到達一預設的下限時，令該送料模組恢復輸送該擦拭布條。
5. 如申請專利範圍第4項所述之板邊清洗設備，其中該送料偵測暨緩衝模組之布條調節機構包括： 一滑軌； 一滑座，係滑套於該滑軌； 一惰輪，係樞設於該滑座且藉本身重量而抵貼在位於該送料輪與該上夾輪之間的擦拭布條上； 一下偵測器，係用於偵測該滑座是否已到達該滑軌的底部；以及 一上偵測器，係用於偵測該滑座是否已到達該滑軌的頂部。
6. 如申請專利範圍第3項所述之板邊清洗設備，其中該板邊擦拭機構更包括： 一第一夾止裝置，設於該擦拭布條於該第一夾輪組之上夾輪及該布條翻轉機構之間的移動路徑上；及 一第二夾止裝置，設於該擦拭布條於該第一夾輪組之下夾輪及該布條驅動裝置之間的移動路徑上； 其中，該第一及第二夾止裝置皆用以在該第一夾輪組之上、下夾輪進行夾壓動作前，先夾住該擦拭布條。
7. 如申請專利範圍第3項所述之板邊清洗設備，其中該布條翻轉機構包括： 一第一Y向導輪，其輪軸方向朝著Y方向； 至少一X向導輪，其輪軸方向朝著X方向，且位於該第一Y向導輪的下方；及 一第二Y向導輪，其輪軸方向朝著Y方向，且位於該X向導輪的下方。
8. 如申請專利範圍第7項所述之板邊清洗設備，其中前述之至少一X向導輪包括平行的第一、第二及第三X向導輪，其中該第一X向導輪位於該第一Y向導輪的正下方，該第三X向導輪位於該第一X向導輪之正下方，而該第二X向導輪與該第一及第三X向導輪錯位，藉此該第一、第二及第三X向導輪共同界定一側向空間，以避開該通道。
9. 如申請專利範圍第7項所述之板邊清洗設備，其中該布條翻轉機構更包括： 一第一斜向導輪，位於該第一Y向導輪與該第一X向導輪之間，且其輪軸方向與X方向之間具有約30～60度的一夾角；及 一第二斜向導輪，位於該第三X向導輪與該第二Y導輪之間，且其輪軸方向與該第一斜向導輪之輪軸方向垂直。
10. 如申請專利範圍第3項所述之板邊清洗設備，其中該布條驅動裝置包括： 一馬達，具有一輸出軸； 一傳動輪，設於該馬達之輸出軸； 一快拆桿，鄰設於該馬達； 一連動座，連接該快拆桿，並受該快拆桿之連動而前進或後退；及 一壓輪，設於該連動座的一端，用以隨著該連動座之前進或後退，而壓抵或鬆開穿經該壓輪與該傳動輪之間的該擦拭布條。