TW201411767A - 具有吸收衝擊功能的基板收納容器 - Google Patents

Abstract

本發明的基板收納容器包括：蓋體側基板支承部，以支承多個基板的邊緣部；後側基板支承部，位在基板收納空間內，能支承多個基板的邊緣部，在容器主體開口部被蓋體封閉時，與蓋體側基板支承部協作，在使多個基板的邊緣部從側方基板支承部離開且處於並列的狀態下，支承多個基板。後側基板支承部具備能彈性變形的腿部、支承在腿部上的基板承接部，基板承接部具有第一抵接部和第二抵接部，第一抵接部具有能與基板的表面的端部邊緣抵接的第一抵接面，第二抵接部具有第二抵接面，第二抵接面與第一抵接面連接，能與基板的背面的端部邊緣抵接。

Description

具有吸收衝擊功能的基板收納容器

本發明涉及基板收納容器，特別是涉及以使多個半導體晶片等基板處於並列的狀態收納多個半導體晶片等基板、且具有衝擊吸收功能的基板收納容器。

作為收納半導體晶片等基板的容器，以往習知的有一種容器，其包括容器主體、蓋體、側方基板支承部、蓋體側基板支承部和裡側基板支承部。

容器主體具有筒形壁部，該筒形壁部的一個端部形成有容器主體開口部，另一個端部被封閉。在容器主體內形成有基板收納空間。基板收納空間由壁部包圍而成，可以收納多個基板。蓋體相對於容器主體開口部可裝拆，可以封閉容器主體開口部。側方基板支承部在基板收納空間內以成對的方式設置於壁部。側方基板支承部在容器主體開口部未被蓋體封閉時，在使相鄰的基板之間以規定的間隔隔開且處於並列的狀態下，可以支承多個基板的邊緣部。

蓋體側基板支承部是蓋體的一部分，在封閉容器主體開口部時設在與基板收納空間相對的部分。蓋體側基板支承部在容器主體開口部被蓋體封閉時，可以支承多個基板的邊緣部。

壁部基板支承部以與蓋體側基板支承部成對的方式設置於壁部。壁部基板支承部可以支承多個基板的邊緣部。壁部基板支承部在容器主體開口部被蓋體封閉時，與蓋體側基板支承部協作來支承多個基板，由此在使相鄰的基板之間以規定的間隔隔開且處於並列的狀態下，支承多個基板(參照專利文獻1、2)。

現有技術文獻 專利文獻

專利文獻1：日本專利公開公報特開2005-5525號

專利文獻2：日本特表2003-552078號

在搬運收納有基板的基板收納容器時，從基板收納容器的外部施加的衝擊通過壁部基板支承部和蓋體側基板支承部傳遞到基板，有時會使基板破損。因此要求要極力抑制把衝擊傳遞給基板。

本發明的目的是提供一種基板收納容器，在搬運基板收納容器時，能夠極力抑制把衝擊傳遞給收納在基板收納容器中的多個基板。

本發明涉及一種基板收納容器，其包括：容器主體，在內部形成有能收納多個基板的基板收納空間，在一個端部形成有容器主體開口部，所述容器主體開口部與所述基板收納空間連通；蓋體，相對於所述容器主體開口部可裝拆，能封閉所述容器主體開口部；側方基板支承部，以成對的方式配置在所述基板收納空間內，在所述容器主體開口部沒有被所述蓋體封閉時，在使所述多個基板中相鄰的基板之間以規定的間隔隔開且處於並列的狀態下，能支承所述多個基板的邊緣部；以及蓋體側基板支承部，是所述蓋體的一部分，在所述容器主體開口部被所述蓋體封閉時，配置於與所述基板收納空間相對的部分，在所述容器主體開口部被所述蓋體封閉時，能支承所述多個基板的邊緣部；後側基板支承部，以與所述蓋體側基板支承部成對的方式配置在所述基板收納空間內，能支承所述多個基板的邊緣部，在所述容器主體開口部被所述蓋體封閉時，與所述蓋體側基板支承部協作，在使所述多個基板的邊緣部從所述側方基板支承部離開且處於並列的狀態 下，支承所述多個基板，所述後側基板支承部具備可彈性變形的腿部以及支承在所述腿部上的基板承接部，所述基板承接部具有第一抵接部和第二抵接部，第一抵接部具有第一抵接面，所述第一抵接面能與所述基板的表面的端部邊緣抵接，第二抵接部具有第二抵接面，所述第二抵接面與所述第一抵接面連接，能與所述基板的背面的端部邊緣抵接。

此外，優選的是，所述後側基板支承部與所述基板的每一個對應設置，任一所述後側基板支承部的腿部與其他所述後側基板支承部的腿部能各自獨立地彈性變形。

此外，優選的是，所述基板承接部能彈性變形，通過支承在所述側方基板支承部上的所述基板的表面的端部邊緣抵接在所述基板承接部的所述第一抵接面上並按壓所述第一抵接面、並且支承在所述側方基板支承部上的所述基板的背面的端部邊緣抵接在所述基板承接部的所述第二抵接面上並按壓所述第二抵接面，所述基板承接部和所述腿部能以由所述第一抵接面和所述第二抵接面夾持所述基板的端部邊緣的方式變形。

此外，優選的是，所述腿部具有第一腿部和第二腿部，所述第一抵接部的一個端部與所述第二抵接部的一個端部連接，所述第一抵接部的另一個端部與所述第一腿部連接，所述第二抵接部的另一個端部與所述第二腿部連接。

此外，優選的是，通過支承在所述側方基板支承部上的所述基板的背面的端部邊緣抵接在所述基板承接部的至少第二抵接面上並按壓所述第二抵接面，所述後側基板支承部的腿部能以使所述基板承接部向從支承在所述側方基板支承部上的所述基板的背面朝向表面的方向移動的方式變形。

此外，優選的是，所述腿部的一個端部與所述容器主體的內側的面連接，所述腿部的另一個端部與所述基板承接部連接，所述腿部的一個端部在從支承在所述側方基板支承部上的所述基板 的背面朝向表面的方向上，比所述腿部的另一個端部更靠眼前一側。

此外，優選的是，支承在所述側方基板支承部上的所述基板的表面在從支承在所述側方基板支承部上的所述基板的背面朝向表面的方向上，比所述第一抵接面和所述第二抵接面的連接位置更靠眼前一側。

此外，優選的是，所述第一抵接面的一個端部與所述第二抵接面的一個端部連接，所述第二抵接面的另一個端部在從支承在所述側方基板支承部上的所述基板的背面朝向表面的方向上，比支承在所述側方基板支承部上的所述基板的背面更靠眼前一側。

按照本發明，能夠提供一種基板收納容器，在搬運基板收納容器時，能夠極力抑制把衝擊傳遞給收納在基板收納容器中的多個基板。

1‧‧‧基板收納容器

2‧‧‧容器主體

3‧‧‧蓋體

5‧‧‧基板支承板狀部

6‧‧‧後部保持構件

7‧‧‧前部保持構件

20‧‧‧壁部

21‧‧‧容器主體開口部

22‧‧‧後壁

23‧‧‧上壁

24‧‧‧下壁

25‧‧‧第一側壁

26‧‧‧第二側壁

27‧‧‧基板收納空間

28‧‧‧開口周緣部

33‧‧‧操作部

34‧‧‧凹部

35‧‧‧構件卡止部

51‧‧‧板部

52‧‧‧板部支承部

60‧‧‧壁部基板支承部

61‧‧‧基板承接部

62‧‧‧第一板部

63‧‧‧第二板部

64‧‧‧腿部

65‧‧‧第一腿部

66‧‧‧第二腿部

67‧‧‧支承部固定構件

71‧‧‧縱框體

72‧‧‧前部保持構件腿部

73‧‧‧前部保持構件基板承接部

233‧‧‧肋

234‧‧‧凸緣固定部

243‧‧‧容器主體腿部

243‧‧‧主體腿部

252‧‧‧構件卡止部

262‧‧‧構件卡止部

511‧‧‧凸部

521‧‧‧第一側壁卡止部

601‧‧‧後方側連接線

602‧‧‧前方側連接線

621‧‧‧第一抵接面

631‧‧‧第二抵接面

671‧‧‧側壁後部卡止部

711‧‧‧蓋體卡止部

721‧‧‧右側腿部

722‧‧‧連接腿部

723‧‧‧左側腿部

731‧‧‧承接部上部

733‧‧‧前部保持構件第一抵接面

734‧‧‧前部保持構件第二抵接面

231A‧‧‧插銷卡合凹部

231B‧‧‧插銷卡合凹部

241A‧‧‧插銷卡合凹部

241B‧‧‧插銷卡合凹部

251A‧‧‧側方板卡止部

251B‧‧‧側方板卡止部

261B‧‧‧側方板卡止部

32A‧‧‧上側插銷部

32B‧‧‧下側插銷部

60A‧‧‧壁部基板支承部

61A‧‧‧基板承接部

621A‧‧‧長邊/端部

621C‧‧‧第一抵接面

621D‧‧‧長邊

62B‧‧‧長邊

62C‧‧‧第一板部

631A‧‧‧長邊

631B‧‧‧長邊

631C‧‧‧第二抵接面

631D‧‧‧長邊

63B‧‧‧長邊

63C‧‧‧第二板部

64A‧‧‧腿部

65A‧‧‧長邊

65B‧‧‧長邊

65C‧‧‧傾斜腿部

65D‧‧‧長邊

65E‧‧‧長邊

66A‧‧‧長邊

66B‧‧‧長邊

D1‧‧‧前後方向

D11‧‧‧前向

D12‧‧‧後向

D2‧‧‧上下方向

D21‧‧‧上向

D22‧‧‧下向

D3‧‧‧左右方向

D31‧‧‧左向

D32‧‧‧右向

W‧‧‧基板

W1‧‧‧表面

W2‧‧‧背面

W3‧‧‧基板的上側的面(表面)邊緣部的端部邊緣

W4‧‧‧基板的下側的面(背面)邊緣部的端部邊緣

X‧‧‧基準

圖1是表示第一實施方式的基板收納容器的分解立體圖。

圖2是表示第一實施方式的基板收納容器的容器主體等的立體圖。

圖3是表示第一實施方式的基板收納容器的側視剖視圖。

圖4是表示第一實施方式的基板收納容器的前部保持構件的側視放大剖視圖。

圖5是表示第一實施方式的基板收納容器的俯視剖視圖。

圖6是表示把基板保持在第一實施方式的基板收納容器中的樣子的俯視剖視圖。

圖7是表示通過第一實施方式的基板收納容器的基板承接部支承基板的樣子的示意圖，圖7的(a)表示支承基板前的狀態，圖7的(b)表示支承有基板的狀態。

圖8是表示第二實施方式的基板收納容器的容器主體等的立 體圖。

圖9是表示通過第二實施方式的基板收納容器的基板承接部支承基板的樣子的示意圖，圖9的(a)表示支承基板前的狀態，圖9的(b)表示支承有基板的狀態。

下面參照附圖對本發明第一實施方式的基板收納容器進行說明。圖1是表示第一實施方式的基板收納容器的分解立體圖。圖2是表示第一實施方式的基板收納容器1的容器主體2的立體圖。圖3是表示第一實施方式的基板收納容器1的側視剖視圖。圖4是表示第一實施方式的基板收納容器的前部保持構件的側視放大剖視圖。圖5是表示第一實施方式的基板收納容器1的俯視剖視圖。圖6是表示把基板W保持在第一實施方式的基板收納容器1中的樣子的俯視剖視圖。圖7是表示通過第一實施方式的基板收納容器1的基板承接部61支承基板W的樣子的示意圖，圖7的(a)表示支承基板W前的狀態，圖7的(b)表示支承有基板W的狀態。

在此，為了便於說明，把從後面敍述的容器主體2朝向蓋體3的方向(圖3中的左向)定義為前向D11，把與其相反的方向定義為後向D12，把它們定義為前後方向D1。此外，把從後面敍述的下壁24朝向上壁23的方向(在圖3中的上向)定義為上向D21，把與其相反的方向定義為下向D22，把它們定義為上下方向D2。此外，把從後面敍述的第二側壁26朝向第一側壁25的方向(在圖3中為從紙面的表面朝向背面的方向)定義為左向D31，把與其相反的方向定義為右向D32，把它們定義為左右方向D3。

此外，收納在基板收納容器1中的基板W(參照圖6等)是圓盤狀的矽晶片、玻璃晶片、藍寶石晶片等，是用於工業的薄片。在本實施方式中的基板W是直徑為450mm的矽晶片。

如圖1~圖3所示，基板收納容器1包括容器主體2、蓋體3、 密封構件4、作為側方基板支承部的基板支承板狀部5、後部保持構件6和前部保持構件7。

容器主體2具有筒形的壁部20，在壁部20的一個端部形成有容器主體開口部21，另一個端部封閉。在容器主體2內形成有基板收納空間27。通過壁部20包圍形成基板收納空間27。在作為壁部20的一部分的、形成有基板收納空間27的部分，配置有基板支承板狀部5和後部保持構件6。在基板收納空間27中可以收納多個基板W(參照圖6)。

基板支承板狀部5在基板收納空間27內以成對的方式設置於壁部。在容器主體開口部21沒有被蓋體3封閉時，基板支承板狀部5可以在使相鄰的基板W之間隔開規定的間隔且處於並列的狀態下，支承多個基板W的邊緣部。在容器主體開口部21被蓋體3封閉時，後部保持構件6可以支承多個基板W的邊緣部的後部。

蓋體3相對於容器主體開口部21可以裝拆，可以封閉容器主體開口部21。前部保持構件7是蓋體3的一部分，在容器主體開口部21被蓋體3封閉時，設在與基板收納空間27相對的部分。前部保持構件7與後部保持構件6以成對的方式配置。

在容器主體開口部21被蓋體3封閉時，前部保持構件7可以支承多個基板W的邊緣部的前部。在容器主體開口部21被蓋體3封閉時，前部保持構件7與後部保持構件6協作，支承多個基板W，由此在使相鄰的基板W之間隔開規定的間隔且處於並列的狀態下，支承多個基板W。下面對各部分進行詳細說明。

容器主體2的壁部20具有後壁22、上壁23、下壁24、第一側壁25和第二側壁26。後壁22、上壁23、下壁24、第一側壁25和第二側壁26由塑料材料等製成，在第一實施方式中由聚碳酸酯一體成形。

如圖1~圖3所示，第一側壁25和第二側壁26相對，上壁23和下壁24相對。上壁23的後端、下壁24的後端、第一側壁 25的後端和第二側壁26的後端全都與後壁22連接。上壁23的前端、下壁24的前端、第一側壁25的前端和第二側壁26的前端構成開口周緣部28，開口周緣部28形成與後壁22具有相對的位置關係的容器主體開口部21。

開口周緣部28設置於容器主體2的一個端部，後壁22位於容器主體2的另一個端部。由壁部20的外側的面形成的容器主體2的外形為箱形。壁部20的內側的面，即，後壁22的內側的面、上壁23的內側的面、下壁24的內側的面、第一側壁25的內側的面和第二側壁26的內側的面形成由它們包圍的基板收納空間27。在開口周緣部28形成的容器主體開口部21與由壁部20包圍並形成在容器主體2內部的基板收納空間27連通。如後面敍述的那樣，在基板收納空間27最多可以收納25個基板W(參照圖6等)。

在作為上壁23和下壁24的一部分的、開口周緣部28的附近的部分，形成有向基板收納空間27外側凹陷的插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B。插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B在上壁23和下壁24的左右兩個端部附近各有一個，一共形成有四個。

此外，如圖5所示，在第一側壁25上設置有側方板卡止部251A、251B。此外，在第二側壁26上設置有側方板卡止部261A、261B。側方板卡止部251A、251B、261A、261B在作為第一側壁25、第二側壁26的一部分的、前後方向D1的中間部分，以在前後方向D1上隔開規定的間隔的位置關係成對設置。

此外，在作為第一側壁25內側的面的一部分的、比側方板卡止部251A、251B更靠後向D12的部分，設置有後部保持構件卡止部252。同樣地，在作為第二側壁26內側的面的部分的、比側方板卡止部251A、251B更靠後向D12的部分，設置有後部保持構件卡止部262。

如圖2所示，在上壁23的外側的面上，與上壁23一體成形設置有肋233和凸緣固定部234。肋233從上壁23外側的面向上向D21突出，大體沿前後方向D1延伸。上端凸緣(圖中沒有表示)固定於凸緣固定部234。所謂上端凸緣是固定於上壁23、且在AMHS(自動晶片輸送系統)、PGV(晶片基板輸送台車)等上吊掛基板收納容器1時，掛在基板收納容器1上成為吊掛的部分的構件。

如圖2所示，在下壁24的外側的面上設置有容器主體腿部243。容器主體腿部243與下壁24的左右兩個端部邊緣一體成形，沿下壁24的左右兩個端部邊緣在前後方向D1上延伸。容器主體腿部243在以下壁24作為下側把容器主體2放置在水平的平坦面上時，與該平坦面抵接，穩定地支承容器主體2。

基板支承板狀部5分別設置於第一側壁25和第二側壁26，在左右方向D3上以成對的方式配置在基板收納空間27內。具體地說，如圖5所示，基板支承板狀部5具有板部51和板部支承部52。板部51和板部支承部52由樹脂一體成形。板部51具有板狀的圓弧形。板部51在第一側壁25、第二側壁26上分別各設置有25個，共設置有50個。相鄰的板部51在上下方向D2上相互隔開10mm~12mm的間隔、且以平行的位置關係配置。此外，在位於最上方的板部51的上方，配置有與板部51大體相同形狀的構件，該構件是針對位於最上方的、向基板收納空間27內插入的基板W，在插入時起引導作用的構件。

此外，設於第一側壁25的25個板部51和設於第二側壁26的25個板部51具有相互在左右方向D3上相對的位置關係。此外，50個板部51和與板部51大體相同形狀的2個起引導作用的構件與下壁24的內側的面具有平行的位置關係。如圖3所示，在板部51的上側的面上設置有凸部511。支承在板部51上的基板W僅與凸部511的突出端接觸，不是以面的方式與板部51接觸。

板部支承部52由沿上下方向D2延伸的構件構成。設於第一側壁25的25個板部51與設於第一側壁25側的板部支承部52連接。同樣地，設於第二側壁26的25個板部51與設於第二側壁26側的板部支承部52連接。

如圖5所示，板部支承部52具有第一側壁卡止部521。第一側壁卡止部521在前後方向D1上以隔開規定的間隔的位置關係成對設置，可以分別與設於第一側壁25、第二側壁26的側方板卡止部251A、251B、261A、261B卡止。通過第一側壁卡止部521與側方板卡止部251A、251B、261A、261B卡止，基板支承板狀部5分別固定於第一側壁25、第二側壁26。

利用所述構成的基板支承板狀部5，可以在使多個基板W中相鄰的基板W之間隔開規定的間隔的狀態、且成為相互平行的位置關係的狀態下，支承多個基板W的邊緣部。

如圖5所示，後部保持構件6具有作為後側基板支承部的壁部基板支承部60和支承部固定構件67。支承部固定構件67具有側壁後部卡止部671，側壁後部卡止部671可以與後部保持構件卡止部252、262卡止。通過側壁後部卡止部671與後部保持構件卡止部252、262卡止，後部保持構件6分別固定於第一側壁25、第二側壁26。

在支承部固定構件67上，分別設置有與能收納在基板收納空間27中的基板W的每一個對應的個數的壁部基板支承部60，具體地說設置有25個壁部基板支承部60。如圖6所示，壁部基板支承部60如後面敍述的那樣，以表示從基板W收納在基板收納容器1中時的基板W的中心C向左右方向D3延伸的假想直徑的直線X為基準，分別配置在中心角為15°~70°的範圍內，在第一實施方式中，分別配置在中心角為30°(α 1)~50°(α 2)的範圍內。設置於第一側壁25和第二側壁26的壁部基板支承部60，在前後方向D1上具有與後面敍述的前部保持構件7成對的位置關 係。

如圖3等所示，壁部基板支承部60具有基板承接部61和腿部64。基板承接部61具有構成第一抵接部的長方形平板狀的第一板部62和構成第二抵接部的長方形平板狀的第二板部63。第一板部62具有表面和背面，表面的法線傾斜朝向下向D22、且傾斜朝向前向D11。如圖7所示，第一板部62的表面構成第一抵接面621。同樣地，第二板部63具有表面和背面，表面的法線傾斜朝向上向D21、且傾斜朝向前向D11。第二板部63的表面構成第二抵接面631。

如圖7所示，作為長方形的第一板部62一個端部的一個長邊以與作為長方形的第二板部63一個端部的一個長邊一致的位置關係連接。即，長方形的第一板部62的第一抵接面621的一個長邊621A和長方形的第二板部63的第二抵接面631的一個長邊631A一致，第一抵接面621和第二抵接面631連接。一致的一個長邊621A和一個長邊631A以具有與下壁24的內側的面平行的位置關係的方式延伸。

第一抵接面621和第二抵接面631的連接位置的部分(一個長邊621A和一個長邊631A)比作為支承在基板支承板狀部5上的基板W的上側的面的表面W1更靠上側。換句話說，支承在基板支承板狀部5上的基板W的表面W1，在從作為支承在基板支承板狀部5上的基板W的下側的面的背面W2朝向作為上側的面的表面W1的方向上，比第一抵接面621和第二抵接面631的連接位置更靠眼前一側。

如後面敍述的那樣，基板W收納在基板收納空間27內，在通過蓋體3進行封閉並通過後部保持構件6和前部保持構件7支承基板W時，基板W的上側的面(表面W1)的邊緣部的端部邊緣W3可以抵接在第一抵接面621上。基板W收納在基板收納空間27內，通過蓋體3進行封閉並通過後部保持構件6和前部保持 構件7支承基板W時，基板W的下側的面(背面W2)的邊緣部的端部邊緣W4可以抵接在第二抵接面631上。

如圖3所示，腿部64具有第一腿部65和第二腿部66。第一腿部65和第二腿部66分別是長方形的平板狀。如圖7所示，第一腿部65的一個長邊65A固定在支承部固定構件67上。因此，第一腿部65的一個長邊65A通過支承部固定構件67固定在第一側壁25或第二側壁26上。第一腿部65的另一個長邊65B與作為第一板部62的另一個端部的長邊62B連接。同樣地，第二腿部66的一個長邊66A固定在支承部固定構件67上。因此，第二腿部66的一個長邊66A通過支承部固定構件67固定在第一側壁25或第二側壁26上。第二腿部66的另一個長邊66B與作為第二板部63的另一個端部的另一個長邊63B連接。

因此，如圖7所示，從與第一板部62的第一抵接面621和第二板部63的第二抵接面631的連接部分(一個長邊621A、631A)平行的方向(圖7中的連接紙面的表面側和背面側的方向)看到的壁部基板支承部60具有M形。第二腿部66、第二板部63、第一板部62、第一腿部65從下向上按該順序配置。

作為第二抵接面631的另一個端部的另一個長邊631B，比支承在基板支承板狀部5上的基板W的背面W2更靠下側。換句話說，作為第二抵接面631的另一個端部的另一個長邊631B，在從支承在基板支承板狀部5上的基板W的背面W2朝向表面W1的方向上，比支承在基板支承板狀部5上的基板W的背面W2更靠眼前一側。

25個壁部基板支承部60中的13個壁部基板支承部60，在靠後方的位置，在上下方向D2上配置成一列。25個壁部基板支承部60中剩下的12個壁部基板支承部60，在比上述13個壁部基板支承部60更靠前向D11的位置，在上下方向D2上配置成一列。

靠後方的13個壁部基板支承部60和靠前向D11的12個壁部 基板支承部60，在圖3所示的側視中，在前後方向D1上以具有相互不同的位置關係的方式從下向上一個個配置。即，連接靠後方的13個壁部基板支承部60的第一板部62的第一抵接面621和第二板部63的第二抵接面631形成的連接線(以下稱為“後方側連接線601”)與、連接靠前向D11的12個壁部基板支承部60的第一板部62的第一抵接面621和第二板部63的第二抵接面631形成的連接線(以下稱為“前方側連接線602”)，在圖3所示的側視圖中，沒有成為一致的位置關係。後方側連接線601和前方側連接線602平行，具有從上向下交替排列的位置關係。因此，通過靠後向D12的13個壁部基板支承部60和靠前向D11的12個壁部基板支承部60，從上向下交替，可以支承25個半導體晶片。

第一板部62、第二板部63、第一腿部65和第二腿部66由可彈性變形的材料製成。作為可彈性變形的材料，可以舉出PEE(聚醚酯彈性體)、PBT(聚對苯二甲酸丁二醇酯)等。在第一實施方式中使用PEE。用所述的材料製成的、如前所述的壁部基板支承部60，由於與基板W的每一個對應設置，所以一個壁部基板支承部60的腿部64與其他的壁部基板支承部60的腿部64可以各自獨立地彈性變形。其結果，一個壁部基板支承部60與其他的壁部基板支承部60可以各自獨立地彈性變形。此外，第一板部62、第二板部63、第一腿部65和第二腿部66的彈性變形程度可以通過選擇它們的材料進行控制，除此以外，也可以利用它們具有的形狀進行控制。

蓋體3具有與容器主體2的開口周緣部28的形狀大體一致的大體長方形的形狀。蓋體3相對於容器主體2的開口周緣部28可以裝拆，通過在開口周緣部28上裝上蓋體3，蓋體3可以封閉容器主體開口部21。如圖2、圖5、圖6所示，在蓋體3的外周邊緣部，沿蓋體3的外周邊緣部形成有密封構件嵌合槽31。在密封構件嵌合槽31中，嵌入可彈性變形的POE(聚氧乙烯)制、PEE制、 氟橡膠制、矽橡膠制等的環形密封構件4。密封構件4以環繞蓋體3的外周邊緣部一周的方式配置。

在把蓋體3安裝在開口周緣部28上時，蓋體3的外周邊緣部通過密封構件4與容器主體2的開口周緣部28的內周邊緣部抵接。由此，密封構件4被蓋體3的外周邊緣部和開口周緣部28的內周邊緣部夾持，產生彈性變形，蓋體3以密封的狀態封閉容器主體開口部21。通過從開口周緣部28把蓋體3取下來，可以把基板W放入容器主體2內的基板收納空間27或把基板W從容器主體2內的基板收納空間27取出。

在蓋體3上設置有插銷機構。插銷機構設置在蓋體3的左右兩個端部附近，如圖1所示，插銷機構具有：兩個上側插銷部32A，可以從蓋體3的上邊向上向D21突出；以及兩個下側插銷部32B，可以從蓋體3的下邊向下向D22突出。兩個上側插銷部32A配置在蓋體3上邊的左右兩端附近，兩個下側插銷部配置在蓋體3下邊的左右兩端附近。

在蓋體3的外側的面設置有操作部33。通過從蓋體3的前側對操作部33進行操作，可以使上側插銷部32A、下側插銷部分別從蓋體3的上邊、下邊突出，此外，可以使上側插銷部32A、下側插銷部成為不從上邊、下邊突出的狀態。上側插銷部32A從蓋體3的上邊向上向D21突出，與容器主體2的插銷卡合凹部231A、231B卡合，並且下側插銷部(圖中沒有表示)從蓋體3的下邊向下向D2突出，與容器主體2的插銷卡合凹部241A、241B卡合，由此可以把蓋體3固定於容器主體2的開口周緣部28。

在蓋體3的內側形成有向基板收納空間27的外側凹陷的凹部34。凹部34位於蓋體3的左右方向D3的中央位置，其寬度具有蓋體3的左右方向D3的寬度的一半左右，在上下方向D2上從蓋體3的上端部附近到下端部附近形成。在形成有凹部34的蓋體3的內側的面上，在左右方向D3上以成對的方式設置有前部保持構 件卡止部35。

在凹部34中設置有前部保持構件7。即，前部保持構件7是蓋體3的一部分，配置在封閉容器主體2的容器主體開口部21時形成基板收納空間27的部分，即，配置在與基板收納空間27相對的部分。前部保持構件7具有與上下方向D2平行延伸的一對縱框體71、前部保持構件腿部72、作為蓋體側基板支承部的前部保持構件基板承接部73。一對縱框體71、前部保持構件腿部72和前部保持構件基板承接部73由樹脂一體成形。前部保持構件基板承接部73構成蓋體側基板支承部。

前部保持構件基板承接部73在左右方向D3上隔開規定的間隔以成對的方式配置有兩個。以成對的方式配置有兩個的前部保持構件基板承接部73在上下方向D2上以並列的狀態設置有25對。

如圖3、圖4所示，前部保持構件基板承接部73具有承接部上部731和承接部下部732，承接部上部731具有前部保持構件第一抵接面733，承接部下部732具有前部保持構件第二抵接面734。前部保持構件第一抵接面733的法線傾斜地朝向下向D22、且傾斜地朝向後向D12。前部保持構件第二抵接面734的法線傾斜地朝向上向D21、且傾斜地朝向後向D12。

在通過把基板W(參照圖6等)收納在基板收納空間27內並把蓋體3關閉，基板W由後部保持構件6和前部保持構件7支承時，基板W的上側的面的邊緣部的端部邊緣W3的前部抵接在前部保持構件第一抵接面733上。在通過把基板W收納在基板收納空間27內並把蓋體3關閉，基板W由後部保持構件6和前部保持構件7支承時，基板W的下側的面的邊緣部的端部邊緣W4的前部抵接在前部保持構件第二抵接面734上。由此，前部保持構件基板承接部73可以支承多個基板W的邊緣部。

前部保持構件腿部72具有右側腿部721、連接腿部722、左 側腿部723。右側腿部721從右側的前部保持構件基板承接部73向右向D32延伸。連接腿部722連接在左右方向D3上隔開規定的間隔配置的兩個前部保持構件基板承接部73。左側腿部723從左側的前部保持構件基板承接部73向左向D31延伸。

右側腿部721、右側的前部保持構件基板承接部73、連接腿部722、左側的前部保持構件基板承接部73、左側腿部723通過一體地形成，按該順序相互連接，在左右方向D3上延伸。如上所述地一體成形的右側腿部721、右側的前部保持構件基板承接部73、連接腿部722、左側的前部保持構件基板承接部73和左側腿部723以平行的位置關係隔開規定的間隔，在上下方向D2上配置有25個。右側腿部721的右端與右側的縱框體71一體成形並連接，左側腿部723的左端與左側的縱框體71一體成形並連接。

在成對的縱框體71上分別設置有蓋體卡止部711、711。蓋體卡止部711、711可以與蓋體3的前部保持構件卡止部35卡止。在右側的縱框體71和左側的縱框體71上，通過蓋體卡止部711、711與蓋體3的前部保持構件卡止部35分別卡止，前部保持構件7被固定在蓋體3上。通過解除蓋體卡止部711、711與蓋體3的前部保持構件卡止部35的卡止，前部保持構件7可以從蓋體3上取下來。

接著，對把基板W收納在基板收納空間27中時的動作進行說明。首先，使蓋體3的全部的上側插銷部32A和下側插銷部(圖中沒有表示)成為沒有從蓋體3的上邊和下邊突出的狀態，把蓋體3從容器主體2的開口周緣部28上取下來。接著，把25個基板W分別放置在基板支承板狀部5上，使25個基板W成為支承在基板支承板狀部5上的狀態。接著，使蓋體3抵接在開口周緣部28上。

此時，各基板的背面W2前部的端部邊緣W4抵接在各前部保持構件7的前部保持構件第二抵接面734上，並被向後向D12推。 由此，如圖7的(a)所示，各基板W的背面W2後部的端部邊緣W4抵接在壁部基板支承部60的第二抵接面631上，並在第二抵接面631上向上滑動。然後，各基板W的表面W1後部的端部邊緣W3抵接在壁部基板支承部60的第一抵接面621上。進而，基板W的表面W1的端部邊緣W3、背面W2的端部邊緣W4分別向後向D12推壓第一抵接面621、第二抵接面631，由此，如圖7的(b)所示，第一腿部65、第二腿部66、第一板部62和第二板部63產生彈性變形，由第一抵接面621和第二抵接面631夾持基板W後部的端部邊緣W3、W4。

同樣地，各基板W的背面W2的端部邊緣W4的前部在前部保持構件7的前部保持構件第二抵接面734上向上滑動。然後各基板W的表面W1的端部邊緣W3的前部抵接在前部保持構件7的前部保持構件第一抵接面733上。

由此，多個基板W的邊緣部的端部邊緣W3、W4的後部由後部保持構件6的壁部基板支承部60支承，多個基板W的邊緣部的端部邊緣W3、W4的前部由前部保持構件7的前部保持構件基板承接部73支承。即，壁部基板支承部60與前部保持構件7的前部保持構件基板承接部73協作，在使多個基板W的邊緣部從基板支承板狀部5離開、使相鄰的基板W之間隔開規定的間隔的狀態下、且成為相互平行的位置關係的狀態下，支承多個基板W。

接著，使蓋體3的全部的上側插銷部32A和下側插銷部(圖中沒有表示)，成為從蓋體3的上邊和下邊突出的狀態，將蓋體3固定在開口周緣部28上並安裝在開口周緣部28上，用蓋體3封閉容器主體開口部21。由此把25個基板W收納在基板收納空間27中。

按照所述構成的第一實施方式的基板收納容器1，可以得到以下的效果。

如上所述，基板收納容器1具有後側基板支承部(壁部基板 支承部60)，在基板收納空間27內與蓋體側基板支承部(前部保持構件基板承接部73)成對配置，可以支承多個基板W的邊緣部，在容器主體開口部21被蓋體3封閉時，與蓋體側基板支承部(前部保持構件基板承接部73)協作，在使多個基板W的邊緣部從側方基板支承部(基板支承板狀部5)離開且處於並列的狀態下，支承多個基板W。

後側基板支承部(壁部基板支承部60)具備可彈性變形的腿部64以及支承在腿部64上的基板承接部61，基板承接部61具有第一抵接部(第一板部62)和第二抵接部(第二板部63)，第一抵接部(第一板部62)具有可以與基板W的表面W1的端部邊緣W3抵接的第一抵接面621，第二抵接部(第二板部63)具有與第一抵接面621連接、且可以與基板W的背面W2的端部邊緣W4抵接的第二抵接面631。因此，在搬運基板收納容器1時，腿部64產生彈性變形，可以吸收從基板收納容器1外部施加的衝擊，由此可以極力抑制把衝擊傳遞給收納在基板收納容器1中的多個基板W。

此外，後側基板支承部(壁部基板支承部60)與每一個基板W對應設置，一個後側基板支承部(壁部基板支承部60)的腿部64與其他的後側基板支承部(壁部基板支承部60)的腿部64可以各自獨立地彈性變形，各腿部64可以各自獨立地吸收從基板收納容器1外部施加的衝擊。因此，可以更有效地抑制把衝擊傳遞給收納在基板收納容器1中的多個基板W。

此外，基板承接部61可以彈性變形，腿部64具有第一腿部65和第二腿部66，第一抵接部(第一板部62)的一個端部與第二抵接部(第二板部63)的一個端部連接，第一抵接部(第一板部62)的另一個端部與第一腿部65連接，第二抵接部(第二板部63)的另一個端部與第二腿部66連接。因此，通過支承在基板支承板狀部5上的基板W的表面W1的端部邊緣W3抵接在基板承接部 61的第一抵接面621上並按壓第一抵接面621、並且支承在側方基板支承部(基板支承板狀部5)上的基板W的背面W2的端部邊緣W4抵接在基板承接部61的第二抵接面631上並按壓第二抵接面631，由此基板承接部61和腿部64可以產生變形，使得通過第一抵接面621和第二抵接面631夾持基板W的端部邊緣。由此，在用蓋體側基板支承部(前部保持構件基板承接部73)和後側基板支承部(壁部基板支承部60)支承基板W時，可以成為使基板W的邊緣部從側方基板支承部(基板支承板狀部5)離開的狀態。

此外，支承在側方基板支承部(基板支承板狀部5)上的基板W的表面W1，在從支承在側方基板支承部(基板支承板狀部5)上的基板W的背面W2朝向表面W1的方向上，比第一抵接面621和第二抵接面631的連接位置更靠眼前一側，因此在通過用蓋體3封閉容器主體開口部21，由蓋體側基板支承部(前部保持構件基板承接部73)和後側基板支承部(壁部基板支承部60)支承基板W時，在基板W的背面W2的端部邊緣W4抵接在第二抵接面631上、並且基板W的表面W1的端部邊緣W3抵接在第一抵接面621上之前，基板W的背面W2的端部邊緣W4可以在第二抵接面631上向上滑動。

此外，第一抵接面621的一個端部621A與第二抵接面631的一個端部631A連接，第二抵接面631的另一個端部631B，在從支承在側方基板支承部(基板支承板狀部5)上的基板W的背面W2朝向表面W1的方向上，比支承在側方基板支承部(基板支承板狀部5)上的基板W的背面W2更靠眼前一側，所以在通過用蓋體3封閉開口，由蓋體側基板支承部(前部保持構件基板承接部73)和後側基板支承部(壁部基板支承部60)支承基板W時，在基板W的背面W2的端部邊緣W4抵接在第二抵接面631上、並且基板W的表面W1的端部邊緣W3抵接在第一抵接面621上之前，基板W的背面W2的端部邊緣W4可以在第二抵接面631 上向上滑動。

下面對本發明的第二實施方式的基板收納容器進行說明。圖8是表示第二實施方式的基板收納容器的容器主體2的立體圖。圖9是表示通過第二實施方式的基板收納容器的基板承接部61A支承基板W的樣子的示意圖，圖9的(a)表示支承基板W前的狀態，圖9的(b)表示支承有基板W的狀態。

在第一實施方式中，一個壁部基板支承部60的腿部64具有第一腿部65和第二腿部66這兩個腿部，而在第二實施方式中，不具有第一腿部和第二腿部這兩個腿部，只具有一個傾斜腿部65C，在該點與第一實施方式不同。此外，第一板部62C和第二板部63C由不容易產生變形的樹脂製成，第一板部62C以第一板部62C相對於第二板部63C的姿勢不容易改變的方式與第二板部63C硬性連接，在該點也與第一實施方式不同。除了這些以外的包括蓋體3的構成，與第一實施方式相同，對於相同的構件利用相同的附圖標記進行圖示，並省略了說明。此外，關於第一板部62C和第二板部63C，不僅在構成的材料的樹脂的選擇上，而且在形狀和結構上也想了辦法(例如結構加厚)等，由此可以使第一板部62C和第二板部63C變硬，使得第一板部62C相對於第二板部63C的姿勢不容易改變。

第一板部62C和第二板部63C例如由PC(聚碳酸酯)、PEEK(聚醚醚酮)這樣的、在基板W抵接按壓的程度下不容易產生變形的樹脂製成，在第二實施方式中由PC製成。此外，與第一實施方式相同，長方形的第一板部62C的第一抵接面621C的一個長邊621D和長方形的第二板部63C的第二抵接面631C的一個長邊631D一致，由此連接第一抵接面621C和第二抵接面631C。但是如前所述，由於由不容易產生變形的樹脂製成，所以第一板部62C與第二板部63C硬性連接，使得第一板部62C相對於第二板部63C的姿勢不容易改變。

腿部64A具有傾斜腿部65C。傾斜腿部65C為長方形的平板狀。傾斜腿部65C的一個長邊65D通過固定在支承部固定構件67上，通過支承部固定構件67與第一側壁25或第二側壁26連接。傾斜腿部65C的另一個長邊65E與所述第一板部62C的第一抵接面621C的一個長邊621D和第二板部63C的第二抵接面631C的一個長邊631D的連接位置連接。與第一板部62C和第二板部63C相同，傾斜腿部65C例如由PC(聚碳酸酯)、PEEK(聚醚醚酮)等材料製成，如後面敍述的那樣，支承在基板支承板狀部5上的基板W的背面W2的端部邊緣抵接在基板承接部61A的第二抵接面631C上，並把第二抵接面631C向後向D12按壓，由此所述材料能夠產生彈性變形，使得基板承接部61A向上向D21移動，在第二實施方式中，傾斜腿部65C由PC製成。此外，為了使基板承接部61A向上向D21移動，作為構成傾斜腿部65C的材料的、容易產生彈性變形的材料，也可以使用POE、PEE等。此外，除了選擇構成傾斜腿部65C的材料以外，通過對傾斜腿部65C的形狀(例如變薄、變細、形成彈簧的形狀等)想辦法，也可以調整彈性變形量。

作為傾斜腿部65C的一個端部的所述一個長邊65D，在從支承在基板支承板狀部5上的基板W的背面W2朝向表面W1的方向上，配置在比作為傾斜腿部65C的另一個端部的所述另一個長邊65E更靠眼前一側側的位置，即配置在下側。因此，如圖9所示，從與第一板部62C的第一抵接面621C和第二板部63C的第二抵接面631C的連接部分(621D、631D)平行的方向(在圖9中，連接紙面的表面側和背面側的方向)看到的壁部基板支承部60A為Y形。

接著，對把基板W收納在第二實施方式的基板收納容器的基板收納空間27中時的動作進行說明。首先，使蓋體3的全部上側插銷部32A(參照圖1等)和下側插銷部(圖中沒有表示)，成為 沒有從蓋體3的上邊和下邊突出的狀態，把蓋體3從容器主體2的開口周緣部28上取下來。然後把25個基板W分別放置在基板支承板狀部5上，基板W成為由基板支承板狀部5支承的狀態。接著，使蓋體3抵接在開口周緣部28上。

此時，各基板W的背面W2的端部邊緣W4的前部抵接在各前部保持構件7(參照圖3等)的前部保持構件第二抵接面734上，並被向後向D12推。由此，如圖9的(a)所示，各基板W的背面W2的端部邊緣W4的後部抵接在壁部基板支承部60A的第二抵接面631C上，並在第二抵接面631C上向上滑動。此時，傾斜腿部65C以使基板承接部61A向上向D21移動的方式產生變形。如圖9的(b)所示，各基板W的表面W1的端部邊緣W3的後部抵接在壁部基板支承部60的第一抵接面621C上。

同樣地，各基板W的背面W2的端部邊緣W4的前部抵接在前部保持構件7的前部保持構件第二抵接面734(參照圖4)上，並在前部保持構件第二抵接面734上向上滑動。各基板W的表面W1的端部邊緣W3的前部抵接在前部保持構件7的前部保持構件第一抵接面733上。

由此，多個基板W邊緣部的端部邊緣W3、W4的後部由壁部基板支承部60A支承，多個基板W邊緣部的端部邊緣W3、W4的前部由前部保持構件7支承。即，壁部基板支承部60A與蓋體側基板支承部(前部保持構件基板承接部73)協作，在使多個基板W的邊緣部從基板支承板狀部5離開、使相鄰的基板W之間隔開規定的間隔的狀態下、且成為相互平行的位置關係的狀態下，支承多個基板W。

接著，使蓋體3的全部上側插銷部32A(參照圖1等)和下側插銷部(圖中沒有表示)成為從蓋體3的上邊和下邊突出的狀態，把蓋體3固定在開口周緣部28上並安裝在開口周緣部28上，用蓋體3封閉容器主體開口部21。由此，可以把25個基板W收 納在由壁部20包圍形成的基板收納空間27中。

按照所述構成的第二實施方式的基板收納容器，可以得到以下的效果。

腿部65C的一個端部65D通過支承部固定構件67，與構成容器主體2內側的面的第一側壁25或第二側壁26的內側的面連接，腿部65C的另一個端部65E與基板承接部61A連接，腿部65C的一個端部在從支承在側方基板支承部(基板支承板狀部5)上的基板W的背面W2朝向表面W1的方向上，位於比腿部65C的另一個端部65E更靠眼前一側的位置。因此，支承在側方基板支承部(基板支承板狀部5)上的基板W的背面W2的端部邊緣W4抵接在基板承接部61A的至少第二抵接面631C上，並按壓第二抵接面631C，由此後側基板支承部(壁部基板支承部60A)的腿部65C可以產生變形，使得基板承接部61A向從支承在側方基板支承部上的基板W的背面W2朝向表面W1的方向移動。由此，在用蓋體側基板支承部(前部保持構件基板承接部73)和後側基板支承部(壁部基板支承部60A)支承基板W時，可以成為使基板W的邊緣部從基板支承板狀部5離開的狀態。

本發明不限於所述的實施方式，在申請專利範圍所記載的技術範圍內可以進行變形。例如，在本實施方式中，壁部基板支承部60設置在容器主體2上，而沒有設置在蓋體3上，但不限於該結構。

例如也可以設置與所述的壁部基板支承部60相同的支承部，來替代實施方式的前部保持構件7的前部保持構件腿部72和前部保持構件基板承接部73。通過採用這樣的結構，在搬運基板收納容器時，支承基板W前後的所述支承部和壁部基板支承部60的各自的構件，可以吸收從基板收納容器外部施加的衝擊。

此外，基板支承板狀部5相鄰的板部51相互分開、且以平行的位置關係配置，但是也可以不是嚴格的平行的位置關係，只要 是並列就可以。

此外，在第一實施方式中，第一板部62和第二板部63與第一腿部65和第二腿部66相同，可以彈性變形，但是不限於該結構。例如第一板部62和第二板部63也可以由不容易產生變形的材料製成，或也可以由不容易變形的形狀構成。

此外，在第二實施方式中，第一板部62C和第二板部63C由不容易產生變形的材料製成，但不限於此。例如第一板部和第二板部也可以由可以彈性變形的材料製成，或也可以由能彈性變形的形狀構成。

此外，容器主體和蓋體的形狀、可以收納在容器主體中的基板的個數、尺寸不限於本實施方式中的容器主體2和蓋體3的形狀、可以收納在容器主體2中的基板W的個數、尺寸。例如基板支承板狀部不限於本實施方式的基板支承板狀部5的結構。

此外，靠後向D12的13個壁部基板支承部60和靠前向D11的12個壁部基板支承部60以相互位於不同的位置關係的方式進行配置，但不限於相互不同的位置關係。也可以是在上下方向D2上隔開規定的狹小間隔、使基板並列的結構。

1‧‧‧基板收納容器

2‧‧‧容器主體

3‧‧‧蓋體

5‧‧‧基板支承板狀部

6‧‧‧後部保持構件

21‧‧‧容器主體開口部

23‧‧‧上壁

24‧‧‧下壁

25‧‧‧第一側壁

26‧‧‧第二側壁

27‧‧‧基板收納空間

28‧‧‧開口周緣部

32A‧‧‧上側插銷部

32B‧‧‧下側插銷部

33‧‧‧操作部

233‧‧‧肋

234‧‧‧凸緣固定部

241B‧‧‧插銷卡合凹部

243‧‧‧容器主體腿部

D1‧‧‧前後方向

D11‧‧‧前向

D12‧‧‧後向

D2‧‧‧上下方向

D21‧‧‧上向

D22‧‧‧下向

D3‧‧‧左右方向

D31‧‧‧左向

D32‧‧‧右向

Claims (8)

1. 一種基板收納容器，其特徵在於，所述基板收納容器包括：容器主體，在內部形成有能收納多個基板的基板收納空間，在一個端部形成有容器主體開口部，所述容器主體開口部與所述基板收納空間連通；蓋體，相對於所述容器主體開口部可裝拆，能封閉所述容器主體開口部；側方基板支承部，以成對的方式配置在所述基板收納空間內，在所述容器主體開口部沒有被所述蓋體封閉時，在使所述多個基板中相鄰的基板之間以規定的間隔隔開且處於並列的狀態下，能支承所述多個基板的邊緣部；以及蓋體側基板支承部，是所述蓋體的一部分，在所述容器主體開口部被所述蓋體封閉時，配置於與所述基板收納空間相對的部分，在所述容器主體開口部被所述蓋體封閉時，能支承所述多個基板的邊緣部；後側基板支承部，以與所述蓋體側基板支承部成對的方式配置在所述基板收納空間內，能支承所述多個基板的邊緣部，在所述容器主體開口部被所述蓋體封閉時，與所述蓋體側基板支承部協作，在使所述多個基板的邊緣部從所述側方基板支承部離開且處於並列的狀態下，支承所述多個基板，所述後側基板支承部具備可彈性變形的腿部以及支承在所述腿部上的基板承接部，所述基板承接部具有第一抵接部和第二抵接部，第一抵接部具有第一抵接面，所述第一抵接面能與所述基板的表面的端部邊緣抵接，第二抵接部具有第二抵接面，所述第二抵接面與所述第一抵接面連接，能與所述基板的背面的端部邊緣抵接。
2. 根據申請專利範圍第1項所述的基板收納容器，其中，所述後側基板支承部與所述基板的每一個對應設置，任一所述後側基板支承部的腿部與其他所述後側基板支承部的腿部能各自獨立地彈性變形。
3. 根據申請專利範圍第1項或第2項所述的基板收納容器，其中，所述基板承接部能彈性變形，通過支承在所述側方基板支承部上的所述基板的表面的端部邊緣抵接在所述基板承接部的所述第一抵接面上並按壓所述第一抵接面、並且支承在所述側方基板支承部上的所述基板的背面的端部邊緣抵接在所述基板承接部的所述第二抵接面上並按壓所述第二抵接面，所述基板承接部和所述腿部能以由所述第一抵接面和所述第二抵接面夾持所述基板的端部邊緣的方式變形。
4. 根據申請專利範圍第3項所述的基板收納容器，其中，所述腿部具有第一腿部和第二腿部，所述第一抵接部的一個端部與所述第二抵接部的一個端部連接，所述第一抵接部的另一個端部與所述第一腿部連接，所述第二抵接部的另一個端部與所述第二腿部連接。
5. 根據申請專利範圍第1項或第2項所述的基板收納容器，其中，通過支承在所述側方基板支承部上的所述基板的背面的端部邊緣抵接在所述基板承接部的至少第二抵接面上並按壓所述第二抵接面，所述後側基板支承部的腿部能以使所述基板承接部向從支承在所述側方基板支承部上的所述基板的背面朝向表面的方向移動的方式變形。
6. 根據申請專利範圍第5項所述的基板收納容器，其中，所述腿部的一個端部與所述容器主體的內側的面連接，所述腿部的另一個端部與所述基板承接部連接，所述腿部的一個端部在從支承在所述側方基板支承部上的所述基板的背面朝向表面的方向上，比所述腿部的另一個端部更靠眼前一側。
7. 根據申請專利範圍第1項所述的基板收納容器，其中，支承在所述側方基板支承部上的所述基板的表面在從支承在所述側方基板支承部上的所述基板的背面朝向表面的方向上，比所述第一抵接面和所述第二抵接面的連接位置更靠眼前一側。
8. 根據申請專利範圍第1項所述的基板收納容器，其中，所述第一抵接面的一個端部與所述第二抵接面的一個端部連接，所述第二抵接面的另一個端部在從支承在所述側方基板支承部上的所述基板的背面朝向表面的方向上，比支承在所述側方基板支承部上的所述基板的背面更靠眼前一側。