SU906045A1 - Устройство дл измерени электрических параметров интегральных схем - Google Patents
Устройство дл измерени электрических параметров интегральных схем Download PDFInfo
- Publication number
- SU906045A1 SU906045A1 SU802887607A SU2887607A SU906045A1 SU 906045 A1 SU906045 A1 SU 906045A1 SU 802887607 A SU802887607 A SU 802887607A SU 2887607 A SU2887607 A SU 2887607A SU 906045 A1 SU906045 A1 SU 906045A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- probe
- integrated circuits
- measuring
- probes
- plate
- Prior art date
Links
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
(5) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ
1
Изобретение относитс к микроэлект ронике и радиотехнике и может быть использовано при межоперационном контроле и разработке интегральных микросхем на полупроводниковой пластине с программированным контрактированием .
Известны устройства дл измерени электрических параметров интегральных схем с одним или множеством измерительных зондов, механизмов регулировки усили прижати измерительных зондов к контактной площадке ральной схемы, содержащие измерительный зонд в виде иглы, держатель зонда , систему винтового регулировани положени зонда относительно провер емой микросхемы, контакты контрол касани пластины 1 .
Однако в известном устройстве не обеспечиваетс регулировка усили прижати зонда к пластине в процессе измерений, что приводит к выходу из стро интегральных схем и затрудн ПАРАМЕТРОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
ет автоматизацию процесса измерени . Кроме того, при измерении удельного поверхностного сопротивлени полупроводниковых пластин, изготовленных из различных материалов, необходимо индивидуально подбирать материал полупроводникового электрода, который совместим с материалом измер емой пластины (тип проводимости, микротвердость ). В данных устройствах не
10 предусмотрена автоматизаци регули .ровки усили прижати электродов к измер емой пластине, что не позвол ет получить достаточно высокую воспроизводимость результатов измерений.
15 Известно также устройство дл измерени электрических параметров интегральных схем, содержащее основание дл закреплени узлов и механизмов , систему контактировани , имею20 щую держатель с закрепленными на нем подпружиненными зондодержател ми с зондами, электромагниты, блок регулировки 21. 3 к недостаткам известной конструк ции относитс невозможность регулировки усили прижати зондов к поверхности пластины в процессе измерени электрических параметров, т.е все зонды дав т на контактные площадки с с различными усили ми. Кроме того, процесс выставлени зондов весьма кропотливый и трудоемкий в св зи с различными механическими свойствами зондодержателей, его необходимо многократно повтор ть. В результате этого на поверхность контактных площадок нанос тс царапины глубиной до 0,)5 мкм, что приводит к выводу интегральной схемы зон да к поверхности пластины, обуславливает разброс величины контактного переходного сопротивлени зонд - кон тактна площадка 0,010-10,0 м, что св зано с низкой точностью измерени за счет низкой воспроизводимости результатов измерений. Цель изобретени - повышение точности измерени и выхода годных. Цель достигаетс тем, что устройство дл измерени электрических параметров интегральных схем, содержащее основание, подпружиненные зон-. додержатели с зондами в виде стержне и электромагнитами, соединенными с блоком регулировки величины давлени зондов, снабжено диффузионным тонзорезистором, соединенным с блоко регулировки величины давлени зондов - .. - а каждый зонд выполнен из двух частей: контактной в виде электропровод ного наконечника и диэлектрической, на которой размещен диффузионный тен зорезистор. На фиг.1 изображено предлагаемое устройство сОДНИМ зондом, схема; на фиг.2 - конструкци зонда. Устройство дл измерени электрических параметров интегральных схем содержит основание 1, на пластине 2 которого закреплен Зондодержатель 3 с зондом Ц на одном конце и сердечником электромагнита 5 на другом. Зондодержатель 3 подпружинен пружинами 6. Катушка электромагнита 5 сое динена с блоком регулировки величины давлени зондов, включающим после довательно соединенные пороговый эле мент 7, вычислительный блок 8, блок управлени 9 и измерительный блок 10. Зонд k выполнен в виде стержн и состоит из двух частей;контактной 11 в виде высоколегированного металЗ лического наконечника, выполненного, например, методом планарно-пленочной технологии, и диэлектрической 12, на которой в месте максимальной деформации размещен диффузионный тензорезистор 13, соединенный электрически со входом порогового элемента 7 блока регулировки величины давлени зондов. Зондодержатель 3 шарнирно закреплен при помощи оси и скобы 15 к пластине 2, а винты 1б, 17 и 18 служат дл регулировки положени зондодержател 3Устройство работает следующим образом. При касании контактной частью 11 зонда пластины с интегральными схемами 19, лежащей на предметном столике 20, зонд А деформируетс , при этом установленный в месте максимальной деформации зонда 4 тензорезистор 13, преобразу деформациюв электрический сигнал, выдает его на вход порогового элемента 7- В случае повышени или уменьшени этого сигнала в заданных пределах разностный сигнал с выхода порогового элемента 7 поступает на вход вычислительного блока 8, который динеаризует зависимость величины усили прижати зонда if к пластине с интегральными схемами 19 от угла вращени зондодержател 3 относительно оси 1, и стабилизирует по величине усилие прижати , отключает систему при отклОнении зондодержател 3 на максимально заданный угол против часовой стрелки и включает сигнализацию при отклонении зондодержател в направлении по часовой стрелке до максимально заданного значени , включает механизм подачи предметного столика 20 после окончани цикла от сигнала, поступающего от измерительного блока 10. По сигналу, поступающему с выхода вычислительного блока 8 на вход блока управлени 9 который измен ет ток а катушке электромагнита 5 сердечник , св занный шарнирно с зондодержателем 3, поворачивает его на некоторый угол относительно оси 1, измен давление контактирующей части 11 зонда Ц на пластину 19- Пружины 6 демпфируют колебаний зондодержател 3 и уменьшают инерционность колебательной системы. Винтом 16 регулируетс положение зондодержател в плоскости, параллельно плоскости пластины, винтом 18 - по вертикали
а винтом 17 производ т фиксацию зонда 4 в нужном положении.
Деформаци зонда и величина его сечени св заны между собой обратнопропорциональной зависимостью. Дл определени соотношени между ними необходимо произвести расчет.
Напр жение определ етс по известному соотношению:
6 -ев,
где - величина деформации зонда; Е - модуль упругости дл кремни ,0.6-10 кг/см1); и формуле d з где: Р - изгибающа сила;
X - рассто ние от поверхности
зонда до нейтральной линии; Z - длина зонда, см; I - момент инерции, определ емый по формуле:
i-bh где Ь - толщина сечени зонда, см;
h - ширина сечени зондаj см. Расчет деформации производ т по формуле:
- f:FВыбираютс образцы зондов с квадратом в сечении и с размерами сторон 0,050,07 см. Величина деформации измен етс в пределах 0, 2, 10, что обеспечивает необходимый по величине сигнал, снимаемый с тензорезистора 13. При стороне сечени зонда в месте максимальной деформации менее 0,05 см его деформаци достигает предельного значени дл полупроводникового материала, увеличение деформации более 0, ведет к его разрушению. При стороне сечени свыше 0,07 см деформаци настолько незначительна, что ее преобразование затруднено из-за минимального выходного сигнала тенэорезистора . Например, при длине зонда 2 см, отношение длины к площади поперечного сечени в месте расположени тензорезистора находитс в пределах kOQ - 800 в зависимости от при мен емого материала. .
Заданное усилие прижати зонда k к пластине с интегральными схемами 19 стабилизируетс при помощи порогового элемента 7 и вычислительного блока 8 с точностью 0,001 и более, что обеспечивает высокую стабильность и воспроизводимость контактного переходного сопротивлени между контактной площадкой ральной схемы и контактирующей частью 11 зонда , вследствие чего воспроизвоцимость результатов измерений высока .
Регулировку усили прижати каждого зонда производ т автоматически в динамике процесса измерений интегральных схем и величину стабилизируемого усили выставл ют минималь- . ную, что исключает выход из стро интегральных схем за счет контрактировани , а также повышает процент
выхода годных на операции контрол до 100% и значительно повышает надежность интегральных схем за счет операции функционального контрол .
25
Claims (2)
1. Патент ГДР № 53201,21е 36/10, 1967.
2. Зондовый автомат Зонд-А5, И КН Н-008. Техническое описание и инструкци по эксплуатации БбМ2, 688.007 ТО (прототип).
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU802887607A SU906045A1 (ru) | 1980-02-26 | 1980-02-26 | Устройство дл измерени электрических параметров интегральных схем |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU802887607A SU906045A1 (ru) | 1980-02-26 | 1980-02-26 | Устройство дл измерени электрических параметров интегральных схем |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU906045A1 true SU906045A1 (ru) | 1982-02-15 |
Family
ID=20879939
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU802887607A SU906045A1 (ru) | 1980-02-26 | 1980-02-26 | Устройство дл измерени электрических параметров интегральных схем |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU906045A1 (ru) |
-
1980
- 1980-02-26 SU SU802887607A patent/SU906045A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US2582886A (en) | Differential load weighing device | |
US2627119A (en) | Electromagnetic pickup for gauging devices | |
US2487681A (en) | Electrical gauging device | |
US2356763A (en) | Method and means for testing materials | |
US3247599A (en) | Measuring device | |
SU906045A1 (ru) | Устройство дл измерени электрических параметров интегральных схем | |
US4899102A (en) | Electrode system for a parallel plate dielectric analyzer | |
US4855667A (en) | Parallel plate dielectric analyzer | |
US2419217A (en) | Weighing apparatus | |
JP4873689B2 (ja) | 表面電位計および表面電位測定方法 | |
US3820402A (en) | Electrical pressure transducer | |
US3365937A (en) | Resonant sensing device | |
US3577884A (en) | Pressure-measuring device | |
US3097714A (en) | Force measuring device | |
SU1035683A1 (ru) | Четырехзондова головка дл измерени удельного сопротивлени материала | |
SU1048305A1 (ru) | Устройство дл контрол геометрических параметров полупроводниковых пластин | |
JPH075419Y2 (ja) | 表面抵抗測定装置 | |
US4002061A (en) | Capacitance transducer for the measurement of bending strains at elevated temperatures | |
US2583763A (en) | Electrostatic apparatus for measuring voltages | |
SU583391A1 (ru) | Устройство дл определени дуктильности печатных красок | |
US2699000A (en) | Precision gauge of extremely high sensitivity | |
SU131896A1 (ru) | Устройство дл непрерывного контрол диаметра тонкой проволоки | |
US2458735A (en) | Electric pressure and deflection gauge | |
US3449949A (en) | Force gauge | |
SU145386A1 (ru) | Установка дл изучени в зко-упругих свойств эластичных пенопластов и резиновых смесей |