[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

SU906045A1 - Устройство дл измерени электрических параметров интегральных схем - Google Patents

Устройство дл измерени электрических параметров интегральных схем Download PDF

Info

Publication number
SU906045A1
SU906045A1 SU802887607A SU2887607A SU906045A1 SU 906045 A1 SU906045 A1 SU 906045A1 SU 802887607 A SU802887607 A SU 802887607A SU 2887607 A SU2887607 A SU 2887607A SU 906045 A1 SU906045 A1 SU 906045A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
probe
integrated circuits
measuring
probes
plate
Prior art date
Application number
SU802887607A
Other languages
English (en)
Inventor
Виталий Павлович Харитонов
Original Assignee
Предприятие П/Я Р-6668
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я Р-6668 filed Critical Предприятие П/Я Р-6668
Priority to SU802887607A priority Critical patent/SU906045A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU906045A1 publication Critical patent/SU906045A1/ru

Links

Landscapes

  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)

Description

(5) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ
1
Изобретение относитс  к микроэлект ронике и радиотехнике и может быть использовано при межоперационном контроле и разработке интегральных микросхем на полупроводниковой пластине с программированным контрактированием .
Известны устройства дл  измерени  электрических параметров интегральных схем с одним или множеством измерительных зондов, механизмов регулировки усили  прижати  измерительных зондов к контактной площадке ральной схемы, содержащие измерительный зонд в виде иглы, держатель зонда , систему винтового регулировани  положени  зонда относительно провер емой микросхемы, контакты контрол  касани  пластины 1 .
Однако в известном устройстве не обеспечиваетс  регулировка усили  прижати  зонда к пластине в процессе измерений, что приводит к выходу из стро  интегральных схем и затрудн ПАРАМЕТРОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
ет автоматизацию процесса измерени . Кроме того, при измерении удельного поверхностного сопротивлени  полупроводниковых пластин, изготовленных из различных материалов, необходимо индивидуально подбирать материал полупроводникового электрода, который совместим с материалом измер емой пластины (тип проводимости, микротвердость ). В данных устройствах не
10 предусмотрена автоматизаци  регули .ровки усили  прижати  электродов к измер емой пластине, что не позвол ет получить достаточно высокую воспроизводимость результатов измерений.
15 Известно также устройство дл  измерени  электрических параметров интегральных схем, содержащее основание дл  закреплени  узлов и механизмов , систему контактировани , имею20 щую держатель с закрепленными на нем подпружиненными зондодержател ми с зондами, электромагниты, блок регулировки 21. 3 к недостаткам известной конструк ции относитс  невозможность регулировки усили  прижати  зондов к поверхности пластины в процессе измерени  электрических параметров, т.е все зонды дав т на контактные площадки с с различными усили ми. Кроме того, процесс выставлени  зондов весьма кропотливый и трудоемкий в св зи с различными механическими свойствами зондодержателей, его необходимо многократно повтор ть. В результате этого на поверхность контактных площадок нанос тс  царапины глубиной до 0,)5 мкм, что приводит к выводу интегральной схемы зон да к поверхности пластины, обуславливает разброс величины контактного переходного сопротивлени  зонд - кон тактна  площадка 0,010-10,0 м, что св зано с низкой точностью измерени  за счет низкой воспроизводимости результатов измерений. Цель изобретени  - повышение точности измерени  и выхода годных. Цель достигаетс  тем, что устройство дл  измерени  электрических параметров интегральных схем, содержащее основание, подпружиненные зон-. додержатели с зондами в виде стержне и электромагнитами, соединенными с блоком регулировки величины давлени  зондов, снабжено диффузионным тонзорезистором, соединенным с блоко регулировки величины давлени  зондов - .. - а каждый зонд выполнен из двух частей: контактной в виде электропровод ного наконечника и диэлектрической, на которой размещен диффузионный тен зорезистор. На фиг.1 изображено предлагаемое устройство сОДНИМ зондом, схема; на фиг.2 - конструкци  зонда. Устройство дл  измерени  электрических параметров интегральных схем содержит основание 1, на пластине 2 которого закреплен Зондодержатель 3 с зондом Ц на одном конце и сердечником электромагнита 5 на другом. Зондодержатель 3 подпружинен пружинами 6. Катушка электромагнита 5 сое динена с блоком регулировки величины давлени  зондов, включающим после довательно соединенные пороговый эле мент 7, вычислительный блок 8, блок управлени  9 и измерительный блок 10. Зонд k выполнен в виде стержн  и состоит из двух частей;контактной 11 в виде высоколегированного металЗ лического наконечника, выполненного, например, методом планарно-пленочной технологии, и диэлектрической 12, на которой в месте максимальной деформации размещен диффузионный тензорезистор 13, соединенный электрически со входом порогового элемента 7 блока регулировки величины давлени  зондов. Зондодержатель 3 шарнирно закреплен при помощи оси и скобы 15 к пластине 2, а винты 1б, 17 и 18 служат дл  регулировки положени  зондодержател  3Устройство работает следующим образом. При касании контактной частью 11 зонда пластины с интегральными схемами 19, лежащей на предметном столике 20, зонд А деформируетс , при этом установленный в месте максимальной деформации зонда 4 тензорезистор 13, преобразу  деформациюв электрический сигнал, выдает его на вход порогового элемента 7- В случае повышени  или уменьшени  этого сигнала в заданных пределах разностный сигнал с выхода порогового элемента 7 поступает на вход вычислительного блока 8, который динеаризует зависимость величины усили  прижати  зонда if к пластине с интегральными схемами 19 от угла вращени  зондодержател  3 относительно оси 1, и стабилизирует по величине усилие прижати , отключает систему при отклОнении зондодержател  3 на максимально заданный угол против часовой стрелки и включает сигнализацию при отклонении зондодержател  в направлении по часовой стрелке до максимально заданного значени , включает механизм подачи предметного столика 20 после окончани  цикла от сигнала, поступающего от измерительного блока 10. По сигналу, поступающему с выхода вычислительного блока 8 на вход блока управлени  9 который измен ет ток а катушке электромагнита 5 сердечник , св занный шарнирно с зондодержателем 3, поворачивает его на некоторый угол относительно оси 1, измен   давление контактирующей части 11 зонда Ц на пластину 19- Пружины 6 демпфируют колебаний зондодержател  3 и уменьшают инерционность колебательной системы. Винтом 16 регулируетс  положение зондодержател  в плоскости, параллельно плоскости пластины, винтом 18 - по вертикали
а винтом 17 производ т фиксацию зонда 4 в нужном положении.
Деформаци  зонда и величина его сечени  св заны между собой обратнопропорциональной зависимостью. Дл  определени  соотношени  между ними необходимо произвести расчет.
Напр жение определ етс  по известному соотношению:
6 -ев,
где - величина деформации зонда; Е - модуль упругости дл  кремни  ,0.6-10 кг/см1); и формуле d з где: Р - изгибающа  сила;
X - рассто ние от поверхности
зонда до нейтральной линии; Z - длина зонда, см; I - момент инерции, определ емый по формуле:
i-bh где Ь - толщина сечени  зонда, см;
h - ширина сечени  зондаj см. Расчет деформации производ т по формуле:
- f:FВыбираютс  образцы зондов с квадратом в сечении и с размерами сторон 0,050,07 см. Величина деформации измен етс  в пределах 0, 2, 10, что обеспечивает необходимый по величине сигнал, снимаемый с тензорезистора 13. При стороне сечени  зонда в месте максимальной деформации менее 0,05 см его деформаци  достигает предельного значени  дл  полупроводникового материала, увеличение деформации более 0, ведет к его разрушению. При стороне сечени  свыше 0,07 см деформаци  настолько незначительна, что ее преобразование затруднено из-за минимального выходного сигнала тенэорезистора . Например, при длине зонда 2 см, отношение длины к площади поперечного сечени  в месте расположени  тензорезистора находитс  в пределах kOQ - 800 в зависимости от при мен емого материала. .
Заданное усилие прижати  зонда k к пластине с интегральными схемами 19 стабилизируетс  при помощи порогового элемента 7 и вычислительного блока 8 с точностью 0,001 и более, что обеспечивает высокую стабильность и воспроизводимость контактного переходного сопротивлени  между контактной площадкой ральной схемы и контактирующей частью 11 зонда , вследствие чего воспроизвоцимость результатов измерений высока .
Регулировку усили  прижати  каждого зонда производ т автоматически в динамике процесса измерений интегральных схем и величину стабилизируемого усили  выставл ют минималь- . ную, что исключает выход из стро  интегральных схем за счет контрактировани , а также повышает процент
выхода годных на операции контрол  до 100% и значительно повышает надежность интегральных схем за счет операции функционального контрол .
25

Claims (2)

1. Патент ГДР № 53201,21е 36/10, 1967.
2. Зондовый автомат Зонд-А5, И КН Н-008. Техническое описание и инструкци  по эксплуатации БбМ2, 688.007 ТО (прототип).
SU802887607A 1980-02-26 1980-02-26 Устройство дл измерени электрических параметров интегральных схем SU906045A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802887607A SU906045A1 (ru) 1980-02-26 1980-02-26 Устройство дл измерени электрических параметров интегральных схем

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802887607A SU906045A1 (ru) 1980-02-26 1980-02-26 Устройство дл измерени электрических параметров интегральных схем

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU906045A1 true SU906045A1 (ru) 1982-02-15

Family

ID=20879939

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU802887607A SU906045A1 (ru) 1980-02-26 1980-02-26 Устройство дл измерени электрических параметров интегральных схем

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU906045A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US2582886A (en) Differential load weighing device
US2627119A (en) Electromagnetic pickup for gauging devices
US2487681A (en) Electrical gauging device
US2356763A (en) Method and means for testing materials
US3247599A (en) Measuring device
SU906045A1 (ru) Устройство дл измерени электрических параметров интегральных схем
US4899102A (en) Electrode system for a parallel plate dielectric analyzer
US4855667A (en) Parallel plate dielectric analyzer
US2419217A (en) Weighing apparatus
JP4873689B2 (ja) 表面電位計および表面電位測定方法
US3820402A (en) Electrical pressure transducer
US3365937A (en) Resonant sensing device
US3577884A (en) Pressure-measuring device
US3097714A (en) Force measuring device
SU1035683A1 (ru) Четырехзондова головка дл измерени удельного сопротивлени материала
SU1048305A1 (ru) Устройство дл контрол геометрических параметров полупроводниковых пластин
JPH075419Y2 (ja) 表面抵抗測定装置
US4002061A (en) Capacitance transducer for the measurement of bending strains at elevated temperatures
US2583763A (en) Electrostatic apparatus for measuring voltages
SU583391A1 (ru) Устройство дл определени дуктильности печатных красок
US2699000A (en) Precision gauge of extremely high sensitivity
SU131896A1 (ru) Устройство дл непрерывного контрол диаметра тонкой проволоки
US2458735A (en) Electric pressure and deflection gauge
US3449949A (en) Force gauge
SU145386A1 (ru) Установка дл изучени в зко-упругих свойств эластичных пенопластов и резиновых смесей