SU1762431A1 - Device for loading articles - Google Patents
Device for loading articles Download PDFInfo
- Publication number
- SU1762431A1 SU1762431A1 SU894663486A SU4663486A SU1762431A1 SU 1762431 A1 SU1762431 A1 SU 1762431A1 SU 894663486 A SU894663486 A SU 894663486A SU 4663486 A SU4663486 A SU 4663486A SU 1762431 A1 SU1762431 A1 SU 1762431A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- cassettes
- cassette
- carriage
- rotation
- cylindrical
- Prior art date
Links
Landscapes
- Manipulator (AREA)
Abstract
Использование: производство полупроводниковых приборов. Цель - расширение эксплуатационных возможностей. Сущность изобретени : кассеты 5,6 выполнены цилиндрическими и установлены с возможностью поворота относительно своей оси. Механизм перемещени выполнен в виде каретки 17 с ограничителем 40 и пневматическим средством дл фиксации кассет 5,6 Привод возвратно-поступательного перемещени каретки выполнен в виде т гового двигател 26, а механизмы поворота кассет 5,6 размещены на каретке 17 и каждый из них также выполнен в виде шагового двигател 35 и диска 38 с подпружиненным фиксатором 19 и упором 39, размещенным с возможностью взаимодействи с ограничителем 40 каретки 17. 8 ил.Use: manufacture of semiconductor devices. The goal is to enhance operational capabilities. SUMMARY OF THE INVENTION: Cassettes 5,6 are cylindrical and mounted to be rotatable about their axis. The movement mechanism is made in the form of a carriage 17 with a stopper 40 and pneumatic means for fixing the cassettes 5,6. The drive for reciprocating movement of the carriage is made in the form of a traction motor 26, and the mechanisms of rotation of the cassettes 5,6 are placed on the carriage 17 and each of them is also made in the form of a stepper motor 35 and a disk 38 with a spring-loaded latch 19 and an anvil 39 placed with the possibility of interaction with the stopper 40 of the carriage 17. 8 Il.
Description
слcl
сwith
Изобретение относитс к производству полупроводниковых приборов и может быть использовано в процессе сборки корпусов интегральных схем дл загрузки оснований корпусов в цилиндрические кассеты.The invention relates to the manufacture of semiconductor devices and can be used in the process of assembling integrated circuit housings for loading the bases of the enclosures into cylindrical cassettes.
Известны автоматы кассетировани , осуществл ющие ориентированную укладку деталей в гнезда плоской технологической кассеты. Однако в производстве корпусов интегральных схем (ИС) перед операцией гальванического покрыти корпуса, в соответствии с технологическим процессом, загружают корпуса в цилиндрические кассеты с гнездами на их поверхности. В насто щее врем эта операци осуществл етс вручную , что значительно снижает производительность сборки.Known machines are cassette, carrying out oriented packing of parts in the slots of a flat technological cassette. However, in the manufacture of integrated circuit (IC) enclosures, before the operation of electroplating of the enclosure, in accordance with the technological process, the enclosures are loaded into cylindrical cassettes with sockets on their surface. Currently, this operation is performed manually, which significantly reduces the performance of the assembly.
Известен автомат ориентированного кассетировани , содержащий систему технического зрени , механизм поштучной выдачи , устройство ориентировани , устройство загрузки корпусов в кассеты, блоки управлени и вторичного питани , манипул тора загрузки-выгрузки. Автомат осуществл ет загрузку плоских кассег.A machine-oriented cassette is known, comprising a technical vision system, a piecewise dispensing mechanism, an orientation device, a case loading device for cassettes, control and secondary power supply units, a loading / unloading manipulator. The machine performs loading of flat cassegs.
За прототип прин та установка (автомат ) кассетировани , содержащий станину и расположенные на ней. объединенные по ходу технологических операций, механизмы поштучной выдачи, устройство ориентации с блоком захватов, механизм перемещени с приемными кассетами.For the prototype of a prin- ciple (automatic) cassette installation containing a frame and located on it. combined in the course of technological operations, mechanisms of single-issue, an orientation device with a block of grippers, a movement mechanism with receiving cassettes.
Кроме ориентированной загрузки оснований в пленарные кассеты известный автомат осуществл ет выгрузку оснований из упаковочной или технологической тары, дл этой цели служит накопитель и манипул тор с групповым электромагнитным захватом,In addition to the oriented loading of the bases into plenary cassettes, the known automaton unloads the bases from the packaging or technological packaging, for this purpose serves as a drive and handler with a group electromagnetic capture,
XIXi
О hO 4 СОAbout hO 4 WITH
который подает основани в механизм поштучной выдачи.which supplies the base to the piece-by-piece mechanism.
Известна установка (автомат) осуществл ет загрузку только плоских кассет.The known device (automatic) loads only flat cassettes.
Целью изобретени вл етс расширение эксплуатационных возможностей.The aim of the invention is the expansion of operational capabilities.
Указанна цель достигаетс тем. что в известной установке кассетировани , содержащей станину и расположенные на ней, объединенные по ходу технологических операций, механизм поштучной выдачи , устройство ориентации с блоком захватов, механизм перемещени с приемными кассетами.This goal is achieved by that in the known cassette installation, containing a frame and located on it, combined in the course of the technological operations, the piece delivery mechanism, the orientation device with the gripper unit, the transfer mechanism with the receiving cassettes.
Согласно изобретению механизм перемещени содержит каретку с соосно зафиксированными кассетами, кажда из которых кинематически соединена с приводом, сообщающим кассете дискретное вращение с реверсом в конце заданного угла поворота, а каретка установлена с возможностью возвратно-поступательного перемещени дискретного на заданном участке.According to the invention, the moving mechanism comprises a carriage with coaxially fixed cassettes, each of which is kinematically connected to a drive, which communicates the cassette with discrete rotation with a reverse at the end of a predetermined angle of rotation, and the carriage is installed with the possibility of reciprocating discrete movement in a given area.
Конструкци механизма перемещени и поворота кассет позвол ет с определенным интервалом подавать пустое гнездо ци- линдрической кассеты на позицию загрузки.The design of the mechanism for moving and rotating the cassettes allows the empty slot of the cylindrical cassette to the loading position to be fed at a certain interval.
На фиг.1 изображен общий вид установки кассетировани ; на фиг.2 - кинематическа схема перемещени и поворота кассет; на фиг.З - схема расположени кассет на исходных позици х при линейном перемещении; на фиг.4 - схема расположени кассет на исходных позици х при угловом повороте; на фиг.5 - кассета с оправкой в разрезе; на фиг.6 - основание в гнезде кассеты (вид А); на фиг.7 - основание корпуса интегральной схемы (кассетируемое изделие ) - вид спереди; на фиг.8 - основание корпуса (сечение А-А).Figure 1 shows a general view of a cassette installation; Fig. 2 shows a kinematic scheme for moving and rotating the cassettes; Fig. 3 shows the layout of the cassettes at the initial positions during linear movement; Fig. 4 is a schematic of the arrangement of the cassettes at the initial positions at an angular rotation; figure 5 - cassette with mandrel in section; figure 6 - the base in the slot of the cassette (type A); 7 - the base of the integrated circuit (cassette product) - front view; on Fig - the base of the case (section aa).
Установка кассетировани содержит станину 1, на которой размещены механизм поштучной выдачи 2, устройство ориентации с блоком захватов 3, механизм перемещени и поворота 4 (фиг.1) с цилиндрическими кассетами 5,6 (фиг.2,3) (в дальнейшем кассеты). Кроме того имеетс блок управлени 7 и пульт управлени 8 (фиг.1).The cassette installation comprises a frame 1 on which a piece-delivery mechanism 2 is placed, an orientation device with a block of grippers 3, a movement and rotation mechanism 4 (FIG. 1) with cylindrical cassettes 5.6 (FIG. 2.3) (hereinafter cassettes). In addition, there is a control unit 7 and a control unit 8 (Fig. 1).
Механизм поштучной выдачи 2 содержит чашу с магнитами под ней, приводимую во вращение электродвигателем, лоток/установленный между полюсами электромагнита , приводимый в движение электромагнитным вибратором. По лотку основани корпусов ИС (фиг.7,8) поступают на исходную позицию, снабженную фотодатчиком .The mechanism of piece-wrench 2 contains a bowl with magnets under it, driven by an electric motor, a tray / installed between the poles of an electromagnet, driven by an electromagnetic vibrator. The base tray of the IC housing (Fig. 7.8) is fed to the initial position, equipped with a photosensor.
Механизм ориентации представл ет собой технологическую линейку, состо щую из 7 рабочих позиций 9, 15 (фиг.1), обслуживаемых блоком захватов 3, перемещающимс по принципу манипул тора. Каждый из захватов представл ет собой электромагнит с фотодатчиком контрол наличи основани . Позици 16 (фиг.4) вл етс гнездом кассеты 5 или 6.The orientation mechanism is a technological line consisting of 7 working positions 9, 15 (Fig. 1) served by a block of grippers 3 moving according to the principle of a manipulator. Each of the grips is an electromagnet with a photosensor controlling the presence of the base. Position 16 (Fig. 4) is a slot of a cassette 5 or 6.
0 Механизм перемещени и поворота 4 (фиг.2) содержит каретку 17с соосно установленными на ней кассетами 5,6, привод линейного перемещени каретки 17, два привода поворота кассет 5 и б. выполнен5 ные идентично. Кажда кассета фиксируетс пневматическим блоком фиксации 18, жестко укрепленным на каретке 17, и фиксаторами 19, каждый из которых установлен на соответствующем приводе поворота.0 The movement and rotation mechanism 4 (Fig. 2) comprises a carriage 17c coaxially mounted with its cassettes 5,6, a linear movement actuator of the carriage 17, two cassette rotation actuators 5 and b. performed 5 identical. Each cassette is fixed by a pneumatic fixing unit 18, rigidly mounted on the carriage 17, and clamps 19, each of which is mounted on a respective rotational drive.
0 Кроме того фиксаторы 19 вл ютс также ведущими звень ми вращени кассет. Когда кассеты зафиксированы, включена эл. цепь привода перемещени блока захватов 3, имеюща в своем составе двигатель 20 и0 In addition, the clips 19 are also the driving links of the cassettes. When the tapes are fixed, email is turned on. a chain of drive for moving the block of grippers 3, having in its composition an engine 20 and
5 муфту 21 (фиг.1).5 coupling 21 (figure 1).
Кажда кассета фиксируетс совместно с цилиндрической оправкой 22 (фиг.5), изготовленной из немагнитного материала. На оправке 22 закреплены посто нные магни0 ты 23, так что 2 любых соседних магнита направлены разноименными полюсами к цилиндрической поверхности оправки. Внутри кассеты оправка размещена таким образом, что магниты 23 наход тс строгоEach cassette is fixed together with a cylindrical mandrel 22 (Fig. 5) made of a non-magnetic material. Permanent magnets 23 are fixed on the mandrel 22, so that any 2 adjacent magnets are directed by opposite poles to the cylindrical surface of the mandrel. Inside the cassette, the mandrel is placed in such a way that the magnets 23 are strictly
5 под гнездами кассеты. Это достигаетс за счет совмещени штифта 24, имеющегос на оправке, с технологическим отверстием кассеты. Система единичных магнитов, расположенных под гнездами цилиндрической5 under cassette slots. This is achieved by aligning the pin 24 located on the mandrel with the technological opening of the cassette. A system of single magnets located under the cylindrical nests
0 кассеты, способствует более точному центрированию оснований корпусов при укладке их в гнезда и удерживает их при вращении кассеты какого-либо иного принудительного закреплени . На цилиндриче5 ской поверхности кассеты, вдоль образующей имеет технологический выступ 25, необходимый в дальнейших технологических операци х и нарушающих равномерность расположени гнезд кассеты по0 cassettes, contributes to a more accurate centering of the bases of the enclosures when laying them in the slots and holds them when the cassette is rotated by some other kind of forced fastening. On the cylindrical surface of the cassette, along the generatrix has a technological protrusion 25, necessary for further technological operations and violating the uniformity of the arrangement of the sockets of the cassette along
0 окружности.0 circle.
Привод линейного перемещени каретки 17 состоит из шагового двигател 26 (фиг.2), сообщающего ей возвратно-поступательное перемещение через муфту 27 иThe linear movement drive of the carriage 17 consists of a stepper motor 26 (FIG. 2), giving it a reciprocating movement through the sleeve 27 and
5 винтовую передачу 28. Исходные (конечные) положени каретки контролируютс фотодатчиками 29,30 при помощи флажка 31. На каретке.размещены флажки 32.33 с лепестками по количеству гнезд вдоль образующей цилиндрической поверхности кассеты,5 screw gear 28. The initial (final) positions of the carriage are monitored by photosensors 29.30 using flag 31. On the carriage there are flags 32.33 with petals in the number of nests along the generator of the cylindrical surface of the cassette
взаимодействующие с фотодатчиком 34. Перемещаетс каретка в шариковых направл ющих .interacting with the photosensor 34. The carriage moves in ball guides.
Привода поворота кассет 5 и 6 установлены на каретке 17. Каждый из них содержит (на фиг.2 приведена нумераци элементов одного из приводов) шаговый двигатель 35, передающий реверсивное движение через муфту 36 и редуктор, 37 диску 38, жестко сид щему на валу редуктора 37, На диске 38 укреплен подпружиненный фиксатор 19 и упор 39, взаимодействующей с ограничителем 40, установленным на каретке . Когда упор 39 совмещен с ограничителем 40, кассета, зафиксированна относительно диска 38, находитс в исходном положении. На вал редуктора 37 насажен лепестковый диск 41, жестко соединенный с диском 38, взаимодействующий с фотодатчиком 42 и укреплен флажок 43, взаимодействующий с фотодатчиком 44, 45 контрол конечных положений кассеты по углу поворота.The drive rotation of the cassettes 5 and 6 are installed on the carriage 17. Each of them contains (figure 2 shows the numbering of the elements of one of the drives) stepper motor 35, which transmits the reverse movement through the clutch 36 and the gearbox, 37 disk 38, rigidly sitting on the gearbox shaft 37, On the disk 38, a spring-loaded retainer 19 and an anvil 39, interacting with the stopper 40 mounted on the carriage, are fastened. When the stop 39 is aligned with the stopper 40, the cassette fixed relative to the disc 38 is in the initial position. A petal disk 41 fixed to the disk 38, interacting with the photosensor 42, is mounted on the gearbox 37 shaft and the flag 43 is strengthened, which interacts with the photosensor 44, 45 controlling the end positions of the cassette in rotation angle.
Установка кассетировани работает следующим образом.The cassette installation works as follows.
Основани корпусов ИС загружают в чашу механизма поштучной выдачи 2, где они, раздел сь, ориентируютс по выводам (направление выводов перпендикул рно направлению перемещени оснований в лотке) и поступают на исходную позицию, откуда их забирает блок захватов 3 и переносит на позиции 9-16. Наличие детали на исходной позиции контролирует фотодатчик , по сигналу которого включаетс электромагнитна муфта 21 привода блока захватов 3.The bases of the IC cases are loaded into the bowl of the piece-by-piece delivery mechanism 2, where they, sectioning, are oriented along the conclusions (the direction of the leads is perpendicular to the direction of movement of the bases in the tray) and arrive at the initial position, from where they are picked up by the grippers unit 3 and transferred to position 9-16 . The presence of the part in the initial position is controlled by the photo sensor, on the signal of which the electromagnetic clutch 21 of the drive of the gripper unit 3 is activated.
Дальнейша работа установки описана с момента, когда уже на каждой позиции 9-15 находитс основание.The further operation of the installation is described from the moment when the foundation is already at each position 9-15.
После -включени электромагнита муфта 21 блок захватов 3 из исходного центрального положени перемещаетс в крайнее левое положение, опускаетс вниз, включаютс электромагниты захватов, примагничива к себе основани , блок захватов 3 с основани ми поднимаетс вверх и перемещаетс вправо. В процессе его перемещени производитс опрос каждого из 8 фотодатчиков блока захватов, контролирующих наличие оснований на электромагнитах захватов. В случае отсутстви основани на одном из них отключаетс электромагнитна муфта 21 установки и блок захватов 3 останавливаетс . В крайнем правом положении блок захватов опускаетс вниз, электромагниты захватов отключаютс , оставл основани перемещенными на 1 позицию вправо.After the electromagnet is turned on, the clutch 21 of the gripper block 3 moves from its initial central position to the leftmost position, goes down, the grippers electromagnets turn on, the base grips to itself, the gripper block 3 with the bases rises up and moves to the right. In the process of its movement, each of the 8 photosensors of the block of grippers is monitored, monitoring the presence of bases on the grippers electromagnets. If there is no base on one of them, the electromagnetic clutch 21 of the installation 21 is disconnected and the block of grippers 3 is stopped. In the extreme right position, the block of grippers is lowered down, the electromagnets of the grippers are turned off, leaving the base moved 1 position to the right.
На позиции 9 анализируетс положение основани по донышку и при неправильном положении подаетс команда на позицию 10, на которой направленное сориентиро 5 ванное основание разворачиваетс в вертикальной плоскости на 180°. На позиции 11 происходит поворот оснований на 90° в горизонтальной плоскости после поворота вывода основани располагаютс перпен- 10 дикул рно направлению линейного перемещени кассет. На позици х 12-15 происходит центрирование оснований за счет ужесточени размеров центрирующего гнезда. Сцентрированное и сориентирован- 15 ное по донышку и выводам основание блок захватов переносит на позицию 16, котора вл етс гнездом кассеты.At position 9, the position of the base on the bottom is analyzed and, if it is in the wrong position, a command is given to position 10, at which the directional oriented base turns in a vertical plane through 180 °. At position 11, the bases are rotated by 90 ° in the horizontal plane after the base output is rotated perpendicular to the linear direction of the cassettes. At positions 12–15, the bases are centered by tightening the size of the centering nest. The block of grippers that is centered and oriented to the bottom and to the terminals of the base moves to position 16, which is the slot of the cassette.
После загрузки первого гнезда кассета 5, при движении блока захватов 3 справа 0 налево включаетс двигатель 35 привода поворота кассеты, обеспечивающий подвод следующего гнезда на позицию 16, при этом следующий лепесток диска 41 попадает в прорезь фотодатчика 42, который дает 5 сигнал на отключение двигател 35, если лепесток по какой-либо причине не попал в прорезь фотодатчика, происходит отключение муфты 21.After loading the first slot of the cassette 5, when the gripper unit 3 moves to the right 0, the cassette rotary drive motor 35 turns on to the left, ensuring that the next slot is fed to position 16, while the next blade of the disc 41 falls into the slot of the photo sensor 42, which gives 5 a signal to turn off the engine 35 , if the petal, for any reason, did not get into the slot of the photosensor, the clutch 21 is disconnected.
После загрузки последнего гнезда пер- 0 вого р да по окружности флажок 43 взаимодействует с одним из фотодатчиков 44 или 45 (в зависимости от направлени вращени ), который дает сигнал на отключение двигател 35 привода поворота и включение 5 двигател 26 линейного перемещени каретки 17. Если отключение двигател 35 по какой либо причине не произошло, то блок 38, совершив совместно с кассетой заданный угол поворота, своим упором 39 взаи- 0 модействует с ограничителем 40 и останавливает вращение кассеты.After loading the last nest of the first row along the circumference, the flag 43 interacts with one of the photosensors 44 or 45 (depending on the direction of rotation), which gives a signal to turn off the rotational drive motor 35 and turn on the 5th carriage 17 linear motion motor 5. shutting down the engine 35 for some reason did not happen, the block 38, having performed the specified rotation angle with the cassette, interacts with its stop 39 with the stopper 40 and stops the rotation of the cassette.
После линейного перемещени крретки на 1 шаг следующий лепесток флажка 33 попадает в прорезь фотодатчика 34, кото- 5 рый дает команду на остановку двигател 26, происходит загрузка основани в первое гнездо второго р да, а при движении блока захватов 3 справа налево происходит включение двигател 35 с реверсом в противопо- 0 ложную сторону, снова сообщающего кассете дискретное вращение до конца заполнени 2-го р да, затем снова линейное перемещение каретки на 1 шаг и т.д. Цикл повтор етс до конца заполнени всех 5 гнезд 1-ой кассеты.After a linear movement of 1 pitch, the next tab of the flag 33 falls into the slot of the photo sensor 34, which instructs the engine 26 to stop, the base is loaded into the first slot of the second row, and when the gripper unit 3 moves from right to left, the engine 35 starts to turn on with a reverse in the opposite direction, again informing the cassette of discrete rotation until the end of filling of the 2nd row, then again linear movement of the carriage by 1 step, and so on. The cycle is repeated until the end of filling all 5 slots of the 1st cassette.
Если по каким-либо причинам не произошел поворот кассеты или каретка не переместилась на 1 шаг, т.е соответствующие датчики 42 или 35 не будут затемнены лепе- суками диска 41 или флажка 33. то при движении блока захватов 3 слева направо происходит отключение муфты 21 в момент, когда блок захватов достигнет своего исходного положени (верхнее среднее).If for some reason the cassette did not turn or the carriage did not move 1 step, that is, the corresponding sensors 42 or 35 would not be blacked out with the discs of disk 41 or the checkbox 33. when the gripper unit 3 moves from left to right, the coupling 21 is disconnected at the moment when the block of captures reaches its initial position (upper average).
После заполнени первой кассеты 5, т.е. завершени дискретного перемещени каретки на заданном участке, шаговый двига- тель 26 отключает датчик 34 и электромагнитную муфту 21 привода блока захватов, двигатель 26 начинает работать в ускоренном режиме, вывод кассету б на исходную позицию (см.фиг.З). Контроль исходного положени кассеты осуществл ет фотодатчик 30 (флажок 31 входит в прорезь фотодатчика 30).After filling the first cassette 5, i.e. the discrete movement of the carriage is completed at a predetermined section, the stepper motor 26 turns off the sensor 34 and the electromagnetic clutch 21 of the drive of the gripper unit, the engine 26 starts to operate in an accelerated mode, the output of the cartridge b is in its initial position (see fig. 3). The initial position of the cassette is controlled by the photo sensor 30 (the flag 31 enters the slot of the photo sensor 30).
Включаетс фотодатчик 34 и электромагнитна муфта 21 привода блока захватов , Описанный цикл заполнени кассеты повтор етс . В это врем оператор снимает первую заполненную кассету и взамен вставл ет пустую.The photosensor 34 is turned on, and the electromagnetic clutch 21 of the drive of the gripper unit. The described cartridge filling cycle is repeated. At this time, the operator removes the first filled cassette and inserts an empty one instead.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894663486A SU1762431A1 (en) | 1989-03-20 | 1989-03-20 | Device for loading articles |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894663486A SU1762431A1 (en) | 1989-03-20 | 1989-03-20 | Device for loading articles |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1762431A1 true SU1762431A1 (en) | 1992-09-15 |
Family
ID=21434637
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU894663486A SU1762431A1 (en) | 1989-03-20 | 1989-03-20 | Device for loading articles |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1762431A1 (en) |
-
1989
- 1989-03-20 SU SU894663486A patent/SU1762431A1/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Штейнберг М.И.. Арбит С.Э., Веселое В.В. Роботизаци подготовительных операций подачи элементов приборов на сборку. Электронна техника. Сери 7 ТОПО. Вып.4(143) 1987, с. 42-43. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN1151708C (en) | Part mounting apparatus and part supply apparatus | |
US5870820A (en) | IC mounting/demounting system and mounting/demounting head therefor | |
US6364089B1 (en) | Multi-station rotary die handling device | |
CN106158702A (en) | For semiconductor device to be delivered to the method and system of carrier structure from wafer | |
US5919024A (en) | Parts handling apparatus | |
CN112335029B (en) | Opening device | |
US6209194B1 (en) | Apparatus for loading and unloading semiconductor device packages using servo motors | |
CN211768866U (en) | Conveying device and processing equipment | |
SU1762431A1 (en) | Device for loading articles | |
EP0180440B1 (en) | Plate stocker | |
KR102498221B1 (en) | Core magnet insert total system | |
CN108362914B (en) | Multi-turret test apparatus | |
KR101785388B1 (en) | Chip transfer apparatus and Chip transfer system by using the apparatus | |
JPH0964147A (en) | Feeding-return device for wafer ring | |
CN208063012U (en) | The assembly feed arrangement of rotor magnetic steel | |
US5121052A (en) | Automated handler for semiconductor devices | |
JP2926565B1 (en) | Product supply equipment | |
US6655898B1 (en) | Front opening unified pod (FOUP) hoist jig | |
KR100689972B1 (en) | Apparatus for testing flat type electric device | |
JP2002127064A (en) | Automatic handling device for electronic part | |
CN210756315U (en) | Rotating disc type switch assembling machine | |
SU1709417A1 (en) | Automatic line for assembly of magnetic system of electromagnetic relay | |
JPH0685408B2 (en) | Wafer loading device | |
US4412609A (en) | Transport system | |
CN113092715A (en) | Crucible transfer device, total moisture measurement system and total moisture measurement method |