SU1679388A1 - Датчик термоанемометра - Google Patents
Датчик термоанемометра Download PDFInfo
- Publication number
- SU1679388A1 SU1679388A1 SU853974371A SU3974371A SU1679388A1 SU 1679388 A1 SU1679388 A1 SU 1679388A1 SU 853974371 A SU853974371 A SU 853974371A SU 3974371 A SU3974371 A SU 3974371A SU 1679388 A1 SU1679388 A1 SU 1679388A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- sensor
- electrically conductive
- conductive film
- hot
- width
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и может использоватьс в экспериментальной аэродинамике дл исследовани пограничного сло Цель изобретени - повышение пространственного разрешени датчиков В электропроводной пленке датчика выполнены частично перекрывающиес параллельные изол ционные полосы 6, ширина которых составл ет 50- 200 толщин пленки Датчик располагают в исследуемой точке потока, подключают к измерительной схеме Информацию о скорости потока дает выходной прибор Выполнение электропроводной пленки из алюмини технологичность изготовлени датчика 1 з п ф-лы, 2 ил
Description
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл исследовани пограничного сло в аэродинамике .
Целью изобретени вл етс повышение пространственного разрешени и технологичности изготовлени датчика.
На фиг. 1 и 2 изображены схемы двух видов датчика термоанемометра
На диэлектрической основе 1 датчика расположен электропроводный слой в виде пленки 2, к которому подсоединены выводные провода (токопроводы) 3 дл его включени в измерительную схему (не показано). Питание от проводов 3 к чувствительному элементу 4 подводитс по первичным пленочным электродам 5 Длина I чувствительного элемента определ етс (равна) перекрывающимис част ми его боковых границ 6 с электродами 5. Границы чувствительного элемента с пленочными электродами 6 и электродов 7 между собой выполнены в виде полос без электропроводного сло шириной Н 50-200 толщин сло h
При изготовлении датчиков электропроводный слой наноситс на всю рабочую поверхность Границы чувствительного элемента с электродами и электродов между собой выполн ютс методом электрического контактного выжигани Ширина полосы выжигани соответствует толщине рабочего конца электрода. Использу обычное координатное устройство дл перемещени электрода легко выполнить размеры чувствительного элемента с точностью нескольких микрон, что при длине I 1 мм обеспечивает изготовление датчиков с точностью из электрического сопротивлени пор дка нескольких дес тых процента.
В случае необходимости длина f чувствительного элемента может быть увеличена до нужных размеров путем продлени одной из его границ при помощи луча лазера непосредственно во врем опытов. Дл уменьшени длины I достаточно уменьшить длину какой-либо границы чувствительного элемента, например, путем ее перекрыти слоем электропроводного кле Даже при
СО
С
о
VJ
о со
00 00
сравнительно большом удельном электрическом сопротивлении кле он не оказывает существенного вли ни на характеристики датчика из-за малой ширины граничной полосы (обычно пор дка дес той миллиметра и меньше).
Возможность регулировани длины I позвол ет выбрать оптимальную ее величину дл любого эксперимента, что повышает точность термоанемометрических исследо- ваний.
При изменении длины чувствительного ,элемента обеспечивают строгое сохранение величины его электрического сопротив- лени в ходе работы.
Применение алюмини дл изготовлени чувствительных элементов и первичных электродов наиболее эффективно, так как он более легко испар етс при сравнитель- но низких температурах. Технологи его на- несени на разные основы, включа полимерные пленки, хорошо отработана промышленностью.
Датчик работает следующим образом.
Предварительно провод т индивидуальную градуировку датчика, затем располагают датчик в исследуемой точке потока. Подключают его к измерительной схеме и по показани м выходного прибора суд т о скорости потока.
Claims (2)
1. Датчик термоанемометра, содержащий чувствительный элемент, выполненный в виде электропроводной пленки, нанесенной на плоскую поверхность диэлектрической подложки, и два токоподвода, подключаемые к кра м электропроводной пленки, отличающийс тем, что, с целью повышени пространственного разрешени датчика, в электропроводной пленке выполнены две частично перекрывающиес параллельные изол ционные полосы , при этом отношение ширины полосы к толщине пленки находитс в пределах 50- 200.
2.Датчик по п. 1 .отличающийс тем.что.с целью повышени технологичности электропроводна пленка выполнена из алюмини ,
7
# # # #
# # #
Фиг.}
1э .
/ , /
f.х/
Фиг. 2
л
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU853974371A SU1679388A1 (ru) | 1985-07-22 | 1985-07-22 | Датчик термоанемометра |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU853974371A SU1679388A1 (ru) | 1985-07-22 | 1985-07-22 | Датчик термоанемометра |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1679388A1 true SU1679388A1 (ru) | 1991-09-23 |
Family
ID=21204476
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU853974371A SU1679388A1 (ru) | 1985-07-22 | 1985-07-22 | Датчик термоанемометра |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1679388A1 (ru) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2548612C2 (ru) * | 2013-08-05 | 2015-04-20 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Центральный аэрогидродинамический институт имени профессора Н.Е. Жуковского" (ФГУП "ЦАГИ") | Способ изготовления термоанемометра (варианты) |
RU2594989C1 (ru) * | 2015-07-21 | 2016-08-20 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук | Устройство для измерения скорости жидкости |
-
1985
- 1985-07-22 SU SU853974371A patent/SU1679388A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 584254,кл. G 01 Р 5/12, 1977 Авторское свидетельство СССР №509832, кл. G 01 Р5/12, 1976 * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2548612C2 (ru) * | 2013-08-05 | 2015-04-20 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Центральный аэрогидродинамический институт имени профессора Н.Е. Жуковского" (ФГУП "ЦАГИ") | Способ изготовления термоанемометра (варианты) |
RU2594989C1 (ru) * | 2015-07-21 | 2016-08-20 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук | Устройство для измерения скорости жидкости |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CA1101068A (en) | Absolute humidity sensors and methods of manufacturing humidity sensors | |
US4763534A (en) | Pressure sensing device | |
US4901051A (en) | Platinum temperature sensor | |
US4625075A (en) | Patterned conductive ink touch panel | |
SE461177B (sv) | Anordning foer maetning av termiska egenskaper hos en provsubstans | |
KR910010163A (ko) | 저항 온도 센서 | |
US4652812A (en) | One-sided ion migration velocity measurement and electromigration failure warning device | |
SU1679388A1 (ru) | Датчик термоанемометра | |
JP3089455B2 (ja) | 圧力分布センサー | |
JPH0212002B2 (ru) | ||
JP2010008122A (ja) | ガスセンサ | |
JPS60196659A (ja) | センサ用抵抗測定電極 | |
JPH0159721B2 (ru) | ||
US9068913B2 (en) | Photolithographic structured thick layer sensor | |
KR100477831B1 (ko) | 칩형복합전자소자및그의제조방법 | |
JP2000299203A (ja) | 抵抗器およびその製造方法 | |
JPH088444Y2 (ja) | 油検知センサー | |
JPH0238406Y2 (ru) | ||
KR100329807B1 (ko) | 반도체식 가스 센서의 전극 구조 | |
JPS5678148A (en) | Resistance temperature compensation circuit | |
JP2793615B2 (ja) | 赤外線センサ | |
SU1403740A1 (ru) | Фольговый датчик дл измерени параметров развити поверхностных трещин | |
ATE342585T1 (de) | Herstellungsverfahren für pyroelektrische sensoren mit einer elektrische polung benötigenden pyroelektrischen dünnschicht | |
JPH1130531A (ja) | 非接触位置及び変位測定装置 | |
JPS62156551A (ja) | 温度/湿度センサ |