SU1504485A1 - Датчик дл измерени шероховатости - Google Patents
Датчик дл измерени шероховатости Download PDFInfo
- Publication number
- SU1504485A1 SU1504485A1 SU884389089A SU4389089A SU1504485A1 SU 1504485 A1 SU1504485 A1 SU 1504485A1 SU 884389089 A SU884389089 A SU 884389089A SU 4389089 A SU4389089 A SU 4389089A SU 1504485 A1 SU1504485 A1 SU 1504485A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- measuring tip
- measuring
- roughness
- sensor
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл измерени шероховатости и управлени процессом обработки деталей. Целью изобретени вл етс повышение точности и надежности измерений за счет использовани пьезоэлектрического возбудител колебаний измерительного наконечника. В исходном состо нии пьезоэлемент 4 арретирует измерительный наконечник 10. При измерении на контакты 11 подают сигналы, частота которых зависит от шага дискретизации. При этом измерительный наконечник 10 вводитс в кратковременный контакт с деталью 13 и обеспечивает преобразование шероховатости ее поверхности в деформацию пьезоэлемента 8 и в соответствующие электрические сигналы. 1 ил.
Description
(Л
СП О 4: 00 ел
3150
Итобретепио очноситс к измери- тельний технике и может использовано дл измерени шерохопатоети и уир.тплсни процессом ббработки ;;е- т а л eft .
Цель изобретени - повьиаение точности и надежиосш измерений.
На чертеже пок.чзана схема датчика дл измерени шерохопатоети.
Датчик содержит корпус 1 с опорой 2, упругую систему, вьпюлненную в виде заключенного в упругую оболоч-. ку 3 пьезоэлемента 4 брусковой формы конспльно закрепленного на корпусе 1 посредством узла регулировки жесткости , выполненого в виде колец 5 и 6 из упругого материала и винта 7 их креплени и регулировани упругости колебательно-измерительной системы, пьезоэлемент 8, закрепленный на свободном конце пьезоэлемента 4, выполненного , например, в виде диска, закрепленного на нем держател 9 с измерительным наконечником 10, контак- ты 11 дл подключени генератора сигналов и токосъемники 12 дл подключени электронных блоков. Оболочка 3 предохран ет пьезоэлемент от воздействи технологических жидкостей.
Датчик работает следующим образом .
В исходном состо нии на контакты 11 не подаютс сигналы с генератора и пьезоэлемент 4 в качестве арретира удерживает измерительный наконечник 10 на рассто нии от измер емой детали 13. При измерении на контакты 11 подают сигналы, частота которых зависит от шага дискретизации. Под дей сгнием этих сигналов пьезоэлемент 4 приводит в колебательное движение с заданной час1отой и амплитудой пьезоэлемент 8. При этом измеритель
.1
ный накс нечник 10 вводитс в кратко- оременньи контакт с деталью 13 и обеспечивает преобразование шероховатое и 1юве1)хности детали 13 в деформацию пьезоэлемента 8 и в элекп-ричес кие сигналы, KOTOpi)ie через токосъемники 12 поступают в электронные блоки дл регистрации и управлени процессом обработки детали 13.
Пьезоэлемент 4 уменьшает отбрасывание измерительного наконечника 10 от детали 13 при высоких скорост х их относительного движени . Пьезоэлемент 4 может выполн тьс биморф- ным с низкой механической жесткостью и ВЫСОКОЙ частотой собственных колебаний . Объединение колебательной и измерительной систем обеспечивает компактность конструкции датчика.
Ф о р м у л
изобретени
Датчик дл измерени шероховатости , содержащий корпус и размещенные в нем упругую систем , выполненную в виде заключенного н упругую оболочку пьезоэлемента брусковой (})ормы, кон- еольно закрепленного па корпусе посредством узла регулировки жесткости, выпо;п1еного в виде набора колец из упругого материала, расположенных по обе стороны пьезоэлемента, и винта их креплени , и св занный с пьезоэлемен- том измерительный наконечник, о т - л и ч а ю щ и и с leM, что, с целью повышени точЕюсти и надежности измерений, он снабжен генератором сигналов , подключенным к п 1езоэлементу, и дополнительным пьезоэлементом, закрепленным на свободном конце пьезоэлемента брусковой формы, а измерительный наконечник закреплен на дополнительном пьезочломеите.
Редактор Л.Дг линич
Составитель В.Харитонов
Техред М.Ходанич Корректор М.Иочч,Заказ 52 9/40
Тираж 683
ВНИИГШ 1 осударственного комитета по изобретени м и открыти м при ГКНТ СССР 113П35, Москва, Ж-35, Раушска наб., д. 4/ S
Подписное
Claims (1)
- Фо р м у л а датчикаДатчик для измерения шероховатости, содержащий корпус в нем упругую систему, виде заключенного пьезоэлемента брусковой формы сольно закрепленного на и размещенные выполненную в в упругую оболочку , конкорпус е посредством узла регулировки жесткости, вьшолненого в виде набора колец из упругого материал·!, расположенных по обе стороны пьезоэлемента, и винта их крепления, и связанный с пьезоэлементом измерительный наконечник л и ч а ю щ и й с повышения , о т я тем, что, с цеи надежности генератором сигпьезоэлементу, заточности снабжен лью измерений, он налов, подключенным к и дополнительным пьезоэлементом, крепленным на свободном конце пьезоэлемента брусковой формы, а измерительный наконечник закреплен на дополнительном пьезоэлементе.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884389089A SU1504485A1 (ru) | 1988-01-25 | 1988-01-25 | Датчик дл измерени шероховатости |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884389089A SU1504485A1 (ru) | 1988-01-25 | 1988-01-25 | Датчик дл измерени шероховатости |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1504485A1 true SU1504485A1 (ru) | 1989-08-30 |
Family
ID=21359950
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU884389089A SU1504485A1 (ru) | 1988-01-25 | 1988-01-25 | Датчик дл измерени шероховатости |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1504485A1 (ru) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5253516A (en) * | 1990-05-23 | 1993-10-19 | Digital Instruments, Inc. | Atomic force microscope for small samples having dual-mode operating capability |
US5266801A (en) * | 1989-06-05 | 1993-11-30 | Digital Instruments, Inc. | Jumping probe microscope |
US5345815A (en) * | 1991-01-04 | 1994-09-13 | Board Of Trustees, Leland Stanford Jr. University | Atomic force microscope having cantilever with piezoresistive deflection sensor |
US5412980A (en) * | 1992-08-07 | 1995-05-09 | Digital Instruments, Inc. | Tapping atomic force microscope |
US5423207A (en) * | 1993-12-27 | 1995-06-13 | International Business Machines Corporation | Advanced PZT glide head design and implementation for a small slider |
US5488857A (en) * | 1991-11-22 | 1996-02-06 | Hitachi Electronic Engineering Co., Ltd. | Protrusion sensor for sensing protrusion on a disc |
US5666190A (en) * | 1994-04-12 | 1997-09-09 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Jr. University | Method of performing lithography using cantilever array |
US5742377A (en) * | 1994-04-12 | 1998-04-21 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Jr. University | Cantilever for scanning probe microscope including piezoelectric element and method of using the same |
US5883705A (en) * | 1994-04-12 | 1999-03-16 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Jr. University | Atomic force microscope for high speed imaging including integral actuator and sensor |
US6000947A (en) * | 1994-04-12 | 1999-12-14 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Jr. | Method of fabricating transistor or other electronic device using scanning probe microscope |
US6075585A (en) * | 1994-04-12 | 2000-06-13 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Jr. University | Vibrating probe for a scanning probe microscope |
CN118209077A (zh) * | 2024-05-21 | 2024-06-18 | 荣成恒鑫动力科技股份有限公司 | 一种电机冲片表面平整度检测设备及方法 |
-
1988
- 1988-01-25 SU SU884389089A patent/SU1504485A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 990484, кл. В 24 В 49/10, 1980. * |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5266801A (en) * | 1989-06-05 | 1993-11-30 | Digital Instruments, Inc. | Jumping probe microscope |
US5415027A (en) * | 1989-06-05 | 1995-05-16 | Digital Instruments, Inc. | Jumping probe microscope |
US5253516A (en) * | 1990-05-23 | 1993-10-19 | Digital Instruments, Inc. | Atomic force microscope for small samples having dual-mode operating capability |
US5345815A (en) * | 1991-01-04 | 1994-09-13 | Board Of Trustees, Leland Stanford Jr. University | Atomic force microscope having cantilever with piezoresistive deflection sensor |
US5595942A (en) * | 1991-01-04 | 1997-01-21 | The Leland Stanford Junior University | Method of fabricating cantilever for atomic force microscope having piezoresistive deflection detector |
US5488857A (en) * | 1991-11-22 | 1996-02-06 | Hitachi Electronic Engineering Co., Ltd. | Protrusion sensor for sensing protrusion on a disc |
US5412980A (en) * | 1992-08-07 | 1995-05-09 | Digital Instruments, Inc. | Tapping atomic force microscope |
US5423207A (en) * | 1993-12-27 | 1995-06-13 | International Business Machines Corporation | Advanced PZT glide head design and implementation for a small slider |
US5666190A (en) * | 1994-04-12 | 1997-09-09 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Jr. University | Method of performing lithography using cantilever array |
US5742377A (en) * | 1994-04-12 | 1998-04-21 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Jr. University | Cantilever for scanning probe microscope including piezoelectric element and method of using the same |
US5883705A (en) * | 1994-04-12 | 1999-03-16 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Jr. University | Atomic force microscope for high speed imaging including integral actuator and sensor |
US6000947A (en) * | 1994-04-12 | 1999-12-14 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Jr. | Method of fabricating transistor or other electronic device using scanning probe microscope |
US6075585A (en) * | 1994-04-12 | 2000-06-13 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Jr. University | Vibrating probe for a scanning probe microscope |
CN118209077A (zh) * | 2024-05-21 | 2024-06-18 | 荣成恒鑫动力科技股份有限公司 | 一种电机冲片表面平整度检测设备及方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SU1504485A1 (ru) | Датчик дл измерени шероховатости | |
KR940006232A (ko) | 프로우브 장치 | |
US7352271B2 (en) | Probe and contour measuring instrument | |
US7543519B2 (en) | Device for high-precision generation and measurement of forces and displacements | |
Boynton et al. | A new high accuracy instrument for measuring moment of inertia and center of gravity | |
US4967601A (en) | Viscoelasticity measuring apparatus | |
US5301540A (en) | Probe for measuring the viscosity of liquids | |
Uhlendorf et al. | Ultrasonic absorption and velocity measurements at mW peak power level in the range 50-500 MHz with variable pathlength cell | |
SU611123A1 (ru) | Устройство дл определени нат жени нити | |
US4819340A (en) | Compact focal plane precision positioning device and method | |
SU1260732A1 (ru) | Электронный твердомер | |
US6513387B1 (en) | Acceleration compensated pressure measuring instrument | |
US4485559A (en) | Mouthpiece facing gauge | |
RU2075048C1 (ru) | Пьезоэлектрический вибропреобразователь | |
SU1425490A1 (ru) | Датчик давлени | |
SU868334A1 (ru) | Электрический датчик перемещений | |
SU602826A1 (ru) | Вибрационный вискозиметр | |
SU930017A1 (ru) | Устройство дл измерени амплитуды вибрации | |
SU131896A1 (ru) | Устройство дл непрерывного контрол диаметра тонкой проволоки | |
DE59104753D1 (de) | Messvorrichtung zur Überprüfung der Masse eines Werkstückes. | |
SU1691693A1 (ru) | Датчик давлени | |
SU1670518A1 (ru) | Устройство дл триботехнических испытаний материалов в услови х вибрации | |
SU855416A1 (ru) | Электроконтактный датчик дл определени характеристик упругих чувствительных элементов | |
SU1352187A1 (ru) | Прибор дл измерени толщины защитных покрытий | |
SU1310713A1 (ru) | Преобразователь крутильных колебаний |