Изобретение относитс к технике измерени тепловых параметров полупроводниковых приборов и может быть использовано дл контрол качества изготовлени транзисторов. Известно устройство дл измерени теплового сопротивлени переход корпус транзисторов, которое содерж источник, посто нного коллекторного напр жени , генератор иМпульсов ток и импульсный вольтметр 1. . В этом устройстве в качестве тем пературозависимого параметра исполь зуетс входное сопротивление транзи тора. Недостатком устройства вл етс сложность предварительной калибровк и большое врем измерени . Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности вл етс устройство, содержа11цее генератор линейно нарастающего коллекторного напр жени и стабилизатор эмиттерного тока,, запускающие входы которо го соединены с клеммой запуска, а выходы соответственно с клеммами дл подключени коллектора и эмитте ра испытуемого транзистора, клемма дл подключени базы которого присо единена к об.щей шине, а также блок индикации С2. Недостатками этого устройства в л готс невысока точность измерени параметра и невозможность непосредственного его отсчета, которые предопределены использованием осциллографического индикатора (запоминак цего осциллографа) . . Цель изобретени - повышение точ ности измерени и обеспечение возМОЖНОСТ .И непосредственного цифровог отсчета параметра. Поставленна цель достигаетс те что в устройство, содержащее генера . тор линейно нарастающего коллекторного напр жени и стабилизатор эмит терного тока, запускающие входы Которах соединены с клеммой запуска, а выходы соответственно с клеммами дл подключени коллектора и эмиттера испытуемого транзистора, клемм дл подключени базы которого присо единена к.общей шине, а также блок индикации, введены источник двух опорных напр жений, схема сравнени аналого-цифровой преобразователь и реверсивный счетчик, причем один из входов схемы сравнени соединен с клеммой дл подключени коллектора испытуемого транзистора, а два других - с выходами источника опорных напр жений, первый синхронизирующий выход схемы управлени подклю чен к шине синхронизации аналогоЦИ4ФОВОГО преобразовател , а второй и третий синхронизирующие выходы к управл ющим входам реверсивного счетчика, выходы которого присоединены к входам блока индикации, а счетньй вход - к выходу аналого-цифрового преобразовател , вход которо- го соединен с клеммой дл подключени эмиттера испытуемого транзистора. .На фиг. 1 представлена функциональна схема устройства, на фиг. 2 - эпюры , по сн ющие принцип его работы. Устройство содержит генератор 1 линейно нарастающего коллекторного напр жени , стабилизатор 2 эмитерного тока, клемму 3 Запуск и клемму 4дл подключени коллектора, клемма 5базы и клемма б эмиттера испытываемого транзистора, схему 7 сравнени и источник 8 опорных напр жений, аналого-цифровой преобразователь (АЦП) 9, реверсивный счетчик 10, блок 11 индийации . Устройство работает следующим образом (фиг. 2). При по влении соответствующего управл ющего сигнала на клемме 3 Запуск, генератор 1 линейно нарастающего коллекторного напр жени вырабатывает импульс линейно нарастающего напр жени Ui, длительности t, которое через клемму 4 поступает на коллектор испытуемого транзистора и на вход схемы 7 сравнени , а стабилизатор 2 тока при этом вырабатывает импульс посто нного тона 1э (такой же длительности), который через клемму 6 поступает в эмиттер испытуемого транзистора. В качестве температурочувствительного параметра в предлагаемом устройстве используетс падение напр жени на эмиттерном переходе . Это напр жение с клемм б поступает на измерительный (аналоговый) вход АЦП 9, на запускающий вход которого с первого выхода схемы 7 сравнени поступают дэа коротких запускающих импульса , вырабатываемые схемой 7 сравнени в моменты t и t2 сравнени напр жени на коллекторе U.c опорными напр жени ми UQP, и и оответственно. АЦП 9 быстро, то есть за врем преобразует напр жение UggCt) .и UjgXtj) в последовательности импульсов , которые поступают на счетный вход реверсивного счетчика 10, который в момент времени t, сигналом с второго выхода схемы 7 сравнени устанавливаетс в режим пр мого счета, а в момент времени t2 сигналом с третьего выхода схемы 7 сравнени в режим вычитани , так что по окончании импульса линейно нарастающей мощности в счетчике остаетс число пропорциональное AUg5 U3(t) - . которое и высвечиваетс блоком индикации . Величина uUjgсв зана с тепловым сопротивлением простым соотношением к;.The invention relates to a technique for measuring the thermal parameters of semiconductor devices and can be used to control the quality of the manufacturing of transistors. A device for measuring the thermal resistance of a junction of a transistor housing, which contains a source, a constant collector voltage, a generator, and pulses of current and a pulse voltmeter, is known. In this device, the input resistance of the transistor is used as a temperature-dependent parameter. The drawback of the device is the complexity of the pre-calibration and the large measurement time. The closest to the proposed technical entity is a device containing a linearly increasing collector voltage generator and an emitter current stabilizer, the triggering inputs of which are connected to the start terminal, and the outputs respectively to the terminals for connecting the collector and emitter of the tested transistor, the terminal for connecting the base of which is connected to the common tire, as well as the display unit C2. The disadvantages of this device in LLGS are the low accuracy of the parameter measurement and the impossibility of its direct reading, which are predetermined by the use of an oscillographic indicator (a memory oscilloscope). . The purpose of the invention is to improve the accuracy of measurement and ensure the possibility of direct digital readout of the parameter. The goal is achieved by those in the device containing the generator. the linearly rising collector voltage torus and the emitter current stabilizer, the triggering inputs to the Kotors are connected to the start terminal, and the outputs respectively to the terminals for connecting the collector and emitter of the test transistor, the terminals for connecting the base of which are connected to the common bus, as well as the display unit, a source of two reference voltages is introduced, a comparison circuit of an analog-digital converter and a reversible counter, with one of the inputs of the comparison circuit being connected to a terminal for connecting the collector of the test subject the two resistors, with the outputs of the reference voltage source, the first synchronization output of the control circuit is connected to the synchronization bus of the analog CALIFUAL converter, and the second and third synchronization outputs of the control inputs of the reversible counter, the outputs of which are connected to the inputs of the display unit, and the counter input - to the output of an analog-to-digital converter, the input of which is connected to a terminal for connecting the emitter of the test transistor. .In FIG. 1 is a functional diagram of the device; FIG. 2 - diagrams, explaining the principle of its work. The device contains a linearly increasing collector voltage generator 1, an emitter current regulator 2, terminal 3 Start and terminal 4dl connect a collector, terminal 5base and emitter terminal b of the transistor under test, comparison circuit 7 and reference voltage source 8, analog-to-digital converter (ADC) 9, reversible counter 10, block 11 indatiation. The device works as follows (Fig. 2). When a corresponding control signal appears at terminal 3 Run, the linearly increasing collector voltage generator 1 generates a linearly rising voltage pulse Ui, of duration t, which through terminal 4 goes to the collector of the tested transistor and to the input of the comparison circuit 7, and the stabilizer 2 current at the same time, it produces a constant-tone pulse 1e (of the same duration), which through terminal 6 enters the emitter of the tested transistor. As a temperature-sensitive parameter in the proposed device, the voltage drop across the emitter junction is used. This voltage from the terminals b goes to the measuring (analog) input of the ADC 9, to the triggering input of which from the first output of the comparison circuit 7 receives dea short triggering pulses produced by the comparison circuit 7 at times t and t2 comparing the voltage on the collector Uc reference voltages mi uqp, and and accordingly. A / D converter 9 quickly, i.e., over time, converts the voltage UggCt). And UjgXtj) into pulse sequences that arrive at the counting input of the reversible counter 10, which at time t, is set to direct counting from the second output of the comparison circuit 7, and at time t2, the signal from the third output of the comparison circuit 7 to the subtraction mode, so that at the end of the pulse of linearly increasing power, a number proportional to AUg5 U3 (t) - remains in the counter. which is displayed by the display unit. The value of uUjgsv zana with thermal resistance by a simple ratio to ;.
где йР s; Дэ JK) v.()l - d ( ) - разность мгновенных мощностей, рассеиваемых транзисторов в моменты времени t и температурный крэффициент падени напр жени на эмиттерном переходе (при заданном посто нном токе эмиттеpia ).where rp s; Teh JK) v. () L - d () is the difference of the instantaneous power dissipated by the transistors at times t and the temperature coefficient of voltage drop at the emitter junction (for a given constant emitter voltage).
Простым выбором масштаба преобразовани Изб и величины оп опо IJdh-i (РИ э const) нетрудно реализовать непосредственный отсчет измер емой величины в выбранной системе единиц.,A simple choice of the scale of the conversion of fs and the value of the op opp IJdh-i (RI e const) makes it easy to implement a direct reading of the measured value in the chosen system of units.,
В предлагаемом устройстве измерение теплового согфотивлени производис за врем действи одного импульса линейно нарастаюшей мощности ( Т )In the proposed device, the measurement of thermal stimulation produced during the action of a single pulse of linearly increasing power (T)
Точность.измерени Ятп-к определ етс , точностью преобразовани и точностью задани ЛР (п{ж известной величине К,, ), которые мох-ут быть сделаны достаточно 8ыcoки af.The accuracy of the measurement is determined by the accuracy of the conversion and the accuracy of the LR (n {the known value of K ,,), which can be made sufficiently sufficiently high.