[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

SK842002A3 - Inspection device for components - Google Patents

Inspection device for components Download PDF

Info

Publication number
SK842002A3
SK842002A3 SK84-2002A SK842002A SK842002A3 SK 842002 A3 SK842002 A3 SK 842002A3 SK 842002 A SK842002 A SK 842002A SK 842002 A3 SK842002 A3 SK 842002A3
Authority
SK
Slovakia
Prior art keywords
component
image
light
images
illumination
Prior art date
Application number
SK84-2002A
Other languages
English (en)
Inventor
Peter Bollinger
Original Assignee
Merten Kg Pulsotronic
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Merten Kg Pulsotronic filed Critical Merten Kg Pulsotronic
Publication of SK842002A3 publication Critical patent/SK842002A3/sk

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/08Monitoring manufacture of assemblages
    • H05K13/081Integration of optical monitoring devices in assembly lines; Processes using optical monitoring devices specially adapted for controlling devices or machines in assembly lines
    • H05K13/0812Integration of optical monitoring devices in assembly lines; Processes using optical monitoring devices specially adapted for controlling devices or machines in assembly lines the monitoring devices being integrated in the mounting machine, e.g. for monitoring components, leads, component placement

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Operations Research (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Adjustment And Processing Of Grains (AREA)
  • Beans For Foods Or Fodder (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Measurement Of The Respiration, Hearing Ability, Form, And Blood Characteristics Of Living Organisms (AREA)
  • Closed-Circuit Television Systems (AREA)
  • Sorting Of Articles (AREA)
  • Studio Devices (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
  • Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
  • Transplanting Machines (AREA)
  • Ceramic Capacitors (AREA)

Description

ZARIADENIE NA KONTROLU SÚČIASTOK
Oblasť techniky
Vynález sa týka zariadenia na kontrolu súčiastok, obsahujúceho videokameru, ktorou sa sníma obraz skúmaných súčiastok.
Doterajší stav techniky
Osadzovanie elektrických dosiek plošných spojov súčiastkami sa v sériovej výrobe vykonáva osadzovacími automatmi, ktoré príslušnú súčiastku dopravia na jej miesto, aby sa tam mohla prispájkovať alebo upevnená. Súčiastky, pri ktorých často ide o miniaturizované súčiastky, ktorých veľkosť je rádovo od 1 do 10 mm, sa musia pred ich spracovaním skontrolovať, aby sa zabezpečilo, že súčiastka je správna a neporušená. Predovšetkým sa musí zistiť, že sú neporušené všetky pätky a či sa nachádzajú v správnej polohe. Takáto inšpekcia sa bežne vykonáva videokamerou a k nej pripojeným počítačom, ktorý je vhodný na spracovanie obrazu a snímaný videoobraz porovnáva so štandardným obrazom vopred uloženým do pamäti. Touto cestou sa dá bez potreby zásahu človeka posúdiť, či montovaná alebo súčiastka alebo iným spôsobom spracovávaný predmet je intaktný.
Kvôli kompletnej kontrole je potrebné skúmanú súčiastku zosnímať z rôznych smerov. Pri len jednom obraze, ktorý je snímaný len z jedného jediného smeru, môžu zostať niektoré závady súčiastky skryté a neviditeľné.
Pri miniaturizovaných súčiastkach je súčasné snímanie viacerých obrazov kvôli potrebe viacerých videokamier v základe obtiažne.
Vynález si kladie za úlohu vytvoriť také zariadenie na kontrolu súčiastok, ktoré by umožnilo obrazy súčiastok súčasne snímať z rôznych smerov a ktoré by bolo vhodné aj pre miniatúrne súčiastky.
862/B • · • · ·· ···· • ···
Podstata vynálezu
Táto úloha je vyriešená podľa vynálezu zariadením, ktorého znaky sú uvedené v patentovom nároku 1.
Pri inšpekčnom zariadení podľa vynálezu sa snímajú viaceré obrazy súčiastky z rôznych smerov jedinou kamerou, pričom v dráhe lúčov aspoň jedného z obrazov je uložené optické vratné zariadenie. Tým môžu byť obidva obrazy, ktoré sa súčasne snímajú z rozdielnych smerov, privedené do videokamery z toho istého smeru prijímania, takže sa obidva obrazy dajú reprodukovať na rozdielnych miestach videoobrazu. Podľa vynálezu sa na reprodukciu viacerých obrazov použije jedna jediná videokamera. Tým sa dosahuje aj vyhodnotenie obrazu automatickým spracovaním obrazu na základe jedného jediného videoobrazu. Kontrolné zariadenie sa môže použiť aj v priestorovo veľmi stiesnených podmienkach a hodí sa predovšetkým na vyhodnotenie a posúdenie miniatúrnych súčiastok, pretože nie je nutné na jednu súčiastku použiť viaceré videokamery.
Ako videokamera sa hodí predovšetkým CCD-kamera s poľom senzorov s akumulačnými prvkami, ktoré sú citlivé na svetelné signály. Rozdielne obrazy sa dostávajú do objektívu videokamery síce navzájom paralelne, sú však navzájom bočné presadené, takže sa navzájom neprekrývajú.
Podľa jedného prednostného uskutočnenia vynálezu je v dráhe lúčov jedného z obrazov medzi súčiastkou a videokamerou uložené zariadenie na vyrovnávanie dĺžky, ktoré dáva tejto lúčovej dráhe rovnakú dĺžku ako je druhá dráha lúča. Touto cestou sa oba obrazy spoločne pred videokamerou zaostria. Zariadenie na vyrovnávanie dĺžky môže pozostávať zo zrkadiel alebo s výhodou zo sústavy priziem, ktorá vytvára meandrovitú dráhu lúčov.
Vynález poskytuje možnosť zobrazovať súčasne zobrazovať a vyhodnocovať viaceré súčiastky jednou videokamerou. Na tento účel je opatrené zariadením na skladanie lúčov, do ktorého sa súčasne privádza obraz dvojice súčiastok nachádzajúcich sa vo vzájomnom odstupe. Takéto
862/B • · · · · · zariadenie na skladanie lúčov pozostáva zo sústavy zrkadiel alebo priziem. Jeho použitie predpokladá, že súčiastky sa nachádzajú vždy súčasne v dvoch definovaných polohách so vzájomným odstupom.
Na definovanú a reprodukovateľnú kontrolu sú potrebné definované pomery osvetlenia. Pri osvetlení predmetu sa musia obmedziť pôsobenia clony a iné podobné vplyvy. Podľa jedného z ďalších uskutočnení vynálezu sú vytvorené dve osvetľovacie zariadenia, z ktorých jedno je určené pre prvý obraz a ďalšie zariadenie pre druhý obraz sledovanej súčiastky. Obidve osvetľovacie zariadenie vysielajú svetlo rozdielnej svetelnej kvality, a tým svetlo prvého obrazu nie je rušené osvetlením druhého obrazu. Rozdielnou svetelnou kvalitou môže byť napríklad rozdielna vlnová dĺžka, alebo napríklad rozdielne smery polarizácie. Dôležité je, aby pre každý obraz bolo použité selektívne osvetlenie, ktoré nie je vnímané druhým obrazom. Oddeľovanie snímaných obrazov sa môže uskutočniť cez zodpovedajúce filtre.
Podľa jedného uprednostneného uskutočnenia vynálezu osvetľovacie zariadenie osvetľuje súčiastku v dopadajúcom svetle na tej istej strane, z ktorej sa sníma obraz, a druhé osvetľovacie zariadenie osvetľuje súčiastku v protisvetle. Snímacie zaradenia obidvoch obrazov sú s výhodou navzájom pravouhlé.
Keď osvetľovacie zariadenie vysiela svetlo rozdielnych vlnových dĺžok, môže sa ako videokamera použiť čierno-biela kamera alebo aj farebná videokamera. Pri použití čierno-bielej kamery musí byť zabezpečené, že je citlivá na obidve zvolené vlnové dĺžky.
Prehľad obrázkov na výkresoch
V nasledujúcom bude vynález bližšie vysvetlený a popísaný na základe príkladu uskutočnenia na základe priložených výkresov. Na výkresoch predstavuje:
obr.1 schematický pohľad zboku na inšpekčné zariadenie súčiastok podľa vynálezu,
862/B
··· · obr.2 pohľad v smere šipky II z obr.4, obr.3 schematický nárys na konštrukčné vyhotovenie inšpekčného zariadenia z rovnakého smeru ako obr.1, obr.4 podrobnosť z obr. 3 v smere šipky IV, obr.5 zobrazenie videokamerou získaných videoobrazov obr.6 mechanický zobrazenie osvetľovacieho zariadenia zameraného na súčiastku, a obr.7 nákres v smere šipky VII z obr. 6.
Príklad uskutočnenia vynálezu
Kontrolné zariadenie podľa vynálezu je vybavené viacerými nosnými zariadeniami 10, v tomto prípade ide o prísavné pipety, ktoré cez jemné nasávacie otvory nasávajú vzduch a tým pritiahnu súčiastku 11 k nasávaciemu otvoru vzduchu a upevnia ju. Nosné zariadenia 10 sú usporiadané v jednom rade na nekonečne prebiehajúcom dopravníku, ktorý sa postupne posúva v rytme stroja.
Súčiastkami 11 sú v tomto prípade napríklad tranzistory, ktoré pozostávajú z tela 12 a z pätiek 13, 14, ktoré z tela 12 vyčnievajú na opačné strany. Na jednu stranu vyčnievajú dve pätky 13 a na druhú stranu jedna pätka
14. Pätky sú dvojnásobne zahnuté a majú vždy osadzovací úsek 15, ktorý plocho dosadá na dosku plošných spojov a je prispájkovaný do vodivých dráh. Kontrolné zariadenie okrem iného testuje, či sú prítomné všetky pätky 1_3, 14 a či sú v správnej polohe.
Ako vidno z obr. 1, sú na dvoch miestach dopravníkovej dráhy nosných zariadení 10 usporiadané snímacie polohy 16, 17, na ktorých sa uskutočňuje snímanie súčiastok 11, 11a videokamerou. Medzi obidvoma snímacími polohami sa nachádza zariadenie 18 na skladanie lúčov tvorené prvou prizmou 19 a druhou prizmou 20. Každá z týchto priziem 19, 20 vychyľuje obraz príslušného komponentu 11 prípadne 11a do objektívu 21 kamery, pričom
862/B • · • · dráhy lúčov oboch obrazov sú znázornené čiarkované. Je vidno, že obidva obrazy sa dostávajú do objektívu 21 kamery navzájom paralelne, avšak s bočným presadením, takže na snímači videokamery sa obidva obrazy zobrazia na rozdielnych polohách. Dráhy lúčov od oboch súčiastok 11, 11a k objektívu 21 sú na obr. 1 znázornené čiarkované. Tieto dráhy lúčov prebiehajú najskôr navzájom rovnobežne vo veľkom odstupe, a potom pravouhlo navzájom zatáčajú a napokon navzájom rovnobežne v malom vzájomnom odstupe vstupujú do objektívu 21_.
Zariadenie 18 na skladanie lúčov a snímacie polohy 16, 17 sa nachádzajú v predsádke 22 objektívu, ktorá je umiestnená na objektíve 21 videokamery a je tomuto objektívu predradená. Pozdĺž tejto predsádky 22 sa pohybujú nosné zariadenia 10.
Obr. 2 zobrazuje súčiastku 11 prisatú a pevne upevnenú v nosnom zariadení 10, v smere šipky II z obr. 1. Súčiastka sa sníma videokamerou z prvého smeru 23 (zospodu) a z druhého smeru 24 (zboku). Obidva smery 23, 24 prebiehajú navzájom pravouhlo. Smer 23 je súčasťou dráhy 25 lúčov a smer 24 je súčasťou dráhy 26 lúčov. Smery 23, 24 udávajú smer pohľadu videokamery. Svetelné lúče prebiehajú oproti tomu v opačnom smere od súčiastky k videokamere.
V dráhe 25 lúčov sa nachádza zariadenie 27 na vyrovnávanie dĺžky, pozostávajúce z dvoch priziem, ktoré dráhu 25 lúčov predĺži tak, že ju vyrovná na dĺžku dráhy 26 lúčov. Tým, že obidve dráhy 25, 26 lúčov majú v podstate rovnakú dĺžku, je umožnené zaostrenie obidvoch obrazov vo videokamere. Zariadenie 27 na vyrovnávanie dĺžky je tak vytvorené, že prichádzajúci lúč a odchádzajúci lúč prebiehajú paralelne.
Obr. 5 predstavuje videoobraz, získaný z obidvoch súčiastok H, 11a. Súčiastka 11 sa zobrazuje v dvoch obrazoch 28, 29, pričom obraz 28 je pohľad zhora a obraz 29 predstavuje pohľad zboku. Súčiastka 11 sa sníma a zobrazuje rovnako do dvoch obrazov 28a, 29a. Všetky štyri obrazy sa spoločne vytvárajú na snímači videokamery a môžu sa spoločne zobrazovať na obrazovke.
862/B • · ·· · · ··· · ·· ·· ··· ··· t · · · • · · · · · ···· · · · • · · · · · · · · · · · θ ·· ·· ·· ··· ·· ····
Dráha 26 lúčov, ktorá prebieha najskôr paralelne s dráhou 25 lúčov, sa optickým vratným zariadením 30 pravouhlo vychyľuje, aby potom zo smeru 24 zboku dopadla na súčiastku H
Osvetlenie súčiastok sa deje pre každý z obidvoch obrazov 28, 29 svetlom rozdielnej povahy. Prvé osvetľovacie zariadenie 31 (obr. 6 a 7) osvetľuje súčiastku 11 zospodu. Toto osvetľovacie zariadenie 31 je vybavené dvoma svetelnými zdrojmi 32, ktoré sú usporiadané horizontálne a ich svetlo sa usmerňuje cez prizmu 33 vždy kolmo smerom nahor. Svetelné zdroje 32 sa môžu spolu s príslušnou prizmou 33 okolo hlavnej osi 34 vyžarovania otáčať a nastavovať, aby sa dali nastaviť rôzne uhly náklonu, ako je to pri 34 znázornené na obr. 7. Svetelné zdroje 32 sú usporiadané so vzájomným odstupom, takže sa každý svetelný zdroj nachádza šikmo pod súčiastkou 11. Dráha lúčov videokamery prebieha medzi obidvoma svetelnými zdrojmi 32. Spodná strana súčiastok 11 sa sníma v tom svetle, v ktorom je osvetlená osvetľovacím zariadením 31.
Druhé osvetľovacie zariadenie 35 je uložené bokom vedľa od súčiastky 11, a to na strane ležiacej protiľahlo k vstupnej strane. To znamená, že vstupný smer 24 ukazuje na osvetľovacie zariadenie 35. Súčiastka 11 sa sníma z tohto smeru 24 v protisvetle, t.j. zodpovedajúci obraz 29 zobrazuje siluetu súčiastky.
Osvetľovacie zariadenia 31, 35 pracujú so svetlom rozdielnych vlnových dĺžok. Svetelné zdroje osvetľovacieho zariadenia 31 vyžarujú napríklad červené svetlo a svetelné zdroje osvetľovacieho zariadenia 35 vyžarujú napríklad zelené svetlo. V závislosti od toho, podľa obr. 2, v dráhe 25 lúčov sa nachádza červený filter R, ktorý prepúšťa len červené svetlo, a v dráhe 26 lúčov sa nachádza zelený filter G, ktorý prepúšťa len zelené svetlo. Preto sa sníma obraz 28 pri červenom svetle a obraz 29 sa sníma pri zelenom svetle. Obidva druhy svetla sa navzájom nerušia a predovšetkým sa nevyskytujú žiadne clonové pôsobenia.
Obr. 3 a 4 ukazujú konštrukčné riešenie kontrolného zariadenia. Bezprostredne pred objektívom 21 videokamery 40 je upevnená predsádka 22, ktorá obsahuje komponenty zobrazené na obr. 1 a 2. Objektív 21 videokamery
862/B • · je upevnený na držiaku 41 na ráme 42 stroja. Uhlový držiak 43 nesie osvetľovacie zariadenie 31. Na tomto uhlovom držiaku sú skrutkami 44 upevnené svetelné zdroje 32. Prizma 33, ktorá svetlo svetelného zdroja 32 smeruje dohora, sa nachádza pod dráhou držiaka .10. Súčiastky 11 prebiehajú po svojej prepravnej dráhe tým spôsobom, že ich pätky 13, 14 smerujú dopredu a dozadu. Osvetľovacie zariadenie 35 sa taktiež nachádza ako pole svietivých diód, na uhlovom držiaku 43.

Claims (9)

  1. PATENTOVÉ NÁROKY
    1. Zariadenie na kontrolu súčiastok (11), obsahujúce videokameru (40) snímajúcu prvý obraz (28) súčiastky (11) z prvého smeru (23), vyznačujúce sa tým, že je vybavené optickým vratným zariadením (30), ktoré do videokamery (40) privádza druhý obraz (29) súčiastky (11), získaný z druhého smeru (24) odlišného od prvého smeru (23), pričom obidva obrazy (28, 29) sa reprodukujú na rozdielnych miestach videokamerou získaného videoobrazu.
  2. 2. Kontrolné zariadenie podľa nároku 1, vyznačujúce sa tým, že v dráhe (25) lúčov jedného z obrazov (28, 29) medzi súčiastkou (11) a videokamerou (40) je usporiadané zariadenie (27) na vyrovnávanie dĺžky, ktoré dáva tejto lúčovej dráhe rovnakú dĺžku ako je druhá dráha (26) lúča).
  3. 3. Kontrolné zariadenie podľa nároku 1 alebo 2, vyznačujúce sa tým, že dráhy (25, 26) lúčov obidvoch obrazov (28, 29) vstupujú do videokamery (40) navzájom paralelne.
  4. 4. Kontrolné zariadenie podľa niektorého z nárokov 1 až 3, vyznačujúce sa tým, že je opatrené zariadením (18) na skladanie lúčov, do ktorého sa súčasne privádza obraz dvojice súčiastok (11, 11a) nachádzajúcich sa vo vzájomnom odstupe.
  5. 5. Kontrolné zariadenie podľa niektorého z nárokov 1 až 4, vyznačujúce sa tým, že je opatrené prvým osvetľovacím zariadením (31), ktoré osvetľuje súčiastku (11) na získanie prvého obrazu (28), a druhým osvetľovacím zariadením (35), ktoré osvetľuje súčiastku (11) na získanie druhého obrazu (29), a že osvetľovacie zariadenia (31, 35) vysielajú svetlo rozdielnej svetelnej kvality, tak že svetlo prvého obrazu nie je rušené osvetlením druhého obrazu.
    31 862/B ο · · · · · • · • ···
  6. 6. Kontrolné zariadenie podľa nároku 5, vyznačujúce sa tým, že rozdielnou svetelnou kvalitou je rozdielna vlnová dĺžka.
  7. 7. Kontrolné zariadenie podľa niektorého z nárokov 1 až 6, vyznačujúce sa tým, že jedno osvetľovacie zariadenie (31) osvetľuje súčiastku (11) dopadajúcim svetlom na tej strane, z ktorej sa sníma obraz (28), a že druhé osvetľovacie zariadenie (35) osvetľuje súčiastku (11) protisvetlom.
  8. 8. Kontrolné zariadenie podľa niektorého z nárokov 1 až 7, vyznačujúce sa tým, že aspoň jedno osvetľovacie zariadenie (31) obsahuje svetelný zdroj (32) ktorý je namontovaný otočné okolo osi (34) hlavného lúča, a je spojený so spoločne otáčavým vychyľovacím zariadením (33).
  9. 9. Kontrolné zariadenie podľa niektorého z nárokov 1 až 8, vyznačujúce sa tým, jedno osvetľovacie zariadenie (31) obsahuje dva svetlené zdroje (32), a že dráha (25) lúča jedného z obrazov prebieha medzi týmito svetlenými zdrojmi.
SK84-2002A 1999-07-23 2000-06-30 Inspection device for components SK842002A3 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19934619A DE19934619A1 (de) 1999-07-23 1999-07-23 Inspektionsvorrichtung für Bauteile
PCT/EP2000/006117 WO2001008461A1 (de) 1999-07-23 2000-06-30 Inspektionsvorrichtung für bauteile

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SK842002A3 true SK842002A3 (en) 2002-10-08

Family

ID=7915831

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SK84-2002A SK842002A3 (en) 1999-07-23 2000-06-30 Inspection device for components

Country Status (17)

Country Link
US (1) US7019771B1 (sk)
EP (1) EP1198979B1 (sk)
JP (1) JP4415155B2 (sk)
KR (1) KR20020024308A (sk)
CN (1) CN1364403A (sk)
AT (1) ATE233988T1 (sk)
AU (1) AU5535800A (sk)
CA (1) CA2380276A1 (sk)
CZ (1) CZ2002256A3 (sk)
DE (2) DE19934619A1 (sk)
HK (1) HK1048044B (sk)
IL (2) IL147678A0 (sk)
MY (1) MY122774A (sk)
NO (1) NO20020323L (sk)
SK (1) SK842002A3 (sk)
TW (1) TW508984B (sk)
WO (1) WO2001008461A1 (sk)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004008082A1 (de) * 2004-02-19 2005-09-08 Marconi Communications Gmbh Verfahren zum Bestücken eines Schaltungsträgers
JP4652883B2 (ja) * 2005-04-28 2011-03-16 日本発條株式会社 測定装置及び測定方法
US20080141795A1 (en) * 2006-12-13 2008-06-19 Gagnon Daniel F Micro-surface inspection tool
JP5094428B2 (ja) * 2008-01-09 2012-12-12 ヤマハ発動機株式会社 部品認識装置および実装機
JP5094534B2 (ja) * 2008-04-30 2012-12-12 富士機械製造株式会社 電子部品の実装装置
JP4897076B2 (ja) * 2010-08-19 2012-03-14 日本発條株式会社 測定装置及び測定方法
JP2012042436A (ja) * 2010-08-23 2012-03-01 Hitachi High-Technologies Corp Fpdモジュールの位置決めマーク認識装置及びfpdモジュールの組立装置
DE102010053912B4 (de) * 2010-12-09 2013-01-31 Mühlbauer Ag Optische Untersuchungseinrichtung und optisches Untersuchungsverfahren
JP5963500B2 (ja) * 2012-03-29 2016-08-03 ヤマハ発動機株式会社 電子部品装着装置
JP5954757B2 (ja) * 2015-01-09 2016-07-20 上野精機株式会社 外観検査装置
CN107889522B (zh) * 2015-08-26 2020-08-28 Abb瑞士股份有限公司 对象多视角检测设备及其方法
CH711570B1 (de) 2015-09-28 2019-02-15 Besi Switzerland Ag Vorrichtung für die Montage von Bauelementen auf einem Substrat.

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4914513A (en) * 1988-08-02 1990-04-03 Srtechnologies, Inc. Multi-vision component alignment system
JPH03203399A (ja) * 1989-12-29 1991-09-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd 部品装着装置
US4959898A (en) * 1990-05-22 1990-10-02 Emhart Industries, Inc. Surface mount machine with lead coplanarity verifier
NL9100215A (nl) * 1991-02-07 1992-09-01 Asm Lithography Bv Inrichting voor het repeterend afbeelden van een maskerpatroon op een substraat.
SE515418C2 (sv) * 1994-10-12 2001-07-30 Mydata Automation Ab Metod och anordning att avbilda i en rad fasthållna komponenter för automatisk utvärdering av komponenternas lägen samt användning av en sådan anordning
JP3647146B2 (ja) * 1996-06-20 2005-05-11 松下電器産業株式会社 電子部品実装装置および電子部品実装方法
JPH10313197A (ja) * 1997-05-13 1998-11-24 Kiyoshi Matsumoto 表面実装用電子部品位置決め装置
AU8472898A (en) * 1997-06-30 1999-01-19 Semiconductor Technologies & Instruments, Inc. Method and apparatus for inspecting a workpiece
US6072898A (en) * 1998-01-16 2000-06-06 Beaty; Elwin M. Method and apparatus for three dimensional inspection of electronic components
DE19821800A1 (de) * 1998-05-15 1999-12-02 Foerderung Angewandter Informa Verfahren und Vorrichtung zum Prüfen von Seitensichten und Draufsicht von Objekten aus einer Sichtposition
US6410872B2 (en) * 1999-03-26 2002-06-25 Key Technology, Inc. Agricultural article inspection apparatus and method employing spectral manipulation to enhance detection contrast ratio
US6879390B1 (en) * 2000-08-10 2005-04-12 Kla-Tencor Technologies Corporation Multiple beam inspection apparatus and method
JP2003130808A (ja) * 2001-10-29 2003-05-08 Hitachi Ltd 欠陥検査方法及びその装置
US6813016B2 (en) * 2002-03-15 2004-11-02 Ppt Vision, Inc. Co-planarity and top-down examination method and optical module for electronic leaded components

Also Published As

Publication number Publication date
TW508984B (en) 2002-11-01
HK1048044A1 (en) 2003-03-14
MY122774A (en) 2006-05-31
CA2380276A1 (en) 2001-02-01
ATE233988T1 (de) 2003-03-15
DE50001407D1 (de) 2003-04-10
HK1048044B (zh) 2003-07-18
IL147678A (en) 2006-07-05
AU5535800A (en) 2001-02-13
KR20020024308A (ko) 2002-03-29
WO2001008461A1 (de) 2001-02-01
NO20020323D0 (no) 2002-01-21
EP1198979A1 (de) 2002-04-24
CN1364403A (zh) 2002-08-14
JP2003517723A (ja) 2003-05-27
CZ2002256A3 (cs) 2002-06-12
JP4415155B2 (ja) 2010-02-17
NO20020323L (no) 2002-03-19
DE19934619A1 (de) 2001-01-25
US7019771B1 (en) 2006-03-28
IL147678A0 (en) 2002-08-14
EP1198979B1 (de) 2003-03-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8115813B2 (en) Optical system for capturing images
KR100969283B1 (ko) 광학 검사 장치
SK842002A3 (en) Inspection device for components
KR101240947B1 (ko) 비전검사장치
US7612802B2 (en) Calibration pixels for image sensor
JPH02251200A (ja) 基板組立方法,基板検査方法および装置
EP1108208A1 (en) Illumination module
EP1278853A2 (en) Listeria monocytogenes genome, polypeptides and uses
JPH1068614A (ja) 撮像装置
EP1978353B1 (en) Multiple surface inspection system and method
KR101124567B1 (ko) 하이브리드 조명부를 포함하는 웨이퍼 검사 장치
KR20020093507A (ko) 부품 검사 장치
KR20060129791A (ko) 자동 광학 검사 시스템 및 방법
JP2001061090A (ja) 接写用固体撮像装置
JPH11112867A (ja) スプロケットホールを赤外線で走査するフィルムスキャナおよび走査デバイス
JPH10246617A (ja) 平坦度判定方法および平坦度判定装置
JP3196321B2 (ja) 部品配置状態判定用画像信号処理装置
JPH1078309A (ja) 撮像装置
JP2002057500A (ja) 電子部品認識方法
KR102051969B1 (ko) 고속 검사가 가능하고 조명 교체 및 사이즈 변경이 가능한 라인스캔 검사장치 및 그의 자동 캘리브레이션 시스템
JP2529070B2 (ja) 光電変換カメラ
JP4334240B2 (ja) 認識装置
JP2001513594A (ja) 素子の端子の位置検出および/またはコプラナリティ検査および/または分離検査のための方法および装置
JPH09289373A (ja) 半田付外観検査装置
JPH0388078A (ja) 画像入力装置