[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

RU2824913C1 - Method of controlling laser ion source - Google Patents

Method of controlling laser ion source Download PDF

Info

Publication number
RU2824913C1
RU2824913C1 RU2023116993A RU2023116993A RU2824913C1 RU 2824913 C1 RU2824913 C1 RU 2824913C1 RU 2023116993 A RU2023116993 A RU 2023116993A RU 2023116993 A RU2023116993 A RU 2023116993A RU 2824913 C1 RU2824913 C1 RU 2824913C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
laser
flight channel
vacuum
vacuum cylindrical
plasma
Prior art date
Application number
RU2023116993A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Сергей Маркович Полозов
Константин Иванович Козловский
Александр Евгеньевич Шиканов
Екатерина Алексеевна Морозова
Original Assignee
Константин Иванович Козловский
Filing date
Publication date
Application filed by Константин Иванович Козловский filed Critical Константин Иванович Козловский
Application granted granted Critical
Publication of RU2824913C1 publication Critical patent/RU2824913C1/en

Links

Abstract

FIELD: plasma physics.
SUBSTANCE: invention relates to a method of controlling a laser ion source. Method includes focusing radiation of a pulsed laser on a solid target, formation of laser plasma, direction of plasma flow into vacuum cylindrical flight channel with inner diameter d, which is under voltage U, contraction of the ion flow of the laser plasma in the vacuum cylindrical flight channel with a longitudinal, constant magnetic field created by a constant solenoid covering the vacuum cylindrical flight channel, extraction of ions from vacuum cylindrical flight channel by electric field. Laser plasma is additionally exposed to a correcting magnetic field with induction B, localized in the area between the laser target and the vacuum cylindrical flight channel and created by the pulse solenoid, varying the induction of this magnetic field B within the possible limits determined by the condition where A is the atomic mass of the ion, Z is its charge, voltage U on the vacuum cylindrical flight channel is varied, thus achieving maximum value of current of ions with the specified charge Z, extracted from the vacuum cylindrical flight channel.
EFFECT: significant increase at the outlet of the vacuum transit channel of the flow of ions only with a given ratio Z/A relative to the total number of ions of the laser plasma scattering in the vacuum transit channel.
1 cl, 1 dwg

Description

Изобретение относится к области создания электрических вакуумных приборов, а точнее к способам управления пучков ионов, создаваемых с помощью излучения лазера, и предназначено для использования в системах инжекции однозарядных и многозарядных ионов в ускорители.The invention relates to the field of creating electric vacuum devices, and more precisely to methods of controlling ion beams created using laser radiation, and is intended for use in systems for injecting single-charged and multi-charged ions into accelerators.

В известных устройствах [1], состоящих из вакуумной камеры с оптическим вводом, импульсного лазера, фокусирующей линзы, лазерной мишени, источника напряжения и коллектора ионов, формирование ионных потоков происходит следующим образом. Под действием излучения импульсного лазера, направляемого на мишень, происходит испарение облучаемой части лазерной мишени, ионизация испаренного вещества и образование плазменного сгустка, который разлетается со скоростью фронта ~105 м/с. На начальной стадии разлета плазмы происходит «закалка» ее ионизационного состояния, сопровождающаяся практическим прекращением столкновений частиц. При прикладывании между коллектором и лазерной мишенью отрицательного потенциала с помощью источника напряжения происходит извлечение ионов из плазмы. Недостатком этого устройства является невозможность его эффективного использования в качестве инжектора ускорителей ионов из-за ограничений сверху на длительность потока ионов.In known devices [1], consisting of a vacuum chamber with an optical input, a pulsed laser, a focusing lens, a laser target, a voltage source and an ion collector, the formation of ion flows occurs as follows. Under the action of the pulsed laser radiation directed at the target, the irradiated part of the laser target evaporates, the evaporated substance is ionized and a plasma clot is formed, which flies apart with a front velocity of ~10 5 m/s. At the initial stage of plasma expansion, its ionization state is "hardened", accompanied by a practical cessation of particle collisions. When a negative potential is applied between the collector and the laser target using a voltage source, ions are extracted from the plasma. The disadvantage of this device is the impossibility of its effective use as an injector for ion accelerators due to upper restrictions on the duration of the ion flow.

Этот недостаток преодолен в техническом решении, описанном в работе [2], за счет использования вакуумного пролетного канала, позволяющего обеспечить существенное увеличение длительности потока ионов.This drawback is overcome in the technical solution described in work [2] by using a vacuum flight channel, which allows for a significant increase in the duration of the ion flow.

Недостатком этого аналога является наличие значительных потерь ионов на стенках пролетного канала.The disadvantage of this analogue is the presence of significant ion losses on the walls of the flight channel.

Этого недостатка лишено техническое решение [3], которое может быть принято в качестве прототипа - импульсный источник ионов, содержащий вакуумный пролетный канал с оптическим вводом, импульсный лазер, лазерную мишень, устройство для фокусировки лазерного излучения на лазерную мишень, соленоид, охватывающий вакуумный пролетный канал, источник напряжения, формирующий электрод, блок питания соленоида.The technical solution [3] is free from this drawback and can be adopted as a prototype - a pulsed ion source containing a vacuum flight channel with an optical input, a pulsed laser, a laser target, a device for focusing laser radiation on the laser target, a solenoid enclosing the vacuum flight channel, a voltage source, a forming electrode, and a solenoid power supply.

В результате воздействия магнитного поля соленоида происходит контрагирование плазменного потока в области пролетного канала, снижающее потери ионов на его стенках и увеличение потока ионов на его выходе вакуумного пролетного канала.As a result of the action of the magnetic field of the solenoid, the plasma flow in the region of the flight channel is contracted, reducing the loss of ions on its walls and increasing the flow of ions at the exit of the vacuum flight channel.

Недостатком прототипа является отсутствие возможности создания оптимальных условий для извлечения ионов формирующим электродом с фиксированным соотношением Z/A, где Z - заряд иона, А - его атомный вес.The disadvantage of the prototype is the lack of the ability to create optimal conditions for the extraction of ions by a forming electrode with a fixed ratio Z/A, where Z is the charge of the ion, A is its atomic weight.

Техническим результатом предлагаемого изобретения является способ управления лазерным источником ионов, при котором достигается существенное увеличение на выходе вакуумного цилиндрического пролетного канала потока ионов только с заданным соотношением Z/A по отношению к общему количеству ионов лазерной плазмы, разлетающейся в вакуумном цилиндрическом пролетном канале.The technical result of the proposed invention is a method for controlling a laser ion source, which achieves a significant increase at the output of a vacuum cylindrical flight channel of an ion flow only with a given ratio Z/A in relation to the total number of ions of the laser plasma scattering in the vacuum cylindrical flight channel.

Указанный технический результат обеспечивается тем, что в способе управления лазерным источником ионов, включающем фокусировку излучения импульсного лазера на твердую мишень, образование лазерной плазмы, направление потока плазмы в вакуумный цилиндрический пролетный канал с внутренним диаметром d, находящийся под напряжением U, контрагирование ионного потока лазерной плазмы в вакуумном цилиндрическом пролетном канале продольным, постоянным магнитным полем, создаваемым постоянным соленоидом с током Is, охватывающим вакуумный цилиндрический пролетный канал, извлечение ионов из вакуумного цилиндрического пролетного канала электрическим полем, на лазерную плазму дополнительно воздействуют корректирующим магнитным полем с индукцией В, локализованным в области между лазерной мишенью и вакуумным цилиндрическим пролетным каналом и создаваемым импульсным соленоидом с током Ics, варьируют индукцию этого магнитного поля В, в возможных пределах, определяемых условиемThe specified technical result is ensured by the fact that in the method for controlling a laser ion source, including focusing the radiation of a pulsed laser on a solid target, forming a laser plasma, directing the plasma flow into a vacuum cylindrical flight channel with an internal diameter d, which is under voltage U, contracting the ion flow of the laser plasma in the vacuum cylindrical flight channel by a longitudinal, constant magnetic field created by a constant solenoid with a current I s , covering the vacuum cylindrical flight channel, extracting ions from the vacuum cylindrical flight channel by an electric field, the laser plasma is additionally affected by a corrective magnetic field with induction B, localized in the region between the laser target and the vacuum cylindrical flight channel and created by a pulsed solenoid with a current I cs , varying the induction of this magnetic field B, within possible limits determined by the condition

где А - атомная масса иона, Z - его зарядность, варьируют напряжение U на вакуумном цилиндрическом пролетном канале, достигая при этом максимального значения тока ионов с заданной зарядностью Z, извлекаемого из вакуумного цилиндрического пролетного канала.where A is the atomic mass of the ion, Z is its charge, the voltage U on the vacuum cylindrical flight channel is varied, thereby achieving the maximum value of the current of ions with a given charge Z, extracted from the vacuum cylindrical flight channel.

Это соотношение было получено по результатам компьютерного эксперимента, проведенного в соответствии с алгоритмом, описанным в [4].This ratio was obtained from the results of a computer experiment conducted in accordance with the algorithm described in [4].

Достижение технического результата основано на совместном влиянии магнитных полей импульсного соленоида с током Ics и постоянного соленоида с током Is (см. фиг. 1), имеющих различную величину индукции магнитного поля и их протяженность вдоль вакуумного цилиндрического пролетного канала [5]. Причем корректирующее магнитное поле импульсного соленоида с током Ics формирует поперечный размер лазерно-плазменного сгустка на входе в вакуумный цилиндрический пролетный канал, а продольное, постоянное магнитное поле постоянного соленоида с током Is обеспечивает прохождение в вакуумном цилиндрическом пролетном канале плазмы и улучшает условия извлечения ионов на выходе из вакуумного цилиндрического пролетного канала электрическим полем.The achievement of the technical result is based on the combined influence of the magnetic fields of the pulse solenoid with current I cs and the constant solenoid with current I s (see Fig. 1), which have different values of magnetic field induction and their length along the vacuum cylindrical flight channel [5]. Moreover, the corrective magnetic field of the pulse solenoid with current I cs forms the transverse size of the laser-plasma bunch at the entrance to the vacuum cylindrical flight channel, and the longitudinal, constant magnetic field of the constant solenoid with current I s ensures the passage of plasma in the vacuum cylindrical flight channel and improves the conditions for extracting ions at the exit from the vacuum cylindrical flight channel by an electric field.

Процесс формирования поперечного размера лазерно-плазменного сгустка на входе в вакуумный цилиндрический пролетный канал иллюстрируется следующим образом. Оценка радиуса ρ плазменного потока на этой стадии:The process of forming the transverse size of the laser-plasma bunch at the entrance to the vacuum cylindrical flight channel is illustrated as follows. Estimation of the radius ρ of the plasma flow at this stage:

где М - масса нуклона, кг, V - поперечная скорость ионов лазерно-плазменного факела, е - заряд электрона, Кл, В - амплитуда индукции корректирующего магнитного поля импульсного соленоида с током Ics, Тл, вытекает из закона Ньютона и формулы для силы Лоренца. Корректирующее магнитное поле импульсного соленоида с током Ics обеспечивает баланс магнитного и газокинетического давлений плазмы в области твердой мишени так, чтобы поперечный размер лазерно-плазменного сгустка был примерно равен внутреннему диаметру d входа в вакуумный цилиндрический пролетный канал.where M is the nucleon mass, kg, V is the transverse velocity of the ions of the laser-plasma torch, e is the electron charge, C, V is the amplitude of the induction of the correcting magnetic field of the pulsed solenoid with current I cs , T, follows from Newton's law and the formula for the Lorentz force. The correcting magnetic field of the pulsed solenoid with current I cs ensures the balance of magnetic and gas-kinetic pressures of the plasma in the region of the solid target so that the transverse size of the laser-plasma bunch is approximately equal to the internal diameter d of the entrance to the vacuum cylindrical flight channel.

Поперечная скоростьTransverse velocity

получена на основе данных из книги [6]. Полагая, что ρ=d/2, а зарядность иона может лежать в диапазоне от 1 до Z, получаем возможные пределы изменения индукции В корректирующего магнитного поля импульсного соленоида с током Ics obtained on the basis of data from the book [6]. Assuming that ρ=d/2, and the ion charge can lie in the range from 1 to Z, we obtain the possible limits of change in the induction B of the correcting magnetic field of a pulse solenoid with a current I cs

Индукция продольного, постоянного магнитного поля, создаваемая постоянным соленоидом с током Is, ограничена техническими пределами, связанными с возможным нагревом вакуумного цилиндрического пролетного канала. Поэтому основное влияние на процесс формирования плазменного потока оказывает корректирующее магнитное поле импульсного соленоида с током Ics, амплитуда которого может существенно превышать значение индукции продольного, постоянного магнитного поля постоянного соленоида с током Is. Импульсный характер корректирующего магнитного поля импульсного соленоида с током Ics, в частности, требует выполнения входной части вакуумного цилиндрического пролетного канала, охватывающей твердую мишень, из диэлектрического материала.The induction of the longitudinal, constant magnetic field created by a constant solenoid with current I s is limited by technical limits associated with the possible heating of the vacuum cylindrical flight channel. Therefore, the main influence on the process of plasma flow formation is exerted by the correcting magnetic field of the pulsed solenoid with current I cs , the amplitude of which can significantly exceed the value of the induction of the longitudinal, constant magnetic field of the constant solenoid with current I s . The pulsed nature of the correcting magnetic field of the pulsed solenoid with current I cs , in particular, requires that the input part of the vacuum cylindrical flight channel, covering the solid target, be made of a dielectric material.

Варьирование индукции В и напряжения U на выходе вакуумного цилиндрического пролетного канала позволяет достигнуть максимально возможного значения тока ионов с заданной зарядностью Z, извлекаемых из вакуумного цилиндрического пролетного канала.Varying the induction B and voltage U at the output of the vacuum cylindrical flight channel makes it possible to achieve the maximum possible value of the current of ions with a given charge Z, extracted from the vacuum cylindrical flight channel.

Способ управления лазерным источником ионов поясняется фиг. 1, на которой представлен конкретный пример управления потоком ионов лазерного источника ионов и схема расположения обеспечивающих блоков. Излучение импульсного лазера 11, проходя через оптический ввод 9 внутрь части вакуумного цилиндрического пролетного канала 3, фокусируется линзой 10 на твердую мишень 8, расположенную на торце 1 части вакуумного цилиндрического пролетного канала 3. Над поверхностью твердой мишени 8 образуется лазерная плазма, разлетающаяся в частях вакуумного цилиндрического пролетного канала 3 и 5. В части вакуумного цилиндрического пролетного канала 3 с помощью корректирующего магнитного поля импульсного соленоида 2 с током Ics подавляется поперечный разлет лазерной плазмы и формируется цилиндрический лазерно-плазменный факел с поперечным размером приблизительно равным внутреннему диаметру d обеих частей вакуумного цилиндрического пролетного канала 3 и 5. При этом изменением величины Ics и, соответственно, индукции корректирующего магнитного поля В создаются условия, при которых ионы только с определенным значением Z/A эффективно транспортируются в обеих частях вакуумного цилиндрического пролетного канала 3 и 5. Далее продольное, постоянное магнитное поле постоянного соленоида 4 с током Is обеспечивает дальнейшее прохождение лазерно-плазменного факела в части вакуумного цилиндрического пролетного канала 5 и улучшает условия извлечения ионов электрическим полем, создаваемым блоком 12 на кольцевом изоляторе 6. В результате варьирования индукции корректирующего магнитного поля В и напряжения U на выходе части вакуумного цилиндрического пролетного канала 5 осуществляется настройка выделения ионов только с определенным Z/A, достигая при этом максимально возможного значения тока ионов с заданной зарядностью Z, извлекаемых из части вакуумного цилиндрического пролетного канала 5 на корпус 7. На фиг. 1 также обозначены блок 13 импульсного соленоида 2, блок 14 импульсного лазера 11 и блок 15 постоянного соленоида 4.The method for controlling a laser ion source is explained in Fig. 1, which shows a specific example of controlling the ion flow of a laser ion source and a diagram of the arrangement of the supporting blocks. The radiation of the pulsed laser 11, passing through the optical input 9 into the part of the vacuum cylindrical flight channel 3, is focused by the lens 10 onto the solid target 8 located on the end 1 of the part of the vacuum cylindrical flight channel 3. A laser plasma is formed above the surface of the solid target 8, which expands in the parts of the vacuum cylindrical flight channel 3 and 5. In the part of the vacuum cylindrical flight channel 3, with the help of the correcting magnetic field of the pulsed solenoid 2 with the current I cs , the transverse expansion of the laser plasma is suppressed and a cylindrical laser-plasma torch with a transverse size approximately equal to the internal diameter d of both parts of the vacuum cylindrical flight channel 3 and 5 is formed. In this case, by changing the value of I cs and, accordingly, the induction of the correcting magnetic field B, conditions are created under which ions only with a certain value of Z/A are effectively transported in both parts of the vacuum cylindrical flight channel channels 3 and 5. Further, the longitudinal, constant magnetic field of the constant solenoid 4 with current I s ensures further passage of the laser-plasma torch in part of the vacuum cylindrical flight channel 5 and improves the conditions for extracting ions by the electric field created by block 12 on the ring insulator 6. As a result of varying the induction of the correcting magnetic field B and the voltage U at the output of part of the vacuum cylindrical flight channel 5, the extraction of ions only with a certain Z/A is adjusted, thereby achieving the maximum possible value of the current of ions with a given charge Z, extracted from part of the vacuum cylindrical flight channel 5 onto the housing 7. In Fig. 1, block 13 of the pulse solenoid 2, block 14 of the pulse laser 11 and block 15 of the constant solenoid 4 are also designated.

Таким образом, заявленный способ управления лазерным источником ионов просто реализуем на практике и позволяет путем воздействия подстраиваемых напряжения U и тока Ics, с учетом продольного, постоянного магнитного поля постоянного соленоида 4 с током Is существенно увеличить на выходе вакуумного цилиндрического пролетного канала поток ионов только с заданным соотношением Z/A по отношению к общему количеству ионов лазерной плазмы, разлетающейся в вакуумном цилиндрическом пролетном канале. Такая сепарация ионов позволяет эффективно осуществлять захват потока ионов требуемой зарядности Z/A в дальнейший тракт ускорителей, что повышает эффективность применения лазерного источника ионов в различных ускорителях ионов.Thus, the claimed method of controlling the laser ion source is simply implemented in practice and allows, by means of the action of adjustable voltage U and current I cs , taking into account the longitudinal, constant magnetic field of the constant solenoid 4 with current I s , to significantly increase the ion flow at the output of the vacuum cylindrical flight channel only with a given ratio Z/A in relation to the total number of ions of the laser plasma scattering in the vacuum cylindrical flight channel. Such ion separation allows for the effective capture of the ion flow of the required charge Z/A in the further tract of accelerators, which increases the efficiency of using the laser ion source in various ion accelerators.

Список литературы:Bibliography:

1. Исследование интенсивного лазерного источника дейтронов. Козловский К.И., Цыбин А.С., Шиканов А.Е. и др. Журнал технической физики, 1979, т. 49, №5, с. 2003-2006.1. Study of an intense laser source of deuterons. Kozlovsky K.I., Tsybin A.S., Shikanov A.E. et al. Journal of Technical Physics, 1979, v. 49, no. 5, pp. 2003-2006.

2. Лазерная плазма. Физика и применения. Ананьин О.Б., Афанасьев Ю.В., Быковский Ю.А., Крохин О.Н. М., МИФИ, 2003, с. 359-364.2. Laser plasma. Physics and applications. Ananyin O.B., Afanasyev Yu.V., Bykovsky Yu.A., Krokhin O.N. M., MEPhI, 2003, p. 359-364.

3. Импульсный источник ионов. Козловский К.И. и др. Патент РФ №199475, опубликовано 03.09.2020 г., Бюл №25.3. Pulsed ion source. Kozlovsky K.I. et al. Russian Federation Patent No. 199475, published 03.09.2020, Bulletin No. 25.

4. Vovchenko E.D., Deryabochkin O.V., Kozlovskii K.I. et. al. Physics of Atomic Nuclei. Vol. 84, No. 11, 2021, pp. 1886-1890.4. Vovchenko E.D., Deryabochkin O.V., Kozlovskii K.I. et. al. Physics of Atomic Nuclei. Vol. 84, No. 11, 2021, pp. 1886-1890.

5. О влиянии продольного магнитного поля на разлет ионов лазерной плазмы. Козырев Ю.П., Козловский К.И., Цыбин А.С., Физика плазмы, 1980, т. 6, в. 1, с. 69-72.5. On the influence of a longitudinal magnetic field on the expansion of laser plasma ions. Kozyrev Yu.P., Kozlovsky K.I., Tsybin A.S., Plasma Physics, 1980, v. 6, p. 1, pp. 69-72.

6. Лазерная плазма. Физика и применения. Ананьин О.Б., Афанасьев Ю.В., Быковский Ю.А., Крохин О.Н. М., МИФИ, 2003, с. 175-186.6. Laser plasma. Physics and applications. Ananyin O.B., Afanasyev Yu.V., Bykovsky Yu.A., Krokhin O.N. M., MEPhI, 2003, p. 175-186.

Claims (3)

Способ управления лазерным источником ионов, включающий фокусировку излучения импульсного лазера на твердую мишень, образование лазерной плазмы, направление потока плазмы в вакуумный цилиндрический пролетный канал с внутренним диаметром d, находящийся под напряжением U, контрагирование ионного потока лазерной плазмы в вакуумном цилиндрическом пролетном канале продольным, постоянным магнитным полем, создаваемым постоянным соленоидом, охватывающим вакуумный цилиндрический пролетный канал, извлечение ионов из вакуумного цилиндрического пролетного канала электрическим полем, отличающийся тем, что на лазерную плазму дополнительно воздействуют корректирующим магнитным полем с индукцией В, локализованным в области между лазерной мишенью и вакуумным цилиндрическим пролетным каналом и создаваемым импульсным соленоидом, варьируют индукцию этого магнитного поля В в возможных пределах, определяемых условиемA method for controlling a laser ion source, including focusing pulsed laser radiation on a solid target, forming a laser plasma, directing the plasma flow into a vacuum cylindrical flight channel with an internal diameter d, which is under voltage U, contracting the ion flow of the laser plasma in the vacuum cylindrical flight channel with a longitudinal, constant magnetic field created by a constant solenoid enclosing the vacuum cylindrical flight channel, extracting ions from the vacuum cylindrical flight channel with an electric field, characterized in that the laser plasma is additionally affected by a corrective magnetic field with induction B, localized in the region between the laser target and the vacuum cylindrical flight channel and created by the pulsed solenoid, varying the induction of this magnetic field B within possible limits determined by the condition где А - атомная масса иона, Z - его зарядность, варьируют напряжение U на вакуумном цилиндрическом пролетном канале, достигая при этом максимального значения тока ионов с заданной зарядностью Z, извлекаемого из вакуумного цилиндрического пролетного канала.where A is the atomic mass of the ion, Z is its charge, the voltage U on the vacuum cylindrical flight channel is varied, thereby achieving the maximum value of the current of ions with a given charge Z, extracted from the vacuum cylindrical flight channel.
RU2023116993A 2023-06-28 Method of controlling laser ion source RU2824913C1 (en)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2824913C1 true RU2824913C1 (en) 2024-08-15

Family

ID=

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2191441C2 (en) * 2000-11-28 2002-10-20 Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований Device and method for generating multiple-charge ion beams
US9859086B2 (en) * 2012-03-02 2018-01-02 Kabushiki Kaisha Toshiba Ion source
FR3063384A1 (en) * 2017-02-27 2018-08-31 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives MEMS DEVICE FOR GENERATING AN ION BEAM
EP3427285A1 (en) * 2016-03-08 2019-01-16 Pantechnik Device for modulating the intensity of a particle beam from a charged particle source
RU186565U1 (en) * 2018-10-30 2019-01-24 Федеральное государственное бюджетное учреждение "Институт теоретической и экспериментальной физики имени А.И. Алиханова Национального исследовательского центра "Курчатовский институт" LASER-PLASMA ION INJECTOR WITH DYNAMIC ELECTROMAGNETIC FOCUSING OF THE ION BEAM
EP3683820A1 (en) * 2019-01-18 2020-07-22 Justus-Liebig-Universität Gießen Device for generating ion beams with adaptable ion beam profiles
RU199475U1 (en) * 2020-03-17 2020-09-03 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский ядерный университет МИФИ" (НИЯУ МИФИ) PULSE ION SOURCE
GB2582242A (en) * 2018-11-30 2020-09-23 Oxford Instruments Nanotechnology Tools Ltd Charged particle beam source, surface processing apparatus and surface processing method

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2191441C2 (en) * 2000-11-28 2002-10-20 Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований Device and method for generating multiple-charge ion beams
US9859086B2 (en) * 2012-03-02 2018-01-02 Kabushiki Kaisha Toshiba Ion source
EP3427285A1 (en) * 2016-03-08 2019-01-16 Pantechnik Device for modulating the intensity of a particle beam from a charged particle source
FR3063384A1 (en) * 2017-02-27 2018-08-31 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives MEMS DEVICE FOR GENERATING AN ION BEAM
RU186565U1 (en) * 2018-10-30 2019-01-24 Федеральное государственное бюджетное учреждение "Институт теоретической и экспериментальной физики имени А.И. Алиханова Национального исследовательского центра "Курчатовский институт" LASER-PLASMA ION INJECTOR WITH DYNAMIC ELECTROMAGNETIC FOCUSING OF THE ION BEAM
GB2582242A (en) * 2018-11-30 2020-09-23 Oxford Instruments Nanotechnology Tools Ltd Charged particle beam source, surface processing apparatus and surface processing method
EP3683820A1 (en) * 2019-01-18 2020-07-22 Justus-Liebig-Universität Gießen Device for generating ion beams with adaptable ion beam profiles
RU199475U1 (en) * 2020-03-17 2020-09-03 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский ядерный университет МИФИ" (НИЯУ МИФИ) PULSE ION SOURCE

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Ананьин О.Б. и др. Лазерная плазма. Физика и применения, МИФИ, 2003, с. 359-364. А.Е. Шиканов и др. Формирование потоков дейтронов в малогабаритном высоковольтном сильноточном диоде с импульсной магнитной изоляцией, Журнал технической физики, 2017, том 87, вып. 6, с. 949-951. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2024028745A (en) Compact high-energy ion implantation system
US20140360670A1 (en) Processing system for non-ambipolar electron plasma (nep) treatment of a substrate with sheath potential
Faircloth Ion sources for high-power hadron accelerators
US8872127B2 (en) Beam current controller for laser ion source
Seidl et al. Irradiation of materials with short, intense ion pulses at NDCX-II
Yang et al. Designing of active plasma lens for focusing laser-plasma-accelerated pulsed proton beams
RU2824913C1 (en) Method of controlling laser ion source
Sharkov et al. Laser ion sources
RU2558384C2 (en) Gas stripping target
KR870005246A (en) High Current Mass Spectrometer with Space Charge Lens
RU220281U1 (en) PULSE ION SOURCE
Sekine et al. Plasma shape control by pulsed solenoid on laser ion source
US3720828A (en) Apparatus for and method of controlling relativistic charged particle beam distribution and transport
Goncharov Recent development of plasma optical systems
RU186565U1 (en) LASER-PLASMA ION INJECTOR WITH DYNAMIC ELECTROMAGNETIC FOCUSING OF THE ION BEAM
Meshkov et al. The variable current gun: the parameter tests and the results of the first electron cooling experiments at LEAR
Takahashi et al. Behavior of Laser Ablation Plasma During Transport in Multicusp Magnetic Field Using Different Targets for Laser Ion Source
RU199475U1 (en) PULSE ION SOURCE
RU2764147C1 (en) Injector for cluster ion accelerator
RU219230U1 (en) PULSE ION SOURCE
RU2595785C2 (en) Gas stripping target
RU2634310C1 (en) Gas scraping target
WO2024210104A1 (en) Ion generator, ion beam irradiation device, and ion extraction method
RU2191441C2 (en) Device and method for generating multiple-charge ion beams
RU2788955C1 (en) Method for injecting a flow of substance into the plasma of a source of multiple-discharged ions