[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

RU2728513C1 - Device for cluster ion ionisation - Google Patents

Device for cluster ion ionisation Download PDF

Info

Publication number
RU2728513C1
RU2728513C1 RU2019145114A RU2019145114A RU2728513C1 RU 2728513 C1 RU2728513 C1 RU 2728513C1 RU 2019145114 A RU2019145114 A RU 2019145114A RU 2019145114 A RU2019145114 A RU 2019145114A RU 2728513 C1 RU2728513 C1 RU 2728513C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
anode
cathode
center
fixed
ceramic base
Prior art date
Application number
RU2019145114A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Алексей Евгеньевич Иешкин
Андрей Андреевич Татаринцев
Original Assignee
Акционерное общество "Государственный научный центр Российской Федерации - Физико-энергетический институт имени А.И. Лейпунского"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Акционерное общество "Государственный научный центр Российской Федерации - Физико-энергетический институт имени А.И. Лейпунского" filed Critical Акционерное общество "Государственный научный центр Российской Федерации - Физико-энергетический институт имени А.И. Лейпунского"
Priority to RU2019145114A priority Critical patent/RU2728513C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2728513C1 publication Critical patent/RU2728513C1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
    • G21K1/08—Deviation, concentration or focusing of the beam by electric or magnetic means
    • G21K1/087—Deviation, concentration or focusing of the beam by electric or magnetic means by electrical means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

FIELD: technological processes.
SUBSTANCE: invention relates to device for ionisation of cluster ions. Device includes anode (1), cathode (2), ceramic base (3) and electron reflector (4). Anode (1) and cathode (2) are fixed on ceramic base (3). Cathode (2) is made of material with low emission temperature. Anode (1) is made of a hollow annular cylinder, on radial opposite walls of which along the entire height parts of surfaces are cut at angle of 30–90°, which are closed by metal mesh fixed on anode. Deflector of electrons (4) is located around cathode (2) and anode (1). Deflector of electrons (4) is fixed on ceramic base coaxially with anode (1). Cathode (2) is located on a straight line passing from the center of the symmetry axis through anode grid (1). Distance from center of axis of symmetry to cathode (2) should be larger than outer radius of anode (1). Special cases of device performance. First, electron reflector (4) has potential of not less than -600 V relative to cathode (2). Second, cathode (2) is located on the straight line passing from the center of the symmetry axis of the device through the middle of the mesh of anode (1) at a distance of not less than 1.1 of the external radius of anode (1).
EFFECT: technical result is reduction of number of destroyed cluster ions.
3 cl, 2 dwg

Description

Изобретение относится к области кластерных ускорителей и их применения для обработки поверхности твердых материалов, а именно к зарядке кластерного пучка перед его ускорением в электрическом поле.The invention relates to the field of cluster accelerators and their application for surface treatment of solid materials, namely, to charging a cluster beam before accelerating it in an electric field.

Известно техническое решение, в котором используется спиральный катод, охватывающий сеточный анод, а фокусировка электронов осуществляется за счет эллиптического внешнего электрода [IONIZER FOR GAS CLUSTER ION FORMATION. Патент США 6629508 B2, от 7 октября 2003].Known technical solution, which uses a spiral cathode, covering the grid anode, and the focusing of electrons is carried out by means of an elliptical external electrode [IONIZER FOR GAS CLUSTER ION FORMATION. US Patent 6,629,508 B2, Oct. 7, 2003].

Недостатком данного технического решения является относительно высокая температура катода, наличие дополнительного устройства для подвода кластерных ионов и формирование пучка электронов в относительно малом объеме, что влечет низкую эффективность ионизации кластерных ионов.The disadvantages of this technical solution are the relatively high cathode temperature, the presence of an additional device for supplying cluster ions and the formation of an electron beam in a relatively small volume, which entails a low efficiency of ionization of cluster ions.

Наиболее близким техническим решением является решение, предложенное в патенте [RF ELECTRON SOURCE FOR IONIZING GAS CLUSTERS. Патент США 0166555 Al, от 2 июля 2009], в котором используется катод, анод и отражающий электрод. В качестве анода используется вольфрамовая нить, анод и отражающий электрод выполнены в виде сложных геометрических фигур. Катод и анод соединены между собой в форме треугольника с помощью керамических изоляторов и закреплены на керамическом основании. При этом геометрия анода, катода зависят от относительных расстояний между ними и от оси пучка нейтральных кластеров.The closest technical solution is the solution proposed in the patent [RF ELECTRON SOURCE FOR IONIZING GAS CLUSTERS. US patent 0166555 Al, dated July 2, 2009], which uses a cathode, anode and a reflective electrode. A tungsten filament is used as the anode, the anode and the reflecting electrode are made in the form of complex geometric shapes. The cathode and anode are interconnected in the form of a triangle by means of ceramic insulators and fixed on a ceramic base. In this case, the geometry of the anode and cathode depends on the relative distances between them and on the axis of the beam of neutral clusters.

Недостатком данного технического решения является относительно высокая температура катода и большие тепловые нагрузки узла ионизации, что приводит к разрушению кластерных ионов.The disadvantage of this technical solution is the relatively high cathode temperature and high thermal loads of the ionization unit, which leads to the destruction of cluster ions.

Задачей заявляемого технического решения состоит в снижении температуры катода и тепловых нагрузок на кластерные ионы.The objective of the proposed technical solution is to reduce the cathode temperature and thermal loads on cluster ions.

Технический результат - снижение количества разрушенных кластерных ионов.The technical result is a decrease in the number of destroyed cluster ions.

Для исключения указанных недостатков в устройстве для ионизации кластерных ионов, состоящем из анода и катода, закрепленных на керамическом основании, предлагается:To eliminate these disadvantages in a device for ionization of cluster ions, which consists of an anode and a cathode fixed on a ceramic base, it is proposed:

- катод выполнить из материала с низкой температурой эмиссии (ниже 1200 К);- the cathode is made of a material with a low emission temperature (below 1200 K);

- анод выполнить из полого кругового цилиндра, при этом на радиально противоположных стенках полого кругового цилиндра по всей его высоте вырезать части поверхностей под углом 30°-90°, которые закрыть металлической сеткой, закрепленной на аноде;- the anode is made from a hollow circular cylinder, while on the radially opposite walls of the hollow circular cylinder along its entire height, cut out parts of the surfaces at an angle of 30 ° -90 °, which are closed with a metal mesh fixed to the anode;

- устройство дополнить отражателем электронов, расположенным вокруг катода и анода, закрепленным на керамическом основании соосно с анодом;- supplement the device with an electron reflector located around the cathode and anode, fixed on a ceramic base coaxially with the anode;

- катод расположить на прямой линии, проходящей из центра оси симметрии через сетку анода;- place the cathode on a straight line passing from the center of the symmetry axis through the anode grid;

- при этом расстояние от центра оси симметрии до катода обеспечить большим, чем наружный радиус анода.- in this case, the distance from the center of the axis of symmetry to the cathode should be greater than the outer radius of the anode.

В частных случаях реализации устройства предлагается:In particular cases, the implementation of the device is proposed:

- во-первых, в отражателе электронов обеспечить потенциал не менее -600 В относительно катода;- firstly, ensure a potential of at least -600 V relative to the cathode in the electron reflector;

- во-вторых, катод расположить на прямой, проходящей из центра оси симметрии устройства через середину сетки анода на расстоянии не менее 1,1 внешнего радиуса анода.- secondly, place the cathode on a straight line passing from the center of the symmetry axis of the device through the middle of the anode grid at a distance of at least 1.1 of the outer radius of the anode.

Сущность предлагаемого технического решения поясняется фигурами чертежа устройства для ионизации кластерных ионов, где на фиг. 1 представлено продольное сечение устройства для ионизации кластерных ионов; на фиг. 2 - поперечное сечение устройства для ионизации кластерных ионов.The essence of the proposed technical solution is illustrated by the figures of the drawing of the device for ionizing cluster ions, where in Fig. 1 shows a longitudinal section of a device for ionizing cluster ions; in fig. 2 is a cross-section of a device for ionizing cluster ions.

На фиг. 1 и 2 приняты следующие позиционные обозначения: 1 - анод; 2 - катод; 3 - керамическое основание; 4 - отражатель электронов.FIG. 1 and 2 the following reference designations are adopted: 1 - anode; 2 - cathode; 3 - ceramic base; 4 - electron reflector.

Устройство для ионизации кластерных ионов включает анод 1, катод 2, керамическое основание 3 и отражатель электронов 4.The device for ionizing cluster ions includes anode 1, cathode 2, ceramic base 3 and electron reflector 4.

Анод 1 и катод 2 закреплены на керамическом основании 3.Anode 1 and cathode 2 are fixed on ceramic base 3.

Катод 2 изготовлен из материала с низкой температурой эмиссии (ниже 1200 К).Cathode 2 is made of a material with a low emission temperature (below 1200 K).

Анод 1 выполнен из полого кругового цилиндра, на радиально противоположных стенках которого по всей высоте вырезаны части поверхностей под углом 30°-90°, которые закрыты металлической сеткой, закрепленной на аноде. Сетка предназначена для прохождения электронов в центр устройства.The anode 1 is made of a hollow circular cylinder, on the radially opposite walls of which parts of the surfaces are cut along the entire height at an angle of 30 ° -90 °, which are covered with a metal mesh fixed to the anode. The grid is designed to pass electrons to the center of the device.

Отражатель электронов 4 расположен вокруг катода 2 и анода 1. Отражатель электронов 4 предназначен для возврата в центр части электронов, выходящих из зоны взаимодействия с кластерными ионами.The electron reflector 4 is located around the cathode 2 and the anode 1. The electron reflector 4 is designed to return to the center part of the electrons leaving the interaction zone with cluster ions.

Отражатель электронов 4 закреплен на керамическом основании соосно с анодом 1.The electron reflector 4 is fixed on the ceramic base coaxially with the anode 1.

В частном случае отражатель электронов 4 имеет потенциал не менее -600 В относительно катода 2. Приложенный к отражателю электронов 4 отрицательный потенциал позволяет произвести дополнительное ускорение электронов.In a particular case, the electron reflector 4 has a potential of at least -600 V relative to the cathode 2. The negative potential applied to the electron reflector 4 allows additional acceleration of the electrons.

Катод 2 расположен на прямой линии, проходящей из центра оси симметрии через сетку анода 1.Cathode 2 is located on a straight line passing from the center of the symmetry axis through the grid of anode 1.

Расстояние от центра оси симметрии до катода 2 превышает наружный радиус анода 1.The distance from the center of the symmetry axis to the cathode 2 exceeds the outer radius of the anode 1.

В частном случае катод 2 располагается на прямой, проходящей из центра оси симметрии устройства через середину сетки анода 1 на расстоянии не менее 1,1 внешнего радиуса анода 1. Такое расположение катода 2 позволяет обеспечить прохождение в центр устройства максимально возможного количества электронов.In a particular case, the cathode 2 is located on a straight line passing from the center of the symmetry axis of the device through the middle of the grid of the anode 1 at a distance of at least 1.1 of the outer radius of the anode 1. Such an arrangement of the cathode 2 allows the maximum possible number of electrons to pass to the center of the device.

Устройство для ионизации кластерных ионов работает следующим образом.The device for ionizing cluster ions works as follows.

Кластерные ионы направляются в центр устройства для их ионизации электронным ударом. Поток электронов создается термоэлектронной эмиссией на поверхности катода 2. Поток электронов через сетку анода 1 направляется к центру устройства для ионизации кластерных ионов. При этом электроны, взаимодействуя с кластерными ионами, осуществляют их зарядку. Часть электронов, выходящая из зоны взаимодействия с кластерными ионами, возвращается в центр с помощью отражателя электронов 4. При этом приложенный к отражателю электронов 4 отрицательный потенциал позволяет произвести дополнительное ускорение электронов. При взаимодействии части электронов с внутренней сплошной непрозрачной для электронов поверхностью анода 1 создаются вторичные электроны. Вторичные электроны увеличивают плотность потока электронов, при этом повышается вероятность зарядки кластерных ионов.Cluster ions are directed to the center of the device to be ionized by electron impact. The flow of electrons is created by thermionic emission on the surface of the cathode 2. The flow of electrons through the grid of the anode 1 is directed to the center of the device for ionizing cluster ions. In this case, electrons interacting with cluster ions charge them. Part of the electrons leaving the interaction zone with cluster ions returns to the center with the help of the electron reflector 4. In this case, the negative potential applied to the electron reflector 4 allows additional acceleration of the electrons. When part of the electrons interact with the inner solid surface of the anode 1 that is opaque for electrons, secondary electrons are created. Secondary electrons increase the electron flux density, thus increasing the probability of cluster ions charging.

Мощность теплового излучения с единицы площади на всех длинах волн, исходящая от катода 2 с температурой Т, определяется законом Стефана-Больцмана: М=εσТ4 [Вт/(м2)], где ε - безразмерный множитель, называемый коэффициентом излучения (коэффициентом черноты ε<1); σ=5,67⋅10-8 - постоянная Стефана-Больцмана [Вт/(м2⋅К4)]; Т - температура катода, К. При понижении температуры катода 2 уменьшение теплового потока обратно пропорционально снижению температуры катода 2 в четвертой степени. Следовательно, тепловой поток, поглощенный кластерными ионами, уменьшается и снижается количество разрушенных ионных кластеров. Это повышает эффективность работы устройства для ионизации кластерных ионов. Снижение температуры катода 2 с 2000 К до 1200 К, приводит к уменьшению тепловой потока в 20004/12004=7,7 раз. Тепловое излучение, поглощенное кластерными ионами при прохождении через устройство для ионизации кластерных ионов, также уменьшается в 7,7 раз.The power thermal radiation per unit area at all wavelengths originating from the cathode 2 with temperature T is determined by the Stefan-Boltzmann constant M = εσT 4 [W / (m 2)], where ε - dimensionless factor called emissivity (emissivity ε <1); σ = 5.67⋅10 -8 - Stefan-Boltzmann constant [W / (m 2 ⋅K 4 )]; T is the cathode temperature, K. With a decrease in the cathode 2 temperature, the decrease in the heat flux is inversely proportional to the decrease in the cathode 2 temperature to the fourth degree. Consequently, the heat flux absorbed by cluster ions decreases and the number of destroyed ionic clusters decreases. This improves the efficiency of the device for ionizing cluster ions. A decrease in the temperature of cathode 2 from 2000 K to 1200 K leads to a decrease in the heat flux by a factor of 20004/12004 = 7.7 times. The thermal radiation absorbed by cluster ions when passing through the device for ionizing cluster ions is also reduced by a factor of 7.7.

Экспериментально показано увеличение эффективности заряда кластерных ионов, определяемой регистрируемым током, более чем в 4 раза по сравнению с устройством, в котором катод 2 выполнен из материала с высокой температурой эмиссии (более 2000 К) и отсутствует отражатель электронов 4.An increase in the efficiency of the charge of cluster ions, determined by the recorded current, is experimentally shown by more than 4 times compared with a device in which cathode 2 is made of a material with a high emission temperature (more than 2000 K) and there is no electron reflector 4.

Пример конкретного выполнения устройства для ионизации кластерных ионов.An example of a specific implementation of a device for ionizing cluster ions.

Катод 2 выполнен из молибденового цилиндра с внешним диаметром 6 мм и высотой 150 мм, с толщиной стенки 1,5 мм.Cathode 2 is made of a molybdenum cylinder with an outer diameter of 6 mm and a height of 150 mm, with a wall thickness of 1.5 mm.

По всей высоте на внешней поверхности катода 2 в поперечном направлении закреплена фольга из платины шириной 2 мм.A platinum foil 2 mm wide is fixed along the entire height on the outer surface of the cathode 2 in the transverse direction.

Анод 1 выполнен в виде полого кругового цилиндра с внешним диаметром 25 мм и высотой 150 мм из фольги толщиной 0,5 мм.Anode 1 is made in the form of a hollow circular cylinder with an outer diameter of 25 mm and a height of 150 mm made of foil 0.5 mm thick.

На радиально противоположных стенках полого кругового цилиндра анода 1 по всей его высоте вырезаны части поверхностей под углом 90°.On the radially opposite walls of the hollow circular cylinder of the anode 1 along its entire height, parts of the surfaces are cut out at an angle of 90 °.

Вырезанная поверхность анода 1 закрыта сеткой, которая закреплена на аноде 1.The cut surface of the anode 1 is covered with a mesh, which is fixed to the anode 1.

Сетка изготовлена из молибденовой проволоки диаметром 0,3 мм с радиальным и поперечным шагом 3 мм.The mesh is made of molybdenum wire 0.3 mm in diameter with a radial and transverse pitch of 3 mm.

Отражатель электронов 4 изготовлен в виде полого кругового цилиндра из нержавеющей стали с внешним диаметром 65 мм, высотой 150 мм и толщиной стенки 0,5 мм.The electron reflector 4 is made in the form of a hollow circular stainless steel cylinder with an outer diameter of 65 mm, a height of 150 mm and a wall thickness of 0.5 mm.

Анод 1 и отражатель электронов 4 закреплены на керамическом основании 3 на одной оси.The anode 1 and the electron reflector 4 are fixed on the ceramic base 3 on the same axis.

Керамическое основание 4 изготовлено в виде полого кругового цилиндра с внешним диаметром 60 мм, внутренним диаметром 22 мм и высотой 10 мм.Ceramic base 4 is made in the form of a hollow circular cylinder with an outer diameter of 60 mm, an inner diameter of 22 mm, and a height of 10 mm.

Катод 2 закреплен на керамическом основании на расстоянии 20 мм от оси симметрии.Cathode 2 is fixed on a ceramic base at a distance of 20 mm from the axis of symmetry.

Катод 2 располагается на прямой, проходящей из центра оси симметрии через середину, закрепленной на аноде сетки.Cathode 2 is located on a straight line passing from the center of the symmetry axis through the middle, fixed on the grid anode.

Созданная конструкция устройства для ионизации кластерных ионов позволила увеличить эффективность заряда кластерных ионов, определяемую регистрируемым током, в 2,5 раза по сравнению с использованием катода 2 с высокой температурой эмиссии (более 2000 К), и в 4,2 раза по сравнению с устройством, в котором катод 2 выполнен из материала высокой температурой эмиссии (более 2000 К) и отсутствует отражатель электронов 4.The developed design of the device for ionization of cluster ions made it possible to increase the efficiency of the charge of cluster ions, which is determined by the recorded current, by a factor of 2.5 compared with the use of cathode 2 with a high emission temperature (more than 2000 K), and 4.2 times compared with the device. in which the cathode 2 is made of a material with a high emission temperature (more than 2000 K) and there is no electron reflector 4.

Claims (3)

1. Устройство для ионизации кластерных ионов состоит из анода и катода, закрепленных на керамическом основании, отличающийся тем, что катод выполнен из материала с низкой температурой эмиссии (ниже 1200 К), анод выполнен в виде полого кругового цилиндра, на радиально противоположных стенках цилиндра по всей его высоте вырезаны части поверхностей под углом 30°-90°, которые закрыты металлической сеткой, закрепленной на аноде, устройство дополнительно снабжено отражателем электронов, расположенным вокруг катода и анода и закрепленным на керамическом основании соосно с анодом, катод расположен на прямой линии, проходящей из центра оси симметрии через сетку анода, а расстояние от центра оси симметрии до катода больше, чем наружный радиус анода.1. A device for ionizing cluster ions consists of an anode and a cathode fixed on a ceramic base, characterized in that the cathode is made of a material with a low emission temperature (below 1200 K), the anode is made in the form of a hollow circular cylinder, on radially opposite cylinder walls along parts of the surfaces at an angle of 30 ° -90 ° are cut out throughout its height, which are covered with a metal mesh fixed on the anode, the device is additionally equipped with an electron reflector located around the cathode and anode and fixed on a ceramic base coaxially with the anode, the cathode is located on a straight line passing from the center of the symmetry axis through the anode grid, and the distance from the center of the symmetry axis to the cathode is greater than the outer radius of the anode. 2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что отражатель электронов имеет потенциал не менее -600 В относительно катода.2. The device according to claim 1, characterized in that the electron reflector has a potential of at least -600 V relative to the cathode. 3. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что катод расположен на прямой, проходящей из центра оси симметрии устройства через середину сетки анода на расстоянии не менее 1,1 внешнего радиуса анода.3. The device according to claim. 1, characterized in that the cathode is located on a straight line passing from the center of the symmetry axis of the device through the middle of the anode grid at a distance of not less than 1.1 of the outer radius of the anode.
RU2019145114A 2020-02-12 2020-02-12 Device for cluster ion ionisation RU2728513C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019145114A RU2728513C1 (en) 2020-02-12 2020-02-12 Device for cluster ion ionisation

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019145114A RU2728513C1 (en) 2020-02-12 2020-02-12 Device for cluster ion ionisation

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2728513C1 true RU2728513C1 (en) 2020-07-30

Family

ID=72086094

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2019145114A RU2728513C1 (en) 2020-02-12 2020-02-12 Device for cluster ion ionisation

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2728513C1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2796652C1 (en) * 2022-12-30 2023-05-29 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный университет имени М.В.Ломоносова" (МГУ) Device for forming a beam of cluster or atomic ions of gas

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7365341B2 (en) * 2004-12-03 2008-04-29 Canon Kabushiki Kaisha Gas cluster ion beam emitting apparatus and method for ionization of gas cluster
RU2560108C1 (en) * 2014-04-21 2015-08-20 Федеральное государственное бюджетное учреждение Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" "Государственный научный центр Российской Федерации-Институт Теоретической и Экспериментальной Физики" High-frequency structure for accelerating cluster ions
CA2790805C (en) * 2010-02-24 2018-06-05 Siemens Aktiengesellschaft Rf resonator cavity and accelerator
RU2688865C2 (en) * 2016-11-02 2019-05-22 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук (ИПТМ РАН) Method of modifying nanostructures of electronic engineering materials with gas cluster ions

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7365341B2 (en) * 2004-12-03 2008-04-29 Canon Kabushiki Kaisha Gas cluster ion beam emitting apparatus and method for ionization of gas cluster
CA2790805C (en) * 2010-02-24 2018-06-05 Siemens Aktiengesellschaft Rf resonator cavity and accelerator
RU2560108C1 (en) * 2014-04-21 2015-08-20 Федеральное государственное бюджетное учреждение Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" "Государственный научный центр Российской Федерации-Институт Теоретической и Экспериментальной Физики" High-frequency structure for accelerating cluster ions
RU2688865C2 (en) * 2016-11-02 2019-05-22 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук (ИПТМ РАН) Method of modifying nanostructures of electronic engineering materials with gas cluster ions

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Д.С.Киреев и др., УСКОРИТЕЛЬ КЛАСТЕРНЫХ ИОНОВ И ЕГО ПРИМЕНЕНИЕ ДЛЯ СВЕРХТОЧНОЙ ПОЛИРОВКИ ПОВЕРХНОСТИ, Вестник РГРТУ. 2018. No 66.Часть 2, с. 40-43. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2796652C1 (en) * 2022-12-30 2023-05-29 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный университет имени М.В.Ломоносова" (МГУ) Device for forming a beam of cluster or atomic ions of gas

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4832285B2 (en) X-ray source
US8094784B2 (en) X-ray sources
US5128977A (en) X-ray tube
US20160343533A1 (en) X-Ray Sources
JP2007066694A (en) X-ray tube
US20130121473A1 (en) Radiation generating tube and radiation generating apparatus using the same
US11101096B2 (en) High dose output, through transmission and relective target X-ray system and methods of use
US5206895A (en) X-ray tube
JPH0624099B2 (en) Improved electron gun
CN110942967B (en) X-ray tube
RU2728513C1 (en) Device for cluster ion ionisation
US4891525A (en) SKM ion source
RU2654494C1 (en) Vacuum spark discharger
JP3696079B2 (en) Inertial electrostatic confinement device
US10971322B2 (en) Electron gun, X-ray generation apparatus, and X-ray imaging apparatus
US4839554A (en) Apparatus for forming an electron beam sheet
JPS594819B2 (en) ion source
RU2089053C1 (en) Accelerating tube of electrostatic accelerator
US3406305A (en) High power electron gun with electron bombarded apertured cathode having a concave emission surface
WO2024190670A1 (en) Electron beam emission structure and field emission device
RU2331135C1 (en) Multi-beam electron gun
RU2306683C1 (en) Plasma electron source
JPS6229862B2 (en)
EP4100990A1 (en) Device for generating negative ions
JPH02267837A (en) Ion source for large ion current with large diameter

Legal Events

Date Code Title Description
QB4A Licence on use of patent

Free format text: LICENCE FORMERLY AGREED ON 20211123

Effective date: 20211123