RU2766855C1 - Осевой синтезированный голограммный оптический элемент - Google Patents
Осевой синтезированный голограммный оптический элемент Download PDFInfo
- Publication number
- RU2766855C1 RU2766855C1 RU2021105075A RU2021105075A RU2766855C1 RU 2766855 C1 RU2766855 C1 RU 2766855C1 RU 2021105075 A RU2021105075 A RU 2021105075A RU 2021105075 A RU2021105075 A RU 2021105075A RU 2766855 C1 RU2766855 C1 RU 2766855C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- optical element
- reflective
- working
- rings
- axial
- Prior art date
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 73
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 18
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 11
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 abstract description 16
- 230000004075 alteration Effects 0.000 abstract description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000004038 photonic crystal Substances 0.000 description 3
- 244000309464 bull Species 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- -1 for example Substances 0.000 description 2
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021542 Vanadium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000011022 opal Substances 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000013079 quasicrystal Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- GRUMUEUJTSXQOI-UHFFFAOYSA-N vanadium dioxide Chemical compound O=[V]=O GRUMUEUJTSXQOI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/32—Holograms used as optical elements
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03H—HOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
- G03H1/00—Holographic processes or apparatus using light, infrared or ultraviolet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto
- G03H1/02—Details of features involved during the holographic process; Replication of holograms without interference recording
- G03H1/0272—Substrate bearing the hologram
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Holo Graphy (AREA)
Abstract
Изобретение может быть использовано для контроля формы крупногабаритных вогнутых асферических оптических поверхностей с большой крутизной и градиентом асферичности, как монолитных, так и составных асферических зеркал и линз. Осевой синтезированный голограммный оптический элемент содержит подложку с рабочей оптической поверхностью вращения, выполненную в виде кругового конуса, на которую нанесена соосная кольцевая дифракционная структура, представляющая собой систему концентрических чередующихся отражающих и неотражающих колец. Технический результат - уменьшение габаритов осевого синтезированного голограммного оптического элемента за счет использования дифракционной структуры, обеспечивающей компенсацию продольных сферических аберраций нормалей к контролируемой поверхности или световых лучей, отраженных от нее. 4 з.п. ф-лы, 2 ил.
Description
Изобретение относится к области оптической элементной базы оптико-электронного приборостроения, а именно к голограммным оптическим элементам, применяемым в контрольно-измерительной аппаратуре, и может быть использовано для контроля формы крупногабаритных вогнутых асферических оптических поверхностей с большой крутизной и градиентом асферичности, как монолитных, так и составных асферических зеркал и линз.
Известен осевой синтезированный голограммный оптический элемент (по устаревшей и неиспользуемой в настоящее время терминологии «искусственная голограмма»), содержащий подложку, например, стеклянную, с плоской рабочей оптической поверхностью вращения, на которую нанесена соосная кольцевая дифракционная структура, представляющая собой систему концентрических чередующихся отражающих и неотражающих колец [Ларионов Н.П., Лукин А.В., Мустафин К.С. Искусственная голограмма оптической поверхности // Авт. свид. СССР №371857. Бюл. №7 от 25.02.1978 г., заявка №1489778 от 05.11.1970 г.].
Прототипом является осевой синтезированный голограммный оптический элемент, содержащий подложку, например, стеклянную, с выпуклой рабочей оптической поверхностью вращения, например, сферической, на которую нанесена соосная кольцевая дифракционная структура, представляющая собой систему концентрических чередующихся отражающих и неотражающих колец [Лукин А.В., Мустафин К.С., Рафиков Р.А. Устройство для контроля качества оптических поверхностей сложной формы // Авт. свид. СССР №413373. Бюл. №4 от 30.01.1974 г., заявка №1789673 от 29.05.1972 г.].
Крупногабаритные вогнутые асферические оптические поверхности с большой крутизной и градиентом асферичности, как монолитных, так и составных асферических зеркал и линз характеризуются наличием одновременно поперечной и продольной сферических аберраций нормалей к контролируемой поверхности или световых лучей, отраженных от нее, причем величины поперечных сферических аберраций нормалей или световых лучей, как правило, существенно больше величин соответствующих продольных сферических аберраций нормалей или световых лучей. При контроле формы этих оптических элементов требуется обеспечить получение конгруэнции дифрагированных световых лучей с большой негомоцентричностыо при большой угловой апертуре.
Основным недостатком аналога и прототипа является то, что в силу своих конструктивных особенностей они не могут компенсировать продольные сферические аберрации нормалей к контролируемой поверхности или световых лучей, отраженных от нее, а могут компенсировать только соответствующие поперечные сферические аберрации, что приводит к необходимости использования осевых синтезированных голограммных оптических элементов с чрезмерно большими световыми диаметрами.
В частности, для осуществления «полноразмерного» контроля процессов сборки и юстировки составного главного зеркала телескопа космической обсерватории «Миллиметрон» световым диаметром 10000 мм и уравнением вогнутой асферической рабочей поверхности у2=9600х в силу своей чрезвычайно высокой асферичности и крутизны формы потребовался бы осевой синтезированный голограммный оптический элемент с плоской рабочей поверхностью вращения световым диаметром не менее пяти метров, что при современном состоянии технологии невозможно обеспечить [Лукин А.В., Мельников А.Н., Скочилов А.Ф., Пышнов В.Н. О возможностях лазерно-голографического контроля процессов сборки и юстировки составного главного зеркала телескопа на примере космической обсерватории «Миллиметрон» // Оптический журнал. 2017. Т. 84. №12. С. 45-49.].
Подобную задачу не решит и осевой синтезированный голограммный оптический элемент с выпуклой сферической рабочей поверхностью вращения, так как в данном случае требуемый его световой диаметр будет порядка нескольких метров.
Техническим результатом изобретения является уменьшение габаритов осевого синтезированного голограммного оптического элемента, применяемого для контроля формы крупногабаритных вогнутых асферических оптических поверхностей с большой крутизной и градиентом асферичности, за счет использования дифракционной структуры, выполненной на конической рабочей оптической поверхности подложки, обеспечивающей компенсацию продольных сферических аберраций нормалей к контролируемой поверхности или световых лучей, отраженных от нее.
Технический результат достигается за счет того, что в осевом синтезированном голограммном оптическом элементе, содержащем подложку с рабочей оптической поверхностью вращения, на которую нанесена соосная кольцевая дифракционная структура, представляющая собой систему концентрических чередующихся отражающих и неотражающих колец, согласно настоящему изобретению, рабочая оптическая поверхность подложки выполнена в виде кругового конуса.
А также тем, что коэффициент контраста между отражающими и неотражающими кольцами составляет не менее 0,8.
А также тем, что неотражающие кольца представляют собой участки, обладающие свойством поглощения для рабочего спектрального диапазона.
А также тем, что неотражающие кольца представляют собой участки, обладающие свойством пропускания для рабочего спектрального диапазона.
А также тем, что неотражающие кольца представляют собой участки, обладающие свойством рассеяния для рабочего спектрального диапазона.
На фиг. 1 изображен предложенный осевой синтезированный голограммный оптический элемент в меридиональном сечении.
На фиг. 2 представлен пример использования осевого синтезированного голограммного оптического элемента для контроля формы крупногабаритных вогнутых асферических оптических поверхностей с большой крутизной и градиентом асферичности применительно к контролю сборки и юстировки составного главного зеркала космического телескопа «Миллиметрон».
Осевой синтезированный голограммный оптический элемент (см. фиг. 1) содержит подложку 1 с рабочей оптической поверхностью 2 вращения в виде кругового конуса, на которую нанесена соосная кольцевая дифракционная структура, представляющая собой систему концентрических чередующихся отражающих 3 и неотражающих 4 колец.
Материалом подложки 1 осевого синтезированного голограммного оптического элемента может быть бесцветное оптическое стекло марки К8, а для обеспечения температурной стабильности - кварцевое оптической стекло марки КУ-1 или ситалл марки СО115М [Справочник технолога-оптика / М.А. Окатов, Э.А. Антонов, А. Байгожин и др.; Под ред. М.А. Окатова. - СПб.: Политехника, 2004. - С. 30-32].
Закон чередования отражающих 3 и неотражающих 4 колец (частотная характеристика дифракционной структуры осевого синтезированного голограммного оптического элемента) в общем случае определяется расчетными значениями рабочей длины волны монохроматического источника света, параметров выбранной схемы контроля, параметров рабочей поверхности контролируемой детали и параметров подложки осевого синтезированного голограммного оптического элемента и рассчитывается по формуле (1) из [Белозеров А., Ларионов Н., Лукин А., Мельников А. Осевые синтезированные голограммные оптические элементы: история развития, применения. Часть I // Фотоника. 2014. №4 (46). С. 14.].
Отражающие кольца 3 представляют собой металлические участки, обладающие свойством отражения для рабочего спектрального диапазона. Например, это может быть алюминиевое покрытие вакуумного напыления для ультрафиолетового, видимого и ближнего инфракрасного спектральных диапазонов, золотое - для среднего и дальнего инфракрасных диапазонов.
Неотражающие кольца 4 представляют собой участки с коэффициентом контраста между отражающими и неотражающими кольцами не менее 0,8, который определен путем оценочного расчета с использованием справочных данных по отражающим свойствам металлических покрытий и по зеркальным составляющим неотражающих колец в целях получения интерференционной картины с удовлетворительной видностыо интерференционных полос при контроле формы крупногабаритных вогнутых асферических оптических поверхностей с большой крутизной и градиентом асферичности монолитных и составных асферических зеркал и линз.
Неотражающие кольца 4, представляющие собой участки, обладающие свойством поглощения для рабочего спектрального диапазона, могут быть реализованы в виде кольцевых зон из метаматериалов [Ивченко Е.Л., Поддубный А.Н. Резонансные трехмерные фотонные кристаллы // Физика твердого тела. 2006. Т. 48. Вып. 3. С. 540-547].
Неотражающие кольца 4, представляющие собой участки, обладающие свойством пропускания для рабочего спектрального диапазона, могут быть получены путем, например, химического или ионно-плазменного вытравливания металлического отражающего покрытия в соответствующих кольцевых зонах голограммного оптического элемента [Справочник технолога-оптика / М.А. Окатов, Э.А. Антонов, А. Байгожин и др.; Под ред. М.А. Окатова. - СПб.: Политехника, 2004. - С. 460-465].
Неотражающие кольца 4, представляющие собой участки, обладающие свойством рассеяния для рабочего спектрального диапазона, могут быть изготовлены путем локального нарушения с помощью специального алмазного резца или сфокусированного лазерного луча исходных отражающих свойств металлического отражающего покрытия в соответствующих кольцевых зонах рассчитанной дифракционной структуры голограммы (так называемые голограммы с «несущей» пространственной частотой нанесения колец [Белозеров А., Ларионов Н., Лукин А., Мельников А. Осевые синтезированные голограммные оптические элементы: история развития, применения. Часть I // Фотоника. 2014. №4 (46). С. 15-16]).
Изготовление дифракционной структуры предложенного осевого синтезированного голограммного оптического элемента, содержащего подложку 1 с рабочей оптической поверхностью 2 вращения в виде кругового конуса, возможно при помощи современных прецизионных токарных станков с числовым программным управлением методом «резца», либо лазерных установок методом «прямой записи» с дальнейшей химической или ионно-плазменной обработкой формируемой структуры.
Пример конкретного использования.
Использование предложенного голограммного оптического элемента открывает возможность выполнять контроль формы крупногабаритных вогнутых асферических оптических поверхностей с большой крутизной и градиентом асферичности, как монолитных, так и составных асферических зеркал и линз не только в процессе их изготовления (в случае составных оптических элементов - в процессе сборки) и аттестации, но и в условиях эксплуатации в космосе в целях осуществления периодического контроля формы (мониторинга возможной разъюстировки), в частности, составных зеркал космических телескопов, поскольку осевой синтезированный голограммный оптический элемент имеет относительно малые размеры и массу, как и вся контрольная голографическая система в целом при малом энергопотреблении.
Обратимся к фиг. 2, на которой изображен осевой синтезированный голограммный оптический элемент для контроля формы крупногабаритной вогнутой асферической рабочей поверхности с большой крутизной и градиентом асферичности составного главного зеркала космического телескопа «Миллиметрон».
Как видно из фиг. 2, при лазерно-голографическом контроле формы крупногабаритной вогнутой асферической оптической поверхности реализуется схема контроля «из точки в другую точку» в целях исключения искажений при получении интерферограммы контролируемой поверхности [Лукин А.В., Мельников А.Н., Скочилов А.Ф., Пышнов В.Н. О возможностях лазерно-голографического контроля процессов сборки и юстировки составного главного зеркала телескопа на примере космической обсерватории «Миллиметрон» // Оптический журнал. 2017. Т. 84. №12. С. 45-49.].
Из точечного монохроматического источника 5 световой поток падает на осевой синтезированный голограммный оптический элемент 6, содержащий подложку 1 с рабочей оптической поверхностью 2 вращения в виде кругового конуса, на которую нанесена соосная кольцевая дифракционная структура, представляющая собой систему концентрических чередующихся отражающих 3 и неотражающих 4 колец.
На дифракционной структуре осевого синтезированного голограммного оптического элемента 6 световой поток преобразуется в асферический геометрический фронт, после чего падает на вогнутую асферическую рабочую оптическую поверхность 7 контролируемого составного главного зеркала, которое состоит из центральной кольцевой зоны с круговым центральным отверстием и трех кольцевых ярусов, при этом панели, образующие центральную зону П1 и три яруса П2 - П4, имеют соответствующие размеры и зональную форму внеосевого вогнутого параболоида.
После отражения от вогнутой асферической рабочей оптической поверхности 7 контролируемого составного главного зеркала образуется изображение 8 точечного монохроматического источника.
Компенсация продольной сферической аберрации световых лучей, отраженных от контролируемой поверхности 7, происходит за счет использования дифракционной структуры с соответствующим расчетным законом чередования отражающих 3 и неотражающих 4 колец, выполненной на конической рабочей оптической поверхности подложки 1 осевого синтезированного голограммного оптического элемента 6.
Расчетные значения параметров вогнутой асферической рабочей оптической поверхности 7 контролируемого составного главного зеркала космического телескопа «Миллиметрон»:
- уравнение поверхности у2=9600 л:;
- световой диаметр D1=10000 мм;
- световой диаметр центрального отверстия D2=600 мм.
Расчетная рабочая длина волны λ=10,6 мкм.
В результате расчета получены следующие значения:
- параметры осевого синтезированного голограммного оптического элемента 6 с подложкой 1, имеющей рабочую оптическую поверхность 2 вращения в виде кругового конуса:
• световой диаметр основания D3=384 мм;
• угол при вершине кругового конуса γ=12,7°;
• диапазон пространственных частот ν дифракционной структуры от 120 до 190 мм-1;
• скважность - 2 (ширина отражающего кольца равна ширине неотражающего кольца);
• материал подложки - ситалл марки CO115М;
• подложка 1, имеющая рабочую оптическую поверхность 2 вращения в виде кругового конуса, выполнена полой (облегченной) для снижения ее массы;
- параметры схемы контроля:
• расстояние а1 (расстояние вдоль оптической оси от точечного монохроматического источника 5, совпадающего с вершиной вогнутой асферической рабочей поверхности 7, до вершины осевого синтезированного голограммного оптического элемента 6) равно 2947 мм;
• расстояние а2 (расстояние вдоль оптической оси от точечного монохроматического источника 5 до изображения 8 точечного монохроматического источника) равно 13000 мм.
Отражающие кольца 3 представляют собой участки голограммного оптического элемента, реализованные в виде кольцевых зон с золотым отражающим покрытием вакуумного напыления с подслоем хрома.
Примеры конкретного выполнения неотражающих колец 4:
- неотражающие кольца 4, представляющие собой участки, обладающие свойством поглощения с коэффициентом контраста между отражающими и неотражающими кольцами 0,96, реализованы в виде кольцевых зон из трехмерных фотонных кристаллов на основе гранецентрированной кубической матрицы из синтетического опала, поры в которой заполнены диоксидом ванадия [Поддубный А.Н. Теория резонансных фотонных кристаллов и квазикристаллов / Автореф. дис.… канд. физ.-мат.наук; спец. 01.04.10 - Физика полупроводников. - СПб.: Цифровой типографский центр Изд-ва Политехнического ун-та, 2010. - 19 с.];
- неотражающие кольца 4, представляющие собой участки, обладающие свойством пропускания с коэффициентом контраста между отражающими и неотражающими кольцами 0,93, получены путем ионно-плазменного вытравливания золотого отражающего покрытия;
- неотражающие кольца 4, представляющие собой участки, обладающие свойством рассеяния с коэффициентом контраста между отражающими и неотражающими кольцами 0,8, изготовлены путем локального нарушения золотого отражающего покрытия с помощью бицилиндрического алмазного резца.
Видно, что расчетные параметры осевого синтезированного голограммного оптического элемента 6 и схемы контроля являются технически реализуемыми.
Таким образом, использование предлагаемого изобретения открывает возможность обеспечения контроля формы крупногабаритных вогнутых асферических оптических поверхностей с большой крутизной и градиентом асферичности монолитных и составных асферических зеркал и линз, как в наземных (цеховых) условиях, так в условиях космического базирования за счет использования дифракционной структуры, выполненной на конической рабочей оптической поверхности подложки, обеспечивающей компенсацию продольных сферических аберраций нормалей к контролируемой поверхности или световых лучей, отраженных от нее, при получении конгруэнции дифрагированных световых лучей с большой негомоцентричностью при большой угловой апертуре, что позволяет уменьшить габариты осевого синтезированного голограммного оптического элемента.
Claims (5)
1. Осевой синтезированный голограммный оптический элемент, содержащий подложку с рабочей оптической поверхностью вращения, на которую нанесена соосная кольцевая дифракционная структура, представляющая собой систему концентрических чередующихся отражающих и неотражающих колец, отличающийся тем, что рабочая оптическая поверхность подложки выполнена в виде кругового конуса.
2. Осевой синтезированный голограммный оптический элемент по п. 1, отличающийся тем, что коэффициент контраста между отражающими и неотражающими кольцами составляет не менее 0,8.
3. Осевой синтезированный голограммный оптический элемент по п. 1, отличающийся тем, что неотражающие кольца представляют собой участки, обладающие свойством поглощения для рабочего спектрального диапазона.
4. Осевой синтезированный голограммный оптический элемент по п. 1, отличающийся тем, что неотражающие кольца представляют собой участки, обладающие свойством пропускания для рабочего спектрального диапазона.
5. Осевой синтезированный голограммный оптический элемент по п. 1, отличающийся тем, что неотражающие кольца представляют собой участки, обладающие свойством рассеяния для рабочего спектрального диапазона.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2021105075A RU2766855C1 (ru) | 2021-02-25 | 2021-02-25 | Осевой синтезированный голограммный оптический элемент |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2021105075A RU2766855C1 (ru) | 2021-02-25 | 2021-02-25 | Осевой синтезированный голограммный оптический элемент |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2766855C1 true RU2766855C1 (ru) | 2022-03-16 |
Family
ID=80736856
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2021105075A RU2766855C1 (ru) | 2021-02-25 | 2021-02-25 | Осевой синтезированный голограммный оптический элемент |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2766855C1 (ru) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU413373A2 (ru) * | 1972-05-29 | 1974-01-30 | ||
| US5245402A (en) * | 1992-06-15 | 1993-09-14 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | General aspherical surface optical testing device |
| US20140043474A1 (en) * | 2012-08-07 | 2014-02-13 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Measuring device for measuring a measurement object and related method |
| US20170343449A1 (en) * | 2015-02-13 | 2017-11-30 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Test device and method for testing a mirror |
-
2021
- 2021-02-25 RU RU2021105075A patent/RU2766855C1/ru active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU413373A2 (ru) * | 1972-05-29 | 1974-01-30 | ||
| US5245402A (en) * | 1992-06-15 | 1993-09-14 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | General aspherical surface optical testing device |
| US20140043474A1 (en) * | 2012-08-07 | 2014-02-13 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Measuring device for measuring a measurement object and related method |
| US20170343449A1 (en) * | 2015-02-13 | 2017-11-30 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Test device and method for testing a mirror |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Walker et al. | Precessions process for efficient production of aspheric optics for large telescopes and their instrumentation | |
| JPWO2002031570A1 (ja) | 結像性能の評価方法 | |
| RU2766855C1 (ru) | Осевой синтезированный голограммный оптический элемент | |
| Zhang et al. | Review of optical manufacturing 2000 to 2020 | |
| Spanò et al. | Challenges in optics for Extremely Large Telescope instrumentation | |
| RU205115U1 (ru) | Осевой синтезированный голограммный оптический элемент | |
| RU2766851C1 (ru) | Голографическое устройство для контроля формы крупногабаритных вогнутых асферических оптических поверхностей | |
| Kinast et al. | Manufacturing of aluminum mirrors for cryogenic applications | |
| RU205459U1 (ru) | Голографическое устройство для контроля формы крупногабаритных вогнутых асферических оптических поверхностей | |
| Kim et al. | Real-time method for fabricating 3D diffractive optical elements on curved surfaces using direct laser lithography | |
| Wallner et al. | Design of spatial and modal filters for nulling interferometers | |
| Tuell et al. | Optical testing of the LSST combined primary/tertiary mirror | |
| Chauvineau et al. | Description and performance of mirrors and multilayers for the extreme ultraviolet imaging telescope of the SOHO mission | |
| Poleshchuk | Computer generated holograms for aspheric optics testing | |
| RU2786688C1 (ru) | Голографическое устройство для контроля формы асферических оптических поверхностей | |
| RU211189U1 (ru) | Голографическое устройство для контроля формы асферических оптических поверхностей | |
| Hugot et al. | Active optics: off axis aspherics generation for high contrast imaging | |
| Danilov | Computer optics and scientific instrumentation | |
| Nagata et al. | Seimei 3.8-m Telescope has been commissioned | |
| Lukin et al. | Possibilities of laser-holographic monitoring of assembly and alignment of a segmented primary telescope mirror using the Millimetron space observatory as an example | |
| Berkson et al. | Large fiber array spectroscopic telescope: Optical design for a scalable unit telescope | |
| Nasyrov et al. | Manufacturing and certification of a diffraction corrector for controlling the surface shape of the six-meter main mirror of the Big Azimuthal Telescope of the Russian Academy of Sciences | |
| Procháska et al. | Minimization of CaF2 spherical surface deformation caused by annealing | |
| Melnikov | Possibility of using cylindrical on-axis computer-generated holograms for controlling the shape of large-sized aspheric surfaces | |
| Fu et al. | Lightweight infrared diffraction optical system: design and error analysis |