[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

RU2638850C1 - Способ выращивания монокристалла и устройство для его осуществления - Google Patents

Способ выращивания монокристалла и устройство для его осуществления Download PDF

Info

Publication number
RU2638850C1
RU2638850C1 RU2017116342A RU2017116342A RU2638850C1 RU 2638850 C1 RU2638850 C1 RU 2638850C1 RU 2017116342 A RU2017116342 A RU 2017116342A RU 2017116342 A RU2017116342 A RU 2017116342A RU 2638850 C1 RU2638850 C1 RU 2638850C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
substrate
nozzle
gas
powder mixture
laser
Prior art date
Application number
RU2017116342A
Other languages
English (en)
Inventor
Андрей Игоревич Горунов
Original Assignee
Андрей Игоревич Горунов
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Андрей Игоревич Горунов filed Critical Андрей Игоревич Горунов
Priority to RU2017116342A priority Critical patent/RU2638850C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2638850C1 publication Critical patent/RU2638850C1/ru

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/083Devices involving movement of the workpiece in at least one axial direction
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/0869Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction
    • B23K26/0876Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction in at least two axial directions
    • B23K26/0884Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction in at least two axial directions in at least in three axial directions, e.g. manipulators, robots
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/12Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure
    • B23K26/123Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure in an atmosphere of particular gases
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/144Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor the fluid stream containing particles, e.g. powder
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/34Laser welding for purposes other than joining
    • B23K26/342Build-up welding
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/352Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring for surface treatment
    • B23K26/354Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring for surface treatment by melting
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B13/00Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B13/00Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
    • C30B13/16Heating of the molten zone
    • C30B13/22Heating of the molten zone by irradiation or electric discharge
    • C30B13/24Heating of the molten zone by irradiation or electric discharge using electromagnetic waves
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S117/00Single-crystal, oriented-crystal, and epitaxy growth processes; non-coating apparatus therefor
    • Y10S117/903Dendrite or web or cage technique
    • Y10S117/904Laser beam

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

Изобретение относится к способам лазерной наплавки и может быть использовано при наплавке различных материалов лазерным излучением и при выращивании монокристаллов или осуществлении направленной кристаллизации в образцах путем лазерного спекания порошковых материалов газопорошковой смеси. Cпособ выращивания монокристалла включает подачу направленного потока газопорошковой смеси из сопла устройства на подложку с одновременным расплавлением порошкового материала газопорошковой смеси на подложке лазерным лучом и перемещением сопла относительно подложки, при этом в процессе наплавки сопло перемещают относительно подложки с кристаллизатором с одновременным подъемом и меняют направление угла его наклона или положение в пространстве таким образом, чтобы осуществлялись бесконечно непрерывный рост монокристалла и заданное изменение направления его роста, при этом процесс осуществляют при скорости потока газопорошковой смеси 1-50 г/мин, линейной скорости движения лазерного луча 0,1-50 мм/с, мощности лазерного излучения 0,5-10 кВт и скорости перемещения сопла относительно подложки 0,001-30 м/с. Способ осуществляют в устройстве, содержащем лазерный блок, сопло 1 с входным патрубком для подачи газопорошковой смеси 6 на подложку 4 и волоконным кабелем, соединенным с лазерным блоком для транспортировки лазерного луча 7, столик 3 для размещения подложки 4, систему приводов для взаимного перемещения корпуса сопла относительно поверхности столика с подложкой 4, при этом устройство снабжено кристаллизатором 2, расположенным ниже выходного отверстия сопла 1 и представляющим собой водоохлаждаемый патрубок, по крайней мере, с одним ответвлением, подведенным к поверхности подложки. Технический результат изобретения заключается в получении монокристаллических изделий или изделий с направленными кристаллами в структуре без ограничения в размерах, с заданной ориентировкой и формой монокристалла. 2 н.п. ф-лы, 1 ил.

Description

Изобретение относится к способам лазерной наплавки и может быть использовано при наплавке различных материалов лазерным излучением и при выращивании монокристаллов или осуществлении направленной кристаллизации в образцах путем лазерного спекания порошковых материалов газопорошковой смеси.
Известен способ эпитаксиального нанесения ремонтного материала на поверхность полученной направленной кристаллизацией подложки, включающий непрерывную подачу частиц ремонтного материала на всю обрабатываемую поверхность подложки, подведение энергии по всей обрабатываемой поверхности для плавления и сплавления ремонтного материала эпитаксиально на всей обрабатываемой поверхности одновременно с обеспечением процесса кристаллизации сплавляемых частиц в направлении, параллельном направлению ориентации зерен материала подложки; и осуществляют относительное перемещение источника энергии и материала подложки при непрерывной подаче частиц ремонтного материала для сохранения условий непрерывного эпитаксиального нанесения ремонтного материала в процессе кристаллизации до достижения требуемой толщины ремонтного материала (Патент RU 2599322 С2, опубликован: 10.10.2016. Бюл. №28).
Известно устройство эпитаксиального нанесения ремонтного материала на поверхность полученной направленной кристаллизацией подложки, включающее в себя средство мобилизации частиц материала поверх обрабатываемой поверхности подложки; средство подвода энергии по всей обрабатываемой поверхности, которое эффективно для расплавления и сплавления материала эпитаксиально на всей обрабатываемой поверхности одновременно; и средство обеспечения относительного перемещения подложки и средство мобилизации частиц материала, эффективное для сохранения условий для непрерывного эпитаксиального добавления материала к подложке до тех пор, пока не будет добавлена требуемая толщина материала (Патент RU 2599322 С2, опубликован: 10.10.2016. Бюл. №28).
Недостатком указанного способа и устройства является то, что рассматривается возможность ремонта монокристаллических изделий, однако отсутствует возможность формирования самого изделия эпитаксиальным методом, а также отсутствие возможности прогнозирования направленности кристаллов в получаемых покрытиях.
Известен способ изготовления металлического изделия лазерным цикличным нанесением слоев порошкового материала, включающий следующую последовательность формирования слоев за цикл: нанесение слоя первого порошкового материала и его селективное спекание на заданных участках слоя, удаление первого порошкового материала из неспеченных участков, нанесение в пространство между спеченными участками слоя первого порошкового материала, слоя второго порошкового материала той же толщины и его селективное спекание на этих участках, повторение указанных циклов до осуществления полного формирования изделия, причем в качестве первого порошкового материала используется материал, образующий при спекании оболочку формируемого изделия, а в качестве второго порошкового материала используется порошок из металла или сплава формируемого изделия, причем после каждого спекания слоя металла или сплава производят его расплавление, образуя слои толщиной от 10 до 300 мкм, а после завершения всех циклов нанесения слоев производят их газостатическое прессование. Кристаллизацию расплавленного металла или сплава проводят методом направленной кристаллизации или монокристаллизации (Заявка RU 2013141733 А, дата публикации заявки: 20.03.2015. Бюл. №8).
Известна установка для изготовления металлического изделия из порошкового материала, содержащая рабочую камеру с входным окном, лазер, оптически связанный с системой сканирования и фокусировки луча, рабочий бункер с поршнем, выполненный с возможностью перемещения формируемого изделия и формируемой оболочки в вертикальном направлении, бункер-питатель, каретку засыпки и укладки порошка, роллер очистки, выполненный с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном направлению движения каретки засыпки и укладки порошка, при этом установка содержит дополнительную рабочую камеру, выполненную с возможностью создания газостатического давления и оснащенную входным окном, лазером, оптически связанным с системой сканирования и фокусировки луча, рабочим бункером с поршнем, выполненным с возможностью перемещения формируемого изделия и формируемой оболочки в вертикальном направлении, бункер-питателем, кареткой засыпки и укладки порошка, роллером очистки, выполненным с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном направлению движения каретки засыпки и укладки порошка, причем, рабочая камера и дополнительная рабочая камера снабжены общим рабочим столом, в котором установлены упомянутые рабочие бункеры с поршнями, при этом общий рабочий стол выполнен с возможностью перемещения рабочих бункеров с поршнями в процессе формирования детали из рабочей камеры в дополнительную рабочую камеру и обратно (Заявка RU 2013141733 А, дата публикации заявки: 20.03.2015. Бюл. №8).
Недостатком указанного способа и устройства является то, что формирование монокристаллической структуры достигается путем расплавления уже полученного изделия, что усложняет процесс.
Наиболее близким к предлагаемому способу выращивания монокристалла, является способ восстановления поверхности монокристаллической или полученной направленной кристаллизацией металлической детали толщиной (Ws) менее 2 мм, в котором на деталь направляют лазерный луч и подают поток металлического порошка той же природы, что и металлическая деталь, для создания, по меньшей мере, одного слоя монокристаллического или полученного направленной кристаллизацией от детали металла, при этом лазерный луч направляют с мощностью «Р» и перемещают вдоль детали со скоростью «v», причем лазерный луч и поток порошка направляют на деталь соосно (Патент RU 2409708 С2, дата публикации: 10.03.2007. Бюл. №7).
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к предлагаемому устройству для выращивания монокристалла является устройство для осуществления способа восстановления поверхности. Устройство содержит кожух, источник лазерного излучения, сопло для подачи порошка от распределяющего устройства и соединительный сильфон фокусирующей системы, содержащей в особенности источник лазерного излучения, сопло и кожух. Далее описан способ восстановления поверхности лопатки турбины газотурбинного двигателя, изготовленной из сплава на основе никеля, монокристаллического или полученного направленной кристаллизацией, однако следует понимать, что способ может применяться к любой металлической детали, содержащей стенку, которую следует восстановить, и выполненной из монокристаллического сплава или полученную направленной кристаллизацией (Патент RU 2409708 С2, дата публикации: 10.03.2007. Бюл. №7).
Недостатком описанного выше способа восстановления монокристаллической поверхности и устройства для его реализации является невысокое качество формируемого изделия в связи с тем, что процесс формирования монокристаллической структуры и направленной кристаллизации производится послойно, что приведет к снижению свойств на границе слоев и нарушению ориентировки дендритных кристаллов за счет смещения теплового центра, образованного лазером.
Техническая проблема заключается в том, что при послойном нанесении покрытий при выращивании изделий методом прямого лазерного нанесения происходит нарушение сплошности и ориентировки кристаллов в слоях. Технический результат предлагаемого способа выращивания монокристалла и устройства для его осуществления заключается в принципиально новом способе выращивания монокристаллических изделий или изделий с направленными кристаллами в структуре без ограничения в размере монокристалла, с заданной ориентировкой и формой монокристалла. Технический результат в способе выращивания монокристалла, включающем подачу направленного потока газопорошковой смеси из сопла устройства на подложку с одновременным расплавлением порошкового материала газопорошковой смеси на подложке лазерным лучом и перемещением сопла относительно подложки, достигается тем, что в процессе наплавки сопло перемещают относительно подложки с кристаллизатором с одновременным подъемом и меняют направление угла его наклона или положение в пространстве таким образом, чтобы осуществлялись бесконечно непрерывный рост монокристалла и заданное изменение направления его роста, при этом процесс осуществляют при скорости потока газопорошковой смеси 1-50 г/мин, линейной скорости движения лазерного луча 0,1-50 мм/с, мощности лазерного излучения 0,5-10 кВт и скорости перемещения сопла относительно подложки 0,001-30 м/с. Технический результат в устройстве для осуществления способа выращивания монокристалла, содержащем лазерный блок, сопло с входным патрубком для подачи газопорошковой смеси на подложку и волоконным кабелем, соединенным с лазерным блоком для транспортировки лазерного луча, столик для размещения подложки, систему приводов для взаимного перемещения корпуса сопла относительно поверхности столика с подложкой, достигается тем, что оно снабжено кристаллизатором, расположенным ниже выходного отверстия сопла и представляющим собой водоохлаждаемый патрубок, по крайней мере, с одним ответвлением, подведенным к поверхности подложки.
Введенные признаки в предлагаемый способ: «в процессе наплавки сопло перемещают таким образом, чтобы осуществлялся бесконечно непрерывный рост монокристалла или направленных кристаллов, а также осуществлялось целенаправленное изменение направления роста монокристалла или направленных кристаллов» и введенные признаки для предлагаемого устройства для реализации способа: «устройство снабжено кристаллизатором, расположенным ниже выходного отверстия сопла», обеспечивают возможность получения высокодисперсной структуры и равномерного распределения неметаллических включений в обрабатываемых изделиях, что в итоге позволяет расширить технологические возможности по сравнению с известным способом и известным устройством по прототипу.
На чертеже схематически изображено устройство для лазерного выращивания монокристалла.
Устройство для выращивания монокристалла, схематически изображенное на чертеже, содержит сопло 1, соединенное с лазерным блоком посредством волоконного кабеля. Лазерный блок и волоконный кабель на чертеже не показаны. Ниже выходного отверстия сопла 1 распложен кристаллизатор 2, задающий центр кристаллизации и начало роста монокристалла. Там же расположен рабочий столик 3, на котором располагается подложка 4, на которой выращивается монокристалл 5. Столик 3 установлен с возможностью изменения своего положения в пяти координатах. Устройство для лазерной обработки изделия содержит также систему приводов для взаимного перемещения корпуса сопла 1 относительно поверхности подложки 4, размещенной на столике 3, система приводов на чертеже не показана. Из сопла 1 подается газопорошковая смесь 6 и лазерный луч 7 на поверхность подложки 4.
Для предлагаемого устройства система приводов для взаимного перемещения корпуса сопла 1 относительно поверхности подложки 4, размещенной на столике 3, может быть выполнена в виде робота, аналог которого описан в патенте (US 20110072930 А1, 31.03.2011). Сопло может быть выполнено, как указано в заявке RU 2015132566 А, 09.02.2017. Бюл. №4.
Кристаллизатор 2 представляет собой водоохлаждаемый патрубок с одним, для выращивания монокристалла, или несколькими, для выращивания монокристаллов, ответвлениями, подведенными к поверхности подложки, на которую осуществляют лазерное нанесение металла.
Рассмотрим осуществление способа выращивания монокристалла и работу устройства для его осуществления.
Перед началом осуществления предлагаемого способа включают подачу газопорошковой смеси, включают лазерный блок, включают кристаллизатор 2, лазерный луч 7 и газопорошковую смесь направляют в центр кристаллизатора 2. Лазерное выращивание монокристалла 5 осуществляется по схеме: перемещаемое сопло 1 - перемещаемая подложка 4. Одновременно с включением лазерного излучения включают кристаллизатор 2. Газопорошковая смесь - это смесь подаваемого порошка и инертного газа для защиты обрабатываемой зоны на подложке от воздействия среды и транспортировки порошкового материалов.
Столик 3 одновременно с подложкой 4 перемещают относительно лазерного луча за счет системы приводов, которая на чертеже не показана. Зона выращивания монокристалла 5 на подложке 4 - это место пересечения лазерного луча и подаваемой газопорошковой смеси на поверхности подложки 4.
На металлическом столике 3 через выходное отверстие сопла 1 выращивают монокристалл, при этом поток частиц газопорошковой смеси подают непосредственно в зону воздействия лазерного луча. Процесс происходит с использованием инертного защитного газа, что обеспечивает защиту 5 от окисления. В примере конкретной реализации возможность отслеживания за непрерывностью роста монокристалла может осуществляться с помощью рентгеновской томографии или химическим травлением путем предварительной порезки и полировки монокристалла. При этом газопорошковую смесь подают к обрабатываемому изделию 4 под различными направлениями к лазерному лучу. Частицы порошка газопорошковой смеси, доставляемые к подложке 4, имеют высокую температуру вследствие взаимодействия с лазерным лучом 7. Под воздействием лазерного излучения происходит расплавление порошкового материала газопорошковой смеси и выращивание монокристалла 5. Одновременно в процессе выращивания монокристалла сопло 1 начинают поднимать над кристаллизатором 2. При помощи системы приводов или робота, не показанных на чертеже, меняют направление угла наклона сопла 1 или его положение в пространстве таким образом, чтобы зародившийся монокристалл 5 продолжал свой непрерывный рост.
В примере конкретной реализации режимы получения монокристаллов могут находиться в интервале: мощность лазерного излучения находится в интервале от 0.5 до 10 кВт, линейная скорость движения лазерного луча от 0.1 до 50 мм/с и скорость подачи газопорошковой смеси от 1 до 50 г/мин, скорость перемещения сопла относительно подложки относительно подложки от 0.001 м/с до 30 м/с. Данные режимы взаимосвязаны между собой и зависят друг от друга.
После окончания процесса выращивания изделия с монокристаллической структурой последовательно отключают лазерный блок, далее отключают подачу газопорошковой смеси и кристаллизатор 2.
Применение предлагаемого способа и устройства для его осуществления, по сравнению с прототипом, позволит получать изделия с монокристаллической структурой без ограничения размеров монокристалла и обеспечить нужную ориентировку и форму выращиваемого монокристалла.

Claims (2)

1. Способ выращивания монокристалла, включающий подачу направленного потока газопорошковой смеси из сопла устройства на подложку с одновременным расплавлением порошкового материала газопорошковой смеси на подложке лазерным лучом и перемещением сопла относительно подложки, отличающийся тем, что в процессе наплавки сопло перемещают относительно подложки с кристаллизатором с одновременным подъемом и меняют направление угла его наклона или положение в пространстве таким образом, чтобы осуществлялись бесконечно непрерывный рост монокристалла и заданное изменение направления его роста, при этом процесс осуществляют при скорости потока газопорошковой смеси 1-50 г/мин, линейной скорости движения лазерного луча 0,1-50 мм/с, мощности лазерного излучения 0,5-10 кВт и скорости перемещения сопла относительно подложки 0,001-30 м/с.
2. Устройство для осуществления способа по п. 1, содержащее лазерный блок, сопло с входным патрубком для подачи газопорошковой смеси на подложку и волоконным кабелем, соединенным с лазерным блоком для транспортировки лазерного луча, столик для размещения подложки, систему приводов для взаимного перемещения корпуса сопла относительно поверхности столика с подложкой, отличающееся тем, что оно снабжено кристаллизатором, расположенным ниже выходного отверстия сопла и представляющим собой водоохлаждаемый патрубок, по крайней мере, с одним ответвлением, подведенным к поверхности подложки.
RU2017116342A 2017-05-10 2017-05-10 Способ выращивания монокристалла и устройство для его осуществления RU2638850C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017116342A RU2638850C1 (ru) 2017-05-10 2017-05-10 Способ выращивания монокристалла и устройство для его осуществления

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017116342A RU2638850C1 (ru) 2017-05-10 2017-05-10 Способ выращивания монокристалла и устройство для его осуществления

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2638850C1 true RU2638850C1 (ru) 2017-12-18

Family

ID=60718884

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017116342A RU2638850C1 (ru) 2017-05-10 2017-05-10 Способ выращивания монокристалла и устройство для его осуществления

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2638850C1 (ru)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6024792A (en) * 1997-02-24 2000-02-15 Sulzer Innotec Ag Method for producing monocrystalline structures
RU2228243C2 (ru) * 1998-06-30 2004-05-10 Джиоти МАЗУМДЕР Способ и устройство для лазерной наплавки
RU2409708C2 (ru) * 2004-08-30 2011-01-20 Снекма Способ восстановления поверхности монокристаллической детали или детали, полученной направленной кристаллизацией
US20160258045A1 (en) * 2014-08-26 2016-09-08 General Electric Company Apparatus and method for direct writing of single crystal super alloys and metals

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6024792A (en) * 1997-02-24 2000-02-15 Sulzer Innotec Ag Method for producing monocrystalline structures
RU2228243C2 (ru) * 1998-06-30 2004-05-10 Джиоти МАЗУМДЕР Способ и устройство для лазерной наплавки
RU2409708C2 (ru) * 2004-08-30 2011-01-20 Снекма Способ восстановления поверхности монокристаллической детали или детали, полученной направленной кристаллизацией
US20160258045A1 (en) * 2014-08-26 2016-09-08 General Electric Company Apparatus and method for direct writing of single crystal super alloys and metals

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2599322C2 (ru) Ремонт полученных направленной кристаллизацией сплавов
CN109746441B (zh) 一种激光冲击强化辅助的激光增材制造复合加工方法
EP3096905B1 (en) A method of additive manufacturing utilizing an epitaxy process
US4323756A (en) Method for fabricating articles by sequential layer deposition
CN106735967B (zh) 一种超声振动辅助电弧增材制造控形控性的方法
EP0293945B1 (en) Apparatus for delivering a consistent, continuous flow of powder
KR100305425B1 (ko) 자유형3차원물품을형성하는방법및장치
US9527165B2 (en) Powder deposition process utilizing vibratory mechanical energy
CN106041072B (zh) 使用悬浮在液体载体中的填充材料的激光增材制造
JP2017014613A (ja) 積層造形のための堆積ヘッド
CN110430993A (zh) 用具有旋转多边形和第二反射构件的能量输送系统的增材制造
EP1798316B1 (en) Repair method of crystalline structures by epitaxy
JP2002504024A (ja) 金属の層溶着により作られる製品
RU2618287C2 (ru) Способ лазерной обработки изделия (варианты) и устройство для его осуществления (варианты)
JP2006341594A (ja) レーザ焼結システムにおけるレーザ焼結プロセスチャンバガスカーテン窓洗浄
JP2003505250A (ja) 材料の組合せから建築構成要素を準備する装置および方法
US20190321916A1 (en) Me thod, use and apparatus for producing a single-crystalline work piece
EP3646967B1 (en) Enhanced cooling during additive manufacturing
Boddu et al. Control of laser cladding for rapid prototyping--a review
RU165179U1 (ru) Сопло для лазерной обработки изделия
RU2669953C1 (ru) Устройство для гибридного лазерно-акустического создания функционально-градиентного материала
RU2638850C1 (ru) Способ выращивания монокристалла и устройство для его осуществления
CA2423146C (en) A method of welding single crystals
EP2377641B1 (en) Method and apparatus for Manufacturing a Component
US20140197139A1 (en) Production of fine grains in deposition welding

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20190511