RU2559867C1 - Accelerometer - Google Patents
Accelerometer Download PDFInfo
- Publication number
- RU2559867C1 RU2559867C1 RU2014119556/28A RU2014119556A RU2559867C1 RU 2559867 C1 RU2559867 C1 RU 2559867C1 RU 2014119556/28 A RU2014119556/28 A RU 2014119556/28A RU 2014119556 A RU2014119556 A RU 2014119556A RU 2559867 C1 RU2559867 C1 RU 2559867C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- sectors
- annular
- electrodes
- piezoelectric
- side surfaces
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для измерения параметров ускорения в виброметрии, сейсмологии и акустике.The invention relates to the field of measurement technology and can be used to measure acceleration parameters in vibrometry, seismology and acoustics.
Известен трехкомпонентный акселерометр, содержащий корпус, который закреплен на базовом основании и закрыт колпачком. Корпус выполнен из металла в форме трехгранной пирамиды с тремя ортогональными плоскостями, на каждой из которых консольно закреплены по одному пьезоэлектрическому чувствительному элементу. Чувствительные элементы выполнены в виде пьезоэлектрических или биморфных пластин. (Патент №2383025, Кл. G01P 15/09, 2010 г.)Known three-component accelerometer containing a housing that is mounted on a base base and is closed by a cap. The body is made of metal in the form of a trihedral pyramid with three orthogonal planes, on each of which one piezoelectric sensitive element is cantilevered. Sensitive elements are made in the form of piezoelectric or bimorph plates. (Patent No. 2383025, Cl. G01P 15/09, 2010)
Недостатком трехкомпонентного акселерометра является его нечувствительность к высоким частотам из-за консольного закрепления чувствительных элементов.The disadvantage of a three-component accelerometer is its insensitivity to high frequencies due to the cantilever fixing of sensitive elements.
Наиболее близким по конструкции, совпадающим по характеру работы с заявленным, является однокомпонентный акселерометр, принятый за прототип предлагаемого трехкомпонентного акселерометра.The closest in design, matching the nature of the work with the claimed, is a one-component accelerometer, adopted for the prototype of the proposed three-component accelerometer.
Прототип содержит предусилитель и концентрично расположенные кольцевые инерционную массу, корпус и первый пьезочувствительный элемент с осевой поляризацией в виде пьезоэлектрических секторов, не соприкасающихся друг с другом, и электродов, контактирующих с боковыми поверхностями пьезоэлектрических секторов, при этом кольцевой корпус выполнен из электропроводного материала с возможностью контактирования с боковыми поверхностями кольцевых пьезоэлектрических секторов, причем электроды электрически соединены параллельно и подключены к предусилителю. (Патент №2098831, Кл. G01P 15/09, 1998 г.)The prototype contains a preamplifier and concentrically arranged ring inertial mass, a housing and a first piezosensitive element with axial polarization in the form of piezoelectric sectors that are not in contact with each other, and electrodes in contact with the side surfaces of the piezoelectric sectors, while the ring body is made of electrically conductive material with the possibility of contacting with the lateral surfaces of the annular piezoelectric sectors, the electrodes being electrically connected in parallel and connected us to the preamplifier. (Patent No. 2098831, Cl. G01P 15/09, 1998)
Недостатком прототипа является ограниченность его применения для измерения одной компоненты ускорения.The disadvantage of the prototype is the limitations of its use for measuring one component of the acceleration.
Техническим результатом, получаемым от внедрения изобретения, является получение возможности измерения трех компонент ускорения.The technical result obtained from the implementation of the invention is the ability to measure the three components of acceleration.
Данный технический результат достигается за счет того, что в известный акселерометр, содержащий предусилитель и концентрично расположенные, кольцевые инерционную массу, корпус и первый пьезочувствительный элемент с осевой поляризацией в виде пьезоэлектрических секторов, не соприкасающихся друг с другом, и электродов, контактирующих с боковыми поверхностями пьезоэлектрических секторов, при этом кольцевой корпус выполнен из электропроводного материала с возможностью контактирования с боковыми поверхностями кольцевых пьезоэлектрических секторов, причем электроды электрически соединены параллельно и подключены к предусилителю, дополнительно введены второй и третий предуселители, а также второй кольцевой пьезочувствительный элемент, установленный над первым кольцевым пьезочувствительным элементом и выполненный в виде двух пар радиально поляризованных секторов, снабженных электродами, контактирующими с боковыми поверхностями секторов, при этом оба сектора пары установлены центрально симметрично с противоположной поляризацией, соединены через электроды параллельно и подключены ко второму и третьему предусилителям.This technical result is achieved due to the fact that in a known accelerometer containing a preamplifier and concentrically arranged, annular inertial mass, a housing and a first piezosensitive element with axial polarization in the form of piezoelectric sectors not in contact with each other, and electrodes in contact with the side surfaces of the piezoelectric sectors, while the annular body is made of electrically conductive material with the ability to contact with the side surfaces of the annular piezoelectric sectors, the electrodes being electrically connected in parallel and connected to the preamplifier, the second and third preamplifiers, as well as the second annular piezosensitive element mounted above the first annular piezosensitive element and made in the form of two pairs of radially polarized sectors equipped with electrodes in contact with the side surfaces, are additionally introduced sectors, while both sectors of the pair are installed centrally symmetrically with opposite polarization, connected through the electrodes of the parallel separately and connected to the second and third preamplifiers.
Изобретение поясняется чертежами.The invention is illustrated by drawings.
На фиг. 1 - представлена конструктивная схема акселерометра; на фиг. 2 - его электронная схема.In FIG. 1 - presents a structural diagram of an accelerometer; in FIG. 2 - its electronic circuit.
Акселерометр, содержит концентрично расположенные кольцевые инерционную массу 1, корпус 2 и пьезочувствительный элемент 3 с осевой поляризацией в виде пьезоэлектрических секторов, не соприкасающихся друг с другом (на фиг. 1 - один сектор).The accelerometer contains a concentrically arranged annular inertial mass 1, a housing 2 and a
Имеется также кольцевой пьезочувствительный элемент, установленный над пьезочувствительным элементом 3 и выполненный в виде двух пар радиально поляризованных секторов 41 42 и 51 52. Оба сектора 41 42 и 51 52 пары установлены центрально-симметрично с противоположной поляризацией.There is also an annular piezosensitive element mounted above the
Акселерометр включает в себя электроды 6, 7, контактирующие с боковыми поверхностями пьезоэлектрических секторов 3, 4, 5. Причем электроды электрически соединены параллельно и подключены к трем предусилителям 8, 9, 10 по количеству измеряемых компонентов х, у, z ускорения (фиг. 2).The accelerometer includes electrodes 6, 7 in contact with the side surfaces of the
Конкретное выполнение электродов 6, 7 в акселерометре является ноу-хау заявителя.The specific implementation of the electrodes 6, 7 in the accelerometer is the know-how of the applicant.
Кольцевой корпус 2 выполнен из электропроводного материала с возможностью контактирования с боковыми поверхностями кольцевых пьезоэлектрических секторов 3, 4, 5.The annular body 2 is made of an electrically conductive material with the possibility of contacting with the side surfaces of the annular
Акселерометр работает следующим образом.The accelerometer works as follows.
Закрепляют корпус акселерометра на исследуемом изделии (элементы крепления акселерометра не приведены).The accelerometer case is fixed on the test product (accelerometer mounting elements are not shown).
При колебаниях корпуса 2 в среде вдоль осей x, y, z на пьезоэлементы 3, 4, 5 действует сила инерции, деформирующая пьезоэлементы. На выходах пьезоэлементов появляются напряжения Ux, Uy, Uz, пропорциональные измеряемым компонентам вектора ускорения.With vibrations of the housing 2 in the medium along the x, y, z axes, the inertia force acting on the piezoelectric elements acts on the
Таким образом, область применения акселерометра, работающего на деформации сдвига, расширена на случай измерения параметров вектора ускорения. Этим достигается поставленный технический результат.Thus, the scope of the accelerometer operating on shear strain is expanded to the case of measuring the parameters of the acceleration vector. This achieves the set technical result.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2014119556/28A RU2559867C1 (en) | 2014-05-15 | 2014-05-15 | Accelerometer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2014119556/28A RU2559867C1 (en) | 2014-05-15 | 2014-05-15 | Accelerometer |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2559867C1 true RU2559867C1 (en) | 2015-08-20 |
Family
ID=53880419
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2014119556/28A RU2559867C1 (en) | 2014-05-15 | 2014-05-15 | Accelerometer |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2559867C1 (en) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU569955A1 (en) * | 1975-09-18 | 1977-08-25 | Московский Лесотехнический Институт | Piezoaccelerometer |
RU2098831C1 (en) * | 1996-01-31 | 1997-12-10 | Игорь Борисович Вишневский | Accelerometer operating on shift deformation in piezoelement and method of its manufacture |
RU2402019C1 (en) * | 2009-03-18 | 2010-10-20 | Общество с ограниченной ответственностью Научно-производственное предприятие "ТИК" (ООО НПП "ТИК") | Piezoelectric accelerometre |
US20120204644A1 (en) * | 2011-02-10 | 2012-08-16 | Denis Varak | Accelerometer for high temperature applications |
-
2014
- 2014-05-15 RU RU2014119556/28A patent/RU2559867C1/en active IP Right Revival
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU569955A1 (en) * | 1975-09-18 | 1977-08-25 | Московский Лесотехнический Институт | Piezoaccelerometer |
RU2098831C1 (en) * | 1996-01-31 | 1997-12-10 | Игорь Борисович Вишневский | Accelerometer operating on shift deformation in piezoelement and method of its manufacture |
RU2402019C1 (en) * | 2009-03-18 | 2010-10-20 | Общество с ограниченной ответственностью Научно-производственное предприятие "ТИК" (ООО НПП "ТИК") | Piezoelectric accelerometre |
US20120204644A1 (en) * | 2011-02-10 | 2012-08-16 | Denis Varak | Accelerometer for high temperature applications |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3104334A (en) | Annular accelerometer | |
GB2578014A9 (en) | Acceleration sensor comprising differential graphene resonant beams | |
WO2014169540A1 (en) | Non-uniform cross section cantilever beam piezoelectricity acceleration sensor | |
CN104359547B (en) | Differential vibration isolation type MEMS (micro-electromechanical system) vector hydrophone | |
Manikandan et al. | Investigations on suitability of MEMS based accelerometer for vibration measurements | |
Dong et al. | High-performance monolithic triaxial piezoresistive shock accelerometers | |
RU2582910C1 (en) | Piezoelectric accelerometer | |
RU2650839C1 (en) | Low-frequency vector acoustic receiver | |
Du et al. | A low-g omnidirectional MEMS inertial switch with load direction identification | |
EP3220153B1 (en) | Symmetric mems piezoelectric accelerometer for cross-axis noise reduction | |
RU2566411C1 (en) | Piezoelectric accelerometer | |
RU2559867C1 (en) | Accelerometer | |
KR102337688B1 (en) | Accelerometer and acoustic vector sensor having the same | |
Alzgool et al. | Self-powered triboelectric MEMS accelerometer | |
RU2416098C1 (en) | Three-axis accelerometre | |
US3222919A (en) | Mechanical impedance measuring system | |
US3070996A (en) | Mechanical impedance meter | |
RU2569201C1 (en) | Combined hydroacoustic receiver | |
Dhanda et al. | Sensitivity analysis of contact type vibration measuring sensors | |
Li et al. | A low-noise MEMS acoustic vector sensor | |
CN104569626A (en) | Electrostatic field sensor and electrostatic alarm system and method based on electrostatic field sensor | |
RU2400760C1 (en) | Piezoelectric accelerometre | |
RU187949U1 (en) | SENSITIVE ELEMENT OF MEMS-ACCELEROMETER WITH MEASURABLE RANGE OF ACCELERATION OF LARGE AMPLITUDE | |
RU55148U1 (en) | MICROMECHANICAL AXIAL ACCELEROMETER | |
RU168085U1 (en) | DEVICE FOR MEASURING ANGULAR ACCELERATION |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20160516 |
|
NF4A | Reinstatement of patent |
Effective date: 20190710 |