[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

RU2444580C1 - Copper etching composition - Google Patents

Copper etching composition Download PDF

Info

Publication number
RU2444580C1
RU2444580C1 RU2010142325/02A RU2010142325A RU2444580C1 RU 2444580 C1 RU2444580 C1 RU 2444580C1 RU 2010142325/02 A RU2010142325/02 A RU 2010142325/02A RU 2010142325 A RU2010142325 A RU 2010142325A RU 2444580 C1 RU2444580 C1 RU 2444580C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
copper
tert
copper etching
acetylacetone
composition
Prior art date
Application number
RU2010142325/02A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Евгений Семенович Климов (RU)
Евгений Семенович Климов
Мария Владимировна Бузаева (RU)
Мария Владимировна Бузаева
Ольга Александровна Давыдова (RU)
Ольга Александровна Давыдова
Вера Васильевна Дубровина (RU)
Вера Васильевна Дубровина
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" filed Critical Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет"
Priority to RU2010142325/02A priority Critical patent/RU2444580C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2444580C1 publication Critical patent/RU2444580C1/en

Links

Landscapes

  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)

Abstract

FIELD: metallurgy.
SUBSTANCE: copper etching composition includes complexons of 3,5-di-tert-butylbenzoquinone-1,2 and acetylacetone in molar ratio of 1:2 in solution of tetrahydrofuran.
EFFECT: composition improves copper etching in organic media and allows obtaining maximum output of commercial product without formation of by-products.

Description

Изобретение относится к составу для травления металлов и может быть использовано в машиностроительной и радиоэлектронной промышленности для травления медных поверхностей и печатных плат.The invention relates to a composition for pickling metals and can be used in the engineering and electronic industries for pickling copper surfaces and printed circuit boards.

Для травления меди применяются составы, содержащие комплексоны различного строения, такие как ацетофеноксим, тетрахлорбензохинон-1,2,3,5-ди-трет-бутилбензохинон-1,2 [1, 2].Copper etching uses compositions containing complexones of various structures, such as acetophenoxy, tetrachlorobenzoquinone-1,2,3,5-di-tert-butylbenzoquinone-1,2 [1, 2].

Из известных составов для травления меди в органическом растворителе наиболее близок к предлагаемому состав, содержащий ацетофеноксим и ацетилацетон, где травление меди протекает с образованием продуктов в виде ацетилацетоната меди (II), бензонитрила и бензойной кислоты [1].Of the known compositions for copper etching in an organic solvent, the composition containing acetophenoxy and acetylacetone is closest to the proposed composition, where copper etching proceeds with the formation of products in the form of copper (II) acetylacetonate, benzonitrile and benzoic acid [1].

Недостатком прототипа является сложное протекание процессов при травлении меди и, как следствие, образование смеси побочных продуктов и низкий выход (3-28%) основного товарного продукта - ацетилацетоната меди (II).The disadvantage of the prototype is the complex occurrence of processes during etching of copper and, as a consequence, the formation of a mixture of by-products and a low yield (3-28%) of the main commercial product - copper (II) acetylacetonate.

Отличием предлагаемого изобретения от прототипа является то, что ацетофеноксим заменяется комплексоном 3,5-ди-трет-бутилбензохинон-1,2, который с ацетилацетоном в молярном соотношении 1:2 в растворе тетрагидрофурана дает состав для травления меди.The difference between the present invention and the prototype is that acetophenoxy is replaced by the complexone 3,5-di-tert-butylbenzoquinone-1,2, which with acetylacetone in a molar ratio of 1: 2 in a solution of tetrahydrofuran gives a composition for etching copper.

Технический результат - предлагаемый состав улучшает травление меди в органических средах, протекающее без образования побочных продуктов и максимальным выходом (до 96%) товарного продукта - ацетилацетоната меди (II).EFFECT: proposed composition improves copper etching in organic media that proceeds without formation of by-products and with a maximum yield (up to 96%) of a commercial product — copper (II) acetylacetonate.

Состав для травления меди, содержащий комплексен ацетилацетон в органическом растворителе, дополнительно содержит комплексен 3,5-ди-трет-бутилбензохинон-1,2 в молярном соотношении 1:2 по отношению к ацетилацетону, при этом в качестве органического растворителя состав содержит тетрагидрофуран.The composition for copper etching, containing complex acetylacetone in an organic solvent, additionally contains complex 3,5-di-tert-butylbenzoquinone-1,2 in a molar ratio of 1: 2 with respect to acetylacetone, while the composition contains tetrahydrofuran as an organic solvent.

Указанный технический результат достигается тем, что поверхность меди обрабатывается составом, содержащим комплексоны 3,5-ди-трет-бутилбензохинон-1,2 и ацетилацетон в молярном соотношении 1:2 в растворе тетрагидрофурана.The specified technical result is achieved by the fact that the copper surface is treated with a composition containing 3,5-di-tert-butylbenzoquinone-1,2 complexones and acetylacetone in a 1: 2 molar ratio in tetrahydrofuran solution.

Сущность изобретения заключается в том, что составом для травления меди, который содержит комплексоны - 3,5-ди-трет-бутилбензохинон-1,2 и ацетилацетон в молярном соотношении 1:2 в растворе тетрагидрофурана, обрабатывают поверхность металлической меди. Травление меди протекает без образования побочных продуктов, с высоким выходом (96%) товарного продукта - ацетилацетоната меди (II).The essence of the invention lies in the fact that the composition for etching copper, which contains complexones - 3,5-di-tert-butylbenzoquinone-1,2 and acetylacetone in a molar ratio of 1: 2 in a solution of tetrahydrofuran, treats the surface of metallic copper. Copper etching proceeds without the formation of by-products, with a high yield (96%) of a commercial product — copper (II) acetylacetonate.

Для этого обезжиренную медную пластинку (2,0 г) помещают в раствор 3,5-ди-трет-бутилбензохинона-1,2 (5,5 г) и ацетилацетона (5,2 г) в 50 мл тетрагидрофурана. Реакционную смесь кипятят с обратным холодильником в течение 7 часов. Выпавшие голубые кристаллы ацетилацетоната меди (II) отфильтровывают, промывают тетрагидрофураном, высушивают. Образующийся продукт 3,5-ди-трет-бутилпирокатехин остается в растворе. Количество растворившейся меди 1,5 г.For this, a defatted copper plate (2.0 g) is placed in a solution of 3,5-di-tert-butylbenzoquinone-1,2 (5.5 g) and acetylacetone (5.2 g) in 50 ml of tetrahydrofuran. The reaction mixture was refluxed for 7 hours. The precipitated blue crystals of copper (II) acetylacetonate are filtered off, washed with tetrahydrofuran, and dried. The resulting product 3,5-di-tert-butylpyrocatechol remains in solution. The amount of dissolved copper 1.5 g.

Выход комплекса ацетилацетоната меди (II) - 6,3 г (96%). Полученный продукт соответствует CAS-Nr. 13395-16-91, Тпл=245°C.The output of the complex of copper (II) acetylacetonate is 6.3 g (96%). The resulting product corresponds to CAS-Nr. 13395-16-91, T pl = 245 ° C.

Предлагаемый компонентный состав для травления меди можно охарактеризовать следующим образом. Тетрагидрофуран является растворителем (CAS-Nr. 109-99-9). Ацетилацетон является комплексоном, выпускаемым промышленностью (ЧДА, ГОСТ 10259-78). 3,5-ди-трет-бутилбензохинон-1,2 является комплексоном хелатного типа и синтезируют следующим образом.The proposed component composition for etching copper can be characterized as follows. Tetrahydrofuran is a solvent (CAS-Nr. 109-99-9). Acetylacetone is a complexone manufactured by the industry (ChDA, GOST 10259-78). 3,5-di-tert-butylbenzoquinone-1,2 is a chelate complexone and is synthesized as follows.

1. К раствору 22 г (0,2 моль) пирокатехина, суспензированному в 44 г (7 моль) трет-бутилового спирта, при перемешивании по каплям добавляли 30 мл концентрированной серной кислоты. Температура реакционной смеси не должна превышать 25°C. По окончании прибавления серной кислоты (4 ч) реакционную смесь промывали водой до нейтральной реакции; 3,5-ди-трет-бутилпирокатехин растворяли в гексане. Раствор сушили от воды безводным сульфатом натрия, растворитель удаляли. Полученный 3,5-ди-трет-бутилпирокатехин перекристаллизовывали из гексана. Выход 3,5-ди-трет-бутилпирокатехина составил 80% (35 г); бесцветные иглы; Тпл=109-110°C.1. To a solution of 22 g (0.2 mol) of catechol suspended in 44 g (7 mol) of tert-butyl alcohol, 30 ml of concentrated sulfuric acid was added dropwise with stirring. The temperature of the reaction mixture should not exceed 25 ° C. Upon completion of the addition of sulfuric acid (4 hours), the reaction mixture was washed with water until neutral; 3,5-di-tert-butylpyrocatechol was dissolved in hexane. The solution was dried from water with anhydrous sodium sulfate, the solvent was removed. The resulting 3,5-di-tert-butylpyrocatechol was recrystallized from hexane. The yield of 3,5-di-tert-butylpyrocatechol was 80% (35 g); colorless needles; Mp = 109-110 ° C.

2. В 40 мл серного эфира растворяли 22,2 г (0,1 моль) 3,5-ди-трет-бутилпирокатехина. Эфирный раствор при перемешивании добавляли к окислительной смеси (водный раствор 150 г красной кровяной соли и 15 г едкого натра). Через 2 ч эфир удаляли из реакционной смеси барботированием воздуха. Выделившийся о-хинон отфильтровывали; промывали водой до нейтральной реакции; растворяли в гексане; гексан удаляли. Полученные кристаллы о-хинона перекристаллизовывали из гексана. Выход 3,5-ди-трет-бутилбензохинона-1,2 составил 70% (15 г); Тпл=113°C.2. 22.2 g (0.1 mol) of 3,5-di-tert-butylpyrocatechol was dissolved in 40 ml of sulfuric ether. The ether solution was added to the oxidation mixture with stirring (an aqueous solution of 150 g of red blood salt and 15 g of sodium hydroxide). After 2 hours, ether was removed from the reaction mixture by bubbling air. The secreted o-quinone was filtered; washed with water until neutral; dissolved in hexane; hexane was removed. The obtained crystals of o-quinone were recrystallized from hexane. The yield of 3,5-di-tert-butylbenzoquinone-1,2 was 70% (15 g); Mp = 113 ° C.

ЛитератураLiterature

[1] Каламбетова Л.С., Старкова Н.Н. // Вестник Астраханского технического университета. 2007. №6. С.28-30.[1] Kalambetova L.S., Starkova N.N. // Bulletin of the Astrakhan Technical University. 2007. No. 6. S.28-30.

[2] Абакумов Г.А., Черкасов В.К., Лобанов А.В., Разуваев Г.А. // Изв. АН СССР. Сер. хим. 1984. №7. С.1610-1618.[2] Abakumov G.A., Cherkasov V.K., Lobanov A.V., Razuvaev G.A. // Izv. USSR Academy of Sciences. Ser. Chem. 1984. No. 7. S.1610-1618.

Claims (1)

Состав для травления меди, содержащий комплексон ацетилацетон в органическом растворителе, отличающийся тем, что он дополнительно содержит комплексон 3,5-ди-трет-бутилбензохинон-1,2 в молярном соотношении 1:2 по отношению к ацетилацетону, при этом в качестве органического растворителя состав содержит тетрагидрофуран. Composition for copper etching containing complexone acetylacetone in an organic solvent, characterized in that it further comprises complexon 3,5-di-tert-butylbenzoquinone-1,2 in a molar ratio of 1: 2 with respect to acetylacetone, while as an organic solvent the composition contains tetrahydrofuran.
RU2010142325/02A 2010-10-15 2010-10-15 Copper etching composition RU2444580C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2010142325/02A RU2444580C1 (en) 2010-10-15 2010-10-15 Copper etching composition

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2010142325/02A RU2444580C1 (en) 2010-10-15 2010-10-15 Copper etching composition

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2444580C1 true RU2444580C1 (en) 2012-03-10

Family

ID=46029077

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2010142325/02A RU2444580C1 (en) 2010-10-15 2010-10-15 Copper etching composition

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2444580C1 (en)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU522282A1 (en) * 1975-02-17 1976-07-25 Горьковский Политехнический Институт Имени А.А.Жданова Chemical etching solution
SU605822A2 (en) * 1976-10-18 1978-04-05 Горьковский политехнический институт им.А.А.Жданова Solution for chemical etching of metals
EP0701274A1 (en) * 1994-08-11 1996-03-13 Nippon Sanso Corporation Dry method for cleaning semiconductor substrate

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU522282A1 (en) * 1975-02-17 1976-07-25 Горьковский Политехнический Институт Имени А.А.Жданова Chemical etching solution
SU605822A2 (en) * 1976-10-18 1978-04-05 Горьковский политехнический институт им.А.А.Жданова Solution for chemical etching of metals
EP0701274A1 (en) * 1994-08-11 1996-03-13 Nippon Sanso Corporation Dry method for cleaning semiconductor substrate

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
ABAKUMOV G.A. et. al. The synthesis and properties of o-semiquinolate copper complexes. Inorganica Chimica Acta, v.49, Issue C, 1981, p.135-138. КАЛАМБЕТОВА Л.С. и др. Окислительное растворение компактной меди в системах, содержащих ацетофеноноксим. Прямой метод синтеза ацетилацетоната меди. Вестник Астраханского государственного технического университета, 2007, №6, с.28-30. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2020180134A (en) Novel production method of chromanone derivative
RU2510393C9 (en) Method of producing phenyl-substituted heterocyclic derivative through coupling using transition metal as catalyst
KR20130121820A (en) Process for preparing 2-hydroxybutyrolactone
RU2444580C1 (en) Copper etching composition
KR100788529B1 (en) 3-1-Hydroxy-Pentylidene-5-Nitro-3H-Benzofuran-2-One, a Process for the Preparation thereof and the Use thereof
US20090023945A1 (en) Synthesis of half esters
JP2015537051A (en) Process for the preparation of 4-haloalkyl-3-mercapto-substituted 2-hydroxybenzoic acid derivatives
CN116390911A (en) Process for the preparation of 5- (1-cyanocyclopropyl) -pyridine-2-carboxylic acids, esters, amides and nitriles
CN103980135B (en) A kind of preparation method of 4-amino-2-fluorobenzoic acid
CN104507948A (en) Method for producing nitrogenated heterocyclic N-oxide compound
EP3368510B1 (en) Method for the preparation of 2-alkyl-4-trifluormethyl-3-alkylsulfonyl benzoic acids
Bahrami et al. Sodium azide as a catalyst for the hydration of nitriles to primary amides in water
KR20130140077A (en) Method for producing sanshool
CN112645948B (en) Synthesis method of polycyclic compound containing indoline structure
JPS63166852A (en) N-substituted acrylamide containing ester group
KR102500243B1 (en) Synthetic method of 5-(C1~C4 alkyl) tetrazole
RU2313526C1 (en) Method for preparing 2,3-dialkyl-7,8-benzo-1,6-naphthyridines
JP2013221025A (en) Method of manufacturing biphenyl acetamide derivative and intermediate of the same
EP3134383A1 (en) Method for producing biphenylamines from anilides by ruthenium catalysis
RU2326114C1 (en) Method obtaining 1-substituted 3,3,4,4-tetramethyl-3,4-dihydroisohalines
JPWO2004069780A1 (en) Process for producing branched adipic acid
TW201542514A (en) Method for producing cyclobutanetetracarboxylic acid and anhydride thereof
JP3720860B2 (en) Novel aminopolycarboxylic acid derivative and process for producing the same
JPH0128013B2 (en)
CN112119063A (en) Method for producing 3-difluoromethylpyrazole compound, method for producing 3-difluoromethylpyrazole-4-carboxylic acid compound, and pyrazolidine compound

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20121016