RU2324015C1 - Process to manufacture porous anodic alumina - Google Patents
Process to manufacture porous anodic alumina Download PDFInfo
- Publication number
- RU2324015C1 RU2324015C1 RU2006144617/02A RU2006144617A RU2324015C1 RU 2324015 C1 RU2324015 C1 RU 2324015C1 RU 2006144617/02 A RU2006144617/02 A RU 2006144617/02A RU 2006144617 A RU2006144617 A RU 2006144617A RU 2324015 C1 RU2324015 C1 RU 2324015C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- aluminum
- anodic
- alumina
- porous
- oxide
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области нанотехнологии и наноэлектроники, а конкретно к получению пористых наноматериалов.The invention relates to the field of nanotechnology and nanoelectronics, and specifically to the production of porous nanomaterials.
Известен способ получения пористого оксида алюминия путем анодного окисления алюминия [1]. В этом способе применяется метод наноимпринтинга. Способ включает создание на поверхности алюминия отпечатка с использованием литографически изготовленной матрицы, представляющей собой массив наноразмерных элементов, и последующее двойное анодирование алюминия. Продемонстрирована возможность создания идеально упорядоченных массивов с периодом 100, 150 и 200 нм. Недостатком способа является то, что для достижения высокой степени упорядоченности структуры используется прецизионная сложная технология.A known method of producing porous alumina by anodic oxidation of aluminum [1]. This method employs a nanoimprinting method. The method includes creating an imprint on the surface of aluminum using a lithographically fabricated matrix, which is an array of nanoscale elements, and subsequent double anodizing of aluminum. The possibility of creating perfectly ordered arrays with a period of 100, 150 and 200 nm is demonstrated. The disadvantage of this method is that to achieve a high degree of orderliness of the structure used precision sophisticated technology.
Известен способ получения пористого оксида алюминия путем анодного окисления алюминия [2]. В этом способе используют метод создания искусственного нанорельефа на поверхности алюминия сканирующим зондовым микроскопом. При помощи зонда с определенным периодом в алюминии формируют массив наноразмерных ямок. Далее проводят анодное окисление алюминия. Продемонстрирована возможность создания с использованием этого способа упорядоченных слоев анодного оксида алюминия с периодом от 100 до 400 нм. Недостатком способа является то, что для достижения высокой степени упорядоченности структуры в нем также используется прецизионная сложная технология.A known method of producing porous alumina by anodic oxidation of aluminum [2]. This method uses the method of creating an artificial nanorelief on the surface of aluminum with a scanning probe microscope. Using a probe with a certain period, an array of nanoscale pits is formed in aluminum. Next, anodic oxidation of aluminum is carried out. The possibility of creating ordered layers of anodic alumina with a period from 100 to 400 nm was demonstrated using this method. The disadvantage of this method is that to achieve a high degree of orderliness of the structure, it also uses precision sophisticated technology.
Наиболее близким к предлагаемому техническому решению является способ получения пористого оксида алюминия путем анодного окисления алюминия [3]. В качестве исходного образца используют алюминиевую фольгу. Способ основан на методе двойного анодирования. Вначале предварительно выращивают слой «жертвенного» пористого оксида толщиной в несколько десятков микрометров. Показано, что по мере увеличения толщины растущего оксида случайное расположение пор преобразуется в упорядоченную структуру. После селективного удаления «жертвенного» слоя оксида поверхность алюминия наследует упорядоченный рельеф оксида алюминия. Последующее длительное анодирование алюминия приводит к формированию оксида с высокой степенью упорядоченности. Недостатком способа является то, что для достижения высокой степени упорядоченности структуры необходимо использовать толстые слои алюминия. Сформировать слой оксида с высокой степенью упорядоченности на тонких алюминиевых пленках, нанесенных на подложку, не представляется возможным.Closest to the proposed technical solution is a method for producing porous alumina by anodic oxidation of aluminum [3]. As the initial sample using aluminum foil. The method is based on the double anodization method. First, a layer of “sacrificial” porous oxide several tens of micrometers thick is preliminarily grown. It was shown that as the thickness of the growing oxide increases, a random arrangement of pores transforms into an ordered structure. After selective removal of the “sacrificial” oxide layer, the aluminum surface inherits the ordered relief of aluminum oxide. Subsequent long-term anodizing of aluminum leads to the formation of oxide with a high degree of ordering. The disadvantage of this method is that in order to achieve a high degree of structure ordering, it is necessary to use thick layers of aluminum. It is not possible to form an oxide layer with a high degree of ordering on thin aluminum films deposited on a substrate.
Задача - повышение степени упорядоченности наноразмерной структуры пористого оксида алюминия.The task is to increase the degree of ordering of the nanoscale structure of porous alumina.
Сущность изобретения заключается в следующем.The invention consists in the following.
Способ получения пористого анодного оксида алюминия включает формирование анодным окислением алюминиевого образца «жертвенного» слоя пористого анодного оксида, селективное по отношению алюминию удаление «жертвенного» слоя анодного оксида, формирование анодным окислением алюминия основного слоя пористого анодного оксида алюминия. Формирование «жертвенного» и основного слоев пористого анодного оксида алюминия проводят в потенциостатическом режиме (в режиме стабилизации напряжения). При этом в процессе анодного окисления при формировании «жертвенного» и основного слоев пористого анодного оксида алюминия непрерывно по линейному закону проводят изменение температуры зоны реакции в соответствии с имеющим место изменением в ходе анодного окисления плотности электрического тока. В качестве алюминиевого образца может быть использована алюминиевая фольга или нанесенная на подложку тонкая алюминиевая пленка. В качестве материала подложки может быть использован кремний.A method for producing porous anodic alumina involves the formation of a “sacrificial” layer of a porous anodic oxide by anodic oxidation of an aluminum sample, selective removal of a “sacrificial” layer of anodic oxide with respect to aluminum, and the formation of a basic layer of porous anodic alumina by anodic oxidation of aluminum. The formation of the "sacrificial" and the main layers of the porous anodic alumina is carried out in a potentiostatic mode (voltage stabilization mode). Moreover, in the process of anodic oxidation during the formation of the “sacrificial” and the main layers of the porous anodic alumina, the temperature of the reaction zone is continuously linearly changed according to the change in the electric current density during anodic oxidation. As an aluminum sample, aluminum foil or a thin aluminum film deposited on a substrate can be used. As the substrate material, silicon can be used.
На фиг.1 приведены зависимости напряжения (а) и плотности тока (б) от времени анодирования алюминия в электролите на основе щавелевой кислоты, при j=10 мА/см2 и U=40 В, соответственно.Figure 1 shows the dependences of the voltage (a) and current density (b) on the time of anodizing aluminum in an oxalic acid-based electrolyte, at j = 10 mA / cm 2 and U = 40 V, respectively.
На фиг.2. приведены зависимости напряжения (а) и плотности тока (б) от времени анодирования алюминия в электролите на основе щавелевой кислоты, при j=10 мА/см2 и U=40 В, соответственно, при Т=5°С (1), 16°С (2), 22°С (3).In figure 2. the dependences of the voltage (a) and current density (b) on the time of anodizing aluminum in an oxalic acid-based electrolyte are given for j = 10 mA / cm 2 and U = 40 V, respectively, at T = 5 ° C (1), 16 ° C (2), 22 ° C (3).
На фиг.3 показаны режимы изменения температуры в зоне реакции, обеспечивающие минимальное изменение геометрических параметров оксида, где (1) - электролит на основе ортофосфорной, (2) - щавелевой и (3) - серной кислот.Figure 3 shows the regimes of temperature change in the reaction zone, ensuring a minimum change in the geometric parameters of the oxide, where (1) is an orthophosphoric electrolyte, (2) oxalic and (3) sulfuric acid.
На фиг.4. изображены зависимости степени упорядоченности (а) пористого оксида алюминия от времени формирования в электролите на основе щавелевой кислоты в потенциостатическом режиме (•), при термостабилизации
Пористый оксид алюминия можно представить в виде плотноупакованных гексагональных ячеек, каждая из которых содержит в центре пору. Механизм образования пористой структуры оксида таков, что пора всегда отделена от нижележащего слоя алюминия барьерной оксидной пленкой.Porous alumina can be represented as close-packed hexagonal cells, each of which contains a pore in the center. The mechanism of formation of the porous structure of the oxide is such that the pore is always separated from the underlying layer of aluminum by a barrier oxide film.
Строение пористого оксида алюминия можно охарактеризовать следующими геометрическими параметрами:The structure of porous alumina can be characterized by the following geometric parameters:
- размер оксидной ячейки (период пористой структуры), который представляет собой диаметр окружности, вписанной в шестиугольную проекцию ячейки;- the size of the oxide cell (period of the porous structure), which is the diameter of the circle inscribed in the hexagonal projection of the cell;
- диаметр поры;- pore diameter;
- толщина барьерного слоя;- thickness of the barrier layer;
- толщина пористого слоя.- the thickness of the porous layer.
На геометрические параметры оксида наибольшее влияние оказывают состав электролита и электрические режимы формирования. На основании многочисленных экспериментальных результатов установлено, что между геометрическими размерами оксида и напряжением его формирования существует линейная зависимость [4]:The geometrical parameters of the oxide are most affected by the composition of the electrolyte and the electrical modes of formation. Based on numerous experimental results, it was found that there is a linear relationship between the geometric dimensions of the oxide and the voltage of its formation [4]:
где DC - размер оксидной ячейки (нм), UA - анодное напряжение (В).where D C is the size of the oxide cell (nm), U A is the anode voltage (V).
Диаметр пор зависит от режимов анодирования более сложным образом. Известна эмпирическая зависимость для диаметра поры [5]The pore diameter depends on the anodization regimes in a more complex way. Known empirical dependence for pore diameter [5]
где n - число пор на см2, Dp - диаметр поры (нм), j - плотность тока (мА/см2), Т - температура электролита (К).where n is the number of pores per cm 2 , D p is the pore diameter (nm), j is the current density (mA / cm 2 ), T is the electrolyte temperature (K).
Число пор на единице площади зависит от плотности тока анодирования:The number of pores per unit area depends on the density of the anodizing current:
где n0 составляет 5,79×109, 112×109 и 176×109 см-2, и α составляет 0,68, 0,72 и 0,335 для электролитов на основе ортофосфорной, щавелевой и серной кислот соответственно.where n 0 is 5.79 × 10 9 , 112 × 10 9 and 176 × 10 9 cm -2 , and α is 0.68, 0.72 and 0.335 for electrolytes based on phosphoric, oxalic and sulfuric acids, respectively.
Было проведено детальное исследование кинетики процесса анодного окисления алюминия. В качестве исходных были выбраны толстые алюминиевые подложки с полированной поверхностью. Анодирование проводили в электролитах на основе серной, щавелевой или ортофосфорной кислот в гальваностатическом или потенциостатическом режимах. Исследование кинетики анодирования алюминия проводили с использованием разработанной методики анализа электрохимического процесса формирования пористых оксидных пленок, основанной на непрерывном во времени контроле электрофизических характеристик процесса и температуры. Из данных исследования было выявлено, что на протяжении всего процесса анодирования всегда наблюдается непрерывное изменение напряжения и плотности тока с ростом температуры в зоне реакции, что обусловлено увеличением химической активности электролита с повышением его температуры и, как следствие, растворением во время анодирования стенок матрицы оксида алюминия (см. фиг.1). Для предотвращения этого явления был предложен метод термической стабилизации зоны электрохимической реакции процесса. Однако на основании исследования процесса анодирования в условиях термостабилизации было выявлено, что и в данном случае также наблюдается изменение напряжения и плотности тока (см. фиг.2), связанное с непрерывным увеличением толщины диэлектрического слоя оксида алюминия и отсутствием процесса растворения его стенок.A detailed study of the kinetics of the process of anodic oxidation of aluminum was carried out. Thick aluminum substrates with a polished surface were chosen as the initial ones. Anodizing was carried out in electrolytes based on sulfuric, oxalic or phosphoric acid in galvanostatic or potentiostatic modes. The kinetics of aluminum anodizing was studied using the developed methodology for analyzing the electrochemical process of formation of porous oxide films based on continuous monitoring of the electrophysical characteristics of the process and temperature over time. From the research data it was found that throughout the entire process of anodizing, there is always a continuous change in voltage and current density with increasing temperature in the reaction zone, which is due to an increase in the chemical activity of the electrolyte with an increase in its temperature and, as a result, dissolution during the anodizing of the walls of the alumina matrix (see figure 1). To prevent this phenomenon, a method of thermal stabilization of the zone of the electrochemical reaction of the process was proposed. However, based on the study of the anodization process under conditions of thermal stabilization, it was revealed that in this case, too, there is a change in voltage and current density (see Fig. 2), associated with a continuous increase in the thickness of the dielectric layer of aluminum oxide and the absence of the process of dissolution of its walls.
В обоих случаях наблюдаемые изменения параметров процесса анодирования приводят к непрерывному изменению периода структуры и размеров пор оксида алюминия, что вызывает разупорядочивание его структуры.In both cases, the observed changes in the parameters of the anodizing process lead to a continuous change in the period of the structure and pore sizes of aluminum oxide, which causes disordering of its structure.
Для решения задачи минимизации изменения в процессе анодирования геометрических характеристик структуры пористого анодного оксида алюминия нами предложен способ формирования анодного оксида алюминия в потенциостатическом режиме, воспроизводящий динамическое изменение температуры в зоне реакции с изменением плотности тока. В основу этого положены следующие предпосылки.To solve the problem of minimizing the changes in the process of anodizing the geometric characteristics of the structure of the porous anodic alumina, we proposed a method for the formation of anodic alumina in the potentiostatic mode, reproducing a dynamic change in temperature in the reaction zone with a change in current density. This is based on the following prerequisites.
Как было отмечено выше, изменение технологических параметров формирования пористого оксида алюминия, и как следствие, изменение периода структуры вызывает его разупорядочивание. Из формулы (1) следует, что диаметр оксидной ячейки линейно зависит от напряжения формирования пористого оксида алюминия. Поэтому для формирования упорядоченного пористого оксида целесообразно использовать потенциостатический режим, что предотвратит изменение периода структуры с течением времени анодного окисления. Однако, степень упорядоченности структуры пористого оксида зависит также от массопереноса продуктов реакции к зоне анодного окисления, который в свою очередь зависит от диаметра поры. Как видно из формулы (2), диаметр поры зависит от плотности тока и температуры. Можно предположить, что наиболее эффективное упорядочивание оксида будет происходить при фиксированном во времени размере пор. Это условие можно представить в виде:As noted above, a change in the technological parameters of the formation of porous alumina, and as a result, a change in the period of the structure causes its disordering. From formula (1) it follows that the diameter of the oxide cell linearly depends on the voltage of formation of porous alumina. Therefore, it is advisable to use the potentiostatic mode to form an ordered porous oxide, which will prevent a change in the period of the structure over time of anodic oxidation. However, the degree of ordering of the structure of the porous oxide also depends on the mass transfer of the reaction products to the anodic oxidation zone, which in turn depends on the diameter of the pore. As can be seen from formula (2), the pore diameter depends on the current density and temperature. It can be assumed that the most efficient oxide ordering will occur at a pore size fixed in time. This condition can be represented as:
где a, b, с, β и γ - эмпирические коэффициенты. Исходя из выражений (1)-(3), их значения могут быть определены для каждого электролита. Зависимости температуры зоны реакции и плотности тока неизвестны, но как было выявлено (фиг.1), начиная с некоторого момента времени, можно считать их линейными и определить из эмпирически полученных зависимостей.where a, b, c, β, and γ are empirical coefficients. Based on the expressions (1) - (3), their values can be determined for each electrolyte. The dependences of the temperature of the reaction zone and current density are unknown, but as was revealed (Fig. 1), starting from a certain point in time, they can be considered linear and determined from empirically obtained dependencies.
Как следует из выражения (4), имеет место линейная зависимость температуры зоны реакции от плотности электрического тока в электрохимической ячейке. Таким образом, можно предположить, что, сохраняя оптимальное соотношение между Т и j, можно обеспечить минимальное изменение диаметра поры при постоянном периоде структуры оксида, тем самым создать условия для выращивания анодного оксида с повышенной степенью упорядоченности структуры.As follows from expression (4), there is a linear dependence of the temperature of the reaction zone on the density of the electric current in the electrochemical cell. Thus, it can be assumed that, while maintaining the optimal ratio between T and j, it is possible to ensure a minimum change in the pore diameter with a constant period of the oxide structure, thereby creating conditions for growing anodic oxide with an increased degree of structure ordering.
Режимы, обеспечивающие минимальное изменение геометрических параметров оксида алюминия, могут быть представлены в виде расчетных зависимостей необходимого изменения температуры с изменением плотности анодного тока процесса анодирования алюминия (см. фиг.3). Оптимальное соотношение температуры и плотности тока описывается линейным законом с коэффициентом - 1,15 град·см2/мА, для электролита на основе ортофосфорной, - 0,7 град·см2/мА, для электролита на основе щавелевой и - 0,35 град·см2/мА для электролита на основе серной кислот.Modes that ensure a minimum change in the geometric parameters of aluminum oxide can be represented in the form of calculated dependences of the necessary temperature changes with a change in the density of the anode current of the anodizing process of aluminum (see figure 3). The optimal ratio of temperature and current density is described by a linear law with a coefficient of 1.15 deg · cm 2 / mA, for an orthophosphoric electrolyte, 0.7 deg · cm 2 / mA, for an electrolyte based on oxal and 0.35 deg · Cm 2 / mA for an electrolyte based on sulfuric acid.
Для проверки правильности сделанных выше выводов был проведен сравнительный анализ структуры анодного оксида алюминия, полученного в различных режимах. Степень упорядочивания структуры пористого анодного оксида алюминия оценивали следующим образом. Характерным признаком упорядоченности структуры является гексагональное расположение ячеек друг относительно друга. Упорядоченное расположение ячеек может нарушаться из-за наличия точечных дефектов и границ зерен в алюминиевой подложке, а также из-за нестабильности режимов анодного окисления. Наиболее часто образуются «дефектные» ячейки, окруженные пятью или семью соседними ячейками. Поэтому для количественной оценки степени упорядоченности было предложено использовать коэффициент упорядоченности, представляющий собой отношение количества ячеек, гексагонально расположенных друг относительно друга к общему количеству ячеек на определенной площади поверхности оксида алюминия.To verify the correctness of the conclusions made above, a comparative analysis of the structure of anodic alumina obtained in various modes was performed. The degree of ordering of the structure of the porous anodic alumina was evaluated as follows. A characteristic sign of the ordering of the structure is the hexagonal arrangement of cells relative to each other. The ordered arrangement of cells may be disturbed due to the presence of point defects and grain boundaries in the aluminum substrate, as well as due to the instability of the anodic oxidation regimes. Most often, “defective” cells are formed, surrounded by five or seven neighboring cells. Therefore, to quantify the degree of ordering, it was proposed to use the ordering coefficient, which is the ratio of the number of cells hexagonally spaced relative to each other to the total number of cells on a certain surface area of alumina.
Выявлено, что степень упорядоченности структуры оксида алюминия возрастает с течением времени процесса анодного окисления, что согласуется с известными результатами [3]. Наибольшая степень упорядоченности была достигнута для структур, при создании которых использовали режим анодирования с динамически изменяющейся с течением времени температурой в зоне электрохимической реакции, разработанный в соответствии с предложенной методикой (см. фиг.4).It was found that the degree of ordering of the structure of alumina increases with time of the anodic oxidation process, which is consistent with the known results [3]. The highest degree of ordering was achieved for structures, the creation of which used the anodization mode with the temperature dynamically changing over time in the zone of the electrochemical reaction, developed in accordance with the proposed methodology (see figure 4).
В качестве алюминиевого образца может быть использована алюминиевая фольга или нанесенная на подложку тонкая алюминиевая пленка. Во втором случае структура обладает повышенной механической прочностью и может быть интегрирована в процесс создания изделий микро- и наноэлектроники микросистемной техники. В качестве материала подложки может быть использован кремний. Выбор кремния в качестве подложки обусловлен тем, что алюминий имеет хорошую адгезию к кремнию.As an aluminum sample, aluminum foil or a thin aluminum film deposited on a substrate can be used. In the second case, the structure has increased mechanical strength and can be integrated into the process of creating products of micro- and nanoelectronics microsystem technology. As the substrate material, silicon can be used. The choice of silicon as a substrate is due to the fact that aluminum has good adhesion to silicon.
Пример исполненияExecution example
Способ получения пористого анодного оксида алюминия, включающий анодное окисление алюминиевой пленки толщиной 2 мкм, нанесенной на кремниевую подложку. Анодное окисление образцов проводят в два этапа в электролите на основе щавелевой кислоты. Анодное окисление проводят в потенциостатическом режиме при напряжении 120 В. Первую стадию проводят в при напряжении 120 В в течение десяти минут. При этом формируют «жертвенный» слой пористого анодного оксида алюминия. «Жертвенный» слой анодного оксида селективно по отношению к алюминию удаляют в смеси Н3PO4 и CrO3. Второе анодирование проводят при тех же условиях. При этом формируют основной слой пористого анодного оксида алюминия. В обоих случаях анодное окисление проводят в динамическом режиме, заключающемся в изменении по линейному закону температуры зоны реакции (с коэффициентом - 7 град·см2/мА) с изменением в ходе анодного окисления плотности электрического тока.A method of obtaining a porous anodic alumina, comprising anodic oxidation of an aluminum film of a thickness of 2 μm deposited on a silicon substrate. Anodic oxidation of the samples is carried out in two stages in an oxalic acid based electrolyte. Anodic oxidation is carried out in a potentiostatic mode at a voltage of 120 V. The first stage is carried out at at a voltage of 120 V for ten minutes. In this case, a “sacrificial” layer of porous anodic alumina is formed. The “sacrificial” layer of anode oxide is selectively removed with respect to aluminum in a mixture of H 3 PO 4 and CrO 3 . The second anodization is carried out under the same conditions. In this case, the main layer of the porous anodic alumina is formed. In both cases, the anodic oxidation is carried out in a dynamic mode, which consists in a linear change in the temperature of the reaction zone (with a coefficient of 7 deg · cm 2 / mA) with a change in the electric current density during anodic oxidation.
Источники информацииInformation sources
1. Патент Японии JP 2002285382, C25D 11/04, 2002.1. Japan patent JP 2002285382, C25D 11/04, 2002.
2. Hideki Masuda, Kenji Kanezawa, and Kazuyuki Nishio Fabrication of Ideally Ordered Nanohole Arrays in Anodic Porous Alumina Based on Nanoindentation Using Scanning Probe Microscope Chem. Lett. 2002, p. 1218-1219.2. Hideki Masuda, Kenji Kanezawa, and Kazuyuki Nishio Fabrication of Ideally Ordered Nanohole Arrays in Anodic Porous Alumina Based on Nanoindentation Using Scanning Probe Microscope Chem. Lett. 2002, p. 1218-1219.
3. Патент Китая CN1614102, C25D 11/04, 2005 - прототип.3. Chinese patent CN1614102, C25D 11/04, 2005 - prototype.
4. Li A., Muller F., Bimer A., Nielsch K., Gosele U.J. Appl. Phys. 1998. V.84. №11. P.6023.4. Li A., Muller F., Bimer A., Nielsch K., Gosele U.J. Appl. Phys. 1998. V.84. No. 11. P.6023.
5. Patermarakis G., Moussoutzanis К. Corrosion Science, 2002. V.44. P.1737.5. Patermarakis G., Moussoutzanis K. Corrosion Science, 2002. V.44. P.1737.
Claims (3)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2006144617/02A RU2324015C1 (en) | 2006-12-15 | 2006-12-15 | Process to manufacture porous anodic alumina |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2006144617/02A RU2324015C1 (en) | 2006-12-15 | 2006-12-15 | Process to manufacture porous anodic alumina |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2324015C1 true RU2324015C1 (en) | 2008-05-10 |
Family
ID=39799965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2006144617/02A RU2324015C1 (en) | 2006-12-15 | 2006-12-15 | Process to manufacture porous anodic alumina |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2324015C1 (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2489768C1 (en) * | 2012-01-16 | 2013-08-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук | Method of producing porous layer of aluminium oxide on insulating substrate |
| RU2495963C1 (en) * | 2012-09-25 | 2013-10-20 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МИЭТ" (МИЭТ) | Method of producing porous anodic titanium oxide |
| RU2515123C1 (en) * | 2010-05-19 | 2014-05-10 | Шарп Кабусики Кайся | Method of mould control |
| RU2645237C1 (en) * | 2017-01-09 | 2018-02-19 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования Северо-Кавказский горно-металлургический институт (государственный технологический университет) (СКГМИ (ГТУ) | Method for producing nanoscale porous anode aluminium oxide |
-
2006
- 2006-12-15 RU RU2006144617/02A patent/RU2324015C1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2515123C1 (en) * | 2010-05-19 | 2014-05-10 | Шарп Кабусики Кайся | Method of mould control |
| RU2489768C1 (en) * | 2012-01-16 | 2013-08-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук | Method of producing porous layer of aluminium oxide on insulating substrate |
| RU2495963C1 (en) * | 2012-09-25 | 2013-10-20 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МИЭТ" (МИЭТ) | Method of producing porous anodic titanium oxide |
| RU2645237C1 (en) * | 2017-01-09 | 2018-02-19 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования Северо-Кавказский горно-металлургический институт (государственный технологический университет) (СКГМИ (ГТУ) | Method for producing nanoscale porous anode aluminium oxide |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Sulka et al. | Anodising potential influence on well-ordered nanostructures formed by anodisation of aluminium in sulphuric acid | |
| Chen et al. | Porous anodic alumina with continuously manipulated pore/cell size | |
| Stępniowski et al. | Synthesis of anodic aluminum oxide (AAO) at relatively high temperatures. Study of the influence of anodization conditions on the alumina structural features | |
| US7319069B2 (en) | Structure having pores, device using the same, and manufacturing methods therefor | |
| Han et al. | In situ determination of the pore opening point during wet-chemical etching of the barrier layer of porous anodic aluminum oxide: nonuniform impurity distribution in anodic oxide | |
| JP4368883B2 (en) | Manufacturing method of multi-scale cantilever structure having nano-sized fine hole | |
| Cui et al. | A facile and efficient approach for pore-opening detection of anodic aluminum oxide membranes | |
| Zaraska et al. | The effect of electrolyte change on the morphology and degree of nanopore order of porous alumina formed by two-step anodization | |
| Bocchetta et al. | Microporous alumina membranes electrochemically grown | |
| RU2324015C1 (en) | Process to manufacture porous anodic alumina | |
| Rheima et al. | Aluminum oxide nano porous: Synthesis, properties, and applications | |
| Takhistov | Electrochemical synthesis and impedance characterization of nano-patterned biosensor substrate | |
| Li et al. | Self-organization process of aluminum oxide during hard anodization | |
| JP3729449B2 (en) | Structure and device having pores | |
| Kushwaha | A comparative Study of Different Electrolytes for Obtaining Thick and Well-ordered nano-porous Anodic Aluminium Oxide (AAO) Films. | |
| JP5344850B2 (en) | Anodized porous alumina and method for producing the same | |
| Li et al. | Self-assembly of periodic serrated nanostructures | |
| Nazarkina et al. | Features of porous anodic alumina growth in galvanostatic regime in selenic acid based electrolyte | |
| JP2004285404A (en) | Anodically oxidized porous alumina and manufacturing method therefor | |
| Gong et al. | Tailoring morphology in free-standing anodic aluminium oxide: Control of barrier layer opening down to the sub-10 nm diameter | |
| JP2003342791A (en) | Structure having hole and method for producing the same | |
| Zaraska et al. | Effect of Al polishing conditions on the growth and morphology of porous anodic alumina films | |
| JP5642362B2 (en) | Anodized porous alumina and method for producing the same | |
| Bwana | Synthesis of highly ordered nanopores on alumina by two-step anodization process | |
| JP2009299188A5 (en) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20141216 |