[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

RU2365950C1 - Device for precision rotation of optical elements - Google Patents

Device for precision rotation of optical elements Download PDF

Info

Publication number
RU2365950C1
RU2365950C1 RU2008100334/28A RU2008100334A RU2365950C1 RU 2365950 C1 RU2365950 C1 RU 2365950C1 RU 2008100334/28 A RU2008100334/28 A RU 2008100334/28A RU 2008100334 A RU2008100334 A RU 2008100334A RU 2365950 C1 RU2365950 C1 RU 2365950C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
axis
elements
platform
holes
ball
Prior art date
Application number
RU2008100334/28A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Алексей Владимирович Кирсанов (RU)
Алексей Владимирович Кирсанов
Original Assignee
Институт прикладной физики РАН (статус государственного учреждения)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт прикладной физики РАН (статус государственного учреждения) filed Critical Институт прикладной физики РАН (статус государственного учреждения)
Priority to RU2008100334/28A priority Critical patent/RU2365950C1/en
Priority to PCT/RU2008/000815 priority patent/WO2009091293A1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2365950C1 publication Critical patent/RU2365950C1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/003—Alignment of optical elements
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C25/00—Bearings for exclusively rotary movement adjustable for wear or play
    • F16C25/06—Ball or roller bearings

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Rolling Contact Bearings (AREA)

Abstract

FIELD: physics.
SUBSTANCE: invention concerns area of optical instrument making and is intended for alignment of optical elements in optical systems where it is important to turn optical elements precisely with the minimum deflexion of their axis of rotation. The invention is directed on increase of optical element rotation accuracy. This technical result is provided because the device of precision rotation of optical elements has the basic rings with preload setting located between the underplate and the platform, forming surfaces of the contact electrode for the rolling elements in the basic assembly. According to the invention, position of the basic rings is corrected at the expense of additional adjustment that allows achieving moving of the rolling elements in one plane.
EFFECT: use of such adjustment allows reducing angular deflexion of a platform rotation axis and, accordingly, an axis of the optical element located on it to size less than 2 seconds of angle.
8 cl, 6 dwg

Description

Изобретение относится к оптико-механическому приборостроению, а именно к регулирующим приспособлениям для оптических элементов, специально предназначенным для юстировки оптических элементов во время сборки оптических систем, в частности таких систем, где важно прецизионно вращать оптические элементы с минимальными отклонениями оси вращения, например для юстировки дифракционных решеток в системах компрессоров чирпированных оптических импульсов.The invention relates to optical-mechanical instrumentation, and in particular to adjusting devices for optical elements, specially designed for aligning optical elements during the assembly of optical systems, in particular those systems where it is important to precisely rotate optical elements with minimal deviations of the axis of rotation, for example, for adjusting diffraction gratings in chirped optical pulse compressor systems.

Известно, что для вращения оптических элементов (ОЭ) в процессе настройки приборов или оптических систем применяют различные механизмы, в том числе подшипники скольжения или качения различных видов (Справочник конструктора оптико-механических приборов, под редакцией М.Я.Кругера, В.А.Панова. Л.: Машиностроение, 1968 г., стр.491-510). При этом для прецизионных настроек ОЭ предпочтительны подшипники качения с насыпными шариками или с шариками, разделенными сепараторами, имеющие на порядки меньший коэффициент трения (kтр=0,001-0,002) и, соответственно, меньший минимальный ход подшипника, чем подшипники скольжения (kтр=0,05-0,4).It is known that for the rotation of optical elements (OE) in the process of tuning devices or optical systems, various mechanisms are used, including sliding or rolling bearings of various kinds (Handbook of the designer of optical-mechanical devices, edited by M.Ya. Kruger, V.A. Panova, Leningrad: Engineering, 1968, pp. 491-510). At the same time, for precision settings of OE, rolling bearings with bulk balls or with balls separated by cages are preferred, having orders of magnitude lower friction coefficient (k tr = 0.001-0.002) and, accordingly, a smaller minimum bearing stroke than sliding bearings (k tr = 0 , 05-0.4).

Известным устройством для вращения ОЭ является столик поляризационного микроскопа (см. рис.30 стр.508 там же). Устройство содержит основание, платформу для крепления поворачиваемых элементов и узел контакта элементов качения в виде однорядного насыпного шарикоподшипника. При этом узел контакта элементов качения представляет собой закрытый шариковый четырехточечный опорный узел (Детали и механизмы приборов, справочник. Б.М.Уваров, В.А.Бойко, В.Б.Подаревский, Л.И.Власенко. Киев, 1987, см. таблицу 5.4 на стр.146), состоящий из трех опорных колец (ОК), между которыми перемещаются элементы качения (шарики). Опорные кольца образуют четыре соосные конусные поверхности для контакта с шариками, расположенные под углом 90° по отношению друг к другу, при этом линии пересечения этих поверхностей в случае идеального изготовления ОК должны представлять собой окружности, лежащие в плоскостях, перпендикулярных оси вращения устройства. Но на практике из-за неточностей при изготовлении ОК линии пересечения поверхностей для контакта имеют отклонения от идеальных окружностей, лежащих в плоскости, и представляют собой трехмерные кривые. Вследствие этого при повороте платформы возникают угловые отклонения ее оси и, следовательно, оси закрепленного на платформе ОЭ от оси системы (устройства) в целом, что является основным недостатком такой конструкции. При этом невозможно скорректировать возникающие угловые отклонения в готовом устройстве.A known device for rotating MA is a polarizing microscope stage (see Fig. 30, p. 508 in the same place). The device comprises a base, a platform for fastening the rotatable elements and a contact unit of the rolling elements in the form of a single-row bulk ball bearing. In this case, the contact node of the rolling elements is a closed ball four-point support node (Details and mechanisms of devices, reference book. B. M. Uvarov, V. A. Boyko, V. B. Podarevsky, L. I. Vlasenko. Kiev, 1987, cm Table 5.4 on page 146), consisting of three support rings (OK), between which rolling elements (balls) move. The support rings form four coaxial conical surfaces for contact with the balls, located at an angle of 90 ° relative to each other, while the intersection lines of these surfaces in the case of perfect manufacturing of OK should be circles lying in planes perpendicular to the axis of rotation of the device. But in practice, due to inaccuracies in the manufacture of OK lines of intersection of surfaces for contact have deviations from ideal circles lying in the plane and are three-dimensional curves. As a result of this, when the platform rotates, angular deviations of its axis and, consequently, the axis of the OE fixed on the platform from the axis of the system (device) as a whole arise, which is the main disadvantage of this design. In this case, it is impossible to correct the resulting angular deviations in the finished device.

В ряде случаев для повышения угловой стабильности (уменьшения угловых отклонений оси платформы относительно оси системы в целом) в устройствах вращения оптических элементов используют двухрядные подшипники. К таким устройствам относится, например, модель M-038.DG1, выпускаемая фирмой «Physikinstrumente» (см. www.physikinstrumente). Величина угловых отклонений оси платформы составляет в этом случае не более 75 мкрад или 15,5 угловых секунд. Получение такой величины угловых отклонений достигается за счет усложнения конструкции, т.к. в этом случае необходимо изготовить два одинаковых четырехточечных опорных узла контакта, расположенных друг над другом и имеющих общее опорное кольцо. Это приводит к значительному удорожанию всего устройства в целом. Кроме того, в готовом устройстве нет возможности скорректировать (уменьшить) существующие угловые отклонения.In some cases, to increase the angular stability (reduce the angular deviations of the platform axis relative to the axis of the system as a whole), double-row bearings are used in devices for rotating optical elements. Such devices include, for example, model M-038.DG1, manufactured by the company Physikinstrumente (see www.physikinstrumente). The magnitude of the angular deviations of the axis of the platform in this case is not more than 75 mrad or 15.5 arc seconds. Obtaining such a value of angular deviations is achieved due to the complexity of the design, because in this case, it is necessary to make two identical four-point contact support nodes located one above the other and having a common support ring. This leads to a significant rise in price of the entire device as a whole. In addition, in the finished device there is no way to correct (reduce) the existing angular deviations.

Коммерческий интерес представляет реализованное на практике устройство для точного вращения оптических элементов, например тип 7R170-200 известной фирмы «Standa» (сайт www.standa.lt, каталог 2007 года), наиболее близкое по технической сущности заявляемому устройству. Изделие-прототип содержит основание, платформу для закрепления на ней ОЭ, опорный подшипник в виде трех соединенных с основанием и платформой опорных колец (ОК), образующих четырехточечный опорный узел контакта элементов качения, и регулирующие элементы для предварительного натяга всего устройства в целом. Движение в данном устройстве обеспечивается путем вращения микрометра, неподвижная часть которого зафиксирована в держателе, расположенном на основании, а подвижная часть микрометра упирается в кронштейн, закрепленный на платформе. Данная конструкция является базовой для целого семейства устройств вращения, производимых фирмой «Standa», отличающихся габаритами и вариантами приводов.Of commercial interest is a practical device for the precise rotation of optical elements, for example, type 7R170-200 of the well-known company Standa (website www.standa.lt, catalog 2007), which is the closest in technical essence to the claimed device. The prototype product contains a base, a platform for securing the OE on it, a support bearing in the form of three support rings (OK) connected to the base and the platform, forming a four-point support contact node of the rolling elements, and control elements for preloading the entire device as a whole. The movement in this device is ensured by rotating the micrometer, the fixed part of which is fixed in the holder located on the base, and the moving part of the micrometer rests on the bracket mounted on the platform. This design is the basis for a whole family of rotation devices manufactured by Standa, which differ in dimensions and drive options.

Недостатком прототипа является наличие угловых отклонений оси вращения платформы при ее движении относительно оси устройства в целом, что обусловлено неточностями изготовления опорных колец ОК. Величина угловых отклонений в прототипе составляет 290 микрорадиан (60 угловых секунд) и не поддается коррекции с помощью упомянутого предварительного натяга устройства. Указанный недостаток в той или иной мере свойственен всем устройствам для вращения ОЭ.The disadvantage of the prototype is the presence of angular deviations of the axis of rotation of the platform when it moves relative to the axis of the device as a whole, due to inaccuracies in the manufacture of support rings OK. The magnitude of the angular deviations in the prototype is 290 microradians (60 arc seconds) and can not be corrected using the said preload device. This drawback is in one way or another characteristic of all devices for rotating MA.

Задачей, на решение которой направлено настоящее изобретение, является разработка более точного устройства, позволяющего прецизионно вращать ОЭ, имеющего минимальные угловые отклонения оси при вращении платформы (не более двух угловых секунд), за счет возможности контролируемой компенсации неточностей изготовления и сборки всех деталей.The problem to which the present invention is directed is the development of a more accurate device that allows precise rotation of the OE, having minimal axis deviations when the platform rotates (no more than two angular seconds), due to the possibility of controlled compensation of manufacturing and assembly inaccuracies of all parts.

Технический результат достигается тем, что предлагаемое устройство для прецизионного вращения оптических элементов, так же как и прототип, содержит основание, платформу для крепления ОЭ и, по крайней мере, три соединенных с основанием и платформой опорных кольца (ОК), установленных с предварительным натягом, которые образуют внутреннюю и внешнюю части опорного узла и содержат поверхности контакта для элементов качения в опорном узле.The technical result is achieved by the fact that the proposed device for the precision rotation of optical elements, as well as the prototype, contains a base, a platform for attaching an OE and at least three support rings (OK) connected to the base and platform, installed with a preload, which form the inner and outer parts of the support unit and comprise contact surfaces for rolling elements in the support unit.

Новым в разработанном устройстве является то, что внутренняя и внешняя части опорного узла выполнены регулируемыми за счет введения дополнительной регулировки, обеспечивающей перемещение элементов качения в одной плоскости.New in the developed device is that the inner and outer parts of the support node are made adjustable by introducing additional adjustment that provides movement of the rolling elements in the same plane.

Такая конструкция устройства повышает точность вращения платформы за счет возможности компенсации неточностей изготовления и сборки всех деталей в уже готовом и собранном устройстве, что позволяет существенно уменьшить угловые отклонения оси вращения платформы и, следовательно, расположенного на ней оптического элемента. Этот результат достигается за счет возможности изгибать опорные кольца, используя их естественную упругость, на те несколько микрометров, которые трудоемко и практически невозможно проконтролировать в процессе изготовления деталей устройства.This design of the device improves the accuracy of rotation of the platform due to the possibility of compensating for inaccuracies in the manufacture and assembly of all parts in the finished and assembled device, which can significantly reduce the angular deviations of the axis of rotation of the platform and, therefore, the optical element located on it. This result is achieved due to the ability to bend the support rings, using their natural elasticity, to those few micrometers that are laborious and almost impossible to control during the manufacturing of device parts.

В первом частном случае реализации разработанного устройства прецизионного вращения целесообразно для регулировки, обеспечивающей перемещения элементов качения в одной плоскости, опорные кольца снабдить фиксирующими втулками, а в основании и в платформе изготовить расположенные осесимметрично по окружностям технологические отверстия, оси которых ориентированы параллельно оси устройства, и снабдить их подстроечными элементами.In the first particular case of the implementation of the developed precision rotation device, it is advisable to adjust the supporting elements to move the rolling elements in one plane, provide the support rings with locking sleeves, and make technological holes located axisymmetrically around the circles, the axes of which are oriented parallel to the device’s axis, and provide their tuning elements.

Во втором частном случае реализации разработанного устройства целесообразно для обеспечения указанной выше регулировки опорные кольца снабдить фиксирующими втулками, в платформе изготовить расположенные осесимметрично по окружности технологические отверстия, оси которых ориентировать параллельно оси устройства, и снабдить их подстроечными элементами, а в основании изготовить два ряда расположенных перпендикулярно друг другу пересекающихся технологических отверстий, размещенных осесимметрично по окружностям в плоскости основания и с его торца, при этом оси отверстий одного ряда ориентировать параллельно оси устройства, а оси отверстий другого ряда ориентировать перпендикулярно оси устройства и каждую пару пересекающихся отверстий снабдить системой передачи горизонтального давления подстроечных элементов в вертикальное усилие, например, с помощью пар шар с клином или шар с шаром.In the second particular case of the implementation of the developed device, it is advisable to provide the support rings with fixing bushings to ensure the above adjustment, to make technological holes located in the platform axisymmetrically around the circumference, the axes of which are oriented parallel to the device axis, and to provide them with trimming elements, and to make two rows located perpendicularly at the base intersecting technological holes arranged axisymmetrically around circles in a plane and from its end face, in this case, orient the axes of the holes of one row parallel to the axis of the device, and orient the axes of the holes of the other row perpendicular to the axis of the device and provide each pair of intersecting holes with a system for transmitting the horizontal pressure of the trimming elements to a vertical force, for example, using pairs of ball and wedges or ball with ball.

В третьем частном случае реализации разработанного устройства целесообразно для обеспечения указанной выше регулировки опорные кольца снабдить фиксирующими втулками, в основании изготовить расположенные осесимметрично по окружности технологические отверстия, оси которых ориентировать параллельно оси устройства, и снабдить их подстроечными элементами, а в платформе изготовить два ряда пересекающихся технологических отверстий, расположенных перпендикулярно друг другу, размещенных осесимметрично по окружностям в плоскости платформы и с ее торца, при этом оси отверстий одного ряда ориентировать параллельно оси устройства, а оси отверстий другого ряда ориентировать перпендикулярно оси устройства и каждую пару пересекающихся отверстий снабдить системой передачи горизонтального давления подстроечных элементов в вертикальное усилие, например, с помощью пар шар с клином или шар с шаром.In the third particular case of the implementation of the developed device, it is advisable to provide the support rings with fixing sleeves to ensure the above adjustment, base the manufacturing holes located axisymmetrically around the circumference, the axes of which are oriented parallel to the axis of the device, and equip them with trimming elements, and make two rows of intersecting technological parts in the platform holes perpendicular to each other, placed axisymmetrically around the circles in the plane of the plateau from the end, while orienting the axis of the holes of one row parallel to the axis of the device, and orienting the axis of the holes of the other row perpendicular to the axis of the device and providing each pair of intersecting holes with a system for transmitting the horizontal pressure of the trimming elements to a vertical force, for example, using pairs of ball and wedges or ball with ball.

Целесообразно в четвертом частном случае реализации разработанного устройства для регулировки, обеспечивающей перемещение элементов качения в одной плоскости, опорные кольца снабдить фиксирующими втулками, в основании так же, как и в платформе, изготовить два ряда пересекающихся технологических отверстий, расположенных перпендикулярно друг другу и размещенных осесимметрично по окружностям. При этом оси отверстий одного ряда ориентировать параллельно оси устройства, а оси отверстий другого ряда ориентировать перпендикулярно оси устройства и каждую пару пересекающихся отверстий снабдить системой передачи горизонтального давления подстроечных элементов в вертикальное усилие, например, с помощью пар шар с клином или шар с шаром.It is advisable in the fourth particular case of the implementation of the designed adjustment device to ensure that the rolling elements are moved in the same plane, to provide the support rings with locking sleeves, in the base, as in the platform, to make two rows of intersecting technological holes located perpendicular to each other and placed axisymmetrically along circles. In this case, orient the axes of the holes of one row parallel to the axis of the device, and orient the axes of the holes of the other row perpendicular to the axis of the device and provide each pair of intersecting holes with a system for transmitting the horizontal pressure of the trimming elements to a vertical force, for example, using pairs of a ball with a wedge or a ball with a ball.

Целесообразно в пятом частном случае реализации разработанного устройства для прецизионного вращения ОЭ для выдерживания заданного расстояния между элементами качения и их положения относительно платформы использовать специальные сепараторы.It is advisable in the fifth particular case of the implementation of the developed device for the precision rotation of the MA to maintain a given distance between the rolling elements and their position relative to the platform using special separators.

В другом частном случае реализации разработанного устройства для прецизионного вращения оптических элементов (ОЭ) целесообразно платформу выполнить с возможностью ее поворота вручную, например, вращением микрометрического винта, закрепленного на основании.In another particular case of the implementation of the developed device for the precision rotation of optical elements (OE), it is advisable to execute the platform with the possibility of turning it manually, for example, by rotating a micrometer screw fixed to the base.

В седьмом частном случае реализации разработанного устройства для прецизионного вращения оптических элементов (ОЭ) целесообразно платформу выполнить с возможностью ее перемещения автоматически, снабдив устройство дистанционно управляемым двигателем.In the seventh particular case of the implementation of the developed device for the precision rotation of optical elements (OE), it is advisable to execute the platform with the possibility of its movement automatically, providing the device with a remotely controlled engine.

Предлагаемое изобретение поясняется следующими чертежами:The invention is illustrated by the following drawings:

- на фиг.1 представлен поперечный разрез устройства для вращения ОЭ по п.2 формулы;- figure 1 shows a cross section of a device for rotating a MA according to claim 2 of the formula;

- на фиг.2 представлен поперечный разрез устройства для вращения ОЭ по п.3 формулы;- figure 2 presents a cross section of a device for rotating an OE according to claim 3 of the formula;

- на фиг.3 представлен поперечный разрез устройства для вращения ОЭ по п.5 формулы;- figure 3 presents a cross section of a device for rotating an OE according to claim 5 of the formula;

- на фиг.4 приведена фотография конкретной реализации заявленного устройства;- figure 4 shows a photograph of a specific implementation of the claimed device;

- на фиг.5 представлено схематическое изображение установки, поясняющее проведение настройки (компенсации угловых отклонений) заявленного устройства прецизионного вращения ОЭ;- figure 5 presents a schematic representation of the installation, explaining the settings (compensation of angular deviations) of the claimed device for precision rotation of the MA;

- на фиг.6 приведены графики, показывающие величины угловых отклонений платформы конкретно реализованного устройства до и после регулировки.- Fig.6 is a graph showing the angular deviations of the platform of a specifically implemented device before and after adjustment.

Предлагаемое устройство для прецизионного вращения ОЭ, изготовленное в соответствии с п.2 формулы, содержит опорные кольца 1, 2 и 3 (см. фиг.1). Опорные кольца 1 и 2 закреплены на основании 4 с помощью фиксирующих втулок 5 и 6, обеспечивающих предварительный натяг всего устройства. К подвижной платформе 7 прикреплено опорное кольцо 3 с помощью фиксирующей втулки 8. Опорные кольца 1, 2 и 3 образуют закрытый шариковый четырехточечный опорный узел, внутри которого расположены элементы качения 9. Элементы качения 9, представляющие собой шарики, изготовлены, например, из высококачественной закаленной стали. В частном случае разработанного устройства (по п.6 формулы) элементы качения 9 дополнительно зафиксированы от нежелательных перемещений с помощью сепараторов (на фиг.1 не показаны), расположенных внутри четырехточечного опорного узла. В основании 4 изготовлены технологические отверстия 10, расположенные по окружности осесимметрично относительно оси ОО1 устройства вблизи края опорного кольца 1, и оси отверстий 10 ориентированы параллельно оси ОО1. Внутри отверстий 10 расположены подстроечные элементы 11, выполненные в виде винтов. В платформе 7 выполнены технологические отверстия 12, расположенные по окружности осесимметрично относительно оси ОО1 устройства вблизи края опорного кольца 3, оси отверстий 12 параллельны оси ОО1. Внутри отверстий 12 расположены подстроечные элементы 13, выполненные в виде винтов.The proposed device for precision rotation of the OE, made in accordance with claim 2 of the formula, contains support rings 1, 2 and 3 (see figure 1). The support rings 1 and 2 are fixed on the base 4 with the help of the locking sleeves 5 and 6, providing a preload of the entire device. The support ring 3 is attached to the movable platform 7 with the help of the fixing sleeve 8. The support rings 1, 2 and 3 form a closed ball four-point support unit, within which the rolling elements 9 are located. The rolling elements 9, which are balls, are made, for example, of high quality hardened become. In the particular case of the developed device (according to claim 6), the rolling elements 9 are additionally fixed from unwanted movements with the help of separators (not shown in FIG. 1) located inside the four-point support unit. In the base 4, technological holes 10 are made, located circumferentially axisymmetrically relative to the axis OO 1 of the device near the edge of the support ring 1, and the axis of the holes 10 are oriented parallel to the axis OO 1 . Inside the holes 10 are tuning elements 11, made in the form of screws. Technological holes 12 are made in the platform 7, located circumferentially axisymmetrically relative to the axis OO 1 of the device near the edge of the support ring 3, the axis of the holes 12 are parallel to the axis OO 1 . Inside the holes 12 are trimming elements 13, made in the form of screws.

В частном случае реализации разработанного устройства для прецизионного вращения ОЭ по п.3 формулы, представленном на фиг.2, в основании 4, состоящем из двух деталей 4а и 4б, изготовлены технологические отверстия 10, расположенные по окружности вблизи края опорного кольца 1, и оси отверстий 10 ориентированы параллельно оси ОО1 устройства. Перпендикулярно каждому отверстию 10, пересекая его, с торца основания 4 выполнены отверстия 14, оси отверстий 14 ориентированы перпендикулярно оси ОО1 устройства. В каждой паре пересекающихся отверстий 10 и 14 расположены подстроечные элементы 11 и система 15 передачи горизонтального давления в вертикальное усилие. В качестве системы 15 передачи горизонтального давления подстроечных элементов 11 в вертикальное усилие могут быть использованы пары шар-шар или шар-клин. Технологические отверстия 12 изготовлены в платформе 7 и расположены осесимметрично по двум окружностям вблизи края опорных колец 2 и 3. Внутри отверстий 12 расположены подстроечные элементы 13.In the particular case of the implementation of the developed device for the precision rotation of the OE according to claim 3 of the formula shown in FIG. 2, in the base 4, consisting of two parts 4a and 4b, technological holes 10 are made that are located around the circumference near the edge of the support ring 1, and the axis the holes 10 are oriented parallel to the axis OO 1 of the device. Perpendicular to each hole 10, crossing it, holes 14 are made from the end face of the base 4, the axis of the holes 14 are oriented perpendicular to the axis OO 1 of the device. In each pair of intersecting holes 10 and 14, trimming elements 11 and a horizontal pressure transmission system 15 in a vertical force are arranged. As a system 15 for transmitting the horizontal pressure of the trimming elements 11 to a vertical force, ball-ball or ball-wedge pairs can be used. Technological holes 12 are made in the platform 7 and are located axisymmetrically in two circles near the edge of the support rings 2 and 3. Inside the holes 12 are trimming elements 13.

В соответствии с п.4 формулы в устройстве для прецизионного вращения ОЭ в основании 4 изготовлены технологические отверстия 10, расположенные по окружности вблизи края опорного кольца 1, с размещенными внутри подстроечными элементами 11 (см. фиг.1). При этом в платформе 7 соответственно выполнены пары пересекающихся отверстий 12 и 16, размещенных осесимметрично по окружности (см. фиг.3). В каждой паре отверстий 12 и 16 размещены подстроечный элемент 13 и система 15 для передачи горизонтального давления подстроечного элемента 13 в вертикальное усилие.In accordance with paragraph 4 of the formula in the device for precision rotation of the OE in the base 4, technological holes 10 are made, located around the circumference near the edge of the support ring 1, with trimming elements 11 placed inside (see Fig. 1). Moreover, in the platform 7, respectively, pairs of intersecting holes 12 and 16 are made, which are placed axisymmetrically around the circumference (see Fig. 3). In each pair of holes 12 and 16 there is a trimming element 13 and a system 15 for transmitting the horizontal pressure of the trimming element 13 to a vertical force.

В соответствии с п.5 формулы в устройстве для прецизионного вращения ОЭ, представленном на фиг.3, опорные кольца 1 и 2 с помощью фиксирующих втулок 5 и 6 закреплены на основании 4. Опорное кольцо 3 с помощью фиксирующей втулки 8 закреплено на платформе 7. Опорные кольца 1, 2 и 3 образуют закрытый шариковый четырехточечный опорный узел, внутри которого расположены элементы качения 9. В основании 4 изготовлены технологические отверстия 10, размещенные осесимметрично по окружности вблизи края опорного кольца 1, оси отверстий 10 расположены параллельно оси ОО1 устройства. Перпендикулярно каждому отверстию 10, пересекая его, с торца основания 4 выполнены отверстия 14, при этом оси отверстий 14 перпендикулярны оси ОО1 устройства. Каждая пара пересекающихся отверстий 14 и 10 содержит подстроечный элемент 11 и систему 15 передачи горизонтального давления в вертикальное усилие. Система 15 для передачи горизонтального давления подстроечного элемента 11 в вертикальное усилие может быть выполнена в виде пары шар-шар или шар-клин. В подвижной платформе 7 устройства изготовлены расположенные осесимметрично по окружности над краем опорного кольца 3 технологические отверстия 12, и оси отверстий 12 ориентированы параллельно оси ОО1 устройства. С торца платформы 7 перпендикулярно отверстиям 12, пересекая их, выполнены технологические отверстия 16, причем их оси перпендикулярны оси ОО1 устройства. В каждой паре пересекающихся отверстий 16 и 12 расположены подстроечные элементы 13 и система 17 для передачи горизонтального давления в вертикальное усилие. В качестве системы 17 передачи горизонтального давления подстроечных элементов 13 в вертикальное усилие могут быть использованы пары шар-шар или шар-клин.In accordance with paragraph 5 of the formula in the device for precision rotation of the OE, shown in figure 3, the support rings 1 and 2 using the locking sleeves 5 and 6 are fixed on the base 4. The supporting ring 3 using the locking sleeve 8 is mounted on the platform 7. The support rings 1, 2 and 3 form a closed ball four-point support unit, inside which the rolling elements 9 are located. At the base 4, technological holes 10 are made, placed axisymmetrically around the circumference near the edge of the support ring 1, the axis of the holes 10 are parallel to si OO 1 device. Perpendicular to each hole 10, crossing it, holes 14 are made from the end face of the base 4, while the axes of the holes 14 are perpendicular to the axis OO 1 of the device. Each pair of intersecting holes 14 and 10 contains a trimming element 11 and a system 15 for transmitting horizontal pressure to vertical force. The system 15 for transmitting the horizontal pressure of the trimming element 11 to the vertical force can be made in the form of a ball-ball or wedge-ball pair. In the movable platform 7 of the device, technological holes 12 are arranged axially symmetrically around the edge of the support ring 3, and the axis of the holes 12 are oriented parallel to the axis OO 1 of the device. From the end of the platform 7 perpendicular to the holes 12, crossing them, technological holes 16 are made, their axes being perpendicular to the axis OO 1 of the device. In each pair of intersecting holes 16 and 12 there are trimming elements 13 and a system 17 for transmitting horizontal pressure to vertical force. As a system 17 for transmitting the horizontal pressure of the trimming elements 13 into a vertical force, ball-ball or ball-wedge pairs can be used.

Пример конкретной реализации разработанного устройства для прецизионного вращения оптических элементов, изготовленный согласно п.1 и 3 формулы, представлен в виде фотографии на фиг.4. На основании 4 диаметром 200 мм расположена платформа 7 диаметром 192 мм. Диаметр окружности, по которому перемещаются центры элементов качения 9, составляет 140 мм. Для регулировки внутреннего опорного кольца 1 в основании 4 изготовлено осесимметрично двенадцать пар пересекающихся технологических отверстий 14 и 10 с расположенными внутри подстроечными элементами 11 и системой 15 шар-клин для передачи горизонтального давления в вертикальное усилие. Для регулировки наружного ОК 3 и внутреннего ОК 2 в платформе 7 выполнены расположенные по двум окружностям двадцать четыре отверстия 12 с подстроечными элементами 13 в виде винтов (см. фиг.2). В разработанном устройстве для прецизионного вращения ОЭ отклонение оси платформы и расположенного на ней оптического элемента после настройки составляет не более двух угловых секунд.An example of a specific implementation of the developed device for the precision rotation of optical elements made in accordance with claims 1 and 3 is presented in the form of a photograph in FIG. 4. On the base 4 with a diameter of 200 mm is a platform 7 with a diameter of 192 mm. The diameter of the circle along which the centers of the rolling elements 9 move is 140 mm. To adjust the inner support ring 1 in the base 4, twelve pairs of intersecting technological holes 14 and 10 are axially symmetrically made with the trimming elements 11 located inside and the ball-wedge system 15 for transmitting horizontal pressure to vertical force. To adjust the external OK 3 and internal OK 2 in the platform 7, twenty-four holes 12 arranged along two circles are made with trimming elements 13 in the form of screws (see Fig. 2). In the developed device for precision OE rotation, the deviation of the platform axis and the optical element located on it after adjustment is no more than two angular seconds.

Контролируемую компенсацию микронеточностей изготовления опорных колец 1, 2, 3 с помощью дополнительной регулировки, обеспечивающей перемещение элементов качения в одной плоскости и представленной на фиг.5, осуществляют следующим образом. Предварительно на платформе 7 устройства закрепляется плоское зеркало 18 на обычном оптическом столике 19 с угловой регулировкой. Зеркало 18 вращается вместе с платформой 7 относительно основания 4. Диагностическое излучение лазера 20, отразившись от полупрозрачного зеркала 21, попадает на зеркало 18. В фокальной плоскости линзы 22 расположена ПЗС-камера 23, на матрице которой фиксируется и измеряется смещение центра масс пучка, отраженного от зеркала 18. Полученные данные накапливаются и обрабатываются компьютером 24. Подобная схема измерений позволяет различать угловые отклонения на уровне 10-6 радиан (примерно 0,2 угловых секунды). Вращая платформу 7 устройства прецизионного вращения, с помощью системы диагностики прописываем зависимость величины углового отклонения φ(α) оси платформы 7 и связанного с ней зеркала 18 от угла α вращения всей платформы 7. Анализируя вид кривой отклонений φ(α), принимается решение, какой характер компенсации необходимо применить. Используя несколько подстроечных элементов 11 и 13 (на фиг.5 не показаны) по окружности устройства и контролируя момент их закручивания, создаем распределенное усилие изгиба опорных колец 1, 2 и 3. Угловые отклонения платформы 7 уменьшаются до нескольких единиц угловых секунд, что на порядок меньше по сравнению с прототипом.Controlled compensation of micro-precision manufacturing of support rings 1, 2, 3 with the help of additional adjustment, providing movement of the rolling elements in one plane and presented in figure 5, is carried out as follows. Previously, on the platform 7 of the device is fixed flat mirror 18 on a conventional optical table 19 with angular adjustment. The mirror 18 rotates with the platform 7 relative to the base 4. The diagnostic radiation of the laser 20, reflected from the translucent mirror 21, hits the mirror 18. In the focal plane of the lens 22 there is a CCD camera 23, on the matrix of which the offset of the center of mass of the beam reflected and measured from the mirror 18. The obtained data are accumulated and processed by computer 24. A similar measurement scheme allows us to distinguish angular deviations at the level of 10 -6 radians (approximately 0.2 arc seconds). Rotating the platform 7 of the precision rotation device, using the diagnostic system, we write the dependence of the angular deviation φ (α) of the axis of the platform 7 and the associated mirror 18 on the rotation angle α of the entire platform 7. Analyzing the form of the deviation curve φ (α), a decision is made which the nature of the compensation must be applied. Using several tuning elements 11 and 13 (not shown in FIG. 5) around the circumference of the device and controlling the moment of their twisting, we create a distributed bending force of the support rings 1, 2 and 3. The angular deviations of the platform 7 are reduced to several units of angular seconds, which is an order of magnitude less compared to the prototype.

Таким образом, уменьшение отклонений поворотной платформы 7 осуществляется путем выполнения опорных колец 1, 2 и 3 устройства регулируемыми по вертикали, что обеспечивает перемещение элементов качения в одной плоскости и позволяет решить поставленную задачу.Thus, the reduction of the deviations of the turntable 7 is carried out by making the support rings 1, 2 and 3 of the device adjustable vertically, which ensures the movement of the rolling elements in one plane and allows us to solve the problem.

На фиг.6 приведены зависимости отклонений платформы 7 устройства до и после компенсации отклонений для конкретной реализации устройства, представленного на фиг.4. На графике по оси абсцисс указан угол поворота платформы в градусах, по оси ординат - отклонение оси платформы в микрорадианах (мкрад) относительно положения оси устройства вращения в целом. До компенсации угловые отклонения оси платформы 7 составляли в худшем случае 34 мкрад или 7 угловых секунд (ряд 1). После компенсации в худшем случае угловые отклонения составили менее 9 мкрад или 1,9 угловой секунды (ряд 2), что в 3,5 раза меньше, чем до регулировки.In Fig.6 shows the dependence of the deviations of the platform 7 of the device before and after compensation for deviations for the specific implementation of the device shown in Fig.4. On the graph along the abscissa axis the angle of rotation of the platform is indicated in degrees, along the ordinate axis is the deviation of the axis of the platform in microradians (mrad) relative to the position of the axis of the rotation device as a whole. Prior to compensation, the angular deviations of the axis of the platform 7 were in the worst case 34 mrad or 7 arc seconds (row 1). After compensation in the worst case, the angular deviations were less than 9 mrad or 1.9 arc seconds (row 2), which is 3.5 times less than before adjustment.

Особенностью работы устройства прецизионного вращения по п.3, 4 и 5 формулы является использование системы передачи горизонтального усилия давления подстроечных элементов 11 и/или 13 в вертикальное усилие, действующее на опорные кольца 1, 2 и 3. При этом доступ к подстроечным элементам 11 и 13 осуществляется с боковой стороны основания 4 и платформы 7 соответственно (см. фиг.2 и 3), что является более удобным вариантом, т.к. часто доступ к элементам 11 с нижней стороны основания 4 и к элементам 13 с верхней стороны платформы 7 затруднен или невозможен. Такие варианты осуществления разработанного устройства позволяют еще более повысить его потребительские свойства.A feature of the operation of the precision rotation device according to claim 3, 4 and 5 of the formula is the use of a system for transmitting the horizontal pressure force of the trimming elements 11 and / or 13 to the vertical force acting on the support rings 1, 2 and 3. Moreover, access to the trimming elements 11 and 13 is carried out from the side of the base 4 and platform 7, respectively (see Fig. 2 and 3), which is a more convenient option, because often access to the elements 11 from the lower side of the base 4 and to the elements 13 from the upper side of the platform 7 is difficult or impossible. Such embodiments of the developed device can further improve its consumer properties.

Claims (8)

1. Устройство для прецизионного вращения оптических элементов (ОЭ), содержащее основание, платформу для крепления ОЭ и, по крайней мере, три соединенных с основанием и платформой опорных кольца (ОК), установленных с предварительным натягом, которые образуют внутреннюю и внешнюю части опорного узла, и содержат поверхности контакта для элементов качения в опорном узле, отличающееся тем, что внутренняя и внешняя части опорного узла выполнены регулируемыми за счет введения дополнительной регулировки, обеспечивающей перемещение элементов качения в одной плоскости.1. Device for the precision rotation of optical elements (OE), comprising a base, a platform for mounting the OE and at least three support rings (OK) connected to the base and the platform, installed with a preload, which form the inner and outer parts of the support node , and contain contact surfaces for rolling elements in the support unit, characterized in that the internal and external parts of the support unit are made adjustable by introducing additional adjustment to ensure movement of the elements ia in one plane. 2. Устройство для прецизионного вращения оптических элементов (ОЭ) по п.1, отличающееся тем, что для регулировки, обеспечивающей перемещение элементов качения в одной плоскости, опорные кольца снабжены фиксирующими втулками, а в основании и в платформе выполнены расположенные осесимметрично по окружностям технологические отверстия, оси которых ориентированы параллельно оси устройства, снабженные подстроечными элементами.2. The device for the precision rotation of optical elements (OE) according to claim 1, characterized in that for adjustment, providing the movement of the rolling elements in one plane, the support rings are provided with locking sleeves, and the technological holes arranged axisymmetrically around the circumferences are made in the base and platform whose axes are oriented parallel to the axis of the device, equipped with trimming elements. 3. Устройство для прецизионного вращения оптических элементов (ОЭ) по п.1, отличающееся тем, что для регулировки, обеспечивающей перемещение элементов качения в одной плоскости, опорные кольца снабжены фиксирующими втулками, в платформе выполнены расположенные осесимметрично по окружности технологические отверстия, оси которых ориентированы параллельно оси устройства, снабженные подстроечными элементами, а в основании изготовлены два ряда пересекающихся технологических отверстий, расположенных перпендикулярно друг другу и размещенных осесимметрично по окружностям (в плоскости основания и с его торца), при этом оси отверстий одного ряда ориентированы параллельно оси устройства, а оси отверстий другого ряда перпендикулярны оси устройства, и каждая пара пересекающихся отверстий снабжена системой передачи горизонтального давления подстроечных элементов в вертикальное усилие, например, с помощью пар шар с клином или шар с шаром.3. The device for the precision rotation of optical elements (OE) according to claim 1, characterized in that for adjustment, providing the movement of the rolling elements in one plane, the support rings are provided with locking sleeves, the platform has technological holes located axisymmetrically around the circumference, the axes of which are oriented parallel to the axis of the device, equipped with trimming elements, and at the base are made two rows of intersecting technological holes located perpendicular to each other and placed axially symmetrical in circles (in the plane of the base and from its end), while the axis of the holes of one row are parallel to the axis of the device, and the axis of the holes of the other row are perpendicular to the axis of the device, and each pair of intersecting holes is equipped with a system for transmitting the horizontal pressure of the trimming elements to the vertical force, for example, using pairs a ball with a wedge or a ball with a ball. 4. Устройство для прецизионного вращения оптических элементов (ОЭ) по п.1, отличающееся тем, что для регулировки, обеспечивающей перемещение элементов качения в одной плоскости, опорные кольца снабжены фиксирующими втулками, в основании выполнены расположенные осесимметрично по окружности технологические отверстия, оси которых ориентированы параллельно оси устройства, снабженные подстроечными элементами, а в платформе изготовлены два ряда пересекающихся технологических отверстий, расположенных перпендикулярно друг другу и размещенных осесимметрично по окружностям (в плоскости платформы и с ее торца), при этом оси отверстий одного ряда ориентированы параллельно оси устройства, а оси отверстий другого ряда перпендикулярны оси устройства, и каждая пара пересекающихся отверстий снабжена системой передачи горизонтального давления подстроечных элементов в вертикальное усилие, например, с помощью пар шар с клином или шар с шаром.4. The device for the precision rotation of optical elements (OE) according to claim 1, characterized in that for the adjustment, providing movement of the rolling elements in one plane, the support rings are provided with locking sleeves, at the base there are made technological holes located axisymmetrically around the circumference, the axes of which are oriented parallel to the axis of the device, equipped with trimming elements, and in the platform are made two rows of intersecting technological holes located perpendicular to each other and placed axially symmetrical in circles (in the plane of the platform and from its end), while the axis of the holes of one row are parallel to the axis of the device, and the axis of the holes of the other row are perpendicular to the axis of the device, and each pair of intersecting holes is equipped with a system for transmitting the horizontal pressure of the trimming elements to the vertical force, for example, using pairs a ball with a wedge or a ball with a ball. 5. Устройство для прецизионного вращения оптических элементов (ОЭ) по п.1, отличающееся тем, что для регулировки, обеспечивающей перемещение элементов качения в одной плоскости, опорные кольца снабжены фиксирующими втулками, в основании, также как и в платформе, изготовлены два ряда пересекающихся технологических отверстий, расположенных перпендикулярно друг другу и размещенных осесимметрично по окружностям, при этом оси отверстий одного ряда ориентированы параллельно оси устройства, а оси отверстий другого ряда перпендикулярны оси устройства, и каждая пара пересекающихся отверстий снабжена системой передачи горизонтального давления подстроечных элементов в вертикальное усилие, например, с помощью пар шар с клином или шар с шаром.5. The device for precision rotation of optical elements (OE) according to claim 1, characterized in that for the adjustment, providing movement of the rolling elements in one plane, the support rings are equipped with locking sleeves, in the base, as well as in the platform, two rows of intersecting technological holes located perpendicular to each other and placed axisymmetrically around the circles, while the axis of the holes of one row are oriented parallel to the axis of the device, and the axis of the holes of the other row are perpendicular to the axis of the mouth devices, and each pair of intersecting holes is equipped with a system for transmitting the horizontal pressure of the trimming elements to a vertical force, for example, using pairs of ball with wedge or ball with ball. 6. Устройство для прецизионного вращения оптических элементов (ОЭ) по любому из пп.1-5, отличающееся тем, что элементы качения в опорном узле зафиксированы от нежелательных перемещений с помощью сепараторов.6. Device for the precision rotation of optical elements (OE) according to any one of claims 1 to 5, characterized in that the rolling elements in the support node are fixed from unwanted movements with the help of separators. 7. Устройство для прецизионного вращения оптических элементов (ОЭ) по п.1, отличающееся тем, что платформа выполнена с возможностью перемещения вручную, например, вращением винта микрометра, закрепленного на основании.7. The device for the precision rotation of optical elements (OE) according to claim 1, characterized in that the platform is movable manually, for example, by rotating a micrometer screw fixed to the base. 8. Устройство для прецизионного вращения оптических элементов (ОЭ) по п.1, отличающееся тем, что, для возможности перемещения подвижной части автоматически, оно снабжено дистанционно управляемым двигателем. 8. The device for precision rotation of optical elements (OE) according to claim 1, characterized in that, for the possibility of moving the movable part automatically, it is equipped with a remotely controlled engine.
RU2008100334/28A 2008-01-09 2008-01-09 Device for precision rotation of optical elements RU2365950C1 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008100334/28A RU2365950C1 (en) 2008-01-09 2008-01-09 Device for precision rotation of optical elements
PCT/RU2008/000815 WO2009091293A1 (en) 2008-01-09 2008-12-30 Device for accurately rotating optical elements

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008100334/28A RU2365950C1 (en) 2008-01-09 2008-01-09 Device for precision rotation of optical elements

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2365950C1 true RU2365950C1 (en) 2009-08-27

Family

ID=40885511

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2008100334/28A RU2365950C1 (en) 2008-01-09 2008-01-09 Device for precision rotation of optical elements

Country Status (2)

Country Link
RU (1) RU2365950C1 (en)
WO (1) WO2009091293A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114302782A (en) * 2019-08-27 2022-04-08 Slm方案集团股份公司 Apparatus and device

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110568581B (en) * 2019-09-09 2021-09-03 哈尔滨工业大学 High-precision electric reflector frame
CN113586871B (en) * 2021-07-29 2022-05-27 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 Two-dimensional inclination adjusting mechanism
CN115728891B (en) * 2022-11-23 2024-10-01 中国科学院西安光学精密机械研究所 Alignment device capable of being precisely adjusted and application method thereof

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01202834A (en) * 1988-02-09 1989-08-15 Fujitsu Ltd Precise rotary table
JPH10123428A (en) * 1996-10-18 1998-05-15 Hitachi Denshi Ltd Rotary stage mechanism

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Устройство для линейного перемещения 7Т167-50, «STANDA», WWW.STANDA.LT. *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114302782A (en) * 2019-08-27 2022-04-08 Slm方案集团股份公司 Apparatus and device
CN114302782B (en) * 2019-08-27 2024-04-26 尼康Slm方案股份公司 Apparatus and system for fabricating three-dimensional workpieces using additive manufacturing techniques

Also Published As

Publication number Publication date
WO2009091293A1 (en) 2009-07-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2365950C1 (en) Device for precision rotation of optical elements
US6603615B2 (en) Precision positioning apparatus for positioning a component especially an optical component
CN109239881A (en) It is used to support the flexible supporting device and Large Aperture Lenses component of Large Aperture Lenses
EP0952490B2 (en) Lens barrel and projection aligner
JP5468379B2 (en) Bearing device and swing arm assembly for magnetic disk
CN105785543A (en) Micron-level high-precision micro lens array positioning mechanism
CN101670539A (en) Lens edge thickness adjustment device and lens grinding and milling processing method
CN201505849U (en) Lens edge thickness adjusting device
EP1817619B1 (en) Optical mounting for position adjustment in six degrees of freedom
JP5610827B2 (en) Holding device, optical device and astronomical telescope
US3112627A (en) Cylindrical mount for photographic objectives
Doel et al. Assembly, alignment, and testing of the DECam wide field corrector optics
RU2348952C2 (en) Device for precision linear travel of optical devices
US6288855B1 (en) Preloaded device having components with an axially aligned movement
Hu et al. New type of optical fiber positioning unit device for LAMOST
WO2015053626A2 (en) Device for placing at least two rigid lenses and/or mirrors coaxially relative to each other, a lens mount assembly comprising such device, and a manufacturing method therefor
CN110682117B (en) Shaft machining tool and shaft machining method
CN102221737B (en) Fine adjuster for projection photoetching objective
Zhang et al. Error analysis and optimal design of reduction relay lens for field of view stitching applications
CN218938615U (en) Multi-dimensional optical compensation lens adjusting structure
CN116626839B (en) High-precision multi-axis adjusting device for micro lens array
CN221303693U (en) 300Mm caliber dual-band standard lens for transfer function instrument
CN109521543B (en) High-precision eccentricity-eliminating focusing mechanism suitable for general optical system
Yin et al. In situ monitoring and controlling surface shape of the polishing pad in continuous polishing
CN112815879B (en) Five-axis equipment C-axis angular displacement measuring device and measuring calibration method

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20100110

MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20130110