RU2293791C1 - Apparatus for diffusion metallization in liquid metal solutions of easy-to-melt metals - Google Patents
Apparatus for diffusion metallization in liquid metal solutions of easy-to-melt metals Download PDFInfo
- Publication number
- RU2293791C1 RU2293791C1 RU2005127124/02A RU2005127124A RU2293791C1 RU 2293791 C1 RU2293791 C1 RU 2293791C1 RU 2005127124/02 A RU2005127124/02 A RU 2005127124/02A RU 2005127124 A RU2005127124 A RU 2005127124A RU 2293791 C1 RU2293791 C1 RU 2293791C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- chambers
- chamber
- inert gas
- upper chamber
- products
- Prior art date
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
Description
Устройство относится к установкам, предназначенным для диффузионной металлизации изделий с целью придания поверхностным слоям этих изделий особых физико-химических свойств, и может использоваться в общем машиностроении, в инструментальной промышленности и других областях. В частности, установка предназначена для нанесения на изделия диффузионных покрытий в среде легкоплавких жидкометаллических растворов в условиях массового производства при одновременном совмещении процессов нанесения покрытий с термической обработкой материала изделий.The device relates to installations intended for diffusion metallization of products with the aim of imparting special physical and chemical properties to the surface layers of these products, and can be used in general mechanical engineering, in the tool industry, and other fields. In particular, the installation is intended for applying diffusion coatings to products in the environment of low-melting liquid metal solutions under mass production conditions while combining coating processes with heat treatment of the product material.
Известен контейнерный способ нанесения диффузионных покрытий в среде жидкометаллических растворов [Шатинский В.Ф., Збожная О.М., Максимович Г.Г. Получение диффузионных покрытий в среде легкоплавких металлов. - Киев: Наукова думка, 1976. - 282 с.], при котором процесс диффузионной металлизации проводится пооперационно с применением нескольких установок. На первом этапе в барокамере в среде инертного газа изделие помещают в ампулу, заливают жидкометаллическим раствором, содержащим элемент, на базе которого формируется покрытие. После этого в той же барокамере ампула помещается в контейнер, который герметизируется с помощью сварки. Процесс диффузионной металлизации осуществляется при нагреве и выдержке заданное время контейнера с ампулой в электропечи открытого типа. После завершения процесса контейнер вскрывается и изделие извлекается из ампулы, его очищают от расплава и подвергают термической обработке. Достоинством этого способа является возможность использования для нанесения покрытий простых электропечей, однако многооперационность, длительность и трудоемкость процесса делают его рентабельным только при проведении экспериментальных исследований и единичном производстве.A known container method for applying diffusion coatings in the environment of liquid metal solutions [Shatinsky VF, Zbozhnaya OM, Maksimovich GG Obtaining diffusion coatings in the environment of low-melting metals. - Kiev: Naukova Dumka, 1976. - 282 p.], In which the process of diffusion metallization is carried out step by step using several plants. At the first stage, in an inert gas medium, the product is placed in an ampoule, filled with a liquid metal solution containing the element on the basis of which the coating is formed. After that, in the same pressure chamber, the ampoule is placed in a container, which is sealed by welding. The process of diffusion metallization is carried out during heating and exposure for a given time of a container with an ampoule in an open type electric furnace. After completion of the process, the container is opened and the product is removed from the ampoule, it is cleaned of the melt and subjected to heat treatment. The advantage of this method is the possibility of using simple electric furnaces for coating, however, the multi-operation, duration and laboriousness of the process make it profitable only when conducting experimental studies and single production.
Наиболее близким к заявляемому устройству является устройство для нанесения диффузионных покрытий в среде жидкометаллических растворов, разработанное на базе вакуумной электропечи, принятое за прототип [Машины и приборы для создания многокомпонентных диффузионных покрытий на стальных деталях и комплексного исследования коррозионно-механических свойств этих деталей. - Отчет по НИР (заключительный)/ ВНИИЦентр; руководитель М.И.Чаевский. Ответ. Исполнитель А.Г.Соколов. - №ГР79010992; Инв. №Б922733. - Краснодар, 1980. - 152 с.].Closest to the claimed device is a device for applying diffusion coatings in the environment of liquid metal solutions, developed on the basis of a vacuum electric furnace, adopted as a prototype [Machines and devices for creating multicomponent diffusion coatings on steel parts and a comprehensive study of the corrosion-mechanical properties of these parts. - Report on research (final) / VNIItsentr; Head M.I. Chaevsky. Answer. Performer A.G. Sokolov. - No. GR79010992; Inv. No. B922733. - Krasnodar, 1980. - 152 p.].
Прототип представляет собой вакуумную систему, состоящую из двух камер, верхней и нижней, полости которых связаны через горловину. В нижней камере расположены электронагревательные элементы, термоизолирующие экраны и предметный столик, на который устанавливается ампула с легкоплавким сплавом, являющимся средой, при помещении изделий в которую при заданной температуре происходит формирование диффузионных покрытий. Верхняя камера представляет собой цилиндрическую полость, в которой до начала процесса нанесения покрытий и после него находятся покрываемые изделия, подвешенные на подвижном штоке. Камеры разделены экраном, выполненным в виде подвижных пластинчатых шторок.The prototype is a vacuum system consisting of two chambers, the upper and lower, whose cavities are connected through the neck. In the lower chamber there are electric heating elements, heat-insulating screens and a stage, on which an ampoule with a low-melting alloy, which is a medium, is placed when products are placed in which diffusion coatings are formed at a given temperature. The upper chamber is a cylindrical cavity in which prior to the coating process and after it are covered products suspended on a movable rod. The cameras are separated by a screen made in the form of movable plate shutters.
Технологический процесс нанесения диффузионных покрытий с применением устройства являющегося прототипом, осуществляется следующим образом.The technological process of applying diffusion coatings using a prototype device is as follows.
В нижней камере на предметный столик устанавливается ампула с расплавом. В верхней камере на штоке подвешиваются изделия (загрузка изделий осуществляется через съемную верхнюю крышку). Верхняя и нижняя камеры герметизируются, из них откачивается воздух и при достижении заданного вакуума камеры наполняются аргоном. После создания инертной среды в камерах производится нагрев ампулы и при достижении заданной температуры открывают теплоизолирующие шторки и изделия с помощью подвижного штока окунаются в расплав, находящийся в ампуле. После выдержки изделий в расплаве заданное время изделия перемещением штока вверх извлекаются из расплава и перемещаются в верхнюю камеру. Затем выключается нагрев и после охлаждения производится разгерметизация камер, открывается крышка верхней камеры и изделия извлекаются из рассматриваемого устройства. Для нанесения покрытий на другие изделия процесс полностью повторяется.In the lower chamber, an ampoule with a melt is mounted on a stage. Products are suspended on the rod in the upper chamber (loading of products is carried out through a removable upper cover). The upper and lower chambers are sealed, air is pumped out of them, and when the specified vacuum is reached, the chambers are filled with argon. After creating an inert atmosphere in the chambers, the ampoule is heated and, when the set temperature is reached, the insulating curtains are opened and the products are dipped into the melt in the ampoule using a movable rod. After holding the products in the melt, the specified time of the product by moving the rod upward is removed from the melt and moved to the upper chamber. Then the heating is turned off and after cooling the depressurization of the chambers is performed, the lid of the upper chamber is opened and the products are removed from the device in question. For coating other products, the process is completely repeated.
Недостатком прототипа является то, что верхняя камера в прототипе служит только лишь для увеличения рабочего пространства печи. Установка-прототип не обеспечивает возможность совмещения процесса нанесения покрытий с термической обработкой материала изделия, а, самое главное, при нанесении покрытий на новые изделия необходимо полное повторение технологического цикла, включающего вакуумирование всей установки, заполнение ее инертным газом, нагрев расплава до температуры процесса. Все вышеперечисленное в конечном итоге приводит к увеличению длительности технологического процесса, т.е. снижению производительности, значительному расходу электроэнергии, инертного газа. Неуправляемость процессом охлаждения изделий в верхней камере после нанесения покрытий не обеспечивает возможность совмещения процесса нанесения покрытий с термической обработкой, которая является неотъемлемым этапом, формирующим окончательные свойства изделия. При этом повторный нагрев изделий для термической обработки снижает качество получаемых покрытий за счет их диффузионного рассасывания, окисления, растрескивания и т.п. Помимо этого, разделение термической обработки и процесса нанесения покрытий требует дополнительных затрат труда, электроэнергии, необходимости наличия соответствующего оборудования для термической обработки.The disadvantage of the prototype is that the upper chamber in the prototype serves only to increase the working space of the furnace. The prototype installation does not provide the possibility of combining the coating process with heat treatment of the product material, and, most importantly, when coating new products, a complete repetition of the technological cycle, including evacuating the entire installation, filling it with an inert gas, heating the melt to the process temperature, is necessary. All of the above ultimately leads to an increase in the duration of the process, i.e. reduced productivity, significant consumption of electricity, inert gas. The uncontrolled process of cooling products in the upper chamber after coating does not provide the possibility of combining the coating process with heat treatment, which is an integral stage that forms the final properties of the product. In this case, reheating of products for heat treatment reduces the quality of the resulting coatings due to their diffusion resorption, oxidation, cracking, etc. In addition, the separation of heat treatment and the coating process requires additional labor, electricity, the need for appropriate equipment for heat treatment.
Технической задачей заявляемого изобретения является увеличение производительности процесса нанесения покрытий, сокращение трудовых и энергетических затрат при одновременном улучшении качества покрытий, совмещение процессов нанесения покрытий и термической обработки материала изделий, создание возможности использования технологии нанесения покрытий из жидкометаллических растворов в крупносерийном и массовом производстве.The technical task of the claimed invention is to increase the productivity of the coating process, reduce labor and energy costs while improving the quality of coatings, combining coating processes and heat treatment of product material, creating the possibility of using coating technology from liquid metal solutions in large-scale and mass production.
Поставленная задача решается тем, что заявляемое устройство содержит две водоохлаждаемые камеры, в нижней камере располагается ампула с металлическим раствором, теплозащитные экраны, нагревательное устройство, в верхней - подвижный шток, на котором закреплены покрываемые изделия, полости камер связаны вертикальным каналом, закрытым снизу подвижным теплозащитным экраном, камеры имеют вакуумную систему и систему наполнения их инертным газом, в отличие от прототипа в вертикальном канале, связывающем камеры, установлен герметичный затвор, в боковой стенке верхней камеры выполнен люк, камеры имеют автономные вакуумные системы и системы наполнения их инертным газом, в верхней камере имеется система циркуляции и охлаждения инертного газа. Система циркуляции и охлаждения инертного газа содержит теплообменник и насос.The problem is solved in that the claimed device contains two water-cooled chambers, in the lower chamber there is an ampoule with a metal solution, heat shields, a heating device, in the upper chamber there is a movable rod on which the products to be coated are fixed, the chamber cavities are connected by a vertical channel closed by a movable heat shield a screen, the chambers have a vacuum system and an inert gas filling system, unlike the prototype, a sealed shutter is installed in the vertical channel connecting the chambers In the side wall of the upper chamber is made hatch chamber have autonomous vacuum systems and filling them with inert gas system, in the upper chamber has a circulation system and cooling the inert gas. The inert gas circulation and cooling system comprises a heat exchanger and a pump.
Благодаря новой совокупности существенных признаков заявляемого изобретения получаем возможность значительно сократить длительность процесса нанесения покрытий, уменьшить трудовые и энергетические затраты, повысить качество наносимых покрытий, сократить общую длительность технологического процесса за счет совмещения процессов нанесения покрытий и термической обработки и сделать данный процесс нанесения покрытий технологически пригодным при серийном и массовом производствах. Это объясняется тем, что за счет разделения камер герметичным затвором создается возможность проведения загрузки, термообработки и выгрузки изделия без охлаждения жидкометаллического раствора и нарушения инертной среды в камере нагрева, это значительно сокращает длительность процесса, трудовые и энергетические затраты. Для повторения процесса на других изделиях требуется вакуумирование и наполнение инертным газом не всей установки, а только лишь одной малой по объему камеры. Наличие системы циркуляции и охлаждения инертного газа позволяет проводить термическую обработку материалов изделий, используя нагрев, который они получают в процессе нанесения покрытий. Помимо этого, быстрое охлаждение при термической обработке позволяет сократить общую длительность пребывания изделий в установке и повысить качество получаемых покрытий за счет остановки процесса роста кристаллов элемента покрытия в расплаве, оставшемся на поверхности изделий. Наличие люка на боковой поверхности верхней камеры обеспечивает быструю и легкую загрузку и выгрузку изделий из установки, что также сокращает трудоемкость и длительность общего процесса.Thanks to the new set of essential features of the claimed invention, we are able to significantly reduce the duration of the coating process, reduce labor and energy costs, improve the quality of the applied coatings, reduce the overall duration of the process by combining the coating processes and heat treatment and make this coating process technologically suitable for serial and mass production. This is due to the fact that by separating the chambers with an airtight shutter, it becomes possible to load, heat treat and unload the product without cooling the liquid metal solution and disturbing the inert atmosphere in the heating chamber, which significantly reduces the process time, labor and energy costs. To repeat the process on other products, evacuation and filling with an inert gas of not the entire installation, but only one small chamber in volume is required. The presence of an inert gas circulation and cooling system allows heat treatment of product materials using the heat that they receive during coating. In addition, rapid cooling during heat treatment reduces the total length of the products in the installation and improves the quality of the resulting coatings by stopping the growth of crystals of the coating element in the melt remaining on the surface of the products. The presence of a hatch on the side surface of the upper chamber provides quick and easy loading and unloading of products from the installation, which also reduces the complexity and duration of the overall process.
На чертеже схематично представлен вариант выполнения заявляемого устройства.The drawing schematically shows an embodiment of the inventive device.
Заявляемое устройство содержит нижнюю 1 и верхнюю 2 водоохлаждаемые камеры. Между камерами находится герметичный затвор 3, позволяющий объединять и разделять полости нижней 1 и верхней 2 камер. В нижней камере 1 расположены нагревательные элементы 4, предметный столик 5, на котором установлена ампула с металлическим раствором 6, теплозащитные экраны 7, подвижный экран 8, вакуумная магистраль 9 с запорным вентилем 10, магистраль подачи инертного газа 11 с запорным вентилем 12. В верхней камере 2 расположены механизм привода 13 затвора 3, подвижный шток 14, на котором закрепляются покрываемые изделия 15. На боковой поверхности камеры 2 имеется загрузочный люк 16. В нижнюю часть камеры 2 вмонтирована вакуумная магистраль 17 с запорным вентилем 18, а в верхнюю - магистраль подачи инертного газа 19 с запорным вентилем 20. Вакуумная магистраль 17 и магистраль подачи инертного газа 19 связаны между собой трубопроводом системы циркуляции инертного газа 21, которая, помимо трубопроводов, содержит теплообменник 22 и насос 23.The inventive device contains the lower 1 and upper 2 water-cooled chambers. Between the cameras is a tight shutter 3, which allows you to combine and separate the cavity of the lower 1 and upper 2 chambers. In the lower chamber 1 there are heating elements 4, a stage 5, on which an ampoule with a metal solution 6 is installed, heat shields 7, a movable screen 8, a vacuum line 9 with a shut-off valve 10, an inert gas supply line 11 with a shut-off valve 12. In the upper the chamber 2 has a drive mechanism 13 of the shutter 3, a movable rod 14, on which the covered products are fixed 15. On the side surface of the chamber 2 there is a loading hatch 16. A vacuum line 17 with a shut-off valve 18 is mounted in the lower part of the chamber 2, the top - an inert gas supply line 19 with a shut-off valve 20. The vacuum line 17 and inert gas feed line 19 connected between an inert gas circulation pipe system 21, which, apart from pipelines, comprises a heat exchanger 22 and pump 23.
Устройство работает следующим образом. Через люк 16 изделия помещаются в камеру 2 и закрепляются на штоке 14. Люк 16 закрывается и производится герметизация камеры 2. Открываются запорные вентили 18 и 10 и через вакуумные магистрали 17 и 9 производится откачка воздуха из камер 1 и 2. После достижения заданного вакуума в камерах 1 и 2 вентили 18 и 10 закрывают и производится заполнение инертным газом камер 1 и 2 через магистрали 11 и 19 путем открывания вентилей 12 и 20. Заполнение инертным газом завершается при достижении заданного давления газа в камерах 1 и 2 путем перекрывания вентилей 12 и 20. На нагреватели 4 подается электрический ток и производится нагрев ампулы 6 с металлическим раствором. После достижения металлическим раствором заданной температуры процесса с помощью механизма 13 открывается затвор 3, отодвигается экран 8, что обеспечивает объединение полостей камер 1 и 2. Через образовавшийся проход за счет перемещения штока 14 вниз изделия 15 погружаются в ампулу 6 с расплавленным металлическим раствором. С целью ограничения нагрева камеры 2 экран 8 закрывается и производится выдержка изделий в металлическом растворе заданное время. По истечении времени выдержки экран 8 отодвигают и изделия с помощью штока 14 перемещаются в камеру 2. Механизмом 13 закрывается затвор 3, за счет чего полости камер 1 и 2 изолируются друг от друга, и включается насос 23. Насос 23 вызывает циркуляцию инертного газа, находящегося в камере 2, через теплообменник 22. При этом нагретый от изделий инертный газ через магистраль 19 поступает в теплообменник 22, охлаждается и через магистраль 17 вновь поступает в полость камеры 2. После охлаждения изделий до заданной температуры отключается насос 23, открывается люк 16 и изделия извлекаются из камеры 2. При этом в камере 1 остается инертная среда и поддерживается заданная температура процесса. Далее производится загрузка через люк 16 в камеру 2 следующей партии изделий, люк 16 закрывается, через вакуумную магистраль 17 после открытия вентиля 18 из камеры 2 откачивается воздух до заданного вакуума. После этого вентиль 18 закрывается, открывается вентиль 20 и через магистраль 19 полость камеры 2 наполняется инертным газом и цикл нанесения покрытий повторяется.The device operates as follows. Through the hatch 16, the products are placed in the chamber 2 and secured to the stem 14. The hatch 16 is closed and the chamber 2 is sealed. The shut-off valves 18 and 10 are opened and air is evacuated from the chambers 1 and 2 through the vacuum lines 17 and 9. After reaching the specified vacuum in chambers 1 and 2, valves 18 and 10 are closed and inert gas is filled in chambers 1 and 2 through lines 11 and 19 by opening valves 12 and 20. Inert gas filling is completed when the specified gas pressure in chambers 1 and 2 is reached by closing valves 12 and 20 . On heat registers 4 is supplied electric current and the heating is ampoule 6 with the metal solution. After the metal solution reaches the predetermined process temperature, the shutter 3 opens by means of the mechanism 13, the screen 8 is pushed back, which ensures the integration of the cavities of the chambers 1 and 2. Through the formed passage, by moving the rod 14 downward, the articles 15 are immersed in an ampoule 6 with molten metal solution. In order to limit the heating of the chamber 2, the screen 8 is closed and the products are held in a metal solution for a predetermined time. After the exposure time, the screen 8 is pushed back and the products are moved to the chamber 2 using the rod 14. The shutter 3 is closed by the mechanism 13, due to which the cavities of the chambers 1 and 2 are isolated from each other, and the pump 23 is turned on. The pump 23 causes circulation of inert gas located in the chamber 2, through the heat exchanger 22. In this case, the inert gas heated from the products through the line 19 enters the heat exchanger 22, is cooled and again through the line 17 enters the cavity of the chamber 2. After cooling the products to a predetermined temperature, the pump 23 is turned off, it opens the hatch 16 and the products are removed from the chamber 2. In this case, an inert atmosphere remains in the chamber 1 and the set process temperature is maintained. Next, loading through the hatch 16 into the chamber 2 of the next batch of products is performed, the hatch 16 is closed, through the vacuum line 17, after opening the valve 18, air is pumped out of the chamber 2 to a predetermined vacuum. After that, the valve 18 is closed, the valve 20 opens and through the highway 19 the cavity of the chamber 2 is filled with inert gas and the coating cycle is repeated.
Таким образом, за счет наличия герметичного затвора, обеспечивающего возможность разделения полостей 1 и 2 камер, а также автономных вакуумных и наполнительных магистралей обеспечивается значительное сокращение длительности технологического процесса, так как не тратится время на нагрев и охлаждение ампулы с металлическим раствором при несении покрытий на разные партии изделий. Это также экономит электроэнергию, уменьшает расход инертного газа. Наличие системы циркуляции и охлаждения инертного газа в камере 2 обеспечивает возможность проведения термической обработки материала изделий, а более интенсивное охлаждение изделий сокращает общую длительность технологического процесса. Интенсивное охлаждение покрытых изделий обеспечивает также и повышение качества покрытий за счет торможения процесса выпадения кристаллов материала покрытия из расплава, остающегося на поверхности изделий. Покрытия формируются ровными по толщине и гладкими. Боковой загрузочный люк снижает трудоемкость и длительность операций загрузки и выгрузки изделий.Thus, due to the presence of a hermetic shutter that allows the separation of the cavities of 1 and 2 chambers, as well as autonomous vacuum and filling lines, a significant reduction in the duration of the process is provided, since time is not spent on heating and cooling the ampoule with the metal solution when carrying coatings on different batch of products. It also saves energy, reduces inert gas consumption. The presence of an inert gas circulation and cooling system in chamber 2 provides the possibility of heat treatment of the material of the products, and more intensive cooling of the products reduces the overall duration of the process. Intensive cooling of coated products also provides an increase in the quality of coatings due to inhibition of the process of precipitation of crystals of the coating material from the melt remaining on the surface of the products. Coatings are formed even in thickness and smooth. Side loading hatch reduces the complexity and duration of the operations of loading and unloading products.
Все вышеперечисленные отличительные особенности конструкции устройства дают возможность использовать технологию нанесения покрытий из жидкометаллических растворов в серийном, крупносерийном и массовом производствах, что не обеспечивают существующие в настоящее время аналоги.All of the above distinguishing features of the design of the device make it possible to use the technology of coating from liquid metal solutions in serial, large-scale and mass production, which does not provide existing analogues.
Заключая, можно отметить, что введением новой совокупности существенных признаков решается поставленная техническая задача, вытекающая из современного уровня техники.Concluding, it can be noted that the introduction of a new set of essential features solves the technical problem arising from the current level of technology.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2005127124/02A RU2293791C1 (en) | 2005-08-29 | 2005-08-29 | Apparatus for diffusion metallization in liquid metal solutions of easy-to-melt metals |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2005127124/02A RU2293791C1 (en) | 2005-08-29 | 2005-08-29 | Apparatus for diffusion metallization in liquid metal solutions of easy-to-melt metals |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2293791C1 true RU2293791C1 (en) | 2007-02-20 |
Family
ID=37863444
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2005127124/02A RU2293791C1 (en) | 2005-08-29 | 2005-08-29 | Apparatus for diffusion metallization in liquid metal solutions of easy-to-melt metals |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2293791C1 (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2521187C2 (en) * | 2012-10-25 | 2014-06-27 | ООО "Биметалл Плюс" | Device for diffusion metallisation in medium of fusible liquid-metal solutions |
| RU2522786C2 (en) * | 2012-05-28 | 2014-07-20 | Открытое Акционерное Общество "Новосибирский Завод Полупроводниковых Приборов С Окб" (Оао"Нзпп С Окб") | Quartz ampoule design for diffusion of dopants into silicon (arsenic diffusion) with built-in tool for controlling rate of post-diffusion cooling of silicon p-n structures |
| RU2538027C2 (en) * | 2012-05-28 | 2015-01-10 | Открытое акционерное общество "Новосибирский завод полупроводниковых приборов с ОКБ" (ОАО "НЗПП с ОКБ") | Control and stabilisation of post diffusion (antinomy diffusion) cooling of low-voltage (~6 v) silicon planar structures of vrd and device to this end |
| RU2553155C1 (en) * | 2014-04-02 | 2015-06-10 | Общество с ограниченной ответственностью "Биметалл Плюс" | Method of manufacturing of diffusion coatings on metal products and device for its implementation |
| RU2767108C1 (en) * | 2021-05-20 | 2022-03-16 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Кубанский государственный технологический университет" (ФГБОУ ВО "КубГТУ") | Device for diffusion metallization in medium of low-melting liquid metal solutions |
| RU2789323C1 (en) * | 2022-04-27 | 2023-02-01 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Кубанский государственный технологический университет" (ФГБОУ ВО "КубГТУ") | Device for diffusion metallization of products in a low-melting liquid metal solution |
-
2005
- 2005-08-29 RU RU2005127124/02A patent/RU2293791C1/en not_active IP Right Cessation
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Машины и приборы для создания многокомпонентных диффузионных покрытий на стальных деталях и комплексного исследования коррозионно-механических свойств этих деталей. Отчет по НИР. НИИЦентр, руководитель М.И.Чаевский, ответ.исполнитель А.Г.Соколов, № ГР 79010992, инв. № Б 922733. Краснодар, 1980, с.152. * |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2522786C2 (en) * | 2012-05-28 | 2014-07-20 | Открытое Акционерное Общество "Новосибирский Завод Полупроводниковых Приборов С Окб" (Оао"Нзпп С Окб") | Quartz ampoule design for diffusion of dopants into silicon (arsenic diffusion) with built-in tool for controlling rate of post-diffusion cooling of silicon p-n structures |
| RU2538027C2 (en) * | 2012-05-28 | 2015-01-10 | Открытое акционерное общество "Новосибирский завод полупроводниковых приборов с ОКБ" (ОАО "НЗПП с ОКБ") | Control and stabilisation of post diffusion (antinomy diffusion) cooling of low-voltage (~6 v) silicon planar structures of vrd and device to this end |
| RU2521187C2 (en) * | 2012-10-25 | 2014-06-27 | ООО "Биметалл Плюс" | Device for diffusion metallisation in medium of fusible liquid-metal solutions |
| RU2553155C1 (en) * | 2014-04-02 | 2015-06-10 | Общество с ограниченной ответственностью "Биметалл Плюс" | Method of manufacturing of diffusion coatings on metal products and device for its implementation |
| RU2767108C1 (en) * | 2021-05-20 | 2022-03-16 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Кубанский государственный технологический университет" (ФГБОУ ВО "КубГТУ") | Device for diffusion metallization in medium of low-melting liquid metal solutions |
| RU2789323C1 (en) * | 2022-04-27 | 2023-02-01 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Кубанский государственный технологический университет" (ФГБОУ ВО "КубГТУ") | Device for diffusion metallization of products in a low-melting liquid metal solution |
| RU2792992C1 (en) * | 2022-07-13 | 2023-03-28 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский горный университет" | Installation for application of coating on steel products in fusible metal solution |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP2291868B1 (en) | Device and method for tempering objects in a treatment chamber | |
| JPH05275412A (en) | Method and apparatus for cleaning and drying treatment of substrate | |
| RU2293791C1 (en) | Apparatus for diffusion metallization in liquid metal solutions of easy-to-melt metals | |
| EP2870625B1 (en) | Assembly and method for processing substrates | |
| JP2016074983A (en) | Device for individual quench hardening of equipment components | |
| CN112811802A (en) | Uniform heated annealing furnace for glass bottle production | |
| US3845808A (en) | Apparatus for casting directionally solidified articles | |
| NO304031B1 (en) | Sealed housing for use in coating a liquid metal-based coating product on objects and plants for continuous / intermittent coating of objects | |
| RU2423546C1 (en) | Device for diffusive metallisation in medium of fusible liquid metal solutions | |
| CN105950927B (en) | A kind of preparation method of activeness and quietness type magnesium lithium alloy | |
| RU2521187C2 (en) | Device for diffusion metallisation in medium of fusible liquid-metal solutions | |
| JP4735813B2 (en) | Combined heat treatment equipment and vapor deposition equipment | |
| KR100727736B1 (en) | Simulator for batch annealing furnace and method of experiment thereof | |
| RU63122U1 (en) | PLANT FOR PROCESSING SEMICONDUCTOR PLATES | |
| RU2692142C1 (en) | Device for diffusion metallisation in medium of low-melting liquid metal solutions | |
| KR100585994B1 (en) | Treating Apparatus for Autoclave | |
| JP6588991B2 (en) | Apparatus and method for manufacturing ingot | |
| RU2117717C1 (en) | Method and process line for zinc coating | |
| JP3395438B2 (en) | Induction heating bonding method and apparatus | |
| TWM465660U (en) | Diffusion furnace structure | |
| US3375804A (en) | Film deposition apparatus | |
| CN1804621A (en) | Simulating device for strip steel continuous annealing process | |
| US3188245A (en) | Electric discharge heat treatment of metals in electrolytes | |
| RU2767108C1 (en) | Device for diffusion metallization in medium of low-melting liquid metal solutions | |
| TW201350777A (en) | Diffsion furnace device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20180830 |