RU2179537C2 - Стеклопанель, содержащая прозрачную функциональную пленку, сопло для осаждения пленки из газовой фазы и способ формирования пленки с помощью этого сопла - Google Patents
Стеклопанель, содержащая прозрачную функциональную пленку, сопло для осаждения пленки из газовой фазы и способ формирования пленки с помощью этого сопла Download PDFInfo
- Publication number
- RU2179537C2 RU2179537C2 RU97105847/03A RU97105847A RU2179537C2 RU 2179537 C2 RU2179537 C2 RU 2179537C2 RU 97105847/03 A RU97105847/03 A RU 97105847/03A RU 97105847 A RU97105847 A RU 97105847A RU 2179537 C2 RU2179537 C2 RU 2179537C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- film
- refractive index
- glass
- oxide
- glass panel
- Prior art date
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 91
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 239000007792 gaseous phase Substances 0.000 title abstract 3
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 139
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 41
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 38
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims abstract description 27
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims abstract description 27
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 15
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 15
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 13
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 13
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 8
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 46
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 31
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims description 23
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 21
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- -1 silicon oxy nitride Chemical class 0.000 claims description 12
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims description 10
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 9
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 9
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 6
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 claims description 6
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 6
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 6
- 239000008246 gaseous mixture Substances 0.000 claims description 5
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 5
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 4
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000013067 intermediate product Substances 0.000 claims description 4
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 3
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims description 2
- 230000000750 progressive effect Effects 0.000 claims description 2
- GPYXTLGJENDVIX-UHFFFAOYSA-N [O-2].[V+5].[Si+4] Chemical compound [O-2].[V+5].[Si+4] GPYXTLGJENDVIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 33
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 5
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 abstract description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- GANNOFFDYMSBSZ-UHFFFAOYSA-N [AlH3].[Mg] Chemical compound [AlH3].[Mg] GANNOFFDYMSBSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 230000003467 diminishing effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 abstract 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000000543 intermediate Substances 0.000 description 49
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 26
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 17
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 description 15
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 11
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 8
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 7
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 4
- 238000001004 secondary ion mass spectrometry Methods 0.000 description 4
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 4
- DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 1-butoxybutane Chemical compound CCCCOCCCC DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 3
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 3
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- HSWKIPCBJSMQFA-UHFFFAOYSA-N 1-butoxybutane;tin Chemical compound [Sn].CCCCOCCCC HSWKIPCBJSMQFA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MVODTGURFNTEKX-UHFFFAOYSA-N 2-bromo-n-(2-bromoethyl)-n-(thiophen-2-ylmethyl)ethanamine;hydrobromide Chemical compound Br.BrCCN(CCBr)CC1=CC=CS1 MVODTGURFNTEKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LERMQUULPSCGHK-UHFFFAOYSA-N C(C)(=O)OCCCC.C(C)(=O)OCCCC.[Sn] Chemical compound C(C)(=O)OCCCC.C(C)(=O)OCCCC.[Sn] LERMQUULPSCGHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K aluminium trichloride Chemical compound Cl[Al](Cl)Cl VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 2
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 2
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 2
- FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisilazane Chemical compound C[Si](C)(C)N[Si](C)(C)C FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 125000002524 organometallic group Chemical group 0.000 description 2
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 2
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010186 staining Methods 0.000 description 2
- CZDYPVPMEAXLPK-UHFFFAOYSA-N tetramethylsilane Chemical compound C[Si](C)(C)C CZDYPVPMEAXLPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000003606 tin compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- YOBOXHGSEJBUPB-MTOQALJVSA-N (z)-4-hydroxypent-3-en-2-one;zirconium Chemical compound [Zr].C\C(O)=C\C(C)=O.C\C(O)=C\C(C)=O.C\C(O)=C\C(C)=O.C\C(O)=C\C(C)=O YOBOXHGSEJBUPB-MTOQALJVSA-N 0.000 description 1
- POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M (z)-4-oxopent-2-en-2-olate Chemical compound C\C([O-])=C\C(C)=O POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M 0.000 description 1
- WZJUBBHODHNQPW-UHFFFAOYSA-N 2,4,6,8-tetramethyl-1,3,5,7,2$l^{3},4$l^{3},6$l^{3},8$l^{3}-tetraoxatetrasilocane Chemical compound C[Si]1O[Si](C)O[Si](C)O[Si](C)O1 WZJUBBHODHNQPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XBIUWALDKXACEA-UHFFFAOYSA-N 3-[bis(2,4-dioxopentan-3-yl)alumanyl]pentane-2,4-dione Chemical compound CC(=O)C(C(C)=O)[Al](C(C(C)=O)C(C)=O)C(C(C)=O)C(C)=O XBIUWALDKXACEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GLHBSWIAEAMKOV-UHFFFAOYSA-K C(CCC)[Sn](Cl)(Cl)Cl.[Sn] Chemical compound C(CCC)[Sn](Cl)(Cl)Cl.[Sn] GLHBSWIAEAMKOV-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- XWCDCDSDNJVCLO-UHFFFAOYSA-N Chlorofluoromethane Chemical compound FCCl XWCDCDSDNJVCLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000196324 Embryophyta Species 0.000 description 1
- 241000394591 Hybanthus Species 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 229910008045 Si-Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002808 Si–O–Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006411 Si—Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021627 Tin(IV) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- GEIAQOFPUVMAGM-UHFFFAOYSA-N ZrO Inorganic materials [Zr]=O GEIAQOFPUVMAGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOIORXHNWRGPMV-UHFFFAOYSA-N acetic acid;zinc Chemical compound [Zn].CC(O)=O.CC(O)=O ZOIORXHNWRGPMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- BSDOQSMQCZQLDV-UHFFFAOYSA-N butan-1-olate;zirconium(4+) Chemical compound [Zr+4].CCCC[O-].CCCC[O-].CCCC[O-].CCCC[O-] BSDOQSMQCZQLDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 125000004773 chlorofluoromethyl group Chemical group [H]C(F)(Cl)* 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000004737 colorimetric analysis Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- RCJVRSBWZCNNQT-UHFFFAOYSA-N dichloridooxygen Chemical compound ClOCl RCJVRSBWZCNNQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UCXUKTLCVSGCNR-UHFFFAOYSA-N diethylsilane Chemical compound CC[SiH2]CC UCXUKTLCVSGCNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HQWPLXHWEZZGKY-UHFFFAOYSA-N diethylzinc Chemical compound CC[Zn]CC HQWPLXHWEZZGKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- GNTDGMZSJNCJKK-UHFFFAOYSA-N divanadium pentaoxide Chemical compound O=[V](=O)O[V](=O)=O GNTDGMZSJNCJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004043 dyeing Methods 0.000 description 1
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 1
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 1
- NEXSMEBSBIABKL-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisilane Chemical compound C[Si](C)(C)[Si](C)(C)C NEXSMEBSBIABKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UQEAIHBTYFGYIE-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisiloxane Chemical compound C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C UQEAIHBTYFGYIE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SBFKENUEAOCRNR-UHFFFAOYSA-K indium(3+);triformate Chemical compound [In+3].[O-]C=O.[O-]C=O.[O-]C=O SBFKENUEAOCRNR-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- PSCMQHVBLHHWTO-UHFFFAOYSA-K indium(iii) chloride Chemical compound Cl[In](Cl)Cl PSCMQHVBLHHWTO-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 239000005340 laminated glass Substances 0.000 description 1
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 1
- AKTIAGQCYPCKFX-FDGPNNRMSA-L magnesium;(z)-4-oxopent-2-en-2-olate Chemical compound [Mg+2].C\C([O-])=C\C(C)=O.C\C([O-])=C\C(C)=O AKTIAGQCYPCKFX-FDGPNNRMSA-L 0.000 description 1
- XDKQUSKHRIUJEO-UHFFFAOYSA-N magnesium;ethanolate Chemical compound [Mg+2].CC[O-].CC[O-] XDKQUSKHRIUJEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- HMMGMWAXVFQUOA-UHFFFAOYSA-N octamethylcyclotetrasiloxane Chemical compound C[Si]1(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O1 HMMGMWAXVFQUOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 150000002902 organometallic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000010422 painting Methods 0.000 description 1
- 230000002085 persistent effect Effects 0.000 description 1
- 230000008092 positive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M sodium;oxocalcium;hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+].[Ca]=O HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000002207 thermal evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000000427 thin-film deposition Methods 0.000 description 1
- HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J tin(iv) chloride Chemical compound Cl[Sn](Cl)(Cl)Cl HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- VXUYXOFXAQZZMF-UHFFFAOYSA-N titanium(IV) isopropoxide Chemical compound CC(C)O[Ti](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C VXUYXOFXAQZZMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VOITXYVAKOUIBA-UHFFFAOYSA-N triethylaluminium Chemical compound CC[Al](CC)CC VOITXYVAKOUIBA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OTRPZROOJRIMKW-UHFFFAOYSA-N triethylindigane Chemical compound CC[In](CC)CC OTRPZROOJRIMKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002371 ultraviolet--visible spectrum Methods 0.000 description 1
- 229910001935 vanadium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 230000016776 visual perception Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- 239000004246 zinc acetate Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
- C03C17/3429—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
- C03C17/3441—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising carbon, a carbide or oxycarbide
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
- C03C17/3417—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials all coatings being oxide coatings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
- C03C17/3429—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
- C03C17/3435—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C16/0272—Deposition of sub-layers, e.g. to promote the adhesion of the main coating
- C23C16/029—Graded interfaces
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/453—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating passing the reaction gases through burners or torches, e.g. atmospheric pressure CVD
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/90—Other aspects of coatings
- C03C2217/91—Coatings containing at least one layer having a composition gradient through its thickness
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
- Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
- Y10T428/264—Up to 3 mils
- Y10T428/265—1 mil or less
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Details Of Aerials (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Предмет изобретения - стеклопанель, содержащая прозрачную подложку 1, преимущественно выполненную из стекла и снабженную по крайней мере одной функциональной проводящей и/или с низкой эмиссионной способностью прозрачной тонкой пленкой 3. Чтобы улучшить оптический и, главным образом, колориметрический внешний вид стеклопанели, между подложкой 1 и функциональной пленкой 3 помещена по крайней мере одна промежуточная пленка 2. Эта по крайней мере одна промежуточная пленка имеет градиент показателя преломления, убывающий по толщине. Промежуточная пленка включает по меньшей мере два компонента с различными показателями преломления. Компонент с высоким показателем преломления основан на оксиде олова, титана, циркония, алюминия, магния, ванадия, нитриде кремния или оксикарбиде кремния. Компонент с низким показателем преломления основан на оксиде кремния, оксинитриде кремния или оксикарбиде кремния. Панель также может быть снабжена защитной пленкой. Изобретение также относится к способу формирования пленки и устройству в виде сопла, предназначенному для производства стеклопанели такого типа, а именно для осаждения пленки из газовой фазы. Сопло включает инжекционные щели для подачи газообразных полупродуктов, имеющих разный состав, и для откачки вытекающего потока газов, расположенные таким образом, чтобы образовать U-образный поток газов над лентой стекла. Технический результат изобретения - улучшение оптического внешнего вида стеклопанели и разработка способа ее производства. 3 с. и 15 з.п.ф-лы, 4 табл. 7 ил.
Description
Изобретение относится к стеклопанели, содержащей стеклянную подложку, снабженную функциональной тонкой пленкой, причем последняя имеет свойства прозрачности, электропроводности и/или низкой эмиссионной способности.
Оно также относится к процессам для получения такой стеклопанели, в частности, посредством пиролиза или технологий, использующих вакуум.
Этот тип функциональной пленки главным образом применим для стеклопанелей, предназначенных для зданий: стеклянная подложка, покрытая пленкой с низкой эмиссионной способностью, позволяет снизить эмиссию через стеклопанель в дальней инфракрасной области, из которой она образует часть излучения, выходящую изнутри помещения наружу. Комфорт жителей заметно улучшается, главным образом зимой, путем снижения потерь энергии, частично обусловленных такой утечкой радиации. Подложка, покрытая таким образом и затем объединенная с другой подложкой через слой газа, и пленка с низкой эмиссионной способностью, расположенная как поверхность 3 (рассматривая с наиболее удаленной от центра поверхности), составляют очень эффективное изолирующее двойное застекление.
Эти пленки из-за их электропроводности также применимы для стеклопанелей, предназначенных для автомашин, например, чтобы создавать нагреваемые окна, обеспечивая подведение тока.
Пленки металлических оксидов, проявляющих такие свойства, представляют собой, например, слои окиси индия, легированной оловом (ITO), или окиси цинка, легированной алюминием (Al: ZnO), окиси цинка, легированной индием (In: ZnO), окиси цинка, легированной оловом (Sn: ZnO), окиси цинка, легированной фтором (F: ZnO), или окиси олова, легированной фтором (F: SnО2).
Эти металлические окисные пленки могут быть получены различными процессами: вакуумными процессами (тепловым испарением или напылением, возможно используя магнетрон), или пиролизом металлорганических соединений, распыляемых в жидкой, твердой или газообразной форме с помощью рабочего газа на поверхность стеклянной подложки, нагретой до высокой температуры, но которая тем не менее меньше температуры размягчения стекла. Эти соединения, приведенные таким образом в контакт с горячей поверхностью, разлагаются, окисляясь так, чтобы образовать пленку металлического оксида на этой поверхности. Последняя технология наиболее выгодна, постольку поскольку она позволяет предусмотреть непрерывное осаждение непосредственно на ленте из стекла в производственной линии поточного типа.
Однако чтобы достичь высокого уровня качества для этих пленок, главным образом с точки зрения значений эмиссионной способности и/или электропроводности, их толщина должна быть по крайней мере 180 нм или в действительности больше чем 400 нм, а обычно между 350 и 550 нм. Тонкая пленка, имеющая такие толщины, придает подложке, которую она покрывает, внешний вид в отраженном свете, главным образом окрашивание, что не может иметь высокую оценку с эстетической точки зрения.
Таким образом, возникает проблема внешнего вида в отраженном свете и, более конкретно, приобретенного остаточного окрашивания подложки, покрытой таким образом. Вот почему в соответствии с изложением патента ЕР-В-0125153 пленка из окиси олова, легированной фтором F: SnO2, толщина которой только приблизительно составляет от 163 до 165 нм, осажденная на прозрачной подложке листового стекла толщиной 4 мм, дает последней окрашивание в отраженном свете в голубых тонах, т.е. окрашивание, которое в настоящее время высоко ценится как в строительстве зданий, так и в производстве автомашин. С другой стороны, замечено, что пленка такого же типа, но в то же время имеющая толщину 360 нм, и следовательно, пленка, имеющая превосходящее качество, дает той же самой подложке внешний вид в отраженном свете "со стороны пленки" в зелено-фиолетовых тонах, т. е. цвет, который не очень желателен по эстетическим причинам.
Различные технические решения, направленные на улучшение оптического внешнего вида стеклопанелей, снабженных функциональными пленками, имеющими такие характеристики, уже предлагались. Так в европейской патентной публикации ЕР-А-0573325 так называемое "промежуточное" покрытие вводится между подложкой и функциональной пленкой, причем оптическая толщина этого покрытия соответственно выбирается так, чтобы получить остаточный цвет в отраженном свете, который находится в голубых тонах и, более того, не очень интенсивный. Имея в виду такую же цель, описание патентной публикации WO-94/25410 предлагает на этот раз поместить функциональную пленку между двумя покрытиями, одно называемое "внутренним" покрытием и другое называемое "внешним" покрытием; комбинация выбора характеристик толщины и показателя преломления этих двух покрытий расширяет рамки точной корректировки колориметрического внешнего вида стеклопанели в отраженном свете.
Известна также стеклопанель, содержащая прозрачную подложку, преимущественно выполненную из стекла, снабженную по меньшей мере одной функциональной проводящей и/или с низкой эмиссионной способностью прозрачной тонкой пленкой, между которыми помещена по меньшей мере одна промежуточная пленка, имеющая убывающий по ее толщине показатель преломления от значения, близкого к показателю преломления функциональной пленки до значения, близкого к показателю преломления подложки с обеспечением улучшения оптической и преимущественно колориметрической характеристик стеклопанели (см. ЕР, А 0519690).
Известен способ формирования пленки с помощью сопла, описанный в US, A4293326, при котором газообразную смесь подают в первую инжекционную щель, дополнительно подают вторую газообразную смесь через вторую инжекционную щель, так что газовые потоки, исходящие из этих первой и второй щелей, текут по стеклу в зону осаждения в виде безвихревого потока, за исключением того места на выходе второй инжекционной щели, в котором создают область возмущения, чтобы активировать взаимную диффузию двух газовых потоков.
Задачей изобретения является создание стеклопанели, представляющей собой многослойный блок тонких пленок, включающий функциональные пленки, проявляющие хорошие тепловые/электрические свойства и внешний вид в отраженном свете, приятный для глаз настолько, насколько это возможно, и главным образом, имеющие в отраженном свете цвет не очень интенсивный, чуть-чуть отражающий и стойкий и эстетически приятный, а также создать способ получения такой стеклопанели и сопло для осуществления этого способа.
Также предметом изобретения является разработка процесса для производства этих стеклопанелей, так же как и завода, необходимого для его реализации.
Предмет изобретения - во-первых, стеклопанель, содержащая прозрачную подложку, в частности, сделанную из стекла, снабженную по крайней мере одной функциональной прозрачной тонкой пленкой. В рамках изобретения под "функциональной" пленкой подразумевается пленка, обладающая свойствами электропроводности и/или тепловыми свойствами, и особенно свойством низкой эмиссионной способности. Чтобы улучшить оптический внешний вид стеклопанели, главным образом по отношению к колориметрии, по крайней мере одна так называемая "промежуточная" пленка помещается между подложкой и этой функциональной пленкой, эта по крайней мере одна промежуточная пленка имеет убывающий градиент показателя преломления по толщине. Под "убывающим градиентом" в рамках изобретения подразумевается тот факт, что показатель преломления пленки убывает по толщине прогрессивно по мере удаления от поверхности несущей подложки.
В соответствии с предпочтительным вариантом воплощения, кроме того, на функциональной пленке осаждается по крайней мере одна так называемая "внешняя" тонкая пленка, показатель преломления и геометрическая толщина которой выбраны так, чтобы способствовать улучшению оптического внешнего вида стеклопанели в комбинации с промежуточной пленкой.
Удивительно, но фактически оказалось, что вложение между подложкой и функциональной пленкой пленки, показатель преломления которой прогрессивно убывает, имело чрезвычайно положительное влияние на внешний вид стеклопанели в отраженном свете как с чисто эстетической точки зрения, так и с точки зрения производства: с одной стороны, стеклопанель в соответствии с изобретением имела приятный цвет в отраженном свете "со стороны пленок", и, более конкретно, в голубом диапазоне; этот цвет сильно ослаблялся "при разбавлении белым" и, кроме того, был лишен любого отблеска, поскольку это связано с наиболее желательным значением отражения света. Эти эффекты "антиотражения" (просветления) и "антицвета" - кроме того, подчеркиваются присутствием "внешнего" покрытия, упомянутого выше.
Однако более того, было замечено, что эта промежуточная пленка, характерная для изобретения, позволила улучшить как стабильность, так и однородность внешнего вида стеклопанели в отраженном свете.
Это потому, что, как известно, в зависимости от выбранного способа производства осаждения тонкой пленки задаются такие допуски по толщинам пленок, за пределами которых глаз очень точно воспринимает вариации во внешнем виде между одной стеклопанелью и другой или между одной областью стеклопанели и другой. Эти вариации вызваны интерференцией за счет неравномерности толщины пленок и, главным образом, толщины функциональной пленки. Однако оказалось, что промежуточная пленка, характерная для настоящего изобретения, в значительной степени ослабляет эти вариации во внешнем виде, что позволяет, в зависимости от того, какой способ осаждения выбран, значительно снижать количество отходов стеклопанели после осаждения пленок, обусловленных радужностью (цветами побежалости) или дефектами в оптическом внешнем виде, или, наоборот, позволяет принимать менее жесткие производственные допуски по толщинам пленок, что выгодно с точки зрения качества стеклопанелей или рентабельности их изготовления.
Преимущественно полная вариация показателя преломления по толщине промежуточной пленки в соответствии с изобретением выбирается со значением, по крайней мере равным 0,2, и главным образом между 0,25 и 0,80.
Таким образом, самый низкий показатель преломления в этом градиенте показателя находится предпочтительно между 1,45 и 1,60, в то время как самый высокий показатель преломления - предпочтительно между 1,70 и 2,35. Разница между самым низким показателем и самым высоким показателем фактически должна выбираться относительно большой, чтобы получить выгоды от изобретения оптимальным способом.
Предпочтительный способ получения такого градиента показателя состоит в уменьшении показателя преломления промежуточной пленки от значения, близкого к показателю преломления функциональной пленки, до значения, близкого к показателю преломления подложки.
Что касается геометрической толщины промежуточной пленки, то она выбирается предпочтительно между 30 и 120 нм, например, между 40 и 120 нм, главным образом, между 45 и 90 нм или между 50 и 100 нм. Фактически толщина должна быть достаточной для того, чтобы действительно создавать градиент показателя преломления.
Имеются различные возможные способы создания такого градиента показателя преломления. Простейший из них это получить его, прогрессивно изменяя химический состав промежуточной пленки по толщине, главным образом, смешивая по крайней мере два компонента, имеющих различные показатели преломления, причем количество компонента или смеси компонентов, имеющих самый высокий показатель преломления (или показатели), постепенно уменьшается по толщине. Выбор этих компонентов, например, может быть следующим: для компонентов с низким показателем подходят окись кремния, оксинитрид кремния или оксикарбид кремния, а для компонентов с высоким показателем подходят окись олова, окись титана, окись циркония, окис алюминия, окись магния, окись ванадия, оксикарбид кремния или нитрид кремния или смесь, по крайней мере, двух из этих соединений.
Этот градиент может быть получен использованием вакуумной техники или пиролизом, главным образом, пиролизом в газовой фазе. Чтобы сделать это, в соответствии с изобретением разработано подходящее сопло подачи газа. Это сопло размещается над стеклом, перпендикулярно к направлению движения, когда стекло выступает в форме ленты листового стекла, и предпочтительно размещается внутри действующей камеры лодочки для вытягивания стекла. Оно включает в себя первую входную "лапку", вторую входную "лапку", центральный профилированный блок и выходную "лапку". Первая инжекционная щель газового полупродукта делается между двумя верхними "лапками", а вторая инжекционная щель делается между центральным блоком и нижней "лапкой". Щель для откачки вытекающего потока остаточного газа обеспечивается между центральным профилированным блоком и выходной "лапкой". Таким образом, все эти щели и нижние поверхности "лапок" и центрального блока направляют газовые потоки, поставляемые двумя инжекционными щелями, по стеклу в зоне осаждения, с траекторией потока, имеющей приблизительную форму U. Для того чтобы создать парциальное (частичное) и прогрессивное смешивание между этими двумя газовыми потоками в зоне осаждения и, таким образом, создавать желательный градиент состава, корректируются некоторые геометрические параметра сопла. Два важных параметра представляют собой, с одной стороны, расстояние 1 между инжекционными щелями и, с другой стороны, относительные конфигурации двух входных "лапок" и центрального блока. Следовательно, чтобы достичь желательного эффекта, предпочтительный вариант воплощения состоит в том, что нижняя поверхность центрального блока находится на более высоком уровне, чем нижняя поверхность второй соседней с ним входной "лапки", и нижняя поверхность этой второй входной "лапки" сама по себе находится на более высоком уровне, чем нижняя поверхность первой входной "лапки".
Что касается расстояния 1 между двумя щелями, то в большинстве случаев его выгодно выбирать равным до 3/4 от полной длины зоны осаждения, главным образом, приблизительно от 1/4 до 2/3 от упомянутой длины.
Чтобы получить желательный убывающий градиент показателя преломления для изготовления промежуточной пленки в соответствии с изобретением, необходимо затем подавать в первую инжекционную щель химическую активную смесь, которая производит пиролиз, в виде оксида с заданным наибольшим показателем преломления (ТiO2, SnO2, ZrО2, MgO, V2O5, SiOxCy, Si3N4, смесь по крайней мере двух из этих оксидов или, по крайней мере, одного из этих оксидов с Аl2O3) и во вторую инжекционную щель подавать химически активную смесь, производящую пиролиз, в виде оксида, имеющего наименьший показатель (такого как SiO2).
Конечно, с другой стороны, если это требуется, необходимо обратить ситуацию, чтобы получать растущий градиент показателя преломления.
Изобретение также имеет отношение к процессу, в котором применяется такое сопло, и к стеклопанелям, полученным упомянутым процессом.
Что касается так называемой "внешней" тонкой пленки, упомянутой ранее, лежащей над функциональной пленкой, то она предпочтительно выбирается имеющей показатель преломления между 1,4 и 1,7 и геометрическую толщину между 70 и 120 нм. Это потому, что с такими характеристиками получается оптимальный оптический внешний вид, главным образом, наибольшее снижение отражения света RL и, следовательно, поэтому наибольший рост пропускания света TL. Чтобы сформировать эту пленку, можно выбирать различные диэлектрические материалы, главным образом, на основе по крайней мере одного из следующих компонентов: окиси кремния, оксинитрида кремния, оксикарбида кремния, окиси алюминия или смеси окиси кремния и окиси алюминия, также содержащей галогенид типа фтора.
Для того чтобы изготовить такую пленку, можно обратиться к технологии вакуумного осаждения, главным образом, технологии напыления химически активного или неактивного типа. Также возможно использовать технологию пиролиза, более конкретно, в газовой фазе, также называемое CVD ("осаждение из газовой фазы"), главным образом для непрерывного осаждения на листовом стекле, используя кремнийорганические промежуточные соединения, объединенные с окислительным газом типа кислорода (или любым другим более слабо окисленным газом, таким как Н2O или N2O) в инертном разбавляющем газе типа азота, таком как диэтилсилан (двухэтиловый кремневодород) Si (СН3)2Н2, гексаметилдисилан (СН3)3-Si-Si(СН3)3, тетраэтилортосиликат Si(OC2H5)4, гексаметилдисилоксан (СН3)3-Si-O-Si(СН3)3, октаметилциклотетрасилоксан ((СН3)2SiO)3, тетраметилциклотетрасилоксан (СН3НSiO)4, так же как гексаметилдисилазан или тетраметилсилан, и/или используя известные металлорганические полупродукты (промежуточные соединения), главным образом имеющие функциональную группу алкоксида (алкоголята) или (β -дикетона). Возможно также воспользоваться технологией осаждения, использующей пиролиз порошка или жидкой фазы. Для более подробного рассмотрения схемы (структуры) и способов получения этой "внешней" пленки, можно сделать соответствующую ссылку на вышеупомянутое описание патента РСТ WO-94/25410 и на описание французского патента FR-94/13911, соответствующего европейскому патенту ЕР-0712815.
Функциональная пленка в соответствии с изобретением представляет собой, например, пленку типа тех, которые описаны в вышеупомянутых описаниях патентных публикаций. Таким образом, она в основном имеет показатель преломления приблизительно от 1,8 до 2, и, чтобы гарантировать достаточный уровень исполнения относительно тепловых и электрических параметров, геометрическая толщина должна составлять по крайней мере 300 нм, и, главным образом, между 350 и 550 нм. Она может быть основана на оксидах, легированных металлами, например, типа: окиси индия, легированной оловом ITO, или окиси олова, легированной фтором F: SnO2, окиси цинка, легированной индием In: ZnO, окиси цинка, легированной фтором F: ZnO, окиси цинка, легированной алюминием А1: ZnO, или окиси цинка, легированной оловом Sn: ZnO.
Такая пленка может быть изготовлена, используя технику вакуумного осаждения типа химически активного или неактивного напыления или посредством технологии пиролиза, главным образом пиролиза мелкодисперсных соединений, в частности, когда пленка сделана из F: SnO2 или из ITO, предпочтительно осуществлять это непрерывно, непосредственно на ленте листового стекла.
При использовании пиролиза порошка можно изготовить пленки F:SnO2, используя дибутилоксид олова (DBTO) в виде порошка и газообразную безводную фтористоводородную (плавиковую) кислоту, как описано в патенте FR-2380997, используя дибутилдифтор олова (DBTF), возможно как смесь с дибутилоксидом олова DBTO, как описано в документе ЕР-А-178,95 или ЕР-А-039,256.
Что касается пленок ITO, они могут быть получены, например, при использовании формиата индия и соединения олова, такого как DBTO, описанное в документе ЕР-А-192009.
Также можно получить пленки F: SnO2 осаждением из газовой фазы или CVD, главным образом, используя смесь соединений олова, таких как ((СН)3)2 SnCl2, (C4H9)2SnCl2, Sn(С2Н5)4 и фторорганические соединения, такие как CCl2F2, CHClF2 и СН3СНF2, как изложено в описании патента ЕР-А-027403, или еще используя монобутилтрихлор олова и соединение такое, как хлоридфторметан, упомянутое в описании патента ЕР-А-121459, или тетрахлорид олова SnCl4.
Пленки F: SnO2 можно также получать в жидкой фазе, используя ацетилацетонат олова или диметил-2-пропионат олова в подходящем органическом растворителе, как в общем описано во французском патенте FR-2211411.
Пленки окиси цинка, легированной индием или алюминием, можно также получать осаждением из газовой фазы, используя диэтилцинк или ацетат цинка, и триэтилиндий, хлорид индия или триэтилалюминий, хлорид алюминия, как описано в патентной публикации ЕР-А-385769.
С промежуточной пленкой, в соответствии с изобретением возможно объединенной с внешней пленкой, многослойные блоки тонких пленок в соответствии с изобретением, следовательно, проявляют очень высокое качество с тепловой, эстетической и оптической точки зрения. Полученные стеклопанели проявляют высокое пропускание (коэффициент пропускания), например, хотя бы 75%, и главным образом по крайней мере от 80 до 85%; низкое отражение (коэффициент отражения); остаточное окрашивание в отраженном свете "со стороны пленки" в голубых тонах; цветонасыщенность С* остаточного окрашивания в колориметрической системе (L*, а*, b*) в большинстве случаев равна 5. И наконец, эмиссионная способность стеклопанели значительно снижается, и ее значения ε в большинстве случаев равны 0,18.
Когда они устанавливаются в качестве двойного застекления, тогда они достигают значений прозрачности по крайней мере 70%.
Монолитные подложки, если они покрыты в соответствии с изобретением, могут с успехом внедряться в многослойные стеклопанели или в изолирующее многократное остекление типа двойного застекления. В последнем случае подложка с ее пленками помещается в двойные рамы так, что когда они устанавливаются в качестве витрины здания, пленки находятся на поверхности 3 (поверхности подложек во всех типах многократного застекления традиционно обозначаются, считая снаружи внутрь).
Как уже упоминалось, любой тип технологии осаждения может использоваться для нанесения функциональной пленки, промежуточной пленки и, возможно, внешней пленки. В частности, по крайней мере одна из пленок, когда она основана на металлической окиси(ях), может быть нанесена с помощью вакуумной техники, главным образом напылением, возможно химически активным напылением в присутствии кислорода, используя мишени, сделанные из металлического сплава или из керамики подходящих составов.
Однако, как уже упоминалось, для нанесения по крайней мере одной из пленок предпочитается использовать технологию пиролиза твердой, жидкой или газовой фазы, поскольку этот тип технологии позволяет производить непрерывное осаждение на ленте стекла.
Таким образом, предпочтительный вариант воплощения для получения многослойного блока в соответствии с изобретением состоит в том, что: первое осаждение промежуточной пленки осуществляется с помощью CVD (осаждения из газовой фазы) на ленте стекла в камере для вытягивания стекла; затем наносится функциональная пленка с помощью CVD, главным образом также в камере для вытягивания стекла, или с помощью пиролиза мелкодисперсных соединений между камерой для вытягивания стекла и отжигающим лером; и наконец наносится внешний слой либо с помощью CVD до отжигающего лера или в отжигающем лере, либо с помощью пиролиза порошка(-ов) сразу же после осаждения функциональной пленки.
В дальнейшем изобретение поясняется описанием конкретных вариантов его воплощения, не ограничивающих изобретение, со ссылками на сопроводительные чертежи, на которых:
- фиг.1 изображает поперечное сечение стеклянной подложки с покрытием в соответствии с изобретением,
- фиг. 2 изображает поперечное сечение сопла CVD, приспособленного для осаждения промежуточной пленки с меняющимся показателем преломления в соответствии с изобретением,
- фиг. от 3 до 5 изображают спектры SIMS (масс-спектроскопия вторичных ионов) промежуточных пленок в соответствии с изобретением,
- фиг. 6 и 7 изображают графики градиентов показателя преломления и химических составов промежуточных пленок в соответствии с изобретением.
- фиг.1 изображает поперечное сечение стеклянной подложки с покрытием в соответствии с изобретением,
- фиг. 2 изображает поперечное сечение сопла CVD, приспособленного для осаждения промежуточной пленки с меняющимся показателем преломления в соответствии с изобретением,
- фиг. от 3 до 5 изображают спектры SIMS (масс-спектроскопия вторичных ионов) промежуточных пленок в соответствии с изобретением,
- фиг. 6 и 7 изображают графики градиентов показателя преломления и химических составов промежуточных пленок в соответствии с изобретением.
Следует отметить, что и фиг.1, и фиг.2 представляют собой схематические изображения и соответственно не соблюдают абсолютно точно относительные пропорции между различными иллюстрируемыми материалами/элементами, чтобы сделать их более простыми для восприятия.
Примеры от 1 до 7
Примеры от 1 до 7 представлены в соответствии с изобретением и являются результатом математического моделирования. Они моделируют в соответствии с фиг. 1 абсолютно точно подложку, сделанную из прозрачного известково-натриевого силикатного стекла толщиной 4 мм. Она покрыта пленкой 3 на основе F: SnО2, с низкой эмиссионной способностью, полученной известным способом с помощью пиролиза порошка, используя DBTF (дибутилдифтор олова), как описано в вышеупомянутых патентах, и затем внешней пленкой 4, основанной на смешанной окиси кремния и алюминия, также с фтором, эта пленка также получается известным способом CVD с использованием (TEOS) тетраэтилортосиликата, гексафторацетилацетоната алюминия и кислорода в соответствии с изложением французского описания FR-94/13911, опубликованного под номером FR-2 727107, соответствующего патенту ЕР-0712815. Между подложкой 1 и функциональной пленкой 3 помещается промежуточная пленка 2, имеющая убывающий градиент показателя преломления, то есть показатель преломления которой прогрессивно убывает по толщине в направлении от поверхности раздела со стеклом 1 к поверхности раздела с пленкой F: SnО23. Чтобы получить такой градиент, химический состав пленки постепенно изменяется по толщине, эта пленка, состоящая из смеси окисей, у которой пропорция компонентов, имеющих самый высокий показатель преломления (или показатели), прогрессивно убывает. Чтобы это сделать, выбрана технология осаждения из газовой фазы (CVD), применяющая сопло подачи, которое иллюстрируется на фиг.2 и подробно описывается впоследствии, с использованием подходящих кремниевых и металлорганических полупродуктов (промежуточных соединений). Компонентом с низким показателем преломления промежуточной пленки 2 в этом случае является окись кремния, и ее газообразный полупродукт может быть выбран главным образом из тетраэтилортосиликата (TEOS), силана Si N4 или тетраметилсилана Si (СН3)4, который (которые) соединяется с окислительным полупродуктом типа О2, N2 или Н2О.
Примеры от 1 до 7 представлены в соответствии с изобретением и являются результатом математического моделирования. Они моделируют в соответствии с фиг. 1 абсолютно точно подложку, сделанную из прозрачного известково-натриевого силикатного стекла толщиной 4 мм. Она покрыта пленкой 3 на основе F: SnО2, с низкой эмиссионной способностью, полученной известным способом с помощью пиролиза порошка, используя DBTF (дибутилдифтор олова), как описано в вышеупомянутых патентах, и затем внешней пленкой 4, основанной на смешанной окиси кремния и алюминия, также с фтором, эта пленка также получается известным способом CVD с использованием (TEOS) тетраэтилортосиликата, гексафторацетилацетоната алюминия и кислорода в соответствии с изложением французского описания FR-94/13911, опубликованного под номером FR-2 727107, соответствующего патенту ЕР-0712815. Между подложкой 1 и функциональной пленкой 3 помещается промежуточная пленка 2, имеющая убывающий градиент показателя преломления, то есть показатель преломления которой прогрессивно убывает по толщине в направлении от поверхности раздела со стеклом 1 к поверхности раздела с пленкой F: SnО23. Чтобы получить такой градиент, химический состав пленки постепенно изменяется по толщине, эта пленка, состоящая из смеси окисей, у которой пропорция компонентов, имеющих самый высокий показатель преломления (или показатели), прогрессивно убывает. Чтобы это сделать, выбрана технология осаждения из газовой фазы (CVD), применяющая сопло подачи, которое иллюстрируется на фиг.2 и подробно описывается впоследствии, с использованием подходящих кремниевых и металлорганических полупродуктов (промежуточных соединений). Компонентом с низким показателем преломления промежуточной пленки 2 в этом случае является окись кремния, и ее газообразный полупродукт может быть выбран главным образом из тетраэтилортосиликата (TEOS), силана Si N4 или тетраметилсилана Si (СН3)4, который (которые) соединяется с окислительным полупродуктом типа О2, N2 или Н2О.
Компоненты с более высоким показателем могут быть сделаны из окиси олова, используя монобутил трихлорид олова или дибутил диацетат олова в качестве газообразных полупродуктов; из окиси титана, используя алкоксид титана типа тетраизопропилата титана в качестве полупродуктов; из окиси циркония, используя ацетилацетонат циркония типа гексафторацетилацетоната циркония, или тетрабутоксида циркония в качестве газообразных полупродуктов; или наконец окиси алюминия, используя ацетилацетонат алюминия или гексафторацетилацетонат алюминия в качестве газообразных полупродуктов. Окись магния MgO может также использоваться, в этом случае применяется газообразный полупродукт типа ацетилацетоната магния, этилата магния, гексафторацетоната магния или трифторацетилацетоната магния. Также возможно выбрать окись ванадия V2O5, которая может быть получена из алкоксида ванадия, такого как тетраэтилат ванадия, или из галогенида, такого как VCl5, или оксихлорида, такого как VOCl3. Также может использоваться оксикарбид кремния SiOxCy, показатель преломления которого корректируется путем изменения содержания углерода.
В частности, когда молярное отношение C/Si больше чем 0,5, оксикарбид кремния имеет высокий показатель преломления, и когда молярное отношение C/Si ниже чем 0,5, это же соединение обладает низким показателем преломления.
Полупродуктами могут быть главным образом смесь силана, этилена и окислительного агента типа О2, Н2О или N2O. Наконец, также может быть выбран нитрид кремния Si3N4, который может быть получен из газообразной смеси силана и аммиака и/или амина.
Вариант воплощения, использованный для этих примеров, представляет собой двухкомпонентную систему, в которой состав промежуточной пленки изменяется от состава, близкого к окиси олова, до состава, близкого к окиси кремния.
Однако другая двухкомпонентная система типа SiO2/MgO, SiO2/V2O5, SiO2/TiO2, SiO2/ZrO2, SiO2/SiOхСу или SiO2/SiC также пригодна, как и трехкомпонентная система, которая начинается, например, со смеси Аl2О3/TiO2, близкой к стеклу, чтобы закончить составом типа SiO2.
Во всех этих примерах функциональная пленка 2 имеет геометрическую толщину 410 нм, и внешняя пленка 4 имеет геометрическую толщину приблизительно 93 нм.
Нижеследующая табл. 1 резюмирует для каждого из этих примеров геометрическую толщину t промежуточной пленки, полную вариацию показателя преломления по толщине, обозначенную Δri, а также ее самый низкий показатель, близкий к функциональной пленке 3, обозначенный ri (мин), и ее самый высокий показатель со стороны, смежной с подложкой, обозначенный ri (макс).
Данные, объединенные (сравниваемые) в нижележащей табл. 2, представляют собой спектрофотометрические данные, измеренные с использованием источника света D65, в отношении ко всем покрытым подложкам в соответствии с этими примерами. Используемые сокращения, которые резюмируют колориметрические свойства подложек в отраженном свете со "стороны пленок", имеют следующие значения:
- а*, b* являются коэффициентами в колориметрической системе (L*, а*, b*);
- С*, в этой же системе, значение цветонасыщенности, равное (а*2+b*2)1/2;
- •ΔC* является наблюдаемой вариацией цветонасыщенности при варьировании толщины функциональной пленки 2 на ±50 нм относительно среднего значения 410 нм.
- а*, b* являются коэффициентами в колориметрической системе (L*, а*, b*);
- С*, в этой же системе, значение цветонасыщенности, равное (а*2+b*2)1/2;
- •ΔC* является наблюдаемой вариацией цветонасыщенности при варьировании толщины функциональной пленки 2 на ±50 нм относительно среднего значения 410 нм.
Все покрытые подложки в соответствии с примерами, кроме того, имеют высокий коэффициент пропускания TL - приблизительно 86% и низкий коэффициент отражения света со "стороны пленок" - приблизительно от 4 до 5%.
Сравнительные примеры 8 и 9
Эти два сравнительных примера моделируют подложку 1, функциональную пленку 3 и внешнюю пленку 4, имеющую те же самые характеристики, как в предыдущих примерах.
Эти два сравнительных примера моделируют подложку 1, функциональную пленку 3 и внешнюю пленку 4, имеющую те же самые характеристики, как в предыдущих примерах.
С другой стороны, в случае примера 8 промежуточная пленка 2 состоит из материала SiOxCy, полученного, как описано в вышеупомянутом описании патента ЕР-0573325, и имеет показатель преломления, постоянный по толщине, приблизительно равный 1,75, и геометрическую толщину, равную 60 нм.
В случае примера 9 промежуточная пленка 2 основана на смеси SiO2/SnO2, но она имеет растущий, а не убывающий градиент показателя преломления - показатель изменяется приблизительно от значения 1,45, близкого к стеклу (чистому SiO2), до значения приблизительно 1,85 (в основном SnO2), близкого к пленке F: SnO2, - и имеет геометрическую толщину 60 нм.
Нижележащая табл. 3 показывает для этих двух сравнительных примеров фотометрические данные, такие же, что и ранее в табл. 2.
По этим результатам могут быть сделаны различные комментарии.
Табл. 2 показывает, что все покрытые подложки в соответствии с изобретением имеют в отраженном свете, "со стороны пленки", голубой цвет (небольшое положительное а* и отрицательное b*), значение которого определяется, когда эти покрытые подложки устанавливаются как двойные стекла так, чтобы иметь тонкие пленки в качестве поверхности 3.
Следовательно, это привлекательный и не очень интенсивный цвет, постольку связанное с ним значение цветонасыщенности остается в основном приблизительно 5.
Хотя, как следует из табл. 3, покрытые подложки в соответствии со сравнительными примерами также имеют цвет в области от голубого до фиолетового, с другой стороны, оттенок более интенсивен, поскольку их цветонасыщенность очевидно превышает это значение 5.
Но что главным образом становится ясным из сравнения этих двух таблиц, так это то, что вариации цветонасыщенности ΔC* примеров в соответствии с изобретением намного меньше, чем ΔC* сравнительных примеров, поскольку они остаются в основном вблизи 3 для вариаций толщины функциональной пленки, далеких от того, чтобы ими можно было пренебречь. Фактически само собой разумеется, что в производственном процессе толщина осаждения может регулироваться с вариациями, намного меньшими, чем ±50 нм, что означает, что в целом при реальных условиях промышленного производства покрытые подложки в соответствии с изобретением дают зрительное впечатление очень высокой однородности, различия остаются ниже порога зрительного восприятия. Иначе дело обстоит для сравнительных примеров.
Можно также отметить, что комбинация промежуточной пленки 2 с внешней пленкой 4 позволяет получить очень выразительный эффект антиотражения (просветления) с очень низкими значениями RL "со стороны пленок".
Давайте теперь вернемся к соплу в соответствии с фиг. 2, которое позволяет осаждаться постепенно изменяющейся промежуточной пленке.
Эта фигура изображает ленту стекла 5, движущуюся в заданном направлении через камеру лодочки для вытягивания стекла. Над этой лентой, в той зоне лодочки, в которой требуется стабильность размеров, установлено сопло 6 для подачи газообразных полупродуктов на поверхность горячего стекла так, чтобы они реагировали и разлагались на окиси, контактируя со стеклом. Сопло размещается перпендикулярно к ленте стекла и простирается над всей его шириной. Здесь изображены и будут описаны только элементы сопла, важные для выполнения изобретения. (Для больших подробностей относительно общей операции, можно сослаться, например, на описание патента ЕР-А-499523 или, главным образом, на описание патента ЕР-А-518755). Эта фигура изображает центральный профилированный блок 7, первую входную "лапку" 8, вторую входную "лапку" 9 и выходную "лапку" 10. Эти термины "входная" и "выходная" выбраны для удобства, они определены с точки зрения направления, в котором движется стекло. Первая щель подачи рабочего газа 11 создана между первой входной "лапкой" 8 и второй 9, а вторая щель подачи рабочего газа 12 создана между второй входной "лапкой" и центральным профилированным блоком 7. Щель откачки 13 расположена между центральным блоком 7 и выходной "лапкой" 10, соединенная в верхней части к всасывающей системе, так чтобы захватывать не прореагировавший поток газа. Все эти щели и нижние поверхности второй входной "лапки" и центрального профилированного блока 7 позволяют заставлять газ течь по поверхности ленты стекла над участком длинной L, соответствующим зоне осаждения 15. Чтобы иметь возможность получить градиент показателя, следует одновременно выполнить несколько условий.
Во-первых, для каждой из щелей должно быть обеспечено подведение "полной" смеси газов полупродуктов, то есть газов, обладающих всеми компонентами, необходимыми для получения желаемого оксида.
Таким образом, в первую щель 11 подается химически активная смесь, подходящая для нанесения SnO2, т. е. либо монобутил трихлорид олова, объединенный со слабым окислительным агентом типа Н2O или N2O, либо дибутил диацетат олова, вносимый посредством инертного рабочего газа типа азота. Во вторую щель 12 подается химически активная смесь, подходящая для нанесения окиси с самым низким показателем, в данном случае SiO2, то есть TEOS, также объединенный со слабым окислительным агентом типа Н2O или N2O.
Однако следует отметить, что для этого принципа устройства допускаются модификации. Так, например, если выбрана система SiOxCy/SiO2, а не система SnO2/SiO2, то чтобы создать постепенно меняющуюся промежуточную пленку, возможно выбрать для подведения к одной из двух инжекционных щелей "полную" смесь полупродуктов для создания SiO2, главным образом, смесь TEOS и окислительного агента в инертном газе, а к другой инжекционной щели - либо "полную" смесь полупродуктов для создания SiOxCy, главным образом смесь SiH4 + этилен в инертном газе, либо просто этилен в качестве источника углерода (причем вариация содержания углерода в пленке определяет вариацию ее показателя преломления).
Затем необходимо активировать парциальное и регулируемое смешивание двух газовых потоков, исходящих из каждой из этих щелей и текущих по стеклу. Для выполнения этого должны быть установлены различные геометрические параметры.
С одной стороны, это расстояние 1 между двумя щелями подачи 11 и 12, измеряемое параллельно направлению, в котором подается стекло. Здесь оно выбрано таким, чтобы иметь значение приблизительно I/L = 0,27.
С другой стороны, важна относительная конфигурация различных лапок и центрального блока: сначала сопло размещается так, чтобы нижние поверхности первой входной лапки 8 и выходной лапки 10 были очень близки к поверхности стекла, например, на расстоянии от 2 до 5 мм, чтобы гарантировать ограничение газов в зоне осаждения. Таким образом, нижние поверхности входной лапки и центрального блока тоже конфигурированы так, чтобы вторая входная "лапка" 9 была поднята над первой входной лапкой 8 на величину Δh1 и так, чтобы центральный блок 7 был поднят над второй входной лапкой 9 на величину Δh2 (например, выбирается Δh1≈Δh2≈4 мм).
Затем "носок" второй входной лапки 9 конфигурируется соответственно (под "носком" лапки 9 подразумевается та область лапки, которая находится ближе всего к поверхности стекла 5 и которая разграничивает отметку, в которой инжекционная щель 12 переходит в зону осаждения 15).
Затем "носок" второй входной лапки 9 конфигурируется соответственно (под "носком" лапки 9 подразумевается та область лапки, которая находится ближе всего к поверхности стекла 5 и которая разграничивает отметку, в которой инжекционная щель 12 переходит в зону осаждения 15).
Фактически способ действия сопла для получения градиента является следующим: первый поток газа полупродукта исходит из первой инжекционной щели 11, которая имеет сечение h1. Второй поток газа полупродукта исходит из второй инжекционной щели 12, которая имеет сечение h2, и высота зоны осаждения 15, измеряемая между плоскостью, определенной нижними поверхностями первой входной лапки 8 и выходной лапки 10 и центрального блока 7, имеет значение h3.
Чтобы гарантировать безвихревое течение газовых потоков по стеклу в зоне осаждения 15, должны удовлетворяться следующие соотношения:
(1) h1+h2=h3
(или Δh1+Δh2 = h3, выбирая здесь h1 = Δh1 и h2 = Δh2).
В этом случае, если выбирать h1≈h2, и обе эти высоты, лежащие в пределах между 2 мм и 8 мм, главным образом приблизительно 4 мм, то тогда h3 приблизительно равна 8 мм.
(1) h1+h2=h3
(или Δh1+Δh2 = h3, выбирая здесь h1 = Δh1 и h2 = Δh2).
В этом случае, если выбирать h1≈h2, и обе эти высоты, лежащие в пределах между 2 мм и 8 мм, главным образом приблизительно 4 мм, то тогда h3 приблизительно равна 8 мм.
Однако если соотношение (1) удовлетворяется по всей зоне осаждения, то два наложенных слоя, один из SnO2 и другой SiO2, будут фактически получены без действительного получения желаемого градиента. Чтобы получать градиент, фактически необходимо создать локальную область возмущения в зоне осаждения 15, особенно в той области, в которой вторая инжекционная щель 12 переходит в эту зону 15. Чтобы сделать это, форма носка лапки 9 принимается такой, чтобы сечение щели h2' в этой отметке локально расширялось.
Подходящие формы "носка" могут быть, например, как показано в фигуре, со снятой фаской, со срезанными углами или более или менее скругленных форм (пунктирные линии на фиг.2 показывают другой тип возможного профиля).
Фактически в этой отметке высота зоны осаждения становится равной h1+h2', которая больше чем h3.
Поэтому газовые потоки смешиваются парциально, создавая, следовательно, градиент. Фактически, чем больше локальное расширение h2', тем больше будет смешивание между двумя газовыми потоками, и тем больше будет взаимная диффузия между различными полупродуктами.
Поэтому в области 1 в зоне осаждения только полупродукты окиси олова находятся в контакте со стеклом и, следовательно, сначала осаждается тонкая пленка практически чистого SnО2. Затем, начиная с конца этой области 1, когда две химически активные смеси реагируют друг с другом, осаждение быстро исчерпывается в отношении SnO2, так чтобы обогащаться в отношении SiO2.
Следовательно, сопло, в соответствии с изобретением позволяет получить пленки, имеющие градиент показателя преломления и/или градиент химического состава. Выбирая порядок, в котором полупродукты вводятся в последовательные инжекционные щели, становится возможным получать пленки, имеющие возрастающий или убывающий по толщине показатель преломления.
Примеры от 10 до 12
Эти примеры выполнялись, используя сопло, описанное выше, путем осаждения на подложки известково-натриевого силикатного стекла толщиной 4 мм пленок на основе SnO2/SiO2, показатель преломления которых прогрессивно убывает по мере отдаления от стекла.
Эти примеры выполнялись, используя сопло, описанное выше, путем осаждения на подложки известково-натриевого силикатного стекла толщиной 4 мм пленок на основе SnO2/SiO2, показатель преломления которых прогрессивно убывает по мере отдаления от стекла.
В первую щель 11 подается DBTA, а во вторую щель 12 подается TEOS.
Нижеследующая табл. 4 показывает для этих трех примеров отношение R объемных расходов TEOS и DBTA, толщины пленок t в нм и значений ri (мин) и ri (макс) в соответствии с обозначениями, принятыми в табл. 1.
Эти три подложки, покрытые таким образом, анализировались с помощью SIMS (масс-спектроскопии вторичных ионов): фиг. 3, 4 и 5 относятся к соответствующим пленкам в соответствии с примерами 10, 11 и 12. Графики представляют по оси абсцисс глубину анализа в микронах, а по оси ординат - число отсчетов в секунду в логарифмическом масштабе.
На этих трех графиках изображены только те элементы, которые являются главным образом осуществленными для изобретения.
Рассматривая их, можно заметить, что отличаются две области: область А, которая соответствует стеклу, и область В, которая соответствует пленке. Внутри области В область B1 является той частью пленки, которая содержит больше всего окиси олова, и область В2 - та часть пленки, которая содержит больше всего окиси кремния.
Рассматривая вариации содержания натрия, можно заметить, что пленка в соответствии с изобретением, главным образом в области В2, позволяет формировать барьер для диффузионного распространения этого элемента.
Содержание алюминия позволяет выявлять поверхность раздела стекло/пленка.
Фиг. 6 и 7 получены расчетами на основе данных этого спектроскопического анализа. В этих двух фигурах кривые, обозначенные темными ромбиками, соответствуют примеру 10, те которые обозначены не закрашенными квадратами - соответствуют примеру 11, и те, которые обозначены сплошными квадратами, соответствуют примеру 12. На фиг. 6 по оси абсцисс представлены толщина пленки в нанометрах, а по оси ординат - ее показатель преломления. На фиг. 7 опять по оси абсцисс представлены толщина слоя в нанометрах, а по оси ординат - весовой процент содержания SnO2 в пленке.
Эти две группы графиков ясно показывают влияние градиента показателя преломления и химического состава, желательного в настоящем изобретении.
Изобретение само по себе подходит для всех вариантов воплощения. Фактически можно подбирать толщину пленки, показатель преломления или вариацию состава, регулируя, например, параметры осаждения, такие как отношение расходов полупродуктов, скорость, с которой стекло двигается под соплом, конструкция сопла и т. д.
В случае примера 11 наблюдается самый высокий градиент показателя преломления и состава с содержанием SnO2 более чем 90% вблизи поверхности раздела со стеклом.
В примере 12 можно видеть, что даже вблизи стекла пленка также содержит SiO2 меньше чем 80%.
Claims (18)
1. Стеклопанель, содержащая прозрачную подложку, преимущественно выполненную из стекла, снабженную по меньшей мере одной функциональной проводящей и/или с низкой эмиссионной способностью прозрачной тонкой пленкой, между которыми помещена по меньшей мере одна промежуточная пленка, имеющая убывающий по ее толщине показатель преломления от значения, близкого к показателю преломления функциональной пленки до значения, близкого к показателю преломления подложки с обеспечением улучшения оптической и, преимущественно, колориметрической характеристик стеклопанели, отличающаяся тем, что промежуточная пленка включает по меньшей мере два компонента с различными показателями преломления, из которых по меньшей мере один компонент с высоким показателем преломления основан на окиси олова, окиси титана, окиси циркония, окиси алюминия, окиси магния, окиси ванадия, нитриде кремния или оксикарбиде кремния.
2. Стеклопанель по п. 1, отличающаяся тем, что полная вариация показателя преломления по толщине промежуточной пленки составляет по меньшей мере 0,2, преимущественно между 0,25 и 0,80.
3. Стеклопанель по п. 1 или 2, отличающаяся тем, что самый низкий показатель преломления в градиенте показателя промежуточной пленки находится между 1,45 или 1,60.
4. Стеклопанель по одному из предшествующих пунктов, отличающаяся тем, что самый высокий показатель преломления в градиенте показателя промежуточной пленки находится между 1,7 и 2,35.
5. Стеклопанель по одному из предшествующих пунктов, отличающаяся тем, что геометрическая толщина промежуточной пленки с изменяющимся показателем находится между 30 и 120 нм, преимущественно между 45 и 90 нм.
6. Стеклопанель по одному из предшествующих пунктов, отличающаяся тем, что градиент показателя преломления промежуточной пленки получен путем прогрессивного изменения ее химического состава, преимущественно, смешиванием по меньшей мере двух компонентов, имеющих различные показатели преломления, при этом количество компонента или смеси компонентов, имеющих наиболее высокий показатель (показатели) преломления, постепенно убывает по толщине слоя.
7. Стеклопанель по п. 6, отличающаяся тем, что смесь содержит по меньшей мере один компонент с низким показателем преломления, основанный на окиси кремния, оксинитриде кремния или оксикарбиде кремния.
8. Стеклопанель по одному из предшествующих пунктов, отличающаяся тем, что функциональная пленка покрыта по меньшей мере одной внешней тонкой пленкой, имеющей показатель преломления между 1,4 и 1,7 и геометрическую толщину между 70 и 120 нм.
9. Стеклопанель по п. 8, отличающаяся тем, что внешняя пленка выполнена из диэлектрического материала, основанного по меньшей мере на одном из соединений группы, содержащей окись кремния, оксикарбид кремния, оксинитрид кремния, окись алюминия или смесь смешанной окиси кремния и алюминия и содержащей фтор.
10. Стеклопанель по одному из предшествующих пунктов, отличающаяся тем, что функциональная пленка имеет показатель преломления приблизительно от 1,8 до 2 и геометрическую толщину по меньшей мере 300 нм, преимущественно, между 350 и 550 нм.
11. Стеклопанель по одному из предшествующих пунктов, отличающаяся тем, что функциональная пленка основана на легированной металлической окиси(ях), принадлежащей группе, содержащей: окись индия, легированную оловом ITO, окись олова, легированную фтором F: SnO2, окись цинка, легированную индием In: ZnO, окись цинка, легированную фтором F: ZnO, окись цинка, легированную алюминием AL: ZnO, или окись цинка, легированную оловом Sn: ZnO.
12. Стеклопанель по одному из предшествующих пунктов, отличающаяся тем, что она имеет в отраженном свете, со стороны пленок, остаточный цвет, который находится в голубых тонах, цветонасыщенность С* в колориметрической системе (L*, a*, b*) этого остаточного цвета в основном равна 5, высокое пропускание ТL хотя бы 75%, преимущественно, по меньшей мере от 80 до 85%, и эмиссионную способность по существу 0,18.
13. Сопло для формирования осаждением из газовой фазы пленки, имеющей такой градиент показателя преломления, как у промежуточной пленки по одному из предшествующих пунктов, на стекле, перемещающемся в одном направлении, в таком, как лента стекла, движущаяся через камеру лодочки для вытягивания стекла, сопло, простирающееся перпендикулярно к направлению подачи стекла, включающее в себя первую входную "лапку", вторую входную "лапку", центральный профилированный блок и выходную "лапку", первую щель для инжекции газа(-ов) полупродукта, заданную между двумя входными "лапками", и вторую щель для инжекции газа(-ов) полупродукта, имеющего различный состав, заданную между входной лапкой и центральным профилированным блоком, щель для откачки вытекающего потока газа, заданную между центральным профилированным блоком и выходной лапкой, все щели и нижние поверхности лапок и центрального блока, направляющие потоки газа, поступающие из инжекционных щелей, по стеклу в зоне осаждения с траекторией потока, имеющей по существу U-образную форму, расстояние 1 между двумя инжекционными щелями, и относительная конфигурация первой входной лапки, второй входной лапки и центрального блока выбраны так, чтобы вызвать парциальное и прогрессивное смешивание между двумя газовыми потоками в упомянутой зоне осаждения, отличающееся тем, что нижняя поверхность центрального блока находится на более высоком уровне, чем нижняя поверхность второй входной лапки, которая сама по себе находится на более высоком уровне, чем нижняя поверхность первой входной лапки.
14. Сопло по п. 13, отличающееся тем, что расстояние l между двумя инжекционными щелями по существу равно 3/4 от полной длины зоны осаждения L, и преимущественно приблизительно от 1/4 до 2/3 от упомянутой длины L.
15. Сопло по п. 13 или 14, отличающееся тем, что вторая входная "лапка" имеет конфигурацию, выбранную с учетом обеспечения ограниченного расширения второй инжекционной щели вблизи зоны осаждения.
16. Сопло по п. 15, отличающееся тем, что "носок" второй входной "лапки" имеет профиль со снятой фаской или скругленными углами, чтобы расширить инжекционную щель в области, где эта щель выходит в зону осаждения.
17. Способ формирования пленки с помощью сопла, при котором газообразную смесь подают в первую инжекционную щель, дополнительно подают вторую газообразную смесь через вторую инжекционную щель, так что газовые потоки, исходящие из этих первой и второй щелей, текут по стеклу в зону осаждения в виде безвихревого потока, за исключением того места на выходе второй инжекционной щели, в котором создают область возмущения, чтобы активировать взаимную диффузию двух газовых потоков, отличающийся тем, что применяют сопло по одному из пп. 13-16.
18. Способ по п. 17, отличающийся тем, что в первую инжекционную щель подают газообразную химически активную смесь, разлагаемую на оксид с заданным показателем преломления, а во вторую инжекционную щель подают вторую газообразную химически активную смесь, разлагаемую на оксид, с показателем преломления, отличным от, а по существу меньшим, предыдущего.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR95/08421 | 1995-07-12 | ||
| FR9508421A FR2736632B1 (fr) | 1995-07-12 | 1995-07-12 | Vitrage muni d'une couche conductrice et/ou bas-emissive |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU97105847A RU97105847A (ru) | 1999-06-10 |
| RU2179537C2 true RU2179537C2 (ru) | 2002-02-20 |
Family
ID=9480918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU97105847/03A RU2179537C2 (ru) | 1995-07-12 | 1996-07-10 | Стеклопанель, содержащая прозрачную функциональную пленку, сопло для осаждения пленки из газовой фазы и способ формирования пленки с помощью этого сопла |
Country Status (13)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US6174599B1 (ru) |
| EP (1) | EP0781257B1 (ru) |
| JP (1) | JPH10507994A (ru) |
| CN (2) | CN1230255C (ru) |
| AT (1) | ATE201864T1 (ru) |
| CA (1) | CA2199622A1 (ru) |
| CZ (1) | CZ295140B6 (ru) |
| DE (1) | DE69613204T2 (ru) |
| DK (1) | DK0781257T3 (ru) |
| FR (1) | FR2736632B1 (ru) |
| PL (1) | PL185279B1 (ru) |
| RU (1) | RU2179537C2 (ru) |
| WO (1) | WO1997003029A1 (ru) |
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2287433C2 (ru) * | 2002-04-25 | 2006-11-20 | Ппг Индастриз Огайо, Инк. | Изделие и монолитный прозрачный элемент, имеющие защитное покрытие |
| RU2376263C2 (ru) * | 2005-06-28 | 2009-12-20 | Ниппон Майнинг Энд Металз Ко., Лтд. | Распыляемая мишень на основе оксида галлия-оксида цинка, способ формирования тонкой прозрачной проводящей пленки и тонкая прозрачная проводящая пленка |
| RU2430897C2 (ru) * | 2005-10-21 | 2011-10-10 | Сэн-Гобэн Гласс Франс | Незагрязняющийся материал и способ его получения |
| RU2462424C2 (ru) * | 2007-01-15 | 2012-09-27 | Сэн-Гобэн Гласс Франс | Фотогальваническая ячейка и способ изготовления фотогальванической ячейки |
| RU2471732C2 (ru) * | 2007-11-19 | 2013-01-10 | Гардиан Индастриз Корп. | Способ изготовления изделия с покрытием, включающий ионно-лучевую обработку металлоксидной защитной пленки |
| TWI386382B (zh) * | 2007-03-26 | 2013-02-21 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 低輻射玻璃 |
| US9573845B2 (en) | 2010-02-26 | 2017-02-21 | Guardian Industries Corp. | Articles including anticondensation and/or low-E coatings and/or methods of making the same |
| RU2613236C2 (ru) * | 2010-12-06 | 2017-03-15 | Гардиан Индастриз Корп. | Изделия, включающие противоконденсатные и/или энергосберегающие покрытия, и/или способы их изготовления |
| RU2613652C2 (ru) * | 2010-02-26 | 2017-03-21 | Гардиан Индастриз Корп. | Изделия, включающие противоконденсатные и/или низкоэмиссионные покрытия, и/или способы их изготовления |
| US9695085B2 (en) | 2010-02-26 | 2017-07-04 | Guardian Industries Corp. | Articles including anticondensation coatings and/or methods of making the same |
| US10201040B2 (en) | 2010-08-31 | 2019-02-05 | Guardian Glass, LLC | System and/or method for heat treating conductive coatings using wavelength-tuned infrared radiation |
| US10226986B2 (en) | 2010-02-26 | 2019-03-12 | Guardian Glass, LLC | Articles including ITO inclusive coatings for vehicle windshields and/or methods of making the same |
| RU2707829C2 (ru) * | 2015-07-08 | 2019-11-29 | Сэн-Гобэн Гласс Франс | Материал, снабженный системой тонких слоев с термическими свойствами |
| RU2708304C2 (ru) * | 2015-07-08 | 2019-12-05 | Сэн-Гобэн Гласс Франс | Подложка, снабженная системой тонких слоев с термическими свойствами |
| RU2715504C1 (ru) * | 2016-05-17 | 2020-02-28 | Сэн-Гобэн Гласс Франс | Прозрачное оконное стекло |
| RU2728399C2 (ru) * | 2015-09-08 | 2020-07-29 | Сэн-Гобэн Гласс Франс | Остекление, включающее в себя пакет тонких слоев |
| US10914946B2 (en) | 2016-05-17 | 2021-02-09 | Saint-Gobain Glass France | Head-up display system |
Families Citing this family (79)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2759362B1 (fr) * | 1997-02-10 | 1999-03-12 | Saint Gobain Vitrage | Substrat transparent muni d'au moins une couche mince a base de nitrure ou d'oxynitrure de silicium et son procede d'obtention |
| US6436541B1 (en) | 1998-04-07 | 2002-08-20 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Conductive antireflective coatings and methods of producing same |
| FR2780054B1 (fr) * | 1998-06-19 | 2000-07-21 | Saint Gobain Vitrage | Procede de depot d'une couche a base d'oxyde metallique sur un substrat verrier, substrat verrier ainsi revetu |
| FR2787440B1 (fr) * | 1998-12-21 | 2001-12-07 | Saint Gobain Vitrage | Substrat transparent comportant un revetement antireflet |
| FR2809388B1 (fr) * | 2000-05-23 | 2002-12-20 | Saint Gobain Vitrage | Vitrage comprenant au moins une couche a proprietes thermochromes |
| US6576349B2 (en) | 2000-07-10 | 2003-06-10 | Guardian Industries Corp. | Heat treatable low-E coated articles and methods of making same |
| US20020090521A1 (en) * | 2000-09-29 | 2002-07-11 | Tatsuji Nakajima | Silica layers and antireflection film using same |
| US6936347B2 (en) * | 2001-10-17 | 2005-08-30 | Guardian Industries Corp. | Coated article with high visible transmission and low emissivity |
| CN1620336A (zh) * | 2001-12-21 | 2005-05-25 | 日本板硝子株式会社 | 具有光催化功能的部件及其制造方法 |
| FR2836912B1 (fr) * | 2002-03-06 | 2004-11-26 | Saint Gobain | Susbstrat transparent a revetement antireflets avec proprietes de resistance a l'abrasion |
| US20030170605A1 (en) * | 2002-03-11 | 2003-09-11 | Egan Visual Inc. | Vapor deposited writing surfaces |
| US7063893B2 (en) * | 2002-04-29 | 2006-06-20 | Cardinal Cg Company | Low-emissivity coating having low solar reflectance |
| US7122252B2 (en) * | 2002-05-16 | 2006-10-17 | Cardinal Cg Company | High shading performance coatings |
| CA2493803C (en) | 2002-07-31 | 2011-09-27 | Cardinal Cg Compagny | Temperable high shading performance coatings |
| SE523348C2 (sv) * | 2002-08-15 | 2004-04-13 | Totalfoersvarets Forskningsins | Genomsynlig ruta med radarreflekterande egenskaper |
| US7005190B2 (en) * | 2002-12-20 | 2006-02-28 | Guardian Industries Corp. | Heat treatable coated article with reduced color shift at high viewing angles |
| FR2852553B1 (fr) * | 2003-03-21 | 2005-06-17 | Saint Gobain | Procede pour deposer des films fonctionnels sur des substrats tels que des plaques de verres, et machine de pelliculage pour la mise en oeuvre de ce procede |
| EP1641723B1 (en) * | 2003-06-24 | 2008-01-02 | Cardinal CG Company | Concentration-modulated coatings |
| US7294404B2 (en) * | 2003-12-22 | 2007-11-13 | Cardinal Cg Company | Graded photocatalytic coatings |
| JP4182236B2 (ja) * | 2004-02-23 | 2008-11-19 | キヤノン株式会社 | 光学部材および光学部材の製造方法 |
| US7901870B1 (en) | 2004-05-12 | 2011-03-08 | Cirrex Systems Llc | Adjusting optical properties of optical thin films |
| ATE377579T1 (de) | 2004-07-12 | 2007-11-15 | Cardinal Cg Co | Wartungsarme beschichtungen |
| US7565084B1 (en) | 2004-09-15 | 2009-07-21 | Wach Michael L | Robustly stabilizing laser systems |
| JP5301833B2 (ja) * | 2004-10-04 | 2013-09-25 | カーディナル・シージー・カンパニー | 薄膜コーティング及び仮保護技術、断熱板ガラスユニット、並びに関連方法 |
| US8092660B2 (en) * | 2004-12-03 | 2012-01-10 | Cardinal Cg Company | Methods and equipment for depositing hydrophilic coatings, and deposition technologies for thin films |
| US7923114B2 (en) * | 2004-12-03 | 2011-04-12 | Cardinal Cg Company | Hydrophilic coatings, methods for depositing hydrophilic coatings, and improved deposition technology for thin films |
| WO2006062102A1 (ja) * | 2004-12-06 | 2006-06-15 | Nippon Sheet Glass Company, Limited | 光触媒機能および熱線反射機能を有するガラス部材、ならびに、それを用いた複層ガラス |
| JP4520418B2 (ja) * | 2005-02-18 | 2010-08-04 | キヤノン株式会社 | 光学用透明部材及びそれを用いた光学系 |
| US8501270B2 (en) * | 2005-02-18 | 2013-08-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical transparent member and optical system using the same |
| FR2903399B1 (fr) * | 2006-07-07 | 2010-10-01 | Saint Gobain | Materiau anti-salissures et son procede d'obtention |
| US8153282B2 (en) * | 2005-11-22 | 2012-04-10 | Guardian Industries Corp. | Solar cell with antireflective coating with graded layer including mixture of titanium oxide and silicon oxide |
| WO2007124291A2 (en) | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Cardinal Cg Company | Opposed functional coatings having comparable single surface reflectances |
| US20080011599A1 (en) | 2006-07-12 | 2008-01-17 | Brabender Dennis M | Sputtering apparatus including novel target mounting and/or control |
| FI20060924A0 (fi) * | 2006-10-20 | 2006-10-20 | Beneq Oy | Lasinvärjäämislaite ja menetelmä lasin värjäämiseksi |
| FR2913973B1 (fr) * | 2007-03-21 | 2011-02-18 | Saint Gobain | Substrat verrier revetu de couches a tenue mecanique amelioree |
| WO2009036284A1 (en) * | 2007-09-14 | 2009-03-19 | Cardinal Cg Company | Low-maintenance coatings, and methods for producing low-maintenance coatings |
| US20100037820A1 (en) * | 2008-08-13 | 2010-02-18 | Synos Technology, Inc. | Vapor Deposition Reactor |
| US8470718B2 (en) | 2008-08-13 | 2013-06-25 | Synos Technology, Inc. | Vapor deposition reactor for forming thin film |
| US20100037824A1 (en) * | 2008-08-13 | 2010-02-18 | Synos Technology, Inc. | Plasma Reactor Having Injector |
| US8770142B2 (en) | 2008-09-17 | 2014-07-08 | Veeco Ald Inc. | Electrode for generating plasma and plasma generator |
| US8851012B2 (en) | 2008-09-17 | 2014-10-07 | Veeco Ald Inc. | Vapor deposition reactor using plasma and method for forming thin film using the same |
| CN101713062B (zh) * | 2008-10-08 | 2012-03-14 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 遮光元件及其镀膜方法 |
| US8871628B2 (en) | 2009-01-21 | 2014-10-28 | Veeco Ald Inc. | Electrode structure, device comprising the same and method for forming electrode structure |
| WO2010095901A2 (en) | 2009-02-23 | 2010-08-26 | Synos Technology, Inc. | Method for forming thin film using radicals generated by plasma |
| JP2010258368A (ja) * | 2009-04-28 | 2010-11-11 | Tohoku Univ | 電子装置及びその製造方法 |
| US8758512B2 (en) * | 2009-06-08 | 2014-06-24 | Veeco Ald Inc. | Vapor deposition reactor and method for forming thin film |
| CN101618952B (zh) * | 2009-07-30 | 2011-08-17 | 杭州蓝星新材料技术有限公司 | 浮法在线生产透明导电膜玻璃的方法 |
| US20110076421A1 (en) * | 2009-09-30 | 2011-03-31 | Synos Technology, Inc. | Vapor deposition reactor for forming thin film on curved surface |
| US20110146768A1 (en) * | 2009-12-21 | 2011-06-23 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Silicon thin film solar cell having improved underlayer coating |
| FR2956659B1 (fr) * | 2010-02-22 | 2014-10-10 | Saint Gobain | Substrat verrier revetu de couches a tenue mecanique amelioree |
| FR2962852A1 (fr) | 2010-07-19 | 2012-01-20 | Saint Gobain | Electrode transparente pour cellule photovoltaique a haut rendement |
| US8771791B2 (en) | 2010-10-18 | 2014-07-08 | Veeco Ald Inc. | Deposition of layer using depositing apparatus with reciprocating susceptor |
| EP2481833A1 (en) * | 2011-01-31 | 2012-08-01 | Nederlandse Organisatie voor toegepast -natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Apparatus for atomic layer deposition |
| US8840958B2 (en) | 2011-02-14 | 2014-09-23 | Veeco Ald Inc. | Combined injection module for sequentially injecting source precursor and reactant precursor |
| US8877300B2 (en) | 2011-02-16 | 2014-11-04 | Veeco Ald Inc. | Atomic layer deposition using radicals of gas mixture |
| US9163310B2 (en) | 2011-02-18 | 2015-10-20 | Veeco Ald Inc. | Enhanced deposition of layer on substrate using radicals |
| FR2973023B1 (fr) | 2011-03-25 | 2019-08-02 | Saint-Gobain Glass France | Vitrage multiple isolant comprenant deux empilements bas emissifs |
| BE1019988A3 (fr) | 2011-05-24 | 2013-03-05 | Agc Glass Europe | Substrat verrier transparent portant un revetement de couches successives. |
| CN102249551A (zh) * | 2011-06-15 | 2011-11-23 | 蚌埠玻璃工业设计研究院 | 氟掺杂氧化锌透明导电膜玻璃的生产方法 |
| FR2982608B1 (fr) | 2011-11-16 | 2013-11-22 | Saint Gobain | Couche barriere aux metaux alcalins a base de sioc |
| FR2983350A1 (fr) * | 2011-11-30 | 2013-05-31 | Saint Gobain | Electrode transparente pour cellule photovoltaique cdte |
| FR2987618B1 (fr) * | 2012-03-05 | 2014-02-28 | Saint Gobain | Vitrage anticondensation |
| US9703011B2 (en) * | 2013-05-07 | 2017-07-11 | Corning Incorporated | Scratch-resistant articles with a gradient layer |
| US9366784B2 (en) | 2013-05-07 | 2016-06-14 | Corning Incorporated | Low-color scratch-resistant articles with a multilayer optical film |
| US9110230B2 (en) | 2013-05-07 | 2015-08-18 | Corning Incorporated | Scratch-resistant articles with retained optical properties |
| TWI638182B (zh) * | 2013-09-13 | 2018-10-11 | 美商康寧公司 | 具有保留光學性質的防刮物件 |
| US9335444B2 (en) | 2014-05-12 | 2016-05-10 | Corning Incorporated | Durable and scratch-resistant anti-reflective articles |
| US11267973B2 (en) | 2014-05-12 | 2022-03-08 | Corning Incorporated | Durable anti-reflective articles |
| US9790593B2 (en) | 2014-08-01 | 2017-10-17 | Corning Incorporated | Scratch-resistant materials and articles including the same |
| WO2017048700A1 (en) | 2015-09-14 | 2017-03-23 | Corning Incorporated | High light transmission and scratch-resistant anti-reflective articles |
| US10112209B2 (en) | 2015-12-11 | 2018-10-30 | VITRO S.A.B. de C.V. | Glass drawdown coating system |
| WO2017100607A1 (en) * | 2015-12-11 | 2017-06-15 | Vitro, S.A.B. De C.V. | Coating system and articles made thereby |
| CN105734513B (zh) * | 2016-03-23 | 2018-08-24 | 苏州东山精密制造股份有限公司 | 透明导电膜的制备工艺 |
| WO2018093985A1 (en) | 2016-11-17 | 2018-05-24 | Cardinal Cg Company | Static-dissipative coating technology |
| CN107253826B (zh) * | 2017-05-22 | 2020-08-04 | 美的集团股份有限公司 | 隔热玻璃及其制备方法和电器 |
| CN114085037B (zh) | 2018-08-17 | 2023-11-10 | 康宁股份有限公司 | 具有薄的耐久性减反射结构的无机氧化物制品 |
| CN109851231A (zh) * | 2019-01-24 | 2019-06-07 | 福建工程学院 | 一种减反射、抗激光损伤玻璃及其制备方法 |
| JP7020458B2 (ja) * | 2019-07-12 | 2022-02-16 | Ａｇｃ株式会社 | 膜付きガラス基板及びその製造方法 |
| CN116096592B (zh) * | 2020-09-04 | 2025-04-01 | Ａｇｃ株式会社 | 玻璃物品 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4293326A (en) * | 1978-07-20 | 1981-10-06 | Bfg Glassgroup | Glass coating |
| EP0519690A1 (en) * | 1991-06-19 | 1992-12-23 | Ford Motor Company Limited | Anti-reflective coating with gradient zone |
| WO1994025410A1 (fr) * | 1993-04-29 | 1994-11-10 | Saint-Gobain Vitrage | Vitrage muni d'une couche fonctionnelle conductrice et/ou basse emissive |
Family Cites Families (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1282866A (en) * | 1968-08-16 | 1972-07-26 | Pilkington Brothers Ltd | Improvements in or relating to the production of glass having desired surface characteristics |
| JPS4980119A (ru) | 1972-12-06 | 1974-08-02 | ||
| GB1516032A (en) * | 1976-04-13 | 1978-06-28 | Bfg Glassgroup | Coating of glass |
| GB1524326A (en) * | 1976-04-13 | 1978-09-13 | Bfg Glassgroup | Coating of glass |
| FR2380997A1 (fr) | 1977-02-16 | 1978-09-15 | Saint Gobain | Procede de fabrication de vitrages protegeant de la chaleur |
| US4187336A (en) * | 1977-04-04 | 1980-02-05 | Gordon Roy G | Non-iridescent glass structures |
| CA1134214A (en) * | 1978-03-08 | 1982-10-26 | Roy G. Gordon | Deposition method |
| BE879189A (fr) * | 1978-10-19 | 1980-04-04 | Bfg Glassgroup | Procede de formation d'un revetement d'oxyde d'etain sur un support de verre chaud et produits ainsi obtenus |
| JPS6018090B2 (ja) | 1979-10-03 | 1985-05-08 | 日本板硝子株式会社 | 導電薄膜の形成方法 |
| DE3010077C2 (de) | 1980-03-15 | 1981-07-30 | Vereinigte Glaswerke Gmbh, 5100 Aachen | Verfahren zum Aufbringen von mit einem Halogen, vorzugsweise mit Fluor dotierten Zinnoxidschichten auf Glasoberflächen durch Pyrolyse |
| JPS59162269A (ja) | 1983-03-07 | 1984-09-13 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 基体に酸化錫膜を形成する方法 |
| DK160745C (da) | 1983-03-14 | 1991-09-30 | Saint Gobain Vitrage | Fremgangsmaade ved og dyse til fordeling af et pulverformet materiale paa et underlag |
| US4595634A (en) * | 1983-08-01 | 1986-06-17 | Gordon Roy G | Coating process for making non-iridescent glass |
| FR2570379B1 (fr) | 1984-08-22 | 1986-11-21 | Saint Gobain Vitrage | Preparation d'une poudre de difluorure de dibutyl etain destinee a la formation d'un revetement sur un substrat, notamment en verre |
| DE3587294T2 (de) | 1985-01-22 | 1993-09-30 | Saint Gobain Vitrage | Verfahren zur Herstellung einer dünnen Metalloxidbeschichtung auf einem Substrat, insbesondere Glas und deren Verwendung als Verglasung. |
| US4793282A (en) * | 1987-05-18 | 1988-12-27 | Libbey-Owens-Ford Co. | Distributor beam for chemical vapor deposition on glass |
| GB8824102D0 (en) * | 1988-10-14 | 1988-11-23 | Pilkington Plc | Apparatus for coating glass |
| GB8824104D0 (en) * | 1988-10-14 | 1988-11-23 | Pilkington Plc | Process for coating glass |
| CA2011249A1 (en) | 1989-03-03 | 1990-09-03 | Thomas C. Hodgson | Bonding sheet materials together |
| FR2672519B1 (fr) * | 1991-02-13 | 1995-04-28 | Saint Gobain Vitrage Int | Buse a talon aval sureleve, pour deposer une couche de revetement sur un ruban de verre, par pyrolyse d'un melange gazeux. |
| FR2672518B1 (fr) * | 1991-02-13 | 1995-05-05 | Saint Gobain Vitrage Int | Buse a alimentation dissymetrique pour la formation d'une couche de revetement sur un ruban de verre, par pyrolyse d'un melange gazeux. |
| FR2677639B1 (fr) * | 1991-06-14 | 1994-02-25 | Saint Gobain Vitrage Internal | Technique de formation par pyrolyse en voie gazeuse d'un revetement essentiellement a base d'oxygene et de silicium. |
| US5248545A (en) * | 1991-06-24 | 1993-09-28 | Ford Motor Company | Anti-iridescent coatings with gradient refractive index |
| NO931606L (no) * | 1992-05-26 | 1993-11-29 | Saint Gobain Vitrage | Vindusplate med en funksjonell film |
| FR2727107B1 (fr) | 1994-11-21 | 1996-12-27 | Saint Gobain Vitrage | Vitrage muni d'au moins une couche mince et son procede d'obtention |
-
1995
- 1995-07-12 FR FR9508421A patent/FR2736632B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-07-10 CA CA002199622A patent/CA2199622A1/fr not_active Abandoned
- 1996-07-10 DK DK96924963T patent/DK0781257T3/da active
- 1996-07-10 CN CNB021277729A patent/CN1230255C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1996-07-10 JP JP9505564A patent/JPH10507994A/ja not_active Ceased
- 1996-07-10 AT AT96924963T patent/ATE201864T1/de not_active IP Right Cessation
- 1996-07-10 EP EP96924963A patent/EP0781257B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1996-07-10 CN CN96191007A patent/CN1102542C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1996-07-10 RU RU97105847/03A patent/RU2179537C2/ru not_active IP Right Cessation
- 1996-07-10 WO PCT/FR1996/001073 patent/WO1997003029A1/fr active IP Right Grant
- 1996-07-10 CZ CZ1997761A patent/CZ295140B6/cs not_active IP Right Cessation
- 1996-07-10 DE DE69613204T patent/DE69613204T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1996-07-10 PL PL96319097A patent/PL185279B1/pl not_active IP Right Cessation
- 1996-07-10 US US08/793,605 patent/US6174599B1/en not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-10-25 US US09/694,895 patent/US6354109B1/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4293326A (en) * | 1978-07-20 | 1981-10-06 | Bfg Glassgroup | Glass coating |
| EP0519690A1 (en) * | 1991-06-19 | 1992-12-23 | Ford Motor Company Limited | Anti-reflective coating with gradient zone |
| WO1994025410A1 (fr) * | 1993-04-29 | 1994-11-10 | Saint-Gobain Vitrage | Vitrage muni d'une couche fonctionnelle conductrice et/ou basse emissive |
Cited By (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2287433C2 (ru) * | 2002-04-25 | 2006-11-20 | Ппг Индастриз Огайо, Инк. | Изделие и монолитный прозрачный элемент, имеющие защитное покрытие |
| RU2376263C2 (ru) * | 2005-06-28 | 2009-12-20 | Ниппон Майнинг Энд Металз Ко., Лтд. | Распыляемая мишень на основе оксида галлия-оксида цинка, способ формирования тонкой прозрачной проводящей пленки и тонкая прозрачная проводящая пленка |
| RU2430897C2 (ru) * | 2005-10-21 | 2011-10-10 | Сэн-Гобэн Гласс Франс | Незагрязняющийся материал и способ его получения |
| RU2462424C2 (ru) * | 2007-01-15 | 2012-09-27 | Сэн-Гобэн Гласс Франс | Фотогальваническая ячейка и способ изготовления фотогальванической ячейки |
| TWI386382B (zh) * | 2007-03-26 | 2013-02-21 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 低輻射玻璃 |
| RU2471732C2 (ru) * | 2007-11-19 | 2013-01-10 | Гардиан Индастриз Корп. | Способ изготовления изделия с покрытием, включающий ионно-лучевую обработку металлоксидной защитной пленки |
| US9863182B2 (en) | 2010-02-26 | 2018-01-09 | Guardian Glass, LLC | Articles including anticondensation and/or low-E coatings and/or methods of making the same |
| US10226986B2 (en) | 2010-02-26 | 2019-03-12 | Guardian Glass, LLC | Articles including ITO inclusive coatings for vehicle windshields and/or methods of making the same |
| RU2613652C2 (ru) * | 2010-02-26 | 2017-03-21 | Гардиан Индастриз Корп. | Изделия, включающие противоконденсатные и/или низкоэмиссионные покрытия, и/или способы их изготовления |
| US9670092B2 (en) | 2010-02-26 | 2017-06-06 | Guardian Industries Corp. | Articles including anticondensation and/or low-E coatings and/or methods of making the same |
| US9695085B2 (en) | 2010-02-26 | 2017-07-04 | Guardian Industries Corp. | Articles including anticondensation coatings and/or methods of making the same |
| RU2725452C2 (ru) * | 2010-02-26 | 2020-07-02 | Гардиан Индастриз Корп. | Покрытое изделие |
| US9573845B2 (en) | 2010-02-26 | 2017-02-21 | Guardian Industries Corp. | Articles including anticondensation and/or low-E coatings and/or methods of making the same |
| US9873632B2 (en) | 2010-02-26 | 2018-01-23 | Guardian Glass, LLC | Articles including anticondensation coatings and/or methods of making the same |
| US10072456B2 (en) | 2010-02-26 | 2018-09-11 | Guardian Glass, LLC | Articles including anticondensation and/or low-E coatings and/or methods of making the same |
| US10358865B2 (en) | 2010-02-26 | 2019-07-23 | Guardian Glass, LLC | Articles including anticondensation and/or low-E coatings and/or methods of making the same |
| US10221091B2 (en) | 2010-02-26 | 2019-03-05 | Guardian Glass, LLC | Articles including ITO inclusive coatings and/or methods of making the same |
| US10201040B2 (en) | 2010-08-31 | 2019-02-05 | Guardian Glass, LLC | System and/or method for heat treating conductive coatings using wavelength-tuned infrared radiation |
| RU2613236C2 (ru) * | 2010-12-06 | 2017-03-15 | Гардиан Индастриз Корп. | Изделия, включающие противоконденсатные и/или энергосберегающие покрытия, и/или способы их изготовления |
| RU2739909C2 (ru) * | 2010-12-06 | 2020-12-29 | ГАРДИАН ГЛАСС, ЭлЭлСи | Покрытое изделие |
| RU2639765C2 (ru) * | 2011-12-21 | 2017-12-22 | Гардиан Индастриз Корп. | Изделия, включающие антиконденсатные и/или низкоэмиссионные покрытия, и/или способы их изготовления |
| RU2707829C2 (ru) * | 2015-07-08 | 2019-11-29 | Сэн-Гобэн Гласс Франс | Материал, снабженный системой тонких слоев с термическими свойствами |
| RU2708304C2 (ru) * | 2015-07-08 | 2019-12-05 | Сэн-Гобэн Гласс Франс | Подложка, снабженная системой тонких слоев с термическими свойствами |
| RU2728399C2 (ru) * | 2015-09-08 | 2020-07-29 | Сэн-Гобэн Гласс Франс | Остекление, включающее в себя пакет тонких слоев |
| RU2715504C1 (ru) * | 2016-05-17 | 2020-02-28 | Сэн-Гобэн Гласс Франс | Прозрачное оконное стекло |
| US10773997B2 (en) | 2016-05-17 | 2020-09-15 | Saint-Gobain Glass France | Transparent pane |
| US10914946B2 (en) | 2016-05-17 | 2021-02-09 | Saint-Gobain Glass France | Head-up display system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6174599B1 (en) | 2001-01-16 |
| CA2199622A1 (fr) | 1997-01-30 |
| DE69613204D1 (de) | 2001-07-12 |
| EP0781257B1 (fr) | 2001-06-06 |
| FR2736632A1 (fr) | 1997-01-17 |
| CN1436602A (zh) | 2003-08-20 |
| CN1102542C (zh) | 2003-03-05 |
| PL319097A1 (en) | 1997-07-21 |
| CZ295140B6 (cs) | 2005-05-18 |
| CZ76197A3 (en) | 1997-08-13 |
| JPH10507994A (ja) | 1998-08-04 |
| PL185279B1 (pl) | 2003-04-30 |
| ATE201864T1 (de) | 2001-06-15 |
| EP0781257A1 (fr) | 1997-07-02 |
| DE69613204T2 (de) | 2002-03-21 |
| US6354109B1 (en) | 2002-03-12 |
| WO1997003029A1 (fr) | 1997-01-30 |
| DK0781257T3 (da) | 2001-09-24 |
| CN1230255C (zh) | 2005-12-07 |
| FR2736632B1 (fr) | 1997-10-24 |
| CN1164848A (zh) | 1997-11-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2179537C2 (ru) | Стеклопанель, содержащая прозрачную функциональную пленку, сопло для осаждения пленки из газовой фазы и способ формирования пленки с помощью этого сопла | |
| RU2127231C1 (ru) | Остекление и способ его получения | |
| CN1131145C (zh) | 防反射薄膜 | |
| EP0721112B1 (en) | Multilayer antireflective coating with a graded base layer | |
| KR100238740B1 (ko) | 유리 기판의 피복법 | |
| US5356718A (en) | Coating apparatus, method of coating glass, compounds and compositions for coating glasss and coated glass substrates | |
| US5599387A (en) | Compounds and compositions for coating glass with silicon oxide | |
| US6416890B1 (en) | Solar control coated glass | |
| EP0627391B1 (en) | Neutral, low emissivity coated glass articles and method for making | |
| KR100237950B1 (ko) | 복사율이 낮은 필름이 제공된 유리 기판을 포함하는 제품 및 이의 제조방법 | |
| USRE40315E1 (en) | Coated substrate with high reflectance | |
| US5635287A (en) | Pane provided with a functional film | |
| US7195821B2 (en) | Coated substrate with high reflectance | |
| US5256485A (en) | Coated glass and method of manufacturing same | |
| GB2248243A (en) | Glass coated with mixed oxide of aluminium and vanadium prior to coating with tin oxide | |
| CA1147139A (en) | Deposition method | |
| UA65556C2 (en) | A coated glass (variants), a method for making the same and coating absorbing radiation of the spectral region adjacent to that infrared |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20070711 |