RU2161364C2 - Пьезоэлектрический шаговый двигатель - Google Patents
Пьезоэлектрический шаговый двигатель Download PDFInfo
- Publication number
- RU2161364C2 RU2161364C2 RU96111313/28A RU96111313A RU2161364C2 RU 2161364 C2 RU2161364 C2 RU 2161364C2 RU 96111313/28 A RU96111313/28 A RU 96111313/28A RU 96111313 A RU96111313 A RU 96111313A RU 2161364 C2 RU2161364 C2 RU 2161364C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- piezoelectric
- piezoelectric element
- fixing
- movable part
- locking
- Prior art date
Links
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims abstract description 4
- 239000012774 insulation material Substances 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 abstract description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 230000000712 assembly Effects 0.000 abstract 2
- 238000000429 assembly Methods 0.000 abstract 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000004870 electrical engineering Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/021—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/101—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using intermittent driving, e.g. step motors
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Nitrogen And Oxygen Or Sulfur-Condensed Heterocyclic Ring Systems (AREA)
Abstract
Изобретение относится к пьезоэлектрическим двигателям, которые могут быть использованы в качестве исполнительных механизмов. Пьезоэлектрический шаговый двигатель содержит корпус с закрепленными в нем фиксирующими узлами и подвижную часть. Фиксирующие узлы выполнены из не менее двух вращательно-сдвигающе-фиксирующих пьезоблоков, которые расположены внутри корпуса в продольной плоскости друг за другом. Каждый пьезоблок выполнен из вращательного пьезоэлемента, сдвигающего пьезоэлемента, фиксирующего пьезоэлемента и фрикционного элемента, разделенных изоляторами. Промежутки между пьезоблоками заполнены эластичным изоляционным материалом. Технический результат - упрощение конструкции и технологии изготовления, повышение усилия и точности позиционирования. 14 ил.
Description
Изобретение относится к области электрических двигателей, а более точно касается пьезоэлектрических шаговых двигателей, и может быть использовано в качестве исполнительного механизма в электротехнике, телемеханике, радиотехнике и автоматике.
Известен пьезоэлектрический двигатель, статор которого содержит пьезоэлектрический полый цилиндр, внутри которого расположен цилиндрический ротор, фрикционно взаимодействующий со статором (Авторское свидетельство СССР N 573828, МКИ H 01 L 41/00).
Однако этот двигатель не может осуществлять линейное перемещение цилиндрического ротора.
Наиболее близким аналогом к предлагаемому изобретению является пьезоэлектрический шаговый двигатель, содержащий корпус с закрепленными в нем фиксирующими узлами и подвижную часть с рабочим элементом (Авторское свидетельство СССР N 720576, МКИ H 01 L 41/04 - прототип).
Однако этот двигатель имеет сложную конструкцию и осуществляет только линейное перемещение подвижной части и не может обеспечить вращение подвижной части.
В основу предлагаемого изобретения была положена задача создания пьезоэлектрического шагового двигателя, конструктивное выполнение которого позволило бы упростить конструкцию и технологию его изготовления, повысить усилия и точность позиционирования подвижной части при ее вращении, линейном перемещении и при совместном движении (одновременное вращение и линейное перемещение).
Это достигается тем, что в пьезоэлектрическом шаговом двигателе, содержащем корпус с закрепленными в нем фиксирующими узлами и подвижную часть, согласно изобретению, фиксирующие узлы выполнены из не менее двух вращательно-сдвигающе-фиксирующих пьезоблоков, которые расположены внутри корпуса в продольной плоскости друг за другом, причем каждый пьезоблок выполнен из вращательного пьезоэлемента, сдвигающего пьезоэлемента, фиксирующего пьезоэлемента и фрикционного элемента, разделенных изоляторами, а промежутки между пьезоблоками заполнены эластичным изоляционным материалом.
Далее изобретение поясняется описанием конкретного примера его выполнения и прилагаемыми чертежами, на которых:
фиг. 1 изображает пьезоэлектрический шаговый двигатель, вид спереди;
фиг. 2 - то же, продольный разрез;
фиг. 3 - 8 - такты работы пьезоэлектрического шагового двигателя при линейном перемещении подвижной части, продольный разрез;
фиг. 9 - первый такт работы двигателя при вращении подвижной части, поперечные разрезы двух пьезоблоков;
фиг. 10-14 - остальные такты работы пьезоэлектрического шагового двигателя при вращении подвижной части.
фиг. 1 изображает пьезоэлектрический шаговый двигатель, вид спереди;
фиг. 2 - то же, продольный разрез;
фиг. 3 - 8 - такты работы пьезоэлектрического шагового двигателя при линейном перемещении подвижной части, продольный разрез;
фиг. 9 - первый такт работы двигателя при вращении подвижной части, поперечные разрезы двух пьезоблоков;
фиг. 10-14 - остальные такты работы пьезоэлектрического шагового двигателя при вращении подвижной части.
Пьезоэлектрический шаговый двигатель содержит цилиндрический корпус 1 (фиг. 1 и 2), фиксирующие узлы в виде двух пьезоблоков 2 и 3 и подвижную часть 4, выполненную в виде цилиндрического стержня. Пьезоблоки 2 и 3 являются вращательно-сдвигающе-фиксирующими. Каждый пьезоблок состоит из соединенных между собой (например, склеенных) вращательного пьезоэлемента 5, сдвигающего пьезоэлемента 6, фиксирующего пьезоэлемента 7, изоляторов 8 и фрикционного элемента 9. Вращательный пьезоэлемент 5 осуществляет поворот подвижной части 4 вокруг собственной оси и вектор его начальной поляризации направлен под углом к продольной плоскости двигателя. Сдвигающий пьезоэлемент 6 имеет вектор начальной поляризации, направленный под углом к продольной оси двигателя и осуществляет перемещение подвижной части 4 вдоль продольной оси двигателя.
Фиксирующий пьезоэлемент 7 производит фиксацию подвижной части 4, вектор его начальной поляризации направлен (радиально) перпендикулярно продольной оси двигателя.
Фрикционные элементы 9 выполнены в виде разрезного кольца, что обеспечивает более плотное обжатие подвижной части 4 фиксирующими пьезоэлементами 7 пьезоблоков 2 и 3.
Каждый пьезоэлемент имеет электроды, к которым подключены провода (эти элементы на чертеже не показаны).
Промежутки между пьезоблоками 2 и 3 заполнены эластичным изоляционным материалом 10.
Двигатель работает следующим образом.
При подаче на электроды вращательного пьезоэлемента 5 (фиг. 9) положительного напряжения за счет обратного пьезоэффекта происходит поворот внутренней части кольца против часовой стрелки на угол α относительно диаметральной линии A1 А2, а при подаче отрицательного напряжения осуществляется поворот внутренней части по часовой стрелке на угол α относительно диаметральной линии A1 A2. При подаче на электроды сдвигающих пьезоэлементов 6 положительного напряжения за счет обратного пьезоэффекта происходит сдвиг внутренней части влево относительно внешней части кольца, а при подаче отрицательного напряжения - сдвиг внутренней части вправо относительно внешней части кольца. При подаче положительного напряжения на электроды фиксирующего пьезоэлемента 7 происходит обжим им подвижной части 4, а при подаче отрицательного напряжения он отжимается от подвижной части 4.
Пьезоэлектрический шаговый двигатель может осуществлять различные виды движений: линейное перемещение подвижной части; вращательное движение; совместно линейное и вращательное движение; различные комбинации этих движений.
Рабочий цикл двигателя состоит из шести тактов.
Работа двигателя в режиме линейного перемещения подвижной части показана на фиг. 3-8. При этом в работе участвуют сдвигающие пьезоэлементы 6 пьезоблоков 2 и 3 и фиксирующие пьезоэлементы 7 тех же пьезоблоков.
Первому такту соответствует положение пьезоэлементов 6 и 7 пьезоблоков 2 и 3, показанное на фиг. 3. На пьезоэлементы 6 и 7 пьезоблока 2 и на пьезоэлемент 7 пьезоблока 3 подано положительное напряжение, а на пьезоэлемент 6 пьезоблока 3 - отрицательное напряжение, при этом пьезоэлемент 6 пьезоблока 2 смещен влево, пьезоэлемент 6 пьезоблока 3 смещен вправо. Фиксирующие пьезоэлементы 7 пьезоблоков 2 и 3 зажимают подвижную часть 4. Вращательные пьезоэлементы 5 не участвуют в линейном перемещении и могут занимать любое положение, которое не изменяется во время работы двигателя в режиме линейного перемещения.
Во втором такте на фиксирующий пьезоэлемент 7 (фиг. 4) пьезоблока 3 подается отрицательное напряжение, при этом он отжимается от подвижной части 4.
В третьем такте на сдвигающий пьезоэлемент 6 (фиг. 5) пьезоблока 2 подается отрицательное напряжение и он, смещаясь вправо, перемещает фиксирующий пьезоэлемент 7 и подвижную часть 4 на один шаг. Одновременно на сдвигающий пьезоэлемент 5 пьезоблока 3 подается положительное напряжение и он смещается совместно с фиксирующим пьезоэлементом 7 влево.
В четвертом такте положительное напряжение подается на фиксирующий пьезоэлемент 7 (фиг. 6) пьезоблока 3, который обжимает подвижную часть 4.
В пятом такте на фиксирующий пьезоэлемент (фиг. 7) пьезоблока 2 подается отрицательное напряжение и он отжимается от подвижной части 4.
В шестом такте пьезоблоки 2 (фиг. 8) и 3 расходятся, т. е. на электроды сдвигающего пьезоэлемента 6 пьезоблока 2 подается положительное напряжение и он смещается влево, а на сдвигающий пьезоэлемент 6 пьезоблока 3 подается отрицательное напряжение и он совместно с фиксирующим пьезоэлементом 7 и подвижной частью 4 смещается вправо. Происходит перемещение подвижной части 4 еще на один шаг. На этом рабочий цикл завершается, подвижная часть переместилась на два шага.
Далее процесс линейного перемещения продолжается в той же последовательности.
При вращении подвижной части 4 работа двигателя осуществляется по схеме, представленной на фиг. 9-14.
На фиг. 9 изображено положение, соответствующее первому такту. В работе участвуют вращательные пьезоэлементы 5 и фиксирующие пьезоэлементы 7 пьезоблоков 2 и 3. Пьезоэлементы 6 в работе не участвуют и могут занимать любое положение, которое не изменяется в процессе работы. На пьезоэлементы 5 и 7 пьезоблока 2 подано положительное напряжение, при этом вращательный пьезоэлемент 5 смещает фиксирующий пьезоэлемент 7 на угол α против часовой стрелки, пьезоэлемент 7 зажимает подвижную часть 4. На вращательный пьезоэлемент 5 пьезоблока 3 подано отрицательное напряжение, при этом он смещает фиксирующий пьезоэлемент 7 на угол α против часовой стрелки, пьезоэлемент 7 зажимает подвижную часть 4.
Во втором такте на фиксирующий пьезоэлемент 7 (фиг. 10) пьезоблока 3 подается отрицательное напряжение, при этом он отжимается от подвижной части 4.
В третьем такте отрицательное напряжение подается на вращательный пьезоэлемент 5 (фиг. 11) пьезоблока 2, который поворачивает совместно фиксирующий пьезоэлемент 7 и подвижную часть 4 на угол 2α по часовой стрелке. При этом на вращательный пьезоэлемент 5 пьезоблока 3 подается положительное напряжение и происходит сдвиг фиксирующего пьезоэлемента 7 на угол 2α против часовой стрелки.
В четвертом такте на фиксирующий пьезоэлемент 7 (фиг. 12) пьезоблока 2 подается положительное напряжение и он обжимает подвижную часть 4.
В пятом такте на фиксирующий пьезоэлемент 7 (фиг. 13) пьезоблока 2 подается отрицательное напряжение и он отжимается от подвижной части 4.
В шестом такте положительное напряжение подается на вращательный пьезоэлемент 5 пьезоблока 2, который смещается на угол 2α против часовой стрелки. На вращательный пьезоэлемент 5 пьезоблока 3 подается отрицательное напряжение и он поворачивает подвижную часть 4 на угол 2α по часовой стрелке.
За один рабочий цикл подвижная часть 4 поворачивается на угол 4α. Далее происходит повторение циклов, при этом подвижная часть 4 вращается по часовой стрелке.
Для осуществления реверса необходимо изменить порядок подачи напряжения на фиксирующие пьезоэлементы.
Предлагаемый пьезоэлектрический шаговый двигатель имеет простую конструкцию и технологию изготовления, небольшие габаритные размеры и массу, большое усилие на подвижной части и большой крутящийся момент, а также позволяет совмещать линейное движение подвижной части и ее вращение.
Claims (1)
- Пьезоэлектрический шаговый двигатель, содержащий корпус, с закрепленными в нем фиксирующими узлами и подвижную часть, отличающийся тем, что фиксирующие узлы выполнены из не менее двух вращательно-сдвигающе-фиксирующих пьезоблоков, которые расположены внутри корпуса в продольной плоскости друг за другом, причем каждый пьезоблок выполнен из вращательного пьезоэлемента, сдвигающего пьезоэлемента, фиксирующего пьезоэлемента и фрикционного элемента, разделенных изоляторами, а промежутки между пьезоблоками заполнены эластичным изоляционным материалом.
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU96111313/28A RU2161364C2 (ru) | 1996-06-05 | 1996-06-05 | Пьезоэлектрический шаговый двигатель |
JP50046798A JP3872519B2 (ja) | 1996-06-05 | 1997-06-05 | 圧電・ステッピング・モータ |
US09/000,376 US6211605B1 (en) | 1996-06-05 | 1997-06-05 | Piezoelectric step motor |
KR1019980700789A KR100353456B1 (ko) | 1996-06-05 | 1997-06-05 | 압전형스텝모터 |
PCT/RU1997/000175 WO1997047072A1 (fr) | 1996-06-05 | 1997-06-05 | Moteur piezo-electrique pas-a-pas |
AU31962/97A AU3196297A (en) | 1996-06-05 | 1997-06-05 | Piezoelectric step motor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU96111313/28A RU2161364C2 (ru) | 1996-06-05 | 1996-06-05 | Пьезоэлектрический шаговый двигатель |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU96111313A RU96111313A (ru) | 1998-09-27 |
RU2161364C2 true RU2161364C2 (ru) | 2000-12-27 |
Family
ID=20181540
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU96111313/28A RU2161364C2 (ru) | 1996-06-05 | 1996-06-05 | Пьезоэлектрический шаговый двигатель |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6211605B1 (ru) |
JP (1) | JP3872519B2 (ru) |
KR (1) | KR100353456B1 (ru) |
AU (1) | AU3196297A (ru) |
RU (1) | RU2161364C2 (ru) |
WO (1) | WO1997047072A1 (ru) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SE0002885D0 (sv) * | 2000-08-11 | 2000-08-11 | Piezomotor Uppsala Ab | Fine walking actuator |
DE10148267B4 (de) * | 2001-06-08 | 2005-11-24 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Piezolinearantrieb mit einer Gruppe von Piezostapelaktoren sowie Verfahren zum Betreiben eines solchen Antriebes |
JP3832338B2 (ja) * | 2001-12-25 | 2006-10-11 | 松下電工株式会社 | 電歪ポリマーアクチュエータ |
US7309946B2 (en) * | 2003-03-19 | 2007-12-18 | Academia Sinica | Motion actuator |
FR2854284B1 (fr) * | 2003-04-28 | 2005-06-03 | Centre Nat Rech Scient | Moteur piezoelectrique permettant au moins deux degres de liberte, en rotation et en deplacement lineaire |
US6977461B2 (en) * | 2003-12-15 | 2005-12-20 | Asml Netherlands B.V. | System and method for moving an object employing piezo actuators |
DE102006015493B4 (de) * | 2006-04-03 | 2010-12-23 | Atlas Elektronik Gmbh | Elektroakustischer Wandler |
DE102006039821A1 (de) | 2006-08-25 | 2008-03-13 | Carl Zeiss Smt Ag | Optisches System, insbesondere ein Projektionsobjektiv oder ein Beleuchtungssystem |
CN104578901B (zh) * | 2015-01-15 | 2018-05-04 | 合肥工业大学 | 一种行走式压电旋转马达 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU573828A1 (ru) * | 1976-06-08 | 1977-09-25 | Киевский Ордена Ленина Политехнический Институт Имени 50-Летия Великой Октябрьской Социалистической Революции | Пьезоэлектрический двигатель |
SU738016A1 (ru) * | 1977-05-13 | 1980-05-30 | За витель I 1| йа-:-:|(«/;;г - -...,Г .,.Kf iilil 4.,-, - - ; | Шаговый двигатель |
JPS5976184A (ja) * | 1982-10-22 | 1984-05-01 | Hitachi Ltd | アクチユエ−タ |
JPS602081A (ja) * | 1983-06-16 | 1985-01-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回転駆動アクチユエ−タ |
JPS6082072A (ja) * | 1983-10-12 | 1985-05-10 | Jeol Ltd | ステツピングモ−タ |
JP2651172B2 (ja) * | 1987-12-28 | 1997-09-10 | 東陶機器株式会社 | アクチュエータ |
US4928030A (en) * | 1988-09-30 | 1990-05-22 | Rockwell International Corporation | Piezoelectric actuator |
US5043621A (en) * | 1988-09-30 | 1991-08-27 | Rockwell International Corporation | Piezoelectric actuator |
EP0424609A1 (en) * | 1989-09-28 | 1991-05-02 | Rockwell International Corporation | Piezoelectric actuator |
EP0449048B1 (en) * | 1990-03-23 | 1995-04-26 | Rockwell International Corporation | Piezoelectric motor |
EP0453826B1 (en) * | 1990-04-27 | 1995-02-08 | Rockwell International Corporation | Robotic articulation |
US5068566A (en) * | 1990-06-04 | 1991-11-26 | Rockwell International Corporation | Electric traction motor |
DE4023311A1 (de) * | 1990-07-21 | 1992-01-23 | Omicron Vakuumphysik | Verstellvorrichtung fuer mikrobewegungen |
JPH05316757A (ja) * | 1991-03-20 | 1993-11-26 | Nec Corp | 移動機構 |
CA2066084A1 (en) * | 1991-05-31 | 1992-12-01 | Gordon Walter Culp | Twisting actuators |
US5182484A (en) * | 1991-06-10 | 1993-01-26 | Rockwell International Corporation | Releasing linear actuator |
JPH05199775A (ja) * | 1991-08-05 | 1993-08-06 | Honda Electron Co Ltd | 圧電ステッピングモータ |
JPH08192798A (ja) * | 1991-12-10 | 1996-07-30 | Susumu Sato | 水上飛行船 |
JPH05236765A (ja) * | 1992-02-20 | 1993-09-10 | Okuma Mach Works Ltd | ローテータブル・リニア・アクチュエータ |
-
1996
- 1996-06-05 RU RU96111313/28A patent/RU2161364C2/ru not_active IP Right Cessation
-
1997
- 1997-06-05 KR KR1019980700789A patent/KR100353456B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1997-06-05 WO PCT/RU1997/000175 patent/WO1997047072A1/ru active IP Right Grant
- 1997-06-05 AU AU31962/97A patent/AU3196297A/en not_active Abandoned
- 1997-06-05 US US09/000,376 patent/US6211605B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-06-05 JP JP50046798A patent/JP3872519B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6211605B1 (en) | 2001-04-03 |
KR19990036121A (ko) | 1999-05-25 |
WO1997047072A1 (fr) | 1997-12-11 |
AU3196297A (en) | 1998-01-05 |
KR100353456B1 (ko) | 2002-12-31 |
JP3872519B2 (ja) | 2007-01-24 |
JPH11511952A (ja) | 1999-10-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4504760A (en) | Piezoelectrically driven vibration wave motor | |
US3902085A (en) | Electromechanical translation apparatus | |
RU2161364C2 (ru) | Пьезоэлектрический шаговый двигатель | |
US6150750A (en) | Piezoelectric linear step motor | |
RU2167487C2 (ru) | Пьезоэлектрический шаговый двигатель | |
RU2167489C2 (ru) | Пьезоэлектрический шаговый двигатель | |
RU2167486C2 (ru) | Пьезоэлектрический шаговый двигатель | |
KR100353455B1 (ko) | 압전형리니어스텝모터 | |
CN110661445B (zh) | 一种并联式三自由度压电谐振自致动机构及其激励方法 | |
RU2153219C2 (ru) | Пьезоэлектрический шаговый двигатель | |
RU2181522C2 (ru) | Пьезоэлектрический линейный шаговый двигатель | |
SU502426A1 (ru) | Ультразвуковой линейный шаговый двигатель | |
JP4335660B2 (ja) | 静電アクチュエータ | |
JPS62100179A (ja) | 圧電モ−タ | |
JP2004009281A (ja) | 関節アクチュエータ | |
SU1453101A2 (ru) | Устройство дл получени вращательного движени | |
SU441975A1 (ru) | Устройство дл получени вращательного движени | |
SU1653036A1 (ru) | Электромеханический волноводный переключатель | |
JP2002325418A (ja) | 電動モータ | |
JPS6389077A (ja) | 振動波モ−タ | |
JPH04299082A (ja) | 超音波アクチュエータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20040606 |