[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

RU2013133581A - Способ получения интерметаллического антиэмиссионного покрытия на сеточных электродах генераторных ламп - Google Patents

Способ получения интерметаллического антиэмиссионного покрытия на сеточных электродах генераторных ламп Download PDF

Info

Publication number
RU2013133581A
RU2013133581A RU2013133581/02A RU2013133581A RU2013133581A RU 2013133581 A RU2013133581 A RU 2013133581A RU 2013133581/02 A RU2013133581/02 A RU 2013133581/02A RU 2013133581 A RU2013133581 A RU 2013133581A RU 2013133581 A RU2013133581 A RU 2013133581A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
vacuum
layer
grid
producing
followed
Prior art date
Application number
RU2013133581/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2542912C2 (ru
Inventor
Юрий Александрович Быстров
Александр Аркадьевич Лисенков
Сергей Александрович Трифонов
Дарья Андреевна Чухлеб
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина)"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина)" filed Critical Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина)"
Priority to RU2013133581/02A priority Critical patent/RU2542912C2/ru
Publication of RU2013133581A publication Critical patent/RU2013133581A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2542912C2 publication Critical patent/RU2542912C2/ru

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)

Abstract

Способ получения интерметаллического антиэмиссионного покрытия PtZr на сеточных электродах генераторных ламп, включающий последовательное формирование слоя карбида материала сетки, нанесение карбида циркония и поверхностного слоя платины, с последующим отжигом сеточного электрода в вакууме, отличающийся тем, что формирование слоя карбида материала сетки осуществляют распылением графитового катода катодным пятном вакуумно-дугового разряда с последующим нанесением из потока металлической плазмы вакуумно-дугового разряда слоя циркония.

Claims (1)

  1. Способ получения интерметаллического антиэмиссионного покрытия Pt3Zr на сеточных электродах генераторных ламп, включающий последовательное формирование слоя карбида материала сетки, нанесение карбида циркония и поверхностного слоя платины, с последующим отжигом сеточного электрода в вакууме, отличающийся тем, что формирование слоя карбида материала сетки осуществляют распылением графитового катода катодным пятном вакуумно-дугового разряда с последующим нанесением из потока металлической плазмы вакуумно-дугового разряда слоя циркония.
RU2013133581/02A 2013-07-18 2013-07-18 Способ получения интерметаллического антиэмиссионного покрытия на сеточных электродах генераторных ламп RU2542912C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013133581/02A RU2542912C2 (ru) 2013-07-18 2013-07-18 Способ получения интерметаллического антиэмиссионного покрытия на сеточных электродах генераторных ламп

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013133581/02A RU2542912C2 (ru) 2013-07-18 2013-07-18 Способ получения интерметаллического антиэмиссионного покрытия на сеточных электродах генераторных ламп

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2013133581A true RU2013133581A (ru) 2015-01-27
RU2542912C2 RU2542912C2 (ru) 2015-02-27

Family

ID=53281098

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013133581/02A RU2542912C2 (ru) 2013-07-18 2013-07-18 Способ получения интерметаллического антиэмиссионного покрытия на сеточных электродах генераторных ламп

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2542912C2 (ru)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2643851C2 (ru) * 2016-06-28 2018-02-06 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина)" Способ получения интерметаллического антиэмиссионного покрытия
FR3095074B1 (fr) * 2019-04-11 2022-03-25 Thales Sa Electrode à faible émissivité électronique

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1149329A1 (ru) * 1981-02-13 1985-04-07 Организация П/Я Х-5263 Сетчатый электрод дл электронного прибора и способ его изготовлени
RU2114210C1 (ru) * 1997-05-30 1998-06-27 Валерий Павлович Гончаренко Способ формирования углеродного алмазоподобного покрытия в вакууме
JP4366920B2 (ja) * 2002-11-07 2009-11-18 ソニー株式会社 平面型表示装置及びその製造方法
RU2261940C1 (ru) * 2004-04-30 2005-10-10 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина)" Способ получения интерметаллического антиэмиссионного покрытия
RU2478141C2 (ru) * 2011-05-05 2013-03-27 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский институт электрофизической аппаратуры им. Д.В. Ефремова" (ФГУП "НИИЭФА им. Д.В. Ефремова") Способ модификации поверхности материала плазменной обработкой

Also Published As

Publication number Publication date
RU2542912C2 (ru) 2015-02-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CL2014002921A1 (es) Sistema de tratamiento de plasma y recubrimiento al vacio y tratamiento de superficies, comprende un mecanismo de plasma, un catado de magnetrón, un ánodos, una descarga de arco remoto, una cubierta de cátodos, una cubierta de ánodos, un sistema magnético, un suministro de energía de cátodo, y un suministro de energía de descarga de arco; método para recubrir un sustrato.
FR2918293B1 (fr) Traitement de gaz par plasma de surface
WO2008102679A1 (ja) プラズマ処理装置
JP2012124168A5 (ru)
WO2014156310A8 (ja) 金属被膜の成膜装置および成膜方法
JP2010045353A5 (ru)
JP2010013676A5 (ru)
JP2015181143A5 (ja) プラズマエッチング方法
JP2017011127A5 (ru)
MY181527A (en) Superhydrophobic compositions and coating process for the internal surface of tubular structures
MY183557A (en) Plasma cvd device and plasma cvd method
JP2012517690A5 (ru)
RU2015128048A (ru) Источник плазмы
JP2012104579A5 (ru)
RU2013133581A (ru) Способ получения интерметаллического антиэмиссионного покрытия на сеточных электродах генераторных ламп
JP2012517529A5 (ru)
JP2016032028A5 (ru)
RU2009130532A (ru) Способ формирования сверхтвердого аморфного углеродного покрытия в вакууме
RU2007112606A (ru) Способ формирования сверхтвердого легированного углеродного покрытия на кремнии в вакууме
RU2016103909A (ru) Мишень для реактивного осаждения электроизолирующих слоев методом ионного распыления
JP2012529765A5 (ru)
RU2015108566A (ru) Способ напыления тонкопленочных покрытий на поверхность полупроводниковых гетероэпитаксиальных структур методом магнетронного распыления
RU2012105581A (ru) Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме
RU2013134271A (ru) Тонкопленочное покрытие полюсных наконечников эндокардиальных электродов электрокардиостимуляторов и способ его получения
RU2012125230A (ru) Способ изготовления мдм-катода

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20180719