RU2096493C1

RU2096493C1 - Method of part working

Info

Publication number: RU2096493C1
Application number: RU94038640A
Authority: RU
Inventors: В.В. Будилов; Р.М. Киреев; С.Р. Шехтман
Original assignee: Уфимский государственный авиационный технический университет; Будилов Владимир Васильевич; Киреев Радик Маратович; Шехтман Семен Романович
Priority date: 1994-10-17
Filing date: 1994-10-17
Publication date: 1997-11-20
Also published as: RU94038640A

Abstract

FIELD: mechanical engineering; applicable in surface treatment in electronic, optical and other industries. SUBSTANCE: worked part and shield form cathode to which negative potential is connected, and anode is connected with positive potential. Ionic cathode effect manifests itself in increase of current density. Sizes of shield, its configuration and distance between shield and part-cathode comprises the know-how. EFFECT: reduced working time by several times, higher quality of working due to more clean surface and reduced roughness of surface. 1 dwg

Description

Изобретение относится к области машиностроения и может быть использовано для обработки поверхности в электронной, оптической и других отраслях промышленности. The invention relates to the field of engineering and can be used for surface treatment in electronic, optical and other industries.

Известен способ обработки металлических поверхностей тлеющим разрядом, включающий обработку детали, являющейся одним из электродов, в газовой среде при давлении ниже атмосферного, для повышения производительности процесса и однородности обработки в газовой среде создают высокотурбулентный закрученный поток с околозвуковым уровнем тангенциальных скоростей, высокотурбулентный закрученный поток создает положительное магнитное поле ортогональным линиям тока в тлеющем разряде [1]
Известен способ, реализуемый установкой для химико-термической обработки металлических деталей в условиях электрического тлеющего разряда, состоящей из рабочей камеры с анодом и катодом с подсоединенным к ней газовакуумным блоком и блоком для охлаждения, блока питания с сетевым выключателем, силового трансформатора, тиристора, управления тиристором, а анод соединен с анодом рабочей камеры, сглаживающего дросселя, датчика тока в рабочей камере, реактивного элемента, двух выпрямителей моста с блоком управления, насыщающего трансформатора, анод и конденсатор, причем одна вторичная обмотка соединена с первым выпрямителем непосредственно, а другая со вторым выпрямительным мостом через реактивный элемент [2]
Общим недостатком аналогов является сложность оборудования, сложность изготовления.A known method of treating metal surfaces with a glow discharge, including processing a part, which is one of the electrodes, in a gaseous medium at a pressure below atmospheric, creates a highly turbulent swirl flow with a transonic level of tangential velocities to increase the productivity of the process and uniformity of processing in a gaseous medium, a highly turbulent swirl flow creates a positive Magnetic field to orthogonal current lines in a glow discharge [1]
A known method implemented by the installation for chemical-thermal treatment of metal parts in the conditions of an electric glow discharge, consisting of a working chamber with an anode and a cathode with a gas-vacuum unit and a unit for cooling connected to it, a power supply unit with a power switch, a power transformer, thyristor, thyristor control and the anode is connected to the anode of the working chamber, a smoothing inductor, a current sensor in the working chamber, a reactive element, two bridge rectifiers with a control unit saturating the transformer RA, anode and capacitor, with one secondary winding connected directly to the first rectifier and the other to the second rectifier bridge through the reactive element [2]
A common disadvantage of analogues is the complexity of the equipment, the complexity of manufacturing.

Наиболее близким по технической сущности к заявляемому является способ обработки детали, включающий очистку и активацию ее поверхности плазмой повышенной плотности, создаваемой с помощью системы, реализующей эффект полого катода [3]
Недостатками прототипа является сложность оборудования для реализации способа, сложность проведения процесса, длительность обработки.Closest to the technical nature of the claimed is a method of processing parts, including cleaning and activation of its surface with high density plasma, created using a system that implements the effect of a hollow cathode [3]
The disadvantages of the prototype is the complexity of the equipment for implementing the method, the complexity of the process, the processing time.

Задачей, на решение которой направлено заявляемое изобретение, является повышение качества обработки, снижение длительности, упрощение способа, равномерность нагрева поверхности. The problem to which the invention is directed is to improve the quality of processing, reduce the duration, simplify the method, the uniformity of surface heating.

Задача решается тем, что в способе обработки детали, включающем очистку и активацию ее поверхности плазмой повышенной плотности, создаваемой с помощью системы, реализующей эффект полого катода, плазму повышенной плотности создают в системе, образованной деталью и экраном. The problem is solved in that in a method for processing a part, including cleaning and activating its surface with high density plasma created using a system that implements the hollow cathode effect, high density plasma is created in the system formed by the part and the screen.

Катод образован обрабатываемой деталью и экраном, к ним подводится отрицательный потенциал, к аноду подводится положительный, эффект полого катода проявляется в значительном повышении плотности тока, увеличении степени ионизации плазмы, при одновременном снижении напряжения горения разряда. The cathode is formed by the workpiece and screen, a negative potential is supplied to them, a positive potential is supplied to the anode, the hollow cathode effect is manifested in a significant increase in current density, an increase in the degree of plasma ionization, while reducing the discharge burning voltage.

Сущность способа поясняется чертежом. The essence of the method is illustrated in the drawing.

Устройство для реализации способа обработки поверхности тлеющим разрядом содержит источник 1, анод 2, систему 3, состоящую из катод-детали 4, экрана 5, экран установлен на определенном расстоянии от катод-детали 4. A device for implementing the method of surface treatment by glow discharge contains a source 1, anode 2, system 3, consisting of a cathode part 4, a screen 5, the screen is installed at a certain distance from the cathode part 4.

Пример конкретной реализации способа. An example of a specific implementation of the method.

Способ осуществляется при напряжении U_p 600 В, давлении P 1 - 3 Па. Размеры экрана, его конфигурация, расстояние между экраном и катод-деталью является "ноу-хау".The method is carried out at a voltage of U _p 600 V, a pressure of P 1 - 3 PA. The dimensions of the screen, its configuration, the distance between the screen and the cathode-part is a know-how.

Способ позволяет в несколько раз уменьшить время ионной очистки, позволяет получить более качественно чистую поверхность, уменьшить шероховатость поверхности. The method allows several times to reduce the time of ion cleaning, allows you to get a better clean surface, reduce surface roughness.

Claims

A method for processing a part, including cleaning and activating its surface with high density plasma created using a system that implements a hollow cathode effect, characterized in that high density plasma is created in a system that implements a hollow cathode effect formed by a part and a screen.