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KR980005328A - 반사굴절 광학계 - Google Patents

반사굴절 광학계 Download PDF

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Publication number
KR980005328A
KR980005328A KR1019970021294A KR19970021294A KR980005328A KR 980005328 A KR980005328 A KR 980005328A KR 1019970021294 A KR1019970021294 A KR 1019970021294A KR 19970021294 A KR19970021294 A KR 19970021294A KR 980005328 A KR980005328 A KR 980005328A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
optical system
lens group
imaging optical
light
imaging
Prior art date
Application number
KR1019970021294A
Other languages
English (en)
Inventor
야스히로 오무라
Original Assignee
고노 시게오
니콘 코포레이션
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 고노 시게오, 니콘 코포레이션 filed Critical 고노 시게오
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    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
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    • G02B17/08—Catadioptric systems
    • G02B17/0892—Catadioptric systems specially adapted for the UV
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
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Abstract

상측(傷惻)에 있어 충분히 큰 개구수 및 작동거리를 갖고, 자외선 파장영역에서 쿼터 미크론 단위의 해상도를 갖는 소형 반사굴절 광학계를 제공코자 하는 것으로, 물체면으로부터의 빛에 의거하여 물체면의 중간상을 형성하기 위한 제 1 결상광학계S1과, 상기 중간상으로부터 빛에 의거하여 물체면의 축소상을 형성하기 위한 제 2 결상광학계S2와, 중간상이 형성되는 위치의 근방에 배치되어 상기 제 1 결광학계S1을 거친 빛을 상기 제 2 결상광학계S2를 향해서 편향하기 위한 제 1 광로편향부재M1과를 구비하고 있다. 제 1 결상광학계S1은 요면(凹面)반사경CM을 갖고, 물체면으로부터의 빛은 상기 요면반사경CM에서 반사된 후에, 상기 제 1 결상광학계S1의 광로중에 중간상을 형성하고, 조건식(1) 및 (2)를 만족한다.

Description

반사굴절 광학계
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1 실시예에 있어서 반사굴절 광학계의 렌즈 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.

Claims (7)

  1. 물체면으로부터의 빛에 의거하여 상기 물체면의 중간상을 형성하기 위한 제 1 결상광학계S1과, 상기 중간상으로부터의 빛에 의거하여 상기 물체면의 축소상을 형성하기 위한 제 2 결상광학계S2와, 상기 중간상이 형성되는 위치의 근방에 배치되어 상기 제 1 결상광학계을 거친 빛을 상기 제 1 결상광학계S2를 향해서 편향하기 위한 제 1 광로편향부재M1를 구비하고, 상기 제 1 결상광학계S1은 요면(凹面)반사경CM을 갖고, 상기 물체면으로부터의 빛은 상기 요면반사경CM에서 반사된 후에 , 상기 제 1 결상광학계S1의 광로중에 상기 중간상을 형성하고, 상기 제 1 광로편향부재M1은, 상기 제 1 결상광학계S1의 광로중에 배치된 평면반사경을 가지며, 상기 제 1 결상광학계S1의 결상배율을 β1으로 하고, 상기 제 1 결상광학계S1의 광축과 상기 제 2 결상광학계S2의 광축과의 교점과 상기 물체면과의 사이의 축상거리를 L1으로 하며, 상기 물체면과 상기 요면반사경CM과의 사이의 축상거리를 LM으로 하였을 때.
    0.75 〈 ｜β1 ｜ 〈 0.95
    0.13 〈 L1 / LM 〈 0.35
    의 조건을 만족하는 것을 특징으로 하는 반사굴절 광학계
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 결상광학계S1은, 물체측으로부터 순서대로, 제 1 렌즈군G1과 제 2 렌즈군G2와, 상기 요면반사경CM과를 갖고, 상기 물체면으로부터의 빛은, 상기 제 1 렌즈군G1 및 상기 제 2 렌즈군G2를 거쳐 상기 요면반사경CM에서 반사된 후에, 상기 제 1 렌즈군G1과 상기 제 2 렌즈군G2와의 사이의 광로중에 상기 중간상을 형서하는 것을 특징으로 하는 반사굴절 광학계.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 제 2 렌즈군G2는 적어도 2개의 서로 다른 부굴절력(負屈折力)을 갖는 굴절소자와, 적어도 2개의 서로 다른 정(正)굴절력을 갖는 굴절소자를 가지는 것을 특징으로 하는 반사굴절 광학계.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 제 1 렌즈군G1은 적오도 세 개의 서로 다른 굴절력을 갖는 굴절소자를 갖는 것을 특징으로 하는 반사굴절 광학계.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항의 어느 하나의 항에 있어서, 상기 제 2 결상광학계S2는, 물체측으로부터 순서대로, 전체로서는 정(正)의 굴절력을 갖는 제 3 렌즈군G3과,그 제 3렌즈군을 거친 빛을 편향하기 위한 제 2 광로 편향부재 M2와 및 전체로서 정(正)의 굴절력을 갖는 제 4 렌즈군G4를 가지며, 상기 중간상으로부터의 빛은, 상기 제 3 렌즈군G3, 상기 제 2 광로편향부재M2 및 상기 제 4 렌즈군G4를 거쳐서 상기 물체면의 축소상을 형성하는 것을 특징으로 하는 반사굴절 광학계.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항의 어느 하나의 항에 있어서, 상기 반사굴절 광학계를 구성하는 굴절소자는 석영 및 형석중 적어도 어느 한쪽의 광학재료로 형성된 것을 특징으로 하는 반사굴절 광학계.
  7. 제 2 항 내지 제 6 항의 어느 하나의 항에 있어서, 상기 제 2 렌즈군G2는 적어도 하나의 형석으로 이루어진 정(正) 렌즈를 갖고, 상기 제 2 렌즈군G2중의 형석으로 이루어진 정(正) 렌즈의 굴절력의 총합을øc로 하고, 상기 요면반사경CM의 굴절력을 øm으로 하였을 때.
    0.5 〈 ｜øc / øm ｜ 〈 1.6
    의 조건을 만족하는 것을 특징으로 하는 반사굴절 광학계.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970021294A 1996-06-20 1997-05-28 반사굴절 광학계 KR980005328A (ko)

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JP180013/1996 1996-06-20
JP8180013A JPH1010431A (ja) 1996-06-20 1996-06-20 反射屈折光学系

Publications (1)

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KR980005328A true KR980005328A (ko) 1998-03-30

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