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KR960039256A - 반도체 시험 장치 - Google Patents

반도체 시험 장치 Download PDF

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KR960039256A
KR960039256A KR1019960012840A KR19960012840A KR960039256A KR 960039256 A KR960039256 A KR 960039256A KR 1019960012840 A KR1019960012840 A KR 1019960012840A KR 19960012840 A KR19960012840 A KR 19960012840A KR 960039256 A KR960039256 A KR 960039256A
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KR
South Korea
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test
dut
turntable
carrier
test carrier
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KR1019960012840A
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KR100238929B1 (ko
Inventor
노리유키 이가라시
겐페이 스즈키
Original Assignee
오우라 히로시
가부시키가이샤 아드반테스트
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Publication date
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    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
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Abstract

핸들러 장치의 시험용 턴테이블에 다수의 시험용 소켓을 장착하여 DUT의 시험 시간을 단축한 반도체 시험장치를 제공한다. 시험용 턴테이블을 가진 핸들러 장치에 있어서, 시험용 턴테이블(60)에 복수의 시험용 캐리어(70)를 장착하여 예컨대 8개를 장착하여 시험용 캐리어(70)의 위치의 설명상 a 부터 h까지 순서를 붙이면, a의 포인트에서 DUT의 시험을 행하고, b에서는 DUT의 회수를 행하며, c에서는 시험전의 DUT를 공급하고, d로부터 h까지는 온도 사이클 시험을 필요로 했을 경우, 온도 관리를 할 수 있는 분위기속에 수용하는 구성이다. 이것에 의해, DUT의 시험시, 그 때마다 시험용 캐리어(70)로부터 DUT를 취출하지 않고 시험을 할 수 있다.

Description

반도체 시험 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 일실시예에 의한 시험용 턴테이블의 평면도.

Claims (2)

  1. 시험용 턴테이블이 장착된 핸들러 장치를 구비한 반도체 시험 장치에 있어서, 좌우로 회전가능한 상기 시험용 턴테이블(60)에 장착되며, 복수의 DUT를 삽입할 수 있는 시험용 캐리어(70)와, 상기 핸들러 장치 본체(100)에 장착되며, 상기 시험용 캐리어(70)에 삽입한 상기 DUT가 시험 위치에 도착하면 상측으로부터 상기 DUT를 가압하는 프레스 기기(80)를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 시험 장치.
  2. 제1항에 있어서, DUT의 외형에 맞추에 상기 시험용 캐리어(70)의 중심에 형성되며, 상기 DUT의 핀을 사방에서 꺼낼 수 있는 핀 개구(73)와, 상기 시험용 캐리어의 네 모서리에 형성되며, 상기 시험용 텐테이블(60)을 관통하여 스프링(72)이 상기 시험용 턴테이블(60)의 상측으로 이동하여 상기 시험용 캐리어(70)를 상기 시험용 턴테이블(60) 측으로 잡아당기도록 상기 스프링(72)을 통과시킨 지주(71)를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 시험 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960012840A 1995-04-28 1996-04-25 반도체 시험 장치 KR100238929B1 (ko)

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JP95-129844 1995-04-28

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Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19615674A1 (de) * 1996-04-19 1997-10-23 Mci Computer Gmbh Meßvorrichtung für integrierte Schaltkreise
US6489793B2 (en) 1996-10-21 2002-12-03 Delta Design, Inc. Temperature control of electronic devices using power following feedback
US6389225B1 (en) 1998-07-14 2002-05-14 Delta Design, Inc. Apparatus, method and system of liquid-based, wide range, fast response temperature control of electronic device
JP2002531845A (ja) 1998-12-02 2002-09-24 シュランバーガー テクノロジーズ インク． Ｉｃデバイスを反転させる装置および方法
DE19957792A1 (de) 1998-12-02 2000-06-08 Schlumberger Technologies Inc Transport und aktive Temperatursteuerung von zu prüfenden integrierten Schaltungen
DE10007700B4 (de) * 2000-02-19 2006-06-01 Sama Maschinenbau Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Bearbeitung der Ränder von Keramikartikeln
US6518782B1 (en) 2000-08-29 2003-02-11 Delta Design, Inc. Active power monitoring using externally located current sensors
US6462568B1 (en) * 2000-08-31 2002-10-08 Micron Technology, Inc. Conductive polymer contact system and test method for semiconductor components
KR100395925B1 (ko) 2001-08-01 2003-08-27 삼성전자주식회사 테스트 핸들러의 반도체 디바이스 로딩장치
JP4148946B2 (ja) * 2002-07-30 2008-09-10 株式会社アドバンテスト 電子部品試験装置
KR100542126B1 (ko) * 2003-04-29 2006-01-11 미래산업 주식회사 반도체 소자 테스트 핸들러
MY138949A (en) * 2004-12-24 2009-08-28 Pentamaster Instrumentation Sdn Bhd Apparatus/test handler for testing un-moulded ic devices using air flow system and the method of testing the same
KR100723503B1 (ko) 2005-09-13 2007-05-30 삼성전자주식회사 회전형 모듈 탑재부를 구비하는 메모리 모듈의 테스트시스템
US7202693B1 (en) * 2006-03-01 2007-04-10 Intel Corporation Combined pick, place, and press apparatus
US7965091B2 (en) * 2007-04-30 2011-06-21 Electro Scientific Industries, Inc. Test plate for electronic handler
KR100791510B1 (ko) 2007-08-31 2008-01-03 주식회사 유양엔지니어링 광소자가 내장된 칩형 전자부품의 검사장치
US7960992B2 (en) * 2009-02-25 2011-06-14 Kingston Technology Corp. Conveyor-based memory-module tester with elevators distributing moving test motherboards among parallel conveyors for testing
TWI582874B (zh) * 2012-05-03 2017-05-11 Chroma Ate Inc A test system for testing semiconductor packaged stacked wafers, and a semiconductor automated test machine
CN103630849B (zh) * 2013-11-08 2016-08-24 四川长虹电器股份有限公司 家电电源自动测试装置及测试方法
JP7191735B2 (ja) * 2019-03-07 2022-12-19 株式会社東芝 テスト治具
JP7192621B2 (ja) * 2019-03-29 2022-12-20 新東工業株式会社 検査装置
JP7192620B2 (ja) * 2019-03-29 2022-12-20 新東工業株式会社 検査装置
JP2020165902A (ja) * 2019-03-29 2020-10-08 新東工業株式会社 検査装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4940935A (en) * 1989-08-28 1990-07-10 Ried Ashman Manufacturing Automatic SMD tester
JP2547021Y2 (ja) * 1990-10-08 1997-09-03 株式会社アドバンテスト Ｉｃ試験装置

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Publication number Publication date
KR100238929B1 (ko) 2000-01-15
DE19616809A1 (de) 1996-10-31
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DE19616809B4 (de) 2005-06-09
US5894217A (en) 1999-04-13

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