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KR880000215A - 시이트(sheet)상 물체의 플라즈마 처리장치 - Google Patents

시이트(sheet)상 물체의 플라즈마 처리장치 Download PDF

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Publication number
KR880000215A
KR880000215A KR870004997A KR870004997A KR880000215A KR 880000215 A KR880000215 A KR 880000215A KR 870004997 A KR870004997 A KR 870004997A KR 870004997 A KR870004997 A KR 870004997A KR 880000215 A KR880000215 A KR 880000215A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
sheet
plasma processing
processing apparatus
discharge electrode
discharge
Prior art date
Application number
KR870004997A
Other languages
English (en)
Inventor
모도야스 고야마
히데도시 데라오까
다까오 아까끼
신지 야마구찌
이쓰기 사까모도
아끼라 낭바
이사오 오까가끼
Original Assignee
나까므라 히사오
가부시끼 가이샤 구라래
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Publication date
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Priority claimed from JP13557986A external-priority patent/JPS62294437A/ja
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    • B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
    • B29C59/10—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by electric discharge treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/46—Generating plasma using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
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    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
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  • Plasma Technology (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

내용 없음

Description

시이트(sheet)상 물체의 플라즈마 처리장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 이발명의 제 1 실시예를 표시하는 개량 구성도. 제 2 도는 제 1 도의 종단면도. 제 3 도는 회전축을 명시하는 우단부의 종단면도.

Claims (13)

  1. 진공용기를 관통하는 회전축에 고정되어서 회전하며 그 외주면에 시이트상 물체를 따라가게하는 드럼형상의 제 1 방전전극과, 이 제 1 방전전극에 대향하는 제 2 방전전극을 진공용기 내부에 설치한 시이트상 물체의 플라즈마 처리장치로서 상기 진공용기가 상기 양방전전극을 접속하는 전기회로로부터 전기적으로 절연되고 상기 제 1 방전전극에서의드럼원통부와 상기 회전축간에 양자간을 전기적으로 절연하는 절연부재가 설치되어 있는 시이트상 물체의 플라즈마 처리장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 전기회로중 제 1 방전전극에 접근되는 도체가 상기 회전축 내에 삽입되어 있는 시이트상 물체의 플라즈마 처리장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 방전전극이 냉각매체가 유통하는 냉각통로를 구비하고 이 냉각통로가 상기 회전축내에 삽입된 상기도체를 냉각하는 냉각매체의 냉각통로에 직렬로 접속되어 있는 시이트상 물체의 플라즈마 처리장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 방전전극이 냉각매체가 유통하는 냉각통로를 구비하고 이 냉각 통로가 상기 회전축내부에 설치된 냉각통로에 절연체로된 연결관을 통하여 연통되어 있는 시이트상 물체의 플라즈마 처리장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 방전극은 그 드럼의 내부공간이 플라즈마 처리가스를 함유하는 가스공급원에 연결되어서 상기 진공용기의 내부공간 압력보다도 높은 압력에 유지되어 있는 시이트상 물체의 플라즈마 처리장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 방전극은 그 드럼의 내부공간이 대기에 접속되어 있는 시이트상 물체의 플라즈마 처리장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 방전전극은 그 드럼의 내부공간이 밀폐되어있는 시이트상 물체의 플라즈마 처리장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 방전전극은 그 측면부가 절연부재로 덮혀있는 시이트상 물체의 플라즈마 처리장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 2제방전전극은 그것을 구성하는 복수개의 봉전극이 서로 평행하는 동시에 제 1 드럼상 전극의 외주면을 덮는 가상원통 주면상에 연이어 위치하고 각 봉전전극의 양단에서 지지부재에 의하여 지지한 농형구조로 구성되어 절연재를 통하여 진공용기내에 지지되어 있는 시이트상 물체의 플라즈마 처리장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    농형구조를 구성하는 봉전극이 그 내부에 냉각매체가 통과하는 냉매통로가 있으며 지지부재가 상기 각 봉전극의 냉매통로의 각 입구측 및 각 출구측을 각각 병렬로 연결하는 냉각로를 구성하고 있는 시이트상 물체의 플라즈마 처리장치.
  11. 제 9 항에 있어서,
    농형구조를 구성하는 봉전극이 그 내부에 냉각매체가 통과하는 냉매통로가 있으며 지지부재가 상기 각봉전극의 냉매통로를 순차직렬로 연결하는 냉각로를 구성하고 있는 시이트상 물체의 플라즈마 처리장치.
  12. 제11항에 있어서,
    각 봉전극의 냉매통로에 연통하는 냉매의 공급구 및 배출구가 지지부재에 치설되어있는 시이트상 물체의 플라즈마 처리장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 공급구 및 배출구는 진공용기를 관통하여 설치된 공급. 배출관에 절연재료로된 접속관을 통하여 접속되어 있는 시이트상물체의 플라즈마 처리장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR870004997A 1986-06-10 1987-05-20 시이트(sheet)상 물체의 플라즈마 처리장치 KR880000215A (ko)

Applications Claiming Priority (4)

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JP13406786A JPS62289233A (ja) 1986-06-10 1986-06-10 シ−ト状物のプラズマ処理装置
JP134067 1986-06-10
JP135579 1986-06-11
JP13557986A JPS62294437A (ja) 1986-06-11 1986-06-11 シ−ト状物のプラズマ処理装置

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KR880000215A true KR880000215A (ko) 1988-03-24

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KR870004997A KR880000215A (ko) 1986-06-10 1987-05-20 시이트(sheet)상 물체의 플라즈마 처리장치

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EP (1) EP0249198B1 (ko)
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