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KR20240126376A - 조도계 - Google Patents

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Publication number
KR20240126376A
KR20240126376A KR1020230046419A KR20230046419A KR20240126376A KR 20240126376 A KR20240126376 A KR 20240126376A KR 1020230046419 A KR1020230046419 A KR 1020230046419A KR 20230046419 A KR20230046419 A KR 20230046419A KR 20240126376 A KR20240126376 A KR 20240126376A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
light
incident
light receiving
housing
receiving element
Prior art date
Application number
KR1020230046419A
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English (en)
Inventor
정재현
Original Assignee
주식회사 타임링크
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 타임링크 filed Critical 주식회사 타임링크
Publication of KR20240126376A publication Critical patent/KR20240126376A/ko

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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/02Details
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    • GPHYSICS
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    • G01J1/42Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)

Abstract

상대적으로 좁은 수광면적에 대해서도 조도를 측정할 수 있도록 된 조도계가 개시되어 있다.
이 개시된 조도계는 입사광을 수광하여 광의 강도에 따른 전기신호를 출력하는 수광유닛과; 수광유닛의 출력값을 기초로 입사광의 조도 값을 산출하여 출력하는 본체유닛을 포함한다. 수광유닛은, 내부에 수용 공간을 가지며, 외부광이 입사되는 개구부가 형성된 하우징과; 하우징 내에 설치되며, 입사광을 수광하는 수광소자와; 하우징 내부의 수광소자 상에 형성되는 것으로, 입사광을 투과시키는 투광부재; 및 패터닝에 의하여 수광홀이 형성된 박막층을 포함할 수 있다.

Description

조도계{ILLUMINANCE METER}
본 발명은 광원에서 조사되는 광의 조도를 측정하는 조도계에 관한 것으로서, 상세하게는 상대적으로 좁은 수광면적에 대해서도 조도를 측정할 수 있도록 된 조도계에 관한 것이다.
일반적으로, 조명장치는 실내등, 가로등, 산업용 특수등 등과 같이 다양한 용도로 사용되며, 그 용도에 맞게 조사되는 광의 조도 분포도 다양하다. 여기서 조도는 단위 면적당 입사되는 광량으로 정의된다.
실내등은 공간의 크기에 따라 주로 천정에 설치되는 1개 또는 다수의 등으로 실내 공간 전체에 대해 고른 광을 조사할 수 있도록 설계 및 배치된다.
가로등은 차량 또는 보행자의 이동경로 상에 고르게 광을 조사하되, 그 외의 부분에 광이 조사되지 않도록 설계 및 배치된다.
또한 산업용 특수등 예를 들어 경화장치에 적용되는 경화등을 살펴보면, 경화 조건에 맞게 다양한 형태로 조사될 수 있도록 설계된다. 즉, 스폿(spot) 조사기, 선(line) 조사기, 면(area) 조사기 등 용도에 따라 경화등은 해당 조사 위치(스폿, 선, 면)에 대해 고르게 또는 일정형상이나 값의 차를 갖는, 특수한 광분포를 갖도록 설계된다.
조도계는 상기한 실내등, 가로등 및 산업용 특수등의 광 조도 분포를 측정하는 용도로 사용된다.
실내등이나 가로등의 경우 다양한 방향에서 광이 조사되므로, 이로부터 광을 측정하기 위한 조도계는 다양한 각도에 들어오는 광을 측정할 수 있도록 그의 수광부가 돔 형태(반구형)로 제작되거나, 수광부의 하우징에 형성되며, 입사광 중 일부를 수광부로 통과시키는 수광홀의 단면 형상이 역사다리꼴 형상이 되도록 형성할 수 있다. 즉, 수광홀은 하우징 외부 쪽은 내부 쪽에 비하여 직경이 크게 형성될 수 있다.
반면, 산업용으로 사용되는 선 조명이나 스폿 조명의 경우 좁은 면적의 수광면적을 측정해야 하기 때문에 상기한 바와 같이 조도계를 구성하는 경우 좁은 조사영역을 측정하기 어렵다. 즉 수광부의 수광영역이 넓어서 일부 광을 수광 하게 된다. 그러면 실제 광이 조사되지 않는 측정포인트에서도 광이 있는 것으로 측정이 된다. 이에 따라 산업용 조도계는 측정오차를 줄이기 위하여 수광홀을 작게 형성할 것이 요구된다.
또한 산업용 조도계의 경우 광원의 광분포를 정밀하게 측정할 필요가 있다. 수광부의 측정면적이 크게 되면, 측정위치 주변의 광이 측정 수광부에 입사되어 조도 값이 왜곡이 될 수 있다. 이 왜곡된 값을 줄이기 위해서는 수광홀을 작게 형성할 것이 요구된다.
한편 종래에는 수광체가 홀을 갖는 경우, 수광체는 금속 또는 플라스틱 부재로 제작이 되기 때문에, 홀이 형성되는 부분은 일정 두께의 구조체로 된다. 이 구조체의 두께로 형성된 측벽으로 인해 경사 광의 수광을 막아 수광 되는 값이 오차가 발생한다. 이로 인해 경사광을 수광하게 위해서는 홀의 크기를 측벽 즉 두께대비 일정 크기로 크게 형성해야 한다. 그러면 이에 따라 외란 광이 수광부에 입사되는 문제를 여전히 내포하게 된다.
일본공개특허공보 특개2013-113675 (공개일: 2013. 06. 10.)
본 발명은 상기한 문제점을 감안하여 창안된 것으로서, 상대적으로 좁은 수광면적에 대해서도 조도를 측정할 수 있도록 된 조도계를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 조도계는 입사광을 수광하여 광의 강도에 따른 전기신호를 출력하는 수광유닛과; 상기 수광유닛의 출력값을 기초로 입사광의 조도 값을 산출하여 출력하는 본체유닛을 포함한다.
상기 수광유닛은, 내부에 수용 공간을 가지며, 외부광이 입사되는 개구부가 형성된 하우징과; 상기 하우징 내에 설치되며, 입사광을 수광하는 수광소자와; 상기 하우징 내부의 상기 수광소자 상에 형성되는 것으로, 입사광을 통과시키는 투광부재; 및 패터닝에 의하여 수광홀이 형성된 박막층을 포함하여, 입사광 중 상기 수광홀을 통과한 광이 수광소자에 입사되도록 될 수 있다.
상기 수광홀은, 상기 박막층에 대하여 노광 및 식각 공정에 의하여 형성될 수 있고 또한 방전가공공정이나 레이저 가공공정 등으로 형성될 수 있다.
상기 투광부재는 광이 통과되도록 투명재료로 되거나, 투명 또는 불투명재료에 홀을 마련하여 광을 통과하게 할 수 있고, 박막층과 맞대어 있어 박막층의 변형이 안되도록 보호할 수 있다.
또한 본 발명에 따른 조도계는 입사광을 통과시키는 투광부재에 표면에 확산패턴을 가공을 하거나 확산재를 포함하게 하여 확산판으로 사용될 수 있다.
또한 본 발명에 따른 조도계는 상기 수광소자와 상기 투광부재 사이에 마련되며, 입사광 중 소정 파장의 광을 상기 수광소자 방향으로 투과시키는 파장필터와; 상기 수광소자와 상기 투명부재 사이에 마련되며, 상기 수광홀을 통하여 입사된 광을 확산시키는 확산판 중 적어도 어느 한 부재를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 하우징은, 베이스와; 상기 베이스 상에 형성되며, 내부에 수용공간이 형성된 하우징 본체와; 상기 하우징 본체 상에 상기 박막층을 덮도록 마련되는 것으로, 상기 개구부가 형성된 캡부재를 포함할 수 있다.
또한 본 발명에 따른 조도계의 수광유닛은 내부에 수용 공간을 가지며, 외부광이 입사되는 개구부가 형성된 하우징과; 상기 하우징 내에 설치되며, 입사광을 수광하는 수광소자와; 상기 하우징의 개구부 내벽에 코팅 형성되는 것으로, 입사광을 전반사시키는 반사코팅층을 포함할 수 있다.
또한 본 발명에 따른 조도계는 상기 수광소자 상에 마련되며, 입사광 중 소정 파장의 광을 상기 수광소자 방향으로 투과시키는 파장필터와; 상기 수광소자 상에 마련되며, 상기 개구부를 통하여 입사된 광을 확산시키는 확산판; 중 적어도 어느 한 부재를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 조도계는 수광홀을 형성함에 있어서 투광부재 상에 불투명 박막층을 형성한 후, 이 코팅층에 대해 노광 및 식각 공정을 통하여 수광홀을 형성할 수 있다. 또한 박막층에 방전가공이나 레이저 가공공정 등을 통하여 수광홀을 형상할 수 있다. 여기서 형성되는 수광홀은 일정 두께를 갖는 하우징에 홀을 형상하는 것에 비하여 작고 얇게 형성할 수 있다. 즉, 수광홀은 수백 ㎛ 이하 수준으로 형성할 수 있다. 이에 따라 외부 노이즈 광의 입사를 최소화할 수 있다. 또한 본 발명에 따른 조도계는 투광부재 상에 수 ㎛ 내지 수 백 ㎛ 수준으로 박막층을 형성할 수 있으므로, 유효한 경사광이 입사되는 경우에 수광홀의 측벽과 간섭되지 않도록 할 수 있다.
또한 본 발명에 따른 조도계는 하우징의 개구부의 내벽에 반사코팅층을 형성함으로써, 유효한 경사광이 상기 개구부에 입사되는 경우에 반사코팅층에서 전반사되면서 수광소자 방향으로 진행된다. 그러므로 본 발명에 따른 조도계는 광 손실없이 유효한 경사광을 수광할 수 있으므로, 정밀 위치 측정이 가능하다는 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 조도계를 보인 개략적인 도면.
도 2는 본 발명에 따른 조도계의 일 실시예에 따른 수광유닛을 보인 개략적인 단면도.
도 3은 도 2의 박막층을 보인 평면도.
도 4는 도 2의 박막층에 대한 수광홀 형성 공정의 일예를 설명하기 위한 공정도.
도 5는 도 2의 박막층에 대하여 수광홀을 형성하기 위한 방전가공 장비를 보인 개략도.
도 6은 도 2의 수광유닛 및 비교예에 따른 수광유닛에 의해 수광되는 광의 조사 분포 및 조도 분포를 비교하여 보인 도면.
도 7은 본 발명에 따른 조도계의 다른 실시예에 따른 수광유닛을 보인 개략적인 단면도.
도 8은 본 발명에 따른 조도계의 또 다른 실시예에 따른 수광유닛을 보인 개략적인 단면도.
이하 첨부된 도면들을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 조도계를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 조도계를 보인 개략적인 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 조도계는 리드선(L)에 의해 상호연결되는 본체유닛(10) 및 수광유닛(30)을 포함한다.
본체유닛(10)은 수광유닛(30)의 출력값을 기초로 입사광의 조도 값을 산출하는 연산부(11)와, 산출된 조도 값을 표시하는 조도표시부(15)를 포함한다. 수광유닛(30)은 측정 대상물로부터의 입사광을 수광하여 광의 강도에 따른 전기신호를 출력한다. 이 수광유닛(30)에 대해서는 도 1 내지 도 3을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명에 따른 조도계의 일 실시예에 따른 수광유닛을 보인 개략적인 단면도이고, 도 3은 도 2의 코팅층을 보인 평면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 수광유닛(30)은 하우징(31), 수광소자(35), 투광부재(45) 및 박막층(47)을 포함한다. 하우징(31)은 내부에 형성되어 수광소자(35) 등의 구성요소를 수용하는 수용공간을 가진다. 또한 하우징(31)은 외부광이 내부공간으로 입사되도록 형성된 개구부(31a)를 가진다. 수광소자(35)는 하우징(31) 내에 설치되며 입사광을 수광한다. 투광부재(45)는 수광소자(35) 상에 형성되는 것으로, 입사광을 통과시킨다. 이 투광부재(45)는 유리 소재 등의 투명한 소재로서, 박막층(47)을 형성하기 위한 기판 기능을 수행한다. 이 투광부재(45)는 박막층(47)의 수광홀(47a)을 통하여 입사된 광이 수광소자(35) 전역에 걸쳐 입사되도록 입사광을 통과시킨다. 또한 상기 투광부재(45)는 수광홀(47a)을 통하여 입사된 광을 확산시키는 표면 패턴 또는 확산재를 포함할 수 있다.
박막층(47)은 투광부재(45) 상에 예를 들어 수 백 마이크로미터(㎛) 이하 수준의 두께로 형성되는 것으로, 그 중앙에는 패터닝에 의하여 수광홀(47a)이 형성되어 있다. 이 박막층(47)은 금속 소재 예를 들면, SUS 판재 또는 알루미늄 판재 등의 불투명한 소재로 구성되는 것으로, 수광홀(47a)을 제외한 다른 영역으로 입사되는 광을 차단한다. 이와 같이 박막층(47)을 형성함으로써, 입사광 중 상기 수광홀(47a)을 통과한 광이 수광소자(35)에 입사되도록 할 수 있다.
상기 수광홀(47a)은 종래의 일정 두께를 갖는 하우징에 홀을 형상하는 것에 비하여 작게 형성되는 것으로, 도 4에 도시된 바와 같이, 박막층에 대해 노광 및 식각 공정 또는 방전가공, 레이저 가공 등을 통하여 형성될 수 있다. 또한 수광홀(47a)은 박막층(47)을 금속 판재로 구성하는 경우, 드릴링(drilling) 가공에 의하여 형성되는 것도 가능하다.
도 4는 도 2의 박막층에 대한 수광홀 형성 공정의 일 예를 설명하기 위한 공정도이다. 도 4를 참조하면, 우선 투광부재(45)를 준비하고(도 4(a)), 이 투광부재(45) 상에 스핀 코팅 등의 공정을 통하여 박막층(47)을 형성한다(도 4(b)).
이어서, 박막층(57)에 포토레지스트(P)를 도포하고, 수광홀(47a)에 대응되는 패턴을 가지는 마스크(M)를 형성한 후, 노광 공정을 수행함으로써 포토레지스트(P)를 감광시킨다(도 4(c)). 도 4(c)는 포지티브 포토레지스트를 이용한 노광 공정을 예로 들어 나타내었으나, 이에 한정되는 것은 아니며 네거티브 포토레지스트 공정을 통하여 패터닝하는 것도 가능하다.
이어서 마스크를 제거한 후 식각 공정을 수행하여, 박막층(47)에 수광홀(47a)을 형성한다(도 4(d)). 이후 세정 공정을 수행하여, 포토레지스트(P)를 제거함으로써, 수광홀(47a)이 형성된 박막층(47)을 투광부재(45) 상에 마련할 수 있다(도 4(e)).
상기한 바와 같이, 형성된 수광홀(47a)을 가지는 박막층(47)을 마련함으로써, 외부 노이즈 광의 입사를 최소화할 수 있다. 또한 본 발명에 따른 조도계는 투명부재 상에 수 ㎛ 수준으로 박막층을 형성할 수 있으므로, 유효한 경사광이 입사되는 경우에 수광홀의 측벽과 간섭되지 않도록 할 수 있다.
또한 본 발명에 따른 조도계는 도 2의 박막층에 대한 수광홀을 형성함에 있어서, 방전가공 및 레이저 가공 등에 의하여 형성하는 것도 가능하다.
도 5는 도 2의 코팅층에 대하여 수광홀을 형성하기 위한 방전가공 장비를 보인 개략도이다.
도 5를 참조하면, 방전가공 장비는 방전액(115)을 수용하는 탱크(111)와, 가동전극(131) 및 작업 대상물(135)과 가동전극(131)에 전원을 인가하는 전원부(150)를 포함한다. 여기서 도 2의 박막층이 작업 대상물(135)에 해당된다.
가동전극(131)과 작업대상물(153)은 방전액(115) 내에서 서로 소정 간격 이격된 상태를 유지하도록 배치된다. 이 상태에서 전원부(150)를 통하여 전기를 인가함으로써, 스파크 방전되면서 열이 발생된다. 전원부(150)는 입력되는 교류 전원을 직류 전원으로 변환하는 정류기(151), 전류를 제어하는 전류 제어부(153) 및 가동전극(131)을 구동하는 서보 제어부(155)를 포함할 수 있다. 따라서 방전가공 장비는 발생된 열로 박막층에 수광홀을 형성할 수 있다.
이 방전은 순간적으로 코로나 방전에서 시작되어 불꽃 방전, 아크 방전 형태로 진행되면서 연속적인 방전이 일어난다. 이 방전 진행 과정에 가열작용과 충격력에 따른 고에너지가 발생하여, 주변의 방전액은 플라즈마 상태가 되고, 작업대상물(135)의 소정 위치는 국부적으로 가공된다. 여기서, 방전가공을 위하여, 가동전극(131) 및 작업대상물(135) 각각은 전기전도체 소재로 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명은 코팅층에 수광홀을 원형으로 가공하기 위한 방편으로서, 가동전극(131)으로서 전기전도성 튜브 전극을 사용할 수 있다. 상기한 방법으로 수광홀을 형성함으로써, 종래의 기계적인 수광홀 가공에 의하여 형성되는 수광홀에 비하여 상대적으로 작은 수 십 마이크로미터 이하의 직경을 가지는 미세 수광홀을 가공할 수 있다.
상기한 바와 같이, 레이저가공 또는 방전가공 등을 통하여 수광홀을 형성함으로써, 수광홀이 0.5mm 이하의 직경 크기로 상기 박막층에 형성되도록 할 수 있다.
또한 본 발명에 따른 조도계의 일 실시예에 따른 수광유닛은 파장필터(41) 및/또는 확산판(43)을 더 포함할 수 있다. 파장필터(41)는 수광소자(35)와 투광부재(45) 사이에 마련되며, 입사광 중 소정 파장의 광을 투과시키고, 다른 파장의 광은 차단한다. 이 파장필터(41)는 투과되는 파장의 영역을 소정 범위로 제한함에 있어서, 투과되는 파장 대역을 달리하는 2매 이상의 파장필터로 구성될 수 있다. 예를 들어 파장필터(41)는 자외선 대역의 파장(약 350nm 내지 약 385nm)의 광은 투과시키고, 다른 대역의 파장은 반사시키도록 구성될 수 있다. 도 2는 파장필터(41)로서 제1파장필터(41a)와 제2파장필터(41b)를 구비한 것을 예로 들어 나타낸 것이다.
확산판(43)은 수광소자(35)와 투광부재(45) 사이에 마련되며, 수광홀(47a)을 통하여 입사되고, 투광부재(45)를 통과한 광을 확산시킨다. 이 확산판(43)은 수지 계열 또는 유리 계열의 소재로 구성될 수 있다.
도 2는 수광소자(35) 상에 제1파장필터(41a), 제2파장필터(41b) 및 확산판(43)이 적층된 것을 예로 들어 나타내었으나, 이에 한정되는 것은 아니며 그 적층 순서는 다양하게 변형 가능하다. 예를 들어 제1파장필터(41a)와 제2파장필터(41b) 사이에 확산판(43)이 설치되는 구성, 확산판(43) 상에 제1 및 제2파장필터(41a)(41b) 순서로 적층되는 것도 가능하다.
도 6은 도 2의 수광유닛 및 비교예에 따른 수광유닛에 의해 수광되는 광의 조사 분포 및 조도 분포를 비교하여 보인 도면이다.
도 6을 참조하면, 비교예에 따른 수광유닛은 수광홀의 직경이 1.0mm일 때의 분포를 나타낸 것으로, 각 지점 외의 조도가 같이 측정되어 주변값과 평균이 되어 측정되는 현상이 초래될 수 있다. 이에 따라 조도 분포를 살펴보면 퍼지는 현상이 발생한다.
반면, 본 발명의 실시예에 따른 조도계의 수광유닛은 수광홀의 직경이 100㎛ 일때의 분포를 나타낸 것으로, 빨강색 원으로 표시한 바와 같이 실제 조사 분포와 조도 분포가 유사함을 알 수 있다.
도 7은 본 발명에 따른 조도계의 다른 실시예에 따른 수광유닛을 보인 개략적인 단면도이다.
도 7을 참조하면, 수광유닛(30)은 하우징(31), 수광소자(35) 및 반사코팅층(49)을 포함한다. 하우징(31)은 내부에 형성되어 수광소자(35) 등의 구성요소를 수용하는 수용공간을 가진다. 또한 하우징(31)은 외부광이 내부공간으로 입사되도록 형성된 개구부(31a)를 가진다. 수광소자(35)는 하우징(31) 내에 설치되며 입사광을 수광한다.
반사코팅층(49)은 하우징(31)의 개구부(31a) 내벽에 코팅 형성되는 것으로, 입사광을 반사시킨다. 이 경우 개구부(31a)는 일 실시예에 따른 수광유닛(30)의 개구부와는 달리 기계적인 가공툴에 의하여 가공될 수 있는 정도 이상으로 크게 형성할 수 있다. 아울러 개구부(31a)의 측벽 높이는 수 밀리미터 이상으로 높게 형성될 수 있다. 여기서 반사코팅층(49)이 개구부(31a)의 내벽에 코팅 형성된 것을 예로 들어 나타내었으나 이에 한정되는 것은 아니며, 개구부(31a)의 내벽을 포함하여 하우징의 적어도 일부에 대해 코팅 형성되는 것도 가능하다.
또한 본 발명에 따른 조도계의 다른 실시예에 따른 수광유닛은 파장필터(41) 및/또는 확산판(43)을 더 포함할 수 있다. 이 파장필터(41) 및 확산판(43)의 구성은 일 실시예에 따른 수광유닛의 파장필터 및 확산판과 그 배치 및 그 구성이 실질 상 동일하므로 자세한 설명은 생략하기로 한다.
상기한 바와 같이, 하우징의 개구부의 내벽에 반사코팅층(49)을 형성함으로써, 유효한 경사광이 개구부(31a)에 입사되는 경우에 반사코팅층(49)에서 반사되면서 수광소자 방향으로 진행된다. 그러므로 본 발명에 따른 조도계는 광 손실없이 유효한 경사광을 수광할 수 있으므로, 정밀 위치 측정이 가능하다.
도 8은 본 발명에 따른 조도계의 또 다른 실시예에 따른 수광유닛을 보인 개략적인 단면도이다.
도 8을 참조하면, 수광유닛(30)은 하우징(31'), 수광소자(35) 및 박막층(47)을 포함한다. 또한 수광유닛은 파장필터(41) 및/또는 확산판(43)을 더 포함할 수 있다.
본 실시예는 하우징(31')의 구성에 있어서 앞서 설명한 실시예들에 따른 수광유닛과 구별되는 것으로, 하우징(31')을 제외한 다른 구성요소들에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.
하우징(31')은 베이스(32)와, 하우징 본체(33) 및 캡부재(34)를 포함한다. 하우징 본체(33)는 베이스(32) 상에 형성되며, 수광소자(35) 등의 구성요소를 수용하는 수용공간을 가진다. 여기서 수광소자(35)의 리드(35')와 전기적으로 연결되는 와이어(미도시)는 외부의 소정 구성요소(미도시)와 연결함에 있어서, 와이어는 하우징 본체(33)의 측벽을 관통하거나, 하우징 본체(33)와 베이스(32) 사이에 형성되는 공간을 통하여 연결될 수 있다.
상기 캡부재(34)는 하우징 본체(33) 상에 상기 박막층(47)을 덮도록 마련될 수 있다. 이때 개구부(31a)는 박막층(47)에 형성되는 수광홀(47a) 상부가 노출되도록, 캡부재(34)에 형성될 수 있다. 여기서, 캡부재(34)의 개구부(31a)에는 윈도우(37)가 마련될 수 있다. 이 윈도우(37)은 투명한 재질로 이루어지는 것으로, 하우징(31') 내부에 이물질이 유입되는 것을 방지하고, 하우징(31') 내부의 구성요소를 보호한다.
상기한 바와 같이 하우징을 설계함으로써 수광유닛(30)의 조립성을 더욱 개선할 수 있다.
상기한 실시예들은 예시적인 것에 불과한 것으로, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 사람이라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 청구범위에 기재된 발명의 기술적 사상에 의해 정해져야만 할 것이다.
10: 본체유닛 11: 연산부
15: 조도표시부 30: 수광유닛
31, 31': 하우징
31a: 개구부 32: 베이스
33: 하우징 본체 34: 캡부재
37: 윈도우
35: 수광소자 41: 파장필터
41a: 제1파장필터 41b: 제2파장필터
43: 확산판 45: 투광부재
47: 박막층 47a: 수광홀
49: 반사코팅층
111: 탱크 115: 방전액
131: 가동전극 135: 작업 대상물
150: 전원부

Claims (9)

  1. 조도계에 있어서,
    입사광을 수광하여 광의 강도에 따른 전기신호를 출력하는 수광유닛과;
    상기 수광유닛의 출력값을 기초로 입사광의 조도 값을 산출하여 출력하는 본체유닛을 포함하며,
    상기 수광유닛은,
    내부에 수용 공간을 가지며, 외부광이 입사되는 개구부가 형성된 하우징과;
    상기 하우징 내에 설치되며, 입사광을 수광하는 수광소자와;
    상기 하우징 내부의 상기 수광소자 상에 형성되는 것으로, 입사광을 통과시키는 투광부재; 및
    수광홀이 형성된 박막층을 포함하여,
    입사광 중 상기 수광홀을 통과한 광이 수광소자에 입사되도록 된 것을 특징으로 하는 조도계.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 수광홀은,
    상기 박막층에 대하여 노광 및 식각 공정에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 조도계.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 수광홀은,
    상기 박막층에 대하여 레이저가공, 방전가공 및 드릴링 가공 중 적어도 어느 하나의 가공에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 조도계.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 수광홀은,
    직경의 크기가 0.5mm 이하의 크기로 상기 박막층에 형성되는 것을 특징으로 하는 조도계,
  5. 제1항에 있어서,
    상기 투광부재는,
    상기 수광홀을 통하여 입사된 광을 확산시키는 표면 패턴 또는 확산재를 포함하는 것을 특징으로 하는 조도계.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 수광소자와 상기 투명부재 사이에 마련되며, 입사광 중 소정 파장의 광을 상기 수광소자 방향으로 투과시키는 파장필터와;
    상기 수광소자와 상기 투명부재 사이에 마련되며, 상기 수광홀을 통하여 입사된 광을 확산시키는 확산판; 중 적어도 어느 한 부재를 더 포함하는 조도계.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 하우징은,
    베이스와;
    상기 베이스 상에 형성되며, 내부에 수용공간이 형성된 하우징 본체와;
    상기 하우징 본체 상에 상기 박막층을 덮도록 마련되는 것으로, 상기 개구부가 형성된 캡부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 조도계.
  8. 조도계에 있어서,
    입사광을 수광하여 광의 강도에 따른 전기신호를 출력하는 수광유닛과;
    상기 수광유닛의 출력값을 기초로 입사광의 조도 값을 산출하여 출력하는 본체유닛을 포함하며,
    상기 수광유닛은,
    내부에 수용 공간을 가지며, 외부광이 입사되는 개구부가 형성된 하우징과;
    상기 하우징 내에 설치되며, 입사광을 수광하는 수광소자와;
    상기 하우징의 개구부 내벽에 코팅 형성되는 것으로, 입사광을 반사시키는 반사코팅층을 포함하는 것을 특징으로 하는 조도계.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 수광소자 상에 마련되며, 입사광 중 소정 파장의 광을 상기 수광소자 방향으로 투과시키는 파장필터와;
    상기 수광소자 상에 마련되며, 상기 개구부를 통하여 입사된 광을 확산시키는 확산판; 중 적어도 어느 한 부재를 더 포함하는 조도계.
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