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KR20240061139A - Laser Soldering Device and Laser Soldering Method Using the Same - Google Patents

Laser Soldering Device and Laser Soldering Method Using the Same Download PDF

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KR20240061139A
KR20240061139A KR1020220142460A KR20220142460A KR20240061139A KR 20240061139 A KR20240061139 A KR 20240061139A KR 1020220142460 A KR1020220142460 A KR 1020220142460A KR 20220142460 A KR20220142460 A KR 20220142460A KR 20240061139 A KR20240061139 A KR 20240061139A
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KR
South Korea
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chip
panel
unit
laser
gripper
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Application number
KR1020220142460A
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Korean (ko)
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남기중
이동건
정의국
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(주)다원넥스뷰
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Publication date
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Abstract

본 발명은 레이저는 정해진 위치에 고정되고 본딩을 위한 패널과 칩을 정해진 본딩위치로 이송하여 본딩하는 레이저 솔더링 장치 및 이를 이용한 레이저 솔더링 방법에 관한 것이다. 본 발명의 레이저 솔더링 장치는 패널로딩유닛, 패널고정유닛, 패널언로딩유닛, 칩로딩유닛, 칩픽업유닛, 칩이송유닛, 레이저유닛, 패널이동유닛 및 칩이동유닛을 포함한다.The present invention relates to a laser soldering device in which a laser is fixed at a predetermined position and a panel and chip for bonding are transferred to a predetermined bonding position for bonding, and a laser soldering method using the same. The laser soldering device of the present invention includes a panel loading unit, a panel fixing unit, a panel unloading unit, a chip loading unit, a chip pickup unit, a chip transfer unit, a laser unit, a panel transfer unit, and a chip transfer unit.

Description

레이저 솔더링 장치 및 이를 이용한 레이저 솔더링 방법{Laser Soldering Device and Laser Soldering Method Using the Same}Laser soldering device and laser soldering method using the same {Laser Soldering Device and Laser Soldering Method Using the Same}

본 발명은 레이저 솔더링 장치 및 이를 이용한 레이저 솔더링 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 레이저는 정해진 위치에 고정되고 본딩을 위한 패널과 칩을 정해진 본딩 위치로 이송하여 본딩하는 레이저 솔더링 장치 및 이를 이용한 레이저 솔더링 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a laser soldering device and a laser soldering method using the same. More specifically, a laser soldering device in which a laser is fixed at a predetermined position and a panel and chip for bonding are transferred to a predetermined bonding position for bonding, and laser soldering using the same. It's about method.

일반적으로 전자회로기판은 반도체 칩 또는 능동, 수동소자 부품이 회로기판에 부착되어 이루어지는 것으로서, 점차적으로 다기능, 소형화 및 고집적화가 요구되고 있다. 이러한 요구에 대응하기 위하여, 기존의 리플로우(열풍 솔더링) 방식이 해결하지 못하는 열용량이 다른 이형 부품 또는 초소형 부품을 솔더링하기 위하여 레이저를 이용한 솔더링 방식이 많이 시도되고 있다.In general, electronic circuit boards are made up of semiconductor chips or active and passive components attached to a circuit board, and are increasingly required to be multifunctional, miniaturized, and highly integrated. In order to respond to this demand, many soldering methods using lasers are being attempted to solder unusual parts or ultra-small parts with different heat capacities that cannot be solved by the existing reflow (hot air soldering) method.

이와 같은 레이저 솔더링 방식은 본딩을 위한 디바이스만 선택적으로 가열하여 전체적인 기판의 휨으로 인한 불량의 우려가 없고, 가열시간이 수초 내외로 고속으로 본딩할 수 있다는 장점이 있다. 그에 따라, 기판의 휨 문제와 생산성 문제를 동시에 해결할 수 있는 방식으로 선호되고 있다.This laser soldering method has the advantage of selectively heating only the devices for bonding, eliminating the risk of defects due to warping of the entire board, and enabling high-speed bonding with a heating time of about a few seconds. Accordingly, it is preferred as a method that can solve both the substrate warpage problem and the productivity problem at the same time.

그러나, 정확한 위치에 작업물을 이송시키고 레이저광을 정확한 각도로 조사함에 있어서 번거롭고 복잡한 구조물이 필요한 문제점이 있었다.However, there was a problem that a cumbersome and complicated structure was needed to transport the workpiece to the correct location and irradiate the laser light at the correct angle.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 비교적 단순한 구조 및 이송과정으로 구비된 레이저 솔더링 장치 및 이를 이용한 레이저 솔더링 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.The present invention is intended to solve the above-mentioned problems, and its purpose is to provide a laser soldering device equipped with a relatively simple structure and transfer process and a laser soldering method using the same.

또한, 본 발명은 고정된 레이저 중심으로 패널과 칩을 이송시켜 정렬함에 따라 정확한 본딩이 가능한 레이저 솔더링 장치 및 이를 이용한 레이저 솔더링 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.Additionally, the purpose of the present invention is to provide a laser soldering device capable of accurate bonding by transporting and aligning the panel and chip around a fixed laser center, and a laser soldering method using the same.

본 발명에 의한 레이저 솔더링 장치는, 외부로부터 공급된 패널을 이송하는 패널로딩유닛, 상기 패널로딩유닛에서 이송된 패널을 진공 흡착하여 고정하는 패널고정유닛, 상기 패널고정유닛에서 이송된 패널을 외부로 이송하는 패널언로딩유닛, 적어도 하나의 칩이 수용된 트레이를 이동 및 고정하는 칩로딩유닛, 상기 트레이에 수용된 어느 하나의 칩을 파지하는 픽업그리퍼 및 상기 픽업그리퍼를 회전시키는 그리퍼회전부를 포함하는 칩픽업유닛, 상기 픽업그리퍼에 부착된 칩을 전달받아 파지하는 본딩그리퍼를 포함하고, 상기 본딩그리퍼에 파지된 칩을 디핑폿으로 이송하는 칩이송유닛, 상기 패널고정유닛의 상부에 고정되어 위치하고, 레이저를 조사하여 상기 패널과 상기 칩을 본딩하는 레이저유닛, 상기 레이저의 중심과 상기 패널에 표시된 기준점이 일치하도록, 상기 패널의 위치를 보정하는 패널이동유닛 및 상기 기준점으로 상기 칩을 이동하여 상기 패널에 압착하는 칩이동유닛을 포함한다.The laser soldering device according to the present invention includes a panel loading unit for transferring panels supplied from the outside, a panel fixing unit for fixing the panels transferred from the panel loading unit by vacuum adsorption, and a panel fixing unit for fixing the panels transferred from the panel fixing unit to the outside. A chip pickup including a panel unloading unit for transferring, a chip loading unit for moving and fixing a tray containing at least one chip, a pickup gripper for gripping any one chip stored in the tray, and a gripper rotating unit for rotating the pickup gripper. A unit, including a bonding gripper that receives and grips the chip attached to the pickup gripper, a chip transfer unit that transfers the chip gripped by the bonding gripper to a dipping pot, is fixed to the upper part of the panel fixing unit, and uses a laser. A laser unit that irradiates and bonds the panel and the chip, a panel moving unit that corrects the position of the panel so that the center of the laser matches the reference point marked on the panel, and moves the chip to the reference point and presses it to the panel. It includes a chip transfer unit.

또한, 상기 칩이동유닛은, 상기 레이저에서 조사되는 광이 통과가능한 중공을 구비한 본체부 및 상기 칩의 틀어짐을 보정하며 이동하는 로테이션축부를 포함할 수 있다.Additionally, the chip moving unit may include a main body portion having a hollow space through which light emitted from the laser can pass, and a rotation axis portion that moves while correcting distortion of the chip.

또한, 상기 패널로딩유닛, 상기 패널고정유닛 및 상기 패널언로딩유닛은 X축방향으로 차례로 배치되고, 상기 레이저유닛은 상기 패널고정유닛과 Z축방향으로 이격되어 배치되고, 상기 칩로딩유닛, 상기 칩픽업유닛 및 상기 칩이송유닛은 상기 레이저유닛의 Y축 방향 일측에 배치될 수 있다.Additionally, the panel loading unit, the panel fixing unit, and the panel unloading unit are arranged sequentially in the X-axis direction, the laser unit is arranged to be spaced apart from the panel fixing unit in the Z-axis direction, the chip loading unit, the The chip pickup unit and the chip transfer unit may be disposed on one side of the laser unit in the Y-axis direction.

또한, 상기 칩로딩유닛은, 상기 트레이를 정해진 위치에 고정시키는 트레이고정부 및 상기 칩에 구비된 솔더볼을 검사하여 상기 트레이 내에서 상기 칩의 위치를 파악하는 트레이비전부를 포함할 수 있다.Additionally, the chip loading unit may include a tray fixing unit that fixes the tray in a predetermined position and a tray vision unit that checks the solder ball provided on the chip to determine the location of the chip in the tray.

또한, 상기 픽업그리퍼는 상기 칩의 일면을 진공 흡착하여 파지하고, 상기 그리퍼회전부는 상기 칩의 타면이 상측으로 향하도록 상기 픽업그리퍼를 180도 회전시킬 수 있다.Additionally, the pickup gripper grips one side of the chip by vacuum suction, and the gripper rotation unit can rotate the pickup gripper 180 degrees so that the other side of the chip faces upward.

또한, 상기 본딩그리퍼는 상기 칩의 타면을 진공 흡착하여 파지하고, 상기 칩이송유닛은 상기 칩의 일면에 상기 디핑폿에 수용된 플럭스(flux)를 도포하고 상기 패널고정유닛으로 이동할 수 있다.Additionally, the bonding gripper grips the other side of the chip by vacuum suction, and the chip transfer unit applies flux contained in the dipping pot to one side of the chip and moves it to the panel fixing unit.

한편, 본 발명에 의한 레이저 솔더링 방법은 인입된 패널을 진공 흡착하여 고정하고, 적어도 하나의 칩이 수용된 트레이를 이동 및 고정하고, 상기 트레이에 수용된 어느 하나의 칩을 픽업그리퍼를 통해 파지하고, 상기 픽업그리퍼를 회전시켜 본딩그리퍼로 칩을 전달하여 파지하고, 상기 본딩그리퍼에 파지된 칩에 플럭스를 도포하고 상기 패널을 향해 이동하고, 레이저의 중심과 상기 패널에 표시된 기준점이 일치하도록 상기 패널의 위치를 보정하고, 상기 기준점으로 상기 칩을 이동하여 상기 패널에 압착하고, 상기 레이저를 조사하여 상기 패널과 상기 칩을 본딩하는 과정을 포함한다.Meanwhile, the laser soldering method according to the present invention includes fixing the inserted panel by vacuum suction, moving and fixing a tray containing at least one chip, and gripping any one chip contained in the tray through a pick-up gripper, Rotate the pick-up gripper to transfer the chip to the bonding gripper and grip it, apply flux to the chip gripped by the bonding gripper, move it toward the panel, and position the panel so that the center of the laser coincides with the reference point marked on the panel. It includes the steps of correcting, moving the chip to the reference point, pressing it to the panel, and irradiating the laser to bond the panel and the chip.

또한, 상기 패널은 X축 방향으로 이송되고, 상기 칩은 Y축 방향으로 이송되며, 상기 레이저, 상기 칩 및 상기 패널은 Z축방향으로 차례로 배치되고, 상기 레이저의 조사에 의해 상기 칩과 상기 패널이 본딩될 수 있다.In addition, the panel is transferred in the X-axis direction, the chip is transferred in the Y-axis direction, the laser, the chip, and the panel are sequentially arranged in the Z-axis direction, and the chip and the panel are This can be bonded.

또한, 상기 기준점이 위치한 상기 패널의 상부와 상기 칩의 하부를 상기 레이저의 중심과 일치시키고, 상기 칩을 상기 패널을 향해 압착시키며, 열화상 카메라로 실시간 온도 보상을 수행할 수 있다.In addition, the upper part of the panel where the reference point is located and the lower part of the chip can be aligned with the center of the laser, the chip can be pressed toward the panel, and real-time temperature compensation can be performed using a thermal imaging camera.

또한, 상기 트레이에 수용된 칩의 위치를 판별하고 상기 트레이를 상기 픽업그리퍼의 위치로 이동하고, 상부에 위치한 상기 본딩그리퍼에 상기 칩을 전달하기 위해, 상기 픽업그리퍼는 상기 칩을 파지하고 180도 회전될 수 있다.In addition, in order to determine the position of the chip contained in the tray, move the tray to the position of the pickup gripper, and deliver the chip to the bonding gripper located at the top, the pickup gripper grips the chip and rotates 180 degrees. It can be.

본 발명의 레이저 솔더링 장치 및 이를 이용한 레이저 솔더링 방법에 의하면, 패널과 칩의 이송 경로 및 이송 과정을 단순화하여 작업 효율을 높일 수 있다는 장점이 있다.The laser soldering device and the laser soldering method using the same of the present invention have the advantage of increasing work efficiency by simplifying the transfer path and transfer process of panels and chips.

또한, 본 발명의 레이저 솔더링 장치 및 이를 이용한 레이저 솔더링 방법은 레이저를 소정의 위치에 고정하고 패널과 칩을 정렬함에 따라 본딩 정확성을 높이고 불량률을 최소화할 수 있다는 장점이 있다.In addition, the laser soldering device and the laser soldering method using the same of the present invention have the advantage of increasing bonding accuracy and minimizing the defect rate by fixing the laser at a predetermined position and aligning the panel and chip.

도 1 내지 도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 레이저 솔더링 장치를 도시한 도면.
도 5 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 레이저 솔더링 방법을 개략적으로 도시한 도면.
1 to 4 are diagrams showing a laser soldering device according to an embodiment of the present invention.
5 to 8 are diagrams schematically showing a laser soldering method according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다. 다만, 본 발명의 사상은 제시되는 실시예에 제한되지 아니하고, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서 다른 구성요소를 부가, 변경, 삭제 등을 통하여, 퇴보적인 다른 발명이나 본 발명의 사상의 범위 내에 포함되는 다른 실시예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본원 발명 사상의 범위 내에 포함된다고 할 것이다.Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. However, the spirit of the present invention is not limited to the presented embodiments, and those skilled in the art who understand the spirit of the present invention may add, change, or delete other components within the scope of the same spirit, or create other degenerative inventions or this invention. Other embodiments that are included within the scope of the invention may be easily proposed, but this will also be included within the scope of the invention of the present invention.

도 1 내지 도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 레이저 솔더링 장치(1)를 도시한 도면이다. 자세하게는, 도 1 및 도 2는 상기 레이저 솔더링 장치(1)를 서로 다른 방향에서 도시한 사시도이고, 도 3은 상기 레이저 솔더링 장치(1)를 상부에서 도시한 상면도이며, 도 4는 상기 레이저 솔더링 장치(1)의 일부를 확대하여 도시한 확대사시도이다.1 to 4 are diagrams showing a laser soldering device 1 according to an embodiment of the present invention. In detail, Figures 1 and 2 are perspective views showing the laser soldering device 1 from different directions, Figure 3 is a top view showing the laser soldering device 1 from above, and Figure 4 is a view showing the laser soldering device 1 from above. This is an enlarged perspective view showing a part of the soldering device 1.

본 발명의 레이저 솔더링 장치(1)는 레이저(100)를 선택된 영역에만 균일하게 조사하여 흡수 전환된 열에너지로 본딩하는 장치에 해당한다. 특히, 상기 레이저(100)는 정해진 위치에 고정되고, 본딩을 위한 패널(P)과 칩(C)을 정해진 본딩위치로 이송하여 본딩하는 장치에 해당한다.The laser soldering device 1 of the present invention corresponds to a device that uniformly irradiates the laser 100 only to selected areas and performs bonding using absorbed and converted heat energy. In particular, the laser 100 is fixed at a predetermined position and corresponds to a device that transfers the panel (P) and chip (C) for bonding to a predetermined bonding position and bonds them.

따라서, 본 발명의 레이저 솔더링 장치(1)는 크게 레이저 유닛(10), 상기 패널(P)을 본딩위치로 이송하는 유닛(20, 22, 24, 26) 및 상기 칩(C)을 본딩위치로 이송하는 유닛(30, 32, 34, 36)으로 구분될 수 있다. 이때, 상기 패널(P)은 X축 방향으로 이송되며 상기 칩(C)은 Y축 방향으로 이송되고, 본딩위치에서 상기 레이저(100), 상기 칩(C) 및 상기 패널(P)이 Z축 방향으로 정렬된다.Therefore, the laser soldering device 1 of the present invention largely includes a laser unit 10, units 20, 22, 24, 26 for transporting the panel P to the bonding position, and the chip C to the bonding position. It can be divided into transfer units 30, 32, 34, and 36. At this time, the panel (P) is transferred in the sorted in direction.

상기 레이저 솔더링 장치(1)는 패널로딩유닛(20), 패널고정유닛(22) 및 패널언로딩유닛(24)을 포함한다.The laser soldering device 1 includes a panel loading unit 20, a panel fixing unit 22, and a panel unloading unit 24.

상기 패널로딩유닛(20)은 외부로부터 공급된 패널(P)을 이송한다. 특히, 상기 패널(P)은 매거진에서 낱장으로 분리되어 상기 패널로딩유닛(20)으로 인입될 수 있다.The panel loading unit 20 transports the panel P supplied from outside. In particular, the panel (P) can be separated from the magazine into single sheets and introduced into the panel loading unit (20).

상기 패널고정유닛(22)은 상기 패널로딩유닛(20)에서 이송된 패널(P)을 진공 흡착하여 고정한다. 예를 들어, 상기 패널고정유닛(22)은 다공(porous)이 형성된 척으로 구비되어, 상기 패널(P)의 굽힘이나 뒤틀림(warpage)을 최소화하여 고정할 수 있다. 그리고, 상기 패널고정유닛(22)에 상기 패널(P)이 위치된 상태로 상기 레이저유닛(10)에 의한 본딩이 수행될 수 있다.The panel fixing unit 22 fixes the panel P transferred from the panel loading unit 20 by vacuum suction. For example, the panel fixing unit 22 is provided with a porous chuck, so that the panel P can be fixed with minimal bending or warpage. And, bonding by the laser unit 10 can be performed with the panel P positioned on the panel fixing unit 22.

상기 패널언로딩유닛(24)은 상기 패널고정유닛(22)에서 이송된 패널(P)을 외부로 이송한다. 이때, 상기 패널언로딩유닛(24)으로 이송된 패널(P)은 상기 레이저유닛(10)에 의해 소정의 칩(C)이 부착된 상태에 해당된다. 즉, 상기 패널언로딩유닛(24)으로 본딩이 완료된 패널(P)이 배출될 수 있다.The panel unloading unit 24 transfers the panel P transferred from the panel fixing unit 22 to the outside. At this time, the panel P transferred to the panel unloading unit 24 has a predetermined chip C attached by the laser unit 10. That is, the panel P on which bonding has been completed can be discharged from the panel unloading unit 24.

이때, 상기 패널로딩유닛(20), 상기 패널고정유닛(22) 및 상기 패널언로딩유닛(24)은 X축방향으로 차례로 배치된다. 그리고, 상기 패널(P)은 각 유닛을 따라 X축방향으로 수평한 상태로 이송될 수 있다.At this time, the panel loading unit 20, the panel fixing unit 22, and the panel unloading unit 24 are sequentially arranged in the X-axis direction. Additionally, the panel P can be transported in a horizontal state in the X-axis direction along each unit.

상기 레이저 솔더링 장치(1)는 칩로딩유닛(30), 칩픽업유닛(32) 및 칩이송유닛(34)을 포함한다.The laser soldering device 1 includes a chip loading unit 30, a chip pickup unit 32, and a chip transfer unit 34.

상기 칩로딩유닛(30)은 적어도 하나의 칩(C)이 수용된 트레이(40)를 이동 및 고정한다. 상기 칩로딩유닛(30)은, 상기 트레이(40)를 정해진 위치에 고정시키는 트레이고정부(300) 및 상기 트레이(40) 내에서 상기 칩(C)의 위치를 파악하는 트레이비전부(302)를 포함할 수 있다.The chip loading unit 30 moves and fixes the tray 40 containing at least one chip C. The chip loading unit 30 includes a tray fixing part 300 that fixes the tray 40 in a predetermined position and a tray vision part 302 that determines the position of the chip C within the tray 40. may include.

예를 들어, 작업자는 본딩이 필요한 다양한 사이즈 및 다양한 개수의 칩(chip)을 상기 트레이(40)에 안착시킬 수 있다. 그리고, 작업자는 적어도 하나의 칩이 수용된 상기 트레이(40)를 상기 칩로딩유닛(30)에 올려놓는다. 상기 트레이고정부(300)는 상기 트레이(40)를 X-Y평면 상에서 이동하여 정해진 위치로 정렬할 수 있다.For example, an operator may place chips of various sizes and numbers requiring bonding on the tray 40. Then, the operator places the tray 40 containing at least one chip on the chip loading unit 30. The tray fixing unit 300 can move the tray 40 on the X-Y plane and align it to a predetermined position.

상기 트레이비전부(302)는 상기 칩(C)에 구비된 솔더볼을 검사하여 위치를 파악할 수 있다. 이때, 상기 칩(C)은 솔더볼이 상부를 향하도록 상기 트레이(40)에 배치될 수 있으며, 상기 트레이비전부(302)는 상기 트레이(40)의 상부를 이동하며 검사할 수 있다.The tray vision unit 302 can determine the location by inspecting the solder ball provided on the chip (C). At this time, the chip C can be placed on the tray 40 with the solder ball facing upward, and the tray vision unit 302 can be inspected by moving the upper part of the tray 40.

상기 칩픽업유닛(32)는 상기 트레이(40)에 수용된 어느 하나의 칩(C)을 파지하는 픽업그리퍼(320) 및 상기 픽업그리퍼(320)를 회전시키는 그리퍼회전부(322)를 포함한다. 예를 들어, 상기 칩픽업유닛(32)는 X-Y평면 상에서 이동가능하며 상기 트레이비전부(302)에서 검사한 칩(C)의 위치로 이동할 수 있다.The chip pickup unit 32 includes a pickup gripper 320 that grips one chip C accommodated in the tray 40 and a gripper rotation unit 322 that rotates the pickup gripper 320. For example, the chip pickup unit 32 is movable on the X-Y plane and can move to the position of the chip C inspected in the tray vision unit 302.

상기 픽업그리퍼(320)는 상기 칩(C)의 일면을 진공 흡착하여 파지할 수 있다. 즉, 상기 픽업그리퍼(320)는 비접촉방식으로 상기 칩(C)을 파지할 수 있다. 이때, 상기 픽업그리퍼(320)가 파지하는 상기 칩(C)의 일면에는 솔더볼이 형성될 수 있다.The pickup gripper 320 can grip one surface of the chip C by vacuum suction. That is, the pickup gripper 320 can grip the chip C in a non-contact manner. At this time, a solder ball may be formed on one surface of the chip C held by the pickup gripper 320.

상기 그리퍼회전부(322)는 상기 칩(C)의 타면이 상측으로 향하도록 상기 픽업그리퍼(320)를 180도 회전시킨다. 즉, 상기 픽업그리퍼(320)는 상기 트레이(40)에 수용된 칩(C)의 상부로 이동하여 파지하고, 상기 칩(C)이 상측에 위치하도록 180도로 회전될 수 있다. The gripper rotating unit 322 rotates the pickup gripper 320 by 180 degrees so that the other side of the chip C faces upward. That is, the pickup gripper 320 may move to the upper part of the chip C accommodated in the tray 40 and grip it, and may be rotated 180 degrees so that the chip C is positioned at the upper side.

상기 칩이송유닛(34)은 상기 픽업그리퍼(320)에 부착된 칩(C)을 전달받아 파지하는 본딩그리퍼(340)를 포함한다. 상기 본딩그리퍼(340)는 상기 칩(C)의 타면을 진공 흡착하여 파지할 수 있다.The chip transfer unit 34 includes a bonding gripper 340 that receives and grips the chip C attached to the pickup gripper 320. The bonding gripper 340 can grip the other surface of the chip C by vacuum suction.

예를 들어, 상기 본딩그리퍼(340)도 상기 픽업그리퍼(320)와 같이 진공으로 상기 칩(C)을 흡착하여 비접촉방식으로 파지할 수 있다. 따라서, 상기 본딩그리퍼(340)가 상기 칩(C)을 진공 흡착하며 상기 픽업그리퍼(320)의 진공을 해제하여 상기 칩(C)이 상기 픽업그리퍼(320)에서 상기 본딩그리퍼(340)로 전달될 수 있다.For example, like the pickup gripper 320, the bonding gripper 340 can adsorb the chip C using a vacuum and grip it in a non-contact manner. Therefore, the bonding gripper 340 vacuum-sucks the chip C and releases the vacuum of the pickup gripper 320, so that the chip C is transferred from the pickup gripper 320 to the bonding gripper 340. It can be.

또한, 상기 칩이송유닛(34)은 상기 본딩그리퍼(340)에 파지된 칩을 디핑폿(50)으로 이송한다. 자세하게는, 상기 칩이송유닛(34)은 상기 칩(C)의 일면에 상기 디핑폿(50)에 수용된 플럭스(flux)를 도포하고 상기 패널고정유닛(22)으로 이동한다.Additionally, the chip transfer unit 34 transfers the chip held by the bonding gripper 340 to the dipping pot 50. In detail, the chip transfer unit 34 applies flux contained in the dipping pot 50 to one surface of the chip C and moves to the panel fixing unit 22.

이때, 상기 칩이송유닛(34)은 상기 픽업그리퍼(320)에 파지된 칩(C)을 검사 및 인식하고, 상기 본딩그리퍼(340)로 전달된 칩(C)의 위치 및 각도를 보정하는 구성을 더 포함할 수 있다. 특히, 상기 칩이송유닛(34)은 상기 칩(C)의 위치를 R축으로 보정하고, 위치 보정된 칩(C)을 상기 디핑폿(50)으로 이송할 수 있다.At this time, the chip transfer unit 34 inspects and recognizes the chip C held by the pickup gripper 320 and corrects the position and angle of the chip C delivered to the bonding gripper 340. It may further include. In particular, the chip transfer unit 34 can correct the position of the chip C along the R axis and transfer the position-corrected chip C to the dipping pot 50.

이때, 상기 칩로딩유닛(30), 상기 칩픽업유닛(32) 및 상기 칩픽업유닛(34)은 상기 레이저유닛(10)의 Y축방향 일 측에 배치된다. 또한, 상기 칩로딩유닛(30), 상기 칩픽업유닛(32) 및 상기 칩픽업유닛(34)은 상기 패널로딩유닛(20), 상기 패널고정유닛(22) 및 상기 패널언로딩유닛(24)의 Y축 방향 일 측에 배치된다. 그리고, 상기 칩(C)은 각 유닛을 따라 Y축방향으로 이송될 수 있다.At this time, the chip loading unit 30, the chip pickup unit 32, and the chip pickup unit 34 are disposed on one side of the laser unit 10 in the Y-axis direction. In addition, the chip loading unit 30, the chip pickup unit 32, and the chip pickup unit 34 include the panel loading unit 20, the panel fixing unit 22, and the panel unloading unit 24. It is placed on one side of the Y-axis direction. And, the chip C can be transported in the Y-axis direction along each unit.

상기 레이저유닛(10)은 상기 패널고정유닛(22)의 상부에 고정되어 위치한다. 즉, 상기 레이저유닛(10)은 상기 패널고정유닛(22)과 Z축방향으로 이격되어 배치된다. 자세하게는, 상기 레이저(100)는 Z축방향으로 레이저광을 조사할 수 있도록 배치될 수 있다.The laser unit 10 is fixed to the upper part of the panel fixing unit 22. That is, the laser unit 10 is arranged to be spaced apart from the panel fixing unit 22 in the Z-axis direction. In detail, the laser 100 may be arranged to irradiate laser light in the Z-axis direction.

또한, 상기 레이저유닛(10)은 상기 레이저(100)의 상태를 모니터링하는 빔검사부를 더 포함할 수 있다. 상기 빔검사부는 본딩공정이 수행되는 경우에는 측면으로 이동되어 위치하고, 빔상태를 확인하는 경우에는 상기 레이저(100)의 중심으로 이동하여 검사를 수행할 수 있다.In addition, the laser unit 10 may further include a beam inspection unit that monitors the state of the laser 100. When a bonding process is performed, the beam inspection unit can be moved to the side and positioned, and when checking the beam state, it can be moved to the center of the laser 100 to perform the inspection.

상기 레이저 솔더링 장치(1)는 패널이동유닛(26) 및 칩이동유닛(36)을 포함한다. 상기 패널이동유닛(26) 및 상기 칩이동유닛(36)은 본딩을 위해 마지막으로 상기 패널(P) 및 상기 칩(C)을 이동하는 구성으로 이해될 수 있다.The laser soldering device 1 includes a panel movement unit 26 and a chip movement unit 36. The panel moving unit 26 and the chip moving unit 36 can be understood as a component that moves the panel P and the chip C for bonding.

상기 패널이동유닛(26)은 상기 레이저(100)의 중심과 상기 패널(P)에 표시된 기준점이 일치하도록 상기 패널(P)의 위치를 보정한다. 더하여, 상기 패널이동유닛(26)은 상기 패널(P)의 상부와 상기 칩(C)의 하부를 상기 레이저(100)의 중심과 일치하기 위해 이동할 수 있다. 이때, 상기 기준점(Fiduxial Mark)는 상기 패널(P)의 상부에 미리 표시된 것으로, 본딩을 위한 칩(C)의 위치를 나타낸다.The panel movement unit 26 corrects the position of the panel P so that the center of the laser 100 matches the reference point displayed on the panel P. In addition, the panel movement unit 26 can move the upper part of the panel P and the lower part of the chip C to coincide with the center of the laser 100. At this time, the fiduxial mark is previously marked on the top of the panel P and indicates the position of the chip C for bonding.

상기 패널이동유닛(26)은 상기 기준점을 인식하고 위치보정값을 취득하는 비전부를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 패널이동유닛(26)은 상기 기준점을 인식하고 본딩 중심을 검출할 수 있다. 더하여, 본딩하려는 칩이 다수 개인 경우, 다수의 본딩 중심을 개별적으로 저장할 수 있다.The panel movement unit 26 may include a vision unit that recognizes the reference point and acquires a position correction value. For example, the panel movement unit 26 can recognize the reference point and detect the bonding center. In addition, when there are multiple chips to be bonded, multiple bonding centers can be individually stored.

상기 칩이동유닛(36)은 상기 기준점으로 상기 칩(C)을 이동하여 상기 패널(P)에 압착한다. 자세하게는, 상기 칩이동유닛(36)은 상기 칩(C)을 상기 패널(P)의 상부로 이동시키고, Z축방향으로 서서히 누르면서 본딩을 수행할 수 있다.The chip moving unit 36 moves the chip C to the reference point and presses it to the panel P. In detail, the chip moving unit 36 moves the chip C to the top of the panel P and performs bonding by slowly pressing it in the Z-axis direction.

또한, 상기 칩이동유닛(36)은, 상기 레이저(100)에서 조사되는 광이 통과가능한 중공(362)을 구비한 본체부(360) 및 상기 칩(C)의 틀어짐을 보정하며 이동하는 로테이션축부(364)를 포함한다. 그에 따라, 상기 레이저(100), 상기 칩(C) 및 상기 패널(P)이 Z축방향으로 차례로 배치되어 본딩될 수 있다. 또한, 상기 칩(C)을 상기 패널(P)에 압착하며 발생될 수 있는 비틀림을 방지할 수 있다.In addition, the chip moving unit 36 includes a main body portion 360 having a hollow portion 362 through which light emitted from the laser 100 can pass, and a rotation axis portion that moves while correcting the distortion of the chip C. Includes (364). Accordingly, the laser 100, the chip C, and the panel P can be sequentially arranged and bonded in the Z-axis direction. In addition, it is possible to prevent twisting that may occur when the chip (C) is pressed to the panel (P).

또한, 상기 레이저 솔더링 장치(1)는 본딩이 수행되는 위치 후면에 장착된 열화상카메라를 더 포함할 수 있다. 그에 따라, 본딩을 수행함과 동시에 실시간으로 온도 보상을 수행할 수 있다.In addition, the laser soldering device 1 may further include a thermal imaging camera mounted behind the position where bonding is performed. Accordingly, temperature compensation can be performed in real time while bonding is performed.

이상에서 설명한 레이저 솔더링 장치(1)를 이용한 레이저 솔더링 방법에 대하여 자세하게 설명한다.The laser soldering method using the laser soldering device 1 described above will be described in detail.

도 5 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 레이저 솔더링 방법을 개략적으로 도시한 도면이다.5 to 8 are diagrams schematically showing a laser soldering method according to an embodiment of the present invention.

도 5에 도시된 바와 같이, 상기 패널(P)을 이송 및 고정한다(S10). 앞서 설명한 바와 같이, 상기 패널(P)은 외부에서 상기 패널로딩유닛(20)으로 인입되고, X축방향으로 수평하게 이송되어 상기 패널고정유닛(22)에 고정될 수 있다.As shown in FIG. 5, the panel P is transported and fixed (S10). As described above, the panel P can be introduced into the panel loading unit 20 from the outside, transported horizontally in the X-axis direction, and fixed to the panel fixing unit 22.

그리고, 칩(C)이 수용된 트레이(40)를 이동 및 고정한다(S20). 이때, 상기 트레이(40)에는 상기 패널(P)에 본딩되어야 하는 적어도 하나의 칩(C)이 수용될 수 있다. 상기 픽업그리퍼(320)로 하나의 칩(C)을 파지한다(S30). 이때, 상기 트레이(40)에 수용된 칩(C)의 위치를 판별하고 상기 트레이(40)를 상기 픽업그리퍼(320)의 위치로 이동할 수 있다.Then, the tray 40 containing the chip C is moved and fixed (S20). At this time, the tray 40 can accommodate at least one chip (C) to be bonded to the panel (P). One chip C is gripped by the pickup gripper 320 (S30). At this time, the position of the chip C accommodated in the tray 40 can be determined and the tray 40 can be moved to the position of the pickup gripper 320.

그리고, 상기 픽업그리퍼(320)에서 상기 본딩그리퍼(340)로 상기 칩(C)을 전달한다(S40). 이때, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 픽업그리퍼(320)는 상기 칩(C)을 파지하고(a), 상기 그리퍼회전부(322)에 의해 180도 회전하여 상기 칩(C)을 상측에 위치시킨다(b).Then, the chip C is transferred from the pickup gripper 320 to the bonding gripper 340 (S40). At this time, as shown in FIG. 6, the pickup gripper 320 grips the chip C (a) and rotates 180 degrees by the gripper rotation unit 322 to position the chip C on the upper side. Do it (b).

그리고, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 픽업그리퍼(320)는 진공 흡착하여 상기 칩(C)을 파지하여 상측에 위치시키고(a), 상기 본딩그리퍼(340)가 상기 칩(C)의 상부에 위치하여 상기 칩(C)을 진공 흡착하여 파지하고 상기 픽업그리퍼(320)는 진공을 해제한다(b).And, as shown in FIG. 7, the pickup gripper 320 grips the chip C by vacuum suction and positions it on the upper side (a), and the bonding gripper 340 grips the chip C on the upper side (a). It is located in and holds the chip (C) by vacuum suction, and the pickup gripper 320 releases the vacuum (b).

상기 본딩그리퍼(340)에 파지된 칩(C)에 플럭스를 도포하고 이동한다(S50). 이때, 상기 패널(P)의 이송(S10)과 상기 칩(C)의 이송(S20, S30, S40, S50)은 동시에 또는 순차적으로 수행될 수 있다. 특히, 상기 패널(P)은 X축 방향으로, 상기 칩(C)은 Y축 방향으로 동시에 또는 순차적으로 이송될 수 있다.Flux is applied to the chip C held by the bonding gripper 340 and moved (S50). At this time, the transfer (S10) of the panel (P) and the transfer (S20, S30, S40, S50) of the chip (C) may be performed simultaneously or sequentially. In particular, the panel P may be transferred in the X-axis direction and the chip C may be transferred simultaneously or sequentially in the Y-axis direction.

그리고, 상기 레이저(100) 중심과 상기 패널(P)에 표시된 기준점이 일치하도록 패널(P)의 위치를 보정한다(S60). 또한, 상기 기준점으로 상기 칩(C)을 이동 및 압착하고(S70), 상기 레이저(100)를 조사하여 본딩을 수행한다(S80). 특히, 상기 레이저(100), 상기 칩(C) 및 상기 패널(P)은 Z축방향으로 차례로 배치되고, 상기의 과정(S60, S70, S80)은 동시에 또는 순차적으로 서로 보완하여 수행될 수 있다.Then, the position of the panel P is corrected so that the center of the laser 100 matches the reference point marked on the panel P (S60). Additionally, the chip C is moved and compressed to the reference point (S70), and bonding is performed by irradiating the laser 100 (S80). In particular, the laser 100, the chip C, and the panel P are arranged sequentially in the Z-axis direction, and the above processes (S60, S70, S80) can be performed simultaneously or sequentially to complement each other. .

도 8에 도시된 바와 같이, 상기 본딩그리퍼(340)에 파지된 칩(C)은 상기 패널(P)과 겹쳐지며 Z축방향으로 눌러진다. 특히, 상기 기준점이 위치한 상기 패널(P)의 상부와 상기 칩(C)의 하부를 상기 레이저(100)의 중심과 일치시키고, 상기 칩(C)을 상기 패널(P)을 향해 압착시킬 수 있다. 또한, 열화상 카메라로 실시간 온도 보상을 수행하며 본딩을 수행할 수 있다.As shown in FIG. 8, the chip C held by the bonding gripper 340 overlaps the panel P and is pressed in the Z-axis direction. In particular, the upper part of the panel (P), where the reference point is located, and the lower part of the chip (C) can be aligned with the center of the laser 100, and the chip (C) can be pressed toward the panel (P). . Additionally, bonding can be performed while performing real-time temperature compensation using a thermal imaging camera.

이상에서, 본 발명의 일 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게는 자명할 것이다. In the above, an embodiment of the present invention has been described in detail, but the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and variations are possible without departing from the technical spirit of the present invention as set forth in the claims. This will be self-evident to those skilled in the art.

1: 레이저 솔더링 장치
10: 레이저유닛
20: 패널로딩유닛
22: 패널고정유닛
24: 패널언로딩유닛
26: 패널이동유닛
30: 칩로딩유닛
32: 칩픽업유닛
34: 칩이송유닛
36: 칩이동유닛
1: Laser soldering device
10: Laser unit
20: Panel loading unit
22: Panel fixing unit
24: Panel unloading unit
26: Panel movement unit
30: Chip loading unit
32: Chip pickup unit
34: Chip transfer unit
36: Chip transfer unit

Claims (10)

외부로부터 공급된 패널을 이송하는 패널로딩유닛;
상기 패널로딩유닛에서 이송된 패널을 진공 흡착하여 고정하는 패널고정유닛;
상기 패널고정유닛에서 이송된 패널을 외부로 이송하는 패널언로딩유닛;
적어도 하나의 칩이 수용된 트레이를 이동 및 고정하는 칩로딩유닛;
상기 트레이에 수용된 어느 하나의 칩을 파지하는 픽업그리퍼 및 상기 픽업그리퍼를 회전시키는 그리퍼회전부를 포함하는 칩픽업유닛;
상기 픽업그리퍼에 부착된 칩을 전달받아 파지하는 본딩그리퍼를 포함하고, 상기 본딩그리퍼에 파지된 칩을 디핑폿으로 이송하는 칩이송유닛;
상기 패널고정유닛의 상부에 고정되어 위치하고, 레이저를 조사하여 상기 패널과 상기 칩을 본딩하는 레이저유닛;
상기 레이저의 중심과 상기 패널에 표시된 기준점이 일치하도록, 상기 패널의 위치를 보정하는 패널이동유닛; 및
상기 기준점으로 상기 칩을 이동하여 상기 패널에 압착하는 칩이동유닛을 포함하는 레이저 솔더링 장치.
A panel loading unit that transfers panels supplied from outside;
a panel fixing unit that secures the panel transferred from the panel loading unit by vacuum suction;
a panel unloading unit that transfers the panel transferred from the panel fixing unit to the outside;
a chip loading unit that moves and fixes a tray containing at least one chip;
a chip pickup unit including a pickup gripper for gripping any one chip accommodated in the tray and a gripper rotating portion for rotating the pickup gripper;
a chip transfer unit including a bonding gripper that receives and grips the chip attached to the pickup gripper, and transferring the chip gripped by the bonding gripper to a dipping pot;
a laser unit fixed to the upper part of the panel fixing unit and irradiating a laser to bond the panel and the chip;
a panel movement unit that corrects the position of the panel so that the center of the laser coincides with a reference point displayed on the panel; and
A laser soldering device including a chip moving unit that moves the chip to the reference point and presses it to the panel.
제1항에 있어서,
상기 칩이동유닛은,
상기 레이저에서 조사되는 광이 통과가능한 중공을 구비한 본체부; 및
상기 칩의 틀어짐을 보정하며 이동하는 로테이션축부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 솔더링 장치.
According to paragraph 1,
The chip transfer unit,
a main body portion having a hollow space through which light emitted from the laser can pass; and
A laser soldering device comprising a rotation axis unit that moves while correcting distortion of the chip.
제1항에 있어서,
상기 패널로딩유닛, 상기 패널고정유닛 및 상기 패널언로딩유닛은 X축방향으로 차례로 배치되고,
상기 레이저유닛은 상기 패널고정유닛과 Z축방향으로 이격되어 배치되고,
상기 칩로딩유닛, 상기 칩픽업유닛 및 상기 칩이송유닛은 상기 레이저유닛의 Y축 방향 일측에 배치되는 것을 특징으로 하는 레이저 솔더링 장치.
According to paragraph 1,
The panel loading unit, the panel fixing unit, and the panel unloading unit are sequentially arranged in the X-axis direction,
The laser unit is arranged to be spaced apart from the panel fixing unit in the Z-axis direction,
A laser soldering device, wherein the chip loading unit, the chip pickup unit, and the chip transfer unit are disposed on one side of the laser unit in the Y-axis direction.
제1항에 있어서,
상기 칩로딩유닛은,
상기 트레이를 정해진 위치에 고정시키는 트레이고정부; 및
상기 칩에 구비된 솔더볼을 검사하여 상기 트레이 내에서 상기 칩의 위치를 파악하는 트레이비전부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 솔더링 장치.
According to paragraph 1,
The chip loading unit,
a tray fixing unit that fixes the tray in a predetermined position; and
A laser soldering device comprising a tray vision unit that inspects solder balls provided on the chip to determine the location of the chip within the tray.
제1항에 있어서,
상기 픽업그리퍼는 상기 칩의 일면을 진공 흡착하여 파지하고, 상기 그리퍼회전부는 상기 칩의 타면이 상측으로 향하도록 상기 픽업그리퍼를 180도 회전시키는 것을 특징으로 하는 레이저 솔더링 장치.
According to paragraph 1,
The pickup gripper grips one side of the chip by vacuum suction, and the gripper rotation unit rotates the pickup gripper 180 degrees so that the other side of the chip faces upward.
제5항에 있어서,
상기 본딩그리퍼는 상기 칩의 타면을 진공 흡착하여 파지하고,
상기 칩이송유닛은 상기 칩의 일면에 상기 디핑폿에 수용된 플럭스(flux)를 도포하고 상기 패널고정유닛으로 이동하는 것을 특징으로 하는 레이저 솔더링 장치.
According to clause 5,
The bonding gripper vacuum-adsorbs and grips the other side of the chip,
The chip transfer unit applies flux contained in the dipping pot to one surface of the chip and moves it to the panel fixing unit.
인입된 패널을 진공 흡착하여 고정하고,
적어도 하나의 칩이 수용된 트레이를 이동 및 고정하고,
상기 트레이에 수용된 어느 하나의 칩을 픽업그리퍼를 통해 파지하고,
상기 픽업그리퍼를 회전시켜 본딩그리퍼로 칩을 전달하여 파지하고,
상기 본딩그리퍼에 파지된 칩에 플럭스를 도포하고 상기 패널을 향해 이동하고,
레이저의 중심과 상기 패널에 표시된 기준점이 일치하도록 상기 패널의 위치를 보정하고,
상기 기준점으로 상기 칩을 이동하여 상기 패널에 압착하고,
상기 레이저를 조사하여 상기 패널과 상기 칩을 본딩하는 레이저 솔더링 방법.
The inserted panel is fixed by vacuum adsorption,
Moving and fixing a tray containing at least one chip,
Gripping any one chip accommodated in the tray through a pick-up gripper,
Rotate the pickup gripper to transfer the chip to the bonding gripper and grip it,
Apply flux to the chip held by the bonding gripper and move toward the panel,
Correcting the position of the panel so that the center of the laser coincides with the reference point marked on the panel,
Move the chip to the reference point and press it to the panel,
A laser soldering method of bonding the panel and the chip by irradiating the laser.
제7항에 있어서,
상기 패널은 X축 방향으로 이송되고,
상기 칩은 Y축 방향으로 이송되며,
상기 레이저, 상기 칩 및 상기 패널은 Z축방향으로 차례로 배치되고, 상기 레이저의 조사에 의해 상기 칩과 상기 패널이 본딩되는 것을 특징으로 하는 레이저 솔더링 방법.
In clause 7,
The panel is transported in the X-axis direction,
The chip is transported in the Y-axis direction,
A laser soldering method, wherein the laser, the chip, and the panel are sequentially arranged in the Z-axis direction, and the chip and the panel are bonded by irradiation of the laser.
제7항에 있어서,
상기 기준점이 위치한 상기 패널의 상부와 상기 칩의 하부를 상기 레이저의 중심과 일치시키고,
상기 칩을 상기 패널을 향해 압착시키며, 열화상 카메라로 실시간 온도 보상을 수행하는 것을 특징으로 하는 레이저 솔더링 방법.
In clause 7,
Align the upper part of the panel where the reference point is located and the lower part of the chip with the center of the laser,
A laser soldering method characterized by pressing the chip toward the panel and performing real-time temperature compensation using a thermal imaging camera.
제7항에 있어서,
상기 트레이에 수용된 칩의 위치를 판별하고 상기 트레이를 상기 픽업그리퍼의 위치로 이동하고,
상부에 위치한 상기 본딩그리퍼에 상기 칩을 전달하기 위해, 상기 픽업그리퍼는 상기 칩을 파지하고 180도 회전되는 것을 특징으로 하는 레이저 솔더링 방법.
In clause 7,
Determine the position of the chip contained in the tray and move the tray to the position of the pickup gripper,
In order to transfer the chip to the bonding gripper located at the top, the pickup gripper grips the chip and is rotated 180 degrees.
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