KR20240046063A

KR20240046063A - Hand of industrial robot and industrial robot

Info

Publication number: KR20240046063A
Application number: KR1020230129006A
Authority: KR
Inventors: 다카유키 야자와; 히로노부 다나카; 유타 이토
Original assignee: 니덱 인스트루먼츠 가부시키가이샤
Priority date: 2022-09-30
Filing date: 2023-09-26
Publication date: 2024-04-08
Also published as: JP2024051277A; CN117798885A; TW202415514A

Abstract

본 발명의 과제는 직사각형의 평판 형상으로 형성되는 반송 대상물의 테두리 부분만을 파지하는 경우라도, 또한 반송 대상물의 긴 변 방향과 포크의 긴 변 방향이 일치하도록 포크에 반송 대상물이 적재되는 경우 및 반송 대상물의 짧은 변 방향과 포크의 긴 변 방향이 일치하도록 포크에 반송 대상물이 적재되는 경우의 어느 경우라도, 반송 대상물을 안정적으로 파지하는 것이 가능한 핸드를 제공하는 것이다.
핸드(3)는, 복수의 포크(20)의 상면측에 적재되는 반송 대상물(2)을 흡착하여 파지하기 위한 제1 파지 기구(23) 및 제2 파지 기구(24)를 구비하고 있다. 포크(20)에는, 한 쌍의 제1 파지 기구(23)와 한 쌍의 제2 파지 기구(24)가 설치되어 있고, 한 쌍의 제2 파지 기구(24)는, 포크(20)의 긴 변 방향에 있어서 한 쌍의 제1 파지 기구(23)의 내측에 배치되어 있다. 제2 파지 기구(24)의 상단은, 제1 파지 기구(23)의 상단보다도 하측에 배치되어 있다.The object of the present invention is to grip only the edge portion of the transport object formed in a rectangular flat shape, and also in the case where the transport object is loaded on the fork so that the long side direction of the transport object matches the long side direction of the fork, and the transport object is In any case where the conveyed object is loaded on the fork so that the short side direction of and the long side direction of the fork coincide, a hand capable of stably holding the conveyed object is provided.
The hand 3 is provided with a first gripping mechanism 23 and a second gripping mechanism 24 for adsorbing and gripping the transport object 2 loaded on the upper surface side of the plurality of forks 20. A pair of first gripping mechanisms 23 and a pair of second gripping mechanisms 24 are provided on the fork 20, and the pair of second gripping mechanisms 24 are provided along the length of the fork 20. It is arranged inside the pair of first gripping mechanisms 23 in the side direction. The upper end of the second holding mechanism 24 is disposed lower than the upper end of the first holding mechanism 23.

Description

Industrial robot hand and industrial robot {HAND OF INDUSTRIAL ROBOT AND INDUSTRIAL ROBOT}

본 발명은, 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇의 핸드에 관한 것이다. 또한, 본 발명은, 이 핸드를 구비하는 산업용 로봇에 관한 것이다.The present invention relates to a hand of an industrial robot that transports an object to be transported. Additionally, the present invention relates to an industrial robot equipped with this hand.

종래, 직사각형의 평판 형상으로 형성되는 액정 디스플레이의 유리 기판을 반송하는 산업용 로봇이 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 유리 기판이 탑재되는 핸드와, 핸드가 선단측으로 회동 가능하게 연결되는 암과, 암을 지지하는 본체부를 구비하고 있다. 핸드는, 상면측에 유리 기판이 적재되는 직선 형상의 4개의 포크와, 4개의 포크의 기단이 연결되는 핸드 기부를 구비하고 있다. 이 산업용 로봇에서는, 직사각 형상으로 형성되는 유리 기판의 긴 변의 방향(긴 변 방향)과 포크의 긴 변 방향이 일치하도록 포크의 상면측에 유리 기판이 적재된다.Conventionally, industrial robots that transport glass substrates of liquid crystal displays formed in a rectangular flat shape are known (for example, see Patent Document 1). The industrial robot described in Patent Document 1 includes a hand on which a glass substrate is mounted, an arm to which the hand is rotatably connected to the front end, and a main body portion that supports the arm. The hand has four straight forks on which a glass substrate is placed on the upper surface side, and a hand base where the base ends of the four forks are connected. In this industrial robot, a glass substrate is placed on the upper surface of the fork so that the direction of the long side of the glass substrate formed in a rectangular shape (long side direction) coincides with the direction of the long side of the fork.

또한, 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에서는, 핸드는, 4개의 포크의 상면측에 적재되는 유리 기판을 흡착하여 파지하기 위한 복수의 파지 기구를 구비하고 있다. 이 파지 기구는, 예를 들어 유리 기판이 적재되는 지지 부재와, 지지 부재에 적재되는 유리 기판의 하면을 흡착하는 흡착 패드를 구비하고 있다. 지지 부재 및 흡착 패드는, 포크의 상면측에 설치되어 있다.In addition, in the industrial robot described in Patent Document 1, the hand is provided with a plurality of gripping mechanisms for adsorbing and gripping the glass substrate loaded on the upper surface side of the four forks. This holding mechanism includes, for example, a support member on which a glass substrate is placed, and a suction pad that adsorbs the lower surface of the glass substrate placed on the support member. The support member and suction pad are installed on the upper surface side of the fork.

일본 특허 공개 제2022-104003호 공보Japanese Patent Publication No. 2022-104003

특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에 의해 반송되는 유리 기판 중에는, 특수 처리가 실시된 유리 기판이 있다. 이 유리 기판에서는, 예를 들어 유리 기판의, 테두리 이외의 부분에 특수 처리가 실시되어 있고, 이 유리 기판을 반송할 때는, 특수 처리가 실시되어 있지 않은 유리 기판의 테두리 부분만을 파지 기구에 의해 파지해야만 한다.Among the glass substrates transported by the industrial robot described in Patent Document 1, there is a glass substrate on which special processing has been performed. In this glass substrate, for example, special treatment has been applied to parts other than the edge of the glass substrate, and when transporting this glass substrate, only the edge portion of the glass substrate to which no special treatment has been applied is held by the gripping mechanism. must do it.

또한, 특수 처리가 실시된 유리 기판을 반송하는 산업용 로봇에서는, 상술한 바와 같이, 직사각 형상의 유리 기판의 긴 변 방향과 포크의 긴 변 방향이 일치하도록 포크의 상면측에 유리 기판이 적재되는 것에 더하여, 유리 기판의 짧은 변의 방향(짧은 변 방향)과 포크의 긴 변 방향이 일치하도록 포크의 상면측에 유리 기판이 적재되는 경우도 있다. 이 산업용 로봇에서는, 유리 기판의 긴 변 방향과 포크의 긴 변 방향이 일치하도록 포크의 상면측에 유리 기판이 적재되는 경우 및 유리 기판의 짧은 변 방향과 포크의 긴 변 방향이 일치하도록 포크의 상면측에 유리 기판이 적재되는 경우의 어느 경우에 있어서도 유리 기판을 파지 기구에 의해 안정적으로 파지할 수 있는 것이 바람직하다.Additionally, in industrial robots that transport specially treated glass substrates, as described above, the glass substrate is loaded on the upper surface of the fork so that the long side direction of the rectangular glass substrate coincides with the long side direction of the fork. In addition, there are cases where the glass substrate is placed on the upper surface of the fork so that the direction of the short side of the glass substrate (short side direction) matches the direction of the long side of the fork. In this industrial robot, a glass substrate is loaded on the upper surface of the fork so that the direction of the long side of the glass substrate matches the direction of the long side of the fork, and the upper surface of the fork is aligned so that the direction of the short side of the glass substrate matches the direction of the long side of the fork. In any case where a glass substrate is placed on the side, it is desirable that the glass substrate can be stably held by a holding mechanism.

따라서, 본 발명의 과제는, 직사각형의 평판 형상으로 형성되는 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇의 핸드에 있어서, 반송 대상물의 테두리 부분만을 파지하는 경우라도, 또한 반송 대상물의 긴 변 방향과 포크의 긴 변 방향이 일치하도록 포크의 상면측에 반송 대상물이 적재되는 경우 및 반송 대상물의 짧은 변 방향과 포크의 긴 변 방향이 일치하도록 포크의 상면측에 반송 대상물이 적재되는 경우의 어느 경우라도, 반송 대상물을 안정적으로 파지하는 것이 가능한 핸드를 제공하는 데 있다. 또한, 본 발명의 과제는, 이러한 핸드를 구비하는 산업용 로봇을 제공하는 데 있다.Therefore, the object of the present invention is that in the hand of an industrial robot that transports a transport object formed in a rectangular flat shape, even in the case of gripping only the edge portion of the transport object, the long side direction of the transport object and the long side of the fork are also In either case, the conveyed object is loaded on the upper surface of the fork so that the directions match, or the transported object is loaded on the upper surface of the fork so that the short side direction of the conveyed object and the long side direction of the fork coincide, the transported object is The goal is to provide a hand that can be held stably. Additionally, the object of the present invention is to provide an industrial robot equipped with such a hand.

상기한 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 일 양태의 산업용 로봇의 핸드는, 직사각형의 평판 형상으로 형성되는 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇의 핸드에 있어서, 상면측에 반송 대상물이 적재되는 직선 형상의 복수의 포크와, 복수의 포크의 기단이 연결되는 핸드 기부와, 복수의 포크의 상면측에 적재되는 반송 대상물을 흡착하여 파지하기 위한 복수의 제1 파지 기구 및 제2 파지 기구를 구비하고, 포크에는, 한 쌍의 제1 파지 기구와 한 쌍의 제2 파지 기구가 설치되고, 한 쌍의 제2 파지 기구는, 포크의 긴 변 방향에 있어서 한 쌍의 제1 파지 기구의 내측에 배치되고, 제2 파지 기구의 상단은, 제1 파지 기구의 상단보다도 하측에 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problem, the hand of an industrial robot of one aspect of the present invention is a hand of an industrial robot that transports a transport object formed in a rectangular flat shape, and has a straight shape on which the transport object is loaded on the upper surface side. Equipped with a plurality of forks, a hand base to which the base ends of the plurality of forks are connected, and a plurality of first and second gripping mechanisms for adsorbing and gripping the conveyed object loaded on the upper surface side of the plurality of forks, the fork A pair of first gripping mechanisms and a pair of second gripping mechanisms are provided, and the pair of second gripping mechanisms are disposed inside the pair of first gripping mechanisms in the long side direction of the fork, The upper end of the second holding mechanism is characterized in that it is disposed lower than the upper end of the first holding mechanism.

본 형태의 핸드에서는, 복수의 포크에, 한 쌍의 제1 파지 기구와 한 쌍의 제2 파지 기구가 설치되어 있고, 한 쌍의 제2 파지 기구는, 포크의 긴 변 방향에 있어서 한 쌍의 제1 파지 기구의 내측에 배치되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 반송 대상물의 짧은 변 방향과 포크의 긴 변 방향이 일치하도록 포크의 상면측에 반송 대상물이 적재되는 경우에, 복수의 포크에 설치된 복수의 제2 파지 기구에 의해 반송 대상물의 테두리 부분만을 파지하는 것이 가능해진다. 또한, 본 형태에서는, 제2 파지 기구의 상단이 제1 파지 기구의 상단보다도 하측에 배치되어 있기 때문에, 반송 대상물의 긴 변 방향과 포크의 긴 변 방향이 일치하도록 포크의 상면측에 반송 대상물이 적재되는 경우에, 복수의 포크에 설치된 복수의 제1 파지 기구에 의해 반송 대상물의 테두리 부분만을 파지하는 것이 가능해진다.In the hand of this form, a pair of first gripping mechanisms and a pair of second gripping mechanisms are provided on a plurality of forks, and the pair of second gripping mechanisms are a pair of gripping mechanisms in the long side direction of the forks. It is disposed inside the first gripping mechanism. Therefore, in this embodiment, when the conveyed object is loaded on the upper surface side of the fork so that the short side direction of the conveyed object coincides with the long side direction of the fork, the conveyed object is held by the plurality of second gripping mechanisms provided on the plurality of forks. It becomes possible to grip only the border portion of . Additionally, in this embodiment, since the upper end of the second holding mechanism is disposed lower than the upper end of the first holding mechanism, the conveying object is placed on the upper surface side of the fork so that the long side direction of the conveying object coincides with the long side direction of the fork. In the case of loading, it becomes possible to grip only the edge portion of the object to be transported by the plurality of first gripping mechanisms provided on the plurality of forks.

이와 같이, 본 형태에서는, 반송 대상물의 짧은 변 방향과 포크의 긴 변 방향이 일치하도록 포크의 상면측에 반송 대상물이 적재되는 경우에, 복수의 제2 파지 기구에 의해 반송 대상물의 테두리 부분만을 파지하는 것이 가능해짐과 함께, 반송 대상물의 긴 변 방향과 포크의 긴 변 방향이 일치하도록 포크의 상면측에 반송 대상물이 적재되는 경우에, 복수의 제1 파지 기구에 의해 반송 대상물의 테두리 부분만을 파지하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 형태에서는, 반송 대상물의 테두리 부분만을 파지하는 경우라도, 또한 반송 대상물의 긴 변 방향과 포크의 긴 변 방향이 일치하도록 포크의 상면측에 반송 대상물이 적재되는 경우 및 반송 대상물의 짧은 변 방향과 포크의 긴 변 방향이 일치하도록 포크의 상면측에 반송 대상물이 적재되는 경우의 어느 경우라도, 반송 대상물을 안정적으로 파지하는 것이 가능해진다.In this way, in this embodiment, when the conveyed object is placed on the upper surface side of the fork so that the short side direction of the transported object coincides with the long side direction of the fork, only the edge portion of the transported object is gripped by the plurality of second gripping mechanisms. In addition, when the conveyed object is loaded on the upper surface side of the fork so that the long side direction of the transported object matches the long side direction of the fork, only the edge portion of the transported object is gripped by the plurality of first gripping mechanisms. It becomes possible to do so. Therefore, in this form, even when only the edge portion of the conveyed object is gripped, and also when the transported object is loaded on the upper surface side of the fork so that the long side direction of the transported object coincides with the long side direction of the fork, and the short side of the transported object In any case where the conveyed object is loaded on the upper surface side of the fork so that the direction and the direction of the long side of the fork coincide, it becomes possible to stably grip the transported object.

본 형태에 있어서, 예를 들어 제1 파지 기구는, 반송 대상물을 하측으로부터 지지하기 위한 제1 지지 부재와, 반송 대상물의 하면을 흡착하는 제1 흡착 패드를 구비하고, 제2 파지 기구는, 반송 대상물을 하측으로부터 지지하기 위한 제2 지지 부재와, 반송 대상물의 하면을 흡착하는 제2 흡착 패드를 구비하고, 제1 지지 부재의 상면 및 제2 지지 부재의 상면에는, 반송 대상물이 적재 가능하게 되어 있고, 제2 지지 부재의 상면은, 제1 지지 부재의 상면보다도 하측에 배치되고, 제2 흡착 패드의 상단은, 제1 흡착 패드의 상단보다도 하측에 배치되어 있다.In this form, for example, the first holding mechanism includes a first support member for supporting the conveying object from the bottom, and a first suction pad for adsorbing the lower surface of the conveying object, and the second holding mechanism includes a conveying object. It is provided with a second support member for supporting the object from the bottom and a second suction pad for adsorbing the lower surface of the transport object, and the transport object can be loaded on the upper surface of the first support member and the upper surface of the second support member. The upper surface of the second support member is disposed lower than the upper surface of the first support member, and the upper end of the second suction pad is disposed lower than the upper end of the first suction pad.

본 형태에 있어서, 핸드는, 상면측에 반송 대상물이 적재되는 직선 형상의 2개의 제2 포크를 구비하고, 제2 포크의 기단은 핸드 기부에 연결되고, 제2 포크의 길이는 포크의 길이보다도 짧게 되어 있고, 2개의 제2 포크의 각각은, 포크의 긴 변 방향과 상하 방향으로 직교하는 방향에 있어서 복수의 포크의 외측에 배치되고, 제2 포크에는, 한 쌍의 제2 파지 기구가 설치되어 있는 것이 바람직하다. 이렇게 구성하면, 반송 대상물의 짧은 변 방향과 포크의 긴 변 방향이 일치하도록 포크의 상면측에 반송 대상물이 적재되는 경우에, 제2 포크에 설치되는 제2 파지 기구를 사용하여, 반송 대상물을 더 안정적으로 파지하는 것이 가능해진다.In this form, the hand is provided with two straight second forks on which the object to be conveyed is placed on the upper surface side, the base end of the second fork is connected to the base of the hand, and the length of the second fork is longer than the length of the fork. It is short, and each of the two second forks is disposed outside the plurality of forks in a direction perpendicular to the long side direction of the fork in the vertical direction, and a pair of second gripping mechanisms are provided on the second forks. It is desirable to have With this configuration, when the conveyed object is loaded on the upper surface side of the fork so that the short side direction of the conveyed object matches the long side direction of the fork, the conveyed object is further held using the second gripping mechanism installed on the second fork. It becomes possible to grip stably.

본 형태의 핸드는, 핸드가 선단측으로 회동 가능하게 연결되는 암과, 암의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하는 산업용 로봇에 사용할 수 있다. 이 산업용 로봇에서는, 반송 대상물의 테두리 부분만을 파지하는 경우라도, 또한 반송 대상물의 긴 변 방향과 포크의 긴 변 방향이 일치하도록 포크의 상면측에 반송 대상물이 적재되는 경우 및 반송 대상물의 짧은 변 방향과 포크의 긴 변 방향이 일치하도록 포크의 상면측에 반송 대상물이 적재되는 경우의 어느 경우라도, 반송 대상물을 안정적으로 파지하는 것이 가능해진다.The hand of this form can be used in an industrial robot having an arm to which the hand is rotatably connected to the distal end side, and a main body portion to which the proximal end of the arm is rotatably connected. In this industrial robot, even when only the edge portion of the conveyed object is gripped, also when the transported object is loaded on the upper surface of the fork so that the long side direction of the transported object matches the long side direction of the fork, and the short side direction of the transported object In any case where the conveyed object is loaded on the upper surface side of the fork so that the direction of the long side of the fork coincides, it becomes possible to stably grip the transported object.

이상과 같이, 본 발명에서는, 직사각형의 평판 형상으로 형성되는 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇의 핸드에 있어서, 반송 대상물의 테두리 부분만을 파지하는 경우라도, 또한 반송 대상물의 긴 변 방향과 포크의 긴 변 방향이 일치하도록 포크의 상면측에 반송 대상물이 적재되는 경우 및 반송 대상물의 짧은 변 방향과 포크의 긴 변 방향이 일치하도록 포크의 상면측에 반송 대상물이 적재되는 경우의 어느 경우라도, 반송 대상물을 안정적으로 파지하는 것이 가능해진다.As described above, in the present invention, in the hand of an industrial robot that transports a transport object formed in a rectangular flat shape, even when only the edge portion of the transport object is gripped, the long side direction of the transport object and the long side of the fork are also used. In either case, the conveyed object is loaded on the upper surface of the fork so that the directions match, or the transported object is loaded on the upper surface of the fork so that the short side direction of the conveyed object and the long side direction of the fork coincide, the transported object is It becomes possible to grip stably.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 관한 산업용 로봇의 평면도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 산업용 로봇의 측면도이다.
도 3은 도 1에 나타내는 핸드에, 반송 대상물의 긴 변 방향과 포크의 긴 변 방향이 일치하도록 반송 대상물이 탑재되어 있는 상태의 평면도이다.
도 4는 도 1에 나타내는 핸드에, 반송 대상물의 짧은 변 방향과 포크의 긴 변 방향이 일치하도록 반송 대상물이 탑재되어 있는 상태의 평면도이다.
도 5의 (A)는, 도 3에 나타내는 제1 파지 기구의 구성을 설명하기 위한 확대 측면도이고, (B)는, 도 3에 나타내는 제2 파지 기구의 구성을 설명하기 위한 확대 측면도이다.1 is a plan view of an industrial robot according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a side view of the industrial robot shown in FIG. 1.
FIG. 3 is a plan view of a state in which an object to be transported is mounted on the hand shown in FIG. 1 so that the direction of the long side of the object to be transported coincides with the direction of the long side of the fork.
FIG. 4 is a plan view of a state in which an object to be transported is mounted on the hand shown in FIG. 1 so that the direction of the short side of the object to be transported coincides with the direction of the long side of the fork.
FIG. 5 (A) is an enlarged side view for explaining the configuration of the first gripping mechanism shown in FIG. 3, and (B) is an enlarged side view for explaining the configuration of the second gripping mechanism shown in FIG. 3.

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention will be described with reference to the drawings.

(산업용 로봇의 전체 구성)(Full configuration of industrial robots)

도 1은, 본 발명의 실시 형태에 관한 산업용 로봇(1)의 평면도이다. 도 2는, 도 1에 나타내는 산업용 로봇(1)의 측면도이다.1 is a plan view of an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a side view of the industrial robot 1 shown in FIG. 1.

본 형태의 산업용 로봇(1)(이하, 「로봇(1)」이라고 한다.)은, 반송 대상물인 액정 디스플레이의 유리 기판(2)(이하, 「기판(2)」이라고 한다.)을 반송하는 수평 다관절형의 로봇이다. 기판(2)은, 직사각형의 평판 형상으로 형성되어 있다. 본 형태의 기판(2)은, 특수 처리가 실시된 유리 기판이다. 기판(2)에서는, 예를 들어 기판(2)의, 테두리 이외의 부분에 특수 처리가 실시되어 있다.The industrial robot 1 of this form (hereinafter referred to as “robot 1”) transports the glass substrate 2 (hereinafter referred to as “substrate 2”) of a liquid crystal display, which is the transport object. It is a horizontal multi-joint type robot. The substrate 2 is formed in a rectangular flat shape. The substrate 2 of this form is a glass substrate to which special processing has been performed. In the substrate 2, for example, special processing is applied to portions of the substrate 2 other than the edges.

로봇(1)은, 기판(2)이 탑재되는 2개의 핸드(3)와, 2개의 핸드(3)의 각각이 선단측으로 회동 가능하게 연결되는 2개의 암(4)과, 2개의 암(4)의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부(5)와, 본체부(5)를 수평 방향으로 이동 가능하게 지지하는 베이스 부재(6)를 구비하고 있다. 본체부(5)는, 암(4)의 기단측을 지지함과 함께 승강 가능한 암 서포트(7)와, 암 서포트(7)를 승강 가능하게 지지하는 지지 프레임(8)과, 본체부(5)의 하단 부분을 구성함과 함께 베이스 부재(6)에 대하여 수평 이동 가능한 기대(9)와, 지지 프레임(8)의 하단이 고정됨과 함께 기대(9)에 대하여 회동 가능한 선회 프레임(10)을 구비하고 있다.The robot 1 includes two hands 3 on which the substrate 2 is mounted, two arms 4 where each of the two hands 3 is rotatably connected to the distal end, and two arms 4. ) is provided with a main body portion 5 that is rotatably connected to the proximal end side, and a base member 6 that supports the main body portion 5 so as to be movable in the horizontal direction. The main body portion 5 includes an arm support 7 that supports the proximal end side of the arm 4 and can be raised and lowered, a support frame 8 that supports the arm support 7 so that the arm support 7 can be raised and lowered, and a main body portion 5 ) and a base 9 that is horizontally movable with respect to the base member 6, and a pivot frame 10 in which the lower end of the support frame 8 is fixed and can be rotated with respect to the base 9. It is available.

암(4)은, 제1 암부(12)와 제2 암부(13)의 2개의 암부에 의해 구성되어 있다. 제1 암부(12)의 기단측은, 암 서포트(7)에 회동 가능하게 연결되어 있다. 제1 암부(12)의 선단측에는, 제2 암부(13)의 기단측이 회동 가능하게 연결되어 있다. 제2 암부(13)의 선단측에는, 핸드(3)가 회동 가능하게 연결되어 있다. 암(4)은, 핸드(3)가 일정 방향을 향한 상태에서 대략 직선적으로 이동하도록 수평 방향으로 신축 가능하게 되어 있다. 로봇(1)은, 암(4)을 구동하는 암 구동 기구를 구비하고 있다.The arm 4 is composed of two arm parts, the first arm part 12 and the second arm part 13. The proximal end of the first arm portion 12 is rotatably connected to the arm support 7. The proximal end side of the second arm portion 13 is rotatably connected to the distal end side of the first arm portion 12. A hand 3 is rotatably connected to the distal end of the second arm 13. The arm 4 is capable of expanding and contracting in the horizontal direction so as to move approximately linearly while the hand 3 is facing in a certain direction. The robot 1 is equipped with an arm drive mechanism that drives the arm 4.

지지 프레임(8)은, 암 서포트(7)를 통해 핸드(3) 및 암(4)을 승강 가능하게 보유 지지하고 있다. 지지 프레임(8)은, 암 서포트(7)를 승강 가능하게 보유 지지하는 기둥 형상의 제1 지지 프레임(15)과, 제1 지지 프레임(15)을 승강 가능하게 보유 지지하는 기둥 형상의 제2 지지 프레임(16)을 구비하고 있다. 로봇(1)은, 제1 지지 프레임(15)을 상하 방향으로 안내하는 가이드 기구와, 암 서포트(7)를 상하 방향으로 안내하는 가이드 기구를 구비하고 있다. 또한, 로봇(1)은, 제1 지지 프레임(15)에 대하여 암 서포트(7)를 승강시킴과 함께 제2 지지 프레임(16)에 대하여 제1 지지 프레임(15)을 승강시키는 승강 기구를 구비하고 있다.The support frame 8 supports the hand 3 and the arm 4 via the arm support 7 so that they can be raised and lowered. The support frame 8 includes a pillar-shaped first support frame 15 that lifts and supports the arm support 7, and a pillar-shaped second support frame 15 that lifts and supports the first support frame 15. It is provided with a support frame (16). The robot 1 is equipped with a guide mechanism that guides the first support frame 15 in the vertical direction and a guide mechanism that guides the arm support 7 in the vertical direction. Additionally, the robot 1 is provided with a lifting mechanism that raises and lowers the arm support 7 with respect to the first support frame 15 and also raises and lowers the first support frame 15 with respect to the second support frame 16. I'm doing it.

선회 프레임(10)은, 상하 방향의 두께가 얇은 편평한 대략 직육면체 형상으로 형성되어 있다. 또한, 선회 프레임(10)은, 가늘고 긴 대략 직육면체 형상으로 형성되어 있다. 선회 프레임(10)의 선단측의 상면에는, 제2 지지 프레임(16)의 하단부가 고정되어 있다. 선회 프레임(10)의 기단측은, 상하 방향을 회동의 축방향으로 하는 회동이 가능해지도록 기대(9)에 지지되어 있다. 선회 프레임(10)은, 기대(9)보다도 상측에 배치되어 있다. 로봇(1)은, 기대(9)에 대하여 선회 프레임(10)을 회동시키는 회동 기구를 구비하고 있다. 또한, 로봇(1)은, 베이스 부재(6)에 대하여 기대(9)를 수평 이동시키는 수평 이동 기구와, 기대(9)를 수평 방향으로 안내하는 가이드 기구를 구비하고 있다.The turning frame 10 is formed in a flat substantially rectangular parallelepiped shape with a thin thickness in the vertical direction. Additionally, the turning frame 10 is formed in the shape of an elongated substantially rectangular parallelepiped. The lower end of the second support frame 16 is fixed to the upper surface of the distal end side of the swing frame 10. The proximal end side of the swing frame 10 is supported on the base 9 to enable rotation with the vertical direction being the axis direction of rotation. The swing frame 10 is disposed above the base 9. The robot 1 is equipped with a rotation mechanism that rotates the swing frame 10 with respect to the base 9. Additionally, the robot 1 is equipped with a horizontal movement mechanism that horizontally moves the base 9 with respect to the base member 6 and a guide mechanism that guides the base 9 in the horizontal direction.

(핸드의 구성)(Configuration of the hand)

도 3은, 도 1에 나타내는 핸드(3)에, 기판(2)의 긴 변 방향과 포크(20)의 긴 변 방향이 일치하도록 기판(2)이 탑재되어 있는 상태의 평면도이다. 도 4는, 도 1에 나타내는 핸드(3)에, 기판(2)의 짧은 변 방향과 포크(20)의 긴 변 방향이 일치하도록 기판(2)이 탑재되어 있는 상태의 평면도이다. 도 5의 (A)는, 도 3에 나타내는 파지 기구(23)의 구성을 설명하기 위한 확대 측면도이고, 도 5의 (B)는, 도 3에 나타내는 파지 기구(24)의 구성을 설명하기 위한 확대 측면도이다.FIG. 3 is a plan view of the substrate 2 being mounted on the hand 3 shown in FIG. 1 so that the long side direction of the substrate 2 coincides with the long side direction of the fork 20. FIG. 4 is a plan view of the substrate 2 being mounted on the hand 3 shown in FIG. 1 so that the direction of the short side of the substrate 2 coincides with the direction of the long side of the fork 20. FIG. 5(A) is an enlarged side view for explaining the configuration of the gripping mechanism 23 shown in FIG. 3, and FIG. 5(B) is an enlarged side view for explaining the configuration of the gripping mechanism 24 shown in FIG. 3. This is an enlarged side view.

핸드(3)는, 상면측에 기판(2)이 적재되는 복수의 포크(20, 21)와, 복수의 포크(20, 21)의 기단이 연결되는 핸드 기부(22)를 구비하고 있다. 본 형태의 핸드(3)는, 4개의 포크(20)와 2개의 포크(21)를 구비하고 있다. 또한, 핸드(3)는, 복수의 포크(20, 21)의 상면측에 적재되는 기판(2)을 흡착하여 파지하기 위한 복수의 파지 기구(23, 24)를 구비하고 있다. 본 형태의 포크(21)는 제2 포크이다. 또한, 본 형태의 파지 기구(23)는 제1 파지 기구이고, 파지 기구(24)는 제2 파지 기구이다.The hand 3 is provided with a plurality of forks 20, 21 on which the substrate 2 is mounted on the upper surface side, and a hand base 22 to which the base ends of the plurality of forks 20, 21 are connected. The hand 3 of this form is provided with four forks 20 and two forks 21. In addition, the hand 3 is provided with a plurality of holding mechanisms 23 and 24 for sucking and holding the substrate 2 loaded on the upper surface side of the plurality of forks 20 and 21. The fork 21 of this form is the second fork. Additionally, the gripping mechanism 23 of this embodiment is a first gripping mechanism, and the gripping mechanism 24 is a second gripping mechanism.

핸드 기부(22)는, 제2 암부(13)의 선단측으로 회동 가능하게 연결되어 있다. 포크(20, 21)는, 직선 형상으로 형성되어 있다. 구체적으로는, 포크(20, 21)는, 가늘고 긴 중공의 직육면체 형상으로 형성되어 있다. 포크(20, 21)는, 핸드 기부(22)부터 수평 방향으로 신장되어 있다. 또한, 포크(20)와 포크(21)는, 핸드 기부(22)로부터 동일한 방향으로 신장되어 있다. 즉, 포크(20)의 긴 변 방향과 포크(21)의 긴 변 방향은 일치하고 있다.The hand base 22 is rotatably connected to the distal end side of the second arm portion 13. The forks 20 and 21 are formed in a straight shape. Specifically, the forks 20 and 21 are formed in the shape of an elongated hollow rectangular parallelepiped. The forks 20 and 21 extend in the horizontal direction from the hand base 22. Additionally, the fork 20 and the fork 21 extend in the same direction from the hand base 22. That is, the long side direction of the fork 20 and the long side direction of the fork 21 coincide.

4개의 포크(20)는, 일정한 간격을 둔 상태로 서로 평행이 되도록 배치되어 있다. 2개의 포크(21)의 각각은, 포크(20)의 긴 변 방향과 상하 방향으로 직교하는 방향에 있어서 4개의 포크(20)의 외측에 배치되어 있다. 포크(21)의 길이는, 포크(20)의 길이보다도 짧게 되어 있다. 포크(20)와 포크(21)는, 상하 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있다. 또한, 포크(20)의 상면과 포크(21)의 상면은, 상하 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있다.The four forks 20 are arranged parallel to each other at regular intervals. Each of the two forks 21 is arranged outside the four forks 20 in a direction perpendicular to the vertical direction of the long side of the forks 20. The length of the fork 21 is shorter than the length of the fork 20. The fork 20 and the fork 21 are arranged at the same position in the vertical direction. Additionally, the upper surface of the fork 20 and the upper surface of the fork 21 are arranged at the same position in the vertical direction.

상술한 바와 같이, 기판(2)은, 특수 처리가 실시된 유리 기판이고, 기판(2)에서는, 예를 들어 기판(2)의, 테두리 이외의 부분에 특수 처리가 실시되어 있다. 본 형태에서는, 로봇(1)에 의한 기판(2)의 반송 시에, 특수 처리가 실시되어 있지 않은 기판(2)의 테두리 부분(2a)(도 3, 도 4의 해칭 부분)만을 파지 기구(23, 24)에 의해 파지해야만 한다. 또한, 본 형태에서는, 로봇(1)에 의한 기판(2)의 반송 시에, 도 3에 나타낸 바와 같이, 직사각 형상의 기판(2)의 긴 변 방향과 포크(20)의 긴 변 방향이 일치하도록 포크(20)의 상면측에 기판(2)이 적재되는 경우와, 도 4에 나타낸 바와 같이, 기판(2)의 짧은 변 방향과 포크(20)의 긴 변 방향이 일치하도록 포크(20, 21)의 상면측에 기판(2)이 적재되는 경우가 있다.As described above, the substrate 2 is a glass substrate on which special processing has been performed, and special processing is applied to, for example, portions of the substrate 2 other than the edges. In this form, when transporting the substrate 2 by the robot 1, only the edge portion 2a (hatched portion in FIGS. 3 and 4) of the substrate 2 on which no special treatment has been applied is used by the holding mechanism ( 23, 24). Additionally, in this embodiment, when transporting the substrate 2 by the robot 1, as shown in FIG. 3, the long side direction of the rectangular substrate 2 coincides with the long side direction of the fork 20. In the case where the substrate 2 is loaded on the upper surface of the fork 20, and as shown in FIG. 4, the fork 20 is aligned so that the direction of the short side of the substrate 2 and the direction of the long side of the fork 20 match. There are cases where the substrate 2 is placed on the upper surface side of 21).

파지 기구(23)는, 포크(20)에 설치되어 있다. 파지 기구(24)는, 포크(20, 21)에 설치되어 있다. 구체적으로는, 포크(20)에는, 한 쌍의 파지 기구(23)와 한 쌍의 파지 기구(24)가 설치되고, 포크(21)에는, 한 쌍의 파지 기구(24)가 설치되어 있다. 즉, 1개의 포크(20)에, 2개의 파지 기구(23)와 2개의 파지 기구(24)가 설치되고, 1개의 포크(21)에, 2개의 파지 기구(24)가 설치되어 있다.The gripping mechanism 23 is installed on the fork 20. The gripping mechanism 24 is installed on the forks 20 and 21. Specifically, a pair of gripping mechanisms 23 and a pair of gripping mechanisms 24 are provided on the fork 20, and a pair of gripping mechanisms 24 are provided on the fork 21. That is, two holding mechanisms 23 and two holding mechanisms 24 are provided to one fork 20, and two holding mechanisms 24 are provided to one fork 21.

포크(20)에서는, 한 쌍의 파지 기구(24)는, 포크(20)의 긴 변 방향에 있어서 한 쌍의 파지 기구(23)의 내측에 배치되어 있다. 포크(20)에 설치되는 파지 기구(24)와 포크(21)에 설치되는 파지 기구(24)는, 포크(20)의 긴 변 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있다. 즉, 포크(21)에 설치되는 한 쌍의 파지 기구(24)는, 포크(20)의 긴 변 방향에 있어서 한 쌍의 파지 기구(23)의 내측에 배치되어 있다.In the fork 20, the pair of gripping mechanisms 24 are arranged inside the pair of gripping mechanisms 23 in the long side direction of the fork 20. The holding mechanism 24 installed on the fork 20 and the holding mechanism 24 installed on the fork 21 are arranged at the same position in the long side direction of the fork 20. That is, the pair of gripping mechanisms 24 provided on the fork 21 are arranged inside the pair of gripping mechanisms 23 in the long side direction of the fork 20.

파지 기구(23)는, 기판(2)의 긴 변 방향과 포크(20)의 긴 변 방향이 일치하도록 포크(20)의 상면측에 기판(2)이 적재될 때, 기판(2)의 테두리 부분(2a)을 파지 가능한 위치에 배치되어 있다. 파지 기구(24)는, 기판(2)의 짧은 변 방향과 포크(20)의 긴 변 방향이 일치하도록 포크(20, 21)의 상면측에 기판(2)이 적재될 때, 기판(2)의 테두리 부분(2a)을 파지 가능한 위치에 배치되어 있다. 기판(2)의 긴 변 방향과 포크(20)의 긴 변 방향이 일치하도록 포크(20)에 적재되는 기판(2)은, 8개의 파지 기구(23)에 파지되어 있다. 기판(2)의 짧은 변 방향과 포크(20)의 긴 변 방향이 일치하도록 포크(20, 21)에 적재되는 기판(2)은, 12개의 파지 기구(24)에 파지되어 있다.The gripping mechanism 23 operates on the edge of the substrate 2 when the substrate 2 is loaded on the upper surface side of the fork 20 so that the long side direction of the substrate 2 and the long side direction of the fork 20 coincide. The part 2a is arranged in a position where it can be held. The holding mechanism 24 holds the substrate 2 when the substrate 2 is loaded on the upper surfaces of the forks 20 and 21 so that the direction of the short side of the substrate 2 matches the direction of the long side of the fork 20. The edge portion 2a of is arranged in a position where it can be gripped. The board 2 loaded on the fork 20 is held by eight holding mechanisms 23 so that the direction of the long side of the board 2 matches the direction of the long side of the fork 20. The substrate 2 loaded on the forks 20 and 21 is held by twelve holding mechanisms 24 so that the direction of the short side of the substrate 2 coincides with the direction of the long side of the fork 20.

도 5의 (A)에 나타낸 바와 같이, 파지 기구(23)는, 기판(2)을 하측으로부터 지지하기 위한 지지 부재(26)와, 기판(2)의 하면을 흡착하는 흡착 패드(27)를 구비하고 있다. 도 5의 (B)에 나타낸 바와 같이, 파지 기구(24)는, 기판(2)을 하측으로부터 지지하기 위한 지지 부재(28)와, 기판(2)의 하면을 흡착하는 흡착 패드(29)를 구비하고 있다. 본 형태의 지지 부재(26)는 제1 지지 부재이고, 흡착 패드(27)는 제1 흡착 패드이다. 또한, 지지 부재(28)는 제2 지지 부재이고, 흡착 패드(29)는 제2 흡착 패드이다.As shown in FIG. 5 (A), the holding mechanism 23 includes a support member 26 for supporting the substrate 2 from the bottom and a suction pad 27 for adsorbing the lower surface of the substrate 2. It is available. As shown in FIG. 5 (B), the holding mechanism 24 includes a support member 28 for supporting the substrate 2 from the bottom and a suction pad 29 for adsorbing the lower surface of the substrate 2. It is available. The support member 26 of this embodiment is the first support member, and the suction pad 27 is the first suction pad. Additionally, the support member 28 is a second support member, and the suction pad 29 is a second suction pad.

지지 부재(26, 28)는 수지로 형성되어 있다. 예를 들어, 지지 부재(26, 28)는 폴리에테르에테르케톤으로 형성되어 있다. 지지 부재(26, 28)는 직육면체 형상으로 형성되어 있다. 지지 부재(26)는 포크(20)의 상면에 고정되고, 지지 부재(28)는 포크(20, 21)의 상면에 고정되어 있다. 지지 부재(26, 28)의 상면은, 상하 방향으로 대략 직교하는 평면으로 되어 있다. 지지 부재(26, 28)의 상면에는, 기판(2)이 적재 가능하게 되어 있다. 지지 부재(26)의 상면에는, 기판(2)의 긴 변 방향과 포크(20)의 긴 변 방향이 일치하도록 포크(20)에 기판(2)이 적재될 때, 기판(2)의 하면(구체적으로는, 테두리 부분(2a)의 하면)이 접촉한다. 지지 부재(28)의 상면에는, 기판(2)의 짧은 변 방향과 포크(20)의 긴 변 방향이 일치하도록 포크(20, 21)에 기판(2)이 적재될 때, 기판(2)의 하면(구체적으로는, 테두리 부분(2a)의 하면)이 접촉한다.The support members 26 and 28 are made of resin. For example, the support members 26 and 28 are made of polyetheretherketone. The support members 26 and 28 are formed in a rectangular parallelepiped shape. The support member 26 is fixed to the upper surface of the fork 20, and the support member 28 is fixed to the upper surface of the forks 20 and 21. The upper surfaces of the support members 26 and 28 are planes that are substantially orthogonal in the vertical direction. The substrate 2 can be placed on the upper surfaces of the support members 26 and 28. When the substrate 2 is loaded on the fork 20 so that the long side direction of the substrate 2 and the long side direction of the fork 20 coincide with the upper surface of the support member 26, the lower surface of the substrate 2 ( Specifically, the lower surface of the edge portion 2a) contacts. On the upper surface of the support member 28, when the substrate 2 is loaded on the forks 20 and 21 so that the short side direction of the substrate 2 and the long side direction of the fork 20 coincide, the substrate 2 The lower surface (specifically, the lower surface of the edge portion 2a) is in contact.

흡착 패드(27, 29)는 고무로 형성되어 있다. 예를 들어, 흡착 패드(27, 29)는 불소 고무로 형성되어 있다. 흡착 패드(27)는, 포크(20)의 상면측에 설치되어 있다. 흡착 패드(27)의 상단은, 포크(20)에 대하여 상하 방향으로 약간 이동 가능하게 되어 있다. 흡착 패드(29)는 포크(20, 21)의 상면측에 설치되어 있다. 흡착 패드(29)의 상단은, 포크(20, 21)에 대하여 상하 방향으로 약간 이동 가능하게 되어 있다. 흡착 패드(27)는, 지지 부재(26)의 근방에 배치되어 있고, 기판(2)의 테두리 부분(2a)의, 지지 부재(26)에 적재된 개소의 근방을 흡착한다. 흡착 패드(29)는, 지지 부재(28)의 근방에 배치되어 있고, 기판(2)의 테두리 부분(2a)의, 지지 부재(28)에 적재된 개소의 근방을 흡착한다.The suction pads 27 and 29 are made of rubber. For example, the suction pads 27 and 29 are made of fluorine rubber. The suction pad 27 is installed on the upper surface side of the fork 20. The upper end of the suction pad 27 is slightly movable in the vertical direction with respect to the fork 20. The suction pad 29 is installed on the upper surface side of the forks 20 and 21. The upper end of the suction pad 29 is slightly movable in the vertical direction with respect to the forks 20 and 21. The suction pad 27 is disposed near the support member 26 and adsorbs the vicinity of the portion of the edge portion 2a of the substrate 2 placed on the support member 26. The suction pad 29 is disposed near the support member 28 and adsorbs the vicinity of the portion of the edge portion 2a of the substrate 2 placed on the support member 28.

흡착 패드(27, 29)에는, 진공 펌프 등의 흡인 기구가 배관을 통해 접속되어 있다. 본 형태에서는, 기판(2)의 긴 변 방향과 포크(20)의 긴 변 방향이 일치하도록 포크(20)에 기판(2)이 적재될 때, 흡착 패드(27)만이 기판(2)을 흡인하여 흡착 하고, 또한 기판(2)의 짧은 변 방향과 포크(20)의 긴 변 방향이 일치하도록 포크(20, 21)에 기판(2)이 적재될 때, 흡착 패드(29)만이 기판(2)을 흡인하여 흡착하도록, 흡착 패드(27, 29)에 연결되는 배관의 경로 등이 설정되어 있다.A suction mechanism such as a vacuum pump is connected to the suction pads 27 and 29 through a pipe. In this form, when the substrate 2 is loaded on the fork 20 so that the long side direction of the substrate 2 coincides with the long side direction of the fork 20, only the suction pad 27 suctions the substrate 2. When the substrate 2 is loaded on the forks 20 and 21 so that the direction of the short side of the substrate 2 matches the direction of the long side of the fork 20, only the suction pad 29 adheres to the substrate 2. ), the path of the piping connected to the adsorption pads 27 and 29 is set to suction and adsorb.

지지 부재(26)의 상면은, 흡착 패드(27)의 상단(구체적으로는, 흡착 패드(27)가 기판(2)을 흡착하고 있지 않을 때의 흡착 패드(27)의 상단)보다도 상측에 배치되어 있다. 지지 부재(28)의 상면은, 흡착 패드(29)의 상단(구체적으로는, 흡착 패드(29)가 기판(2)을 흡착하고 있지 않을 때의 흡착 패드(29)의 상단)보다도 상측에 배치되어 있다. 지지 부재(28)의 상면은, 지지 부재(26)의 상면보다도 하측에 배치되어 있다. 흡착 패드(29)의 상단은, 흡착 패드(27)의 상단보다도 하측에 배치되어 있다. 또한, 지지 부재(28)의 상면은, 흡착 패드(27)의 상단보다도 하측에 배치되어 있다. 즉, 파지 기구(24)의 상단은, 파지 기구(23)의 상단보다도 하측에 배치되어 있다.The upper surface of the support member 26 is disposed above the upper end of the suction pad 27 (specifically, the upper end of the suction pad 27 when the suction pad 27 is not adsorbing the substrate 2). It is done. The upper surface of the support member 28 is disposed above the upper end of the suction pad 29 (specifically, the upper end of the suction pad 29 when the suction pad 29 is not adsorbing the substrate 2). It is done. The upper surface of the support member 28 is disposed lower than the upper surface of the support member 26. The upper end of the suction pad 29 is disposed lower than the upper end of the suction pad 27. Additionally, the upper surface of the support member 28 is disposed lower than the upper end of the suction pad 27. That is, the upper end of the holding mechanism 24 is disposed lower than the upper end of the holding mechanism 23.

예를 들어, 포크(20)의 상면에 대한 지지 부재(28)의 상면의 높이 H1과, 포크(20)의 상면에 대한 지지 부재(26)의 상면의 높이 H2의 차는, 2.5(㎜) 정도로 되어 있고, 포크(20)의 상면에 대한 흡착 패드(29)의 상단의 높이(구체적으로는, 흡착 패드(29)가 기판(2)을 흡착하고 있지 않을 때의, 포크(20)의 상면에 대한 흡착 패드(29)의 상단의 높이) H3과, 포크(20)의 상면에 대한 흡착 패드(27)의 상단의 높이(구체적으로는, 흡착 패드(27)가 기판(2)을 흡착하고 있지 않을 때의, 포크(20)의 상면에 대한 흡착 패드(27)의 상단의 높이) H4의 차는, 2(㎜) 정도로 되어 있다. 또한, 높이 H1과 높이 H4의 차는, 0.5(㎜) 정도로 되어 있다.For example, the difference between the height H1 of the upper surface of the support member 28 with respect to the upper surface of the fork 20 and the height H2 of the upper surface of the support member 26 with respect to the upper surface of the fork 20 is about 2.5 (mm). and the height of the upper end of the suction pad 29 relative to the upper surface of the fork 20 (specifically, the upper surface of the fork 20 when the suction pad 29 is not adsorbing the substrate 2). The height of the top of the suction pad 29 relative to the upper surface of the fork 20) H3, and the height of the upper end of the suction pad 27 relative to the upper surface of the fork 20 (specifically, the suction pad 27 is not adsorbing the substrate 2). When not in use, the difference in height (H4) of the upper end of the suction pad 27 with respect to the upper surface of the fork 20 is approximately 2 (mm). Additionally, the difference between height H1 and height H4 is about 0.5 (mm).

(본 형태의 주된 효과)(main effect of this form)

이상 설명한 바와 같이, 본 형태에서는, 포크(20)에, 한 쌍의 파지 기구(23)와 한 쌍의 파지 기구(24)가 설치되고, 포크(21)에, 한 쌍의 파지 기구(24)가 설치되어 있다. 또한, 본 형태에서는, 한 쌍의 파지 기구(24)는, 포크(20)의 긴 변 방향에 있어서 한 쌍의 파지 기구(23)의 내측에 배치되어 있다. 또한, 본 형태에서는, 파지 기구(24)는, 기판(2)의 짧은 변 방향과 포크(20)의 긴 변 방향이 일치하도록 포크(20, 21)의 상면측에 기판(2)이 적재될 때, 기판(2)의 테두리 부분(2a)을 파지 가능한 위치에 배치되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 기판(2)의 짧은 변 방향과 포크(20)의 긴 변 방향이 일치하도록 포크(20, 21)의 상면측에 기판(2)이 적재될 때, 4개의 포크(20)와 2개의 포크(21)에 설치된 복수의 파지 기구(24)에 의해(구체적으로는, 12개의 파지 기구(24)에 의해) 기판(2)의 테두리 부분(2a)만을 파지하는 것이 가능해진다.As described above, in this form, a pair of gripping mechanisms 23 and a pair of gripping mechanisms 24 are provided on the fork 20, and a pair of gripping mechanisms 24 are provided on the fork 21. is installed. Additionally, in this form, the pair of gripping mechanisms 24 are arranged inside the pair of gripping mechanisms 23 in the long side direction of the fork 20. In addition, in this form, the holding mechanism 24 allows the substrate 2 to be loaded on the upper surfaces of the forks 20 and 21 so that the short side direction of the substrate 2 and the long side direction of the fork 20 coincide. When doing so, the edge portion 2a of the substrate 2 is disposed in a position where it can be gripped. Therefore, in this form, when the substrate 2 is loaded on the upper surface side of the forks 20 and 21 so that the short side direction of the substrate 2 and the long side direction of the fork 20 coincide, four forks ( It is possible to grip only the edge portion 2a of the substrate 2 by using the plurality of gripping mechanisms 24 provided on the 20) and the two forks 21 (specifically, the 12 gripping mechanisms 24). It becomes.

또한, 본 형태에서는, 파지 기구(23)는, 기판(2)의 긴 변 방향과 포크(20)의 긴 변 방향이 일치하도록 포크(20)의 상면측에 기판(2)이 적재될 때, 기판(2)의 테두리 부분(2a)을 파지 가능한 위치에 배치됨과 함께, 파지 기구(24)의 상단은, 파지 기구(23)의 상단보다도 하측에 배치되어 있기 때문에, 기판(2)의 긴 변 방향과 포크(20)의 긴 변 방향이 일치하도록 포크(20)의 상면측에 기판(2)이 적재될 때, 4개의 포크(20)에 설치된 복수의 파지 기구(23)에 의해(구체적으로는, 8개의 파지 기구(23)에 의해) 기판(2)의 테두리 부분(2a)만을 파지하는 것이 가능해진다.In addition, in this form, the holding mechanism 23 is configured to operate when the substrate 2 is placed on the upper surface side of the fork 20 so that the long side direction of the substrate 2 coincides with the long side direction of the fork 20. Since the edge portion 2a of the substrate 2 is disposed in a position capable of holding it, and the upper end of the holding mechanism 24 is disposed lower than the upper end of the holding mechanism 23, the long side of the substrate 2 When the substrate 2 is loaded on the upper surface side of the fork 20 so that the direction and the direction of the long side of the fork 20 match, it is held by a plurality of holding mechanisms 23 installed on the four forks 20 (specifically, It becomes possible to hold only the edge portion 2a of the substrate 2 using the eight holding mechanisms 23.

이와 같이, 본 형태에서는, 기판(2)의 짧은 변 방향과 포크(20)의 긴 변 방향이 일치하도록 포크(20, 21)의 상면측에 기판(2)이 적재될 때, 복수의 파지 기구(24)에 의해 기판(2)의 테두리 부분(2a)만을 파지하는 것이 가능해짐과 함께, 기판(2)의 긴 변 방향과 포크(20)의 긴 변 방향이 일치하도록 포크(20)의 상면측에 기판(2)이 적재될 때, 복수의 파지 기구(23)에 의해 기판(2)의 테두리 부분(2a)만을 파지하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 형태에서는, 기판(2)의 테두리 부분(2a)만을 파지하는 경우라도, 또한 기판(2)의 긴 변 방향과 포크(20)의 긴 변 방향이 일치하도록 포크(20)의 상면측에 기판(2)이 적재되는 경우 및 기판(2)의 짧은 변 방향과 포크(20)의 긴 변 방향이 일치하도록 포크(20, 21)의 상면측에 기판(2)이 적재되는 경우의 어느 경우라도, 기판(2)을 안정적으로 파지하는 것이 가능해진다.In this way, in this form, when the substrate 2 is loaded on the upper surfaces of the forks 20 and 21 so that the short side direction of the substrate 2 and the long side direction of the fork 20 coincide, a plurality of holding mechanisms (24) makes it possible to grip only the edge portion 2a of the substrate 2, and the upper surface of the fork 20 is aligned so that the long side direction of the substrate 2 and the long side direction of the fork 20 are aligned. When the substrate 2 is placed on the side, only the edge portion 2a of the substrate 2 can be held by the plurality of holding mechanisms 23. Therefore, in this form, even when only the edge portion 2a of the substrate 2 is held, the upper surface side of the fork 20 is aligned so that the long side direction of the substrate 2 and the long side direction of the fork 20 coincide. In which case the substrate 2 is loaded on the upper surface side of the fork 20 and 21 so that the short side direction of the substrate 2 and the long side direction of the fork 20 match. Even in this case, it becomes possible to stably hold the substrate 2.

본 형태에서는, 핸드(3)는, 포크(20)의 긴 변 방향과 상하 방향으로 직교하는 방향에 있어서 4개의 포크(20)의 외측에 배치되는 2개의 포크(21)를 구비하고 있다. 또한, 본 형태에서는, 2개의 포크(21)에 한 쌍의 파지 기구(24)가 설치되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 기판(2)의 짧은 변 방향과 포크(20)의 긴 변 방향이 일치하도록 포크(20, 21)의 상면측에 기판(2)이 적재되는 경우에, 포크(21)에 설치되는 파지 기구(24)를 사용하여, 기판(2)을 더 안정적으로 파지하는 것이 가능해진다.In this form, the hand 3 is provided with two forks 21 disposed outside the four forks 20 in a direction perpendicular to the vertical direction of the long side of the forks 20. Additionally, in this form, a pair of holding mechanisms 24 are provided on the two forks 21. Therefore, in this form, when the substrate 2 is placed on the upper surface side of the forks 20 and 21 so that the short side direction of the substrate 2 and the long side direction of the fork 20 coincide, the fork 21 ), it becomes possible to hold the substrate 2 more stably by using the holding mechanism 24 provided in the.

(다른 실시 형태)(Other Embodiments)

상술한 형태는, 본 발명의 적합한 형태의 일례이지만, 이것에 한정되는 것은 아니고 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 있어서 다양한 변형 실시가 가능하다.Although the above-described form is an example of a suitable form of the present invention, it is not limited to this and various modifications and implementations are possible without changing the gist of the present invention.

상술한 형태에 있어서, 지지 부재(26)의 상면과 흡착 패드(27)의 상단이 상하 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있어도 되고, 흡착 패드(27)의 상단이 지지 부재(26)의 상면보다 상측에 배치되어 있어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 지지 부재(28)의 상면과 흡착 패드(29)의 상단이 상하 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있어도 되고, 흡착 패드(29)의 상단이 지지 부재(28)의 상면보다 상측에 배치되어 있어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 파지 기구(23, 24)는, 지지 부재(26, 28)를 구비하고 있지 않아도 된다.In the above-described form, the upper surface of the support member 26 and the upper end of the suction pad 27 may be disposed at the same position in the vertical direction, and the upper end of the suction pad 27 may be higher than the upper surface of the support member 26. It may be placed on the upper side. Additionally, in the above-described form, the upper surface of the support member 28 and the upper end of the suction pad 29 may be disposed at the same position in the vertical direction, and the upper surface of the suction pad 29 may be located at the upper end of the support member 28. It may be disposed above the upper surface. Additionally, in the above-described form, the holding mechanisms 23 and 24 do not need to be provided with the support members 26 and 28.

상술한 형태에 있어서, 포크(21)의 길이와 포크(20)의 길이가 동등하게 되어 있어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 핸드(3)는, 포크(21)를 구비하고 있지 않아도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 핸드(3)가 갖는 포크(20)의 수는, 2개 또는 3개여도 되고, 5개 이상이어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 로봇(1)이 갖는 핸드(3)의 수는 1개여도 된다. 이 경우에는, 로봇(1)은, 1개의 암(4)을 구비하고 있다.In the form described above, the length of the fork 21 and the length of the fork 20 may be equal. Additionally, in the above-described form, the hand 3 does not need to be provided with the fork 21. Additionally, in the form described above, the number of forks 20 included in the hand 3 may be two or three, or five or more. Additionally, in the above-described form, the number of hands 3 that the robot 1 has may be one. In this case, the robot 1 is equipped with one arm 4.

상술한 형태에 있어서, 2개의 핸드(3)가 1개의 암(4)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있어도 된다. 이 경우에는, 예를 들어 일본 특허 공개 제2021-13961호 공보에 개시되어 있는 바와 같이, 암(4)은, 2개의 선단측 암부와 공통 암부에 의해 구성되어 있어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 로봇(1)은, 예를 들어 일본 특허 공개 제2019-25587호 공보에 개시되어 있는 바와 같이, 수평 방향으로의 핸드(3)의 직선적인 슬라이드가 가능해지도록 핸드(3)를 보유 지지하는 핸드 보유 지지부를 구비하고 있어도 된다. 이 경우에는, 로봇(1)은, 핸드 보유 지지부에 대하여 핸드(3)를 수평 방향으로 직선적으로 이동시키는 수평 구동 기구를 구비하고 있다.In the above-described form, two hands 3 may be rotatably connected to the distal end of one arm 4. In this case, for example, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2021-13961, the arm 4 may be composed of two distal arm portions and a common arm portion. Additionally, in the above-described form, the robot 1 has a hand ( 3) A hand holding support portion may be provided to hold and support the device. In this case, the robot 1 is equipped with a horizontal drive mechanism that linearly moves the hand 3 in the horizontal direction with respect to the hand holding portion.

상술한 형태에서는, 본체부(5)는, 수평 방향으로 이동 가능하게 되어 있지만, 본체부(5)는 고정되어 있어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 암(4)은, 3개 이상의 암부에 의해 구성되어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 로봇(1)은, 기판(2) 이외의, 직사각형의 평판 형상으로 형성되는 반송 대상물을 반송하는 로봇이어도 된다.In the form described above, the main body 5 is movable in the horizontal direction, but the main body 5 may be fixed. Additionally, in the above-described form, the arm 4 may be comprised of three or more arm portions. In addition, in the above-described form, the robot 1 may be a robot that transports objects other than the substrate 2 that are to be transported in the shape of a rectangular flat plate.

(본 기술의 구성)(Composition of this technology)

또한, 본 기술은 이하와 같은 구성을 취하는 것이 가능하다.Additionally, the present technology can have the following configuration.

(1) 직사각형의 평판 형상으로 형성되는 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇의 핸드에 있어서,(1) In the hand of an industrial robot that transports a transport object formed in a rectangular flat shape,

상면측에 상기 반송 대상물이 적재되는 직선 형상의 복수의 포크와, 복수의 상기 포크의 기단이 연결되는 핸드 기부와, 복수의 상기 포크의 상면측에 적재되는 상기 반송 대상물을 흡착하여 파지하기 위한 복수의 제1 파지 기구 및 제2 파지 기구를 구비하고,A plurality of straight forks on which the transport object is loaded on the upper surface side, a hand base to which the base ends of the plurality of forks are connected, and a plurality of forks for adsorbing and holding the transport object loaded on the upper surface side of the plurality of forks It has a first gripping mechanism and a second gripping mechanism,

상기 포크에는, 한 쌍의 상기 제1 파지 기구와 한 쌍의 상기 제2 파지 기구가 설치되고,A pair of first gripping mechanisms and a pair of second gripping mechanisms are installed on the fork,

한 쌍의 상기 제2 파지 기구는, 상기 포크의 긴 변 방향에 있어서 한 쌍의 상기 제1 파지 기구의 내측에 배치되고,The pair of second gripping mechanisms are disposed inside the pair of first gripping mechanisms in the long side direction of the fork,

상기 제2 파지 기구의 상단은, 상기 제1 파지 기구의 상단보다도 하측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 핸드.A hand characterized in that the upper end of the second holding mechanism is disposed lower than the upper end of the first holding mechanism.

(2) 상기 제1 파지 기구는, 상기 반송 대상물을 하측으로부터 지지하기 위한 제1 지지 부재와, 상기 반송 대상물의 하면을 흡착하는 제1 흡착 패드를 구비하고,(2) The first holding mechanism includes a first support member for supporting the conveyed object from below, and a first suction pad for adsorbing the lower surface of the conveyed object,

상기 제2 파지 기구는, 상기 반송 대상물을 하측으로부터 지지하기 위한 제2 지지 부재와, 상기 반송 대상물의 하면을 흡착하는 제2 흡착 패드를 구비하고,The second holding mechanism includes a second support member for supporting the transported object from below, and a second suction pad for adsorbing a lower surface of the transported object,

상기 제1 지지 부재의 상면 및 상기 제2 지지 부재의 상면에는, 상기 반송 대상물이 적재 가능하게 되어 있고,The object to be transported can be loaded on the upper surface of the first supporting member and the upper surface of the second supporting member,

상기 제2 지지 부재의 상면은, 상기 제1 지지 부재의 상면보다도 하측에 배치되고,The upper surface of the second support member is disposed lower than the upper surface of the first support member,

상기 제2 흡착 패드의 상단은, 상기 제1 흡착 패드의 상단보다도 하측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 (1)에 기재된 핸드.The hand according to (1), wherein the upper end of the second suction pad is disposed lower than the upper end of the first suction pad.

(3) 상면측에 상기 반송 대상물이 적재되는 직선 형상의 2개의 제2 포크를 구비하고,(3) Equipped with two straight second forks on which the transport object is loaded on the upper surface side,

상기 제2 포크의 기단은 상기 핸드 기부에 연결되고,The base end of the second fork is connected to the base of the hand,

상기 제2 포크의 길이는 상기 포크의 길이보다도 짧게 되어 있고,The length of the second fork is shorter than the length of the fork,

2개의 상기 제2 포크의 각각은, 상기 포크의 긴 변 방향과 상하 방향으로 직교하는 방향에 있어서 복수의 상기 포크의 외측에 배치되고,Each of the two second forks is disposed outside the plurality of forks in a direction perpendicular to the vertical direction of the long side of the fork,

상기 제2 포크에는, 한 쌍의 상기 제2 파지 기구가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 (1) 또는 (2)에 기재된 핸드.The hand according to (1) or (2), wherein a pair of the second gripping mechanisms are provided on the second fork.

(4) (1) 내지 (3)의 어느 것에 기재된 핸드와, 상기 핸드가 선단측으로 회동 가능하게 연결되는 암과, 상기 암의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.(4) An industrial application comprising the hand according to any one of (1) to (3), an arm to which the hand is rotatably connected to the distal end, and a main body to which the proximal end of the arm is rotatably connected. robot.

1: 로봇(산업용 로봇)
2: 기판(유리 기판, 반송 대상물)
3: 핸드
4: 암
5: 본체부
20: 포크
21: 포크(제2 포크)
22: 핸드 기부
23: 파지 기구(제1 파지 기구)
24: 파지 기구(제2 파지 기구)
26: 지지 부재(제1 지지 부재)
27: 흡착 패드(제1 흡착 패드)
28: 지지 부재(제2 지지 부재)
29: 흡착 패드(제2 흡착 패드)1: Robot (industrial robot)
2: Substrate (glass substrate, conveyed object)
3: hand
4: cancer
5: Main body
20: fork
21: Fork (second fork)
22: Hand Donation
23: gripping mechanism (first gripping mechanism)
24: gripping mechanism (second gripping mechanism)
26: Support member (first support member)
27: Suction pad (first suction pad)
28: Support member (second support member)
29: Suction pad (second suction pad)

Claims

In the hand of an industrial robot that transports a transport object formed in a rectangular flat shape,
A plurality of straight forks on which the transport object is loaded on the upper surface side, a hand base to which the base ends of the plurality of forks are connected, and a plurality of forks for adsorbing and holding the transport object loaded on the upper surface side of the plurality of forks It has a first gripping mechanism and a second gripping mechanism,
A pair of first gripping mechanisms and a pair of second gripping mechanisms are installed on the fork,
The pair of second gripping mechanisms are disposed inside the pair of first gripping mechanisms in the long side direction of the fork,
A hand characterized in that the upper end of the second holding mechanism is disposed lower than the upper end of the first holding mechanism.

The method according to claim 1, wherein the first holding mechanism includes a first support member for supporting the object to be transported from a lower side, and a first suction pad for adsorbing a lower surface of the object to be transported,
The second holding mechanism includes a second support member for supporting the transported object from below, and a second suction pad for adsorbing a lower surface of the transported object,
The object to be transported can be loaded on the upper surface of the first supporting member and the upper surface of the second supporting member,
The upper surface of the second support member is disposed lower than the upper surface of the first support member,
A hand characterized in that the upper end of the second suction pad is disposed lower than the upper end of the first suction pad.

The method according to claim 1 or 2, comprising two straight second forks on which the conveyed object is loaded on the upper surface side,
The base end of the second fork is connected to the base of the hand,
The length of the second fork is shorter than the length of the fork,
Each of the two second forks is disposed outside the plurality of forks in a direction perpendicular to the vertical direction of the long side of the fork,
A hand, characterized in that a pair of the second gripping mechanisms are installed on the second fork.

An industrial robot comprising the hand according to claim 1 or 2, an arm to which the hand is rotatably connected to a distal end, and a main body to which a proximal end of the arm is rotatably connected.