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KR20230143345A - Rotate unit for OHT device - Google Patents

Rotate unit for OHT device Download PDF

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KR20230143345A
KR20230143345A KR1020220042106A KR20220042106A KR20230143345A KR 20230143345 A KR20230143345 A KR 20230143345A KR 1020220042106 A KR1020220042106 A KR 1020220042106A KR 20220042106 A KR20220042106 A KR 20220042106A KR 20230143345 A KR20230143345 A KR 20230143345A
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South Korea
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unit
rotating plate
oht device
oht
rotation
Prior art date
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KR1020220042106A
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Inventor
송재연
최진실
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시너스텍 주식회사
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Publication date
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Abstract

The present invention is to rotate a gripper in an OHT device. The present invention relates to a rotation unit for an OHT device that enables angle correction with semiconductor production equipment during transfer and loading processes of the OHT device. To solve this purpose, the present invention comprises: a fixing plate (100) installed and fixed into the OHT device (10) and having a main shaft portion (120) on the inside thereof; a rotation plate (200) rotating around the main shaft portion (120); and a driving portion (300) providing power to the rotation plate (200) to selectively rotate the rotation plate (200) around the main shaft portion (120).

Description

OHT 장치용 로테이트 유닛 {Rotate unit for OHT device}Rotate unit for OHT device {Rotate unit for OHT device}

본 발명은 OHT 장치에서 그리퍼를 회전시키기 위한 것으로, OHT 장치의 이적재 과정에서 반도체 생산 장비와의 각도 보정을 가능하게 하는 OHT 장치용 로테이트 유닛에 관한 것이다.The present invention is for rotating a gripper in an OHT device, and relates to a rotation unit for an OHT device that enables angle correction with semiconductor production equipment during the transfer and loading process of the OHT device.

일반적으로, 반도체 제작을 위한 웨이퍼(Wafer)는 반도체 제작까지 수많은 공정을 진행함으로 웨이퍼의 대량 운반 및 안정적인 운반을 위해 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치를 활용하고 있으며, OHT 장치는 반도체 제조 공정 사이를 천장에 설치된 레일을 통해 이동이 가능하고, 이를 통해 웨이퍼가 적재되는 캐리어를 각 공정별로 운반시킬 수 있다.In general, wafers for semiconductor manufacturing undergo numerous processes until semiconductor manufacturing, so OHT (Overhead Hoist Transport) devices are utilized for mass transportation and stable transportation of wafers. OHT devices are used to transport wafers between semiconductor manufacturing processes. It can be moved through the rail installed on the wafer, and through this, the carrier on which the wafer is loaded can be transported for each process.

이러한 OHT 장치는 레일 하부로 반도체 제조 공정에 맞게 설치된 반도체 생산 장비들에 웨이퍼 캐리어를 이적재 시키는 과정에서 틀어짐이 발생하는 경우 OHT 장치에 마련된 로테이터 유닛을 이용해 틀어짐에 대한 각도 보정이 필요하다.This OHT device requires angle correction for the distortion using the rotator unit provided in the OHT device when distortion occurs in the process of transferring and loading the wafer carrier to the semiconductor production equipment installed in accordance with the semiconductor manufacturing process under the rail.

예를 들어, 한국등록특허공보 제10-2265110호를 살펴보면, 천장에 설치된 레일어셈블리의 주행레일을 따라 주행하는 주행모듈, 상기 주행모듈의 하부에 구비되어 주행방향에 대하여 수직 방향으로 평면 이동을 구현하는 슬라이딩모듈, 상기 슬라이딩모듈 하부에 구비되는 호이스트모듈 및 상기 호이스트모듈에 의해 승강되며 이송대상을 파지하는 그리퍼모듈을 구비하는 OHT 장치가 제시되어 있다.For example, looking at Korean Patent Publication No. 10-2265110, a travel module runs along the travel rail of a rail assembly installed on the ceiling, and is provided at the bottom of the travel module to implement plane movement in the direction perpendicular to the travel direction. An OHT device is presented that includes a sliding module, a hoist module provided below the sliding module, and a gripper module that is lifted and lowered by the hoist module and grips the object to be transported.

또한, 한국등록특허공보 제10-1998331호를 살펴보면, 가이드 레일에 연결되어 상기 가이드 레일을 따라 이동 가능한 몸체부; 상기 몸체부에 서로 이격되어 설치되며, 이송 대상물을 각각 파지하는 복수의 헤드부; 및 상기 복수의 헤드부와 각각 연결되며, 상기 복수의 헤드부를 각각 승강시키는 복수의 승강부;를 포함한 이송 유닛이 제시되어 있다.In addition, looking at Korean Patent Publication No. 10-1998331, a body part connected to a guide rail and movable along the guide rail; A plurality of head parts installed on the body part to be spaced apart from each other and each holding a transfer object; and a plurality of lifting units respectively connected to the plurality of head units and elevating the plurality of head units.

그러나 종래에는 OHT 장치에 그리퍼를 회전시키기 위한 로테이트 유닛이 적용되어 있으나, 종래의 로테이트 유닛은 회전을 위해 타이밍벨트 방식 등 매우 복잡한 구조로 이루어져 부피가 큰 문제가 있으며, 타이밍벨트 방식은 반도체 생산라인에서 불량을 야기하는 파티클이 발생할 가능성이 높은 문제점이 있었다.However, conventionally, a rotation unit is applied to the OHT device to rotate the gripper, but the conventional rotation unit has a very complex structure such as a timing belt type for rotation, which has the problem of being bulky, and the timing belt type is used in the semiconductor production line. There was a problem that there was a high possibility of particles causing defects.

한국등록특허공보 제10-2265110호(등록일:2021.06.09)Korean Patent Publication No. 10-2265110 (registration date: 2021.06.09) 한국등록특허공보 제10-1998331호(등록일:2019.07.03)Korean Patent Publication No. 10-1998331 (registration date: 2019.07.03)

본 발명은 종래의 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 회전운동을 직선운동으로 전환시키는 구조로 그리퍼가 장착된 회전판을 회전시켜 각도 보정을 수행하도록 구성함으로써, 로테이트 유닛의 구조를 단순화시켜 부피를 줄이고, 파티클의 발생을 최소화하도록 하는데 그 목적이 있다.The present invention is intended to solve the conventional problems, and is configured to perform angle correction by rotating a rotating plate equipped with a gripper in a structure that converts rotational movement into linear movement, thereby simplifying the structure of the rotation unit, reducing the volume, and reducing particle size. The purpose is to minimize the occurrence of.

또한, 본 발명은 회전각에 대응하여 위치 감지를 수행하는 센서를 적용함으로써, 보다 정밀한 회전 동작을 가능하게 하는데 그 목적이 있다.Additionally, the purpose of the present invention is to enable more precise rotation by applying a sensor that detects position in response to the rotation angle.

이와 같은 목적을 해결하기 위해 본 발명은;To solve this purpose, the present invention;

OHT 장치에 설치 고정되며, 내측에 메인축부가 구비된 고정판과;A fixing plate installed and fixed to the OHT device and having a main shaft portion on the inside;

상기 메인축부를 중심으로 회전하는 회전판과;a rotating plate rotating around the main shaft;

상기 회전판에 동력을 제공하여 상기 메인축부를 중심으로 회전판을 선택적 회전되게 하는 구동부;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 OHT 장치용 로테이트 유닛을 제공한다.A rotation unit for an OHT device is provided, comprising a driving unit that provides power to the rotating plate to selectively rotate the rotating plate about the main shaft.

이러한 본 발명에 따르면, 로테이트 유닛의 구조가 단순화되어 부피가 줄고 모터와 캠을 이용한 방식으로 타이밍벨트가 없어 파티클의 발생이 최소화되는 효과가 있으며, 센서를 통해 위치 감지를 수행하여 보다 정밀한 회전 동작이 가능한 효과가 있다.According to this invention, the structure of the rotation unit is simplified, reducing the volume, and there is no timing belt by using a motor and a cam, which has the effect of minimizing the generation of particles. Position detection is performed through a sensor to enable more precise rotation. There is a possible effect.

도 1은 본 발명에 따른 OHT 장치용 로테이트 유닛의 전체 구성도.
도 2는 본 발명에 따른 OHT 장치용 로테이트 유닛의 사시도.
도 3은 본 발명에 따른 OHT 장치용 로테이트 유닛의 저면부 분해사시도.
도 4 내지 도 5는 본 발명에 따른 OHT 장치용 로테이트 유닛의 작동 상태도이다.1 is an overall configuration diagram of a rotation unit for an OHT device according to the present invention.
Figure 2 is a perspective view of a rotation unit for an OHT device according to the present invention.
Figure 3 is an exploded perspective view of the bottom portion of the rotation unit for an OHT device according to the present invention.
4 to 5 are diagrams showing the operating state of the rotation unit for the OHT device according to the present invention.

본 발명에 따른 OHT 장치용 로테이트 유닛을 첨부된 도면을 참고로 하여 이하 상세히 기술되는 실시 예들에 의해 그 특징들을 이해할 수 있을 것이다.The features of the rotation unit for an OHT device according to the present invention can be understood through embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings.

한편, 실시 예를 설명함에 있어 본 발명이 속하거나 속하지 아니한 기술분야에서 광범위하게 널리 알려져 사용되고 있는 구성요소에 대해서는 이에 대한 상세한 설명은 생략하도록 하며, 이는 불필요한 설명을 생략함과 더불어 이에 따른 본 발명의 요지를 더욱 명확하게 전달하기 위함이다.Meanwhile, in describing the embodiments, detailed descriptions of components that are widely known and used in the technical field to which the present invention belongs or not are omitted. This not only omits unnecessary descriptions, but also omits the contents of the present invention accordingly. This is to convey the point more clearly.

이하, 도 1 내지 도 3은 본 발명의 OHT 장치용 로테이트 유닛의 각 구성을 설명하기 위한 도면이다.Hereinafter, Figures 1 to 3 are diagrams for explaining each configuration of the rotation unit for the OHT device of the present invention.

이에 따른 OHT 장치용 로테이트 유닛(1)을 개략적으로 살펴보면, OHT 장치(10)에 고정되는 고정판(100); 회전이 가능한 회전판(200); 회전판(200)을 좌우로 움직여 회전판(200)을 선택적 회전되게 하는 구동부(300);를 포함하여 구성된다.Schematically looking at the rotation unit 1 for the OHT device according to this, it includes a fixing plate 100 fixed to the OHT device 10; A rotatable rotating plate (200); It is configured to include a driving unit 300 that moves the rotating plate 200 to the left and right to selectively rotate the rotating plate 200.

먼저, 상기 고정판(100)은;First, the fixing plate 100 is;

OHT 장치(10)에 설치되며, 내측에 메인축부(120)가 구비되는 것으로, 고정판(100)은 OHT 장치(10)에 고정되어 회전판(200)의 회전을 지지하는 기능을 한다.It is installed on the OHT device 10 and has a main shaft portion 120 on the inside, and the fixing plate 100 is fixed to the OHT device 10 and functions to support the rotation of the rotating plate 200.

한편, 고정판(100)의 일측에는 OHT 장치(10)에 적용되는 슬라이드 유닛이 결합될 수 있고, 이를 통해 OHT 장치(10)에 적용되는 각 구성요소들을 로테이트 유닛(1)에 분산 적용시켜 전체 부피를 줄일 수 있으며, 슬라이드 유닛의 경우 OHT 장치(10)에서 캐리어의 이적재를 위한 직선 왕복 이동 기능을 제공한다.Meanwhile, a slide unit applied to the OHT device 10 may be coupled to one side of the fixing plate 100, and through this, each component applied to the OHT device 10 is distributed and applied to the rotation unit 1 to control the overall volume. can be reduced, and in the case of the slide unit, the OHT device 10 provides a straight reciprocating movement function for transferring and loading the carrier.

이때, 상기 고정판(100)의 측단 일측에는 제1고정홈(110)이 형성되고, 제1고정홈(110)은 구동부(300)의 고정축(341)을 고정판(100)에 결합시켜 고정되게 한다.At this time, a first fixing groove 110 is formed on one side of the fixing plate 100, and the first fixing groove 110 is fixed by coupling the fixing shaft 341 of the driving unit 300 to the fixing plate 100. do.

또한, 상기 고정판(100)은 일측은 고정판(100)에 연결되고, 타측은 회전판(200)에 연결되는 크로스 롤러 베어링으로 이루어진 메인축부(120);를 갖는다.In addition, the fixed plate 100 has a main shaft portion 120 made of a cross roller bearing, one side of which is connected to the fixed plate 100 and the other side connected to the rotating plate 200.

상기 메인축부(120)를 통해 회전판(200)이 메인축부(120)를 중심으로 자유롭게 회전될 수 있다.The rotating plate 200 can freely rotate around the main shaft portion 120 through the main shaft portion 120.

그리고, 상기 회전판(200)은;And, the rotating plate 200 is;

상기 메인축부(120)를 중심으로 회전하는 것으로, 회전판(200)은 OHT 장치(10)가 반도체 생산 장비에 캐리어를 이적재 시키는 과정에서 각도 보정을 위한 회전 작동을 가능하게 하는 것이다.By rotating around the main shaft unit 120, the rotating plate 200 enables the OHT device 10 to rotate for angle correction in the process of transferring and loading the carrier into the semiconductor production equipment.

한편, 회전판(200)의 일측에는 OHT 장치(10)에 적용되는 호이스트 유닛이 결합될 수 있고, 이를 통해 OHT 장치(10)에 적용되는 각 구성요소들을 로테이트 유닛(1)에 분산 적용시켜 전체 부피를 줄일 수 있으며, 호이스트 유닛의 경우 OHT 장치(10)에서 캐리어의 이적재를 위한 그리퍼를 상하 승강시키는 기능을 하며, 하부에는 그리퍼가 마련된다.Meanwhile, a hoist unit applied to the OHT device 10 may be coupled to one side of the rotating plate 200, and through this, each component applied to the OHT device 10 is distributed and applied to the rotation unit 1 to increase the overall volume. can be reduced, and in the case of the hoist unit, it functions to raise and lower the gripper for transferring and loading the carrier in the OHT device 10, and a gripper is provided at the lower part.

또한, 상기 고정판(100) 및 회전판(200) 사이에는 상기 회전판(200)의 회전각을 감지하여 상기 회전판(200)의 위치를 판단하는 감지부(210);를 더 포함한다.In addition, between the fixing plate 100 and the rotating plate 200, a sensing unit 210 that detects the rotation angle of the rotating plate 200 and determines the position of the rotating plate 200 is further included.

감지부(210)는 회전판(200)의 회전각을 감지한 감지신호를 OHT 장치(10)의 제어부에 전송하고, OHT 장치(10)의 제어부는 감지부(210)를 통해 제공된 감지신호를 기반으로 회전판(200)의 위치를 판단한다.The detection unit 210 transmits a detection signal that detects the rotation angle of the rotating plate 200 to the control unit of the OHT device 10, and the control unit of the OHT device 10 is based on the detection signal provided through the detection unit 210. The position of the rotating plate 200 is determined.

여기서, 상기 감지부(210)는 회전판(200)의 위치 감지를 위한 하나 이상의 감지편(211a)이 마련된 브래킷(211); 및 상기 하나 이상의 감지편(211a) 위치에 대응하여 회전판(200)에 구비되며, 상기 회전판(200)의 회전에 대응하여 상기 하나 이상의 감지편(211a) 중 어느 하나에 감지되는 신호를 제공하는 다수의 센서(212);를 더 포함하여 구성된다.Here, the sensing unit 210 includes a bracket 211 provided with one or more sensing pieces 211a for detecting the position of the rotating plate 200; and a plurality of units provided on the rotating plate 200 in response to the positions of the one or more sensing pieces 211a and providing a signal detected by any one of the one or more sensing pieces 211a in response to the rotation of the rotating plate 200. It is configured to further include a sensor 212.

상기 브래킷(211)은, 메인축부(120)에 인접한 측으로 고정판(100)의 측단에 결합되고, 브래킷(211)의 일측으로 메인축부(120)와 동일 중심으로 원호로 배치된 하나 이상의 감지편(211a)이 돌출 형성되어 이루어진다.The bracket 211 is coupled to the side end of the fixing plate 100 on the side adjacent to the main shaft portion 120, and one or more sensing pieces arranged in an arc with the same center as the main shaft portion 120 on one side of the bracket 211 ( 211a) is formed by protruding.

이때, 하나 이상의 감지편(211a) 중 양측의 감지편(211a)은 회전판(200)의 좌우로 최대 회전할 수 있는 위치이며, 하나 이상의 감지편(211a) 중 중앙의 감지편(211a)은 회전판(200)이 대기하는 위치이다.At this time, among the one or more sensing pieces (211a), the sensing pieces (211a) on both sides are at the maximum rotational position to the left and right of the rotating plate (200), and the central sensing piece (211a) among the one or more sensing pieces (211a) is at the rotating plate. (200) is the waiting location.

상기 다수의 센서(212)는, 브래킷(211)에 인접한 측으로 회전판(200)에 결합되는데, 회전판(200)이 회전 중 하나 이상의 감지편(211a)을 통과할 수 있도록 원호로 배치되어 회전판(200)을 따라 하나 이사의 감지편(211a)이 배치된 위치를 이동할 수 있다.The plurality of sensors 212 are coupled to the rotating plate 200 on the side adjacent to the bracket 211, and are arranged in an arc so that the rotating plate 200 can pass through one or more sensing pieces 211a during rotation. ), the position where one of the sensing pieces 211a is placed can be moved.

이때, 다수의 센서(212)는 하나 이상의 감지편(211a)이 통과하여 감지되는 신호를 OHT 장치(10)의 제어부에 전송한다.At this time, the plurality of sensors 212 transmit a signal detected through one or more sensing pieces 211a to the control unit of the OHT device 10.

그리고, 상기 구동부(300)는;And, the driving unit 300;

상기 회전판(200)에 동력을 제공하여 상기 메인축부(120)를 중심으로 회전판(200)을 선택적 회전되게 하는 것이다.Power is provided to the rotating plate 200 to selectively rotate the rotating plate 200 around the main shaft portion 120.

한편, 구동부(300)는 OHT 장치(10)의 제어부를 통해 작동하고, OHT 장치(10)의 제어부는 정역회전, 회전수 및 회전속도 조절을 수행할 수 있다.Meanwhile, the driving unit 300 operates through the control unit of the OHT device 10, and the control unit of the OHT device 10 can perform forward/reverse rotation, rotation speed, and rotation speed control.

여기서, 상기 구동부(300)는 회전판(200)에 결합되고, 구동축(311)을 갖는 모터(310); 상기 구동축(311)에 연결되는 스크류(320); 상기 스크류(320)에 연결되며, 스크류(320)의 회전에 대응하여 직선 이동하는 가이드(330); 및 상기 가이드(330)에 일측이 연결되고, 타측은 고정축(341)을 통해 고정판(100)에 연결되는데, 상기 가이드(330)의 직선운동을 회전운동으로 전환시키는 캠(340);을 더 포함하여 구성된다.Here, the driving unit 300 includes a motor 310 coupled to the rotating plate 200 and having a driving shaft 311; A screw 320 connected to the drive shaft 311; A guide 330 connected to the screw 320 and moving linearly in response to rotation of the screw 320; And one side is connected to the guide 330, and the other side is connected to the fixing plate 100 through the fixing shaft 341, and a cam 340 that converts the linear motion of the guide 330 into a rotational motion. It consists of:

상기 모터(310)는, 구동축(311)이 마련된 전동모터로서 OHT 장치(10)의 제어부를 통해 작동될 수 있고, 모터(310)가 회전판(200)에 결합되어 고정된 상태에서 구동축(311)의 회전력을 스크류(320)에 전달시키는 기능을 한다.The motor 310 is an electric motor provided with a drive shaft 311 and can be operated through the control unit of the OHT device 10. The motor 310 is coupled to the rotating plate 200 and is fixed to the drive shaft 311. It functions to transmit the rotational force to the screw 320.

상기 스크류(320)는, 모터(310)의 구동축(311)에 연결된 상태에서 양단이 베어링 하우징을 통해 지지된 상태로 회전판(200)에 결합되고, 스크류(320)의 외주에는 나선이 형성되며, 구동축(311)의 회전력을 통해 스크류(320)의 나선이 회전하면서 가이드블럭(331)를 작동되게 한다.The screw 320 is connected to the drive shaft 311 of the motor 310 and is coupled to the rotating plate 200 with both ends supported through a bearing housing, and a spiral is formed on the outer circumference of the screw 320, The helix of the screw 320 rotates through the rotational force of the drive shaft 311 to operate the guide block 331.

상기 가이드(330)는, 스크류(320)의 길이방향으로 마련된 레일(332) 및 레일(332)에 끼워져 직선 이동하는 가이드블럭(331)으로 이루어지고, 가이드블럭(331)의 중앙에는 나선이 형성된 구멍이 있어 스크류(320)가 관통 결합됨으로 스크류(320)의 회전에 대응하여 나선을 따라 가이드블럭(331)이 레일(332)에서 전후 이동하게 된다.The guide 330 consists of a rail 332 provided in the longitudinal direction of the screw 320 and a guide block 331 that is inserted into the rail 332 and moves in a straight line, and a spiral is formed in the center of the guide block 331. Since there is a hole through which the screw 320 is coupled, the guide block 331 moves back and forth on the rail 332 along the spiral in response to the rotation of the screw 320.

이때, 가이드블럭(331)의 일측에는 캠(340)의 일측이 힌지 연결되는 구조가 마련된다.At this time, a structure in which one side of the cam 340 is hinged is provided on one side of the guide block 331.

상기 캠(340)은, 일측이 가이드블럭(331)에 힌지 구조로 연결되고, 타측에 마련된 고정축(341)이 제1고정홈(110)에 결합되면서 캠(340)을 고정판(100)에 연결되게 한다.The cam 340 has one side connected to the guide block 331 in a hinge structure, and the fixing shaft 341 provided on the other side is coupled to the first fixing groove 110, thereby attaching the cam 340 to the fixing plate 100. Make it connected.

이하, 도 4 내지 도 5는 본 발명의 OHT 장치용 로테이트 유닛의 작동 상태를 나타낸 도면이다.Hereinafter, Figures 4 and 5 are diagrams showing the operating state of the rotation unit for the OHT device of the present invention.

전술한 구조로 이루어진 OHT 장치용 로테이트 유닛(1)은, 도 4와 같이 대기 상태를 유지하며, 이 경우 회전판(200)은 고정판(100)과 일직선으로 정렬된다.The rotation unit 1 for the OHT device having the above-described structure maintains a standby state as shown in FIG. 4, and in this case, the rotating plate 200 is aligned with the fixed plate 100 in a straight line.

한편, OHT 장치(10)의 이적재 과정에서 반도체 생산 장비와의 각도 보정을 요구하는 경우 OHT 장치(10)의 제어환경에서 모터(310)가 작동되고, 모터(310)의 회전 방향에 대응하여 가이드블럭(331)이 레일(332)을 따라 좌우로 이동 작동하는데, 도 5에 도시한 바와 같이 가이드블럭(331)이 모터(310) 측으로 이동하면 회전판(200)은 메인축부(120)를 중심으로 반시계 방향으로 회전하며, 이와 반대로 모터(310)가 회전되면 회전판(200)은 메인축부(120)를 중심으로 시계 방향으로 회전할 수 있다.Meanwhile, when angle correction with the semiconductor production equipment is required during the transfer and loading process of the OHT device 10, the motor 310 is operated in the control environment of the OHT device 10, and the motor 310 is operated in response to the rotation direction of the motor 310. The guide block 331 moves left and right along the rail 332. As shown in FIG. 5, when the guide block 331 moves toward the motor 310, the rotating plate 200 moves around the main shaft 120. It rotates counterclockwise, and in contrast, when the motor 310 rotates, the rotating plate 200 can rotate clockwise around the main shaft portion 120.

이때, 회전판(200)의 회전 중 감지부(210)의 감지 작용을 통해 회전판(200)의 회전각을 감지하여 위치를 판단할 수 있고, 이를 통해 회전판(200)의 정밀한 각도 보정을 가능하게 한다.At this time, the position can be determined by detecting the rotation angle of the rotating plate 200 through the sensing action of the detection unit 210 while the rotating plate 200 is rotating, thereby enabling precise angle correction of the rotating plate 200. .

예컨대 본 발명은 회전운동을 직선운동으로 전환시키는 구조로 그리퍼가 장착된 회전판(200)을 회전시켜 각도 보정을 수행함에 따라 로테이트 유닛(1)의 구조가 단순화되어 부피가 줄고, 파티클의 발생이 최소화된다.For example, the present invention is a structure that converts rotational motion into linear motion, and performs angle correction by rotating the rotating plate 200 equipped with a gripper, thereby simplifying the structure of the rotation unit 1, reducing the volume and minimizing the generation of particles. do.

또한, 본 발명은 회전각에 대응하여 위치 감지를 수행하여 보다 정밀한 회전 동작의 제어를 가능하게 한다.Additionally, the present invention performs position detection in response to the rotation angle, enabling more precise control of the rotation operation.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 특정의 바람직한 실시 예를 예시한 설명과 도면으로 표현 하였으나, 여기서 사용하는 용어들은 본 발명을 용이하게 설명하기 위함으로 이 용어들에 대한 의미 한정이나, 특허청구범위에 기재된 범위를 제한하기 위함이 아니며,As described above, the present invention has been expressed through descriptions and drawings illustrating specific preferred embodiments, but the terms used herein are intended to easily describe the present invention, and the meaning of these terms is limited or included in the scope of the patent claims. It is not intended to limit the scope described,

본 발명은 상기한 실시 예에 따른 특허청구범위에 의해 나타난 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자의 수준에서 발명을 용이하게 실시하기 위해 다양하게 변경 및 개조, 수정 등이 가능할 수 있음을 누구나 쉽게 알 수 있을 것이다.The present invention is made in various ways in order to easily implement the invention at the level of those skilled in the art in the technical field to which the invention pertains, without departing from the spirit and scope of the invention as indicated by the claims according to the above-described embodiments. Anyone can easily see that changes, modifications, modifications, etc. may be possible.

1; 로테이트 유닛 10; OHT 장치
100; 고정판 110; 제1고정홈
120; 메인축부 200; 회전판
210; 감지부 211; 브래킷
212; 센서 300; 구동부
310; 모터 311; 구동축
320; 스크류 330; 가이드
331; 가이드블럭 332; 레일
340; 캠 341; 고정축One; Rotate Unit 10; OHT device
100; fixing plate 110; 1st fixed groove
120; Main shaft 200; turntable
210; Sensing unit 211; bracket
212; sensor 300; driving part
310; motor 311; driving axle
320; screw 330; guide
331; Guide block 332; rail
340; cam 341; fixed axis

Claims (5)

OHT 장치(10)에 설치 고정되며, 내측에 메인축부(120)가 구비된 고정판(100)과;
상기 메인축부(120)를 중심으로 회전하는 회전판(200)과;
상기 회전판(200)에 동력을 제공하여 상기 메인축부(120)를 중심으로 회전판(200)을 선택적 회전되게 하는 구동부(300);를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 OHT 장치용 로테이트 유닛.A fixing plate 100 installed and fixed to the OHT device 10 and having a main shaft portion 120 on the inside;
a rotating plate 200 rotating around the main shaft 120;
A rotation unit for an OHT device, characterized in that it includes a driving unit (300) that provides power to the rotating plate (200) to selectively rotate the rotating plate (200) about the main shaft unit (120). 제1항에 있어서,
상기 고정판(100)의 일측에는 OHT 장치(10)의 슬라이드 유닛이 결합되고, 상기 회전판(200)의 일측에는 OHT 장치(10)의 호이스트 유닛이 결합되는 것을 더 포함한 OHT 장치용 로테이트 유닛.According to paragraph 1,
The rotation unit for the OHT device further includes a slide unit of the OHT device (10) coupled to one side of the fixing plate (100), and a hoist unit of the OHT device (10) coupled to one side of the rotating plate (200). 제1항에 있어서,
상기 고정판(100) 및 회전판(200) 사이에는 상기 회전판(200)의 회전각을 감지하여 상기 회전판(200)의 위치를 판단하게 하는 감지부(210);를 더 포함한 OHT 장치용 로테이트 유닛.According to paragraph 1,
A rotation unit for an OHT device further comprising a detection unit 210 between the fixing plate 100 and the rotating plate 200 that detects the rotation angle of the rotating plate 200 and determines the position of the rotating plate 200. 제1항에 있어서,
상기 구동부(300)는 회전판(200)에 결합되고, 구동축(311)을 갖는 모터(310);
상기 구동축(311)에 연결되는 스크류(320);
상기 스크류(320)에 연결되어 스크류(320)의 회전에 대응하여 직선 이동하는 가이드(330); 및
상기 가이드(330)에 일측이 연결되고, 타측은 고정축(341)을 통해 고정판(100)에 연결되는데, 상기 가이드(330)의 직선운동을 회전운동으로 전환시키는 캠(340);을 더 포함한 OHT 장치용 로테이트 유닛.According to paragraph 1,
The driving unit 300 includes a motor 310 coupled to the rotating plate 200 and having a driving shaft 311;
A screw 320 connected to the drive shaft 311;
A guide 330 connected to the screw 320 and moving linearly in response to the rotation of the screw 320; and
One side is connected to the guide 330, and the other side is connected to the fixing plate 100 through the fixing shaft 341, and a cam 340 that converts the linear motion of the guide 330 into a rotational motion. Rotate unit for OHT devices. 제4항에 있어서,
상기 가이드(330)는 스크류(320)의 길이방향으로 마련된 레일(332); 및 상기 레일(332)에 끼워져 직선 이동하는 가이드블럭(331)을 더 포함한 OHT 장치용 로테이트 유닛.According to paragraph 4,
The guide 330 includes a rail 332 provided in the longitudinal direction of the screw 320; And a rotation unit for an OHT device further including a guide block (331) that is inserted into the rail (332) and moves in a straight line.
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