KR20230108947A - apparatus for transferring circuit board and manufacturing device of circuit board using the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 회로기판 반송장치 및 이를 포함하는 회로기판 제조장치에 관한 것이다.The present invention relates to a circuit board transportation device and a circuit board manufacturing device including the same.
PCB(Printed Circuit Board)와 같은 회로기판은, 경질의 재료로 형성되며, 회로기판은 회로기판의 표면에 도전성이 우수한 동박층을 도금한 다음, 필요한 패턴이 인쇄되도록 한 후, 필요한 부품을 실장시켜 완성하는 공정으로 제조된다.A circuit board, such as a printed circuit board (PCB), is formed of a hard material, and the circuit board is plated with a copper foil layer having excellent conductivity on the surface of the circuit board, and then printed with the necessary patterns, and then mounted with the necessary components. Manufactured through the process of completion.
이와 같은 경질의 회로기판 제조과정은 통상, 필름 형태로 제공되는 기재인 피도금체의 표면에 구리 합금체를 도금하여 동박 필름을 형성한 후, 회로패턴을 제외한 부분을 제거하여 패턴을 인쇄하고, 그 표면에 각종 부품을 표면 실장하는 공정을 포함한다.In the process of manufacturing such a hard circuit board, a copper alloy is plated on the surface of a substrate provided in the form of a film to form a copper foil film, and then parts other than the circuit pattern are removed to print the pattern, A step of surface mounting various components on the surface thereof is included.
회로기판의 제조 공정에는, 리소그래피 공정 등의 공정이 포함될 수 있다, 이와 같은 공정의 종료 후, 또는 다음 공정으로 옮기기 전에, 예를 들면 회로기판 표면에 존재하는 감광성 레지스트를 처리하는 공정이 포함된다.The manufacturing process of the circuit board may include a process such as a lithography process. After completion of such a process or before moving to the next process, for example, a process of treating photosensitive resist present on the surface of the circuit board is included.
감광성 레지스트 처리 공정은 빛을 쏘이면, 빛을 받는 부분과 빛을 받지 않는 부분을 구분하여 알칼리성 약품으로 샤워 공정을 수행하여 설정된 패턴에 따라 레지시트 패턴을 제거하는 과정이 포함된다.The photosensitive resist treatment process includes a process of removing the resist pattern according to a set pattern by performing a shower process with an alkaline chemical by dividing a part receiving light and a part not receiving light when light is applied thereto.
대한민국 공개특허공보 10-2014-0113114호에 따르면, 레지스트 제거용 약품으로 암모늄하이드록사이드, 디메틸설폭사이드, 글리콜에테르계 유기용매, 알킬하이드록실아민, 알킬아민, 알칸올아민염 및 물을 포함하는 컬러 레지스트 제거용 세정제 조성물이 개시된 바 있다.According to Korean Patent Laid-open Publication No. 10-2014-0113114, a resist removal agent containing ammonium hydroxide, dimethyl sulfoxide, glycol ether-based organic solvent, alkylhydroxylamine, alkylamine, alkanolamine salt and water A detergent composition for removing color resist has been disclosed.
감광성 레지스트의 처리 공정 이후는 회로를 형성하는 에칭(식각) 공정이나 회로 특성을 향상시키기 위하여 표면에 도금하는 공정으로 이어진다.After the photosensitive resist treatment process, an etching (etching) process for forming a circuit or a process for plating the surface to improve circuit characteristics is followed.
이러한 공정 중 또는 공정으로 이동하기 위해서는 회로기판 반송장치에 의해 이동을 하게 된다.In order to move during or during this process, it is moved by a circuit board transfer device.
인쇄회로기판의 두께가 점점 얇아지고(예를 들면, 0.030mm), 고집적화(예를 들면, 회로 10㎛, 스페이스 12㎛) 되는 추세에서는, 기존의 제조방식인 회로기판 자체를 롤러로 접촉하여 반송하는 설비로는 반 송시, 이물질이 전착되거나, 회로에 손상이 발생되어 회로기판 제작에 한계에 부딪치게 된다.In the trend of increasingly thinner printed circuit boards (e.g., 0.030 mm) and higher integration (e.g., 10 μm circuit, 12 μm space), the circuit board itself, which is a conventional manufacturing method, is contacted with a roller and conveyed When transporting, foreign substances are deposited or circuits are damaged, which limits the circuit board production.
특히, 감광성 레지스트는 재 전착 가능성이 있기 때문에 접촉방식(예를 들면 롤 구동방식)에 의해 회로기판을 반송시 이물질이 전착되거나 회로의 손상이 발생할 수 있다.In particular, since the photosensitive resist has a possibility of re-electrodeposition, foreign substances may be electrodeposited or circuit damage may occur when the circuit board is transported by a contact method (for example, a roll driving method).
이에 대한 개선책으로 회로기판을 특정한 지그틀에 고정시켜서 반송하는 넌컨택트(noncontact) 지그 방송방식 및 수직으로 세워서 이송하는 반송방식이 개발되었다.As an improvement measure for this, a non-contact jig broadcast method in which the circuit board is fixed to a specific jig frame and conveyed and a conveyance method in which the circuit board is erected and transferred vertically have been developed.
지그틀을 세워서 반송하는 경우는 하부 받침대를 넓게 하거나, 상부를 가이드 장치를 사용하여 반송하는 방식을 채택할 수 있다.In the case of carrying the jig frame upright, a method of widening the lower pedestal or conveying the upper part using a guide device may be adopted.
대한민국 등록특허공보 10-2248854호에서는 회로기판을 수직상태로 이송시킬 수 있는 회로기판 반송장치가 개시된 바 있다.Republic of Korea Patent Registration No. 10-2248854 discloses a circuit board transfer device capable of transferring a circuit board in a vertical state.
초박형 회로기판의 경우, 앞면 뒷면의 제품 정밀도를 높이기 위해서는 약품이 회로기판 면에 균일하게 도포가 되어야 하고, 회로기판의 반송시 정확한 위치 유지가 요구되는데 기존의 약품 분사장치 및 반송 장치에서는 약품 용액이 하부 측에 더 많이 분포되어 상, 하 편차가 형성되고, 회로기판이 반송 중 좌우로 흔들기거나, 일 측으로 쏠리는 경우가 발생되어 앞면과 뒷면의 부식 편차가 발생될 수 있다.In the case of ultra-thin circuit boards, in order to increase product precision on the front and back sides, chemicals must be applied uniformly on the circuit board surface, and accurate position maintenance is required during transportation of the circuit board. It is more distributed on the lower side to form an upper and lower deviation, and a case in which the circuit board is shaken from side to side or tilted to one side during transport may cause corrosion deviation between the front and rear surfaces.
본 발명의 목적은 회로기판 제조과정에서 회로기판의 반송에 따른 회로기판의 좌, 우 흔들림을 방지하고 안정적으로 반송할 수 있는 회로기판 반송장치 및 이를 포함하는 회로기판 제조장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a circuit board conveying device capable of stably conveying and preventing left and right shaking of a circuit board according to conveyance of the circuit board during the circuit board manufacturing process, and a circuit board manufacturing device including the same.
본 발명의 일 측면에 따르면, 회로기판 반송장치는, 상기 회로기판을 장착하는 지그 유닛트 및 상기 지그 유닛트의 하부에서 상기 지그 유닛트를 이송하는 이송 롤러 장치부를 포함하며, 상기 지그 유닛트는, 직사각형 형상의 수직 지그틀 프레임; 상기 수직 지그틀 프레임의 상부 측 프레임에 장착되어 상기 회로기판의 상단을 탄력으로 파지하여 고정시키는 복수의 상부 측 클램프; 상기 수직 지그틀 프레임의 하부 측 프레임에 장착되어 회로기판의 하단을 탄력으로 파지하여 고정시키는 복수의 하부 측 클램프; 및 상기 수직 지그틀 프레임의 하부 측을 지지하는 베이스 플레이트를 포함하고, 상기 이송 롤러 장치부는, 상기 지그 유닛트의 베이스 플레이트의 하부 면에 설치되며, 상기 베이스 플레이트의 양측 단부면을 가이드하는 가이드 돌기가 양측 단부에 돌출되도록 형성되고, 몸통부의 원통면 둘레에는 복수의 안착홈이 형성되며, 상기 안착홈에 장착되는, 복수의 원형링(221, 222)이 설치되는 복수의 회전 롤러부; 상기 회전 롤러부의 회전 중심과 연결되어 상기 회전 롤러부를 회전시키는 회전축; 및 상기 회전축을 회전시키는 구동휠; 을 포함하는 것을 특징으로 한다.According to one aspect of the present invention, a circuit board transfer device includes a jig unit for mounting the circuit board and a transfer roller unit for transferring the jig unit at a lower portion of the jig unit, wherein the jig unit has a rectangular shape. vertical jig frame; a plurality of upper side clamps mounted on the upper side frame of the vertical jig frame to elastically hold and fix the upper end of the circuit board; a plurality of lower side clamps mounted on the lower side frame of the vertical jig frame to elastically hold and fix the lower end of the circuit board; and a base plate supporting a lower side of the vertical jig frame, wherein the transfer roller unit is installed on a lower surface of the base plate of the jig unit, and has guide protrusions for guiding end surfaces of both sides of the base plate. A plurality of rotating roller units formed to protrude from both ends, a plurality of seating grooves are formed around the cylindrical surface of the body portion, and a plurality of
또한, 상기 원형링은 탄성을 가진 고무 또는 합성 고무 재질로 제조된 것을 특징으로 한다.In addition, the circular ring is characterized in that made of rubber or synthetic rubber material having elasticity.
또한, 상기 가이드 돌기는 상기 회전 롤러부의 몸통부의 원통면 양측 단부에 2mm 이상 돌출되도록 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, the guide protrusion is characterized in that formed to protrude more than 2mm from both ends of the cylindrical surface of the body of the rotating roller unit.
또한, 상기 지그 유닛트의 상부 공간에 안착홈이 형성된 상부 가이드 레일이 형성된 것을 더 포함하고, 상기 지그 유닛트는 상기 상부 측 프레임에서 상단으로 연장되어 상기 안착홈에 삽입되는 가이드바를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, an upper guide rail having a seating groove formed in an upper space of the jig unit is formed, and the jig unit further includes a guide bar extending upward from the upper side frame and inserted into the seating groove. do.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 상기 어느 하나의 회로기판 반송장치를 포함하는 회로기판 제조장치에 있어서, 상기 회로기판 제조장치는, 상기 지그 유닛트의 전, 후면에 레지스트 처리용 약품 분사를 위한 약품 분사관이 하부에서 상부 측의 수직면을 따라 복수열로 배치되되, 상부 측의 약품 분사관의 간격은 하부 측의 약품 분사관의 간격보다 순차적으로 좁게 형성되도록 배치되는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, in the circuit board manufacturing apparatus including any one of the circuit board conveying apparatus, the circuit board manufacturing apparatus includes a chemical for spraying a chemical for resist processing to the front and rear surfaces of the jig unit. It is characterized in that the injection tubes are arranged in a plurality of rows along the vertical surface of the upper side from the lower side, and the intervals of the drug injection tubes on the upper side are sequentially formed narrower than the intervals of the drug injection tubes on the lower side.
또한, 상기 상부 측의 약품 분사관의 간격은 하부 측의 약품 분사관의 간격보다 순차적으로 2.5%의 비율로 좁게 형성되도록 배치되는 것을 특징으로 한다.In addition, it is characterized in that the distance between the upper side of the drug injection pipe is arranged so as to be formed narrower at a rate of 2.5% sequentially than the distance between the lower side of the drug injection pipe.
또한, 상기 약품 분사관의 배치구조는, 각 2열의 약품 분사관을 동일한 간격으로 배치하고 각각 직전 하부 측의 약품 분사관의 간격보다 상부 측의 간격을 5% 비율의 차이로 좁게 배치하는 것을 특징으로 한다.In addition, the arrangement structure of the chemical injection tubes is characterized in that each two rows of drug injection pipes are arranged at equal intervals, and the interval on the upper side is narrower than the interval between the drug injection pipes on the immediately preceding lower side with a difference of 5%. to be
또한, 상기 약품 분사관의 배치 구조는, 하단으로부터 제1열 약품 분사관(411)과 제2열 약품 분사관(412)의 간격(d1)은 100mm, 제2열 약품 분사관(412)과 제3열 약품 분사관(413)의 간격(d2) 및 제3열 약품 분사관(413)과 제4열 약품 분사관(414)의 간격(d3)은, 95mm, 제4열 약품 분사관(414)과 제5열 약품 분사관(415)의 간격(d4) 및 제5열 약품 분사관(415)과 제6열 약품 분사관(416)의 간격(d5)은 90mm, 제6열 약품 분사관(416)과 제7열 약품 분사관(417)의 간격(d6) 및 제7열 약품 분사관(417)과 제8열 약품 분사관(418)의 간격(d7)은 85.0mm로 배치되는 것을 특징으로 한다.In addition, in the arrangement structure of the chemical injection pipe, the distance (d1) between the first row
또한, 각 약품 분사관에는 압력센서, 유량센서 중 어느 하나 이상의 센서를 설치하여 실시간으로 센싱신호를 제어부로 전송하며, 상기 제어부는 상기 센싱신호를 판단하여 설정된 압력값 또는 유량값에서 5% 범위를 초과한 것으로 판단된 경우, 상기 약품 분사관에 약품을 공급하는 약품펌프의 회전수를 제어하여 설정된 값의 95% ~105% 범위에서 항상 일정된 압력과 분사량을 유지하도록 하는 것을 특징으로 한다.In addition, one or more of a pressure sensor and a flow sensor is installed in each chemical injection pipe to transmit a sensing signal to a control unit in real time, and the control unit determines the sensing signal to determine a pressure value or a flow rate value within a 5% range. If it is determined that it is exceeded, it is characterized in that the rotation speed of the drug pump for supplying the drug to the drug injection pipe is controlled to always maintain a constant pressure and injection amount in the range of 95% to 105% of the set value.
또한, 상기 약품 분사관의 분사 압력의 설정값은 1.2 ~2.2 Kgf/㎠ 범위 중 어느 하나의 값으로 설정되는 것을 특징으로 한다.In addition, the set value of the injection pressure of the chemical injection pipe is characterized in that it is set to any one value in the range of 1.2 ~ 2.2 Kgf / cm 2.
본 발명의 일 실시 예에 따른 반송장치는 상기 회로기판(10)을 지그 유닛트(100)에 고정하여 반송하는 넌컨텍트(non-contact) 방식으로 이송함으로써, 박형의 회로기판의 이송시 회로기판 회로의 손상이 발생되는 것을 방지할 수 있다.The conveying device according to an embodiment of the present invention transfers the
또한, 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송장치는 베이스 플레이트(160)의 양단부가 이송 중 좌, 우 움직임을 방지할 수 있도록 가이드하는 가이드 돌기(251)가 형성된 회전 롤러부(210)에 의해 지그 유닛트(100)의 위치를 안정적으로 유지하고 이송 중, 좌, 우로 흔들리는 현상을 방지할 수 있다.In addition, the transfer device according to an embodiment of the present invention is a jig by the
또한, 상기 베이스 플레이트(160)의 하부 면과 밀착되도록, 탄성을 가진 복수의 원형링(221, 222)을 장착함으로써, 상기 베이스 플레이트(160)의 하부 면과 탄성적으로 밀착력을 가져서 안정적으로 상기 지그 유닛트(100)를 회전방향으로 이송시킬 수 있다.In addition, by mounting a plurality of
본 발명의 일 실시 예에 따른 레지스트 처리 과정에서 약품 분사관의 배치구조를, 상부 측의 분사관의 배열 간격을 하부 측의 분사관의 배열 간격보다 좁게 함으로써, 상부에서 분사된 용액이 흘러서 하부 분사량과 합산이 되더라도 전체 회로기판을 통하여 약품의 도포량을 균일하게 할 수 있는 효과를 가질 수 있다.In the resist processing process according to an embodiment of the present invention, by making the arrangement structure of the spray tubes on the upper side narrower than the spacing between the spray tubes on the lower side, the solution injected from the upper part flows and the lower injection amount Even if it is added together, it can have the effect of uniformly applying the chemical through the entire circuit board.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 회로기판 반송장치의 정면 구조를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 회로기판 반송장치의 일 측면의 구조를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 회로기판 반송장치의 구조를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송장치에 의한 회로기판 제조방법 중 레지스트 처리 과정에 대한 예를 도시한 것이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송장치에 의한 레지스트 처리 과정에서 약품 분사관의 배열 구조를 도시한 것이다.1 shows a front structure of a circuit board transfer device according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 shows the structure of one side of the circuit board transfer device according to an embodiment of the present invention.
3 shows the structure of a circuit board transfer device according to another embodiment of the present invention.
4 illustrates an example of a resist processing process in a method of manufacturing a circuit board using a transfer device according to an embodiment of the present invention.
5 illustrates an arrangement structure of chemical injection tubes in a process of resist processing by a transfer device according to an embodiment of the present invention.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.Terms used in this application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise.
본 출원에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. In this application, when a certain component is said to "include", it means that it may further include other components without excluding other components unless otherwise stated.
또한, 명세서에 기재된 "…부", "…기", "모듈", "장치" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어나 소프트웨어 또는 하드웨어 및 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.In addition, terms such as "...unit", "...unit", "module", and "device" described in the specification mean a unit that processes at least one function or operation, which is hardware or software, or a combination of hardware and software. can be implemented as
또한, 본 발명의 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 '연결', '결합' 또는 '접속'된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결, 결합 또는 접속될 수 있지만, 그 구성 요소와 그 다른 구성요소 사이에 또 다른 구성 요소가 '연결', '결합' 또는 '접속'될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.Also, terms such as first and second may be used in describing components of an embodiment of the present invention. These terms are only used to distinguish the component from other components, and the nature, order, or order of the corresponding component is not limited by the term. When an element is described as being 'connected', 'coupled' or 'connected' to another element, the element may be directly connected, coupled or connected to the other element, but not between the element and the other element. It should be understood that another component may be 'connected', 'coupled' or 'connected' between elements.
이하 본 발명의 구현에 따른 회로기판 반송장치 및 이를 포함하는 회로기판 제조장치에 대하여 일 실시 예를 통하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a circuit board transportation device and a circuit board manufacturing device including the same according to an embodiment of the present invention will be described in detail through an embodiment.
본 발명의 일 실시 예에서는 이와 같은 종래의 반송장치의 반송 과정에서 회로기판이 흔들리는 문제점과 레지스트 처리 과정에서 부식 편차의 발생을 해결하기 위한 회로기판 반송장치 및 이를 포함하는 회로기판 제조장치를 제공하는 것을 특징으로 한다.In one embodiment of the present invention, to provide a circuit board transport device and a circuit board manufacturing device including the same to solve the problem of shaking the circuit board during the transport process of the conventional transport device and the occurrence of corrosion deviation during the resist treatment process characterized by
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 회로기판 반송장치의 정면 구조를 도시한 것이다.1 shows a front structure of a circuit board transfer device according to an embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 회로기판 반송장치의 일 측면의 구조를 도시한 것이다.Figure 2 shows the structure of one side of the circuit board transfer device according to an embodiment of the present invention.
도 1, 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송장치는, 회로기판(10)을 장착하는 지그 유닛트(100) 및 상기 지그 유닛트(100)의 하부에서 상기 지그 유닛트(100)를 이송하는 이송 롤러 장치부(200)를 포함한다. 상기 지그 유닛트(100)는 직사각형 형상의 수직 지그틀 프레임(110), 상기 수직 지그틀 프레임(110)의 상부 측 프레임에 장착되어 회로기판의 상단을 탄력으로 파지하여 고정시키는 복수의 상부 측 클램프(151, ~154), 상기 수직 지그틀 프레임(110)의 하부 측 프레임에 장착되어 회로기판의 하단을 탄력으로 파지하여 고정시키는 복수의 하부 측 클램프(161 ~164) 및 상기 수직 지그틀 프레임(100)의 하부 측을 지지하는 베이스 플레이트(160)를 포함한다.Referring to FIGS. 1 and 2 , the transfer device according to an embodiment of the present invention includes a
이송 롤러 장치부(200)는, 상기 지그 유닛트(100)의 베이스 플레이트(160)의 하부 면에 설치되되, 베이스 플레이트(160)의 양측 단부면을 가이드하는 가이드 돌기(251)가 양측 단부에 돌출되도록 형성되고, 몸통부의 원통면 둘레에는 복수의 안착홈이 형성되며, 상기 안착홈에 장착되는, 복수의 원형 링(221, 222)이 설치되는 복수의 회전 롤러부(210-1, …, 210-n), 상기 회전 롤러부(210)의 회전 중심과 연결되어 상기 회전 롤러부(210)를 회전시키는 회전축(290) 및 상기 회전축(290)을 회전시키는 구동휠(280)을 포함한다.The
본 발명의 일 실시 예에 따른 상기 복수의 원형 링(221, 222)은 탄성을 가진 고무 또는 합성 고무 재질로 제조된 것을 특징으로 한다.The plurality of
본 발명의 일 실시 예에 따른 회전 롤러부(210-1, …210-n)의 가이드 돌기(251)는 회전 롤러부(210-1, …210-n)의 몸통부의 양단에 베이스 플레이트(160)의 이탈을 방지하도록 상기 몸통부의 원통면 양측 단부에 2mm 이상 돌출되도록 형성된다.The guide protrusions 251 of the rotating roller units 210-1, ...210-n according to an embodiment of the present invention are
또한, 상기 이송 롤러 장치부(200)의 구동휠(280)은 컨베이어 또는 구동 벨트로 구동모터를 포함하는 구동부와 연결이 될 수 있다.In addition, the
본 발명의 일 실시 예에 따른 반송장치는 상기 회로기판(10)을 지그 유닛트(100)에 고정하여 반송하는 넌컨텍트(non-contact) 방식으로 이송함으로써, 박형의 회로기판의 이송시 회로기판 회로의 손상이 발생되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송장치는 베이스 플레이트(160)의 양단부가 이송 중 좌, 우 움직임을 방지할 수 있도록 가이드하는 가이드 돌기(251)가 형성된 회전 롤러부(210)에 의해 지그 유닛트(100)의 위치를 안정적으로 유지하고 이송 중, 좌, 우로 흔들리는 현상을 방지할 수 있다.The conveying device according to an embodiment of the present invention transfers the
또한, 상기 베이스 플레이트(160)의 하부 면과 밀착되도록, 탄성을 가진 복수의 고무링(221, 222)을 장착함으로써, 상기 베이스 플레이트(160)의 하부 면과 탄성적으로 밀착력을 가져서 안정적으로 상기 지그 유닛트(100)를 회전방향으로 이송시킬 수 있다.In addition, by mounting a plurality of rubber rings 221 and 222 having elasticity so as to be in close contact with the lower surface of the
도 3은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 회로기판 반송장치의 구조를 도시한 것이다.3 shows the structure of a circuit board transfer device according to another embodiment of the present invention.
도 3을 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 회로기판 반송장치는 도 1, 2의 반송장치에서 상기 지그 유닛트(100)의 상부 측 공간에 안착홈이 형성된 상부 가이드 레일(380)이 형성되고, 상기 지그 유닛트(100)는 지그틀 프레임(110)의 상부 측 프레임에서 상단으로 연장되어 상기 안착홈에 삽입되는 가이드바(170)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.Referring to FIG. 3 , in a circuit board transport device according to another embodiment of the present invention, an
도 3에 따른 회로기판 반송장치는 상부 가이드 레일(380)이 이송 궤적에 따라 설치되고, 상기 상단부에 가이드바(170)가 상부 가이드 레일(380)의 안착홈을 슬라이딩되어 이동함으로써, 이송 중에 상단의 흔들림을 방지할 수 있는 효과를 가질 수 있다.In the circuit board transfer device according to FIG. 3, the
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송장치에 의한 회로기판 제조장치 중 레지스트 처리 과정에 대한 예를 도시한 것이다.4 illustrates an example of a resist processing process in an apparatus for manufacturing a circuit board using a transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
레지스트 처리 과정은 회로기판에 감광성 레지스트를 도포하고, 도포된 감광성 레지스트에 설정된 패턴으로 형성된 마스크를 통하여 빛을 쏘인 후, 알칼리성 약품으로 샤워 공정을 수행하면, 빛을 받는 부분과 빛을 받지 않는 부분을 구분하여 설정된 패턴에 따라 레지시트 패턴이 제거된다.In the resist treatment process, photosensitive resist is applied to a circuit board, light is projected through a mask formed in a pattern set on the applied photosensitive resist, and then a shower process is performed with an alkaline chemical to separate the light-receiving part and the non-light-receiving part. The resist pattern is removed according to the separately set pattern.
도 4를 참조하면, 레지스트 처리 과정에서는 지그 유닛트(100)의 전, 후면에 레지스트 처리용 약품 분사를 위한 약품 분사관(411~418)이 하부에서 상부 측의 수직면을 따라 복수열로 배치된다. 또한, 상기 약품 분사관(411~418)에는 일정 간격으로 약품 분사 노즐(418-1….418-n)이 형성되어 회로기판(10)을 향해 분사한다.Referring to FIG. 4 , in the process of resist processing,
초박형 회로기판의 경우, 앞면 뒷면의 제품 정밀도를 높이기 위해서는 약품이 회로기판 면에 균일하게 도포가 되어야 한다.In the case of ultra-thin circuit boards, chemicals must be uniformly applied to the circuit board surface in order to increase product precision on the front and back sides.
본 발명의 일 실시 예에서는 각 약품 분사관(411~418)에는 압력센서, 유량센서 중 어느 하나 이상의 센서를 설치하여 실시간으로 센싱신호를 제어부로 전송하며, 제어부는 상기 센싱신호를 판단하여 설정된 압력값 또는 유량값에서 일정 범위(예를 들면 5% 범위)를 초과한 것으로 판단된 경우, 상기 약품 분사관(411~418)에 약품을 공급하는 약품펌프의 회전수를 제어하여 설정된 범위에서 항상 일정된 압력과 분사량을 유지하도록 할 수 있다.In one embodiment of the present invention, one or more of a pressure sensor and a flow sensor are installed in each of the
예를 들면, 본 발명의 일 실시 예에서는 설정된 값의 95% ~105% 범위에서 항상 일정된 압력과 분사량을 유지하도록 할 수 있다.For example, in one embodiment of the present invention, it is possible to always maintain a constant pressure and injection amount in the range of 95% to 105% of the set value.
본 발명의 일 실시 예에 따른 약품 분사관(411~418)의 분사 압력의 설정값은 1.2 ~2.2 Kgf/㎠ 범위에서 어느 하나의 값으로 설정될 수 있다.The set value of the injection pressure of the
예를 들면, 인쇄회로기판의 두께가 0.030 mm인 경우 바람직한 약품 분사관(411~418)의 분사 압력의 설정값은 1.20 Kgf/㎠로 설정될 수 있다. 이 경우 제어부는 상기 센싱신호를 판단하여 센싱된 압력값이 1.14 Kgf/㎠ 미만일 경우에는 상기 약품 분사관(411~418)에 약품을 공급하는 약품펌프의 회전수를 높여서 펌프의 공급 압력을 증가시키고, 센싱된 압력값이 1.26 Kgf/㎠을 초과할 경우에는 상기 약품 분사관(411~418)에 약품을 공급하는 약품펌프의 회전수를 낮추어서 펌프의 공급 압력을 감소시키도록, 제어하여 설정된 값의 95% ~105% 범위에서 항상 일정된 압력과 분사량을 유지하도록 할 수 있다.For example, when the thickness of the printed circuit board is 0.030 mm, the setting value of the injection pressure of the preferred
또한, 각 약품 분사관(411~418)의 압력과 분사량이 균일한 경우에도 수직형 지그 유닛트(100)를 이용하여 약품이 회로기판 면에 분사할 경우, 상단에 분사된 약품 용액의 일부가 하부 측으로 흘러서 모이게 되어, 하부 측의 부식 패턴과 상부 측의 부식 패턴의 편차가 발생될 수 있다.In addition, even when the pressure and injection amount of each of the
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 위와 같은 상, 하부 부식 편차의 발생을 방지하고 균일한 약품의 도포를 위해서, 각 약품 분사관의 약품 분사 압력을 균일하게 유지하도록 하고, 상부 측의 분사관의 배열 간격을 하부 측의 분사관의 배열 간격보다 일정 비율로 좁게 배치하도록 한 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, in order to prevent the occurrence of the above-described upper and lower corrosion deviation and to uniformly apply the chemical, the chemical injection pressure of each chemical injection pipe is maintained uniformly, and the upper injection pipe It is characterized in that the arrangement interval is narrower than the arrangement interval of the injection pipe on the lower side at a predetermined rate.
예를 들면, 상부 측의 분사관의 배열 간격을 하부 측의 분사관의 배열 간격보다 좁게 함으로써, 상부에서 분사된 용액이 흘러서 하부 분사량과 합산이 되더라도 전체 회로기판을 통하여 약품의 도포량을 균일하게 할 수 있다.For example, by making the arrangement interval of the injection tubes on the upper side narrower than the arrangement interval of the injection tubes on the lower side, even if the solution injected from the top flows and is added to the injection amount of the lower part, the amount of chemicals applied can be uniformed through the entire circuit board. can
다양한 실험 결과, 레지스트 처리 과정에서의 약품 분사관은 상부 측의 약품 분사관은 하부 측의 약품 분사관의 간격보다 2.5% 비율로 순차적으로 좁게 형성되도록 배치할 경우, 전체적으로 레지스트가 균일하게 현상되는 것으로 분석되었다.As a result of various experiments, when the chemical injection tubes on the upper side are sequentially formed narrower at a rate of 2.5% than the interval of the lower side, the resist is developed uniformly as a whole during the resist processing process. analyzed.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송장치에 의한 레지스트 처리 과정에서 약품 분사관의 배열 구조를 도시한 것이다.5 illustrates an arrangement structure of chemical injection tubes in a process of resist processing by a transfer device according to an embodiment of the present invention.
도 5를 참조하면, 약품 분사관은 직전 하부 측의 약품 분사관의 간격보다 2.5% 비율로 좁게 형성되도록 배치되는 것(d1>d2> d3>d4> d5>d6>d7)을 특징으로 한다.Referring to FIG. 5, the chemical injection pipe is characterized in that it is arranged to be formed narrower at a rate of 2.5% than the interval of the immediately lower chemical injection pipe (d1>d2> d3>d4> d5>d6>d7).
예를 들면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 레지스트 처리 과정에서 전체적으로 레지스트가 균일하게 현상되도록 하기 위한 약품 분사관의 배열 구조는 하단으로부터 제1열 약품 분사관(411)과 제2열 약품 분사관(412)의 간격(d1)을 100mm로 할 경우, 제2열 약품 분사관(412)과 제3열 약품 분사관(413)의 간격(d2)은 97.5mm, 제3열 약품 분사관(413)과 제4열 약품 분사관(414)의 간격(d3)은 95.0mm, 제4열 약품 분사관(414)과 제5열 약품 분사관(415)의 간격(d4)은 92.5mm, 제5열 약품 분사관(415)과 제6열 약품 분사관(416)의 간격(d5)은 90.0mm, 제6열 약품 분사관(416)과 제7열 약품 분사관(417)의 간격(d6)은 87.5mm, 제7열 약품 분사관(417)과 제8열 약품 분사관(4187)의 간격(d7)은 85.05mm로 배치되는 것을 특징으로 한다.For example, in the resist processing process according to an embodiment of the present invention, the arrangement structure of the chemical injection tubes for uniformly developing the resist as a whole is a first heat
또 다른 실시 예에서는 전체적으로 레지스트가 균일하게 현상되도록 하기 위한 약품 분사관 배치 방법으로는, 각 2열의 약품 분사관을 동일한 간격으로 배치하고 각각 직전 하부 측의 약품 분사관의 간격보다 간격을 5% 비율의 차이로 좁게 배치할 수 있다.In another embodiment, as a method of arranging the chemical injection tubes so that the resist is uniformly developed as a whole, the chemical injection tubes of each two rows are arranged at equal intervals, and the interval is 5% higher than the interval of the chemical injection tubes on the immediately lower side. It can be narrowly arranged with the difference of .
예를 들면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 레지스트 처리 과정에서 약품 분사관의 배열 구조는 하단으로부터 제1열 약품 분사관(411)과 제2열 약품 분사관(412)의 간격(d1)은 100mm, 제2열 약품 분사관(412)과 제3열 약품 분사관(413)의 간격(d2) 및 제3열 약품 분사관(413)과 제4열 약품 분사관(414)의 간격(d3)은, 95mm, 제4열 약품 분사관(414)과 제5열 약품 분사관(415)의 간격(d4) 및 제5열 약품 분사관(415)과 제6열 약품 분사관(416)의 간격(d5)은 90mm, 제6열 약품 분사관(416)과 제7열 약품 분사관(417)의 간격(d6) 및 제7열 약품 분사관(417)과 제8열 약품 분사관(4187)의 간격(d7)은 85.0mm로 배치되는 것을 특징으로 한다.For example, in the resist processing process according to an embodiment of the present invention, in the arrangement structure of the chemical injection tubes, the distance d1 between the first row
이와 같이 본 발명의 일 실시 예에 따른 레지스트 처리 과정에서 약품 분사관의 배치구조를, 상부 측의 분사관의 배열 간격을 하부 측의 분사관의 배열 간격보다 좁게 함으로써, 상부에서 분사된 용액이 흘러서 하부 분사량과 합산이 되더라도 전체 회로기판을 통하여 약품의 도포량을 균일하게 할 수 있는 효과를 가질 수 있다.In this way, in the resist processing process according to an embodiment of the present invention, by making the arrangement structure of the spray tubes on the upper side narrower than the arrangement interval of the spray tubes on the lower side, the solution sprayed from the top flows, Even if it is added up with the lower injection amount, it can have the effect of uniformly applying the chemical through the entire circuit board.
10: 회로기판
100: 지그 유닛트
110: 지그틀 프레임
151~154, 164 ~164: 클램프
160: 베이스 플레이트
170: 가이드바
200: 이송롤러 장치부
201-1, …201-n: 회전 롤러부
221, 222: 원형링
251: 가이드 날개 돌기
280: 구동횔
290: 회전축
380: 가이드 레일
411~418: 약품 분사관
411~418: 약품 분사 노즐10: circuit board
100: jig unit
110: jig frame
151 to 154, 164 to 164: clamp
160: base plate
170: guide bar
200: transfer roller unit
201-1, … 201-n: rotating roller unit
221, 222: circular ring
251: Guide wing protrusion
280: driven wheel
290: axis of rotation
380: guide rail
411-418: Chemical injection pipe
411 to 418: Chemical injection nozzles
Claims (10)
상기 회로기판 반송장치는,
상기 회로기판을 장착하는 지그 유닛트 및 상기 지그 유닛트의 하부에서 상기 지그 유닛트를 이송하는 이송 롤러 장치부를 포함하며,
상기 지그 유닛트는,
직사각형 형상의 수직 지그틀 프레임;
상기 수직 지그틀 프레임의 상부 측 프레임에 장착되어 상기 회로기판의 상단을 탄력으로 파지하여 고정시키는 복수의 상부 측 클램프;
상기 수직 지그틀 프레임의 하부 측 프레임에 장착되어 회로기판의 하단을 탄력으로 파지하여 고정시키는 복수의 하부 측 클램프; 및
상기 수직 지그틀 프레임의 하부 측을 지지하는 베이스 플레이트를 포함하며,
상기 이송 롤러 장치부는,
상기 지그 유닛트의 베이스 플레이트의 하부 면에 설치되되, 상기 베이스 플레이트의 양측 단부면을 가이드하는 가이드 돌기가 양측 단부에 돌출되도록 형성되고, 몸통부의 원통면 둘레에는 복수의 안착홈이 형성되며, 상기 안착홈에 장착되는, 복수의 원형링이 설치되는 복수의 회전 롤러부;
상기 회전 롤러부의 회전 중심과 연결되어 상기 회전 롤러부를 회전시키는 회전축; 및
상기 회전축을 회전시키는 구동휠; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 회로기판 반송장치.In the circuit board conveying device,
The circuit board transport device,
A jig unit for mounting the circuit board and a transfer roller unit for transferring the jig unit at a lower portion of the jig unit,
The jig unit,
a rectangular vertical jig frame;
a plurality of upper side clamps mounted on the upper side frame of the vertical jig frame to elastically hold and fix the upper end of the circuit board;
a plurality of lower side clamps mounted on the lower side frame of the vertical jig frame to elastically hold and fix the lower end of the circuit board; and
And a base plate supporting the lower side of the vertical jig frame,
The conveying roller device unit,
It is installed on the lower surface of the base plate of the jig unit, guide protrusions for guiding both end surfaces of the base plate are formed to protrude from both ends, and a plurality of seating grooves are formed around the cylindrical surface of the body, and the seating Mounted in the groove, a plurality of rotating roller units in which a plurality of circular rings are installed;
a rotational shaft that is connected to the rotational center of the rotational roller unit and rotates the rotational roller unit; and
a driving wheel for rotating the rotating shaft; A circuit board transfer device comprising a.
상기 원형링은 탄성을 가진 고무 또는 합성 고무 재질로 제조된 것을 특징으로 하는 회로기판 반송장치.According to claim 1,
The circuit board transport device, characterized in that the circular ring is made of rubber or synthetic rubber material having elasticity.
상기 가이드 돌기는 상기 회전 롤러부의 몸통부의 원통면 양측 단부에 2mm 이상 돌출되도록 형성된 것을 특징으로 하는 회로기판 반송장치.According to claim 1,
The guide protrusion is formed to protrude 2 mm or more from both ends of the cylindrical surface of the body of the rotating roller unit.
상기 지그 유닛트의 상부 공간에 안착홈이 형성된 상부 가이드 레일이 형성된 것을 더 포함하고,
상기 지그 유닛트는 상기 상부 측 프레임에서 상단으로 연장되어 상기 안착홈에 삽입되는 가이드바를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 회로기판 반송장치.
According to claim 1,
Further comprising an upper guide rail having a seating groove formed in the upper space of the jig unit,
The jig unit further comprises a guide bar extending upward from the upper side frame and inserted into the seating groove.
상기 회로기판 제조장치는,
상기 지그 유닛트의 전, 후면에 레지스트 처리용 약품 분사를 위한 약품 분사관이 하부에서 상부 측의 수직면을 따라 복수열로 배치되되,
상부 측의 약품 분사관의 간격은 하부 측의 약품 분사관의 간격보다 순차적으로 좁게 형성되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 회로기판 제조장치.In the circuit board manufacturing apparatus including the circuit board transport apparatus according to any one of claims 1 to 4,
The circuit board manufacturing apparatus,
Chemical injection pipes for spraying chemicals for resist processing are arranged in a plurality of rows along the vertical surface from the bottom to the top on the front and rear of the jig unit,
The circuit board manufacturing apparatus, characterized in that the distance between the upper side of the chemical injection pipe is sequentially formed narrower than the distance between the lower side of the chemical injection pipe.
상기 상부 측의 약품 분사관의 간격은 하부 측의 약품 분사관의 간격보다 순차적으로 2.5%의 비율로 좁게 형성되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 회로기판 제조장치.According to claim 5,
The circuit board manufacturing apparatus, characterized in that the interval of the upper side of the chemical injection pipe is arranged to be formed narrower at a rate of 2.5% sequentially than the interval of the lower side of the chemical injection pipe.
상기 약품 분사관의 배치구조는,
각 2열의 약품 분사관을 동일한 간격으로 배치하고 각각 직전 하부 측의 약품 분사관의 간격보다 상부 측의 간격을 5% 비율의 차이로 좁게 배치하는 것을 특징으로 하는 회로기판 제조장치.According to claim 5,
The arrangement structure of the drug injection pipe,
A circuit board manufacturing apparatus characterized in that the two rows of chemical injection pipes are arranged at equal intervals and the upper side spacing is narrower than the interval of the immediately preceding lower side chemical injection pipes with a difference of 5%.
상기 약품 분사관의 배치 구조는,
하단으로부터 제1열 약품 분사관(411)과 제2열 약품 분사관(412)의 간격(d1)은 100mm, 제2열 약품 분사관(412)과 제3열 약품 분사관(413)의 간격(d2) 및 제3열 약품 분사관(413)과 제4열 약품 분사관(414)의 간격(d3)은, 95mm, 제4열 약품 분사관(414)과 제5열 약품 분사관(415)의 간격(d4) 및 제5열 약품 분사관(415)과 제6열 약품 분사관(416)의 간격(d5)은 90mm, 제6열 약품 분사관(416)과 제7열 약품 분사관(417)의 간격(d6) 및 제7열 약품 분사관(417)과 제8열 약품 분사관(418)의 간격(d7)은 85.0mm로 배치되는 것을 특징으로 하는 회로기판 제조장치.According to claim 5,
The arrangement structure of the drug injection pipe,
The distance (d1) between the first row chemical injection pipe 411 and the second row chemical injection pipe 412 from the bottom is 100 mm, and the distance between the second row chemical injection pipe 412 and the third row chemical injection pipe 413 (d2) and the distance (d3) between the third row chemical injection pipe 413 and the fourth row chemical injection pipe 414 is 95 mm, the fourth row chemical injection pipe 414 and the fifth row chemical injection pipe 415 ) and the distance d5 between the 5th row chemical injection pipe 415 and the 6th row chemical injection pipe 416 is 90 mm, and the 6th row chemical injection pipe 416 and the 7th row chemical injection pipe The circuit board manufacturing apparatus, characterized in that the distance (d6) of (417) and the distance (d7) between the 7th row chemical injection pipe 417 and the 8th row chemical injection pipe 418 are arranged at 85.0 mm.
각 약품 분사관에는 압력센서, 유량센서 중 어느 하나 이상의 센서를 설치하여 실시간으로 센싱신호를 제어부로 전송하며,
상기 제어부는 상기 센싱신호를 판단하여 설정된 압력값 또는 유량값에서 5% 범위를 초과한 것으로 판단된 경우, 상기 약품 분사관에 약품을 공급하는 약품펌프의 회전수를 제어하여 설정된 값의 95% ~105% 범위에서 항상 일정된 압력과 분사량을 유지하도록 하는 것을 특징으로 하는 회로기판 제조장치.According to claim 5
At least one of a pressure sensor and a flow sensor is installed in each chemical injection pipe to transmit a sensing signal to the control unit in real time.
The control unit judges the sensing signal and when it is determined that the set pressure value or flow rate value exceeds the range of 5%, controls the number of rotations of the medicine pump for supplying the medicine to the medicine injection pipe to reach 95% to 95% of the set value. Circuit board manufacturing apparatus characterized in that to always maintain a constant pressure and injection amount in the 105% range.
상기 약품 분사관의 분사 압력의 설정값은 1.2 ~2.2 Kgf/㎠ 범위 중 어느 하나의 값으로 설정되는 것을 특징으로 하는 회로기판 제조장치.
According to claim 9
Circuit board manufacturing apparatus, characterized in that the setting value of the injection pressure of the chemical injection pipe is set to any one value in the range of 1.2 ~ 2.2 Kgf / cm 2.
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Citations (5)
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---|---|---|---|---|
JP2011082398A (en) * | 2009-10-08 | 2011-04-21 | Mitsubishi Electric Corp | Laser processing device and method of manufacturing solar cell |
KR20110051419A (en) * | 2009-11-10 | 2011-05-18 | 삼성전기주식회사 | Ething nozzle device and ething apparatus using the same |
KR20140113114A (en) | 2013-03-15 | 2014-09-24 | 동우 화인켐 주식회사 | Cleaning composition for removing color resist and organic insulating layer |
KR101548375B1 (en) * | 2015-04-10 | 2015-08-31 | 티에스티(주) | Substrate moving apparatus of chemical treatment |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011082398A (en) * | 2009-10-08 | 2011-04-21 | Mitsubishi Electric Corp | Laser processing device and method of manufacturing solar cell |
KR20110051419A (en) * | 2009-11-10 | 2011-05-18 | 삼성전기주식회사 | Ething nozzle device and ething apparatus using the same |
KR20140113114A (en) | 2013-03-15 | 2014-09-24 | 동우 화인켐 주식회사 | Cleaning composition for removing color resist and organic insulating layer |
KR101548375B1 (en) * | 2015-04-10 | 2015-08-31 | 티에스티(주) | Substrate moving apparatus of chemical treatment |
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