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KR20220150268A - Transferring unit and article transferring apparatus - Google Patents

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KR20220150268A
KR20220150268A KR1020220141789A KR20220141789A KR20220150268A KR 20220150268 A KR20220150268 A KR 20220150268A KR 1020220141789 A KR1020220141789 A KR 1020220141789A KR 20220141789 A KR20220141789 A KR 20220141789A KR 20220150268 A KR20220150268 A KR 20220150268A
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South Korea
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container
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KR1020220141789A
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Inventor
조길현
Original Assignee
세메스 주식회사
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Publication date
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Abstract

The present invention provides a transfer unit. The transfer unit for transferring a container including a housing in which an article is stored, and traveling on a rail comprises: a body having an actuator; a wheel coupled to the body and traveling on the rail; a grip member for chucking or unchucking a head coupled to the housing; and an elevating member for moving the grip member in a vertical direction and coupled to the body. The grip member comprises: a plurality of grippers provided to be inserted into the space between the lower surface of the head and the upper surface of the housing to chuck the head; and rollers rotatably coupled to each of the grippers, respectively. Accordingly, an article such as a substrate, etc. can be transferred effectively.

Description

반송 유닛 및 물품 반송 장치{TRANSFERRING UNIT AND ARTICLE TRANSFERRING APPARATUS}TRANSFERRING UNIT AND ARTICLE TRANSFERRING APPARATUS

본 발명은 반송 유닛 및 척킹 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조 라인에서 웨이퍼 등이 수납된 용기를 이송하는 반송 유닛, 그리고 상기 반송 유닛이 용기를 척킹하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a transfer unit and a chucking method, and more particularly, to a transfer unit for transferring a container in which wafers are accommodated in a semiconductor manufacturing line, and to a method of chucking the container by the transfer unit.

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위해서는 증착, 사진, 그리고 식각 공정과 같은 다양한 종류의 공정들이 수행되며, 이들 각각의 공정을 수행하는 장치들은 반도체 제조 라인 내에 배치된다. 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 웨이퍼 등의 대상물들은 풉(FOUP) 등의 용기에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치에 제공될 수 있다. 또한, 공정이 수행된 대상물들은 각 반도체 공정 장치로부터 용기로 회수되고, 회수된 용기는 외부로 반송될 수 있다.In general, in order to manufacture a semiconductor device, various types of processes such as deposition, photography, and etching are performed, and devices performing each of these processes are disposed in a semiconductor manufacturing line. Objects such as a wafer for performing a semiconductor device manufacturing process may be provided to each semiconductor processing apparatus in a state of being accommodated in a container such as a FOUP. In addition, the objects on which the process has been performed may be recovered from each semiconductor processing apparatus into a container, and the recovered container may be transported to the outside.

용기는 오버 헤드 호이스트 트랜스퍼(Overhead Hoist Transport, 이하 OHT)에 의해 이송된다. OHT는 대상물이 수납된 용기를 반도체 공정 장치들 중 어느 하나의 로드 포트로 이송한다. 또한, OHT는 공정 처리된 대상물이 수납된 용기를 로드 포트로부터 픽업하여 외부로 반송하거나, 반도체 공정 장치들 중 다른 하나로 반송할 수 있다.The vessel is transported by an overhead hoist transport (OHT). The OHT transfers the container in which the object is accommodated to the load port of any one of the semiconductor processing devices. In addition, the OHT may pick up the container in which the processed object is accommodated from the load port and transport it to the outside, or transport it to another of the semiconductor processing apparatuses.

도 1은 일반적인 물품 반송 장치가 가지는 그립 부재를 보여주는 도면이다. 도 1을 참조하면 일반적인 물품 반송 장치가 가지는 그립 부재(10)는 베이스 플레이트(12), 벨트(14), 가이드 레일(16), 그리고 그립퍼(18)를 포함한다. 베이스 플레이트(12)에는 가이드 레일(16)이 제공된다. 또한, 베이스 플레이트(12)는 벨트(16)와 결합되어 상하 방향으로 승강된다. 가이드 레일(16)은 그립퍼(18)의 수평 방향 이동을 가이드 할 수 있는 경로를 제공한다. 그립퍼(18)는 가이드 레일(16)의 길이 방향을 따라 수평 방향으로 이동될 수 있다. 1 is a view showing a grip member of a general article transport apparatus. Referring to FIG. 1 , the grip member 10 of a general article transport device includes a base plate 12 , a belt 14 , a guide rail 16 , and a gripper 18 . The base plate 12 is provided with guide rails 16 . In addition, the base plate 12 is coupled to the belt 16 and is lifted up and down in the vertical direction. The guide rail 16 provides a path for guiding the horizontal movement of the gripper 18 . The gripper 18 may be moved in a horizontal direction along the longitudinal direction of the guide rail 16 .

도 2, 그리고 도 3은 도 1의 그립 부재가 용기를 척킹하는 모습을 보여주는 도면이다. 도 2와 도 3을 참조하면, 용기(C)는 바디(CB)와 헤드(CH)를 포함한다. 바디(CB)는 대상물이 수납되는 수납 공간을 가진다. 헤드(CH)는 바디(CB)에 결합되고, 그립퍼(18)에 의해 그립되는 부분일 수 있다. 그립퍼(18)가 용기(C)의 헤드(CH)를 그립하는 경우, 그립퍼(18)는 수평 방향으로 이동될 수 있다. 이에, 그립퍼(18)는 헤드(CH)의 하면과 바디(CB)의 상면 사이 공간으로 진입한다. 그립퍼(18)가 헤드(CH)의 하면과 바디(CB)의 상면 사이 공간으로 진입을 완료하면, 그립퍼(18)는 벨트(14)에 의해 위 방향으로 이동한다. 이때, 그립퍼(18)와 헤드(CH)의 하면은 충돌하게 된다. 이는, 그립퍼(18)가 헤드(CH)의 하면과 바디(CB)의 상면 사이 공간으로 진입시에 그립퍼(18)가 헤드(CH)와 충돌하거나, 그립퍼(18)와 헤드(CH)가 서로 마찰되어 파티클이 발생되는 등의 문제 발생이 없도록 그립퍼(18)가 헤드(CH)의 하면과 일정 간격 이격되어 상기 사이 공간으로 진입하기 때문이다. 그립퍼(18)가 헤드(CH)와 충돌하게 되면, 진동이 발생한다. 발생된 진동은 용기(C)의 바디(CB)로 전달된다. 바디(CB)에 전달된 진동은 바디(CB) 내에서 파티클을 유발시킨다. 유발된 파티클은 대상물에 부착되어 대상물 처리의 불량을 야기한다.2 and 3 are views illustrating a state in which the grip member of FIG. 1 chucks the container. 2 and 3, the container (C) includes a body (CB) and a head (CH). The body CB has a storage space in which an object is accommodated. The head CH may be a part coupled to the body CB and gripped by the gripper 18 . When the gripper 18 grips the head CH of the container C, the gripper 18 may be moved in the horizontal direction. Accordingly, the gripper 18 enters the space between the lower surface of the head CH and the upper surface of the body CB. When the gripper 18 completes entry into the space between the lower surface of the head CH and the upper surface of the body CB, the gripper 18 moves upward by the belt 14 . At this time, the gripper 18 and the lower surface of the head CH collide. When the gripper 18 enters the space between the lower surface of the head CH and the upper surface of the body CB, the gripper 18 collides with the head CH, or the gripper 18 and the head CH rub against each other. This is because the gripper 18 is spaced apart from the lower surface of the head CH by a predetermined interval so that there is no problem such as generation of particles and the like, and enters the space between the gripper 18 . When the gripper 18 collides with the head CH, vibration occurs. The generated vibration is transmitted to the body CB of the container C. The vibration transmitted to the body CB causes particles in the body CB. The induced particles adhere to the object and cause poor processing of the object.

본 발명은 기판 등의 물품을 효과적으로 반송할 수 있는 반송 유닛 및 척킹 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a conveying unit capable of effectively conveying articles such as a substrate and a chucking method.

또한, 본 발명은 기판 등의 물품을 수납하는 용기 내에서 파티클의 발생하는 것을 최소화 할 수 있는 반송 유닛 및 척킹 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide a transfer unit and a chucking method capable of minimizing the generation of particles in a container for accommodating articles such as a substrate.

또한, 본 발명은 기판 등의 물품을 수납하는 용기와, 용기를 그립하는 그립 부재가 접촉시 용기에 전달되는 진동을 최소화 할 수 있는 반송 유닛 및 척킹 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide a transport unit capable of minimizing vibration transmitted to the container when a container for accommodating articles such as a substrate, and a grip member for gripping the container contact the container, and a chucking method.

본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The object of the present invention is not limited thereto, and other objects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명은 반송 유닛을 제공한다. 물품이 수납되는 하우징을 포함하는 용기를 반송하고, 레일을 주행하는 반송 유닛은, 구동기를 가지는 바디와; 상기 바디에 결합되고, 상기 레일을 주행하는 휠과; 상기 하우징에 결합되는 헤드를 척킹 또는 언척킹하는 그립 부재와; 상기 그립 부재를 상하 방향으로 이동시키며, 상기 바디와 결합되는 승강 부재를 포함하고, 상기 그립 부재는, 상기 헤드의 하면과 상기 하우징의 상면 사이 공간에 삽입 가능하도록 제공되어 상기 헤드를 척킹하는 복수의 그립퍼와; 상기 그립퍼 각각에 회전 가능하게 결합되는 롤러를 포함할 수 있다.The present invention provides a conveying unit. A transport unit that transports a container including a housing in which an article is accommodated, and runs on a rail, includes: a body having a actuator; a wheel coupled to the body and running on the rail; a grip member for chucking or unchucking the head coupled to the housing; a plurality of lifting members for moving the grip member in a vertical direction and coupled to the body, wherein the grip member is provided to be insertable into a space between a lower surface of the head and an upper surface of the housing to chuck the head with grippers; It may include a roller rotatably coupled to each of the grippers.

일 실시 예에 의하면, 상기 그립 부재는, 상기 그립퍼들의 이동 방향을 가이드 하는 수평 이동 레일을 포함할 수 있다.According to an embodiment, the grip member may include a horizontal movement rail for guiding a movement direction of the grippers.

일 실시 예에 의하면, 상기 그립퍼는, 상하 방향으로 연장되고, 상기 수평 이동 레일과 결합되는 결합부와; 상기 결합부로부터 수평 방향으로 연장되며, 상기 사이 공간에 삽입 가능한 삽입부를 포함하고, 상기 롤러는, 상기 삽입부에 회전 가능하게 결합될 수 있다.According to an embodiment, the gripper may include: a coupling part extending in a vertical direction and coupled to the horizontal moving rail; It extends in a horizontal direction from the coupling part, and includes an insertion part that can be inserted into the space therebetween, and the roller may be rotatably coupled to the insertion part.

일 실시 예에 의하면, 상기 결합부에는, 상기 그립 부재가 상기 용기를 척킹시 상기 헤드의 측면에 형성된 홈에 삽입되는 돌출단이 형성될 수 있다.According to an embodiment, the coupling part may have a protruding end into which the grip member is inserted into a groove formed on a side surface of the head when the container is chucked.

일 실시 예에 의하면, 상기 홈과 상기 돌출단은 서로 대응하는 형상을 가질 수 있다.According to an embodiment, the groove and the protruding end may have shapes corresponding to each other.

일 실시 예에 의하면, 상기 롤러는, 상기 사이 공간의 직경보다 작은 직경을 가질 수 있다.According to an embodiment, the roller may have a smaller diameter than the diameter of the interspace.

일 실시 예에 의하면, 상기 유닛은, 제어기를 더 포함하고, 상기 제어기는, 상기 그립 부재가 상기 헤드를 척킹하여 상기 용기를 반송시 상기 그립퍼들의 위치가 고정되도록 상기 그립 부재를 제어할 수 있다.According to an embodiment, the unit may further include a controller, and the controller may control the grip member so that the position of the grippers is fixed when the grip member chucks the head to transport the container.

일 실시 예에 의하면, 상기 유닛은, 제어기를 더 포함하고, 상기 제어기는, 상기 그립 부재가 상기 헤드를 척킹하기 위해 상기 그립퍼들이 수평 이동시 상기 롤러가 상기 헤드의 측면과 접촉되지 않도록 상기 그립퍼들을 승강시키도록 상기 승강 부재를 제어할 수 있다.According to an embodiment, the unit further includes a controller, wherein the controller raises and lowers the grippers so that the roller does not come into contact with a side surface of the head when the grippers horizontally move so that the grip member chucks the head. It is possible to control the lifting member to make it.

일 실시 예에 의하면, 상기 그립 부재는, 상부에서 바라볼 때, 상기 그립 부재가 상기 헤드를 척킹시 정위치 되었는지 여부를 감지하는 센서를 가지는 푸셔를 포함할 수 있다.According to an embodiment, the grip member may include a pusher having a sensor for detecting whether the grip member is positioned properly when the head is chucked when viewed from the top.

일 실시 예에 의하면, 상기 푸셔는, 상기 그립 부재가 상기 헤드를 척킹시 상기 헤드에 형성된 홀에 일부가 삽입 가능한 형상을 가질 수 있다.According to an embodiment, the pusher may have a shape that can be partially inserted into a hole formed in the head when the grip member chucks the head.

일 실시 예에 의하면, 복수의 상기 그립퍼들 중 어느 하나는 상기 헤드의 제1영역을 척킹하도록 설치되고, 복수의 상기 그립퍼들 중 다른 하나는 상기 헤드의 제2영역을 척킹하도록 설치되되, 상기 제2영역은, 상부에서 바라볼 때 상기 헤드의 중심을 기준으로 제1영역과 서로 대칭되는 영역일 수 있다.According to an embodiment, any one of the plurality of grippers is installed to chuck a first area of the head, and the other one of the plurality of grippers is installed to chuck a second area of the head, Region 2 may be a region symmetrical to the first region with respect to the center of the head when viewed from above.

또한, 본 발명은 척킹 방법을 제공한다. 반송 유닛을 이용하여 상기 용기를 척킹하는 척킹 방법은, 상기 유닛이 상기 용기의 상부로 이동하는 제1이동 단계와; 상기 그립퍼, 그리고 상기 롤러가 상기 사이 공간에 삽입 가능한 위치로 이동되는 제1승강 단계와; 상기 그립퍼가 수평 이동하여 상기 롤러가 상기 헤드의 하면과 접촉되는 수평 이동 단계와; 상기 그립퍼가 상기 용기를 척킹한 상태로 상기 용기를 이동시키는 제2승강 단계를 포함할 수 있다.The present invention also provides a chucking method. A chucking method for chucking the container using a conveying unit includes: a first moving step of moving the unit to an upper portion of the container; a first elevating step in which the gripper and the roller are moved to a position where they can be inserted into the space therebetween; a horizontal movement step of horizontally moving the gripper to bring the roller into contact with a lower surface of the head; and a second elevating step of moving the container in a state in which the gripper chucks the container.

일 실시 예에 의하면, 상기 롤러의 중심을 지나고 수평 방향과 평행한 가상의 직선을 제1라인으로 정의하고, 상기 롤러의 외면과 접하고 수평 방향과 평행한 가상의 직선들 중 상부에 위치하는 가상의 직선을 제2라인으로 정의할 때, 상기 제1승강 단계에는, 상기 제1라인이 상기 헤드의 하면보다는 높이가 낮고, 상기 제2라인이 상기 헤드의 하면과 높이가 같거나 높도록 상기 그립퍼를 이동시킬 수 있다.According to an embodiment, a virtual straight line passing through the center of the roller and parallel to the horizontal direction is defined as the first line, and a virtual straight line that is in contact with the outer surface of the roller and is located above among the virtual straight lines parallel to the horizontal direction is defined as a first line. When the straight line is defined as the second line, in the first lifting step, the gripper is moved so that the first line is lower than the lower surface of the head and the second line is equal to or higher in height than the lower surface of the head. can be moved

본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판 등의 물품을 효과적으로 반송할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, it is possible to effectively transport articles such as substrates.

또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판 등의 물품을 수납하는 용기 내에서 파티클의 발생하는 것을 최소화 할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, it is possible to minimize the generation of particles in the container for accommodating an article such as a substrate.

또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판 등의 물품을 수납하는 용기와, 용기를 그립하는 그립 부재가 접촉시 용기에 전달되는 진동을 최소화 할 수 있다.Further, according to an embodiment of the present invention, it is possible to minimize the vibration transmitted to the container when the container for accommodating an article such as a substrate and a grip member for gripping the container come into contact with each other.

본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 않은 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.Effects of the present invention are not limited to the above-described effects, and effects not mentioned will be clearly understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains from the present specification and accompanying drawings.

도 1은 일반적인 물품 반송 장치가 가지는 그립 부재를 보여주는 도면이다.
도 2, 그리고 도 3은 도 1의 그립 부재가 용기를 척킹하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 4는 반도체 제조 장치와 본 발명의 물품 반송 장치를 상부에서 바라본 도면이다.
도 5는 도 4의 물품 반송 장치를 정면에서 바라본 도면이다.
도 6은 도 4의 물품 반송 장치를 측면에서 바라본 도면이다.
도 7은 도 4의 물품 반송 장치를 상부에서 바라본 도면이다.
도 8은 본 발명의 반송 유닛이 주행 방향의 변경 없이 주행하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 9는 본 발명의 반송 유닛이 주행 방향을 변경하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 10은 본 발명의 반송 유닛이 포함하는 그립 부재를 보여주는 도면이다.
도 11은 도 10의 그립 부재와 용기를 상부에서 바라본 도면이다.
도 12는 본 발명의 일 실시 예에 따른 척킹 방법을 보여주는 플로우 차트이다.
도 13은 도 12의 제1이동 단계를 수행하는 반송 유닛의 모습을 보여주는 도면이다.
도 14, 그리고 도 15는 도 12의 제1승강 단계를 수행하는 반송 유닛의 모습을 보여주는 도면이다.
도 16, 그리고 도 17은 도 12의 수평 이동 단계를 수행하는 반송 유닛의 모습을 보여주는 도면이다.
도 18은 도 12의 제2승강 단계를 수행하는 반송 유닛의 모습을 보여주는 도면이다.
도 19는 도 12의 제2이동 단계를 수행하는 반송 유닛의 모습을 보여주는 도면이다.1 is a view showing a grip member of a general article transport apparatus.
2 and 3 are views illustrating a state in which the grip member of FIG. 1 chucks the container.
4 is a view of the semiconductor manufacturing apparatus and the article transport apparatus of the present invention as viewed from above.
FIG. 5 is a view of the article transport apparatus of FIG. 4 as viewed from the front;
FIG. 6 is a side view of the article transport apparatus of FIG. 4 .
7 is a view of the article transport apparatus of FIG. 4 as viewed from above.
8 is a view showing a state in which the conveying unit of the present invention travels without changing the traveling direction.
9 is a view showing a state in which the conveying unit of the present invention changes the traveling direction.
10 is a view showing a grip member included in the conveying unit of the present invention.
11 is a view of the grip member and the container of FIG. 10 as viewed from above.
12 is a flowchart illustrating a chucking method according to an embodiment of the present invention.
FIG. 13 is a view showing a state of the conveying unit performing the first moving step of FIG. 12 .
14 and 15 are diagrams illustrating a transfer unit performing the first lifting step of FIG. 12 .
16 and 17 are views showing a state of a conveying unit performing the horizontal movement step of FIG. 12 .
FIG. 18 is a view showing a state of the conveying unit performing the second elevating step of FIG. 12 .
FIG. 19 is a view showing a state of a conveying unit performing a second moving step of FIG. 12 .

아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, embodiments of the present invention will be described in detail so that those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can easily implement them. However, the present invention may be embodied in various different forms and is not limited to the embodiments described herein. In addition, in describing a preferred embodiment of the present invention in detail, if it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted. In addition, the same reference numerals are used throughout the drawings for parts having similar functions and functions.

어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 구체적으로, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다."Including" a certain component means that other components may be further included, rather than excluding other components, unless otherwise stated. Specifically, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate that a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described in the specification is present, and includes one or more other features or It should be understood that the existence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof does not preclude the possibility of addition.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In addition, the shapes and sizes of elements in the drawings may be exaggerated for clearer description.

본 실시 예의 물품 반송 장치는 용기를 반송하는데 사용될 수 있다. 특히, 본 실시 예의 물품 반송 장치는 물품이 수납된 용기를 반송할 수 있다. 물품은 웨이퍼 등의 기판 또는 레티클일 수 있다. 물품이 수납되는 용기는 풉(Front Opening Unified Pod : FOUP)일 수 있다. 또한, 물품이 수납되는 용기는 파드(POD)일 수 있다. 또한, 물품이 수납되는 용기는 복수의 인쇄회로 기판들을 수납하기 위한 매거진, 복수의 반도체 패키지들을 수납하기 위한 트레이 등을 들 수 있다.The article transport apparatus of this embodiment can be used to transport containers. In particular, the article transport apparatus of the present embodiment can transport the container in which the article is accommodated. The article may be a substrate or reticle, such as a wafer. The container in which the article is stored may be a Front Opening Unified Pod (FOUP). In addition, the container in which the article is accommodated may be a pod (POD). In addition, the container in which the article is accommodated may include a magazine for accommodating a plurality of printed circuit boards, a tray for accommodating a plurality of semiconductor packages, and the like.

이하에서는, 물품 반송 장치가 웨이퍼 등의 기판이 수납된 용기를 반도체 제조 라인에 배치된 반도체 공정 장치들에 반송하는 것을 예로 들어 설명한다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니고 본 실시 예의 물품 반송 장치는 물품 및/또는 물품이 수납된 용기의 반송이 요구되는 다양한 제조 라인에도 동일 또는 유사하게 적용될 수 있다. Hereinafter, an example in which the article transport device transports a container in which a substrate such as a wafer is accommodated to semiconductor processing devices disposed in a semiconductor manufacturing line will be described as an example. However, the present invention is not limited thereto, and the article transport apparatus of the present embodiment may be equally or similarly applied to various manufacturing lines requiring transport of articles and/or containers in which articles are accommodated.

이하에서는 도 4 내지 도 19를 참조하여 본 발명의 실시 예에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 4 to 19 .

도 4는 반도체 제조 장치와 본 발명의 일 실시 예에 따른 물품 반송 장치를 상부에서 바라본 도면이다. 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 물품 반송 장치(1000)는 반도체 공정 장치(100)들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인에 물품이 수납된 용기(20)를 반송할 수 있다. 물품 반송 장치(1000)는 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치일 수 있다. 물품 반송 장치(1000)는 레일(300)과 반송 유닛(500)을 포함할 수 있다. 반송 유닛(500)은 용기(20)를 파지할 수 있다. 반송 유닛(500)은 레일(300)을 따라 정해진 경로를 따라 주행할 수 있다. 레일(300)은 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비될 수 있다.4 is a top view of a semiconductor manufacturing apparatus and an article transport apparatus according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 4 , the article transport apparatus 1000 according to the present invention can transport the container 20 in which the article is accommodated in a semiconductor manufacturing line in which the semiconductor processing apparatuses 100 are continuously arranged. The article transport device 1000 may be an overhead hoist transport (OHT) device. The article transport apparatus 1000 may include a rail 300 and a transport unit 500 . The transfer unit 500 may hold the container 20 . The transfer unit 500 may travel along a predetermined path along the rail 300 . The rail 300 may be provided along the ceiling of the semiconductor manufacturing line.

도 4에서는 레일(300)을 대체로 육각형의 형태로 도시하였으나, 레일(300)의 형상은 원형, 사각형 등 다양하게 변형될 수 있다. 레일(300)은 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되어 반도체 공정 장치(100)들을 상부에서 확인할 수 있도록 설치될 수 있다. 레일(300)의 설치 범위는 반도체 공정 장치(100)들 전체적으로 조망할 수 있도록 넓은 영역으로 배치될 수 있다.Although the rail 300 is illustrated in a substantially hexagonal shape in FIG. 4 , the shape of the rail 300 may be variously modified, such as a circle, a square, and the like. The rail 300 is provided along the ceiling of the semiconductor manufacturing line and may be installed so that the semiconductor processing apparatuses 100 can be checked from above. The installation range of the rail 300 may be arranged in a wide area so that the entire semiconductor processing apparatus 100 can be viewed.

도 5는 도 4의 물품 반송 장치를 정면에서 바라본 도면이고, 도 6은 도 4의 물품 반송 장치를 측면에서 바라본 도면이고, 도 7은 도 4의 물품 반송 장치를 상부에서 바라본 도면이다. 도 5 내지 도 7을 참조하면, 물품 반송 장치(1000)는 레일(300), 그리고 반송 유닛(500)을 포함할 수 있다.FIG. 5 is a front view of the article transport device of FIG. 4 , FIG. 6 is a side view of the article transport device of FIG. 4 , and FIG. 7 is a view of the article transport device of FIG. 4 viewed from above. 5 to 7 , the article transport apparatus 1000 may include a rail 300 and a transport unit 500 .

레일(300)은 주행 레일(310)과 조향 레일(330)을 포함할 수 있다. 주행 레일(310)에는 후술하는 반송 유닛(500)의 주행 휠(520)이 접촉될 수 있다. 주행 레일(310)은 복수로 제공되고, 서로 이격되어 제공될 수 있다. 예컨대, 주행 레일(310)은 한 쌍으로 제공될 수 있다. 한 쌍의 주행 레일(310)은 서로 평행하고, 같은 높이로 제공될 수 있다.The rail 300 may include a driving rail 310 and a steering rail 330 . A traveling wheel 520 of a conveying unit 500 to be described later may contact the traveling rail 310 . The traveling rail 310 may be provided in plurality, and may be provided to be spaced apart from each other. For example, the traveling rails 310 may be provided as a pair. The pair of running rails 310 may be parallel to each other and may be provided at the same height.

조향 레일(330)에는 후술하는 반송 유닛(500)의 조향 휠(530)이 선택적으로 접촉될 수 있다. 조향 레일(330)은 주행 레일(310)보다 상부에 배치될 수 있다. 조향 레일(330)은 상부에서 바라볼 때 한 쌍의 주행 레일(310) 사이에 배치될 수 있다. 또한, 조향 레일(330)의 일부는 상부에서 바라볼 때 굴곡진 형상을 가질 수 있다. 조향 레일(330)은 반송 유닛(500)의 주행 방향을 변경시킬 수 있다. The steering wheel 530 of the transport unit 500 to be described later may selectively contact the steering rail 330 . The steering rail 330 may be disposed above the driving rail 310 . The steering rail 330 may be disposed between the pair of driving rails 310 when viewed from above. Also, a portion of the steering rail 330 may have a curved shape when viewed from the top. The steering rail 330 may change the traveling direction of the conveying unit 500 .

반송 유닛(500)은 레일(300)을 주행할 수 있다. 반송 유닛(500)은 주행 레일(310)을 주행할 수 있다. 반송 유닛(500)은 용기(20)를 파지할 수 있다. 반송 유닛(500)은 용기(20)를 파지한 상태로 레일(300)을 주행할 수 있다. 반송 유닛(500)은 바디(510), 휠(520, 530), 프레임(540), 넥(550), 슬라이더(560), 승강 부재(570), 그립 부재(600), 그리고 제어기를 포함할 수 있다.The transfer unit 500 may travel on the rail 300 . The transfer unit 500 may travel on the traveling rail 310 . The transfer unit 500 may hold the container 20 . The transfer unit 500 may travel on the rail 300 while gripping the container 20 . The transfer unit 500 may include a body 510 , wheels 520 and 530 , a frame 540 , a neck 550 , a slider 560 , a lifting member 570 , a grip member 600 , and a controller. can

바디(510)에는 휠(520, 530), 그리고 넥(550)이 결합될 수 있다. 바디(510)에는 휠(520, 530)가 회전 가능하게 결합될 수 있다. 또한, 바디(510)에는 넥(550)이 회전 가능하게 결합될 수 있다. 바디(510)는 내부에 구동기(미도시)를 가질 수 있다. 구동기는 휠(520, 530)을 회전시킬 수 있다. 구동기는 휠(520, 530)에 동력을 전달하여 휠(520, 530)을 회전시킬 수 있다. 또한, 바디(510)는 복수로 제공될 수 있다. 각각의 바디(510)는 상술한 구동기를 가질 수 있다. 또한, 각각의 바디(510)에는 상술한 휠(520, 530), 그리고 넥(550)이 결합될 수 있다.Wheels 520 and 530 and a neck 550 may be coupled to the body 510 . Wheels 520 and 530 may be rotatably coupled to the body 510 . In addition, a neck 550 may be rotatably coupled to the body 510 . The body 510 may have a driver (not shown) therein. The actuator may rotate the wheels 520 and 530 . The driver may transmit power to the wheels 520 and 530 to rotate the wheels 520 and 530 . In addition, a plurality of bodies 510 may be provided. Each body 510 may have the above-described driver. In addition, the above-described wheels 520 and 530 and the neck 550 may be coupled to each body 510 .

휠(520, 530)은 바디(510)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 휠(520, 530)은 레일(300)과 접촉하여 회전될 수 있다. 휠(520, 530)은 주행 휠(520), 그리고 조향 휠(530)을 포함할 수 있다.The wheels 520 and 530 may be rotatably coupled to the body 510 . The wheels 520 and 530 may be rotated in contact with the rail 300 . The wheels 520 and 530 may include a driving wheel 520 and a steering wheel 530 .

주행 휠(520)는 바디(510)에 결합될 수 있다. 주행 휠(520)은 바디(510)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 주행 휠(520)은 레일(300) 중 주행 레일(310)과 접촉하고 회전하여 주행 레일(310)을 주행할 수 있다. 주행 휠(520)은 복수로 제공될 수 있다. 주행 휠(520)은 한 쌍으로 제공될 수 있다. 주행 휠(520) 중 어느 하나는 바디(510)의 일면에 회전 가능하게 결합되고, 주행 휠(520) 중 다른 하나는 바디(510)의 일면과 대향되는 타면에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 주행 휠(520)은 바디(510)가 가지는 구동기로부터 동력을 전달받아 회전될 수 있다.The driving wheel 520 may be coupled to the body 510 . The driving wheel 520 may be rotatably coupled to the body 510 . The traveling wheel 520 may come into contact with the traveling rail 310 among the rails 300 and rotate to drive the traveling rail 310 . A plurality of driving wheels 520 may be provided. The driving wheels 520 may be provided as a pair. One of the driving wheels 520 may be rotatably coupled to one surface of the body 510 , and the other of the driving wheels 520 may be rotatably coupled to the other surface opposite to one surface of the body 510 . The driving wheel 520 may be rotated by receiving power from a driver of the body 510 .

조향 휠(530)은 바디(510)에 결합될 수 있다. 조향 휠(530)은 바디(510)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 조향 휠(530)은 조향 레일(330)과 선택적으로 접촉될 수 있다. 조향 휠(530)은 반송 유닛(500)의 주행 방향을 변경시 조향 레일(330)과 접촉될 수 있다. 조향 휠(530)은 반송 유닛(500)이 주행 방향 변경 없이 주행하는 경우 조향 레일(330)과 접촉되지 않을 수 있다. 조향 휠(530)은 바디(510)의 상면에 결합될 수 있다. 조향 휠(530)은 바디(510)가 가지는 구동기가 전달하는 동력에 의해 위치가 변경될 수 있다. 조향 휠(530)은 바디(510)의 상면에 그 위치가 변경 가능하도록 바디(510)의 상면에 결합될 수 있다. 조향 휠(530)은 바디(510)의 상면에 제공되는 가이드 레일(512)을 매개로 바디(510)와 결합될 수 있다. 조향 휠(530)은 가이드 레일(512)의 길이 방향을 따라 위치가 변경 가능하도록 제공될 수 있다. 가이드 레일(512)의 길이 방향은 주행 휠(520)이 회전하여 반송 유닛(500)이 주행하는 방향에 대하여 수직일 수 있다. 또한, 조향 휠(530)은 복수로 제공될 수 있다. 예컨대, 조향 휠(530)는 한 쌍으로 제공될 수 있다. 한 쌍의 조향 휠(530)는 반송 유닛(500)의 주행 방향을 따라 배치될 수 있다.The steering wheel 530 may be coupled to the body 510 . The steering wheel 530 may be rotatably coupled to the body 510 . The steering wheel 530 may selectively contact the steering rail 330 . The steering wheel 530 may come into contact with the steering rail 330 when the traveling direction of the conveying unit 500 is changed. The steering wheel 530 may not come into contact with the steering rail 330 when the conveying unit 500 travels without changing the traveling direction. The steering wheel 530 may be coupled to the upper surface of the body 510 . The position of the steering wheel 530 may be changed by power transmitted by a driver of the body 510 . The steering wheel 530 may be coupled to the upper surface of the body 510 so that its position on the upper surface of the body 510 can be changed. The steering wheel 530 may be coupled to the body 510 via a guide rail 512 provided on the upper surface of the body 510 . The steering wheel 530 may be provided to be changeable in a position along the longitudinal direction of the guide rail 512 . The longitudinal direction of the guide rail 512 may be perpendicular to a direction in which the traveling wheel 520 rotates and the conveying unit 500 travels. Also, a plurality of steering wheels 530 may be provided. For example, the steering wheel 530 may be provided as a pair. The pair of steering wheels 530 may be disposed along the traveling direction of the conveying unit 500 .

프레임(540)은 내부 공간을 가질 수 있다. 프레임(540)의 내부 공간에는 후술하는 슬라이더(560), 승강 부재(570), 그리고 그립 부재(600)가 제공될 수 있다. 또한, 프레임(540)은 양 측면 및 하면이 개방된 육면체 형상을 가질 수 있다. 즉, 프레임(540)은 전면 및 후면이 블로킹 플레이트(Blocking Plate)로 제공될 수 있다. 이에, 반송 유닛(500)이 주행시 공기 저항에 의해 파지된 용기(20)가 흔들리는 것을 방지할 수 있다. 또한, 프레임(540)은 넥(550)을 매개로 바디(510)에 결합될 수 있다. 넥(550)은 바디(510), 그리고 프레임(540)에 대하여 회전 가능하게 제공될 수 있다. 프레임(540)은 적어도 하나 이상의 넥(550)을 매개로 적어도 하나 이상의 바디(510)에 결합될 수 있다. 예컨대, 프레임(540)은 하나로 제공되고, 하나의 프레임(540)에는 두 개의 넥(550)이 결합될 수 있다. 그리고, 두 개의 넥(550)은 두 개의 바디(510)에 각각 결합될 수 있다. The frame 540 may have an internal space. A slider 560 , an elevating member 570 , and a grip member 600 , which will be described later, may be provided in the inner space of the frame 540 . In addition, the frame 540 may have a hexahedral shape in which both sides and lower surfaces are open. That is, the frame 540 may be provided as a front and rear blocking plate (blocking plate). Accordingly, it is possible to prevent the container 20 held by air resistance from shaking when the conveying unit 500 is driven. In addition, the frame 540 may be coupled to the body 510 via the neck 550 . The neck 550 may be rotatably provided with respect to the body 510 and the frame 540 . The frame 540 may be coupled to at least one body 510 via at least one neck 550 . For example, one frame 540 may be provided, and two necks 550 may be coupled to one frame 540 . In addition, the two necks 550 may be respectively coupled to the two bodies 510 .

슬라이더(560)는 프레임(540)에 결합될 수 있다. 슬라이더(560)는 프레임(540)에 대하여 그 위치가 변경될 수 있도록 결합될 수 있다. 슬라이더(560)는 프레임(540)의 내부 공간에 제공되고, 프레임(540)의 하면에 결합될 수 있다. 슬라이더(560)는 전방, 후방, 좌우 측방으로 그 위치를 변경할 수 있도록 프레임(540)에 결합될 수 있다. 또한, 슬라이더(560)는 후술하는 승강 부재(570)와 결합될 수 있다. 이에, 슬라이더(560)의 위치를 변경하여 승강 부재(570)의 위치를 변경할 수 있다. The slider 560 may be coupled to the frame 540 . The slider 560 may be coupled such that its position with respect to the frame 540 may be changed. The slider 560 is provided in the inner space of the frame 540 and may be coupled to the lower surface of the frame 540 . The slider 560 may be coupled to the frame 540 to change its position to the front, rear, left and right sides. Also, the slider 560 may be coupled to a lifting member 570 to be described later. Accordingly, the position of the lifting member 570 may be changed by changing the position of the slider 560 .

승강 부재(570)는 그립 부재(600)를 승하강 시킬 수 있다. 승강 부재(570)는 프레임(540) 및/또는 넥(550)을 매개로 바디(510)에 결합될 수 있다. 승강 부재(570)는 내부에 구동기(미도시)를 포함할 수 있다. 구동기는 그립 부재(600)와 연결된 벨트(572)를 감거나 풀어 그립 부재(600)를 승하강 시킬 수 있다. 그립 부재(600)는 용기(20)를 파지할 수 있다. 그립 부재(600)는 용기(20)를 착탈 가능하게 파지할 수 있다. 그립 부재(600)는 용기(20)를 반도체 공정 장치의 로드 포트로 로딩하거나, 로드 포트로부터 언로딩할 수 있다. 그립 부재(600)의 구체적인 설명은 후술한다.The lifting member 570 may raise and lower the grip member 600 . The lifting member 570 may be coupled to the body 510 via the frame 540 and/or the neck 550 . The lifting member 570 may include a driver (not shown) therein. The actuator may wind or unwind the belt 572 connected to the grip member 600 to elevate the grip member 600 . The grip member 600 may grip the container 20 . The grip member 600 may detachably grip the container 20 . The grip member 600 may load the container 20 into or unload from the load port of the semiconductor processing apparatus. A detailed description of the grip member 600 will be described later.

이하에서는, 주행 레일(310)을 주행하는 반송 유닛(500)의 주행 방향을 변경하는 방법에 대하여 설명한다. 도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송 유닛이 주행 방향의 변경 없이 주행하는 모습을 보여주는 도면이고, 도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송 유닛이 주행 방향을 변경하는 모습을 보여주는 도면이다. 도 8과 도 9를 참조하면, 조향 레일(330)은 주행 레일(310)보다 상부에 배치될 수 있다. 또한, 조향 레일(330)은 상부에서 바라볼 때 한 쌍의 주행 레일(310) 사이에 배치될 수 있다. 조향 레일(330)은 일부는 굴곡진 형상을 가질 수 있다. 또한, 조향 레일(330)의 다른 일부는 직선 형상을 가질 수 있다. 조향 레일(330)의 굴곡진 부분은 주행 레일(310)들의 교차 영역에 배치될 수 있다. 조향 레일(330)의 직선 부분은 주행 레일(310)의 주행 영역에 배치될 수 있다.Hereinafter, a method of changing the traveling direction of the conveying unit 500 traveling on the traveling rail 310 will be described. 8 is a view showing a state in which the conveying unit travels without changing the traveling direction according to an embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a view showing a state in which the conveying unit changes the traveling direction according to an embodiment of the present invention to be. 8 and 9 , the steering rail 330 may be disposed above the driving rail 310 . Also, the steering rail 330 may be disposed between the pair of driving rails 310 when viewed from above. A portion of the steering rail 330 may have a curved shape. Also, another portion of the steering rail 330 may have a straight shape. A curved portion of the steering rail 330 may be disposed at an intersection region of the driving rails 310 . A straight portion of the steering rail 330 may be disposed in a traveling area of the traveling rail 310 .

반송 유닛(500)이 주행 방향의 변경 없이 그대로 직선 운동을 하는 경우, 반송 유닛(500)의 조향 휠(530)은 조향 레일(330)과 서로 접촉되지 않는 위치로 이동된다. 즉, 조향 휠(530)은 조향 레일(330)과 접촉되지 않으므로, 반송 유닛(500)은 주행 방향의 변경 없이 그대로 직선 운동을 하게 된다(도 8 참조). 그러나, 주행 방향의 변경 없이 그대로 직선 운동을 하는 경우에도 조향 휠 (530)에 의해 반송 유닛(500)의 주행 방향이 변경되지 않는다면 조향 휠(530)은 조향 레일(330)과 접촉될 수도 있다. 예컨대, 조향 휠(530)은 도 8의 조향 레일(330)의 좌측 면과 접촉될 수도 있다.When the conveying unit 500 moves in a straight line without changing the traveling direction, the steering wheel 530 of the conveying unit 500 is moved to a position where it does not contact the steering rail 330 with each other. That is, since the steering wheel 530 does not come into contact with the steering rail 330 , the conveying unit 500 moves in a straight line without changing the driving direction (see FIG. 8 ). However, if the driving direction of the conveying unit 500 is not changed by the steering wheel 530 even when the driving direction is linearly moved without changing the driving direction, the steering wheel 530 may come into contact with the steering rail 330 . For example, the steering wheel 530 may be in contact with the left surface of the steering rail 330 of FIG. 8 .

이와 달리, 반송 유닛(500)의 주행 방향을 변경하고자 하는 경우, 반송 유닛(500)의 조향 휠(530)은 조향 레일(330)과 접촉되는 위치로 이동될 수 있다. 구체적으로, 조향 휠(530)은 반송 유닛(500)의 변경 전 주행 방향을 기준으로 변경 후 주행 방향과 대응하는 조향 레일(330)의 면과 접촉되도록 그 위치가 변경된다. 예컨대, 반송 유닛(500)의 변경 전 주행 방향을 기준으로 변경 후 주행 방향이 우측 방향인 경우, 우측 방향과 대응하는 조향 레일(330)의 우측 면과 접촉되도록 조향 휠(530)의 위치가 변경된다(도 9 참조). 도 9에 도시된 예로 반송 유닛(500)의 주행 방향 변경을 설명하면, 반송 유닛(500)의 주행 방향을 기준으로 우측 주행 휠(520)는 주행 레일(310)과 계속하여 접촉된다. 그리고, 반송 유닛(500)의 좌측 주행 휠(520)는 반송 유닛(500)의 주행 방향이 변경되면서 주행 레일(310)과 이격된다. 그리고, 조향 휠(530)은 반송 유닛(500)의 주행 방향 변경이 완료될 때까지 조향 레일(330)과 계속하여 접촉한다. 주행 방향 변경이 완료되면 조향 휠(530)은 조향 레일(330)로부터 이격되고, 좌측 주행 휠(520)은 다시 주행 레일(310)과 접촉된다.On the other hand, when the traveling direction of the conveying unit 500 is to be changed, the steering wheel 530 of the conveying unit 500 may be moved to a position in contact with the steering rail 330 . Specifically, the position of the steering wheel 530 is changed so as to be in contact with the surface of the steering rail 330 corresponding to the driving direction after the change based on the driving direction before the change of the conveying unit 500 . For example, when the driving direction is the right direction after changing the driving direction before the change of the conveying unit 500 , the position of the steering wheel 530 is changed so as to be in contact with the right side of the steering rail 330 corresponding to the right direction. (see FIG. 9). When the change of the traveling direction of the conveying unit 500 is described as an example shown in FIG. 9 , the right traveling wheel 520 continues to contact the traveling rail 310 based on the traveling direction of the conveying unit 500 . In addition, the left traveling wheel 520 of the conveying unit 500 is spaced apart from the traveling rail 310 while the traveling direction of the conveying unit 500 is changed. In addition, the steering wheel 530 continues to contact the steering rail 330 until the change of the traveling direction of the conveying unit 500 is completed. When the driving direction change is completed, the steering wheel 530 is separated from the steering rail 330 , and the left driving wheel 520 comes into contact with the driving rail 310 again.

도 10은 본 발명의 반송 유닛이 포함하는 그립 부재를 보여주는 도면이고, 도 11은 도 10의 그립 부재와 용기를 상부에서 바라본 도면이다. 도 10과 도 11을 참조하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 그립 부재(600)에 대하여 상세히 설명한다. 우선, 그립 부재(600)에 대하여 설명하기에 앞서, 그립 부재(600)가 척킹하는 용기(20)에 대하여 간략히 설명한다.10 is a view showing a grip member included in the conveying unit of the present invention, and FIG. 11 is a view of the grip member and the container of FIG. 10 as viewed from above. The grip member 600 according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 10 and 11 . First, before describing the grip member 600 , the container 20 chucked by the grip member 600 will be briefly described.

용기(20)는 내부에 물품을 수납할 수 있다. 용기(20)는 풉(FOUP)일 수 있다. 또한, 용기(20)에 수납되는 물품은 웨이퍼 등의 기판일 수 있다. 용기(20)는 하우징(21), 그리고 헤드(23)를 포함할 수 있다. 용기(20)는 물품이 수납되는 수납 공간을 가질 수 있다. 헤드(23)는 후술하는 그립 부재(600)에 의해 척킹 또는 언척킹 될 수 있다. 헤드(23)는 하우징(21)에 결합될 수 있다. 헤드(23)는 하우징(21)의 상면에 결합될 수 있다, 헤드(23)는 결합 부재(22)를 매개로 하우징(21)의 상면에 결합될 수 있다. The container 20 may accommodate an article therein. The container 20 may be a FOUP. In addition, the article accommodated in the container 20 may be a substrate such as a wafer. The container 20 may include a housing 21 and a head 23 . The container 20 may have a storage space in which an article is accommodated. The head 23 may be chucked or unchucked by a grip member 600 to be described later. The head 23 may be coupled to the housing 21 . The head 23 may be coupled to the upper surface of the housing 21 , and the head 23 may be coupled to the upper surface of the housing 21 via the coupling member 22 .

또한, 헤드(23)에는 후술하는 푸셔(640)가 삽입되는 홀(25)과, 후술하는 돌출단(656)이 삽입되는 홈(27)이 형성될 수 있다. 홀(25)은 상부에서 바라볼 때, 헤드(23)의 중심 영역에 형성될 수 있다. 홀(25)은 상부에서 바라볼 때, 원 형상을 가질 수 있다. 또한, 홀(25)은 후술하는 푸셔(640)가 삽입되는 직경을 가질 수 있다. 홀(25)은 후술하는 푸셔(640)의 일부가 삽입되는 직경을 가질 수 있다. 또한, 홈(27)는 헤드(23)의 측면에 형성될 수 있다. 홈(27)은 헤드(23)의 측면에서 상부에서 바라본 헤드(23)의 중심을 향하는 방향으로 만입되어 형성될 수 있다. 홈(27)은 상부에서 바라볼 때 헤드(23)의 측면에서 헤드(23)의 중심을 향하는 방향으로 갈수록 그 폭이 점차 좁아지는 형상을 가질 수 있다. 예컨대, 홈(27)은 상부에서 바라볼 때, 삼각 형상을 가질 수 있다. 또한, 홈(27)은 후술하는 돌출단(656)과 대응하는 형상을 가질 수 있다. 예컨대, 홈(27)이 상부에서 바라볼 때, 삼각 형상을 가지는 경우, 돌출단(656)은 홈(27)에 삽입될 수 있도록 이와 동일 또는 유사한 삼각 형상을 가질 수 있다.In addition, a hole 25 into which a pusher 640 to be described later is inserted and a groove 27 into which a protruding end 656 to be described later is inserted may be formed in the head 23 . The hole 25 may be formed in the central region of the head 23 when viewed from the top. The hole 25 may have a circular shape when viewed from the top. In addition, the hole 25 may have a diameter into which a pusher 640 to be described later is inserted. The hole 25 may have a diameter into which a part of the pusher 640, which will be described later, is inserted. In addition, the groove 27 may be formed on the side surface of the head 23 . The groove 27 may be formed by being depressed in a direction toward the center of the head 23 as viewed from the top from the side of the head 23 . When viewed from the top, the groove 27 may have a shape in which the width is gradually narrowed from the side of the head 23 toward the center of the head 23 . For example, the groove 27 may have a triangular shape when viewed from the top. In addition, the groove 27 may have a shape corresponding to the protruding end 656 to be described later. For example, when the groove 27 has a triangular shape when viewed from the top, the protruding end 656 may have the same or similar triangular shape to be inserted into the groove 27 .

그립 부재(600)는 용기(20)를 척킹 또는 언척킹할 수 있다. 그립 부재(600)는 베이스 플레이트(610), 수평 이동 레일(620), 구동 부재(630), 푸셔(640), 그립퍼(650), 그리고 롤러(670)를 포함할 수 있다.The grip member 600 may chuck or unchuck the container 20 . The grip member 600 may include a base plate 610 , a horizontal moving rail 620 , a driving member 630 , a pusher 640 , a gripper 650 , and a roller 670 .

베이스 플레이트(610)는 판 형상을 가질 수 있다. 베이스 플레이트(610)는 승강 부재(570)의 벨트(572)와 결합될 수 있다. 승강 부재(570)의 벨트(572)가 감기거나 풀리면서, 베이스 플레이트(610)는 상하 방향으로 이동될 수 있다. 베이스 플레이트(610)에는 수평 이동 레일(620)이 제공될 수 있다.The base plate 610 may have a plate shape. The base plate 610 may be coupled to the belt 572 of the elevating member 570 . As the belt 572 of the elevating member 570 is wound or unwound, the base plate 610 may move in the vertical direction. A horizontal moving rail 620 may be provided on the base plate 610 .

수평 이동 레일(620)은 베이스 플레이트(610)의 상면에 제공될 수 있다. 수평 이동 레일(620)은 후술하는 그립퍼(650)의 이동 방향을 가이드 할 수 있다. 예컨대, 수평 이동 레일(620)은 그립퍼(650)가 수평 방향으로 이동할 수 있도록 그립퍼(650)의 이동 방향을 가이드 할 수 있다. 수평 이동 레일(620)은 복수로 제공될 수 있다. 수평 이동 레일(620) 중 어느 하나는 후술하는 그립퍼(650)들 중 어느 하나의 이동 방향을 가이드 할 수 있다. 수평 이동 레일(620) 중 다른 하나는 후술하는 그립퍼(650)들 중 다른 하나의 이동 방향을 가이드 할 수 있다.The horizontal moving rail 620 may be provided on the upper surface of the base plate 610 . The horizontal movement rail 620 may guide the movement direction of the gripper 650 to be described later. For example, the horizontal movement rail 620 may guide the movement direction of the gripper 650 so that the gripper 650 may move in the horizontal direction. A plurality of horizontal moving rails 620 may be provided. Any one of the horizontal movement rails 620 may guide the movement direction of any one of the grippers 650 to be described later. The other of the horizontal moving rails 620 may guide the moving direction of the other one of the grippers 650 to be described later.

구동 부재(630)는 그립퍼(650)를 이동시킬 수 있다. 구동 부재(630)는 그립퍼(650)에 동력을 전달하여 그립퍼(650)를 이동시킬 수 있다. 구동 부재(630)는 그립퍼(650)와 결합될 수 있다. 또한, 구동 부재(630)는 수평 이동 레일(620)에 제공될 수 있다. 즉, 구동 부재(630)가 동력을 발생시키면, 구동 부재(630)는 수평 이동 레일(620)을 따라 이동될 수 있다. 이에, 구동 부재(630)와 결합된 그립퍼(650)는 구동 부재(630)로부터 동력을 전달 받아 수평 이동 레일(620)이 가이드 하는 이동 방향을 따라 이동될 수 있다. 또한, 구동 부재(630)는 복수로 제공될 수 있다. 예컨대, 구동 부재(630)들 중 어느 하나는 후술하는 그립퍼(650)들 중 어느 하나에 동력을 전달할 수 있다. 구동 부재(630)들 중 다른 하나는 후술하는 그립퍼(650)들 중 다른 하나에 동력을 전달할 수 있다. 구동 부재(630)는 모터일 수 있다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니고, 구동 부재(630)는 실린더, 솔레노이드 등 동력을 발생시키는 다양한 공지의 장치로 변형될 수 있다.The driving member 630 may move the gripper 650 . The driving member 630 may transmit power to the gripper 650 to move the gripper 650 . The driving member 630 may be coupled to the gripper 650 . Also, the driving member 630 may be provided on the horizontal moving rail 620 . That is, when the driving member 630 generates power, the driving member 630 may move along the horizontal moving rail 620 . Accordingly, the gripper 650 coupled to the driving member 630 may receive power from the driving member 630 to move along the moving direction guided by the horizontal moving rail 620 . Also, a plurality of driving members 630 may be provided. For example, any one of the driving members 630 may transmit power to any one of the grippers 650 to be described later. The other one of the driving members 630 may transmit power to the other one of the grippers 650 to be described later. The driving member 630 may be a motor. However, the present invention is not limited thereto, and the driving member 630 may be modified into various known devices for generating power, such as a cylinder and a solenoid.

푸셔(640)는 상부에서 바라볼 때, 베이스 플레이트(610)의 중심 영역에 제공될 수 있다. 푸셔(640)는 상부에서 바라볼 때, 그 중심이 베이스 플레이트(610)의 중심과 일치되도록 제공될 수 있다. 푸셔(640)는 상부에서 하부로 갈수록 그 직경이 점차 작아지는 상광하협의 형상을 가질 수 있다. 푸셔(640)는 헤드(23)의 홀(25)에 삽입 가능한 형상을 가질 수 있다. 푸셔(640)는 헤드(23)의 홀(25)에 일부가 삽입 가능한 형상을 가질 수 있다. 그립 부재(600)가 용기(20)를 척킹시, 푸셔(640)는 헤드(23)의 홀(25)에 삽입될 수 있다. 푸셔(640)는 헤드(23)의 홀(25)에 그 일부가 삽입되어, 그립 부재(600)가 용기(20)를 척킹시, 척킹이 용이하도록 용기(20)를 정위치 시킬 수 있다.The pusher 640 may be provided in a central region of the base plate 610 when viewed from the top. When viewed from the top, the pusher 640 may be provided so that its center coincides with the center of the base plate 610 . The pusher 640 may have a shape of an upper-gwang-lower narrowing in which the diameter gradually decreases from the upper part to the lower part. The pusher 640 may have a shape that can be inserted into the hole 25 of the head 23 . The pusher 640 may have a shape that can be partially inserted into the hole 25 of the head 23 . When the grip member 600 chucks the container 20 , the pusher 640 may be inserted into the hole 25 of the head 23 . A part of the pusher 640 is inserted into the hole 25 of the head 23 , and when the grip member 600 chucks the container 20 , the container 20 can be positioned so that chucking is easy.

또한, 푸셔(640)에는 센서(미도시)가 제공될 수 있다. 푸셔(640)에 제공되는 센서는 그립 부재(600)가 용기(20)의 헤드(23)를 척킹시, 그립 부재(600)가 정위치 되었는지 여부를 감지할 수 있다. 또한, 푸셔(640)에 제공되는 센서는 접촉식 센서일 수 있다. 푸셔(640)가 헤드(23)에 접촉되면, 승강 부재(570)는 센서로부터 신호를 전달 받아, 그립 부재(600)의 하강을 중단할 수 있다.In addition, a sensor (not shown) may be provided in the pusher 640 . A sensor provided to the pusher 640 may detect whether the grip member 600 is positioned properly when the grip member 600 chucks the head 23 of the container 20 . Also, the sensor provided to the pusher 640 may be a contact sensor. When the pusher 640 comes into contact with the head 23 , the lifting member 570 may receive a signal from the sensor to stop the lowering of the grip member 600 .

그립퍼(650)는 용기(20)의 헤드(23)를 척킹할 수 있다. 그립퍼(650)는 절곡된 형상을 가질 수 있다. 그립퍼(650)는 헤드(23)의 하면과 하우징(21)의 상면 사이 공간(29)에 삽입 가능하도록 제공될 수 있다. 그립퍼(650)는 복수로 제공될 수 있다. 복수로 제공되는 그립퍼(650)들 중 어느 하나는 상술한 수평 이동 레일(620)들 중 어느 하나와 상술한 구동 부재(630)들 중 어느 하나를 매개로 결합될 수 있다. 복수로 제공되는 그립퍼(650)들 중 다른 하나는 상술한 수평 이동 레일(620)들 중 다른 하나와 상술한 구동 부재(630)들 중 다른 하나를 매개로 결합될 수 있다. 복수로 제공되는 그립퍼(650)들 중 어느 하나는 헤드(23)의 일 측을 척킹할 수 있다. 복수로 제공되는 그립퍼(650)들 중 다른 하나는 헤드(23)의 타 측을 척킹할 수 있다. 복수로 제공되는 그립퍼(650)들 중 어느 하나와, 그립퍼(650)들 중 다른 하나는 상부에서 바라볼 때, 푸셔(640)를 기준으로 서로 대칭되는 형상을 가지고, 서로 대칭되는 위치에 설치될 수 있다. 즉, 복수의 그립퍼(650)들 중 어느 하나는 헤드(23)의 제1영역을 척킹할 수 있도록 설치되고, 복수의 그립퍼(650)들 중 다른 하나는 헤드(23)의 제1영역과 상이한 영역인 제2영역을 척킹할 수 있도록 설치될 수 있다. 여기서, 제2영역은 상부에서 바라볼 때, 헤드(23)의 중심을 기준으로 제1영역과 서로 대칭되는 영역일 수 있다. The gripper 650 may chuck the head 23 of the container 20 . The gripper 650 may have a bent shape. The gripper 650 may be provided to be inserted into the space 29 between the lower surface of the head 23 and the upper surface of the housing 21 . A plurality of grippers 650 may be provided. Any one of the plurality of grippers 650 may be coupled to any one of the aforementioned horizontal moving rails 620 and any one of the aforementioned driving members 630 as a medium. The other one of the plurality of grippers 650 may be coupled to the other one of the aforementioned horizontal moving rails 620 and the other one of the aforementioned driving members 630 as a medium. Any one of the plurality of grippers 650 may chuck one side of the head 23 . Another one of the plurality of grippers 650 may chuck the other side of the head 23 . Any one of the plurality of grippers 650 and the other one of the grippers 650 have a shape symmetrical to each other with respect to the pusher 640 when viewed from above, and may be installed at symmetrical positions. can That is, any one of the plurality of grippers 650 is installed to chuck the first area of the head 23 , and the other of the plurality of grippers 650 is different from the first area of the head 23 . It may be installed to chuck the second region, which is the region. Here, the second region may be a region symmetrical to the first region with respect to the center of the head 23 when viewed from the top.

그립퍼(650)는 결합부(652), 삽입부(654), 그리고 돌출단(656)을 포함할 수 있다. The gripper 650 may include a coupling portion 652 , an insertion portion 654 , and a protruding end 656 .

결합부(652)는 상하 방향으로 연장될 수 있다. 결합부(652)는 구동 부재(630)를 매개로 수평 이동 레일(620)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 삽입부(654)는 결합부(652)로부터 수평 방향을 따라 연장될 수 있다. 삽입부(654)는 상술한 사이 공간(29)에 삽입될 수 있다. 삽입부(654) 일단의 상면은 하향 경사진 형상을 가질 수 있다. 돌출단(656)은 결합부(652)에 제공될 수 있다. 돌출단(656)은 그립 부재(600)가 용기(20)의 헤드(23)를 척킹시, 헤드(23)의 측면에 형성된 홈(27)에 삽입될 수 있다. 돌출단(656)은 홈(27)과 서로 대응하는 형상을 가질 수 있다. 돌출단(656)은 그립 부재(600)가 용기(20)의 헤드(23)를 척킹시, 헤드(23)에 형성된 홈(27)에 삽입되어 용기(20)를 정위치 시킬 수 있다.The coupling part 652 may extend in the vertical direction. The coupling part 652 may be movably coupled to the horizontal moving rail 620 via the driving member 630 . The insertion part 654 may extend in a horizontal direction from the coupling part 652 . The insertion part 654 may be inserted into the above-described interspace 29 . The upper surface of one end of the insertion part 654 may have a downwardly inclined shape. The protruding end 656 may be provided on the coupling portion 652 . The protruding end 656 may be inserted into the groove 27 formed in the side surface of the head 23 when the grip member 600 chucks the head 23 of the container 20 . The protruding end 656 may have a shape corresponding to the groove 27 . The protruding end 656 may be inserted into the groove 27 formed in the head 23 when the grip member 600 chucks the head 23 of the container 20 to properly position the container 20 .

롤러(670)는 그립퍼(670)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 롤러(670)는 복수로 제공될 수 있다. 롤러(670)들은 각각 그립퍼(650)들 각각에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 롤러(670)는 그립퍼(650)의 삽입부(654)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 롤러(670)는 헤드(23)의 하면과 하우징(21)의 상면 사이 공간(29)에 진입할 수 있도록, 사이 공간(29)의 간격보다 작은 직경을 가질 수 있다. 롤러(670)는 그립퍼(650)의 삽입부(654)가 사이 공간(29)에 삽입시, 헤드(23)의 하면과 접촉될 수 있다.The roller 670 may be rotatably coupled to the gripper 670 . A plurality of rollers 670 may be provided. The rollers 670 may be rotatably coupled to each of the grippers 650 , respectively. The roller 670 may be rotatably coupled to the insertion portion 654 of the gripper 650 . The roller 670 may have a diameter smaller than the interval between the space 29 and the space 29 between the lower surface of the head 23 and the upper surface of the housing 21 . The roller 670 may contact the lower surface of the head 23 when the insertion part 654 of the gripper 650 is inserted into the interspace 29 .

제어기(미도시)는 이하에서 설명하는 척킹 방법을 수행할 수 있도록 반송 유닛(300)을 제어할 수 있다. 예컨대, 제어기는 이하에서 설명하는 척킹 방법을 수행할 수 있도록, 그립 부재(600) 및/또는 승강 부재(570)를 제어할 수 있다. 예컨대, 제어기는 그립 부재(600)가 용기(20)의 헤드(23)를 척킹하여, 용기(20)를 반송시 그립퍼(650)들의 위치가 고정되도록 그립 부재(600)를 제어할 수 있다. 또한, 제어기는 그립 부재(600)가 용기(20)의 헤드(23)를 척킹하기 위해, 그립퍼(650)들이 수평 이동시 롤러(670)가 헤드(23)의 측면과 접촉되지 않도록 그립퍼(650)들을 승강시키도록 승강 부재(570)를 제어할 수 있다.A controller (not shown) may control the conveying unit 300 to perform a chucking method described below. For example, the controller may control the grip member 600 and/or the elevating member 570 to perform the chucking method described below. For example, the controller may control the grip member 600 such that the grip member 600 chucks the head 23 of the container 20 so that the positions of the grippers 650 are fixed when the container 20 is transported. In addition, the controller controls the gripper 650 so that the gripper 600 chucks the head 23 of the container 20 so that the roller 670 does not come into contact with the side surface of the head 23 when the grippers 650 are horizontally moved. The lifting member 570 may be controlled to raise and lower them.

도 12는 본 발명의 일 실시 예에 따른 척킹 방법을 보여주는 플로우 차트이다. 도 12를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 척킹 방법은, 제1이동 단계(S10), 제1승강 단계(S20), 수평 이동 단계(S30), 제2승강 단계(S40), 그리고 제2이동 단계(S50)를 포함할 수 있다.12 is a flowchart illustrating a chucking method according to an embodiment of the present invention. 12 , the chucking method according to an embodiment of the present invention includes a first moving step (S10), a first raising/lowering step (S20), a horizontal moving step (S30), a second raising/lowering step (S40), and It may include a second moving step (S50).

제1이동 단계(S10)는 반송 유닛(300)이 용기(20)의 상부로 이동하는 단계이다(도 13 참조). 제1이동 단계(S10)에는 주행 휠(520) 및/또는 조향 휠(530)의 회전에 의해, 반송 유닛(300)이 용기(20)의 상부로 이동할 수 있다. 제1이동 단계(S10)에는 반송 유닛(300)이 반도체 공정 장치(100)의 로드 포트에 안착되어 있는 용기(20)의 상부로 이동할 수 있다. 이와 달리, 제1이동 단계(S10)에는 용기(20)를 저장하는 스토퍼의 반입/반출 포트에 안착되어 있는 용기(20)의 상부로 이동할 수도 있다.The first moving step ( S10 ) is a step in which the conveying unit 300 moves to the upper portion of the container 20 (see FIG. 13 ). In the first moving step ( S10 ), the conveying unit 300 may move to the upper portion of the container 20 by rotation of the driving wheel 520 and/or the steering wheel 530 . In the first moving step ( S10 ), the transfer unit 300 may move to an upper portion of the container 20 seated in the load port of the semiconductor processing apparatus 100 . Alternatively, in the first moving step (S10), the container 20 may be moved to the upper part of the container 20 that is seated in the loading/unloading port of the stopper.

제1승강 단계(S20)는 그립 부재(600)가 하강하는 단계이다(도 14 참조). 제1승강 단계(S20)에는 승강 부재(570)가 그립 부재(600)를 하강시킬 수 있다. 제1승강 단계(S20)에는 승강 부재(570)가 벨트(572)를 풀러 그립 부재(600)의 베이스 플레이트(610)를 하강시킬 수 있다. 제1승강 단계(S20)에는 그립 부재(600)가 하강하여, 그립퍼(650), 그리고 롤러(670)가 헤드(23)의 하면과 용기(21)의 상면의 사이 공간(29)에 삽입 가능한 위치로 이동될 수 있다. 승강 부재(570)는 그립퍼(650)가 수평 이동시, 그립퍼(650)가 헤드(23)의 하면과는 이격되되, 롤러(670)가 헤드(23)의 하면과 접촉되는 위치까지 그립퍼(650), 그리고 롤러(670)를 하강시킬 수 있다. The first raising/lowering step ( S20 ) is a step in which the grip member 600 is lowered (see FIG. 14 ). In the first lifting step ( S20 ), the lifting member 570 may lower the grip member 600 . In the first elevating step S20 , the elevating member 570 may lower the base plate 610 of the grip member 600 by releasing the belt 572 . In the first elevating step ( S20 ), the grip member 600 is lowered so that the gripper 650 and the roller 670 can be inserted into the space 29 between the lower surface of the head 23 and the upper surface of the container 21 . position can be moved. When the gripper 650 is horizontally moved, the elevating member 570 moves the gripper 650 apart from the lower surface of the head 23, and extends the gripper 650 to a position where the roller 670 comes into contact with the lower surface of the head 23. , and the roller 670 may be lowered.

예컨대, 도 15에 도시된 바와 같이, 롤러(670)의 중심을 지나고 수평 방향과 평행한 가상의 직선을 제1라인(L1)으로 정의하고, 롤러(670)의 외면과 접하고 수평 방향과 평행한 가상의 직선들 중 상부에 위치하는 가상의 직선을 제2라인(L2)으로 정의하고, 롤러(670)의 외면과 접하고 수평 방향과 평행한 가상의 직선들 중 하부에 위치하는 가상의 직선을 제3라인(L3)으로 정의할 때, 제1승강 단계(S20)에는 제1라인(L1)이 헤드(23)의 하면보다는 높이가 낮고, 제2라인(L2)이 헤드(23)의 하면과 높이가 같거나 높도록 그립퍼(650)를 이동시킬 수 있다.For example, as shown in FIG. 15 , an imaginary straight line passing through the center of the roller 670 and parallel to the horizontal direction is defined as the first line L1 , and is in contact with the outer surface of the roller 670 and parallel to the horizontal direction. An imaginary straight line located at the upper part of the imaginary straight lines is defined as the second line L2, and a imaginary straight line located at the bottom of the imaginary straight lines in contact with the outer surface of the roller 670 and parallel to the horizontal direction is defined as the second line L2. When defined as three lines (L3), in the first elevating step (S20), the first line (L1) is lower than the lower surface of the head 23, and the second line (L2) is connected to the lower surface of the head (23). The gripper 650 may be moved to have the same or higher height.

이 경우, 도 15와 도 16에 도시된 바와 같이, 그립퍼(650)가 헤드(23)와 하우징(21)의 사이 공간(29)에 진입하더라도, 그립퍼(650)는 헤드(23)와 접촉되지 않는다. 이에, 그립퍼(650)가 사이 공간(29)에 진입시, 그립퍼(650)가 헤드(23)와 마찰되는 문제, 그립퍼(650)가 헤드(23)와 충돌하는 문제를 발생시키지 않는다. 또한, 롤러(670)가 헤드(23)와 접촉되더라도, 롤러(670)는 그립퍼(670)가 수평 이동하면서 회전하게 된다. 즉, 롤러(670)는 헤드(23)와 접촉된 상태에서 이동되더라도, 헤드(23)와 마찰되어 파티클을 발생시키거나, 헤드(23)와 충돌하여 그립퍼(650)의 이동이 제한되는 문제를 방지할 수 있다. 또한, 수평 이동 단계(S30)가 수행된 이후에는, 롤러(670)와 헤드(23)의 하면은 서로 접촉된 상태일 수 있다.In this case, as shown in FIGS. 15 and 16 , even if the gripper 650 enters the space 29 between the head 23 and the housing 21 , the gripper 650 does not come into contact with the head 23 . does not Accordingly, when the gripper 650 enters the interspace 29 , a problem in which the gripper 650 rubs against the head 23 and a problem in which the gripper 650 collides with the head 23 do not occur. Also, even when the roller 670 comes into contact with the head 23 , the roller 670 rotates while the gripper 670 moves horizontally. That is, even if the roller 670 is moved while in contact with the head 23 , particles are generated by friction with the head 23 , or the movement of the gripper 650 is limited by colliding with the head 23 . can be prevented In addition, after the horizontal movement step (S30) is performed, the roller 670 and the lower surface of the head 23 may be in contact with each other.

제2승강 단계(S40)에는 그립 부재(600)가 용기(20)를 척킹한 상태로 용기(20)를 이동시킬 수 있다. 제2승강 단계(S40)에는 그립 부재(600)의 그립퍼(650)가 용기(20)를 척킹한 상태로 용기(20)를 상승시킬 수 있다. 제2승강 단계(S40)에는 제어기가 그립 부재(600)를 제어하여, 그립퍼(650)의 위치를 고정시킬 수 있다. 제2승강 단계(S40)에는 제어기가 그립 부재(600)를 제어하여, 그립퍼(650)의 위치를 고정시키도록 구동 부재(630)를 제어할 수 있다. 제2승강 단계(S40)가 수행되기 이전, 수평 이동 단계(S30)에서 롤러(654)와 헤드(23)의 하면은 서로 접촉된 상태가 된다. 즉, 제2승강 단계(S40)가 수행되는 시점에는, 수평 롤러(670)와 헤드(23)의 하면은 이격되지 않고 서로 접촉된 상태이다. 이에, 제2승강 단계(S40)에서 그립 부재(600)가 용기(20)를 상승시키더라도, 그립퍼(650)가 헤드(23)의 하면과 충돌하는 문제를 방지할 수 있다. 이에, 하우징(21)이 가지는 수납 공간에서 파티클이 발생하는 문제를 방지할 수 있고, 나아가 발생된 파티클에 의해 수납 공간에 수납된 물품이 오염되는 것을 최소화 할 수 있다.In the second elevating step ( S40 ), the grip member 600 may move the container 20 in a state in which the container 20 is chucked. In the second lifting step ( S40 ), the gripper 650 of the grip member 600 may lift the container 20 in a state in which the container 20 is chucked. In the second lifting step ( S40 ), the controller may control the grip member 600 to fix the position of the gripper 650 . In the second lifting step S40 , the controller may control the grip member 600 to control the driving member 630 to fix the position of the gripper 650 . Before the second elevating step ( S40 ) is performed, the roller 654 and the lower surface of the head 23 are in contact with each other in the horizontal moving step ( S30 ). That is, when the second elevating step S40 is performed, the lower surfaces of the horizontal roller 670 and the head 23 are not spaced apart and are in contact with each other. Accordingly, even when the grip member 600 raises the container 20 in the second lifting step S40 , the problem that the gripper 650 collides with the lower surface of the head 23 can be prevented. Accordingly, it is possible to prevent a problem that particles are generated in the storage space of the housing 21 , and furthermore, it is possible to minimize the contamination of articles stored in the storage space by the generated particles.

제2이동 단계(S50)에는 그립 부재(600)가 용기(20)를 척킹한 상태로, 반송 유닛(300)이 이동하는 단계이다. 제2이동 단계(S50)에는 반송 유닛(300)이 이동하여, 용기(20)를 반도체 제조 장치(100) 또는 스토커 등에 반송할 수 있다.In the second moving step ( S50 ), the conveying unit 300 moves while the grip member 600 chucks the container 20 . In the second moving step ( S50 ), the conveying unit 300 may move, and the container 20 may be conveyed to the semiconductor manufacturing apparatus 100 , a stocker, or the like.

상술한 예에서는, 용기(20)가 풉(FOUP)이고, 물품이 웨이퍼 등의 기판인 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 용기(20)는 파드(POD)일 수 있고, 물품은 레티클 등의 포토 마스크일 수도 있다.In the above-described example, the container 20 is a FOUP and the article is a substrate such as a wafer as an example, but is not limited thereto. For example, the container 20 may be a pod, and the article may be a photomask such as a reticle.

상술한 예에서는, 물품 반송 장치(300, 500)가 반도체 제조 라인에 제공되는 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 물품 반송 장치(300, 500)는 물품의 반송이 요구되는 다양한 제조 라인에 동일 또는 유사하게 적용될 수 있다. In the above example, it has been described that the article transport apparatuses 300 and 500 are provided in a semiconductor manufacturing line as an example, but the present invention is not limited thereto. For example, the article transport apparatuses 300 and 500 may be equally or similarly applied to various manufacturing lines requiring transport of the article.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.The above detailed description is illustrative of the present invention. In addition, the above description shows and describes preferred embodiments of the present invention, and the present invention can be used in various other combinations, modifications, and environments. That is, changes or modifications are possible within the scope of the concept of the invention disclosed herein, the scope equivalent to the written disclosure, and/or within the scope of skill or knowledge in the art. The above-described embodiment describes the best state for implementing the technical idea of the present invention, and various changes required in specific application fields and uses of the present invention are possible. Accordingly, the detailed description of the present invention is not intended to limit the present invention to the disclosed embodiments. Also, the appended claims should be construed as including other embodiments.

물품 반송 장치 : 1000
레일 : 300
주행 레일 : 310
조향 레일 : 330
반송 유닛 : 500
바디 : 510
가이드 레일 : 512
주행 휠 : 520
조향 휠 : 530
승강 부재 : 570
그립 부재 : 600
베이스 플레이트 : 610
수평 이동 레일 : 620
구동 부재 : 630
그립퍼 : 650
롤러 : 670Goods conveying device: 1000
Rail: 300
Running rail: 310
Steering Rail: 330
Transfer unit: 500
Body: 510
Guide rail: 512
Driving wheel: 520
Steering Wheel: 530
Lifting member: 570
No grip: 600
Base plate: 610
Horizontal moving rail: 620
Drive member: 630
Gripper: 650
Roller: 670

Claims (1)

제조 라인에 설치된 레일을 따라 주행하며, 물품이 수납된 용기 - 상기 용기는 물품이 수납되는 하우징 및 상기 하우징에 결합되는 헤드를 포함함 - 를 반송하는 반송 유닛에 있어서:
구동기를 가지는 바디;
상기 바디에 결합되고 상기 레일을 주행하는 휠;
상기 헤드를 척킹 또는 언척킹하는 그립 부재; 및
상기 그립 부재를 상하 방향으로 이동시키는 승강 부재를 포함하고,
상기 그립 부재는:
상기 헤드의 하면과 상기 상기 하우징의 상면 사이 공간에 삽입 가능하도록 제공되어, 상기 헤드를 척킹하는 복수의 그립퍼;
상기 그립퍼 각각에 회전 가능하게 결합되는 복수의 롤러; 및
상기 그립퍼들을 수평 방향으로 이동시키는 구동 부재를 포함하고,
상기 롤러의 중심을 지나고 수평 방향과 평행한 가상의 직선을 제1라인으로 정의하고, 상기 롤러의 외면과 접하고 수평 방향과 평행한 가상의 직선들 중 상측의 가장의 직선을 제2라인으로 정의할 때,
상기 승강 부재는 상기 제1라인이 상기 헤드의 하면보다는 높이가 낮고, 상기 제2라인이 상기 헤드의 하면과 높이가 같거나 높도록 상기 그립퍼들을 이동시키는 하강 동작을 수행하고;
상기 구동 부재는 상기 그립퍼들에 설치된 상기 롤러들이 상기 사이 공간에 삽입되도록 상기 그립퍼들을 이동시키는 그립 동작을 수행하고; 및
상기 승강 부재는 상기 그립 부재를 상승시켜 상기 용기를 들어올리는 승강 동작을 수행하도록 구성되는,
반송 유닛.


A conveying unit that travels along a rail installed in a manufacturing line and conveys a container in which an article is accommodated, the container including a housing in which the article is accommodated, and a head coupled to the housing, comprising:
a body having an actuator;
a wheel coupled to the body and running on the rail;
a grip member for chucking or unchucking the head; and
a lifting member for moving the grip member in an up-down direction;
The grip member comprises:
a plurality of grippers provided to be inserted into a space between a lower surface of the head and an upper surface of the housing and chucking the head;
a plurality of rollers rotatably coupled to each of the grippers; and
a driving member for moving the grippers in a horizontal direction;
An imaginary straight line passing through the center of the roller and parallel to the horizontal direction is defined as a first line, and an uppermost straight line among imaginary straight lines in contact with the outer surface of the roller and parallel to the horizontal direction is defined as the second line. at the time,
the lifting member performs a lowering operation of moving the grippers so that the first line is lower than the lower surface of the head and the second line is equal to or higher in height than the lower surface of the head;
the driving member performs a gripping operation for moving the grippers so that the rollers installed on the grippers are inserted into the space between them; and
wherein the elevating member is configured to elevate the grip member to perform an elevating operation of lifting the container;
conveying unit.
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