KR20220126152A - 박막 증착 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 기판이 설치되는 공간을 갖는 진공 챔버와; 상기 진공 챔버 내에 설치되며, 상기 기판을 향해 증착 물질을 증발시키기 위한 증발원과; 상기 증발원을 상기 진공 챔버 내에서 선형 이동시키기 위한 증발원 구동 유닛과; 상기 증발원의 선형 이동에 종속하여 선회 동작하도록 상기 진공 챔버와 상기 증발원의 사이에 설치되며, 상기 증발원에 연결된 연결 라인을 수용하는 암 유닛; 및 상기 암 유닛에 설치되며, 상기 암 유닛의 처짐을 방지하도록 상기 암 유닛의 선회 이동시 상기 진공 챔버의 바닥면과 접촉하면서 이동하는 처짐 방지 수단;을 포함하는 박막 증착 장치에 관한 것이다.

Description

박막 증착 장치 {Thin film deposition apparatus}

본 발명은 기판에 유기 박막을 증착하기 위한 박막 증착 장치에 관한 것이다.

유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광 현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.

유기 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공 증착법 등에 의해 기판 상에 형성될 수 있다.

진공 증착법은 진공 챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)를 기판에 정렬시킨 후, 증착 재료가 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 승화되는 증착 재료를 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.

진공 증착법을 이용하여 유기 박막을 증착하는 증착 장치는, 진공 챔버의 상측에 피처리 기판을 장착하고, 진공 챔버의 하부에 증착 물질이 수용된 증발원이 설치한 구조로서, 진공챔버의 내부를 일정한 진공을 유지시킨 후, 진공챔버의 하부에 배치된 하나 이상의 증발원으로부터 증착 물질을 증발시키도록 구성되어 있다.

최근 디스플레이의 대면적화 경향에 따라 유기 발광 소자의 제작에 사용되는 기판 또한 대면적화되고 있으며, 대면적 기판에 증착 물질을 증착함에 있어서 진공 챔버 내 증발원을 선형 이동시키는 방식의 증착 장치가 제안되고 있다. 이러한 방식의 증착 장치의 경우 증발원의 선형 이동이 원활히 이루어지기 위해서는, 증발원에 연결된 전원 라인, 냉각매체 공급 라인 등의 연결 라인들이 증발원의 움직임에 연동하여 움직일 수 있어야 한다. 또한, 이러한 연결 라인들의 노후화 및 단선 방지를 위해서는 진공 챔버 내에서 진공의 영향을 받지 않고 움직일 수 있게 할 필요가 있다.

공개특허공보 제10-2006-0018745호 (2006.03.02)

본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 안출된 것으로서, 증발원에 연결된 연결 라인들이 진공의 영향을 받지 않고 움직이게 하고, 대면적 기판에 대한 증발원의 선형 이동시 그 이동이 원활히 이루지도록 가이드할 수 있게 구성된 박막 증착 장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 기판이 설치되는 공간을 갖는 진공 챔버와; 상기 진공 챔버 내에 설치되며, 상기 기판을 향해 증착 물질을 증발시키기 위한 증발원과; 상기 증발원을 상기 진공 챔버 내에서 선형 이동시키기 위한 증발원 구동 유닛과; 상기 증발원의 선형 이동에 종속하여 선회 동작하도록 상기 진공 챔버와 상기 증발원의 사이에 설치되며, 상기 증발원에 연결된 연결 라인을 수용하는 암 유닛; 및 상기 암 유닛에 설치되며, 상기 암 유닛의 처짐을 방지하도록 상기 암 유닛의 선회 이동시 상기 진공 챔버의 바닥면과 접촉하면서 이동하는 처짐 방지 수단;을 포함하는 박막 증착 장치가 개시된다.

또한, 상기 암 유닛은, 상기 진공 챔버에 대하여 회전 가능하게 연결되는 제1 암; 및 일단이 상기 제1 암에 회전 가능하게 연결되고, 타단이 상기 증발원에 회전 가능하게 연결되는 제2 암;을 포함할 수 있다.

또한, 상기 처짐 방지 수단은, 상기 제1 암의 저면 또는 측면에 설치되며 상기 진공 챔버의 바닥면과 구름 접촉하는 복수개의 볼 롤러;를 포함할 수 있다.

또한, 상기 볼 롤러는 상기 제1 암의 단부의 외곽 부위를 따라 복수개로 설치될 수 있다.

또한, 상기 처짐 방지 수단은 상기 볼 롤러의 높이를 조절하기 위한 높이 조절 수단;을 더 포함할 수 있다.

또한, 상기 높이 조절 수단은, 상기 볼 롤러에 설치되며, 상기 제1 암에 구비된 체결홀에 나사 체결되는 결합 로드; 및 상기 제1 암의 저면을 지지하도록 상기 결합 로드에 나사 체결되는 너트;를 포함할 수 있다.

또한, 상기 볼 롤러와 상기 제1 암의 사이에는, 상기 볼 롤러를 지지하는 상기 진공 챔버의 바닥면의 높낮이에 따라 신축하는 신축 유닛;이 추가로 설치될 수 있다.

또한, 상기 신축 유닛은, 상기 제1 암에 고정되는 고정 브라켓과; 상기 볼 롤러와 연결되며, 상기 고정 브라켓 상에 직선 이동 가능하게 설치되는 이동 로드; 및 상기 고정 브라켓과 상기 이동 로드의 사이에 설치되는 스프링;을 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 증발원과 진공 챔버의 사이에 연결 라인을 수용하는 암 유닛을 설치하여 연결 라인이 진공의 영향을 받지 않고 움직일 수 있게 하고, 암 유닛에 진공 챔버의 바닥면과 접촉하면서 이동하는 처짐 방지 수단을 설치하여 기판의 대면적화에 따라 암 유닛의 길이를 증가시킨 경우에도 암 유닛의 처짐 현상 없이 원활히 선회 이동할 수 있게 하는 효과가 있다.

또한, 본 발명의 박막 증착 장치에 따르면, 처짐 방지 수단으로서 복수개의 볼 롤러를 사용하여 암 유닛이 챔버 바닥면에 대해 점 접촉을 통한 구름 이동할 수 있게 함으로써 암 유닛이 보다 원활하게 선회 이동할 수 있게 하는 이점이 있다.

또한, 본 발명의 박막 증착 장치에 따르면, 처짐 방지 수단에 높이 조절 수단 또는 신축 유닛을 적용함으로써 접촉면의 마모, 이물질 부착 등에 의한 환경 변화에 대한 대응이 가능한 이점이 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면.
도 2는 도 1에 도시된 박막 증착 장치의 평면 구성을 부분적으로 보인 부분 평면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 처짐 방지 수단의 구성을 나타낸 사시도.
도 4는 도 3에 도시된 처짐 방지 수단의 배열을 나타낸 제1 암의 평면도.
도 5는 도 3에 도시된 처짐 방지 수단의 측단면도.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 처짐 방지 수단의 구성을 나타낸 사시도.
도 7은 도 6에 도시된 처짐 방지 수단의 정면도.
도 8은 도 7에 도시된 처짐 방지 수단의 측단면도.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

이하, 본 발명에 의한 박막 증착 장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 박막 증착 장치의 평면 구성을 부분적으로 보인 부분 평면도이다.

도 1 및 2를 참조하면, 본 실시예의 박막 증착 장치는 진공 챔버(10), 증발원(20), 증발원 구동 유닛(30), 암 유닛(40) 및 처짐 방지 수단(50)을 포함한다.

진공 챔버(10)는 기판(1)에 진공 증착을 수행하기 위한 내부 공간을 구비하며, 진공 발생 장치와 연결되어 내부에 일정한 진공이 유지될 수 있도록 구성된다. 진공 챔버(10)에는 기판(1)을 지지하기 위한 기판 지지부(11)가 설치된다. 기판 지지부(11)는 챔버(10)의 상부 공간에 배치될 수 있으며, 이러한 경우, 기판(1)의 하면에 증착 물질이 증착될 수 있도록 기판(1)을 지지하도록 구성된다.

증발원(20)은 진공 챔버(10) 내에 설치되며, 기판(1)을 향해 증착 물질을 증발시키도록 구성된다. 증발원(30)은 챔버(10) 내의 하부 공간에 설치될 수 있으며, 이러한 경우 상측 방향을 향해 증착 물질을 증발시키도록 구성된다.

증발원 구동 유닛(30)은 증발원(20)을 진공 챔버(10) 내에서 선형 이동시키기 위한 것으로서, 전원 인가에 의해 동력을 발생시켜 증발원(20)에 제공한다. 본 실시예와 같이, 진공 챔버(10)의 측벽에는 증발원(20)의 선형 이동을 가이드하는 리니어 가이드(12)가 설치될 수 있으며, 증발원 구동 유닛(30)은 리니어 가이드(12)에 설치된 랙(13)에 치합된 피니언을 구동시키는 모터의 형태를 가질 수 있다. 다만, 증발원 구동 유닛(30) 및 리니어 가이드(12)의 구성은 이와 같은 형태 뿐 아니라 다양한 형태로 변형 실시 가능하다.

암 유닛(40)은 증발원(20)의 선형 이동에 종속하여 선회 동작하도록 진공 챔버(10)와 증발원(20)의 사이에 설치된다. 암 유닛(40)의 내부에는 증발원에 연결되는 연결 라인(60)이 수용된다. 이러한 연결 라인(60)은 증발원(20)에 전기, 제어 신호를 인가하기 위한 케이블, 냉각 매체의 공급을 위한 냉각 매체 라인 등을 포함할 수 있다.

암 유닛(40)은 연결 라인(60)이 설치될 수 있는 내부 공간을 갖는 제1 및 제2 암(41, 42)을 포함할 수 있다. 제1 암(41)은 그 일단이 진공 챔버(10)에 대하여 회전 가능하게 연결된다. 제2 암(41)은 그 일단이 제1 암(41)의 타단에 회전 가능하게 연결되고, 그 타단이 증발원(20)에 회전 가능하게 연결된다. 증발원 구동 유닛(30)의 동작에 의해 증발원(20)이 선형 이동할 때 제1 및 제2 암(41, 42)은 증발원(20)의 선형 이동에 종속되어 펼침 또는 접힘 동작하며, 이러한 동작에 의해 증발원(20)의 선형 이동을 가이드할 수 있다.

암 유닛(40)의 내부가 진공 챔버(10) 외부의 압력과 동일 압력으로 설정될 경우, 연결 라인(50)은 진공 챔버(10)의 진공 분위기에 노출되지 않고, 진공 챔버(10) 외부의 분위기와 동일 분위기에 놓일 수 있으며, 이에 따라 연결 라인(60)의 노후화, 단선 등을 방지할 수 있다.

제1 암(41)과 제2 암(42) 사이의 연결 부위에는 암 유닛(40)의 내부 공간을 밀폐시키기 위한 씰링 부재(43)이 설치될 수 있으며, 씰링 부재(43)로서 자성유체 씰(Ferro seal) 등이 사용될 수 있다. 제1 암(41)과 진공 챔버(10) 사이의 연결 부위(46, 도 4 참조), 제2 암(42)과 증발원(20) 사이의 연결 부위에도 씰링 부재(44, 45)가 각각 설치될 수 있다.

기판(1)이 대면적화 될수록 증발원(20)의 선형 이동 거리(스트로크)가 증가하게 되며, 이에 따라 제1 및 제2 암(41, 42)의 길이 또한 증가시킬 필요가 있다. 이러한 경우, 씰링 부재(43)나 증발원(20)의 무게로 인해 발생하는 토크에 의해 제1 및 제2 암(41, 42)에 처짐 현상이 발생할 수 있으며, 이러한 처짐 현상 발생으로 인해 암 유닛(40)에 손상이 발생하거나 밀폐가 깨지는 등의 문제가 발생할 수 있다.

이와 같은 암 유닛(40)의 처짐 현상을 방지할 수 있도록 암 유닛(40)에는 처짐 방지 수단(50)이 설치된다. 처짐 방지 수단(50)은 암 유닛(40)의 선회 이동시 진공 챔버(10)의 바닥면과 접촉하면서 이동하여 암 유닛(40)의 처짐을 방지한다.

도 3은 도 1에 도시된 처짐 방지 수단의 구성을 나타낸 사시도이고, 도 4는 도 3에 도시된 처짐 방지 수단의 배열을 나타낸 제1 암의 평면도이다.

도 3 및 4를 참조하면, 처짐 방지 수단(50)은 제1 암(41)의 저면, 구체적으로, 제1 암(41)의 단부의 저면에 설치될 수 있다. 처짐 방지 수단(50)은 제1 암(41)과 제2 암(42)의 연결 부위에 해당하는 지점에 설치될 수 있다.

처짐 방지 수단(50)으로서, 진공 챔버(10)의 바닥면과 구름 접촉하는 볼 롤러(또는 볼 트랜스퍼)가 복수개 사용될 수 있다. 볼 롤러는 제1 암(41)의 단부의 외곽 부위를 따라 복수개로 설치될 수 있으며, 도 4에서는 복수개의 볼 롤러가 전체적으로 반원 형태의 단부 외곽을 따라 배열된 것을 예시하고 있다.

각 볼 롤러는 챔버(10)의 바닥면에 점 접촉되게 되며, 암 유닛(40)의 선회 이동함에 따라 각 볼 롤러가 챔버(10)의 바닥면 상을 구름 이동하게 된다. 이와 같은 구성을 통해 마찰을 최소화함으로써 암 유닛(40)이 보다 부드럽게 이동하도록 할 수 있다.

도 5는 도 3에 도시된 처짐 방지 수단의 측단면도이다.

도 5와 같이, 처짐 방지 수단(50)에는 그 높이 조절을 위한 높이 조절 수단(53)이 구비될 수 있다.

본 실시예와 같이 처짐 방지 수단(50)이 볼 롤러의 형태를 갖는 경우, 처짐 방지 수단(50)은 볼(51)이 설치된 롤러 몸체부(52)와, 롤러 몸체부(52)에 설치되는 높이 조절 수단(53)을 포함할 수 있다.

높이 조절 수단(53)은 수나사산이 구비된 결합 로드(54)와, 제1 암(41)의 저면을 지지하도록 결합 로드(54)에 나사 체결되는 너트(55)를 포함하는 구성을 가질 수 있다. 결합 로드(54)는 제1 암(41)에 구비된 체결홀(48)에 나사 체결되며, 너트(55)를 조여 결합 로드(54)를 제1 암(41)에 고정시킬 수 있다. 결합 로드(54), 너트(55)의 조임량 및 풀림량 조정을 통해 롤러 몸체부(52)의 높이를 미세하게 조절할 수 있으며, 이를 통해 접촉면 마모, 이물질 부착 등에 따른 진공 챔버(10) 바닥면의 높낮이 변화에 대응할 수 있다. 이와 같은 높이 조절 수단(53)은 본 실시예에서 예시한 구성에 한정되는 것은 아니며, 다양한 형태로 변형 실시 가능하다 할 것이다.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 처짐 방지 수단의 구성을 나타낸 사시도이고, 도 7은 도 6에 도시된 처짐 방지 수단의 정면도이다. 그리고, 도 8은 도 7에 도시된 처짐 방지 수단의 측단면도이다.

본 실시예에 따른 처짐 방지 수단(50)은 앞선 실시예와 달리 제1 암(41)의 측면에 설치된다. 또한, 본 실시예의 처짐 방지 수단(50)에는 이를 지지하는 진공 챔버(10)의 바닥면의 높낮이에 따라 신축하는 신축 유닛(60)이 구비될 수 있다.

본 실시예에 따르면, 처짐 방지 수단(50)은 볼(51)이 설치된 롤러 몸체부(52)와, 롤러 몸체부(52)에 설치되는 신축 유닛(60)을 포함한다.

신축 유닛(60)은 고정 브라켓(61), 이동 로드(65) 및 스프링(66)을 포함할 수 있다.

고정 브라켓(61)은 제1 암(41)의 측면에 고정되며, 고정 브라켓(61)의 측면에는 제1 암(41)과의 고정을 위한 체결 나사가 삽입되는 삽입홀(67)이 형성될 수 있다.

고정 브라켓(61)은 제1 및 제2 지지부(62, 63)와, 이들 사이를 연결하는 연결 로드(64)를 포함할 수 있다. 제1 지지부(62)는 절곡된 형태를 가질 수 있으며, 제2 지지부(63)는 평판 형태를 가질 수 있다. 연결 로드(64)는 제1 및 제2 지지부(62,63)의 사이에서 이들 사이가 일정 간격을 이루도록 제1 및 제2 지지부(62,63)를 연결한다.

이동 로드(65)는 고정 브라켓(61)에 직선 이동 가능하게 설치되며, 롤러 몸체부(52)에 연결된다. 이동 로드(65)는 제1 및 제2 지지부(62, 63)에 구비된 관통홀 상에 설치되며, 이동 로드(65)의 단부에는 제2 지지부(53)에 의해 그 이동을 제한하기 위한 이동 제한부(68)가 돌출되게 형성될 수 있다.

스프링(66)은 고정 브라켓(61)과 이동 로드(65)의 사이에 설치되어 이동 로드(65)를 탄력적으로 지지한다. 스프링(66)은 고정 브라켓(61)의 제1 지지부(62)와 이동 로드(65)의 이동 제한부(68)에 각각 지지될 수 있다.

본 실시예의 경우 고정 브라켓(61)에 2개의 볼 롤러와 이동 로드(65)가 설치된 구조를 예시하였으나, 이들의 개수는 다양하게 변형 실시 가능하다.

본 실시예에 따른 신축 유닛(60)의 작동 과정을 설명하면, 신축 유닛(60)은 때 스프링(66)이 압축된 상태에 있게 설치되며, 볼 롤러의 볼(51)을 지지하는 바닥면의 높낮이가 변화함에 따라 이동 로드(65)가 상승하거나 하강하게 되어 신축하게 되며, 이 과정에서 스프링(66)은 이동 로드(65)와 고정 브라켓(61)의 사이를 탄력적으로 지지하여 바닥면에 대한 암 유닛(40)의 높이가 일정하게 유지될 수 있도록 한다.

상기에서는 본 발명의 특정의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

1: 기판 10: 진공 챔버
11: 기판 지지부 12: 리니어 가이드
20: 증발원 30: 증발원 구동 유닛
40: 암 유닛 41: 제1 암
42: 제2 암 43, 44, 45; 씰링 부재
50: 처짐 방지 수단 51: 볼
52: 롤러 몸체부 53: 높이 조절 수단
54: 결합 로드 55: 너트
60: 신축 유닛 61: 고정 브라켓
62: 제1 지지부 63: 제2 지지부
64: 연결 로드 65: 이동 로드
66: 스프링

Claims (8)

1. 기판이 설치되는 공간을 갖는 진공 챔버;
   상기 진공 챔버 내에 설치되며, 상기 기판을 향해 증착 물질을 증발시키기 위한 증발원;
   상기 증발원을 상기 진공 챔버 내에서 선형 이동시키기 위한 증발원 구동 유닛;
   상기 증발원의 선형 이동에 종속하여 선회 동작하도록 상기 진공 챔버와 상기 증발원의 사이에 설치되며, 상기 증발원에 연결된 연결 라인을 수용하는 암 유닛; 및
   상기 암 유닛에 설치되며, 상기 암 유닛의 처짐을 방지하도록 상기 암 유닛의 선회 이동시 상기 진공 챔버의 바닥면과 접촉하면서 이동하는 처짐 방지 수단;을 포함하는 박막 증착 장치.
   
2. 제1항에 있어서, 상기 암 유닛은,
   상기 진공 챔버에 대하여 회전 가능하게 연결되는 제1 암; 및
   일단이 상기 제1 암에 회전 가능하게 연결되고, 타단이 상기 증발원에 회전 가능하게 연결되는 제2 암;을 포함하는 것을 특징으로 하는, 박막 증착 장치.
   
3. 제1항에 있어서, 상기 처짐 방지 수단은,
   상기 제1 암의 저면 또는 측면에 설치되며, 상기 진공 챔버의 바닥면과 구름 접촉하는 복수개의 볼 롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 박막 증착 장치.
   
4. 제3항에 있어서,
   상기 볼 롤러는 상기 제1 암의 단부의 외곽 부위를 따라 복수개로 설치되는 것을 특징으로 하는, 박막 증착 장치.
   
5. 제3항에 있어서,
   상기 볼 롤러의 높이를 조절하기 위한 높이 조절 수단;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 박막 증착 장치.
   
6. 제5항에 있어서, 상기 높이 조절 수단은,
   상기 볼 롤러에 설치되며, 상기 제1 암에 구비된 체결홀에 나사 체결되는 결합 로드; 및
   상기 제1 암의 저면을 지지하도록 상기 결합 로드에 나사 체결되는 너트;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 박막 증착 장치.
   
7. 제3항에 있어서,
   상기 볼 롤러와 상기 제1 암의 사이에 설치되며, 상기 볼 롤러를 지지하는 상기 진공 챔버의 바닥면의 높낮이에 따라 신축하는 신축 유닛;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 박막 증착 장치.
   
8. 제7항에 있어서, 상기 신축 유닛은,
   상기 제1 암에 고정되는 고정 브라켓;
   상기 볼 롤러와 연결되며, 상기 고정 브라켓 상에 직선 이동 가능하게 설치되는 이동 로드; 및
   상기 고정 브라켓과 상기 이동 로드의 사이에 설치되는 스프링;을 포함하는 것을 특징으로 하는, 박막 증착 장치.

Images