KR20210096974A

KR20210096974A - End material removing unit

Info

Publication number: KR20210096974A
Application number: KR1020200010717A
Authority: KR
Inventors: 정태성
Original assignee: 주식회사 탑 엔지니어링
Priority date: 2020-01-29
Filing date: 2020-01-29
Publication date: 2021-08-06
Also published as: KR102341797B1

Abstract

An edge material removing unit according to an embodiment of the present invention may comprise: a clamping module formed to grip an edge material of a substrate; a frame where the clamping module is mounted; a rotation module formed to rotate the frame so that the clamping module is toward the edge material of the substrate; and a plurality of sensors defining a rotation angle of the frame. According to the present invention, the clamping module can accurately grip the edge material of the substrate.

Description

End material removal unit {END MATERIAL REMOVING UNIT}

본 발명은 기판의 단부로부터 단재를 제거하도록 구성되는 단재 제거 유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a scrap removal unit configured to remove a scrap from an end of a substrate.

일반적으로, 평판 디스플레이에는 액정 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 디스플레이 패널, 무기 전계 발광 디스플레이 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판이 사용된다. 평판 디스플레이는 유리와 같은 취성의 머더 글라스 패널(기판)로부터 소정의 크기로 절단된 단위 글라스 패널(단위 기판)을 사용한다.In general, a liquid crystal display panel, an organic electroluminescent display panel, an inorganic electroluminescent display panel, a transmissive projector substrate, and a reflective projector substrate are used for a flat panel display. A flat panel display uses a unit glass panel (unit substrate) cut to a predetermined size from a brittle mother glass panel (substrate) such as glass.

기판을 절단하는 공정은 스크라이빙 공정을 포함한다. 스크라이빙 공정은 기판 상에 가상의 예정선을 따라 스크라이빙 휠을 가압하면서 이동시켜 스크라이빙 라인을 형성한다.The process of cutting the substrate includes a scribing process. In the scribing process, a scribing line is formed by pressing and moving a scribing wheel along an imaginary predetermined line on the substrate.

기판의 단부에는 단재(더미(dummy) 또는 컬릿(cullet), 즉, 제품에 사용되지 않고 제거되어 버려지는 비유효 영역)가 존재한다. 기판의 단부로부터 단재를 제거하기 위해 기판의 단부에 스크라이빙 라인을 형성하는 공정과, 스크라이빙 라인에 의해 구획된 단재를 단재 제거 유닛을 사용하여 기판의 단부로부터 제거하는 공정을 수행한다.At the end of the substrate there is a dummy (dummy or cullet, ie, an ineffective area that is not used in the product and is removed and discarded). A process of forming a scribing line at the end of the substrate to remove the end material from the end of the substrate, and a process of removing the end material partitioned by the scribing line from the end of the substrate by using the end material removing unit are performed.

단재 제거 유닛은 복수의 클램핑 모듈을 구비하며, 클램핑 모듈은 일반적으로 한 쌍의 클램핑 부재를 구비한다. 한 쌍의 클램핑 부재 사이에 기판이 위치된 상태에서, 한 쌍의 클램핑 부재가 서로 인접되게 이동됨에 따라, 기판의 단부에 위치되는 단재가 한 쌍의 클램핑 부재에 파지된다. 단재가 한 쌍의 클램핑 부재에 파지된 상태에서, 클램핑 모듈이 기판의 단부로부터 이격되게 이동됨에 따라, 한 쌍의 클램핑 부재에 파지된 단재가 기판의 단부로부터 제거된다.The scrap removal unit includes a plurality of clamping modules, and the clamping modules generally include a pair of clamping members. In a state where the substrate is positioned between the pair of clamping members, as the pair of clamping members are moved to be adjacent to each other, the end member positioned at the end of the substrate is gripped by the pair of clamping members. In a state in which the end material is gripped by the pair of clamping members, as the clamping module is moved to be spaced apart from the end of the substrate, the end material held by the pair of clamping members is removed from the end of the substrate.

그리고, 클램핑 모듈이 컨베이어 벨트 등의 단재 이송 유닛의 상방에 위치된 상태에서, 한 쌍의 클램핑 부재가 서로로부터 이격되게 이동됨에 따라, 단재가 한 쌍의 클램핑 부재로부터 이탈되어 단재 이송 유닛의 상부에 낙하된다. 그리고, 단재는 단재 이송 유닛에 의해 이송된 후 단재 수용 유닛에 수용된다.And, in a state in which the clamping module is positioned above the end material conveying unit such as a conveyor belt, as the pair of clamping members are moved to be spaced apart from each other, the end material is separated from the pair of clamping members and is placed above the end material conveying unit. falls off And, the end material is accommodated in the end material receiving unit after being transferred by the end material transfer unit.

한편, 클램핑 모듈이 기판의 단부에 대향하도록, 클램핑 모듈이 장착되는 프레임이 소정의 각도로 회전된다. 프레임은 회전 모터와 동력 전달 부재를 통하여 연결된다.Meanwhile, the frame on which the clamping module is mounted is rotated at a predetermined angle so that the clamping module faces the end of the substrate. The frame is connected through the rotary motor and the power transmission member.

그러나, 단재 제거 유닛이 장시간 사용됨에 따라, 동력 전달 부재의 마모 및/또는 슬립으로 인해, 회전 모터의 회전력이 프레임에 정확하게 전달되지 않을 수 있다. 그리고, 이로 인하여, 회전 모터의 회전 각도와 프레임의 회전 각도가 서로 일치하지 않을 수 있다.However, as the scrap removal unit is used for a long time, the rotational force of the rotary motor may not be accurately transmitted to the frame due to wear and/or slippage of the power transmission member. And, due to this, the rotation angle of the rotation motor and the rotation angle of the frame may not coincide with each other.

본 발명의 목적은 동력 전달 부재의 마모 등으로 인해 회전 모터의 회전 각도와 프레임의 회전 각도가 일치하지 않는 경우에도, 클램핑 모듈이 기판의 단재에 대향하게 위치되도록 할 수 있는 단재 제거 유닛을 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide an edge removal unit capable of allowing the clamping module to be positioned opposite to the edge of the substrate even when the rotation angle of the rotation motor and the rotation angle of the frame do not match due to wear of the power transmission member, etc. will be.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 단재 제거 유닛은, 기판의 단재를 파지하도록 구성되는 클램핑 모듈; 클램핑 모듈이 장착되는 프레임; 클램핑 모듈이 기판의 단재를 향하도록 프레임을 회전시키도록 구성되는 회전 모듈; 및 프레임의 회전 각도를 규정하는 복수의 센서를 포함할 수 있다.A scrap removal unit according to an embodiment of the present invention for achieving the above object includes: a clamping module configured to grip the edge of the substrate; a frame on which the clamping module is mounted; a rotation module configured to rotate the frame so that the clamping module faces the end of the substrate; and a plurality of sensors defining a rotation angle of the frame.

복수의 센서는, 클램핑 모듈이 기판의 선행단에 대향할 때의 프레임의 제1 회전 각도를 규정하는 제1 센서; 및 클램핑 모듈이 기판의 후행단에 대향할 때의 프레임의 제2 회전 각도를 규정하는 제2 센서를 포함할 수 있다.The plurality of sensors may include: a first sensor defining a first rotation angle of the frame when the clamping module faces the leading end of the substrate; and a second sensor defining a second rotation angle of the frame when the clamping module faces the trailing end of the substrate.

본 발명의 실시예에 따른 단재 제거 유닛은, 제1 센서가 장착되는 제1 브래킷; 및 제2 센서가 장착되는 제2 브래킷을 포함할 수 있고, 제1 브래킷에는 복수의 제1 장착홀이 형성되고, 제2 브래킷에는 복수의 제2 장착홀이 형성될 수 있고, 제1 센서가 장착되는 제1 장착홀의 위치에 따라 제1 센서의 위치가 결정될 수 있고, 제2 센서가 장착되는 제2 장착홀의 위치에 따라 제1 센서의 위치가 결정될 수 있다.End material removal unit according to an embodiment of the present invention, a first bracket to which the first sensor is mounted; and a second bracket to which the second sensor is mounted, a plurality of first mounting holes are formed in the first bracket, and a plurality of second mounting holes are formed in the second bracket, and the first sensor is The position of the first sensor may be determined according to the position of the first mounting hole to be mounted, and the position of the first sensor may be determined according to the position of the second mounting hole in which the second sensor is mounted.

본 발명의 실시예에 따른 단재 제거 유닛은, 제1 센서가 장착되는 제1 브래킷; 및 제2 센서가 장착되는 제2 브래킷을 포함할 수 있고, 제1 브래킷 및 제2 브래킷은 동일한 형상으로 형성될 수 있다.End material removal unit according to an embodiment of the present invention, a first bracket to which the first sensor is mounted; and a second bracket to which the second sensor is mounted, the first bracket and the second bracket may be formed in the same shape.

본 발명의 실시예에 따른 단재 제거 유닛은, 프레임의 회전을 제한하는 제1 리미트 센서 및 제2 리미트 센서를 더 포함할 수 있다.The scrap removal unit according to an embodiment of the present invention may further include a first limit sensor and a second limit sensor for limiting the rotation of the frame.

복수의 센서에 의해 측정된 프레임의 회전 각도를 기초로 클램핑 모듈의 위치가 조절될 수 있다.The position of the clamping module may be adjusted based on the rotation angle of the frame measured by the plurality of sensors.

회전 모듈은, 회전 모터; 회전 모터에 연결되는 구동 샤프트; 구동 샤프트에 연결되는 구동 풀리; 프레임에 연결되는 종동 샤프트; 종동 샤프트에 연결되는 종동 풀리; 및 구동 풀리와 종동 풀리를 연결하는 동력 전달 부재를 포함할 수 있다.The rotation module includes a rotation motor; a drive shaft connected to the rotary motor; a drive pulley connected to the drive shaft; driven shaft connected to the frame; a driven pulley connected to the driven shaft; and a power transmission member connecting the driving pulley and the driven pulley.

본 발명의 실시예에 따른 단재 제거 유닛에 따르면, 동력 전달 부재의 마모 및/또는 슬립 등으로 인해 회전 모터의 회전 각도와 프레임의 회전 각도가 일치하지 않는 경우에도, 프레임이 정확한 회전 각도로 회전될 수 있다. 따라서, 클램핑 모듈이 기판의 단재에 정확하게 대향하게 위치될 수 있다. 따라서, 클램핑 모듈이 기판의 단재를 정확하게 파지할 수 있다.According to the scrap removal unit according to the embodiment of the present invention, even when the rotation angle of the rotation motor and the rotation angle of the frame do not match due to wear and/or slip of the power transmission member, the frame is rotated to the correct rotation angle. can Accordingly, the clamping module can be positioned exactly opposite to the edge of the substrate. Accordingly, the clamping module can accurately grip the edge of the substrate.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 단재 제거 유닛을 포함하는 기판 절단 장치가 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 단재 제거 유닛을 포함하는 기판 절단 장치가 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 단재 제거 유닛을 포함하는 기판 절단 장치가 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 단재 제거 유닛이 개략적으로 도시된 사시도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 단재 제거 유닛의 클램핑 모듈이 개략적으로 도시된 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 단재 제거 유닛의 클램핑 모듈이 개략적으로 도시된 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 단재 제거 유닛의 회전 모듈이 개략적으로 도시된 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 단재 제거 유닛의 회전 각도 검출 모듈이 개략적으로 도시된 도면이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 단재 제거 유닛의 클램핑 모듈이 기판의 선행단을 파지한 상태가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 단재 제거 유닛의 클램핑 모듈이 기판의 후행단을 파지한 상태가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 단재 제거 유닛 회전 각도 검출 모듈의 다른 예가 개략적으로 도시된 도면이다.1 is a plan view schematically showing a substrate cutting apparatus including a scrap removal unit according to an embodiment of the present invention.
2 is a side view schematically showing a substrate cutting apparatus including a scrap removal unit according to an embodiment of the present invention.
3 is a side view schematically showing a substrate cutting apparatus including a scrap removal unit according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view schematically illustrating a scrap removal unit according to an embodiment of the present invention.
5 is a diagram schematically illustrating a clamping module of a scrap removal unit according to an embodiment of the present invention.
6 is a diagram schematically illustrating a clamping module of a scrap removal unit according to an embodiment of the present invention.
7 is a diagram schematically showing the rotation module of the scrap removal unit according to an embodiment of the present invention.
8 is a diagram schematically illustrating a rotation angle detection module of a scrap removal unit according to an embodiment of the present invention.
9 is a diagram schematically illustrating a state in which the clamping module of the scrap removal unit according to an embodiment of the present invention holds the leading end of the substrate.
10 is a diagram schematically illustrating a state in which the clamping module of the edge removal unit according to an embodiment of the present invention holds the trailing end of the substrate.
11 is a diagram schematically illustrating another example of a scrap removal unit rotation angle detection module according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 단재 제거 유닛에 대하여 설명한다.Hereinafter, a scrap removal unit according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 기판 절단 공정이 수행될 기판(S)이 이송되는 방향을 Y축 방향이라 정의한다. 그리고, 기판(S)이 이송되는 방향(Y축 방향)에 수직하는 방향을 X축 방향이라 정의한다. 그리고, 기판(S)이 놓이는 X-Y평면에 수직하는 방향을 Z축 방향이라 정의한다. 또한, 스크라이빙 라인이라는 용어는 기판(S)의 표면에서 소정 방향으로 연장되게 형성되는 홈 및/또는 크랙을 의미한다.1 to 4 , a direction in which a substrate S to be subjected to a substrate cutting process is transferred is defined as a Y-axis direction. And, a direction perpendicular to the direction in which the substrate S is transferred (the Y-axis direction) is defined as the X-axis direction. And, a direction perpendicular to the X-Y plane on which the substrate S is placed is defined as the Z-axis direction. In addition, the term scribe line means a groove and/or crack formed to extend in a predetermined direction on the surface of the substrate (S).

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치는, 스크라이빙 유닛(30), 제1 이송 유닛(10), 제2 이송 유닛(20), 단재 처리 유닛(70), 제어 유닛(미도시)을 포함한다.1 to 4, the substrate cutting apparatus according to an embodiment of the present invention, the scribing unit 30, the first transfer unit 10, the second transfer unit 20, the scrap processing unit 70, a control unit (not shown).

제어 유닛은 기판 절단 장치의 구성 부품의 동작을 제어하도록 구성된다.The control unit is configured to control the operation of the constituent parts of the substrate cutting apparatus.

스크라이빙 유닛(30)은 기판(S)의 제1 면 및 제2 면에 X축 방향으로 스크라이빙 라인을 각각 형성하도록 구성된다.The scribing unit 30 is configured to form scribing lines in the X-axis direction on the first and second surfaces of the substrate S, respectively.

스크라이빙 유닛(30)은, 제1 지지대(31), 제1 스크라이빙 헤드(32), 제2 지지대(33), 제2 스크라이빙 헤드(34)를 포함한다.The scribing unit 30 includes a first support 31 , a first scribing head 32 , a second support 33 , and a second scribing head 34 .

제1 지지대(31)는 X축 방향으로 연장된다. 제1 스크라이빙 헤드(32)는 제1 지지대(31)에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치된다. 제2 지지대(33)는 제1 지지대(31)의 아래에서 제1 지지대(31)와 평행하게 X축 방향으로 연장된다. 제2 스크라이빙 헤드(34)는 제2 지지대(33)에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치된다.The first support 31 extends in the X-axis direction. The first scribing head 32 is movably installed on the first support 31 in the X-axis direction. The second support 33 extends in the X-axis direction parallel to the first support 31 under the first support 31 . The second scribing head 34 is movably installed on the second support 33 in the X-axis direction.

제1 스크라이빙 헤드(32) 및 제1 지지대(31) 사이에는 제1 스크라이빙 헤드(32)에 연결되어 제1 스크라이빙 헤드(32)를 X축 방향으로 이동시키는 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 예를 들면, 직선 이동 기구는 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구로 구성될 수 있다.Between the first scribing head 32 and the first support 31 , there is a linear movement mechanism connected to the first scribing head 32 to move the first scribing head 32 in the X-axis direction. can be provided. For example, the linear movement mechanism may be composed of an actuator using pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a ball screw mechanism.

제2 스크라이빙 헤드(34) 및 제2 지지대(33) 사이에는 제2 스크라이빙 헤드(34)에 연결되어 제2 스크라이빙 헤드(34)를 X축 방향으로 이동시키는 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 예를 들면, 직선 이동 기구는 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구로 구성될 수 있다.Between the second scribing head 34 and the second support 33 , there is a linear movement mechanism connected to the second scribing head 34 to move the second scribing head 34 in the X-axis direction. can be provided. For example, the linear movement mechanism may be composed of an actuator using pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a ball screw mechanism.

제1 지지대(31) 및 제2 지지대(33) 사이에는 기판(S)이 통과하는 공간이 형성될 수 있다. 제1 지지대(31) 및 제2 지지대(33)는 개별적인 부재로서 제작되어 조립될 수 있거나, 일체로 제작될 수 있다.A space through which the substrate S passes may be formed between the first support 31 and the second support 33 . The first support 31 and the second support 33 may be manufactured and assembled as separate members, or may be integrally manufactured.

제1 스크라이빙 헤드(32) 및 제2 스크라이빙 헤드(34)는 Z축 방향으로 서로 대향하게 배치될 수 있다.The first scribing head 32 and the second scribing head 34 may be disposed to face each other in the Z-axis direction.

제1 스크라이빙 헤드(32) 및 제2 스크라이빙 헤드(34)에는 스크라이빙 휠(351)을 유지하는 휠 홀더(35)가 설치될 수 있다. 제1 스크라이빙 헤드(32)에 장착되는 스크라이빙 휠(351)과 제2 스크라이빙 헤드(34)에 장착되는 스크라이빙 휠(351)은 Z축 방향으로 서로 대향하게 배치될 수 있다.A wheel holder 35 for holding the scribing wheel 351 may be installed in the first scribing head 32 and the second scribing head 34 . The scribing wheel 351 mounted on the first scribing head 32 and the scribing wheel 351 mounted on the second scribing head 34 may be disposed to face each other in the Z-axis direction. there is.

한 쌍의 스크라이빙 휠(351)은 각각 기판(S)의 제1 면 및 제2 면에 가압될 수 있다. 한 쌍의 스크라이빙 휠(351)이 기판(S)의 제1 면 및 제2 면에 각각 가압된 상태에서 제1 스크라이빙 헤드(32) 및 제2 스크라이빙 헤드(34)가 기판(S)에 대하여 상대적으로 X축 방향으로 이동된다. 이에 따라, 기판(S)의 제1 면 및 제2 면에는 X축 방향으로 스크라이빙 라인이 형성될 수 있다.The pair of scribing wheels 351 may be pressed against the first surface and the second surface of the substrate S, respectively. In a state in which a pair of scribing wheels 351 are pressed against the first and second surfaces of the substrate S, respectively, the first scribing head 32 and the second scribing head 34 move the substrate It is moved in the X-axis direction relative to (S). Accordingly, scribing lines may be formed on the first and second surfaces of the substrate S in the X-axis direction.

한편, 제1 스크라이빙 헤드(32)는 제1 지지대(31)에 대하여 Z축 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 이를 위해, 제1 스크라이빙 헤드(32) 및 제1 지지대(31) 사이에는 제1 스크라이빙 헤드(32)에 연결되어 제1 스크라이빙 헤드(32)를 Z축 방향으로 이동시키는 헤드 이동 모듈(38)이 구비될 수 있다. 예를 들면, 헤드 이동 모듈(38)은 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다.Meanwhile, the first scribing head 32 may be configured to be movable in the Z-axis direction with respect to the first support 31 . To this end, the head is connected to the first scribing head 32 between the first scribing head 32 and the first support 31 to move the first scribing head 32 in the Z-axis direction. A moving module 38 may be provided. For example, the head movement module 38 may be provided with an actuator using pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear movement mechanism such as a ball screw mechanism.

한편, 제2 스크라이빙 헤드(34)는 제2 지지대(33)에 대하여 Z축 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 이를 위해, 제2 스크라이빙 헤드(34) 및 제2 지지대(33) 사이에는 제2 스크라이빙 헤드(34)에 각각 연결되어 제2 스크라이빙 헤드(34)를 Z축 방향으로 이동시키는 헤드 이동 모듈(39)이 구비될 수 있다. 예를 들면, 헤드 이동 모듈(39)은 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다.Meanwhile, the second scribing head 34 may be configured to be movable in the Z-axis direction with respect to the second support 33 . To this end, between the second scribing head 34 and the second support 33 are connected to each of the second scribing heads 34 to move the second scribing head 34 in the Z-axis direction. A head moving module 39 may be provided. For example, the head movement module 39 may be provided with an actuator using pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear movement mechanism such as a ball screw mechanism.

제1 스크라이빙 헤드(32) 및 제2 스크라이빙 헤드(34)가 각각 제1 지지대(31) 및 제2 지지대(33)에 대하여 Z축 방향으로 이동함에 따라, 한 쌍의 스크라이빙 휠(351)이 기판(S)에 가압되거나 기판(S)으로부터 이격될 수 있다. 그리고, 제1 스크라이빙 헤드(32) 및 제2 스크라이빙 헤드(34)가 Z축 방향으로 이동하는 정도를 조절하는 것에 의해, 한 쌍의 스크라이빙 휠(351)이 기판(S)에 가하는 가압력이 조절될 수 있다. 또한, 제1 스크라이빙 헤드(32) 및 제2 스크라이빙 헤드(34)가 Z축 방향으로 이동되는 것에 의해, 한 쌍의 스크라이빙 휠(351)의 기판(S)으로의 절삭 깊이(침투 깊이)가 조절될 수 있다.As the first scribing head 32 and the second scribing head 34 move in the Z-axis direction with respect to the first support 31 and the second support 33, respectively, a pair of scribing heads The wheel 351 may be pressed against the substrate S or may be spaced apart from the substrate S. And, by adjusting the degree of movement of the first scribing head 32 and the second scribing head 34 in the Z-axis direction, a pair of scribing wheels 351 is formed on the substrate S. The pressing force applied to the can be adjusted. In addition, by moving the first scribing head 32 and the second scribing head 34 in the Z-axis direction, the depth of cut of the pair of scribing wheels 351 to the substrate S (depth of penetration) can be adjusted.

제1 이송 유닛(10)은 기판(S)을 스크라이빙 유닛(30)으로 이송하도록 구성된다. 제1 이송 유닛(10)은 기판(S)을 지지하는 복수의 벨트(11)와, 복수의 벨트(11) 상에 지지된 기판(S)의 후행단을 파지하는 파지 부재(12)와, 파지 부재(12)와 연결되며 X축 방향으로 연장되는 지지바(13)와, 지지바(13)와 연결되며 Y축 방향으로 연장되는 제1 가이드 레일(14)과, 스크라이빙 유닛(30)에 인접하게 배치되어 기판(S)을 부양시키거나 흡착하여 지지하는 제1 플레이트(15)를 포함할 수 있다.The first transfer unit 10 is configured to transfer the substrate S to the scribing unit 30 . The first transfer unit 10 includes a plurality of belts 11 for supporting the substrate S, and a holding member 12 for holding the trailing end of the substrate S supported on the plurality of belts 11, A support bar 13 connected to the gripping member 12 and extending in the X-axis direction, a first guide rail 14 connected to the support bar 13 and extending in the Y-axis direction, and a scribing unit 30 ) disposed adjacent to the substrate (S) may include a first plate (15) for supporting or by adsorption (S).

복수의 벨트(11)는 X축 방향으로 서로 이격될 수 있다. 각 벨트(11)는 복수의 풀리(111)에 의해 지지되며, 복수의 풀리(111) 중 적어도 하나는 벨트(11)를 회전시키는 구동력을 제공하는 구동 풀리일 수 있다.The plurality of belts 11 may be spaced apart from each other in the X-axis direction. Each belt 11 is supported by a plurality of pulleys 111 , and at least one of the plurality of pulleys 111 may be a driving pulley providing a driving force for rotating the belt 11 .

지지바(13)와 제1 가이드 레일(14) 사이에는 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 파지 부재(12)가 기판(S)을 파지한 상태에서 지지바(13)가 직선 이동 기구에 의해 Y축 방향으로 이동됨에 따라, 기판(S)이 Y축 방향으로 이송될 수 있다. 이때, 복수의 벨트(11)는 파지 부재(12)의 이동과 동기화되어 회전하면서 기판(S)을 안정적으로 지지할 수 있다.An actuator using pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear movement mechanism such as a ball screw mechanism may be provided between the support bar 13 and the first guide rail 14 . Accordingly, as the support bar 13 moves in the Y-axis direction by the linear movement mechanism in a state in which the gripping member 12 grips the substrate S, the substrate S may be transferred in the Y-axis direction. In this case, the plurality of belts 11 may stably support the substrate S while rotating in synchronization with the movement of the gripping member 12 .

파지 부재(12)는 기판(S)을 가압하여 유지하는 클램프일 수 있다. 다른 예로서, 파지 부재(12)는 진공원과 연결된 진공홀을 구비하여 기판(S)을 흡착하도록 구성될 수 있다.The gripping member 12 may be a clamp for pressing and holding the substrate S. As another example, the holding member 12 may be configured to adsorb the substrate S by having a vacuum hole connected to a vacuum source.

제1 플레이트(15)는 기판(S)을 부양시키거나 흡착할 수 있도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 제1 플레이트(15)의 표면에는 가스 공급원 및 진공원과 연결되는 복수의 슬롯이 형성될 수 있다. 가스 공급원으로부터 제1 플레이트(15)의 복수의 슬롯으로 가스가 공급되는 경우, 기판(S)이 제1 플레이트(15)로부터 부양될 수 있다. 또한, 진공원에 의해 형성된 부압에 의해 제1 플레이트(15)의 복수의 슬롯을 통하여 가스가 흡입되는 경우, 기판(S)이 제1 플레이트(15)에 흡착될 수 있다.The first plate 15 may be configured to be able to float or adsorb the substrate S. For example, a plurality of slots connected to a gas source and a vacuum source may be formed on the surface of the first plate 15 . When gas is supplied from the gas source to the plurality of slots of the first plate 15 , the substrate S may be lifted from the first plate 15 . In addition, when the gas is sucked through the plurality of slots of the first plate 15 by the negative pressure formed by the vacuum source, the substrate S may be adsorbed to the first plate 15 .

기판(S)이 제1 플레이트(15)로부터 부양된 상태에서 기판(S)은 제1 플레이트(15)와 마찰 없이 이동될 수 있다. 그리고, 기판(S)의 제1 면 및 제2 면에 스크라이빙 라인이 형성되는 과정에서, 기판(S)은 제1 플레이트(15)에 흡착되어 고정될 수 있다.In a state in which the substrate S is floated from the first plate 15 , the substrate S may be moved without friction with the first plate 15 . In addition, in the process of forming scribing lines on the first and second surfaces of the substrate S, the substrate S may be adsorbed to and fixed to the first plate 15 .

제2 이송 유닛(20)은 기판(S)을 스크라이빙 유닛(30)으로부터 후속 공정으로 이송하도록 구성된다. 제2 이송 유닛(20)은, 스크라이빙 유닛(30)에 인접하게 배치되어 흡착 기판(S)을 부양시키거나 흡착하여 지지하는 제2 플레이트(25)와, 제2 플레이트(25)에 인접하게 배치되는 이송 벨트(21)와, 제2 플레이트(25) 및 이송 벨트(21)를 Y축 방향으로 왕복으로 이동시키는 이동 장치(26)를 포함할 수 있다. 이동 장치(26)는 Y축 방향으로 연장되는 제2 가이드 레일(24)을 따라 제2 플레이트(25) 및 이송 벨트(21)를 Y축 방향으로 왕복으로 이동시키는 역할을 한다. 이동 장치(26)로는 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 적용될 수 있다.The second transfer unit 20 is configured to transfer the substrate S from the scribing unit 30 to a subsequent process. The second transfer unit 20 includes a second plate 25 disposed adjacent to the scribing unit 30 to float or adsorb and support the adsorption substrate S, and adjacent to the second plate 25 . It may include a conveying belt 21 arranged to be in the same manner, and a moving device 26 for reciprocally moving the second plate 25 and the conveying belt 21 in the Y-axis direction. The moving device 26 serves to reciprocally move the second plate 25 and the conveying belt 21 along the second guide rail 24 extending in the Y-axis direction in the Y-axis direction. As the moving device 26 , an actuator using pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear moving mechanism such as a ball screw mechanism may be applied.

제2 플레이트(25)와 이송 벨트(21)는 이동 장치(26)에 의해 기판(S)이 이송되는 방향과 평행한 방향(Y축 방향)으로 함께 이동 가능하게 구성될 수 있다.The second plate 25 and the transfer belt 21 may be configured to be movable together in a direction parallel to the direction in which the substrate S is transferred by the moving device 26 (Y-axis direction).

스크라이빙 유닛(30)에 의해 기판(S)의 제1 면 및 제2 면에 각각 스크라이빙 라인이 형성될 때, 제2 플레이트(25)는 제1 플레이트(15)를 향하여 이동되며, 제1 플레이트(15)와 제2 플레이트(25) 사이에 제1 스크라이빙 헤드(32) 및 제2 스크라이빙 헤드(34)가 위치될 수 있다. 스크라이빙 유닛(30)에 의해 기판(S)의 제1 면 및 제2 면에 각각 스크라이빙 라인이 형성될 때, 제2 플레이트(25)가 제1 플레이트(15)를 향하여 이동되므로, 기판(S)이 제1 플레이트(15) 및 제2 플레이트(25) 모두에 안정적으로 지지될 수 있다.When scribing lines are respectively formed on the first and second surfaces of the substrate S by the scribing unit 30, the second plate 25 is moved toward the first plate 15, A first scribing head 32 and a second scribing head 34 may be positioned between the first plate 15 and the second plate 25 . When scribing lines are respectively formed on the first and second surfaces of the substrate S by the scribing unit 30, the second plate 25 is moved toward the first plate 15, The substrate S may be stably supported on both the first plate 15 and the second plate 25 .

이송 벨트(21)는 복수로 구비될 수 있으며, 복수의 이송 벨트(21)는 X축 방향으로 서로 이격될 수 있다. 각 이송 벨트(21)는 복수의 풀리(211)에 의해 지지되며, 복수의 풀리(211) 중 적어도 하나는 이송 벨트(21)를 회전시키는 구동력을 제공하는 구동 풀리일 수 있다.A plurality of transport belts 21 may be provided, and the plurality of transport belts 21 may be spaced apart from each other in the X-axis direction. Each transfer belt 21 is supported by a plurality of pulleys 211 , and at least one of the plurality of pulleys 211 may be a driving pulley providing a driving force for rotating the transfer belt 21 .

제2 플레이트(25)는 기판(S)을 부양시키거나 흡착할 수 있도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 제2 플레이트(25)의 표면에는 가스 공급원 및 진공원과 연결되는 복수의 슬롯이 형성될 수 있다. 가스 공급원으로부터 제2 플레이트(25)의 복수의 슬롯으로 가스가 공급되는 경우, 기판(S)이 제2 플레이트(25)로부터 부양될 수 있다. 또한, 진공원에 의해 형성된 부압에 의해 제2 플레이트(25)의 복수의 슬롯을 통하여 가스가 흡입되는 경우, 기판(S)이 제2 플레이트(25)에 흡착될 수 있다.The second plate 25 may be configured to float or adsorb the substrate S. For example, a plurality of slots connected to a gas source and a vacuum source may be formed on the surface of the second plate 25 . When gas is supplied from the gas source to the plurality of slots of the second plate 25 , the substrate S may be lifted from the second plate 25 . In addition, when the gas is sucked through the plurality of slots of the second plate 25 by the negative pressure formed by the vacuum source, the substrate S may be adsorbed to the second plate 25 .

기판(S)이 제2 플레이트(25)로 이송되는 과정에서, 제2 플레이트(25)의 슬롯으로 가스가 공급되며, 이에 따라, 기판(S)이 제2 플레이트(25)와 마찰 없이 이동될 수 있다.In the process of transferring the substrate S to the second plate 25 , gas is supplied to the slots of the second plate 25 , and accordingly, the substrate S is moved without friction with the second plate 25 . can

그리고, 기판(S)의 제1 면 및 제2 면에 스크라이빙 라인이 형성되는 과정에서, 기판(S)이 제2 플레이트(25)에 흡착되어 고정될 수 있다.In addition, while scribing lines are formed on the first and second surfaces of the substrate S, the substrate S may be adsorbed to and fixed to the second plate 25 .

그리고, 기판(S)의 제1 면 및 제2 면에 각각 스크라이빙 라인이 형성된 이후에, 기판(S)이 제1 플레이트(15) 및 제2 플레이트(25)에 흡착된 상태에서, 제2 플레이트(25)가 제1 플레이트(15)로부터 멀어지게 이동됨에 따라, 기판(S)이 스크라이빙 라인을 따라 분할될 수 있다.And, after scribing lines are formed on the first and second surfaces of the substrate S, respectively, in a state in which the substrate S is adsorbed to the first plate 15 and the second plate 25, the first As the second plate 25 is moved away from the first plate 15 , the substrate S may be divided along the scribing line.

한편, 기판(S)이 제2 플레이트(25)로부터 후속 공정으로 이동하는 과정에서, 제2 플레이트(25)의 슬롯으로 가스가 공급되며, 이에 따라, 기판(S)은 제2 플레이트(25)와 마찰 없이 이동될 수 있다.Meanwhile, while the substrate S is moved from the second plate 25 to a subsequent process, a gas is supplied to the slot of the second plate 25 , and accordingly, the substrate S is moved to the second plate 25 . and can be moved without friction.

단재 처리 유닛(70)은 기판(S)의 단부로부터 제거된 단재를 이송하도록 구성된다. 예를 들면, 단재 처리 유닛(70)은 기판(S)의 단부로부터 제거된 단재를 수용하여 이송하도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 단재 처리 유닛(70)은 단재를 이송하는 컨베이어 벨트를 구비할 수 있다. 단재 제거 유닛(40)의 클램핑 모듈(42)에 의해 기판(S)의 단부로부터 제거된 단재는, 클램핑 모듈(42)이 단재를 해제함에 따라, 단재 처리 유닛(70) 상으로 낙하할 수 있다.The scrap processing unit 70 is configured to transfer the scrap removed from the end of the substrate S. For example, the scrap processing unit 70 may be configured to receive and transfer the scrap material removed from the end of the substrate S. For example, the scrap processing unit 70 may include a conveyor belt for transporting the scrap material. The scrap removed from the end of the substrate S by the clamping module 42 of the scrap removal unit 40 may fall onto the scrap processing unit 70 as the clamping module 42 releases the scrap. .

단재 제거 유닛(40)은 스크라이빙 유닛(30)에 인접하게 배치된다. 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 단재 제거 유닛(40)은 기판(S)의 선행단(기판(S)의 Y축 방향으로의 전방측 단부)의 에지 및/또는 기판(S)의 후행단(기판(S)의 Y축 방향으로의 후방측 단부)의 에지에서 스크라이빙 라인에 의해 구획된 단재(더미(dummy) 또는 컬릿(cullet), 즉, 단위 기판으로서 사용되지 않고 절단된 후 버려지는 비유효 영역)를 제거하는 역할을 한다.The scrap removal unit 40 is disposed adjacent to the scribing unit 30 . 3 and 4, the edge removal unit 40 according to the embodiment of the present invention is the edge of the leading end of the substrate S (the front end of the substrate S in the Y-axis direction) and / or an edge (dummy or cullet) partitioned by a scribing line at the edge of the trailing end of the substrate S (the rear end of the substrate S in the Y-axis direction), that is, a unit It serves to remove the ineffective area that is not used as a substrate and is discarded after being cut.

단재 제거 유닛(40)은 제1 이송 유닛(10) 및 제2 이송 유닛(20) 사이에 배치될 수 있다. 단재 제거 유닛(40)은 제1 플레이트(15) 및 제2 플레이트(25) 사이에 배치될 수 있다.The scrap removal unit 40 may be disposed between the first transfer unit 10 and the second transfer unit 20 . The scrap removal unit 40 may be disposed between the first plate 15 and the second plate 25 .

단재 제거 유닛(40)은 X축 방향으로 연장되는 프레임(41)과, 프레임(41)에 배치되는 복수의 클램핑 모듈(50)과, 프레임(41)을 프레임(41)의 중심축(X축 방향과 평행한 축)을 중심으로 회전시키는 회전 모듈(43)과, 프레임(41)을 Y축 방향으로 이동시키는 수평 이동 모듈(44)과, 프레임(41)을 Z축 방향으로 이동시키는 수직 이동 모듈(45)을 포함할 수 있다.The edge removal unit 40 includes a frame 41 extending in the X-axis direction, a plurality of clamping modules 50 disposed on the frame 41 , and the frame 41 on the central axis (X-axis) of the frame 41 . A rotation module 43 that rotates about an axis parallel to the direction), a horizontal movement module 44 that moves the frame 41 in the Y-axis direction, and a vertical movement that moves the frame 41 in the Z-axis direction A module 45 may be included.

회전 모듈(43)에 의해 프레임(41)이 X축을 중심으로 회전됨에 따라, 클램핑 모듈(50)이 제1 이송 유닛(10)(제1 플레이트(15))을 향하도록 배치될 수 있거나 제2 이송 유닛(제2 플레이트(25))을 향하여 배치될 수 있다. 따라서, 기판(S)의 선행단이 제1 플레이트(15)에 위치된 상태에서 클램핑 모듈(50)이 제1 플레이트(15)를 향하도록 배치되어 기판(S)의 선행단으로부터 단재를 제거할 수 있다. 또한, 기판(S)의 후행단이 제2 플레이트(25)에 위치된 상태에서 클램핑 모듈(50)이 제2 플레이트(25)를 향하도록 배치되어 기판(S)의 후행단으로부터 단재를 제거할 수 있다.As the frame 41 is rotated about the X axis by the rotation module 43 , the clamping module 50 may be disposed to face the first transfer unit 10 (the first plate 15 ) or the second It may be disposed toward the transfer unit (second plate 25). Accordingly, the clamping module 50 is disposed to face the first plate 15 in a state where the leading end of the substrate S is positioned on the first plate 15 to remove the end material from the leading end of the substrate S. can In addition, the clamping module 50 is disposed to face the second plate 25 in a state where the trailing end of the substrate S is positioned on the second plate 25 to remove the end material from the trailing end of the substrate S. can

수평 이동 모듈(44)은 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로서 구성될 수 있다. 수평 이동 모듈(44)에 의해 프레임(41)이 수평으로 이동됨에 따라, 클램핑 모듈(50)이 수평으로 이동될 수 있다. 이에 따라, 클램핑 모듈(50)이 수평 이동 모듈(44)에 의해 수평으로 이동되어 기판(S)의 단부에 대향하게 위치될 수 있다. 또한, 클램핑 모듈(50)이 단재를 유지한 상태로 수평 이동 모듈(44)에 의해 기판(S)으로부터 멀어지는 방향으로 이동될 수 있으며, 이에 따라, 단재가 기판(S)으로부터 분리/제거/이송될 수 있다.The horizontal movement module 44 may be configured as an actuator using pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear movement mechanism such as a ball screw mechanism. As the frame 41 is horizontally moved by the horizontal movement module 44 , the clamping module 50 may be moved horizontally. Accordingly, the clamping module 50 may be horizontally moved by the horizontal movement module 44 and positioned to face the end of the substrate S. In addition, the clamping module 50 may be moved in a direction away from the substrate S by the horizontal movement module 44 in a state where the end material is maintained, and accordingly, the end material is separated/removed/transferred from the substrate S can be

수직 이동 모듈(45)은 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로서 구성될 수 있다. 수직 이동 모듈(45)에 의해 프레임(41)이 수직으로 이동됨에 따라, 클램핑 모듈(50)이 수직으로 이동될 수 있다. 단재를 제거하는 과정에서, 클램핑 모듈(50)이 수직 이동 모듈(45)에 의해 상승되어 기판(S)의 단부에 대향하게 위치될 수 있다. 기판(S)이 이송되는 과정에서, 클램핑 모듈(50)이 수직 이동 모듈(45)에 의해 하강되어 기판(S)의 이송을 방해하지 않을 수 있다. 또한, 클램핑 모듈(50)이 단재를 유지한 상태로 수직 이동 모듈(45)에 의해 기판(S)으로부터 멀어지는 방향으로 이동될 수 있으며, 이에 따라, 단재가 기판(S)으로부터 분리/제거/이송될 수 있다.The vertical movement module 45 may be configured as an actuator using pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear movement mechanism such as a ball screw mechanism. As the frame 41 is vertically moved by the vertical movement module 45 , the clamping module 50 may be vertically moved. In the process of removing the end material, the clamping module 50 may be raised by the vertical movement module 45 and positioned to face the end of the substrate S. In the process of transferring the substrate S, the clamping module 50 may be lowered by the vertical movement module 45 so as not to interfere with the transfer of the substrate S. In addition, the clamping module 50 may be moved in a direction away from the substrate S by the vertical movement module 45 in a state where the end material is maintained, and accordingly, the end material is separated/removed/transferred from the substrate S can be

도 4는 회전 모듈(43), 수평 이동 모듈(44) 및 수직 이동 모듈(45)이 프레임(41)의 양측에 각각 구비된 구성을 도시한다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 회전 모듈(43), 수평 이동 모듈(44) 및 수직 이동 모듈(45)이 프레임(41)의 일측에 구비되고 프레임(41)의 타측에 프레임(41)의 회전, 수평 이동 및 수직 이동을 안내하는 안내 수단이 구비되는 구성이 적용될 수 있다.4 shows a configuration in which the rotation module 43 , the horizontal movement module 44 , and the vertical movement module 45 are provided on both sides of the frame 41 , respectively. However, the present invention is not limited thereto, and the rotation module 43 , the horizontal movement module 44 and the vertical movement module 45 are provided on one side of the frame 41 and the frame 41 on the other side of the frame 41 . A configuration in which a guide means for guiding the rotation, horizontal movement and vertical movement of the is provided can be applied.

복수의 클램핑 모듈(50)은 프레임(41)을 따라 X축 방향으로 배치될 수 있다. 클램핑 모듈(50)은 프레임(41)을 따라 연장된 가이드(411)를 따라 X축 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다. 이를 위해, 클램핑 모듈(50)과 가이드(411) 사이에는 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 복수의 클램핑 모듈(50)이 직선 이동 기구에 의해 X축 방향으로 이동됨에 따라, 복수의 클램핑 모듈(50) 사이의 간격이 조절될 수 있다. 따라서, 복수의 클램핑 모듈(50)이 기판(S)의 X축 방향으로의 폭에 적절하게 대응하게 배치되어 기판(S)을 안정적으로 파지할 수 있다.The plurality of clamping modules 50 may be disposed along the frame 41 in the X-axis direction. The clamping module 50 may be installed to be movable in the X-axis direction along the guide 411 extending along the frame 41 . To this end, an actuator using pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear movement mechanism such as a ball screw mechanism may be provided between the clamping module 50 and the guide 411 . Accordingly, as the plurality of clamping modules 50 are moved in the X-axis direction by the linear movement mechanism, the spacing between the plurality of clamping modules 50 may be adjusted. Accordingly, the plurality of clamping modules 50 may be disposed to appropriately correspond to the width of the substrate S in the X-axis direction to stably grip the substrate S.

도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 클램핑 모듈(42)은, 프레임(41)에 분리 가능하게 결합되는 베이스 부재(421)와, 베이스 부재(421)에 이동 가능하게 설치되는 몸체(423)와, 몸체(423)에 장착되고 서로 인접하게 이동되거나 서로 이격되게 이동되는 한 쌍의 클램핑 부재(424)를 포함할 수 있다. 그리고, 단재 제거 유닛(40)은 한 쌍의 클램핑 부재(424)를 구동하는 구동 모듈(46)을 포함할 수 있다.5 and 6 , the clamping module 42 includes a base member 421 detachably coupled to the frame 41 and a body 423 movably installed on the base member 421 . and a pair of clamping members 424 mounted on the body 423 and moved adjacent to each other or spaced apart from each other. In addition, the scrap removal unit 40 may include a driving module 46 for driving the pair of clamping members 424 .

베이스 부재(421)는 프레임(41)에 분리 가능하게 고정되며, 이에 따라, 클램핑 모듈(42)이 프레임(41)에 지지될 수 있다.The base member 421 is detachably fixed to the frame 41 , and thus the clamping module 42 may be supported by the frame 41 .

한 쌍의 클램핑 부재(424)가 기판(S)을 사이에 두고 서로 인접하게 이동되는 것에 의해 기판(S)의 더미 부분이 한 쌍의 클램핑 부재(424)에 의해 파지될 수 있다. 한 쌍의 클램핑 부재(424)는 각각의 중심축을 기준으로 회전되는 것에 의해 서로 인접하거나 이격되게 이동될 수 있다. 이를 위해, 구동 모듈(46)로부터의 구동력을 한 쌍의 클램핑 부재(424)를 회전시키기 위한 회전력으로 변환하는 기구가 구비될 수 있다. 다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 않으며, 한 쌍의 클램핑 부재(424)는 직선형으로 이동되도록 구성될 수 있다. 이를 위해, 구동 모듈(46)로부터의 구동력을 한 쌍의 클램핑 부재(424)를 직선형으로 이동시키기 위한 구동력으로 변환하는 기구가 구비될 수 있다.Since the pair of clamping members 424 are moved adjacent to each other with the substrate S interposed therebetween, the dummy portion of the substrate S may be gripped by the pair of clamping members 424 . The pair of clamping members 424 may be moved adjacent to each other or spaced apart from each other by rotating about their respective central axes. To this end, a mechanism for converting a driving force from the driving module 46 into a rotational force for rotating the pair of clamping members 424 may be provided. However, the present invention is not limited to this configuration, and the pair of clamping members 424 may be configured to move in a straight line. To this end, a mechanism for converting a driving force from the driving module 46 into a driving force for moving the pair of clamping members 424 in a straight line may be provided.

한 쌍의 클램핑 부재(424)의 서로 마주보는 면, 즉, 한 쌍의 클램핑 부재(424)의 기판(S)의 더미 부분에 대향하는 면에는 접촉 패드(425)가 구비될 수 있다. 접촉 패드(425)는 우레탄과 같은 연질 재질로 이루어질 수 있다. 접촉 패드(425)는 한 쌍의 클램핑 부재(424)가 기판(S)의 더미 부분을 파지할 때 발생하는 충격을 흡수하여 한 쌍의 클램핑 부재(424) 또는 기판(S)이 파손되는 것을 방지한다. 또한, 접촉 패드(425)는 한 쌍의 클램핑 부재(424)가 균일한 가압력으로 기판(S)의 더미 부분을 파지할 수 있도록 한다.A contact pad 425 may be provided on surfaces of the pair of clamping members 424 facing each other, that is, on surfaces of the pair of clamping members 424 facing the dummy portion of the substrate S. The contact pad 425 may be made of a soft material such as urethane. The contact pad 425 prevents the pair of clamping members 424 or the substrate S from being damaged by absorbing shock generated when the pair of clamping members 424 grip the dummy portion of the substrate S. do. In addition, the contact pad 425 enables the pair of clamping members 424 to grip the dummy portion of the substrate S with a uniform pressing force.

몸체(423)는 베이스 부재(421)에 대하여 이동 가능하게 구성될 수 있다. 이에 따라, 베이스 부재(421)에 대한 몸체(423)의 위치가 조절될 수 있다. 베이스 부재(421)에 대한 몸체(423)의 위치가 조절되는 것에 의해 한 쌍의 클램핑 부재(424)의 위치가 정밀하게 조절될 수 있다. 예를 들면, 몸체(423)는 베이스 부재(421)에 대하여 X축 방향, Y축 방향 및/또는 Z축 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 따라서, 베이스 부재(421)에 대한 몸체(423)의 X축 방향, Y축 방향 및/또는 Z축 방향으로의 위치가 조절될 수 있으며, 이에 따라, 한 쌍의 클램핑 부재(424)의 X축 방향, Y축 방향 및/또는 Z축 방향으로의 위치가 조절될 수 있다.The body 423 may be configured to be movable with respect to the base member 421 . Accordingly, the position of the body 423 with respect to the base member 421 may be adjusted. By adjusting the position of the body 423 with respect to the base member 421 , the positions of the pair of clamping members 424 can be precisely adjusted. For example, the body 423 may be configured to be movable in the X-axis direction, the Y-axis direction, and/or the Z-axis direction with respect to the base member 421 . Accordingly, the position of the body 423 with respect to the base member 421 in the X-axis direction, the Y-axis direction, and/or the Z-axis direction can be adjusted, and accordingly, the X-axis of the pair of clamping members 424 . The position in the direction, the Y-axis direction and/or the Z-axis direction may be adjusted.

베이스 부재(421)에 대한 몸체(423)의 위치를 조절하기 위해 베이스 부재(421)와 몸체(423) 사이에는 위치 조절부(422)가 구비될 수 있다. 예를 들면, 위치 조절부(422)는 나사와, 나사를 회전시키는 회전 기구를 포함할 수 있다. 따라서, 나사가 회전 기구에 의해 회전되는 것에 의해, 몸체(423)가 베이스 부재(421)에 대하여 이동될 수 있으며, 이에 따라, 한 쌍의 클램핑 부재(424)의 위치가 조절될 수 있다. 위치 조절부(422)의 나사는 작업자가 수동으로 조작할 수 있도록 구성될 수 있다.A position adjusting unit 422 may be provided between the base member 421 and the body 423 to adjust the position of the body 423 with respect to the base member 421 . For example, the position adjusting unit 422 may include a screw and a rotating mechanism for rotating the screw. Accordingly, by rotating the screw by the rotating mechanism, the body 423 may be moved relative to the base member 421 , and accordingly, the positions of the pair of clamping members 424 may be adjusted. The screw of the position adjusting unit 422 may be configured to be manually operated by an operator.

특히, 프레임(41)에 복수의 클램핑 모듈(42)이 구비되는 경우, 복수의 클램핑 모듈(42)의 위치 조절부(422)를 통해 복수의 클램핑 모듈(42) 각각의 한 쌍의 클램핑 부재(424)의 위치를 조절할 수 있으며, 이에 따라, 복수의 클램핑 모듈(42)이 기판(S)의 더미 부분을 균일하게 파지할 수 있도록 한다. 복수의 클램핑 모듈(42)이 기판(S)의 더미 부분을 균일하게 파지하므로, 기판(S)으로부터 더미 부분을 제거하는 과정에서 기판(S)의 휘어짐 등의 변형을 방지할 수 있다.In particular, when the frame 41 is provided with a plurality of clamping modules 42, a pair of clamping members ( The position of the 424 can be adjusted, so that the plurality of clamping modules 42 can uniformly grip the dummy portion of the substrate S. Since the plurality of clamping modules 42 uniformly grip the dummy portion of the substrate S, deformation such as warpage of the substrate S may be prevented in the process of removing the dummy portion from the substrate S.

복수의 구동 모듈(46)이 복수의 클램핑 모듈(42)에 각각 연결될 수 있다. 구동 모듈(46)은 제어 유닛에 의해 제어될 수 있다. 구동 모듈(46)은 전기 모터, 특히, 서보 모터로 구성될 수 있다. 다른 예로서, 구동 모듈(46)은 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구 등으로 구성될 수 있다. 구동 모듈(46)은 구동 모듈(46)로 공급되는 전력을 이용하여 한 쌍의 클램핑 부재(424)를 구동하는 역할을 한다.A plurality of driving modules 46 may be respectively connected to a plurality of clamping modules 42 . The driving module 46 may be controlled by a control unit. The drive module 46 may be configured as an electric motor, in particular, a servo motor. As another example, the driving module 46 may include an actuator using pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a ball screw mechanism. The driving module 46 serves to drive the pair of clamping members 424 using electric power supplied to the driving module 46 .

복수의 구동 모듈(46)은 복수의 클램핑 모듈(42)이 단재를 파지하거나 해제하도록 복수의 클램핑 모듈(42)을 각각 작동시키도록 구성된다.The plurality of driving modules 46 are configured to respectively operate the plurality of clamping modules 42 so that the plurality of clamping modules 42 grip or release the end material.

복수의 클램핑 모듈(42)에 의해 기판(S)의 단부로부터 제거된 단재는, 복수의 클램핑 모듈(42)이 단재를 해제함에 따라, 단재 처리 유닛(70)에 수용될 수 있다.The end material removed from the end of the substrate S by the plurality of clamping modules 42 may be accommodated in the scrap processing unit 70 as the plurality of clamping modules 42 release the end material.

한편, 도 7에 도시된 바와 같이, 회전 모듈(43)은, 회전 모터(431), 구동 샤프트(432), 구동 풀리(433), 동력 전달 부재(434), 종동 풀리(435), 종동 샤프트(436)를 포함할 수 있다.On the other hand, as shown in Figure 7, the rotation module 43, the rotation motor 431, the drive shaft 432, the drive pulley 433, the power transmission member 434, the driven pulley 435, the driven shaft (436).

구동 샤프트(432)는 회전 모터(431)와 구동 풀리(433)를 연결한다. 구동 샤프트(432)는 회전 모터(431)의 회전력을 구동 풀리(433)로 전달한다.The drive shaft 432 connects the rotation motor 431 and the drive pulley 433 . The drive shaft 432 transmits the rotational force of the rotation motor 431 to the drive pulley 433 .

동력 전달 부재(434)는 구동 풀리(433)와 종동 풀리(435)를 연결한다. 동력 전달 부재(434)는 구동 풀리(433)로부터 종동 풀리(435) 회전력을 전달한다. 예를 들면, 동력 전달 부재(434)는 벨트일 수 있다.The power transmission member 434 connects the driving pulley 433 and the driven pulley 435 . The power transmission member 434 transmits the driven pulley 435 rotational force from the driving pulley 433 . For example, the power transmission member 434 may be a belt.

종동 샤프트(436)는 종동 풀리(435)에 연결된다. 종동 샤프트(436)는 프레임(41)에 연결된다. 따라서, 회전 모터(431)의 회전력이 구동 샤프트(432), 구동 풀리(433), 동력 전달 부재(434), 종동 풀리(435), 종동 샤프트(436)를 통하여 프레임(41)에 전달된다. 따라서, 프레임(41)이 X축을 중심으로 회전될 수 있다.The driven shaft 436 is connected to the driven pulley 435 . The driven shaft 436 is connected to the frame 41 . Accordingly, the rotational force of the rotary motor 431 is transmitted to the frame 41 through the drive shaft 432 , the drive pulley 433 , the power transmission member 434 , the driven pulley 435 , and the driven shaft 436 . Accordingly, the frame 41 may be rotated about the X axis.

단재 제거 유닛(40)은 X축을 중심으로 하는 프레임(41)의 회전 각도를 검출하는 회전 각도 검출 모듈(60)을 포함할 수 있다.The scrap removal unit 40 may include a rotation angle detection module 60 that detects a rotation angle of the frame 41 about the X-axis.

회전 각도 검출 모듈(60)은 단재 제거 유닛(40)의 프레임(41)이 정확한 각도로 회전되는지 여부를 검출하는 데에 사용된다. 회전 각도 검출 모듈(60)에 의해 검출된 프레임(41)의 회전 각도가 미리 설정된 기준 각도와 일치하는 경우, 제어 유닛은 프레임(41)이 정확한 회전 각도로 회전된 것으로 판단할 수 있다. 프레임(41)이 정확한 회전 각도로 회전됨에 따라, 클램핑 모듈(42)이 기판(S)의 선행단 또는 후행단에 정확하게 대향할 수 있다. 따라서, 동력 전달 부재(434)의 마모 등으로 인해 회전 모터(431)의 회전 각도와 프레임(41)의 회전 각도가 일치하지 않는 경우에도, 클램핑 모듈(42)이 기판(S)의 단재에 대향하게 위치될 수 있다.The rotation angle detection module 60 is used to detect whether the frame 41 of the scrap removal unit 40 is rotated at an accurate angle. When the rotation angle of the frame 41 detected by the rotation angle detection module 60 matches a preset reference angle, the control unit may determine that the frame 41 is rotated to the correct rotation angle. As the frame 41 is rotated at the correct rotation angle, the clamping module 42 may accurately face the leading end or the trailing end of the substrate S. Therefore, even when the rotation angle of the rotation motor 431 and the rotation angle of the frame 41 do not match due to wear of the power transmission member 434 , the clamping module 42 faces the end material of the substrate S. can be positioned

회전 각도 검출 모듈(60)은 제1 브래킷(61) 및 제2 브래킷(62), 제1 센서(63) 및 제2 센서(64), 기준 부재(65)를 포함할 수 있다.The rotation angle detection module 60 may include a first bracket 61 and a second bracket 62 , a first sensor 63 and a second sensor 64 , and a reference member 65 .

제1 브래킷(61) 및 제2 브래킷(62)은 종동 샤프트(436) 둘레에 배치된다. 제1 브래킷(61)에는 제1 센서(63)가 장착된다. 제2 브래킷(62)에는 제2 센서(64)가 장착된다.The first bracket 61 and the second bracket 62 are disposed around the driven shaft 436 . A first sensor 63 is mounted on the first bracket 61 . A second sensor 64 is mounted on the second bracket 62 .

제1 브래킷(61) 및 제2 브래킷(62)은 동일한 형상을 가질 수 있다. 따라서, 제1 브래킷(61) 및 제2 브래킷(62)을 구성하는 플레이트는 하나의 형태를 가질 수 있다. 따라서, 제1 브래킷(61) 및 제2 브래킷(62)을 각각 개별적으로 설계하는 경우에 비하여 비용을 줄일 수 있다.The first bracket 61 and the second bracket 62 may have the same shape. Accordingly, the plates constituting the first bracket 61 and the second bracket 62 may have one shape. Therefore, it is possible to reduce the cost compared to the case of individually designing the first bracket 61 and the second bracket 62, respectively.

제1 브래킷(61)은 플레이트 형상을 가질 수 있다. 제1 브래킷(61)에는 복수의 제1 장착홀(611)이 형성된다. 복수의 제1 장착홀(611)은 종동 샤프트(436)의 원주 방향을 따라 형성된다. 복수의 제1 장착홀(611) 중 적어도 하나에 제1 센서(63)가 장착될 수 있다. 따라서, 제1 센서(63)가 장착되는 제1 장착홀(611)의 위치에 따라 제1 센서(63)의 위치 결정될 수 있다.The first bracket 61 may have a plate shape. A plurality of first mounting holes 611 are formed in the first bracket 61 . The plurality of first mounting holes 611 are formed along the circumferential direction of the driven shaft 436 . The first sensor 63 may be mounted in at least one of the plurality of first mounting holes 611 . Accordingly, the position of the first sensor 63 may be determined according to the position of the first mounting hole 611 in which the first sensor 63 is mounted.

제2 브래킷(62)은 플레이트 형상을 가질 수 있다. 제2 브래킷(62)에는 복수의 제2 장착홀(621)이 형성된다. 복수의 제2 장착홀(621)은 종동 샤프트(436)의 원주 방향을 따라 형성된다. 복수의 제2 장착홀(621) 중 적어도 하나에 제2 센서(64)가 장착될 수 있다. 따라서, 제2 센서(64)가 장착되는 제2 장착홀(621)의 위치에 따라 제2 센서(64)의 위치 결정될 수 있다.The second bracket 62 may have a plate shape. A plurality of second mounting holes 621 are formed in the second bracket 62 . The plurality of second mounting holes 621 are formed along the circumferential direction of the driven shaft 436 . The second sensor 64 may be mounted in at least one of the plurality of second mounting holes 621 . Accordingly, the position of the second sensor 64 may be determined according to the position of the second mounting hole 621 in which the second sensor 64 is mounted.

도 9에 도시된 바와 같이, 제1 센서(63)는 클램핑 모듈(42)이 기판(S)의 선행단에 대향할 때의 프레임(41)의 제1 회전 각도를 규정한다. 그리고, 도 10에 도시된 바와 같이, 제2 센서(64)는 클램핑 모듈(42)이 기판(S)의 후행단에 대향할 때의 프레임(41)의 제2 회전 각도를 규정한다. 예를 들면, 제1 센서(63) 및 제2 센서(64)는 서로 180도 간격으로 배치될 수 있다.As shown in FIG. 9 , the first sensor 63 defines a first rotation angle of the frame 41 when the clamping module 42 faces the leading end of the substrate S. And, as shown in FIG. 10 , the second sensor 64 defines a second rotation angle of the frame 41 when the clamping module 42 faces the trailing end of the substrate S. For example, the first sensor 63 and the second sensor 64 may be disposed 180 degrees apart from each other.

회전 각도 검출 모듈(60)은 기준 부재(65)가 제1 센서(63) 또는 제2 센서(64)에 의해 감지되는지 여부를 검출함으로써, 프레임(41)의 회전 각도를 검출한다. 회전 각도 검출 모듈(60)에 의해 검출된 프레임(41)의 회전 각도를 기초로 클램핑 모듈(42)의 위치가 조절될 수 있다. 즉, 기준 부재(65)의 현재의 위치를 검출함으로써, 프레임(41)의 회전 각도가 검출될 수 있다.The rotation angle detection module 60 detects the rotation angle of the frame 41 by detecting whether the reference member 65 is detected by the first sensor 63 or the second sensor 64 . The position of the clamping module 42 may be adjusted based on the rotation angle of the frame 41 detected by the rotation angle detection module 60 . That is, by detecting the current position of the reference member 65, the rotation angle of the frame 41 can be detected.

일 예로서, 기준 부재(65)는 소정의 눈금을 가지는 스케일로 구성될 수 있고, 제1 센서(63) 또는 제2 센서(64)는 스케일을 촬상하는 카메라로 구성될 수 있다. 이러한 경우, 제1 센서(63) 또는 제2 센서(64)에 의하여 촬상된 스케일의 이미지를 기준으로 기준 부재(65)의 현재의 위치가 검출된다. 그리고, 기준 부재(65)의 현재의 위치를 기초로 프레임(41)의 회전 각도가 검출된다.As an example, the reference member 65 may be configured as a scale having a predetermined scale, and the first sensor 63 or the second sensor 64 may be configured as a camera capturing the scale. In this case, the current position of the reference member 65 is detected based on the scale image captured by the first sensor 63 or the second sensor 64 . Then, the rotation angle of the frame 41 is detected based on the current position of the reference member 65 .

다른 예로서, 기준 부재(65)는 위치에 따라 반사 각도가 달라지는 반사면으로 구성될 수 있고, 제1 센서(63) 또는 제2 센서(64)는 반사면을 향하여 광을 발광하는 발광 센서와 반사면에서 반사되는 광을 수광하는 수광 센서로 구성될 수 있다. 이러한 경우, 반사면에서 반사되는 광의 반사 각도를 측정하는 것에 의해, 기준 부재(65)의 현재의 위치가 검출된다. 그리고, 기준 부재(65)의 현재의 위치를 기초로 프레임(41)의 회전 각도가 검출된다.As another example, the reference member 65 may be composed of a reflective surface whose reflection angle varies according to a position, and the first sensor 63 or the second sensor 64 includes a light emitting sensor that emits light toward the reflective surface and It may be configured as a light receiving sensor that receives light reflected from the reflective surface. In this case, the current position of the reference member 65 is detected by measuring the reflection angle of the light reflected from the reflective surface. Then, the rotation angle of the frame 41 is detected based on the current position of the reference member 65 .

이와 같은 구성에 따르면, 기준 부재(65)가 제1 센서(63)에 의해 감지되면, 제어 유닛은 클램핑 모듈(42)이 기판(S)의 선행단에 대향하고 있다고 판단할 수 있다(도 9 참조). 또한, 기준 부재(65)가 제2 센서(64)에 의해 감지되면, 제어 유닛은 클램핑 모듈(42)이 기판(S)의 후행단에 대향하고 있다고 판단할 수 있다(도 10 참조).According to this configuration, when the reference member 65 is sensed by the first sensor 63 , the control unit may determine that the clamping module 42 faces the leading end of the substrate S ( FIG. 9 ). reference). Also, when the reference member 65 is sensed by the second sensor 64 , the control unit may determine that the clamping module 42 faces the trailing end of the substrate S (see FIG. 10 ).

한편, 도 11에 도시된 바와 같이, 단재 제거 유닛(40)은 프레임(41)의 회전을 제한하는 제1 리미트 센서(66) 및 제2 리미트 센서(67)를 더 포함할 수 있다. 제1 리미트 센서(66)는 제1 센서(63)와 동일하게 구성될 수 있다. 제2 리미트 센서(67)는 제2 센서(64)와 동일하게 구성될 수 있다.On the other hand, as shown in FIG. 11 , the edge removal unit 40 may further include a first limit sensor 66 and a second limit sensor 67 for limiting the rotation of the frame 41 . The first limit sensor 66 may be configured the same as the first sensor 63 . The second limit sensor 67 may be configured the same as the second sensor 64 .

제1 리미트 센서(66)는 프레임(41)이 최대로 회전 가능한 최대 회전 각도를 규정하는 역할을 한다. 제2 리미트 센서(67)는 프레임(41)이 최대로 회전 가능한 최대 회전 각도를 규정하는 역할을 한다.The first limit sensor 66 serves to define a maximum rotation angle at which the frame 41 can be rotated at a maximum. The second limit sensor 67 serves to define a maximum rotation angle at which the frame 41 can be rotated at a maximum.

기준 부재(65)가 제1 리미트 센서(66)에 의해 감지되면, 제어 유닛은 프레임(41)이 더 이상 회전되지 않도록 회전 모터(431)를 정지시킬 수 있다. 마찬 가지로, 기준 부재(65)가 제2 리미트 센서(67)에 의해 감지되면, 제어 유닛은 프레임(41)이 더 이상 회전되지 않도록 회전 모터(431)를 정지시킬 수 있다.When the reference member 65 is sensed by the first limit sensor 66 , the control unit may stop the rotation motor 431 so that the frame 41 is no longer rotated. Similarly, when the reference member 65 is detected by the second limit sensor 67, the control unit may stop the rotation motor 431 so that the frame 41 is no longer rotated.

본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.Although preferred embodiments of the present invention have been described by way of example, the scope of the present invention is not limited to such specific embodiments, and may be appropriately modified within the scope described in the claims.

436: 종동 샤프트
61: 제1 브래킷
62: 제2 브래킷
63: 제1 센서
64: 제2 센서
65: 기준 부재
66: 제1 리미트 센서
67: 제2 리미트 센서436: driven shaft
61: first bracket
62: second bracket
63: first sensor
64: second sensor
65: reference member
66: first limit sensor
67: second limit sensor

Claims

a clamping module configured to grip the edge of the substrate;
a frame on which the clamping module is mounted;
a rotation module configured to rotate the frame so that the clamping module faces the end of the substrate; and
A scrap removal unit including a plurality of sensors defining a rotation angle of the frame.

The method according to claim 1,
The plurality of sensors,
a first sensor defining a first rotation angle of the frame when the clamping module faces the leading end of the substrate; and
and a second sensor defining a second rotation angle of the frame when the clamping module faces the trailing end of the substrate.

3. The method according to claim 2,
a first bracket to which the first sensor is mounted; and
Further comprising a second bracket to which the second sensor is mounted,
A plurality of first mounting holes are formed in the first bracket, and a plurality of second mounting holes are formed in the second bracket,
The position of the first sensor is determined according to the position of the first mounting hole in which the first sensor is mounted,
The stage material removal unit, characterized in that the position of the first sensor is determined according to the position of the second mounting hole in which the second sensor is mounted.

3. The method according to claim 2,
a first bracket to which the first sensor is mounted; and
Further comprising a second bracket to which the second sensor is mounted,
The first bracket and the second bracket are cut-off unit, characterized in that formed in the same shape.

The method according to claim 1,
The end material removal unit further comprising a first limit sensor and a second limit sensor for limiting the rotation of the frame.

The method according to claim 1,
The rotation module,
rotary motor;
a drive shaft connected to the rotary motor;
a drive pulley connected to the drive shaft;
a driven shaft connected to the frame;
a driven pulley connected to the driven shaft; and
The stage material removal unit comprising a power transmission member connecting the driving pulley and the driven pulley.