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KR20200117822A - Purge nozzle module for load port - Google Patents

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Publication number
KR20200117822A
KR20200117822A KR1020190098721A KR20190098721A KR20200117822A KR 20200117822 A KR20200117822 A KR 20200117822A KR 1020190098721 A KR1020190098721 A KR 1020190098721A KR 20190098721 A KR20190098721 A KR 20190098721A KR 20200117822 A KR20200117822 A KR 20200117822A
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KR
South Korea
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hole
purge
vacuum
base member
vacuum pad
Prior art date
Application number
KR1020190098721A
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Korean (ko)
Inventor
오세헌
김종윤
Original Assignee
(주)에이이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)에이이 filed Critical (주)에이이
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Abstract

The present invention relates to a purge nozzle module for supplying N2 to a semiconductor wafer processing device. The purge nozzle module comprises: a nozzle body having a purge hole formed in the center and a gas injection hole and an exhaust hole spaced apart from each other at a predetermined distance on one side surface of a lower portion thereof; and a vacuum pad detachably coupled to an upper side of the nozzle body. Here, the nozzle body includes: a base member having a gas injection hole and an exhaust hole formed on one side thereof; and a support member coupled to an upper side of the base member and supporting the vacuum pad.

Description

로드 포트용 퍼지노즐 모듈{PURGE NOZZLE MODULE FOR LOAD PORT}Purge nozzle module for load port {PURGE NOZZLE MODULE FOR LOAD PORT}

본 발명은 퍼지노즐 모듈에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 웨이퍼 처리 장치에 N2를 공급하는 퍼지노즐 모듈에 관한 것이다.The present invention relates to a purge nozzle module, and more particularly, to a purge nozzle module for supplying N2 to a semiconductor wafer processing apparatus.

전방 개구부 인터페이스 기계적 표준(FIMS: Front-opening Interface Mechanical Standard, 이하 "FIMS") 시스템은, 반도체 제조 공정에 있어서 세계 반도체 제조 장비 재료 협회(SEMI: Semiconductor Equipment and Materials International)에서 권고하는 표준안이다.The front-opening interface mechanical standard (FIMS) system is a standard draft recommended by the World Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI) for semiconductor manufacturing processes.

FIMS 시스템에는 웨이퍼(Wafer) 또는 레티클(Reticle) 등을 자동으로 FIMS 시스템으로 반송하기 위한 로드 포트(Load Port)라는 웨이퍼 처리 장치가 사용된다.In the FIMS system, a wafer processing device called a load port is used for automatically transporting wafers or reticles to the FIMS system.

로드 포트는 웨이퍼가 적재 저장된 풉(FOUP: Front Opening Unified Pod)을 FIMS 시스템의 이송장치인 로봇 등으로 넘겨주는 인터페이스 장치이다.The load port is an interface device that transfers the FOUP (Front Opening Unified Pod) loaded with wafers to a robot, which is a transfer device of the FIMS system.

여기서, 풉은 전면에 웨이퍼의 반출입구가 형성되고, 이 반출입구의 개방이 가능한 도어를 구비한다. 그리고, 로드 포트에 설치한 도어부를 풉의 전면 도어에 밀착시킨 상태에서 이들 도어부 및 도어가 동시에 열리고, 풉 내의 웨이퍼가 반출입구를 통해서 반도체 제조 장치 내부로 공급된다. 그 후, 다양한 처리 또는 가공이 실시된 웨이퍼는 반도체 제조 장치 내부로부터 풉 내에 다시 수용된다. Here, the FOUP has a wafer carrying port formed on the front surface thereof, and a door capable of opening the carrying port. Then, in a state in which the door portion installed in the load port is in close contact with the front door of the FOUP, the door portions and the door are simultaneously opened, and the wafer in the FOUP is supplied to the inside of the semiconductor manufacturing apparatus through the carrying-out port. Thereafter, the wafer, which has been subjected to various treatments or processing, is received again in the FOUP from the inside of the semiconductor manufacturing apparatus.

그런데, 반도체 제조 장치 내부는 웨이퍼의 처리 또는 가공에 적합한 소정의 기체 분위기로 유지되어 있지만, 풉 내부로부터 반도체 제조 장치 내부로 웨이퍼를 송출할 때에는 풉의 내부 공간과 반도체 제조 장치의 내부 공간이 서로 연통하게 된다.However, the inside of the semiconductor manufacturing apparatus is maintained in a predetermined gaseous atmosphere suitable for processing or processing of wafers, but when the wafer is delivered from the inside of the FOUP to the inside of the semiconductor manufacturing apparatus, the internal space of the FOUP and the internal space of the semiconductor manufacturing apparatus communicate with each other. Is done.

따라서, 풉 내부의 웨이퍼가 수납된 환경이 반도체 제조 장치 내부보다 청정도가 낮으면, 풉 내부의 기체가 반도체 제조 장치 내부로 진입해서 반도체 제조 장치 내부의 기체 분위기에 악영향을 줄 수 있다. 또한, 웨이퍼를 반도체 제조 장치 내부로부터 풉 내부에 수납할 때, 풉 내부의 기체 분위기 중의 수분, 산소 혹은 그 밖의 가스 등에 의해, 웨이퍼의 표면에 산화막이 형성되는 문제점이 있다.Accordingly, if the environment in which the wafers inside the FOUP are stored is less clean than the inside of the semiconductor manufacturing apparatus, the gas inside the FOUP may enter the semiconductor manufacturing apparatus and adversely affect the gas atmosphere inside the semiconductor manufacturing apparatus. In addition, when the wafer is stored inside the FOUP from the inside of the semiconductor manufacturing apparatus, there is a problem that an oxide film is formed on the surface of the wafer due to moisture, oxygen, or other gases in the gas atmosphere inside the FOUP.

이러한 문제에 대응하기 위해, 도 1에 도시된 바와 같이 풉(1)의 도어를 로드 포트의 도어부에서 개방하여 풉(1)의 내부 공간과 반도체 제조 장치의 내부 공간을 연통시킨 상태에서, 소정의 기체(예를 들어 질소(N2)나 불활성 가스 등)를 풉(1) 내에 불어넣는 퍼지 노즐(3)이 로드 포트의 스테이지(2) 상에 구비된다. In order to cope with this problem, as shown in FIG. 1, the door of the pull 1 is opened from the door part of the load port to communicate the inner space of the pull 1 with the inner space of the semiconductor manufacturing apparatus. A purge nozzle 3 for blowing gas (for example, nitrogen (N2) or an inert gas) into the puffer 1 is provided on the stage 2 of the load port.

예컨대, 대한민국 등록특허공보 제10-1545243호는 풉이 스테이지에 안착시 솔레노이드 밸브 등의 레귤레이터에 의해 퍼지 노즐이 상승하여 풉 저면의 포트에 밀착되는 예를 개시하고 있다.For example, Korean Patent Publication No. 10-1545243 discloses an example in which a purge nozzle is raised by a regulator such as a solenoid valve when the pup is seated on the stage and is in close contact with the port on the bottom of the pup.

그런데, 상기와 같은 실린더 승강 방식의 퍼지 노즐에 의하면, 풉 저면의 포트에 퍼지 노즐을 접촉시킨 상태에서 퍼지 처리를 행하기 때문에, 포트와 퍼지 노즐을 접촉시킨 상태에서 양호한 기밀성을 확보할 필요가 있으나, 풉의 종류에 따라 포트의 종류나 형상이 상이하면, 퍼지 노즐과 포트의 높은 기밀성을 확보하기 위한 양호한 접속 상태를 확보할 수 없다는 문제점이 있다.However, according to the purge nozzle of the cylinder elevating method as described above, since the purge treatment is performed in a state in which the purge nozzle is in contact with the port on the bottom of the fuzz, it is necessary to ensure good airtightness in the state in which the port and the purge nozzle are in contact. If the type or shape of the port is different according to the type of the purge, there is a problem that a good connection state for securing high airtightness between the purge nozzle and the port cannot be secured.

또한, 풉이 스테이지 상의 정확한 위치에 안착되지 않은 상태에서 퍼지 노즐이 상승하면, 풉 저면의 포트 주변부에 퍼지 노즐의 선단부가 접촉하게 되어, 포트 주변부 혹은 퍼지 노즐의 선단부가 마모되거나, 풉이 한쪽으로 기울어지면서 내부의 웨이퍼가 손상될 위험도 있다.In addition, if the purge nozzle is raised while the FOUP is not seated in the correct position on the stage, the tip of the purge nozzle comes into contact with the port periphery of the bottom of the fug, and the port periphery or the tip of the purge nozzle is worn out, or There is also a risk of damage to the inner wafer by tilting.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 풉 저면의 포트에 밀착하여 기밀성을 확보할 수 있는 로드 포트용 퍼지노즐 모듈을 제공함에 목적이 있다.The present invention has been conceived to solve the above-described problem, and an object of the present invention is to provide a purge nozzle module for a load port capable of securing airtightness by being in close contact with a port on a bottom of a fug.

본 발명의 다른 목적은 풉의 로딩 불량에 따른 퍼지가스의 누설 문제를 방지할 수 있는 로드 포트용 퍼지노즐 모듈을 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a purge nozzle module for a load port capable of preventing a leakage problem of a purge gas due to poor loading of a FOUP.

본 발명의 또 다른 목적은 퍼지가스를 공급하는 퍼지홀의 주변부에 진공영역을 형성함으로써, 퍼지노즐의 선단부가 진공압에 의해 풉 저면의 포트에 밀착되는 로드 포트용 퍼지노즐 모듈을 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a purge nozzle module for a load port in which the front end of the purge nozzle is in close contact with the port on the bottom of the purge by vacuum pressure by forming a vacuum region at the periphery of the purge hole supplying the purge gas.

전술한 본 발명의 목적은, 중앙에 퍼지홀이 형성되고, 하부 일 측면에 가스주입홀과 배기홀이 소정 간격 상호 이격하여 형성되는 노즐몸체; 및 상기 노즐몸체의 상측에 분리 가능하게 결합되는 진공패드를 포함하며, 상기 노즐몸체는, 일측에 상기 가스주입홀과 상기 배기홀이 형성되는 베이스부재와, 상기 베이스부재의 상측에 결합되며 상기 진공패드를 지지하는 지지부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 로드 포트용 퍼지노즐 모듈을 제공함에 의해 달성될 수 있다.It is an object of the present invention described above, a nozzle body in which a purge hole is formed in the center, and a gas injection hole and an exhaust hole are spaced apart from each other at a predetermined distance on a lower side; And a vacuum pad detachably coupled to an upper side of the nozzle body, wherein the nozzle body includes a base member having the gas injection hole and the exhaust hole formed on one side thereof, and the vacuum pad being coupled to an upper side of the base member, and It can be achieved by providing a purge nozzle module for a load port, characterized in that it comprises a support member for supporting the pad.

본 발명의 일 특징에 의하면, 상기 지지부재는, 상기 가스주입홀과 연통하도록 형성되는 퍼지홀을 포함할 수 있다.According to one feature of the present invention, the support member may include a purge hole formed to communicate with the gas injection hole.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 지지부재는, 상기 배기홀과 연통하도록 상기 퍼지홀의 일측에 관통 형성되는 제2 진공배기홀을 더 포함할 수 있다.According to another feature of the present invention, the support member may further include a second vacuum exhaust hole formed through one side of the purge hole so as to communicate with the exhaust hole.

본 발명에 따른 로드 포트용 퍼지노즐 모듈에 의하면, 종래의 솔레노이드 등 액츄에이터를 필요로 하지 않으므로 비용이 절감되며, 미리 조립된 모듈을 스테이지에 장착하면 되므로 조립 및 교체에 소요되는 시간과 비용을 절감할 수 있다.According to the purge nozzle module for a load port according to the present invention, cost is reduced since it does not require an actuator such as a conventional solenoid, and the time and cost required for assembly and replacement can be reduced since the pre-assembled module can be mounted on the stage. I can.

또한, 본 발명에 따른 로드 포트용 퍼지노즐 모듈에 의하면, 진공압에 의해 퍼지노즐의 선단부가 풉의 포트 주변부에 밀착되므로 기밀성이 향상되며, 안정적인 접속상태를 유지할 수 있다.In addition, according to the purge nozzle module for a load port according to the present invention, since the tip of the purge nozzle is in close contact with the port periphery of the FOUP by vacuum pressure, airtightness is improved, and a stable connection state can be maintained.

또한, 본 발명에 따른 로드 포트용 퍼지노즐 모듈에 의하면, 종래의 솔레노이드 등 실린더 승강방식에 비해 풉에 가해지는 충격이나 마모 또는 손상을 방지함으로써 고장발생 가능성이 낮고 내구성이 향상되는 효과가 있다.In addition, according to the purge nozzle module for a load port according to the present invention, there is an effect that the possibility of failure is low and durability is improved by preventing impact, abrasion or damage applied to the pawl compared to a cylinder lifting method such as a conventional solenoid.

도 1은 종래 로드 포트의 스테이지 상에 구비되는 퍼지 노즐을 도시한 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 로드 포트용 퍼지노즐 모듈의 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 로드 포트용 퍼지노즐 모듈의 평면도.
도 4와 도 5는 도 2의 분해 사시도.
도 6은 도 3의 A-A 방향 단면도.
도 7은 도 3의 B-B 방향 단면도.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 로드 포트용 퍼지노즐 모듈이 장착된 스테이지의 사시도.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 본 발명의 일 실시예에 따른 로드 포트용 퍼지노즐 모듈의 사용 상태도.1 is a perspective view showing a purge nozzle provided on a stage of a conventional load port.
2 is a perspective view of a purge nozzle module for a load port according to an embodiment of the present invention.
3 is a plan view of a purge nozzle module for a load port according to an embodiment of the present invention.
4 and 5 are exploded perspective views of FIG. 2.
6 is a cross-sectional view taken along the AA direction of FIG. 3.
7 is a cross-sectional view taken along the BB direction of FIG. 3.
8 is a perspective view of a stage equipped with a purge nozzle module for a load port according to an embodiment of the present invention.
9 is a state diagram of a use state of a purge nozzle module for a load port according to an embodiment of the present invention according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 본 발명의 실시예에 관하여 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다. 다만, 이하에서 설명되는 실시예는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 발명을 쉽게 실시할 수 있을 정도로 상세하게 설명하기 위한 것에 불과하며, 이로 인해 본 발명의 보호범위가 한정되는 것을 의미하지는 않는다. 그리고 본 발명의 여러 실시예를 설명함에 있어서, 동일한 기술적 특징을 갖는 구성요소에 대하여는 동일한 도면부호를 사용하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the embodiments described below are only for explaining in detail enough to allow a person of ordinary skill in the art to carry out the invention easily, and this limits the protection scope of the present invention. Does not mean. And, in describing various embodiments of the present invention, the same reference numerals will be used for components having the same technical characteristics.

실시예Example

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 로드 포트용 퍼지노즐 모듈의 사시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 로드 포트용 퍼지노즐 모듈의 평면도이다.2 is a perspective view of a purge nozzle module for a load port according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a plan view of a purge nozzle module for a load port according to an embodiment of the present invention.

도 2와 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 로드 포트용 퍼지노즐 모듈(이하, '퍼지노즐 모듈')(100)은 육면체 블록 형태의 노즐몸체(200)와, 노즐몸체(200)의 상측면에 구비되는 진공패드(600)를 포함한다.2 and 3, a purge nozzle module for a load port (hereinafter,'purge nozzle module') 100 according to an embodiment of the present invention includes a nozzle body 200 in the form of a hexahedron block and a nozzle It includes a vacuum pad 600 provided on the upper side of the body 200.

노즐몸체(200)의 상측면 중앙에는 N2, 불활성가스 등의 퍼지가스를 공급하는 퍼지홀(431)이 형성되며, 노즐몸체(200)의 하부 일 측면에는 외부에서 퍼지가스가 주입되는 가스주입홀(311)이 형성된다. 또한, 진공패드(600)의 접촉 영역에 진공을 형성할 수 있도록, 가스주입홀(311)의 일측에 소정 간격 이격하여 적어도 하나 이상의 배기홀(312)이 형성된다.A purge hole 431 for supplying purge gas such as N2 and inert gas is formed in the center of the upper side of the nozzle body 200, and a gas injection hole through which purge gas is injected from the outside on one side of the lower side of the nozzle body 200 (311) is formed. In addition, at least one exhaust hole 312 is formed on one side of the gas injection hole 311 at a predetermined interval so as to form a vacuum in the contact area of the vacuum pad 600.

진공패드(600)는 중앙에 통공(610)이 관통 형성된 링(ring) 형상으로서, 노즐몸체(200)의 상측면에 분리 가능하게 결합되며, 진공패드(600)의 통공(610)은 노즐몸체(200)의 퍼지홀(431)과 연통한다. 또한, 진공패드(600)는 통공(610)을 중심으로 통공(610)의 둘레를 따라 소정 간격 상호 이격하여 형성되는 한 쌍의 측벽(620)과, 한 쌍의 측벽(620) 사이에 형성되는 바닥면(630)과, 바닥면(630)에 형성되는 적어도 하나 이상의 진공홀(640)을 포함한다. 한 쌍의 측벽(620)은 통공(610)의 둘레를 따라 직경이 서로 다른 동심원을 이루는데, 이하, 통공(610)과 가까이 형성된 측벽(620)을 '내측 측벽(621)'이라 하고, 내측 측벽(621)의 외측에 형성된 측벽(620)을 '외측 측벽(622)'이라 하기로 한다.The vacuum pad 600 has a ring shape in which a through hole 610 is formed through the center, and is detachably coupled to the upper side of the nozzle body 200, and the through hole 610 of the vacuum pad 600 is a nozzle body It communicates with the purge hole 431 of (200). In addition, the vacuum pad 600 is formed between a pair of sidewalls 620 and a pair of sidewalls 620 formed to be spaced apart from each other at a predetermined interval along the periphery of the through hole 610 around the through hole 610. It includes a bottom surface 630 and at least one vacuum hole 640 formed in the bottom surface 630. A pair of side walls 620 form concentric circles having different diameters along the periphery of the through hole 610. Hereinafter, the side wall 620 formed close to the through hole 610 is referred to as'inner side wall 621', and the inner side The sidewall 620 formed on the outside of the sidewall 621 will be referred to as'outer sidewall 622'.

노즐몸체(200)와 진공패드(600) 결합시, 노즐몸체(200)의 퍼지홀(431)이 진공패드(600)의 통공(610)을 통해 외부로 노출되며, 진공패드(600)의 내측 측벽(621)과 외측 측벽(622)은 퍼지홀(431)의 둘레를 감싸게 된다.When the nozzle body 200 and the vacuum pad 600 are coupled, the purge hole 431 of the nozzle body 200 is exposed to the outside through the through hole 610 of the vacuum pad 600, and the inside of the vacuum pad 600 The side wall 621 and the outer side wall 622 surround the purge hole 431.

노즐몸체(200)의 가스주입홀(311)은 내부의 유로를 통해 퍼지홀(431)과 연통하며, 따라서 외부에서 가스주입홀(311)을 통해 노즐몸체(200)에 퍼지가스를 주입하면 퍼지홀(431)을 통해 토출된다. 로드 포트의 스테이지(10, 도 8과 도 9 참조)에 풉(20, 도 9 참조) 안착시, 풉(20)의 저면에 구비되는 포트(21, 도 9 참조)가 퍼지홀(431)과 연통하게 되며, 퍼지홀(431)을 통해 토출되는 퍼지가스는 포트(21)를 통해 풉(20)의 내부로 공급된다.The gas injection hole 311 of the nozzle body 200 communicates with the purge hole 431 through an internal flow path, and therefore, when the purge gas is injected into the nozzle body 200 through the gas injection hole 311 from the outside, it is purged. It is discharged through the hole 431. When the FOUP 20 (see FIG. 9) is seated on the stage 10 of the load port (see FIGS. 8 and 9), the port 21 (see FIG. 9) provided on the bottom of the FOUP 20 is provided with the purge hole 431 It communicates, and the purge gas discharged through the purge hole 431 is supplied to the inside of the FOUP 20 through the port 21.

한편, 노즐몸체(200)의 배기홀(312)은 노즐몸체(200) 내부의 다른 유로를 통해 진공패드(600)의 진공홀(640)과 연통한다. 즉, 배기홀(312)과 진공홀(640)을 연통하는 유로는 전술한 가스주입홀(311)과 퍼지홀(431)을 연통하는 유로와는 별도로 구분 형성된다. 로드 포트의 스테이지(10)에 풉(20) 안착시, 풉(20)의 저면에 구비되는 포트(21)의 둘레를 따라 진공패드(600)의 내측 측벽(621) 상단과 외측 측벽(622) 상단이 풉(20)의 저면에 밀착된다. 이때, 진공홀(640)과 배기홀(312)을 통해 진공패드(600)의 내측 측벽(621)과 외측 측벽(622) 사이의 공간에 진공영역이 형성되며, 진공패드(600)는 진공압에 의해 풉(20)의 저면에 더욱 밀착되어, 퍼지가스의 누설 방지를 위한 기밀성이 확보된다.Meanwhile, the exhaust hole 312 of the nozzle body 200 communicates with the vacuum hole 640 of the vacuum pad 600 through another flow path inside the nozzle body 200. That is, the flow path communicating the exhaust hole 312 and the vacuum hole 640 is formed separately from the flow path communicating the gas injection hole 311 and the purge hole 431 described above. When the pawl 20 is seated on the stage 10 of the load port, the upper and outer sidewalls 622 of the inner side wall 621 of the vacuum pad 600 along the circumference of the port 21 provided on the bottom of the pull 20 The upper end is in close contact with the bottom of the FOUP (20). At this time, a vacuum region is formed in the space between the inner sidewall 621 and the outer sidewall 622 of the vacuum pad 600 through the vacuum hole 640 and the exhaust hole 312, and the vacuum pad 600 As a result, it is further in close contact with the bottom surface of the FOUP 20, and airtightness for preventing leakage of the purge gas is secured.

도 4와 도 5는 도 2의 분해 사시도이다.4 and 5 are exploded perspective views of FIG. 2.

도 4와 도 5에 도시된 바와 같이, 노즐몸체(200)는 일측에 가스주입홀(311)과 배기홀(312)이 형성되는 베이스부재(300)와, 베이스부재(300)의 상측에 결합되며 진공패드(600)가 결합되는 지지부재(400)를 포함한다. As shown in FIGS. 4 and 5, the nozzle body 200 is coupled to a base member 300 having a gas injection hole 311 and an exhaust hole 312 formed on one side thereof, and an upper side of the base member 300 And a support member 400 to which the vacuum pad 600 is coupled.

이때, 지지부재(400)에는 퍼지홀(431)과 제2 진공배기홀(440)이 형성되는데, 베이스부재(300)와 지지부재(400) 결합시 퍼지홀(431)은 가스주입홀(311)과 연통하고, 제2 진공배기홀(440)은 배기홀(312)과 연통한다.At this time, a purge hole 431 and a second vacuum exhaust hole 440 are formed in the support member 400. When the base member 300 and the support member 400 are combined, the purge hole 431 is a gas injection hole 311 ) And the second vacuum exhaust hole 440 communicates with the exhaust hole 312.

베이스부재(300)는 육면체 블록 형태의 몸체(310)와, 몸체(310)의 양측에서 외측으로 돌출 형성되는 한 쌍의 날개부(320)를 포함한다. 몸체(310)의 일 측면에는 가스주입홀(311)과 적어도 하나 이상의 배기홀(312)이 형성되는데, 일 예로서 도면에 도시된 바와 같이 가스주입홀(311)의 양측에 소정 간격 이격하여 각각 하나씩 한 쌍의 배기홀(312)이 형성될 수 있다. The base member 300 includes a body 310 in the form of a hexahedral block, and a pair of wing portions 320 protruding outward from both sides of the body 310. A gas injection hole 311 and at least one exhaust hole 312 are formed on one side of the body 310. As an example, as shown in the drawing, each side of the gas injection hole 311 is separated by a predetermined distance. One by one, a pair of exhaust holes 312 may be formed.

몸체(310)의 상측면에 제1 안착홈(313)이 함몰 형성된다. 제1 안착홈(313)에는 후술하는 지지부재(400)의 안착부(410)가 안착되며, 제1 안착홈(313)과 안착부(410)는 도면에 도시된 바와 같이 원형으로 형성될 수 있다. 다만, 이는 본 발명의 일 실시예일 뿐이며, 제1 안착홈(313)과 안착부(410)의 형태는 사각형 등 필요에 따라 적절히 선택될 수 있다.A first seating groove 313 is recessed on the upper side of the body 310. A seating portion 410 of the support member 400 to be described later is seated in the first seating groove 313, and the first seating groove 313 and the seating portion 410 may be formed in a circular shape as shown in the drawing. have. However, this is only an embodiment of the present invention, and the shape of the first seating groove 313 and the seating portion 410 may be appropriately selected as needed, such as a square.

제1 안착홈(313)의 중앙에 중공(331)을 갖는 제1 보스(330)가 상향 돌출 형성된다. 제1 보스(330)의 중공(331)은 하단부가 가스주입홀(311)과 연통하며, 따라서 가스주입홀(311)을 통해 주입된 퍼지가스는 제1 보스(330)의 중공(331)으로 유입된다. A first boss 330 having a hollow 331 in the center of the first mounting groove 313 is formed to protrude upward. The hollow 331 of the first boss 330 communicates with the gas injection hole 311 at the lower end, and therefore, the purge gas injected through the gas injection hole 311 is transferred to the hollow 331 of the first boss 330 Flow in.

제1 보스(330)의 하단부 둘레를 따라 제1 오링홈(332)이 형성되며, 제1 오링홈(332)에 제1 오링(O-ring)(340)이 삽입된다. 베이스부재(300)와 후술하는 지지부재(400) 결합시, 베이스부재(300)의 제1 보스(330)가 지지부재(400)의 퍼지홀(431)에 삽입되는데, 제1 오링(340)은 베이스부재(300)와 지지부재(400) 사이의 틈새를 통한 퍼지가스의 누설을 방지하는 역할을 한다.A first O-ring groove 332 is formed along the circumference of the lower end of the first boss 330, and a first O-ring 340 is inserted into the first O-ring groove 332. When the base member 300 and the support member 400 to be described later are coupled, the first boss 330 of the base member 300 is inserted into the purge hole 431 of the support member 400, and the first O-ring 340 The silver serves to prevent leakage of the purge gas through the gap between the base member 300 and the support member 400.

제1 보스(330)의 양측에 각각 하나씩 한 쌍의 제1 진공배기홀(350)이 형성된다. 제1 진공배기홀(350)은 하단부가 배기홀(312)과 각각 연통하며, 따라서 배기홀(312)을 통해 제1 진공배기홀(350)에 진공이 형성될 수 있다.A pair of first vacuum exhaust holes 350 are formed, one on each side of the first boss 330. The lower end of the first vacuum exhaust hole 350 communicates with the exhaust hole 312, respectively, and thus, a vacuum may be formed in the first vacuum exhaust hole 350 through the exhaust hole 312.

제1 진공배기홀(350)의 상측 둘레를 따라 제2 오링홈(351)이 형성되며, 제2 오링홈(351)에 제2 오링(360)이 삽입된다. 베이스부재(300)와 후술하는 지지부재(400) 결합시, 베이스부재(300)의 제1 진공배기홀(350)이 지지부재(400)의 제2 진공배기홀(440)과 연통하게 되며, 제2 오링(360)은 베이스부재(300)와 지지부재(400) 사이의 틈새를 통한 진공배기의 누설을 방지하는 역할을 한다.A second O-ring groove 351 is formed along the upper circumference of the first vacuum exhaust hole 350, and the second O-ring 360 is inserted into the second O-ring groove 351. When the base member 300 and the support member 400 to be described later are coupled, the first vacuum exhaust hole 350 of the base member 300 communicates with the second vacuum exhaust hole 440 of the support member 400, The second O-ring 360 serves to prevent leakage of vacuum exhaust through the gap between the base member 300 and the support member 400.

베이스부재(300)의 날개부(320)에는 적어도 하나 이상의 가이드핀 삽입홀(321)이 관통 형성되며, 가이드핀 삽입홀(321)을 관통하여 가이드핀(370)의 하단이 스테이지(10)의 제1 체결홈(12, 도 9 참조)에 결합된다. 날개부(320)의 저면에는 가이드핀 삽입홀(321)의 둘레를 따라 탄성부재 지지홈(322)이 확장 형성되며, 제1 체결홈(12)의 상부에 탄성부재 삽입홈(13, 도 9 참조)이 확장 형성된다. 코일스프링 등의 탄성부재(380)가 가이드핀(370)의 하단부 외주면을 둘러싸도록 설치되는데, 탄성부재(380)의 상단은 탄성부재 지지홈(322)에 지지되며, 하단은 스테이지(10)의 탄성부재 삽입홈(13)에 삽입되어 베이스부재(300)를 탄성 지지한다.At least one guide pin insertion hole 321 is formed through the wing portion 320 of the base member 300, and the lower end of the guide pin 370 passes through the guide pin insertion hole 321. It is coupled to the first fastening groove 12 (see FIG. 9). An elastic member support groove 322 is extended along the circumference of the guide pin insertion hole 321 at the bottom of the wing part 320, and an elastic member insertion groove 13, FIG. 9 on the upper portion of the first fastening groove 12 Reference) is formed to expand. An elastic member 380 such as a coil spring is installed to surround the outer peripheral surface of the lower end of the guide pin 370, and the upper end of the elastic member 380 is supported by the elastic member support groove 322, and the lower end of the stage 10 It is inserted into the elastic member insertion groove 13 to elastically support the base member 300.

베이스부재(300)의 날개부(320)는 가이드핀(370)을 따라 승강 가능하며, 외력에 의한 베이스부재(300)의 하강시 탄성부재(380)가 압축되고, 외력 제거시 탄성부재(380)의 탄성복원력에 의해 베이스부재(300)는 가이드핀(370)을 따라 상승하게 된다. 즉, 스테이지(10) 상에 풉(20) 안착시, 노즐몸체(200)에 가해지는 충격을 탄성부재(380)가 흡수하게 되는 것이다.The wing portion 320 of the base member 300 is elevating along the guide pin 370, the elastic member 380 is compressed when the base member 300 descends by an external force, and when the external force is removed, the elastic member 380 ) By the elastic restoring force of the base member 300 is raised along the guide pin (370). That is, when the FOUP 20 is seated on the stage 10, the elastic member 380 absorbs the impact applied to the nozzle body 200.

베이스부재(300)의 몸체(310) 상측에 지지부재(400)가 결합된다.The support member 400 is coupled to the upper side of the body 310 of the base member 300.

지지부재(400)는 베이스부재(300)의 상측에 결합되어 진공패드(600)를 지지하는 역할을 하는 것으로, 베이스부재(300) 몸체(310)의 제1 안착홈(313)에 삽입되는 원형 블록 형태의 안착부(410)와, 안착부(410)의 상측에 폭이 확장 형성되는 사각형 블록 형태의 확장부(420)를 포함한다. The support member 400 is coupled to the upper side of the base member 300 and serves to support the vacuum pad 600, and is inserted into the first mounting groove 313 of the base member 300 body 310 It includes a block-shaped seating portion 410 and a rectangular block-shaped extended portion 420 having a width extending above the seating portion 410.

지지부재(400)는 확장부(420) 상측의 코너부에 결합홀(421)이 각각 형성되며, 베이스부재(300)의 몸체(310) 상측의 코너부에도 이와 대응하여 결합홈(314)이 각각 형성된다. 따라서, 지지부재(400)의 결합홀(421)을 관통하여 베이스부재(300)의 결합홈(314)에 체결되는 볼트 등의 체결구에 의해, 베이스부재(300)와 지지부재(400)의 결합이 이루어질 수 있다.The support member 400 has a coupling hole 421 formed at a corner portion of the upper side of the expansion portion 420, and a coupling groove 314 corresponding thereto is also formed at the corner portion of the body 310 of the base member 300. Each is formed. Therefore, by a fastener such as a bolt that penetrates through the coupling hole 421 of the support member 400 and is fastened to the coupling groove 314 of the base member 300, the base member 300 and the support member 400 Combination can be achieved.

확장부(420)의 상측면에는 후술하는 진공패드(600)의 삽입을 위한 제2 안착홈(422)이 형성되며, 제2 안착홈(422)의 중앙에 퍼지홀(431)을 갖는 제2 보스(430)가 상향 돌출 형성된다. 베이스부재(300)와 지지부재(400)의 결합시, 제2 보스(430)의 퍼지홀(431)에 베이스부재(300) 몸체(310)의 제1 보스(330)가 삽입되며, 제1 보스(330)의 중공(331)과 제2 보스(430)의 퍼지홀(431)이 연통하게 된다. 따라서, 베이스부재(300)의 가스주입홀(311)로 주입된 퍼지가스는 제1 보스(330)의 중공(331)을 통해 제2 보스(430)의 퍼지홀(431)로 유입된다.A second mounting groove 422 for inserting a vacuum pad 600 to be described later is formed on the upper side of the expansion part 420, and a second mounting groove 431 having a purge hole 431 in the center of the second mounting groove 422 The boss 430 is formed to protrude upward. When the base member 300 and the support member 400 are combined, the first boss 330 of the body 310 of the base member 300 is inserted into the purge hole 431 of the second boss 430, and the first The hollow 331 of the boss 330 and the purge hole 431 of the second boss 430 communicate with each other. Accordingly, the purge gas injected into the gas injection hole 311 of the base member 300 flows into the purge hole 431 of the second boss 430 through the hollow 331 of the first boss 330.

제2 안착홈(422)의 바닥면에는 제2 보스(430)의 양측에 제2 진공배기홀(440)이 관통 형성된다. 베이스부재(300)와 지지부재(400)의 결합시, 베이스부재(300) 몸체(310)의 제1 진공배기홀(350)이 지지부재(400)의 제2 진공배기홀(440)과 연통하게 된다. 따라서, 제2 진공배기홀(440)은 제1 진공배기홀(350)과 배기홀(312)을 통해 진공이 형성될 수 있다. Second vacuum exhaust holes 440 are formed through the bottom surface of the second seating groove 422 on both sides of the second boss 430. When the base member 300 and the support member 400 are coupled, the first vacuum exhaust hole 350 of the base member 300 and the body 310 communicates with the second vacuum exhaust hole 440 of the support member 400 Is done. Accordingly, in the second vacuum exhaust hole 440, a vacuum may be formed through the first vacuum exhaust hole 350 and the exhaust hole 312.

제2 진공배기홀(440)의 상측 둘레를 따라 삽입홈(441)이 확장 형성되며, 후술하는 진공패드(600)가 제2 안착홈(422)에 장착될 때, 진공패드(600)의 하부로 돌출된 삽입부(670)가 이 삽입홈(441)에 삽입된다.The insertion groove 441 is extended along the upper circumference of the second vacuum exhaust hole 440, and when the vacuum pad 600 to be described later is mounted in the second seating groove 422, the lower portion of the vacuum pad 600 The insertion portion 670 protruding as is inserted into the insertion groove 441.

한편, 제2 보스(430)의 외주면 하단 둘레를 따라 내측 플랜지홈(432)이 형성되고, 제2 안착홈(422)의 바깥쪽 테두리 하단을 따라 외측 플랜지홈(423)이 형성된다. 내측 플랜지홈(432)과 외측 플랜지홈(423)은 진공패드(600)의 결합을 위한 것으로, 후술하는 진공패드(600)의 내측 플랜지(650)와 외측 플랜지(660)가 각각 내측 플랜지홈(432)과 외측 플랜지홈(423)에 삽입된다.On the other hand, the inner flange groove 432 is formed along the lower circumference of the outer peripheral surface of the second boss 430, and the outer flange groove 423 is formed along the lower outer rim of the second seating groove 422. The inner flange groove 432 and the outer flange groove 423 are for coupling the vacuum pad 600, and the inner flange 650 and the outer flange 660 of the vacuum pad 600 to be described later are respectively provided with an inner flange groove ( It is inserted into the 432 and the outer flange groove 423.

진공패드(600)는 고무나 실리콘, 합성수지 등 탄성재질로 이루어지며, 중앙에 관통 형성되는 통공(610)과, 통공(610)의 둘레를 따라 소정 간격 상호 이격하여 상향 돌출 형성되는 내측 측벽(621)과 외측 측벽(622), 그리고 내측 측벽(621)과 외측 측벽(622) 사이에 형성되는 바닥면(630)과, 바닥면(630)에 관통 형성되는 적어도 하나 이상의 진공홀(640)을 포함한다. The vacuum pad 600 is made of an elastic material such as rubber, silicone, synthetic resin, etc., and has a through hole 610 formed through the center, and an inner side wall 621 that is formed to protrude upward at a predetermined interval along the circumference of the through hole 610. ) And an outer sidewall 622, and a bottom surface 630 formed between the inner sidewall 621 and the outer sidewall 622, and at least one vacuum hole 640 formed through the bottom surface 630 do.

이때, 내측 측벽(621)과 외측 측벽(622)의 상측면은 평면이고, 내측 측벽(621)의 외측면은 외측으로 낮게 경사지도록 형성되며, 외측 측벽(622)의 내측면은 내측으로 낮게 경사지도록 형성된다. 즉, 내측 측벽(621)과 외측 측벽(622) 사이의 공간부는 단면상 하부로 갈수록 폭이 점점 좁아지는 테이퍼진 형상을 이룬다.At this time, the upper side of the inner side wall 621 and the outer side wall 622 is flat, the outer side of the inner side wall 621 is formed to be inclined low to the outside, and the inner side of the outer side wall 622 is inclined low to the inside. It is formed to lose. That is, the space portion between the inner side wall 621 and the outer side wall 622 forms a tapered shape in which the width becomes narrower toward the bottom in cross section.

또한, 내측 측벽(621)의 둘레를 따라 내측 플랜지(650)가 내측으로 돌출 형성되고, 외측 측벽(622)의 둘레를 따라 외측 플랜지(660)가 외측으로 돌출 형성된다. 진공패드(600)가 지지부재(400)의 제2 안착홈(422)에 장착될 때, 진공패드(600)의 내측 플랜지(650)는 지지부재(400)의 내측 플랜지홈(432)에 삽입되며, 외측 플랜지(660)는 외측 플랜지홈(423)에 삽입된다. 이때, 진공패드(600)의 통공(610)을 통해 지지부재(400)의 제2 보스(430)가 노출되며, 베이스부재(300) 몸체(310)의 가스주입홀(311)을 통해 제2 보스(430)의 퍼지홀(431)로 유입된 퍼지가스가 진공패드(600)의 통공(610)을 통해 토출된다.In addition, the inner flange 650 is formed protruding inward along the circumference of the inner side wall 621, and the outer flange 660 is formed protruding outward along the circumference of the outer side wall 622. When the vacuum pad 600 is mounted in the second mounting groove 422 of the support member 400, the inner flange 650 of the vacuum pad 600 is inserted into the inner flange groove 432 of the support member 400 And, the outer flange 660 is inserted into the outer flange groove 423. At this time, the second boss 430 of the support member 400 is exposed through the through hole 610 of the vacuum pad 600, and the second boss 430 is exposed through the gas injection hole 311 of the body 310 of the base member 300. The purge gas introduced into the purge hole 431 of the boss 430 is discharged through the through hole 610 of the vacuum pad 600.

한편, 진공패드(600)의 저면에는 진공홀(640)의 둘레를 따라 삽입부(670)가 하향 돌출 형성되며, 이 삽입부(670)는 지지부재(400)와의 결합시 지지부재(400)의 삽입홈(441)에 삽입된다. 이때, 진공패드(600)의 진공홀(640)과 지지부재(400)의 제2 진공배기홀(440)이 연통하며, 내측 측벽(621)과 외측 측벽(622) 사이의 공간부는 진공홀(640)과 제2 진공배기홀(440), 제1 진공배기홀(350) 및 배기홀(312)을 통해 진공영역으로 형성될 수 있다.On the other hand, on the bottom of the vacuum pad 600, the insertion portion 670 is formed to protrude downward along the circumference of the vacuum hole 640, and the insertion portion 670 is the supporting member 400 when combined with the supporting member 400. It is inserted into the insertion groove 441 of. At this time, the vacuum hole 640 of the vacuum pad 600 and the second vacuum exhaust hole 440 of the support member 400 communicate with each other, and the space between the inner side wall 621 and the outer side wall 622 is a vacuum hole ( It may be formed as a vacuum region through the 640, the second vacuum exhaust hole 440, the first vacuum exhaust hole 350 and the exhaust hole 312.

결합부재(500)는 베이스부재(300)를 스테이지(10) 상에 결합하기 위한 것으로, 사각형 플레이트 형상의 결합몸체(510)와, 결합몸체(510)에 관통 형성되는 수용홀(520)을 포함한다.The coupling member 500 is for coupling the base member 300 onto the stage 10, and includes a square plate-shaped coupling body 510 and a receiving hole 520 formed through the coupling body 510 do.

결합몸체(510)의 저면에는 수용홀(520)의 양측에 복수 개의 가이드핀홈(530)이 형성되며, 결합몸체(510)의 상측 테두리를 따라 복수 개의 체결홀(540)이 관통 형성된다. A plurality of guide pin grooves 530 are formed on both sides of the receiving hole 520 on the bottom surface of the coupling body 510, and a plurality of fastening holes 540 are formed through the upper edge of the coupling body 510.

결합부재(500)는 스테이지(10)의 장착홈(11, 도 9 참조) 양측에 단차 형성되는 단턱(14, 도 9 참조)에 안착되며, 체결홀(540)을 관통하여 단턱(14)의 제2 체결홈(15, 도 9 참조)에 체결되는 볼트 등의 체결구에 의해 스테이지(10)에 결합된다. 이때, 베이스부재(300)의 상단부와 지지부재(400)가 결합부재(500)의 수용홀(520)을 통해 상부로 돌출되며, 결합부재(500)는 베이스부재(300)의 상단부 외측을 감싸도록 스테이지(10)에 결합된다.The coupling member 500 is seated in the stepped step 14 (see FIG. 9) formed at both sides of the mounting groove 11 (see FIG. 9) of the stage 10, and penetrates the fastening hole 540 to the stepped step 14 It is coupled to the stage 10 by fasteners such as bolts that are fastened to the second fastening groove 15 (see FIG. 9). At this time, the upper end of the base member 300 and the support member 400 protrude upward through the receiving hole 520 of the coupling member 500, and the coupling member 500 surrounds the outside of the upper end of the base member 300. So that it is coupled to the stage 10.

베이스부재(300)의 날개부(320)를 관통하여 스테이지(10)의 제1 체결홈(12)에 결합된 가이드핀(370)의 상단이 결합몸체(510) 저면의 가이드핀홈(530)에 삽입되며, 베이스부재(300)는 가이드핀(370)의 외주면에 결합된 탄성부재(380)에 의해 탄성 지지된다.The upper end of the guide pin 370 coupled to the first fastening groove 12 of the stage 10 through the wing portion 320 of the base member 300 is in the guide pin groove 530 on the bottom of the coupling body 510 It is inserted, and the base member 300 is elastically supported by an elastic member 380 coupled to the outer peripheral surface of the guide pin 370.

탄성부재(380)의 압축 및 신장시, 베이스부재(300)와 지지부재(400)는 결합부재(500)의 수용홀(520)을 통해 승강하며, 따라서 결합부재(500)는 베이스부재(300)와 지지부재(400) 및 진공패드(600)의 승강 방향을 안내하는 역할도 한다.When the elastic member 380 is compressed and elongated, the base member 300 and the support member 400 elevate through the receiving hole 520 of the coupling member 500, and thus the coupling member 500 is the base member 300 ) And the supporting member 400 and the vacuum pad 600 in the elevating direction.

도 6은 도 3의 A-A 방향 단면도이며, 도 7은 도 3의 B-B 방향 단면도이다.6 is a cross-sectional view of FIG. 3 in the direction A-A, and FIG. 7 is a cross-sectional view of FIG. 3 in the direction B-B.

도 6에 도시된 바와 같이, 베이스부재(300) 몸체(310)의 배기홀(312)은 제1 진공배기홀(350)과 지지부재(400)의 제2 진공배기홀(440) 및 진공패드(600)의 진공홀(640)과 차례로 연통한다. 6, the exhaust hole 312 of the base member 300 and the body 310 includes a first vacuum exhaust hole 350 and a second vacuum exhaust hole 440 and a vacuum pad of the support member 400. It communicates with the vacuum hole 640 of 600 in order.

따라서, 배기홀(312)을 통한 진공 배기시, 배기홀(312)이 형성된 진공패드(600)의 내측 측벽(621)과 외측 측벽(622) 사이의 공간에 진공영역이 형성되며, 진공패드(600)는 진공압에 의해 풉(20) 저면의 포트(21) 주변부에 밀착하여 기밀성이 향상된다.Accordingly, when evacuating through the exhaust hole 312, a vacuum region is formed in the space between the inner side wall 621 and the outer side wall 622 of the vacuum pad 600 in which the exhaust hole 312 is formed, and the vacuum pad ( 600) is in close contact with the periphery of the port 21 on the bottom of the FOUP 20 by vacuum pressure, thereby improving airtightness.

또한, 도 6과 도 7에 도시된 바와 같이, 베이스부재(300) 몸체(310)의 가스주입홀(311)은 제1 보스(330)의 중공(331)과 지지부재(400)의 퍼지홀(431) 및 진공패드(600)의 통공(610)과 차례로 연통한다.In addition, as shown in FIGS. 6 and 7, the gas injection hole 311 of the base member 300 and the body 310 is a hollow 331 of the first boss 330 and a purge hole of the support member 400 431 and the through hole 610 of the vacuum pad 600 in turn communicates.

따라서, 가스주입홀(311)을 통한 퍼지가스의 주입시, 지지부재(400)의 퍼지홀(431)과 진공패드(600)의 통공(610)을 통해 퍼지가스가 토출되며, 이렇게 토출된 퍼지가스는 풉(20)의 포트(21)를 통해 풉(20) 내부로 공급된다.Therefore, when the purge gas is injected through the gas injection hole 311, the purge gas is discharged through the purge hole 431 of the support member 400 and the through hole 610 of the vacuum pad 600, and thus the discharged purge Gas is supplied into the FOUP 20 through the port 21 of the FOUP 20.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 로드 포트용 퍼지노즐 모듈이 장착된 스테이지의 사시도이다.8 is a perspective view of a stage equipped with a purge nozzle module for a load port according to an embodiment of the present invention.

도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 퍼지노즐 모듈은 스테이지(10) 상측면의 장착홈(11)에 각각 삽입 및 장착된다. 이때, 베이스부재(300)의 날개부(320)가 장착홈(11)의 단턱(14)에 안착되며, 볼트 등의 체결구가 체결홀(540)을 통해 날개부(320)를 관통하여 단턱(14)의 제2 체결홈(15)에 체결된다. 따라서, 퍼지노즐 모듈(100)의 조립이 간편하며, 필요시 쉽게 분리하여 교체 장착할 수 있다.As shown in Figure 8, the purge nozzle module according to an embodiment of the present invention is inserted and mounted in the mounting groove 11 on the upper side of the stage 10, respectively. At this time, the wing portion 320 of the base member 300 is seated on the stepped portion 14 of the mounting groove 11, and a fastener such as a bolt penetrates the wing portion 320 through the fastening hole 540 It is fastened to the second fastening groove 15 of (14). Therefore, assembly of the purge nozzle module 100 is simple, and can be easily separated and replaced if necessary.

한편, 퍼지노즐 모듈(100)의 스테이지(10) 장착시, 스테이지(10)의 제1 체결홈(12)에 가이드핀(370)이 예컨대 나사 결합 방식으로 결합되며, 제1 체결홈(12, 도 9 참조) 상부의 탄성부재 삽입홈(13, 도 9 참조)에 탄성부재(380)가 삽입되어 베이스부재(300)의 날개부(320)를 탄성 지지한다.Meanwhile, when the stage 10 of the purge nozzle module 100 is mounted, the guide pin 370 is coupled to the first fastening groove 12 of the stage 10 by, for example, a screw coupling method, and the first fastening groove 12, 9) The elastic member 380 is inserted into the upper elastic member insertion groove 13 (see FIG. 9) to elastically support the wing portion 320 of the base member 300.

도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 본 발명의 일 실시예에 따른 로드 포트용 퍼지노즐 모듈의 사용 상태도이다.9 is a state diagram of a use state of a purge nozzle module for a load port according to an embodiment of the present invention according to an embodiment of the present invention.

도 9에 도시된 바와 같이, 진공패드(600)의 통공(610)과 풉(20)의 포트(21)가 대향하도록 스테이지(10) 상에 풉(20)이 안착되면, 풉(20) 저면의 포트(21) 주변부에 진공패드(600)의 측벽(620) 상단부가 접촉하게 된다. 풉(20) 안착시 베이스부재(300)의 날개부(320)를 탄성 지지하는 탄성부재(380)가 압축되면서 충격을 상쇄하며, 베이스부재(300)는 가이드핀(370)을 따라 소정 간격 아래로 하강한다.As shown in FIG. 9, when the FOUP 20 is seated on the stage 10 so that the through hole 610 of the vacuum pad 600 and the port 21 of the FOUP 20 face each other, the bottom surface of the FOUP 20 The upper end of the side wall 620 of the vacuum pad 600 is in contact with the periphery of the port 21 of the vacuum pad 600. When the fug 20 is seated, the elastic member 380 that elastically supports the wing portion 320 of the base member 300 is compressed to offset the impact, and the base member 300 is below a predetermined distance along the guide pin 370 Descend to

이때, 베이스부재(300)와 지지부재(400)가 탄성부재(380)의 탄성력에 의해 상향으로 탄성 지지됨에 따라, 진공패드(600)는 풉(20) 저면의 포트(21) 주변부를 향해 탄성 지지된다. At this time, as the base member 300 and the support member 400 are elastically supported upwards by the elastic force of the elastic member 380, the vacuum pad 600 is elastic toward the periphery of the port 21 on the bottom of the pawl (20). Supported.

여기에 더해, 베이스부재(300) 몸체(310)의 배기홀(312)을 통해 진공 배기를 시작하면, 제1 진공배기홀(350)과 제2 진공배기홀(440) 및 진공홀(640)을 통해 한 쌍의 측벽(620) 사이 공간부에 진공영역이 형성되며, 진공패드(600)는 진공압에 의해 풉(20)의 저면에 더욱 강하게 밀착되어 통공(610) 주변의 기밀성이 더욱 향상된다.In addition, when starting the vacuum exhaust through the exhaust hole 312 of the base member 300 and the body 310, the first vacuum exhaust hole 350, the second vacuum exhaust hole 440 and the vacuum hole 640 A vacuum region is formed in the space between the pair of sidewalls 620 through the vacuum pad 600, and the vacuum pad 600 is more strongly adhered to the bottom of the FOUP 20 by vacuum pressure, further improving the airtightness around the through hole 610. do.

이후, 베이스부재(300) 몸체(310)의 가스주입홀(311)을 통해 퍼지가스를 주입하면, 베이스부재(300)의 중공(331)과 지지부재(400)의 퍼지홀(431)을 거쳐 진공패드(600)의 통공(610)을 통해 토출된 퍼지가스가 풉(20) 저면의 포트(21)를 통해 풉(20)의 내부로 공급된다. 이때, 진공패드(600)의 통공(610) 외측에 형성된 측벽(620)의 상단부가 진공압에 의해 풉(20)의 저면에 견고히 흡착되어 있으므로, 측벽(620)을 넘어 진공패드(600) 주변으로 퍼지가스가 누설되는 것이 방지되며, 따라서 도달농도가 높은 퍼지처리를 행할 수 있게 된다.Thereafter, when the purge gas is injected through the gas injection hole 311 of the body 310 of the base member 300, through the hollow 331 of the base member 300 and the purge hole 431 of the support member 400 The purge gas discharged through the through hole 610 of the vacuum pad 600 is supplied to the inside of the FOUP 20 through the port 21 at the bottom of the FOUP 20. At this time, since the upper end of the side wall 620 formed outside the through hole 610 of the vacuum pad 600 is firmly adsorbed to the bottom of the FOUP 20 by vacuum pressure, the vacuum pad 600 is surrounded by the side wall 620 As a result, the purge gas is prevented from leaking, and thus the purge treatment with a high concentration reached can be performed.

한편, 반도체 제조 장치에서 가공이나 처리가 완료된 웨이퍼가 다시 풉(20)에 수용되면, 퍼지가스 주입 차단 및 배기작동의 차단에 이어 풉(20)이 스테이지(10)로부터 분리되며, 이때 퍼지노즐 모듈(100)은 탄성부재(380)의 탄성복원력에 의해 가이드핀(370)을 따라 상승하여 다른 풉(20)의 안착을 기다리는 대기 상태로 돌아간다.On the other hand, when a wafer that has been processed or processed in a semiconductor manufacturing apparatus is received in the FOUP 20 again, the FOUP 20 is separated from the stage 10 following the blocking of the purge gas injection and exhaust operation, and at this time, the purge nozzle module (100) rises along the guide pin 370 by the elastic restoring force of the elastic member 380 and returns to the standby state waiting for the seating of the other pawl (20).

이상에서 본 발명의 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 특허청구범위를 벗어남이 없이 다양하게 변형 실시할 수 있을 것으로 이해된다.Although the embodiments of the present invention have been described above, it is understood that those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can perform various modifications without departing from the scope of the claims of the present invention.

100 : 퍼지노즐 모듈 200 : 노즐몸체
300 : 베이스부재 310 : 몸체
320 : 날개부 330 : 제1 보스
350 : 제1 진공배기홀 370 : 가이드핀
380 : 탄성부재 400 : 지지부재
410 : 안착부 420 : 확장부
422 : 제2 안착홈 430 : 제2 보스
431 : 퍼지홀 440 : 제2 진공배기홀
500 : 결합부재 510 : 결합몸체
520 : 수용홀 600 : 진공패드
610 : 통공 620 : 측벽
640 : 진공홀 100: purge nozzle module 200: nozzle body
300: base member 310: body
320: wing part 330: first boss
350: first vacuum exhaust hole 370: guide pin
380: elastic member 400: support member
410: seating portion 420: expansion portion
422: second seating groove 430: second boss
431: purge hole 440: second vacuum exhaust hole
500: coupling member 510: coupling body
520: receiving hole 600: vacuum pad
610: through hole 620: side wall
640: vacuum hole

Claims (3)

중앙에 퍼지홀이 형성되고, 하부 일 측면에 가스주입홀과 배기홀이 소정 간격 상호 이격하여 형성되는 노즐몸체; 및
상기 노즐몸체의 상측에 분리 가능하게 결합되는 진공패드를 포함하며,
상기 노즐몸체는,
일측에 상기 가스주입홀과 상기 배기홀이 형성되는 베이스부재와, 상기 베이스부재의 상측에 결합되며 상기 진공패드를 지지하는 지지부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 로드 포트용 퍼지노즐 모듈.A nozzle body in which a purge hole is formed in the center, and a gas injection hole and an exhaust hole are spaced apart from each other at a lower one side; And
It includes a vacuum pad detachably coupled to the upper side of the nozzle body,
The nozzle body,
A purge nozzle module for a load port, comprising: a base member in which the gas injection hole and the exhaust hole are formed on one side; 청구항 1에 있어서,
상기 지지부재는, 상기 가스주입홀과 연통하도록 형성되는 퍼지홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 로드 포트용 퍼지노즐 모듈.The method according to claim 1,
The support member, a purge nozzle module for a load port, characterized in that it comprises a purge hole formed to communicate with the gas injection hole. 청구항 2에 있어서,
상기 지지부재는, 상기 배기홀과 연통하도록 상기 퍼지홀의 일측에 관통 형성되는 제2 진공배기홀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 로드 포트용 퍼지노즐 모듈.The method according to claim 2,
The support member further comprises a second vacuum exhaust hole formed through one side of the purge hole so as to communicate with the exhaust hole.
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KR20220168224A (en) * 2021-06-15 2022-12-23 주식회사 테크엑스 Gas supply nozzle device of load port module

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