KR20200065142A

KR20200065142A - 마스크 조립체 및 이의 제조 방법

Info

Publication number: KR20200065142A
Application number: KR1020180150724A
Authority: KR
Inventors: 하재수; 이수환; 유광태; 장승욱
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2018-11-29
Filing date: 2018-11-29
Publication date: 2020-06-09
Anticipated expiration: 2038-11-29
Also published as: US20200176681A1; CN111235524B; CN111235524A; KR102704885B1; US11538994B2

Abstract

본 발명의 마스크 조립체는 마스크 프레임 및 마스크를 포함한다. 마스크는 마스크 프레임에 결합되고, 제1 내지 제3 증착 영역들을 구분한다. 제1 및 제3 증착 영역은 제1 방향으로 기준 폭보다 큰 제1 폭을 갖고, 제2 방향으로 제1 폭보다 작은 제2 폭을 갖는다. 제2 증착 영역은 제1 방향으로 제1 폭보다 작은 제3 폭을 갖고, 제2 방향으로 기준 폭보다 작은 제4 폭을 갖는다.

Description

마스크 조립체 및 이의 제조 방법{MASK ASSEMBLY AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}

본 발명은 마스크 조립체 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로 표시 장치의 증착 공정에 적용될 수 있는 마스크 조립체 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.

표시 장치는 다양한 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시 영역을 통해 영상 또는 이미지를 출력 한다. 표시 장치들 중 유기 발광 표시 장치는 시야각이 넓고, 콘트라스트(Contrast)가 우수할 뿐만 아니라, 응답 속도가 빠르다는 장점을 갖는다. 이러한 유기 발광 표시 장치의 표시 영역은 복수개의 화소로 이루어져 있으며, 복수개의 화소들은 증착 물질의 증착 과정을 통해 표시 영역을 형성 할 수 있다.

유기 발광 표시 장치의 증착 과정은 마스크에 의하여 정의되는 증착 영역을 통하여 수행될 수 있다. 마스크의 견고한 고정 및 증착 영역의 위치 정밀도는 유기 발광 표시 장치의 수율 및 신뢰성 측면에서 중요한 요소이다.

텔레비전과 같은 표시 장치는 대면적화 되고 있으며, 이에 따라 증착 공정을 위하여 요구되는 마스크의 크기도 커지고 있다. 마스크의 크기가 증가함에 따라, 마스크에 포함되는 구성들을 제조 및 가공하는데 제약이 발생될 수 있다.

본 발명의 일 목적은 면취 효율을 향상시키고, 다양한 넓이의 표시 패널을 제조할 수 있는 마스크 조립체 및 이의 제조 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 일 목적은 마스크의 위치 정밀도를 향상시키고, 마스크의 변형 및 단차를 감소시키는 마스크 조립체 및 이의 제조 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체는 마스크 프레임 및 마스크를 포함한다. 마스크는 제1 방향으로 연장되는 제1 지지부, 상기 제1 지지부와 이격되고 상기 제1 방향으로 연장되는 제2 지지부, 제2 방향으로 연장되어 상기 제1 지지부의 일단과 상기 제2 지지부의 일단 사이에 배치되는 제3 지지부, 및 상기 제3 지지부와 이격되고 상기 제2 방향으로 연장되어 상기 제1 지지부의 타단 및 제2 지지부의 타단 사이에 배치되는 제4 지지부를 포함한다. 마스크는 마스크 프레임에 결합되고, 제1 증착 영역, 상기 제1 증착 영역으로부터 상기 제1 방향으로 인접한 제2 증착 영역, 및 상기 제1 증착 영역으로부터 상기 제2 방향으로 인접한 제3 증착 영역을 구분한다.

상기 제1 증착 영역 및 상기 제3 증착 영역은 상기 제3 지지부로부터 상기 제1 방향으로 기준 폭보다 큰 제1 폭을 갖고 상기 제2 방향으로 상기 제1 폭보다 작은 제2 폭을 갖는다. 상기 제2 증착 영역은 상기 제4 지지부로부터 상기 제1 방향으로 상기 제1 폭보다 작은 제3 폭을 갖고, 상기 제1 지지부로부터 상기 제2 방향으로 상기 기준 폭보다 큰 제4 폭을 갖는다.

상기 마스크는 상기 제2 증착 영역으로부터 상기 제2 방향으로 인접한 제4 증착 영역 및 상기 제3 증착 영역으로부터 상기 제2 방향으로 인접하고 상기 제4 증착 영역으로부터 상기 제1 방향으로 인접한 제5 증착 영역을 더 구분한다. 상기 제4 증착 영역은 상기 제4 지지부로부터 상기 제1 방향으로 상기 제3 폭을 갖고 상기 제2 지지부로부터 상기 제2 방향으로 상기 제4 폭을 갖는다. 상기 제5 증착 영역은 상기 제3 지지부로부터 상기 제1 방향으로 상기 제1 폭을 갖고, 상기 제2 지지부로부터 상기 제2 방향으로 상기 제2 폭을 갖는다.

상기 마스크는, 일단이 상기 제1 지지부에 결합되고 타단이 상기 제2 지지부에 결합되도록 상기 제2 방향으로 연장되고, 상기 제3 지지부로부터 상기 제1 폭만큼 이격되는 제1 연장부, 및 일단이 상기 제3 지지부에 결합되고 타단이 상기 제1 연장부에 결합되도록 상기 제1 방향으로 연장되고, 상기 제1 지지부로부터 상기 제2 폭만큼 이격되는 제2 연장부를 포함할 수 있다.

상기 제1 연장부는 상기 제1 및 제2 방향들과 교차하는 제3 방향으로 제1 두께를 갖고, 상기 제2 연장부는 상기 제3 방향으로 제2 두께를 갖고, 상기 제1 두께는 상기 제2 두께보다 클 수 있다.

상기 제1 연장부는 상기 제2 방향에 수직한 평면 상에서 삼각 형상 또는 사다리꼴 형상을 가질 수 있다. 상기 제1 연장부는 상기 제2 연장부와 결합되는 함몰부를 포함할 수 있다.

상기 마스크는 상기 제1 지지부 및 상기 제3 지지부에 결합되고, 상기 제1 증착 영역을 둘러싸는 제1 마스킹부, 상기 제1 지지부, 상기 제4 지지부, 및 상기 제1 마스킹부에 결합되고, 상기 제2 증착 영역을 둘러싸는 제2 마스킹부, 및 상기 제1 지지부, 상기 제1 마스킹부, 및 상기 제2 마스킹부에 결합되고, 상기 제3 증착 영역을 둘러싸는 제3 마스킹부를 포함할 수 있다.

상기 제1 내지 제3 마스킹부들의 상기 제1 및 제2 방향들과 교차하는 제3 방향의 두께들은 서로 동일할 수 있다.

상기 마스크는 배킹부를 더 포함할 수 있다. 상기 배킹부는 상기 제1 마스킹부 및 상기 제2 마스킹부가 접촉되는 영역, 상기 제1 마스킹부 및 상기 제3 마스킹부가 접촉되는 영역, 및 상기 제2 마스킹부 및 상기 제3 마스킹부가 접촉되는 영역 상에 배치될 수 있다. 상기 배킹부는 상기 제1 내지 제3 마스킹부들로부터 상기 제1 및 제2 방향들과 교차하는 제3 방향으로 결합될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법은 마스크 프레임을 제공하는 단계, 상기 마스크 프레임의 제1 지지부 및 상기 제1 변과 마주하는 제2 지지부에, 제1 두께를 갖는 제1 연장부를 결합하는 단계, 및 상기 마스크 프레임의 상기 제1 및 제2 지지부들 사이에 배치되는 제3 지지부 및 상기 제1 연장부에, 상기 제1 두께보다 작은 제2 두께를 갖는 제2 연장부를 결합하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 제1 연장부는 상기 제3 지지부로부터 기준 폭보다 큰 제1 폭만큼 이격되고, 상기 제2 연장부는 상기 제1 지지부로부터 상기 제1 폭보다 작은 제2 폭만큼 이격될 수 있다.

상기 마스크 조립체 제조 방법은 상기 마스크 프레임의 상기 제3 지지부와 마주하는 제4 지지부 및 상기 제2 연장부에, 상기 제2 두께를 갖는 제3 연장부를 결합하는 단계, 및 상기 마스크 프레임의 상기 제3 지지부 및 상기 제1 연장부에, 상기 제2 두께를 갖는 제4 연장부를 결합하는 단계를 더 포함할 수 있다. 상기 제3 연장부는 상기 제1 지지부로부터 상기 기준 폭보다 크고 상기 제1 폭보다 작은 제3 폭만큼 이격되고, 상기 제4 연장부는 상기 제2 연장부로부터 상기 제2 폭만큼 이격될 수 있다.

상기 제1 연장부를 결합하는 단계는 상기 제1 연장부의 제1 볼트를 상기 제1 지지부에 삽입하는 단계, 및 상기 제1 연장부의 제2 볼트를 상기 제2 지지부에 삽입하는 단계를 포함할 수 있다.

상기 제2 연장부를 결합하는 단계는 상기 제2 연장부의 일단 및 상기 제1 연장부의 결합 영역을 용접하는 단계, 상기 제2 연장부의 상기 일단을 중심으로 상기 제2 연장부를 상기 제1 방향으로 인장하는 단계, 및 상기 제2 연장부의 타단 및 상기 제3 지지부의 결합 영역을 용접하는 단계를 포함할 수 있다.

상기 마스크 제조 방법은 상기 제2 연장부를 결합하는 단계 이전에, 상기 제1 연장부의 상기 결합 영역의 일부를 에칭하는 단계를 더 포함할 수 있다. 마스크 제조 방법은 상기 제2 연장부를 결합하는 단계 이전에, 상기 제2 연장부의 상기 일단의 일부를 에칭하는 단계를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법은 제1 방향으로 기준 폭보다 큰 제1 폭을 갖고 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 상기 기준 폭보다 작은 제2 폭을 갖는 제1 마스킹부를 제공하는 단계, 상기 제1 방향으로 상기 제1 폭을 갖고 상기 제2 방향으로 상기 제2 폭을 갖는 제2 마스킹부를 상기 제1 마스킹부와 상기 제2 방향으로 인접하게 결합하는 단계, 및 상기 제1 방향으로 상기 기준 폭보다 작은 제3 폭을 갖고 상기 제2 방향으로 상기 기준 폭보다 큰 제4 폭을 갖는 제3 마스킹부를 상기 제1 및 제2 마스킹부들과 상기 제1 방향으로 인접하게 결합하는 단계를 포함할 수 있다.

상기 제2 마스킹부를 결합하는 단계는 상기 제1 마스킹부와 상기 제2 마스킹부를 접촉시키는 단계, 상기 제1 및 제2 마스킹부들이 서로 접촉되는 영역 상에 배킹부를 배치하는 단계, 및 상기 제1 및 제2 마스킹부들과 상기 배킹부를 용접하는 단계를 포함할 수 있다.

상기 마스크 조립체 제조 방법은 상기 제1 내지 제3 마스킹부들을 마스크 프레임에 결합하는 단계를 더 포함할 수 있다. 상기 마스크 조립체 제조 방법은 상기 기준 폭을 갖는 시트를 에칭하여 상기 제1 내지 제3 마스킹부들을 생성하는 단계를 더 포함할 수 있다.

상술한 바에 따르면, 서로 다른 넓이의 증착 영역이 제공됨으로써, 면취 효율이 향상되고, 다양한 넓이의 표시 패널이 제조될 수 있다. 또한, 마스크의 일부 구성의 두께를 증가시키거나, 배킹(backing)부를 이용한 용접을 수행함으로써, 마스크의 위치 정밀도를 향상시키고, 마스크의 변형 및 단차를 감소시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 다른 마스크의 예시적인 도면이다.
도 2는 도 1의 마스크에 포함되는 소재의 제조 장치의 예시적인 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 예시적인 도면이다.
도 4a 내지 도 4c는 도 3의 마스크 조립체의 제1 연장부를 결합하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 5a 및 도 5b는 도 3의 마스크 조립체의 제2 내지 제4 연장부들을 결합하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 예시적인 도면이다.
도 7a 내지 도 7e는 도 6의 마스크 조립체를 제조하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 시스템의 예시적인 도면이다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 다른 마스크의 예시적인 도면이다. 도 1을 참조하면, 마스크(MSK)는 제1 내지 제5 증착 영역들(O1~O5)을 구분한다. 제1 내지 제5 증착 영역들(O1~O5)은 개구부일 수 있다. 마스크(MSK)는 오픈 마스크일 수 있고, 제1 내지 제5 증착 영역들(O1~O5) 각각의 넓이는 표시 패널의 넓이에 대응될 수 있다.

도 1 이하에서, 설명의 편의상 제1 내지 제3 방향들(DR1~DR3)이 정의된다. 제1 내지 제3 방향들(DR1~DR3)은 서로 수직한다. 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)에 의하여 정의되는 면은 마스크(MSK)에 의한 증착면과 평행할 수 있다. 제3 방향(DR3)은 증착 방향일 수 있다.

마스크(MSK)는 제1 방향(DR1)으로 제1 폭(W1)을 갖고, 제2 방향(DR2)으로 제2 폭(W2)을 갖는다. 제1 폭(W1) 및 제2 폭(W2)은 증착 공정을 위하여 마스크(MSK) 상에 배치되는 기판의 넓이에 대응될 수 있다. 기판의 넓이는 증착 공정에 의하여 생성되는 복수의 표시 패널들의 넓이보다 클 수 있다. 예시적으로 제1 폭(W1)은 2200mm이고, 제2 폭(W2)은 2500mm일 수 있다. 표시 패널의 가로 및 세로 비율이 16:9라고 가정한다면, 상술된 제1 및 제2 폭들(W1, W2)의 조건에서 면취 효율 및 표시 패널의 취득 개수는 표 1과 같이 계산될 수 있다.

인치(16:9)	취득 개수	면취 효율
27	24	94%
30	18	86%
43	8	76%
55	6	94%
60	3	56%
65	3	65%
75	2	58%
85	2	74%
95	2	93%
130	0	0

표 1을 참조하면, 60인치 내지 85인치 사이의 면취 효율이 낮은 것으로 나타난다. 예를 들어, 65인치 표시 패널은 3매 취득될 수 있고, 면취 효율은 65%에 불과하다. 도 1의 마스크(MSK)는 나머지 35%에 65인치 표시 패널과 다른 크기의 표시 패널을 제조할 수 있도록 제공될 수 있다.

마스크(MSK)는 적어도 두 개의 다른 크기를 갖는 증착 영역들을 구분할 수 있다. 예를 들어, 제1 내지 제3 증착 영역들(O1~O3)의 대각선 길이들은 서로 동일할 수 있고, 제1 길이(aa)로 정의된다. 예시적으로 제1 길이(aa)는 65인치일 수 있다. 예를 들어, 제4 및 제5 증착 영역들(O4, O5)의 대각선 길이들은 서로 동일할 수 있고, 제2 길이(bb)로 정의된다. 예시적으로 제2 길이(bb)는 55인치일 수 있다. 즉, 65인치 표시 패널에 대응되는 면취 효율을 제외한 35%를 이용하여, 표시 패널이 더 획득될 수 있다. 따라서, 면취 효율이 향상되고, 표시 패널의 취득 개수가 증가할 수 있다.

아래에서 설명되는 마스크 조립체는 제1 내지 제5 증착 영역들(O1~O5)을 구분하는 것으로 설명된다. 다만, 이에 제한되지 않고, 5개와 다른 개수의 증착 영역들이 제공될 수 있다. 예를 들어, 마스크(MSK)는 55인치의 제2 길이(bb)를 갖는 제4 및 제5 증착 영역들(O4, O5) 대신에 32인치의 제2 길이(bb)를 갖는 6개의 증착 영역들을 구분할 수 있다.

도 2는 도 1의 마스크에 포함되는 소재의 제조 장치의 예시적인 도면이다. 도 2를 참조하면, 제조 장치(10)는 롤러(11), 컨베이어(12), 및 가공 장치(13)를 포함할 수 있다. 도 2에 도시된 제조 장치(10)는 예시적인 구조로 이해될 것이고, 제조 장치(10)는 도 2에 제한되지 않는다.

롤러(11)는 마스크(MSK)의 소재인 금속 시트를 컨베이어(12)에 제공한다. 금속 시트는 롤러(11)에 감겨있고, 롤러(11)의 회전에 따라 금속 시트는 컨베이어(12)에 제공될 수 있다. 금속 시트는 도 1의 마스크(MSK)에 포함된다. 금속 시트의 일부는 가공 장치(13)에 의하여 에칭될 수 있다. 예를 들어, 금속 시트는 인바(Invar) 시트일 수 있다.

롤러(11)의 회전축을 기준으로, 금속 시트의 폭 또는 컨베이어(12)의 폭은 기준 폭(CC)을 가질 수 있다. 표시 패널의 크기가 증가하고, 하나의 마스크(MSK)에 의하여 복수의 표시 패널들이 제작됨에 따라, 마스크(MSK)의 크기는 증가할 수 있다. 이 경우, 도 1의 제1 및 제2 폭들(W1, W2)이 기준 폭(CC)보다 클 수 있고, 나아가, 제1 내지 제5 증착 영역들(O1~O5) 각각의 장변 길이들도 기준 폭(CC)보다 클 수 있다. 예를 들어, 기준 폭(CC)이 1m라면, 기준 폭(CC)은 3개의 65인치 표시 패널들 및 2개의 55인치 표시 패널들을 제조하기 위한 도 1의 마스크(MSK)의 제1 및 제2 폭들(W1, W2)보다 작다. 또한, 기준 폭(CC)은 65인치 표시 패널 및 55인치 표시 패널의 장변 길이들보다 작다. 이로 인하여, 제조 장치(10)는 한번의 금속 시트의 가공으로 완전한 마스크(MSK)를 제조하지 못할 수 있다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 예시적인 도면이다. 도 3의 마스크 조립체(100)는 도 2의 제약 하에서, 도 1과 같은 형상을 갖도록 제작될 수 있다. 도 3을 참조하면, 마스크 조립체(100)는 마스크 프레임(FR) 및 제1 내지 제4 연장부들(E1~E4)을 포함한다. 마스크 프레임(FR) 및 제1 내지 제4 연장부들(E1~E4)은 인바(invar)와 같은 물질을 포함할 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 도 1의 마스크(MSK)와 같이, 마스크 조립체(100)는 제1 내지 제5 증착 영역들(O1~O5)을 구분할 수 있다.

마스크 프레임(FR)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)에 의하여 정의되는 면을 기준으로 사각 형상을 가질 수 있다. 마스크 프레임(FR)은 제1 내지 제4 지지부들(S1~S4)을 포함한다. 제1 지지부(S1) 및 제2 지지부(S2)는 제1 방향(DR1)으로 연장되고 서로 이격된다. 제3 지지부(S3) 및 제4 지지부(S4)는 제2 방향(DR2)으로 연장되어 제1 및 제2 지지부들(S1, S2) 사이에 배치되고, 서로 이격된다. 제1 내지 제4 지지부들(S1~S4)에 의하여, 제1 방향(DR1)으로 제1 폭(W1)을 갖고, 제2 방향(DR2)으로 제2 폭(W2)을 갖는 개구부가 형성될 수 있다.

증착 공정 시에, 표시 패널에 포함되는 기판은 마스크 프레임(FR) 상에 배치될 수 있다. 기판의 견고한 지지를 위하여, 마스크 프레임(FR)의 제3 방향(DR3)의 두께는 도 2의 금속 시트의 두께보다 클 수 있다. 예시적으로, 증착 공정 시에, 기판의 움직임을 방지하기 위하여, 기판의 면적에 맞추어 마스크 프레임(FR)에 홈이 제공될 수 있다.

제1 연장부(E1)는 제2 방향(DR2)으로 연장되며, 제1 지지부(S1) 및 제2 지지부(S2) 사이에 연결된다. 제1 연장부(E1)의 일단은 제1 지지부(S1)에 결합되고, 타단은 제2 지지부(S2)에 결합된다. 제1 연장부(E1)는 제1 방향(DR1)으로, 제3 지지부(S3)로부터 제3 폭(W3)만큼 이격되고, 제4 지지부(S4)로부터 제5 폭(W5)만큼 이격될 수 있다. 제3 폭(W3)은 제1 내지 제3 증착 영역들(O1~O3)의 제1 방향(DR1)의 폭에 대응되고, 제5 폭(W5)은 제4 및 제5 증착 영역들(O4, O5)의 제1 방향(DR1)의 폭에 대응될 수 있다. 여기에서, 제3 폭(W3)은 도 2의 기준 폭(CC)보다 클 수 있다.

제2 연장부(E2) 및 제3 연장부(E3)는 제1 방향(DR1)으로 연장되며, 제3 지지부(S3) 및 제1 연장부(E1) 사이에 연결된다. 제2 및 제3 연장부들(E2, E3) 각각의 일단은 제1 연장부(E1)에 결합되고, 타단은 제3 지지부(S3)에 결합된다. 제2 연장부(E2) 및 제3 연장부(E3)는 서로 이격된다. 제2 연장부(E2)는 제2 방향(DR2)으로 제1 지지부(S1)로부터 제4 폭(W4)만큼 이격될 수 있다. 제3 연장부(E3)는 제2 방향(DR2)으로, 제2 연장부(E2)로부터 제4 폭(W4)만큼 이격되고, 제2 지지부(S2)로부터 제4 폭(W4)만큼 이격될 수 있다. 제4 폭(W4)은 제1 내지 제3 증착 영역들(O1~O3)의 제2 방향(DR2)의 폭에 대응될 수 있다.

제4 연장부(E4)는 제1 방향(DR1)으로 연장되며, 제4 지지부(S4) 및 제1 연장부(E1) 사이에 연결된다. 제4 연장부(E4)의 일단은 제1 연장부(E1)에 결합되고, 타단은 제4 지지부(S4)에 결합된다. 제4 연장부(E4)는 제2 방향(DR2)으로, 제1 지지부(S1)로부터 제6 폭(W6)만큼 이격되고, 제2 지지부(S2)로부터 제6 폭(W6)만큼 이격될 수 있다. 제6 폭(W6)은 제4 및 제5 증착 영역들(O4, O5)의 제2 방향(DR2)의 폭에 대응될 수 있다. 여기에서, 제6 폭(W6)은 도 2의 기준 폭(CC)보다 클 수 있다.

제1 내지 제4 연장부들(E1~E4) 각각의 연장 방향과 수직한 폭은 기준 폭(CC)보다 작다. 따라서, 도 2의 제조 장치(10)를 통하여, 제1 내지 제4 연장부들(E1~E4)이 제조될 수 있다. 제1 내지 제4 연장부들(E1~E4)이 마스크 프레임(FR)에 결합됨으로써, 대면적의 표시 패널을 제조하기 위한 마스크 조립체(100)가 생성될 수 있다. 금속 시트를 이용하여, 제1 내지 제4 연장부들(E1~E4)이 생성되는 경우, 제1 내지 제4 연장부들(E1~E4) 각각은 팽팽(tight)하도록 마스크 프레임(FR)에 접하는 방향 (연장 방향)으로 인장되고, 팽팽함이 유지된 상태에서 마스크 프레임(FR)에 결합 (예를 들어, 용접)될 수 있다.

다만, 제2 내지 제4 연장부들(E2~E4)이 마스크 프레임(FR)을 향하여 인장될 때, 제1 연장부(E1)의 변형이 발생될 수 있다. 제1 연장부(E1)가 도 2의 제조 장치(10)에 의하여, 금속 시트로 제조되는 경우, 제1 연장부(E1)의 강성이 확보되기 어렵다. 따라서, 제2 연장부(E2)가 제3 지지부(S3)를 향하여 인장될 때, 제1 연장부(E1)가 제3 지지부(S3)를 향하여 휘어질 수 있다. 휘어짐 방지를 위하여, 제2 연장부(E2)에 대한 인장력이 감소한다면, 제2 연장부(E2)는 제3 방향(DR3)으로 처질 수 있다. 아래에서, 상술된 문제점을 해결하는 마스크 조립체(100)의 제조 방법이 설명된다.

도 4a 내지 도 4c는 도 3의 마스크 조립체의 제1 연장부를 결합하는 방법을 설명하기 위한 도면이다. 도 3의 제2 내지 제4 연장부들(E2~E4)은 제1 연장부(E1)에 결합되므로, 선행적으로 제1 연장부(E1)가 마스크 프레임(FR)에 결합된다.

도 4a를 참조하면, 제1 연장부(E1)의 일단은 마스크 프레임(FR)의 제1 지지부(S1)에 결합되고, 타단은 마스크 프레임(FR)의 제2 지지부(S2)에 결합된다. 제1 연장부(E1)의 변형 또는 제1 연장부(E1)와 결합되는 제2 내지 제4 연장부(E2~E4)의 처짐을 방지하기 위하여, 제1 연장부(E1)는 도 2의 제조 장치(10)에 의하여 생성되지 않을 수 있다. 제1 연장부(E1)는 마스크 프레임(FR)의 제1 내지 제4 지지부들(S1~S4)과 유사한 바 타입(bar type)으로 생성될 수 있다. 즉, 제1 연장부(E1)는 마스크 프레임(FR)과 유사한 강성을 가질 수 있다.

도 4b를 참조하면, 도 4a의 I-I'에 대응되는 단면도가 도시된다. 도 4b는 제2 방향(DR2)과 제3 방향(DR3)이 이루는 평면을 기준으로 제1 방향(DR1)에서 바라본 제1 연장부(E1)와 마스크 프레임(FR)의 단면도이다. 도 4b는 제1 연장부(E1) 및 제2 지지부(S2)의 결합 영역을 예시적으로 도시하나, 제1 연장부(E1) 및 제1 지지부(S1)의 결합 영역도 도 4b에 도시된 바와 같을 수 있다.

제1 연장부(E1)는 제3 방향(DR3)으로 제1 두께(T1)를 갖고, 마스크 프레임(FR)은 제3 방향(DR3)으로 프레임 두께(TF)를 가질 수 있다. 제1 연장부(E1)의 강성을 확보하기 위하여, 예를 들어, 제1 두께(T1) 및 프레임 두께(TF)는 실질적으로 동일할 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않고, 제2 내지 제4 연장부들(E2~E4)의 결합을 위한 인장력을 견딜 수 있을 정도의 두께가 제1 두께(T1)로 정의될 수 있다. 이러한 제1 두께(T1)는 적어도 제2 내지 제4 연장부들(E2~E4) 각각의 두께보다 클 수 있다.

제1 연장부(E1)는 마스크 프레임(FR)과 결합을 위한 체결부를 포함할 수 있다. 예시적으로 체결부는 볼트(B1)일 수 있다. 볼트(B1)는 마스크 프레임(FR)에 포함된 너트(N1)에 삽입될 수 있다. 다만, 체결부의 형상은 도 4b에 제한되지 않고, 결합 핀, 브라켓 등 다양한 방식에 의하여 제1 연장부(E1) 및 마스크 프레임(FR)이 결합될 수 있다.

도 4c를 참조하면, 도 4a의 II=II'에 대응되는 단면도가 도시된다. 도 4c는 제1 방향(DR1)과 제3 방향(DR3)이 이루는 평면을 기준으로 제2 방향(DR2)에서 바라본 제1 연장부(E1)와 마스크 프레임(FR)의 단면도이다. 예시적으로, 도 4c는 제1 연장부(E1) 및 제1 연장부(E1)로부터 제5 폭(W5)만큼 이격된 제4 지지부(S4)가 도시된다.

단면도 상에서, 제1 연장부(E1)는 테이퍼 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 제1 연장부(E1)는 사다리꼴 형상을 갖거나, 삼각 형상을 가질 수 있다. 다만 이에 제한되지 않고, 제1 연장부(E1)는 제3 방향(DR3)으로 점점 커지는 제1 방향(DR1)의 폭을 갖는 다양한 형상을 가질 수 있다. 마찬가지로, 마스크 프레임(FR)도 제3 방향(DR3)으로 점점 커지는 제1 방향(DR1)의 폭을 가질 수 있다.

증착 공정 시에, 제1 연장부(E1)의 가장 큰 제1 방향(DR1)의 폭을 갖는 면에 기판이 배치될 수 있다. 증착 물질은 제1 연장부(E1)의 가장 작은 제1 방향(DR1)의 폭을 갖는 면으로부터 기판이 배치되는 면을 향하는 제3 방향(DR3)으로 분사될 수 있다. 제1 연장부(E1)가 직사각형 형상 등을 갖는다면, 제1 연장부(E1)에 인접한 엣지 영역에 증착 물질이 축적될 수 있고, 제작된 표시 패널의 품질이 감소될 수 있다. 제1 연장부(E1)가 테이퍼 형상을 갖는다면, 엣지 영역에 축적되는 증착 물질이 감소하여, 제조된 표시 패널의 품질이 향상될 수 있다. 제1 연장부(E1)의 형상은 제1 두께(T1), 증착 각도, 제1 연장부(E1)의 무게 및 처짐 정도를 고려하여, 결정될 수 있다.

도 5a 및 도 5b는 도 3의 마스크 조립체의 제2 내지 제4 연장부들을 결합하는 방법을 설명하기 위한 도면이다. 제1 연장부(E1)가 마스크 프레임(FR)에 결합한 후에, 제2 내지 제4 연장부들(E2~E4)은 마스크 프레임(FR) 및 제1 연장부(E1)에 결합된다.

도 5a를 참조하면, 제2 내지 제4 연장부들(E2~E4) 각각의 일단은 제1 연장부(E1)에 결합된다. 예를 들어, 제2 내지 제4 연장부들(E2~E4) 각각의 일단은 제1 연장부(E1)와 용접될 수 있다. 이후, 제2 내지 제4 연장부들(E2~E4) 각각은 제1 방향(DR1)으로 인장될 수 있다. 제1 연장부(E1)의 강성이 확보되므로, 제1 연장부(E1)는 제1 방향(DR1)으로의 인장력을 견딜 수 있다. 인장 결과, 제2 내지 제4 연장부들(E2~E4) 각각의 타단은 마스크 프레임(FR)에 접촉되고, 용접될 수 있다.

도 5b를 참조하면, 도 5a의 III-III'에 대응되는 단면도가 도시된다. 도 5b는 제1 방향(DR1)과 제3 방향(DR3)이 이루는 평면을 기준으로 제2 방향(DR2)에서 바라본 제1 연장부(E1)와 제4 연장부(E4)의 단면도이다. 도 5b는 제1 연장부(E1)와 제4 연장부(E4)의 결합 영역을 도시하나, 제1 연장부(E1)와 제2 연장부(E2) 또는 제1 연장부(E1)와 제3 연장부(E3)의 결합 영역도 도 5b에 도시된 바와 같을 수 있다.

제1 연장부(E1)는 제3 방향(DR3)으로 제1 두께(T1)를 갖고, 제2 내지 제4 연장부들(E2~E4)은 제3 방향(DR3)으로 제2 두께(T2)를 가질 수 있다. 제1 두께(T1)는 제2 두께(T2)보다 크다. 제2 두께(T2)는 도 2의 금속 시트의 두께에 대응될 수 있다. 제1 연장부(E1)는 제1 두께(T1)에 따라 인장력을 견딜 수 있고, 제2 내지 제4 연장부들(E2~E4)의 처짐을 방지할 수 있을 정도의 인장력이 제1 방향(DR1)으로 제공될 수 있다.

제1 연장부(E1)는 제2 내지 제4 연장부들(E2~E4)과의 결합을 위한 함몰부들을 포함할 수 있다. 기판이 배치되는 면을 기준으로, 제1 내지 제4 연장부들(E1~E4)의 단차가 제거되도록, 제1 연장부(E1)는 함몰부를 포함할 수 있다. 제1 연장부(E1)의 함몰부에 제2 내지 제4 연장부들(E2~E4) 각각의 일단은 삽입될 수 있다. 함몰부를 형성하기 위하여, 제1 연장부(E1)의 일부가 에칭될 수 있다. 구체적으로 도시되지 않았으나, 단차 제거를 위하여, 제2 내지 제4 연장부들(E2~E4)의 일단들도 에칭될 수 있다. 제1 연장부(E1)의 에칭된 영역 및 제2 내지 제4 연장부들(E2~E4) 각각의 에칭된 영역은 서로 용접될 수 있다.

또한, 마스크 프레임(FR)은 제2 내지 제4 연장부들(E2~E4)과의 결합을 위한 함몰부들을 포함할 수 있다. 마스크 프레임(FR)의 함몰부에 제2 내지 제4 연장부들(E2~E4) 각각의 타단은 삽입될 수 있다. 이를 위하여, 마스크 프레임(FR)의 일부 및 제2 내지 제4 연장부들(E2~E4)의 타단들도 에칭될 수 있다.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 예시적인 도면이다. 도 6의 마스크 조립체(200)는 도 2의 제약 하에서, 도 1과 같은 형상을 갖도록 제작될 수 있다. 도 6을 참조하면, 마스크 조립체(200)는 마스크 프레임(FR) 및 제1 내지 제5 마스킹부들(M1~M5)을 포함한다. 마스크 프레임(FR) 및 제1 내지 제5 마스킹부들(M1~M5)은 인바(invar)와 같은 물질을 포함할 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 도 1의 마스크(MSK)와 같이, 마스크 조립체(200)는 제1 내지 제5 증착 영역들(O1~O5)을 구분할 수 있다.

마스크 프레임(FR)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)에 의하여 정의되는 면을 기준으로 사각 형상을 가질 수 있다. 도 3에서 설명된 바와 같이, 마스크 프레임(FR)은 제1 방향(DR1)으로 제1 폭(W1)을 갖고, 제2 방향(DR2)으로 제2 폭(W2)을 갖는 개구부를 형성하도록, 제1 내지 제4 지지부들(S1~S4)을 포함한다.

제1 내지 제3 마스킹부들(M1~M3) 각각은 제1 방향(DR1)으로 제3 폭(W3)을 갖고, 제2 방향(DR2)으로 제4 폭(W4)을 갖는 증착 영역을 둘러싸는 사각 형상을 가질 수 있다. 제1 마스킹부(M1)는 제1 지지부(S1) 및 제3 지지부(S3)에 결합된다. 제2 마스킹부(M2)는 제1 마스킹부(M1)로부터 제2 방향(DR2)으로 인접하게 결합되고, 제3 지지부(S3)에 결합된다. 제3 마스킹부(M3)는 제2 마스킹부(M2)로부터 제2 방향(DR2)으로 인접하게 결합되고, 제3 지지부(S3) 및 제2 지지부(S2)에 결합된다.

제4 및 제5 마스킹부들(M4, M5) 각각은 제1 방향(DR1)으로 제5 폭(W5)을 갖고, 제2 방향(DR2)으로 제6 폭(W6)을 갖는 증착 영역을 둘러싸는 사각 형상을 가질 수 있다. 제4 마스킹부(M4)는 제1 마스킹부(M1) 및 제2 마스킹부(M2)로부터 제1 방향(DR1)으로 인접하게 결합되고, 제1 지지부(S1) 및 제4 지지부(S4)에 결합된다. 제5 마스킹부(M5)는 제2 마스킹부(M2) 및 제3 마스킹부(M3)로부터 제1 방향(DR1)으로 인접하게 결합되고, 제4 마스킹부(M4)로부터 제2 방향(DR2)으로 인접하게 결합되고, 제4 지지부(S4) 및 제2 지지부(S2)에 결합된다.

제3 폭(W3) 및 제6 폭(W6)은 도 2의 기준 폭(CC)보다 클 수 있다. 다만, 제4 폭(W4) 및 제5 폭(W5)은 기준 폭(CC)보다 작을 수 있다. 이 경우, 도 2의 제조 장치(10)를 이용하여, 제1 내지 제5 마스킹부들(M1~M5)이 제조될 수 있다. 제1 내지 제5 마스킹부들(M1~M5)이 마스크 프레임(FR)에 결합됨으로써, 대면적의 표시 패널을 제조하기 위한 마스크 조립체(200)가 생성될 수 있다. 금속 시트를 이용하여, 제1 내지 제5 마스킹부들(M1~M5)이 생성되는 경우, 제1 내지 제5 마스킹부들(M1~M5) 각각이 우선 서로 결합되고, 이후에, 결합된 제1 내지 제5 마스킹부들(M1~M5)이 마스크 프레임(FR)에 인장되어 결합 (예를 들어, 용접)될 수 있다.

도 7a 내지 도 7e는 도 6의 마스크 조립체를 제조하는 방법을 설명하기 위한 도면이다. 우선 도 6의 제1 내지 제5 마스킹부들(M1~M5) 각각이 서로 결합되고, 이후에 제1 내지 제5 마스킹부들(M1~M5)이 마스크 프레임(FR)에 결합된다. 이를 위하여, 제1 내지 제5 마스킹부들(M1~M5)의 결합 위치의 정렬을 위한 지그(JIG)가 제공된다.

도 7a를 참조하면, 제1 마스킹부(M1)가 지그(JIG) 상에 배치된다. 지그(JIG)에 제1 내지 제5 마스킹부들(M1~M5) 각각의 결합 위치가 표시될 수 있다. 이러한 표시에 기초하여, 제1 마스킹 부(M1)가 우선 배치되고, 제2 마스킹부(M2)가 제1 마스킹부(M1)로부터 제2 방향(DR2)으로 인접하도록 지그(JIG) 상에 배치될 수 있다. 제1 마스킹부(M1) 및 제2 마스킹부(M2)는 지그(JIG) 상에 서로 접촉된다. 제1 및 제2 마스킹부들(M1, M2)이 서로 접촉되는 영역은 용접에 의하여 결합될 수 있다.

도 7b를 참조하면, 도 7a의 IV-IV'에 대응되는 단면도가 도시된다. 도 7b는 제2 방향(DR2)과 제3 방향(DR3)이 이루는 평면을 기준으로 제1 방향(DR1)에서 바라본 제1 및 제2 마스킹부들(M1, M2)의 서로 접촉되는 영역의 단면도이다. 이하, 도 7c 내지 도 7e에 배치된 마스킹부들의 결합 방식은 도 7b에 도시된 바와 같을 수 있다.

제1 및 제2 마스킹부들(M1, M2)이 서로 접촉되는 영역에 배킹(backing)부(WE)가 배치된다. 즉, 도 6의 마스크 조립체(200)는 마스킹부들의 결합을 위한 배킹부(WE)를 더 포함할 수 있다. 배킹부(WE)는 제1 및 제2 마스킹부들(M1, M2)로부터 제3 방향(DR3)으로 접하도록 배치될 수 있다. 배킹부(WE)는 제1 및 제2 마스킹부들(M1, M2) 사이의 결합을 위하여, 제1 및 제2 마스킹부들(M1, M2)에 덧대어진다. 배킹부(WE)와 제1 마스킹부(M1)는 용접을 통하여 결합된다. 배킹부(WE)와 제2 마스킹부(M2)는 용접을 통하여 결합된다.

제1 마스킹부(M1) 및 제2 마스킹부(M2)의 제3 방향(DR3) 두께는 서로 동일할 수 있다. 제1 마스킹부(M1) 및 제2 마스킹부(M2)는 동일한 금속 시트를 이용하여 도 2의 제조 장치(10)에 의하여 제조될 수 있으며, 이 경우 서로 동일한 두께를 가질 수 있다. 증착 공정 시에, 배킹부(WE)는 제1 및 제2 마스킹부들(M1, M2)을 기준으로, 마스크 조립체(200) 상에 배치되는 기판과 대향한다. 따라서, 기판의 접촉면을 기준으로 단차가 제거된다. 이에 따라, 표시 패널의 증착 정확도가 향상되고, 제조된 표시 패널의 품질이 향상될 수 있다.

배킹부(WE)를 이용하여 마스크 조립체(200)를 제조하는 경우, 용접되는 영역의 넓이가 증가한다. 도 7a를 참조하면, 배킹부(WE)는 제1 방향(DR1)으로 제3 폭(W3)보다 큰 길이로 연장될 수 있다. 따라서, 마스크의 변형이 감소한다. 예를 들어, 마스크 조립체(200)는 증착 공정을 진행한 후에 다음 증착 공정을 위하여 세척될 수 있다. 마스크 조립체(200)는 세척 회수의 증가에 따라, 변형될 수 있다. 배킹부(WE)의 존재 및 마스킹부의 형상에 의하여, 마스크 조립체(200)의 변형이 감소될 수 있다.

도 7c를 참조하면, 제3 마스킹부(M3)가 제2 마스킹부(M2)로부터 제2 방향(DR2)으로 인접하도록 지그(JIG) 상에 배치될 수 있다. 제2 마스킹부(M2) 및 제3 마스킹부(M3)는 지그(JIG) 상에 서로 접촉되고, 용접에 의하여 서로 결합될 수 있다. 제3 마스킹부(M3)는 도 7b와 같이, 배킹부(WE)를 통하여 제2 마스킹부(M2)에 결합될 수 있다.

도 7d를 참조하면, 제4 마스킹부(M4)가 제1 및 제2 마스킹부들(M1, M2)로부터 제1 방향(DR1)으로 인접하도록 지그(JIG) 상에 배치될 수 있다. 제1 마스킹부(M1), 제2 마스킹부(M2), 및 제4 마스킹부(M4)는 지그(JIG) 상에 서로 접촉되고, 용접에 의하여 서로 결합될 수 있다. 제4 마스킹부(M4)는 도 7b와 같이, 배킹부(WE)를 통하여 제1 및 제2 마스킹부들(M1, M2)에 서로 결합될 수 있다.

도 7e를 참조하면, 제5 마스킹부(M4)가 제2 및 제3 마스킹부들(M2, M3)로부터 제1 방향(DR1)으로 인접하고 제4 마스킹부(M4)로부터 제2 방향(DR2)으로 인접하도록 지그(JIG) 상에 배치될 수 있다. 제2 마스킹부(M2), 제3 마스킹부(M3), 제4 마스킹부(M4), 및 제5 마스킹부(M5)는 지그(JIG) 상에 서로 접촉되고, 용접에 의하여 서로 결합될 수 있다. 제5 마스킹부(M5)는 도 7b와 같이, 배킹부(WE)를 통하여 제2 내지 제4 마스킹부들(M2~M4)에 서로 결합될 수 있다.

도 7a 내지 도 7e를 참조하면, 제1 내지 제5 마스킹부들(M1~M5)의 순서대로 지그(JIG) 상에 배치되어 결합되는 것으로 도시되나 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 제1 및 제2 마스킹부들(M1, M2)이 서로 결합된 이후에, 제4 마스킹부(M4)가 제1 및 제2 마스킹부들(M1, M2)에 결합되고, 이후에 제3 마스킹부(M3)가 제2 마스킹부(M2)에 결합될 수도 있다. 즉, 제1 내지 제5 마스킹부들(M1~M5) 각각의 결합 순서는 도 7a 내지 도 7e의 순서와 다를 수 있다.

배킹부(WE)를 통하여 결합된 제1 내지 제5 마스킹부들(M1~M5)은 마스크 프레임(FR)과 결합된다. 결합된 제1 내지 제5 마스킹부들(M1~M5)은 마스크 프레임(FR)의 개구부에 제공되고, 마스크 프레임(FR)에 용접될 수 있다. 결합된 제1 내지 제5 마스킹부들(M1~M5)은 마스크 프레임(FR)의 제1 내지 제4 지지부들(S1~S4)을 향하여 인장되고, 제1 내지 제4 지지부들(S1~S4)에 용접될 수 있다.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 시스템의 예시적인 도면이다. 도 8을 참조하면, 증착 시스템(1000)은 챔버(1100), 증착 물질 분사 장치(1200), 및 마스크 조립체(1300)를 포함할 수 있다. 증착 시스템(1000)은 마스크 조립체(1300)에 의하여 구분되는 증착 영역들의 개수만큼의 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위하여 사용될 수 있다. 상술한 바와 같이, 증착 영역의 넓이는 하나의 표시 패널의 넓이에 대응될 수 있다.

증착 시스템(1000)은 기판(SUB) 상에 박막을 증착할 수 있고, 기판(SUB)은 증착 공정 시에, 마스크 조립체(1300) 상에 배치될 수 있다. 기판(SUB)은 유기 발광 소자들을 포함하는 유기 발광 표시 패널의 일부를 포함할 수 있으며, 박막은 유기 발광 소자들을 구성하는 유기 박막들 중 하나일 수 있다. 예시적으로, 박막은 발광층일 수 있다. 이 외에도, 박막은 전자 주입층, 전자 수송층, 전공 수송층, 및 정공 주입층 증 적어도 어느 하나일 수 있다.

챔버(1100)는 증착 물질이 이동하는 증착 공간을 제공할 수 있다. 챔버(1100)는 외부로부터 이물질이 유입되지 않고, 증착 물질의 직진성을 확보하기 위하여 고진공 상태를 유지할 수 있다. 본 발명에 따른 챔버(1100)의 형상은 제한되지 않는다.

증착 물질 분사 장치(1200)는 챔버(1100) 내부의 증착 공간에 제공될 수 있다. 예를 들어, 증착 물질 분사 장치(1200)는 챔버(1100) 내부의 하부 공간에 배치될 수 있다. 증착 물질 분사 장치(1200)는 증착 물질을 수용한다. 증착 물질(미도시)은 유기 물질을 포함할 수 있다. 증착 물질은 상온에서 액체 상태 또는 고체 상태의 물질일 수 있다.

증착 물질 분사 장치(1200)는 복수의 노즐들(NZ)을 포함한다. 복수의 노즐들(NZ)은 제1 방향(DR1)으로 배열된 것으로 도시되나, 이에 제한되지 않는다. 복수의 노즐들(NZ)의 배열 관계 및 개수는 도 8에 의하여 제한되지 않는다. 복수의 노즐들(NZ) 각각은 증착 물질을 제3 방향(DR3)으로 분사할 수 있다. 예시적으로, 증착 물질 분사 장치(1200)는 증착 물질을 기화시켜, 복수의 노즐들(NZ)로 제공할 수 있다. 복수의 노즐들(NZ)은 기화된 증착 물질을 마스크 조립체(1300) 및 기판(SUB)을 향하여 분사할 수 있다.

마스크 조립체(1300)는 도 1의 마스크(MSK) 형상을 갖는 도 3의 마스크 조립체(100) 또는 도 6의 마스크 조립체(200)를 포함할 수 있다. 마스크 조립체(1300)는 증착 물질 분사 장치(1200)로부터 제3 방향(DR3)으로 이격되어 배치된다. 복수의 노즐들(NZ)로부터 분사된 증착 물질은 마스크 조립체(1300) 및 기판(SUB)으로 제공된다. 마스크 조립체(1300)의 제1 내지 제5 증착 영역들(O1~O5)에 대응되는 기판(SUB)의 일부 영역들은 노출된다. 기판(SUB)의 노출된 영역들에 증착 물질이 제공될 수 있다.

증착 물질을 통한 증착 공정이 진행된 이후에, 기판(SUB)은 표시 패널의 크기에 맞추어 커팅될 수 있다. 예를 들어, 마스크 조립체(1300)의 제1 증착 영역(O1) 및 제4 증착 영역(O4)에 의하여 노출된 영역에 증착 물질이 제공되고, 스크라이빙 영역(SC)을 기준으로 기판(SUB)이 커팅될 수 있다. 즉, 제1 증착 영역(O1)에 대응되는 표시 패널과 제4 증착 영역(O4)에 대응되는 표시 패널이 분리될 수 있다. 도 3 및 도 6의 마스크 조립체들(100, 200)을 이용하여 증착 공정이 수행되는 경우, 5개의 표시 패널들이 제조될 수 있다. 따라서, 다양한 크기의 표시 패널들이 제조될 수 있다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면, 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

100, 200, 1300 : 마스크 조립체 1000 : 증착 시스템
MSK : 마스크 FR : 마스크 프레임
O1~O5 : 제1 내지 제5 증착 영역들 E1~E4 : 제1 내지 제4 연장부들
M1~M5 : 제1 내지 제5 마스킹부들

Claims

제1 방향으로 연장되는 제1 지지부, 상기 제1 지지부와 이격되고 상기 제1 방향으로 연장되는 제2 지지부, 제2 방향으로 연장되어 상기 제1 지지부의 일단과 상기 제2 지지부의 일단 사이에 배치되는 제3 지지부, 및 상기 제3 지지부와 이격되고 상기 제2 방향으로 연장되어 상기 제1 지지부의 타단 및 제2 지지부의 타단 사이에 배치되는 제4 지지부를 포함하는 마스크 프레임; 및
상기 마스크 프레임에 결합되고, 제1 증착 영역, 상기 제1 증착 영역으로부터 상기 제1 방향으로 인접한 제2 증착 영역, 및 상기 제1 증착 영역으로부터 상기 제2 방향으로 인접한 제3 증착 영역을 구분하는 마스크를 포함하고,
상기 제1 증착 영역 및 상기 제3 증착 영역은 상기 제3 지지부로부터 상기 제1 방향으로 기준 폭보다 큰 제1 폭을 갖고 상기 제2 방향으로 상기 제1 폭보다 작은 제2 폭을 갖고, 상기 제2 증착 영역은 상기 제4 지지부로부터 상기 제1 방향으로 상기 제1 폭보다 작은 제3 폭을 갖고, 상기 제1 지지부로부터 상기 제2 방향으로 상기 기준 폭보다 큰 제4 폭을 갖는 마스크 조립체.
제1 항에 있어서,
상기 마스크는 상기 제2 증착 영역으로부터 상기 제2 방향으로 인접한 제4 증착 영역 및 상기 제3 증착 영역으로부터 상기 제2 방향으로 인접하고 상기 제4 증착 영역으로부터 상기 제1 방향으로 인접한 제5 증착 영역을 더 구분하고,
상기 제4 증착 영역은 상기 제4 지지부로부터 상기 제1 방향으로 상기 제3 폭을 갖고 상기 제2 지지부로부터 상기 제2 방향으로 상기 제4 폭을 갖고, 상기 제5 증착 영역은 상기 제3 지지부로부터 상기 제1 방향으로 상기 제1 폭을 갖고, 상기 제2 지지부로부터 상기 제2 방향으로 상기 제2 폭을 갖는 마스크 조립체.
제1 항에 있어서,
상기 마스크는,
일단이 상기 제1 지지부에 결합되고 타단이 상기 제2 지지부에 결합되도록 상기 제2 방향으로 연장되고, 상기 제3 지지부로부터 상기 제1 폭만큼 이격되는 제1 연장부; 및
일단이 상기 제3 지지부에 결합되고 타단이 상기 제1 연장부에 결합되도록 상기 제1 방향으로 연장되고, 상기 제1 지지부로부터 상기 제2 폭만큼 이격되는 제2 연장부를 포함하는 마스크 조립체.
제3 항에 있어서,
상기 제1 연장부는 상기 제1 및 제2 방향들과 교차하는 제3 방향으로 제1 두께를 갖고, 상기 제2 연장부는 상기 제3 방향으로 제2 두께를 갖고, 상기 제1 두께는 상기 제2 두께보다 큰 마스크 조립체.
제4 항에 있어서,
상기 제1 연장부는 상기 제2 방향에 수직한 평면 상에서 삼각 형상 또는 사다리꼴 형상을 갖는 마스크 조립체.
제3 항에 있어서,
상기 제1 연장부는 상기 제2 연장부와 결합되는 함몰부를 포함하는 마스크 조립체.
제1 항에 있어서,
상기 마스크는,
상기 제1 지지부 및 상기 제3 지지부에 결합되고, 상기 제1 증착 영역을 둘러싸는 제1 마스킹부;
상기 제1 지지부, 상기 제4 지지부, 및 상기 제1 마스킹부에 결합되고, 상기 제2 증착 영역을 둘러싸는 제2 마스킹부; 및
상기 제3 지지부, 상기 제1 마스킹부, 및 상기 제2 마스킹부에 결합되고, 상기 제3 증착 영역을 둘러싸는 제3 마스킹부를 포함하는 마스크 조립체.
제7 항에 있어서,
상기 제1 내지 제3 마스킹부들의 상기 제1 및 제2 방향들과 교차하는 제3 방향의 두께들은 서로 동일한 마스크 조립체.
제1 항에 있어서,
상기 마스크는,
상기 제1 지지부 및 상기 제3 지지부에 결합되고, 상기 제1 증착 영역을 둘러싸는 제1 마스킹부;
상기 제1 지지부 및 상기 제4 지지부에 결합되고, 상기 제1 마스킹부에 접촉하고, 상기 제2 증착 영역을 둘러싸는 제2 마스킹부;
상기 제3 지지부에 결합되고, 상기 제1 마스킹부 및 상기 제2 마스킹부에 접촉하고, 상기 제3 증착 영역을 둘러싸는 제3 마스킹부; 및
상기 제1 마스킹부 및 상기 제2 마스킹부가 접촉되는 영역, 상기 제1 마스킹부 및 상기 제3 마스킹부가 접촉되는 영역, 및 상기 제2 마스킹부 및 상기 제3 마스킹부가 접촉되는 영역 상에 배치되는 배킹부를 포함하고,
상기 배킹부는 상기 제1 내지 제3 마스킹부들로부터 상기 제1 및 제2 방향들과 교차하는 제3 방향으로 결합되는 마스크 조립체.
제1 항에 있어서,
상기 기준 폭은 1m인 마스크 조립체.
마스크 프레임을 제공하는 단계;
상기 마스크 프레임의 제1 지지부 및 상기 제1 지지부와 마주하는 제2 지지부에, 제1 두께를 갖는 제1 연장부를 결합하는 단계; 및
상기 마스크 프레임의 상기 제1 및 제2 지지부들 사이에 배치되는 제3 지지부 및 상기 제1 연장부에, 상기 제1 두께보다 작은 제2 두께를 갖는 제2 연장부를 결합하는 단계를 포함하고,
상기 제1 연장부는 상기 제3 지지부로부터 기준 폭보다 큰 제1 폭만큼 이격되고, 상기 제2 연장부는 상기 제1 지지부로부터 상기 제1 폭보다 작은 제2 폭만큼 이격되는 마스크 조립체 제조 방법.
제11 항에 있어서,
상기 마스크 프레임의 상기 제3 지지부와 마주하는 제4 지지부 및 상기 제2 연장부에, 상기 제2 두께를 갖는 제3 연장부를 결합하는 단계; 및
상기 마스크 프레임의 상기 제3 지지부 및 상기 제1 연장부에, 상기 제2 두께를 갖는 제4 연장부를 결합하는 단계를 더 포함하고,
상기 제3 연장부는 상기 제1 지지부로부터 상기 기준 폭보다 크고 상기 제1 폭보다 작은 제3 폭만큼 이격되고, 상기 제4 연장부는 상기 제2 연장부로부터 상기 제2 폭만큼 이격되는 마스크 조립체 제조 방법.
제11 항에 있어서,
상기 제1 연장부를 결합하는 단계는,
상기 제1 연장부의 제1 볼트를 상기 제1 지지부에 삽입하는 단계; 및
상기 제1 연장부의 제2 볼트를 상기 제2 지지부에 삽입하는 단계를 포함하는 마스크 조립체 제조 방법.
제11 항에 있어서,
상기 제2 연장부를 결합하는 단계는,
상기 제2 연장부의 일단 및 상기 제1 연장부의 결합 영역을 용접하는 단계;
상기 제2 연장부의 상기 일단을 중심으로 상기 제2 연장부를 상기 제1 방향으로 인장하는 단계; 및
상기 제2 연장부의 타단 및 상기 제3 지지부의 결합 영역을 용접하는 단계를 포함하는 마스크 조립체 제조 방법.
제14 항에 있어서,
상기 제2 연장부를 결합하는 단계 이전에, 상기 제1 연장부의 상기 결합 영역의 일부를 에칭하는 단계를 더 포함하는 마스크 조립체 제조 방법.
제14 항에 있어서,
상기 제2 연장부를 결합하는 단계 이전에, 상기 제2 연장부의 상기 일단의 일부를 에칭하는 단계를 더 포함하는 마스크 조립체 제조 방법.
제1 방향으로 기준 폭보다 큰 제1 폭을 갖고 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 상기 기준 폭보다 작은 제2 폭을 갖는 제1 마스킹부를 제공하는 단계;
상기 제1 방향으로 상기 제1 폭을 갖고 상기 제2 방향으로 상기 제2 폭을 갖는 제2 마스킹부를 상기 제1 마스킹부와 상기 제2 방향으로 인접하게 결합하는 단계; 및
상기 제1 방향으로 상기 기준 폭보다 작은 제3 폭을 갖고 상기 제2 방향으로 상기 기준 폭보다 큰 제4 폭을 갖는 제3 마스킹부를 상기 제1 및 제2 마스킹부들과 상기 제1 방향으로 인접하게 결합하는 단계를 포함하는 마스크 조립체 제조 방법.
제17 항에 있어서,
상기 제2 마스킹부를 결합하는 단계는,
상기 제1 마스킹부와 상기 제2 마스킹부를 접촉시키는 단계;
상기 제1 및 제2 마스킹부들이 서로 접촉되는 영역 상에 배킹부를 배치하는 단계; 및
상기 제1 및 제2 마스킹부들과 상기 배킹부를 용접하는 단계를 포함하는 마스크 조립체 제조 방법.
제17 항에 있어서,
상기 제1 내지 제3 마스킹부들을 마스크 프레임에 결합하는 단계를 더 포함하는 마스크 조립체 제조 방법.
제18 항에 있어서,
상기 기준 폭을 갖는 시트를 에칭하여 상기 제1 내지 제3 마스킹부들을 생성하는 단계를 더 포함하는 마스크 조립체 제조 방법.