KR20190082980A - Apparatus and method for edge processing of a substrate sheet - Google Patents
Apparatus and method for edge processing of a substrate sheet Download PDFInfo
- Publication number
- KR20190082980A KR20190082980A KR1020197018851A KR20197018851A KR20190082980A KR 20190082980 A KR20190082980 A KR 20190082980A KR 1020197018851 A KR1020197018851 A KR 1020197018851A KR 20197018851 A KR20197018851 A KR 20197018851A KR 20190082980 A KR20190082980 A KR 20190082980A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- edge
- tubular member
- wall segment
- shroud
- finishing member
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B9/00—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor
- B24B9/02—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground
- B24B9/06—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
- B24B9/08—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain of glass
- B24B9/10—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain of glass of plate glass
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B55/00—Safety devices for grinding or polishing machines; Accessories fitted to grinding or polishing machines for keeping tools or parts of the machine in good working condition
- B24B55/02—Equipment for cooling the grinding surfaces, e.g. devices for feeding coolant
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B55/00—Safety devices for grinding or polishing machines; Accessories fitted to grinding or polishing machines for keeping tools or parts of the machine in good working condition
- B24B55/06—Dust extraction equipment on grinding or polishing machines
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
기판 시트의 에지 프로세싱 장치이다. 상기 장치는 피니싱 부재, 슈라우드, 및 튜브형 부재를 포함한다. 상기 피니싱 부재는 상기 슈라우드의 챔버 내에서 회전 가능하도록 유지된다. 슈라우드는 슬롯의 일부분을 정의하는 주 에지에서 종료되는 월 세그먼트를 포함한다. 상기 슬롯은 상기 피니싱 부재와 상기 에지의 인터페이스를 용이하게 하며, 유리 시트의 에지를 슬라이딩 가능하게 수취하도록 구성된다. 상기 월 세그먼트는 상기 주 에지 내의 개구부에서 종료되는 노즐 통로를 더욱 정의한다. 상기 튜브형 부재는 상기 주 에지로부터 돌출하고 상기 노즐 통로와 유체 연통되는 통로를 정의한다. 상기 노즐 통로로 이송되는 냉각재는 진공 유도된 크로스-흐름의 존재 하에서도 상기 튜브형 부재를 경유하여 상기 피니싱 부재 상으로 주입된다. 일부 실시예들에서, 상기 튜브형 부재의 공간적 배열은 조절 가능하다. An edge processing apparatus for a substrate sheet. The apparatus includes a finishing member, a shroud, and a tubular member. The finishing member is rotatably held in the chamber of the shroud. The shroud includes a month segment that ends at the primary edge that defines a portion of the slot. The slot facilitates the interface between the finishing member and the edge and is configured to slidably receive an edge of the glass sheet. The wall segment further defines a nozzle passage terminating in an opening in the primary edge. The tubular member defines a passage that protrudes from the main edge and is in fluid communication with the nozzle passage. The coolant conveyed to the nozzle passage is injected onto the finishing member via the tubular member even in the presence of a vacuum induced cross-flow. In some embodiments, the spatial arrangement of the tubular members is adjustable.
Description
본 출원은 2016년 11월 29일 출원된 미국 임시 출원 번호 제62/427,293호의 우선권의 이익을 청구하며, 이 문헌의 내용이 그 전체로서 인용되며 참조문헌으로 여기 병합된다.This application claims the benefit of US provisional application No. 62 / 427,293, filed November 29, 2016, the content of which is incorporated herein by reference in its entirety.
본 개시는 일반적으로 기판 시트의 에지 프로세싱을 위한 장치들 및 방법들에 관한 것이다. 더욱 구체적으로, 이는 유리 시트의 에지와 같이 기판의 에지를 그라인딩하거나 폴리싱하기 위한 장치들 및 방법들을 사용한 액체 냉각재의 이송과 관련된다. The present disclosure generally relates to apparatus and methods for edge processing of a substrate sheet. More specifically, it relates to the transport of liquid coolant using devices and methods for grinding or polishing the edge of a substrate, such as the edge of a glass sheet.
플랫 패널 디스플레이들 내에서 사용되는 것들과 같은 고품질 표면 피니싱을 요구하는 유리 시트들을 프로세싱하는 것은 일반적으로 요구되는 형상으로 유리 시트를 컷팅하는 단계와, 이후 임의의 날카로운 코너들을 제거하기 위하여 컷팅된 유리 시트의 에지들을 그라인딩 및/또는 폴리싱하는 단계와 관련된다. 그라인딩 또는 폴리싱 단계들은 예를 들어 적어도 피니싱 부재(예를 들어 그라인딩 휠, 폴리싱 휠, 등과 같은 연마성 휠)를 포함하는 피니싱 장치 또는 기계에 의해 수행될 수 있다. 이러한 많은 기계들에 의해, 피니싱 부재는 구동되고(예를 들어, 회전되고), 유리 시트는 에지가 구동되는 피니싱 부재와 접촉하도록 하기 위하여 연속적으로 이송된다. 에지는 접촉의 지점에서 가공된다. 일부 피니싱 장치들은 외측 주변 상에 그루브를 구비하는 그라인딩 휠 또는 폴리싱 휠과 같은, 에지의 반대되는 코너들을 동시에 가공하는 피니싱 부재를 사용한다. Processing glass sheets requiring high quality surface finishing, such as those used in flat panel displays, generally involves cutting the glass sheet into the desired shape, and then cutting the cut glass sheet to remove any sharp corners 0.0 > and / or < / RTI > The grinding or polishing steps may be performed, for example, by a finishing device or machine including at least a finishing member (e.g., an abrasive wheel such as a grinding wheel, a polishing wheel, etc.). With many such machines, the finishing member is driven (e. G., Rotated) and the glass sheet is continuously conveyed to bring the edge into contact with the driven finishing member. The edge is machined at the point of contact. Some finishing devices use a finishing member that simultaneously processes the opposite corners of the edge, such as a grinding wheel or polishing wheel with grooves on the outer periphery.
높은 프로세싱 속도들 및 관련된 물질들에 기인하여 유리 시트-피니싱 부재의 인터페이스에서 과도한 열이 생성된다. 따라서, 많은 유리 에지 피니싱 기계들은 일반적으로 유리 시트와 피니싱 부재 사이의 접촉 지점의 영역을 향해 냉각재의 흐름을 지향하도록 설계된 냉각재 시스템을 통합한다. 냉각재는 종종 액체(예를 들어, 물)이며, 유리 시트-피니싱 부재 인터페이스의 영역을 향해 스프레이되거나 주입된다.Excessive heat is generated at the interface of the glass sheet-finishing member due to high processing speeds and associated materials. Thus, many glass edge finishing machines incorporate a coolant system designed to direct the flow of coolant generally toward the area of the point of contact between the glass sheet and the finishing member. The coolant is often liquid (e.g., water) and is sprayed or injected toward the area of the glass sheet-finishing member interface.
피니싱 부재와 유리 시트의 필수적인 냉각을 제공하는 것에 더하여, 이송된 냉각재는 유리하게는 에지 피니싱 프로세스 동안에 생성되는 입자들(예를 들어, 유리 부스러기들)을 씻어내도록 작용한다. 냉각재(입자들의 제거에 뒤따르는)를 재사용하기 위하여 뿐만 아니라 주변 환경의 오염을 방지하기 위하여 입자-가득한 냉각재의 가능한 많은 양을 수집하는 것이 요구된다. 그럼으로써, 많은 유리 에지 피니싱 기계들은 피니싱 부재를 슈라우드 또는 하우징 내부에 위치시킨다. 진공 소스는 슈라우드의 내부와 유체 연통되며 입자-가득한 냉각재를 적극적으로 제거한다. 참고점으로서, 슈라우드는 통상적으로 기대되는 유리 시트-피니싱 부재 인터페이스에 대한 근접부 내에서 월 또는 다른 인클로저 피쳐를 제공하도록 구성된다. 따라서, 냉각재 공급 라인들은 일반적으로 슈라우드 구조물 자체 내에서 형성되고, 슈라우드 월 내의 출구 오리피스 또는 노즐에서 종료되고, 일반적으로 기대되는 유리 시트-피니싱 부재 인터페이스를 향해 지향된다. 일반적인 구동 압력들에서, 냉각재는 제트 흐름으로서 슈라우드 오리피스 또는 노즐을 나온다. 적절히 용인되기는 하나, 슈라우드 또는 진공의 사용은 냉각재의 최적의 이송을 방해할 수 있다. 슈라우드-생성된 출구 오리피스(들)은 피니싱 부재에 대한 공간 내에서 효율적으로 고정되는 한편, 유리 시트-피니싱 부재 인터페이스에 상대적으로 가깝게, 출구 오리피스들은 선택적인 주입 방향을 제공하지 못할 수 있다. 또한, 에어의 진공-유도된, 고속 크로스-흐름은 발휘된 드래그 힘을 통해 냉각재 제트를 교란하거나 오-지향할 수 있다.In addition to providing the requisite cooling of the finishing member and the glass sheet, the transferred coolant advantageously serves to flush particles (e.g., glass debris) produced during the edge finishing process. It is required to collect as much of the particle-filled coolant as possible in order to reuse the coolant (following removal of the particles) as well as to prevent contamination of the surrounding environment. Thereby, many glass edge finishing machines place the finishing member inside the shroud or housing. The vacuum source is in fluid communication with the interior of the shroud and actively removes particle-filled coolant. As a reference, a shroud is typically configured to provide a wall or other enclosure feature within the proximity to the expected glass sheet-finishing member interface. Thus, the coolant supply lines are generally formed within the shroud structure itself, terminated at the exit orifice or nozzle within the shroud wall, and directed toward the generally expected glass sheet-finishing member interface. At normal drive pressures, the coolant exits the shroud orifice or nozzle as a jet flow. Although appropriately tolerated, the use of a shroud or vacuum can interfere with optimal delivery of the coolant. The shroud-generated exit orifice (s) are effectively fixed within the space for the finishing member, while the exit orifices relatively close to the glass sheet-finishing member interface may not provide a selective injection direction. In addition, the vacuum-induced, high-speed cross-flow of air can disturb or o-direct the coolant jet through the exerted drag force.
따라서, 이송되는 냉각재와 결합하여 유리 시트의 에지를 피니싱하기 위한 대안의 장치들 및 방법들이 여기에 개시된다. Accordingly, alternative devices and methods for finishing the edge of the glass sheet in combination with the conveyed coolant are disclosed herein.
여기에 설명된 태양들은 앞서 설명된 문제점들의 일부를 해결하고자 한다.The aspects described herein are intended to solve some of the problems described above.
본 개시의 일부 실시예들은 유리 시트의 에지 프로세싱 장치에 관한 것이다. 상기 장치는 피니싱 부재, 슈라우드, 및 튜브형 부재를 포함한다. 상기 피니싱 부재는 유리 시트의 에지를 프로세싱하기 위하여 구성되고 슈라우드의 챔버 내에서 회전 가능하도록 유지된다. 슈라우드는 제1 주 에지(major edge)에서 종료되는 제1 월 세그먼트와 제2 주 에지에서 종료되는 제2 월 세그먼트를 포함한다. 주 에지들은 서로 반대되며 상기 챔버에 열린 슬롯의 적어도 일부분을 정의하도록 결합된다. 상기 슬롯은 상기 피니싱 부재와 상기 에지의 인터페이스를 용이하게 하며, 유리 시트의 에지를 슬라이딩 가능하게 수취하도록 구성된다. 상기 제1 월 세그먼트가 유체를 이송하기 위한 노즐 통로(passageway)를 더욱 정의한다. 상기 노즐 통로는 상기 제1 주 에지 내의 개구부에서 종료된다. 최종적으로, 상기 튜브형 부재는 상기 제1 주 에지로부터 돌출하고 상기 노즐 통로와 유체 연통되는 통로를 정의한다. 이러한 구성에 의해, 노즐 통로에 이송되는 냉각 유체가 진공 유도되는 크로스-흐름의 존재 하에서도 상기 튜브형 부재를 통해 상기 피니싱 부재 상으로 정밀하게 주입된다. 일부 실시예들에서, 상기 튜브형 부재는 상기 제1 주 에지에 반대되는 디스펜싱 엔드에서 종료된다. 일부 실시예들에서, 상기 피니싱 부재와 상기 디스펜싱 엔드 사이의 거리는 상기 피니싱 부재와 상기 제1 주 에지 사이의 거리보다 더 작다. 다른 실시예들에서, 제1 주 에지에 대한 튜브형 부재의 공간적 배열은 조절 가능하다. 또 다른 실시예들에서, 하나 이상의 추가적인 노즐 통로가 월 세그먼트들 중 하나 또는 모두 내에 정의되고, 하나 이상의 추가적인 튜브형 부재들이 추가적인 노즐 통로들 중 개별적인 것들과 연관된다.Some embodiments of the present disclosure relate to an edge processing apparatus for a glass sheet. The apparatus includes a finishing member, a shroud, and a tubular member. The finishing member is configured to process the edge of the glass sheet and is held rotatable within the chamber of the shroud. The shroud includes a first month segment ending at a first major edge and a second month segment ending at a second main edge. The primary edges are opposed to each other and are coupled to define at least a portion of the open slot in the chamber. The slot facilitates the interface between the finishing member and the edge and is configured to slidably receive an edge of the glass sheet. The first wall segment further defines a nozzle passageway for transporting the fluid. The nozzle passage terminates at an opening in the first main edge. Finally, the tubular member defines a passage that protrudes from the first major edge and is in fluid communication with the nozzle passage. With this arrangement, even in the presence of the cross-flow in which the cooling fluid conveyed to the nozzle passage is vacuum-induced, it is precisely injected onto the finishing member through the tubular member. In some embodiments, the tubular member is terminated at a dispensing end opposite the first major edge. In some embodiments, the distance between the finishing member and the dispensing end is less than the distance between the finishing member and the first major edge. In other embodiments, the spatial arrangement of the tubular member relative to the first major edge is adjustable. In still other embodiments, one or more additional nozzle passages are defined within one or all of the wall segments, and one or more additional tubular members are associated with the individual ones of the additional nozzle passages.
본 개시의 또 다른 실시예들은 유리 시트의 에지를 프로세싱하기 위한 장치와 관련된다. 상기 장치는 피니싱 부재, 슈라우드, 및 튜브형 부재를 포함한다. 상기 피니싱 부재는 유리 시트의 에지를 프로세싱하기 위하여 구성되고 상기 슈라우드의 챔버 내에서 회전 가능하도록 유지된다. 상기 슈라우드는 상기 챔버에 열리는 슬롯의 적어도 일부분을 정의하는 주 에지에서 종료되는 월 세그먼트를 포함한다. 상기 슬롯은 상기 피니싱 부재와 상기 에지의 인터페이스를 용이하게 하며, 유리 시트의 에지를 슬라이딩 가능하게 수취하도록 구성된다. 상기 월 세그먼트가 유체를 이송하기 위한 노즐 통로를 더욱 정의한다. 상기 노즐 통로는 상기 주 에지 내의 개구부에서 종료된다. 상기 튜브형 부재는 상기 월 세그먼트에 제거 가능하게 조립되고, 상기 주 에지로부터 돌출한다. 상기 튜브형 부재는 상기 노즐 통로와 유체 연통되는 통로를 정의한다. 일부 실시예들에서, 상기 튜브형 부재는 나사산 인터페이스 또는 프레스 핏 인터페이스에 의해 상기 월 세그먼트에 제거 가능하게 조립된다. Still other embodiments of the present disclosure relate to an apparatus for processing an edge of a glass sheet. The apparatus includes a finishing member, a shroud, and a tubular member. The finishing member is configured for processing the edge of the glass sheet and is rotatably held within the chamber of the shroud. The shroud includes a wall segment that terminates at a major edge defining at least a portion of a slot opening into the chamber. The slot facilitates the interface between the finishing member and the edge and is configured to slidably receive an edge of the glass sheet. The wall segment further defines a nozzle passage for transporting the fluid. The nozzle passage terminates at an opening in the main edge. The tubular member is removably assembled to the wall segment and projects from the main edge. The tubular member defines a passage in fluid communication with the nozzle passage. In some embodiments, the tubular member is removably assembled to the wall segment by a threaded interface or press fit interface.
본 개시의 또 다른 실시예는 유리 시트의 에지 프로세싱 방법과 관련된다. 상기 방법은 상기 유리 시트의 상기 에지를 프로세싱 장치의 슈라우드 내의 슬롯을 통해 상기 슈라우드의 챔버 내로 지향하는 단계를 포함한다. 상기 슬롯은 상기 슈라우드의 월 세그먼트의 주 에지에 의해 적어도 부분적으로 정의된다. 상기 유리 시트의 에지는 상기 챔버 내에 배치되는 피니싱 부재에 의해 프로세싱된다. 상기 프로세싱 단계 동안에, 상기 유리 시트의 상기 에지와 상기 피니싱 부재 사이의 인터페이스 상으로 상기 주 에지로부터 돌출하는 튜브형 부재를 경유하여 냉각 유체의 흐름이 지향된다. 이러한 관점에서, 상기 튜브형 부재는 상기 월 세그먼트 내에 정의되는 노즐 통로와 유체 연통되는 중앙 통로를 정의한다. 본 개시의 방법들에 의해, 상기 튜브형 부재는 상기 인터페이스 상으로 상기 냉각 유체를 일정하게 및 유리하게 지향한다. 일부 실시예들에서, 본 개시의 방법들은 예를 들어 상기 피니싱 부재의 마모를 해결하기 위하여 상기 주 에지에 대하여, 그리고 따라서 상기 피니싱 부재에 대하여상기 튜브형 부재의 배열을 조정하는 단계를 더 포함한다. Another embodiment of the present disclosure relates to a method of edge processing of a glass sheet. The method includes directing the edge of the glass sheet through a slot in a shroud of a processing apparatus into a chamber of the shroud. The slot is at least partially defined by the main edge of the wall segment of the shroud. The edge of the glass sheet is processed by a finishing member disposed in the chamber. During the processing step, the flow of cooling fluid is directed via a tubular member projecting from the main edge onto the interface between the edge of the glass sheet and the finishing member. In this regard, the tubular member defines a central passageway in fluid communication with the nozzle passageway defined within the wall segment. By the methods of the present disclosure, the tubular member constantly and advantageously directs the cooling fluid onto the interface. In some embodiments, the methods of the present disclosure further comprise adjusting the arrangement of the tubular member with respect to the primary edge, and thus with respect to the finishing member, for example to resolve wear of the finishing member.
추가적인 특징들 및 이점들이 뒤따르는 상세한 설명에서 제시될 것이며, 부분적으로는 상세한 설명으로부터 해당 기술의 당업자들에게 즉각적으로 명백해지거나 첨부한 도면들뿐만 아니라 뒤따르는 상세한 설명, 청구항들을 포함하여 여기에서 설명되는 실시예들을 실행함에 의해 인식될 것이다.Additional features and advantages will be set forth in the detailed description which follows, and in part will be readily apparent to those skilled in the art from this detailed description, or may be learned from the following description, including the accompanying drawings, Will be recognized by practicing the embodiments.
전술한 일반적인 설명 및 뒤따르는 상세한 설명은 모두 다양한 실시예들을 설명하며, 이들이 청구화되는 기술적 특징의 속성 및 특성을 이해하기 위한 개요 또는 윤곽을 제공하기 위하여 의도되는 것임이 이해되어야 할 것이다. 첨부하는 도면들은 더 나아간 이해를 제공하기 위하여 포함되며, 본 명세서의 일부분 내에서 병합되고 일부분을 구성한다. 도면들은 여기 설명된 다양한 실시예들을 도시하며, 상세한 설명과 함께 청구화된 기술적 특징의 원리들 및 동작을 설명하도록 역할을 한다.It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description are exemplary and explanatory and are intended to provide an overview or framework for understanding the nature and characteristics of the claimed technical features. The accompanying drawings are included to provide a further understanding, and are incorporated in and constitute a part of this specification. The drawings illustrate various embodiments described herein and serve to explain the principles and operation of claimed technical features in conjunction with the detailed description.
도 1은 본 개시의 본 개시의 원리들에 따른 에지 프로세싱 장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 장치의 일부분의 단순화된 단면도이다.
도 3은 슈라우드 월 세그먼트들 및 튜브형 부재들을 포함하는 도 1의 장치의 일부분들의 확대된 사시도이다.
도 4a는 도 3의 슈라우드 월 세그먼트들의 확대된 사시도이다.
도 4b는 도 3의 튜브형 부재들이 제거된, 도 1의 장치의 일부분의 상부 평면도이다.
도 5는 도 3의 원 세그먼트 및 튜브형 부재의 확대된, 단순화된 단면도이다.
도 6은 본 개시의 원리들에 따른, 도 5의 월 세그먼트에 조립된 대안적 튜브형 부재의 확대된, 단순화된 단면도이다.
도 7은 도 1의 장치의 일부분의 단순화된 상부 평면도이다.
도 8a 및 도 8b는 튜브형 부재 유무에 따른 냉각재 이송 흐름 패턴들을 도시하는 도 1의 장치의 일부분의 확대된, 단순화된 단면도들이다.
도 9a는 일부분들이 블록 형태로 도시된, 본 개시의 원리들에 따른 다른 에지 처리 장치의 일부분의 확대된, 단순화된 단면도이다.
도 9b는 장치의 튜브형 부재 성분이 도 9a의 배열과는 다른 대안적 배열을 도시하는 도 9a의 장치의 확대된, 단순화된 단면도이다.
도 9c는 장치의 튜브형 부재 성분이 도 9a 및 도 9b의 배열들과는 다른 대안적 배열을 도시하는 도 9a의 장치의 확대된, 단순화된 단면도이다.
도 10은 유리 시트의 프로세싱 단계에서 도 1의 장치를 사용하는 유리 에지 프로세싱 시스템의 일부분의 단순화된, 상부 평면도이다.
도 11은 상기 장치에 의해 프로세싱되는 유리 시트의 에지를 포함하는, 도 10의 시스템의 일부분의 확대된, 단순화된 단면도이다.1 is a perspective view of an edge processing apparatus in accordance with the principles of the present disclosure;
Figure 2 is a simplified cross-sectional view of a portion of the apparatus of Figure 1;
Figure 3 is an enlarged perspective view of portions of the apparatus of Figure 1 including shroud wall segments and tubular members.
Figure 4a is an enlarged perspective view of the shroud wall segments of Figure 3;
Figure 4b is a top plan view of a portion of the apparatus of Figure 1 with the tubular members of Figure 3 removed.
Figure 5 is an enlarged, simplified cross-sectional view of the circular segment and tubular member of Figure 3;
Figure 6 is an enlarged, simplified cross-sectional view of an alternative tubular member assembled in the wall segment of Figure 5, in accordance with the principles of the present disclosure.
Figure 7 is a simplified top plan view of a portion of the apparatus of Figure 1;
8A and 8B are enlarged, simplified cross-sectional views of a portion of the apparatus of FIG. 1 showing coolant transfer flow patterns with and without a tubular member.
9A is an enlarged, simplified cross-sectional view of a portion of another edge processing apparatus in accordance with the principles of the present disclosure, wherein portions are shown in block form.
FIG. 9B is an enlarged, simplified cross-sectional view of the apparatus of FIG. 9A showing the alternative arrangement of the tubular member component of the apparatus from that of FIG. 9A.
9C is an enlarged, simplified cross-sectional view of the device of Fig. 9A showing the alternative arrangement of the tubular member components of the device to the arrangements of Figs. 9A and 9B.
Figure 10 is a simplified top plan view of a portion of a glass edge processing system using the apparatus of Figure 1 in the processing stage of a glass sheet.
11 is an enlarged, simplified cross-sectional view of a portion of the system of FIG. 10, including an edge of a glass sheet being processed by the apparatus.
유리 시트의 에지와 같은 기판 에지 프로세싱을 위한 장치들 및 방법들의 다양한 실시예들에 대한 참조가 이제 상세하게 이루어질 것이다. 가능하다면, 도면들을 통들어 동일한 참조 부호들이 동일하거나 유사한 부분들을 인용하도록 사용될 것이다. Reference will now be made in detail to various embodiments of apparatus and methods for substrate edge processing, such as the edge of a glass sheet. Wherever possible, the same reference numbers will be used throughout the drawings to refer to the same or like parts.
유리 시트의 에지 프로세싱을 위한, 본 개시의 원리들에 따른 장치(10)의 일 실시예가 도 1에 도시된다. 장치(10)가 유리 시트의 일 에지를 그라인드 또는 폴리싱하는 데 사용되는 것으로서 여기에 도시되었으나, 장치(10)(본 개시의 다른 실시예의 장치들뿐만 아니라)은 또한 폴리머들(예를 들어, plexi-glassTM), 금속들, 또는 다른 기판 시트들과 같은 다른 유형의 물질들을 프로세싱하는데 사용될 수 있다는 점이 이해되어야 한다. 따라서, 본 개시의 장치(10)는 제한된 방식으로 해석되어서는 안된다.One embodiment of an
장치(10)는 피니싱 부재(12) 및 슈라우드(14)를 포함한다. 참조점으로서, 도 1에 도시된 슈라우드(14)의 일부분은 슈라우드(14) 내에 배치되는 성분들(피니싱 부재(12)와 같은)을 도시하기 위하여 부분적으로 투명한 것으로 묘사된다. 일반적인 용어들에서, 피니싱 부재(12)는 슈라우드(14)에 의해 정의되는 챔버(16)(일반적으로 인용되는) 내에서 회전 가능하도록 유지되고, 유리 시트의 에지를 프로세싱하기 위하여(예를 들어, 그라인딩 또는 폴리싱) 구성된다. 추가적으로, 아래에서 더욱 상세하게 논의되는 것과 같이, 장치(10)는 피니싱 부재의 표면 상으로 또는 표면을 향해 냉각재를 이송하기 위한 하나 이상의 튜브형 부재(도시되지 않음)를 포함하는 냉각재 이송 시스템을 채용한다. 이러한 관점에서, 장치(10)는 압축된 냉각재의 소스(도시되지 않음)과 유체 연통될 수 있는 하나 이상의 인렛 포트들(18)을 포함할 수 있다.The
피니싱 부재(12)는 다양한 형태들을 가정할 수 있고, 일부 실시예들에서 이는 유리 시트의 에지를 가공하기 위하여 당업자에게 적합한 것으로 알려진 타입의 연마 휠(예를 들어, 그라인딩 휠, 폴리싱 휠 등)이다. 비제한적인 예시의 방법으로서, 피니싱 부재(12)는 연마성 입자들 또는 연마성 매질과 함께 내장되거나 이를 나르는 접착된 휠일 수 있다. 일부 실시예들에서, 피니싱 부재(12)는 그 외측 주변에서 요구되는 프로파일의 하나 이상의 그루브들을 형성할 수 있다. 피니싱 부재(12)는 슈라우드(14)에 장착되거나, 이에 대하여 지지되는 모터(20)에 의해 구동될(예를 들어, 회전될) 수 있다.The finishing
슈라우드(14)는 다양한 포맷들을 가정할 수 있고, 일부 실시예들에서 챔버(16)를 정의하도록 결합되는 커버(30) 및 베이스(32)를 포함할 수 있다. 이러한 선택적 구성에 의하여, 챔버(16)에 선택적인 접근을 제공하기 위하여 커버(30)는 힌지(34)에 의해서와 같이 베이스(32)에 회전 가능하도록(pivotably) 장착될 수 있다(예를 들어, 도 1은 커버(30)가 베이스(32)에 대하여 폐쇄된 위치인 것을 반영하며, 챔버(16)에 대한 접근이 요구될 때 베이스(32)로부터 선택적으로 멀리 회전될 수 있다). 일부 실시예들에서, 슈라우드(14)는 3개 또는 이상의 성분들에 의해 정의될 수 있고; 다른 실시예들에서, 슈라우드(14)는 균질한 또는 모노리식 구성을 가질 수 있다. 이와 무관하게, 슈라우드(14)는 일부 실시예들에서 배기 통로(38)(일반적으로 인용되는)를 정의하는 배기 덕트(36)를 더욱 포함하거나 제공할 수 있다. 배기 통로(38)는 챔버(16)와 유체 연통된다. 더욱이, 배기 덕트(36)는 진공 소스(도시되지 않음)와의 유체 연결을 위하여 구성되고, 이들의 구동은 배기 통로(38)를 통한 챔버(16) 내에서의 음압 또는 진공을 형성한다. 대안적으로, 슈라우드(14)는 챔버(16)로부터 유체를 배기하기 위한 다른 구조물들 또는 피쳐들을 통합할 수 있다.The
실제의 구성 및 도 1에 의해 반영되는 것과는 무관하게, 슈라우드(14)의 풋프린트 형상은 적어도 X-Y 면(도 1에서 지정되는 X, Y, Z 좌표 시스템에 의해 정의되는 바와 같이)에서 피니싱 부재(12)의 외주 형상을 모사(mimic)할 수 있다. 따라서, 일부 실시예들에서, 슈라우드(14)는 일반적으로 원형 피니싱 부재(12)와 상대적으로 가깝게 대응되는 X-Y 면에서의 원형 형상을 갖는다. 다른 형상들 또한 구상될 수 있다.Regardless of the actual configuration and what is reflected by FIG. 1, the footprint shape of the
도 2의 상당히 단순화된 개략도에서 도시된 바와 같이, 슈라우드(14)는 챔버(16)에 대하여 열린 슬롯(40)을 형성한다. 추가적인 이해의 목적으로서, 슬롯(40)의 일반적인 위치가 도 1에 또한 식별된다. 슬롯(40)은 일반적으로 유리 시트(도시되지 않음)의 에지를 슬라이딩 가능하게 수취하도록 구성되고, 이에 의해 에지가 챔버(156)로 들어가고 피니싱 부재(12)와 접하는 것을 가능하게 한다. 배기 통로(38)는 도 2에 또한 일반적으로 표시된다. The
슬롯(40)은 다양한 방식으로 슈라우드(14)에 의해 형성될 수 있다. 일부 실시예들에서, 슈라우드(14)는 슬롯(40)의 적어도 일부분의 주변을 형성하기 위하여 결합되는 제1 및 제2 월 세그먼트들(50, 52)을 포함하거나 정의하는 것으로 보여질 수 있다. 제1 및 제2 월 세그먼트들(50, 52)은 다른 형태들로 제공될 수 있고, 예를 들어 제1 월 세그먼트(50)가 커버(30)(도 1)의 일부분이거나 이에 부착될 수 있고, 제2 월 세그먼트(52)가 베이스(32)(도 1)의 일부분이거나 이에 부착될 수 있다. 다른 실시예들에서, 제1 및 제2 월 세그먼트들(50, 52)은 단일한, 균질의 구조물의 일부분으로서 일체로 형성될(integrally formed) 수 있다. 이와 무관하게, 제1 월 세그먼트(50)는 제1 주 에지(60)에서 종료된다. 제2 월 세그먼트(52)는 제2 주 에지(62)에서 종료된다. 월 세그먼트들(50, 52)은 제1 주 에지(60)가 제2 주 에지(62)에 반대되고 이로부터 이격되도록 배열되고, 주 에지들(60, 62) 각각이 슬롯(40)의 주변의 적어도 일부분을 정의하도록 배열된다. 일부 실시예들에서, 주 에지들(60, 62) 중 하나 또는 모두는 대응되는 월 세그먼트(50, 52)(예를 들어, 도 3을 보라)의 잔류부에 대하여 Y-Z 면에서 챔퍼(chamfer)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 월 세그먼트(50)는 외부 면(70) 및 내부 면(72)을 정의하는 것으로 보일 수 있다. 제1 주 에지(60)는 외부 및 내부 면들(70, 72)과 인접한 전이 에지를 표현하고, 면들(70, 72) 모두와 수직이 아닌 각도를 형성한다. 슬롯(40)의 중앙면(P)에 대하여, 선택적인 챔퍼링된 배열은 제1 주 에지(60)가 중앙면(P)에 대하여 수직이 아니고 평행이 아닌 것으로서 묘사될 수 있다. 대안적으로 또는 추가적으로, 선택적인 챔퍼링된 배열은 제1 주 에지(60)가 외부 면(70)으로부터 내부면(72)까지의 연장부에서 중앙면(P)으로부터 멀리 돌출하는 것으로서 묘사될 수 있다. 제2 주 에지(62)는 제2 월 세그먼트(52)의 대응되는 외부 및 내부 면들 사이의 연장부에서 유사하거나 동일한 챔퍼링된 구성을 가질 수 있다. 최종적으로, 아래에서 명백해지는 이유들에 의하여, 하나 이상의 튜브형 부재들(80)(일반적으로 인용되는)이 장치(10)에 제공되고, 제1 및 제2 주 에지들(60, 62) 중 하나 또는 모두로부터 돌출한다.The
슈라우드 월 세그먼트들(50, 52)이 튜브형 부재(들)(80)(일반적으로 인용되는)과 함께 슈라우드(14)의 잔류부로부터 이격된 것이 도 3에 더욱 상세하게 도시된다. 월 세그먼트들(50, 52) 중 하나 또는 모두는 적어도 하나의 노즐 통로를 정의한다. 예를 들어, 도 3의 비한정적인 실시예에서, 제1 월 세그먼트(50)는 제1, 제2, 및 제3 노즐 통로들(90a, 90b, 90c)을 각각 정의하고, 제2 월 세그먼트(52)는 제1, 제2, 및 제3 노즐 통로들(92a, 92b, 92c)을 각각 정의한다. 더 많거나 더 적은 임의의 다른 개수의 노즐 통로들이 동등하게 수용 가능하다(예를 들어, 제1 월 세그먼트(50)는 하나 이상의 노즐 통로들을 제공할 수 있고, 제2 월 세그먼트(50)는 어떠한 노즐 통로들도 없을 수 있고, 또는 그 반대일 수 있다). 다시 말하면, 본 개시는 월 세그먼트들(50, 52) 각각 내의 3개의 노즐 통로들에 전혀 제한되지 않는다. 실제 제공되는 개수에 무관하게, 노즐 통로(들)(90a-90c, 92a-92c)은 각각 유체(예를 들어, 냉각재 또는 냉각액)를 전달하거나 또는 이송하기 위하여 구성되고, 대응되는 월 세그먼트(50, 52)의 주 에지들(60, 62) 내의 개구부에서 각각 종료될 수 있다. 예를 들어, 도 4a를 추가로 참조할 때(이는 이와는 달리 제거된 튜브형 부재들(80)과 별개로 월 세그먼트들(50, 52)을 도시하는), 제1 월 세그먼트(50)의 제1 노즐 통로(90a)는 제1 주 에지(60) 내의 제1 개구부(100a)에서 종료된다. 제1 개구부(100a)는 압축된 유체가 통로(90a)를 나가는(exit) 노즐과 같은 오리피스로 작용한다. 제1 개구부(100a)의 면 또는 형상은 제1 주 에지(60)의 면 또는 형상에 대응된다(예를 들어, 제1 개구부(100a)는 제1 주 에지(60)의 선택적 챔퍼링된 배열을 따르거나 모사한다). 다시 말하면, 제1 주 에지(60)는 연속적이고, 상대적으로 매끄럽거나 평탄한 표면일 수 있고, 제1 개구부(100a)는 이러한 연속적이고, 상대적으로 매끄럽거나 평탄한 표면 내로 형성된다. 그러나, 제1 월 세그먼트(50)의 선택적인 곡선형 형상에 기인하여(즉, 도 1을 참조로 위에서 설명된 것과 같이, 슈라우드(14)는 피니싱 부재(12)의 주변의 곡률을 모사할 수 있고; 제1 월 세그먼트(50)는 선택적으로 이러한 동일한 곡률을 통합한다), 제1 주 에지(60)는 X-Y 면 내에서 또한 곡선형이라는 점이 이해될 것이다.It is shown in greater detail in FIG. 3 that the
제1 월 세그먼트(50)의 제2 및 제3 노즐 통로들(90b, 90c)은 위에서 설명한 것과 같이 제1 노즐 통로(90a)와 실질적으로 동일할 수 있고, 제2 노즐 통로(90b)는 제1 주 에지(60) 내의 제2 개구부(100b)에서 종료되고 제3 노즐 통로(90c)는 제1 주 에지(60) 내의 제3 개구부(100c)에서 종료된다. 제1 월 세그먼트(50)의 노즐 통로들(90a-90c)은 서로로부터 이격된다. 제1 주 에지(60)의 X-Y 면에서의 선택적으로 곡선형인 형상에 기인하여, 일부 실시예들에서 개별적인 개구부들(100a-100c)의 중심선들(CL1-CL3), 및 이에 따라 개구부들(100a-100c) 각각에 의해 발효되는 스프레이 방향은 도 4b(튜브형 부재(80)(도 3)가 제거된 장치(10)의 일부분을 도시하는)에 의해 표현되는 바와 같이 피니싱 부재(12)의 중심에서 일반적으로 교차하도록 개구부들(100a-100c)은 X-Y 면에서 제1 주 에지(60)의 곡률을 따라 서로로부터 반경 방향으로 오프셋될 수 있다. The second and
도 3 및 도 4a를 계속 참조하면, 제2 월 세그먼트(52)의 노즐 통로들(92a-92c)은 위에서 논의한 것과 같은 제1 월 세그먼트(50)의 노즐 통로들(90a-90c)과 유사하거나 동일할 수 있다. 따라서, 제1 노즐 통로(92a)는 제2 주 에지(62) 내의 제1 개구부(102a)에서 종료할 수 있고, 제2 노즐 통로(92b)는 제2 주 에지(62) 내의 제2 개구부(102b)에서 종료할 수 있고, 제3 노즐 통로(92c)는 제2 주 에지(62) 내의 제3 개구부(102c)에서 종료할 수 있다. 월 세그먼트들(50, 52)은 X 방향으로 제2 월 세그먼트 개구부들(102a-102c)의 개별적인 것들과 제1 월 세그먼트 개구부들(100a-100c)의 개별적인 것들을 일반적으로 정렬시키도록(예를 들어, 제1 월 세그먼트(50) 내의 제1 개구부(100a)는 제2 월 세그먼트(52) 내의 제1 개구부(102a)와 X 방향으로 정렬되는 등) 최종 어셈블리 상에서 배열될 수 있다. 다른 실시예들에서, 제1 및 제2 월 세그먼트들(50, 52)의 노즐 통로들(90a-90c, 92a-92c), 및/또는 개구부(100a-100c, 102a-102c)은 형상 및/또는 위치에서 서로로부터 다를 수 있다.3 and 4A, the
도 3을 참조하면, 튜브형 부재들(80) 각각은 아래에서 더욱 상세하게 설명될 것과 같이 대응되는 노즐 통로의 연장부로서 작용한다. 튜브형 부재들(80)은, 기대되는 구동 조건들 하에서 선택되거나 요구되는 공간적 방향들을 유지하도록 튜브형 부재들(80) 각각의 물질들 및 치수들을 갖는, 구조적으로 강건한 구성을 가질 수 있다(예를 들어, 진공 유도된 크로스-흐름과 연관된 드래그 힘이 가해질 때 명백히 편향되지(deflect) 않기 위하여 튜브형 부재들(80)은 형성되고 슈라우드(14)(도 1)에 조립된다). 예를 들어, 튜브형 부재들(80)은 플라스틱, 금속(예를 들어, 황동), 경화 고무, 등으로 형성될 수 있다. Referring to Fig. 3, each of the
일부 실시예들에서, 튜브형 부재는 슈라우드(14)(도 1)와 연관된 노즐 통로 개구부들 각각을 위하여 제공된다. 따라서, 예를 들어, 제1, 제2, 및 제3 튜브형 부재들(110a, 110b, 110c) 각각이 제1 월 세그먼트(50)의 노즐 통로 개구부들(90a-90c) 각각 중 대응되는 것과 연관될 수 있고, 제1, 제2, 및 제3 튜브형 부재들(112a, 112b, 112c)은 제2 월 세그먼트(52)의 노즐 통로 개구부들(92a-92c) 각각 중 대응되는 것과 연관될 수 있다. 다른 실시예들에서, 튜브형 부재는 가능한 노즐 통로 개구부들 모두보다 더 작게 제공될 수 있다. 또 다른 실시예들에서, 본 개시의 장치들은 오직 단일한 튜브형 부재(80)를 포함할 수 있다. 각각의 월 세그먼트들(50, 52)과 함께 3개의 노즐 통로들 및 3개의 튜브형 부재들이 도시되고 설명되었지만, 본 개시의 실시예들은 더 크거나 더 작은 임의의 다른 개수를 사용할 수 있다.In some embodiments, a tubular member is provided for each of the nozzle passage openings associated with the shroud 14 (FIG. 1). Thus, for example, each of the first, second, and third
일부 실시예들에서, 도 5에 도시된 제1 튜브형 부재들(110a)에 대한 하기의 설명들이 나머지 튜브형 부재들(110b, 110c, 112a-112c)에 동일하게 적용될 수 있도록, 튜브형 부재들(110a-110c, 112a-112c)은 유사할 수 있다. 참조점으로서, 도 5는 제1 월 세그먼트(50)의 외부 및 내부 면들(70, 72)을 식별하고, 제1 노즐 통로(90a)가 외부 및 내부 면들(70, 72) 사이의 제1 월 세그먼트(50)의 두께 내에서 형성될 수 있다는 점을 도시한다. 일부 비한정적인 실시예들에서, 제1 노즐 통로(90a)의 중앙 종축(CA)은 외부 및 내부 면들(70, 72)과 평행하게 달릴 수 있다. 제1 월 세그먼트(50(또는 제2 월 세그먼트(52))가 둘 또는 그 이상의 노즐 통로들(예를 들어, 노즐 통로들(90a-90c, 92-92c)(도 3))을 제공하는 실시예들에 대하여, 대응되는 월 세그먼트 외부 및 내부 면들에 대한 대응되는 중앙 종축의 이러한 선택적인 평행 배열은 노즐 통로들 일부 또는 모두를 위하여 제공될 수 있다.In some embodiments, the following description of the first
튜브형 부재(110a)는 반대되는 인렛 및 디스펜싱 엔드들(122a, 124a)에 열린 중앙 통로(120a)를 정의하는 튜브형 몸체이다. 튜브형 부재(110a)가 제1 주 에지(60)로부터 돌출하고, 중앙 통로(120a)가 인렛 엔드(122a)를 경유하여 제1 노즐 통로(90a)와 유체 연통되도록 튜브형 부재(110a)는 제1 월 세그먼트(50)와 연관된다. 예를 들어, 인렛 엔드(122a)는 개구부(100a)(일반적으로 인용된)를 경유하여 제1 노즐 통로(90a) 내로 삽입될 수 있다(예를 들어, 튜브형 부재(110a)의 외경은 개구부(100a)의 직경과 근사하다). 대안적으로, 인렛 엔드(122a)는 제1 주 에지(60)의 면 상에서 조립될 수 있고, 중앙 통로(120a)가 개구부(100a)와 정렬될 수 있다. 제1 월 세그먼트(50)에 대한 튜브형 부재(110a)의 조립 또는 장착은 나사산 인터페이스(threaded interface), 프레스 핏(press fit), 접착 본드, 웰드 등을 포함하나, 이에 한정되지 않는 당업자에게 명백할 것과 같은 다양한 방식들로 달성될 수 있다. 관련된 실시예들에서, 본 개시의 튜브형 부재(들)(튜브형 부재(110a)와 같은)는 현존하는 유리 에지 프로세싱 장치에 조립되거나 새로 장착될(retrofit) 수 있다. 개스킷 또는 다른 실링 성분(도시되지 않음)은 제1 월 세그먼트(50)와 튜브형 부재(110a) 사이의 인터페이스에서 유체 밀착 씰을 더욱 촉진하기 위하여 선택적으로 제공될 수 있다. 또 다른 실시예들에서, 튜브형 부재(110a)는 제1 월 세그먼트(50)의 일체로 형성된 성분이다. 이와 무관하게, 튜브형 부재(110a)는 제1 주 에지(60) 내의 개구부(100a) 너머로 노즐 통로(90a)를 효율적으로 연장시키고, 노즐 통로(90)로 이송된 압축된 유체가 디스펜싱 엔드(124a)로부터 배출된다. 튜브형 부재(110a)는 일반적으로 선형 또는 직선인 것으로 도시된 한편, 다른 실시예들에서 커브형 또는 곡선 형상의 기하 구조가 제공될 수 있고, 이들의 비한정적인 예시가 도 6의 튜브형 부재(80')에 대하여 도시된다.
도 3을 다시 참조하면, 대응되는 주 에지(60)로부터의 연장부 내의 튜브형 부재들(110a-110c, 112a-112c) 각각의 치수들, 기하 구조들 및 공간 배열은 동일할 필요는 없으며, 장치(10)(도 1)의 구동 변수들에 따라 선택될 수 있다. 예를 들어, 도 7의 단순화된 상부 단면도는 피니싱 부재(12)에 대하여 제1 월 세그먼트(50)의 제1 주 에지(60)로부터 돌출하는 튜브형 부재들(110a-110c)의 비한정적인 예시를 도시한다. 도시된 것과 같이, 제1 및 제3 튜브형 부재들(110a, 110c)의 길이 및 각도 방향은 제2 튜브형 부재(110b)의 그것과는 다르다. 이러한 하나의 배열에 대하여, 튜브형 부재들(110a-110c)에 의해 구축되는 개별적인 흐름 경로들(Q1-Q3)의 대략의 교차점은 피니싱 부재(12)의 외주 또는 주변에 위치하며, 이는 피니싱 동작에서의 유리 시트(도시되지 않음)의 에지와 피니싱 부재(12) 사이의 기대되는 접촉 지점에서 포커스된 냉각을 유발한다. 비교의 방법으로서, 도 4b를 상호 참조할 때(도 4b는 튜브형 부재들이 제거된 장치(10)의 일부분을 도시한다는 점을 다시 언급한다), 튜브형 부재들(110a-110c)의 부재로, 개구부들(100a-100c) 각각을 나타는 냉각재 흐름이 구별된 위치들에서 피니싱 부재(12)의 외주 또는 주변과 인터페이스할 것이고, 피니싱 부재(12) 및 유리 시트 사이의 기대되는 접촉 지점의 덜 효율적인 냉각을 유발한다. 튜브형 부재들(110a-110c) 중 하나 이상의 사이즈, 형상, 및/또는 공간 배열(제1 주 에지(60)에 대한)에 의해 생성되는 흐름 경로(Q1-Q3)는 대응되는 개구부(100a-100c)의 중신선(CL1-CL3)과는 다르다. 3, the dimensions, geometries, and spatial arrangement of each of the
도 4b 및 도 7의 비교에 의해 증명되는 추가적인 이점은, 대응되는 개구부들(100a-100c)과 비교하여 튜브형 부재들(110a-110c) 각각의 디스펜싱 엔드(124a-124c)가 피니싱 부재(12)에 물리적으로 더 가깝다는 점이다. 그 결과로, 이송되거나 주입되는 냉각재의 흐름이 더 적게 교란될 가능성이 있다. 예를 들어, 도 8a는 제1 튜브형 부재(110a)(도 7)가 제거된, 피니싱 부재(12)에 대한 제1 노즐 통로(90a)를 도시한다. 제1 갭(G1)은 개구부(100a)와 피니싱 부재(12) 사이에서 선형 거리로서 정의된다. 제1 노즐 통로(90a)에 제공되는 압축된 유체 흐름(냉각재)(Q1)는 화살표들로 표현되고, 포커스된 스프레이 또는 제트로서 개구부(100a)를 최초로 나가고, 피니싱 부재(12) 및 유리 시트(도시되지 않음) 사이에서 기대되는 접촉 지점에서 지향된다. 통상의 유리 시트 에지 피니싱(예를 들어, 그라인딩 또는 폴리싱) 조건들 하에서, 피니싱 부재(12)는 에어를 동반하고(entrain) 피니싱 부재 주위로 고속 에어 배리어를 생성하며 고속으로 회전한다. 더욱이, 입자-가득한 유체를 제거하기 위하여 위에서 설명된 것과 같이 챔버(16)(일반적으로 인용되는) 외부의 대기 압력에 대한 음의 압력(예를 들어 진공)이 챔버(16) 내에 구축된다. 그 결과로, 발효되는 드래그 힘을 통해 유체 흐름 제트(Q1)를 교란시키거나 오-지향할 수 있는, 공기의 진공-유도된, 고속 크로스-흐름이 일반적으로 존재한다. 유체 흐름(Q1)은 따라서 교란되고 피니싱 부재(12)에 도달할 때 더욱 적게 포커스된다. 이러한 가능한 효과는 도 8a에 개략적으로 표현된다. 대조적으로, 도 8b는 도 8a와 동일한 배열이나, 튜브형 부재(110a)가 포함된 배열을 도시한다. 제2 갭(G2)은 디스펜싱 엔드(124a)와 피니싱 부재(12) 사이에서 구축된다. 제2 갭(G2)의 거리는 제1 갭(G1)(도 8a)보다 더 작다. 제1 노즐 통로(90a)에 제공되는 압축된 유체 흐름(Q1)은 다시 화살표들에 의해 표현되고, 피니싱 부재(12)의 근접부(그리고 따라서 피니싱 부재(12) 및 유리 시트(도시되지 않음) 사이의 기대되는 접촉 지점) 내에서 포커스된 스프레이 또는 제트로서 디스펜싱 엔드(124a)를 나간다. 튜브형 부재(110a)는 위에서 설명된 크로스-흐름 드래그로부터 유체 흐름(Q1)을 차폐한다. 가능한 피니싱 부재(12)에 가깝게 유체 흐름(Q1)을 주입함에 의해, 압축된 유체 흐름(Q1)의 속도가 유지되고, 따라서 피니싱 부재(12) 주위로 생성되는 에어 배리어를 더욱 즉각적으로 파괴하는 것이 가능하다. 그 결과로, 유체 흐름(Q1)은(도 8a의 시나리오와 비교할 때) 피니싱 부재(12)에 도달할 때 더욱 포커스된다.A further advantage attested by the comparison of Figures 4b and 7 is that the dispensing ends 124a-124c of each of the
도 3으로 돌아오면, 튜브형 부재들(110a-110c, 112a-112c)의 사이즈, 형상 또는 다른 물리적 특성들은 서로로부터 다를 수 있고, 특정한 최종 사용 어플리케이션을 위한 피니싱 부재(12)(도 1)에 대하여 대응되는 디스펜싱 엔드(예를 들어, 도 3의 제1 튜브형 부재(110a)를 위하여 표시된 디스펜싱 엔드(124a))의 요구되는 공간적 위치에 기초하여 개별적으로 선택될 수 있다. 일부 실시예들에서, 튜브형 부재들(110a-110c, 112a-112c) 중 하나, 하나 이상, 또는 모두는 대응되는 월 세그먼트(50, 52)에 방출 가능하도록(releasably) 조립된다. 이러한 구성에 의해, 기대되는 구동 조건들이 변화할 때 튜브형 부재들(110a-110c, 112a-112c) 중 일부 또는 모두가 교체될 수 있다. 예를 들어, 튜브형 부재들(110a-110c, 112a-112c) 각각의 유리한 길이는 피니싱 부재(12)의 직경 또는 사이즈(예를 들어, 시간이 지남에 따라, 피니싱 부재(12)는 마모를 겪고, 외측 직경이 감소할 수 있고; 다른 피니싱 구동들은 다르게 구성되거나 치수화된 피니싱 부재들, 등의 사용을 수반한다), 특정한 피니싱 어플리케이션을 위한 피니싱 부재(120)의 회전 속도, 피니싱 장치(10)(도 1)에 대하여 이동하는 기판의 속도, 등의 함수로서 변화할 수 있다3, the size, shape, or other physical characteristics of the
다른 실시예들에서, 본 개시의 장치들은 튜브형 부재(들)의 공간 배열을 자동으로 조절하거나 변화시키도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 도 9a는 단순화된 형태로서 본 개시의 원리들에 따른 피니싱 장치(200)의 다른 실시예의 부분들을 도시한다. 장치(200)는 위에서 설명한 장치(10)(도 1)와 고도로 유사할 수 있고, 슈라우드(202), 피니싱 부재(도시되지 않았으나, 위에서 설명된 피니싱 부재(12)(도 1)와 유사한), 적어도 하나의 튜브형 부재(204), 액츄에이터(206), 및 컨트롤러(208)를 포함한다. 일반적인 용어들에서, 튜브형 부재(204)는 슈라우드(202)의 세그먼트로부터 돌출하고, 액츄에이터(206)에 의해 공간적으로 조작되도록 구성된다. 컨트롤러(208)는 액츄에이터에 전자적으로 연결되고, 선택된 방식으로 액츄에이터(206)의 작동을 유도하도록(prompt) 구성된다(예를 들어 프로그래밍된다).In other embodiments, the devices of the present disclosure may be configured to automatically adjust or change the spatial arrangement of the tubular member (s). For example, FIG. 9A illustrates, in simplified form, portions of another embodiment of the finishing
슈라우드(202)는 슈라우드(14)(도 1)을 참조로 위에서 설명한 임의의 포맷들 또는 특징들을 가질 수 있고, 슬롯(224)(일반적으로 인용되는)의 적어도 일부분을 정의하는 주 에지(222)에서 종료하는 월 세그먼트(220)를 포함하며, 슬롯(224)을 통해 유리 시트(도시되지 않음)가 슬라이딩 가능하게 수취될 수 있다. 노즐 통로(226)는 월 세그먼트(220) 내에서 정의된다. The
튜브형 부재(204)는 주 에지(222) 내에서 개구부를 경유하여 노즐 통로(226)에 연결되고 이와 유체 연통되며, 디스펜싱 엔드(232)에 열린 중앙 통로(230)를 정의한다. 도 9a의 실시예에 의해, 주 에지(222)에 대한(그리고 따라서 피니싱 부재(도시되지 않음)에 대한) 디스펜싱 엔드(232)의 공간적 위치 또는 배열이 조절 가능하다. 일부 실시예들에서, 튜브형 부재(204)는 예를 들어 도 9a에 시사되는 텔레스코핑 구성을 통해 길이가 확장 가능하고 수축 가능하도록 구성된다. 다른 확장 가능하고 수축 가능한 구성들이 또한 풀무형(bellows) 성분, 연접식 메커니즘(articulating mechanism) 등의 방식에 의해서와 같이 구상된다. 또 다른 실시예들에서, 튜브형 부재(204) 및 월 세그먼트(220) 사이의 연결 포맷은 주 에지(222)에 대하여 튜브형 부재(204)의 선택적인 확장/수축을 허용하도록 구성될 수 있다(예를 들어, 튜브형 부재(204)가 월 세그먼트(220)에 슬라이딩 가능하게 장착될 수 있다). 이와 무관하게, 튜브형 부재(204)는 도 9a의 화살표 "L"에 의해 지시되는 방향으로 주 에지(222)에 대하여 디스펜싱 엔드(232)를 확장하거나 수축하기 위하여 연접식일 수 있다. 도 9b는 튜브형 부재(204)의 확장된 배열에서의 일 예시를 도시한다(즉, 도 9a의 배열과 비교할 때, 디스펜싱 엔드(232)가 주 에지(222)로부터 멀리 이동되었다).The
확장 및 수축을 제공하기 위하여 추가적으로 또는 대안으로서, 튜브형 부재(204) 및/또는 튜브형 부재(204)와 월 세그먼트(220) 사이의 연결 포맷은 주 에지(222)에 대한 디스펜싱 엔드(232)의 횡방향 편향(transverse deflection) 또는 연접을 허용하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 힌지 또는 피봇 연결(예를 들어, 볼 조인트)가 튜브형 부재(204) 및 월 세그먼트(220) 사이에 구축될 수 있다. 대안적으로 또는 추가적으로, 튜브형 부재(204)는 서로에 대하여 회전 가능하도록 연결되고, 유연성이 있는 등의 다수의 성분들 또는 섹션들로 구성될 수 있다. 이와 무관하게, 튜브형 부재(204)는 도 9a에서 화살표 "T"에 의해 일반적으로 지시되는 것과 같이 주 에지(222)에 대하여 임의의 횡방향으로 디스펜싱 엔드(232)를 편향시키기 위하여 연접될 수 있다. 도 9c는 횡방향 연접된 배열에서의(도 9b의 배열과 비교할 때) 튜브형 부재(204)일 예시를 도시한다.The connection format between the
도 9a로 돌아오면, 액츄에이터(206)는 주 에지(222)에 대하여 튜브형 부재(204)를 조절하기 위하여 적합한 다양한 형태들을 가정할 수 있고, 튜브형 부재(204)의 기능 및 특정한 설계의 함수로서 달라질 것이다. 예를 들어, 액츄에이터(206)는, 서보-모터의 구동이 튜브형 부재(204)의 적어도 하나의 성분을 다른 성분에 대하여 이동시키는 방식으로 튜브형 부재(204)의 하나 이상의 성분들이 기계적으로 링크된 서보-모터일 수 있거나 포함할 수 있다. 다른 액츄에이터 포맷들은 동등하게 수용 가능하다(예를 들어, 유압식에 기초한 액츄에이터, 공압식에 기초한 액츄에이터 등). 장치(200)가 복수의 튜브형 부재들(204)을 포함하는 한편, 액츄에이터들(206) 중 개별적인 하나는 튜브형 부재들(204) 각각을 위하여 제공될 수 있다. 9A, the
컨트롤러(208)는 컴퓨터 또는 컴퓨터-형 소자(예를 들어, 프로그램 가능한 로직 컨트롤러)일 수 있거나 포함할 수 있다. 컨트롤러(208)는 프로세서 및 프로세서에 통신에 의해 커플링된 메모리를 포함할 수 있다. 컴퓨터 읽기 가능한 지시 세트가 메모리 내에 저장될 수 있고, 프로세서에 의해 실행될 때 적어도 액츄에이터(206)에 지시들을 제공하고, 이에 의해 주 에지(222)에 대하여 디스펜싱 엔드(232)의 공간적 위치를 변경한다. 컨트롤러(208)는 미리 결정된 방식으로 액츄에이터(206)의 구동을 유도하도록 선택적으로 프로그래밍된다(예를 들어, 하드웨어, 소프트웨어, 전기 회로 성분들, 등). 예를 들어, 컨트롤러(208)는 피니싱 부재의 특정한 포맷(예를 들어, 사이즈, 그루브들의 개수 등)에 기초하여, 피니싱 부재의 기대되거나 감지된 마모에 기초하여, 등 미리 결정된 방식으로 튜브형 부재(204)를 확장하거나 수축하도록 액츄에이터(206)를 유도하기 위하여 프로그래밍될수 있다. 일부 실시예들에서, 컨트롤러(208)는 피니싱 부재의 구동 시간과 연관시키는 하나 이상의 알고리즘들, 및/또는 룩-업 테이블들을 구비하도록 프로그래밍될 수 있다(예를 들어, 새로운 피니싱 부재가 최초로 설치될 때, 알고리즘(들) 및/또는 룩-업 테이블(들)은 디스펜싱 엔드(232)의 최초 공간적 위치를 식별한다; 이후 피니싱 부재가 기판들의 에지들을 피니시하기 위하여 사용되는 제1 기간 이후에, 알고리즘(들) 및/또는 룩-업 테이블(들)은 제1 공간적 위치와 비교하여 주 에지(222)로부터 일반적으로 더욱 멀리 있는 디스펜싱 엔드(232)의 제2 공간적 위치를 식별한다; 피니싱 부재가 기판 에지들을 피니싱하기 위하여 더욱 사용되는 후속의 제2 기간 이후에, 알고리즘(들) 및/또는 룩-업 테이블(들)은 제2 공간적 위치에 비교하여 주 에지(222)로부터 일반적으로 더욱 멀리 있는 디스펜싱 엔드(232)의 제3 공간적 위치를 식별한다, 등). 다른 실시예들에서, 컨트롤러(208)는 사용자가 튜브형 부재(204)의 요구되는 공간적 배열을 선택할 수 있는 사용자 입력 소자를 포함하거나 구성될 수 있다. 컨트롤러(208)는 유선 또는 무선 연결에 의해 액츄에이터(206)에 전자적으로 연결될 수 있다. 일부 실시예들에서, 컨트롤러(208)는 장치(200) 및/또는 장치(200)가 설치되는 피니싱 시스템의 다른 구동들을 컨트롤하기 위하여 컨트롤러 구동할 수 있다. The
도 1로 돌아가면, 본 개시의 방법들은 유리 시트의 에지와 같은 기판의 에지를 프로세싱하기 위하여 장치(10)를 구동하는 단계를 포함한다. 일부 실시예들에서, 도 10을 추가로 참조할 때, 에지 프로세싱 장치들(10)의 하나 이상이 해당 기술에서 알려진 타입의 이송 장치(302)를 더 포함하는 에지 프로세싱 시스템(300)의 일부분으로서 제공될 수 있다. 이송 장치(302)는 유리 시트(304)(또는 다른 기판)을 에지 프로세싱 장치(10)를 향해 이송하도록 구동한다. 유리 시트(304)가 도 10에서의 화살표에 의해 표시된 방향으로 연속적으로 이송됨에 따라, 유리 시트(304)의 에지(306)가 슬롯(40)(일반적으로 인용되는)을 경유하여 슈라우드(14)로 들어간다. 일부 실시예들에서, 시스템(300)은, 장치(10)의 하류의 추가적인 에지 프로세싱 등을 위하여, 유리 시트(304)의 반대되는 에지(308)를 프로세싱하기 위한 하나 이상의 추가적인 프로세싱 장치들을 포함할 수 있다. 이와 무관하게, 도 11을 참조하면, 슈라우드(14)에 들어갈 때, 에지(306)는 그렇지 않으면 요구되는 프로세싱(예를 들어, 그라인딩 또는 폴리싱)을 달성하기 위하여 구동되는(예를 들어 회전되는) 피니싱 부재(12)와 접촉이 형성된다. 동시에, 냉각재의 흐름(Q1)(화살표에 의해 표현되는)이 노즐 통로(90a)에 이송된다. 냉각재의 흐름(Q1)은 튜브형 부재(110a)의 중앙 통로(120a)를 통해 강제되고, 이후 디스펜싱 엔드(124a)를 경유하여 피니싱 부재(12)와 에지(306) 사이의 인터페이스(310) 상으로 지향되거나 주입된다. 냉각재는 또한 제공된다면 다른 튜브형 부재들(도시되지 않음)로부터 인터페이스(310) 상으로 주입될 수 있다. 본 개시의 방법들은 위에서 설명된 것과 같이 주 에지(60)에 대하여(그리고 따라서 피니싱 부재(12)에 대하여)) 튜브형 부재(110a)의 공간적 배열을 주기적으로 조절하는 단계를 선택적으로 더 포함한다. 일부 실시예들에서, 튜브형 부재(110a)의 조절은 피니싱 부재(12)의 마모의 함수로서 자동으로 수행된다. Returning to Fig. 1, the methods of the present disclosure include driving the
청구화된 기술적 특징의 범위로부터 벗어남이 없이 여기에 설명된 실시예들에 다양한 변형과 변용들이 이루어질 수 있다. 따라서 본 개시는 이러한 변형 및 변용들이 첨부된 청구항의 권리범위 및 그의 균등물의 범위 내에 속한다면, 여기에 설명된 다양한 실시예들의 변형들 및 변용들까지 커버하는 것이 의도된다.Various modifications and alterations may be made to the embodiments described herein without departing from the scope of the claimed technical features. Accordingly, this disclosure is intended to cover modifications and variations of the various embodiments described herein, as long as such variations and modifications are within the scope of the appended claims and their equivalents.
Claims (20)
상기 기판 시트의 상기 에지를 프로세싱하기 위한 피니싱 부재(finishing member);
챔버를 정의하는 슈라우드(shroud)로서, 상기 챔버 내에서 상기 피니싱 부재가 회전 가능하도록 유지되고,
제1 주 에지(major edge)에서 종료되는(terminating) 제1 월 세그먼트(wall segment),
상기 제1 주 에지에 반대되는 제2 주 에지에서 종료되는 제2 월 세그먼트를 포함하고,
상기 제1 및 제2 주 에지들이 상기 챔버에 대하여 열리는 슬롯의 적어도 일부분을 정의하도록 결합되고, 상기 슬롯은 상기 피니싱 부재와 인터페이스하기 위하여 상기 기판 시트의 상기 에지를 슬라이딩 가능하게 수취하도록 구성되며,
상기 제1 월 세그먼트가 유체를 이송하기 위한 제1 노즐 통로(passageway)를 정의하고, 상기 제1 노즐 통로는 상기 제1 주 에지 내의 제1 개구부에서 종료되는, 상기 슈라우드; 및
상기 제1 주 에지로부터 돌출하며, 상기 제1 노즐 통로와 유체 연통되는 통로를 정의하는 제1 튜브형 부재(tubular member)를 포함하는 기판 시트의 에지 프로세싱 장치. An edge processing apparatus for a substrate sheet,
A finishing member for processing the edge of the substrate sheet;
A shroud defining a chamber in which the finishing member is rotatably held,
A first wall segment terminating at a first major edge,
And a second month segment terminating at a second major edge opposite the first major edge,
The first and second major edges being coupled to define at least a portion of a slot open to the chamber, the slot being configured to slidably receive the edge of the substrate sheet to interface with the finishing member,
The first wall segment defining a first nozzle passage for transferring fluid and the first nozzle passage terminating in a first opening in the first major edge; And
And a first tubular member projecting from the first major edge and defining a passageway in fluid communication with the first nozzle passageway.
상기 제1 튜브형 부재는 상기 제1 노즐 통로로부터 상기 피니싱 부재 상으로 냉각재(cooling agent)의 흐름을 지향하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 시트의 에지 프로세싱 장치.The method according to claim 1,
Wherein the first tubular member is configured to direct a flow of cooling agent from the first nozzle passage onto the finishing member.
상기 제1 튜브형 부재는 상기 제1 주 에지와 반대되는 디스펜싱 엔드에서 종료되고, 상기 디스펜싱 엔드와 상기 피니싱 부재 사이의 거리가 상기 제1 주 에지와 상기 피니싱 부재 사이의 거리보다 더 작은 것을 특징으로 하는 기판 시트의 에지 프로세싱 장치.The method according to claim 1,
Wherein the first tubular member is terminated at a dispensing end opposite the first major edge and a distance between the dispensing end and the finishing member is less than a distance between the first major edge and the finishing member Of the substrate sheet.
상기 제1 월 세그먼트는 반대되는 외부 및 내부 면들을 더 정의하며, 상기 제1 주 에지는 상기 외부 및 내부 면들 사이에서 연장되고 상기 외부 및 내부 면들과 인접하는(adjoin) 것을 특징으로 하는 기판 시트의 에지 프로세싱 장치.The method according to claim 1,
Wherein said first wall segment further defines opposing outer and inner surfaces, said first major edge extending between said outer and inner surfaces and adjoin said outer and inner surfaces. Edge processing device.
상기 제1 노즐 통로는 상기 외부 및 내부 면들 사이에서 상기 제1 월 세그먼트의 두께 내에서 정의되는 것을 특징으로 하는 기판 시트의 에지 프로세싱 장치.5. The method of claim 4,
Wherein the first nozzle passage is defined within the thickness of the first wall segment between the outer and inner surfaces.
상기 제1 주 에지는 상기 제1 월 세그먼트의 잔류부에 대하여 챔퍼링되는(chamfered) 것을 특징으로 하는 기판 시트의 에지 프로세싱 장치.The method according to claim 1,
Wherein the first major edge is chamfered with respect to the remaining portion of the first wall segment.
상기 제1 주 에지에 대한 상기 제1 튜브형 부재의 배열은 조절 가능한 것을 특징으로 하는 기판 시트의 에지 프로세싱 장치.The method according to claim 1,
Wherein the arrangement of the first tubular member with respect to the first major edge is adjustable.
상기 제1 튜브형 부재에 링크되고, 상기 튜브형 부재를 상기 제1 주 에지에 대하여 조절하도록 구성된 액츄에이터를 더 포함하는 기판 시트의 에지 프로세싱 장치.8. The method of claim 7,
And an actuator coupled to the first tubular member and configured to adjust the tubular member relative to the first major edge.
상기 제1 튜브형 부재는 상기 제1 월 세그먼트에 제거 가능하도록 조립된(removably assembled) 것을 특징으로 하는 기판 시트의 에지 프로세싱 장치.The method according to claim 1,
Wherein the first tubular member is removably assembled to the first wall segment. ≪ Desc / Clms Page number 17 >
유체를 이송하기 위한 제2 노즐 통로가 상기 제1 월 세그먼트 내에 정의되고, 상기 제2 노즐 통로는 상기 제1 노즐 통로와 이격되고 상기 제1 주 에지 내의 제2 개구부에서 종료되는 것을 특징으로 하며,
상기 장치는, 상기 제1 주 에지로부터 돌출하고 상기 제2 개구부와 유체 연통되는 통로를 정의하는 제2 튜브형 부재를 더 포함하는 기판 시트의 에지 프로세싱 장치.The method according to claim 1,
Characterized in that a second nozzle passage for transporting the fluid is defined in the first wall segment and the second nozzle passage is spaced from the first nozzle passage and terminating in a second opening in the first main edge,
The apparatus further comprises a second tubular member projecting from the first major edge and defining a passageway in fluid communication with the second opening.
유체를 이송하기 위한 제2 노즐 통로가 상기 제2 월 세그먼트 내에 정의되고, 상기 제2 노즐 통로는 상기 제2 주 에지 내의 제2 개구부 내에서 종료되는 것을 특징으로 하며,
상기 장치는, 상기 제2 주 에지로부터 돌출하고 상기 제2 개구부와 유체 연통되는 통로를 정의하는 제2 튜브형 부재를 더 포함하는 기판 시트의 에지 프로세싱 장치.The method according to claim 1,
Characterized in that a second nozzle passage for transporting the fluid is defined in the second wall segment and the second nozzle passage terminates in a second opening in the second main edge,
The apparatus further comprises a second tubular member projecting from the second major edge and defining a passageway in fluid communication with the second opening.
상기 슈라우드는 배기 통로를 더 정의하고, 상기 배기 통로는 상기 배기 통로에 인가되는 진공의 존재 하에서, 상기 챔버로부터 오염물들을 제거하기 위하여 상기 챔버와 유체 연통되는 것을 특징으로 하는 기판 시트의 에지 프로세싱 장치.The method according to claim 1,
Wherein the shroud further defines an exhaust passageway and wherein the exhaust passageway is in fluid communication with the chamber for removing contaminants from the chamber in the presence of a vacuum applied to the exhaust passageway.
상기 기판 시트의 상기 에지를 프로세싱하기 위한 피니싱 부재;
챔버를 정의하며, 상기 챔버 내에서 상기 피니싱 부재가 회전 가능하도록 유지되고, 월 세그먼트를 포함하는 슈라우드로서,
상기 월 세그먼트는 주 에지에서 종료되고, 상기 주 에지는 상기 챔버에 대하여 열리는 슬롯의 적어도 일부분을 정의하고 상기 슬롯은 상기 피니싱 부재와 인터페이스하기 위하여 상기 기판 시트의 상기 에지를 슬라이딩 가능하게 수취하도록 구성되고, 상기 월 세그먼트는 유체를 이송하기 위한 노즐 통로를 정의하고 상기 노즐 통로가 상기 주 에지 내의 개구부에서 종료되는, 상기 슈라우드; 및
상기 월 세그먼트에 제거 가능하도록 조립되고 상기 주 에지로부터 돌출하며, 상기 노즐 통로와 유체 연통되는 통로를 정의하는 튜브형 부재를 포함하는 기판 시트의 에지 프로세싱 장치. An edge processing apparatus for a substrate sheet,
A finishing member for processing the edge of the substrate sheet;
A shroud defining a chamber, the finishing member being rotatable within the chamber, the shroud including a wall segment,
Wherein the wall segment is terminated at a primary edge and the primary edge defines at least a portion of a slot open to the chamber and the slot is configured to slidably receive the edge of the substrate sheet to interface with the finishing member Said wall segment defining a nozzle passage for transporting fluid and said nozzle passage terminating at an opening in said main edge; And
And a tubular member that is removably assembled to the wall segment and projects from the main edge and defines a passageway in fluid communication with the nozzle passageway.
상기 튜브형 부재는 나사산 연결(threaded connection) 및 프레스 핏(press fit) 연결 중 적어도 하나에 의해 상기 월 세그먼트에 제거 가능하도록 조립되는 것을 특징으로 하는 기판 시트의 에지 프로세싱 장치.14. The method of claim 13,
Wherein the tubular member is removably assembled to the wall segment by at least one of a threaded connection and a press fit connection.
상기 기판 시트의 상기 에지를 프로세싱 장치의 슈라우드 내의 슬롯을 통해, 그리고 상기 슈라우드의 챔버 내로 지향하되, 상기 슬롯이 상기 슈라우드의 월 세그먼트의 주 에지에 의해 적어도 부분적으로 정의되는, 상기 지향하는 단계;
상기 챔버 내에 배치되는 피니싱 부재를 사용하여 상기 기판 시트의 상기 에지를 프로세싱하는 단계; 및
상기 프로세싱 단계 동안에, 상기 유리 시트의 상기 에지와 상기 피니싱 부재 사이의 인터페이스 상으로 상기 주 에지로부터 돌출하는 튜브형 부재를 경유하여 냉각재의 흐름을 지향하는 단계를 포함하고,
상기 튜브형 부재는 상기 월 세그먼트 내에 정의되는 노즐 통로와 유체 연통되는 중앙 통로를 정의하는 것을 특징으로 하는 기판 시트의 에지 프로세싱 방법. A method of edge processing a substrate sheet,
Directing the edge of the substrate sheet through a slot in the shroud of the processing apparatus and into the chamber of the shroud wherein the slot is at least partially defined by the main edge of the wall segment of the shroud;
Processing the edge of the substrate sheet using a finishing member disposed within the chamber; And
Directing a flow of coolant through the tubular member projecting from the main edge onto the interface between the edge of the glass sheet and the finishing member during the processing step,
Wherein the tubular member defines a central passage in fluid communication with a nozzle passage defined within the wall segment.
상기 주 에지에 대하여 상기 튜브형 부재의 배열을 조절하는 단계를 더 포함하는 기판 시트의 에지 프로세싱 방법. 16. The method of claim 15,
Further comprising adjusting the arrangement of the tubular members with respect to the main edge.
상기 조절하는 단계는, 상기 튜브형 부재의 디스펜싱 엔드와 상기 주 에지 사이의 거리를 변화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 시트의 에지 프로세싱 방법. 17. The method of claim 16,
Wherein said adjusting comprises changing a distance between the dispensing end of the tubular member and the main edge.
상기 조절하는 단계는, 상기 주 에지에 대하여 상기 튜브형 부재의 중앙 축의 각도 관계를 변화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 시트의 에지 프로세싱 방법. 17. The method of claim 16,
Wherein said adjusting comprises changing an angular relationship of a central axis of the tubular member with respect to the main edge.
상기 조절하는 단계는
상기 피니싱 부재의 마모를 모니터하는 단계; 및
상기 피니싱 부재의 마모에 기초하여 상기 주 에지에 대하여 상기 튜브형 부재의 공간적 배열을 변화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 시트의 에지 프로세싱 방법. 17. The method of claim 16,
The adjusting step
Monitoring wear of the finishing member; And
And varying the spatial arrangement of the tubular member relative to the primary edge based on wear of the finishing member.
상기 모니터하는 단계는 상기 주 에지에 대한 상기 튜브형 부재의 상기 공간적 배열의 변화를 유도하도록(prompt) 프로그래밍된 소프트웨어 상에서 구동하는 컴퓨터 장치에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 기판 시트의 에지 프로세싱 방법. 20. The method of claim 19,
Wherein the monitoring step is performed by a computer apparatus running on software programmed to prompt a change in the spatial arrangement of the tubular member relative to the main edge.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201662427293P | 2016-11-29 | 2016-11-29 | |
US62/427,293 | 2016-11-29 | ||
PCT/US2017/063561 WO2018102327A1 (en) | 2016-11-29 | 2017-11-29 | Apparatus and method for edge processing of a substrate sheet |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20190082980A true KR20190082980A (en) | 2019-07-10 |
KR102475416B1 KR102475416B1 (en) | 2022-12-07 |
Family
ID=62241936
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020197018851A KR102475416B1 (en) | 2016-11-29 | 2017-11-29 | Apparatus and method for edge processing of substrate sheets |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20190291232A1 (en) |
JP (2) | JP7388925B2 (en) |
KR (1) | KR102475416B1 (en) |
CN (1) | CN110087830A (en) |
TW (1) | TWI808065B (en) |
WO (1) | WO2018102327A1 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2023047458A (en) * | 2021-09-27 | 2023-04-06 | 株式会社ディスコ | Grinding device |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0637075A (en) * | 1992-07-17 | 1994-02-10 | Hitachi Ltd | Processing method using grindstone |
JP2007030051A (en) * | 2005-07-22 | 2007-02-08 | Shiraitekku:Kk | Polishing device |
KR20080081183A (en) * | 2005-12-21 | 2008-09-08 | 코닝 인코포레이티드 | Apparatus and method for edge processing of a glass sheet |
KR20100106293A (en) * | 2007-12-25 | 2010-10-01 | 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 | Glass plate face grinding device and method |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2572036Y2 (en) * | 1992-06-15 | 1998-05-20 | 株式会社日研工作所 | Coolant supply device for machine tools |
US6015467A (en) * | 1996-03-08 | 2000-01-18 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Method of removing coating from edge of substrate |
DE69836381T2 (en) * | 1998-05-19 | 2007-09-06 | Makino Milling Machine Co. Ltd. | MACHINE TOOL AND MACHINING METHOD |
US6325704B1 (en) * | 1999-06-14 | 2001-12-04 | Corning Incorporated | Method for finishing edges of glass sheets |
KR100954895B1 (en) * | 2003-05-14 | 2010-04-27 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | Thin film removing apparatus and thin film removing method |
JP4192135B2 (en) * | 2004-09-29 | 2008-12-03 | 株式会社東芝 | Processing apparatus and processing method |
JP2006346803A (en) | 2005-06-15 | 2006-12-28 | Sanyo Electric Co Ltd | Substrate polishing device |
JP5127825B2 (en) * | 2006-09-28 | 2013-01-23 | コーニングジャパン株式会社 | Edge processing apparatus and method for sheets made of brittle materials |
JP4665018B2 (en) | 2008-07-28 | 2011-04-06 | 株式会社東芝 | Processing method |
KR20130140047A (en) * | 2010-12-01 | 2013-12-23 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | Grinding method and grinding device |
JP5855379B2 (en) * | 2011-07-25 | 2016-02-09 | 新電元工業株式会社 | Dicing machine |
CN202343527U (en) * | 2011-12-06 | 2012-07-25 | 郑州旭飞光电科技有限公司 | Spray cleaning device for TFT (thin-film transistor) glass substrate |
JP6352754B2 (en) * | 2014-09-29 | 2018-07-04 | AvanStrate株式会社 | Glass substrate manufacturing method and glass substrate manufacturing apparatus |
GB201418175D0 (en) * | 2014-10-14 | 2014-11-26 | Pilkington Group Ltd | An apparatus and a process for grinding an edge and a glazing having a ground edge |
CN105479345B (en) * | 2015-12-30 | 2019-03-15 | 芜湖东旭光电科技有限公司 | Glass substrate edge grinding device |
CN205254793U (en) | 2015-12-31 | 2016-05-25 | 东旭科技集团有限公司 | Grind machine spray set and grind machine |
-
2017
- 2017-11-23 TW TW106140693A patent/TWI808065B/en active
- 2017-11-29 CN CN201780073900.0A patent/CN110087830A/en active Pending
- 2017-11-29 WO PCT/US2017/063561 patent/WO2018102327A1/en active Application Filing
- 2017-11-29 US US16/463,618 patent/US20190291232A1/en not_active Abandoned
- 2017-11-29 KR KR1020197018851A patent/KR102475416B1/en active IP Right Grant
- 2017-11-29 JP JP2019528645A patent/JP7388925B2/en active Active
-
2023
- 2023-04-21 JP JP2023069966A patent/JP2023089266A/en active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0637075A (en) * | 1992-07-17 | 1994-02-10 | Hitachi Ltd | Processing method using grindstone |
JP2007030051A (en) * | 2005-07-22 | 2007-02-08 | Shiraitekku:Kk | Polishing device |
KR20080081183A (en) * | 2005-12-21 | 2008-09-08 | 코닝 인코포레이티드 | Apparatus and method for edge processing of a glass sheet |
KR20100106293A (en) * | 2007-12-25 | 2010-10-01 | 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 | Glass plate face grinding device and method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI808065B (en) | 2023-07-11 |
JP7388925B2 (en) | 2023-11-29 |
TW201829119A (en) | 2018-08-16 |
CN110087830A (en) | 2019-08-02 |
KR102475416B1 (en) | 2022-12-07 |
US20190291232A1 (en) | 2019-09-26 |
WO2018102327A1 (en) | 2018-06-07 |
JP2020500722A (en) | 2020-01-16 |
JP2023089266A (en) | 2023-06-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11292147B2 (en) | Methods of cutting fiber reinforced polymer composite workpieces with a pure waterjet | |
US10589400B2 (en) | High-pressure waterjet cutting head systems, components and related methods | |
EP2849921B1 (en) | Fluid jet receptacle with rotatable inlet feed component and related fluid jet cutting system and method | |
US9358668B2 (en) | Fluid jet receiving receptacles and related fluid jet cutting systems | |
KR101910226B1 (en) | Glass treatment apparatus and methods of treating glass | |
KR20190082980A (en) | Apparatus and method for edge processing of a substrate sheet | |
US11498530B2 (en) | Inline vertical tack-off machine for automobile side panels | |
EP1340590A1 (en) | Grinding method and device for the same | |
WO2022074868A1 (en) | Setup station | |
JP4425097B2 (en) | Air blow device | |
JP2014157912A (en) | Cutting device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right |