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KR20190052516A - 표면 검사 장치 - Google Patents

표면 검사 장치 Download PDF

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KR20190052516A
KR20190052516A KR1020170148253A KR20170148253A KR20190052516A KR 20190052516 A KR20190052516 A KR 20190052516A KR 1020170148253 A KR1020170148253 A KR 1020170148253A KR 20170148253 A KR20170148253 A KR 20170148253A KR 20190052516 A KR20190052516 A KR 20190052516A
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KR
South Korea
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reflector
camera
driving unit
support frame
subject
Prior art date
Application number
KR1020170148253A
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Inventor
서원국
윤귀현
이학준
Original Assignee
삼성전자주식회사
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Publication date
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Priority to US16/013,291 priority patent/US20190137407A1/en
Priority to CN201811044729.3A priority patent/CN109752381A/zh
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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 표면 검사 장치는, 피검사체를 촬영하는 카메라, 상기 카메라의 제1 광축에 배치된 하프 미러, 상기 카메라의 상기 제1 광축과 교차하는 제2 광축을 가지고, 상기 하프 미러를 통해 상기 피검사체에 광을 조사하는 조명, 및 상기 카메라의 광축에 배치되고, 상기 하프 미러 위에 배치하고, 상기 피검사체를 향하는 오목한 반사면을 가지는 반사경을 포함할 수 있다.

Description

표면 검사 장치 {SURFACE INSPECTION APPARATUS}
본 발명은 표면 검사 장치에 관한 것이다.
정보화 기술이 발달함에 따라 사용자와 정보 간의 연결 매체인 평판 표시장치의 시장이 커지고 있다. 이에 따라, 유기전계발광표시장치(Organic Light Emitting Display: OLED), 액정표시장치(Liquid Crystal Display: LCD), 전기영동표시장치(Electro Phoretic Display; EPD) 및 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel: PDP) 등과 같은 평판 표시장치의 사용이 증가하고 있다.
앞서 나열된 평판 표시장치 중 일부 예를 들어, 유기전계발광표시장치, 액정표시장치 및 전기영동표시장치는 플렉서블(flexible) 표시장치로 구현하려는 연구가 이루어지고 있다.
플렉서블 표시장치로 구현하기 위해 플렉서블 기판이 사용되고, 상기 플렉서블 기판은 제조 공정 또는 취급 과정에서 기판 표면에 다양한 이물질 및 결함이 형성될 수 있다.
본 발명의 기술적 사상이 이루고자 하는 기술적 과제 중 하나는, 곡면 필름을 효율적으로 검사할 수 있는 표면 검사 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표면 검사 장치는, 피검사체를 촬영하는 카메라, 상기 카메라의 제1 광축에 배치된 하프 미러, 상기 카메라의 상기 제1 광축과 교차하는 제2 광축을 가지고, 상기 하프 미러를 통해 상기 피검사체에 광을 조사하는 조명, 및 상기 카메라의 광축에 배치되고, 상기 하프 미러 위에 배치하고, 상기 피검사체를 향하는 오목한 반사면을 가지는 반사경을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표면 검사 장치는, 개구부를 가지는 반사경, 상기 반사경 아래에 위치하며, 수평 방향으로 광을 조사하는 조명, 상기 조명의 일 측에 위치하며, 상기 조명으로부터 조사된 광의 일부를 수직 방향으로 반사시켜 상기 개구부를 통해 상기 반사경 위에 위치하는 피검사체의 표면에 입사시키는 하프 미러, 및 상기 반사경 아래에 위치하며, 상기 피검사체의 표면으로부터 반사된 광을 받아들이는 카메라를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 피검사체, 상기 개구부 및 상기 하프 미러는 상기 카메라의 광축에 위치할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표면 검사 방법은, 피검사체를 촬영하는 카메라, 상기 카메라의 광축에 배치된 하프 미러, 상기 하프 미러를 통해 상기 피검사체에 광을 조사하는 조명, 상기 카메라의 상기 광축에 배치되고 상기 피검사체를 향하는 오목한 반사면을 가지는 반사경을 포함하는 광학계 및 상기 카메라, 상기 조명 및 상기 반사경이 장착되는 지지 프레임을 포함하는 표면 검사 장치를 마련하는 단계, 곡면을 가지는 상기 피검사체를 상기 표면 검사 장치의 상기 반사경 위에 장착하는 단계, 상기 피검사체의 표면의 위치 정보를 획득하는 단계, 및 상기 표면 검사 장치를 이용해 상기 피검사체의 표면을 촬영하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 기술적 사상에 따르면, 곡면을 가지는 피검사체의 표면을 효율적으로 검사할 수 있고, 검사 신뢰성이 향상될 수 있다.
본 발명의 다양하면서도 유익한 장점과 효과는 상술한 내용에 한정되지 않으며, 본 발명의 구체적인 실시 형태를 설명하는 과정에서 보다 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표면 검사 장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 채용될 수 있는 반사경을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 채용될 수 있는 반사경을 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 채용될 수 있는 반사경을 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 표면 검사 장치에 의해 검사될 수 있는 피검사체를 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 표면 검사 장치를 이용하여 피검사체를 검사하는 방법을 설명하는 플로우차트이다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 표면 검사 장치를 이용하여 피검사체를 검사하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 표면 검사 장치를 나타내는 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 다음과 같이 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표면 검사 장치를 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 표면 검사 장치는 카메라(10), 렌즈(20), 하프 미러(30), 조명(40), 반사경(50), 지지 프레임(60), 수평 구동부(70), 및 수직 구동부(80)를 포함할 수 있다. 광학계(LS)는 카메라(10), 렌즈(20), 하프 미러(30), 조명(40) 및 반사경(50)을 포함할 수 있다. 수평 구동부(70) 및 수직 구동부(80)는 합쳐서 구동부로 지칭될 수 있다.
표면 검사를 위해 광학계(LS) 상의 검사 위치에 피검사체(1)가 장착될 수 있다. 구체적으로, 광학계(LS)의 반사경(50) 상의 검사 위치에 피검사체(1)가 장착될 수 있다.
카메라(10)는 장착된 피검사체(1)를 촬영하여 피검사체(1)의 표면의 이물질 또는 결함을 검사하기 위한 이미지를 획득할 수 있다.
카메라(10)의 광축(제1 광축)에 렌즈(20), 하프 미러(30) 및 반사경(50)이 순서대로 일렬로 배치될 수 있다. 반사경(50)은 카메라(10) 위에 위치하고, 피검사체(1)는 반사경(50) 위에 위치할 수 있다.
조명(40)의 광축(제2 광축)은 카메라(10)의 광축(제1 광축)과 교차할 수 있다. 상기 제1 광축과 상기 제2 광축이 교차하는 지점에 하프 미러(30)가 배치될 수 있다. 조명(40)은 반사경(50)의 아래에 위치하며, 수평 방향으로 광을 조사할 수 있다. 조명(40)은 하프 미러(30)를 통해 피검사체(1)에 광을 조사할 수 있다. 조명(40)의 일측에 위치하는 하프 미러(30)는 조명(40)으로부터 방출될 광의 일부를 수직 방향으로 반사시켜 피검사체(1)에 입사시킨다. 조명(40)은 피검사체(1)의 투과도(또는 반사도)에 따라 밝기 조절이 가능한 가변 조명일 수 있다. 조명(40)은 광원 및 렌즈를 포함할 수 있다. 상기 렌즈는 복수 개일 수 있다.
반사경(50)은 피검사체(1)를 향하는 오목한 반사면(50S)을 가질 수 있다. 피검사체(1)의 표면은 아래로 볼록한 곡면을 가질 수 있다.
피검사체(1)의 표면은 반사경(50)의 곡률 중심(CC)에 위치할 수 있다. 즉, 반사경(50)의 상기 반사면(50S)으로부터 피검사체(1)의 표면까지의 거리는 반사경(50)의 곡률 반경(r)과 동일할 수 있다. 피검사체(1)에 입사된 광의 적어도 일부는 피검사체(1)의 표면에서 반사될 수 있다. 반사경(50)은 카메라(10)의 광축에 대해 경사진 피검사체(1)의 표면에서 반사된 광이 최종적으로 카메라(10)에 입사되도록 할 수 있다. 반사경(50)의 곡률 중심(CC)에 피검사체(1)의 표면을 위치시키면 카메라(10)의 광축에 대해 경사진 피검사체(1)의 표면에서 1차 반사된 광이 반사경(50)의 반사면(50S)에서 2차 반사되어 다시 피검사체(1)의 표면에 재입사될 수 있다. 재입사된 광은 피검사체(1)의 표면에서 다시 3차 반사되어 카메라(10)의 광축을 따라 카메라(10)에 입사되고, 이미지를 형성할 수 있다. 반사경(50)이 없으면, 경사진 피검사체(1)의 표면에서 1차 반사된 광은 카메라(10)에 입사되어 이미지를 형성할 수 없다. 반사경(50)이 있더라도 곡률 중심에 위치하지 않으면, 역시 경사진 피검사체(1)의 표면에서 1차 반사된 광은 카메라(10)에 입사되어 이미지를 형성할 수 없다.
반사경(50)은 카메라(10)의 광축(상기 제1 광축)에 배치되어 광이 통과하는 개구부(OP)를 포함할 수 있다.
카메라(10), 렌즈(20), 하프 미러(30), 조명(40), 및 반사경(50)은 지지 프레임(60)에 부착될 수 있다. 지지 프레임(60)은 카메라(10), 렌즈(20), 하프 미러(30), 조명(40), 및 반사경(50)을 지지할 수 있다.
수평 구동부(70)는 지지 프레임(60)을 수평 방향으로 이동시키고, 수직 구동부(80)는 지지 프레임(60)을 수직 방향으로 이동시킬 수 있다. 수직 구동부(80)는 피검사체(1)의 표면을 반사경(50)의 곡률 중심에 위치시키기 위해 지지 프레임(60)의 수직 위치를 조절할 수 있다. 수평 구동부(70)는 피검사체(1)의 표면을 촬영하기 위해 지지 프레임(60)을 수평 방향으로 이동시킬 수 있다. 수평 구동부(70) 및 수직 구동부(80)를 제어하여, 피검사체(1)의 표면이 반사경(50)의 곡률 중심에 위치하는 것을 유지하면서 피검사체(1)의 전체 표면을 촬영할 수 있다.
카메라(10)는 TDI(time delay integration) 라인 스캔 카메라일 수 있다.
카메라(10)는 에어리어 스캔 카메라(area scan camera) 등 표면 검사장치에 사용되는 다양한 이미지 캡쳐수단이 이용될 수 있다.
상기 표면 검사 장치는 피검사체(1)의 표면의 위치 정보를 획득하는 위치 측정 장치(15)를 포함할 수 있다. 위치 측정 장치(15)를 이용하여 피검사체(1)의 표면의 수직 위치 정보를 획득할 수 있다. 위치 측정 장치(15)는 카메라일 수 있다. 위치 측정 장치(15)는 지지 프레임(60)에 부착될 수 있다. 이와 달리, 위치 측정 장치(15)는 지지 프레임(60)과 독립적으로 구동 가능한 지지체에 부착될 수 있다.
수평 구동부(70) 및 수직 구동부(80)를 제어하는 제어부(90)를 더 포함할 수 있다. 또한, 제어부(90)는 조명(40)을 제어할 수 있다.
도 2, 도 3 및 도 4는 본 발명의 실시예들에 채용될 수 있는 반사경을 나타내는 도면들이다.
도 2를 참조하면, 반사경(50)은 원통형 반사면을 가질 수 있다. 반사경(50)은 카메라(10)의 상기 제1 광축에 위치되는 개구부(OP1)를 포함할 수 있다.
반사경(50)은 개구부(OP1)에 의해 2개의 부분으로 분할되고, 상기 2개의 부분은 동일한 곡률 반경 및 동일한 곡률 중심을 가질 수 있다.
반사경(50)은 제1 방향으로 연장될 수 있다. 예를 들어, 반사경(50)이 상기 제1 방향으로 연장된 길이는 피검사체(1)의 한 변의 길이와 동일할 수 있다. 피검사체(1)의 한 변의 길이는 프레임(FR)에 고정되는 변의 길이를 의미할 수 있다(도 5 참조).
도 3을 참조하면, 반사경(50a)은 원통형 반사면을 가지는 제1 영역(R1) 및 상기 제1 영역의 양단에 배치되고 구면형 반사면을 가지는 제2 영역(R2)을 포함할 수 있다. 제1 영역(R1)은 카메라(10)의 상기 제1 광축에 위치되는 개구부(OP2)를 가질 수 있다.
제1 영역(R1)의 곡률 반경은 제2 영역의 곡률 반경과 동일할 수 있다.
제1 영역(R1)은 상기 제1 방향으로 연장될 수 있다. 예를 들어, 제1 영역(R1)이 상기 제1 방향으로 연장된 길이는 피검사체(1)의 한 변의 길이와 동일할 수 있다.
도 4를 참조하면, 반사경(50b)은 구면형 반사면을 가질 수 있다. 반사경(50b)은 카메라(10)의 상기 제1 광축에 위치되는 개구부(OP3)를 포함할 수 있다. 개구부(OP3)는 상기 제1 방향으로 연장될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 표면 검사 장치에 의해 검사될 수 있는 피검사체를 나타내는 도면이다.
예를 들어, 피검사체(1)는 사각의 프레임(FR)에 고정된 상태로 표면 검사 장치의 검사 위치에 장착될 수 있다. 피검사체(1)는 플렉서블(flexible) 기판일 수 있다. 피검사체(1)의 네 변 중 두 변이 프레임(FR)에 클램프(CL)에 의해 고정될 수 있다. 피검사체(1)는 아래로 처짐이 발생할 수 있다. 이로 인해 피검사체(1)는 아래로 볼록한 곡면을 형성할 수 있다.
이와 달리, 피검사체(1)의 네 변이 프레임(FR)에 고정될 수 있다.
그리고, 피검사체(1)는 도 5에 도시된 바에 한정되지 않는다. 곡면인 표면을 가진 피검사체(1)는 어느 것이든 가능하다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 표면 검사 장치를 이용하여 피검사체를 검사하는 방법을 설명하는 플로우차트이다. 도 7 및 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 표면 검사 장치를 이용하여 피검사체를 검사하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 6을 참조하면, 상기 표면 검사 장치를 이용하여 피검사체(1)의 표면을 검사하는 방법은, 피검사체(1)를 촬영하는 카메라(10), 상기 카메라(10)의 제1 광축에 배치된 하프 미러(30), 상기 카메라의 상기 제1 광축과 교차하는 제2 광축을 가지고 상기 하프 미러(30)를 통해 상기 피검사체(1)에 광을 조사하는 조명(40), 및 상기 카메라(10)의 광축에 배치되고 상기 피검사체(1)를 향하는 오목한 반사면을 가지는 반사경(50)을 포함하는 표면 검사 장치를 마련하는 단계(S10), 곡면을 가지는 상기 피검사체(1)를 상기 표면 검사 장치의 상기 반사경(50) 위에 장착하는 단계(S20), 상기 피검사체(1)의 표면의 위치 정보를 획득하는 단계(S30), 상기 표면 검사 장치를 이용해 상기 피검사체(1)의 표면을 촬영하는 단계(S40), 및 촬영된 이미지를 확인하여 이물질 또는 결함의 존재 여부를 검사하는 단계(S50)를 포함할 수 있다.
도 7은 위치 측정 장치(15)를 이용하여 피검사체(1)의 표면의 위치 정보를 획득하는 단계(S30)을 나타낸다. 피검사체(1)의 측면에서 위치 측정 장치(15)가 수평 방향으로 이동하면서 피검사체(1)를 촬영할 수 있다. 촬영된 이미지를 분석하여 피검사체(1)의 표면의 수직 위치에 대한 정보(기준 면으로부터의 높이 정보)를 획득할 수 있다. 또한, 촬영된 이미지를 분석하여 검사가 이루어질 피검사체(1)의 표면의 수평 길이에 대한 정보(스캔 영역의 크기 정보)를 획득할 수 있다.
도 8을 참조하면, 상기 표면 검사 장치를 이용해 상기 피검사체의 표면을 촬영하는 단계(S40)를 나타낸다.
위치 검사 장치(15)에 의해 획득된 피검사체(1)의 표면의 상기 위치 정보를 이용하여, 반사경(50)의 곡률 중심에 피검사체(1)의 표면이 위치하도록 반사경(50)의 수직 위치를 조절하는 단계, 조명(40)에 의해 반사경(50)의 상기 개구부(OP)를 통해 피검사체(1)의 상기 표면에 광을 조사하는 단계, 피검사체(1)의 상기 표면에서 1차 반사되고, 반사경(50)의 반사면에서 2차 반사되고, 피검사체(1)의 상기 표면에서 3차 반사된 광을 카메라(10)로 획득되는 단계, 및 지지 프레임(60)을 수평 이동 시키는 단계를 반복적으로 수행하는 것을 포함할 수 있다.
도 8에서 피검사체(1)는 아래로 볼록한 곡면을 가지므로, 피검사체(1)의 일측에서 타측까지 스캔하는 동안에 반사경(50)의 수직 위치는 낮아지다가 다시 높아질 수 있다. 반사경(50)의 수직 위치는 지지 프레임(60)의 수직 위치를 조절함으로써 이루어질 수 있다.
선행된 표면 검사를 통해 얻어진 피검사체(1)의 1차 이미지를 분석하여 1차 이미지 중 어두운 영역이 있는 경우, 상기 어두운 영역에 대응하는 피검사체(1)의 표면을 촬영하는 동안에 조명(40)이 더 밝게 조절될 수 있다. 예를 들어, 도 8에서 피검사체(1)의 표면이 더 경사진 (a) 위치나 (c) 위치에서 피검사체(1)의 투과도가 크거나 반사도가 작을 수 있다. 피검사체(1)의 표면이 더 경사진 (a) 위치나 (c) 위치를 촬영할 때, 조명(40)의 밝기가 (b) 위치를 촬영할 때보다 더 밝게 조절될 수 있다. 조명(40)의 밝기를 가변적으로 조절함으로써, 더 균일한 밝기의 검사 이미지를 얻을 수 있다. 결국, 피검사체(1)의 표면에 존재하는 이물질 및 결함에 대한 검사 신뢰성이 향상될 수 있다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 표면 검사 장치를 나타내는 도면이다.
도 9에 도시된 표면 검사 장치는 도 1에 도시된 표면 검사 장치와 달리, 피검사체(1)의 표면이 반사경(50)의 곡률 중심에 위치하도록 반사경(50)만을 직접적으로 수직 이동시키는 수직 구동부(85)를 포함할 수 있다. 수직 구동부(85)가 지지 프레임(60)에 부착되고, 반사경(50)은 수직 구동부(85)에 부착될 수 있다.
지지 프레임(60)은 수평 구동부(70)에 의해 피검사체(1)의 표면을 따라 수평 이동될 수 있다. 제어부(90)는 수직 구동부(85) 및 수평 구동부(70)를 제어할 수 있다.
본 발명은 상술한 실시형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니며 첨부된 청구범위에 의해 한정하고자 한다. 따라서, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능할 것이며, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다.
1: 피검사체, 10: 카메라, 15: 위치 측정 장치, 20: 렌즈, 30: 하프 미러, 40: 조명, 50: 반사경, 60: 지지 프레임, 70: 수평 구동부, 80: 수직 구동부

Claims (20)

  1. 피검사체를 촬영하는 카메라;
    상기 카메라의 제1 광축에 배치된 하프 미러;
    상기 카메라의 상기 제1 광축과 교차하는 제2 광축을 가지고, 상기 하프 미러를 통해 상기 피검사체에 광을 조사하는 조명; 및
    상기 카메라의 광축에 배치되고, 상기 하프 미러 위에 배치되고, 상기 피검사체를 향하는 오목한 반사면을 가지는 반사경;
    을 포함하는 표면 검사 장치.
  2. 제1항에서,
    상기 반사경의 상기 반사면으로부터 상기 피검사체의 표면까지의 거리는 상기 반사경의 곡률 반경과 동일한 표면 검사 장치.
  3. 제1항에서,
    상기 반사경은 원통형 반사면을 가지는 표면 검사 장치.
  4. 제3항에서,
    상기 반사경은 상기 제1 광축에 위치하는 개구부를 포함하는 표면 검사 장치.
  5. 제4항에서,
    상기 반사경은 상기 개구부에 의해 2개의 부분으로 분할되고, 상기 2개의 부분은 동일한 곡률 반경 및 동일한 곡률 중심을 가지는 표면 검사 장치.
  6. 제1항에서,
    상기 반사경은 원통형 반사면을 가지는 제1 영역 및 상기 제1 영역의 양단에 배치되고 구면형 반사면들을 가지는 제2 영역을 포함하는 표면 검사 장치.
  7. 제6항에서,
    상기 반사경은 상기 제1 광축에 위치하는 개구부를 포함하는 표면 검사 장치.
  8. 제1항에서,
    상기 반사경은 상기 카메라 위에 위치하고, 상기 피검사체는 상기 반사경 위에 위치하고, 상기 피검사체의 표면은 아래로 볼록한 곡면을 가지는 표면 검사 장치.
  9. 제1항에서,
    상기 조명은 상기 피검사체의 투과도에 따라 밝기 조절이 가능한 가변 조명인 표면 검사 장치.
  10. 제1항에서,
    상기 피검사체의 표면의 위치 정보를 획득하는 위치 측정 장치;
    상기 카메라, 상기 하프 미러, 상기 조명 및 상기 반사경을 지지하는 지지 프레임;
    상기 지지 프레임을 이동시키는 구동부; 및
    상기 구동부를 제어하는 제어부;를 더 포함하는 표면 검사 장치.
  11. 제10항에서,
    상기 구동부는 상기 피검사체의 표면을 상기 반사경의 곡률 중심에 위치시키기 위해 상기 지지 프레임의 수직 위치를 조절하는 수직 구동부 및 상기 피검사체의 표면을 촬영하기 위해 상기 지지 프레임을 수평 이동시키는 수평 구동부를 포함하는 표면 검사 장치.
  12. 제1항에서,
    상기 피검사체의 표면의 위치 정보를 획득하는 위치 측정 장치;
    상기 카메라, 상기 하프 미러, 상기 조명 및 상기 반사경을 지지하는 지지 프레임;
    상기 피검사체의 표면이 상기 반사경의 곡률 중심에 위치하도록 상기 반사경을 수직 이동시키는 수직 구동부;
    상기 피검사체의 표면을 따라 상기 지지 프레임을 수평 이동시키는 수평 구동부; 및
    상기 수직 구동부 및 상기 수평 구동부를 제어하는 제어부;를 더 포함하는 표면 검사 장치.
  13. 개구부를 가지는 반사경;
    상기 반사경 아래에 위치하며, 수평 방향으로 광을 조사하는 조명;
    상기 조명의 일 측에 위치하며, 상기 조명으로부터 조사된 광의 일부를 수직 방향으로 반사시켜 상기 개구부를 통해 상기 반사경 위에 위치하는 피검사체의 표면에 입사시키는 하프 미러; 및
    상기 반사경 아래에 위치하며, 상기 피검사체의 표면으로부터 반사된 광을 받아들이는 카메라;를 포함하고,
    상기 피검사체, 상기 개구부 및 상기 하프 미러는 상기 카메라의 광축에 위치하는 표면 검사 장치.
  14. 제13항에서,
    상기 반사경은 상기 피검사체를 향하는 오목한 반사면을 가지고,
    상기 반사경의 상기 반사면으로부터 상기 피검사체의 표면까지의 거리는 상기 반사경의 곡률 반경과 동일한 표면 검사 장치.
  15. 제14항에서,
    상기 반사경은 원통형 반사면을 가지는 표면 검사 장치.
  16. 제14항에서,
    상기 반사경은 상기 개구부에 의해 2개의 부분으로 분할되고, 상기 2개의 부분은 동일한 곡률 반경 및 동일한 곡률 중심을 가지는 표면 검사 장치.
  17. 제14항에서,
    원통형 반사면을 가지는 제1 영역 및 상기 제1 영역의 양단에 배치되고 구면형 반사면들을 가지는 제2 영역을 포함하는 표면 검사 장치.
  18. 제13항에서,
    상기 피검사체의 표면의 위치 정보를 획득하는 위치 측정 장치;
    상기 카메라, 상기 하프 미러, 상기 조명 및 상기 반사경을 지지하는 지지 프레임;
    상기 지지 프레임을 이동시키는 구동부; 및
    상기 구동부를 제어하는 제어부;를 더 포함하는 표면 검사 장치.
  19. 제18항에서,
    상기 구동부는 상기 피검사체의 표면을 상기 반사경의 곡률 중심에 위치시키기 위해 상기 지지 프레임의 수직 위치를 조절하는 수직 구동부 및 상기 피검사체의 표면을 촬영하기 위해 상기 지지 프레임을 수평 이동시키는 수평 구동부를 포함하는 표면 검사 장치.
  20. 제13항에서,
    상기 피검사체의 표면의 위치 정보를 획득하는 위치 측정 장치;
    상기 카메라, 상기 하프 미러, 상기 조명 및 상기 반사경을 지지하는 지지 프레임;
    상기 피검사체의 표면이 상기 반사경의 곡률 중심에 위치하도록 상기 반사경을 수직 이동시키는 수직 구동부;
    상기 피검사체의 표면을 따라 상기 지지 프레임을 수평 이동시키는 수평 구동부; 및
    상기 수직 구동부 및 상기 수평 구동부를 제어하는 제어부;를 더 포함하는 표면 검사 장치.
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