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KR20190040905A - 결함 검사 장치, 결함 검사 방법 및 필름의 제조 방법 - Google Patents

결함 검사 장치, 결함 검사 방법 및 필름의 제조 방법 Download PDF

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KR20190040905A
KR20190040905A KR1020180119741A KR20180119741A KR20190040905A KR 20190040905 A KR20190040905 A KR 20190040905A KR 1020180119741 A KR1020180119741 A KR 1020180119741A KR 20180119741 A KR20180119741 A KR 20180119741A KR 20190040905 A KR20190040905 A KR 20190040905A
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히데키 오카모토
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스미또모 가가꾸 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명의 일실시형태에 따른 결함 검사 장치(3A)는, 필름(100)의 결함 검사 장치로서, 필름의 검사 영역(A)에 조사하는 검사광(L)을 출력하는 광 조사부(10A)와, 검사 영역을 촬상하는 촬상부(20A)를 구비하고, 광 조사부와 촬상부 중 적어도 한쪽은, 소정의 편광 방향의 광을 선택적으로 통과시키는 필터부(12)를 가지고, 필터부는, 소정의 편광 방향을 조정 가능하게 구성되어 있다.

Description

결함 검사 장치, 결함 검사 방법 및 필름의 제조 방법{DEFECT INSPECTION APPARATUS, DEFECT INSPECTION METHOD, AND MANUFACTURING METHOD FOR OPTICAL FILM}
본 발명은 결함 검사 장치, 결함 검사 방법 및 필름의 제조 방법에 관한 것이다.
편광 필름 및 위상차 필름 등의 광학 필름, 전지의 세퍼레이터에 이용되는 필름 등의 결함을 검출하는 결함 검사 장치가 알려져 있다. 이 종류의 결함 검사 장치는, 반송부에 의해 필름을 반송하고, 광 조사부에 의해 필름의 검사 영역에 광을 조사하고, 촬상부에 의해 필름의 검사 영역을 촬상하고, 촬상한 화상에 기초하여 결함 검사를 행한다. 결함 검사 장치로서는, 예컨대, 정투과법에 기초한 검사 광학계를 이용한 장치(특허문헌 1 참조) 및 크로스 니콜 투과법에 기초한 검사 광학계를 이용한 장치(특허문헌 2 참조)가 알려져 있다.
특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2012-167975호 공보 특허문헌 2: 일본 특허 공개 제2007-212442호 공보
결함 검사에서는, 결함을 보다 확실하게 검출하기 위해, 복수의 상이한 검사 광학계(예컨대, 정투과 검사 광학계와 크로스 니콜 검사 광학계)로 결함을 검출하는 것이 바람직하다. 그러나, 이들 검사 광학계를 따로따로 준비하면, 도입 비용이나 관리 비용이 비싸지기 때문에, 복수의 검사 광학계의 통합이 요구되고 있다.
그래서, 본 발명은 상이한 검사 광학계를 통합한 결함 검사 장치, 결함 검사 방법 및 필름의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일측면에 따른 결함 검사 장치는, 필름의 결함 검사 장치로서, 상기 필름의 검사 영역에 조사하는 검사광을 출력하는 광 조사부와, 상기 검사 영역을 촬상하는 촬상부를 구비하고, 상기 광 조사부와 상기 촬상부 중 적어도 한쪽은, 소정의 편광 방향의 광을 선택적으로 통과시키는 필터부를 가지고, 상기 필터부는 상기 소정의 편광 방향을 조정 가능하게 구성되어 있다.
본 발명의 다른 측면에 따른 결함 검사 방법은, 필름의 결함 검사 방법으로서, 상기 필름의 검사 영역에 광 조사부에 의해 검사광을 조사하는 검사광 조사 공정과, 상기 검사 영역을 촬상부에 의해 촬상하는 촬상 공정을 포함하고, 상기 광 조사부와 상기 촬상부 중 적어도 한쪽은, 소정의 편광 방향의 광을 선택적으로 통과시키는 필터부를 가지고, 상기 필터부는 상기 소정의 편광 방향을 조정 가능하게 구성되어 있다.
상기 결함 검사 장치 및 상기 결함 검사 방법에서는, 필름의 검사 영역에 광 조사부에 의해 검사광을 조사한 상태로, 촬상부에 의해 검사 영역을 촬상한다. 따라서, 촬상부에 의해, 광 조사부로부터의 검사광으로 조명된 검사 영역의 검사 화상을 취득할 수 있다. 상기 광 조사부와 상기 촬상부 중 적어도 한쪽은, 소정의 편광 방향의 광을 선택적으로 통과시키는 필터부를 가지고, 상기 필터부는 상기 소정의 편광 방향을 조정 가능하게 구성되어 있다. 그 때문에, 필터부에서 상기 소정의 편광 방향을 조정하면 상이한 검사 상태의 검사 화상을 얻는 것이 가능하다. 즉, 하나의 결함 검사 장치에 있어서, 다른 검사 광학계를 통합할 수 있고, 필터부가 선택적으로 통과시키는 광의 편광 방향을 조정함으로써, 상기 상이한 검사 광학계 각각에서의 결함 검사가 가능하다.
상기 결함 검사 장치 및 상기 결함 검사 방법에 있어서의 상기 필터부는, 액정 셀의 한면에 직선 편광 필름이 마련되어 구성된 액정 필터를 가져도 좋다. 이 경우, 액정 필터에의 전압의 인가의 유무에 의해, 액정 필터 내를 통과하는 광의 편광 방향을, 짧은 시간(예컨대, 0.1 msec∼25 msec)에 조정 가능하다.
일실시형태에 따른 결함 검사 장치에 있어서의 상기 필름은 직선 편광 특성을 갖는 광학 필름이고, 상기 광 조사부는, 광원과, 상기 광원과 상기 필름 사이에 배치되는 상기 필터부를 가져도 좋다. 일실시형태에 있어서의 결함 검사 방법에서는, 상기 필름은, 직선 편광 특성을 갖는 광학 필름이고, 상기 광 조사부는, 광원으로부터의 광을 상기 필터부에 통과시킴으로써 상기 소정의 편광 방향의 검사광을 출력하고, 상기 검사광 조사 공정에서는, 상기 필터부에 의해 상기 검사광의 상기 소정의 편광 방향을 조정하여도 좋다.
이 경우, 검사광의 소정의 편광 방향이 조정되기 때문에, 직선 편광 특성을 갖는 광학 필름의 결함 검사를, 예컨대 평행 니콜 상태에서 행하며, 크로스 니콜 상태 또는 하프 크로스 니콜 상태라도 행할 수 있다. 본 명세서에 있어서, 평행 니콜 상태는, 2개의 편광 방향(또는 편광 방향과 편광축)이 실질적으로 평행, 바꾸어 말하면, 2개의 편광 방향(또는 편광 방향과 편광축)이 이루는 각도가, 0°이상 또한 1°이하인 상태, 바람직하게는, 0°인 상태를 의미하고 있고, 크로스 니콜 상태는, 2개의 편광 방향(또는 편광 방향과 편광축)이 이루는 각도가 실질적으로 직교, 바꾸어 말하면, 85°이상 또한 105°이하인 상태, 바람직하게는 90°인 상태를 의미하고, 하프 크로스 니콜 상태는, 2개의 편광 방향(또는 편광 방향과 편광축)이 이루는 각도가 1°보다 크고 또한 85°미만인 상태를 의미하고 있다.
일실시형태에 따른 결함 검사 장치에서는, 상기 필름은 직선 편광 특성을 갖는 광학 필름이고, 상기 광 조사부는, 광원과, 상기 광원으로부터의 광을, 서로 편광 방향이 직교하는 제1 편광광과 제2 편광광으로 분리하는 편광 분리 소자와, 상기 편광 분리 소자로 분리된 상기 제2 편광광의 광로 상에 배치되어 있고, 상기 편광 분리 소자로 분리된 상기 제1 편광광의 광로를 상기 제2 편광광의 광로에 합성하는 광로 합성부와, 상기 편광 분리 소자로 분리된 상기 제1 편광광을 상기 광로 합성부에 유도하는 광학계와, 상기 광학계에 의해 유도되는 상기 제1 편광광의 광로 상에 배치되는 상기 필터부를 가지고, 상기 필름은 상기 제2 편광광의 광로 상에 배치되어 있고, 상기 필터부는 상기 제1 편광광을 선택적으로 통과시키는 경우와, 상기 제2 편광광을 선택적으로 통과시키는 경우에 전환되어도 좋다.
이 구성에서는, 광학 필름은 제1 편광광을 통과시키는 직선 편광 특성을 갖는다. 필터부가 제1 편광광을 선택적으로 통과시키는 경우, 광원으로부터의 출력광이 편광 분리 소자로 제1 편광광 및 제2 편광광으로 분리된 후, 분리된 제1 편광광 및 제2 편광광의 광로는 광로 합성부에서 합성되고, 검사 대상의 필름을 향하여 출력된다. 따라서, 필터부가 제1 편광광을 통과시키는 경우, 광 조사부로부터는 무편광의 검사광이 출력된다. 무편광의 검사광은 제1 편광광을 포함하기 때문에, 직선 편광 특성을 갖는 광학 필름을, 평행 니콜 상태에서의 결함 검사가 가능하다. 필터부가 제2 편광광을 선택적으로 통과시키는 경우, 광원으로부터의 출력광이 편광 분리 소자로 제1 편광광 및 제2 편광광으로 분리되면, 분리된 제1 편광광은 필터부에서 차단된다. 그 때문에, 광로 합성부로부터는 제2 편광광만이 출력된다. 따라서, 필터부가 제2 편광광을 선택적으로 통과시키는 경우, 광 조사부로부터는 제2 편광광으로서의 검사광이 출력된다. 따라서, 직선 편광 특성을 갖는 광학 필름을, 크로스 니콜 상태에서의 결함 검사가 가능하다.
상기 광 조사부는, 상기 제2 편광광의 광로 상에 있어서, 상기 편광 분리 소자와 상기 광로 합성부 사이에 배치되고, 상기 필름에 대하여 크로스 니콜 상태로 배치되며, 상기 제2 편광광을 통과시키는 편광 필름을 가져도 좋다.
일실시형태에 따른 결함 검사 장치에 있어서의 상기 필름은, 직선 편광 특성을 갖는 광학 필름이고, 상기 촬상부는 카메라와, 상기 카메라와 상기 필름 사이에 배치되는 상기 필터부를 가져도 좋다. 일실시형태에 따른 결함 검사 방법에서는, 상기 필름은 직선 편광 특성을 갖는 광학 필름이고, 상기 촬상부는 상기 필터부를 통하여 카메라로 상기 필름의 상기 검사 영역을 촬상하고, 상기 촬상 공정에서는, 상기 필터부가 통과시키는 상기 소정의 편광 방향을 조정하여도 좋다.
이 경우, 필터부가 통과시키는 광의 편광 방향을 전환함으로써, 직선 편광 특성을 갖는 광학 필름과, 필터부의 배치 관계를, 예컨대, 평행 니콜 상태와 크로스 니콜 상태 또는 하프 크로스 니콜 상태 사이에서 전환 가능하다. 따라서, 예컨대, 직선 편광 특성을 갖는 광학 필름의 결함 검사를, 예컨대 평행 니콜 상태에서 행하며, 크로스 니콜 상태 또는 하프 크로스 니콜 상태에서도 행할 수 있다.
일실시형태에 따른 결함 검사 장치는, 상기 필름과 상기 촬상부 사이에 배치되는 제1 직선 편광 필름을 더 가지고, 상기 필름은 직선 편광 특성을 갖지 않는 필름이고, 상기 광 조사부는, 광원과, 상기 광원과 상기 필름 사이에 배치되는 상기 필터부를 가져도 좋다. 일실시형태에 따른 결함 검사 방법에서는, 상기 필름은, 편광 특성을 갖지 않는 필름이고, 상기 광 조사부는, 광원으로부터의 광을 상기 필터부에 통과시킴으로써 상기 소정의 편광 방향의 검사광을 출력하고, 상기 검사광 조사 공정에서는, 상기 필터부에 의해 상기 검사광의 상기 소정의 편광 방향을 전환하고, 상기 촬상 공정에서는, 상기 촬상부는 상기 필름과 상기 촬상부 사이에 배치된 제1 직선 편광 필름을 통하여 상기 검사 영역을 촬상하여도 좋다.
이 경우, 필터부를 통과하는 광의 편광 방향을 전환함으로써, 제1 직선 편광 필름과 필터부로 평행 니콜 상태를 형성하며, 크로스 니콜 상태 또는 하프 크로스 니콜 상태를 형성 가능하다. 따라서, 필름이 직선 편광 특성을 갖지 않는 경우라도 예컨대 평행 니콜 상태에서의 결함 검사와 크로스 니콜 상태 또는 하프 크로스 니콜 상태에서의 결함 검사를 실시할 수 있다.
일실시형태에 따른 결함 검사 장치는, 상기 촬상부와 상기 필름 사이에 배치되는 제1 직선 편광 필름을 더 가지고, 상기 필름은 편광 특성을 갖지 않는 필름이고, 상기 광 조사부는, 광원과, 상기 광원으로부터의 광을, 서로 편광 방향이 직교하는 제1 편광광 및 제2 편광광으로 분리하는 편광 분리 소자와, 상기 제2 편광광의 광로 상에 배치되어 있고, 상기 제1 편광광의 광로를 상기 제2 편광광의 광로에 합성하는 광로 합성부와, 상기 편광 분리 소자로 분리된 상기 제1 편광광을 상기 광로 합성부에 유도하는 광학계와, 상기 제2 편광광의 광로 상에 있어서, 상기 편광 분리 소자와 상기 광로 합성부 사이에 배치되고, 상기 제1 직선 편광 필름에 대하여 크로스 니콜 상태로 배치되며, 상기 제2 편광광을 통과시키는 제2 직선 편광 필름과, 상기 광학계에 의해 유도되는 상기 제1 편광광의 광로 상에 배치되는 상기 필터부를 가지고, 상기 필름은 상기 제2 편광광의 광로 상에 배치되고, 상기 필터부는, 상기 제1 편광광을 선택적으로 통과시키는 경우와, 상기 제2 편광광을 선택적으로 통과시키는 경우에 전환되어도 좋다.
이 경우도, 필터부를 통과하는 광의 편광 방향을 전환함으로써, 제1 직선 편광 필름과 필터부로 평행 니콜 상태를 형성하며, 크로스 니콜 상태를 형성 가능하다. 따라서, 필름이 직선 편광 특성을 갖지 않는 경우라도 예컨대 평행 니콜 상태에서의 결함 검사와 크로스 니콜 상태에서의 결함 검사를 실시할 수 있다.
일실시형태에 따른 결함 검사 장치는, 상기 광 조사부와 상기 필름 사이에 배치되는 제1 직선 편광 필름을 더 가지고, 상기 필름은 편광 특성을 갖지 않는 필름이고, 상기 촬상부는, 카메라와, 상기 카메라와 상기 필름 사이에 배치되는 상기 필터부를 가져도 좋다. 일실시형태에 따른 결함 검사 방법에서는, 상기 필름은 편광 특성을 갖지 않는 필름이고, 상기 광 조사부는 광원으로부터의 광을 상기 필터부에 통과시킴으로써 상기 소정의 편광 방향의 검사광을 출력하고, 상기 촬상부는 상기 필터부를 통하여 카메라로 상기 필름의 상기 검사 영역을 촬상하고, 상기 검사광 조사 공정에서는, 상기 검사광을, 상기 광 조사부와 상기 필름 사이에 배치된 제1 직선 편광 필름을 통해 상기 광학 필름에 조사하고, 상기 촬상 공정에서는, 상기 필터부가 통과시키는 상기 소정의 편광 방향을 조정하여도 좋다.
이 경우, 필터부를 통과하는 광의 편광 방향을 전환함으로써, 제1 직선 편광 필름과 필터부로 평행 니콜 상태를 형성하며, 크로스 니콜 상태 또는 하프 크로스 니콜 상태를 형성 가능하다. 따라서, 필름이 직선 편광 특성을 갖지 않는 경우라도 예컨대 평행 니콜 상태에서의 결함 검사와 크로스 니콜 상태 또는 하프 크로스 니콜 상태에서의 결함 검사를 실시할 수 있다.
일실시형태에 따른 결함 검사 장치는, 상기 광 조사부를 2개 가지고 있고, 2개의 상기광 조사부 중 한쪽인 제1 광 조사부는, 상기 필름에서 보아 상기 촬상부와 반대측에 배치되어 있고, 2개의 상기 광 조사부 중 다른쪽인 제2 광 조사부는, 상기 필름에서 보아 상기 촬상부와 동일한 측에 배치되어 있어도 좋다.
이 경우, 제1 광 조사부와 촬상부는 투과 검사 광학계를 구성하고 있고, 제2 광 조사부와 촬상부는 반사 검사 광학계를 구성하고 있다. 따라서, 상기 구성에서는, 투과 검사 광학계와, 반사 검사 광학계가 통합되어 있다.
본 발명의 다른 측면은, 상기 본 발명의 다른 측면에 따른 기재의 결함 검사 방법에 따라 상기 필름을 검사하는 공정을 포함하는 필름의 제조 방법에도 관한 것이다.
이상과 같이, 본 발명은 상이한 검사 광학계를 통합한 결함 검사 장치, 결함 검사 방법 및 필름의 제조 방법을 제공할 수 있다.
도 1은 제1 실시형태에 따른 결함 검사 장치를 포함하는 결함 검사 시스템의 모식도이다.
도 2는 제1 실시형태에 따른 결함 검사 장치의 모식도이고, 도 2의 (a)부는 결함 검사 장치가 갖는 액정 필터(필터부)가 OFF 상태인 경우를 나타내고 있고, 도 2의 (b)부는 결함 검사 장치가 갖는 액정 필터(필터부)가 ON 상태를 나타내고 있다.
도 3은 제2 실시형태에 따른 결함 검사 장치의 모식도이다.
도 4는 제3 실시형태에 따른 결함 검사 장치의 모식도이다.
도 5는 제4 실시형태에 따른 결함 검사 장치의 모식도이다.
도 6은 검증 실험에 있어서의 제1 검사에서의 검사 화상을 나타내고 있고, 도 6의 (a)부는 정반사 검사 광학계에서의 검사 화상이고, 도 6의 (b)부는 크로스 니콜 반사 검사 광학계에서의 검사 화상이다.
도 7은 검증 실험에 있어서의 제2 검사에서의 검사 화상을 나타내고 있고, 도 7의 (a)부는 정반사 검사 광학계에서의 검사 화상이고, 도 7의 (b)부는 크로스 니콜 반사 검사 광학계에서의 검사 화상이다.
도 8은 제5 실시형태에 따른 결함 검사 장치의 모식도이다.
도 9는 제6 실시형태에 따른 결함 검사 장치의 모식도이다.
도 10은 제7 실시형태에 따른 결함 검사 장치의 모식도이다.
도 11은 제8 실시형태에 따른 결함 검사 장치의 모식도이다.
도 12는 제9 실시형태에 따른 결함 검사 장치의 모식도이다.
이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다. 동일한 요소에는 동일 부호를 붙이고, 중복하는 설명은 생략한다. 도면의 치수 비율은 설명의 것과 반드시 일치하지 않는다.
(제1 실시형태)
도 1은 제1 실시형태에 따른 결함 검사 장치를 포함하는 결함 검사 시스템의 모식도이다. 결함 검사 시스템(1)은, 반송부(2)와, 결함 검사 장치(3A)를 구비하고 있고, 띠형의 광학 필름(100)을, 그 길이 방향으로 반송부(2)에서 반송하면서 반송 경로에 배치된 결함 검사 장치(3A)에서, 광학 필름(100)의 결함 검사를 한다.
반송부(2)는 반송 롤러(R)를 갖는다. 반송부(2)는, 반송 롤러(R) 외에, 반송하는 광학 필름(100)에 장력을 부여하는 장력 부여 장치를 구비하여도 좋다. 도 1에는, 설명의 편의를 위해 사용하는 XYZ 직교 좌표가 나타나 있다. X 방향은 광학 필름(100)의 폭 방향을 나타내고, Y 방향은 광학 필름(100)의 반송 방향을 나타낸다. Z 방향은, X 방향 및 Y 방향의 각각에 직교하는 방향을 나타낸다. 다른 도면의 설명에 있어서도, 동일한 XYZ 직교 좌표를 이용하여 설명하는 경우도 있다.
결함 검사 시스템(1)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 마킹 장치(4)를 구비하여도 좋다. 마킹 장치(4)는, 결함 검사 장치(3A)로부터 보내오는 결함 정보를 이용하여, 광학 필름(100) 상에 안표(M)을 붙이는 장치이다. 마킹 장치(4)는, 예컨대, 광학 필름(100)의 폭 방향(X)을 따라 연장되는 아암과, 펜 등을 갖는 마커 헤드를 갖는다. 마커 헤드가 아암 상을 폭 방향(X)으로 이동함으로써, 광학 필름(100) 상에 안표(M)가 붙여진다. 마킹 장치(4)는, 결함 검사 장치(3A)에 의해 제어되도록 구성되어 있어도 좋고, 또는, 마킹 장치(4) 자체가 컴퓨터라고 하는 제어부를 가지고 있어도 좋다. 또한, 마킹 장치(4)는, 결함 검사 장치(3A)로부터 보내오는 결함 정보를 2차원 코드화하여, 광학 필름(100)에 인자하여도 좋다.
결함 검사 장치(3A)에서 행하는 결함 검사란, 광학 필름(100)의 제조 공정(반송 공정을 포함함) 시에 발생할 수 있는 결함을 검출하는 처리 외에, 검사한 결함의 광학 필름(100)에 있어서의 위치를 나타내는 결함 맵을 작성하는 처리를 포함하여도 좋다. 이 결함에는, 예컨대, 광학 필름(100)의 제조 공정에 있어서 광학 필름(100) 내에 혼입한 기포, 이물 및 휘점, 광학 필름(100)에 부착한 이물, 광학 필름(100)에 생긴 요철 등이다.
도 2를 이용하여 제1 실시형태에 따른 결함 검사 장치(3A)에 대해서 설명한다. 도 2는 제1 실시형태에 따른 결함 검사 장치(3A)의 모식도이고, 도 2의 (a)부는 결함 검사 장치(3A)가 갖는 액정 필터(필터부)가 OFF 상태인 경우를 나타내고 있고, 도 2의 (b)부는 결함 검사 장치(3A)가 갖는 액정 필터(필터부)가 ON 상태를 나타내고 있다.
도 2에서는, 결함 검사 장치(3A)에서 검사하는 광학 필름(100)으로서, 직선 편광 특성을 갖는 편광 필름을 예시하고 있다. 이하에서는, 특별히 언급이 없는 한 편광 필름으로서의 광학 필름(100)은, 필름 본체(101)와, 보호 필름(102)과, 보호 필름(103)의 적층체이다.
필름 본체(101)는 직선 편광 특성을 갖는다. 제1 실시형태에 있어서, 필름 본체(101)의 편광축(PA1)은, 광학 필름(100)의 반송 방향인 Y 방향에 평행이다. 필름 본체(101)의 재료의 예는, PVA(Polyvinyl Alcohol)이다. 보호 필름(102, 103)은, 필름 본체(101)의 양면에 접합되어 있다. 보호 필름(102, 103)의 재료의 예는, TAC(Triacetyl cellulose)이다.
광학 필름(100)은, 보호 필름(102, 103) 각각의 필름 본체(101)와 접하는 면과 반대측의 면에 또한, 프로텍트 필름, 세퍼레이트 필름 등의 필름을 더 가져도 좋다. 프로텍트 필름, 세퍼레이트 필름 등의 필름은, 예컨대, 점착제 또는 접착제를 통해 보호 필름(102, 103)에 접합될 수 있다. 보호 필름(102, 103) 중 어느 한쪽을 세퍼레이트 필름 등의 필름으로 대체하여도 좋다. 세퍼레이트 필름 및 프로텍트 필름의 재료의 예는, PET(Polyethylene Terephthalate)이다. 프로텍트 필름 및 세퍼레이트 필름은, 광학 필름(100)을 예컨대 액정 패널이나 다른 광학 필름 등에 접합시키기 전후에, 광학 필름(100)으로부터 박리된다.
이하에서는, 광학 필름(100)의 반송 방향[필름 본체(101)의 편광축(PA1) 방향]으로 편광한 광을 제1 편광광이라고 칭하고, 제1 편광광과 직교하는 방향으로 편광한 광을 제2 편광광이라고 칭한다.
결함 검사 장치(3A)는, 광 조사부(10A)와, 촬상부(20A)를 구비한다. 결함 검사 장치(3A)는, 광 조사부(10A) 및 촬상부(20A)를 제어하는 제어 장치(30)를 구비하여도 좋다. 이하에서는, 특별히 언급이 없는 한, 제어 장치(30)를 구비한 형태를 설명한다. 다른 실시형태에 있어서도 동일하다.
광 조사부(10A)는, 광학 필름(100)에서 보아 촬상부(20A)와 반대측에 배치되어 있다. 광 조사부(10A)는, 검사 대상인 광학 필름(100)에 조사하는 검사광(L)을, 광학 필름(100)의 검사 영역(A)(도 1 참조)을 향하여 출력한다. 광 조사부(10A)는, 광원(11)과, 액정 필터(12)를 가지고, 광원(11)으로부터 출력한 무편광의 광을, 액정 필터(12)를 통과시킴으로써 소정의 편광 상태를 갖는 검사광(L)으로서 출력한다. 도 2에서는, 제1 편광광의 편광 방향을 양화살표로 나타내고 있고, 제2 편광광의 편광 방향을 검은 동그라미로 나타내고 있다.
광원(11)은, 무편광이고, 광학 필름(100)의 조성 및 성질에 영향을 부여하지 않는 광을 출력할 수 있으면 한정되지 않는다. 광원(11)의 예는, 메탈 할라이드 램프, 할로겐 전송 라이트, 형광등 등을 포함한다. 광원(11)은, 도 1에 나타낸 바와 같이, 광학 필름(100)의 폭 방향으로 연장할 수 있다. 또는, 광 조사부(10A)는, 복수의 광원(11)을 구비하고, 이들이 광학 필름(100)의 폭 방향을 따라 이산적으로 배치되어 있어도 좋다.
제1 실시형태에 있어서, 액정 필터(12)는, 광원(11)으로부터 출력광에 포함되는 편광광 중 소정의 편광 방향의 광을 선택적으로 통과시킨다. 액정 필터(12)는, 일정한 전압이 인가된 상태가 ON 상태이고, 상기 일정한 전압이 인가되고 있지 않은 상태에서 OFF 상태이다. 액정 필터(12)의 ON/OFF 상태를 전환함으로써, 액정 필터(12)가 통과시키는 광의 편광 방향이 전환된다. 액정 필터(12)는, 제어 장치(30)에 전기적으로 접속되어 있고, 제어 장치(30)로 ON/OFF 제어된다. 이하의 설명에서서는, 특별히 언급하지 않는 한, 액정 필터(12)가 통과시키는 광의 소정의 편광 방향의 조정은, 서로 직교하는 제1 편광과 제2 편광 사이에서 편광 방향의 전환을 의미한다. 그러나, 액정 필터(12)에 인가하는 전압을 제어함으로써, 소정의 편광 방향은 조정될 수 있다.
액정 필터(12)는, 직선 편광 필름(12a)과, 액정 셀(12b)을 갖는다. 직선 편광 필름(12a)은 직선 편광 특성을 갖는다. 액정 셀(12b)은, 세퍼레이터를 사이에 두고 배치된 한쌍의 유리판 사이에 액정 재료가 충전되어 구성되어 있다. 상기 한쌍의 유리판의 내면에는, 서로 배향 방향이 직교한 배향막이 형성되어 있다.
액정 필터(12)는, 직선 편광 필름(12a)이 광학 필름(100)과 크로스 니콜을 형성하도록, 즉, Z 방향에서 본 경우에, 직선 편광 필름(12a)의 편광축(PA2)과 필름 본체(101)의 편광축(PA1)이 직교하도록 배치되어 있다. 따라서, 편광축(PA2)의 방향은, 지면에 직교하는 방향이다. 그 때문에, 도 2에서는, 편광축(PA2)을 검은 동그라미로 나타내고 있다. 다른 도면에서도 동일하다.
액정 필터(12)는, 광원(11)과 광학 필름(100) 사이에 직선 편광 필름(12a)이 광원(11)측에 위치하도록 배치되어 있다. 따라서, 광원(11)으로부터의 무편광의 출력광이 액정 필터(12)에 입사되면, 직선 편광 필름(12a)의 편광축(PA2)을 따른 편광 방향을 갖는 광인 제2 편광광만이 직선 편광 필름(12a)을 통과하여, 액정 셀(12b)에 입사한다.
액정 필터(12)가 OFF 상태인 경우, 액정 셀(12b)에 입사한 제2 편광광은, 액정 셀(12b) 내에서 편광 방향이 90°회전하여, 도 2의 (a)부에 나타내는 바와 같이, 제1 편광광으로서 출력된다. 즉, 액정 필터(12)가 OFF 상태에서는, 외관상, 제1 편광광이 선택적으로 액정 필터(12)를 통과한다. 한편, 액정 필터(12)가 ON 상태인 경우, 액정 셀(12b)에는 전압이 인가되고 있다. 이 경우, 도 2의 (b)부에 나타낸 바와 같이, 제2 편광광이 출력된다. 즉, 액정 필터(12)가 ON 상태에서는, 제2 편광광이 선택적으로 액정 필터(12)를 통과하고 있다.
따라서, 광 조사부(10A)는, 액정 필터(12)를 ON/OFF 제어함으로써, 제1 편광광으로서의 검사광(L)과, 제2 편광광으로서의 검사광(L)을 전환하여 광학 필름(100)에 조사하는 기능을 갖는다.
도 2에 나타낸 액정 필터(12)와 광학 필름(100)의 배치 관계는, 광학 필름(100)을 액정 필터(12)의 액정 셀(12b)에 접합한 경우, 액정 패널을 구성하는 배치 관계에 상당한다.
촬상부(20A)는, 광학 필름(100)을 촬상하는 적어도 하나의 카메라(21)를 갖는다. 도 1에서는, 촬상부(20A)가, 광학 필름(100)의 폭 방향을 따라 배치된 복수의 카메라(21)를 갖는 형태를 예시하고 있다. 카메라(21)는, CCD 카메라라고 하는 영역 센서 카메라이다. 카메라(21)는, 라인 센서 카메라여도 좋다. 카메라(21)가 라인 센서 카메라인 경우, 카메라(21)와 광학 필름(100)을 상대적으로 이동시킴으로써 광학 필름(100)의 검사 영역(A)을 촬상 가능하다. 촬상부(20A)[구체적으로는, 카메라(21)]는, 제어 장치(30)에 전기적으로 접속되어 있고, 촬상 타이밍이 제어되며, 얻어진 촬상 데이터를 제어 장치(30)에 입력한다.
제어 장치(30)는, 광 조사부(10A) 및 촬상부(20A)를 제어한다. 제1 실시형태에서는, 제어 장치(30)는, 액정 필터(12) 및 카메라(21)를 제어하는 형태를 설명하고 있지만, 예컨대 제어 장치(30)는, 광원(11)의 광 출력 타이밍을 제어하여도 좋다. 제어 장치(30)는, 예컨대 컴퓨터(연산부)를 갖는다. 제어 장치(30)는, 촬상부(20)로부터 입력되는 촬상 데이터에 대하여, 결함 부분을 검출하여, 결함 부분을 강조 표시하는 것 같은 화상 처리를 실시하는 기능, 광학 필름(100)의 화상에 대하여 결함 위치를 나타내는 결함 맵을 작성하는 기능 등을 가져도 좋다. 결함 검사 시스템(1)이, 도 1에 예시한 바와 같이, 마킹 장치(4)를 구비하는 형태에서는, 제어 장치(30)는, 도 1에 나타내는 바와 같이 마킹 장치(4)에도 전기적으로 접속되어, 마킹 장치(4)를 제어하여, 검출한 결함 정보에 기초한 안표(M)를 광학 필름(100)에 부여하여도 좋다.
다음에, 결함 검사 장치(3A)를 이용하여 광학 필름(100)을 검사하는 방법에 대해서 설명한다. 결함 검사를 실시할 때에는, 광 조사부(10A)로부터 소정의 편광 상태(소정의 편광 방향)의 검사광(L)을 광학 필름(100)의 검사 영역(A)에 조사한다(검사광 조사 공정). 검사광 조사 공정에서 광학 필름(100)에 검사광(L)을 조사하였을 때에, 촬상부(20A)[보다 구체적으로는 카메라(21)]로 검사 영역(A)을 촬상한다(촬상 공정).
검사광 조사 공정에서는, 액정 필터(12)를 ON/OFF 제어함으로써, 검사광(L)의 소정의 편광 상태를 전환한다. 구체적으로는, 예컨대, 먼저, 액정 필터(12)를 OFF 상태로 셋트하고, 제1 편광광인 검사광(L)을 광학 필름(100)에 조사한다. 그 후, 액정 필터(12)를 ON 상태로 셋트하고, 제2 편광광인 검사광(L)을 광학 필름(100)에 조사한다. 액정 필터(12)를 ON 상태로 셋트한 후에, OFF 상태로 전환하여도 좋다.
촬상 공정에서는, 검사광(L)의 소정의 편광 상태의 전환에 동기하여, 촬상부(20A)에서, 검사 영역(A)을 촬상한다.
상기 결함 검사 방법에서는, 검사광 조사 공정에서 제1 편광광인 검사광(L)을 광학 필름(100)에 조사하면, 검사광(L)과, 광학 필름(100)은 평행 니콜 상태, 즉, 검사광(L)의 편광 방향과, 광학 필름(100)이 갖는 필름 본체(101)의 편광축(PA1)의 방향이 실질적으로 일치한 상태로, 검사광(L)이 광학 필름(100)에 입사한다. 한편, 검사광 조사 공정에서 제2 편광광인 검사광(L)을 광학 필름(100)에 조사하면, 검사광(L)과 광학 필름(100)은 크로스 니콜 상태, 즉, 검사광(L)의 편광 방향과, 편광축(PA1)이 실질적으로 직교한 상태로, 검사광(L)이 광학 필름(100)에 입사한다.
따라서, 액정 필터(12)가 통과하여야 할 광의 소정의 편광 방향의 전환에 동기하여, 촬상부(20A)에서, 검사 영역(A)을 촬상함으로써, 광학 필름(100)에 대하여 평행 니콜 상태의 검사광(L)(평행 니콜광) 및 크로스 니콜 상태의 검사광(L)(크로스 니콜광) 각각에서 광학 필름(100)이 조명된 경우의 검사 화상이, 촬상 공정에서 얻어진다.
다음에, 도 1 및 도 2에 나타낸 결함 검사 장치(3A)를 이용한 결함 검사 방법을 포함하는 광학 필름(100)의 제조 방법을 설명한다. 여기서는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 보호 필름(102), 필름 본체(101) 및 보호 필름(103)의 적층체인 광학 필름(100)을 제조하는 경우를 예로 하여 설명한다.
광학 필름(100)을 제조할 때, 띠형의 필름 본체(101), 띠형의 보호 필름(102) 및 띠형의 보호 필름(103)을 각각 길이 방향으로 반송하면서, 필름 본체(101)의 한쪽의 한면에 보호 필름(102)을 접합하고, 다른쪽의 한면에 보호 필름(103)을 접합한다(접합 공정). 필름 본체(101)와, 보호 필름(102) 및 보호 필름(103)의 접합은, 예컨대 한쌍의 접합 롤러를 이용하여 행할 수 있다. 접합 공정은, 필름 본체(101)에 보호 필름(102) 및 보호 필름(103)을 동시에 접합하여도 좋고, 필름 본체(101)에, 보호 필름(102) 및 보호 필름(103)의 한쪽을 접합한 후, 다른쪽을 접합하여도 좋다.
상기 접합 공정 후에, 보호 필름(103), 필름 본체(101) 및 보호 필름(102)의 적층체로서의 광학 필름(100)을 결함 검사 장치(3A)에 있어서의 광 조사부(10A)와 촬상부(20A) 사이에 반송하면서 결함 검사 장치(3A)에서 광학 필름(100)의 결함 검사를 행한다(결함 검사 공정). 결함 검사 공정에서는, 상기에서 설명한 결함 검사 방법으로 광학 필름(100)의 결함 검사를 행한다. 결함 검사 시스템(1)이, 마킹 장치(4)를 구비하는 형태에서는, 결함 검사 공정의 결과에 따라, 마킹 장치(4)로 안표(M)를 광학 필름(100)에 부여하는 공정(마킹 공정)을 실시하여도 좋다.
상기 제조 방법에서는, 보호 필름(103), 필름 본체(101) 및 보호 필름(102)의 적층체로서의 광학 필름(100)을, 결함 검사 장치(3A)에 의해 결함 검사를 실시하였다. 그러나, 보호 필름(103) 및 보호 필름(102)이 접합되기 전의 필름 본체(101)를 광학 필름으로서 결함 검사 장치(3A)에서 결함 검사하여도 좋다.
결함 검사 장치(3A) 및 결함 검사 장치(3A)를 이용한 결함 검사 방법에서는, 액정 필터(12)를 ON/OFF 제어함으로써, 하나의 장치로 평행 니콜 상태에서의 조사에 의한 광학 필름(100)의 검사 화상과, 크로스 니콜 상태에서의 조사에 의한 광학 필름(100)의 검사 화상을 얻을 수 있다.
따라서, 결함 검사 장치(3A)는, 평행 니콜에 의한 투과 검사 광학계(이하, 「정투과 검사 광학계」라고 칭함)와, 크로스 니콜에 의한 투과 검사 광학계(이하, 크로스 니콜 투과 검사 광학계)가 하나로 통합된 구성을 갖는다. 결함은, 그 종류에 따라 정투과 검사 광학계 및 크로스 니콜 투과 검사 광학계 중 어느 하나에서만 검출되는 경우가 있다. 결함 검사 장치(3A)와 같이, 정투과 검사 광학계와, 크로스 니콜 투과 검사 광학계가 하나의 장치로 통합되어 있으면, 광학 필름(100) 내의 결함을 확실하게 검출하기 쉽다.
또한, 정투과 검사 광학계 및 크로스 니콜 투과 검사 광학계 중 어느 것에서도 검출 가능한 결함의 경우에 있어서, 예컨대 정투과 검사 광학계에 의해 나타나고 있었던 결함이, 크로스 니콜 투과 검사 광학계의 검사 화상에서 나타나지 않는 경우, 그 결함은, 필름 본체(101)보다 상측[촬상부(20A)측]에 생겨 있다고 판단할 수 있다. 즉, 광학 필름(100)에 있어서의 결함 발생층의 식별도 가능하다. 그 때문에, 상기 결함 검사 방법을 갖는 광학 필름(100)의 제조 방법에서는, 결함을 포함하지 않는 제품으로서의 광학 필름(100)을 보다 제조하기 쉽다.
결함 검사 장치(3A)에서는, 정투과 검사 광학계에서의 결함 검사와, 크로스 니콜 투과 검사 광학계에서의 결함 검사를, 액정 필터(12)의 ON/OFF 제어로 전환 가능하다. 액정 필터(12)의 전환은, 보다 짧은 시간(예컨대, 0.1 msec∼25 msec)에 가능하기 때문에, 2개의 검사 광학계에서의 결함 검사를 효율적으로 실시할 수 있다. 그 때문에, 상기 결함 검사 방법을 포함한 광학 필름(100)의 제조 방법에서는, 결함을 포함하지 않는 제품으로서의 광학 필름(100)을 효율적으로 생산할 수 있다.
(제2 실시형태)
제1 실시형태는, 광 조사부가 액정 필터(필터부)를 구비하고 있고, 광학 필름(100)의 하측에 액정 필터가 배치된 형태이다. 그러나, 결함 검사 장치는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 촬상부가 액정 필터를 구비하여도 좋다.
도 3은 제2 실시형태에 따른 결함 검사 장치(3B)의 모식도이다. 결함 검사 장치(3B)는, 광 조사부(10B)와, 촬상부(20B)를 갖는다. 도 3에서는, 광의 광로의 일례를 일점 쇄선의 화살표로 모식적으로 나타내고 있다.
광 조사부(10B)는, 액정 필터(12)를 갖지 않는 점에서, 제1 실시형태의 광 조사부(10A)와 상위하다. 광 조사부(10B)가 갖는 광원(11)의 구성은, 제1 실시형태의 경우와 동일하다.
촬상부(20B)는, 카메라(21)와 광학 필름(100) 사이에 배치된 액정 필터(12)를 갖는 점에서, 제1 실시형태의 촬상부(20A)와 상위하다. 카메라(21)의 구성은, 제1 실시형태의 경우와 동일하다. 카메라(21)는, 제어 장치(30)에 전기적으로 접속되어 있고, 제1 실시형태와 마찬가지로 제어 장치(30)에 의해 제어된다.
촬상부(20B)가 갖는 액정 필터(12)의 구성은, 제1 실시형태의 경우와 동일하다. 액정 필터(12)는, 제어 장치(30)에 전기적으로 접속되어 있고, 제어 장치(30)에 의해 ON/OFF 제어된다.
액정 필터(12)는, 직선 편광 필름(12a)가 촬상부(20B)측에 위치하고, 직선 편광 필름(12a)의 편광축(PA2)과, 필름 본체(101)의 편광축(PA1)이 크로스 니콜 상태가 되도록, 배치되어 있다. 이러한 배치에서는, 액정 필터(12)에는, 액정 셀(12b)측으로부터 광이 입사한다. 따라서, 액정 필터(12)가 OFF 상태에서는, 액정 필터(12)는, 직선 편광 필름(12a)의 편광축(PA2)과 직교하는 편광 방향을 갖는 제1 편광광을 선택적으로 통과시킨다. 단, 액정 필터(12)에 입사한 제1 편광광은, 액정 셀(12b)을 통과하는 동안에 편광 방향이 90°회전하여, 제2 편광광으로서 출력된다. 한편, 액정 필터(12)가 ON 상태에서는, 액정 필터(12)는, 제2 편광광을 선택적으로 통과시킨다. 액정 필터(12)가 ON 상태에서는, 액정 필터(12)에 입사한 제2 편광광은, 그 편광 방향을 유지한 채로 액정 필터(12)로부터 출력된다.
다음에, 결함 검사 장치(3B)를 이용하여 광학 필름(100)의 결함을 검사하는 방법을 설명한다. 결함 검사를 실시할 때에는, 광 조사부(10B)로부터의 무편광의 출력광을 검사광(L)으로서 광학 필름(100)의 검사 영역(A)에 조사한다(검사광 조사 공정). 검사광 조사 공정에서 광학 필름(100)에 검사광(L)을 조사하였을 때에, 촬상부(20B)[보다 구체적으로는 카메라(21)]로 검사 영역(A)을 촬상한다(촬상 공정). 보다 상세하게는, 카메라(21)로 액정 필터(12)를 통하여 광학 필름(100)을 촬상한다. 촬상 공정에서는, 액정 필터(12)의 ON/OFF 제어에 동기하여 카메라(21)로 광학 필름(100)을 촬상함으로써, 액정 필터(12)가 ON 상태인 경우의 검사 화상을 얻으며, 액정 필터(12)가 OFF 상태인 경우의 검사 화상을 얻는다.
결함 검사 장치(3B)도, 제1 실시형태의 경우와 마찬가지로, 정투과 검사 광학계와, 크로스 니콜 투과 검사 광학계가 통합된 장치이다. 이 점을 설명한다. 설명의 편의상, 먼저, 광학 필름(100)에 결함이 없다고 가정한다.
상기 검사광 조사 공정에서는, 무편광의 광인 검사광(L)이 광학 필름(100)에 조사된다. 광학 필름(100)의 필름 본체(101)는 편광축(PA1)을 갖기 때문에, 검사광(L)에 포함되는 제1 편광광이 광학 필름(100)으로부터 출력되어, 액정 필터(12)에 입사한다.
액정 필터(12)가 OFF 상태이면, 광학 필름(100)으로부터의 제1 편광광은, 전술한 바와 같이, 액정 필터(12)를 통과하고, 그 통과 과정에서 제2 편광광으로 변환된 후, 제2 편광광으로서 출력된다. 액정 필터(12)로부터 출력된 제2 편광광은, 카메라(21)로 받아진다. 따라서, 액정 필터(12)가 OFF 상태인 경우, 광학 필름(100)의 투과 화상이 얻어진다. 즉, 액정 필터(12)를 OFF 상태로 셋트한 경우, 결함 검사 장치(3B)의 검사 광학계는, 정투과 검사 광학계로서 기능한다.
한편, 액정 필터(12)가 ON 상태이면, 전술한 바와 같이 액정 필터(12)는, 제2 편광광을 선택적으로 통과시키기 때문에, 광학 필름(100)으부터의 제1 편광광은, 액정 필터(12)를 통과하지 않는다. 바꾸어 말하면, ON 상태의 액정 필터(12)는, 광학 필름(100)에 대하여 크로스 니콜 상태로 배치된 편광 필터로서 기능한다. 즉, 액정 필터(12)를 ON 상태로 셋트한 경우, 결함 검사 장치(3B)의 검사 광학계는, 크로스 니콜 투과 검사 광학계로서 기능한다.
따라서, 결함 검사 장치(3B)도, 정투과 검사 광학계와, 크로스 니콜 투과 검사 광학계가 통합된 장치이다.
결함 검사 장치(3B)를 정투과 검사 광학계로서 기능시키는 경우에 있어서, 광학 필름(100)에 결함이 포함되어 있으면, 결함에 의해 광이 차단되거나, 결함 부분에서 편광 상태가 요란됨으로써, 검사 화상에 있어서 결함 부분은, 예컨대 어두운 영역으로서 나타난다.
한편, 결함 검사 장치(3B)를 크로스 니콜 투과 검사 광학계로서 기능시키는 경우, 광학 필름(100)에 있어서의 필름 본체(101)보다 상측[촬상부(20B)측]에 결함이 존재하지 않으면, 전술한 바와 같이, 광학 필름(100)으로부터는 제1 편광광이 출력되기 때문에, 검사 화상은 실질적으로 캄캄한 화상이 된다. 광학 필름(100)에 있어서의 필름 본체(101)보다 상측[촬상부(20B)측]에 결함이 존재하고 있으면, 필름 본체(101)로부터의 제1 편광광의 편광 상태가 결함으로 요란되기 때문에, 광학 필름(100)으로부터의 출력광은, 제2 편광광을 포함한다. 이 제2 편광광은, ON 상태의 액정 필터(12)를 통과 가능하기 때문에, 카메라(21)에 광이 입사한다. 따라서, 검사 화상에 있어서 결함이 휘점으로서 나타난다.
결함 검사 장치(3B)도, 정투과 검사 광학계와, 크로스 니콜 투과 검사 광학계가 통합된 장치이며, 정투과 검사 광학계와, 크로스 니콜 투과 검사 광학계는, 액정 필터(12)의 ON/OFF 제어로 전환된다. 그 때문에, 결함 검사 장치(3B)도, 제1 실시형태의 결함 검사 장치(3A)와 동일한 작용 효과를 갖는다.
또한, 정투과 검사 광학계 및 크로스 니콜 투과 검사 광학계 중 어느 것에서도 검출 가능한 결함인 경우에 있어서, 예컨대 정투과 검사 광학계에 의해 나타나고 있던 결함이, 크로스 니콜 투과 검사 광학계의 검사 화상에서 나타나지 않는 경우, 그 결함은, 필름 본체(101)보다 상측[촬상부(20A)측]에 생겨 있다고 판단할 수 있다. 즉, 결함 검사 장치(3B)에 있어서도, 광학 필름(100)에 있어서의 결함 발생층의 식별도 가능하다.
결함 검사 장치(3B)는, 결함 검사 장치(3A) 대신에 도 1에 나타낸 결함 검사 시스템(1)에 적용할 수 있다. 따라서, 결함 검사 장치(3B)를 이용한 결함 검사 방법을 포함하는 광학 필름(100)의 제조 방법은, 제1 실시형태와 동일한 작용 효과를 갖는다.
(제3 실시형태)
도 4는 제3 실시형태에 따른 결함 검사 장치(3C)의 모식도이다. 도 4에서도, 광의 광로를 일점 쇄선으로 모식적으로 나타내고 있다.
도 4에 나타낸 결함 검사 장치(3C)는, 제1 실시형태에 있어서, 촬상부(20A) 대신에 제2 실시형태에서 설명한 촬상부(20B)를 구비하는 점에서, 제1 실시형태의 결함 검사 장치(3A)와 상위하다. 광 조사부(10A)가 갖는 액정 필터(12), 촬상부(20B)가 갖는 액정 필터(12) 및 카메라(21)는, 제1 및 제2 실시형태의 경우와 마찬가지로, 제어 장치(30)에 전기적으로 접속되어, 제어 장치(30)로 제어된다.
결함 검사 장치(3C)를 이용하여 광학 필름(100)의 결함을 검사하는 방법을 설명한다. 결함 검사를 실시할 때에는, 광 조사부(10A)로부터 검사광(L)을 광학 필름(100)의 검사 영역(A)(도 1 참조)에 조사한다(검사광 조사 공정). 검사광 조사 공정에서 광학 필름(100)에 검사광(L)을 조사하였을 때에, 촬상부(20B)[보다 구체적으로는 카메라(21)]로 검사 영역(A)을 촬상한다(촬상 공정).
검사광 조사 공정에서는, 광 조사부(10A)가 갖는 액정 필터(12)를 ON/OFF 제어함으로써, 제1 실시형태의 경우와 마찬가지로, 검사광(L)의 소정의 편광 상태(소정의 편광 방향)를 전환한다. 촬상 공정에서는, 광 조사부(10A)가 갖는 액정 필터(12)의 ON/OFF 제어에 따라, 촬상부(20B)가 갖는 액정 필터(12)를 ON/OFF 제어하여, 광 조사부(10A) 및 촬상부(20B) 각각이 갖는 액정 필터(12)의 ON 상태와 OFF 상태의 조합에 따라 검사 화상을 얻는다.
구체적으로는, 광 조사부(10A)가 갖는 액정 필터(12)를 OFF 상태로 셋트하였을 때에, 촬상부(20B)가 갖는 액정 필터(12)를 ON/OFF 제어하여, 촬상부(20B)가 갖는 액정 필터(12)가 OFF 상태 및 ON 상태로 셋트되었을 때에 검사 화상을 각각 얻는다. 광 조사부(10A)가 갖는 액정 필터(12)를 ON 상태로 셋트하였을 때에, 촬상부(20B)가 갖는 액정 필터(12)를 ON/OFF 제어하여, 촬상부(20B)가 갖는 액정 필터(12)가 OFF 상태 및 ON 상태로 셋트되었을 때에 검사 화상을 각각 얻는다. 따라서, 결함 검사 장치(3C)에서는, 표 1에 나타낸 케이스(a)∼케이스(d)에 대응한 검사 화상이 얻어진다.
Figure pat00001
케이스(a)에서는, 광학 필름(100)에 평행 니콜 상태의 검사광(L)이 조사되기 때문에, 광학 필름(100)으로부터는 제1 편광광이 출력된다. 제1 편광광은, 제2 실시형태에서 설명한 바와 같이, 케이스(a)에 있어서의 액정 필터(12)를 통과 가능하다. 따라서, 케이스(a)에서의 검사 광학계는, 정투과 검사 광학계에 상당한다.
케이스(b)에서는, 케이스(a)와 마찬가지로, 광학 필름(100)으로부터는 제1 편광광이 출력된다. 케이스(b)에서는, 촬상부(20B)의 액정 필터(12)가 ON 상태로 셋트되어 있기 때문에, 광학 필름(100)에 결함이 존재하지 않는 경우[보다 구체적으로는, 필름 본체(101)보다 상측에 결함이 존재하지 않는 경우], 촬상부(20B)가 갖는 액정 필터(12)를 광은 통과하지 않는다. 따라서, 케이스(b)는, 크로스 니콜 투과 검사 광학계에 상당한다.
케이스(c) 및 케이스(d)에서는, 광학 필름(100)에 크로스 니콜 상태의 검사광(L)이 조사되기 때문에, 크로스 니콜 투과 검사 광학계에 상당한다.
이와 같이, 결함 검사 장치(3C)에서도 정투과 검사 광학계와 크로스 니콜 투과 검사 광학계가 통합되어 있고, 2개의 광학계가 액정 필터(12)의 ON/OFF 제어로 전환된다. 따라서, 결함 검사 장치(3C) 및 결함 검사 장치(3C)를 이용한 결함 검사 방법은, 제1 실시형태의 결함 검사 장치(3A)와 동일한 작용 효과를 갖는다.
결함 검사 장치(3C)는, 결함 검사 장치(3A) 대신에 도 1에 나타낸 결함 검사 시스템(1)에 적용할 수 있다. 따라서, 결함 검사 장치(3B)를 이용한 결함 검사 방법을 포함하는 광학 필름(100)의 제조 방법은, 제1 실시형태와 동일한 작용 효과를 갖는다. 결함 검사 장치(3C)에서는, 상기 케이스(a)∼케이스(d)의 4개의 상태 각각에서 광학 필름(100)의 결함 검사를 실시할 수 있기 때문에, 광학 필름(100)에 따른 검사를 하기 쉽다.
(제4 실시형태)
제1∼제3 실시형태에서 설명한 결함 검사 장치(3A, 3B, 3C)는, 투과 검사 광학계를 채용하고 있었다. 그러나, 도 5에 모식적으로 나타낸 바와 같이, 결함 검사 장치는, 반사 검사 광학계를 채용하여도 좋다. 도 5는 제4 실시형태에 따른 결함 검사 장치(3D)의 모식도이다. 도 5에서도, 광의 광로의 일례를 일점 쇄선으로 모식적으로 나타내고 있다.
결함 검사 장치(3D)는, 검사 대상인 광학 필름(100)에 대하여, 광 조사부(10A)와, 촬상부(20A)가 동일한 측에 배치되어 있는 점에서, 제1 실시형태의 결함 검사 장치(3A)와 상위하다. 바꾸어 말하면, 결함 검사 장치(3D)에서는, 제1 실시형태의 결함 검사 장치(3A)에 있어서, 광 조사부(10A)로부터의 검사광(L)이, 광학 필름(100)에서 반사된 경우에, 그 반사광이 촬상부(20A)에 입사하도록 광 조사부(10A) 및 촬상부(20A)가 배치되어 있다. 광 조사부(10A) 및 촬상부(20A)의 구성은, 제1 실시형태와 동일하며, 결함 검사 장치(3D)를 이용한 광학 필름(100)의 결함 검사 방법은, 제1 실시형태와 동일하다.
결함 검사 장치(3D)는, 반사 검사 광학계를 채용하고 있기 때문에, 액정 필터(12)를 ON/OFF 제어함으로써, 하나의 장치로, 광학 필름(100)에 대한 평행 니콜 상태의 검사광(L)(평행 니콜광)이 광학 필름(100)에 조사된 경우의 반사 검사 화상과, 광학 필름(100)에 대한 크로스 니콜 상태의 검사광(L)(크로스 니콜광)이 광학 필름(100)에 조사된 경우의 반사 검사 화상을 얻을 수 있다. 따라서, 결함 검사 장치(3D)는, 평행 니콜 상태의 반사 검사 광학계(이하, 「정반사 검사 광학계」라고 칭함)와, 크로스 니콜 상태의 반사 검사 광학계(이하, 크로스 니콜 반사 검사 광학계)가 하나로 통합되어 있다. 또한, 정반사 검사 광학계와 크로스 니콜 반사 검사 광학계는, 액정 필터(12)를 ON/OFF 제어함으로써 전환된다. 따라서, 결함 검사 장치(3D) 및 결함 검사 장치(3D)를 이용한 광학 필름(100)의 결함 검사 방법은, 제1 실시형태의 경우와 동일한 작용 효과를 갖는다.
결함 검사 장치(3D)는, 전술한 바와 같이 반사 검사 광학계를 채용하고 있다. 광 조사부(10A)로부터의 검사광(L)이, 제1 편광광인 경우, 검사광(L)은, 필름 본체(101)보다 하측[도 5에서는, 보호 필름(103)]에 전파 가능하다. 따라서, 정반사 검사 광학계에서는, 필름 본체(101)보다 하측에 포함되는 결함도 검출 가능하다. 반대로, 광 조사부(10A)로부터의 검사광(L)이, 제2 편광광인 경우, 검사광(L)은, 필름 본체(101)보다 하측에 전파할 수 없다. 따라서, 크로스 니콜 반사 검사 광학계에서는, 필름 본체(101) 및 필름 본체(101)보다 상측에 위치하는 결함을 검사 가능하지만, 필름 본체(101)보다 하측의 결함을 검출할 수 없다. 따라서, 결함 검사 장치(3D)에 있어서, 정반사 검사 광학계로의 검사와, 크로스 니콜 반사 검사 광학계로의 검사를 전환함으로써, 광학 필름(100)의 두께 방향에 있어서의 결함의 위치도 특정할 수 있다.
구체적으로는, 정반사 검사 광학계 및 크로스 니콜 반사 검사 광학계 각각을 이용한 검사에 의해 결함이 검출할 수 있으면, 그 결함은, 필름 본체(101) 및 필름 본체(101)보다 상측에 위치한다. 반대로, 정반사 검사 광학계에서 결함이 검출되어 있는 한편, 크로스 니콜 반사 검사 광학계에서는 결함이 검출되어 있지 않으면, 그 결함은, 필름 본체(101)보다 하측에 위치한다. 이와 같이, 결함 검사 장치(3D)에서는, 결함의 위치를 보다 상세하게 식별 가능하다. 이 점을 검증한 실험(검증 실험)을 설명한다. 검증 실험의 설명에서는, 지금까지의 설명에 있어서의 구성 요소에 대응하는 요소에는 동일한 부호를 붙여 설명한다.
[검증 실험]
검증 실험에 사용한 광학 필름(100)은, 보호 필름(103), 필름 본체(101) 및 보호 필름(102)이 이 순서로 적층된 필름이었다. 보호 필름(102, 103)의 재료는 TAC이고, 필름 본체(101)의 재료는 PVA였다. 검증 실험에 사용한 광학 필름(100)에는, 보호 필름(102)측에 기포가 혼입되어 있는 필름을 사용하였다.
검증 실험에서는, 도 5에 나타낸 구성의 결함 검사 장치(3D)를 사용하였다. 단, 카메라(21)에는 라인 센서 카메라를 채용하고, 라인 센서 카메라와 광학 필름(100)을 상대적으로 이동시킴으로써, 광학 필름(100)의 검사 화상을 얻었다.
(제1 검사)
제1 검사에서는, 보호 필름(102)측이 광 조사부(10A) 및 촬상부(20A)측에 위치하도록, 광학 필름(100)을 결함 검사 장치(3D)에 셋트하고, 액정 필터(12)를 OFF 상태 및 ON 상태로 셋트함으로써, 정반사 검사 광학계와, 크로스 니콜 반사 검사 광학계로 광학 필름(100)의 검사 화상을 얻었다. 도 6은 제1 검사에서의 검사 화상을 나타내고 있고, 도 6의 (a)부는 정반사 검사 광학계에서의 검사 화상이고, 도 6의 (b)부는 크로스 니콜 반사 검사 광학계에서의 검사 화상이다.
(제2 검사)
제2 검사에서는, 제1 검사의 경우에 대하여 광학 필름(100)을 뒤집은 상태로 결함 검사 장치(3D)에 광학 필름(100)을 셋트하였다. 즉, 보호 필름(102)측이 광 조사부(10A) 및 촬상부(20A)와 반대측에 위치하도록, 광학 필름(100)을 결함 검사 장치(3D)에 셋트하였다. 그리고, 제1 검사의 경우와 마찬가지로, 정반사 검사 광학계와, 크로스 니콜 반사 검사 광학계로 광학 필름(100)의 검사 화상을 얻었다. 도 7은 제2 검사에서의 검사 화상을 나타내고 있고, 도 7의 (a)부는 정반사 검사 광학계에서의 검사 화상이고, 도 7의 (b)부는 크로스 니콜 반사 검사 광학계에서의 검사 화상이다. 도 7의 (a)부 및 (b)부에 있어서, 일점 쇄선으로 나타낸 영역은 서로 대응하는 영역이다.
제1 검사에서는, 정반사 검사 광학계의 검사와, 크로스 니콜 반사 검사 광학계의 검사 중 어느 것에서도 기포 결함을 확인할 수 있었다. 이 경우, 전술한 바와 같이, 결함은 필름 본체(101)보다 상측에 위치한다고 추정된다. 그리고, 제1 검사에서는, 기포 결함을 포함하는 보호 필름(102)이 필름 본체(101)보다 광 조사부(10A) 및 촬상부(20A)측에 위치하기 때문에, 필름 본체(101)에 대한 결함 위치가, 검사 화상으로부터 판단할 수 있는 것과 일치하고 있는 것을 이해할 수 있다.
제2 검사에서는, 정반사 검사 광학계에서의 검사에서는, 도 7의 (a)부의 일점 쇄선으로 둘러싼 영역 내에 기포 결함을 확인할 수 있었던 한편, 크로스 니콜 반사 검사 광학계의 검사에서는, 도 7의 (b)부의 일점 쇄선으로 둘러싼 영역 내에는 기포 결함을 확인할 수 없었다. 이 경우, 전술한 바와 같이, 결함은 필름 본체(101)보다 하측에 위치하고 있다고 추정된다. 그리고, 제2 검사에서는, 기포 결함을 포함하는 보호 필름(102)이 필름 본체(101)에 대하여 광 조사부(10A) 및 촬상부(20A)와 반대측에 위치하기 때문에, 필름 본체(101)에 대한 결함 위치가, 검사 화상으로부터 판단할 수 있는 것과 일치하고 있는 것을 이해할 수 있다.
따라서, 결함 검사 장치(3D)에 있어서, 정반사 검사 광학계 및 크로스 니콜 반사 검사 광학계 각각에서의 결함 검사의 결과를 비교함으로써, 결함의 위치를 보다 구체적으로 특정 가능하다.
결함 검사 장치(3D)는, 결함 검사 장치(3D) 대신에 도 1에 나타낸 결함 검사 시스템(1)에 적용할 수 있다. 따라서, 결함 검사 장치(3D)를 이용한 결함 검사 방법을 포함하는 광학 필름(100)의 제조 방법은, 제1 실시형태와 동일한 작용 효과를 갖는다.
(제5 실시형태)
도 8은 제5 실시형태에 따른 결함 검사 장치(3E)의 모식도이다. 결함 검사 장치(3E)는, 제1 광 조사부(10A1)와 제2 광 조사부(10A2)를 구비하는 점에서 제1 실시형태의 결함 검사 장치(3A)와 상위하다. 도 8에서도, 광의 광로의 일례를 일점 쇄선으로 모식적으로 나타내고 있다.
제1 광 조사부(10A1)는, 광학 필름(100)에서 보아 촬상부(20A)와 반대측에 배치되어 있고, 검사광(L)을 광학 필름(100)에 경사 입사한다. 이와 같이 검사광(L)이 경사 입사하도록 제1 광 조사부(10A1)가 배치되어 있는 점 이외에는, 제1 광 조사부(10A1)의 구성은, 제1 실시형태의 광 조사부(10A)의 구성과 동일하다.
제2 광 조사부(10A2)는, 제4 실시형태에서 설명한 광 조사부(10A)와 동일한 구성 및 배치이다. 즉, 제2 광 조사부(10A2)는, 촬상부(20A)와 함께 반사 검사 광학계를 구성하도록 광학 필름(100)에 대하여 배치되어 있다. 제2 광 조사부(10A2)는, 제1 광 조사부(10A1) 및 제2 광 조사부(10A2) 각각으로부터의 검사광(L)에 기초하여 광학 필름(100)으로부터 출력되는 광이, 촬상부(20A)가 갖는 카메라(21)의 수광면의 동일한 영역에 입사하도록 배치되어 있어도 좋고, 다른 영역에 입사하도록 배치되어 있어도 좋다.
제어 장치(30)는, 제1 광 조사부(10A1) 및 제2 광 조사부(10A2) 각각의 액정 필터(12)에 전기적으로 접속되어 있고, 제1 광 조사부(10A1) 및 제2 광 조사부(10A2) 각각의 액정 필터(12)를 ON/OFF 제어한다.
다음에, 결함 검사 장치(3E)를 이용한 광학 필름(100)의 결함 검사 방법을 설명한다. 먼저, 제1 광 조사부(10A1) 및 제2 광 조사부(10A2) 각각으로부터의 검사광(L)에 기초하여 광학 필름(100)으로부터 출력되는 광이, 촬상부(20A)가 갖는 카메라(21)의 수광면의 동일한 영역에 입사하는 형태를 설명한다.
결함 검사를 실시할 때에는, 제1 광 조사부(10A1)로부터 검사광(L)을 광학 필름(100)의 검사 영역(A)(도 1 참조)에 조사하며, 제2 광 조사부(10A2)로부터 검사광(L)을 광학 필름(100)의 검사 영역(A)에 조사한다(검사광 조사 공정). 검사광 조사 공정에서 광학 필름(100)에 검사광(L)을 조사하였을 때에, 촬상부(20A)에서 광학 필름(100)을 촬상한다(촬상 공정).
검사광 조사 공정에서는, 제1 광 조사부(10A1) 및 제2 광 조사부(10A2)로부터 상이한 타이밍에 검사광(L)을 광학 필름(100)의 검사 영역(A)에 조사한다. 그리고, 제1 광 조사부(10A1) 및 제2 광 조사부(10A2) 각각으로부터 검사광(L)을 출력할 때, 검사광(L)을 출력하는 광 조사부[제1 광 조사부(10A1) 또는 제2 광 조사부(10A2)]가 갖는 액정 필터(12)를 ON/OFF 제어함으로써, 검사광(L)의 소정의 편광상태를 전환한다.
예컨대, 제1 광 조사부(10A1)로부터 검사광(L)을 출력하는 경우, 제1 광 조사부(10A1)가 갖는 액정 필터(12)를 OFF 상태로 셋트하여 제1 편광광인 검사광(L)을 광학 필름(100)에 조사한다. 계속해서, 제1 광 조사부(10A1)가 갖는 액정 필터(12)를 ON 상태로 셋트하여 제2 편광광인 검사광(L)을 광학 필름(100)에 조사한다. 제2 광 조사부(10A2)로부터 검사광(L)을 출력하는 경우, 제1 광 조사부(10A1)의 경우와 마찬가지로, 제2 광 조사부(10A2)가 갖는 액정 필터(12)를 ON/OFF 제어한다.
촬상 공정에서는, 제1 광 조사부(10A1)로부터 검사광(L)을 출력할 때의 액정 필터(12)의 ON/OFF 제어에 동기하여, 촬상부(20A)의 카메라(21)로 광학 필름(100)의 검사 영역(A)을 촬상한다. 마찬가지로, 제2 광 조사부(10A2)로부터 검사광(L)을 출력할 때의 액정 필터(12)의 ON/OFF 제어에 동기하여, 촬상부(20A)의 카메라(21)로 광학 필름(100)의 검사 영역(A)을 촬상한다.
제1 광 조사부(10A1) 및 제2 광 조사부(10A2) 각각으로부터의 검사광(L)에 기초하여 광학 필름(100)으로부터 출력되는 광이, 촬상부(20A)가 갖는 카메라(21)의 수광면이 상이한 영역에 입사하는 경우의 결함 검사 방법을 설명한다. 이 경우도 상기 검사광 조사 공정과 촬상 공정을 갖는다.
단, 검사광 조사 공정에서는, 제1 광 조사부(10A1) 및 제2 광 조사부(10A2)로부터 동일한 타이밍에 검사광(L)을 출력하여도 좋다. 그리고, 제1 광 조사부(10A1) 및 제2 광 조사부(10A2) 각각이 갖는 액정 필터(12)를 ON/OFF 제어한다. 제1 광 조사부(10A1)가 갖는 액정 필터(12)의 ON/OFF 제어 및 제2 광 조사부(10A2)가 갖는 액정 필터(12)의 ON/OFF 제어의 타이밍은 동일하여도 상이하여도 좋다.
촬상 공정에서는, 제1 광 조사부(10A1) 및 제2 광 조사부(10A2) 각각이 갖는 액정 필터(12)의 ON/OFF 제어의 타이밍에 동기하여 촬상부(20A)의 카메라(21)로 광학 필름(100)의 검사 영역(A)을 촬상한다.
결함 검사 장치(3E)에 있어서, 제1 광 조사부(10A1) 및 촬상부(20A)는, 제1 실시형태에서 설명한 투과 검사 광학계를 구성하고 있다. 따라서, 결함 검사 장치(3E) 및 결함 검사 장치(3E)에 있어서, 제1 광 조사부(10A1)를 이용한 결함 검사는, 제1 실시형태에서 설명한 결함 검사 장치(3A)와 동일한 작용 효과를 갖는다.
결함 검사 장치(3E)에 있어서, 제2 광 조사부(10A2) 및 촬상부(20A)는, 제4 실시형태에서 설명한 반사 검사 광학계를 구성하고 있다. 따라서, 결함 검사 장치(3E) 및 결함 검사 장치(3E)에 있어서, 제2 광 조사부(10A2)를 이용한 결함 검사는, 제4 실시형태에서 설명한 결함 검사 장치(3E)와 동일한 작용 효과를 갖는다.
또한, 결함 검사 장치(3E)에서는, 투과 검사 광학계와 반사 검사 광학계가 통합된 장치이다. 그 때문에, 투과 검사 광학계로 검출 가능한 결함과, 반사 검사 광학계로 검출 가능한 결함을 하나의 장치로 검출할 수 있어, 광학 필름(100)의 결함을 보다 확실하게 검출 가능하다.
결함 검사 장치(3E)는, 결함 검사 장치(3A) 대신에 도 1에 나타낸 결함 검사 시스템(1)에 적용할 수 있다. 따라서, 결함 검사 장치(3E)를 이용한 결함 검사 방법을 포함하는 광학 필름(100)의 제조 방법은, 제1 실시형태와 동일한 작용 효과를 갖는다.
(제6 실시형태)
도 9는 제6 실시형태에 따른 결함 검사 장치(3F)의 모식도이다. 결함 검사 장치(3F)는, 광 조사부(10A) 대신에 광 조사부(10C)를 구비하는 점에서, 제1 실시형태의 결함 검사 장치(3A)와 상위하다. 도 9에서도 광의 광로를 일점 쇄선으로 모식적으로 나타내고 있다.
광 조사부(10C)는, 광원(11)과, 편광 분리 소자(13)와, 광로 합성부(14)와, 제1 미러(15A), 제2 미러(15B)와, 직선 편광 필름(16)과, 액정 필터(12)를 갖는다. 광원(11)의 구성 및 액정 필터(12)의 구성은, 제1 실시형태와 동일하다.
편광 분리 소자(13)는, 광원(11)으로부터의 출력광의 광로 상에 배치되어 있고, 광원(11)으로부터의 무편광의 출력광을, 서로 편광 방향이 직교하는 제1 편광광과 제2 편광광으로 분리한다. 구체적으로는, 제2 편광광을 투과하고, 제1 편광광을 반사한다. 편광 분리 소자(13)의 예는, APF(Advanced Polarizing Film)를 이용한 소자이고, 예컨대, 프리즘, 유리판 등의 일측면에 APF가 형성된 소자이다.
광로 합성부(14)는, 제2 편광광의 광로 상에 배치되어 있다. 구체적으로는, Z 방향에 있어서, 편광 분리 소자(13)와 광학 필름(100) 사이에 배치되어 있다. 광로 합성부(14)는, 편광 분리 소자(13)로 분리된 제1 편광광의 광로를 제2 편광광의 광로에 합성하여 출력하는 광학 소자이다. 광로 합성부(14)는, 제1 편광광 및 제2 편광광의 광로를 일치시킨 상태로, 제1 편광광 및 제2 편광광을 광학 필름(100)측에 출력한다. 광로 합성부(14)의 예는, 편광 분리 소자(13)와 동일하다.
제1 미러(15A) 및 제2 미러(15B)는, 편광 분리 소자(13)로 분리된 제1 편광광을 광로 합성부(14)에 유도하는 광학계를 구성하고 있다. 구체적으로는, 제1 미러(15A)는, 편광 분리 소자(13)의 측방에 배치되어 있고, 편광 분리 소자(13)로부터의 제1 편광광을 광학 필름(100)측에 반사한다. 제2 미러(15B)는, 제1 미러(15A)에서 반사된 제1 편광광의 광로 상으로서, 광로 합성부(14)의 측방에 배치되어 있고, 제1 미러(15A)에서 반사된 제1 편광광을 광로 합성부(14)측에 반사한다.
직선 편광 필름(16)은, 직선 편광 특성을 갖는 광학 필름이다. 직선 편광 필름(16)은, 편광 분리 소자(13)와 광로 합성부(14) 사이에 있고, 제2 편광광의 광로 상에 배치되어 있다. 직선 편광 필름(16)은, 그 편광축(PA3)이, 광학 필름(100)과 크로스 니콜 상태가 되도록, 즉, Z 방향에서 보아, 필름 본체(101)의 편광축(PA1)과, 직선 편광 필름(16)의 편광축(PA3)이 직교하도록, 배치되어 있다.
액정 필터(12)는, 제1 미러(15A)와 제2 미러(15B) 사이에 있어서, 제1 편광광의 광로 상에 배치되어 있다. 액정 필터(12)는, 직선 편광 필름(12a)이 제2 미러(15B)측에 위치하고 있고, 직선 편광 필름(12a)의 편광축(PA2)이, 광학 필름(100)과 평행 니콜 상태가 되도록 배치되어 있다. 이러한 배치에서는, 액정 필터(12)가 ON 상태에서는, 액정 필터(12)는, 제1 편광광을 통과시킨다. 한편, 액정 필터(12)가 OFF 상태에서는, 액정 필터(12)는, 제1 편광광을 차단한다.
상기 광 조사부(10C)의 구성에서는, 광원(11)으로부터의 출력광은, 편광 분리 소자(13)로 제2 편광광과 제1 편광광으로 분리된다. 구체적으로는, 제2 편광광은 편광 분리 소자(13)를 투과하고, 제1 편광광은 제1 미러(15A)측에 반사한다.
편광 분리 소자(13)를 투과한 제2 편광광은, 직선 편광 필름(16)에 입사한다. 직선 편광 필름(16)의 편광축(PA3)의 방향은, 제2 편광광의 편광 방향과 동일하기 때문에, 편광 분리 소자(13)로부터의 제2 편광광은, 직선 편광 필름(16)을 통과하여, 광로 합성부(14)에 입사한다.
한편, 편광 분리 소자(13)에서 반사된 제1 편광광은, 제1 미러(15A)에서 제2 미러(15B)측에 반사된다. 제1 미러(15A)와 제2 미러(15B) 사이에는, 액정 필터(12)가 배치되어 있기 때문에, 제1 미러(15A)에서 반사된 제1 편광광은 액정 필터(12)에 입사한다.
액정 필터(12)가 ON 상태이면, 제1 편광광은, 액정 필터(12)를 통과한다. 액정 필터(12)를 투과한 제1 편광광은, 제2 미러(15B)에서 반사되어, 광로 합성부(14)에 입사한다.
광로 합성부(14)는, 직선 편광 필름(16)을 통과한 제2 편광광과, 제2 미러(15B)로부터의 제1 편광광의 광로를 일치시켜 출력한다. 바꾸어 말하면, 광로 합성부(14)는, 제2 편광광과 제1 편광광을 합성하여, 무편광의 광으로서 출력한다. 따라서, 액정 필터(12)가 ON 상태에서는, 광 조사부(10C)는, 무편광의 검사광(L)을 출력한다.
액정 필터(12)가 OFF 상태이면, 제1 편광광은 액정 필터(12)로 차단되기 때문에, 광로 합성부(14)에는, 제1 편광광은 도달하지 않는다. 따라서, 광로 합성부(14)로부터는, 직선 편광 필름(16)을 통과한 제2 편광광만이 출력된다. 즉, 액정 필터(12)가 OFF 상태에서는, 광 조사부(10C)는, 제2 편광광인 검사광(L)을 출력한다.
이와 같이, 광 조사부(10C)에서는, 액정 필터(12)를 ON/OFF 제어함으로써, 무편광의 검사광(L)과, 제2 편광광의 검사광(L)을 전환하여 출력할 수 있다.
광 조사부(10C)가 액정 필터(12)의 ON/OFF 제어에 의해, 검사광(L)의 편광 상태를 전환하여 출력할 수 있기 때문에, 결함 검사 장치(3F)를 이용한 광학 필름(100)의 결함 검사 방법은, 결함 검사 장치(3A)의 경우와 동일하다.
검사광(L)이 무편광 상태인 경우, 검사광(L)은 제1 편광광을 포함한다. 따라서, 제6 실시형태에서는, 액정 필터(12)가 ON 상태인 경우, 광학 필름(100)에는, 평행 니콜광인 검사광(L)이 조사된다. 한편, 액정 필터(12)가 OFF 상태로서, 검사광(L)이 제2 편광광인 경우, 광학 필름(100)에는, 크로스 니콜광인 검사광(L)이 조사된다. 따라서, 결함 검사 장치(3F)에서는, 정투과 검사 광학계와 크로스 니콜 투과 검사 광학계가 통합되어 있고, 액정 필터(12)의 ON/OFF 제어에 의해, 이들 검사 광학계가 전환된다. 따라서, 결함 검사 장치(3F) 및 결함 검사 장치(3F)를 이용한 광학 필름의 결함 검사 방법은, 제1 실시형태의 경우와 동일한 작용 효과를 갖는다.
액정 필터(12)를 광이 통과하면, 예컨대 편광 필름을 통과하는 경우보다 광량이 감쇠한다. 그러나, 결함 검사 장치(3F)를 크로스 니콜 투과 검사 광학계로서 사용하여 결함 검사를 실시할 때, 제2 편광광은, 액정 필터(12)를 통과하지 않기 때문에, 크로스 니콜 투과 검사 광학계의 검사에 있어서, 광학 필름(100)의 조명에 필요한 광량을 확보하기 쉽다. 결함 검사 장치(3F)를 정투과 검사 광학계로서 사용하여 결함 검사를 실시할 때에는, 제1 편광광은 액정 필터(12)를 통과한다. 이 경우, 전술한 바와 같이, 광량의 감쇠가 생긴다. 단, 정투과에서는 광학 필름(100)의 조명에 필요한 광량을, 크로스 니콜 투과보다 확보하기 쉽다. 그 때문에, 광량의 감쇠의 영향이 작다. 액정 필터(12)의 구성에 따라서는, 액정 필터(12)에 인가하는 전압을 조정함으로써, 직선 편광 필름(12a)을 통과하는 광량을 조정 가능하다. 그 결과, 액정 필터(12)를 사용한 결함 검사 장치(3F)에 있어서, 결함 검사에 요하는 광량을 얻기 위해, 광원(11)으로부터의 광량의 증가량을 저감 가능하고, 광원(11)의 선택의 폭이 넓어지며, 에너지 절약에 이바지한다.
결함 검사 장치(3F)는, 결함 검사 장치(3A) 대신에 도 1에 나타낸 결함 검사 시스템(1)에 적용할 수 있다. 따라서, 결함 검사 장치(3F)를 이용한 결함 검사 방법을 포함하는 광학 필름(100)의 제조 방법은, 제1 실시형태와 동일한 작용 효과를 갖는다.
제6 실시형태에서는, 광 조사부(10C)가, 광원(11)과, 편광 분리 소자(13)와, 광로 합성부(14)와, 제1 미러(15A), 제2 미러(15B)와, 직선 편광 필름(16)과, 액정 필터(12)를 갖는 경우를 설명하였다. 그러나, 광 조사부(10C)는, 광원(11)과, 편광 분리 소자(13)와, 광로 합성부(14)와, 제1 미러(15A), 제2 미러(15B)와, 액정 필터(12)를 가지고 있으면 좋다. 즉, 광 조사부(10C)는, 직선 편광 필름(16)을 갖지 않아도 좋다. 광 조사부(10C)가 직선 편광 필름(16)을 갖는 실시형태에서는, 직선 편광 필름(16)을 통과한 광의 편광 방향의 정밀도가 향상한다. 그 때문에, 보다 정확한 크로스 니콜 상태로 검사를 실시할 수 있다.
(제7 실시형태)
도 10은 제7 실시형태에 따른 결함 검사 장치(3G)의 모식도이다. 결함 검사 장치(3G)는, 광 조사부(10C)가 촬상부(20A)와 함께, 반사 검사 광학계를 구성하도록, 광학 필름(100)에서 보아 촬상부(20A)와 동일한 측에 배치되어 있는 점에서, 제6 실시형태와 상위하다. 이 상위점 이외에는, 제6 실시형태와 동일하기 때문에, 결함 검사 장치(3G) 및 결함 검사 장치(3G)를 이용한 결함 검사 방법의 작용 효과도 제6 실시형태와 동일하다. 도 10에 있어서도, 광의 광로의 일례를 일점 쇄선으로 모식적으로 나타내고 있다.
결함 검사 장치(3G)의 구성은, 제4 실시형태의 결함 검사 장치(3D)에 있어서 광 조사부(10A)를 광 조사부(10C)로 바꾼 구성에 상당한다. 따라서, 결함 검사 장치(3G) 및 결함 검사 장치(3G)를 이용한 결함 검사 방법은, 제4 실시형태에서 설명한 반사 검사 광학계가 갖는 작용 효과와 같은 작용 효과도 갖는다.
제7 실시형태에 있어서도, 제6 실시형태의 경우와 마찬가지로, 광 조사부(10C)는, 직선 편광 필름(16)을 갖지 않아도 좋다. 광 조사부(10C)가 직선 편광 필름(16)을 갖는 경우의 작용 효과는 제6 실시형태의 경우와 동일하다.
제6 및 7실시형태에 있어서, 편광 분리 소자(13)에 의해 분리된 2개의 편광광의 편광 방향 정밀도를 향상시키기 위해, 편광 분리 소자(13)로부터 액정 필터(12) 사이, 바람직하게는 제1 미러(15A)로부터 액정 필터(12) 사이에 제1 편광광과 평행 니콜의 상태에 있는 직선 편광 필름을 더 설치하여도 좋다.
(제8 실시형태)
도 11은 제8 실시형태에 따른 결함 검사 장치(3H)의 모식도이다. 결함 검사 장치(3H)는, 광 조사부(10C) 대신에 광 조사부(10D)를 구비하는 점에서, 제6 실시형태의 결함 검사 장치(3F)와 상위하다. 도 11에 있어서도, 광의 광로의 일례를 일점쇄선으로 모식적으로 나타내고 있다.
광 조사부(10D)는, 광원(11)과, 광로 합성부(14)와, 직선 편광 필름(16)과, 광원(17)과, 액정 필터(12A)를 갖는다. 광원(11), 광로 합성부(14) 및 직선 편광 필름(16)의 구성은, 제6 실시형태와 동일하다. 또한, 광원(11), 직선 편광 필름(16) 및 광로 합성부(14)의 배치 관계는, 광원(11)과 직선 편광 필름(16) 사이에 편광 분리 소자(13)가 배치되어 있지 않은 점 이외에는, 제6 실시형태의 경우와 동일하다.
광원(17)은, 광로 합성부(14)의 측방(Y 방향을 따른 측방)에 배치되어 있다. 광원(17)과 광로 합성부(14) 사이에는 액정 필터(12A)가 배치되어 있다. 액정 필터(12A)는, ON/OFF의 전환에 의해, 제1 편향광을 통과시키는 경우와, 광을 차단하는 경우를 전환하는 셔터로서 기능한다. 광원(17) 및 액정 필터(12A)는, 액정 필터(12A)로부터 출력되는 제1 편광광이, 광로 합성부(14)에 입사하였을 때에, 직선 편광 필름(16)을 통하여 광로 합성부(14)에 입사한 제2 편광광의 광로와 합성되도록, 배치되어 있다.
예컨대, 액정 필터(12A)는, 도 11에 나타내는 바와 같이, 액정 셀(12b)과, 액정 셀(12b)의 한쪽의 면에 마련된 직선 편광 필름(12a)과, 액정 셀(12b)의 다른쪽의 면[직선 편광 필름(12a)이 마련되는 면과는 반대의 면]에 직선 편광 필름(12c)을 갖는다. 직선 편광 필름(12a)의 편광축(PA2)과 직선 편광 필름(12c)의 편광축(PA5)은 직교하고 있다. 액정 필터(12A)는, 직선 편광 필름(12c)이 광원(17)에 면하고, 또한, 편광축(PA2)이 편광축(PA1)과 평행 니콜 상태가 되도록 배치되어 있다. 이러한 액정 필터(12A)의 구성 및 배치에서는, 액정 필터(12A)가 OFF 상태에 있어서, 광원(17)으로부터의 광(무편광광) 중 제1 편광광이 액정 필터(12A)를 선택적으로 통과하고, 액정 필터(12A)가 ON 상태에 있어서, 광원(17)으로부터의 광이 차단된다.
광 조사부(10D)는, 광원(11) 및 광원(17)으로부터 각각 광을 출력한 상태로, 액정 필터(12A)를 ON/OFF 제어함으로써, 광 조사부(10C)와 동일한 기능을 갖는다. 따라서, 결함 검사 장치(3H) 및 결함 검사 장치(3H)를 이용한 광학 필름(100)의 결함 검사 방법은, 제6 실시형태의 경우와 동일한 작용 효과를 갖는다.
결함 검사 장치(3H)에 있어서는, 광원(17)을 OFF 상태, 즉, 광원(17)으로부터의 광의 출력을 정지함으로써도 크로스 니콜 투과 검사 광학계를 실현 가능하다.
결함 검사 장치(3H)에서는, 투과 검사 광학계를 채용하고 있지만, 제7 실시형태와 같이, 광 조사부(10D)를, 촬상부(20A)와 동일한 측에 배치하여 반사 검사 광학계를 채용하여도 좋다.
(제9 실시형태)
제1∼제8 실시형태에서는, 직선 편광 특성을 갖는 광학 필름을 검사 대상으로 하는 결함 검사 장치를 설명하였다. 그러나, 광학 필름은, 직선 편광 특성을 갖지 않아도 좋다. 제9 실시형태로서, 직선 편광 특성을 갖지 않는 광학 필름이 검사 대상인 경우의 결함 검사 장치를 설명한다. 도 12는 제9 실시형태에 따른 결함 검사 장치(3I)의 모식도이다.
결함 검사 장치(3I)는, 직선 편광 특성을 갖지 않는 광학 필름(100A)의 결함을 검사하는 장치이다. 광학 필름(100A)의 예로서는, 도 2에 나타낸 보호 필름(102) 및 보호 필름(103), 위상차 필름 등이다.
결함 검사 장치(3I)는, 직선 편광 필름(제1 직선 편광 필름)(40)을 구비하는 점에서 제1 실시형태의 결함 검사 장치(3A)와 상위하다. 이 상위점을 중심으로 하여 결함 검사 장치(3I)를 설명한다.
직선 편광 필름(40)은, 직선 편광 특성을 갖는 필름이고, 편광축(PA4)을 갖는다. 직선 편광 필름(40)은, 광학 필름(100A)과 촬상부(20A) 사이에, 액정 필터(12)의 직선 편광 필름(12a)과 크로스 니콜을 형성하도록, 배치되어 있다. 도 12에서는, Y 방향이 편광축(PA4)의 방향과 일치하도록, 직선 편광 필름(40)은 배치되어 있다.
결함 검사 장치(3I)를 이용하여 광학 필름(100A)의 결함을 검사하는 방법을 설명한다. 결함 검사를 실시할 때에는, 광 조사부(10A)로부터 소정의 편광 상태의 검사광(L)을 광학 필름(100A)의 검사 영역에 조사한다(검사광 조사 공정). 검사광 조사 공정에서 광학 필름(100A)에 검사광(L)을 조사하였을 때에, 촬상부(20A)[보다 구체적으로는 카메라(21)]로 검사 영역을 촬상한다(촬상 공정).
검사광 조사 공정에서는, 제1 실시형태의 경우와 마찬가지로, 액정 필터(12)를 ON/OFF 제어함으로써, 검사광(L)의 소정의 편광 상태를 전환한다. 촬상 공정에서는, 검사광(L)의 소정의 편광 상태의 전환에 동기하여, 촬상부(20A)에서, 광학 필름(100A)의 검사 영역을 촬상한다.
광학 필름(100A)은 직선 편광 특성을 갖지 않기 때문에, 제1 편광광 및 제2 편광광은 어느 쪽도 광학 필름(100A)을 투과한다. 광학 필름(100A)과 촬상부(20A) 사이에 직선 편광 필름(40)이 배치되어 있고, 제1 편광광은 직선 편광 필름(40)을 통과하고, 제2 편광광은 직선 편광 필름(40)으로 차단된다.
따라서, 결함 검사 장치(3I)에 있어서도, 정투과 검사 광학계와 크로스 니콜 투과 검사 광학계가 통합되어 있고, 이들 검사 광학계의 전환은, 액정 필터(12)의 ON/OFF 제어로 실시된다. 따라서, 결함 검사 장치(3I) 및 결함 검사 장치(3I)를 이용한 결함 검사 방법은, 제1 실시형태의 경우와 동일한 작용 효과를 갖는다.
결함 검사 장치(3I)는, 도 1에 있어서 반송부(2)에서 반송되는 검사 대상을 광학 필름(100A)으로 한 경우에, 도 1의 결함 검사 시스템(1)의 결함 검사 장치(3A) 대신에 적용할 수 있다. 결함 검사 장치(3I) 및 결함 검사 장치(3I)를 이용한 결함 검사 방법을 포함하는 광학 필름의 제조 방법은, 제1 실시형태의 경우와 동일한 작용 효과를 갖는다.
결함 검사 장치(3I) 및 결함 검사 장치(3I)를 이용한 광학 필름(100A)의 결함 검사 방법은, 광학 필름(100A) 자체를 제조하는 경우에 적용하여도 좋고, 예컨대, 광학 필름(100)을 제조하는 과정에 있어서, 필름 본체(101)에 접합할 때까지 반송되고 있는 보호 필름(102) 및 보호 필름(103)의 결함 검사에 사용되어도 좋다.
결함 검사 장치(3I)를 결함 검사 장치(3A)의 변형예로서 설명하였다. 그러나, 제2 실시형태, 제4∼제8 실시형태로서 설명한 결함 검사 장치의 구성에 있어서도 제9 실시형태에서 설명한 바와 같이, 직선 편광 필름(40)을 더 구비함으로써, 직선 편광 특성을 갖지 않는 광학 필름(100A)의 결함 검사를 실시 가능하다. 구체적으로는, 제4∼제7 실시형태에서 설명한 바와 같이, 광 조사부가 액정 필터(12)를 갖는 경우는, 직선 편광 특성을 갖지 않는 광학 필름(100A)과 촬상부 사이에 직선 편광 필름(40)을, 제9 실시형태에서 설명한 바와 같이, 액정 필터(12)의 직선 편광 필름(12a)과 크로스 니콜을 형성하도록 배치하면 좋다. 제8 실시형태에서 설명한 바와 같이, 광 조사부가, 직선 편광 필름(16) 및 액정 필터(12A)를 구비하는 경우는, 직선 편광 특성을 갖지 않는 광학 필름(100A)과 촬상부 사이에 직선 편광 필름(40)을, 직선 편광 필름(16)과 크로스 니콜을 형성하도록 배치하면 좋다. 또한, 제6∼제8 실시형태의 결함 검사 장치가, 광학 필름(100A)의 결함 검사를 실시하기 위해, 직선 편광 필름(40)을 구비하는 경우, 직선 편광 필름(40)이 제1 직선 편광 필름에 대응하고, 직선 편광 필름(16)이 제2 직선 편광 필름에 대응한다.
제2 실시형태에서 설명한 바와 같이, 촬상부가 액정 필터(12)를 갖는 경우는, 광학 필름과 광 조사부 사이에, 직선 편광 필름(40)을, 제9 실시형태에서 설명한 바와 같이, 액정 필터(12)의 직선 편광 필름(12a)과 크로스 니콜을 형성하도록 배치하면 좋다.
제3 실시형태에서 설명한 바와 같이, 광 조사부 및 촬상부가 함께 액정 필터를 갖는 경우는, 광 조사부 및 촬상부 각각의 액정 필터의 ON/OFF 제어의 조합으로, 광학 필름(100A)의 결함 검사가 가능하다.
편광 특성을 갖지 않는 필름으로서 광학 필름을 예시하였지만, 편광 특성을 갖지 않는 필름의 예는, 전지용 세퍼레이터 필름 등이어도 좋다.
이상, 본 발명의 여러 가지 실시형태를 설명하였다. 그러나, 본 발명은 전술한 여러 가지의 실시형태에 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지의 변형이 가능하다.
예시한 여러 가지의 실시형태에서는, 하나의 제어 장치가, 액정 필터 및 카메라를 제어하고 있었지만, 액정 필터 및 카메라에 대하여 따로따로의 제어 장치가 마련되어도 좋다. 상기 여러 가지의 실시형태에서는, 결함 검사 장치가 제어 장치를 구비하는 형태를 주로 설명하였지만, 제어 장치는, 결함 검사 장치와는 별도의 구성 요소여도 좋다. 예컨대 결함 검사 시스템의 구성 요소여도 좋고, 결함 검사 장치의 사용자가 적절하게 준비하는 장치여도 좋다.
필터부는, 통과시켜야 하는 광의 편광 방향을 전환 가능하게 구성되어 있으면, 액정 필터에 한정되지 않는다.
검사 대상이 직선 편광 특성을 갖는 필름인 경우, 필터부를 통과한 광이 갖는 소정의 편광 방향과, 필름의 편광축은 평행 니콜 상태 또는 크로스 니콜 상태가 되도록, 필름과 액정 필터가 배치되어 있는 형태를 설명하였다. 그러나, 검사 대상에 따라서는, 필터부를 통과한 광이 갖는 소정의 편광 방향과, 필름의 편광축은 하프 크로스 니콜 상태가 되도록 필터부와 필름이 배치되어도 좋다. 또는, 필터부가 액정 필터인 경우, 필터부를 통과한 광이 갖는 소정의 편광 방향과, 필름의 편광축이 하프 크로스 니콜 상태가 되도록, 액정 필터에 인가하는 전압을 조정하여 검사를 실시하여도 좋다. 검사 대상이 직선 편광 특성을 갖지 않는 필름인 경우, 필터부와 쌍을 이루는 직선 편광 필름의 배치 관계가, 전술한 바와 같이 하프 크로스 니콜 상태여도 좋다. 검사 대상이 직선 편광 특성을 갖지 않는 필름인 경우이며 또한 필터부가 액정 필터인 경우, 필터부를 통과한 광이 갖는 소정의 편광 방향과, 필터부와 쌍을 이루는 직선 편광 필름의 편광축의 관계가 하프 크로스 니콜 상태가 되도록 액정 필터에 인가하는 전압을 조정하여 검사를 실시하여도 좋다.
지금까지 예시한 여러 가지의 실시형태는 적절하게 서로 조합되어도 좋다. 예컨대, 하나의 실시형태에서 설명한 광 조사부를 다른 실시형태의 광 조사부와 치환하여도 좋고, 하나의 실시형태에서 설명한 촬상부를 다른 실시형태의 촬상부와 치환하여도 좋다.
3A, 3B, 3C, 3D, 3E, 3F, 3G, 3H, 3I…결함 검사 장치, 10A, 10A1, 10A2, 10B, 10C, 10D…광 조사부, 11…광원, 12…액정 필터, 13…편광 분리 소자, 14…광로 합성부, 15A…제1 미러(광학계), 15B…제2 미러(광학계), 16…직선 편광 필름, 20A, 20B…촬상부, 21…카메라, 40…직선 편광 필름(제1 직선 편광 필름), 100, 100A…광학 필름(필름), A…검사 영역, L…검사광.

Claims (17)

  1. 필름의 결함 검사 장치로서,
    상기 필름의 검사 영역에 조사하는 검사광을 출력하는 광 조사부와,
    상기 검사 영역을 촬상하는 촬상부
    를 구비하고,
    상기 광 조사부와 상기 촬상부 중 적어도 한쪽은, 소정의 편광 방향의 광을 선택적으로 통과시키는 필터부를 가지고,
    상기 필터부는 상기 소정의 편광 방향을 조정 가능하게 구성되어 있는, 결함 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 필터부는 액정 셀의 한면에 직선 편광 필름이 마련되어 구성된 액정 필터를 갖는, 결함 검사 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 필름은 직선 편광 특성을 갖는 광학 필름이고,
    상기 광 조사부는,
    광원과,
    상기 광원과 상기 필름 사이에 배치되는 상기 필터부를 갖는, 결함 검사 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 필름은 직선 편광 특성을 갖는 광학 필름이고,
    상기 광 조사부는,
    광원과,
    상기 광원으로부터의 광을, 서로 편광 방향이 직교하는 제1 편광광과 제2 편광광으로 분리하는 편광 분리 소자와,
    상기 편광 분리 소자로 분리된 상기 제2 편광광의 광로 상에 배치되어 있고, 상기 편광 분리 소자로 분리된 상기 제1 편광광의 광로를 상기 제2 편광광의 광로에 합성하는 광로 합성부와,
    상기 편광 분리 소자로 분리된 상기 제1 편광광을 상기 광로 합성부에 유도하는 광학계와,
    상기 광학계에 의해 유도되는 상기 제1 편광광의 광로 상에 배치되는 상기 필터부를 가지고,
    상기 필름은 상기 제2 편광광의 광로 상에 배치되어 있고,
    상기 필터부는 상기 제1 편광광을 선택적으로 통과시키는 경우와, 상기 제2 편광광을 선택적으로 통과시키는 경우에 전환되는, 결함 검사 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 광 조사부는 상기 제2 편광광의 광로 상에 있어서, 상기 편광 분리 소자와 상기 광로 합성부 사이에 배치되고, 상기 필름에 대하여 크로스 니콜 상태로 배치되며, 상기 제2 편광광을 통과시키는 편광 필름을 갖는, 결함 검사 장치.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 필름은 직선 편광 특성을 갖는 광학 필름이고,
    상기 촬상부는,
    카메라와,
    상기 카메라와 상기 필름 사이에 배치되는 상기 필터부
    를 갖는, 결함 검사 장치.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 필름과 상기 촬상부 사이에 배치되는 제1 직선 편광 필름을 더 가지고,
    상기 필름은 직선 편광 특성을 갖지 않는 필름이고,
    상기 광 조사부는,
    광원과,
    상기 광원과 상기 필름 사이에 배치되는 상기 필터부
    를 갖는, 결함 검사 장치.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 촬상부와 상기 필름 사이에 배치되는 제1 직선 편광 필름을 더 가지고,
    상기 필름은 편광 특성을 갖지 않는 필름이고,
    상기 광 조사부는,
    광원과,
    상기 광원으로부터의 광을, 서로 편광 방향이 직교하는 제1 편광광 및 제2 편광광으로 분리하는 편광 분리 소자와,
    상기 제2 편광광의 광로 상에 배치되어 있고, 상기 제1 편광광의 광로를 상기 제2 편광광의 광로에 합성하는 광로 합성부와,
    상기 편광 분리 소자로 분리된 상기 제1 편광광을 상기 광로 합성부에 유도하는 광학계와,
    상기 제2 편광광의 광로 상에 있어서, 상기 편광 분리 소자와 상기 광로 합성부 사이에 배치되고, 상기 제1 직선 편광 필름에 대하여 크로스 니콜 상태로 배치되며, 상기 제2 편광광을 통과시키는 제2 직선 편광 필름과,
    상기 광학계에 의해 유도되는 상기 제1 편광광의 광로 상에 배치되는 상기 필터부
    를 가지고,
    상기 필름은 상기 제2 편광광의 광로 상에 배치되고,
    상기 필터부는 상기 제1 편광광을 선택적으로 통과시키는 경우와, 상기 제2 편광광을 선택적으로 통과시키는 경우에 전환되는, 결함 검사 장치.
  9. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 광 조사부와 상기 필름 사이에 배치되는 제1 직선 편광 필름을 더 가지고,
    상기 필름은 편광 특성을 갖지 않는 필름이고,
    상기 촬상부는,
    카메라와,
    상기 카메라와 상기 필름 사이에 배치되는 상기 필터부
    를 갖는, 결함 검사 장치.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 광 조사부를 2개 가지고 있고,
    2개의 상기 광 조사부 중 한쪽인 제1 광 조사부는, 상기 필름에서 보아 상기 촬상부와 반대측에 배치되어 있고,
    2개의 상기 광 조사부 중 다른쪽인 제2 광 조사부는, 상기 필름에서 보아 상기 촬상부와 동일한 측에 배치되어 있는, 결함 검사 장치.
  11. 필름의 결함 검사 방법으로서,
    상기 필름의 검사 영역에 광 조사부에 의해 검사광을 조사하는 검사광 조사 공정과,
    상기 검사 영역을 촬상부에 의해 촬상하는 촬상 공정
    을 구비하고,
    상기 광 조사부와 상기 촬상부 중 적어도 한쪽은, 소정의 편광 방향의 광을 선택적으로 통과시키는 필터부를 가지고,
    상기 필터부는 상기 소정의 편광 방향을 조정 가능하게 구성되어 있는, 결함 검사 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 필터부는 액정 셀의 한면에 직선 편광 필름이 마련되어 구성된 액정 필터를 갖는, 결함 검사 방법.
  13. 제11항 또는 제12항에 있어서,
    상기 필름은 직선 편광 특성을 갖는 광학 필름이고,
    상기 광 조사부는 광원으로부터의 광을 상기 필터부에 통과시킴으로써 상기 소정의 편광 방향의 검사광을 출력하고,
    상기 검사광 조사 공정에서는, 상기 필터부에 의해 상기 검사광의 상기 소정의 편광 방향을 조정하는, 결함 검사 방법.
  14. 제11항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 필름은 직선 편광 특성을 갖는 광학 필름이고,
    상기 촬상부는 상기 필터부를 통하여 카메라로 상기 필름의 상기 검사 영역을 촬상하고,
    상기 촬상 공정에서는, 상기 필터부가 통과시키는 상기 소정의 편광 방향을 조정하는, 결함 검사 방법.
  15. 제11항 또는 제12항에 있어서,
    상기 필름은 편광 특성을 갖지 않는 필름이고,
    상기 광 조사부는 광원으로부터의 광을 상기 필터부에 통과시킴으로써 상기 소정의 편광 방향의 검사광을 출력하고,
    상기 검사광 조사 공정에서는, 상기 필터부에 의해 상기 검사광의 상기 소정의 편광 방향을 전환하고,
    상기 촬상 공정에서는, 상기 촬상부는 상기 필름과 상기 촬상부 사이에 배치된 제1 직선 편광 필름을 통하여 상기 검사 영역을 촬상하는, 결함 검사 방법.
  16. 제11항 또는 제12항에 있어서,
    상기 필름은 편광 특성을 갖지 않는 필름이고,
    상기 광 조사부는 광원으로부터의 광을 상기 필터부에 통과시킴으로써 상기 소정의 편광 방향의 검사광을 출력하고,
    상기 촬상부는 상기 필터부를 통하여 카메라로 상기 필름의 상기 검사 영역을 촬상하고,
    상기 검사광 조사 공정에서는, 상기 검사광을 상기 광 조사부와 상기 필름 사이에 배치된 제1 직선 편광 필름을 통해 상기 필름에 조사하고,
    상기 촬상 공정에서는, 상기 필터부가 통과시키는 상기 소정의 편광 방향을 조정하는, 결함 검사 방법.
  17. 제11항 내지 제16항 중 어느 한 항에 기재된 결함 검사 방법을 포함하는, 필름의 제조 방법.
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