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KR20180111471A - Protective sheet - Google Patents

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KR20180111471A
KR20180111471A KR1020170171887A KR20170171887A KR20180111471A KR 20180111471 A KR20180111471 A KR 20180111471A KR 1020170171887 A KR1020170171887 A KR 1020170171887A KR 20170171887 A KR20170171887 A KR 20170171887A KR 20180111471 A KR20180111471 A KR 20180111471A
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KR
South Korea
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pressure
sensitive adhesive
adhesive layer
protective sheet
less
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KR1020170171887A
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Korean (ko)
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Inventor
아키히라 와타나베
다카유키 아라이
유키 오자와
Original Assignee
린텍 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 린텍 가부시키가이샤 filed Critical 린텍 가부시키가이샤
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Abstract

It is an object of the present invention to provide a protective sheet, which can suppress the peeling electrification voltage to a low level, has an adhesive layer with excellent heat resistance, and can secure good adhesive properties of the adhesive layer. As a means for solving the problem, as the protective sheet (1) for protecting a device, provided is the protective sheet (1), which comprises: a substrate (2) having a plastic film (21) and an antistatic layer (22a) formed on at least one surface side of the plastic film (21); and an adhesive layer (3) laminated on the substrate (2) so as to be in contact with the antistatic layer (22a), and the adhesive layer (3) is made of a silicone-based adhesive.

Description

보호 시트{PROTECTIVE SHEET}Protective Sheet {PROTECTIVE SHEET}

본 발명은, 디바이스의 보호에 사용되는 보호 시트에 관한 것이다.The present invention relates to a protective sheet used for protecting a device.

종래, 광학 부재나 전자 부재 등의 디바이스에 있어서는, 가공, 조립, 검사 등의 공정 중, 표면의 흠집을 방지하기 위하여, 당해 디바이스의 표면에, 플라스틱 필름 및 점착제층으로 이루어지는 보호 시트가 첩착되는 경우가 있다. 이 보호 시트는, 보호의 필요가 없어진 시점에서, 디바이스로부터 박리되지만, 그때 박리 대전에 의해 정전기가 발생하는 경우가 있다.Conventionally, in a device such as an optical member or an electronic member, in order to prevent scratches on the surface during processing such as processing, assembly, and inspection, when a protective sheet made of a plastic film and a pressure-sensitive adhesive layer is adhered to the surface of the device . This protective sheet is peeled off from the device at the time when the need for protection is eliminated, but there is a case where static electricity is generated by the peeling charge.

정전기가 발생하면, 공기 중의 먼지나 티끌이 디바이스에 부착해서, 디바이스의 불량으로 이어지게 된다. 그 때문에, 정전기가 발생하지 않도록, 보호 시트에 대전방지성을 부여하는 것이 요구된다.When static electricity is generated, dust or dirt in the air adheres to the device, leading to defective devices. Therefore, it is required that the protective sheet is provided with antistatic property so that static electricity is not generated.

대전방지성을 갖는 보호 시트로서는, 예를 들면, 특허문헌 1에, 제1 면 및 제2 면을 갖는 기재와, 기재의 제1 면에 마련된 대전 방지층과, 기재의 제2 면에, 점착제 조성물로 형성된 점착제층을 구비하는 표면 보호 필름이 개시되어 있다.As a protective sheet having antistatic properties, for example, Patent Document 1 discloses a protective sheet comprising a substrate having a first surface and a second surface, an antistatic layer provided on the first surface of the substrate, and a pressure- And a pressure-sensitive adhesive layer formed on the surface protective film.

일본 특개2016-135592호 공보Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2016-135592

그런데 최근, 광학 부재로서, 액정 디바이스로부터 유기 발광 다이오드(OLED) 디바이스로 이행하는 움직임이 활발해지고 있다. 또한, 플렉서블성을 갖는 OLED 디바이스(이하 「플렉서블 OLED 디바이스」로 하는 경우가 있다)의 검토도 활발해지고 있다. 당해 플렉서블 OLED 디바이스는, 액정 디바이스나 통상의 OLED 디바이스와 달리, 유연하기 때문에, 종래의 보호 시트를 사용했을 경우, 플렉서블 OLED 디바이스로부터 박리하기 어렵고, 또한, 소재적으로도 보호 시트와의 사이에서 보다 박리 대전하기 쉽다. 특허문헌 1에 기재된 보호 시트에서는, kV 오더로 박리 대전압을 저감하는 것을 의도하고 있지만, 플렉서블 OLED 디바이스를 고려하면, V 오더로 박리 대전압을 저감하는 것이 요구된다.[0003] In recent years, as an optical member, a transition from a liquid crystal device to an organic light emitting diode (OLED) device has been actively performed. Further, studies on an OLED device having a flexible property (hereinafter referred to as a " flexible OLED device ") have been actively studied. Since the flexible OLED device is flexible, unlike a liquid crystal device or an ordinary OLED device, it is difficult to peel it from a flexible OLED device when a conventional protective sheet is used, and furthermore, Peeling is easy to fight. In the protective sheet described in Patent Document 1, it is intended to reduce the peeling electrification voltage by the kV order. However, considering the flexible OLED device, it is required to reduce the peeling electrification voltage by the V order.

또한, OLED 디바이스의 검사 공정에서는, 고온 조건 하에 노출되는 경우가 있다. 이러한 OLED 디바이스에 사용되는 보호 시트의 점착제층은, 고온 하에서의 검사 시나 그 후에 있어서도 안정한 점착력을 발휘하는 것이 요구된다. 즉, 상기와 같은 용도에서 사용되는 보호 시트에는, 내열성이 필요하게 된다.Further, in an inspection process of an OLED device, there is a case where the device is exposed under a high temperature condition. The pressure-sensitive adhesive layer of the protective sheet used for such an OLED device is required to exhibit a stable adhesive force at the time of inspection under high temperature or afterward. That is, the protective sheet used in such applications requires heat resistance.

또한, 상기와 같은 보호 시트에서는, 피착체로부터 보호 시트를 박리했을 때에, 피착체측에 점착제가 잔존하지 않을 필요가 있다. 즉, 보호 시트의 점착제층은, 기재에 대해서 양호한 밀착성을 갖는 것이 요구된다.Further, in the above-mentioned protective sheet, when the protective sheet is peeled from the adherend, it is necessary that the adhesive does not remain on the adherend side. That is, the pressure-sensitive adhesive layer of the protective sheet is required to have good adhesion to the substrate.

본 발명은, 상기한 실상에 감안해서 이루어진 것이고, 박리 대전압을 낮게 억제할 수 있음과 함께, 점착제층의 내열성이 우수하며, 또한 점착제층의 양호한 기재밀착성을 확보할 수 있는 보호 시트를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and provides a protective sheet capable of suppressing the peeling electrification voltage to a low level and having excellent heat resistance of the pressure-sensitive adhesive layer and securing good substrate adhesion of the pressure- .

상기 목적을 달성하기 위하여, 첫째로 본 발명은, 디바이스를 보호하기 위한 보호 시트로서, 플라스틱 필름과, 상기 플라스틱 필름의 적어도 한쪽의 면측에 형성된 대전 방지층을 갖는 기재와, 상기 대전 방지층과 접하도록 상기 기재에 적층된 점착제층을 구비하고 있고, 상기 점착제층이, 실리콘계 점착제로 이루어지는 것을 특징으로 하는 보호 시트를 제공한다(발명 1).In order to achieve the above object, first, the present invention provides a protective sheet for protecting a device, comprising: a plastic film; a substrate having an antistatic layer formed on at least one side of the plastic film; The present invention provides a protective sheet comprising a pressure-sensitive adhesive layer laminated on a substrate, wherein the pressure-sensitive adhesive layer is made of a silicone-based pressure-sensitive adhesive (Invention 1).

상기 발명(발명 1)에서는, 적어도 플라스틱 필름과 점착제층과의 사이에 대전 방지층을 가짐에 의해, 박리 대전압을 낮게 억제할 수 있다. 그 때문에, 점착제층에 대전방지제를 첨가할 필요가 없고, 점착제층의 양호한 기재밀착성을 확보할 수 있다. 또한, 실리콘계 점착제는, 고온 하에서도 점착력이 안정하여 있기 때문에, 당해 실리콘계 점착제로 이루어지는 점착제층은 내열성이 우수하다.In the above invention (Invention 1), by having an antistatic layer at least between the plastic film and the pressure-sensitive adhesive layer, the peeling electrification voltage can be suppressed to be low. Therefore, it is not necessary to add an antistatic agent to the pressure-sensitive adhesive layer, and good adhesion of the pressure-sensitive adhesive layer to the substrate can be ensured. Further, since the adhesive force of the silicone adhesive is stable even at a high temperature, the adhesive layer made of the silicone adhesive is excellent in heat resistance.

상기 발명(발명 1)에 있어서는, 상기 플라스틱 필름에 있어서의 상기 점착제층측의 면의 표면 거칠기가, 최대 산 높이(Rp)로서, 200㎚ 이하이고, 최대 높이(Rz)로서, 300㎚ 이하이고, 최대 단면 높이(Rt)로서, 500㎚ 이하인 것이 바람직하다(발명 2).In the above invention (Invention 1), the surface roughness of the surface of the plastic film on the side of the pressure-sensitive adhesive layer is 200 nm or less as the maximum peak height Rp, 300 nm or less as the maximum height (Rz) The maximum cross-sectional height (Rt) is preferably 500 nm or less (Invention 2).

상기 발명(발명 1,2)에 있어서는, 상기 플라스틱 필름의 다른 쪽의 면측에도, 대전 방지층이 형성되어 있는 것이 바람직하다(발명 3).In the invention (inventions 1 and 2), it is preferable that an antistatic layer is formed on the other side of the plastic film (invention 3).

상기 발명(발명 1∼3)에 있어서는, 상기 점착제층에 있어서의 상기 기재와는 반대측의 면에, 박리 시트가 적층되어 있고, 상기 박리 시트가, 지지체와, 상기 지지체의 적어도 한쪽의 면에 형성된 대전 방지층을 갖는 것이 바람직하다(발명 4).In the above invention (inventions 1 to 3), a release sheet is laminated on a surface of the pressure-sensitive adhesive layer opposite to the base, and the release sheet is provided on a surface of the pressure- It is preferable to have an antistatic layer (invention 4).

상기 발명(발명 1∼4)에 있어서는, 박리 시트를 제거한 상기 보호 시트의 헤이즈값이, 5% 이하인 것이 바람직하다(발명 5).In the above inventions (inventions 1 to 4), it is preferable that the haze value of the protective sheet from which the release sheet is removed is 5% or less (invention 5).

상기 발명(발명 1∼5)에 있어서는, 23℃, 상대 습도 50%의 환경 하에 있어서, 상기 기재에 대해서 100V의 전압을 10초간 인가했을 때의, 상기 기재에 있어서의 상기 점착제층측의 면의 표면 저항률이, 1×105Ω/sq 이상, 1×109Ω/sq 이하인 것이 바람직하다(발명 6).In the above inventions (inventions 1 to 5), when a voltage of 100 V is applied to the substrate for 10 seconds under an environment of 23 ° C. and a relative humidity of 50%, the surface of the surface of the substrate on the pressure- It is preferable that the resistivity is not less than 1 x 10 5 ? / Sq and not more than 1 x 10 9 ? / Sq (invention 6).

상기 발명(발명 1∼6)에 있어서는, 23℃, 상대 습도 50%의 환경 하에 있어서, 상기 기재에 대해서 100V의 전압을 10초간 인가했을 때의, 상기 기재에 있어서의 상기 점착제층과는 반대측의 면의 표면 저항률이, 1×107Ω/sq 이상, 5×1011Ω/sq 이하인 것이 바람직하다(발명 7).In the above inventions (inventions 1 to 6), when a voltage of 100 V is applied to the substrate for 10 seconds under an environment of 23 ° C. and a relative humidity of 50%, the pressure difference between the pressure- It is preferable that the surface resistivity of the surface is 1 x 10 7 Ω / sq or more and 5 × 10 11 Ω / sq or less (invention 7).

상기 발명(발명 4)에 있어서는, 23℃, 상대 습도 50%의 환경 하에 있어서, 상기 박리 시트에 대해서 100V의 전압을 10초간 인가했을 때의, 상기 박리 시트에 있어서의 상기 점착제층측의 면의 표면 저항률이, 1×107Ω/sq 이상, 1×1011Ω/sq 이하인 것이 바람직하다(발명 8).In the above invention (Invention 4), when a voltage of 100 V is applied to the peeling sheet for 10 seconds under an environment of 23 ° C. and a relative humidity of 50%, the surface of the peeling sheet side of the peeling sheet It is preferable that the resistivity is not less than 1 x 10 7 ? / Sq and not more than 1 x 10 11 ? / Sq (invention 8).

상기 발명(발명 4)에 있어서는, 23℃, 상대 습도 50%의 환경 하에 있어서, 상기 박리 시트에 대해서 100V의 전압을 10초간 인가했을 때의, 상기 박리 시트에 있어서의 상기 점착제층과는 반대측의 면의 표면 저항률이, 1×107Ω/sq 이상, 1×1011Ω/sq 이하인 것이 바람직하다(발명 9).In the above invention (Invention 4), a voltage of 100 V is applied to the peeling sheet for 10 seconds under an environment of 23 ° C. and a relative humidity of 50%, and the peeling sheet is peeled off from the peeling sheet It is preferable that the surface resistivity of the surface is 1 x 10 7 Ω / sq or more and 1 × 10 11 Ω / sq or less (Invention 9).

상기 발명(발명 1∼9)에 있어서는, 상기 디바이스가, 플렉서블 디바이스인 것이 바람직하다(발명 10).In the above inventions (Invention 1 to 9), it is preferable that the device is a flexible device (invention 10).

본 발명에 따른 보호 시트는, 박리 대전압을 낮게 억제할 수 있음과 함께, 점착제층의 내열성이 우수하며, 또한 점착제층의 양호한 기재밀착성을 확보할 수 있다.The protective sheet according to the present invention can suppress the peeling electrification voltage to a low level, and is excellent in the heat resistance of the pressure-sensitive adhesive layer and can ensure good adhesion of the pressure-sensitive adhesive layer to the substrate.

도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 보호 시트의 단면도.
도 2는 점착면의 평가에 관한 시험예에 있어서의 평가 기준의 화상을 나타내는 도면(컬러).
1 is a sectional view of a protective sheet according to an embodiment of the present invention;
2 is a drawing (color) showing an image of an evaluation reference in a test example concerning evaluation of an adhesive surface;

이하, 본 발명의 실시형태에 대하여 설명한다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described.

본 발명의 일 실시형태에 따른 보호 시트는, 주로 디바이스의 가공, 조립, 검사 등의 공정 중, 디바이스에 있어서의 표면의 흠집 등을 방지하기 위하여, 디바이스를 보호하는데 사용된다.A protective sheet according to an embodiment of the present invention is used to protect a device, in order to prevent scratches on the surface of the device during processing such as processing, assembly, and inspection of the device.

본 실시형태에 따른 보호 시트는, 기재와, 점착제층을 구비하고 있다. 기재는, 플라스틱 필름과, 당해 플라스틱 필름의 적어도 한쪽의 면측에 형성된 대전 방지층을 갖고 있고, 점착제층은, 그 대전 방지층에 접하도록 기재에 적층되어 있다. 상기 점착제층은, 실리콘계 점착제로 이루어진다.The protective sheet according to the present embodiment includes a substrate and a pressure-sensitive adhesive layer. The substrate has a plastic film and an antistatic layer formed on at least one side of the plastic film, and the pressure-sensitive adhesive layer is laminated on the substrate so as to contact the antistatic layer. The pressure-sensitive adhesive layer is made of a silicone-based pressure-sensitive adhesive.

본 실시형태에 따른 보호 시트에서는, 적어도 플라스틱 필름과 점착제층과의 사이에 대전 방지층을 가짐에 의해, 박리 대전압을 낮게 억제할 수 있다. 따라서, 점착제층으로부터 박리 시트를 박리해서 보호 시트를 디바이스에 첩착할 때나, 당해 보호 시트를 디바이스로부터 박리했을 때에, 정전기에 기인해서 공기 중의 먼지나 티끌이 디바이스에 부착하는 것을 억제할 수 있다. 또한, 피착체인 디바이스가 플렉서블 OLED 디바이스인 경우에도 상기한 효과가 얻어지고, 또한 당해 플렉서블 OLED 디바이스에 정전기에 의한 손상을 부여하는 것을 방지할 수 있다.In the protective sheet according to the present embodiment, at least the antistatic layer is provided between the plastic film and the pressure-sensitive adhesive layer, whereby the peeling electrification voltage can be suppressed to a low level. Therefore, when the release sheet is peeled from the pressure-sensitive adhesive layer and the protective sheet is adhered to the device, or when the protective sheet is peeled from the device, dust and dirt in the air can be prevented from adhering to the device due to static electricity. In addition, even when the device as a substrate is a flexible OLED device, the above-described effect can be obtained and it is possible to prevent the flexible OLED device from being damaged by static electricity.

또한, 실리콘계 점착제는, 미점착성(微粘着性)으로 하는 것이 용이하고, 재박리성이 우수하다. 따라서, 본 실시형태에 따른 보호 시트는, 플렉서블 OLED 디바이스 등의 유연한 플렉서블 디바이스로부터도 원활하게 박리할 수 있다.In addition, the silicone-based pressure-sensitive adhesive is easily tacky (slightly tacky) and is excellent in re-peeling property. Therefore, the protective sheet according to the present embodiment can be smoothly peeled off from a flexible flexible device such as a flexible OLED device.

또한, 실리콘계 점착제는, 아크릴계 점착제와 비교해서, 고온 하에서도 점착력이 안정하여 있고, 내열성이 우수하다. 따라서, 점착제층이 실리콘계 점착제로 이루어지는 본 실시형태에 따른 보호 시트는, 당해 보호 시트가 첩착된 OLED 디바이스 등의 디바이스가 고온 하(예를 들면 90∼150℃)에서 검사되었을 때에도, 점착력이 현저하게 높아지는 것이 억제되어, 보호 시트를 문제없이 피착체로부터 박리할 수 있다.Further, the silicone pressure-sensitive adhesive has a stable adhesive force even at a high temperature and is excellent in heat resistance as compared with the acrylic pressure-sensitive adhesive. Therefore, even when a device such as an OLED device to which the protective sheet is adhered is inspected at a high temperature (for example, 90 to 150 占 폚), the protective sheet according to the present embodiment in which the pressure-sensitive adhesive layer is made of a silicone- So that the protective sheet can be peeled from the adherend without any problem.

또한, 본 실시형태에 따른 보호 시트는, 상기와 같이 플라스틱 필름과 점착제층과의 사이에 대전 방지층을 가짐에 의해 대전방지성이 우수하기 때문에, 점착제층에 대전방지제를 첨가할 필요가 없다. 실리콘계 점착제에 일반적인 대전방지제를 첨가해서 이루어지는 점착제층은, 기재밀착성이 낮아지지만, 본 실시형태에 따른 보호 시트에서는 그와 같은 문제를 회피하여, 점착제층의 양호한 기재밀착성을 확보할 수 있다. 따라서, 본 실시형태에 따른 보호 시트는, 제품으로서의 안정성·신뢰성이 높고, 또한, 피착체로부터 보호 시트를 박리했을 때에, 피착체측에 점착제가 잔존하는 것을 억제할 수 있다.In addition, the protective sheet according to the present embodiment is excellent in antistatic property by having an antistatic layer between the plastic film and the pressure-sensitive adhesive layer as described above, so that it is not necessary to add an antistatic agent to the pressure-sensitive adhesive layer. The pressure-sensitive adhesive layer formed by adding a common antistatic agent to a silicone-based pressure-sensitive adhesive lowers the adhesion of the base material. However, such a problem can be avoided in the protective sheet according to the present embodiment, and satisfactory adhesion of the pressure-sensitive adhesive layer to the substrate can be ensured. Therefore, the protective sheet according to the present embodiment has high stability and reliability as a product, and can suppress the remaining of the adhesive on the adherend when peeling off the protective sheet from the adherend.

이하, 도면을 참조해서 본 실시형태의 일례인 보호 시트를 설명한다.Hereinafter, a protective sheet as an example of the present embodiment will be described with reference to the drawings.

도 1에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 따른 보호 시트(1)는, 기재(2)와, 점착제층(3)과, 박리 시트(4)를 구비하고 있다. 기재(2)는, 플라스틱 필름(21)과, 플라스틱 필름(21)에 있어서의 점착제층(3)측의 면(도 1에서는 하측의 면)에 형성된 제1 대전 방지층(22a)을 갖고 있고, 플라스틱 필름(21)에 있어서의 점착제층(3)과는 반대의 면(도 1에서는 상측의 면)에 형성된 제2 대전 방지층(22b)을 추가로 갖는 것이 바람직하다. 또한, 박리 시트(4)는, 지지체(41)와, 지지체(41)에 있어서의 점착제층(3)측의 면(도 1에서는 상측의 면)에 형성된 제3 대전 방지층(42a)을 갖는 것이 바람직하고, 지지체(41)에 있어서의 점착제층(3)과는 반대의 면(도 1에서는 하측의 면)에 형성된 제4 대전 방지층(42b)을 추가로 갖는 것이 특히 바람직하다. 점착제층(3)은, 기재(2)의 제1 대전 방지층(22a)에 접하도록 기재(2)에 적층되어 있다. 본 실시형태에 있어서의 박리 시트(4)는, 당해 박리 시트(4)의 제3 대전 방지층(42a)이 점착제층(3)에 접하도록 당해 점착제층(3)에 적층되어 있다.1, the protective sheet 1 according to the present embodiment includes a base material 2, a pressure-sensitive adhesive layer 3, and a release sheet 4. As shown in Fig. The substrate 2 has a plastic film 21 and a first antistatic layer 22a formed on the surface of the plastic film 21 on the side of the pressure-sensitive adhesive layer 3 (lower surface in Fig. 1) It is preferable that the plastic film 21 further has a second antistatic layer 22b formed on the surface opposite to the pressure-sensitive adhesive layer 3 (upper surface in Fig. 1). The release sheet 4 has a support 41 and a third antistatic layer 42a formed on the surface of the support 41 on the side of the pressure sensitive adhesive layer 3 It is particularly preferable to further include a fourth antistatic layer 42b formed on the surface of the support 41 opposite to the pressure-sensitive adhesive layer 3 (the lower surface in Fig. 1). The pressure sensitive adhesive layer 3 is laminated on the base material 2 so as to be in contact with the first antistatic layer 22a of the base material 2. [ The release sheet 4 in the present embodiment is laminated on the pressure sensitive adhesive layer 3 such that the third antistatic layer 42a of the release sheet 4 is in contact with the pressure sensitive adhesive layer 3. [

또, 상기 박리 시트(4)는, 보호 시트(1)의 사용 시까지 점착제층(3)을 보호하기 위한 것이고, 보호 시트(1)의 사용 시에 박리 제거된다. 본 실시형태에 따른 보호 시트(1)에 있어서, 박리 시트(4)는 생략되어도 된다.The release sheet 4 is for protecting the pressure-sensitive adhesive layer 3 until the protective sheet 1 is used and is peeled off when the protective sheet 1 is used. In the protective sheet 1 according to the present embodiment, the release sheet 4 may be omitted.

또한, 본 실시형태에서는, 기재(2)의 제1 대전 방지층(22a)은 필수의 요소인데 대하여, 기재(2)의 제2 대전 방지층(22b), 박리 시트(4)의 제3 대전 방지층(42a) 및 제4 대전 방지층(42b)은, 반드시 필요하지는 않고, 각각 독립해서 생략되어도 된다. 단, 기재(2)의 제2 대전 방지층(22b), 박리 시트(4)의 제3 대전 방지층(42a) 및 제4 대전 방지층(42b)의 1층 또는 2층 이상이 존재함에 의해, 보호 시트(1)의 대전방지성이 보다 우수한 것으로 된다.In this embodiment, the first antistatic layer 22a of the substrate 2 is an essential element, but the second antistatic layer 22b of the substrate 2 and the third antistatic layer 22b of the release sheet 4 42a and the fourth antistatic layer 42b are not necessarily required and may be omitted independently of each other. However, since one or more layers of the second antistatic layer 22b of the base material 2, the third antistatic layer 42a of the release sheet 4, and the fourth antistatic layer 42b are present, The antistatic property of the photoconductor 1 becomes better.

또, 보호 시트(1)의 바람직한 사용 태양의 하나로서, 보호 시트(1)의 권회(卷回) 롤로부터 보호 시트(1)가 조출(繰出)되고, 박리 시트(4)가 벗겨지고, 노출한 점착제층(3) 상에 플렉서블 OLED 디바이스가 설치되고, 반송, 가공 등 되는 태양을 들 수 있다. 상기한 조출 공정에 있어서 대전 방지를 도모하기 위해서는, 제2 대전 방지층(22b) 및 제4 대전 방지층(42b)의 적어도 어느 하나가 마련되어 있는 것이 바람직하고, 양쪽이 마련되어 있는 것이 보다 바람직하다. 또한, 상기한 박리 시트(4)의 박리 공정에 있어서 대전 방지를 도모하기 위해서는, 제1 대전 방지층(22a)에 더하여, 점착제층(3)과 접하는 제3 대전 방지층(42a)도 마련되어 있는 것이 바람직하다.As a preferred use of the protective sheet 1, the protective sheet 1 is fed out from the roll of the protective sheet 1, the release sheet 4 is peeled off, And a flexible OLED device is installed on a pressure-sensitive adhesive layer 3, and is transported, processed, and the like. It is preferable that at least one of the second antistatic layer 22b and the fourth antistatic layer 42b be provided in order to prevent the electrification in the above-described elongating process, and it is more preferable that both the antistatic layer 22b and the fourth antistatic layer 42b are provided. It is preferable that a third antistatic layer 42a in contact with the pressure-sensitive adhesive layer 3 is provided in addition to the first antistatic layer 22a in order to prevent electrification in the peeling sheet 4 described above Do.

1. 각 부재1. Each member

(1) 기재(1)

(1-1) 플라스틱 필름(1-1) Plastic film

플라스틱 필름(21)으로서는 특히 한정되지 않지만, 피착체가 OLED 디바이스일 경우, 플라스틱 필름(21)은 투명성이 높은 것임이 바람직하다. OLED 디바이스의 발광 검사에서는, 액정 디바이스의 발광 검사보다도 엄격한 레벨로 검사가 행해져, 보호 시트(1)에는 높은 투명성이 요구되기 때문이다. 그 경우, 플라스틱 필름(21)은, 필러를 함유하지 않는 것임이 바람직하다. 또한, 피착체가 OLED 디바이스일 경우, 플라스틱 필름(21)은, OLED 디바이스의 검사에서 인가되는 고온(예를 들면 90∼150℃)에 대한 내열성을 갖는 것이 바람직하다.Although the plastic film 21 is not particularly limited, when the adherend is an OLED device, the plastic film 21 preferably has high transparency. This is because, in the light emission inspection of the OLED device, the inspection is performed at a stricter level than the light emission inspection of the liquid crystal device, and the protective sheet 1 is required to have high transparency. In this case, it is preferable that the plastic film 21 does not contain a filler. Further, when the adherend is an OLED device, it is preferable that the plastic film 21 has heat resistance to a high temperature (for example, 90 to 150 DEG C) applied in the inspection of the OLED device.

이러한 플라스틱 필름(21)으로서는, 예를 들면, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴리에테르이미드, 폴리카보네이트, 폴리메틸펜텐, 폴리페닐렌설파이드, 액정 폴리머 등의 수지로 이루어지는 플라스틱 필름이 바람직하고, 단층으로 이루어지는 필름이어도 되고, 동종 또는 이종(異種)의 복수 층을 적층한 필름이어도 된다. 상기한 것 중에서도, 투명성, 내열성 및 코스트의 면으로부터, 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름이 특히 바람직하다.As the plastic film 21, for example, a resin such as polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polybutylene terephthalate, polyimide, polyether imide, polycarbonate, polymethylpentene, polyphenylene sulfide, , And may be a single layer film or a laminate of a plurality of layers of the same or different types. Of these, polyethylene terephthalate films are particularly preferable in view of transparency, heat resistance and cost.

또, 상기 플라스틱 필름은, 본 실시형태의 상술한 효과를 손상시키지 않는 범위에서, 필러, 내열성 향상제, 자외선 흡수제 등의 첨가제를 함유하고 있어도 된다.The plastic film may contain additives such as a filler, a heat resistance improving agent, and an ultraviolet absorber within the range not impairing the above-described effects of the present embodiment.

상기 플라스틱 필름(21)에 있어서는, 제1 대전 방지층(22a) 및/또는 제2 대전 방지층(22b)과의 밀착성을 향상시키는 목적으로, 소망에 따라, 산화법 등에 의한 표면 처리, 또는 프라이머 처리를 실시할 수 있다. 상기 산화법으로서는, 예를 들면 코로나 방전 처리, 플라스마 방전 처리, 크롬 산화 처리(습식), 화염 처리, 열풍 처리, 오존, 자외선 조사 처리 등을 들 수 있다. 이들 표면 처리법은, 플라스틱 필름(21)의 종류에 따라서 적의(適宜) 선택된다.The plastic film 21 may be subjected to surface treatment or primer treatment by an oxidizing method or the like as desired for the purpose of improving adhesion with the first antistatic layer 22a and / or the second antistatic layer 22b can do. Examples of the oxidation method include a corona discharge treatment, a plasma discharge treatment, a chromium oxidation treatment (wet), a flame treatment, a hot air treatment, an ozone, and an ultraviolet ray irradiation treatment. These surface treatment methods are appropriately selected depending on the kind of the plastic film 21. [

플라스틱 필름(21)의 두께는, 내열성 및 첩부·박리의 작업성을 고려하면, 25㎛ 이상인 것이 바람직하고, 38㎛ 이상인 것이 보다 바람직하고, 50㎛ 이상인 것이 더 바람직하다. 보호 대상인 디바이스가 플렉서블 디바이스인 경우에는, 첩부·박리의 작업성의 관점에서, 50㎛ 이상인 것이 특히 바람직하다. 한편, 첩부·박리의 작업성 및 코스트를 고려하면, 당해 두께는, 150㎛ 이하인 것이 바람직하고, 125㎛ 이하인 것이 특히 바람직하고, 100㎛ 이하인 것이 더 바람직하다.The thickness of the plastic film 21 is preferably 25 占 퐉 or more, more preferably 38 占 퐉 or more, and more preferably 50 占 퐉 or more, in consideration of heat resistance and workability of adhering and peeling. In the case where the device to be protected is a flexible device, it is particularly preferable that the protective device is 50 mu m or more from the viewpoint of operability of attaching and peeling. On the other hand, in consideration of workability and cost of attaching and peeling, the thickness is preferably 150 占 퐉 or less, more preferably 125 占 퐉 or less, and further preferably 100 占 퐉 or less.

플라스틱 필름(21)에 있어서의 점착제층(3)측(제1 대전 방지층(22a)측)의 면의 표면 거칠기는, 산술 평균 거칠기(Ra)로서 10㎚ 이하인 것이 바람직하고, 7㎚ 이하인 것이 보다 바람직하고, 5㎚ 이하인 것이 특히 바람직하고, 3㎚ 이하인 것이 더 바람직하다. 이것에 의해, 플라스틱 필름(21)의 헤이즈값, 특히 외부 헤이즈가 작아져, 투명성이 보다 높은 것으로 된다. 또, 본 명세서에 있어서의 표면 거칠기는, JIS B0601:2001에 준거해서, 광간섭 현미경을 사용해서 측정되는 거칠기 곡선으로부터 구해지는 것으로 한다. 구체적으로는, 시험예에 나타내는 바와 같다. 또한, 본 명세서에 있어서의 플라스틱 필름의 표면 거칠기는, 플라스틱 필름 단체(單體)만의 표면 거칠기뿐만 아니라, 이접착층(易接着層) 등을 갖는 플라스틱 필름의 표면 거칠기에 대해서도 포함하는 것으로 한다.The surface roughness of the surface of the plastic film 21 on the side of the pressure-sensitive adhesive layer 3 (first antistatic layer 22a side) is preferably 10 nm or less as an arithmetic mean roughness (Ra) Particularly preferably 5 nm or less, and more preferably 3 nm or less. As a result, the haze value of the plastic film 21, in particular, the external haze is reduced, and the transparency is higher. The surface roughness in the present specification is determined from a roughness curve measured using an optical interference microscope in accordance with JIS B0601: 2001. Specifically, it is as shown in a test example. The surface roughness of the plastic film in this specification includes not only the surface roughness of the plastic film alone but also the surface roughness of the plastic film having the adhesive layer or the like.

또, 산술 평균 거칠기(Ra)의 하한값은 특히 한정되지 않지만, 1㎚ 이상인 것이 바람직하고, 1.5㎚ 이상인 것이 특히 바람직하고, 2㎚ 이상인 것이 더 바람직하다.The lower limit value of the arithmetic mean roughness (Ra) is not particularly limited, but is preferably 1 nm or more, particularly preferably 1.5 nm or more, and more preferably 2 nm or more.

또한, 플라스틱 필름(21)에 있어서의 점착제층(3)측(제1 대전 방지층(22a)측)의 면의 표면 거칠기는, 최대 산 높이(Rp)로서 200㎚ 이하이고, 최대 높이(Rz)로서 300㎚ 이하이고, 최대 단면 높이(Rt)로서 500㎚ 이하인 것이 바람직하다. 플라스틱 필름(21)이 상기한 요건을 충족시킴에 의해, 점착제층(3)의 점착면(점착제층이 피착체에 접촉하는 면)이 유자 겉표면으로 되는 것이 억제되어, 피착체에 첩착한 보호 시트(1)의 투시성이 매우 높아진다. 따라서, 예를 들면, 당해 플라스틱 필름(21)을 갖는 보호 시트(1)가 첩착된 OLED 디바이스의 발광 검사를 보다 정확하게 행할 수 있다.The surface roughness of the surface of the plastic film 21 on the pressure sensitive adhesive layer 3 side (first antistatic layer 22a side) is 200 nm or less as the maximum peak height Rp, And a maximum cross-sectional height (Rt) of 500 nm or less. By satisfying the above-described requirement, the plastic film 21 is prevented from becoming the sticky surface of the pressure-sensitive adhesive layer 3 (surface on which the pressure-sensitive adhesive layer comes into contact with the adherend) as the surface of the sticky material, The transparency of the sheet 1 becomes very high. Therefore, for example, the luminescence inspection of the OLED device to which the protective sheet 1 having the plastic film 21 is adhered can be performed more accurately.

최대 산 높이(Rp)는, 유자 겉표면 억제의 관점에서, 200㎚ 이하인 것이 바람직하고, 150㎚ 이하인 것이 특히 바람직하고, 100㎚ 이하인 것이 더 바람직하다. 최대 높이(Rz)는, 유자 겉표면 억제의 관점에서, 300㎚ 이하인 것이 바람직하고, 200㎚ 이하인 것이 특히 바람직하고, 100㎚ 이하인 것이 더 바람직하다. 최대 단면 높이(Rt)는, 유자 겉표면 억제의 관점에서, 500㎚ 이하인 것이 바람직하고, 400㎚ 이하인 것이 보다 바람직하고, 300㎚ 이하인 것이 특히 바람직하고, 200㎚ 이하인 것이 더 바람직하다. 또, 최대 산 높이(Rp)의 하한값은 특히 한정되지 않지만, 5㎚ 이상인 것이 바람직하고, 10㎚ 이상인 것이 특히 바람직하고, 20㎚ 이상인 것이 더 바람직하다. 최대 높이(Rz)의 하한값도 특히 한정되지 않지만, 5㎚ 이상인 것이 바람직하고, 10㎚ 이상인 것이 특히 바람직하고, 20㎚ 이상인 것이 더 바람직하다. 최대 단면 높이(Rt)의 하한값도 특히 한정되지 않지만, 5㎚ 이상인 것이 바람직하고, 20㎚ 이상인 것이 특히 바람직하고, 40㎚ 이상인 것이 더 바람직하다.The maximum peak height Rp is preferably 200 nm or less, particularly preferably 150 nm or less, and more preferably 100 nm or less, from the viewpoint of suppressing the surface of the citron peel. The maximum height (Rz) is preferably 300 nm or less, particularly preferably 200 nm or less, more preferably 100 nm or less, from the viewpoint of suppressing the surface of the citron peel. The maximum cross-sectional height (Rt) is preferably 500 nm or less, more preferably 400 nm or less, particularly preferably 300 nm or less, further preferably 200 nm or less, from the viewpoint of suppressing the surface of the citron peel. The lower limit value of the maximum peak height Rp is not particularly limited, but is preferably 5 nm or more, particularly preferably 10 nm or more, and more preferably 20 nm or more. The lower limit value of the maximum height (Rz) is not particularly limited, but is preferably 5 nm or more, particularly preferably 10 nm or more, and more preferably 20 nm or more. The lower limit value of the maximum sectional height (Rt) is not particularly limited, but is preferably 5 nm or more, particularly preferably 20 nm or more, and more preferably 40 nm or more.

(1-2) 대전 방지층(1-2) Antistatic Layer

제1 대전 방지층(22a) 및 제2 대전 방지층(22b)은, 모두, 플라스틱 필름(21)에 원하는 대전방지성을 부여할 수 있고, 투명성을 갖는 재료로 이루어지면, 특히 한정되지 않는다. 이와 같은 대전 방지층(22a, 22b)으로서는, 예를 들면, 도전성 고분자와 바인더 수지를 함유하는 대전 방지층용 조성물로 이루어지는 층인 것이 바람직하다.All of the first antistatic layer 22a and the second antistatic layer 22b are not particularly limited as long as they are made of a material that can impart desired antistatic properties to the plastic film 21 and have transparency. As such antistatic layers 22a and 22b, for example, a layer made of a composition for an antistatic layer containing a conductive polymer and a binder resin is preferable.

도전성 고분자로서는, 종래 공지의 도전성 고분자 중으로부터, 임의의 것을 적의 선택해서 사용할 수 있지만, 그 중에서도, 폴리티오펜계, 폴리아닐린계 또는 폴리피롤계의 도전성 고분자가 바람직하다. 도전성 고분자는, 1종을 단독으로 사용해도 되고, 2종 이상을 조합해서 사용해도 된다.As the conductive polymer, arbitrary ones may be selected and used as appropriate from conventionally known conductive polymers. Among them, polythiophene-based, polyaniline-based or polypyrrole-based conductive polymers are preferable. The conductive polymer may be used singly or in combination of two or more kinds.

폴리티오펜계의 도전성 고분자로서는, 예를 들면, 폴리티오펜, 폴리(3-알킬티오펜), 폴리(3-티오펜-β-에탄설폰산), 폴리알킬렌디옥시티오펜과 폴리스티렌설포네이트(PSS)와의 혼합물(도프된 것을 포함한다) 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 폴리알킬렌디옥시티오펜과 폴리스티렌설포네이트와의 혼합물이 바람직하다. 상기 폴리알킬렌디옥시티오펜으로서는, 폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜)(PEDOT), 폴리프로필렌디옥시티오펜, 폴리(에틸렌/프로필렌)디옥시티오펜 등을 들 수 있고, 그 중에서도 폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜)가 바람직하다. 즉, 상기한 것 중에서도, 폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜)와 폴리스티렌설포네이트와의 혼합물(PSS를 도프한 PEDOT)이 특히 바람직하다.Examples of the polythiophene conductive polymer include polythiophene, poly (3-alkylthiophene), poly (3-thiophene-beta-ethanesulfonic acid), polyalkylene dioxythiophene and polystyrene sulfonate (PSS) (including those doped), and the like. Among these, a mixture of polyalkylene dioxythiophene and polystyrene sulfonate is preferable. Examples of the polyalkylene dioxythiophenes include poly (3,4-ethylenedioxythiophene) (PEDOT), polypropylene dioxythiophene and poly (ethylene / propylene) dioxythiophene. , 4-ethylenedioxythiophene) are preferable. That is, a mixture of poly (3,4-ethylenedioxythiophene) and polystyrene sulfonate (PEDOT doped with PSS) is particularly preferable among the above.

폴리아닐린계의 도전성 고분자로서는, 예를 들면, 폴리아닐린, 폴리메틸아닐린, 폴리메톡시아닐린 등을 들 수 있다. 폴리피롤계의 도전성 고분자로서는, 예를 들면, 폴리피롤, 폴리3-메틸피롤, 폴리3-옥틸피롤 등을 들 수 있다.Examples of the polyaniline-based conductive polymer include polyaniline, polymethylaniline, polymethoxyaniline, and the like. Examples of the polypyrrole-based conductive polymer include polypyrrole, poly-3-methylpyrrole, poly-3-octylpyrrole, and the like.

대전 방지층용 조성물 중에 있어서의 도전성 고분자의 함유량은, 0.1∼30질량%인 것이 바람직하고, 0.2∼20질량%인 것이 특히 바람직하고, 0.3∼10질량%인 것이 더 바람직하다. 도전성 고분자의 함유량이 상기 범위 내이면, 양호한 대전 방지 성능이 얻어지고, 또한, 당해 대전 방지층용 조성물로 형성되는 대전 방지층의 강도가 충분한 것으로 된다.The content of the conductive polymer in the antistatic layer composition is preferably from 0.1 to 30 mass%, more preferably from 0.2 to 20 mass%, still more preferably from 0.3 to 10 mass%. When the content of the conductive polymer is within the above range, good antistatic performance can be obtained and the antistatic layer formed of the antistatic layer composition can have sufficient strength.

상기 대전 방지층용 조성물에 사용되는 바인더 수지로서는, 폴리에스테르 수지, 우레탄 수지 및 아크릴 수지로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종을 주성분으로서 함유하는 것이 바람직하다. 이들 수지는, 열경화성 화합물이어도 되고, 자외경화성 화합물이어도 되지만, 자외경화성으로 하기 위해서는 용매를 수계로부터 유기 용제계로 치환하는 것이 필요하기 때문에, 공정 수나 코스트의 관점에서, 열경화성 화합물인 것이 바람직하다. 상기한 것 중에서도, 플라스틱 필름에의 밀착성의 높이로부터, 열경화성의 폴리에스테르 수지가 바람직하고, 가교제와 반응하는 반응성기, 예를 들면 수산기 등을 갖는 폴리에스테르 수지가 특히 바람직하다.The binder resin used for the antistatic layer composition preferably contains at least one member selected from the group consisting of a polyester resin, a urethane resin and an acrylic resin as a main component. These resins may be thermosetting compounds or ultraviolet-curable compounds, but in order to obtain ultraviolet-curable properties, it is necessary to replace the solvent with an organic solvent system from a water-based system, and therefore a thermosetting compound is preferable from the viewpoint of the number of steps and cost. Of the above-mentioned materials, a thermosetting polyester resin is preferable from the viewpoint of high adhesion to a plastic film, and a polyester resin having a reactive group reactive with a crosslinking agent such as a hydroxyl group is particularly preferable.

대전 방지층용 조성물은, 상기 성분 이외에도, 가교제, 레벨링제, 방오제 등을 함유해도 된다.The antistatic layer composition may contain, in addition to the above components, a crosslinking agent, a leveling agent, and an antifouling agent.

가교제로서는, 상기한 수지를 가교할 수 있는 것이면 된다. 예를 들면, 상기 수지가 반응성기로서 수산기를 갖는 것이면, 이소시아네이트계 가교제, 에폭시계 가교제, 아민계 가교제, 멜라민계 가교제 등을 사용하는 것이 바람직하다.The cross-linking agent may be any one capable of crosslinking the above-mentioned resin. For example, if the resin has a hydroxyl group as a reactive group, it is preferable to use an isocyanate type crosslinking agent, an epoxy type crosslinking agent, an amine type crosslinking agent, a melamine type crosslinking agent and the like.

가교제의 함유량은, 바인더 수지 100질량부에 대해서, 1∼50질량부인 것이 바람직하고, 5∼40질량부인 것이 특히 바람직하고, 10∼30질량부인 것이 더 바람직하다.The content of the crosslinking agent is preferably 1 to 50 parts by mass, more preferably 5 to 40 parts by mass, and most preferably 10 to 30 parts by mass, relative to 100 parts by mass of the binder resin.

레벨링제로서는, 예를 들면, 디메틸실록산계 화합물, 불소계 화합물, 계면활성제 등을 사용할 수 있다. 제1 대전 방지층(22a)에 있어서는, 점착제층(3)과의 밀착성의 관점에서, 계면활성제를 사용하는 것이 바람직하다. 대전 방지층용 조성물이 레벨링제를 함유함에 의해, 대전 방지층(22a, 22b)의 평활성을 향상시킬 수 있어, 기재(2)의 투시성이 보다 높은 것으로 된다.As the leveling agent, for example, a dimethylsiloxane-based compound, a fluorine-based compound, a surfactant and the like can be used. In the first antistatic layer 22a, it is preferable to use a surfactant from the viewpoint of adhesion with the pressure-sensitive adhesive layer (3). By including the leveling agent in the composition for the antistatic layer, the smoothness of the antistatic layers 22a and 22b can be improved, and the transparency of the base material 2 becomes higher.

대전 방지층용 조성물 중에 있어서의 레벨링제의 함유량은, 0.1∼10질량%인 것이 바람직하고, 0.2∼5질량%인 것이 특히 바람직하고, 0.5∼3질량%인 것이 더 바람직하다.The content of the leveling agent in the antistatic layer composition is preferably from 0.1 to 10 mass%, particularly preferably from 0.2 to 5 mass%, more preferably from 0.5 to 3 mass%.

제1 대전 방지층(22a) 및 제2 대전 방지층(22b)의 두께는, 대전 방지 성능을 고려하면, 각각, 10㎚ 이상인 것이 바람직하고, 20㎚ 이상인 것이 보다 바람직하고, 30㎚ 이상인 것이 더 바람직하다. 또한, 제1 대전 방지층(22a) 및 제2 대전 방지층(22b)의 두께는, 강도 및 코스트의 관점에서, 200㎚ 이하인 것이 바람직하고, 150㎚ 이하인 것이 특히 바람직하고, 100㎚ 이하인 것이 더 바람직하다.The thicknesses of the first antistatic layer 22a and the second antistatic layer 22b are preferably 10 nm or more, more preferably 20 nm or more, and more preferably 30 nm or more, in consideration of antistatic performance . The thickness of the first antistatic layer 22a and the second antistatic layer 22b is preferably 200 nm or less, particularly preferably 150 nm or less, and more preferably 100 nm or less, from the viewpoints of strength and cost .

(1-3) 기재의 물성(1-3) Physical properties of substrate

(1-3-1) 표면 저항률(1-3-1) Surface resistivity

23℃, 상대 습도 50%의 환경 하에 있어서, 기재(2)에 대해서 100V의 전압을 10초간 인가했을 때의, 기재(2)에 있어서의 점착제층(3)측의 면(제1 대전 방지층(22a)에 있어서의 플라스틱 필름(21)과는 반대측의 면)의 표면 저항률은, 상한값으로서, 1×109Ω/sq 이하인 것이 바람직하고, 5×108Ω/sq 이하인 것이 특히 바람직하고, 1×108Ω/sq 이하인 것이 더 바람직하다. 상기 표면 저항률의 상한값이 상기임에 의해, 박리 대전압을 효과적으로 낮게 억제할 수 있다. 따라서, 점착제층(3)으로부터 박리 시트(4)를 박리했을 때나, 보호 시트(1)를 디바이스로부터 박리했을 때에, 정전기가 발생하는 것을 효과적으로 억제할 수 있다. 또한, 상기 표면 저항률의 하한값은 특히 한정되지 않지만, 통상은, 1×105Ω/sq 이상인 것이 바람직하고, 5×105Ω/sq 이상인 것이 특히 바람직하고, 1×106Ω/sq 이상인 것이 더 바람직하다.The surface of the base material 2 on the pressure-sensitive adhesive layer 3 side (the surface of the first antistatic layer (the surface of the first antistatic layer The surface resistivity on the side opposite to the plastic film 21 on the surface of the plastic film 22a is preferably not more than 1 x 10 9 ? / Sq as the upper limit value, more preferably not more than 5 x 10 8 ? / Sq, × 10 8 Ω / sq or less. By virtue of the above-described upper limit of the surface resistivity, the peeling electrification voltage can be effectively suppressed. Therefore, it is possible to effectively suppress generation of static electricity when the release sheet 4 is peeled from the pressure-sensitive adhesive layer 3 or when the protective sheet 1 is peeled from the device. The lower limit value of the surface resistivity is not particularly limited, but is preferably 1 10 5 Ω / sq or higher, particularly preferably 5 10 5 Ω / sq or higher, and more preferably 1 10 6 Ω / sq or higher More preferable.

또한, 23℃, 상대 습도 50%의 환경 하에 있어서, 기재(2)에 대해서 100V의 전압을 10초간 인가했을 때의, 기재(2)에 있어서의 점착제층(3)과는 반대측의 면(제2 대전 방지층(22b)에 있어서의 플라스틱 필름(21)과는 반대측의 면)의 표면 저항률은, 상한값으로서, 5×1011Ω/sq 이하인 것이 바람직하고, 1×1011Ω/sq 이하인 것이 특히 바람직하고, 5×1010Ω/sq 이하인 것이 더 바람직하다. 상기 표면 저항률의 상한값이 상기임에 의해, 보호 시트(1)의 권회 롤로부터 보호 시트(1)가 조출될 때에, 정전기가 발생하는 것을 보다 효과적으로 억제할 수 있다. 또한, 상기 표면 저항률의 하한값은 특히 한정되지 않지만, 통상은, 1×107Ω/sq 이상인 것이 바람직하고, 5×107Ω/sq 이상인 것이 특히 바람직하고, 1×108Ω/sq 이상인 것이 더 바람직하다.The surface of the substrate 2 opposite to the pressure-sensitive adhesive layer 3 (the surface opposite to the pressure-sensitive adhesive layer 3) when applied with a voltage of 100 V to the substrate 2 for 10 seconds under an environment of 23 캜 and a relative humidity of 50% The surface resistivity of the antistatic layer 22b on the side opposite to the plastic film 21 is preferably 5 x 10 11 ? / Sq or less as an upper limit value and 1 x 10 11 ? / Sq or less And more preferably 5 10 10 ? / Sq or less. The above-mentioned upper limit of the surface resistivity can prevent the generation of static electricity more effectively when the protective sheet 1 is fed out from the winding roll of the protective sheet 1. The lower limit of the surface resistivity is not particularly limited, but is preferably 1 x 10 7 ? / Sq or more, particularly preferably 5 x 10 7 ? / Sq or more, and more preferably 1 x 10 8 ? / Sq or more More preferable.

또, 상기 표면 저항률은, JIS K6911에 준거해서 측정한 값이고, 당해 표면 저항률의 측정 방법의 상세는, 후술하는 시험예에 나타내는 바와 같다.The surface resistivity is a value measured in accordance with JIS K6911, and details of the method for measuring the surface resistivity are as shown in the following test examples.

(1-3-2) 헤이즈값(1-3-2) Haze value

기재(2)의 헤이즈값은, 5% 이하인 것이 바람직하고, 3% 이하인 것이 특히 바람직하고, 1% 이하인 것이 더 바람직하다. 기재(2)의 헤이즈값이 상기임에 의해, 피착체에 첩착되는 보호 시트(1)의 투명도가 높은 것으로 된다. 플라스틱 필름(21)이 필러를 함유하지 않는 플라스틱 필름으로 이루어짐에 의해, 상기한 헤이즈값이 달성되기 쉽다. 또한, 플라스틱 필름(21)의 산술 평균 거칠기(Ra)가 상술한 범위이면, 상기한 헤이즈값이 보다 달성되기 쉽다. 또, 상기 헤이즈값의 하한값은 특히 한정되지 않으며, 0%인 것이 특히 바람직하다. 여기에서, 본 명세서에 있어서의 헤이즈값은, JIS K7136:2000에 준거해서 측정한 값으로 한다.The haze value of the base material 2 is preferably 5% or less, particularly preferably 3% or less, more preferably 1% or less. The transparency of the protective sheet 1 to be adhered to the adherend is high due to the above haze value of the base material 2. Since the plastic film 21 is made of a plastic film that does not contain a filler, the aforementioned haze value is easily attained. Further, when the arithmetic mean roughness (Ra) of the plastic film 21 is in the above-mentioned range, the aforementioned haze value is more easily attained. The lower limit value of the haze value is not particularly limited, and is particularly preferably 0%. Here, the haze value in this specification is a value measured in accordance with JIS K7136: 2000.

(2) 점착제층(2) Pressure-sensitive adhesive layer

(2-1) 재료(2-1) Material

점착제층(3)은, 실리콘계 점착제로 이루어진다. 실리콘계 점착제로서는, 보호 대상인 피착체(디바이스)에의 첩착 및 피착체로부터의 박리에 적합한 것을 선택하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 피착체가 OLED 디바이스 등의 플렉서블 디바이스인 경우에는, 플렉서블 디바이스로부터 보호 시트(1)가 박리하기 쉽도록, 재박리성이 특히 우수한 미점착성의 실리콘계 점착제를 선택하는 것이 바람직하다.The pressure-sensitive adhesive layer (3) is made of a silicone-based pressure-sensitive adhesive. As the silicone-based pressure-sensitive adhesive, it is preferable to select a silicone pressure-sensitive adhesive suitable for adhesion to an adherend (device) to be protected and release from the adherend. For example, when the adherend is a flexible device such as an OLED device, it is preferable to select a tacky silicone pressure-sensitive adhesive which is particularly excellent in releasability so that the protective sheet 1 can easily peel off from the flexible device.

실리콘계 점착제로서는, 축합형 실리콘계 점착제여도 되고, 부가 반응형 실리콘계 점착제여도 되지만, 재박리성의 관점에서, 부가 반응형 실리콘계 점착제가 바람직하다.The silicone-based pressure-sensitive adhesive may be a condensation-type silicone pressure-sensitive adhesive or an addition reaction-type silicone pressure-sensitive adhesive, but an addition reaction-type silicone pressure-sensitive adhesive is preferable from the viewpoint of re-

부가 반응형 실리콘계 점착제는, 1분자 중에 적어도 2개의 알케닐기를 갖는 제1 폴리디메틸실록산 및 1분자 중에 적어도 2개의 히드로실릴기를 갖는 제2 폴리디메틸실록산으로부터 얻어지는 부가 반응형 실리콘 수지를 주제로서 함유하는 것이 바람직하고, 추가로 실리콘 레진을 함유하는 것이 특히 바람직하다.The addition reaction-type silicone-based pressure-sensitive adhesive contains as its main components an addition reaction-type silicone resin obtained from a first polydimethylsiloxane having at least two alkenyl groups in one molecule and a second polydimethylsiloxane having at least two hydrosilyl groups in one molecule , And it is particularly preferable to further contain silicone resin.

제1 폴리디메틸실록산에 포함되는 알케닐기로서는, 비닐기, 알릴기, 프로페닐기, 부테닐기, 펜테닐기, 헥세닐기, 헵테닐기, 옥테닐기 등의 1가 탄화수소기를 들 수 있고, 그 중에서도 비닐기가 특히 바람직하다.Examples of the alkenyl group contained in the first polydimethylsiloxane include monovalent hydrocarbon groups such as a vinyl group, an allyl group, a propenyl group, a butenyl group, a pentenyl group, a hexenyl group, a heptenyl group and an octenyl group. Particularly preferred.

제1 폴리디메틸실록산 중에 있어서의 알케닐기의 함유량(규소 원자에 결합하는 메틸기의 수에 대한 알케닐기의 수의 비율)은, 0.005∼0.1몰%인 것이 바람직하고, 0.01∼0.05몰%인 것이 특히 바람직하다. 알케닐기는, 분자쇄의 양 말단에 갖는 것이 바람직하고, 측쇄에 가져도 된다. 제1 폴리디메틸실록산 1분자 중에 알케닐기가 적어도 둘 포함되고, 또한 알케닐기의 함유량이 상기 범위에 있음으로써, 가교 밀도가 높은 가교 구조가 형성되어, 재박리성이 우수한 점착제층(3)을 얻을 수 있다.The content of the alkenyl group in the first polydimethylsiloxane (the ratio of the number of alkenyl groups to the number of methyl groups bonded to silicon atoms) is preferably 0.005 to 0.1 mol%, more preferably 0.01 to 0.05 mol% desirable. The alkenyl group preferably has both ends of the molecular chain and may have a side chain. When at least two alkenyl groups are contained in one molecule of the first polydimethylsiloxane and the content of the alkenyl group is in the above range, a crosslinked structure having a high crosslinking density is formed to obtain a pressure-sensitive adhesive layer (3) excellent in re- .

제1 폴리디메틸실록산의 중합도(실록산 결합의 수)는, 200∼5,000인 것이 바람직하고, 500∼3,000인 것이 특히 바람직하다. 또한, 제2 폴리디메틸실록산 중에 있어서의 히드로실릴기의 함유량은, 1분자 중에 2∼300개인 것이 바람직하고, 4∼200개인 것이 특히 바람직하다. 제2 폴리디메틸실록산의 중합도는, 50∼2,000인 것이 바람직하고, 100∼1,500인 것이 특히 바람직하다. 또한, 제1 폴리디메틸실록산 100질량부에 대한 제2 폴리디메틸실록산의 배합비는, 0.01∼20질량부인 것이 바람직하고, 0.1∼10질량부인 것이 특히 바람직하다. 각 관능기의 함유량 및 제1 폴리디메틸실록산에 대한 제2 폴리디메틸실록산의 배합비가 상기한 범위 내에 있음으로써, 제1 폴리디메틸실록산과 제2 폴리디메틸실록산과의 부가 반응이 양호하게 행해진다.The degree of polymerization (number of siloxane bonds) of the first polydimethylsiloxane is preferably 200 to 5,000, particularly preferably 500 to 3,000. The content of the hydrosilyl group in the second polydimethylsiloxane is preferably 2 to 300 in one molecule, particularly preferably 4 to 200. The polymerization degree of the second polydimethylsiloxane is preferably from 50 to 2,000, particularly preferably from 100 to 1,500. The blending ratio of the second polydimethylsiloxane to 100 parts by mass of the first polydimethylsiloxane is preferably 0.01 to 20 parts by mass, particularly preferably 0.1 to 10 parts by mass. The addition reaction of the first polydimethylsiloxane with the second polydimethylsiloxane is favorably performed because the content of each functional group and the blending ratio of the second polydimethylsiloxane to the first polydimethylsiloxane fall within the above range.

또, 제1 폴리디메틸실록산은, 히드로실릴기를 갖지 않는 것이 바람직하고, 제2 폴리디메틸실록산은, 알케닐기를 갖지 않는 것이 바람직하다.The first polydimethylsiloxane preferably has no hydrosilyl group, and the second polydimethylsiloxane preferably has no alkenyl group.

제1 폴리디메틸실록산의 중량 평균 분자량은, 2만∼130만인 것이 바람직하고, 30만∼120만인 것이 특히 바람직하다. 또한, 제2 폴리디메틸실록산의 중량 평균 분자량은, 300∼1400인 것이 바람직하고, 500∼1200인 것이 특히 바람직하다. 또, 본 명세서에 있어서의 중량 평균 분자량은, 겔 투과 크로마토그래피(GPC)법에 의해 측정한 표준 폴리스티렌 환산의 값이다.The weight average molecular weight of the first polydimethylsiloxane is preferably from 20,000 to 130,000, and particularly preferably from 300,000 to 1,000,000. The weight average molecular weight of the second polydimethylsiloxane is preferably 300 to 1,400, and particularly preferably 500 to 1,200. In the present specification, the weight average molecular weight is a value in terms of standard polystyrene measured by a gel permeation chromatography (GPC) method.

실리콘 레진으로서는, 예를 들면, 일관능 실록산 단위[(CH₃)3SiO1 / 2]인 M 단위와, 사관능 실록산 단위[SiO4 / 2]인 Q 단위로 구성되는 MQ 레진을 사용할 수 있다. M 단위/Q 단위의 몰비는, 0.6∼1.7인 것이 바람직하다. 이 실리콘 레진은, 실리콘계 점착제에 점착성을 부여하는 역할을 갖는다.As the silicone resin can be used, for example, a MQ resin consisting of one functional siloxane unit [(CH₃) 3 SiO 1/ 2] of M units, and a four-functional siloxane units Q units of [SiO 4/2]. The molar ratio of M units / Q units is preferably 0.6 to 1.7. This silicone resin has a role of imparting tackiness to the silicone-based tackifier.

부가 반응형 실리콘 수지 100질량부에 대한 실리콘 레진의 배합량은, 하한값으로서, 1질량부 이상인 것이 바람직하고, 3질량부 이상인 것이 특히 바람직하고, 5질량부 이상인 것이 더 바람직하다. 실리콘 레진의 배합량의 하한값이 상기임에 의해, 원하는 점착력을 얻을 수 있고, 보호 시트(1)가 피착체(디바이스)로부터 의도하지 않게 박리하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 배합량은, 상한값으로서, 40질량부 이하인 것이 바람직하고, 30질량부 이하인 것이 특히 바람직하고, 20질량부 이하인 것이 더 바람직하다. 실리콘 레진의 배합량의 상한값이 상기임에 의해, 점착력이 너무 높아지는 것을 방지하여, 보호 시트(1)의 재박리성을 확보할 수 있다.The amount of the silicone resin to be blended with 100 parts by mass of the addition reaction type silicone resin is preferably 1 part by mass or more, particularly preferably 3 parts by mass or more, more preferably 5 parts by mass or more. The lower limit of the amount of the silicone resin to be added is that the desired adhesion can be obtained and the protective sheet 1 can be prevented from unintentionally peeling off from the adherend (device). The upper limit of the blending amount is preferably 40 parts by mass or less, particularly preferably 30 parts by mass or less, more preferably 20 parts by mass or less. The upper limit value of the amount of the silicone resin to be added is prevented from being too high by the above-mentioned adhesive force, and the re-peeling property of the protective sheet 1 can be ensured.

상기 부가 반응형 실리콘계 점착제는, 촉매를 함유하는 것이 바람직하다. 촉매로서는, 상기 부가 반응형 실리콘 수지를 경화(제1 폴리디메틸실록산과 제2 폴리디메틸실록산을 부가 반응)시킬 수 있는 것이면 특히 한정되지 않지만, 그 중에서도 백금족 금속계 화합물이 바람직하다. 백금족 금속계 화합물로서는, 예를 들면, 미립자상 백금, 탄소 분말 담체(擔體) 상에 흡착된 미립자상 백금, 염화백금산, 알코올 변성 염화백금산, 염화백금산의 올레핀 착체, 팔라듐, 로듐 등을 들 수 있다. 이러한 촉매를 함유함으로써, 부가 반응형 실리콘 수지의 경화 반응을 보다 효율 좋게 진행시킬 수 있다.The addition reaction type silicone based pressure sensitive adhesive preferably contains a catalyst. The catalyst is not particularly limited as long as it can cure the addition reaction type silicone resin (addition reaction of the first polydimethylsiloxane and the second polydimethylsiloxane), but among these, a platinum group metal compound is preferable. Examples of the platinum group metal compound include fine platinum particles, fine particulate platinum adsorbed on a carbon powder carrier, chloroplatinic acid, alcohol-modified chloroplatinic acid, olefin complexes of chloroplatinic acid, palladium and rhodium . By containing such a catalyst, the curing reaction of the addition reaction type silicone resin can be promoted more efficiently.

상기 부가 반응형 실리콘 수지 100질량부에 대한 촉매의 배합량은, 백금분이 0.01∼3질량부인 것이 바람직하고, 0.05∼2질량부인 것이 특히 바람직하다.The blending amount of the catalyst relative to 100 parts by mass of the addition reaction type silicone resin is preferably 0.01 to 3 parts by mass, particularly preferably 0.05 to 2 parts by mass.

상기 실리콘계 점착제는, 가교제, 반응억제제, 실란커플링제 등의 각종 첨가제를 함유해도 된다. 한편, 상기 실리콘계 점착제는, 대전방지제를 함유하지 않는 것이 바람직하다. 일반적인 대전방지제를 실리콘계 점착제에 첨가하면, 얻어지는 점착제층(3)의 기재밀착성이 저하하고, 또한, 상용성의 낮음으로부터, 점착제층(3)의 투명성이 낮아지기 때문이다. 단, 이러한 불량이 발생하지 않는 대전방지제이면, 실리콘계 점착제에 첨가해도 된다.The silicone-based pressure-sensitive adhesive may contain various additives such as a crosslinking agent, a reaction inhibitor, and a silane coupling agent. On the other hand, the silicone-based pressure-sensitive adhesive preferably does not contain an antistatic agent. When a general antistatic agent is added to a silicone pressure sensitive adhesive, the adhesion of the obtained pressure sensitive adhesive layer (3) is lowered, and the transparency of the pressure sensitive adhesive layer (3) is lowered due to low compatibility. However, if the antistatic agent does not cause such defects, it may be added to the silicone-based pressure-sensitive adhesive.

(2-2) 두께(2-2) Thickness

점착제층(3)의 두께는, 점착성의 관점에서, 15㎛ 이상인 것이 바람직하고, 20㎛ 이상인 것이 특히 바람직하고, 25㎛ 이상인 것이 더 바람직하다. 또한, 점착제층(3)의 두께는, 박리성의 관점에서, 75㎛ 이하인 것이 바람직하고, 50㎛ 이하인 것이 특히 바람직하고, 30㎛ 이하인 것이 더 바람직하다.The thickness of the pressure-sensitive adhesive layer 3 is preferably 15 占 퐉 or more, particularly preferably 20 占 퐉 or more, and more preferably 25 占 퐉 or more, from the viewpoint of adhesiveness. The thickness of the pressure-sensitive adhesive layer 3 is preferably 75 占 퐉 or less, more preferably 50 占 퐉 or less, and most preferably 30 占 퐉 or less, from the viewpoint of releasability.

(3) 박리 시트(3) Peeling sheet

(3-1) 지지체(3-1)

지지체(41)로서는, 점착제층(3)에 악영향을 부여하지 않는 것이면, 특히 한정되지 않으며, 예를 들면, 폴리에틸렌 필름, 폴리프로필렌 필름, 폴리부텐 필름, 폴리부타디엔 필름, 폴리메틸펜텐 필름, 폴리염화비닐 필름, 염화비닐 공중합체 필름, 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름, 폴리에틸렌나프탈레이트 필름, 폴리부틸렌테레프탈레이트 필름, 폴리우레탄 필름, 에틸렌아세트산비닐 필름, 아이오노머 수지 필름, 에틸렌·(메타)아크릴산 공중합체 필름, 에틸렌·(메타)아크릴산에스테르 공중합체 필름, 폴리스티렌 필름, 폴리카보네이트 필름, 폴리이미드 필름, 불소 수지 필름 등이 사용된다. 또한, 이들의 가교 필름도 사용된다. 또한, 이들의 적층 필름이어도 된다. 상기한 것 중에서도, 핸들링성이 우수한 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름이 바람직하다.The support 41 is not particularly limited as long as it does not adversely affect the pressure-sensitive adhesive layer 3. Examples of the support 41 include a polyethylene film, a polypropylene film, a polybutene film, a polybutadiene film, a polymethylpentene film, Vinyl acetate copolymer film, polyethylene terephthalate film, polyethylene naphthalate film, polybutylene terephthalate film, polyurethane film, ethylene vinyl acetate film, ionomer resin film, ethylene (meth) acrylic acid copolymer film, Ethylene / (meth) acrylic acid ester copolymer films, polystyrene films, polycarbonate films, polyimide films, fluororesin films, and the like. These crosslinked films are also used. Further, these laminated films may be used. Of these, polyethylene terephthalate films having excellent handling properties are preferable.

지지체(41)의 두께에 대해서는 특히 제한은 없지만, 통상 15∼100㎛인 것이 바람직하고, 25∼75㎛인 것이 특히 바람직하다.The thickness of the support body 41 is not particularly limited, but is preferably 15 to 100 占 퐉, and particularly preferably 25 to 75 占 퐉.

(3-2) 대전 방지층(3-2) Antistatic layer

제3 대전 방지층(42a) 및 제4 대전 방지층(42b)은, 모두, 플라스틱 필름(21)에 원하는 대전방지성을 부여할 수 있는 재료로 이루어지면, 특히 한정되지 않는다. 이와 같은 대전 방지층(42a, 42b)의 재료로서는, 상술한 기재(2)의 대전 방지층(22a, 22b)과 마찬가지의 재료를 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 대전 방지층(42a, 42b)의 두께도, 기재(2)의 대전 방지층(22a, 22b)과 마찬가지의 두께로 하는 것이 바람직하다.The third antistatic layer 42a and the fourth antistatic layer 42b are not particularly limited as long as they are made of a material capable of imparting desired antistatic properties to the plastic film 21. [ As the material of the antistatic layers 42a and 42b, it is preferable to use the same materials as the antistatic layers 22a and 22b of the substrate 2 described above. The thickness of the antistatic layers 42a and 42b is preferably the same as that of the antistatic layers 22a and 22b of the substrate 2. [

여기에서, 상술한 바와 같이, 본 실시형태에 따른 보호 시트(1)에 있어서, 제3 대전 방지층(42a) 및 제4 대전 방지층(42b)은, 한쪽 중 어느 하나 또는 양쪽을 생략할 수 있다. 단, 한쪽을 생략하는 경우는, 제4 대전 방지층(42b)을 생략하는 것이 바람직하다. 점착제층(3)에 접촉하는 제3 대전 방지층(42a)이 존재하면, 점착제층(3)으로부터 박리 시트(4)를 박리할 때의 대전방지성을 효과적으로 높일 수 있다.Here, as described above, either or both of the third antistatic layer 42a and the fourth antistatic layer 42b may be omitted in the protective sheet 1 according to the present embodiment. However, in the case of omitting one side, it is preferable to omit the fourth antistatic layer 42b. If the third antistatic layer 42a is in contact with the pressure-sensitive adhesive layer 3, the antistatic property when the release sheet 4 is peeled from the pressure-sensitive adhesive layer 3 can be effectively increased.

(3-3) 박리 시트의 물성(3-3) Properties of release sheet

(3-3-1) 표면 저항률(3-3-1) Surface resistivity

23℃, 상대 습도 50%의 환경 하에 있어서, 박리 시트(4)에 대해서 100V의 전압을 10초간 인가했을 때의, 박리 시트(4)에 있어서의 점착제층(3)측의 면(제3 대전 방지층(42a)에 있어서의 지지체(41)와는 반대측의 면)의 표면 저항률은, 상한값으로서, 1×1011Ω/sq 이하인 것이 바람직하고, 5×1010Ω/s 이하인 것이 특히 바람직하고, 1×1010Ω/s 이하인 것이 더 바람직하다. 상기 표면 저항률의 상한값이 상기임에 의해, 점착제층(3)으로부터 박리 시트(4)를 박리할 때에, 정전기가 발생하는 것을 양호하게 억제할 수 있어, 보호 시트(1)를 디바이스에 첩착할 때에, 공기 중의 먼지나 티끌이 디바이스에 부착하는 것을 보다 효과적으로 억제할 수 있다. 또한, 상기 표면 저항률의 하한값은 특히 한정되지 않지만, 통상은, 1×107Ω/sq 이상인 것이 바람직하고, 5×107Ω/s 이상인 것이 특히 바람직하고, 1×108Ω/s 이상인 것이 더 바람직하다.The surface of the release sheet 4 on the side of the pressure-sensitive adhesive layer 3 (the surface of the release sheet 4 when the voltage of 100 V was applied to the release sheet 4 for 10 seconds under an environment of 23 캜 and a relative humidity of 50% The surface resistivity of the surface of the resist layer 42a opposite to the support 41 is preferably not more than 1 x 10 11 ? / Sq as an upper limit value, more preferably not more than 5 x 10 10 ? / S, More preferably 10 10 ? / S or less. The above-mentioned upper limit of the surface resistivity allows the static electricity to be well suppressed from occurring when the release sheet 4 is peeled from the pressure-sensitive adhesive layer 3, and when the protective sheet 1 is adhered to the device , It is possible to more effectively suppress the attachment of dust or dirt in the air to the device. Although the lower limit value of the surface resistivity is not particularly limited, it is preferably 1 x 10 7 ? / Sq or more, particularly preferably 5 x 10 7 ? / S or more, and more preferably 1 x 10 8 ? More preferable.

23℃, 상대 습도 50%의 환경 하에 있어서, 박리 시트(4)에 대해서 100V의 전압을 10초간 인가했을 때의, 박리 시트(4)에 있어서의 점착제층(3)과는 반대측의 면(제4 대전 방지층(42b)에 있어서의 지지체(41)와는 반대측의 면)의 표면 저항률은, 상한값으로서, 1×1011Ω/sq 이하인 것이 바람직하고, 5×1010Ω/s 이하인 것이 특히 바람직하고, 1×1010Ω/s 이하인 것이 더 바람직하다. 상기 표면 저항률의 상한값이 상기임에 의해, 보호 시트(1)의 권회 롤로부터 보호 시트(1)가 조출될 때에, 정전기가 발생하는 것을 보다 효과적으로 억제할 수 있다. 또한, 상기 표면 저항률의 하한값은 특히 한정되지 않지만, 통상은, 1×107Ω/sq 이상인 것이 바람직하고, 5×107Ω/s 이상인 것이 특히 바람직하고, 1×108Ω/s 이상인 것이 더 바람직하다.(The side opposite to the pressure-sensitive adhesive layer 3 in the release sheet 4 when a voltage of 100 V was applied to the release sheet 4 for 10 seconds under an environment of 23 deg. C and a relative humidity of 50% The surface resistivity of the antistatic layer 42b on the side opposite to the support 41 is preferably not more than 1 x 10 11 ? / Sq as an upper limit value, particularly preferably not more than 5 x 10 10 ? / S , And more preferably 1 × 10 10 Ω / s or less. The above-mentioned upper limit of the surface resistivity can prevent the generation of static electricity more effectively when the protective sheet 1 is fed out from the winding roll of the protective sheet 1. Although the lower limit value of the surface resistivity is not particularly limited, it is preferably 1 x 10 7 ? / Sq or more, particularly preferably 5 x 10 7 ? / S or more, and more preferably 1 x 10 8 ? More preferable.

(3-3-2) 표면 거칠기(3-3-2) Surface roughness

박리 시트(4)에 있어서의 점착제층(3)측(제3 대전 방지층(42a)측)의 면의 표면 거칠기는, 산술 평균 거칠기(Ra)로서 100㎚ 이하이고, 최대 산 높이(Rp)로서 1500㎚ 이하이고, 최대 높이(Rz)로서 1500㎚ 이하이고, 최대 단면 높이(Rt)로서 2000㎚ 이하인 것이 바람직하다. 박리 시트(4)가 상기한 요건을 충족시킴에 의해, 당해 박리 시트(4)에 밀착하는 점착제층(3)의 점착면이 유자 겉표면으로 되는 것이 보다 효과적으로 억제되어, 피착체에 첩착한 보호 시트(1)의 투시성이 보다 높아진다. 따라서, 예를 들면, 당해 플라스틱 필름(21)을 갖는 보호 시트(1)가 첩착된 OLED 디바이스의 발광 검사를 보다 정확하게 행할 수 있다.The surface roughness of the side of the pressure-sensitive adhesive layer 3 side (on the side of the third antistatic layer 42a) of the release sheet 4 is 100 nm or less as an arithmetic mean roughness (Ra) Preferably 1500 nm or less as the maximum height Rz and 1500 nm or less as the maximum height Rz, and 2000 nm or less as the maximum cross-sectional height Rt. By satisfying the above requirement, the peeling sheet 4 is more effectively suppressed from becoming the sticking surface of the pressure-sensitive adhesive layer 3 in contact with the peeling sheet 4, The visibility of the sheet 1 becomes higher. Therefore, for example, the luminescence inspection of the OLED device to which the protective sheet 1 having the plastic film 21 is adhered can be performed more accurately.

점착제층(3)의 유자 겉표면 억제의 관점에서, 산술 평균 거칠기(Ra)는, 100㎚ 이하인 것이 바람직하고, 75㎚ 이하인 것이 특히 바람직하고, 50㎚ 이하인 것이 더 바람직하다. 최대 산 높이(Rp)는, 1500㎚ 이하인 것이 바람직하고, 1250㎚ 이하인 것이 특히 바람직하고, 1000㎚ 이하인 것이 더 바람직하다. 최대 높이(Rz)는, 1500㎚ 이하인 것이 바람직하고, 1250㎚ 이하인 것이 특히 바람직하고, 1000㎚ 이하인 것이 더 바람직하다. 최대 단면 높이(Rt)는, 2000㎚ 이하인 것이 바람직하고, 1750㎚ 이하인 것이 특히 바람직하고, 1500㎚ 이하인 것이 더 바람직하다. 또, 산술 평균 거칠기(Ra)의 하한값은 특히 한정되지 않지만, 5㎚ 이상인 것이 바람직하고, 10㎚ 이상인 것이 특히 바람직하고, 20㎚ 이상인 것이 더 바람직하다. 최대 산 높이(Rp)의 하한값도 특히 한정되지 않지만, 50㎚ 이상인 것이 바람직하고, 100㎚ 이상인 것이 특히 바람직하고, 200㎚ 이상인 것이 더 바람직하다. 최대 높이(Rz)의 하한값도 특히 한정되지 않지만, 50㎚ 이상인 것이 바람직하고, 100㎚ 이상인 것이 특히 바람직하고, 200㎚ 이상인 것이 더 바람직하다. 최대 단면 높이(Rt)의 하한값도 특히 한정되지 않지만, 200㎚ 이상인 것이 바람직하고, 300㎚ 이상인 것이 특히 바람직하고, 400㎚ 이상인 것이 더 바람직하다.From the viewpoint of inhibiting the surface of the pressure-sensitive adhesive layer 3, the arithmetic mean roughness (Ra) is preferably 100 nm or less, particularly preferably 75 nm or less, and more preferably 50 nm or less. The maximum peak height Rp is preferably 1500 nm or less, particularly preferably 1250 nm or less, and more preferably 1000 nm or less. The maximum height Rz is preferably 1500 nm or less, particularly preferably 1250 nm or less, and more preferably 1000 nm or less. The maximum cross-sectional height (Rt) is preferably 2000 nm or less, particularly preferably 1750 nm or less, and more preferably 1500 nm or less. The lower limit value of the arithmetic mean roughness (Ra) is not particularly limited, but is preferably 5 nm or more, particularly preferably 10 nm or more, and more preferably 20 nm or more. The lower limit value of the maximum peak height Rp is not particularly limited, but is preferably 50 nm or more, particularly preferably 100 nm or more, more preferably 200 nm or more. The lower limit value of the maximum height (Rz) is not particularly limited, but is preferably 50 nm or more, particularly preferably 100 nm or more, more preferably 200 nm or more. The lower limit value of the maximum sectional height (Rt) is not particularly limited, but is preferably 200 nm or more, particularly preferably 300 nm or more, more preferably 400 nm or more.

(3-4) 그 외(3-4) Others

또, 본 실시형태에 있어서의 박리 시트(4)의 점착제층(3)과 접하는 면에는, 박리 처리가 실시되어 있지 않은, 즉 박리제층이 존재하지 않는 것이 바람직하다. 점착제층(3)이 실리콘계 점착제로 이루어질 경우, 박리제층에는 통상 불소계 박리제가 사용되지만, 불소계 박리제로 이루어지는 박리제층을 마련했을 경우, 불소 성분이 점착제층(3)에 이행하여, 점착제층(3)의 대전방지성이나 점착력이 안정하지 않을 우려가 있기 때문이다.It is preferable that the surface of the release sheet 4 in contact with the pressure-sensitive adhesive layer 3 in the present embodiment is not subjected to the release treatment, that is, the release agent layer is not present. When a release agent layer made of a fluorine-based release agent is provided, the fluorine component migrates to the pressure-sensitive adhesive layer 3 and a pressure-sensitive adhesive layer 3 is formed on the pressure-sensitive adhesive layer 3, The antistatic property and the adhesive force of the resin composition may not be stable.

2. 보호 시트의 제조 방법2. Manufacturing method of protective sheet

(1) 기재의 제조(1) Preparation of substrate

본 실시형태에 있어서의 기재(2)를 제조하기 위해서는, 일례로서, 플라스틱 필름(21)의 한쪽의 면에, 대전 방지층용 조성물 및 소망에 따라 용매를 함유하는 도포액을 도포한 후, 건조하고, 경화시킴에 의해, 제1 대전 방지층(22a)을 형성한다. 또한, 플라스틱 필름(21)의 다른 쪽의 면에, 대전 방지층용 조성물 및 소망에 따라 용매를 함유하는 도포액을 도포한 후, 건조하고, 경화시킴에 의해, 제2 대전 방지층(22b)을 형성한다.In order to manufacture the base material 2 in this embodiment, as an example, a coating liquid containing a composition for an antistatic layer and, if desired, a solvent is applied to one surface of a plastic film 21, , And the first antistatic layer 22a is formed by curing. A second antistatic layer 22b is formed by applying a coating solution containing a composition for an antistatic layer and, if desired, a solvent, on the other surface of the plastic film 21, do.

상기 용매로서는 특히 제한은 없으며, 다양한 것을 사용할 수 있다. 예를 들면, 에테르계 용매, 알코올계 용매, 알코올계 용매와 정제수와의 혼합 용매 등이 사용된다.The solvent is not particularly limited, and various solvents can be used. For example, an ether solvent, an alcohol solvent, a mixed solvent of an alcohol solvent and purified water, and the like are used.

대전 방지층용 조성물의 도포액의 도포는, 통상의 방법에 의해서 행하면 되며, 예를 들면, 그라비어 코트법, 바 코트법, 스프레이 코트법, 스핀 코트법, 나이프 코트법, 롤 코트법, 다이 코트법 등에 의해서 행하면 된다.The application of the coating liquid of the antistatic layer composition may be carried out by a conventional method, and examples thereof include a gravure coating method, a bar coating method, a spray coating method, a spin coating method, a knife coating method, a roll coating method, Or the like.

상기 도포액을 도포하면, 도막을 가열 건조시키는 것이 바람직하다. 가열 건조의 가열 온도는 70∼140℃인 것이 바람직하고, 가열 시간은 30∼60초 정도인 것이 바람직하다.When the coating liquid is applied, it is preferable to heat and dry the coating film. The heating temperature for heating and drying is preferably 70 to 140 캜, and the heating time is preferably about 30 to 60 seconds.

(2) 박리 시트의 제조(2) Production of release sheet

본 실시형태에 있어서의 박리 시트(4)는, 기재(2)의 제조 방법과 마찬가지의 방법에 의해서 제조할 수 있다. 즉, 박리 시트(4)를 제조하기 위해서는, 일례로서, 지지체(41)의 한쪽의 면에, 대전 방지층용 조성물 및 소망에 따라 용매를 함유하는 도포액을 도포한 후, 건조하고, 경화시킴에 의해, 제3 대전 방지층(42a)을 형성한다. 또한, 지지체(41)의 다른 쪽의 면에, 대전 방지층용 조성물 및 소망에 따라 용매를 함유하는 도포액을 도포한 후, 건조하고, 경화시킴에 의해, 제4 대전 방지층(42b)을 형성한다.The release sheet 4 in the present embodiment can be produced by the same method as the production method of the base material 2. [ That is, in order to manufacture the release sheet 4, as an example, a coating liquid containing a composition for an antistatic layer and, if desired, a solvent is applied to one surface of a support 41, followed by drying and curing Thereby forming the third antistatic layer 42a. Further, a coating liquid containing a composition for an antistatic layer and, if desired, a solvent is applied to the other surface of the support 41, followed by drying and curing to form a fourth antistatic layer 42b .

(3) 보호 시트의 제조(3) Production of protective sheet

본 실시형태에 따른 보호 시트(1)를 제조하기 위해서는, 일례로서, 기재(2)에 있어서의 제1 대전 방지층(22a)측의 면에, 실리콘계 점착제 및 소망에 따라 희석제를 함유하는 도포액을 도포한 후, 건조하고, 경화시킴에 의해, 점착제층(3)을 형성한다.In order to manufacture the protective sheet 1 according to the present embodiment, a coating liquid containing a silicone-based pressure-sensitive adhesive and, if desired, a diluent, is applied to the surface of the substrate 2 on the side of the first antistatic layer 22a After coating, drying, and curing, a pressure-sensitive adhesive layer (3) is formed.

상기 희석제로서는 특히 제한은 없으며, 다양한 것을 사용할 수 있다. 예를 들면 톨루엔, 헥산, 헵탄 등의 탄화수소 화합물을 비롯해서, 아세톤, 아세트산에틸, 메틸에틸케톤, 메틸이소부틸케톤 및 이들의 혼합물 등이 사용된다.The diluent is not particularly limited, and various diluents can be used. For example, hydrocarbon compounds such as toluene, hexane and heptane, acetone, ethyl acetate, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, and mixtures thereof.

실리콘계 점착제의 도포액의 도포는, 통상의 방법에 의해서 행하면 되며, 예를 들면, 바 코트법, 나이프 코트법, 롤 코트법, 블레이드 코트법, 다이 코트법, 그라비어 코트법 등에 의해서 행하면 된다. 상기 도포액을 도포하면, 도막을 가열 건조시키는 것이 바람직하다.The application of the coating liquid of the silicone-based pressure-sensitive adhesive may be carried out by a conventional method, for example, by a bar coating method, a knife coating method, a roll coating method, a blade coating method, a die coating method or a gravure coating method. When the coating liquid is applied, it is preferable to heat and dry the coating film.

실리콘계 점착제의 주제가 부가 반응형 실리콘계 점착제일 경우, 상기 도막을 열경화시키는 것이 바람직하다. 이 경우의 가열 온도는 80∼180℃인 것이 바람직하고, 가열 시간은 10∼90초 정도인 것이 바람직하다.When the subject of the silicone based pressure sensitive adhesive is an addition reaction type silicone based pressure sensitive adhesive, it is preferable that the coating film is thermally cured. In this case, the heating temperature is preferably 80 to 180 DEG C, and the heating time is preferably 10 to 90 seconds or so.

상기와 같이 해서 점착제층(3)을 형성하면, 당해 점착제층(3)에, 제3 대전 방지층(42a)이 접하도록 박리 시트(4)를 첩합하여, 보호 시트(1)를 얻는다.When the pressure sensitive adhesive layer 3 is formed as described above, the release sheet 4 is bonded to the pressure sensitive adhesive layer 3 so that the third antistatic layer 42a is in contact with the pressure sensitive adhesive layer 3 to obtain the protective sheet 1.

또, 상기한 제조 방법에서는, 점착제층(3)은 기재(2)에 대해서 형성했지만, 박리 시트(4)에 대해서 형성하고, 그 후, 점착제층(3)에 기재(2)를 첩합해도 된다.Although the pressure sensitive adhesive layer 3 is formed on the base material 2 in the above-described manufacturing method, it may be formed on the release sheet 4, and then the base material 2 may be applied to the pressure sensitive adhesive layer 3 .

3. 물성3. Properties

(1) 헤이즈값(1) Haze value

본 실시형태에 따른 보호 시트(1)에 있어서의 박리 시트(4) 이외의 적층체(본 실시형태에서는, 기재(2) 및 점착제층(3)의 적층체)의 헤이즈값은, 5% 이하인 것이 바람직하고, 3% 이하인 것이 보다 바람직하고, 2% 이하인 것이 특히 바람직하고, 1% 이하인 것이 더 바람직하다. 상기 헤이즈값이 상기임에 의해, 보호 시트(1)의 투시성이 보다 높아져, 예를 들면, 당해 보호 시트(1)가 첩착된 OLED 디바이스의 발광 검사를 문제없이 행할 수 있다. 또, 상기 헤이즈값의 하한값은 특히 한정되지 않으며, 0%인 것이 특히 바람직하다.The haze value of the laminate other than the release sheet 4 (the laminate of the base material 2 and the pressure-sensitive adhesive layer 3 in the present embodiment) in the protective sheet 1 according to the present embodiment is 5% or less , More preferably not more than 3%, particularly preferably not more than 2%, further preferably not more than 1%. With the above haze value, the visibility of the protective sheet 1 becomes higher, and for example, the light emission test of the OLED device to which the protective sheet 1 is adhered can be performed without any problem. The lower limit value of the haze value is not particularly limited, and is particularly preferably 0%.

본 실시형태에 따른 보호 시트(1)에 있어서는, 플라스틱 필름(21)이 필러를 함유하지 않는 플라스틱 필름으로 이루어짐에 의해, 상기한 헤이즈값이 달성되기 쉽다. 또한, 플라스틱 필름(21)의 산술 평균 거칠기(Ra)가 상술한 범위이면, 상기한 헤이즈값이 보다 달성되기 쉽다.In the protective sheet 1 according to the present embodiment, since the plastic film 21 is made of a plastic film not containing a filler, the aforementioned haze value is easily attained. Further, when the arithmetic mean roughness (Ra) of the plastic film 21 is in the above-mentioned range, the aforementioned haze value is more easily attained.

(2) 점착제층 대전압(2) Pressure-sensitive adhesive layer voltage

23℃, 상대 습도 50%의 환경 하에 있어서, 본 실시형태에 따른 보호 시트(1)에 있어서의 박리 시트(4) 이외의 적층체(본 실시형태에서는, 기재(2) 및 점착제층(3)의 적층체)에 대해서, 점착제층(3)이 노출한 상태로 턴테이블에 설치하고, 턴테이블을 회전시키면서, 점착제층(3)으로부터 거리 2.0㎝의 위치로부터 +10kV의 전압을 인가했을 때의, 대전압(점착제층 대전압)은, 2kV 이하인 것이 바람직하고, 1.5kV 이하인 것이 특히 바람직하고, 1kV 이하인 것이 더 바람직하다. 점착제층 대전압이 상기임에 의해, 점착제층(3)으로부터 박리 시트(4)를 박리해서 보호 시트(1)를 디바이스에 첩착할 때나, 디바이스로부터 박리했을 때에 정전기가 발생하기 어려워, 정전기에 기인해서 공기 중의 먼지나 티끌이 디바이스에 부착하는 것을 효과적으로 억제할 수 있다. 상기 점착제층 대전압의 하한값은 특히 한정되지 않지만, 0V인 것이 바람직하다. 또, 점착제층 대전압의 측정 방법의 상세는, 후술하는 시험예에 나타내는 바와 같다.(Base material 2 and pressure-sensitive adhesive layer 3 in the present embodiment) other than the release sheet 4 in the protective sheet 1 according to the present embodiment under an environment of 23 deg. C and a relative humidity of 50% The pressure sensitive adhesive layer 3 was placed on the turntable while the pressure sensitive adhesive layer 3 was exposed and a voltage of +10 kV was applied from a position at a distance of 2.0 cm from the pressure sensitive adhesive layer 3 while rotating the turntable. The voltage (pressure-sensitive adhesive layer voltage) is preferably 2 kV or less, particularly preferably 1.5 kV or less, more preferably 1 kV or less. By the above-described pressure-sensitive adhesive layer voltage, static electricity is unlikely to be generated when the protective sheet 1 is peeled off from the pressure-sensitive adhesive layer 3 and the protective sheet 1 is peeled from the device, This makes it possible to effectively prevent dust and dirt from adhering to the device from the air. The lower limit value of the pressure-sensitive adhesive layer voltage is not particularly limited, but is preferably 0 V. Details of the method for measuring the pressure-sensitive adhesive layer voltage are as shown in the test examples described later.

(3) 박리 대전압(3) Peeling Voltage

23℃, 상대 습도 50%의 환경 하에 있어서, 본 실시형태에 따른 보호 시트(1)에 있어서의 점착제층(3)으로부터 박리 시트(4)를 수작업에 의해 2.0m/min의 박리 속도로 박리했을 때의, 박리 5초 후에 측정한 점착제층의 노출면으로부터 2.0㎝의 위치의 정전 전위(박리 대전압)는, 200V 이하인 것이 바람직하고, 150V 이하인 것이 특히 바람직하고, 100V 이하인 것이 더 바람직하다. 박리 대전압이 상기임에 의해, 점착제층(3)으로부터 박리 시트(4)를 박리했을 때에 정전기가 발생하기 어려워, 정전기에 기인해서 공기 중의 먼지나 티끌이 디바이스에 부착하는 것을 효과적으로 억제할 수 있다. 상기 박리 대전압의 하한값은 특히 한정되지 않지만, 0V인 것이 바람직하다. 또, 박리 대전압의 측정 방법의 상세는, 후술하는 시험예에 나타내는 바와 같다.The release sheet 4 was peeled off manually from the pressure-sensitive adhesive layer 3 in the protective sheet 1 according to the present embodiment at a peeling rate of 2.0 m / min under an environment of 23 ° C. and a relative humidity of 50% (Peeling electrification voltage) at a position 2.0 cm from the exposed surface of the pressure-sensitive adhesive layer measured after 5 seconds of peeling is preferably 200 V or less, particularly preferably 150 V or less, more preferably 100 V or less. With the above-described peeling electrification voltage, static electricity is less likely to be generated when the release sheet 4 is peeled off from the pressure-sensitive adhesive layer 3, so that adhesion of dust and dirt in the air to the device due to static electricity can be effectively suppressed . The lower limit value of the peeling electrification voltage is not particularly limited, but is preferably 0V. The details of the method of measuring the peeling electrification voltage are as shown in the following test examples.

4. 용도4. Usage

본 실시형태에 따른 보호 시트(1)는, 주로 디바이스의 가공, 조립, 검사 등의 공정 중, 디바이스에 있어서의 표면의 흠집 등을 방지하기 위하여, 디바이스를 보호하는데 사용된다. 단, 이러한 용도로 한정되는 것은 아니다.The protective sheet 1 according to the present embodiment is used for protecting devices in order to prevent scratches on the surface of the device during processing such as processing, assembly, and inspection of the device. However, the present invention is not limited to these applications.

보호 시트(1)가 보호 대상으로 하는 디바이스로서는, 예를 들면, 광학 부재나 전자 부재 등을 들 수 있지만, 본 실시형태에서는, 플렉서블 디바이스인 것이 바람직하고, 또한, 보호 시트(1)가 첩부된 상태에서 발광 검사나 고온 조건이 요구되는 디바이스인 것이 바람직하다. 그들 중에서도, OLED 디바이스가 바람직하고, 플렉서블 OLED 디바이스가 특히 바람직하다.The device to be protected by the protective sheet 1 may be, for example, an optical member or an electronic member. In the present embodiment, it is preferable that the device is a flexible device, It is preferable that the device is a device requiring a light emission test or a high temperature condition. Among them, OLED devices are preferred, and flexible OLED devices are particularly preferred.

본 실시형태에 따른 보호 시트(1)는, 제1 대전 방지층(22a)을 구비하고 있고, 또한 제2∼제4 대전 방지층(22b, 42a, 42b)도 구비하고 있기 때문에, 박리 대전압을 낮게(특히 V 오더로) 억제할 수 있어, 우수한 대전방지성을 갖는다. 이것에 의해, 점착제층(3)으로부터 박리 시트(4)를 박리해서 보호 시트(1)를 디바이스에 첩착할 때나, 디바이스로부터 박리했을 때에 정전기가 발생하기 어려워, 정전기에 기인해서 공기 중의 먼지나 티끌이 디바이스에 부착하는 것을 억제할 수 있다. 또한, 본 실시형태에 따른 보호 시트(1)는, 제2 대전 방지층(22b) 및 제4 대전 방지층(42b)을 구비하고 있기 때문에, 보호 시트(1)의 권회 롤로부터 보호 시트(1)가 조출될 때에도, 정전기가 발생하는 것을 억제할 수 있다. 한편, 실리콘계 점착제로 형성되는 점착제층(3)은 재박리성이 우수하기 때문에, OLED 디바이스 등의 플렉서블 디바이스로부터도 용이하게 박리할 수 있다. 또한, 실리콘계 점착제로 형성되는 점착제층(3)은 내열성이 우수하기 때문에, 보호 시트(1)가 첩착된 OLED 디바이스 등이 고온 하에서 검사되었을 때에도, 점착력이 현저하게 높아지는 것이 억제되어, 보호 시트(1)를 문제없이 OLED 디바이스 등으로부터 박리할 수 있다. 추가로 또한, 본 실시형태에 따른 보호 시트(1)에서는, 대전방지성을 얻기 위해서, 실리콘계 점착제로 형성되는 점착제층(3)에 대전방지제를 첨가할 필요가 없기 때문에, 점착제층(3)의 기재(2)에 대한 밀착성(기재밀착성)이 우수하다. 이것에 의해, 제품으로서의 안정성·신뢰성이 높고, 또한, 피착체로부터 보호 시트(1)를 박리했을 때에, 피착체측에 점착제층(3) 또는 점착제가 잔존할 우려가 없다.Since the protective sheet 1 according to the present embodiment has the first antistatic layer 22a and the second to fourth antistatic layers 22b and 42a and 42b as well, (In particular, V order), and has excellent antistatic properties. This makes it difficult for static electricity to be generated when the release sheet 4 is peeled from the pressure-sensitive adhesive layer 3 to adhere the protective sheet 1 to the device or peeled from the device, and dust or dirt in the air It is possible to suppress the attachment to the device. The protective sheet 1 according to the present embodiment has the second antistatic layer 22b and the fourth antistatic layer 42b so that the protective sheet 1 is wound from the winding roll of the protective sheet 1 It is possible to suppress the generation of static electricity even when discharged. On the other hand, the pressure-sensitive adhesive layer (3) formed of a silicone-based pressure-sensitive adhesive is excellent in re-peeling property and can be easily peeled from a flexible device such as an OLED device. In addition, since the pressure-sensitive adhesive layer 3 formed of a silicone-based pressure-sensitive adhesive has excellent heat resistance, even when an OLED device or the like to which the protective sheet 1 is adhered is inspected at a high temperature, ) Can be peeled off from the OLED device or the like without any problem. Further, in the protective sheet 1 according to the present embodiment, it is not necessary to add an antistatic agent to the pressure-sensitive adhesive layer 3 formed of a silicone-based pressure-sensitive adhesive in order to obtain antistatic properties. The adhesion to the substrate 2 (substrate adhesion) is excellent. Thereby, the stability and reliability of the product are high, and there is no possibility that the pressure-sensitive adhesive layer (3) or the pressure-sensitive adhesive remains on the adherend when the protective sheet (1) is peeled from the adherend.

이상 설명한 실시형태는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위하여 기재된 것이며, 본 발명을 한정하기 위하여 기재된 것은 아니다. 따라서, 상기 실시형태에 개시된 각 요소는, 본 발명의 기술적 범위에 속하는 모든 설계 변경이나 균등물도 포함하는 취지이다.The embodiments described above are described for the purpose of facilitating understanding of the present invention and are not described for limiting the present invention. Therefore, each element disclosed in the above embodiment is intended to include all design modifications and equivalents falling within the technical scope of the present invention.

예를 들면, 플라스틱 필름(21)에는 대전 방지층(22a, 22b) 이외의 층이 추가로 형성되어 있어도 된다.For example, a layer other than the antistatic layers 22a and 22b may be additionally formed on the plastic film 21. [

(실시예)(Example)

이하, 실시예 등에 의해 본 발명을 더 구체적으로 설명하지만, 본 발명의 범위는 이들 실시예 등으로 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples and the like, but the scope of the present invention is not limited to these Examples and the like.

〔실시예 1〕[Example 1]

1. 기재의 제조(대전 방지층의 형성)1. Preparation of substrate (formation of antistatic layer)

수용성의 수산기 함유 폴리에스테르 수지와, PSS를 도프한 PEDOT를, 디메틸설폭시드 및 물로 희석해서 이루어지는 희석액(츄쿄유시샤제, 제품명 「S-495」, 고형분 8.2질량%)에 대해서, 수용성 메틸올멜라민 및 물로 이루어지는 멜라민 화합물 용액(츄쿄유시샤제, 제품명 「P-795」, 고형분 70.0질량%)과, 레벨링제로서 계면활성제 및 물로 이루어지는 레벨링제 수용액(츄쿄유시샤제, 제품명 「R-438」, 고형분 10.0질량%)을 혼합하고, 거기에 추가로, 물 및 이소프로필알코올의 혼합 용매(질량비 1:1)를 더하고, 고형분 0.6질량%로 되도록 희석해서, 대전 방지층용 조성물의 도포액을 얻었다.Soluble methylol melamine and / or a water-soluble methylol melamine and / or a water-soluble methylol melamine and / or a water-soluble methylol melamine and / or a water-soluble methylol melamine and / or a water-soluble methylol melamine were dispersed in a diluting liquid (Chukyo-Yushi Shahe, product name: "S- (Product name " P-795 ", solid content: 70.0% by mass) consisting of water, a melamine compound solution made of water (Chukyo Yushi Co., %) Was further mixed with a mixed solvent of water and isopropyl alcohol (ratio by mass: 1: 1) and diluted to a solid content of 0.6% by mass to obtain a coating solution for a composition for an antistatic layer.

플라스틱 필름으로서의 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 필름(도레샤제, 제품명 「PET75U48」, 두께 : 75㎛, 필러 비함유)의 한쪽의 면(점착제층측에 위치하는 면)에, 상기 대전 방지층용 조성물의 도포액을 나이프 코터로 도포한 후, 130℃에서 60초간 가열 처리해서, 두께 50㎚의 제1 대전 방지층을 형성했다. 또한, 상기 대전 방지층용 조성물의 배합비를 변경하는 것 이외는, 상기와 마찬가지로 해서, 상기 PET 필름의 다른 쪽의 면에, 두께 50㎚의 제2 대전 방지층을 형성하여, 제1 대전 방지층/플라스틱 필름/제2 대전 방지층으로 이루어지는 기재를 얻었다.On one surface (the surface located on the pressure-sensitive adhesive layer side) of the polyethylene terephthalate (PET) film (Doreisha Chemical Co., Ltd., product name " PET75U48 ", thickness: Was coated with a knife coater and then heat-treated at 130 캜 for 60 seconds to form a first antistatic layer having a thickness of 50 nm. A second antistatic layer having a thickness of 50 nm was formed on the other surface of the PET film in the same manner as above except that the composition ratio of the composition for the antistatic layer was changed to form the first antistatic layer / / Second antistatic layer was obtained.

2. 보호 시트의 제조2. Manufacture of protective sheet

실리콘계 점착제의 주제로서의 부가 반응형 실리콘 수지(신에쓰가가쿠고교샤제, 제품명 「KS-847H」) 100질량부와, 실리콘 레진(도레·다우코닝샤제, 제품명 「SD-4584」) 10질량부와, 백금 촉매(도레·다우코닝샤제, 제품명 「SRX 212 CATALYST」) 2질량부를 혼합하고, 메틸에틸케톤으로 희석해서, 이것을 실리콘계 점착제의 도포액으로 했다.100 parts by mass of an addition reaction type silicone resin (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., product name: KS-847H) as a subject of a silicone-based pressure-sensitive adhesive and 10 parts by mass of silicone resin (Dow Corning Toray, product name "SD-4584" , And 2 parts by mass of a platinum catalyst (Dow Corning Toray, product name: "SRX 212 CATALYST") were mixed and diluted with methyl ethyl ketone, which was used as a coating liquid for a silicone-based pressure sensitive adhesive.

상기 공정 1에서 얻어진 기재에 있어서의 제1 대전 방지층측의 면에, 상기 실리콘계 점착제의 도포액을 나이프 코터로 도포한 후, 130℃에서 1분간 가열 처리해서, 두께 25㎛의 점착제층을 형성했다. 다음으로, PET 필름(지지체)의 양면에 대전 방지층(제3 대전 방지층 및 제4 대전 방지층)이 형성되어 이루어지는 박리 시트(미쓰비시쥬시샤제, 제품명 「PET25T-100(WJ)」, 두께 : 25㎛)를, 당해 박리 시트의 제3 대전 방지층측의 면이 점착제층에 접하도록 상기 점착제층에 첩합하여, 보호 시트를 얻었다.On the surface of the base material obtained in the above step 1, the coating liquid of the silicone-based pressure-sensitive adhesive was coated on the side of the first antistatic layer side with a knife coater and then heat-treated at 130 캜 for 1 minute to form a pressure- . Next, a release sheet (product name: " PET25T-100 (WJ) ", thickness: 25 mu m) comprising an antistatic layer (a third antistatic layer and a fourth antistatic layer) formed on both surfaces of a PET film Was adhered to the pressure-sensitive adhesive layer such that the side of the release sheet facing the third antistatic layer was in contact with the pressure-sensitive adhesive layer to obtain a protective sheet.

〔실시예 2∼6, 비교예 1∼2〕[Examples 2 to 6 and Comparative Examples 1 to 2]

플라스틱 필름 및 박리 시트를 표 1에 나타내는 것으로 변경하는 것 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 해서 보호 시트를 제조했다. 또, 비교예 1 및 2의 기재로서는, 대전 방지층이 없는 PET 필름(플라스틱 필름)을 사용하고, 실시예 3 및 비교예 1의 박리 시트로서는, 대전 방지층이 없는 PET 필름(지지체)을 사용했다.A protective sheet was produced in the same manner as in Example 1 except that the plastic film and the release sheet were changed to those shown in Table 1. As the base materials of Comparative Examples 1 and 2, a PET film (plastic film) without an antistatic layer was used, and as a release sheet of Example 3 and Comparative Example 1, a PET film (support) without an antistatic layer was used.

〔시험예 1〕(표면 저항률의 측정)[Test Example 1] (Measurement of surface resistivity)

실시예 및 비교예에서 사용한 기재의 점착제층측의 면 및 그 반대측(보호 시트의 표면측)의 면, 그리고 박리 시트의 점착제층측의 면 및 그 반대측(보호 시트의 뒷면측)의 면에 대하여, JIS K6911에 준거해서, 표면 저항률을 측정했다. 구체적으로는, 23℃, 상대 습도 50%의 환경 하에 있어서, 저항률 측정기(미쓰비시애널리텍샤제, 제품명 「하이레스타UP MCP-HT450형」)를 사용해서, 기재 또는 박리 시트(100㎜×100㎜)에 대해서 100V의 전압을 10초간 인가한 후의 각 표면의 표면 저항률(Ω/sq)을 측정했다. 결과를 표 1에 나타낸다. 또, 비교예 1 및 2에서 사용한 기재(대전 방지층 없음)의 양면의 표면 저항률, 그리고 실시예 3 및 비교예 1에서 사용한 박리 시트(대전 방지층 없음)의 양면의 표면 저항률은, 모두 측정 한계를 초과하는 값이었다.The surface of the substrate used in Examples and Comparative Examples on the side of the pressure-sensitive adhesive layer and the surface on the opposite side (the front surface side of the protective sheet) and the side of the pressure-sensitive adhesive layer side of the release sheet and the surface on the opposite side (the back surface side of the protective sheet) According to K6911, the surface resistivity was measured. Specifically, a base material or a release sheet (100 mm x 100 mm) was prepared by using a resistivity meter (Mitsubishi Analyteksha, product name: "Hiesta UP MCP-HT450 type") under an environment of 23 ° C. and a relative humidity of 50% (Ω / sq) of each surface after a voltage of 100 V was applied for 10 seconds. The results are shown in Table 1. The surface resistivity of both surfaces of the base material (no antistatic layer) used in Comparative Examples 1 and 2 and the surface resistivity of both surfaces of the release sheet (no antistatic layer) used in Example 3 and Comparative Example 1 exceeded the measurement limit Respectively.

〔시험예 2〕(헤이즈값의 측정)[Test Example 2] (Measurement of haze value)

실시예 및 비교예에서 사용한 기재의 헤이즈값(%)을, 헤이즈 미터(니혼덴쇼쿠고교샤제, 제품명 「NDH7000」)를 사용해서, JIS K7136:2000에 준거해서 측정했다. 결과를 표 1에 나타낸다. 또한, 실시예 및 비교예에서 제조한 보호 시트로부터 박리 시트를 박리하여, 얻어진 적층체의 헤이즈값(%)을, 마찬가지로 해서 측정했다. 결과를 표 2에 나타낸다.The haze value (%) of the substrate used in Examples and Comparative Examples was measured in accordance with JIS K7136: 2000 using a haze meter (product name: "NDH7000" manufactured by Nippon Denshoku Chemical Co., Ltd.). The results are shown in Table 1. In addition, the release sheet was peeled from the protective sheet prepared in Examples and Comparative Examples, and the haze value (%) of the obtained laminate was measured in the same manner. The results are shown in Table 2.

〔시험예 3〕(표면 거칠기의 측정)[Test Example 3] (Measurement of surface roughness)

실시예 및 비교예에서 사용한 플라스틱 필름의 점착제층측의 면(119.8㎛×91.2㎛) 및 박리 시트의 점착제층측의 면(119.8㎛×91.2㎛)의, 산술 평균 표면 거칠기(Ra; 단위 ㎚), 최대 산 높이(Rp; 단위 ㎚), 최대 높이(Rz; 단위 ㎚) 및 최대 단면 높이(Rt; 단위 ㎚)를, JIS B601:2001에 준거해서, 광간섭 현미경(Veeco사제, 제품명 「표면 형상 측정 장치 WYKO NT110」)을 사용해서 측정했다. 이때, 측정 조건 PSI, 배율 50배로 하고, 측정 포인트 10개소의 평균값을 표면 거칠기의 값으로 했다. 결과를 표 1에 나타낸다.(Unit: nm) of the surface (119.8 占 퐉 占 91.2 占 퐉) of the pressure-sensitive adhesive layer side of the plastic film used in Examples and Comparative Examples and the surface (119.8 占 91.2 占 퐉) of the pressure- (Manufactured by Veeco Co., Ltd., product name: " surface shape measuring device ") according to JIS B601: 2001 in terms of a height (Rp; unit nm), a maximum height WYKO NT110 "). At this time, the measurement conditions PSI and the magnification were 50 times, and the average value of 10 measurement points was taken as the value of the surface roughness. The results are shown in Table 1.

〔시험예 4〕(점착면의 평가)[Test Example 4] (Evaluation of adhesive surface)

실시예 및 비교예에서 제조한 보호 시트로부터 박리 시트를 박리하고, 노출한 점착제층이 노출한 상태에서 당해 보호 시트를 고정했다.The release sheet was peeled from the protective sheet prepared in Examples and Comparative Examples, and the protective sheet was fixed in a state in which the exposed pressure-sensitive adhesive layer was exposed.

상기 점착제층(점착면)의 표면 형상(50㎜×50㎜)을, 광간섭 현미경(Veeco사제, 제품명 「표면 형상 측정 장치 WYKO NT110」)을 사용해서, JIS B601:2001에 준거해서 측정했다. 이때, 측정 조건 VSI, 배율 2.5배로 했다. 얻어진 측정 화상에 의거해서, 도 2에 나타내는 화상을 기준으로 해서, 점착면(유자 겉표면)의 평가를 행했다. 또, ○와 ×와의 사이의 측정 화상에 대해서는 △로 평가했다. 결과를 표 2에 나타낸다.The surface shape (50 mm x 50 mm) of the pressure-sensitive adhesive layer (pressure-sensitive adhesive surface) was measured in accordance with JIS B601: 2001 using a light interference microscope (product name: "surface shape measurement device WYKO NT110" manufactured by Veeco). At this time, the measurement conditions were VSI and magnification 2.5 times. On the basis of the obtained measurement image, the evaluation of the adhesion surface (citron outer surface) was performed based on the image shown in Fig. In addition, the measurement image between? And? Was evaluated as?. The results are shown in Table 2.

〔시험예 5〕(점착제층 대전압)[Test Example 5] (pressure-sensitive adhesive layer vs. voltage)

실시예 및 비교예에서 제조한 보호 시트를 45㎜×45㎜로 재단하고, 박리 시트를 박리한 것을 샘플로 했다. 23℃, 상대 습도 50%의 환경 하에 있어서, 대전 전하 감쇠도 측정기(시시도세덴키샤제, 제품명 「STATIC HONESTMETER」)의 턴테이블 상에, 상기 샘플을 점착제층측이 위로 되도록 설치했다. 다음으로, 상기 턴테이블을 1550rpm으로 회전시키고, 점착제층의 노출면으로부터 2.0㎝의 위치에 10kV의 전압을 인가하고, 인가 60초 후에 있어서의 점착제층의 노출면으로부터 2.0㎝의 위치의 대전압(점착제층 대전압; V)을 측정했다. 결과를 표 2에 나타낸다.The protective sheet prepared in Examples and Comparative Examples was cut into 45 mm x 45 mm, and a release sheet was peeled off as a sample. The sample was placed on the turntable of an electrification attenuation meter (product name: "STATIC HONESTMETER", product of Shishido Seiden KK) under an environment of 23 ° C. and a relative humidity of 50% such that the pressure sensitive adhesive layer side was up. Next, the turntable was rotated at 1550 rpm, a voltage of 10 kV was applied at a position of 2.0 cm from the exposed surface of the pressure sensitive adhesive layer, and a voltage of 2.0 cm from the exposed surface of the pressure sensitive adhesive layer after 60 seconds of application Layer voltage; V) was measured. The results are shown in Table 2.

〔시험예 6〕(박리 대전압)[Test Example 6] (Peeling Voltage)

실시예 및 비교예에서 제조한 보호 시트를 25㎜×100㎜로 재단하여, 이것을 샘플로 했다. 23℃, 상대 습도 50%의 환경 하에 있어서, 샘플로부터 박리 시트를 수작업에 의해 2.0m/min의 박리 속도로 박리하고, 박리 5초 후에, 정전기 측정기(시무코재팬샤제, 제품명 「FMX-003」)를 사용해서, 점착제층의 노출면으로부터 2.0㎝의 위치의 정전 전위(박리 대전압; V)를 측정했다. 측정 결과로부터, 이하의 기준에 의거해서, 점착제층 표면에 있어서의 박리 대전압을 평가했다. 결과를 표 2에 나타낸다.The protective sheet prepared in Examples and Comparative Examples was cut into a size of 25 mm x 100 mm and used as a sample. The release sheet was peeled off from the sample by manual operation at a peeling rate of 2.0 m / min under an environment of 23 ° C and a relative humidity of 50%, and after 5 seconds of peeling, a static electricity meter (product name: FMX-003 ) Was used to measure the electrostatic potential (peeling electromotive force: V) at a position 2.0 cm from the exposed surface of the pressure-sensitive adhesive layer. From the measurement results, the peeling electrification voltage on the surface of the pressure-sensitive adhesive layer was evaluated based on the following criteria. The results are shown in Table 2.

5 : 박리 대전압이 50V 미만5: Peeling voltage is less than 50V

4 : 박리 대전압이 50V 이상, 100V 미만4: peeling voltage is 50V or more, less than 100V

3 : 박리 대전압이 100V 이상, 150V 미만3: Peeling voltage is over 100V, less than 150V

2 : 박리 대전압이 150V 이상, 200V 미만2: peeling voltage is 150V or more, less than 200V

1 : 박리 대전압이 200V 이상, 1000V 미만1: Peeling voltage is 200V or more and less than 1000V

〔시험예 7〕(기재밀착성의 평가)[Test Example 7] (Evaluation of substrate adhesion property)

실시예 및 비교예에서 제조한 보호 시트로부터 박리 시트를 박리하고, 점착제층에 대해서 커터 나이프로 십자의 컷(30㎜×30㎜)을 넣었다. 그리고, 컷을 넣은 부위의 점착제층을 손가락으로 문질러, 점착제층의 탈락 정도를 확인하고, 이하의 기준으로 기재밀착성을 평가했다. 결과를 표 2에 나타낸다.The release sheet was peeled from the protective sheet prepared in Examples and Comparative Examples, and a cross cut (30 mm x 30 mm) was inserted into the pressure-sensitive adhesive layer with a cutter knife. Then, the pressure-sensitive adhesive layer in the cut portion was rubbed with a finger to confirm the degree of detachment of the pressure-sensitive adhesive layer, and the adhesion of the base material was evaluated according to the following criteria. The results are shown in Table 2.

○ : 점착제층이 기재로부터 탈착하지 않으며, 양호한 밀착성을 유지Good: The pressure-sensitive adhesive layer is not detached from the substrate, and good adhesion is maintained

△ : 점착제층의 일부가 기재로부터 탈착하지만, 어느 정도의 밀착성을 유지DELTA: Part of the pressure-sensitive adhesive layer was detached from the base material, but a certain degree of adhesion was maintained

× : 점착제층 전체가 기재로부터 탈착하며, 밀착성 부족X: The whole pressure-sensitive adhesive layer was detached from the base material, and the lack of adhesion

[표 1][Table 1]

Figure pat00001
Figure pat00001

[표 2][Table 2]

Figure pat00002
Figure pat00002

표 2로부터 명백한 바와 같이, 실시예에서 제조한 보호 시트는, 대전방지성이 우수함과 함께, 점착제층의 기재밀착성도 우수한 것이었다.As is clear from Table 2, the protective sheet produced in the Examples was excellent in antistatic property and also had excellent adhesion to the base material of the pressure-sensitive adhesive layer.

본 발명에 따른 보호 시트는, OLED 디바이스의 가공, 조립, 검사 등의 공정에서 사용되는 보호 시트로서 호적하다.The protective sheet according to the present invention is suitable as a protective sheet used in processes such as processing, assembling, and inspection of OLED devices.

1 : 보호 시트 2 : 기재
21 : 플라스틱 필름 22a : 제1 대전 방지층
22b : 제2 대전 방지층 3 : 점착제층
4 : 박리 시트 41 : 지지체
42a : 제3 대전 방지층 42b : 제4 대전 방지층
1: protective sheet 2: substrate
21: plastic film 22a: first antistatic layer
22b: second antistatic layer 3: pressure-sensitive adhesive layer
4: peeling sheet 41: support
42a: third antistatic layer 42b: fourth antistatic layer

Claims (10)

디바이스를 보호하기 위한 보호 시트로서,
플라스틱 필름과, 상기 플라스틱 필름의 적어도 한쪽의 면측에 형성된 대전 방지층을 갖는 기재와,
상기 대전 방지층과 접하도록 상기 기재에 적층된 점착제층
을 구비하고 있고,
상기 점착제층이, 실리콘계 점착제로 이루어지는
것을 특징으로 하는 보호 시트.
A protective sheet for protecting a device,
A plastic film, a substrate having an antistatic layer formed on at least one side of the plastic film,
A pressure-sensitive adhesive layer laminated on the substrate so as to be in contact with the antistatic layer
Respectively,
Wherein the pressure-sensitive adhesive layer comprises a silicone-based pressure-
Wherein the protective sheet is a sheet.
제1항에 있어서,
상기 플라스틱 필름에 있어서의 상기 점착제층측의 면의 표면 거칠기가,
최대 산 높이(Rp)로서, 200㎚ 이하이고,
최대 높이(Rz)로서, 300㎚ 이하이고,
최대 단면 높이(Rt)로서, 500㎚ 이하인
것을 특징으로 하는 보호 시트.
The method according to claim 1,
Wherein the surface roughness of the surface of the plastic film on the side of the pressure-
The maximum peak height (Rp) is 200 nm or less,
The maximum height (Rz) is 300 nm or less,
The maximum cross-sectional height (Rt)
Wherein the protective sheet is a sheet.
제1항에 있어서,
상기 플라스틱 필름의 다른 쪽의 면측에도, 대전 방지층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 보호 시트.
The method according to claim 1,
Wherein an antistatic layer is formed on the other surface side of the plastic film.
제1항에 있어서,
상기 점착제층에 있어서의 상기 기재와는 반대측의 면에, 박리 시트가 적층되어 있고,
상기 박리 시트가, 지지체와, 상기 지지체의 적어도 한쪽의 면에 형성된 대전 방지층을 갖는
것을 특징으로 하는 보호 시트.
The method according to claim 1,
A peeling sheet is laminated on a surface of the pressure-sensitive adhesive layer opposite to the substrate,
Wherein the release sheet comprises a support and an antistatic layer formed on at least one side of the support
Wherein the protective sheet is a sheet.
제1항에 있어서,
박리 시트를 제거한 상기 보호 시트의 헤이즈값이, 5% 이하인 것을 특징으로 하는 보호 시트.
The method according to claim 1,
And the haze value of the protective sheet from which the release sheet is removed is 5% or less.
제1항에 있어서,
23℃, 상대 습도 50%의 환경 하에 있어서, 상기 기재에 대해서 100V의 전압을 10초간 인가했을 때의, 상기 기재에 있어서의 상기 점착제층측의 면의 표면 저항률이, 1×105Ω/sq 이상, 1×109Ω/sq 이하인 것을 특징으로 하는 보호 시트.
The method according to claim 1,
The surface resistivity of the surface of the base material on the side of the pressure-sensitive adhesive layer when a voltage of 100 V is applied to the base material for 10 seconds under an environment of 23 캜 and a relative humidity of 50% is 1 10 5 Ω / And 1 × 10 9 Ω / sq or less.
제1항에 있어서,
23℃, 상대 습도 50%의 환경 하에 있어서, 상기 기재에 대해서 100V의 전압을 10초간 인가했을 때의, 상기 기재에 있어서의 상기 점착제층과는 반대측의 면의 표면 저항률이, 1×107Ω/sq 이상, 5×1011Ω/sq 이하인 것을 특징으로 하는 보호 시트.
The method according to claim 1,
The surface resistivity of the surface of the base material opposite to the pressure-sensitive adhesive layer when a voltage of 100 V was applied to the base material for 10 seconds under an environment of 23 캜 and 50% relative humidity was 1 × 10 7 Ω / sq or more and 5 x 10 < 11 > / sq or less.
제4항에 있어서,
23℃, 상대 습도 50%의 환경 하에 있어서, 상기 박리 시트에 대해서 100V의 전압을 10초간 인가했을 때의, 상기 박리 시트에 있어서의 상기 점착제층측의 면의 표면 저항률이, 1×107Ω/sq 이상, 1×1011Ω/sq 이하인 것을 특징으로 하는 보호 시트.
5. The method of claim 4,
The surface resistivity of the surface of the release sheet on the side of the pressure-sensitive adhesive layer when applied to the release sheet at a voltage of 100 V for 10 seconds under an environment of 23 캜 and 50% relative humidity is 1 × 10 7 Ω / sq or more and 1 x 10 < 11 > / sq or less.
제4항에 있어서,
23℃, 상대 습도 50%의 환경 하에 있어서, 상기 박리 시트에 대해서 100V의 전압을 10초간 인가했을 때의, 상기 박리 시트에 있어서의 상기 점착제층과는 반대측의 면의 표면 저항률이, 1×107Ω/sq 이상, 1×1011Ω/sq 이하인 것을 특징으로 하는 보호 시트.
5. The method of claim 4,
The surface resistivity of the surface of the release sheet opposite to the pressure-sensitive adhesive layer when a voltage of 100 V was applied to the release sheet for 10 seconds under an environment of 23 캜 and a relative humidity of 50% 7 Ω / sq or more and 1 × 10 11 Ω / sq or less.
제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 디바이스가, 플렉서블 디바이스인 것을 특징으로 하는 보호 시트.
10. The method according to any one of claims 1 to 9,
Wherein the device is a flexible device.
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